KR102189840B1 - Glass transferring apparatus - Google Patents

Glass transferring apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR102189840B1
KR102189840B1 KR1020200009693A KR20200009693A KR102189840B1 KR 102189840 B1 KR102189840 B1 KR 102189840B1 KR 1020200009693 A KR1020200009693 A KR 1020200009693A KR 20200009693 A KR20200009693 A KR 20200009693A KR 102189840 B1 KR102189840 B1 KR 102189840B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
roller
locking member
insertion portion
individually
Prior art date
Application number
KR1020200009693A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
박춘식
Original Assignee
주식회사 이음테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 이음테크 filed Critical 주식회사 이음테크
Priority to KR1020200009693A priority Critical patent/KR102189840B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102189840B1 publication Critical patent/KR102189840B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G13/00—Roller-ways
    • B65G13/02—Roller-ways having driven rollers
    • B65G13/06—Roller driving means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G39/00—Rollers, e.g. drive rollers, or arrangements thereof incorporated in roller-ways or other types of mechanical conveyors 
    • B65G39/02—Adaptations of individual rollers and supports therefor
    • B65G39/04—Adaptations of individual rollers and supports therefor the rollers comprising a number of roller forming elements mounted on a single axle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
    • B65G2203/0233—Position of the article
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

The present invention relates to an individually driven substrate transfer device which can reduce power loss. The individually driven substrate transfer device comprises: a device frame; a plurality of rotation shafts disposed to be spaced apart from each other on the device frame; a plurality of roller units coupled to the rotation shafts to transfer a substrate; and a plurality of individually drive motors provided on the device frame, individually coupled to the rotation shafts, and individually rotating the rotation shafts.

Description

개별 구동식 기판 이송장치{Glass transferring apparatus}Individually driven substrate transfer apparatus {Glass transferring apparatus}

본 발명은, 개별 구동식 기판 이송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 회전 샤프트들이 개별 구동할 수 있게 컨트롤함으로써 동력손실을 줄일 수 있는 개별 구동식 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to an individually driven substrate transfer apparatus, and more particularly, to an individually driven substrate transfer apparatus capable of reducing power loss by controlling the rotating shafts to be individually driven.

평판 디스플레이 소자는 대면적을 갖는 투명한 유리 재질의 기판을 기초로 하여 제조된다.Flat panel display devices are manufactured on the basis of a substrate made of a transparent glass material having a large area.

이때, 기판은 여러 공정을 거치게 되는데, 공정 간에 기판을 이송하기 위한 수단으로서, 도 1과 같은 기판 이송장치(1)가 일반적으로 사용된다.At this time, the substrate undergoes several processes. As a means for transferring the substrate between processes, the substrate transfer apparatus 1 as shown in FIG. 1 is generally used.

도 1의 기판 이송장치(1)는 장치 프레임(10)과, 장치 프레임(10) 상에 이격되어 나란하게 배치되는 복수의 회전 샤프트(20)와, 회전 샤프트(20)들에 각각 결합하여 실질적으로 기판을 이송하는 복수의 롤러(30)를 포함한다.The substrate transfer device 1 of FIG. 1 is substantially coupled to the device frame 10, a plurality of rotation shafts 20 spaced apart and parallel to each other on the device frame 10, and the rotation shafts 20. It includes a plurality of rollers 30 to transfer the substrate.

이러한 기판 이송장치(1)에서 복수의 롤러(30)는 회전 샤프트(20)에 일체형으로 적용되는 것이 일반적이며, 또한 모든 회전 샤프트(20)들은 동시에 회전 또는 정지되는 구조를 갖는다.In the substrate transfer apparatus 1, a plurality of rollers 30 are generally applied integrally to the rotation shaft 20, and all the rotation shafts 20 have a structure in which they rotate or stop at the same time.

도 1과 같은 구조의 기판 이송장치(1)가 가장 흔히 사용되는 것인데, 이러한 종래의 기판 이송장치(1)의 경우, 모든 회전 샤프트(20)들이 동시에 회전 또는 정지되는 구조라서 기판이 배치되지 않은 영역의 회전 샤프트(20)들까지 불필요하게 회전할 수밖에 없어 동력손실이 발생하는 문제점이 있다.The substrate transfer device 1 having the structure as shown in FIG. 1 is the most commonly used. In the case of the conventional substrate transfer device 1, all rotation shafts 20 are rotated or stopped at the same time, so the substrate is not disposed. There is a problem in that power loss occurs because the rotational shafts 20 in the region are inevitably rotated.

또한, 롤러(30)가 일체형인 구조가 대부분이라서 롤러(30)의 유지보수가 어렵다는 점에서 기존에 알려지지 않은 신개념의 개별 구동식 기판 이송장치에 대한 필요성이 대두된다.In addition, since most of the structures in which the rollers 30 are integrated is difficult to maintain and repair the rollers 30, the need for an individual driving type substrate transfer device of a new concept that is not known before emerges.

대한민국특허청 출원번호 제10-2011-0093369호Korean Intellectual Property Office Application No. 10-2011-0093369

본 발명의 목적은, 회전 샤프트들이 개별 구동할 수 있게 컨트롤함으로써 동력손실을 줄일 수 있는 개별 구동식 기판 이송장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide an individually driven substrate transfer device capable of reducing power loss by controlling the rotating shafts to be individually driven.

상기 목적은, 장치 프레임; 상기 장치 프레임 상에 이격되어 나란하게 배치되는 복수의 회전 샤프트; 상기 회전 샤프트들에 결합하여 기판을 이송시키는 복수의 롤러 유닛; 및 상기 장치 프레임에 마련되되 상기 회전 샤프트들과 개별적으로 결합하며, 상기 회전 샤프트들을 개별적으로 회전 구동시키는 복수의 개별 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 구동식 기판 이송장치에 의해 달성된다.The object is a device frame; A plurality of rotation shafts spaced apart from and arranged side by side on the device frame; A plurality of roller units coupled to the rotation shafts to transfer the substrate; And a plurality of individual drive motors provided on the device frame and individually coupled to the rotation shafts and individually rotating the rotation shafts.

상기 장치 프레임에 위치별로 마련되며, 이송 중인 기판의 위치를 감지하는 복수의 기판 위치 감지부를 더 포함할 수 있다.The device frame may further include a plurality of substrate position sensing units provided for each position and sensing a position of a substrate being transferred.

상기 기판 위치 감지부의 감지정보에 기초하여 상기 개별 구동모터들의 동작을 개별적으로 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.It may further include a controller that individually controls the operation of the individual driving motors based on the detection information of the substrate position detection unit.

상기 컨트롤러는 상기 기판이 지나지 않거나 상기 기판이 지난 회전 샤프트들의 동작이 정지되게 해당 개별 구동모터의 동작을 개별적으로 컨트롤할 수 있다.The controller may individually control the operation of the respective drive motor so that the operation of the rotating shafts that the substrate does not pass or the substrate has passed is stopped.

상기 롤러 유닛은 상기 회전 샤프트에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 롤러 유닛일 수 있다.The roller unit may be a detachable roller unit detachably coupled to the rotation shaft.

상기 착탈식 롤러 유닛은, 상기 기판을 이송 가능하게 지지하는 롤러; 상기 회전 샤프트를 통과하면서 상기 롤러 내로 삽입되는 제1 삽입부와, 상기 제1 삽입부에 연결되되 상기 롤러를 일측에서 지지하는 제1 플랜지 지지부를 구비하는 제1 로킹부재; 및 상기 회전 샤프트를 통과하면서 상기 롤러 내로 삽입되되 상기 제1 삽입부의 외벽에 지지되는 제2 삽입부와, 상기 제2 삽입부에 연결되되 상기 롤러를 타측에서 지지하는 제2 플랜지 지지부를 구비하며, 상기 제1 로킹부재의 반대편에서 상기 제1 로킹부재와 로킹되는 제2 로킹부재를 포함할 수 있다.The detachable roller unit includes: a roller supporting the substrate to be transportable; A first locking member having a first insertion portion inserted into the roller while passing through the rotation shaft, and a first flange support portion connected to the first insertion portion and supporting the roller from one side; And a second insertion portion inserted into the roller while passing through the rotation shaft and supported on an outer wall of the first insertion portion, and a second flange support portion connected to the second insertion portion and supporting the roller from the other side, It may include a second locking member that is locked with the first locking member on the opposite side of the first locking member.

상기 제1 삽입부와 상기 제2 삽입부가 나사 결합할 수 있다.The first insertion portion and the second insertion portion may be screwed.

상기 착탈식 롤러 유닛은, 상기 회전 샤프트에 상기 제1 로킹부재를 고정하는 고정링을 더 포함할 수 있다.The removable roller unit may further include a fixing ring for fixing the first locking member to the rotation shaft.

상기 착탈식 롤러 유닛은, 상기 회전 샤프트와 상기 제2 로킹부재 사이의 간격에 파티클이 쌓이는 것을 저지하는 탄성재질의 갭 마감재를 더 포함할 수 있다.The detachable roller unit may further include an elastic gap finish material that prevents particles from accumulating in a gap between the rotation shaft and the second locking member.

상기 롤러는, 상기 제2 로킹부재에 지지되게 상대적으로 연한 재질로 형성되는 연성 실리콘부; 상기 기판에 접촉되되 상기 연성 실리콘부보다는 경도가 높은 재질로 형성되는 강성 실리콘부; 및 상기 연성 실리콘부와 상기 강성 실리콘부 사이에서 이들을 보강하는 보강부를 포함할 수 있다.The roller may include a soft silicone part formed of a relatively soft material to be supported by the second locking member; A rigid silicon portion in contact with the substrate and formed of a material having a higher hardness than the flexible silicon portion; And a reinforcing part reinforcing them between the flexible silicon part and the rigid silicon part.

본 발명에 따르면, 회전 샤프트들이 개별 구동할 수 있게 컨트롤함으로써 동력손실을 줄일 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, there is an effect of reducing power loss by controlling the rotating shafts to be individually driven.

도 1은 종래기술에 따른 기판 이송장치의 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별 구동식 기판 이송장치의 구성도이다.
도 3은 도 2에서 개별 구동모터를 점선으로 처리한 도면이다.
도 4 내지 도 6은 기판 이송과정을 개략적으로 도시한 도면들이다.
도 7은 롤러 유닛 영역의 확대도이다.
도 8은 도 7의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별 구동식 기판 이송장치의 제어블록도이다.1 is a structural diagram of a substrate transfer apparatus according to the prior art.
2 is a configuration diagram of an individually driven substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating an individual driving motor in FIG. 2 processed with a dotted line.
4 to 6 are diagrams schematically showing a substrate transfer process.
7 is an enlarged view of a roller unit area.
8 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 7.
9 is a control block diagram of an individually driven substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 쉽게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art may easily implement the present invention.

한편, 하기 본 발명에 관한 설명은 구조적이나 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하다. 따라서 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.On the other hand, the following description of the present invention is merely an example for structural or functional description. Therefore, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described in the text.

예컨대, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.For example, since the embodiments can be modified in various ways and have various forms, the scope of the present invention should be understood to include equivalents capable of realizing the technical idea.

또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.In addition, since the object or effect presented in the present invention does not mean that a specific embodiment should include all of them or only those effects, the scope of the present invention should not be understood as being limited thereto.

본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.The meaning of the terms described in the present invention should be understood as follows.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접 연결되어 있거나 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것이라 이해되어야 할 것이다. 구성요소 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.When a component is referred to as being "connected" or "connected" to another component, it should be understood that it is directly connected or may be connected to the other component, but other components may exist in the middle. will be. On the other hand, when a component is referred to as being "directly connected" or "directly connected" to another component, it should be understood that there is no other component in the middle. Other expressions describing the relationship between components, such as "between" and "directly between" or "adjacent to" and "directly adjacent to" should be interpreted as well.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.The terms used in the present specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of implemented features, numbers, steps, actions, components, parts, or a combination thereof, but one or more other features or numbers It is to be understood that the possibility of addition or presence of, steps, actions, components, parts, or combinations thereof is not preliminarily excluded.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 같다.Unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, are the same as commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs.

일반적으로 사용되는 사전에 정의된 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present specification. .

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 같은 참조부호는 같은 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by describing a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals in each drawing indicate the same member.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별 구동식 기판 이송장치의 구성도, 도 3은 도 2에서 개별 구동모터를 점선으로 처리한 도면, 도 4 내지 도 6은 기판 이송과정을 개략적으로 도시한 도면들, 도 7은 롤러 유닛 영역의 확대도, 도 8은 도 7의 A-A선에 따른 단면도, 그리고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 개별 구동식 기판 이송장치의 제어블록도이다.FIG. 2 is a configuration diagram of an individually driven substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a view in which the individual driving motors in FIG. 2 are processed with dotted lines, and FIGS. 4 to 6 schematically illustrate a substrate transfer process. One drawings, FIG. 7 is an enlarged view of a roller unit area, FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 7, and FIG. 9 is a control block diagram of an individual driving substrate transfer device according to an embodiment of the present invention. .

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 이송장치(100)는 회전 샤프트(120)들이 개별 구동할 수 있게 컨트롤함으로써 동력손실을 줄일 수 있도록 한 것이다.Referring to these drawings, the substrate transfer apparatus 100 according to the present embodiment is configured to reduce power loss by controlling the rotating shafts 120 to be individually driven.

이러한 효과를 제공할 수 있는 본 실시예에 따른 기판 이송장치(100)는 장치 프레임(110), 회전 샤프트(120), 개별 구동모터(130), 그리고, 롤러 유닛(150)을 포함한다.The substrate transfer apparatus 100 according to the present embodiment capable of providing such an effect includes an apparatus frame 110, a rotation shaft 120, an individual drive motor 130, and a roller unit 150.

장치 프레임(110)은 본 실시예에 따른 기판 이송장치(100)의 외관 구조를 이룬다. 회전 샤프트(120)와 개별 구동모터(130) 등이 장치 프레임(110)에 지지될 수 있다.The device frame 110 forms the exterior structure of the substrate transfer device 100 according to the present embodiment. The rotating shaft 120 and the individual drive motor 130 may be supported on the device frame 110.

회전 샤프트(120)는 장치 프레임(110) 상에 이격되어 나란하게 배치되는 샤프트로서, 롤러 유닛(150)을 회전 가능하게 지지한다.The rotating shaft 120 is a shaft that is spaced apart on the device frame 110 and disposed in parallel, and supports the roller unit 150 so as to be rotatable.

개별 구동모터(130)는 장치 프레임(110)에 마련되되 회전 샤프트(120)들과 개별적으로 결합하며, 회전 샤프트(120)들을 개별적으로 회전 구동시킨다. 복수의 개별 구동모터(130)가 적용되기 때문에 이하의 컨트롤이 가능해질 수 있고, 이로 인해 동력손실을 줄일 수 있다.The individual drive motor 130 is provided on the device frame 110 and is individually coupled to the rotation shafts 120 and rotates the rotation shafts 120 individually. Since a plurality of individual drive motors 130 are applied, the following control may be possible, thereby reducing power loss.

한편, 롤러 유닛(150)은 회전 샤프트(120)들에 결합하여 기판을 이송시키는 역할을 한다. 실질적으로 기판은 롤러 유닛(150)에 접촉하고, 롤러 유닛(150)의 회전에 의해 이송된다.Meanwhile, the roller unit 150 serves to transfer the substrate by being coupled to the rotation shafts 120. Substantially, the substrate contacts the roller unit 150 and is transferred by rotation of the roller unit 150.

본 실시예에서 롤러 유닛(150)은 회전 샤프트(120)에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 롤러 유닛(150)으로 적용된다. 따라서, 착탈식 롤러 유닛(150)의 설치 또는 유지보수 작업이 수월해질 수 있다.In this embodiment, the roller unit 150 is applied as a detachable roller unit 150 that is detachably coupled to the rotation shaft 120. Therefore, installation or maintenance work of the detachable roller unit 150 may be facilitated.

이러한 착탈식 롤러 유닛(150)은 롤러(160), 제1 로킹부재(151) 및 제2 로킹부재(152)를 포함한다.The removable roller unit 150 includes a roller 160, a first locking member 151 and a second locking member 152.

롤러(160)는 실질적으로 기판을 이송 가능하게 지지하는 구성이다. 이러한 롤러(160)는 제2 로킹부재(152)에 지지되게 상대적으로 연한 재질로 형성되는 연성 실리콘부(161)와, 기판에 접촉되되 연성 실리콘부(161)보다는 경도가 높은 재질로 형성되는 강성 실리콘부(162)와, 연성 실리콘부(161)와 강성 실리콘부(162) 사이에서 이들을 보강하는 보강부(163)를 포함할 수 있다.The roller 160 is a structure that substantially supports the substrate to be transportable. These rollers 160 have a soft silicon part 161 formed of a relatively soft material to be supported by the second locking member 152, and a rigidity formed of a material having a higher hardness than the soft silicon part 161 while contacting the substrate. A silicon portion 162 and a reinforcing portion 163 reinforcing them between the flexible silicon portion 161 and the rigid silicon portion 162 may be included.

제1 로킹부재(151)와 제2 로킹부재(152)는 롤러(160)를 회전 샤프트(120)에 고정시키는 구성들이다.The first locking member 151 and the second locking member 152 are components that fix the roller 160 to the rotating shaft 120.

제1 로킹부재(151)는 회전 샤프트(120)를 통과하면서 롤러(160) 내로 삽입되는 제1 삽입부(151a)와, 제1 삽입부(151a)에 연결되되 롤러(160)를 일측에서 지지하는 제1 플랜지 지지부(151b)를 포함한다. 이때, 회전 샤프트(120)에 제1 로킹부재(151)를 고정하는 고정링(154)이 더 사용될 수 있다.The first locking member 151 is connected to the first insertion portion 151a inserted into the roller 160 while passing through the rotation shaft 120 and the first insertion portion 151a, and supports the roller 160 from one side. It includes a first flange support (151b). In this case, a fixing ring 154 fixing the first locking member 151 to the rotation shaft 120 may be further used.

그리고, 제2 로킹부재(152)는 회전 샤프트(120)를 통과하면서 롤러(160) 내로 삽입되되 제1 삽입부(151a)의 외벽에 지지되는 제2 삽입부(152a)와, 제2 삽입부(152a)에 연결되되 롤러(160)를 타측에서 지지하는 제2 플랜지 지지부(152b)를 구비한다. 이러한 제2 로킹부재(152)는 제1 로킹부재(151)의 반대편에서 제1 로킹부재(151)와 로킹되면서 롤러(160)를 회전 샤프트(120)에 고정시킨다.In addition, the second locking member 152 is inserted into the roller 160 while passing through the rotation shaft 120, the second insertion portion 152a supported on the outer wall of the first insertion portion 151a, and the second insertion portion Doedoe connected to (152a) has a second flange support portion (152b) for supporting the roller 160 from the other side. The second locking member 152 is locked with the first locking member 151 on the opposite side of the first locking member 151 and fixes the roller 160 to the rotating shaft 120.

본 실시예에서 제1 삽입부(151a)와 제2 삽입부(152a)가 나사 결합한다. 따라서, 둘 간의 분해 조립이 용이해질 수 있다.In this embodiment, the first insertion portion 151a and the second insertion portion 152a are screwed. Therefore, disassembly and assembly between the two can be facilitated.

회전 샤프트(120)와 제2 로킹부재(152) 사이의 간격에는 파티클이 쌓이는 것을 저지하는 탄성재질의 갭 마감재(155)이 마련된다.A gap finishing material 155 made of an elastic material is provided in the gap between the rotating shaft 120 and the second locking member 152 to prevent particles from accumulating.

한편, 본 실시예에 따른 기판 이송장치(100)에는 기판 위치 감지부(170)와 컨트롤러(180)가 더 탑재된다.Meanwhile, in the substrate transfer apparatus 100 according to the present embodiment, a substrate position detection unit 170 and a controller 180 are further mounted.

기판 위치 감지부(170)는 장치 프레임(110)에 위치별로 마련되며, 이송 중인 기판의 위치를 감지하는 역할을 한다. 따라서, 기판 위치 감지부(170)는 기판의 이송 방향을 따라 장치 프레임(110) 상에 복수 개 적용된다.The substrate position detection unit 170 is provided on the device frame 110 for each position and serves to detect the position of the substrate being transferred. Accordingly, a plurality of substrate position detection units 170 are applied on the device frame 110 along the transfer direction of the substrate.

컨트롤러(180)는 기판 위치 감지부(170)의 감지정보에 기초하여 개별 구동모터(130)들의 동작을 개별적으로 컨트롤한다.The controller 180 individually controls the operation of the individual driving motors 130 based on the detection information of the substrate position detection unit 170.

다시 말해, 컨트롤러(180)는 기판이 지나지 않거나 기판이 지난 회전 샤프트(120)들의 동작이 정지되게 해당 개별 구동모터(130)의 동작을 개별적으로 컨트롤한다. 이처럼 기판과 접촉하지 않는 해당 회전 샤프트(120)들의 동작이 강제로 정지되게 함으로써 동력손실을 줄일 수 있다.In other words, the controller 180 individually controls the operation of the respective driving motor 130 so that the operation of the rotation shaft 120 that has not passed the substrate or the substrate has passed is stopped. As described above, power loss can be reduced by forcibly stopping the operation of the rotation shafts 120 that do not contact the substrate.

이러한 역할을 수행하는 컨트롤러(180)는 중앙처리장치(181, CPU), 메모리(182, MEMORY), 그리고 서포트 회로(183, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.The controller 180 performing this role may include a central processing unit 181 (CPU), a memory 182 (MEMORY), and a support circuit 183 (SUPPORT CIRCUIT).

중앙처리장치(181)는 본 실시예에서 기판 위치 감지부(170)의 감지정보에 기초하여 개별 구동모터(130)들의 동작을 개별적으로 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.The central processing unit 181 is one of various computer processors that can be industrially applied to individually control the operation of the individual driving motors 130 based on the sensing information of the substrate position detection unit 170 in this embodiment. I can.

메모리(182, MEMORY)는 중앙처리장치(181)와 연결된다. 메모리(182)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.The memory 182 (MEMORY) is connected to the central processing unit 181. The memory 182 can be installed locally or remotely as a computer-readable recording medium, and can be easily used such as random access memory (RAM), ROM, floppy disk, hard disk, or any digital storage type. It may be at least one or more memories.

서포트 회로(183, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(181)와 결합하여 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(183)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.The support circuit 183 (SUPPORT CIRCUIT) is combined with the central processing unit 181 to support the typical operation of the processor. The support circuit 183 may include a cache, a power supply, a clock circuit, an input/output circuit, a subsystem, and the like.

본 실시예에서 컨트롤러(180)는 기판 위치 감지부(170)의 감지정보에 기초하여 개별 구동모터(130)들의 동작을 개별적으로 컨트롤하는데, 이러한 일련의 컨트롤 프로세스 등은 메모리(182)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(182)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.In the present embodiment, the controller 180 individually controls the operation of the individual driving motors 130 based on the detection information of the substrate position detection unit 170, and such a series of control processes are stored in the memory 182. I can. Typically software routines may be stored in memory 182. Software routines can also be stored or executed by other central processing units (not shown).

본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.Although the process according to the present invention has been described as being executed by a software routine, it is also possible that at least some of the processes of the present invention are performed by hardware. As such, the processes of the present invention may be implemented by software executed on a computer system, or by hardware such as an integrated circuit, or by a combination of software and hardware.

이상 설명한 바와 같은 구조를 기반으로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 회전 샤프트(120)들이 개별 구동할 수 있게 컨트롤함으로써 동력손실을 줄일 수 있게 된다.According to the present embodiment acting based on the structure as described above, power loss can be reduced by controlling the rotating shafts 120 to be individually driven.

이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다고 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and it is apparent to those of ordinary skill in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, it should be said that such modifications or variations belong to the claims of the present invention.

100 : 기판 이송장치 110 : 장치 프레임
120 : 회전 샤프트 130 : 개별 구동모터
150 : 롤러 유닛 151 : 제1 로킹부재
151a : 제1 삽입부 151b : 제1 플랜지 지지부
152 : 제2 로킹부재 152a : 제2 삽입부
152b : 제2 플랜지 지지부 154 : 고정링
155 : 갭 마감재 160 : 롤러
161 : 연성 실리콘부 162 : 강성 실리콘부
163 : 보강부 170 : 기판 위치 감지부
180 : 컨트롤러100: substrate transfer device 110: device frame
120: rotating shaft 130: individual drive motor
150: roller unit 151: first locking member
151a: first insertion portion 151b: first flange support portion
152: second locking member 152a: second insertion portion
152b: second flange support 154: fixing ring
155: gap finishing material 160: roller
161: flexible silicone part 162: rigid silicone part
163: reinforcement unit 170: substrate position detection unit
180: controller

Claims (10)

장치 프레임;
상기 장치 프레임 상에 이격되어 나란하게 배치되는 복수의 회전 샤프트;
상기 회전 샤프트들에 결합하여 기판을 이송시키는 복수의 롤러 유닛; 및
상기 장치 프레임에 마련되되 상기 회전 샤프트들과 개별적으로 결합하며, 상기 회전 샤프트들을 개별적으로 회전 구동시키는 복수의 개별 구동모터를 포함하며,
상기 롤러 유닛은 상기 회전 샤프트에 착탈 가능하게 결합하는 착탈식 롤러 유닛이되 상기 착탈식 롤러 유닛은,
상기 기판을 이송 가능하게 지지하는 롤러;
상기 회전 샤프트를 통과하면서 상기 롤러 내로 삽입되는 제1 삽입부와, 상기 제1 삽입부에 연결되되 상기 롤러를 일측에서 지지하는 제1 플랜지 지지부를 구비하는 제1 로킹부재;
상기 회전 샤프트를 통과하면서 상기 롤러 내로 삽입되되 상기 제1 삽입부의 외벽에 지지되는 제2 삽입부와, 상기 제2 삽입부에 연결되되 상기 롤러를 타측에서 지지하는 제2 플랜지 지지부를 구비하며, 상기 제1 로킹부재의 반대편에서 상기 제1 로킹부재와 로킹되는 제2 로킹부재;
상기 회전 샤프트에 상기 제1 로킹부재를 고정하는 고정링; 및
상기 회전 샤프트와 상기 제2 로킹부재 사이의 간격에 파티클이 쌓이는 것을 저지하는 탄성재질의 갭 마감재를 포함하며,
상기 롤러는,
상기 제2 로킹부재에 지지되게 상대적으로 연한 재질로 형성되는 연성 실리콘부;
상기 기판에 접촉되되 상기 연성 실리콘부보다는 경도가 높은 재질로 형성되는 강성 실리콘부; 및
상기 연성 실리콘부와 상기 강성 실리콘부 사이에서 이들을 보강하는 보강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 구동식 기판 이송장치.Device frame;
A plurality of rotation shafts spaced apart from and arranged side by side on the device frame;
A plurality of roller units coupled to the rotation shafts to transfer the substrate; And
It is provided on the device frame and individually coupled to the rotation shafts, and includes a plurality of individual drive motors for individually rotating the rotation shafts,
The roller unit is a detachable roller unit detachably coupled to the rotation shaft, but the detachable roller unit,
A roller supporting the substrate to be transportable;
A first locking member having a first insertion portion inserted into the roller while passing through the rotation shaft, and a first flange support portion connected to the first insertion portion and supporting the roller from one side;
A second insertion portion inserted into the roller while passing through the rotation shaft and supported on an outer wall of the first insertion portion, and a second flange support portion connected to the second insertion portion and supporting the roller from the other side, the A second locking member that is locked with the first locking member on the opposite side of the first locking member;
A fixing ring for fixing the first locking member to the rotating shaft; And
Including a gap finishing material of an elastic material that prevents particles from accumulating in the gap between the rotation shaft and the second locking member,
The roller,
A flexible silicone part formed of a relatively soft material to be supported by the second locking member;
A rigid silicon portion in contact with the substrate and formed of a material having a higher hardness than the flexible silicon portion; And
And a reinforcing portion for reinforcing them between the flexible silicon portion and the rigid silicon portion. 제1항에 있어서,
상기 장치 프레임에 위치별로 마련되며, 이송 중인 기판의 위치를 감지하는 복수의 기판 위치 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 구동식 기판 이송장치.The method of claim 1,
Individually driven substrate transfer device, further comprising a plurality of substrate position detection units provided for each position on the device frame and detecting the position of the substrate being transferred. 제2항에 있어서,
상기 기판 위치 감지부의 감지정보에 기초하여 상기 개별 구동모터들의 동작을 개별적으로 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 구동식 기판 이송장치.The method of claim 2,
And a controller for individually controlling the operation of the individual driving motors based on the detection information of the substrate position detection unit. 제3항에 있어서,
상기 컨트롤러는 상기 기판이 지나지 않거나 상기 기판이 지난 회전 샤프트들의 동작이 정지되게 해당 개별 구동모터의 동작을 개별적으로 컨트롤하는 것을 특징으로 하는 개별 구동식 기판 이송장치.The method of claim 3,
Wherein the controller individually controls the operation of the respective driving motor so that the operation of the rotation shafts that the substrate does not pass or the rotation shafts that the substrate has passed are stopped. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 삽입부와 상기 제2 삽입부가 나사 결합하는 것을 특징으로 하는 개별 구동식 기판 이송장치.The method of claim 1,
Separately driven substrate transfer device, characterized in that the first insertion portion and the second insertion portion screwed. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
KR1020200009693A 2020-01-28 2020-01-28 Glass transferring apparatus KR102189840B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200009693A KR102189840B1 (en) 2020-01-28 2020-01-28 Glass transferring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200009693A KR102189840B1 (en) 2020-01-28 2020-01-28 Glass transferring apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102189840B1 true KR102189840B1 (en) 2020-12-24

Family

ID=74087450

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200009693A KR102189840B1 (en) 2020-01-28 2020-01-28 Glass transferring apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102189840B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114763220A (en) * 2021-01-12 2022-07-19 深南电路股份有限公司 Workpiece sensing mechanism, sensing device and grabbing equipment

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200233688Y1 (en) * 2001-03-21 2001-10-08 유영수 A roller for use in conveyor belt
KR100870745B1 (en) * 2007-11-07 2008-11-26 (주)에스엠텍 Transferring apparatus
KR20100047645A (en) * 2008-10-29 2010-05-10 장재석 An assembly of transfer roller for a board transfer apparatus
KR20110093369A (en) 2010-02-12 2011-08-18 이채영 Chinese character studying game-teaching tools
KR20140008481A (en) * 2012-07-09 2014-01-21 주식회사 케이씨텍 Guide roller for substrate processing apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200233688Y1 (en) * 2001-03-21 2001-10-08 유영수 A roller for use in conveyor belt
KR100870745B1 (en) * 2007-11-07 2008-11-26 (주)에스엠텍 Transferring apparatus
KR20100047645A (en) * 2008-10-29 2010-05-10 장재석 An assembly of transfer roller for a board transfer apparatus
KR20110093369A (en) 2010-02-12 2011-08-18 이채영 Chinese character studying game-teaching tools
KR20140008481A (en) * 2012-07-09 2014-01-21 주식회사 케이씨텍 Guide roller for substrate processing apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114763220A (en) * 2021-01-12 2022-07-19 深南电路股份有限公司 Workpiece sensing mechanism, sensing device and grabbing equipment

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102189840B1 (en) Glass transferring apparatus
US20160174413A1 (en) Cooling for components of electronic devices
KR100835202B1 (en) Apparatus for transferring a substrate
TW201633435A (en) Substrate processing apparatus
KR20070077793A (en) Substrate cooling device, substrate cooling method, control program and computer readable storage medium
US20140095906A1 (en) Rotational Graphics Sub-Slice and Execution Unit Power Down to Improve Power Performance Efficiency
KR102189842B1 (en) Glass transferring apparatus
JP2007107830A (en) Control device of fan filter unit
TW201524878A (en) Wafer conveyor system and method of assembling a wafer conveyor system
JP2010155683A (en) Substrate carrying mechanism and substrate processing device
JP4908316B2 (en) Cleaning apparatus, flat panel display manufacturing apparatus and flat panel display
JPH11130249A (en) Substrate carrying device and substrate processing device
KR100803686B1 (en) Apparatus for treating substrate
US20210173715A1 (en) Method of task transition between heterogenous processors
JP2007323142A (en) Information processing apparatus and its control method
KR100711291B1 (en) Apparatus for bearing shaft for conveying glass substrate
KR101929573B1 (en) Scraper device on surface of sink roll and stabilizing roll
KR100779949B1 (en) Apparatus for transferring substrate and apparatus for treating substrate including the same
KR100767038B1 (en) Glass substrate carrier
CN109396050A (en) Sorting equipment
KR20070002587A (en) Cassette transfer apperatus
KR101081531B1 (en) Substrate transfer apparatus
JP2007250806A (en) Substrate treatment equipment
KR100833881B1 (en) Apparatus for drying substrate
KR102317428B1 (en) Film attaching device for a curve panel

Legal Events

Date Code Title Description
GRNT Written decision to grant