KR102203697B1 - 스틸 베이스 프레임이 구비된 스테이지 장치 - Google Patents

Abstract

스테이지 장치가 개시된다. 상기 스테이지 장치는 스틸(steel) 소재의 베이스 프레임(base frame), 상기 베이스 프레임을 하부에서 지지하는 지지 가설대, 및 상기 베이스 프레임 상에서 일 방향으로 이동 가능하게 설치된 갠트리부를 포함하고, 상기 베이스 프레임은 상기 일 방향으로 연장 형성된 두 개의 중공재와 상기 일 방향과 직교하는 방향으로 연장 형성된 두 개의 중공재로 형성된 직사각형 형상의 프레임 바디의 내측에 형성된 복수의 중공재로 구성되고, 상기 베이스 프레임을 구성하는 중공재 내부의 적어도 일부는 우레탄폼으로 충전된 것을 특징으로 한다.

Description

스틸 베이스 프레임이 구비된 스테이지 장치{STAGE DEVICE COMPRISING A STEEL BASE FRAME}

본 발명은 스테이지 장치에 관한 것으로, 특히 스틸(steel) 소재의 베이스 프레임이 구현된 스테이지 장치에 관한 것이다.

반도체 기판이나 액정 패널과 같은 평면 구조물에 대하여 소정의 공정을 실시하는 장치로써 스테이지 장치가 널리 사용된다. 일반적으로, 스테이지 장치는 LCD(Liquid Crystal Display Device) 제조 라인의 잉크젯 프린팅(ink-jet printing) 설비, 레이저 리페어(laser repair) 설비, 레이저 트리머(laser trimmer) 설비 등 평면 구조물에 대하여 국소적인 처리(processing)를 실시하는 장치에 주로 사용되고 있다. 예컨대, 액정 디스플레이의 TFT(Thin Film Transistor) 기판의 제조 결함을 보수하는 레이저 리페어 장치에는 주요한 구성 유닛으로 스테이지 장치가 설치된다.

스테이지 장치는 고정 부분인 스테이지와 스테이지의 상면에 설치되어 이동 가능한 갠트리부로 구성되며, 갠트리부는 스테이지 상면에 설치되어 일 방향으로 이동하는 한 쌍의 서포터와 상기 서포터의 상면 사이에 걸쳐진 빔(beam)으로 구성된다. 빔에는 레이저 광학 유닛 또는 잉크젯 헤드와 같은 각종 장치가 일 방향과 직교하는 방향으로 이동 가능하게 장착된다. 이로 인하여, 스테이지에 기판이 로딩되면 갠트리부가 일 방향으로 이동함과 동시에 레이저 광학 유닛 또는 잉크젯 헤드와 같은 장치가 빔을 따라 일 방향과 직교하는 방향으로 이동하여 기판에 존재하는 결합부를 수리하거나 기판에 컬러 필터와 배향막을 형성시키게 된다.

한편, 강성, 내진동성 및 평탄도를 확보하기 위하여, 화강암을 정밀 가공하는 등의 방법을 통해 제조된 석정반이 스테이지 장치의 베이스(base)로 이용되고 있다. 그러나, 대형 석정반의 경우 수급이 어려울 뿐만 아니라 과도한 무게로 인하여 제조 및 운반의 어려움이 있으며, 제작 기간이 길어지며 비용 또한 과도하게 소비된다. 따라서, 본 명세서에서는 강성, 내진동성 및 평탄도 면에서 기존 석정반과 대등한 수치를 보이는 스틸 소재의 베이스 프레임을 구비하는 스테이지 장치를 제안하고자 한다.

대한민국 등록특허 제0713561호 (2007.04.25. 등록)

본 발명이 이루고자 하는 기술적인 과제는 석정반과 유사한 강성, 내진동성 및 평탄도를 갖으면서, 가볍고 제조 기간이 짧으며 제조 단가가 낮은 스테이지 장치를 제공하는 것이다.

또한, 대형화된 구조의 스테이지 장치는 운송중에 온도 변화에 따라 갠트리 빔 구조에 열팽창이 발생하고 그로 인한 구조변형이 일어나게 되는데 본 발명은 이를 방지하고 갠트리부의 기구정렬 오차를 줄일 수 있는 스테이지 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 스틸(steel) 소재의 베이스 프레임(base frame), 상기 베이스 프레임을 하부에서 지지하는 지지 가설대, 및 상기 베이스 프레임 상에서 일 방향으로 이동 가능하게 설치된 갠트리부를 포함하고, 상기 베이스 프레임은 상기 일 방향으로 연장 형성된 두 개의 중공재와 상기 일 방향과 직교하는 방향으로 연장 형성된 두 개의 중공재로 형성된 직사각형 형상의 프레임 바디의 내측에 형성된 복수의 중공재로 구성되고, 상기 베이스 프레임을 구성하는 중공재 내부의 적어도 일부는 우레탄폼으로 충전된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시 예에 따른 스테이지 장치는 스틸 소재의 베이스 프레임을 구비하여 무게가 가볍고 제조 기간이 짧으며 제조 단가가 낮은 효과가 있다.

또한, 석정반 대비 작은 중량으로 인하여 운반 및 제조가 용이한 효과가 있다.

본 발명의 상세한 설명에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 상세한 설명이 제공된다.
도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치의 사시도이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 베이스 프레임의 사시도이다.
도 2a는 도 1a에 도시된 연결판의 사시도이다.
도 2b는 도 1a에 도시된 연결판의 정면도이다.
도 2c는 도 1a에 도시된 연결판의 저면사시도이다.
도 3은 갠트리부의 단면 형상별로 장착된 기구물 하중에 의한 처짐량, 진동특성의 해석결과이다.
도 4a는 도 3에 도시된 제3 실시예에 의한 지지부의 사시도이다.
도 4b는 도 3에 도시된 제3 실시예에 의한 지지부의 단면 구조를 도시한다.
도 5a는 종래 석정반의 자중에 의한 처짐량을 도시한다.
도 5b는 도 1a에 도시된 베이스 프레임의 자중에 의한 처짐량을 도시한다.
도 6a는 종래 석정반의 자중에 의한 최대 응력을 도시한다.
도 6b는 도 1a에 도시된 베이스 프레임의 자중에 의한 최대 응력을 도시한다.
도 7a, 도 7b 및 도 7c는 8점 지지 환경에서 형상, 재질 및 외부 구속 상태에 따른 진동 특성의 비교 결과를 도시하는 도면으로, 도 7a는 종래 석정반의 결과를 도시하고, 도 7b는 우레탄이 충전되지 않은 스틸 구조 베이스의 결과를 도시하고, 도 7c는 우레탄이 충전된 스틸 구조 베이스 프레임의 결과를 도시한다.

본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 또는 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로서, 본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 형태들로 실시될 수 있으며 본 명세서에 설명된 실시 예들에 한정되지 않는다.

본 발명의 개념에 따른 실시 예들은 다양한 변경들을 가할 수 있고 여러 가지 형태들을 가질 수 있으므로 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예들을 특정한 개시 형태들에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물, 또는 대체물을 포함한다.

제1 또는 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만, 예컨대 본 발명의 개념에 따른 권리 범위로부터 벗어나지 않은 채, 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고 유사하게 제2 구성 요소는 제1 구성 요소로도 명명될 수 있다.

어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 본 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

이하, 본 명세서에 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명한다. 그러나 특허출원의 범위가 이러한 실시 예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 스테이지 장치의 사시도이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 베이스 프레임의 사시도이다.

도 1a와 도 1b를 참조하면, 스테이지 장치(10)는 복수 개의 중공재를 연결하여 구축된 중공 파이프 구조의 베이스 프레임(base frame, 100), 베이스 프레임(100)을 하부에서 지지하는 지지 가설대(300), 및 베이스 프레임(100) 상에서 일 방향으로 이동가능하게 구현된 갠트리부(500)를 구비한다.

베이스 프레임(100) 상에는 갠트리부(500)의 이동을 안내하는 가이드 레일과 영구 자석 등이 구비될 수 있고, 갠트리부(500)의 하부에는 가이드 레일에 안내되는 안내 슬라이서 및 영구 자석과 대향하는 전자석이 구비될 수 있다. 실시예에 따라, 갠트리부(500)는 베이스 프레임(100) 상에 구현된 리니어 모터의 레일 상에 고정 안착되어 리니어 모터의 구동에 따라 일 방향으로 이동이 가능할 수도 있다.

구체적으로, 베이스 프레임(100)의 길이 방향을 Y(또는 X)축 방향이라 하고 베이스 프레임(100)의 길이 방향과 직교하는 방향을 X(또는 Y)축 방향이라 할 때, 갠트리부(500)는 베이스 프레임(100)의 길이 방향, 즉 Y축 방향으로 이동 가능하다.

베이스 프레임(100)은 X축 방향으로 연장 형성된 중공재(111, 113)와 Y축 방향으로 연장 형성된 중공재(115, 117)로 형성되는 직사각 형상의 프레임 바디의 내측에 형성된 복수의 중공재에 의하여 보강될 수 있다. 즉, 베이스 프레임(100)은 격자 모양으로 서로 연결된 복수의 중공재로 구현될 수 있다. 또한, 베이스 프레임(100)은 중공재(115, 117)의 상면에 가이드 레일 또는 리니어 모터 등을 탑재하기 위해 Y축 방향으로 연장 형성된 부재(121, 123)를 포함할 수 있다.

또한, X축 방향으로 연장 형성된 중공재(111, 113)의 상면 가장자리 영역에는 Y축 방향으로 연장 형성된 부재(121, 123)에 설치되는 가이드 레일의 주행평행도를 목표사양에 맞추기 위한 설치기준면으로 엣지세팅포인트(119)가 설치될 수 있다.

베이스 프레임(100)은 Y축 방향으로 연장 형성된 중공재(115, 117) 각각으로부터 연장 형성되어 중공재(115, 117) 각각을 지지하는 지지대(131)와 중공재(115, 117)의 하부 양 단부로부터 지지대(131)의 말단까지 연장 형성된 한 쌍의 보조 지지대(133)를 구비할 수 있다. 지지대(131)와 보조 지지대(133)를 구비함으로써, 석정반과 대등한 평탄도 값을 갖는 중공재(115, 117)를 제공할 수 있다. 보조 지지대(133)는 H형강으로 이루어져 있어 실제 Y축 방향으로 연장 형성된 부재(121, 123)에 붙은 30t 플레이트에서 석정반과 대등한 평탄도 값을 갖는다.

또한, 베이스 프레임의 중공재(111, 113, 115, 117) 및 직사각형 형상의 프레임 바디의 내측에 형성된 복수의 중공재의 내부 중 적어도 일부에는 우레탄(urethane, 폴리우레탄(polyurethane)이라고도 함)이 충전될 수 있다. 실시예에 따라, 우레탄은 발포 폴리우레탄(우레탄폼이라고도 함)일 수 있다. 실시예에 따라, 부재(121, 123)의 내부 중 적어도 일부 역시 우레탄으로 충전될 수 있다.

지지 가설대(300)는 베이스 프레임(100)의 4 구석을 각각 지지하는 다리부(311), 동일 측면의 두 개의 다리부(311)를 연결하여 강성을 보강하는 연결부(313)를 포함한다. 실시예에 따라, 다리부(311)와 베이스 프레임(100) 사이에는 공기 스프링이나 스프링 등과 같은 탄성 수단, 즉 제진 장치가 설치될 수 있다.

또한, Y축 방향으로 평행하게 형성된 연결부(313)의 상면 중앙은 베이스 프레임(100)의 지지대(131)를 하부에서 지지할 수 있고, 연결부(313)의 상면 중앙과 지지대(131) 사이에는 공기 스프링이나 스프링 등과 같은 탄성 수단, 즉 제진 장치가 설치될 수 있다.

또한, X축 방향으로 평행하게 형성된 연결부(313)의 상면 중앙에는 베이스 프레임(100)을 하방에서 지지하는 제2 다리부(315)가 구비될 수 있다. 역시, 제2 다리부(315)와 베이스 프레임(100) 사이에는 탄성 수단, 즉 제진 장치가 설치될 수 있다.

또한, 직사각형 형상으로 구비된 4 개의 연결부(313) 내측은 H형강으로 이루어진 복수의 보강재로 보강될 수 있다.

갠트리부(500)의 양측 하부에는 연결판(510, 슈(shoe) 또는 서포터라고도 함)이 구비된다. 연결판(510)이 리니어 모터의 상부에 안착되고, 리니어 모터의 구동에 따라 연결판(510)이 Y축 방향으로 이동하게 됨에 따라 갠트리부(500) 전체가 Y축 방향으로 이동할 수 있다.

갠트리부(500)는 X축 방향으로 뻗은 지지부(530, 빔(beam)이라고도 함), 리니어 모터부(550) 및 이동부(570)를 포함한다. 이동부(570)는 리니어 모터부(550)의 구동에 따라 X축 방향으로 이동 가능하다. 또한, 이동부(570)에 소정의 장치를 부착(또는 부설)함으로써, 소정의 장치가 X축 방향으로 이동하여 미리 정의된 동작을 수행할 수 있다.

도 2a는 도 1a에 도시된 연결판의 사시도이고, 도 2b는 도 1a에 도시된 연결판의 정면도이다.

연결판(510)은 리니어 모터의 레일(또는 가이드 레일) 상에 안착되는 하부판(511), 갠트리부(500)를 지지하는 상부판(513), 및 상부판(513)과 하부판(511)을 연결하여 상부판(513)을 지지하는 지지부(515)가 구비된다. 지지부(515)는 하부판(511) 상에서 길이 방향, 즉 Y축 방향으로 소정의 홀이 생성되도록 구비될 수 있다. 즉, 하부판(511)의 상부 중 일부는 길이 방향으로 개방되어 있으며, 개방된 하부판(511)의 상부에는 복수개의 돌기들이 형성되어, 열원(즉, 리니어 모터)으로부터 전도된 열을 저감하기 위한 냉각 구조로 이용할 수 있다. 상기 돌기들은 연결판(510)의 길이 방향으로 연장 형성되어, 하부판(511)의 상면에 골과 산이 형성될 수 있다.

도 2c는 도 1a에 도시된 연결판의 저면사시도이다.

연결판(510)은 나아가 열원으로부터 강제냉각을 유도하기 위한 복수의 에어홀(517)과 복수의 에어홀(517)이 연결되는 에어관(518), 에어관(518)에 공기가 주입되는 통로인 에어주입구(519)가 형성될 수 있다. 에어주입구(519)와 에어관(518)은 열원(리니어 모터)을 중심으로 가장자리에 서로 대칭되도록 형성될 수 있으며, 유입된 공기는 에어홀(517)로 열을 방출한다.

도 3은 갠트리부의 단면 형상별로 장착된 기구물 하중에 의한 처짐량, 진동특성의 해석결과이다.

지지부(530)는 적어도 하나의 빔(beam)으로 구성될 수 있다. 즉, 제1 실시예(단일 beam)의 경우 가로 길이보다 큰 세로 길이를 갖는 단면 구조를 갖는 빔이고, 제2 실시예(전체 교반용접)은 2 개의 단일 빔이 교반용접을 통해 구현된 예이다. 제2 실시예에서 2 개의 단일 빔이 마주보는 면의 적어도 일부는 교반용접을 통해 결합할 수 있다. 제3 실시예는 하나의 단일 빔에 부분적으로 추가 빔을 교반용접하여 구현된 예이다. 제3 실시예는 도 4를 통해 보다 구체적으로 설명하기로 한다. 제4 실시예는 제1 실시예와는 단면 구조가 다른 단일 빔 구조를 갖는다. 즉, 제4 실시예는 가로 길이보다 작은 세로 길이를 갖는 단면 구조를 갖는 빔이다.

도 4a는 도 3에 도시된 제3 실시예에 의한 지지부의 사시도이고, 도 4b는 도 3에 도시된 제3 실시예에 의한 지지부의 단면 구조를 도시한다.

지지부(530)는 제1 빔(531)과 제1 빔(531)과 결합된 2 개의 제2 빔(533)으로 구성될 수 있다. 제2 빔(533)과 제1 빔(531)은 용접(예컨대, 교반용접)을 통해 결합할 수 있다. 또한, 제2 빔(533)은 제1 빔(531)의 단면 구조와 동일한 단면 구조를 갖을 수 있다. 제2 빔(533)은 제1 빔(531)과 동일한 길이와 형상을 가질 수 있으나(도 3의 제2 실시예 참조), 도 4를 통해 설명하는 제3 실시예에서는 경량화를 위해 일부분이 절개된 형상을 가질 수 있다. 즉, 제2 빔(533)의 길이는 제1 빔(531)의 길이의 1/2보다 작다. 따라서, 2 개의 제2 빔(533)이 제1 빔(531)에 결합되더라도 제2 빔(533) 상호간에는 직접적으로 결합하지 않는다. 또한, 제2 빔(533)은 제1 빔(531)과의 접합면의 길이가 접합면과 대향하는 면의 길이보다 길게 형성될 수 있다. 따라서, 지지부(530)의 강성을 보강함과 동시에 지지부(530)의 경량화를 달성할 수 있다.

제1 빔(531)은 내부에 중공부가 형성된 사각의 각봉 형상으로 압출되는 본체와 상기 본체의 중공부 내에 형성되는 보강부로 구성될 수 있다. 상기 보강부는 측면(좌측면과 우측면)의 1/3 지점과 상면의 1/2 지점을 연결하고, 측면(좌측면과 우측면)의 2/3 지점과 하면의 1/2 지점을 연결하고, 일 측면(예컨대, 좌측면)의 1/3 지점과 타 측면(예컨대, 우측면)의 2/3 지점을 연결하고, 일 측면(예컨대, 좌측면)의 2/3 지점과 타 측면(예컨대, 우측면)의 1/3 지점을 연결하는 리브(rib)로 구현될 수 있다. 결과적으로 중공부 내에 형성되는 보강부는 마름모와 삼각형(직삼각형 또는 정삼각형) 형상의 조합으로 구현된다.

도 5a는 종래 석정반의 자중에 의한 처짐량을 도시하고, 도 5b는 도 1a에 도시된 베이스 프레임의 자중에 의한 처짐량을 도시한다.

도 5a와 도 5b를 참조하면, 본원 발명에 의한 베이스 프레임(100)의 중량은 약 4.5톤으로 석정반의 중량(약 16.8톤) 대비 약 1/4에 불과함에도 불구하고 관심 영역에서의 처짐량이 유사한 수준임을 알 수 있다. 한편, 도 5b에 도시된 베이스 프레임(100)은 내부가 우레탄으로 충전된 중공재로 구성되어 있다.

도 6a는 종래 석정반의 자중에 의한 최대 응력을 도시하고, 도 6b는 도 1a에 도시된 베이스 프레임의 자중에 의한 최대 응력을 도시한다.

도 6a와 도 6b를 참조하면, 우레탄이 충전된 스틸 구조의 베이스 프레임(100), 즉 본 발명에 의한 베이스 프레임(100)이 동일 해석 조건에서 최대 응력 값이 석정반의 자중에 의한 최대 응력값보다 조금 높은 것으로 측정되었으나 그럼에도 불구하고 본 발명에 의한 베이스 프레임은 구조해석 측면에서는 전혀 문제가 없는 것으로 나타났다.

도 7a, 도 7b 및 도 7c는 8점 지지 환경에서 형상, 재질 및 외부 구속 상태에 따른 진동 특성의 비교 결과를 도시하는 도면으로, 도 7a는 종래 석정반의 결과를 도시하고, 도 7b는 우레탄이 충전되지 않은 스틸 구조 베이스의 결과를 도시하고, 도 7c는 도 1에 도시된 베이스 프레임의 결과를 도시한다.

도 7a, 도 7b, 도 7c와 같이 8점 지지 환경에서 형상, 재질 및 외부 구속 상태에 따른 진동 특성 비교 결과, 도 7b의 우레탄 충전이 없는 스틸 구조의 베이스 프레임이 낮은 주파수 영역을 나타냄을 알 수 있다. 그러나 우레탄 폼을 충전한 프레임의 진동특성 결과인 도 7c는 도 7b보다 개선된 진동특성을 갖는 것으로 조사되었다. 또한, 도 7a와 같이 석정판의 진동특성과 근접할 수 있도록 베이스 프레임에 지지점을 추가함으로써 스테이지 관점에서 주파수 특성을 개선시킬 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성 요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성 요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

10 : 스테이지 장치
100 : 베이스 프레임
300 : 지지 가설대
500 : 갠트리부
510 : 연결판
530 : 지지부
550 : 리니어 모터부
570 : 이동부

Claims (5)

1. 스틸(steel) 소재의 베이스 프레임(base frame);
   상기 베이스 프레임을 하부에서 지지하는 지지 가설대; 및
   상기 베이스 프레임 상에서 일 방향으로 이동 가능하게 설치된 갠트리부를 포함하고,
   상기 베이스 프레임은 상기 일 방향으로 연장 형성된 두 개의 중공재와 상기 일 방향과 직교하는 방향으로 연장 형성된 두 개의 중공재로 형성된 직사각형 형상의 프레임 바디의 내측에 형성된 복수의 중공재로 구성되고,
   상기 베이스 프레임을 구성하는 중공재 내부의 적어도 일부는 우레탄폼으로 충전되며,
   상기 베이스 프레임은,
   상기 일 방향으로 연장 형성된 중공재 각각의 하부 중앙으로부터 연장 형성되어 상기 일 방향으로 연장 형성된 중공재 각각을 지지하는 지지대; 및
   상기 일 방향으로 연장 형성된 중공재 각각의 하부 양 단부로부터 지지대의 말단까지 연장 형성된 한 쌍의 보조 지지대를 구비하고,
   상기 지지 가설대는
   상기 베이스 프레임의 4 구석을 각각 지지하는 다리부와 상기 다리부 각각을 연결하여 연결부를 포함하고,
   상기 연결부 중 상기 일 방향으로 연장 형성된 연결부의 상면 중앙은 상기 지지대를 하부에서 지지하며,
   상기 베이스 프레임의 4 구석과 상기 다리부 사이 및 상기 일 방향으로 연장 형성된 연결부의 상면 중앙과 상기 지지대 사이에는 제진 장치가 설치되고,
   상기 갠트리부는 상기 일 방향과 직교하는 방향으로 연장 형성된 지지부를 포함하고,
   상기 지지부는 제1 빔(beam) 및 상기 제1 빔과 결합된 2 개의 제2 빔을 포함하고,
   상기 제2 빔 각각의 길이는 상기 제1 빔의 길이의 1/2보다 작고, 상기 제1 빔과의 접합면의 길이는 상기 접합면과 대향하는 면의 길이보다 길게 형성되고,
   상기 제1 빔은 내부에 중공부가 형성된 사각 각봉 형상의 본체와 상기 본체의 중공부 내에 형성되는 보강부를 포함하고,
   상기 보강부는, 측면의 1/3 지점과 상면의 1/2 지점을 연결하고 측면의 2/3 지점과 하면의 1/2 지점을 연결하고, 일 측면의 1/3 지점과 타 측면의 2/3 지점을 연결하고, 일 측면의 2/3 지점과 타 측면의 1/3 지점을 연결하는 리브(rib)로 구성되고,
   상기 제2 빔 각각의 단면 형상은 상기 제1 빔의 단면의 형상과 동일한, 스테이지 장치.
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