KR102218005B1 - 유기 발광 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

유기 발광 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조방법은 메탈 프레임의 상부면에 용접되어 고정된 메탈 마스크를 분리하는 단계, 상기 메탈 프레임의 상부면을 평탄화하는 단계, 상기 메탈 프레임의 두께가 미리 정해진 두께 미만인지 여부를 측정하는 단계, 상기 메탈 프레임의 두께가 미리 정해진 두께 미만인 경우, 상기 메탈 프레임의 상부면에 보충 부재를 접합하는 단계, 및 상기 보충 부재가 접합된 상기 메탈 프레임의 상부면에 메탈 마스크를 용접하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

유기 발광 표시 장치의 제조방법{METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPALY}
본 발명은 일반적으로 유기 발광 표시 장치 기술 분야에 관한 것으로, 구체적으로 높은 해상도의 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
표시 장치는 발광 방식에 따라 액정 표시 장치(liquid crystal display, LCD), 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display, OLED display), 플라즈마 표시 장치(plasma display panel, PDP) 및 전기 영동 표시 장치(electrophoretic display) 등으로 분류된다.
근래 널리 제조되고 있는 유기 발광 표시 장치는, 텔레비젼, 퍼스널 컴퓨터(PC)용 모니터, 태블릿 PC, 스마트폰, 스마트워치 및 차량 계기판 등 디스플레이로서 널리 이용되고 있다. OLED는 빛을 내는 층이 유기 화합물로 이루어진 박막 발광 다이오드이다.
과거의 LCD 디스플레이 방식과 비교할 때, 유기 발광 표시 장치 기술에는 백라이트를 사용할 필요가 없으며, 유기 발광 표시 장치 기술은 자체 발광 특성을 가지고, 매우 얇은 유기 물질 필름 및 유리 기판이 사용되며, 전류가 흐를 때 유기물질은 빛을 발산하므로 유기 발광 표시 장치는 전력 사용량을 효과적으로 절약할 수 있고, 더 밝고 더 얇아질 수 있으며, 더 넓은 시야각을 제공하여, 또한 LCD보다 더 넓은 온도 변화 범위에서도 잘 견딜 수 있다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 기판 상에 유기 재료로 이루어진 여러 층의 박막을 음극과 양극이 싸고 있는 구조로 이루어져 있으며, 음극과 양극에 전압을 인가하면 전류가 흐르게 되면서 유기 박막 내에서 발광 현상이 발생하게 된다. 즉, 전류 주입에 의해 유기 분자가 여기 상태(excited state)로 들뜨게 되었다가 다시 원래의 기저 상태(ground state)로 돌아오면서 여분의 에너지를 빛으로 방출 하게 된다. 이와 같이, 여러 층의 유기 박막을 포함하고 있는 유기 발광 표시 장치를 형성하기 위해, 기판 전체에 걸쳐 유기 박막을 증착한다.
유기 발광 표시 장치 제조시 전극층, 유기 발광층, 절연막 등의 박막층을 적층하고 패터닝하는 박막 공정이 필요하다. 박막 공정은 각각 대응하는 개구부 패턴이 구비된 마스크 조립체를 이용하게 되며, 예컨대 화학적 기상증착(CVD, chemical vapor deposition), 스퍼터링(sputtering), 이온 플레이팅(ion plating), 진공 증착(evaporation) 등이 포함된다.
일반적인 유기물 증착장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 메탈 마스크(100), 메탈 프레임(200), 기판(300), 유기물 증착 용기(400) 및 진공 챔버(500)를 포함하며, 메탈 마스크(100)는 복수개의 패턴홀을 포함하며, 이 패턴홀은 기판 상에 형성될 패턴과 대응되도록 형성될 수 있다.
이러한 증착 공정에 사용되는 마스크의 종류로는, 각 표시 장치의 표시 영역 내에서 위치에 따른 정밀 패터닝을 진행할 때 사용되는 파인 메탈 마스크(fine metal mask, FMM)와, 표시 영역 전체에 걸쳐서 공통층을 형성할 때 사용되는 오픈 마스크(open mask)가 있다. 예를 들어, 발광층과 같이 표시 영역 내의 정해진 화소 위치에만 정밀하게 증착 물질을 증착해야 하는 경우, 상기 파인 메탈 마스크가 사용된다. 반면, 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 주입층, 정공 수송층과 같이 표시 영역 전체에 걸쳐서 증착 물질을 증착하는 경우, 그 전체 영역이 개방되어 있는 오픈 마스크가 사용된다.
공개특허공보 제10-2017-0112810호
한편, 공개특허공보 제10-2017-0112810호에는 도 2와 같이 증착용 마스크(10)를 메탈 프레임(20)에 용접하여 고정하고, 기판 상에 유기 물질을 증착하는 시스템을 개시하고 있다. 이러한 시스템 하에서 증착용 마스크(10)를 이용한 증착과 세정이 반복해서 이루어진다.
그런데, 증착용 마스크(10)를 메탈 프레임(20)에 고정하는 시스템에 있어서, 증착과 세정이 반복되는 경우에는 증착용 마스크(10)에 변형이 발생할 수 있다.
따라서, 일정 이상의 변형이 발생한 증착용 마스크(10)는 메탈 프레임(20)으로부터 분리해 내고, 새로운 증착용 마스크(10)를 메탈 프레임(20)에 용접 고정하여, 증착 공정을 진행한다.
한편, 증착용 마스크(10)를 메탈 프레임(20)에서 분리해 내고, 새로운 증착용 마스크(10)을 용접하기 전에는, 용접 부위의 잔여물 및 요철을 제거하기 위해 메탈 프레임(20)의 연마 또는 연삭 및 세정 공정을 거치는 평탄화 공정을 행하게 된다.
여기서, 메탈 프레임(20)을 구비하는 증착 장비에 있어서는, 정상적인 증착 공정을 행하기 위해서는 소정 두께 범위의 메탈 프레임(20)이 요구된다.
그런데, 메탈 프레임(20)에 증착용 마스크(10)를 분리, 평탄화 및 용접의 과정을 반복하게 되면, 메탈 프레임(20)이 점점 마모되어 소정 두께보다 작아지게 되며, 상대적으로 고가인 메탈 프레임(10)을 교체해야 하는 문제점이 발생하고 있다.
본 발명은 상기의 위와 같은 문제점은 감안하여 발명된 것으로서, 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 있어서, 제조 비용을 절감하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제 1 실시형태는, 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 있어서, 메탈 프레임의 상부면에 용접되어 고정된 메탈 마스크를 분리하는 단계, 상기 메탈 프레임의 상부면을 평탄화하는 단계, 상기 메탈 프레임의 하부면으로부터 상부면까지의 두께가 미리 정해진 값 미만인지 여부를 측정하는 단계, 상기 메탈 프레임의 두께가 미리 정해진 값 미만인 경우, 상기 메탈 프레임의 상부면에 보충 부재를 접합하는 단계, 상기 메탈 프레임의 상부면에 접합된 상기 보충 부재의 상면에 메탈 마스크를 용접하는 단계를 포함한다.
본 발명의 제 2 실시형태는, 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 있어서, 메탈 프레임의 상부면에 접합된 보충부재의 상면에 용접되어 고정된 메탈 마스크를 분리하는 단계, 상기 메탈 프레임의 상부면에 접합된 상기 보충부재를 평탄화하는 단계, 상기 메탈 프레임의 상부면에 상기 보충부재가 존재하는 지 여부를 검지하는 단계, 상기 메탈 프레임의 상부면에 상기 보충부재가 존재하지 않는 경우, 상기 메탈 프레임의 상부면에 새로운 보충 부재를 접합하는 단계, 상기 메탈 프레임의 상부면에 접합된 상기 새로운 보충 부재의 상면에 메탈 마스크를 용접하는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명은 상기 보충 부재는 냉간 압연 공정에 의해 상기 메탈 프레임에 접합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 보충 부재는 접착제에 의해 상기 메탈 프레임에 접합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 보충 부재는 스퍼터링에 의해 상기 메탈 프레임의 상부면에 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 보충 부재는 클래드 금속이며, 상기 보충 부재는 폭발압착 공정에 의해 상기 메탈 프레임에 접합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 증착용 마스크의 교체 과정에서 메탈 프레임이 미리 정해진 두께 미만인 경우, 메탈 프레임의 상부면에 보충 부재를 접합하여, 고가인 메탈 프레임의 교체에 의한 비용을 절감할 수 있다.
도 1 은 기판 상에 유기 물질을 증착하는 증착 장치를 설명하는 개념도이다.
도 2 는 종래의 일반적인 메탈 마스크 교체 과정을 보여주는 도면이다.
도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태의 제조방법의 과정을 보여주는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 제 1 실시형태의 제조방법의 흐름도이다.
도 5 은 본 발명의 제 2 실시형태의 제조방법의 과정을 보여주는 도면이다.
도 6 는 본 발명의 제 2 실시형태의 제조방법의 흐름도이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며, 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
한편, 어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정 블록 내에 명기된 기능 또는 동작이 순서도에 명기된 순서와 다르게 일어날 수도 있다. 예를 들어, 연속하는 두 블록이 실제로는 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 관련된 기능 또는 동작에 따라서는 상기 블록들이 거꾸로 수행될 수도 있다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 실시예를 구체적으로 설명한다.
도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태의 제조방법의 과정을 보여주는 도면이며, 도 4 는 본 발명의 제 1 실시형태의 제조방법의 흐름도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조방법은 증착용 마스크 분리 단계(S101), 메탈 프레임 평탄화 단계(S102), 두께 판정 단계(S103), 보충부재 접합 단계(S104), 증착용 마스크 용접 단계(S105) 순서로 행해지는 일련의 과정을 포함한다.
증착용 마스크 분리 단계(S101)은 메탈 프레임(20)의 상부면에 용접된 증착용 마스크(10)를 메탈 프레임(20)으로부터 분리하는 단계이다. 증착 공정에 있어서 증착 및 세정을 반복하게 되는 경우, 증착용 마스크(10)에는 변형이 발생하게 되며, 일정 이상의 변형이 발생하게 되면, 증착용 마스크(10)를 교체할 필요가 있다.
증착용 마스크(10)는 금속재로서 니켈, 혹은 철니켈 합금일 수 있으며, 예를 들어, 30 질량％ 이상의 니켈을 함유하는 철니켈 합금, 그 중에서도, 36 질량％ 니켈과 64 질량％ 철의 합금을 주성분으로 하는, 즉 인바(Invar)인 것이 바람직하다. 36 질량％ 니켈과 64 질량％ 철의 합금을 주성분으로 하는 경우, 잔여분은 크롬, 망간, 탄소, 코발트 등의 첨가물을 함유한다. 인바는 구체적으로 Invar36으로 이루어질 수 있다. 증착용 마스크(10)를 구성하는 재료가, 인바인 경우, 열팽창 계수는, 예를 들어, 1.2 ×10-6/℃ 정도이다. 이와 같은 열팽창 계수를 갖는 경우, 증착용 마스크(10)에서의 열팽창에 의한 크기의 변화와, 유리 기판이나 폴리이미드 시트에서의 열팽창에 의한 크기의 변화가 동일한 정도이기 때문에, 증착 대상의 일례로서, 유리 기판이나 폴리이미드 시트를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 증착용 마스크(10)를 구성하는 재료는 스테인리스 강(SUS)일 수 있으며, 구체적으로 SUS430으로 이루어질 수 있다.
또한, 증착용 마스크(10)는 얇은 금속판 형태로 이루어질 수 있고, 또는 금속성의 박막으로 이루어질 수 있고, 두께는 수㎜에서 수십㎜로 이루어질 수 있고, 또는 수십㎛에서 수백㎛로 이루어질 수 있다.
여기서, 증착용 마스크(10)를 메탈 프레임(20)으로부터 분리하는 방법은 특별히 제한되지 않는다.
메탈 프레임 평탄화 단계(S102)는 증착용 마스크(10)를 분리해 낸 메탈 프레임(20)의 상부면을 평탄화하는 단계이다.
증착용 마스크(10)를 메탈 프레임(20)의 상부면으로부터 분리해 내는 경우, 메탈 프레임(20)의 상부면에는 증착용 마스크(10)가 용접된 부위에 잔여물이나 요철 등이 발생할 수 있으므로, 새로운 증착용 마스크(10)를 용접하거나 후술할 보충부재를 접합하기 위해서는 메탈 프레임(20)의 상부면의 잔여물이나 요철 등을 제거하는 평탄화하는 공정이 행해질 필요가 있다.
메탈 프레임(20)의 상부면을 평탄화하는 공정은 물리적 또는 화학적 방식에 의해 행해질 수 있으며, 예를 들어 연삭 및 연마 공정에 의해 행해질 수 있다. 상기 평탄화하는 공정에는 메탈 프레임(20)의 상부면의 잔여물이나 요철 등을 제거한 후에 메탈 프레임(20)의 상부면을 세정하는 공정이 포함될 수 있다.
두께 판정 단계(S103)는 메탈 프레임 평탄화 단계(S102)를 거친 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)를 측정하는 단계이다.
유기 발광 표시 장치의 증착에 사용되는 증착 장치는 소정의 두께 범위의 메탈 프레임(20)이 설치될 수 있도록 설계될 수 있으며, 따라서, 정상적인 증착 공정이 행해지기 위해서는 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)가 미리 정해진 값(T0)이상일 필요가 있다.
본 발명의 두께 판정 단계(S103)에서는 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)를 측정하여, 상기 미리 정해진 값(T0)과 비교하여, 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)가 미리 정해진 값(T0) 미만인지 여부를 판정하고, 미리 정해진 값(T0) 미만이라고 판단되는 경우에는, 후술할 메탈 프레임(20)의 상부면에 보충부재(30)를 접합하는 보충부재 접합 단계(S104)를 행하며, 미리 정해진 값(T0) 이상이라고 판정되는 경우, 메탈 프레임(20)의 상부면에 새로운 증착용 마스크(10)를 용접하는 증착용 마스크 용접 단계(S105)를 행한다.
상기 두께(t)의 측정은, 증착 장치에 설치된 전기적 또는 광학적 센서를 통해 자동적으로 행해질 수 있으며, 작업자가 별도의 측정 장비를 이용하여 수동적으로 행해질 수 있다.
또한, 상기 두께(t)의 측정이 광학적 센서를 이용하는 경우, 접촉 광학 측정 방식 또는 비접촉 광학 측정 방식 중 어느 방식에 의해서도 측정될 수 있다.
또한, 상기 두께(t)의 측정이 자동적으로 행해지는 경우, 증착 장치에 설치된 표시 수단에 의해, 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)가 소정값(T0) 미만인지 여부를 작업자에게 통지하여, 보충 부재(30)의 접합을 유도할 수 있다.
전술한 바와 같이, 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)가 소정값(T0) 미만인 경우에는, 보충부재 접합 단계(S104)를 행하며, 보충부재 접합 단계(S104)는 메탈 프레임(20)의 상부면에 소정 두께의 보충부재(30)를 접합하는 단계이다.
보충부재(30)는 금속재의 증착용 마스크(10)를 접할 수 있는 재질로 이루어지며, 예를 들어 금속재이다.
또한, 본 발명의 일 실시형태에 있어서, 보충부재(30)의 접합은 냉간 압연 공정에 의해 행해질 수 있으며, 또 다른 실시형태에 있어서는, 보충부재(30)의 접합이 접착제에 의해 이루어질 수 있다.
여기서, 상기 냉간 압연 공정은 널리 알려진 냉간 압연 공정이 사용될 수 있다.
또한, 접착제에 의한 접합에 사용되는 접착제는 금속재끼리를 접할 수 있는 접착제라면 특별히 제한되지 않는다. 예를 들어, 폴리머알로이형 접착제나 폴리이미드형 접착제가 사용될 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시형태로서, 상기 보충부재(30)는 스퍼터링에 의해 상기 메탈 프레임(20)의 상부면에 형성될 수 있다. 스퍼터링 공정은 He, Ne, Ar, Kr, Xe 등의 불활성 가스와 B, C, N, O, F, Cl, H 중 적어도 하나 이상을 포함하는 반응성 가스를 스퍼터링 챔버 내에 주입하여 행해질 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시형태로서, 보충부재(30)의 접합은 클래드 금속을 폭발압착법에 의해 행해질 수 있다.
클래드 금속으로는 메탈 프레임(20)과 이종의 금속이 사용될 수 있으며, 동종의 금속이 사용될 수도 있다.
폭발압착법은 폭약의 폭발에 의한 에너지를 이용하여 합금재료를 고상 접합하는 기술이며, 접합하고자 하는 2장의 금속판을 일정한 간격을 유지하여 밑에는 모재를, 위에는 실 구조에서 주목적으로 사용될 금속판인 접합재를 놓으며 제일 윗면에 적절한 종류와 양의 폭약을 장진한다.
이 폭약을 끝부분부터 전기 뇌관 등으로 기폭시켜주면 폭약 고유의 속도로 폭발이 연속적으로 진행된다. 폭발의 압력에 의해 접합재(알루미늄 합금)는 한쪽 편의 모재(철강 판재)쪽으로 일정한 각도를 형성하면서 차례로 충돌해 간다.
이때 예를 들어, 알루미늄 합금의 충돌속도는 초당 수백 미터에 달하며 충돌지점에서는 수 GPa의 고압력이 발생하며, 이와 같은 고속충돌과 고압력의 작용에 의해 양쪽 금속의 표면층은 충돌지점에서 유체적인 거동을 보인다. 이와 같은 상황에서 모재와 접합재 양쪽 금속의 산화피막과 가스 흡착 층은 접합재의 분사(metal jet)현상에 의해 제거되고 새로이 나타나는 깨끗한 표면끼리의 접합이 순식간에 완료된다.
국부적인 발열을 제외하면 제작된 클래드 금속이 접합된 메탈 프레임(20)에 대한 열 영향은 거의 없다.
폭발압착법은 폭약의 에너지를 이용하여 순식간에 접합을 완료하기 때문에 접합계면 근방을 제외하면 열 영향을 거의 받지 않는다.
따라서 용융온도가 크게 차이 나는 금속재료, 열팽창계수가 크게 다른 금속재료, 금속간 화합물을 생성하는 금속 등을 조합하여 접합을 할 수가 있다.
다른 방법으로는 접합하기 어려운 이종금속의 접합이 가능하게 된다.
또한, 다른 용접,접합방법에 비해 접합재와 모재 이음부의 접합강도가 크다. 이에 따라 엄격한 가공에 잘 견디며 특히 열사이클과 열충격에 대한 박리저항성이 크다.
접합계면은 폭발압착 클래드 고유의 잔물결과 같은 형상을 갖는다. 이것은 접합재가 모재와 충돌 시에 양 금속이 유체적인 거동을 갖기 때문이며, 이와 같은 접합부의 소성변형에 의해 가공경화가 일어나고 접합강도가 상승하는 것으로 보여 진다.
또한, 상기 보충부재 접합 단계(S104)에는, 보충부재를 상술한 각 접합 방법에 의해 보충부재(30)를 메탈 프레임(20)에 접합한 후에, 보충부재(30)가 접합된 메탈 프레임(20)의 상부를 평탄화 및 세정하는 공정 또는 메탈 프레임(20)에 메탈 마스크를 장착하기 위한 기구적 수단을 메탈 프레임(20)에 가공하는 공정을 포함할 수 있다.
보충부재 접합 단계(S104)가 행해진 후 또는 두께 판정 단계(S103)에서 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)가 소정값(T0) 이상이라고 판정된 경우, 증착용 마스크 용접 단계(S105)가 행해진다.
보충부재 접합 단계(S104)를 거친 경우에는, 보충부재(30)가 접합된 메탈 플레임(20)의 상부면에, 새로운 증착용 마스크(10)가 용접되어 장착된다.
한편, 두께 판정 단계(S103)에서 메탈 프레임(20)의 하부면으로부터 상부면까지의 두께(t)가 소정값(T0) 이상이라고 판정되어, 보충부재 접합 단계(S104)를 거치지 않은 경우에는, 보충부재(30)가 접합되지 않은 메탈 프레임(20)의 상부면에 새로운 증착용 마스크(10)가 용접되어 장착된다.
위와 같은, 본 발명의 제 1 실시형태에 의하면, 증착용 마스크(10)의 교체에 따라 메탈 프레임(20)의 평탄화 공정을 반복하여 행하여도, 고가인 메탈 프레임 자체를 교체할 필요가 없으므로, 메탈 프레임 교체에 의한 비용을 절감할 수 있다.
도 5 은 본 발명의 제 2 실시형태의 제조방법의 과정을 보여주는 도면이며, 도 6 는 본 발명의 제 2 실시형태의 제조방법의 흐름도이다.
도 5 및 도 6를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시형태의 유기 발광 표시 장치의 제조방법은 증착용 마스크 분리 단계(S201), 메탈 프레임 평탄화 단계(S202), 보충부재 검지 단계(S203), 보충부재 접합 단계(S204), 증착용 마스크 용접 단계(S205) 순서로 행해지는 일련의 과정을 포함한다.
본 발명의 제 2 실시형태에서는 초기 단계에 있어서, 메탈 프레임(20)에는 보충부재(30)가 접합되어 있으며, 보충부재(30)가 접합된 메탈 프레임(20)의 상부면에 증착용 마스크(10)가 용접되어 있다. 예를 들어, 제 2 실시형태의 초기 상태는 상기 제 1 실시형태의 과정에서 보충부재(30)가 접합된 메탈 프레임(20)의 상부면에 증착용 마스크(10)가 용접된 상태일 수 있다.
제 2 실시형태의 마스크 분리 단계(S201), 메탈 프레임 평탄화 단계(S202)는 제 1 실시형태의 마스크 분리 단계(S101), 메탈 프레임 평탄화 단계(S102)과 실질적으로 동일하게 행해진다.
보충부재 검지 단계(S203)에서는 메탈 프레임 평탄화 단계(S202)를 거쳐 메탈 프레임(20)의 상부면에 보충부재(30)가 남아 있는지 여부를 검지한다.
보충부재 검지 단계(S203)에서 메탈 프레임(20)의 상부면에 보충부재(30)가 남아 있지 않다고 판정되는 경우, 보충부재 접합 단계(S204)가 행해지며, 보충부재 검지 단계(S203)에서 메탈 프레임(20)의 상부면에 보충부재(30)가 남아 있다고 판정되는 경우, 증착용 마스크 용접 단계(S205)가 행해진다.
보충부재 접합 단계(S204), 증착용 마스크 용접 단계(S205)는 각각 제 1 실시형태의 보충부재 접합 단계(S104), 증착용 마스크 용접 단계(S105)와 실질적으로 동일하다.
위와 같은, 본 발명의 제조 방법에 의하면, 반복되는 증착용 마스크(10)의 교체에 따라 메탈 프레임(20)의 평탄화 공정을 반복하여 행하여도, 고가인 메탈 프레임 자체를 교체할 필요가 없으므로, 메탈 프레임 교체에 의한 비용을 절감할 수 있다.
상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 증착용 마스크
200 : 메탈 프레임
300 : 기판
400 : 유기물 증착 용기
500 : 진공 챔버
10 : 증착용 마스크
20 : 메탈 프레임
30 : 보충부재
S101 : 증착용 마스크 분리 단계
S102 : 메탈 프레임 평탄화 단계
S103 : 두께 판정 단계
S104 : 보충부재 접합 단계
S105 : 증착용 마스크 용접 단계
S201 : 증착용 마스크 분리 단계
S202 : 메탈 프레임 평탄화 단계
S203 : 보충부재 검지 단계
S204 : 보충부재 접합 단계
S205 : 증착용 마스크 용접 단계

Claims (6)

  1. 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 있어서,
    메탈 프레임의 상부면에 용접되어 고정된 메탈 마스크를 분리하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 상부면을 평탄화하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 하부면으로부터 상부면까지의 두께가 미리 정해진 값 미만인지 여부를 측정하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 두께가 미리 정해진 값 미만인 경우, 상기 메탈 프레임의 상부면에 보충 부재를 접합하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 상부면에 접합된 상기 보충 부재의 상면에 메탈 마스크를 용접하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  2. 유기 발광 표시 장치의 제조방법에 있어서,
    메탈 프레임의 상부면에 접합된 보충부재의 상면에 용접되어 고정된 메탈 마스크를 분리하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 상부면에 접합된 상기 보충부재를 평탄화하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 상부면에 상기 보충부재가 존재하는 지 여부를 검지하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 상부면에 상기 보충부재가 존재하지 않는 경우, 상기 메탈 프레임의 상부면에 새로운 보충 부재를 접합하는 단계;
    상기 메탈 프레임의 상부면에 접합된 상기 새로운 보충 부재의 상면에 메탈 마스크를 용접하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 보충 부재는 냉간 압연 공정에 의해 상기 메탈 프레임에 접합되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 보충 부재는 접착제에 의해 상기 메탈 프레임에 접합되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 보충 부재는 스퍼터링에 의해 상기 메탈 프레임의 상부면에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 보충 부재는 클래드 금속이며,
    상기 보충 부재는 폭발압착 공정에 의해 상기 메탈 프레임에 접합되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
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