KR101539316B1 - Overhead hoist trasporter controll sensor system - Google Patents

Overhead hoist trasporter controll sensor system Download PDF

Info

Publication number
KR101539316B1
KR101539316B1 KR1020150038872A KR20150038872A KR101539316B1 KR 101539316 B1 KR101539316 B1 KR 101539316B1 KR 1020150038872 A KR1020150038872 A KR 1020150038872A KR 20150038872 A KR20150038872 A KR 20150038872A KR 101539316 B1 KR101539316 B1 KR 101539316B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
oht
sensor
optical sensor
signal
booth
Prior art date
Application number
KR1020150038872A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김성수
Original Assignee
주식회사 인시스템스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 인시스템스 filed Critical 주식회사 인시스템스
Priority to KR1020150038872A priority Critical patent/KR101539316B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101539316B1 publication Critical patent/KR101539316B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

The present invention relates to equipment for manufacturing a semiconductor, and is to provide an overhead hoist transporter (OHT) control sensor system as an automation system for transporting a semiconductor wafer, the OHT control sensor system comprising: an OHT which is provided to transport a wafer carrier; a processing device which provides a station for the wafer carrier transported by the OHT, on one side, and to perform a semiconductor process; a sensor booth which is configured by a box-shaped frame surrounding the station and has an operation hatch formed on a front face; an optical sensor unit which is installed on one side of the operation hatch and is provided to detect the body of an operator passing through the operation hatch; a communication interface which is installed on one side of the outside of the sensor booth and is provided to transmit a signal input from the optical sensor to the OHT and the processing device; and an OHT input unit which is provided on one side of the OHT and is provided to be connected to the communication interface. The OHT control sensor system provides a detection sensor and a communication interface which is additionally installed in OHT automation equipment and the existing processing device having no detection sensor and no control function, detects movement during an approach to the processing device state, and rapidly stops the operation of the processing device or the OHT.

Description

OHT 제어 센서시스템{Overhead hoist trasporter controll sensor system} [0001] OHT CONTROL SENSOR SYSTEM [0002]

본 발명은 반도체 제조용 설비에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 웨이퍼 캐리어를 각 공정단계로 운반하는 설비에서 공정 범위 내로 접근하는 작업자나 물체를 감지하여 캐리어 운반이 제어되도록 함으로써 작업자의 안전 및 반도체 공정의 원활한 진행을 구현하는 호이스트 제어 센서시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a facility for manufacturing semiconductors, and more particularly, to an apparatus and a method for manufacturing a semiconductor device, and more particularly, And more particularly to a hoist control sensor system that implements the process.

반도체 생산 공정은 인력에 의한 작업을 최소화함으로써 반도체 소재의 오염과 훼손을 방지함으로써 수율을 극대화하는 기술들이 집약되어 있다. 이들 자동화 기술 중 반도체 웨이퍼가 장착된 웨이퍼 캐리어를 각각의 공정 장비로 운반해주는 물류장치는 일반적으로 호이스트(이하 OHT, over-head hoist transporter)가 적용된다. OHT는 물류 자동화 서버의 명령에 따라 생산라인의 천정에 장착된 레일을 따라 지정된 위치로 이동하여 공정이 필요한 웨이퍼 캐리어를 공정 장비의 포트에 로딩하거나, 공정이 완료된 웨이퍼 캐리어를 공정 장비로부터 언로딩하여 다음 공정 단계로 운반하는 기능을 한다. 이에 따라 OHT는 엘리베이터 장치에 의해 웨이퍼 캐리어를 천정으로부터 승강시킴으로써 공정 장비의 포트에 웨이퍼 캐리어를 로딩/언로딩하게 된다. 이때 포트 내측에 작업자 혹은 기타 물체가 있어 간섭이 발생하는 경우 웨이퍼 캐리어가 지정된 위치에 로딩되지 못해 전체 공정이 중단되거나 사고가 발생하여 생산성이 저하되고 작업위험성이 증가하는 문제가 발생할 수 있다.  Semiconductor production processes are concentrated on techniques that maximize yield by minimizing work by manpower, thereby preventing contamination and damage to semiconductor materials. Among these automation technologies, the overhead hoist transporter (OHT) is generally applied to a logistic device that carries wafer carriers equipped with semiconductor wafers to respective process equipments. The OHT moves to a designated position along the rail mounted on the ceiling of the production line according to the instructions of the logistics automation server to load the wafer carrier requiring processing into the port of the processing equipment or unloads the processed wafer carrier from the processing equipment To the next process step. The OHT thus causes the wafer carrier to be loaded / unloaded into the port of the process equipment by lifting the wafer carrier from the ceiling by the elevator apparatus. At this time, if there is a worker or other object inside the port, if the interference occurs, the wafer carrier can not be loaded at the designated position, and the whole process may be interrupted or an accident may occur, resulting in a decrease in productivity and an increase in work risk.

이를 방지하고자 종래 기술은 포트 내의 간섭 여부를 확인할 수 있는 인지램프를 장착하거나, 바리케이트와 같은 접근 방지 기구를 설치하고 있다. In order to prevent this, the prior art is equipped with a cognitive lamp for checking whether there is interference in the port or an access prevention mechanism such as a barricade.

국내 공개특허 제10-2011-0033882호(공개일 : 2011.04.01.)는 웨이퍼 캐리어의 운반 경로와 작업자 혹은 기타 물체 사이의 간섭 여부를 확인하는 센서가 장착된 감지 센서부와; 상기 감지 센서부로부터 입력된 신호를 제어장치에 전달하는 신호 입력장치; 상기 신호 입력장치로부터 입력된 신호와 장비의 작업 진행상태를 바탕으로 음성 경고 발생 여부를 판단하는 제어부; 및 발생 된 음성 경고를 출력하는 스피커를 포함하는 반도체 웨이퍼 캐리어 자동 운반체의 웨이퍼 캐리어 음성 경고 발생 장치를 제공한다. Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2011-0033882 (published on April 21, 2011) discloses an image forming apparatus including a detection sensor unit equipped with a sensor for checking whether a wafer carrier has a conveyance path and interference between a worker or other object; A signal input device for transmitting a signal input from the detection sensor unit to a control device; A control unit for determining whether a voice warning is generated based on a signal input from the signal input device and a progress state of the equipment; And a speaker for outputting the generated voice warning. The present invention also provides a wafer carrier voice warning device of a semiconductor wafer carrier automatic carrier.

상기 인용기술은 음향 신호를 이용하여 작업자에게 웨이퍼 캐리어의 운송 반경 내에 간섭 발생 여부를 환기함으로써 작업자의 시각이 미치지 않는 경우에도 웨이퍼 캐리어의 안전한 운반이 이뤄질 수 있도록 하고 있다. The above citation technique uses an acoustic signal to ventilate the operator to the occurrence of interference within the transportation radius of the wafer carrier, so that safe transportation of the wafer carrier can be achieved even if the operator's vision is insufficient.

그러나 상기 인용기술은 작업자의 주의를 환기시키기 위한 청각 신호를 제공하는 장치에 불과하여 신호를 인지한 작업자가 수동으로 간섭 요인을 배제하는 조치를 취하거나 공정을 중단시켜야 하기 때문에, 작업자의 숙련도에 의지해야 하고 미처 조치를 취하지 못했을 경우 사고가 발생할 위험이 있다. However, the above-mentioned citation technique is merely a device for providing an auditory signal to call attention of an operator, so that an operator who perceives a signal has to manually take an action to exclude an interference factor or interrupt the process, There is a risk of an accident if you have to and you can not take action.

상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 웨이퍼 캐리어의 이동 반경 내에서 이상이 감지될 시에 OHT 및 해당 공정 장비의 작동을 일시적으로 중지시킬 수 있고, 기존의 공정 장비와 OHT에 부가적으로 설치할 수 있는 호이스트 제어센서 시스템을 제공한다. In order to solve the above-mentioned problems, the present invention can temporarily stop the operation of the OHT and the corresponding process equipment when an abnormality is detected within the moving radius of the wafer carrier, The present invention provides a hoist control sensor system that can be installed additionally.

본 발명의 다른 목적들은 이하의 실시예에 대한 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다. Other objects of the present invention will become readily apparent from the following description of the embodiments.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면에 의하면, 반도체 웨이퍼 이송을 위한 자동화 시스템에 있어서, 웨이퍼 캐리어를 이송하도록 마련되는 OHT; 상기 OHT에 의해 운반되는 웨이퍼 캐리어가 안착되는 스테이션이 일측에 구비되고, 반도체공정이 진행되도록 마련되는 공정장치; 상기 스테이션을 둘러싸는 박스형 프레임으로 이루어지고, 전면에 작업창구가 형성되는 센서부스; 상기 작업창구 일측에 설치되고, 상기 작업창구를 통과하는 작업자의 신체를 감지하도록 마련되는 광센서부; 상기 센서부스의 외부 일측에 설치되고, 상기 상기 광센서부로부터 입력된 신호를 상기 OHT 및 상기 공정장치로 전달하도록 마련되는 통신인터페이스; 및 상기 OHT의 일측에 마련되고, 상기 통신인터페이스에 연결되도록 마련되는 OHT 입력부를 포함하는 OHT 제어 센서시스템이 제공된다. According to an aspect of the present invention, there is provided an automation system for semiconductor wafer transfer, comprising: an OHT configured to transfer a wafer carrier; A processing apparatus having a station where a wafer carrier carried by the OHT is seated, and a semiconductor process being performed; A sensor booth comprising a box-shaped frame surrounding the station and having a work window formed on a front surface thereof; An optical sensor unit installed at one side of the work window and adapted to detect the body of the worker passing through the work window; A communication interface provided at an outer side of the sensor booth and adapted to transmit a signal input from the optical sensor unit to the OHT and the processing apparatus; And an OHT input unit provided at one side of the OHT and connected to the communication interface.

여기에서 상기 광센서부는, IR램프부 및 광센서를 포함하고, 상기 센서부스는, 상기 전면 작업창구의 일측 모서리를 따라 형성되고, 상기 IR램프부가 안착되도록 마련되는 IR램프 장착레일; 상기 작업창구의 타측 모서리에 구비되고, 상기 IR램프부에서 조사되는 적외선광을 감지하도록 상기 광센서가 안착되는 광센서 장착레일; 양 측면에 형성되고 상기 스테이션을 관측할 수 있도록 설치되는 투명창; 및 상면에 상기 웨이퍼 캐리어가 출납될 수 있도록 개구로 마련되는 출입구를 포함하는 OHT 제어 센서시스템이 제공된다. Here, the optical sensor unit includes an IR lamp unit and an optical sensor, the sensor booth is formed along one side edge of the front work hatch, and the IR lamp mounting unit is mounted on the IR lamp mounting unit. An optical sensor mounting rail provided on the other corner of the work hatch and on which the optical sensor is mounted to detect infrared light emitted from the IR lamp unit; A transparent window formed on both sides and installed so as to observe the station; And an access port provided on an upper surface of the wafer carrier so as to open and close the wafer carrier.

또한 상기 통신인터페이스는, 상기 센서부스의 후면 일측에 설치되는 외함; 상기 외함 전면에 배치되고, 상기 센서부의 신호를 수신하도록 마련되는 직렬 I/O 포트; 상기 외함 전면에 배치되고, 상기 공정장치와 신호를 송수신하도록 마련되는 제 1 병렬 I/O 포트; 상기 외함 전면에 배치되고, 상기 OHT에 신호를 송신하도록 마련되는 제 2 병렬 I/O 포트; 상기 광센서부의 신호 입력 여부를 표시하도록 상기 외함 일측에 설치되는 LED표시부; 상기 광센서부의 신호 입력 여부를 상기 공정장치로 송신하고, 상기 공정장치로부터 입력되는 신호에 따라 상기 OHT에 신호를 송신하는 제어부를 포함하는 OHT 제어 시스템이 제공된다. The communication interface may include an enclosure installed at a rear side of the sensor booth; A serial I / O port disposed on the front surface of the enclosure and adapted to receive a signal of the sensor unit; A first parallel I / O port disposed on the front surface of the enclosure and adapted to transmit and receive signals to and from the processing apparatus; A second parallel I / O port disposed on the front side of the enclosure, the second parallel I / O port adapted to transmit a signal to the OHT; An LED display unit installed at one side of the enclosure to indicate whether the optical sensor unit inputs a signal; And a control unit which transmits to the processing apparatus whether or not a signal of the optical sensor unit is input and transmits a signal to the OHT according to a signal input from the processing apparatus.

한편 상기 제어부는, 상기 광센서부의 감지 신호가 입력될 시에만 차단되고, 상시 온(ON) 상태를 상기 공정장치로 송신하도록 하는 센서신호스위치를 포함하는 OHT 제어 시스템이 제공된다. Meanwhile, the control unit includes a sensor signal switch that is turned off only when a sensing signal of the optical sensor unit is input, and transmits a normally ON state to the processing apparatus.

본 발명에 따른 OHT 제어센서 시스템은 감지센서 및 제어기능이 없는 기존의 공정장치 및 OHT 자동화 설비에 부가적으로 설치됨으로써 공정장치 스테이션에 접근하는 움직임을 감지하고, 공정장치 내지 OHT의 작동을 긴급하게 중지시킬 수 있는 감지센서 및 통신인터페이스를 제공한다. The OHT control sensor system according to the present invention is additionally installed in an existing process apparatus and an OHT automation apparatus that do not have a sensing sensor and a control function, thereby detecting movement of approaching a process apparatus station and urgently controlling the operation of the process apparatus or OHT A sensing sensor and a communication interface which can be stopped.

감지센서는 적외선광을 이용하는 광센서로 마련되고, 센서부스에 매립되어 제공된다. 통신인터페이스 역시 병렬I/O포트 및 직렬I/O포트를 가지는 외함이 센서부스의 후면에 설치되어 제공됨으로써 기존 공정장치에 쉽게 설치가 가능하다. The detection sensor is provided as an optical sensor using infrared light and is provided buried in the sensor booth. The communication interface is also provided on the rear of the sensor booth with an enclosure with parallel I / O ports and serial I / O ports, making it easy to install on existing process equipment.

통신인터페이스의 제어부 내에는 센서신호스위치가 상기 오프(off) 상태를 유지하도록 설정되어 있어 광센서부의 오동작 또는 정전으로 인한 작동중지가 발생하더라도 공정장치 내지 OHT는 계속해서 작동되도록 할 수 있다. 이와 같이 함으로써 광센서부의 단순 고장으로 인해 해당 공정 내지는 공정 전체가 중지되는 문제를 방지할 수 있다. In the control unit of the communication interface, the sensor signal switch is set to maintain the off state, so that the process apparatus or the OHT can be continuously operated even if the optical sensor unit is malfunctioned or the operation stop due to the power failure occurs. By doing so, it is possible to prevent the problem that the corresponding process or the entire process is stopped due to the simple failure of the optical sensor unit.

도 1은 본 발명인 OHT 제어센서 시스템의 일 실시예를 도시한 모식도이다.
도 2는 본 발명인 OHT 제어센서 시스템의 일 실시예를 도시한 구성도이다.
도 3은 본 발명인 OHT 제어센서 시스템 중 센서부스의 일 실시예를 도시한 사면도이다.
도 4는 본 발명인 OHT 제어센서 시스템 중 광센서부의 일 실시예를 도시한 상면도이다.
도 5는 본 발명인 OHT 제어센서 시스템 중 통신인터페이스의 일 실시예를 도시한 구성도이다. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of an OHT control sensor system according to the present invention.
2 is a block diagram showing an embodiment of an OHT control sensor system according to the present invention.
3 is an oblique view showing an embodiment of the sensor booth in the OHT control sensor system of the present invention.
4 is a top view illustrating an embodiment of the optical sensor unit in the OHT control sensor system of the present invention.
5 is a configuration diagram showing an embodiment of a communication interface among OHT control sensor systems according to the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고, 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니고, 본 발명의 기술 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 식으로 이해 되어야 하고, 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It is to be understood, however, that the invention is not to be limited to the specific embodiments, but is to be understood to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention, And the scope of the present invention is not limited to the following examples.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명하며, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고, 이에 대해 중복되는 설명을 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, wherein like or corresponding elements are denoted by the same reference numerals, and redundant explanations thereof will be omitted.

도 1은 본 발명인 OHT 제어센서 시스템의 일 실시예를 도시한 모식도이고, 도 2는 본 발명인 OHT 제어센서 시스템의 일 실시예를 도시한 구성도이다. FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of an OHT control sensor system according to the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram showing an embodiment of an OHT control sensor system according to the present invention.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 발명은 공정장치(10), 웨이퍼캐리어(20), OHT(30), 통신인터페이스(100) 및 센서부스(200)로 구성된다. 1 and 2, the present invention comprises a processing apparatus 10, a wafer carrier 20, an OHT 30, a communication interface 100, and a sensor booth 200.

공정장치(10)는 운송된 웨이퍼캐리어로부터 웨이퍼를 반출하여 반도체 공정을 진행시키는 장치로서 도 2에 도시된 바와 같이 웨이퍼캐리어(20)가 로딩되는 하나 이상의 스테이션이 구비될 수 있다. The processing apparatus 10 may be provided with one or more stations to which the wafer carrier 20 is loaded, as shown in FIG. 2, as an apparatus for carrying out the semiconductor processing by carrying out the wafer from the transported wafer carrier.

웨이퍼캐리어(20)는 FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 불리는 장치로서 다수의 웨이퍼가 내부에 적층되어 운반되고, 공정장치(10)의 스테이션에 안착되어 웨이퍼를 순차적으로 공정장치(10) 내로 로딩하거나 언로딩되도록 하는 웨이퍼 출입장치를 포함할 수 있다. The wafer carrier 20 is a device called a front opening unified pod (FOUP), in which a plurality of wafers are stacked and transported and placed on the station of the processing apparatus 10 to sequentially load the wafers into the processing apparatus 10 And a wafer access device for allowing the wafer to be unloaded.

OHT(Over-head hoist transporter, 이하 OHT)(30)는 웨이퍼캐리어(20)를 공정설비의 천정에 설치되는 레일을 따라 이동시키고, 각 공정장치(10)의 포트에 웨이퍼캐리어(20)를 강하시켜 안착되도록 하거나, 스테이션으로부터 회수하여 다음 공정장치로 이송시키는 장치이다. The OHT 30 moves the wafer carrier 20 along the rails provided on the ceiling of the process facility and drops the wafer carrier 20 to the port of each process apparatus 10 , Or is recovered from the station and transferred to the next processing apparatus.

도 3을 참조하면, 센서부스(200)는 공정장치(10)의 스테이션을 둘러싸는 박스형 프레임으로 이루어지고, 전면에 작업창구(205)가 형성되고, 상기 작업창구(205)의 양 측면에 광센서부(210)가 장착되어 스테이션 내로 작업자의 신체나 기타 물체가 진입하는 것을 제한하는 기능을 한다. 또한 센서부스(200)의 양 측면에는 투명창(203)이 마련되어 외부에서 센서부스(200) 내에서 이루어지는 작업 상태를 관찰할 수 있다. 3, the sensor booth 200 comprises a box-shaped frame surrounding the station of the processing apparatus 10, and a work hatch 205 is formed on a front surface thereof. The sensor unit 210 is installed to limit the entry of a worker's body or other objects into the station. In addition, a transparent window 203 is provided on both sides of the sensor booth 200 to observe the operation state in the sensor booth 200 from the outside.

센서부스(200)는 공정장치(10)와 별개로 제작되어 공정장치(10)의 스테이션 상에 설치될 수 있다. 이에 따라 센서부스(200)는 공정장치(10)의 규모에 따라 다양한 규격으로 별도 제작될 수 있으므로, 기존의 공정장치(10)에 용이하게 적용이 가능하다. 또한 센서부스(200)의 일측에는 통신인터페이스(100)가 구비되므로 센서부스(200)를 설치함으로써 공정장치(10)와 OHT(30) 및 광센서부(210) 간의 연결을 위한 별도의 통신설비를 장착할 필요가 없어 설비의 설치 및 관리가 용이하다. The sensor booth 200 may be fabricated separately from the processing apparatus 10 and installed on the station of the processing apparatus 10. Accordingly, the sensor booth 200 can be manufactured in various standards according to the scale of the process apparatus 10, and thus can be easily applied to the existing process apparatus 10. Since the communication booth 200 is provided at one side of the sensor booth 200, the sensor booth 200 is installed to provide a separate communication facility for connection between the processing apparatus 10 and the OHT 30 and the optical sensor unit 210. It is easy to install and manage the equipment.

도 5를 참조하면, 통신인터페이스(100)는 센서부스(200)에 설치되는 광센서부(210)의 신호에 따라 공정장치(10) 및 OHT(30) 간에 통신이 이뤄지도록 하는 장치로서, 센서부스(200)의 후면에 설치되는 외함(110)의 전면에 각각의 통신용 포트가 구비될 수 있다. 일례로 광센서부(210)와 연결되기 위한 직렬I/O포트(120), 공정장치(10)와 연결되기 위한 제 1 병렬I/O포트(130) 및 OHT(30)와 연결되기 위한 제 2 병렬I/O포트(140)가 구비될 수 있다. 5, the communication interface 100 is a device that enables communication between the processing apparatus 10 and the OHT 30 according to a signal from the optical sensor unit 210 installed in the sensor booth 200, Each communication port may be provided on the front surface of the enclosure 110 installed on the rear surface of the booth 200. A serial I / O port 120 to be connected to the optical sensor unit 210; a first parallel I / O port 130 to be connected to the processing apparatus 10; Two parallel I / O ports 140 may be provided.

또한 통신인터페이스(100)의 전면에는 작동 상태를 표시하기 위한 LED램프(160)가 장착될 수 있다. LED램프(160)는 정상작동, 광센서부(210)로부터 감지신호를 수신하는 비상작동 상태를 각각 표시하도록 하는 적록색 발광 다이오드로 이루어질 수 있다. An LED lamp 160 may be mounted on a front surface of the communication interface 100 to indicate an operation state. The LED lamp 160 may include a red-green light-emitting diode for displaying a normal operation state and an emergency operation state for receiving a detection signal from the photosensor unit 210, respectively.

통신인터페이스(100)는 또한 광센서부(210)의 오동작 내지 고장으로 인해 스테이션 내의 상황이 정상적임에도 불구하고 공정장치(10) 내지 OHT(30)가 중지되는 것을 방지하기 위해, 제어부(150) 내에 센서신호스위치(151)를 포함할 수 있다. 센서신호스위치(151)는 정상 상태에서 폐쇄된 상태를 유지하고, 광센서부(210)로부터 감지신호가 입력될 시에만 접속된 상태로 스위칭되도록 설정됨으로써, 광센서부(210)가 고장이나 오동작으로 인해 통신인터페이스(100)와 전기적으로 단절되더라도 공정장치(10) 내지 OHT(30)로 중지 신호를 전송하지 않도록 할 수 있다. The communication interface 100 is also connected to the control unit 150 so as to prevent the process apparatus 10 to the OHT 30 from being halted due to a malfunction or failure of the optical sensor unit 210, And a sensor signal switch 151. The sensor signal switch 151 is kept closed in the normal state and is set to be switched to the connected state only when the sensing signal is inputted from the optical sensor unit 210. As a result, It is possible to prevent the stop signal from being transmitted to the processing apparatus 10 to the OHT 30 even when the communication interface 100 is electrically disconnected.

제어부(150)는 센서신호스위치(151)가 광센서부(210)의 입력 신호에 의해 온(on) 상태로 전환되면 공정장치(10) 내지 OHT(30)로 중지신호를 전송하고, LED램프(160)의 점등신호를 전환하는 기능을 수행한다. 또한 제어부(150)는 OHT(30)와 공정장치(10) 간에 별도의 통신라인이 없을 경우 양 장치 간에 통신을 매개하는 중계기 역할을 수행할 수 있다. The control unit 150 transmits a stop signal to the processing apparatus 10 to the OHT 30 when the sensor signal switch 151 is turned on by the input signal of the optical sensor unit 210, And switches the light-up signal of the light source 160. The control unit 150 may also serve as a relay for mediating communication between the OHT 30 and the processing apparatus 10 when there is no separate communication line.

다시 도 4를 참조하면, 광센서부(210)는 센서부스(200)의 작업창구(205) 양 측면에 각각 장착되는 IR램프부(211) 및 광센서(212)로 이루어질 수 있다. IR램프부(211)는 광센서(212) 측을 향하여 적외선광을 조사하도록 설치됨으로써, 작업창구(205)를 통해 진입되는 물체가 적외선광을 차단하게 된다. 광센서(212)는 IR램프부(211)의 적외선광을 수광하도록 설치됨으로써, 작업창구(205)를 통해 진입되는 물체에 의해 적외선광이 차단될 시 이를 감지하여 통신인터페이스(100)로 감지신호를 전송한다. 4, the optical sensor unit 210 may include an IR lamp unit 211 and an optical sensor 212 mounted on both sides of the work hatch 205 of the sensor booth 200, respectively. The IR lamp unit 211 is installed to irradiate infrared light toward the optical sensor 212, so that an object entering through the work window 205 blocks infrared light. The light sensor 212 is provided to receive the infrared light of the IR lamp unit 211 so that when the infrared light is blocked by the object entering through the work window 205, .

이에 따라 센서부스(200)의 작업창구(205) 양 측면에는 IR램프부(211) 및 광센서(212)가 각각 장착되기 위한 IR램프 장착레일(201) 및 광센서 장착레일(202)이 구비될 수 있다. 각각의 레일은 센서부스(200) 작업창구(205)의 측면 프레임 내측으로 형성되는 홈 형상으로 마련됨으로써 IR램프부(211) 내지 광센서(212)가 작업창구의 상기 측면 프레임을 따라 수직하게 설치될 수 있다. An IR lamp mounting rail 201 and an optical sensor mounting rail 202 for mounting the IR lamp unit 211 and the optical sensor 212 are provided on both sides of the operation window 205 of the sensor booth 200 . Each of the rails is provided in a groove shape formed inside the side window of the operation window 205 of the sensor booth 200 so that the IR lamp unit 211 to the optical sensor 212 are vertically installed along the side window of the work window .

이와 같이 센서부스(200)는 통신인터페이스(100) 및 광센서부(210)가 설치되어 있으므로 기존의 공정장치(10)에 용이하게 부가 설치될 수 있으며, 범용 병렬포트가 구비되어 장치 간의 연결이 쉽다. Since the communication interface 100 and the optical sensor unit 210 are installed in the sensor booth 200 as described above, the sensor booth 200 can be easily installed in the existing process apparatus 10, and the universal parallel port is provided, easy.

이와 같은 본 발명에 따른 OHT 제어센서 시스템의 작용을 설명하기로 한다. The operation of the OHT control sensor system according to the present invention will now be described.

본 발명에 따른 OHT 제어센서 시스템은 감지센서 및 제어기능이 없는 기존의 공정장치 및 OHT 자동화 설비에 부가적으로 설치됨으로써 공정장치 스테이션에 접근하는 움직임을 감지하고, 공정장치 내지 OHT의 작동을 긴급하게 중지시킬 수 있는 감지센서 및 통신인터페이스를 제공한다. The OHT control sensor system according to the present invention is additionally installed in an existing process apparatus and an OHT automation apparatus that do not have a sensing sensor and a control function, thereby detecting movement of approaching a process apparatus station and urgently controlling the operation of the process apparatus or OHT A sensing sensor and a communication interface which can be stopped.

감지센서는 적외선광을 이용하는 광센서(212)로 마련되고, 센서부스(200)에 매립되어 제공된다. 통신인터페이스(100) 역시 병렬I/O포트 및 직렬I/O포트를 가지는 외함(110)이 센서부스(200)의 후면에 설치되어 제공됨으로써 기존 공정장치(10)에 쉽게 설치가 가능하다. The detection sensor is provided as an optical sensor 212 using infrared light and is provided buried in the sensor booth 200. The communication interface 100 is also provided with an enclosure 110 having a parallel I / O port and a serial I / O port installed on the rear surface of the sensor booth 200, so that the communication interface 100 can be easily installed in the existing process apparatus 10.

통신인터페이스(100)의 제어부(150) 내에는 센서신호스위치(151)가 상기 오프(off) 상태를 유지하도록 설정되어 있어 광센서부(210)의 오동작 또는 정전으로 인한 작동중지가 발생하더라도 공정장치(10) 내지 OHT(30)는 계속해서 작동되도록 할 수 있다. 이와 같이 함으로써 광센서부(210)의 단순 고장으로 인해 해당 공정 내지는 공정 전체가 중지되는 문제를 방지할 수 있다. Even if the sensor signal switch 151 is set to maintain the off state in the control unit 150 of the communication interface 100 and the operation stop of the optical sensor unit 210 due to malfunction or power failure occurs, (10) to OHT (30) can be operated continuously. By doing so, it is possible to prevent the problem that the corresponding process or the entire process is stopped due to the simple failure of the optical sensor unit 210.

이와 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이러한 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the invention. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the following claims.

10 : 공정장치 20 : 웨이퍼 캐리어
30 : OHT
100 : 통신인터페이스 110 : 외함
120 : 직렬I/O포트 130 : 제 1 병렬I/O포트
140 : 제 2 병렬I/O포트 150 : 제어부
160 : LED램프 200 : 센서부스
201 : IR램프 장착레일 202 : 광센서 장착레일
203 : 투명창 204 : 상면개구
205 : 작업창구 210 : 광센서부
211 : IR램프부 212 : 광센서10: Process Apparatus 20: Wafer Carrier
30: OHT
100: Communication interface 110: Enclosure
120: serial I / O port 130: first parallel I / O port
140: second parallel I / O port 150:
160: LED lamp 200: sensor booth
201: IR lamp mounting rail 202: Optical sensor mounting rail
203: transparent window 204: upper surface opening
205: Operation window 210: Light sensor part
211: IR lamp unit 212: Light sensor

Claims (4)

반도체 웨이퍼 이송을 위한 자동화 시스템에 있어서,
웨이퍼 캐리어를 이송하도록 마련되는 OHT(Over-head hoist transporter);
상기 OHT에 의해 운반되는 웨이퍼 캐리어가 안착되는 스테이션이 일측에 구비되고, 반도체공정이 진행되도록 마련되는 공정장치;
상기 스테이션을 둘러싸는 박스형 프레임으로 이루어지고, 전면에 작업창구가 형성되는 센서부스;
상기 작업창구 일측에 설치되고, 상기 작업창구를 통과하는 작업자의 신체를 감지하도록 마련되는 광센서부;
상기 센서부스의 외부 일측에 설치되고, 상기 상기 광센서부로부터 입력된 신호를 상기 OHT 및 상기 공정장치로 전달하도록 마련되는 통신인터페이스; 및
상기 OHT의 일측에 마련되고, 상기 통신인터페이스에 연결되도록 마련되는 OHT 입력부를 포함하고,
상기 광센서부는,
IR램프부 및 광센서를 포함하고,
상기 센서부스는,
상기 전면 작업창구의 일측 모서리를 따라 형성되고, 상기 IR램프부가 안착되도록 마련되는 IR램프 장착레일;
상기 작업창구의 타측 모서리에 구비되고, 상기 IR램프부에서 조사되는 적외선광을 감지하도록 상기 광센서가 안착되는 광센서 장착레일;
양 측면에 형성되고 상기 스테이션을 관측할 수 있도록 설치되는 투명창; 및
상면에 상기 웨이퍼 캐리어가 출납될 수 있도록 개구로 마련되는 출입구를 포함하고,
상기 통신인터페이스는,
상기 센서부스의 후면 일측에 설치되는 외함;
상기 외함 전면에 배치되고, 상기 센서부의 신호를 수신하도록 마련되는 직렬 I/O 포트;
상기 외함 전면에 배치되고, 상기 공정장치와 신호를 송수신하도록 마련되는 제 1 병렬 I/O 포트;
상기 외함 전면에 배치되고, 상기 OHT에 신호를 송신하도록 마련되는 제 2 병렬 I/O 포트;
상기 광센서부의 신호 입력 여부를 표시하도록 상기 외함 일측에 설치되는 LED표시부;
상기 광센서부의 신호 입력 여부를 상기 공정장치로 송신하고, 상기 공정장치로부터 입력되는 신호에 따라 상기 OHT에 신호를 송신하는 제어부를 포함하는 OHT 제어 센서시스템. 1. An automated system for semiconductor wafer transfer,
An over-head hoist transporter (OHT) adapted to transport the wafer carrier;
A processing apparatus having a station where a wafer carrier carried by the OHT is seated, and a semiconductor process being performed;
A sensor booth comprising a box-shaped frame surrounding the station and having a work window formed on a front surface thereof;
An optical sensor unit installed at one side of the work window and adapted to detect the body of the worker passing through the work window;
A communication interface provided at an outer side of the sensor booth and adapted to transmit a signal input from the optical sensor unit to the OHT and the processing apparatus; And
And an OHT input unit provided at one side of the OHT and connected to the communication interface,
The optical sensor unit includes:
An IR lamp unit and an optical sensor,
In the sensor booth,
An IR lamp mounting rail formed along one side edge of the front work window and adapted to receive the IR lamp section;
An optical sensor mounting rail provided on the other corner of the work hatch and on which the optical sensor is mounted to detect infrared light emitted from the IR lamp unit;
A transparent window formed on both sides and installed so as to observe the station; And
And an entrance port provided on the upper surface of the wafer carrier so as to allow the wafer carrier to be received therein,
Wherein the communication interface comprises:
An enclosure installed at a rear side of the sensor booth;
A serial I / O port disposed on the front surface of the enclosure and adapted to receive a signal of the sensor unit;
A first parallel I / O port disposed on the front surface of the enclosure and adapted to transmit and receive signals to and from the processing apparatus;
A second parallel I / O port disposed on the front side of the enclosure, the second parallel I / O port adapted to transmit a signal to the OHT;
An LED display unit installed at one side of the enclosure to indicate whether the optical sensor unit inputs a signal;
And a control unit which transmits to the processing apparatus whether or not a signal of the optical sensor unit is inputted and transmits a signal to the OHT according to a signal inputted from the processing apparatus. 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 제어부는,
상기 광센서부의 감지 신호가 입력될 시에만 차단되고, 상시 온(ON) 상태를 상기 공정장치로 송신하도록 하는 센서신호스위치를 포함하는 OHT 제어 센서시스템. The method according to claim 1,
Wherein,
And a sensor signal switch for shutting off only when a sensing signal of the optical sensor unit is input and for transmitting a normally ON state to the processing apparatus.
KR1020150038872A 2015-03-20 2015-03-20 Overhead hoist trasporter controll sensor system KR101539316B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150038872A KR101539316B1 (en) 2015-03-20 2015-03-20 Overhead hoist trasporter controll sensor system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150038872A KR101539316B1 (en) 2015-03-20 2015-03-20 Overhead hoist trasporter controll sensor system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101539316B1 true KR101539316B1 (en) 2015-07-27

Family

ID=53875151

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150038872A KR101539316B1 (en) 2015-03-20 2015-03-20 Overhead hoist trasporter controll sensor system

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101539316B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210017444A (en) * 2019-08-08 2021-02-17 세메스 주식회사 Method of controlling a transferring apparatus
KR20230016798A (en) 2021-07-27 2023-02-03 주식회사 뉴로다임 OHT anomaly detection system using artificial intelligence

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040082647A (en) * 2003-03-19 2004-09-30 삼성전자주식회사 Semiconductor wafer transfer having safety system
KR100543456B1 (en) * 2004-12-10 2006-01-24 김원기 Circulation system for procession of wafer
KR20110033882A (en) * 2009-09-26 2011-04-01 이종원 Voice warning system for overhead hoist transporter

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20040082647A (en) * 2003-03-19 2004-09-30 삼성전자주식회사 Semiconductor wafer transfer having safety system
KR100543456B1 (en) * 2004-12-10 2006-01-24 김원기 Circulation system for procession of wafer
KR20110033882A (en) * 2009-09-26 2011-04-01 이종원 Voice warning system for overhead hoist transporter

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210017444A (en) * 2019-08-08 2021-02-17 세메스 주식회사 Method of controlling a transferring apparatus
KR102221115B1 (en) 2019-08-08 2021-02-26 세메스 주식회사 Method of controlling a transferring apparatus
KR20230016798A (en) 2021-07-27 2023-02-03 주식회사 뉴로다임 OHT anomaly detection system using artificial intelligence

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9758308B1 (en) Article transport facility
US9991143B2 (en) Carrier transport system and transport method
KR20160008462A (en) Inter-floor transport facility
US8113320B2 (en) Fire evacuation support system and fire door control device
US10153189B2 (en) Carrier buffering device and buffering method
JP6237910B2 (en) Automatic warehouse and control method of automatic warehouse
EP3159921B1 (en) Carrier buffering device and storage method
KR20160119720A (en) Article transport facility
KR20100062919A (en) Transporting vehicle system
US9834236B2 (en) Conveyance system
KR20150124399A (en) Wafer mapping apparatus and load port having the same
JP2000225938A (en) Carrying device of ceiling running type
KR101539316B1 (en) Overhead hoist trasporter controll sensor system
US10964573B2 (en) Ceiling carrier vehicle
EP1113214A1 (en) Light curtain system for establishing a protective light curtain, tool and system for processing objects and method for loading/unloading a tool
US8002087B2 (en) Entrance/exit device for elevator
KR20200072140A (en) A Junction Controller For Controlling Travel in Junction and A Transportation System Having The Same
JPH1124750A (en) Automated guided vehicle
TW201718369A (en) Transport system and transport method
JP4465415B2 (en) Ceiling traveling transfer device
KR101199800B1 (en) Screen door system for light curtain
US20230058552A1 (en) Collision prevention system and collision prevention method of automated overhead hoist
KR20220139096A (en) Control system including black box camera for semiconductor line OHT
US20210118709A1 (en) System for a semiconductor fabrication facility and method for operating the same
KR102441186B1 (en) Substrate transfer device

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180516

Year of fee payment: 4