KR102204910B1

KR102204910B1 - Test socket

Info

Publication number: KR102204910B1
Application number: KR1020190153265A
Authority: KR
Inventors: 김규선
Original assignee: 김규선
Priority date: 2019-11-26
Filing date: 2019-11-26
Publication date: 2021-01-19

Abstract

In one embodiment of the present invention, provided is a test socket comprising: a plurality of conductive units having a plurality of conductive particles formed by arranging in a thickness direction in an elastic insulating material, and disposed to be spaced apart from each other in a plane direction; and an insulating support unit supporting each conductive unit and blocking electrical connection between adjacent conductive units. The conductive particles are formed in a block shape having a predetermined thickness (d). According to the present invention, as the overall resistance become low, the electrical performance of the socket for inspection may be improved.

Description

Test socket {TEST SOCKET}

본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection socket, and more particularly, to an inspection socket disposed between a device under test and a test board to electrically connect the lead of the device under test and a pad of the test board to each other.

일반적으로 반도체 소자 등의 피검사 디바이스의 제조 공정이 끝나면 피검사 디바이스에 대한 테스트가 필요하다. 즉, 제조가 완료된 반도체 소자 등의 피검사 디바이스는 그 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시하게 된다. 구체적으로는 테스트 장비로부터 소정의 테스트신호를 피검사 디바이스로 전달하여 그 피검사 디바이스의 불량여부를 판정하게 된다.In general, when the manufacturing process of a device to be inspected, such as a semiconductor element, is finished, a test for the device to be inspected is required. That is, a device to be inspected, such as a semiconductor device that has been manufactured, is subjected to an electrical test to determine whether or not it is defective. Specifically, a predetermined test signal is transmitted from the test equipment to the device under test to determine whether the device under test is defective.

이러한 검사용 소켓은 개별 피검사 디바이스가 정확한 위치로 이동하여 테스트 보드상에 장착된 소켓과 정확하게 반복 접촉시 안정적인 기계적 접촉 능력과 신호 전달시 전기적 접촉점에서의 신호 왜곡이 최소화될 수 있도록 안정적인 전기적 접촉능력이 요구된다.These test sockets have stable electrical contact capability to minimize signal distortion at electrical contact points when individual devices under test move to the correct position and accurately contact the socket mounted on the test board repeatedly. Is required.

이때, 테스트 보드와 피검사 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 검사용 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 이러한 검사용 소켓으로는 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 반도체 소자의 기술 변화로 이방성을 가지는 탄성시트를 이용한 검사용 소켓이 늘어나고 있다.At this time, the test board and the device to be tested are not directly connected to each other, but are indirectly connected using an intermediary device called a test socket. Various types of inspection sockets, such as pogo pins, may be used, but recently, inspection sockets using elastic sheets having anisotropic properties are increasing due to technological changes in semiconductor devices.

도 1은 종래 기술에 따른 피검사 디바이스의 리드와 도전부가 접촉하는 것을 나타내는 도면이다. 1 is a diagram showing a contact between a lead and a conductive portion of a device under test according to the prior art.

종래 기술에 따른 검사용 소켓(10)은, 절연성 탄성 물질로 이루어진 기재(11) 중에 다수의 도전성 입자(12)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 다수의 도전성 입자(12)는 비규칙적인 구형태의 입자로서, 두께방향으로 배향되어 하나의 도전부(13)를 이루며 이러한 도전부(13)가 상기 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 대응되도록 면방향으로 배열되어 있게 된다. 한편, 상기 도전부는 절연지지부(11)에 의하여 절연지지 된다.The socket for inspection 10 according to the prior art is formed in a form in which a plurality of conductive particles 12 are contained in a substrate 11 made of an insulating elastic material. The plurality of conductive particles 12 are irregular spherical particles, which are oriented in the thickness direction to form one conductive part 13, and the conductive part 13 is a lead 21 of the device under test 20. ) Is arranged in the plane direction to correspond to. Meanwhile, the conductive part is insulated by the insulating support part 11.

이러한 검사용 소켓(10)은 테스트 보드(30)에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(13)가 테스트 보드(30)의 패드(31)와 접촉되어 있게 된다. 이후에 도 1의 (b)에 도시한 바와 같이 피검사 디바이스(20)가 하강하면 그 피검사 디바이스(20)의 리드(21)가 각각의 도전부(13)와 접촉하면서 그 도전부(13)를 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(13) 내의 도전성 입자(12)들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 테스트 보드(30)로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트신호가 검사용 소켓(10)를 거쳐 피검사 디바이스(20)로 전달되고, 그 피검사 디바이스에서 오는 반사신호는 반대로 검사용 소켓(10)을 거쳐 테스트 보드(30)로 전달된다.In a state in which the test socket 10 is mounted on the test board 30, each of the conductive parts 13 is in contact with the pad 31 of the test board 30. Thereafter, as shown in Fig. 1(b), when the device under test 20 descends, the leads 21 of the device under test 20 come into contact with the respective conductive parts 13, and the conductive parts 13 ) Is pressed, and accordingly, the conductive particles 12 in the conductive part 13 are in close contact with each other to form a state in which energization is possible. Thereafter, when a predetermined test signal is applied from the test board 30, the test signal is transmitted to the device under test 20 via the test socket 10, and the reflected signal from the device under test is reversed. It is transmitted to the test board 30 through (10).

이러한 검사용 소켓은 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다. The test socket has a characteristic of exhibiting conductivity only in the thickness direction when pressed in the thickness direction, and since mechanical means such as soldering or springs are not used, it is excellent in durability and has the advantage of achieving simple electrical connection.

또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 테스트 보드와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.In addition, since it can absorb mechanical shock or deformation, it is widely used for electrical connection with various electrical circuit devices and test boards because it has the advantage of enabling smooth connection.

다만, 이러한 종래 기술에 따른 검사용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.However, the socket for inspection according to the prior art has the following problems.

먼저, 도전성 입자가 구형인 경우 인접한 구형 입자와의 접촉이 점접촉으로 이루어지기 때문에, 안정적인 전기적 접속이 어렵다는 문제점이 있게 된다. 일반적으로 전기적인 접속은 접촉되는 면적이 넓을수록 유리하다. 그러나, 구형으로 이루어진 입자들간의 접촉은 점접촉만이 가능하기 때문에 그 접촉되는 면적이 적어서 저항이 증가되어 손실이 많아지고 이에 따라 안정적인 접속을 하기 어려운 문제점이 있게 된다.First, when the conductive particles are spherical, there is a problem that stable electrical connection is difficult because contact with adjacent spherical particles is made through point contact. In general, electrical connection is more advantageous as the contact area increases. However, since contact between spherical particles is possible only point contact, there is a problem in that the contact area is small and thus the resistance increases, resulting in increased loss, and thus it is difficult to establish a stable connection.

그리고, 도전성 입자가 구형이면, 압축 범위의 한계 때문에 반복적으로 가압되는 경우 탄성물질로부터 쉽게 이탈될 염려가 있게 된다. 즉, 피검사 디바이스의 전극이 수직방향으로 반복하여 수만회 이상 그 도전성 입자와 접촉하게 되는 경우 탄성물질과 도전성 입자의 접촉력이 약해지거나 탄성물질이 찢어져버리는 문제점이 있다. 이와 같이 도전성 입자가 탄성물질로부터 이탈되는 경우에는 전기적 흐름을 전달해주는 구성이 상실되기 때문에 전극과 패드와의 전기적 접속력이 저하되거나 상실하게 되는 것이다. 특히 구형 입자의 경우에는 인접한 탄성물질과의 접촉면적이 적어서 이러한 문제점이 현저하게 나타나게 된다. In addition, if the conductive particles are spherical, there is a fear that they will be easily separated from the elastic material when repeatedly pressed due to the limitation of the compression range. That is, when the electrode of the device under test is repeatedly in contact with the conductive particles tens of thousands of times in a vertical direction, the contact force between the elastic material and the conductive particles is weakened or the elastic material is torn. In this way, when the conductive particles are separated from the elastic material, the configuration for transmitting the electrical flow is lost, and thus the electrical connection between the electrode and the pad is reduced or lost. In particular, in the case of spherical particles, the contact area with the adjacent elastic material is small, and this problem is remarkable.

또한, 기존의 도전성 입자가 구형인 경우 오랜시간 반복적으로 가압되는 경우 피검사체와 도전부의 접촉 상태, 도전부의 분포 위치에 따라 다수의 도전부간의 동작 불균일이 발생하고 이로 인해 도전부간 저항 편차가 발생하게 될 가능성이 높아지게 된다. 구체적으로, 검사용 소켓은 피검사 디바이스와 접촉하게 되면 탄성물질 특성상 풍선 효과와 같이 압축 받은 면은 줄어들고 다른 외곽면은 늘어나게 된다. 이때, 검사용 소켓 내의 도전부들도 위치에 따라 검사용 소켓이 압축, 팽창하는 방향으로 변화하게 된다. 따라서, 각 도전부의 도전성 입자들도 검사용 소켓의 탄성 변화에 따라 움직이므로 도전부의 형상도 위치에 따라 제각기 다르게 변화하게 되는 것이다. 도전성 입자가 구형인 경우 저항증가 문제로 인해 도전부의 높이에 한계가 있으며, 이로 인해 압축시 검사용 소켓의 부피 변화가 크게 된다. 즉, 오랜 시간 반복적으로 가압되는 경우 도전부의 형상 변화 가능성이 높아지고, 이에 따라 다수의 도전부간의 동작 불균일로 인해 저항 편차가 발생하게 되는 문제점이 있다.In addition, when the existing conductive particles are spherical and repeatedly pressurized for a long period of time, operation non-uniformity occurs between the plurality of conductive parts depending on the contact state of the subject and the conductive part and the distribution position of the conductive part, resulting in resistance deviation between the conductive parts. The likelihood of becoming will increase. Specifically, when the socket for testing comes into contact with the device to be tested, due to the properties of the elastic material, the compressed surface such as a balloon effect is reduced and the other outer surface is stretched. At this time, the conductive parts in the test socket are also changed in the direction in which the test socket is compressed and expanded according to the position. Accordingly, since the conductive particles of each conductive part also move according to the elasticity change of the test socket, the shape of the conductive part also changes differently depending on the location. When the conductive particles are spherical, there is a limit to the height of the conductive part due to the problem of increasing resistance, and this causes a large change in the volume of the inspection socket during compression. That is, when repeatedly pressurized for a long time, the possibility of change in the shape of the conductive part increases, and accordingly, there is a problem in that resistance deviation occurs due to uneven operation between a plurality of conductive parts.

한국 등록특허공보 제10-1782604호 (2017.09.21)Korean Patent Publication No. 10-1782604 (2017.09.21)

본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓을 제공하는 것이다.The present invention is to solve the problems of the prior art, and an object of the present invention is a test socket disposed between a device to be tested and a test board to electrically connect a lead of the device to be tested and a pad of the test board. Is to provide.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면은 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되고, 면 방향으로 서로 이격되어 배치되는 복수의 도전부 및 각각의 도전부를 지지하면서 서로 인접한 도전부 사이의 전기적 접속을 차단하는 절연성 지지부를 포함하되, 상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖는 블록(block) 형상으로 형성되는 검사용 소켓을 제공한다.In order to achieve the above object, an aspect of the present invention is formed by arranging a plurality of conductive particles in an elastic insulating material in a thickness direction, and supporting a plurality of conductive parts and each conductive part disposed spaced apart from each other in the plane direction. And an insulating support for blocking electrical connection between adjacent conductive parts while providing an inspection socket in which the conductive particles are formed in a block shape having a predetermined thickness d.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는, 기둥형의 몸체부, 상기 몸체부의 상단에 형성되고, 돌기와 홈이 형성되지 않는 완만한 상부 표면을 갖는 제1 볼록부 및 상기 몸체부의 하단에 형성되고, 돌기와 홈이 형성되지 않는 완만한 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In an embodiment of the present invention, the conductive particles are formed on a columnar body portion, a first convex portion formed on an upper end of the body portion, and having a smooth upper surface in which projections and grooves are not formed, and a lower portion of the body portion. It may be a socket for inspection, characterized in that it comprises a second convex portion having a smooth lower surface is formed, the projections and grooves are not formed.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the length ratio R1 = l / w of the width (w) and the length (l) of the conductive particles may be a test socket, characterized in that 1.2 or more and 2.5 or less.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the length ratio R2 = w / d of the width (w) and the thickness (d) of the conductive particles may be a socket for inspection, characterized in that 1.1 or more and 5.0 or less.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부는 상기 몸체부에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first convex portion and the second convex portion may be a socket for inspection, characterized in that they have a shape symmetrical to each other with respect to the body portion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the widest width L2 of the first convex portion may be a socket for inspection, characterized in that the width L1 of the body portion is larger.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 볼록부의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the widest width L3 of the second convex portion may be a socket for inspection, characterized in that the width L1 of the body portion is larger.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 반원 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, at least one of the first convex portion and the second convex portion may be a socket for inspection, characterized in that it has a semicircular shape.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 삼각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In an embodiment of the present invention, at least one of the first convex portion and the second convex portion has a triangular shape, and each vertex may be a socket for inspection, characterized in that it is formed to be round. .

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사다리꼴 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In an embodiment of the present invention, at least one of the first convex portion and the second convex portion has a trapezoidal shape, and each vertex may be a socket for inspection, characterized in that it is formed to be round. .

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, at least one of the first convex portion and the second convex portion has a rectangular shape, and each vertex may be a socket for inspection, characterized in that it is formed to be round. .

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬될 때 수직방향으로 세워져 일방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the conductive particles may be conductive particles, characterized in that when they are aligned in the elastic insulating material by a magnetic field, they form a conductive column that is erected in a vertical direction and extends long in one direction.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 하나의 도전성 입자의 제1 볼록부가 다른 도전성 입자의 제2 볼록부에 점, 선, 및 면 접촉 중 어느 하나의 접촉에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the test socket, characterized in that the first convex portion of one conductive particle is coupled to the second convex portion of the other conductive particle by contact of any one of point, line, and surface contact. Can be

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, the side surface of the body portion may be a socket for inspection, characterized in that the inner concave shape from the top to the center.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.In one embodiment of the present invention, it may be a socket for inspection, characterized in that a plurality of irregularities are formed on the side of the body portion.

본 발명의 일 측면에 따르면, 도전성 입자가 블록 형상으로 형성되어 수직 방향으로 정렬되는 경우 도전부의 견고성이 향상될 수 있다.According to an aspect of the present invention, when the conductive particles are formed in a block shape and aligned in a vertical direction, the rigidity of the conductive portion may be improved.

또한, 도전부의 길이를 늘일 수 있어 검사용 소켓의 압축 변형양을 늘일 수 있다. 따라서 전체적인 저항이 낮아짐에 따라 검사용 소켓의 전기적 성능이 향상될 수 있다.In addition, since the length of the conductive part can be increased, the amount of compression deformation of the inspection socket can be increased. Therefore, as the overall resistance is lowered, the electrical performance of the test socket may be improved.

그리고, 도전부의 길이가 길어지면 검사용 소켓의 전체적인 체적이 증가함에 따라 같은 압력이 가해져도 변형이 적어지고 도전부 간의 동작 균일도가 개선될 수 있다.In addition, when the length of the conductive part is increased, as the overall volume of the test socket increases, deformation is reduced even when the same pressure is applied, and operation uniformity between the conductive parts may be improved.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The effects of the present invention are not limited to the above effects, and should be understood to include all effects that can be inferred from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.

도 1은 종래 기술에 따른 피검사 디바이스의 리드와 도전부가 접촉하는 것을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한 도면이다.
도 3은 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 입자의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 도전성 입자의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 6은 종래의 도전성 입자와 본 발명의 도전성 입자를 비교하여 도시한 도면이다.
도 7의 (a) 및 (b)는 각각 피검사 장치가 검사용 소켓를 가압할 때 검사용 소켓의 변화를 나타내는 개략적인 도면 및 검사용 소켓의 체적에 따른 가압시 체적 변화를 비교하는 표를 나타낸다.
도 8의 (a) 및 (b)는 압축시 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도면 및 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도표를 나타낸다.1 is a diagram showing a contact between a lead and a conductive portion of a device under test according to the prior art.
2 is a view showing a socket for inspection according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram showing an approximate manner in which resistance of a conductive part is determined.
4 is a perspective view of conductive particles according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing various embodiments of the conductive particles of the present invention.
6 is a view showing a comparison between the conventional conductive particles and the conductive particles of the present invention.
7A and 7B are schematic diagrams showing the change of the test socket when the device under test presses the test socket, and a table comparing the volume change during pressurization according to the volume of the test socket. .
8A and 8B are diagrams showing a comparison of the operation of the conductive column of the conventional conductive particles and the conductive column of the conductive particles of the present invention during compression. A diagram showing a comparison of the operation of the conductive column is shown.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be implemented in various different forms, and therefore is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and similar reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected" to another part, this includes not only "directly connected" but also "indirectly connected" with another member interposed therebetween. . In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further provided, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한 도면이고, 도 3은 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 입자의 사시도이며, 도 5는 본 발명의 도전성 입자의 다양한 실시예를 나타내는 도면이고, 도 6은 종래의 도전성 입자와 본 발명의 도전성 입자를 비교하여 도시한 도면이다.2 is a view showing a socket for inspection according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view showing a schematic method of determining the resistance of a conductive part, Figure 4 is a conductivity according to an embodiment of the present invention It is a perspective view of a particle, FIG. 5 is a view showing various examples of the electroconductive particle of the present invention, and FIG. 6 is a view showing a comparison between the conventional electroconductive particle and the electroconductive particle of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 도전부(100) 및 절연성 지지부(200)를 포함하여 구성된다. As shown in FIG. 2, the socket 1000 for inspection of the present invention includes a conductive part 100 and an insulating support part 200.

검사용 소켓(1000)은 소정의 두께를 가지는 시트 형태로 이루어질 수 있다. 이때, 검사용 소켓(1000)은 면방향으로의 전기적인 흐름은 없고 두께방향으로의 전기적인 흐름만을 가능하도록 구성되어 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 테스트 보드(30)의 패드(31)를 상하방향으로 전기적으로 연결시킨다. The test socket 1000 may be formed in a sheet shape having a predetermined thickness. At this time, the socket for inspection 1000 is configured so that there is no electrical flow in the surface direction and only electrical flow in the thickness direction is possible, so that the lead 21 of the device under test 20 and the pad of the test board 30 ( 31) are electrically connected in the vertical direction.

이러한 검사용 소켓(1000)은 피검사 디바이스(20)의 전기적 검사를 수행하기 위하여 사용되며, 이로써 제조된 피검사 디바이스(20)의 불량여부를 판단하게 된다.The test socket 1000 is used to perform an electrical test of the device under test 20, thereby determining whether or not the manufactured device under test 20 is defective.

절연성 지지부(200)는 검사용 소켓(1000)의 몸체를 이루며, 후술하는 각 도전부(100)가 접촉 하중을 받을 때 상기 도전부(100)를 지지하고, 서로 인접한 도전부(100) 사이의 전기적 접속을 차단하는 역할을 한다.The insulating support part 200 forms the body of the test socket 1000, supports the conductive part 100 when each conductive part 100 to be described later receives a contact load, and between the conductive parts 100 adjacent to each other. It blocks electrical connection.

더욱 구체적으로, 절연성 지지부(200)는 반도체 소자 등의 피검사 디바이스(20)의 리드(21) 또는 테스트 보드(30)의 패드(31)가 접촉될 경우, 접촉력을 흡수하여 각 도전부(100)를 보호하는 역할을 한다.More specifically, when the lead 21 of the device under test 20 such as a semiconductor element or the pad 31 of the test board 30 comes into contact, the insulating support 200 absorbs a contact force to each conductive part 100. ) To protect.

절연성 지지부(200)는 가교 구조를 갖는 절연성 고분자 물질로 구성되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 상기 절연성 고분자 물질로는 폴리부타디엔고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무와 같은 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄고무, 폴리에스테르계고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등이 사용될 수 있다. 특히, 이중에서 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하다.The insulating support 200 is preferably made of an insulating polymer material having a crosslinked structure. More specifically, the insulating polymer material includes conjugated diene rubbers such as polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer rubber, and hydrogenated substances thereof, styrene- Block copolymer rubber such as butadiene-diene block copolymer rubber, styrene-isoprene block copolymer, and hydrogenated products thereof, chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer Rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber, and the like can be used. In particular, it is preferable to use silicone rubber from the viewpoint of molding processability and electrical properties.

이러한 실리콘 고무로는 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 그 점도가 전단 속도 10^-1초에서 10⁵ 포어즈 이하인 것이 바람직하고, 축합형인 것, 부가형인 것, 비닐기 및 히드록실기를 함유하는 것 중의 어느 하나일 수 있다. 구체적으로는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 들 수 있다.As such silicone rubber, a liquid silicone rubber is preferably crosslinked or condensed. The liquid silicone rubber preferably has a viscosity of 10 ⁵ pores or less at a shear rate of 10 ^-1 seconds, and may be any one of a condensation type, an addition type, and a vinyl group and a hydroxyl group. Specifically, dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, methylphenyl vinyl silicone raw rubber, and the like can be mentioned.

도전부(100)는 두께방향으로 연장되어 있어서 두께방향으로 가압되었을 때 압축되면서 두께방향으로 전기적 흐름이 가능하게 하고, 각각의 도전부(100)는 서로 면방향으로 이격되어 배치되어 있다. 상기 도전부(100) 사이에는 절연성을 가지는 절연성 지지부(200)가 배치되어 있어서 도전부(100)들 사이의 전기적 흐름이 차단되게 된다.The conductive parts 100 extend in the thickness direction and are compressed when pressed in the thickness direction to enable electrical flow in the thickness direction, and the conductive parts 100 are disposed to be spaced apart from each other in the surface direction. An insulating support part 200 having an insulating property is disposed between the conductive parts 100 so that electric flow between the conductive parts 100 is blocked.

도전부(100)는 그 상단이 상기 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 접촉 가능하며 하단은 상기 테스트 보드(30)의 패드(31)와 접촉 가능하도록 구성된다. 상기 도전부(100)의 상단과 하단사이에는 다수의 도전성 입자(110)가 탄성 절연물질 내에 상하방향으로 배향되어 있도록 형성된다. 이러한 다수의 도전성 입자(110)들은 도전부(100)가 피검사 디바이스(20)에 의하여 가압되는 경우 서로 접촉하면서 전기적인 접속을 가능하게 하는 역할을 수행한다. The conductive part 100 is configured such that its upper end can contact the lead 21 of the device under test 20 and its lower end can contact the pad 31 of the test board 30. A plurality of conductive particles 110 are formed between the upper and lower ends of the conductive part 100 so as to be oriented vertically in the elastic insulating material. When the conductive part 100 is pressed by the device under test 20, the plurality of conductive particles 110 contact each other and perform an electrical connection.

즉, 피검사 디바이스(20)에 의하여 가압되기 전에는 도전성 입자(110)들이 미세하게 이격되거나 약하게 접촉되어 있으며, 도전부(100)가 가압되어 압축되면 도전성 입자(110)들이 서로 확실하게 접촉됨으로써 전기적 접속을 가능하게 하는 것이다.That is, before being pressurized by the device under test 20, the conductive particles 110 are minutely spaced apart or in weak contact, and when the conductive part 100 is pressed and compressed, the conductive particles 110 reliably contact each other. It is to enable access.

구체적으로 그 도전부(100)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(110)가 상하방향으로 밀집되어 배열된 형태를 가지게 되며, 각각의 도전부(100)는 대략적으로 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 대응되는 위치에 배열되어 있게 된다. Specifically, the conductive part 100 has a form in which a plurality of conductive particles 110 are densely arranged in an elastic insulating material in the vertical direction, and each conductive part 100 is approximately It is arranged at a position corresponding to the lead 21.

이때, 도전부(100)에 자기력선이 작용하면, 각각의 도전성 입자(110)는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬되고, 수직방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)(120)을 형성하게 된다. 즉, 도전부(100)는 다수의 도전 컬럼(120)들이 병렬 배치되는 구조로 구성된다.At this time, when a magnetic force line acts on the conductive part 100, each conductive particle 110 is aligned in the elastic insulating material by a magnetic field, and a conductive column 120 extending in a vertical direction is formed. That is, the conductive part 100 has a structure in which a plurality of conductive columns 120 are arranged in parallel.

한편, 도전성 입자(110)로는 니켈, 철, 코발트 등의 자성을 나타내는 금속으로 이루어지는 입자 또는 이들 합금으로 이루어지는 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐과 같이 산화되기 어려운 도전성 금속의 도금을 실시한 것이 사용될 수 있다.On the other hand, as the conductive particles 110, particles made of metals exhibiting magnetism such as nickel, iron, and cobalt, particles made of these alloys, particles containing these metals, or particles containing these metals as core particles, are applied to the surface of the core particles. Gold, silver, palladium, rhodium, and other conductive metals that are hard to be oxidized may be plated.

최근, 반도체 소자 등의 피검사 장치(20)는 리드(21) 수는 증가하고, 리드(21) 사이의 피치는 감소하는 방향으로 기술 개발이 진행되고 있으며, 이에 따라 검사용 소켓(1000) 역시 이런 기술 개발 방향에 맞추어 제조되고 있다. 다만, 검사용 소켓(1000)은 리드(21) 피치가 감소할수록 도전부의 직경이 작아지기 때문에 도전입자도 작아질 수밖에 없다. 도전입자가 작아지면 도전부의 컬럼도 줄게 되어 피검사 장치와 접촉시 압력에 위한 탄성 구간이 감소되어 파손이 용이해지고, 도전부(100)간 저항 불균일로 인해 수명이 저하되는 문제가 있다. 또한, 도전부(100) 직경이 작아질수록 도전 컬럼(120)의 숫자가 줄어 저항이 증가하고, 허용전류가 감소하는 등 전기적 성능이 저하되는 문제도 있게 된다.In recent years, in the device under test 20 such as a semiconductor element, technology is being developed in a direction in which the number of leads 21 increases and the pitch between the leads 21 decreases. Accordingly, the inspection socket 1000 is also It is manufactured according to this technology development direction. However, in the test socket 1000, as the pitch of the lead 21 decreases, the diameter of the conductive portion decreases, so that the conductive particles also decrease. When the conductive particles are smaller, the column of the conductive part is also reduced, so that the elastic section for pressure when contacting the device to be inspected is reduced, thereby facilitating breakage, and there is a problem in that the lifespan decreases due to non-uniform resistance between the conductive parts 100. In addition, as the diameter of the conductive part 100 decreases, the number of conductive columns 120 decreases, thereby increasing resistance and decreasing the allowable current.

도 3을 참조하여 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 설명하면 다음과 같다.An approximate manner in which the resistance of the conductive part is determined will be described with reference to FIG. 3 as follows.

먼저, 도전성 입자(110)의 개별 고유 저항을 R_p라 하고, 도전성 입자(110) 간의 접촉 저항을 R_c라 하면, 도전성 입자(110)가 수직 방향으로 정렬되어 형성되는 도전 컬럼(120)의 저항 R_L은 각각의 저항들이 직렬 연결인 바, R_L = ΣR_p + ΣR_c 이 된다. First, if the individual specific resistance of the conductive particles 110 is R _p and the contact resistance between the conductive particles 110 is R _c , the conductive particles 110 are aligned in a vertical direction. Resistor R _L is that each resistor is connected in series, so R _L = ΣR _p + ΣR _c .

이때, 도전성 입자(110)의 개별 고유 저항(R_p) 보다 도전성 입자(110) 간의 접촉 저항(R_c)이 상대적으로 크기 때문에, R_L ≒ ΣR_c 이 된다. 또한, 도전부 전체 저항(R_total)은 N 개의 도전 컬럼(120)이 병렬 연결되어 있는 바, R_total ≒ ΣR_c / N 이 된다. At this time, since the contact resistance R _c between the conductive particles 110 is relatively larger than the individual specific resistance R _{p of the} conductive particles 110, R _L ≒ Σ R _c is obtained. In addition, the total resistance of the conductive part (R _total ) becomes R _total ≒ ΣR _c / N since N conductive columns 120 are connected in parallel.

즉, 도전성 입자(110)의 크기와 재질이 동일하다고 할 때, 도전부(100)의 저항은 도전 컬럼(120)의 개수와 도전 컬럼(120)을 형성하는 도전성 입자(110)의 개수에 따라 결정된다. 도전 컬럼(120)이 많을수록, 도전 컬럼(120)을 형성하는 도전성 입자(110)가 적을수록 도전부(100)에 낮은 저항이 형성된다. That is, when the size and material of the conductive particles 110 are the same, the resistance of the conductive part 100 depends on the number of conductive columns 120 and the number of conductive particles 110 forming the conductive columns 120. Is determined. As the number of conductive columns 120 increases and the number of conductive particles 110 forming the conductive column 120 decreases, a lower resistance is formed in the conductive portion 100.

하지만, 전술한 바와 같이 반도체 소자 등의 피검사 장치(20)의 리드(21)가 작아지면서 도전부(100)의 직경도 작아져 도전 컬럼(120)의 수는 줄어들 수밖에 없다. 또한, 저항을 고려하여 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110)를 줄일 경우 탄성구간이 작아져 각각의 도전부(100)와 피검사 장치(20)의 리드(21)와의 접촉압 불균일로 인해 도전부(100)들의 저항 편차가 커지게 되는 문제가 있다.However, as described above, as the lead 21 of the device under test 20 such as a semiconductor element decreases, the diameter of the conductive portion 100 decreases, and the number of conductive columns 120 is inevitably reduced. In addition, when the conductive particles 110 in the conductive column 120 are reduced in consideration of resistance, the elastic section becomes smaller, and the contact pressure between the respective conductive parts 100 and the leads 21 of the device under test 20 is uneven. There is a problem in that the resistance deviation of the conductive parts 100 increases.

일 실시예에 따르면, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 도전성 입자(110)는 블록(block) 형상을 갖도록 구성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 소정의 두께(d)를 갖고, 너비(w) 보다 길이(l)가 큰 블록 형상을 갖도록 구성될 수 있다.According to an embodiment, as shown in FIG. 4, the conductive particles 110 of the present invention may be configured to have a block shape, more specifically, have a predetermined thickness d, and a width ( It may be configured to have a block shape having a larger length (l) than w).

보다 구체적으로, 본 발명의 도전성 입자(110)의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하로 형성될 수 있다. 본 발명의 도전성 입자(110)는 약 2배 내외의 길이비를 가지고 있어 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110)의 개수는 오히려 줄어 낮은 저항을 유지할 수 있게 된다. 즉, 본 발명의 도전성 입자(110)는 전술한 R1의 범위 내에서 도전부(100)의 전기적 특성은 유지시키면서도 도전부(100)의 동작성은 향상시켜 전체적인 검사용 소켓(1000)의 수명을 늘릴 수 있게 된다. R1이 1.2 미만이면 도전 컬럼(120)의 저항을 줄이는 저항 개선 효과가 저조하게 되며, R1이 2.5 초과면 압축시 도전성 입자(120) 사이의 이탈 가능성이 높아지게 된다.More specifically, the length ratio R1 = l / w of the width (w) and the length (l) of the conductive particles 110 of the present invention may be formed to be 1.2 or more and 2.5 or less. Since the conductive particles 110 of the present invention have a length ratio of about 2 times, the number of conductive particles 110 in the conductive column 120 is rather reduced, so that low resistance can be maintained. That is, the conductive particles 110 of the present invention improve the operability of the conductive part 100 while maintaining the electrical characteristics of the conductive part 100 within the range of R1 described above, thereby reducing the overall life of the test socket 1000. You can increase it. If R1 is less than 1.2, the resistance improvement effect of reducing the resistance of the conductive column 120 is poor, and if R1 is more than 2.5, the possibility of separation between the conductive particles 120 during compression increases.

또한, 도전성 입자(110)의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하로 구성될 수 있다. 이 경우, 도전성 입자(110)들이 자기장에 의하여 특정방향으로 용이하게 배열될 수 있게 된다. 즉, 도전성 입자(110)들이 길이 방향 중심축에 대하여 무작위적으로 회전하지 않고 특정한 방향으로 배열되도록 하여 상하 도전성 입자(110)들 간의 선 또는 면 접촉이 보다 용이하게 될 수 있다. R2가 1.1 미만이면 도전성 입자(110)들이 서로 제각각으로 회전하여 특정방향으로의 정렬이 어렵게 될 수 있으며, R2가 5.0 초과면 도전성 입자(110)가 대략 판 형상으로 형성되어 두께방향으로 세워졌을 때 도전부(100)가 견고하지 않을 수 있다.In addition, the length ratio R2 = w / d of the width (w) and the thickness (d) of the conductive particles 110 may be composed of 1.1 or more and 5.0 or less. In this case, the conductive particles 110 can be easily arranged in a specific direction by the magnetic field. That is, the conductive particles 110 are arranged in a specific direction without randomly rotating about the longitudinal central axis, so that line or surface contact between the upper and lower conductive particles 110 may be made easier. If R2 is less than 1.1, the conductive particles 110 may rotate in each other, making it difficult to align in a specific direction. If R2 is more than 5.0, when the conductive particles 110 are formed in a substantially plate shape and are erected in the thickness direction The conductive part 100 may not be solid.

일 실시예에 따르면, 도전성 입자(110)는 기둥형의 몸체부(111), 상기 몸체부(111)의 상단에 형성되는 제1 볼록부(112) 및 상기 몸체부(111)의 하단에 형성되는 제2 볼록부(113)를 포함하여 구성될 수 있다.According to an embodiment, the conductive particles 110 are formed in the columnar body portion 111, the first convex portion 112 formed on the upper end of the body portion 111, and the lower end of the body portion 111 It may be configured to include a second convex portion 113.

몸체부(111)는 대략 기둥 형상일 수 있으며, 보다 구체적으로는 소정의 두께를 갖는 사각 기둥 형상일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 다각 기둥 형상이 가능함은 물론이다.The body part 111 may have an approximately pillar shape, and more specifically, may have a rectangular pillar shape having a predetermined thickness. However, it is not limited thereto, and of course, various polygonal pillar shapes are possible.

몸체부(111)는 자기장에 의하여 탄성 물질 내에 정렬될 때 각각의 도전부(100)가 두께방향으로 세워질 수 있는 형상과 치수를 가지는 것이 좋으며, 일방향으로 길게 연장된 기둥형태를 가지는 것이 바람직하다.When the body part 111 is aligned in an elastic material by a magnetic field, it is preferable that each conductive part 100 has a shape and a dimension that can be erected in the thickness direction, and it is preferable to have a column shape extending long in one direction.

제1 볼록부(112)는 상기 몸체부(111)의 상단에 형성되는 것으로서, 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 상부 표면을 갖도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 볼록부(113)는 상기 몸체부(111)의 하단에 형성되는 것으로서, 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 하부 표면을 갖도록 구성될 수 있다. 또한, 제1 볼록부(112)와 제2 볼록부(113)는 상기 몸체부(111)에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖도록 구성될 수 있다.The first convex part 112 is formed on the upper end of the body part 111 and may be configured to have an upper surface that is smoothly connected without forming a protrusion and a groove. Likewise, the second convex portion 113 is formed at the lower end of the body portion 111 and may be configured to have a lower surface smoothly connected without forming a protrusion and a groove. In addition, the first convex portion 112 and the second convex portion 113 may be configured to have a shape symmetrical to each other with respect to the body portion 111.

상단과 하단에 돌기와 홈을 갖는 형태의 도전성 입자의 경우, 서로 요철처럼 결합되는 현상을 추구하게 된다. 그러나, 이 경우 실제 자기력선이 인가되는 경우 돌기 형상 부위에 자기력선의 세기가 커지기 때문에 각각의 도전성 입자의 돌기와 홈이 결합되기보다는 돌기간 연결될 확률이 높아지게 된다. 또한, 표면 형상이 매끄럽지 못해 압력이 높을수록 절연성 지지부와 도전성 입자 간의 접착력이 분리될 가능성이 높게 되어 내구성이 저하될 수 있다.In the case of conductive particles having protrusions and grooves at the top and bottom, the phenomenon of being bonded to each other like irregularities is pursued. However, in this case, when the actual magnetic force line is applied, the strength of the magnetic force line increases at the protrusion-shaped portion, so that the protrusion and the groove of each conductive particle are more likely to be connected rather than coupled. In addition, as the surface shape is not smooth, the higher the pressure, the higher the possibility of separation of the adhesive force between the insulating support and the conductive particles, and thus durability may be deteriorated.

즉, 본 발명의 도전성 입자(110)의 경우, 제1 볼록부(112)와 제2 볼록부(113)가 돌기나 홈이 형성되지 않고 완만하게 연결되는 표면을 가지고 있어, 각각의 도전성 입자(110)가 서로 면접촉을 통해 안정적으로 접속하고 용이하게 회전할 수 있으며, 높은 압력이 가해지더라도 절연성 지지부(200)와의 분리 가능성이 낮아 내구성이 향상될 수 있다. That is, in the case of the conductive particles 110 of the present invention, the first convex portion 112 and the second convex portion 113 have surfaces that are smoothly connected without forming protrusions or grooves, so that the respective conductive particles ( 110) can be connected stably and easily rotated through surface contact with each other, and durability can be improved due to a low possibility of separation from the insulating support 200 even when a high pressure is applied.

일 실시예에 따르면, 제1 볼록부(112)의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부(111)의 폭(L1) 보다 크게 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 볼록부(113)의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성될 수 있다. 나아가, 몸체부(111)의 측면(114)은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성될 수 있다. 이로써, 하나의 도전성 입자(110)와 측면에 인접한 다른 도전성 입자(110) 사이에 공간이 형성될 수 있으며, 상기 공간에 탄성 절연물질이 채워져서 도전성 입자(110)가 도전부(100)로부터 이탈되는 것이 최소화될 수 있다. 즉, 도전부(100)의 견고성이 향상될 수 있다.According to an embodiment, the widest width L2 of the first convex portion 112 may be larger than the width L1 of the body portion 111. Similarly, the widest width L3 of the second convex portion 113 may be larger than the width L1 of the body portion. Furthermore, the side surface 114 of the body 111 may be formed to be concave inward from the top to the center. Thereby, a space may be formed between one conductive particle 110 and the other conductive particles 110 adjacent to the side, and the space is filled with an elastic insulating material so that the conductive particles 110 are separated from the conductive part 100 Can be minimized. That is, the rigidity of the conductive part 100 may be improved.

한편, 도전성 입자(110)의 측면(114) 상에 복수의 요철이 마련되도록 구성되는 것도 가능하다. 이와 같이 측면(114) 상에 다수의 요철이 마련되어 있게 되면 요철 사이에 탄성 절연물질이 채워져서 도전성 입자의 이탈을 확실하게 방지할 수 있는 장점이 있게 된다.On the other hand, it is also possible to be configured such that a plurality of irregularities are provided on the side surface 114 of the conductive particles 110. In this way, when a plurality of irregularities are provided on the side surface 114, an elastic insulating material is filled between the irregularities, so that separation of the conductive particles can be reliably prevented.

도 5를 참조하여 본 발명의 도전성 입자(110)의 다양한 실시예를 살펴보면, 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113) 중 적어도 하나는 반원 형상, 삼각 형상, 사각 형상, 사다리꼴 형상 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 이때, 각각의 꼭지점은 완만하게 라운드(round)지도록 형성될 수 있다. 이처럼, 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113)가 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 형상으로 형성됨에 따라 각각의 도전성 입자(110)가 서로 면접촉을 통해 안정적으로 접속하고 용이하게 회전할 수 있으며, 높은 압력이 가해지더라도 도전입자의 표면적이 커져 절연성 지지부(200)와의 분리 가능성이 낮아 내구성이 향상될 수 있다. 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113)의 형상은 이에 한정되는 것은 아니고, 돌기와 홈을 형성하지 않는 형상이면 무엇이든 적용될 수 있다.Looking at various embodiments of the conductive particles 110 of the present invention with reference to FIG. 5, at least one of the first convex portion 112 and the second convex portion 113 is a semicircular shape, a triangular shape, a square shape, and a trapezoidal shape. It can be formed in any one of. In this case, each vertex may be formed to be smoothly rounded. In this way, as the first convex portion 112 and the second convex portion 113 are formed in a shape that is smoothly connected without forming protrusions and grooves, the respective conductive particles 110 are stably connected to each other through surface contact. It can be easily rotated, and even if a high pressure is applied, the surface area of the conductive particles is increased, so that the possibility of separating from the insulating support 200 is low, and durability can be improved. The shapes of the first convex portion 112 and the second convex portion 113 are not limited thereto, and any shape that does not form protrusions and grooves may be applied.

또한, 도 6의 (b)를 참조하면, 구형 도전성 입자 보다 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자의 길이가 2배인 경우, 같은 높이에서 도전성 입자(110) 간의 접촉 부분이 거의 반으로 줄게 되어 도전 컬럼(120)의 저항은 약 1/2이 된다.In addition, referring to Figure 6 (b), when the length of the block-shaped conductive particles of the present invention is twice the length of the spherical conductive particles, the contact portion between the conductive particles 110 at the same height is reduced by almost half, and the conductive column The resistance of (120) is about half.

즉, 본 발명에 따른 블록 형상의 도전성 입자(110)로 이루어진 도전부(100)의 전체 저항은 구형 도전성 입자로 이루어진 도전부의 저항보다 현저하게 줄어들어 검사용 소켓(1000)의 전체적인 전기적 성능이 향상되는 이점이 있다.That is, the total resistance of the conductive part 100 made of the block-shaped conductive particles 110 according to the present invention is significantly reduced than the resistance of the conductive part made of spherical conductive particles, so that the overall electrical performance of the inspection socket 1000 is improved. There is an advantage.

도 7의 (a)는 피검사 장치가 검사용 소켓를 가압할 때 검사용 소켓의 변화를 나타내는 개략적인 도면이고, 도 7의 (b)는 검사용 소켓의 체적에 따른 가압시 체적 변화를 비교하는 표를 나타낸다.Figure 7 (a) is a schematic diagram showing the change in the socket for inspection when the device under test presses the socket for inspection, and Figure 7 (b) is a comparison of the volume change during pressing according to the volume of the socket for inspection Show the table.

도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 검사용 소켓(1000)의 경우 피검사 장치(20)가 상부에서 가압하면 탄성중합체(elastomer)의 특성상 압축을 받은 면은 줄어들고 다른 외곽면은 늘어나게 된다. 이때, 검사용 소켓(1000) 내에 있는 도전부(100)들도 위치에 따라 검사용 소켓(1000)이 압축, 팽창하는 방향으로 변화하게 된다. 따라서, 각 도전부(100)의 도전성 입자(110)들도 검사용 소켓의 탄성 변화에 따라 움직이므로 도전부(100)의 형상도 위치에 따라 제각기 다르게 변화하게 된다.As shown in (a) of Figure 7, in the case of the test socket 1000, when the device to be tested 20 is pressed from the top, the compressed surface is reduced and the other outer surface is stretched due to the characteristics of the elastomer. . At this time, the conductive parts 100 in the test socket 1000 also change in a direction in which the test socket 1000 compresses and expands according to its position. Accordingly, since the conductive particles 110 of each conductive part 100 also move according to the elasticity change of the test socket, the shape of the conductive part 100 is also changed differently depending on the location.

이때, 도전부(100)의 품질은 초기 상태에서는 각 도전부(100)들 간의 차이가 크지 않지만 오랜시간 반복 접촉하게 되면 도전부(100) 간의 동작 차이로 인해 저항 편차가 발생하게 된다. 즉, 도전부(100)의 변화가 클수록 도전 컬럼(120)에 손상을 주게 되며, 이로 인해 검사용 소켓(1000)의 수명이 감소하게 된다. In this case, the quality of the conductive parts 100 does not differ significantly between the conductive parts 100 in the initial state, but when the conductive parts 100 are repeatedly contacted for a long time, resistance deviation occurs due to a difference in operation between the conductive parts 100. That is, as the change of the conductive part 100 increases, the conductive column 120 is damaged, and thus the life of the test socket 1000 is reduced.

도 7의 (b)를 참조하여 가로 9mm, 세로 9mm, 높이 1mm를 갖는 검사용 소켓과 가로 9mm, 세로 9mm, 높이 1.5mm를 갖는 검사용 소켓을 비교하면, 각각을 동일한 0.2mm 스트로크(stroke)로 가압했을 때, 높이 1.5mm를 갖는 검사용 소켓의 체적 변화율이 더 작게 된다. 즉, 도전 컬럼의 손상 가능성이 더 낮아 검사용 소켓의 수명이 늘어나게 된다. 다만, 높이를 키우면 전체적인 체적이 증가하여 체적 변화를 줄일 수 있지만 도전 컬럼 내 도전성 입자의 개수가 늘어나 저항이 증가하게 된다.When comparing the inspection socket having a width of 9 mm, a length of 9 mm, and a height of 1 mm with a test socket having a width of 9 mm, a length of 9 mm and a height of 1.5 mm with reference to FIG. 7B, each of the same 0.2 mm strokes When pressed with, the volume change rate of the test socket having a height of 1.5 mm becomes smaller. That is, the possibility of damage to the conductive column is lower, and the life of the inspection socket is extended. However, if the height is increased, the overall volume increases and the volume change can be reduced, but the number of conductive particles in the conductive column increases, and the resistance increases.

도 8의 (a)는 압축시 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도면이고, 도 8의 (b)는 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도표이다.Figure 8 (a) is a view showing a comparison of the operation of the conductive column of the conventional conductive particles and the conductive column of the present invention during compression, Figure 8 (b) is a conductive column of the conventional conductive particles and the present invention It is a diagram showing the comparison of the behavior of the conductive column of the conductive particles.

도 8의 (a)를 참조하면, 일반적으로 검사용 소켓(1000) 압축시 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110) 간 변위각(θ) 임계치는 약 45 도이며, 변위각(θ)이 임계치를 넘어서게 되면 절연성 지지부(200)와 도전성 입자(110) 간의 접착 상태가 분리되면서 도전 컬럼(120)이 붕괴된다. 즉, 도전부(100)의 저항이 증가하게 된다.Referring to FIG. 8A, in general, the threshold of the displacement angle θ between the conductive particles 110 in the conductive column 120 when the test socket 1000 is compressed is about 45 degrees, and the displacement angle θ is When the threshold is exceeded, the adhesive state between the insulating support 200 and the conductive particles 110 is separated, and the conductive column 120 is collapsed. That is, the resistance of the conductive part 100 increases.

도 8의 (a) 및 도 8의 (b)를 참조하여, 종래의 구형 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓과, 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓을 비교하면, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 종래의 검사용 소켓 보다 약 2배의 두께를 갖으면서도 하나의 도전 컬럼(120) 내 도전성 입자(110)의 개수는 15개로 종래의 20개인 경우 보다 오히려 더 적게 구성될 수 있다. 8(a) and 8(b), comparing the conventional inspection socket having spherical conductive particles with the inspection socket having the block-shaped conductive particles of the present invention, the inspection of the present invention The socket 1000 may be configured to have a thickness of about twice that of the conventional test socket, but the number of conductive particles 110 in one conductive column 120 is 15, which is less than that of the conventional 20. have.

또한, 동일한 0.2mm 스트로크(stroke)로 가압했을 때 도전성 입자의 변위각(θ)은 38.92° 이고, 종래의 42.54°인 경우 보다 더 작게 형성될 수 있다. 즉, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 기존의 구형 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓에 비해 압축 변위량을 늘릴 수 있으며, 압축 변위량이 늘면 동일한 스트로크에서 압축 압력도 줄어들게 된다. 이에 따라 검사용 소켓(1000)의 피로 수명이 증가하여 내구성이 향상될 수 있다. In addition, the displacement angle θ of the conductive particles when pressurized with the same 0.2 mm stroke is 38.92°, and may be formed smaller than the conventional 42.54° case. That is, the inspection socket 1000 of the present invention can increase the amount of compression displacement compared to the inspection socket having the conventional spherical conductive particles, and when the compression displacement amount increases, the compression pressure in the same stroke decreases. Accordingly, the fatigue life of the test socket 1000 may increase, and durability may be improved.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.The above description of the present invention is for illustrative purposes only, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the claims to be described later, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1000 검사용 소켓
100 도전부
110 도전성 입자
111 몸체부
112 제1 볼록부
113 제2 볼록부
114 몸체부 측면
120 도전 컬럼
200 절연성 지지부
20 피검사 장치
21 리드
30 테스트 보드
31 패드
R_p 도전성 입자의 고유 저항
R_c 도전성 입자 간의 접촉 저항
R_L 도전 컬럼의 저항
R_total 도전부 전체 저항1000 test socket
100 conductive parts
110 conductive particles
111 Body
112 first convex
113 second convex
114 Side of body
120 conductive columns
200 insulating support
20 Device to be tested
21 leads
30 test board
31 pad
R_pSpecific resistance of conductive particles
R_cContact resistance between conductive particles
R_L Resistance of conductive column
R_totalTotal resistance of conductive parts

Claims

A plurality of conductive parts formed by arranging a plurality of conductive particles in an elastic insulating material in a thickness direction and spaced apart from each other in a plane direction; And
It includes an insulating support portion for supporting each conductive portion and blocking electrical connection between adjacent conductive portions,
The conductive particles are formed in a block shape having a predetermined thickness (d),
The conductive particles,
A columnar body;
A first convex portion formed on an upper end of the body portion and having an upper surface; And
It is formed at the lower end of the body portion, and includes a second convex portion having a lower surface,
The inspection socket that slides and rotates along the first convex portion or the second convex portion of the other conductive particles adjacent to the upper and lower portions when the pad is pressed.

delete

The method of claim 1,
The length ratio R1 = l / w between the width (w) and the length (l) of the conductive particles is 1.2 or more and 2.5 or less.

The method of claim 1,
The length ratio R2 = w / d between the width (w) and the thickness (d) of the conductive particles is 1.1 or more and 5.0 or less.

The method of claim 1,
The test socket, characterized in that the first convex portion and the second convex portion have a shape symmetrical to each other with respect to the body portion.

The method of claim 1,
The test socket, characterized in that the widest width (L2) of the first convex portion is configured to be larger than the width (L1) of the body portion.

The method of claim 1,
The test socket, characterized in that the widest width (L3) of the second convex portion is configured to be larger than the width (L1) of the body portion.

The method of claim 1,
At least one of the first convex portion and the second convex portion has a semicircular shape.

The method of claim 1,
At least one of the first convex portion and the second convex portion has a triangular shape, and each vertex is formed to be round.

The method of claim 1,
At least one of the first convex portion and the second convex portion has a trapezoidal shape, and each vertex is formed to be round.

The method of claim 1,
At least one of the first convex portion and the second convex portion has a rectangular shape, and each vertex is formed to be round.

The method of claim 1,
The test socket, characterized in that when the conductive particles are aligned in the elastic insulating material by a magnetic field, they are erected in a vertical direction and elongated in one direction.

The method of claim 1,
The inspection socket, characterized in that the first convex portion of one conductive particle is coupled to the second convex portion of the other conductive particle by any one of point, line, and surface contact.

The method of claim 1,
The test socket, characterized in that the side of the body portion is formed to be concave inward from the top to the center.

The method of claim 1,
The socket for inspection, characterized in that a plurality of irregularities are formed on the side of the body portion.