KR102193721B1 - 점착척의 점착시트 보호 용 커버 필름 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 디스플레이 공정 진행 전 기판 이동 시 이물질(Particle)유입에 따른 점착척에 있는 점착시트의 점착력 저하를 방지하고, 커버필름 탈착 시 점착시트가 같이 붙어서 나오는 문제점을 해결하기 위해 점착부 및 무점착부로 구성된 이중복합구조의 커버필름을 제공한다.

Description

점착척의 점착시트 보호 용 커버 필름{Cover Film for protecting adhesive sheet using adhesive chuck}

본 발명은 반도체, 디스플레이 제조를 위한 점착척의 점착시트 보호 용 커버필름에 관한 것이다.

점착척은 현재 디스플레이 산업에서 대량생산체제에 적합한 기판 이송 수단으로 사용되고 있다(공개특허 10-2015-0031106호 등). 점착척을 구성하는 점착시트는 기판 이송과 보관 과정에서 이물질(Particle)이 부착되어 점착력의 저하를 가져오게 된다. 이에 따라 디스플레이 제조 전처리 과정으로 점착 시트에 커버 필름을 부착하여 점착력 저하를 방지하는데, 커버필름 탈착 시 커버필름의 점착력으로 인해 점착시트가 같이 붙어서 탈착되는 문제점이 발생한다. 이러한 문제로 수작업으로 다시 점착시트를 부착시켜줘야 하며, 이는 곧 제조 효율을 저하시킨다.

상기 문제에 따라 본 발명의 목적은 점착시트에 부착된 커버필름 탈착 시 점착시트가 같이 붙어서 나오는 문제점을 해결하는 데에 있다.

본 발명은 커버필름 탈착 시 점착시트가 같이 붙어서 나오는 문제점을 방지 하기 위해 점착 및 무점착의 이중복합구조 커버 필름을 구성하였다.

즉, 본 발명은,

점착 척의 점착시트를 보호하는 점착시트 보호용 커버필름으로서,

상기 점착시트 부분을 커버하는 무점착부; 및

상기 무점착부로부터 연장된 점착부;를 포함하여, 점착 척 위에 부착되어 점착시트의 오염을 방지하되, 커버필름을 떼어낼 때 상기 점착시트가 함께 박리되는 것을 방지한 것을 특징으로 하는 점착시트 보호용 커버필름을 제공한다.

상기에 있어서, 상기 점착시트 보호용 커버필름은 무점착 필름에 점착필름을 합지하여 제조되어 이중복합구조를 갖는 것을 특징으로 하는 점착시트 보호용 커버필름을 제공한다.

상기에 있어서, 하나의 필름의 양 측면만 점착체를 도포하고, 중앙부분은 무점착 역할을 하도록 점착제 도포로부터 제외시켜 이중복합구조를 갖게 한 것을 특징으로 하는 점착시트 보호용 커버필름을 제공한다.

상기에 있어서, 무점착부는 커버필름을 이루는 기저필름에 대해 일부는 부착되고 일부는 자유로운 날개부분을 구비하여 점착시트 부분을 포위하는 인갭슐레이션부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 점착시트 보호용 커버필름을 제공한다.

상기에 있어서, 점착시트 보호용 커버필름은 투과율 10% 이상인 것을 특징으로 하는 점착시트 보호용 커버필름을 제공한다.

본 발명에 따르면 점착시트에 닿는 곳은 무점착 부분, 그리고 점착 부분은 기판 척에 닿음으로써 커버필름을 밀봉시켜 이물질(Particle) 투입을 방지하고, 커버필름 탈착 시 무점착 부분에 의해 점착시트가 같이 붙어서 나오는 문제점을 방지할 수 있어 생산 효율 증가를 기대 할 수 있다.

도 1은 커버필름 평면도이다.
도 2는 점착시트에 커버필름 부착 시 평면도이다.
도 3은 점착시트에 커버필름 부착 시 단면도이다.
도 4는 본 발명의 변형 실시예를 보여주는 단면도이다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대해 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 커버필름(100)을 보여준다. 커버필름(100)의 중앙은 점착시트에 닿는 부분으로 무점착부(120)로 처리되어 있으며, 닿지 않는 양 측면은 점착부분으로 커버필름(100)을 고정시키는 역할을 한다.

도 2는 본 발명에 따른 점착시트(200)에 커버필름(100)을 부착한 상태를 보여준다. 커버필름(100)의 무점착부(120)의 폭은 점착시트(200)의 폭보다 커야 하며, 점착부(110)와 점착시트(200)는 서로 닿지 않도록 한다.

도 3은 본 발명에 따른 척 플레이트(300)에 점착시트(200)와 커버필름(100) 부착 시 단면도이다. 무점착부(120)은 점착시트(200)와 닿아있으며, 점착부(110)는 척 플레이트(300)와 부착하여 커버필름(100)을 고정시키며, 점착시트(200)를 완벽히 차폐하도록 하여 이물질(Particle)이 유입되지 못하도록 역할을 한다.

이와 같은 커버필름은 점착 척 위에 부착되어 점착시트의 오염을 방지하며, 커버필름을 떼어낼 때 무점착부로 인해 점착시트가 함께 박리되는 것을 방지한다.

상기 점착시트 보호용 커버필름의 제조는 무점착 필름을 바탕으로 하여 점착부에 점착필름을 합지 부착하여 제조될 수 있다. 무점착 필름을 준비하고, 점착시이트에 대응될 부분(중심부)을 제외한 양 측면부를 따라 점착필름을 합지함으로써 커버필름은 이중복합구조를 갖게 된다.

또한, 무점착 필름을 준비하고 무점착 필름의 중앙부분을 제외하고 양 측면만 점착체를 도포하여 이중복합구조를 갖는 커버필름을 만들 수도 있다.

점착시트 보호용 커버필름은 투과율 10% 이상이 되게 하는 것이 바람직하다.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예이다.

여기서는 무점착부(120)는 인캡슐레이션부(125)를 구비한다. 인캡슐레이션부(125)는 점착시트(200)를 포위하는 역할을 하며, 외부의 습윤이나 환경으로부터 차단시킬 수 있으며, 결과적으로 1차적으로 점착부(110)에서 한번 차폐가 되고, 2차적으로 인캡슐레이션부를 갖는 무점착 부분(120)에서 차폐가 이루어진다.

이와 같은 커버필름은 무점착 필름에 점착제를 도포하거나 점착필름을 준비하여 기저 필름으로 하고 그 중앙부에 무점착 필름을 부착하되, 무점착 필름의 일부만 기저 필름의 중앙부에 부착하고 양단부는 날개와 같이 자유단으로 연장시켜 날개부분으로 점착시트(200)를 포위하여 봉지처리할 수 있게 한다.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시 예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.

100 : 커버필름
110 : 점착부
120 : 무점착부
125: 인캡슐레이션부
200 : 점착시트
300: 척 플레이트

Claims (5)

1. 점착 척의 점착시트를 보호하는 점착시트 보호용 커버필름으로서,
   상기 점착시트 부분을 커버하는 무점착부; 및
   상기 무점착부로부터 연장된 점착부;를 포함하여,
   점착 척 위에 부착되어 점착시트의 오염을 방지하되, 커버필름을 떼어낼 때 상기 점착시트가 함께 박리되는 것을 방지하며,
   상기 점착시트 보호용 커버필름은 무점착 필름에 점착필름을 합지하여 제조된 이중복합구조이고,
   상기 이중복합구조는 하나의 필름의 양 측면만 점착체를 도포하고, 중앙부분은 무점착 역할을 하도록 점착제 도포로부터 제외시켜 이루어지고,
   상기 무점착부는 커버필름을 이루는 기저필름에 대해 일부는 부착되고 일부는 자유로운 날개부분을 구비하여 점착시트 부분을 포위하는 인캡슐레이션부를 포함하여 상기 점착부와 상기 인캡슐레이션부에 의해 상기 점착시트를 2중 차폐 하는 것을 특징으로 하는 점착시트 보호용 커버필름.
   
   
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5. 제1항에 있어서, 점착시트 보호용 커버필름은 투과율 10% 이상인 것을 특징으로 하는 점착시트 보호용 커버필름.
   
   
   
   
   

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