KR102242893B1 - Display Device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 표시패널과 구동부를 포함한다. 표시패널에는 서브 픽셀이 포함되며, 영상을 표시한다. 구동부는 표시패널을 구동하며, 표시패널의 서브 픽셀에 구동신호를 공급한다. 서브 픽셀은 하부기판 상에 형성된 데이터라인에 중첩된 박막 트랜지스터를 포함한다.The present invention includes a display panel and a driver. The display panel includes sub-pixels and displays an image. The driver drives the display panel and supplies driving signals to sub-pixels of the display panel. The sub-pixel includes a thin film transistor overlapping a data line formed on a lower substrate.

Description

표시장치{Display Device}Display Device

본 발명은 표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display device.

정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Diode Display: OLED) 및 플라즈마액정패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다.As information technology develops, the market for display devices, which is a connection medium between users and information, is growing. Accordingly, a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting diode display (OLED), a plasma display panel (PDP), etc. ) Is on the rise.

앞서 설명한 표시장치 중 일부 예컨대, 액정표시장치나 유기전계발광표시장치에는 매트릭스 형태로 배치된 복수의 서브 픽셀을 포함하는 표시패널과 표시패널을 구동하는 구동부가 포함된다. 구동부에는 표시패널에 스캔신호(또는 게이트신호)를 공급하는 스캔 구동부 및 표시패널에 데이터신호를 공급하는 데이터 구동부 등이 포함된다.Some of the above-described display devices, for example, a liquid crystal display device or an organic light emitting display device, include a display panel including a plurality of sub-pixels arranged in a matrix form and a driver driving the display panel. The driver includes a scan driver that supplies a scan signal (or a gate signal) to the display panel, and a data driver that supplies a data signal to the display panel.

위와 같은 표시장치는 매트릭스 형태로 배치된 서브 픽셀들이 포함된 표시패널에 스캔신호 및 데이터신호 등이 공급되면, 선택된 서브 픽셀이 발광을 하게 됨으로써 영상을 표시할 수 있게 된다.In the above display device, when a scan signal and a data signal are supplied to a display panel including sub-pixels arranged in a matrix form, the selected sub-pixel emits light, thereby displaying an image.

한편, 액정표시장치나 유기전계발광표시장치는 고해상도 및 대형화 추세에 대응하여 표시패널에 포함된 서브 픽셀의 투과율과 개구율을 향상시켜야 함은 물론 생산 수율 등을 향상하기 위해 마스크 공정을 저감해야 하는 등의 문제가 대두하고 있다.On the other hand, liquid crystal display devices or organic light emitting display devices need to improve the transmittance and aperture ratio of sub-pixels included in the display panel in response to the trend of increasing high resolution and size, as well as reducing the mask process to improve production yield, etc. The problem of is emerging.

상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 표시패널에 포함된 서브 픽셀의 투과율과 개구율을 향상시키고, 생산 수율 등을 향상하기 위해 마스크 공정을 저감함과 더불어 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 표시장치를 제공하는 것이다.The present invention for solving the problems of the above-described background technology improves the transmittance and aperture ratio of the sub-pixels included in the display panel, reduces the mask process to improve the production yield, etc., and improves the reliability of the device. It is to provide a display device.

상술한 과제 해결 수단으로 본 발명은 표시패널과 구동부를 포함한다. 표시패널에는 서브 픽셀이 포함되며, 영상을 표시한다. 구동부는 표시패널을 구동하며, 표시패널의 서브 픽셀에 구동신호를 공급한다. 서브 픽셀은 하부기판 상에 형성된 데이터라인에 중첩된 박막 트랜지스터를 포함한다.As a means for solving the above problems, the present invention includes a display panel and a driving unit. The display panel includes sub-pixels and displays an image. The driver drives the display panel and supplies driving signals to sub-pixels of the display panel. The sub-pixel includes a thin film transistor overlapping a data line formed on a lower substrate.

박막 트랜지스터는 데이터라인에 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 수직 중첩될 수 있다.In the thin film transistor, a drain region, a channel region, and a source region may vertically overlap a data line.

박막 트랜지스터는 드레인전극과 소오스전극의 형상 및 위치가 비대칭할 수 있다.In the thin film transistor, the shape and position of the drain electrode and the source electrode may be asymmetric.

박막 트랜지스터는 드레인전극과 소오스전극이 서로 다른 높이에 위치하게 되고, 드레인전극과 소오스전극 중 하나는 채널영역과 동일한 높이에 위치할 수 있다.In the thin film transistor, the drain electrode and the source electrode may be positioned at different heights, and one of the drain electrode and the source electrode may be positioned at the same height as the channel region.

박막 트랜지스터는 채널영역이 데이터라인에 대응하여 직선을 이루거나 서브 픽셀의 개구영역을 향하도록 사선을 이룰 수 있다.In the thin film transistor, the channel region may form a straight line corresponding to the data line or may form an oblique line toward the opening region of the sub-pixel.

박막 트랜지스터는 드레인전극과 소오스전극 중 하나가 서브 픽셀의 개구영역까지 연장되어 화소전극이 될 수 있다.In the thin film transistor, one of the drain electrode and the source electrode may extend to an opening area of the sub-pixel to become a pixel electrode.

표시패널은 제1서브 픽셀을 포함하고, 제1서브 픽셀은 하부기판 상에 형성된 제i데이터라인과, 제i데이터라인 상에 위치하고 제i데이터라인에 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 수직 중첩된 박막 트랜지스터를 포함할 수 있다.The display panel includes a first sub-pixel, and the first sub-pixel is positioned on the i-th data line and the i-th data line formed on the lower substrate, and the drain region, the channel region, and the source region are vertically overlapped with the i-th data line. It may include a thin film transistor.

표시패널은 제1서브 픽셀의 하부에 위치하는 제2서브 픽셀을 포함하고, 제2서브 픽셀은 하부기판 상에 형성된 제i데이터라인과, 제i데이터라인 상에 위치하고 제i데이터라인에 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 수직 중첩된 박막 트랜지스터를 포함하고, 제1서브 픽셀은 제j게이트라인에 연결되고 제2서브 픽셀은 제j게이트라인의 다음 라인에 위치하는 제k게이트라인에 연결될 수 있다.The display panel includes a second sub-pixel located under the first sub-pixel, and the second sub-pixel includes an i-th data line formed on a lower substrate, and a drain region located on the i-th data line. , A thin film transistor in which the channel region and the source region are vertically overlapped, and the first sub-pixel is connected to the j-th gate line, and the second sub-pixel is connected to the k-th gate line located on the next line of the j-th gate line. have.

표시패널은 제1서브 픽셀의 하부에 위치하는 제2서브 픽셀을 포함하고, 제2서브 픽셀은 제i데이터라인과 인접하는 제j데이터라인과, 제j데이터라인 상에 위치하고 제j데이터라인에 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 수직 중첩된 박막 트랜지스터를 포함하고, 제1서브 픽셀과 제2서브 픽셀은 제j게이트라인에 공통으로 연결될 수 있다.The display panel includes a second sub-pixel positioned below the first sub-pixel, and the second sub-pixel is positioned on the j-th data line and the j-th data line adjacent to the i-th data line. A thin film transistor in which a drain region, a channel region, and a source region are vertically overlapped may be included, and the first sub-pixel and the second sub-pixel may be commonly connected to the j-th gate line.

서브 픽셀은 하부기판 상에 형성된 데이터금속과, 데이터금속 상에 형성되고 데이터금속을 노출하는 제1콘택홀을 갖는 적어도 하나의 하부 절연막과, 절연막 상에 형성되고 데이터금속에 연결된 반도체층과, 반도체층 상에 형성되고 제1콘택홀과 인접하는 위치에 형성된 상부 절연막과, 상부 절연막 상에 형성된 게이트금속을 포함할 수 있다.The sub-pixel includes a data metal formed on a lower substrate, at least one lower insulating film formed on the data metal and having a first contact hole exposing the data metal, a semiconductor layer formed on the insulating film and connected to the data metal, and a semiconductor It may include an upper insulating layer formed on the layer and formed at a position adjacent to the first contact hole, and a gate metal formed on the upper insulating layer.

본 발명은 박막 트랜지스터가 종래와 같이 개구영역 내에 존재하지 않고 비개구영역에 해당하는 데이터라인과 중첩하도록 형성되므로 서브 픽셀의 투과율과 개구율을 모두 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 하부기판의 바로 위에 데이터금속을 형성하고 박막 트랜지스터의 반도체층을 외광으로부터 보호하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 박막 트랜지스터의 구조 및 공정을 혁신적으로 변경함에 따라 전극이나 전극 간의 접촉 구조를 간소화할 수 있게 되어 증착 공정, 포토 공정, 마스크 공정 등을 생략할 수 있게 되므로 생산 수율을 향상시킬 수 있다.In the present invention, since the thin film transistor does not exist in the open area as in the related art, but is formed to overlap the data line corresponding to the non-open area, both the transmittance and the aperture ratio of the sub-pixel can be improved. In addition, according to the present invention, the data metal is formed directly on the lower substrate and the semiconductor layer of the thin film transistor is protected from external light, thereby improving the reliability of the device. In addition, according to the present invention, as the structure and process of the thin film transistor are innovatively changed, the electrode or the contact structure between electrodes can be simplified, so that the deposition process, the photo process, the mask process, etc. can be omitted, thereby improving the production yield. have.

도 1은 액정표시장치를 개략적으로 나타낸 블록도.
도 2는 도 1에 도시된 서브 픽셀을 개략적으로 나타낸 회로도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 서브 픽셀의 평면도.
도 4는 본 발명의 제1실시예의 변형예에 따른 서브 픽셀의 평면도.
도 5 내지 도 9는 도 3 및 도 4의 A1-A2 영역을 나타낸 단면도.
도 10은 본 발명의 제1실시예의 또 다른 변형예에 따른 서브 픽셀의 평면도.
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 서브 픽셀의 평면도.
도 12 내지 도 15는 도 11의 B1-B2 영역을 나타낸 단면도.
도 16은 도 11의 C1-C2 영역을 나타낸 단면도.
1 is a block diagram schematically showing a liquid crystal display device.
FIG. 2 is a circuit diagram schematically showing a sub-pixel shown in FIG. 1;
3 is a plan view of a sub-pixel according to the first embodiment of the present invention.
4 is a plan view of a sub-pixel according to a modified example of the first embodiment of the present invention.
5 to 9 are cross-sectional views illustrating regions A1-A2 of FIGS. 3 and 4.
10 is a plan view of a sub-pixel according to another modified example of the first embodiment of the present invention.
11 is a plan view of a sub-pixel according to a second embodiment of the present invention.
12 to 15 are cross-sectional views illustrating regions B1-B2 of FIG. 11.
16 is a cross-sectional view showing a region C1-C2 of FIG. 11;

이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, specific details for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이하에서 설명되는 표시장치는 소형(예: 스마트폰, 시계 등), 중형(예: 모니터, 텔레비전 등) 및 대형(예: 텔레비전 등) 모델로 구현된다. 또한, 이하에서 설명되는 표시장치는 표시패널 및 표시패널에 구동신호를 공급하는 구동부(게이트구동부, 데이터구동부) 등을 포함한다. 또한, 이하에서 설명되는 표시장치는 표시패널의 구조 및 구성에 따라 액정표시장치나 유기전계발광표시장치 등으로 구현된다.The display devices described below are implemented in small (eg, smart phones, watches, etc.), medium (eg, monitors, televisions, etc.) and large (eg, televisions) models. In addition, the display device described below includes a display panel and a driver (gate driver, data driver) that supplies driving signals to the display panel. In addition, the display device described below is implemented as a liquid crystal display device or an organic light emitting display device according to the structure and configuration of the display panel.

이하 본 발명에서는 설명의 편의를 위해 표시장치 중 하나인 액정표시장치를 일례로 설명한다. 구체적으로, 제1실시예는 IPS(In Plane Switching) 모드를 그리고 제2실시예는 TN(Twisted Nematic) 모드를 일례로 설명하나 다른 모드에 사용될 수도 있다. 아울러, 이하에서 설명되는 박막 트랜지스터는 유기전계발광표시장치의 표시패널에 포함된 스위칭 트랜지스터나 보상 트랜지스터 등에도 사용될 수 있다.Hereinafter, in the present invention, for convenience of description, a liquid crystal display, which is one of the display devices, will be described as an example. Specifically, the first embodiment describes an IPS (In Plane Switching) mode and the second embodiment describes a TN (Twisted Nematic) mode as an example, but may be used in other modes. In addition, the thin film transistor described below may also be used for a switching transistor or a compensation transistor included in a display panel of an organic light emitting display device.

<제1실시예><First Example>

도 1은 액정표시장치를 개략적으로 나타낸 블록도이고, 도 2는 도 1에 도시된 서브 픽셀을 개략적으로 나타낸 회로도이다.1 is a block diagram schematically illustrating a liquid crystal display device, and FIG. 2 is a circuit diagram schematically illustrating a sub-pixel illustrated in FIG. 1.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 액정표시장치에는 타이밍제어부(130), 게이트구동부(140), 데이터구동부(150), 액정패널(160) 및 백라이트유닛(170)이 포함된다.1 and 2, the liquid crystal display device includes a timing control unit 130, a gate driving unit 140, a data driving unit 150, a liquid crystal panel 160, and a backlight unit 170.

타이밍제어부(130)는 게이트구동부(140)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 타이밍 제어신호(GDC)와 데이터구동부(150)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 데이터 타이밍 제어신호(DDC)를 출력한다. 타이밍제어부(130)는 데이터 타이밍 제어신호(DDC)와 함께 영상처리부(110)로부터 공급된 데이터신호(또는 데이터전압)(DATA)를 데이터구동부(150)에 공급한다.The timing control unit 130 outputs a gate timing control signal GDC for controlling the operation timing of the gate driving unit 140 and a data timing control signal DDC for controlling the operation timing of the data driving unit 150. The timing control unit 130 supplies the data signal (or data voltage) DATA supplied from the image processing unit 110 together with the data timing control signal DDC to the data driver 150.

게이트구동부(140)는 타이밍제어부(130)로부터 공급된 게이트 타이밍 제어신호(GDC)에 응답하여 게이트전압의 레벨을 시프트시키면서 게이트신호를 출력한다. 게이트구동부(140)는 게이트라인들(GL)을 통해 액정패널(160)에 포함된 서브 픽셀들(SP)에 게이트신호를 공급한다. 게이트구동부(140)는 IC(Integrated Circuit) 형태로 형성되거나 액정패널(160)에 게이트인패널(Gate In Panel) 방식으로 형성된다.The gate driver 140 outputs a gate signal while shifting the level of the gate voltage in response to the gate timing control signal GDC supplied from the timing control unit 130. The gate driver 140 supplies a gate signal to the sub-pixels SP included in the liquid crystal panel 160 through the gate lines GL. The gate driver 140 is formed in the form of an integrated circuit (IC) or formed on the liquid crystal panel 160 in a gate in panel (Gate In Panel) method.

데이터구동부(150)는 타이밍제어부(130)로부터 공급된 데이터 타이밍 제어신호(DDC)에 응답하여 데이터신호(DATA)를 샘플링하고 래치하며 감마 기준전압으로 변환하여 출력한다. 데이터구동부(150)는 데이터라인들(DL)을 통해 액정패널(160)에 포함된 서브 픽셀들(SP)에 데이터신호(DATA)를 공급한다. 데이터구동부(150)는 IC(Integrated Circuit) 형태로 형성된다.The data driver 150 samples and latches the data signal DATA in response to the data timing control signal DDC supplied from the timing control unit 130, converts it to a gamma reference voltage, and outputs the sample. The data driver 150 supplies a data signal DATA to the sub-pixels SP included in the liquid crystal panel 160 through the data lines DL. The data driver 150 is formed in the form of an integrated circuit (IC).

액정패널(160)은 게이트구동부(140)로부터 공급된 게이트신호와 데이터구동부(150)로부터 공급된 데이터신호(DATA)에 대응하여 영상을 표시한다. 액정패널(160)은 백라이트유닛(170)을 통해 제공된 광을 제어하는 서브 픽셀들(SP)이 포함된다.The liquid crystal panel 160 displays an image in response to the gate signal supplied from the gate driver 140 and the data signal DATA supplied from the data driver 150. The liquid crystal panel 160 includes sub-pixels SP that control light provided through the backlight unit 170.

하나의 서브 픽셀에는 스위칭 트랜지스터(SW), 스토리지 커패시터(Cst) 및 액정층(Clc)이 포함된다. 스위칭 트랜지스터(SW)의 게이트전극은 게이트라인(GL1)에 연결되고 소오스전극은 데이터라인(DL1)에 연결된다. 스토리지 커패시터(Cst)는 스위칭 트랜지스터(SW)의 드레인전극에 일단이 연결되고 공통전압라인(Vcom)에 타단이 연결된다. 액정층(Clc)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 드레인전극에 연결된 화소전극(1)과 공통전압라인(Vcom)에 연결된 공통전극(2) 사이에 형성된다.One sub-pixel includes a switching transistor SW, a storage capacitor Cst, and a liquid crystal layer Clc. The gate electrode of the switching transistor SW is connected to the gate line GL1 and the source electrode is connected to the data line DL1. The storage capacitor Cst has one end connected to the drain electrode of the switching transistor SW and the other end connected to the common voltage line Vcom. The liquid crystal layer Clc is formed between the pixel electrode 1 connected to the drain electrode of the switching transistor SW and the common electrode 2 connected to the common voltage line Vcom.

액정패널(160)은 화소전극(1) 및 공통전극(2)의 구조에 따라 TN(Twisted Nematic) 모드, VA(Vertical Alignment) 모드, IPS(In Plane Switching) 모드, FFS(Fringe Field Switching) 모드 또는 ECB(Electrically Controlled Birefringence) 모드로 구현된다.The liquid crystal panel 160 is a TN (Twisted Nematic) mode, VA (Vertical Alignment) mode, IPS (In Plane Switching) mode, FFS (Fringe Field Switching) mode according to the structure of the pixel electrode 1 and the common electrode 2 Alternatively, it is implemented in an Electrically Controlled Birefringence (ECB) mode.

백라이트유닛(170)은 광을 출사하는 광원 등을 이용하여 액정패널(160)에 광을 제공한다. 백라이트유닛(170)은 발광다이오드(이하 LED), LED를 구동하는 LED구동부, LED가 실장된 LED기판, LED로부터 출사된 광을 면광원으로 변환시키는 도광판, 도광판의 하부에서 광을 반사시키는 반사판, 도광판으로부터 출사된 광을 집광 및 확산하는 광학시트류 등이 포함된다.The backlight unit 170 provides light to the liquid crystal panel 160 using a light source or the like that emits light. The backlight unit 170 includes a light-emitting diode (hereinafter, referred to as LED), an LED driver for driving the LED, an LED substrate on which the LED is mounted, a light guide plate for converting light emitted from the LED into a surface light source, a reflector for reflecting light from the lower portion of the light guide plate, And optical sheets for condensing and diffusing light emitted from the light guide plate.

이하, 서브 픽셀의 평면도 및 단면도를 참조하여 본 발명의 제1실시예를 구체화한다.Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be embodied with reference to a plan view and a cross-sectional view of a sub pixel.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 서브 픽셀의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예의 변형예에 따른 서브 픽셀의 평면도이며, 도 5 내지 도 9는 도 3 및 도 4의 A1-A2 영역을 나타낸 단면도이고, 도 10은 본 발명의 제1실시예의 또 다른 변형예에 따른 서브 픽셀의 평면도이다.3 is a plan view of a sub-pixel according to a first embodiment of the present invention, FIG. 4 is a plan view of a sub-pixel according to a modified example of the first embodiment of the present invention, and FIGS. 5 to 9 are A cross-sectional view showing areas A1-A2, and FIG. 10 is a plan view of a sub-pixel according to still another modified example of the first embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따르면 서브 픽셀들(SP11, SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터들(TFT)은 비개구영역에 형성된다. 비개구영역에는 서브 픽셀들(SP11, SP21)에 데이터신호를 전달하는 데이터라인들(DLi ~ DLj)과 게이트라인들(GLi ~ GLk)이 포함된다.As shown in FIG. 3, according to the first embodiment of the present invention, thin film transistors TFT driving the subpixels SP11 and SP21 are formed in the non-opening area. The non-opening area includes data lines DLi to DLj and gate lines GLi to GLk that transmit data signals to the subpixels SP11 and SP21.

제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)를 기준으로 설명하면, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)(또는 서브 픽셀의 장축 방향)에 형성되어 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다. 구체적으로, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)에 형성되어 드레인영역(DA), 채널영역(CHA) 및 소오스영역(SA)이 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다. CH1은 데이터라인과 박막 트랜지스터(TFT)의 반도체층이 접촉하는 콘택홀을 의미한다.Referring to the thin film transistor TFT that drives the eleventh sub-pixel SP11, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y (or the major axis direction of the sub-pixel) to form the i-th data line DLi. ) In the vertical (or up and down) direction. Specifically, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y so that the drain region DA, the channel region CHA, and the source region SA are perpendicular to (or up and down) the ith data line DL. It will overlap in the direction. CH1 refers to a contact hole in which the data line and the semiconductor layer of the thin film transistor (TFT) contact.

제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)를 설명하면, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)(또는 서브 픽셀의 장축 방향)에 형성되어 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다. 구체적으로, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)에 형성되어 드레인영역(DA), 채널영역(CHA) 및 소오스영역(SA)이 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다.When describing the thin film transistor TFT that drives the 21st sub-pixel SP21, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y (or the major axis direction of the sub-pixel) and is connected to the i-th data line DLi. They overlap in one vertical (or vertical) direction. Specifically, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y so that the drain region DA, the channel region CHA, and the source region SA are perpendicular to (or up and down) the ith data line DL. It will overlap in the direction.

제11서브 픽셀(SP11)과 제11서브 픽셀(SP11)의 하부에 위치하는 제21서브 픽셀(SP21)은 제j게이트라인(GLj)에 의해 상하로 구분된다. 제11서브 픽셀(SP11)과 제21서브 픽셀(SP21)은 하나의 데이터라인을 공유하도록 제i데이터라인(DLi)에 공통으로 연결된다.The eleventh sub-pixel SP11 and the twenty-first sub-pixel SP21 positioned under the eleventh sub-pixel SP11 are vertically divided by the j-th gate line GLj. The eleventh sub-pixel SP11 and the 21st sub-pixel SP21 are commonly connected to the i-th data line DLi to share one data line.

제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 제i데이터라인(DLi)에 수직한 방향으로 중첩하도록 형성된다. 그러나, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 제j게이트라인(GLj)에 인접하여 형성된다. 반면, 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터는 도시되어 있지 않지만 제j게이트라인(GLj)의 다음 라인인 제k게이트라인(GLk)에 인접하여 형성된다. 즉, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 동일선상에서 상하로 구분되어 위치한다.The thin film transistor TFT driving the eleventh subpixel SP11 and the thin film transistor TFT driving the 21th subpixel SP21 are formed to overlap in a direction perpendicular to the i-th data line DLi. However, the thin film transistor TFT driving the eleventh sub-pixel SP11 is formed adjacent to the j-th gate line GLj. On the other hand, the thin film transistor driving the 21st sub-pixel SP21 is not shown, but is formed adjacent to the k-th gate line GLk, which is the next line of the j-th gate line GLj. That is, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 are positioned up and down on the same line.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예의 변형예에 따르면 서브 픽셀들(SP11, SP21)에 포함된 박막 트랜지스터들(TFT)은 비개구영역에 형성된다. 비개구영역에는 서브 픽셀들(SP11, SP21)에 데이터신호를 전달하는 데이터라인들(DLi ~ DLj)과 게이트라인들(GLi ~ GLk)이 포함된다.As shown in FIG. 4, according to a modified example of the first embodiment of the present invention, the thin film transistors TFT included in the sub-pixels SP11 and SP21 are formed in the non-opening area. The non-opening area includes data lines DLi to DLj and gate lines GLi to GLk that transmit data signals to the subpixels SP11 and SP21.

제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)를 기준으로 설명하면, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)(또는 서브 픽셀의 장축 방향)에 형성되어 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다. 구체적으로, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)에 형성되어 드레인영역(DA), 채널영역(CHA) 및 소오스영역(SA)이 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다. CH1은 데이터라인과 박막 트랜지스터(TFT)의 반도체층이 접촉하는 콘택홀을 의미한다.Referring to the thin film transistor TFT that drives the eleventh sub-pixel SP11, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y (or the major axis direction of the sub-pixel) to form the i-th data line DLi. ) In the vertical (or up and down) direction. Specifically, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y so that the drain region DA, the channel region CHA, and the source region SA are perpendicular to (or up and down) the ith data line DL. It will overlap in the direction. CH1 refers to a contact hole in which the data line and the semiconductor layer of the thin film transistor (TFT) contact.

제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)를 설명하면, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)(또는 서브 픽셀의 장축 방향)에 형성되어 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다. 구체적으로, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)에 형성되어 드레인영역(DA), 채널영역(CHA) 및 소오스영역(SA)이 제i데이터라인(DLi)에 수직(또는 상하)한 방향으로 중첩하게 된다.When describing the thin film transistor TFT that drives the 21st sub-pixel SP21, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y (or the major axis direction of the sub-pixel) and is connected to the i-th data line DLi. They overlap in one vertical (or vertical) direction. Specifically, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y so that the drain region DA, the channel region CHA, and the source region SA are perpendicular to (or up and down) the ith data line DL. It will overlap in the direction.

제11서브 픽셀(SP11)과 제11서브 픽셀(SP11)의 하부에 위치하는 제21서브 픽셀(SP21)은 제j게이트라인(GLj)에 의해 상하로 구분된다. 제11서브 픽셀(SP11)은 제i데이터라인(DLi)에 연결되지만 제21서브 픽셀(SP21)은 옆 라인인 제j데이터라인(DLj)에 연결된다.The eleventh sub-pixel SP11 and the twenty-first sub-pixel SP21 positioned under the eleventh sub-pixel SP11 are vertically divided by the j-th gate line GLj. The eleventh sub-pixel SP11 is connected to the i-th data line DLi, but the 21st sub-pixel SP21 is connected to the j-th data line DLj, which is a side line.

제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 제i데이터라인(DLi)에 수직한 방향으로 중첩하도록 형성되고, 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 제j데이터라인(DLj)에 수직한 방향으로 중첩하도록 형성된다. 그러나, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터는 제j게이트라인(GLj)에 인접하여 형성된다.The thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 is formed to overlap in a direction perpendicular to the i-th data line DL, and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 is It is formed to overlap in a direction perpendicular to the j data line DLj. However, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor for driving the 21st sub-pixel SP21 are formed adjacent to the j-th gate line GLj.

제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 사선상에서 상하로 구분되어 위치한다. 그리고 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 하나의 게이트라인을 공유하도록 제j게이트라인(GLj)에 공통으로 연결된다.The thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 are positioned vertically on an oblique line. In addition, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 are common to the j-th gate line GLj so as to share one gate line. Connected.

이상의 설명을 통해 알 수 있듯이, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 하나의 데이터라인을 공유하도록 구현될 수 있다. 또한 이와 달리, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 하나의 게이트라인을 공유하도록 구현될 수 있다.As can be seen from the above description, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 may be implemented to share one data line. have. Also, unlike this, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 may be implemented to share one gate line.

이상의 설명과 같이 본 발명의 제1실시예는 박막 트랜지스터(TFT)가 종래와 같이 개구영역 내에 존재하지 않고 비개구영역에 해당하는 데이터라인과 수직한 방향으로 중첩하도록 형성되므로 서브 픽셀의 투과율과 개구율을 모두 향상시킬 수 있게 된다.As described above, in the first embodiment of the present invention, since the thin film transistor (TFT) does not exist in the open area as in the prior art and is formed to overlap in a direction perpendicular to the data line corresponding to the non-open area, the transmittance and aperture ratio of the sub-pixels You will be able to improve all of them.

위의 설명에서는 도 3과 같이 제2방향(x)(또는 서브 픽셀의 단축 방향)에서 보았을 때 서브 픽셀들을 구동하는 박막 트랜지스터들이 평행 방향으로 배치된 것을 일례로 하였다. 또한, 위의 설명에서는 도 4와 같이 제2방향(x)(또는 서브 픽셀의 단축 방향)에서 보았을 때 서브 픽셀들을 구동하는 박막 트랜지스터들이 사선 방향으로 배치된 것을 일례로 하였다.In the above description, as shown in FIG. 3, when viewed in the second direction (x) (or the short axis direction of the sub-pixel), thin film transistors driving the sub-pixels are arranged in a parallel direction as an example. In addition, in the above description, as shown in FIG. 4, when viewed in the second direction (x) (or the short axis direction of the sub-pixel), thin film transistors that drive the sub-pixels are arranged in a diagonal direction as an example.

그러나 이는 예시일 뿐, 박막 트랜지스터(TFT)과 데이터라인을 일치시킨 후 다른 소자나 서브 픽셀의 화소전극의 형상에 대응하여 박막 트랜지스터(TFT)의 위치를 변경할 수도 있다. 이 때문에, 본 발명의 제1실시예에서는 도 3과 도 5를 참조하며 박막 트랜지스터(TFT)의 위치를 달리한 평면도를 보여준 것이다.However, this is only an example, and after matching the thin film transistor TFT and the data line, the position of the thin film transistor TFT may be changed according to the shape of the pixel electrode of another device or sub-pixel. For this reason, in the first embodiment of the present invention, referring to FIGS. 3 and 5, a plan view showing different positions of the thin film transistors (TFTs) is shown.

한편, 위의 설명에서는 박막 트랜지스터(TFT)를 N타입으로 하였기 때문에 서브 픽셀의 개구영역에 반도체층의 소오스영역(SA)이 존재하는 것으로 도시한 것이다. 그러나 박막 트랜지스터(TFT)가 P타입인 경우 서브 픽셀의 개구영역에는 반도체층의 드레인영역(DA)이 존재하게 될 것이다.Meanwhile, in the above description, since the thin film transistor TFT is of the N type, it is shown that the source region SA of the semiconductor layer exists in the opening region of the sub-pixel. However, when the thin film transistor TFT is of the P type, the drain region DA of the semiconductor layer will exist in the opening region of the sub-pixel.

이하, 도 3 및 도 4의 A1-A2 영역의 단면도를 나타낸 도 5 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 제1실시예 및 이의 변형예에 대한 구조적 이해를 돕는다.Hereinafter, a structural understanding of the first embodiment of the present invention and a modified example thereof will be aided with reference to FIGS. 5 to 9 showing cross-sectional views of the area A1-A2 of FIGS. 3 and 4.

도 5에 도시된 바와 같이, 하부기판(160a) 상에 데이터금속(161)을 형성하고, 제i데이터라인영역을 따라 패터닝한다. 데이터금속(161)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나 또는 이들의 합금일 수 있으며, 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있다. 데이터금속(161)은 제1방향(도 3의 y 방향 참조)으로 형성된다. 패터닝된 데이터금속(161)은 제i데이터라인(DLi)이 된다.As shown in FIG. 5, a data metal 161 is formed on the lower substrate 160a, and patterned along the i-th data line area. Data metal 161 is one selected from the group consisting of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and copper (Cu), or an alloy thereof It may be, and may be made of a single layer or multiple layers. The data metal 161 is formed in a first direction (refer to the y direction in FIG. 3). The patterned data metal 161 becomes an i-th data line DLi.

이상과 같이 본 발명의 제1실시예는 하부기판(160a)의 바로 위에 데이터금속(161)이 형성되므로 이하에서 형성되는 박막 트랜지스터의 반도체층을 외광으로부터 보호할 수 있어 소자의 신뢰성을 향상할 수 있게 된다.As described above, in the first embodiment of the present invention, since the data metal 161 is formed directly on the lower substrate 160a, the semiconductor layer of the thin film transistor formed below can be protected from external light, thereby improving the reliability of the device. There will be.

도 6에 도시된 바와 같이, 하부기판(160a) 상에 데이터금속(161)을 덮도록 제1절연막(162)을 형성한다. 제1절연막(162)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층으로 이루어질 수 있다. 제1절연막(162)은 제1보호막으로 정의될 수 있다.As shown in FIG. 6, a first insulating layer 162 is formed on the lower substrate 160a to cover the data metal 161. The first insulating layer 162 may be formed of a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a double layer thereof. The first insulating layer 162 may be defined as a first protective layer.

제1절연막(162) 상에 제2절연막(163)을 형성한다. 제2절연막(163)은 폴리이미드(polyimide), 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene series resin), 아크릴레이트(acrylate), 포토아크릴(Photoacrylate) 등의 유기물로 이루어질 수 있다. 제2절연막(163)은 평탄화막으로 정의될 수 있고, 이는 공정 및 재료에 따라 생략될 수도 있다.A second insulating layer 163 is formed on the first insulating layer 162. The second insulating layer 163 may be made of an organic material such as polyimide, benzocyclobutene series resin, acrylate, and photoacrylate. The second insulating layer 163 may be defined as a planarization layer, which may be omitted depending on a process and a material.

데이터금속(161)이 노출되도록 제1콘택홀(CH1)을 형성한다. 제1콘택홀(CH1)은 하부기판(160a) 상에 제1절연막(162)과 제2절연막(163)을 형성한 후 일괄적으로 형성하거나 제1절연막(162)과 제2절연막(163)을 형성하는 중간에 개별적으로 형성할 수도 있다.A first contact hole CH1 is formed so that the data metal 161 is exposed. The first contact hole CH1 is formed collectively after forming the first insulating layer 162 and the second insulating layer 163 on the lower substrate 160a, or the first insulating layer 162 and the second insulating layer 163 It can also be individually formed in the middle of forming.

도 7에 도시된 바와 같이, 제2절연막(163) 상에 반도체층(164)을 형성한다. 반도체층(164)을 형성한 후, 일부는 데이터금속(161)과 수직 중첩함과 더불어 제1콘택홀(CH1)을 통해 데이터금속(161)과 연결(접촉)되고 남은 일부는 서브 픽셀의 개구영역까지 연장되도록 패터닝 한다. 반도체층(164)은 IGZO(indium gallium zinc oxide) 등과 같은 비정질 산화물 반도체로 이루어진다.7, a semiconductor layer 164 is formed on the second insulating layer 163. After the semiconductor layer 164 is formed, a portion of the semiconductor layer 164 is vertically overlapped with the data metal 161 and is connected (contacted) with the data metal 161 through the first contact hole CH1, and the remaining portion is an opening of the sub-pixel. Pattern to extend to the area. The semiconductor layer 164 is made of an amorphous oxide semiconductor such as indium gallium zinc oxide (IGZO).

도 8에 도시된 바와 같이, 반도체층(164) 상에 제3절연막(165)을 형성한다. 제3절연막(165)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층으로 이루어질 수 있다. 제3절연막(165)은 게이트절연막으로 정의될 수 있다.As shown in FIG. 8, a third insulating layer 165 is formed on the semiconductor layer 164. The third insulating layer 165 may be formed of a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a double layer thereof. The third insulating layer 165 may be defined as a gate insulating layer.

앞서 설명하였듯이, 제1 및 제2절연막(162, 163) 중 제2절연막(163)은 구조에 따라 생략될 수 있는바, 제1 및 제2절연막(162, 163)은 하부 절연막으로 그리고 제3절연막(165)은 상부 절연막으로 정의할 수도 있다.As described above, the second insulating layer 163 of the first and second insulating layers 162 and 163 may be omitted depending on the structure, and the first and second insulating layers 162 and 163 are used as the lower insulating layer and the third insulating layer 163. The insulating layer 165 may be defined as an upper insulating layer.

제3절연막(165)을 상에 게이트금속(166)을 형성하고, 제j게이트라인영역을 따라 패터닝한다. 게이트금속(166)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나 또는 이들의 합금일 수 있으며, 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있다. 게이트금속(166)은 제2방향(도 3의 x 방향 참조)으로 형성된다. 패터닝된 게이트금속(166)은 제j게이트라인(GLj)이 됨과 더불어 박막 트랜지스터(TFT)의 영역에서는 게이트전극이 된다.A gate metal 166 is formed on the third insulating layer 165 and patterned along the j-th gate line region. The gate metal 166 is one selected from the group consisting of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and copper (Cu), or an alloy thereof It may be, and may be made of a single layer or multiple layers. The gate metal 166 is formed in the second direction (refer to the x direction in FIG. 3 ). The patterned gate metal 166 becomes the j-th gate line GLj and becomes a gate electrode in the region of the thin film transistor TFT.

위의 공정을 수행하기 위해, 하부기판(160a) 상에 제3절연막(165)과 게이트금속(166)을 차례대로 형성하고, 제1콘택홀(CH1)과 인접하는 제j게이트라인영역에 대응하는 부분만 남도록 패터닝 한다. 이에 따라, 제3절연막(165)과 게이트금속(166)은 단면에서 보았을 때 제1콘택홀(CH1)과 인접하는 위치에서 섬(Island) 형태로 존재하게 된다. 그러나, 평면에서 보면 제3절연막(165)과 게이트금속(166)은 제2방향을 따라 길게 늘어선 라인 형태가 된다.To perform the above process, a third insulating layer 165 and a gate metal 166 are sequentially formed on the lower substrate 160a, and correspond to the j-th gate line region adjacent to the first contact hole CH1. Patterning is done so that only the part that is to be left remains. Accordingly, the third insulating layer 165 and the gate metal 166 exist in the form of an island at a position adjacent to the first contact hole CH1 when viewed in cross section. However, when viewed in plan view, the third insulating layer 165 and the gate metal 166 have a line shape that is elongated along the second direction.

한편, 게이트금속(166)을 패터닝 할 때에는 건식식각(Dry Etch)을 한다. 그러면, 반도체층(164)에서 제3절연막(165)에 의해 보호되는 채널영역(CHA)을 제외한 데이터금속(161)과 중첩 및 연결되는 부분(DA)과 같이 비개구영역에 존재하는 부분과 서브 픽셀의 개구영역으로 연장된 부분(SA)은 금속화(Metalization)된다.On the other hand, when patterning the gate metal 166, dry etching is performed. Then, in the semiconductor layer 164, except for the channel region CHA protected by the third insulating layer 165, the portion and sub-area existing in the non-opening region such as the portion DA overlapping and connected to the data metal 161 The portion SA extending to the opening area of the pixel is metalized.

반도체층(164)에서 데이터금속(161)과 중첩 및 연결되는 부분(DA)은 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인전극이 되고, 서브 픽셀의 개구영역으로 연장된 부분(SA)은 박막 트랜지스터(TFT)의 소오스전극이 됨과 동시에 화소전극이 된다. 즉, 반도체층(164)의 소오스영역(SA)은 소오스전극과 더불어 화소전극 역할을 하게 된다.The portion DA of the semiconductor layer 164 overlapping and connected to the data metal 161 becomes a drain electrode of the thin film transistor TFT, and the portion SA extending to the opening region of the sub-pixel is the thin film transistor TFT. It becomes a source electrode of and at the same time becomes a pixel electrode. That is, the source region SA of the semiconductor layer 164 serves as a pixel electrode together with the source electrode.

통상 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인전극과 소오스전극은 동일한 층(또는 동일한 높이)에 존재(드레인전극과 소오스전극의 형상 및 위치가 대칭 함)하게 된다. 그러나, 도면을 통해 알 수 있듯이, 본 발명의 제1실시예에 따른 구조는 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인전극과 소오스전극이 각기 다른 층(또는 다른 높이)에 존재(드레인전극과 소오스전극의 형상 및 위치가 비대칭 함)하게 된다.In general, the drain electrode and the source electrode of the thin film transistor TFT exist on the same layer (or the same height) (the shape and position of the drain electrode and the source electrode are symmetrical). However, as can be seen from the drawings, in the structure according to the first embodiment of the present invention, the drain electrode and the source electrode of the thin film transistor (TFT) exist in different layers (or different heights) (the shape of the drain electrode and the source electrode). And the position is asymmetric).

구체적으로는, 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인전극의 일부(데이터라인과 접촉하는 부분)가 소오스전극과 다른 층에 존재하게 된다. 이와 같이 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인전극과 소오스전극은 데이터라인과의 접촉 여부에 따라 그리고 화소전극 역할을 겸하게 됨에 따라 달라진다. 그리고 트랜지스터(TFT)의 드레인전극과 소오스전극이 비대칭하게 됨에 따라 어느 한쪽은 넓은 영역을 사용할 수 있게 된다.Specifically, a portion of the drain electrode (a portion in contact with the data line) of the thin film transistor TFT exists in a layer different from the source electrode. As described above, the drain electrode and the source electrode of the thin film transistor TFT vary depending on whether they are in contact with the data line and also serve as a pixel electrode. In addition, as the drain electrode and the source electrode of the transistor TFT become asymmetric, one of them can use a wide area.

예컨대, 도면과 같이 박막 트랜지스터(TFT)의 소오스전극은 드레인전극보다 높은 위치에 존재하게 된다. 달리 설명하면, 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역(CHA)과 소오스영역(SA)은 동일한 높이의 위치에 존재하고 있고 또한 드레인영역(DA)보다 높은 위치에 존재하고 있다고 할 수도 있다. 또한, 도면과 같이 박막 트랜지스터(TFT)의 소오스전극은 채널영역과 함께 평탄하게 존재하지만 드레인전극은 함몰되어 구부러진 형태로 존재하게 된다.For example, as shown in the drawing, the source electrode of the thin film transistor TFT exists at a higher position than the drain electrode. In other words, it can be said that the channel region CHA and the source region SA of the thin film transistor TFT exist at the same height and also exist at a higher position than the drain region DA. In addition, as shown in the drawing, the source electrode of the thin film transistor TFT exists flat with the channel region, but the drain electrode is recessed and bent.

제3절연막(165)에 의해 보호되지 않는 반도체층(164)에 금속화가 일어나는 이유는 건식식각 진행시 플라즈마에 의해 기인된 산소에 IGZO와 같은 반도체층(164)이 반응을 하기 때문이다. 이하, 반도체층(164)을 금속화하는 방법은 통상의 기술에 해당하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.The reason why metallization occurs in the semiconductor layer 164 that is not protected by the third insulating layer 165 is that the semiconductor layer 164 such as IGZO reacts with oxygen caused by plasma during dry etching. Hereinafter, since the method of metallizing the semiconductor layer 164 corresponds to a conventional technique, a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이 건식식각을 진행하게 되면, 데이터금속(161)과 중첩하는 영역에 형성된 구조물(164, 165, 166)은 박막 트랜지스터(TFT)가 된다. 한편, 위의 설명에서는 건식식각을 이용하여 반도체층(164)을 영역별로 금속화하는 것을 일례로 설명하였다. 그러나, 반도체층(164)을 영역별로 금속화하는 것은 위의 설명에 한정되지 않는다.When dry etching is performed in this way, the structures 164, 165, and 166 formed in the regions overlapping the data metal 161 become thin film transistors (TFTs). Meanwhile, in the above description, metallization of the semiconductor layer 164 for each region using dry etching has been described as an example. However, metallization of the semiconductor layer 164 for each region is not limited to the above description.

이상과 같이 본 발명의 제1실시예는 박막 트랜지스터(TFT)의 구조 및 공정의 변경으로 전극 간의 접촉 구조를 간소화하여 증착 공정, 포토 공정, 마스크 공정 등을 생략할 수 있게 되므로 생산 수율을 향상할 수 있다.As described above, the first embodiment of the present invention simplifies the contact structure between electrodes by changing the structure and process of a thin film transistor (TFT), thereby omitting a deposition process, a photo process, a mask process, etc., thereby improving production yield. I can.

도 9에 도시된 바와 같이, 반도체층(164) 및 게이트금속(166)을 덮도록 제4절연막(167)을 형성한다. 제3절연막(165)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층으로 이루어질 수 있다. 제4절연막(167)은 제2보호막으로 정의될 수 있다.9, a fourth insulating layer 167 is formed to cover the semiconductor layer 164 and the gate metal 166. The third insulating layer 165 may be formed of a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a double layer thereof. The fourth insulating layer 167 may be defined as a second protective layer.

제4절연막(167) 상에 공통전극(168)을 형성한다. 공통전극(168)을 형성한 후, 개구영역 내에서 분할된 핑거(또는 포크 등) 형상을 갖도록 패터닝 한다. 공통전극(168)은 하부기판(160a) 상에 형성된 공통전압라인(미도시)에 연결된다. 공통전극(168)은 반도체층(164)과 동일한 IGZO(indium gallium zinc oxide)로 형성되거나, ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 산화물 재료로 형성된다.A common electrode 168 is formed on the fourth insulating layer 167. After the common electrode 168 is formed, it is patterned to have a divided finger (or fork, etc.) shape within the opening area. The common electrode 168 is connected to a common voltage line (not shown) formed on the lower substrate 160a. The common electrode 168 is formed of the same indium gallium zinc oxide (IGZO) as the semiconductor layer 164 or an oxide material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

이상의 공정을 수행하면 총 6개의 마스크 공정으로 액정패널을 제작할 수 있게 된다. 그러나, 위의 설명은 하나의 예시일 뿐, 구현하고자 하는 서브 픽셀의 구조에 따라 마스크의 수가 증가 또는 감소할 수 있음은 물론이다.If the above process is performed, a liquid crystal panel can be manufactured with a total of 6 mask processes. However, the above description is only an example, and it goes without saying that the number of masks may increase or decrease according to the structure of the subpixel to be implemented.

도 10에 도시된 바와 같이, 또 다른 변형예에 따르면 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역(CHA)은 제1실시예(도 3 또는 도 4)와 같이 직선형으로 형성되지 않고 사선형으로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 10, according to another modified example, the channel region CHA of the thin film transistor TFT may not be formed in a linear shape as in the first embodiment (FIG. 3 or 4), but may be formed in an oblique shape. have.

또 다른 변형예와 같이 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역(CHA)이 데이터라인을 기준으로 사선형(또는 서브 픽셀의 개구영역을 향하도록 사선형)으로 형성될 경우, 직선형 대비 채널영역의 L(length) 값을 증가시킬 수 있게 되므로 박막 트랜지스터(TFT)의 오프 커런트(off current)를 향상시킬 수 있다.As in another modified example, when the channel region CHA of the thin film transistor TFT is formed in an oblique shape (or obliquely toward the opening region of the sub-pixel) with respect to the data line, L ( The value of length) can be increased, so that the off current of the thin film transistor TFT can be improved.

한편, 제1실시예(도 3 또는 도 4)와 같이 박막 트랜지스터(TFT)의 채널영역(CHA)이 데이터라인을 기준으로 직선형(또는 데이터라인에 대응하여 직선형)으로 형성되는 예는 채널영역(CHA)이 반도체 상태로 존재하게 되므로 기생 커패시터의 영향이 작기 때문에 가능한 것이다.Meanwhile, as in the first embodiment (FIG. 3 or 4), an example in which the channel region CHA of the thin film transistor TFT is formed in a straight line (or a straight line corresponding to the data line) with respect to the data line is the channel region ( Since CHA) exists in a semiconductor state, it is possible because the effect of parasitic capacitors is small.

<제2실시예><Second Example>

도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 서브 픽셀의 평면도이고, 도 12 내지 도 15는 도 11의 B1-B2 영역을 나타낸 단면도이며, 도 16은 도 11의 C1-C2 영역을 나타낸 단면도이다.11 is a plan view of a sub-pixel according to a second embodiment of the present invention, FIGS. 12 to 15 are cross-sectional views illustrating regions B1-B2 of FIG. 11, and FIG. 16 is a cross-sectional view illustrating regions C1-C2 of FIG. 11. .

도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따르면 서브 픽셀들(SP11, SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터들(TFT)은 비개구영역에 형성된다. 비개구영역에는 서브 픽셀들(SP11, SP21)에 데이터신호를 전달하는 데이터라인들(DLi ~ DLj)과 게이트라인들(GLi ~ GLk)이 포함된다.As shown in FIG. 11, according to the second embodiment of the present invention, thin film transistors TFT driving the subpixels SP11 and SP21 are formed in the non-opening area. The non-opening area includes data lines DLi to DLj and gate lines GLi to GLk that transmit data signals to the subpixels SP11 and SP21.

제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)를 기준으로 설명하면, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)(또는 서브 픽셀의 장축 방향)에 형성되어 제i데이터라인(DLi)에 수직한 방향으로 중첩하게 된다. 구체적으로, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)에 형성되어 드레인영역(DA), 채널영역(CHA) 및 소오스영역(SA)이 제i데이터라인(DLi)에 수직한 방향으로 중첩하게 된다. CH1은 데이터라인과 박막 트랜지스터(TFT)의 반도체층이 접촉하는 콘택홀을 의미한다.Referring to the thin film transistor TFT that drives the eleventh sub-pixel SP11, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y (or the major axis direction of the sub-pixel) to form the i-th data line DLi. ) In the direction perpendicular to it. Specifically, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y so that the drain region DA, the channel region CHA, and the source region SA overlap in a direction perpendicular to the i-th data line DLi. do. CH1 refers to a contact hole in which the data line and the semiconductor layer of the thin film transistor (TFT) contact.

제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)를 설명하면, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)(또는 서브 픽셀의 장축 방향)에 형성되어 제i데이터라인(DLi)에 수직한 방향으로 중첩하게 된다. 구체적으로, 박막 트랜지스터(TFT)는 제1방향(y)에 형성되어 드레인영역(DA), 채널영역(CHA) 및 소오스영역(SA)이 제i데이터라인(DLi)에 수직한 방향으로 중첩하게 된다.When describing the thin film transistor TFT that drives the 21st sub-pixel SP21, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y (or the major axis direction of the sub-pixel) and is connected to the i-th data line DLi. They overlap in a vertical direction. Specifically, the thin film transistor TFT is formed in the first direction y so that the drain region DA, the channel region CHA, and the source region SA overlap in a direction perpendicular to the i-th data line DLi. do.

제11서브 픽셀(SP11)과 제11서브 픽셀(SP11)의 하부에 위치하는 제21서브 픽셀(SP21)은 제j게이트라인(GLj)에 의해 상하로 구분된다. 제11서브 픽셀(SP11)과 제21서브 픽셀(SP21)은 하나의 데이터라인을 공유하도록 제i데이터라인(DLi)에 공통으로 연결된다.The eleventh sub-pixel SP11 and the twenty-first sub-pixel SP21 positioned under the eleventh sub-pixel SP11 are vertically divided by the j-th gate line GLj. The eleventh sub-pixel SP11 and the 21st sub-pixel SP21 are commonly connected to the i-th data line DLi to share one data line.

제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 제i데이터라인(DLi)에 수직한 방향으로 중첩하도록 형성된다. 그러나, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 제j게이트라인(GLj)에 인접하여 형성된다. 반면, 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터는 도시되어 있지 않지만 제j게이트라인(GLj)의 다음 라인인 제k게이트라인(GLk)에 인접하여 형성된다. 즉, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 동일선상에서 상하로 구분되어 위치한다.The thin film transistor TFT driving the eleventh subpixel SP11 and the thin film transistor TFT driving the 21th subpixel SP21 are formed to overlap in a direction perpendicular to the i-th data line DLi. However, the thin film transistor TFT driving the eleventh sub-pixel SP11 is formed adjacent to the j-th gate line GLj. On the other hand, the thin film transistor driving the 21st sub-pixel SP21 is not shown, but is formed adjacent to the k-th gate line GLk, which is the next line of the j-th gate line GLj. That is, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 are positioned up and down on the same line.

이상의 설명을 통해 알 수 있듯이, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 하나의 데이터라인을 공유하도록 구현될 수 있다. 또한 이와 달리, 제11서브 픽셀(SP11)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)와 제21서브 픽셀(SP21)을 구동하는 박막 트랜지스터(TFT)는 하나의 게이트라인을 공유하도록 구현될 수 있다.As can be seen from the above description, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 may be implemented to share one data line. have. Also, unlike this, the thin film transistor TFT for driving the eleventh sub-pixel SP11 and the thin film transistor TFT for driving the 21st sub-pixel SP21 may be implemented to share one gate line.

이상의 설명과 같이 본 발명의 제2실시예는 박막 트랜지스터(TFT)가 종래와 같이 개구영역 내에 존재하지 않고 비개구영역에 해당하는 데이터라인과 수직한 방향으로 중첩하도록 형성되므로 서브 픽셀의 투과율과 개구율을 모두 향상시킬 수 있게 된다.As described above, in the second embodiment of the present invention, since the thin film transistor (TFT) does not exist in the open area as in the prior art and is formed to overlap in a direction perpendicular to the data line corresponding to the non-open area, the transmittance and aperture ratio of the sub-pixels You will be able to improve all of them.

위의 설명에서는 도 11과 같이 제2방향(x)(또는 서브 픽셀의 단축 방향)에서 보았을 때 서브 픽셀들을 구동하는 박막 트랜지스터들이 평행 방향으로 배치된 것을 일례로 하였다. 그러나, 제1실시예의 도 4와 같이 제2방향(x)(또는 서브 픽셀의 단축 방향)에서 보았을 때 서브 픽셀들을 구동하는 박막 트랜지스터들이 사선 방향으로 배치될 수도 있다.In the above description, as shown in FIG. 11, when viewed in the second direction (x) (or the short axis direction of the sub-pixel), thin film transistors driving the sub-pixels are arranged in a parallel direction as an example. However, as shown in FIG. 4 of the first embodiment, thin film transistors that drive the sub-pixels may be disposed in a diagonal direction when viewed in the second direction (x) (or the short axis direction of the sub-pixel).

그러나 이는 예시일 뿐, 박막 트랜지스터(TFT)과 데이터라인을 일치시킨 후 다른 소자나 서브 픽셀의 화소전극의 형상에 대응하여 박막 트랜지스터(TFT)의 위치를 변경할 수도 있다.However, this is only an example, and after matching the thin film transistor TFT and the data line, the position of the thin film transistor TFT may be changed according to the shape of the pixel electrode of another device or sub-pixel.

한편, 위의 설명에서는 박막 트랜지스터(TFT)를 N타입으로 하였기 때문에 서브 픽셀의 개구영역에 반도체층의 소오스영역(SA)이 존재하는 것으로 도시한 것이다. 그러나 박막 트랜지스터(TFT)가 P타입인 경우 서브 픽셀의 개구영역에는 반도체층의 드레인영역(DA)이 존재하게 될 것이다.Meanwhile, in the above description, since the thin film transistor TFT is of the N type, it is shown that the source region SA of the semiconductor layer exists in the opening region of the sub-pixel. However, when the thin film transistor TFT is of the P type, the drain region DA of the semiconductor layer will exist in the opening region of the sub-pixel.

이하, 도 11의 B1-B2 영역의 단면도를 나타낸 도 12 내지 도 15와 도 11의 C1-C2 영역의 단면도를 나타낸 도 16을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 대한 구조적 이해를 돕는다.Hereinafter, a structural understanding of the second embodiment of the present invention will be aided with reference to FIGS. 12 to 15 showing a cross-sectional view of the region B1-B2 of FIG. 11 and FIG. 16 showing a cross-sectional view of the region C1-C2 of FIG. 11.

도 12에 도시된 바와 같이, 하부기판(160a) 상에 데이터금속(161)을 형성하고, 제i데이터라인영역을 따라 패터닝한다. 데이터금속(161)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나 또는 이들의 합금일 수 있으며, 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있다. 데이터금속(161)은 제1방향(도 11의 y 방향 참조)으로 형성된다. 패터닝된 데이터금속(161)은 제i데이터라인(DLi)이 된다.As shown in FIG. 12, a data metal 161 is formed on the lower substrate 160a, and patterned along the ith data line region. Data metal 161 is one selected from the group consisting of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and copper (Cu), or an alloy thereof It may be, and may be made of a single layer or multiple layers. The data metal 161 is formed in the first direction (refer to the y direction in FIG. 11 ). The patterned data metal 161 becomes an i-th data line DLi.

이상과 같이 본 발명의 제2실시예는 하부기판(160a)의 바로 위에 데이터금속(161)이 형성되므로 이하에서 형성되는 박막 트랜지스터의 반도체층을 외광으로부터 보호할 수 있어 소자의 신뢰성을 향상할 수 있게 된다.As described above, in the second embodiment of the present invention, since the data metal 161 is formed directly on the lower substrate 160a, the semiconductor layer of the thin film transistor formed below can be protected from external light, thereby improving the reliability of the device. There will be.

도 13에 도시된 바와 같이, 하부기판(160a) 상에 데이터금속(161)을 덮도록 제1절연막(162)(하부 절연막)을 형성한다. 제1절연막(162)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층으로 이루어질 수 있다. 제1절연막(162)은 제1보호막으로 정의될 수 있다.13, a first insulating layer 162 (lower insulating layer) is formed on the lower substrate 160a to cover the data metal 161. The first insulating layer 162 may be formed of a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a double layer thereof. The first insulating layer 162 may be defined as a first protective layer.

이후 데이터금속(161)이 노출되도록 제1절연막(162)에 제1콘택홀(CH1)을 형성한다. 한편, 위의 설명에서는 제1절연막(162)만 형성하는 것을 일례로 하였다. 하지만, 구조에 따라 제1절연막(162) 상의 표면을 평탄화하기 위한 제2절연막(미도시)을 더 형성할 수도 있다.Thereafter, a first contact hole CH1 is formed in the first insulating layer 162 so that the data metal 161 is exposed. Meanwhile, in the above description, only the first insulating layer 162 is formed as an example. However, depending on the structure, a second insulating film (not shown) for planarizing the surface on the first insulating film 162 may be further formed.

도 14에 도시된 바와 같이, 제1절연막(162) 상에 반도체층(164)을 형성한다. 반도체층(164)을 형성한 후, 일부는 데이터금속(161)과 수직 중첩함과 더불어 제1콘택홀(CH1)을 통해 데이터금속(161)과 연결(접촉)되고 남은 일부는 서브 픽셀의 개구영역까지 연장되도록 패터닝 한다. 반도체층(164)은 IGZO(indium gallium zinc oxide) 등과 같은 비정질 산화물 반도체로 이루어진다.As shown in FIG. 14, a semiconductor layer 164 is formed on the first insulating layer 162. After the semiconductor layer 164 is formed, a portion of the semiconductor layer 164 is vertically overlapped with the data metal 161 and is connected (contacted) with the data metal 161 through the first contact hole CH1, and the remaining portion is an opening of the sub-pixel. Pattern to extend to the area. The semiconductor layer 164 is made of an amorphous oxide semiconductor such as indium gallium zinc oxide (IGZO).

도 15에 도시된 바와 같이, 반도체층(164) 상에 제3절연막(165)(상부 절연막)을 형성한다. 제3절연막(165)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층으로 이루어질 수 있다. 제3절연막(165)은 게이트절연막으로 정의될 수 있다.As shown in FIG. 15, a third insulating layer 165 (upper insulating layer) is formed on the semiconductor layer 164. The third insulating layer 165 may be formed of a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a double layer thereof. The third insulating layer 165 may be defined as a gate insulating layer.

제3절연막(165)을 상에 게이트금속(166)을 형성하고, 제j게이트라인영역을 따라 패터닝한다. 게이트금속(166)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni) 및 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 하나 또는 이들의 합금일 수 있으며, 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있다. 게이트금속(166)은 제2방향(도 3의 x 방향 참조)으로 형성된다. 패터닝된 게이트금속(166)은 제j게이트라인(GLj)이 됨과 더불어 박막 트랜지스터(TFT)의 영역에서는 게이트전극이 된다.A gate metal 166 is formed on the third insulating layer 165 and patterned along the j-th gate line region. The gate metal 166 is one selected from the group consisting of molybdenum (Mo), aluminum (Al), chromium (Cr), gold (Au), titanium (Ti), nickel (Ni), and copper (Cu), or an alloy thereof It may be, and may be made of a single layer or multiple layers. The gate metal 166 is formed in the second direction (refer to the x direction in FIG. 3 ). The patterned gate metal 166 becomes the j-th gate line GLj and becomes a gate electrode in the region of the thin film transistor TFT.

위의 공정을 수행하기 위해, 하부기판(160a) 상에 제3절연막(165)과 게이트금속(166)을 차례대로 형성하고, 제1콘택홀(CH1)과 인접하는 제j게이트라인영역에 대응하는 부분만 남도록 패터닝 한다.To perform the above process, a third insulating layer 165 and a gate metal 166 are sequentially formed on the lower substrate 160a, and correspond to the j-th gate line region adjacent to the first contact hole CH1. Patterning is done so that only the part to be left remains.

이에 따라, 제3절연막(165)과 게이트금속(166)은 단면에서 보았을 때 제1콘택홀(CH1)과 인접하는 위치에서 섬(Island) 형태로 존재하게 된다. 그러나, 평면에서 보면 제3절연막(165)과 게이트금속(166)은 제2방향을 따라 길게 늘어선 라인 형태가 된다.Accordingly, the third insulating layer 165 and the gate metal 166 exist in the form of an island at a position adjacent to the first contact hole CH1 when viewed in cross section. However, when viewed in plan view, the third insulating layer 165 and the gate metal 166 have a line shape that is elongated along the second direction.

한편, 게이트금속(166)을 패터닝 할 때에는 건식식각(Dry Etch)을 한다. 그러면, 반도체층(164)에서 제3절연막(165)에 의해 보호되는 채널영역(CHA)을 제외한 데이터금속(161)과 중첩 및 연결되는 부분(DA)과 같이 비개구영역에 존재하는 부분과 서브 픽셀의 개구영역으로 연장된 부분(SA)은 금속화(Metalization)된다.On the other hand, when patterning the gate metal 166, dry etching is performed. Then, in the semiconductor layer 164, except for the channel region CHA protected by the third insulating layer 165, the portion and sub-area existing in the non-opening region such as the portion DA overlapping and connected to the data metal 161 The portion SA extending to the opening area of the pixel is metalized.

반도체층(164)에서 데이터금속(161)과 중첩 및 연결되는 부분(DA)은 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인전극이 되고, 서브 픽셀의 개구영역으로 연장된 부분(SA)은 박막 트랜지스터(TFT)의 소오스전극이 됨과 동시에 화소전극이 된다. 즉, 반도체층(164)의 소오스영역(SA)은 소오스전극과 더불어 화소전극 역할을 하게 된다. 이때, 화소전극이 되는 부분은 개구영역 내에서 통전극 형태로 형성되거나 핑거(또는 포크 등) 형태로 형성될 수 있다.The portion DA of the semiconductor layer 164 overlapping and connected to the data metal 161 becomes a drain electrode of the thin film transistor TFT, and the portion SA extending to the opening region of the sub-pixel is the thin film transistor TFT. It becomes a source electrode of and at the same time becomes a pixel electrode. That is, the source region SA of the semiconductor layer 164 serves as a pixel electrode together with the source electrode. In this case, the portion that becomes the pixel electrode may be formed in the form of a conductive electrode or a finger (or a fork) in the opening area.

제3절연막(165)에 의해 보호되지 않는 반도체층(164)에 금속화가 일어나는 이유는 건식식각 진행시 플라즈마에 의해 기인된 산소에 IGZO와 같은 반도체층(164)이 반응을 하기 때문이다. 이하, 반도체층(164)을 금속화하는 방법은 통상의 기술에 해당하므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.The reason why metallization occurs in the semiconductor layer 164 that is not protected by the third insulating layer 165 is that the semiconductor layer 164 such as IGZO reacts with oxygen caused by plasma during dry etching. Hereinafter, since the method of metallizing the semiconductor layer 164 corresponds to a conventional technique, a detailed description thereof will be omitted.

이와 같이 건식식각을 진행하게 되면, 데이터금속(161)과 중첩하는 영역에 형성된 구조물(164, 165, 166)은 박막 트랜지스터(TFT)가 된다. 한편, 위의 설명에서는 건식식각을 이용하여 반도체층(164)을 영역별로 금속화하는 것을 일례로 설명하였다. 그러나, 반도체층(164)을 영역별로 금속화하는 것은 위의 설명에 한정되지 않는다.When dry etching is performed in this way, the structures 164, 165, and 166 formed in the regions overlapping the data metal 161 become thin film transistors (TFTs). Meanwhile, in the above description, metallization of the semiconductor layer 164 for each region using dry etching has been described as an example. However, metallization of the semiconductor layer 164 for each region is not limited to the above description.

이상과 같이 본 발명의 제2실시예는 박막 트랜지스터(TFT)의 구조 및 공정의 변경으로 전극 간의 접촉 구조를 간소화하여 증착 공정, 포토 공정, 마스크 공정 등을 생략할 수 있게 되므로 생산 수율을 향상할 수 있다.As described above, the second embodiment of the present invention simplifies the contact structure between electrodes by changing the structure and process of a thin film transistor (TFT), so that the deposition process, photo process, mask process, etc. can be omitted, thereby improving production yield. I can.

이상과 같은 공정에 의해 서브 픽셀의 개구영역에는 공통전압라인이 형성되는데, 이하 도 16을 참조하여 설명 구체화한다.The common voltage line is formed in the opening area of the sub-pixel by the above process, which will be described below with reference to FIG. 16.

도 16에 도시된 바와 같이, 하부기판(160a) 상에는 제i데이터라인(DLi)이 되는 데이터금속(161)과 더불어 공통전압라인(169)이 형성된다. 데이터금속(161)은 비개구영역에 형성되지만 공통전압라인(169)은 서브 픽셀의 개구영역에 형성된다.As shown in FIG. 16, a common voltage line 169 is formed on the lower substrate 160a together with the data metal 161 serving as the i-th data line DLi. The data metal 161 is formed in the non-opening area, but the common voltage line 169 is formed in the open area of the sub-pixel.

공통전압라인(169)은 하부기판(160a)과 이격 대향하는 상부기판(미도시)에 형성된 공통전극과 연결된다. 공통전극은 액정층을 사이에 두고 서브 픽셀의 화소전극과 이격 대향 하게 된다.The common voltage line 169 is connected to a common electrode formed on an upper substrate (not shown) that faces the lower substrate 160a. The common electrode faces the pixel electrode of the sub-pixel with a liquid crystal layer therebetween.

공통전압라인(169)은 반도체층(164)과 동일한 IGZO(indium gallium zinc oxide)로 형성되거나, ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 산화물 재료로 형성된다.The common voltage line 169 is formed of the same indium gallium zinc oxide (IGZO) as the semiconductor layer 164 or an oxide material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

데이터금속(161) 및 공통전압라인(169) 상에는 제1절연막(162)이 형성된다. 제1절연막(162)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층으로 이루어질 수 있다. 제1절연막(162)은 제1보호막으로 정의될 수 있다.A first insulating layer 162 is formed on the data metal 161 and the common voltage line 169. The first insulating layer 162 may be formed of a silicon oxide layer (SiOx), a silicon nitride layer (SiNx), or a double layer thereof. The first insulating layer 162 may be defined as a first protective layer.

제1절연막(162) 상에는 반도체층(164)이 형성된다. 도시된 반도체층(164)은 서브 픽셀의 개구영역까지 연장된 드레인전극 및 화소전극 부분이다. 기 설명된 바와 같이, 반도체층(164)은 IGZO 등과 같은 비정질 산화물 반도체로 이루어진다.
A semiconductor layer 164 is formed on the first insulating layer 162. The illustrated semiconductor layer 164 is a drain electrode and a portion of a pixel electrode extending to an opening region of a sub-pixel. As described above, the semiconductor layer 164 is made of an amorphous oxide semiconductor such as IGZO.

이상의 설명과 같이 본 발명은 박막 트랜지스터가 종래와 같이 개구영역 내에 존재하지 않고 비개구영역에 해당하는 데이터라인과 수직한 방향으로 중첩하도록 형성되므로 서브 픽셀의 투과율과 개구율을 모두 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 하부기판의 바로 위에 데이터금속을 형성하고 박막 트랜지스터의 반도체층을 외광으로부터 보호하여 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 발명은 박막 트랜지스터의 구조 및 공정을 혁신적으로 변경함에 따라 전극이나 전극 간의 접촉 구조를 간소화할 수 있게 되어 증착 공정, 포토 공정, 마스크 공정 등을 생략할 수 있게 되므로 생산 수율을 향상시킬 수 있다.As described above, in the present invention, since the thin film transistor does not exist in the open region as in the prior art, but is formed to overlap in a vertical direction with the data line corresponding to the non-open region, both transmittance and aperture ratio of the sub-pixel can be improved. In addition, according to the present invention, the data metal is formed directly on the lower substrate and the semiconductor layer of the thin film transistor is protected from external light, thereby improving the reliability of the device. In addition, according to the present invention, as the structure and process of the thin film transistor are innovatively changed, the electrode or the contact structure between electrodes can be simplified, so that the deposition process, the photo process, the mask process, etc. can be omitted, thereby improving the production yield. have.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above is in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention by those skilled in the art. It will be appreciated that it can be implemented. Therefore, the embodiments described above are illustrative in all respects and should be understood as non-limiting. In addition, the scope of the present invention is indicated by the claims to be described later rather than the detailed description. In addition, all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

130: 타이밍제어부 140: 게이트구동부
150: 데이터구동부 160: 액정패널
170: 백라이트유닛 TFT: 박막 트랜지스터
DA: 드레인영역 CHA: 채널영역
SA: 소오스영역 161: 데이터금속
164: 반도체층 166: 게이트금속
130: timing control unit 140: gate driving unit
150: data driving unit 160: liquid crystal panel
170: backlight unit TFT: thin film transistor
DA: Drain area CHA: Channel area
SA: source region 161: data metal
164: semiconductor layer 166: gate metal

Claims (11)

표시패널;
상기 표시패널에 포함된 서브 픽셀; 및
상기 표시패널의 서브 픽셀에 구동신호를 공급하는 구동부를 포함하며,
상기 서브 픽셀은 하부기판 상에 형성된 데이터라인에 중첩된 박막 트랜지스터를 포함하고,
상기 박막 트랜지스터는
하나의 반도체층을 기반으로 드레인전극, 채널영역 및 소오스전극이 이루어지고, 상기 드레인전극과 상기 소오스전극 중 하나는 상기 데이터라인과 상기 채널영역 사이에 위치하며 콘택홀을 갖는 절연막을 통해 상기 데이터라인에 접촉됨과 더불어 상기 절연막의 측벽에 접촉되고 다른 하나는 상기 절연막 상에서 서브 픽셀의 개구영역까지 연장되어 화소전극이 되는 표시장치.
Display panel;
Sub-pixels included in the display panel; And
And a driving unit supplying a driving signal to a sub-pixel of the display panel,
The sub-pixel includes a thin film transistor overlapping a data line formed on a lower substrate,
The thin film transistor is
A drain electrode, a channel region, and a source electrode are formed based on one semiconductor layer, and one of the drain electrode and the source electrode is positioned between the data line and the channel region, and the data line is formed through an insulating film having a contact hole. In addition to contacting with, a sidewall of the insulating layer is contacted, and the other is extended to an opening area of a sub-pixel on the insulating layer to become a pixel electrode.
제1항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터에서, 상기 드레인전극으로 선택되는 드레인영역, 상기 채널영역 및 상기 소오스전극으로 선택되는 소오스영역은 상기 데이터라인의 수직 방향에 모두 중첩된 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 1,
In the thin film transistor, a drain region selected as the drain electrode, the channel region, and a source region selected as the source electrode all overlap in a vertical direction of the data line.
제1항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터는
상기 드레인전극과 상기 소오스전극의 형상 및 위치가 비대칭하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 1,
The thin film transistor is
The display device, wherein the shape and position of the drain electrode and the source electrode are asymmetric.
제3항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터는
상기 드레인전극과 상기 소오스전극이 서로 다른 높이에 위치하게 되고, 상기 드레인전극과 상기 소오스전극 중 하나는 상기 채널영역과 동일한 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 3,
The thin film transistor is
And the drain electrode and the source electrode are positioned at different heights, and one of the drain electrode and the source electrode is positioned at the same height as the channel region.
제2항에 있어서,
상기 박막 트랜지스터는
상기 채널영역이 상기 데이터라인에 대응하여 직선을 이루거나 상기 서브 픽셀의 개구영역을 향하도록 사선을 이루는 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 2,
The thin film transistor is
The display device, wherein the channel region forms a straight line corresponding to the data line or an oblique line toward the opening region of the sub-pixel.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 표시패널은 제1서브 픽셀을 포함하고,
상기 제1서브 픽셀은 상기 하부기판 상에 형성된 제i데이터라인과,
상기 제i데이터라인 상에 위치하고 상기 제i데이터라인에 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 수직 중첩된 박막 트랜지스터를 포함하는 표시장치.
The method of claim 1,
The display panel includes a first sub-pixel,
The first sub-pixel includes an i-th data line formed on the lower substrate,
A display device including a thin film transistor positioned on the i-th data line and vertically overlapping a drain region, a channel region, and a source region on the i-th data line.
제7항에 있어서,
상기 표시패널은 상기 제1서브 픽셀의 하부에 위치하는 제2서브 픽셀을 포함하고,
상기 제2서브 픽셀은 상기 하부기판 상에 형성된 상기 제i데이터라인과,
상기 제i데이터라인 상에 위치하고 상기 제i데이터라인에 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 수직 중첩된 박막 트랜지스터를 포함하고,
상기 제1서브 픽셀은 제j게이트라인에 연결되고 상기 제2서브 픽셀은 상기 제j게이트라인의 다음 라인에 위치하는 제k게이트라인에 연결된 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 7,
The display panel includes a second sub-pixel positioned below the first sub-pixel,
The second sub-pixel includes the i-th data line formed on the lower substrate,
A thin film transistor positioned on the i-th data line and vertically overlapping a drain region, a channel region, and a source region on the i-th data line,
And the first sub-pixel is connected to a j-th gate line, and the second sub-pixel is connected to a k-th gate line positioned on a line next to the j-th gate line.
제7항에 있어서,
상기 표시패널은 상기 제1서브 픽셀의 하부에 위치하는 제2서브 픽셀을 포함하고,
상기 제2서브 픽셀은 상기 제i데이터라인과 인접하는 제j데이터라인과,
상기 제j데이터라인 상에 위치하고 상기 제j데이터라인에 드레인영역, 채널영역 및 소오스영역이 수직 중첩된 박막 트랜지스터를 포함하고,
상기 제1서브 픽셀과 상기 제2서브 픽셀은 제j게이트라인에 공통으로 연결된 것을 특징으로 하는 표시장치.
The method of claim 7,
The display panel includes a second sub-pixel positioned below the first sub-pixel,
The second sub-pixel includes a j-th data line adjacent to the i-th data line,
A thin film transistor positioned on the j-th data line and vertically overlapping a drain region, a channel region, and a source region on the j-th data line,
And the first sub-pixel and the second sub-pixel are connected in common to a j-th gate line.
제1항에 있어서,
상기 서브 픽셀은
상기 하부기판 상에 형성된 데이터금속과,
상기 데이터금속 상에 형성되고 상기 데이터금속을 노출하는 콘택홀을 갖는 적어도 하나의 하부 절연막과,
상기 절연막 상에 형성되고 상기 데이터금속에 연결된 반도체층과,
상기 반도체층 상에 형성되고 상기 콘택홀과 인접하는 위치에 형성된 상부 절연막과,
상기 상부 절연막 상에 형성된 게이트금속을 포함하는 표시장치.
The method of claim 1,
The sub-pixel is
A data metal formed on the lower substrate,
At least one lower insulating layer formed on the data metal and having a contact hole exposing the data metal;
A semiconductor layer formed on the insulating layer and connected to the data metal;
An upper insulating layer formed on the semiconductor layer and formed at a position adjacent to the contact hole;
A display device including a gate metal formed on the upper insulating layer.
제10항에 있어서,
상기 콘택홀은
상기 데이터금속의 수직 방향에 완전 중첩하는 표시장치.
The method of claim 10,
The contact hole is
A display device completely overlapping the vertical direction of the data metal.
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