KR102221115B1 - Method of controlling a transferring apparatus - Google Patents
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Abstract
이송 장치의 제어 방법에 있어서, 이송 장치 및 작업자에 각각 구비된 센서를 이용하여 상기 작업자 및 이송 장치와 관련된 관련 정보를 센싱한다. 상기 이송 장치 및 작업자에 구비된 통신 장치를 이용하여 상기 관련 정보를 전달받는다. 이후, 상기 관련 정보를 이용하여 상기 이송 장치 및 작업자의 동선과 작업 내용을 포함하는 통합 정보를 확정한 후, 상기 통합 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 경로를 설정한다. 이로써, 작업자 및 이송 장치간의 충돌이 억제될 수 있다.In a method of controlling a transfer device, related information related to the worker and the transfer device is sensed using sensors provided in the transfer device and the worker, respectively. The related information is transmitted using the transfer device and a communication device provided in the operator. Thereafter, after determining the integrated information including the transport device and the movement line of the worker and the work content using the related information, the path of the transport device is set using the integrated information. Thereby, collision between the operator and the conveying device can be suppressed.
Description
본 발명은 이송 장치의 제어 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 본 발명은 카세트와 같은 이송물을 목표 위치로 이송하는 이송 장치의 제어 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for controlling a conveying device. More specifically, the present invention relates to a control method of a transfer device for transferring a transfer object such as a cassette to a target position.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 반도체 기판과 같은 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다. In general, semiconductor processing devices for manufacturing a semiconductor device are continuously arranged to perform various processes on a semiconductor substrate. An object such as a semiconductor substrate for performing the semiconductor device manufacturing process may be provided to each semiconductor processing apparatus in a state accommodated in a cassette, or may be recovered from each semiconductor processing apparatus using the cassette.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 이송 장치에 의해 이송된다. 상기 OHT 장치는 반도체 공정 장치들이 연속적으로 배치된 반도체 제조 라인의 천장을 따라 구비되는 주행 레일, 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클 및 상기 카세트를 승강시키는 호이스트 모듈을 포함한다. The cassette is transported by a transport device such as an overhead hoist transport (OTT) device. The OHT device includes a traveling rail provided along the ceiling of a semiconductor manufacturing line in which semiconductor processing devices are continuously arranged, a vehicle gripping the cassette and traveling along the traveling rail, and a hoist module lifting the cassette.
상기 이송 장치는 작업자의 동선을 고려하지 않고 상기 이송물을 이송함에 따라 작업자 및 이송 장치 간의 충돌이 발생할 수 있다. 특히, 작업자가 특정 위치에 작업을 장시간 수행하는 동안, 상기 이송 장치는 상기 작업자와의 충돌을 억제하기 위하여 이송을 중단하여 대기하여야 한다. 이로써, 상기 이송물의 이송 중 정체가 발생하여 이송 효율이 저하되는 문제가 발생할 수 있다.The transfer device may cause a collision between the worker and the transfer device as the transfer device transfers the transferred material without considering the movement of the worker. In particular, while a worker performs a job at a specific location for a long time, the transfer device must stop and wait for the transfer to suppress collision with the worker. As a result, there may be a problem that congestion occurs during transport of the transported material, resulting in a decrease in transport efficiency.
본 발명은 작업자의 상태를 고려하여 이송 경로를 조절할 수 있는 이송 장치의 제어 방법을 제공한다. The present invention provides a control method of a transfer device capable of adjusting a transfer path in consideration of the state of an operator.
본 발명의 실시예들에 따른 이송 장치의 제어 방법에 있어서, 이송 장치 및 작업자에 각각 구비된 센서를 이용하여 상기 작업자 및 이송 장치와 관련된 관련 정보를 센싱한다. 상기 이송 장치 및 작업자에 구비된 통신 장치를 이용하여 상기 관련 정보를 전달받는다. 이후, 상기 관련 정보를 이용하여 상기 이송 장치 및 작업자의 동선과 작업 내용을 포함하는 통합 정보를 확정한 후, 상기 통합 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 경로를 설정한다.In a method of controlling a transfer device according to embodiments of the present invention, related information related to the worker and the transfer device is sensed using sensors provided in the transfer device and the worker, respectively. The related information is transmitted using the transfer device and a communication device provided in the operator. Thereafter, after determining the integrated information including the transport device and the movement line of the worker and the work content using the related information, the path of the transport device is set using the integrated information.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 센서는 위치 감지 센서를 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the sensor may include a position sensor.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 이송 장치의 경로를 설정하는 경우, 상기 작업자의 위치 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 동선을 조절함으로써, 상기 작업자와의 충돌을 억제할 수 있다.In one embodiment of the present invention, when setting the path of the transfer device, by adjusting the movement line of the transfer device using the location information of the worker, it is possible to suppress a collision with the worker.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 이송 장치의 경로를 설정하는 경우, 상기 작업자의 동선에 관한 정보를 이용하여 상기 이송 장치에 관하여 상기 작업자 감지 구간 내부로의 진입 경로를 제어할 수 있다.In an embodiment of the present invention, when setting the path of the transfer device, an entry path into the worker detection section may be controlled with respect to the transfer device by using information on the worker's movement line.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 이송 장치의 경로를 설정하는 경우, 상기 작업자의 동선을 이용하여 작업 물동량을 예측하고, 상기 예측된 작업 물동량 크기를 이용하여 상기 이송 장치의 경로를 재조정할 수 있다.In one embodiment of the present invention, when setting the path of the transfer device, the amount of work traffic is predicted by using the movement line of the worker, and the path of the transfer device can be readjusted using the predicted work volume size. have.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 이송 장치의 관련 정보는 카세트의 이적재, 주행 및 양보 중 어느 하나에 관련될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the related information of the transfer device may be related to any one of transfer, travel, and yield of the cassette.
본 발명의 실시예들에 따른 이송 장치의 제어 방법에 따르면 이송 장치뿐만 아니라 작업자의 동선 또는 작업 상태를 고려하여 이송 장치를 이송 경로를 설정한다. 이로써 작업자 및 이송 장치 간의 충돌이 억제될 수 있다. 나아가 상기 작업자의 작업 상태에 관한 정보를 고려하여 이송 장치의 이송 경로가 설정됨에 따라 이송 장치의 이송 경로 상의 정체가 사전에 억제될 수 있다. According to a method of controlling a transfer device according to embodiments of the present invention, a transfer path is set for the transfer device in consideration of not only the transfer device but also the movement line or work condition of the operator. Thereby, a collision between the operator and the conveying device can be suppressed. Furthermore, congestion on the transport path of the transport device can be suppressed in advance as the transport path of the transport device is set in consideration of information on the work condition of the operator.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3은 도 2에 도시된 이송 장치의 경로를 설정하는 단계를 설명하기 위한 순서도이다. 1 is a block diagram for explaining a control system of a transfer device according to an embodiment of the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of controlling a transfer device according to an embodiment of the present invention.
3 is a flow chart for explaining the step of setting the path of the transfer device shown in FIG.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a method for controlling a transfer device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the present invention, various modifications may be made and various forms may be applied, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, it should be understood to include all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each drawing, similar reference numerals have been used for similar elements. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are shown to be enlarged compared to the actual size for clarity of the present invention.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are used only to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance the possibility of being added.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 시스템을 설명하기 위한 블록도이다. 1 is a block diagram illustrating a control system of a transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 시스템은 이송 장치(110) 및 제어부(150)를 포함한다. Referring to FIG. 1, a control system of a transfer device according to an embodiment of the present invention includes a
이송 장치(110)는 카세트를 파지한 상태로 주행 레일을 따라 이동하는 비히클(미도시)을 포함한다. 이로써 상기 이송 장치는 카세트를 이송한다.The
상기 이송 장치(110)는 비히클이 이동하는 전체 경로에서 각 비히클들의 주행 경로, 위치 및 이적재 여부와 관련된 이적재 상태에 대한 제1 관련 정보를 실시간으로 획득한다. 즉, 상기 이송 장치는 제1 센서 및 제1 통신 장치를 포함함으로써, 상기 제1 관련 정보를 실시간으로 획득하고 상기 제어부(150)에 전송할 수 있다.The
제어부(150)는 최초 설정된 상기 이송 장치의 이동 경로, 위치 및 상태 정보를 저장한다. 또한, 제어부(150)는 이송 장치(110)의 이동 경로에 관한 제어 신호를 이송 장치(110)에 제공한다. 또한, 상기 제어부(150)는 상기 이송 장치(10)로부터 실시간을 상기 제1 관련 정보를 전달받는다. The
또한, 상기 제어부(150)는 작업자(130)와 관련된 제2 관련 정보를 전달 받는다. In addition, the
이로써, 상기 제어부(150)는 상기 제1 관련 정보 및 상기 제2 관련 정보를 이용하여 상기 이송 장치(110) 및 작업자에 관한 통합 정보를 확정할 수 있다.Accordingly, the
한편, 작업자(130)에게는 제1 센서 및 제2 통신 장치가 구비된다. 상기 센서는 상기 작업자(130)의 위치 및 작업 상태와 관련된 제2 관련 정보를 획득한다. 또한, 상기 제2 통신 장치는 상기 제어부(130)에 상기 제2 관련 정보를 전송한다. Meanwhile, the
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.2 is a flowchart illustrating a method of controlling a transfer device according to an embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치의 제어 방법에 따르면, 먼저, 이송 장치 및 작업자에 각각 구비된 센서를 이용하여 상기 작업자 및 이송 장치와 관련된 관련 정보를 센싱한다(S110). Referring to FIG. 2, according to the control method of a transfer device according to an embodiment of the present invention, first, the transfer device and the relevant information related to the transfer device are sensed using sensors provided in the transfer device and the worker (S110). ).
즉, 이송 장치에 포함된 비히클이 이동하는 전체 경로에서 각 비히클들의 주행 경로, 위치 및 상태에 대한 제1 관련 정보가 획득된다. 한편, 작업자에 부착된 제2 센서가 작업자가 이동하는 동선 및 작업자의 작업 내용과 관련된 제2 관련 정보를 획득한다. 이때, 상기 제2 센서는 위치 감지 센서를 포함할 수 있다.That is, first related information about the driving path, location, and state of each vehicle is obtained from the entire path that the vehicle included in the transfer device moves. On the other hand, a second sensor attached to the worker acquires second related information related to the movement line and the work content of the worker. In this case, the second sensor may include a position sensor.
다음으로, 상기 관련 정보를 제어부에 전달하다(S130). 상기 관련 정보는 이송 장치 및 작업자에 각각 구비된 통신 장치를 이용하여 전달될 수 있다.Next, the related information is transmitted to the control unit (S130). The related information may be transmitted using a transfer device and a communication device provided to each operator.
상기 관련 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 동선 및 작업자의 동선과 작업 내용을 포함하는 통합 정보를 확정한다(S150).Integrated information including the movement line of the transfer device, the movement line of the worker, and work details is determined using the related information (S150).
즉, 상기 제어부는 상기 관련 정보를 이용하여 이송 장치 및 작업자의 동선 및 작업자의 작업 내용을 포함하는 통합 정보를 생성한다. That is, the control unit generates integrated information including the transfer device and the operator's movement line and the operator's work content using the related information.
이어서, 상기 통합 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 경로를 설정한다(S170).Subsequently, the path of the transfer device is set using the integrated information (S170).
예를 들면, 상기 작업자의 동선에 관한 위치 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 동선을 조절함으로써, 상기 작업자와의 충돌을 억제할 수 있다. 제어부는 상기 작업자의 위치 정보를 실시간으로 획득함에 따라, 상기 이송 장치가 이동 중 상기 작업자와의 충돌을 회피할 수 있는 경로를 설정할 수 있다.For example, by adjusting the movement line of the transfer device using the positional information on the movement line of the worker, it is possible to suppress a collision with the worker. As the control unit acquires the location information of the worker in real time, the control unit may set a path for avoiding a collision with the worker while the transfer device is moving.
한편, 상기 작업자의 동선에 관한 정보를 이용하여 상기 이송 장치에 관하여 상기 작업자 감지 구간 내부로의 진입 경로를 제어할 수 있다.On the other hand, it is possible to control an entry path into the inside of the worker detection section with respect to the transfer device using the information on the worker's movement line.
즉, 상기 이송 장치의 이동 경로를 조절함으로써 상기 작업자의 동선 및 상기 이송 장치의 이동 경로가 서로 중첩되어 상호 충돌하는 것이 억제될 수 있다.That is, by adjusting the moving path of the conveying device, the movement of the worker and the moving path of the conveying device overlap each other and collide with each other can be suppressed.
한편, 상기 작업자의 작업 상태 변경이 있을 경우, 해당 작업 상태의 변경과 관련된 제2 관련 정보가 제어부에 통지된다. 이로써, 상기 제어부는 이송 장치의 이송 경로를 재설정하여 해당 작업이 특정 영역에서 예약될 수 있다.Meanwhile, when there is a change in the work state of the worker, second related information related to the change in the work state is notified to the control unit. Accordingly, the control unit may reset the transfer path of the transfer device so that a corresponding job can be reserved in a specific area.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치의 관련 정보뿐 만 아니라, 작업자의 동선 또는 작업 상태에 관한 관련 정보를 이용하여 이송 장치의 경로를 설정할 수 있다. 이로써, 상기 이송 장치가 이동하는 중 작업자와의 충돌을 회피할 수 있다. According to embodiments of the present invention, the path of the transfer device may be set using not only the related information of the transfer device, but also the related information about the movement line or work condition of the worker. Accordingly, it is possible to avoid a collision with an operator while the transfer device is moving.
특히, 상기 작업자의 동선에 관한 정보를 이용하여 상기 이송 장치에 관하여 상기 작업자 감지 구간 내부로의 진입 경로를 제어함으로써 상기 작업자 및 상기 이송 장치 간의 충돌을 방지할 뿐만 아니라 상기 이송 장치의 이송 효율이 개선될 수 있다. In particular, by controlling the entry path into the worker detection section with respect to the transfer device using information on the worker's movement line, not only the collision between the worker and the transfer device is prevented, but the transfer efficiency of the transfer device is improved. Can be.
도 3은 도 2에 도시된 이송 장치의 경로를 설정하는 단계를 설명하기 위한 순서도이다. 3 is a flow chart for explaining the step of setting the path of the transfer device shown in FIG.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 통합 정보를 이용하여 이송 장치의 경로를 설정하기 위하여, 2 and 3, in order to set the path of the transfer device using the integrated information,
상기 작업자의 동선을 이용하여 작업 물동량을 예측한다(S171).The work volume is predicted by using the worker's movement line (S171).
즉, 상기 작업자가 특정 영역 내에서 상대적으로 오랜 시간 동안 많은 작업을 수행할 수 있다. 이 경우, 상기 작업자가 특정 영역에서 장시간 작업이 있는 작업 상태를 제어부에 통지하고, 상기 제어부는 상기 작업자의 작업 상태를 이용하여 작업 물동량을 예측할 수 있다.That is, the worker can perform many tasks for a relatively long time within a specific area. In this case, the worker notifies the control unit of a work state in which there is a long-time work in a specific area, and the control unit may predict the amount of work traffic using the work state of the worker.
이어서, 상기 예측된 작업 물동량 크기를 이용하여 상기 이송 장치의 경로를 재조정할 수 있다(S173). 따라서, 이송 장치가 이송물을 이송하는 중 이송 경로 상에서의 정체를 사전에 억제할 수 있다.Subsequently, the path of the transfer device may be readjusted using the predicted size of the work volume (S173). Therefore, it is possible to prevent congestion on the conveying path in advance while the conveying device conveys the conveyed object.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 이송 장치의 제어 방법에 따르면 이송 장치 뿐 만 아니라 작업자의 동선 또는 작업 상태를 고려하여 이송 장치를 이송 경로를 설정한다. 이로써 작업자 및 이송 장치 간의 충돌이 억제될 수 있다. 나아가 상기 작업자의 작업 상태에 관한 정보를 고려하여 이송 장치의 이송 경로가 설정됨에 따라 이송 장치의 이송 경로 상의 정체가 사전에 억제될 수 있다. As described above, according to the control method of the transfer device according to the present invention, not only the transfer device but also the transfer device is set in consideration of the movement line or work condition of the worker. Thereby, collision between the operator and the conveying device can be suppressed. Furthermore, as the transport path of the transport device is set in consideration of the information on the work condition of the operator, congestion on the transport path of the transport device can be suppressed in advance.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can.
110 : 이송 장치 130 : 작업자
150 : 제어부110: transfer device 130: operator
150: control unit
Claims (6)
상기 이송 장치 및 작업자에 구비된 통신 장치를 이용하여 상기 관련 정보를 전달하는 단계;
상기 관련 정보를 이용하여 상기 이송 장치 및 작업자의 동선과 작업 내용을 포함하는 통합 정보를 확정하는 단계; 및
상기 통합 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 경로를 설정하는 단계를 포함하고,
상기 이송 장치의 경로를 설정하는 단계는,
상기 작업자의 동선을 이용하여 작업 물동량을 예측하는 단계; 및
상기 예측된 작업 물동량 크기를 이용하여 상기 이송 장치의 경로를 재조정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 제어 방법.Sensing related information related to the worker and the transfer device using sensors provided in the transfer device and the worker, respectively;
Transmitting the related information using a communication device provided in the transfer device and the operator;
Determining integrated information including movement lines and work details of the transfer device and the operator using the related information; And
Including the step of setting the path of the transfer device using the integrated information,
The step of setting the path of the transfer device,
Predicting the amount of work traffic using the worker's movement line; And
And re-adjusting the path of the transfer device using the predicted size of the work volume.
상기 작업자의 위치 정보를 이용하여 상기 이송 장치의 동선을 조절함으로써, 상기 작업자와의 충돌을 억제하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 제어 방법.The method of claim 1, wherein setting the path of the transfer device comprises:
And controlling a collision with the worker by adjusting the movement line of the transfer device using the location information of the worker.
상기 작업자의 동선에 관한 정보를 이용하여 상기 이송 장치에 관하여 상기 작업자 감지 구간 내부로의 진입 경로를 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치의 제어 방법.The method of claim 1, wherein setting the path of the transfer device comprises:
And controlling an entry path into the worker detection section with respect to the transfer device by using the information on the worker's movement line.
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