KR102263193B1

KR102263193B1 - Bus bar device

Info

Publication number: KR102263193B1
Application number: KR1020190078938A
Authority: KR
Inventors: 황재상; 송완섭
Original assignee: (주)한국마루이
Priority date: 2019-07-01
Filing date: 2019-07-01
Publication date: 2021-06-11
Also published as: KR20210003354A

Abstract

부스바장치는 대상재를 전해연마하기 위한 전해액이 수용된 전해조의 측부 둘레를 따라 배치되는 음극부스바와, 전해조의 측부 둘레를 따라 배치되는 양극부스바와, 정류기의 음극단자와 음극부스바를 전기적으로 연결하는 제1 연결부스바와, 정류기의 양극단자와 양극부스바를 전기적으로 연결하는 제2 연결부스바를 포함한다. The bus bar device includes a cathode bus bar disposed along the periphery of the electrolytic cell in which an electrolyte for electrolytic polishing of a target material is accommodated, an anode bus bar disposed along the periphery of the electrolytic cell, and a cathode terminal of the rectifier and the cathode bus bar. It includes a first connecting bus bar and a second connecting bus bar electrically connecting the positive terminal of the rectifier and the positive bus bar.

Description

Bus bar device

실시예는 부스바장치에 관한 것이다.The embodiment relates to a busbar device.

전해연마(Electrolytic Polishing)는 전해액에 용해되는 금속을 양극(Anode)으로 하고, 전해액에 불용성인 금속을 음극(Cathode)으로 사용하여 양극과 음극에 전류를 인가함으로써, 상기 전해액을 매개로 금속의 표면에서 전기분해를 일으켜 연마하는 방법이다. 이러한 전해연마를 이용하여 금속을 연마하기 위해서는 전해조에 전해액(電解液)을 채우고, 연마하고자 하는 금속을 양극으로 설치하고, 전해액에 용해하지 않는 금속을 음극으로 설치한 다음 양극과 음극에 직류를 인가한다.In electrolytic polishing, a metal dissolved in an electrolyte is used as an anode and a metal insoluble in an electrolyte is used as a cathode, and current is applied to the anode and the cathode, so that the surface of the metal through the electrolyte It is a method of polishing by causing electrolysis in In order to polish metal using such electropolishing, an electrolytic solution is filled in an electrolytic cell, the metal to be polished is installed as an anode, a metal that does not dissolve in the electrolyte is installed as a cathode, and then direct current is applied to the anode and cathode. do.

한편, 전해연마가 진행되면 양극으로부터 용해된 금속이온을 다량 함유한 고점도 액체층(점성층)이 양극을 둘러싼다. 금속이온으로 포화된 액체층에서는 더는 금속이 용해되지 않고, 높은 양극 전위를 형성하므로, 산소와 활발히 결합하여 산화물 피막을 형성한다. 이때 용해된 금속이온은 금속 표면의 오목한 부분에 주로 축적되며, 오목한 부분에서는 금속이온의 이동과 확산이 적어 전기가 잘 통하지 않으므로, 금속이 용해되지 않는다. 반면, 금속 표면의 볼록 부분에서는 금속 이온층이 얇게 형성되므로, 전류가 집중되어 금속 표면을 쉽게 용해시켜 전체적으로 금속의 표면이 평활하게 된다.On the other hand, when electrolytic polishing proceeds, a high-viscosity liquid layer (viscous layer) containing a large amount of metal ions dissolved from the anode surrounds the anode. In the liquid layer saturated with metal ions, the metal is no longer dissolved and a high anode potential is formed, so that it actively combines with oxygen to form an oxide film. At this time, the dissolved metal ions are mainly accumulated in the concave portion of the metal surface, and the metal is not dissolved because the movement and diffusion of the metal ion is small in the concave portion, so that electricity does not flow well. On the other hand, since the metal ion layer is thinly formed in the convex portion of the metal surface, the current is concentrated to easily dissolve the metal surface, thereby making the metal surface smooth as a whole.

이러한 전해연마는 전해연마장치를 통해 수행된다. This electrolytic polishing is performed through an electrolytic polishing apparatus.

도 1은 종래의 전해연마장치를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing a conventional electrolytic polishing apparatus.

도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 전해연마장치는 전해연마를 위한 대상재(4)와 정류기(2)가 복수의 케이블(5, 7)로 연결된 후, 대상재(4)가 전해조(1)에 수용되어 전해연마가 수행된다. 이때, 정류기(2)의 양극단자(2a)와 대상재(4) 사이에 양(+)전류를 공급하기 위한 복수의 케이블(5)이 연결된다. 정류기(2)의 음극단자(2b)와 대상재(4) 사이에 음(-)전류를 공급하기 위한 복수의 케이블(5)이 연결된다. 복수의 케이블(5)이 대상재(4)의 서로 다른 영역에 연결된다. As shown in Figure 1, in the conventional electrolytic polishing apparatus, after the target material 4 and the rectifier 2 for electrolytic polishing are connected by a plurality of cables 5 and 7, the target material 4 is transferred to the electrolytic cell 1 ) and electrolytic polishing is performed. At this time, a plurality of cables 5 for supplying a positive (+) current between the positive terminal 2a of the rectifier 2 and the target material 4 are connected. A plurality of cables 5 for supplying negative (-) current are connected between the negative terminal 2b of the rectifier 2 and the target material 4 . A plurality of cables 5 are connected to different areas of the object 4 .

최근 들어, 대상재(4)의 사이즈가 증가되고 있다. 대형화된 대상재를 균일하게 전해연마하기 위해서는 케이블(5, 7)의 개수 또한 증가되어야 한다. 전해연마에 사용되는 케이블 (5, 7)은 매우 길고 매우 무겁고 매우 큰 직경을 갖는다. 예컨대, 케이블(5)은 15 내지 30 미터의 길이와 3 센티미터의 직경이 30개 구비된다. 케이블(7)은 15 내지 30 미터의 길이와 3 센티미터의 직경이 30개 구비된다. In recent years, the size of the target material 4 is increasing. In order to uniformly electropolish the enlarged object, the number of cables 5 and 7 should also be increased. The cables 5 and 7 used for electropolishing are very long, very heavy and have a very large diameter. For example, the cable 5 is provided with a length of 15 to 30 meters and a diameter of 3 centimeters. The cable 7 is provided with 30 cables with a length of 15 to 30 meters and a diameter of 3 centimeters.

따라서, 종래의 전해연마장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.Accordingly, the conventional electrolytic polishing apparatus has the following problems.

첫번째로, 케이블(5, 7)의 개수가 늘어나고, 길고 무겁기 때문에 대상재(4)를 전해연마할 때마다 케이블(5, 7)을 대상재(4)에 설치하는데 많은 시간과 노력이 요구되는 문제가 있다. First, since the number of cables (5, 7) increases and is long and heavy, a lot of time and effort is required to install the cables (5, 7) to the target material (4) whenever the target material (4) is electropolished. there is a problem.

두번째로, 케이블(5, 7) 간에 서로 접촉되면서 유도 전류에 의한 열로 케이블(5, 7)이 불에 타 소손되는 문제가 있다.Second, there is a problem in that the cables (5, 7) are burned by heat due to the induced current while in contact with each other between the cables (5, 7).

세번째로, 케이블(5, 7)이 개수가 많아, 케이블(5)와 케이블(7)이 서로 뒤엉키면서 케이블(5, 7)이 소손되는 문제가 있다. Third, there is a problem in that the number of cables 5 and 7 is large, and the cables 5 and 7 are damaged while the cables 5 and 7 are entangled with each other.

실시예는 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.The embodiment aims to solve the above-mentioned problem and other problems.

실시예의 다른 목적은 새로운 구조를 갖는 부스바장치를 제공한다.Another object of the embodiment is to provide a busbar device having a new structure.

실시예의 또 다른 목적은 구조가 단순한 부스바장치를 제공한다.Another object of the embodiment is to provide a busbar device having a simple structure.

실시예의 또 다른 목적은 설치가 용이한 부스바장치를 제공한다. Another object of the embodiment is to provide a busbar device that is easy to install.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 실시예의 일 측면에 따르면, 부스바장치는, 대상재를 전해연마하기 위한 전해액이 수용된 전해조의 측부 둘레를 따라 배치되는 음극부스바; 상기 전해조의 측부 둘레를 따라 배치되는 양극부스바; 정류기의 음극단자와 상기 음극부스바를 전기적으로 연결하는 제1 연결부스바; 및 상기 정류기의 양극단자와 상기 양극부스바를 전기적으로 연결하는 제2 연결부스바를 포함한다. According to one aspect of the embodiment in order to achieve the above or other objects, the bus bar device includes: a cathode bus bar disposed along the periphery of the electrolytic cell in which an electrolyte for electrolytic polishing of a target material is accommodated; an anode bus bar disposed along the periphery of the side of the electrolytic cell; a first connection bus bar electrically connecting the negative terminal of the rectifier and the negative bus bar; and a second connection bus bar electrically connecting the positive terminal of the rectifier and the positive bus bar.

실시예의 다른 측면에 따르면, 전해연마장치는, 상기 부스바장치; 및 상기 부스바장치로부터 공급된 전류를 이용하여 상기 대상재를 전해연마하기 위한 상기 전해조를 포함한다.According to another aspect of the embodiment, the electrolytic polishing apparatus, the bus bar apparatus; and the electrolytic cell for electrolytic polishing the target material using the current supplied from the busbar device.

실시예에 따른 부스바장치의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.The effect of the busbar device according to the embodiment will be described as follows.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 정류기와 전해조 사이를 전기적으로 연결하기 위해 단지 2개의 부스바, 즉 제1 연결부스바와 제2 연결부스바만 구비되므로, 종래에 수많은 케이블이 구비되는 것에 비해 구조가 매우 단순해지고, 음(-)전류를 공급하는 케이블과 양(+)전류를 공급하는 케이블이 서로 접촉되거나 뒤엉켜 케이블이 소손되는 문제를 해결할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, since only two busbars, that is, the first connection busbar and the second connection busbar, are provided to electrically connect between the rectifier and the electrolyzer, the structure is improved compared to the conventionally provided with numerous cables. It is very simple, and there is an advantage that the cable that supplies the negative (-) current and the cable that supplies the positive (+) current come into contact with each other or get tangled and the problem that the cable is damaged can be solved.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 제1 수납부와 제2 수납부의 위치 조절을 통해 음극부스바와 양극부스바 사이의 거리가 최대로 이격되어 음극부스바와 양극부스바의 전기적인 쇼트 가능성을 원천적으로 차단할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the distance between the cathode bus bar and the anode bus bar is maximally spaced apart by adjusting the positions of the first and second accommodation units to fundamentally reduce the possibility of an electrical short between the cathode bus bar and the anode bus bar. It has the advantage of being able to block it.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 음극부스바의 일부 영역과 양극부스바의 일부 영역 각각이 제1 수납부와 제2 수납부로부터 노출되도록 함으로써, 추후 음극부수바와 양극부스바의 교체시 음극부스바와 양극부스바를 제1 수납부와 제2 수납부로부터 용이하게 꺼낼 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, by exposing a partial region of the negative electrode bus bar and a partial region of the positive electrode bus bar from the first receiving unit and the second receiving unit, respectively, when the negative electrode bus bar and the positive electrode bus bar are replaced later, the negative electrode bus bar There is an advantage in that the bar and the anode bus bar can be easily taken out from the first accommodating part and the second accommodating part.

실시예의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 실시예의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다. Further scope of applicability of the embodiments will become apparent from the following detailed description. However, it should be understood that the detailed description and specific embodiments, such as preferred embodiments, are given by way of example only, since various changes and modifications within the spirit and scope of the embodiments may be clearly understood by those skilled in the art.

도 1은 종래의 전해연마장치를 도시한 평면도이다.
도 2는 실시예에 따른 전해연마장치를 도시한 평면도이다.
도 3은 실시예에 따른 전해연마장치를 도시한 개략 사시도이다.
도 4는 도 2의 A 영역을 확대한 사시도이다.
도 5는 실시예에 따른 전해연마장치의 대상재를 도시한 사시도이다.
도 6은 도 2의 B 영역을 도시한 단면도이다.
도 7은 도 2의 B 영역을 도시한 평면사시도이다.1 is a plan view showing a conventional electrolytic polishing apparatus.
2 is a plan view illustrating an electrolytic polishing apparatus according to an embodiment.
3 is a schematic perspective view illustrating an electrolytic polishing apparatus according to an embodiment.
FIG. 4 is an enlarged perspective view of area A of FIG. 2 .
5 is a perspective view showing a target material of the electrolytic polishing apparatus according to the embodiment.
6 is a cross-sectional view illustrating a region B of FIG. 2 .
FIG. 7 is a plan perspective view illustrating area B of FIG. 2 .

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 기술 사상은 설명되는 일부 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있고, 본 발명의 기술 사상 범위 내에서라면, 실시 예들간 그 구성 요소들 중 하나 이상을 선택적으로 결합, 치환하여 사용할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용되는 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는, 명백하게 특별히 정의되어 기술되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있으며, 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미를 고려하여 그 의미를 해석할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명의 실시예에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함할 수 있고, “B 및(와) C 중 적어도 하나(또는 한 개 이상)”로 기재되는 경우 A, B, C로 조합할 수 있는 모든 조합 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등으로 한정되지 않는다. 그리고, 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결', '결합' 또는 '접속'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 결합 또는 접속되는 경우 뿐만아니라, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 있는 또 다른 구성 요소로 인해 '연결', '결합' 또는 '접속＇되는 경우도 포함할 수 있다. 또한, 각 구성 요소의 " 상(위) 또는 하(아래)"에 형성 또는 배치되는 것으로 기재되는 경우, 상(위) 또는 하(아래)는 두개의 구성 요소들이 서로 직접 접촉되는 경우 뿐만아니라 하나 이상의 또 다른 구성 요소가 두 개의 구성 요소들 사이에 형성 또는 배치되는 경우도 포함한다. 또한 “상(위) 또는 하(아래)”으로 표현되는 경우 하나의 구성 요소를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the technical spirit of the present invention is not limited to some embodiments described, but may be implemented in various different forms, and within the scope of the technical spirit of the present invention, one or more of the components may be selected among the embodiments. It can be combined and substituted for use. In addition, terms (including technical and scientific terms) used in the embodiments of the present invention may be generally understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, unless specifically defined and described explicitly. It may be interpreted as a meaning, and generally used terms such as terms defined in advance may be interpreted in consideration of the contextual meaning of the related art. In addition, the terms used in the embodiments of the present invention are for describing the embodiments and are not intended to limit the present invention. In this specification, the singular form may also include the plural form unless otherwise specified in the phrase, and when it is described as "at least one (or more than one) of B and (and) C", it can be combined with A, B, and C. It may include one or more of all combinations. In addition, in describing the components of the embodiment of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), (b), etc. may be used. These terms are only used to distinguish the component from other components, and are not limited to the essence, order, or order of the component by the term. And, when it is described that a component is 'connected', 'coupled' or 'connected' to another component, the component is not only directly connected, coupled or connected to the other component, but also with the component It may also include a case of 'connected', 'coupled' or 'connected' due to another element between the other elements. In addition, when it is described as being formed or disposed on "above (above) or below (below)" of each component, the top (above) or bottom (below) is one as well as when two components are in direct contact with each other. Also includes a case in which another component as described above is formed or disposed between two components. In addition, when expressed as “up (up) or down (down)”, it may include the meaning of not only the upward direction but also the downward direction based on one component.

도 2는 실시예에 따른 전해연마장치를 도시한 평면도이고, 도 3은 실시예에 따른 전해연마장치를 도시한 개략 사시도이다. 도 4는 도 2의 A 영역을 확대한 사시도이고, 도 5는 실시예에 따른 전해연마장치의 대상재를 도시한 사시도이다. 도 6은 도 2의 B 영역을 도시한 단면도이고, 도 7은 도 2의 B 영역을 도시한 평면사시도이다.2 is a plan view illustrating an electrolytic polishing apparatus according to an embodiment, and FIG. 3 is a schematic perspective view illustrating an electrolytic polishing apparatus according to an embodiment. 4 is an enlarged perspective view of area A of FIG. 2 , and FIG. 5 is a perspective view showing a target material of the electrolytic polishing apparatus according to the embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating area B of FIG. 2 , and FIG. 7 is a plan perspective view illustrating area B of FIG. 2 .

도 2 내지 도 7을 참조하면, 실시예에 따른 전해연마장치(10)는 전해조(20)를 포함할 수 있다. 전해조(20)는 대상재(11)를 전해연마할 수 있는 전해액(25)이 수용될 수 있다. 즉, 전해조(20)는 내부에 빈 공간이 형성되고, 이 빈 공간에 전해액(25)이 채워질 수 있다. 대상재는 반도체 제조공정이나 디스플레이 제조공정용 챔버일 수 있다. 대상재는 산업용 탱크일 수 있다. 대상재는 산업용 배관일 수 있다. 이 외에, 다양한 분야에서 사용되고 전해연마가 필요한 부재는 모두 본 발명의 기술적 사상에 포함될 수 있다. 2 to 7 , the electrolytic polishing apparatus 10 according to the embodiment may include an electrolytic bath 20 . The electrolytic cell 20 may contain an electrolyte 25 capable of electropolishing the target material 11 . That is, the electrolytic cell 20 may have an empty space formed therein, and the electrolyte 25 may be filled in the empty space. The target material may be a chamber for a semiconductor manufacturing process or a display manufacturing process. The target material may be an industrial tank. The target material may be an industrial pipe. In addition, all members used in various fields and requiring electrolytic polishing may be included in the technical spirit of the present invention.

전해조(20)는 대상재(11)의 크기나 형상에 따라 달라질 수 있다. 전해조(20)는 사각 형상을 가지고, 그 내부에 형성된 공간도 사각 형상을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 전해조(20)는 바닥부와 바닥부의 에지를 따라 수직으로 연장되는 측부(21)를 가질 수 있다. 이러한 바닥부와 측부(21)에 의해 빈 공간이 형성되고, 이 공간에 전해액(25)이 채워질 수 있다. The electrolytic cell 20 may vary depending on the size or shape of the target material 11 . The electrolytic cell 20 has a rectangular shape, and the space formed therein may also have a rectangular shape, but is not limited thereto. The electrolytic cell 20 may have a bottom portion and a side portion 21 extending vertically along an edge of the bottom portion. An empty space is formed by the bottom part and the side part 21 , and the electrolyte 25 may be filled in this space.

실시예에 따른 전해연마장치(10)는 정류기(150)를 포함할 수 있다. 정류기(150)는 대상재(11)를 전해연마하기 위해 전해액(25)에 전류를 공급할 수 있다. 나중에 설명되겠지만, 대상재(11)는 전해액(25)에 용해되는 양극으로서의 역할을 할 수 있다. 대상재(11)에 인접하여 전해액(25)에 용해되지 않는 즉, 불용성인 음극, 즉 음극플레이트(100)이 배치될 수 있다. 이러한 경우, 정류기(150)의 음극단자(151)를 통해 음(-)전류가 음극플레이트(100)로 공급되고, 정류기(150)의 양극단자(152)를 통해 양(+)전류가 양극인 대상재(11)에 공급될 수 있다. 이에 따라, 대상재(11)가 전해액(25)에 의해 용해되어, 전해연마될 수 있다. 대상재(11)가 전해연마되면, 대상재(11)로부터 용해된 금속이온들이 주로 대상재(11)의 오목한 부분에 축적되고, 이러한 오목한 부분에서는 전기가 잘 통하지 않아 이 오목한 부분에 해당하는 대상재(11)는 용해되지 않는다. 이에 반해, 대상재(11)의 볼록한 부분에는 금속이온이 잘 축적되지 않아 전류가 집중되므로, 이 볼록한 부분에 해당하는 대상재(11)는 쉽게 용해될 수 있다. 즉, 대상재(11)에 대한 전해연마에 의해, 대상재(11)의 오목한 부분은 잘 용해되지 않고 블록한 부분은 잘 용해되도록 하여, 대상재(11)의 전체 표면이 매끈하고 평평할 수 있다. The electrolytic polishing apparatus 10 according to the embodiment may include a rectifier 150 . The rectifier 150 may supply current to the electrolyte 25 to electropolish the target material 11 . As will be described later, the target material 11 may serve as an anode dissolved in the electrolyte 25 . A negative electrode that is not dissolved in the electrolyte 25 , that is, insoluble, that is, the negative electrode plate 100 may be disposed adjacent to the target material 11 . In this case, the negative (-) current is supplied to the negative plate 100 through the negative terminal 151 of the rectifier 150, and the positive (+) current is the positive electrode through the positive terminal 152 of the rectifier 150. It may be supplied to the target material 11 . Accordingly, the target material 11 may be dissolved by the electrolyte 25 and electrolytically polished. When the target material 11 is electropolished, the metal ions dissolved from the target material 11 are mainly accumulated in the concave portion of the target material 11, and the concave portion does not conduct electricity well in this concave portion. Ash 11 does not melt. On the other hand, since metal ions do not accumulate well in the convex portion of the object 11 and current is concentrated, the object 11 corresponding to the convex portion can be easily dissolved. That is, by electropolishing the target material 11, the concave part of the target material 11 is not dissolved well and the blocked part is well dissolved, so that the entire surface of the target material 11 can be smooth and flat. have.

실시예에 따른 전해연마장치(10)는 부스바장치를 포함할 수 있다. 부스바장치는 정류기(150)에 연결될 수 있다. 부스바장치는 정류기(150)의 음극단자(151)로부터 제공된 음(-)전류와 정류기(150)의 양극단자(152)로부터 제공된 양(+)전류를 전해조(20)의 전해액(25)으로 공급할 수 있다. 이때, 대상재(11)가 전해연마를 위해 전해조(20)의 전해액(25)에 담궈진 후 음(-)전류와 양(+)전류가 전해액(25)으로 공급될 수 있다. The electrolytic polishing apparatus 10 according to the embodiment may include a bus bar apparatus. The busbar device may be connected to the rectifier 150 . The busbar device converts the negative (-) current provided from the negative terminal 151 of the rectifier 150 and the positive (+) current provided from the positive terminal 152 of the rectifier 150 to the electrolyte 25 of the electrolytic cell 20. can supply At this time, after the target material 11 is immersed in the electrolyte 25 of the electrolytic bath 20 for electrolytic polishing, negative (-) current and positive (+) current may be supplied to the electrolyte 25 .

이하에서 부스바장치를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the busbar device will be described in more detail.

부스바장치는 음극부스바(30)와 양극부스바(40)를 포함할 수 있다. 예컨대, 양극부스바(40)와 음극부스바(30)는 금속을 포함할 수 있다. 예컨대, 양극부스바(40)와 음극부스바(30)는 구리(Cu)를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.The bus bar device may include a cathode bus bar 30 and an anode bus bar 40 . For example, the anode bus bar 40 and the cathode bus bar 30 may include metal. For example, the anode bus bar 40 and the cathode bus bar 30 may include copper (Cu), but is not limited thereto.

음극부스바(30)는 정류기(150)의 음극단자(151)에 연결될 수 있다. 음극부스바(30)는 전해조(20)의 측부(21) 둘레를 따라 배치될 수 있다. 예컨대, 음극부스바(30)는 전해조(20)의 외측부 둘레를 따라 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 음극부스바(30)는 전해부의 내측부 둘레를 따라 배치될 수도 있다. The negative bus bar 30 may be connected to the negative terminal 151 of the rectifier 150 . The cathode bus bar 30 may be disposed along the circumference of the side portion 21 of the electrolytic cell 20 . For example, the cathode bus bar 30 may be disposed along the outer circumference of the electrolytic cell 20 . Although not shown, the cathode bus bar 30 may be disposed along the inner circumference of the electrolytic unit.

양극부스바(40)는 정류기(150)의 양극단자(152)에 연결될 수 있다. 양극부스바(40)는 전해조(20)의 측부(21) 둘레를 따라 배치될 수 있다. 예컨대, 양극부스바(40)는 전해조(20)의 외측부 둘레를 따라 배치될 수 있다. 도시되지 않았지만, 양극부스바(40)는 전해부의 내측부 둘레를 따라 배치될 수도 있다. 양극부스바(40)는 음극부스바(30)와 이격되어 배치될 수 있다. The positive bus bar 40 may be connected to the positive terminal 152 of the rectifier 150 . The anode bus bar 40 may be disposed along the circumference of the side portion 21 of the electrolytic cell 20 . For example, the anode bus bar 40 may be disposed along the outer circumference of the electrolytic cell 20 . Although not shown, the anode bus bar 40 may be disposed along the inner circumference of the electrolytic unit. The anode bus bar 40 may be disposed to be spaced apart from the cathode bus bar 30 .

음극부스바(30)와 양극부스바(40)는 대전류에 견뎌야 하므로, 도 4에 도시한 바와 같이, 2개 이상의 부스바플레이트를 포함할 수 있다. 부스바플레이트는 평평한 표면을 가질 수 있다. 전해조(20)의 사이즈가 큰 경우, 전해조(20)의 둘레를 따라 배치되는 음극부스바(30) 및 양극부스바(40) 각각의 길이가 매우 클 수 있다. 이러한 경우, 음극부스바(30)는 복수의 음극부스바(30)를 포함하여, 이들 음극부스바(30) 간에 스크류와 같은 체결 수단을 통해 서로 전기적으로 연결될 수 있다. 마찬가지로, 양극부스바(40)는 복수의 양극부스바(40)를 포함하여, 이들 양극부스바(40) 간에 스크류와 같은 체결 수단을 통해 서로 전기적으로 연결될 수 있다. Since the cathode bus bar 30 and the anode bus bar 40 must withstand a large current, as shown in FIG. 4 , two or more bus bar plates may be included. The busbar plate may have a flat surface. When the size of the electrolytic cell 20 is large, the length of each of the cathode bus bar 30 and the anode bus bar 40 disposed along the circumference of the electrolytic cell 20 may be very large. In this case, the anode bus bar 30 may include a plurality of cathode bus bars 30 and may be electrically connected to each other through a fastening means such as a screw between the cathode bus bars 30 . Similarly, the anode bus bar 40 may include a plurality of anode bus bars 40 and may be electrically connected to each other through a fastening means such as a screw between the anode bus bars 40 .

음극부스바(30)와 양극부스바(40)는 금속이므로, 표면이 부식되거나 외부에 노출될 경우, 이물질에 의해 스파크 등이 발생될 수 있다. 따라서, 도시되지 않았지만, 음극부스바(30)와 양극부스바(40) 각각의 둘레에 절연부재(33, 43)가 배치될 수 있다. 즉, 절연부재(33, 43)에 의해 음극부스바(30)와 양극부스바(40)가 외부에 노출되지 않을 수 있다. Since the cathode bus bar 30 and the anode bus bar 40 are metal, when the surface is corroded or exposed to the outside, sparks may be generated by foreign substances. Accordingly, although not shown, insulating members 33 and 43 may be disposed around each of the anode bus bar 30 and the anode bus bar 40 . That is, the anode bus bar 30 and the anode bus bar 40 may not be exposed to the outside by the insulating members 33 and 43 .

부스바장치는 브라켓(60)을 포함할 수 있다. 브라켓(60)은 전해조(20)의 측부(21) 상에 장착될 수 있다. 예컨대, 브라켓(60)은 스크류와 같은 체결 수단이나 용접을 통해 전해조(20)의 측부(21)에 체결될 수 있다. 예컨대, 브라켓(60)은 전해조(20)의 측부(21)를 따라 배치되고, 음극부스바(30)와 양극부스바(40)가 브라켓(60)에 의해 고정 및 지지될 수 있다. The bus bar device may include a bracket 60 . The bracket 60 may be mounted on the side 21 of the electrolytic cell 20 . For example, the bracket 60 may be fastened to the side portion 21 of the electrolytic cell 20 through a fastening means such as a screw or welding. For example, the bracket 60 may be disposed along the side portion 21 of the electrolytic cell 20 , and the anode bus bar 30 and the anode bus bar 40 may be fixed and supported by the bracket 60 .

일 예로서, 브라켓(60)은 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 전해조(20)의 측부(21)를 따라 배치되는 복수의 브라켓(60)을 포함할 수 있다. 다른 예로서, 브라켓(60)은 도시되지 않았지만, 전해조(20)의 측부(21)를 따라 배치되는 단일 브라켓(60)을 포함할 수 있다. As an example, the bracket 60 may include a plurality of brackets 60 disposed along the side portion 21 of the electrolytic cell 20 as shown in FIGS. 2 and 3 . As another example, although not shown, the bracket 60 may include a single bracket 60 disposed along the side 21 of the electrolytic cell 20 .

브라켓(60)은 제1 수납부(70)와 제2 수납부(80)를 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 수납부(70)에 음극부스바(30)가 배치되고, 제2 수납부(80)에 양극부스바(40)가 배치될 수 있다. 예컨대, 제1 수납부(70)와 제2 수납부(80)는 전해조(20)의 측부(21)로부터 외측 방향을 따라 나란하게 배치될 수 있다. 예컨대, 제2 수납부(80)는 제1 수납부(70)보다 더 전해조(20)에 인접하여 배치될 수 있다. The bracket 60 may include a first accommodating part 70 and a second accommodating part 80 . For example, the cathode bus bar 30 may be disposed in the first accommodating part 70 , and the anode bus bar 40 may be disposed in the second accommodating part 80 . For example, the first accommodating part 70 and the second accommodating part 80 may be arranged side by side along the outward direction from the side part 21 of the electrolytic cell 20 . For example, the second accommodating part 80 may be disposed more adjacent to the electrolytic cell 20 than the first accommodating part 70 .

제1 수납부(70)는 제1-1 가이드부(71), 제1-2 가이드부(72) 및 제1-1 바닥부(73)를 포함할 수 있다. 제1-1 가이드부(71)와 제1-2 가이드부(72)는 서로 마주보다 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제1-1 가이드부(71)와 제1-2 가이드부(72)는 수직 방향을 따라 서로 평행할 수 있다. 제1 바닥부(73)는 제1-1 가이드부(71)의 하측과 제1-2 가이드부(72)의 하측을 연결하여 줄 수 있다. 이러한 경우, 제1-1 가이드부(71), 제1-2 가이드부(72) 및 제1 바닥부(73)에 의해 수납 공간이 형성되고, 이 수납 공간에 예컨대, 음극부스바(30)가 수납될 수 있다. The first accommodating part 70 may include a 1-1 guide part 71 , a 1-2 guide part 72 , and a 1-1 bottom part 73 . The 1-1 guide part 71 and the 1-2 guide part 72 may be disposed to be spaced apart from each other rather than face each other. The 1-1 guide part 71 and the 1-2 guide part 72 may be parallel to each other in a vertical direction. The first bottom 73 may connect the lower side of the 1-1 guide part 71 and the lower side of the 1-2 th guide part 72 . In this case, an accommodation space is formed by the 1-1 guide part 71 , the 1-2 guide part 72 , and the first bottom part 73 , and in this storage space, for example, the cathode bus bar 30 . can be accommodated.

제2 수납부(80)는 제2-1 가이드부(81), 제2-2 가이드부(82) 및 제2-1 바닥부(83)를 포함할 수 있다. 제2-1 가이드부(81)와 제2-2 가이드부(82)는 서로 마주보다 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제2-1 가이드부(81)와 제2-2 가이드부(82)는 수직 방향을 따라 서로 평행할 수 있다. 제2 바닥부(83)는 제2-1 가이드부(81)의 하측과 제2-2 가이드부(82)의 하측을 연결하여 줄 수 있다. 이러한 경우, 제2-1 가이드부(81), 제2-2 가이드부(82) 및 제2 바닥부(83)에 의해 수납 공간이 형성되고, 이 수납 공간에 예컨대, 양극부스바(40)가 수납될 수 있다. The second accommodating part 80 may include a 2-1 th guide part 81 , a 2-2 th guide part 82 , and a 2-1 th bottom part 83 . The 2-1 th guide part 81 and the 2-2 th guide part 82 may be disposed to be spaced apart from each other rather than face each other. The 2-1 th guide part 81 and the 2-2 th guide part 82 may be parallel to each other along the vertical direction. The second bottom part 83 may connect the lower side of the 2-1 th guide part 81 and the lower side of the 2-2 th guide part 82 . In this case, a storage space is formed by the 2-1 guide part 81 , the 2-2 guide part 82 , and the second bottom part 83 , and, for example, the anode bus bar 40 is formed in the storage space. can be accommodated.

예컨대, 음극부스바(30)의 두께는 제1 수납부(70)의 수납 공간의 깊이보다 클 수 있다. 따라서, 음극부스바(30)가 제1 수납부(70)의 수납 공간에 수납되는 경우, 음극부스바(30)의 일부 영역이 제1 수납부(70)로부터 상부 방향으로 돌출되어 배치될 수 있다. 예컨대, 양극부스바(40)의 두께는 제2 수납부(80)의 수납 공간의 깊이보다 클 수 있다. 따라서, 양극부스바(40)가 제2 수납부(80)의 수납 공간에 수납되는 경우, 양극부스바(40)의 일부 영역이 제2 수납부(80)로부터 상부 방향으로 돌출되어 배치될 수 있다. For example, the thickness of the cathode bus bar 30 may be greater than the depth of the accommodation space of the first accommodation part 70 . Accordingly, when the cathode bus bar 30 is accommodated in the receiving space of the first accommodating part 70 , a partial region of the cathode bus bar 30 may be disposed to protrude upward from the first accommodating part 70 . have. For example, the thickness of the anode bus bar 40 may be greater than the depth of the accommodating space of the second accommodating part 80 . Accordingly, when the anode bus bar 40 is accommodated in the receiving space of the second accommodating part 80 , a partial region of the anode bus bar 40 may be disposed to protrude upward from the second accommodating part 80 . have.

실시예에 따르면, 음극부스바(30)의 일부 영역과 양극부스바(40)의 일부 영역 각각이 제1 수납부(70)와 제2 수납부(80)로부터 노출되도록 함으로써, 제1 플레이트바(105)와 제2 플레이트바(115)를 용이하게 결합할 수 있고, 추후 음극부수바와 양극부스바(40)의 교체시 음극부스바(30)와 양극부스바(40)를 제1 수납부(70)와 제2 수납부(80)로부터 용이하게 꺼낼 수 있다. According to the embodiment, a partial region of the cathode bus bar 30 and a partial region of the anode bus bar 40 are exposed from the first accommodating part 70 and the second accommodating part 80, respectively, so that the first plate bar The 105 and the second plate bar 115 can be easily combined, and when the anode bus bar and the anode bus bar 40 are replaced later, the anode bus bar 30 and the anode bus bar 40 are placed in the first receiving part. It can be easily taken out from (70) and the 2nd accommodating part (80).

예컨대, 제2 수납부(80)의 바닥면(83a)는 제1 수납부(70)의 바닥면(73a)보다 높게 위치될 수 있다. 따라서, 음극부스바(30)의 두께와 양극부스바(40)의 두께가 동일한 경우, 제2 수납부(80)에 수납되는 양극부스바(40)의 상면이 제1 수납부(70)에 수납되는 음극부스바(30)의 상면보다 높게 위치될 수 있다. For example, the bottom surface 83a of the second accommodating part 80 may be positioned higher than the bottom surface 73a of the first accommodating part 70 . Therefore, when the thickness of the cathode bus bar 30 and the thickness of the anode bus bar 40 are the same, the upper surface of the anode bus bar 40 accommodated in the second accommodating part 80 is in the first accommodating part 70 . It may be positioned higher than the upper surface of the accommodated cathode bus bar 30 .

예컨대, 제1 수납부(70)의 상면은 제2 수납부(80)의 바닥면(83a)과 동일선 상에 위치될 수 있다. For example, the upper surface of the first accommodating part 70 may be positioned on the same line as the bottom surface 83a of the second accommodating part 80 .

실시예에 따르면, 제1 수납부(70)와 제2 수납부(80)의 위치 조절을 통해 음극부스바(30)와 양극부스바(40) 사이의 거리가 최대로 이격되어 음극부스바(30)와 양극부스바(40)의 전기적인 쇼트 가능성을 원천적으로 차단할 수 있다.According to the embodiment, the distance between the cathode bus bar 30 and the anode bus bar 40 is maximally separated by adjusting the positions of the first accommodating part 70 and the second accommodating part 80, so that the anode bus bar ( 30) and the anode bus bar 40 can fundamentally block the possibility of an electrical short.

예컨대, 제2 수납부(80)의 제2-1 가이드부(81)는 제1 수납부(70)의 제1-2 가이드부(72)로부터 상부 방향으로 연장될 수 있다. 예컨대, 제2 수납부(80)의 제2 바닥부(83)는 제1 수납부(70)의 제1-2 가이드부(72)의 상측과 연결될 수 있다. 제1 수납부(70)의 제1-2 가이드부(72)와 제2 수납부(80)의 제2-1 가이드부(81) 모두 제1 수납부(70)의 제1-2 가이드부(72)로 취급될 수 있다. 따라서, 제2 수납부(80)의 제2-1 가이드부(81)는 제1 수납부(70)와 공유될 수 있다. For example, the 2-1 guide part 81 of the second accommodating part 80 may extend upwardly from the 1-2 th guide part 72 of the first accommodating part 70 . For example, the second bottom 83 of the second accommodating part 80 may be connected to an upper side of the 1-2 guide part 72 of the first accommodating part 70 . Both the 1-2 first guide part 72 of the first accommodating part 70 and the 2-1 th guide part 81 of the second accommodating part 80 are the 1-2 guide parts of the first accommodating part 70 . (72) can be treated as Accordingly, the 2-1 guide part 81 of the second accommodating part 80 may be shared with the first accommodating part 70 .

실시예에 따르면, 제2 수납부(80)의 제2-1 가이드부(81)가 제1 수납부(70)와 공유됨으로써, 제1 수납부(70)의 제1-2 가이드부(72)가 필요없어 비용이 절감되고 브라켓(60)의 구조가 단순해질 수 있다. According to the embodiment, the 2-1 guide part 81 of the second accommodating part 80 is shared with the first accommodating part 70 , so that the 1-2 guide part 72 of the first accommodating part 70 is shared. ) is not required, so the cost can be reduced and the structure of the bracket 60 can be simplified.

브라켓(60)은 고정부(90)를 포함할 수 있다. 고정부(90)는 그 일측이 전해조(20)의 측부(21)에 고정될 수 있다. 예컨대, 고정부(90)는 스크류와 같은 체결 수단을 이용하여 전해조(20)의 측부(21)에 체결될 수 있다. The bracket 60 may include a fixing part 90 . One side of the fixing part 90 may be fixed to the side part 21 of the electrolytic cell 20 . For example, the fixing part 90 may be fastened to the side part 21 of the electrolytic cell 20 using a fastening means such as a screw.

일 예로서, 제1 수납부(70), 제2 수납부(80) 및 고정부(90)는 일체로 형성되고, 동일한 재질을 포함할 수 있다. 예컨대, 브라켓(60)은 절연 성능과 내식성이 우수한 스테인레스스틸(stainless steel)재질을 포함할 수 있다. As an example, the first accommodating part 70 , the second accommodating part 80 , and the fixing part 90 may be integrally formed and may include the same material. For example, the bracket 60 may include a stainless steel material having excellent insulation performance and corrosion resistance.

도시되지 않았지만, 제1 수납부(70), 제2 수납부(80) 및 고정부(90)는 개별로 형성되어, 스크류와 같은 체결 수단을 통해 서로 간에 체결될 수 있다. Although not shown, the first accommodating part 70 , the second accommodating part 80 , and the fixing part 90 may be separately formed and fastened to each other through a fastening means such as a screw.

브라켓(60)은 제1 절연재(75)와 제2 절연재(85)를 포함할 수 있다. The bracket 60 may include a first insulating material 75 and a second insulating material 85 .

제1 절연재(75)는 제1 수납부(70)의 내면에 배치될 수 있다. 예컨대, 제1 절연재(75)는 제1 수납부(70)의 제1-1 가이드부(71)의 내면과 제1-2 가이드부(72)의 내면에 배치될 수 있다. 예컨대, 제1 절연재(75)는 제1 수납부(70)의 제1-1 가이드부(71)의 내면, 제1-2 가이드부(72)의 내면 및 제1 바닥부(73)의 바닥면(73a)에 배치될 수 있다. The first insulating material 75 may be disposed on the inner surface of the first accommodating part 70 . For example, the first insulating material 75 may be disposed on the inner surface of the 1-1 guide part 71 and the inner surface of the 1-2 guide part 72 of the first accommodating part 70 . For example, the first insulating material 75 may include an inner surface of the 1-1 guide part 71 of the first accommodating part 70 , an inner surface of the 1-2 guide part 72 , and a bottom of the first bottom part 73 . It may be disposed on the surface (73a).

음극부스바(30)가 제1 수납부(70)에 수납되는 경우, 음극부스바(30)의 하면은 제1 절연재(75)와 접할 수 있다. 예컨대, 음극부스바(30)의 측면은 제1 절연재(75)와 접할 수 있다. 예컨대, 음극부스바(30)의 측면은 제1 절연재(75)와 이격되어 배치될 수 있다. 이러한 경우, 가압부(77)에 의해 제1 절연재(75)가 수평 방향으로 가압되어 음극부스바(30)에 접하고 음극부스바(30)를 고정시킬 수 있다. 음극부스바(30)가 제1 절연재(75)와 접하여 제1 절연재(75)에 의해 고정되므로, 음극부스바(30)의 고정성이 강화될 수 있다. 가압부(77)는 예컨대, 스크류를 포함할 수 있다. When the negative electrode bus bar 30 is accommodated in the first accommodating part 70 , the lower surface of the negative electrode bus bar 30 may be in contact with the first insulating material 75 . For example, the side surface of the negative bus bar 30 may be in contact with the first insulating material 75 . For example, the side of the negative bus bar 30 may be disposed to be spaced apart from the first insulating material 75 . In this case, the first insulating material 75 may be horizontally pressed by the pressing part 77 to contact the negative electrode bus bar 30 and fix the negative electrode bus bar 30 . Since the negative electrode bus bar 30 comes in contact with the first insulating material 75 and is fixed by the first insulating material 75 , the fixing property of the negative electrode bus bar 30 may be enhanced. The pressing part 77 may include, for example, a screw.

일 예로, 제1 절연재(75)는 조각으로 구분되어 각각 제1 바닥부(73)의 바닥면(73a), 제1-1 가이드부(71)의 측면 및 제1-2 가이드부(72)의 측면 상에 배치될 수 있다. 다른 예로서, 제1 절연재(75)는 일체로 형성되어 제1 바닥부(73)의 바닥면(73a), 제1-1 가이드부(71)의 측면 및 제1-2 가이드부(72)의 측면 상에 배치될 수 있다.For example, the first insulating material 75 is divided into pieces so that the bottom surface 73a of the first bottom part 73, the side surface of the 1-1 guide part 71, and the 1-2 guide part 72 are respectively divided into pieces. may be disposed on the side of As another example, the first insulating material 75 is integrally formed to form the bottom surface 73a of the first bottom part 73 , the side surfaces of the 1-1 guide part 71 , and the 1-2 guide part 72 . may be disposed on the side of

일 예로, 제1 절연재(75)는 제1 수납부(70)에 고정될 수 있다. 다른 예로, 제1 절연재(75)는 제1 수납부(70)에 단지 배치되고 필요시 탈착이 가능할 수도 있다. For example, the first insulating material 75 may be fixed to the first accommodating part 70 . As another example, the first insulating material 75 may be disposed only in the first receiving part 70 and may be detachable if necessary.

제2 절연재(85)는 제2 수납부(80)의 내면에 배치될 수 있다. 예컨대, 제2 절연재(85)는 제2 수납부(80)의 제2-1 가이드부(81)의 내면과 제2-2 가이드부(82)의 내면에 배치될 수 있다. 예컨대, 제2 절연재(85)는 제2 수납부(80)의 제2-1 가이드부(81)의 내면, 제2-2 가이드부(82)의 내면 및 제2 바닥부(83)의 바닥면(83a)에 배치될 수 있다. The second insulating material 85 may be disposed on the inner surface of the second accommodating part 80 . For example, the second insulating material 85 may be disposed on the inner surface of the 2-1 guide part 81 and the inner surface of the 2-2 guide part 82 of the second accommodating part 80 . For example, the second insulating material 85 may include an inner surface of the 2-1 guide part 81 of the second accommodating part 80 , an inner surface of the 2-2 guide part 82 , and a bottom of the second bottom part 83 . It may be disposed on the surface 83a.

양극부스바(40)가 제1 수납부(70)에 수납되는 경우, 양극부스바(40)의 하면은 제2 절연재(85)와 접할 수 있다. 예컨대, 양극부스바(40)의 측면은 제2 절연재(85)와 접할 수 있다. 예컨대, 양극부스바(40)의 측면은 제2 절연재(85)와 이격되어 배치될 수 있다. 이러한 경우, 가압부(87)에 의해 제2 절연재(85)가 수평 방향으로 가압되어 양극부스바(40)에 접하고 양극부스바(40)를 고정시킬 수 있다. 양극부스바(40)가 제2 절연재(85)와 접하여 제2 절연재(85)에 의해 고정되므로, 양극부스바(40)의 고정성이 강화될 수 있다. 가압부(87)는 예컨대, 스크류를 포함할 수 있다.When the anode bus bar 40 is accommodated in the first accommodating part 70 , a lower surface of the anode bus bar 40 may be in contact with the second insulating material 85 . For example, a side surface of the anode bus bar 40 may be in contact with the second insulating material 85 . For example, the side surface of the anode bus bar 40 may be disposed to be spaced apart from the second insulating material 85 . In this case, the second insulating material 85 may be horizontally pressed by the pressing part 87 to contact the anode bus bar 40 and fix the anode bus bar 40 . Since the anode bus bar 40 is in contact with the second insulating material 85 and is fixed by the second insulating material 85 , the fixability of the anode bus bar 40 may be enhanced. The pressing part 87 may include, for example, a screw.

일 예로, 제2 절연재(85)는 조각으로 구분되어 각각 제2 바닥부(83)의 바닥면(83a), 제2-1 가이드부(81)의 측면 및 제2-2 가이드부(82)의 측면 상에 배치될 수 있다. 다른 예로서, 제2 절연재(85)는 일체로 형성되어 제2 바닥부(83)의 바닥면(83a), 제2-1 가이드부(81)의 측면 및 제2-2 가이드부(82)의 측면 상에 배치될 수 있다.For example, the second insulating material 85 is divided into pieces so that the bottom surface 83a of the second bottom part 83, the side surface of the 2-1 guide part 81, and the 2-2 guide part 82 are respectively divided into pieces. may be disposed on the side of As another example, the second insulating material 85 is integrally formed to form the bottom surface 83a of the second bottom part 83 , the side surfaces of the 2-1 guide part 81 , and the 2-2 guide part 82 . may be disposed on the side of

일 예로, 제2 절연재(85)는 제2 수납부(80)에 고정될 수 있다. 다른 예로, 제2 절연재(85)는 제2 수납부(80)에 단지 배치되고 필요시 탈착이 가능할 수도 있다. As an example, the second insulating material 85 may be fixed to the second accommodating part 80 . As another example, the second insulating material 85 may be disposed only in the second receiving part 80 and may be detachable if necessary.

부스바장치는 제1 연결부스바(50)와 제2 연결부스바(55)를 포함할 수 있다. 제1 연결부스바(50)와 제2 연결부스바(55)는 금속을 포함할 수 있다. 예컨대, 제1 연결부스바(50)와 제2 연결부스바(55)는 구리(Cu)를 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The bus bar device may include a first connecting bus bar 50 and a second connecting bus bar 55 . The first connecting bus bar 50 and the second connecting bus bar 55 may include metal. For example, the first connecting bus bar 50 and the second connecting bus bar 55 may include copper (Cu), but is not limited thereto.

제1 연결부스바(50)는 정류기(150)의 음극단자(151)와 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 연결부스바(55)는 정류기(150)의 양극단자(152)와 전기적으로 연결될 수 있다. The first connection bus bar 50 may be electrically connected to the negative terminal 151 of the rectifier 150 . The second connection bus bar 55 may be electrically connected to the positive terminal 152 of the rectifier 150 .

실시예에 따르면, 정류기(150)와 전해조(20)(또는 전해액(25)) 사이를 전기적으로 연결하기 위해 단지 2개의 부스바, 즉 제1 연결부스바(50)와 제2 연결부스바(55)만 구비되므로, 종래에 수많은 케이블이 구비되는 것에 비해 구조가 매우 단순해지고, 음(-)전류를 공급하는 케이블과 양(+)전류를 공급하는 케이블이 서로 접촉되거나 뒤엉켜 케이블이 소손되는 문제를 해결할 수 있다. According to the embodiment, there are only two busbars, i.e., the first connecting bus bar 50 and the second connecting bus bar 55, to electrically connect between the rectifier 150 and the electrolytic cell 20 (or the electrolyte 25). only, the structure is very simple compared to conventionally provided with numerous cables, and the cable supplying negative (-) current and the cable supplying positive (+) current are in contact with each other or are tangled to solve the problem of cable burnout can

부스바장치는 음극플레이트(100)를 포함할 수 있다. The busbar device may include a negative electrode plate 100 .

음극플레이트(100)는 정류기(150)의 음극단자(151)로부터 제공된 음(-)전류를 전해액(25)으로 공급하는 역할을 할 수 있다. 음극플레이트(100)는 전해액(25)에 고정시킬 수 없다. 따라서, 음극플레이트(100)는 도 5에 도시한 바와 같이, 대상재(11) 상에 배치될 수 있다. 음극플레이트(100)는 대상재(11)에 전 영역에 배치될 수 있다. 예컨대, 음극플레이트(100)는 서로 격자 형상으로 결합된 복수의 전극바(102)를 포함할 수 있다. 예컨대, 서로 이격된 복수의 가로전극바와 가로전극바와 교차하고 서로 이격된 복수의 세로전극바가 예컨대, 클램프(122)와 같은 체결 수단을 통해 체결될 수 있다. 클램프(122)를 통해 가로전극바와 세로전극바가 체결되므로, 대상재(11)에 대한 전해연마가 완료된 후 클램프(122)의 체결 해제를 통해 가로전극바와 세로전극바의 해체가 용이해질 수 있다. The negative electrode plate 100 may serve to supply a negative (-) current provided from the negative terminal 151 of the rectifier 150 to the electrolyte 25 . The negative electrode plate 100 cannot be fixed to the electrolyte 25 . Accordingly, the negative electrode plate 100 may be disposed on the target material 11 as shown in FIG. 5 . The negative electrode plate 100 may be disposed over the entire area of the target material 11 . For example, the negative electrode plate 100 may include a plurality of electrode bars 102 coupled to each other in a lattice shape. For example, a plurality of horizontal electrode bars spaced apart from each other and a plurality of vertical electrode bars intersecting with each other and spaced apart from each other may be fastened through a fastening means such as, for example, a clamp 122 . Since the horizontal electrode bar and the vertical electrode bar are fastened through the clamp 122 , the horizontal electrode bar and the vertical electrode bar can be easily disassembled by releasing the clamp 122 after the electrolytic polishing of the target material 11 is completed.

대상재(11)가 크므로, 대상재(11)는 호이스트장치(미도시)에 의해 승강될 수 있다. 예컨대, 도 5에 도시한 바와 같이, 대상재(11)가 호이스트장치에 연결된 연결와이어(170, 172)에 의해 체결된 후, 호이스트장치의 구동에 의해 전해조(20)의 전해액(25)에 수용되거나 전해액(25)으로부터 꺼내질 수 있다. Since the target material 11 is large, the target material 11 can be raised and lowered by a hoist device (not shown). For example, as shown in FIG. 5, after the target material 11 is fastened by the connection wires 170 and 172 connected to the hoist device, the electrolyte 25 of the electrolytic cell 20 is accommodated by the driving of the hoist device. or may be taken out of the electrolyte 25 .

호이스트장치에 의해 대상재(11)는 전해연마를 위해 이전 공정으로부터 전해조(20)로 이동되거나 다음 공정을 위해 전해조(20)로부터 다음 공정 장치로 이동될 수 있다. By the hoist device, the target material 11 may be moved from the previous process to the electrolytic cell 20 for electrolytic polishing or moved from the electrolytic cell 20 to the next process device for the next process.

대상재(11)가 양극으로서, 정류기(150)의 양극단자(152)로부터 양(+)전류를 공급받으므로, 음(-)전류를 공급받는 음극플레이트(100)는 대상재(11)와 접하면 전기적인 쇼트가 발생될 수 있다. 따라서, 음극플레이트(100)는 대상재(11)로부터 이격되어 배치되거나 음극플레이트(100)와 대상재(11) 사이에 절연부재(미도시)가 배치될 수 있다. Since the target material 11 is a positive electrode, and receives a positive (+) current from the positive terminal 152 of the rectifier 150, the negative electrode plate 100 supplied with a negative (-) current is the target material 11 and Contact may cause an electrical short. Accordingly, the negative electrode plate 100 may be disposed to be spaced apart from the target material 11 , or an insulating member (not shown) may be disposed between the negative electrode plate 100 and the target material 11 .

부스바장치는 제1 플레이트바(105)와 제2 플레이트바(115)를 포함할 수 있다. The bus bar device may include a first plate bar 105 and a second plate bar 115 .

제1 플레이트바(105)는 음극부스바(30)와 음극플레이트(100)를 전기적으로 연결시키고, 제2 플레이트바(115)는 양극부스바(40)와 대상재(11)를 전기적으로 연결시킬 수 있다. The first plate bar 105 electrically connects the anode bus bar 30 and the cathode plate 100 , and the second plate bar 115 electrically connects the anode bus bar 40 and the target material 11 . can do it

도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 제1 플레이트바(105)와 음극부스바(30) 사이의 체결 및 제1 플레이트바(105)와 음극플레이트(100) 사이의 체결은 클램프(120, 122)와 같은 체결 수단에 의해 수행될 수 있다. 아울러, 제2 플레이트바(115)와 양극부스바(40) 사이의 체결 및 제2 플레이트바(115)와 대상재(11) 사이의 체결은 클램프(121)와 같은 체결 수단에 의해 수행될 수 있다. As shown in FIGS. 4 and 5, the fastening between the first plate bar 105 and the negative electrode bus bar 30 and the fastening between the first plate bar 105 and the negative electrode plate 100 are performed by a clamp 120, 122), such as fastening means. In addition, the fastening between the second plate bar 115 and the anode bus bar 40 and the fastening between the second plate bar 115 and the target material 11 may be performed by fastening means such as the clamp 121 . have.

도시되지 않았지만, 대상재(11)에 접하도록 양극플레이트가 배치되고, 이 양극플레이트가 제2 플레이트바(115)와 전기적으로 연결될 수도 있다. 양극플레이트와 제2 플레이트바(115) 사이의 체결은 클램프나 스크류와 같은 체결 수단에 의해 수행될 수 있다. Although not shown, a positive electrode plate is disposed to be in contact with the target material 11 , and the positive electrode plate may be electrically connected to the second plate bar 115 . The fastening between the anode plate and the second plate bar 115 may be performed by fastening means such as clamps or screws.

제1 플레이트바(105)는 복수로 구비되어, 전해조(20)의 측부(21) 둘레를 따라 배치된 음극부스바(30)의 서로 상이한 영역과 음극플레이트(100)의 서로 상이한 영역을 전기적으로 연결시킬 수 있다. 예컨대, 하나의 플레이트바는 음극부스바(30)의 제1 영역과 음극플레이트(100)의 제1 영역을 전기적으로 연결시키고, 다른 플레이트바는 음극부스바(30)의 제2 영역과 음극플레이트(100)의 제2 영역을 전기적으로 연결시킬 수 있다. A plurality of first plate bars 105 are provided to electrically separate different regions of the negative electrode bus bar 30 and different regions of the negative electrode plate 100 disposed along the periphery of the side portion 21 of the electrolytic cell 20 . can be connected For example, one plate bar electrically connects the first area of the negative electrode bus bar 30 and the first area of the negative electrode plate 100 , and the other plate bar connects the second area of the negative electrode bus bar 30 and the negative electrode plate. The second regions of ( 100 ) may be electrically connected.

제2 플레이트바(115)는 복수로 구비되어, 전해조(20)의 측부(21) 둘레를 따라 배치된 양극부스바(40)의 서로 상이한 영역과 대상재(11)의 서로 상이한 영역을 전기적으로 연결시킬 수 있다.The second plate bar 115 is provided in plurality to electrically connect different regions of the anode bus bar 40 disposed along the periphery of the side portion 21 of the electrolytic cell 20 and different regions of the target material 11 . can be connected

상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.The above detailed description should not be construed as restrictive in all respects and should be considered as illustrative. The scope of the embodiments should be determined by a reasonable interpretation of the appended claims, and all modifications within the equivalent scope of the embodiments are included in the scope of the embodiments.

10: 전해연마장치
11: 대상재
20: 전해조
21: 측부
25: 전해액
30: 음극부스바
33, 43: 절연부재
40: 양극부스바
50, 55: 연결부스바
60: 브라켓
70: 제1 수납부
71, 72, 81, 82: 가이드부
73, 83: 바닥부
73a, 83a: 바닥면
75: 제1 절연재
77, 87: 가압부
80: 제2 수납부
85: 제2 절연재
90: 고정부
100: 음극플레이트
102: 전극바
105: 제1 플레이트바
115: 제2 플레이트바
120, 121, 122: 클램프
150: 정류기
151: 음극단자
152: 양극단자
170, 172: 연결와이어10: electrolytic polishing device
11: Target material
20: electrolyzer
21: side
25: electrolyte
30: cathode bus bar
33, 43: insulating member
40: anode bus bar
50, 55: connecting bus bar
60: bracket
70: first storage unit
71, 72, 81, 82: guide part
73, 83: bottom
73a, 83a: bottom surface
75: first insulating material
77, 87: pressure part
80: second storage unit
85: second insulating material
90: fixed part
100: negative electrode plate
102: electrode bar
105: first plate bar
115: second plate bar
120, 121, 122: clamp
150: rectifier
151: negative terminal
152: positive terminal
170, 172: connecting wire

Claims

a cathode bus bar disposed along the periphery of the side of the electrolytic cell in which the electrolytic solution for electropolishing the target material is accommodated;
an anode bus bar disposed along the periphery of the side of the electrolytic cell;
a first connection bus bar electrically connecting the negative terminal of the rectifier and the negative bus bar;
a second connection bus bar electrically connecting the positive terminal of the rectifier and the positive bus bar; and
A bracket including a first accommodating part and a second accommodating part,
The first connecting bus bar and the second connecting bus bar are disposed on the outside of the electrolytic cell,
The cathode bus bar is disposed in the first receiving portion,
The anode bus bar is a bus bar device disposed in the second accommodating part.

delete

According to claim 1,
The bracket is
One side includes a fixing part fixed to the electrolytic cell,
A busbar device in which the first accommodating part, the second accommodating part, and the fixing part are integrally formed.

According to claim 1,
The bracket is
a first insulating material on an inner surface of the first accommodating part; and
A busbar device including a second insulating material on an inner surface of the second receiving part.

According to claim 1,
A busbar device in which an upper surface of the first accommodating part is positioned on the same line as a bottom surface of the second accommodating part.

According to claim 1,
a negative electrode plate disposed to be spaced apart from the target material; and
and a first plate bar connecting the negative bus bar and the negative electrode plate.

7. The method of claim 6,
and a second plate bar connecting the anode bus bar and the target material.