JP2007107830A - Control device of fan filter unit - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To continue operation while maintaining a predetermined air quantity to keep cleanliness by operating backup function even in the event of a fan failure in a fan filter unit. <P>SOLUTION: In the fan filter unit 8 including a plurality of fans, each of the plurality of fans 1a, b and c includes a vane 2a, b, c, a brushless DC motor 4a, b, c with a built-in rotor position detection means 3a, b, c, and a motor driving means 5a, b, c. The filter unit comprises a control means 6 independently operating/stopping the plurality of motors 4a, b, and c and varying the rotating speeds thereof, and a failure signal output means 7. Rotation of one fan is stopped in general operation, and in the event of a fan failure, the fan which is stopped in general operation is operated, whereby the operation can be continued while maintaining the air quantity as the whole fan filter unit. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、半導体、液晶、およびプラズマディスプレイパネルなどの清浄環境を必要とする製造装置で使用されるファンフィルタユニットにおける故障時のバックアップ機能に関する。   The present invention relates to a backup function in the event of a failure in a fan filter unit used in a manufacturing apparatus that requires a clean environment such as a semiconductor, a liquid crystal, and a plasma display panel.

従来、この種のファンフィルタユニットは、半導体などの製造装置に組み込まれて、またはクリーンルームの天井部などに設置されて運転され、一定の空間を清浄化している。このファンフィルタユニットが故障した場合、半導体製造装置やクリーンルームに与える影響は大きく、定期的に点検して異常の兆候があれば、事前に交換するなどして予防処置を施していた。または、センサーを用いてモーターの状態を監視し、異常の兆候を検出していた（例えば、特許文献１参照）。
特開平７−２４３６８２号公報（図１） Conventionally, this type of fan filter unit is installed in a manufacturing apparatus such as a semiconductor, or installed and operated on a ceiling portion of a clean room to clean a certain space. When this fan filter unit breaks down, it has a great influence on the semiconductor manufacturing apparatus and the clean room. If there is a sign of abnormality after regular inspection, preventive measures have been taken such as replacement in advance. Or the state of the motor was monitored using the sensor, and the sign of abnormality was detected (for example, refer to patent documents 1).
JP-A-7-243682 (FIG. 1)

このような従来のファンフィルタユニットでは、異常の兆候を検出するのは、センサーの性能に依存していたが、センサーで検出できない故障モードもあり、この場合は、モーターの故障に至ることがあった。また、ブラシレスＤＣモーターを搭載したファンフィルタユニットでは、モーター駆動部が故障することもあり、この場合は、センサーで検出するのは困難であった。   In such a conventional fan filter unit, the sign of abnormality depends on the performance of the sensor, but there are failure modes that cannot be detected by the sensor. In this case, a motor failure may occur. It was. Further, in a fan filter unit equipped with a brushless DC motor, the motor drive unit may break down, and in this case, it is difficult to detect with a sensor.

本発明は、このような従来のファンフィルタユニットの故障に関する課題を解決するものであり、ファンフィルタユニットが故障した場合でも、バックアップ機能を働かせることにより、清浄度を保つことを目的としている。   An object of the present invention is to solve the problem related to the failure of the conventional fan filter unit, and to maintain cleanliness by using a backup function even when the fan filter unit fails.

本発明のファンフィルタユニットの制御装置は、上記目的を達成するために、ファンフィルタユニットに複数のファンを装着し、これら複数のファンは、それぞれ、羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、これら複数のモーターを個別に運転・停止および回転数を可変させる制御手段と故障信号出力手段とを有し、通常運転時は、一つのファンの回転を停止させるようにしたものである。   In order to achieve the above object, the fan filter unit control device of the present invention has a plurality of fans mounted on the fan filter unit, and each of the plurality of fans includes a brushless DC motor having blades and rotor position detection means built therein. And a motor drive means, each of which has a control means and a failure signal output means for operating / stopping and varying the rotation speed of each of the motors, and during normal operation, the rotation of one fan is stopped. It is what I did.

また、他の手段は、前記構成のファンフィルタユニットで、通常運転時に停止させるファンをローテーションするようにしたものである。   Another means is the fan filter unit having the above-described configuration, wherein the fan to be stopped during normal operation is rotated.

また、他の手段は、ファンフィルタユニットに複数のファンを装着し、これら複数のファンは、それぞれ、羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、これら複数のモーターを個別に運転・停止および回転数を可変させる制御手段と故障信号出力手段とを有し、通常運転時は、個々のファンの最大回転数に対して所定の回転数だけ低い回転数で運転するようにしたものである。   Further, the other means attaches a plurality of fans to the fan filter unit, and each of the plurality of fans is composed of a brushless DC motor incorporating a blade and a rotor position detecting means and a motor driving means. It has a control means for individually operating / stopping the motor and changing the rotational speed, and a failure signal output means. During normal operation, it operates at a rotational speed that is lower than the maximum rotational speed of each fan by a predetermined rotational speed. It is what you do.

また、他の手段は、ファンフィルタユニットで、ファンは羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、他のファンフィルタユニットからの故障信号の入力手段と、モーターの運転・停止および回転数を可変する制御手段と、故障信号出力手段とを有した構成としたものである。   The other means is a fan filter unit, and the fan is composed of a brushless DC motor incorporating a blade and a rotor position detecting means, and a motor driving means, a failure signal input means from the other fan filter unit, a motor The control means for changing the operation / stop and the rotation speed of the motor and the failure signal output means are provided.

また、他の手段は、一つのブラシレスＤＣモーターに対して、そのモーター駆動手段を複数個有し、切換手段を介して切換えることができるようにしたものである。   The other means has a plurality of motor drive means for one brushless DC motor, and can be switched via the switching means.

本発明によれば、複数のファンを有する構成とし、通常運転時は、一つのファンの回転を停止させて所定の風量を維持できる構成としたので、一つのファンが故障しても、停止させていたファンを運転することにより、風量を落とすことなく運転を継続することができる。   According to the present invention, the configuration has a plurality of fans, and during normal operation, the configuration is such that the rotation of one fan can be stopped and the predetermined air volume can be maintained. By operating the fan, the operation can be continued without reducing the air volume.

また、前記構成で、通常運転時に停止させるファンをローテーションする構成としたので、一つのファンが故障しても風量を落とすことなく運転を継続できることに加えて、個々のファンの運転時間が短くなり、寿命を延ばすことができる。   In addition, with the above configuration, the fan that is stopped during normal operation is rotated, so that even if one fan fails, the operation can be continued without reducing the air flow, and the operation time of each individual fan is shortened. , Can extend the life.

また、複数のファンを有する構成とし、通常運転時は個々のファンの最大回転数に対して所定の回転数だけ低い回転数で運転する構成としたので、一つのファンが故障しても、正常なファンの回転数を高くすることにより風量を維持して運転を継続することができる。   In addition, it has a configuration with multiple fans, and during normal operation, it is configured to operate at a rotational speed that is lower than the maximum rotational speed of each fan by a predetermined rotational speed. By increasing the rotation speed of the fan, the air flow can be maintained and the operation can be continued.

また、他のファンフィルタユニットからの故障信号の入力手段を備えた構成としたので、複数のファンフィルタユニットでシステムを構成している場合は、一つのファンフィルタユニットが故障しても、その故障信号を入力して、正常なファンフィルタユニットのファン回転数を高くして、風量を維持することができる。   In addition, since it is configured to include a failure signal input means from other fan filter units, even if one fan filter unit fails, the failure may occur if the system consists of multiple fan filter units. By inputting a signal, the fan rotation speed of a normal fan filter unit can be increased to maintain the air volume.

また、一つのブラシレスＤＣモーターに対して、そのモーター駆動手段を複数個有し、切換手段を介して切換える構成としたので、モーター駆動部が故障した場合でも、正常な駆動手段に切換えて運転を継続することができる。   In addition, since there is a plurality of motor drive means for one brushless DC motor and switching is performed via the switching means, even if the motor drive unit fails, operation is switched to normal drive means. Can continue.

本発明の請求項１記載の発明は、複数のファンを有するファンフィルタユニットで、これら複数のファンは、それぞれ、羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成さ、これら複数のモーターを個別に運転・停止および回転数を可変させる制御手段と故障信号出力手段とを有し、通常運転時は、一つのファンの回転を停止させる構成にしたものであり、一つのファンが故障した場合、ローター位置検出手段で、モーターの回転が停止したことを検出し、通常停止しているファンを駆動することにより、ファンフィルタユニット全体としての風量を維持して運転を継続するという作用を有する。   The invention according to claim 1 of the present invention is a fan filter unit having a plurality of fans, each of the plurality of fans being constituted by a brushless DC motor incorporating a blade and a rotor position detecting means and a motor driving means. These motors have a control means and a failure signal output means for individually operating / stopping and changing the number of rotations, and are configured to stop the rotation of one fan during normal operation. When a fan breaks down, the rotor position detection means detects that the motor has stopped rotating, and drives the fan that is normally stopped to maintain the air flow of the entire fan filter unit and continue operation. It has the action.

本発明の請求項２記載の発明は、前記のファンフィルタユニットで、通常運転時に停止させるファンをローテーションするようにしたものであり、個々のファン運転時間が短くなるという作用を有する。   The invention according to claim 2 of the present invention is such that the fan filter unit rotates a fan that is stopped during normal operation, and has an effect of shortening the individual fan operation time.

本発明の請求項３記載の発明は、複数のファンを有するファンフィルタユニットで、これら複数のファンは、それぞれ、羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、これら複数のモーターを個別に運転・停止および回転数を可変させる制御手段と故障信号出力手段とを有し、通常運転時は個々のファンの最大回転数に対して所定の回転数だけ低い回転数で運転する構成としたものであり、一つのファンが故障した場合、ローター位置検出手段で、モーターの回転が停止したことを検出し、正常なファンの回転数を上げてファンフィルタユニット全体としての風量を維持して運転を継続するという作用を有する。   The invention described in claim 3 of the present invention is a fan filter unit having a plurality of fans, each of the plurality of fans being constituted by a brushless DC motor incorporating a blade and a rotor position detecting means and a motor driving means, These multiple motors have control means for individually operating / stopping and changing the rotational speed and failure signal output means. During normal operation, the rotational speed is lower by a predetermined rotational speed than the maximum rotational speed of each fan. When one fan breaks down, the rotor position detection means detects that the motor has stopped rotating, and increases the number of normal fan rotations. It has the effect of maintaining the air volume and continuing operation.

本発明の請求項４記載の発明は、ファンフィルタユニットで、ファンは羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、他のファンフィルタユニットからの故障信号の入力手段と、モーターの運転・停止および回転数を可変する制御手段と、故障信号出力手段とを有する構成としたものであり、複数のファンフィルタユニットで一つのゾーンを清浄化している場合に、一つのファンフィルタユニットが故障した場合、その故障出力を受けて、モーターの回転数を上げることにより故障したファンフィルタユニットの風量をカバーするという作用を有する。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a fan filter unit, wherein the fan is composed of a brushless DC motor incorporating a blade and a rotor position detecting means and a motor driving means, and a failure signal input from another fan filter unit. Means, a control means for changing the operation / stop of the motor and the rotation speed, and a failure signal output means. When one zone is cleaned by a plurality of fan filter units, When one fan filter unit fails, the failure output is received and the air volume of the failed fan filter unit is covered by increasing the number of rotations of the motor.

本発明の請求項５記載の発明は、一つのブラシレスＤＣモーターに対して、そのモーター駆動手段を複数個有し、切換手段を介して切換える構成としたものであり、駆動手段が故障した場合、ローター位置検出手段で、モーターの回転が停止したことを検出し、正常な駆動手段に切換えて運転を継続するという作用を有する。   The invention according to claim 5 of the present invention has a configuration in which a plurality of motor driving means are provided for one brushless DC motor and are switched via the switching means. When the driving means fails, The rotor position detecting means detects that the rotation of the motor has stopped, and switches to normal driving means to continue operation.

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１に示すように、ファンフィルタユニット８は、複数のファン１ａ、１ｂ、１ｃ、‥‥を有し、これら複数のファン１ａ、１ｂ、１ｃ、‥‥は、それぞれ、羽根２ａ、２ｂ、２ｃ、‥‥とローター位置検出手段３ａ、３ｂ、３ｃ、‥‥を内蔵したブラシレスＤＣモーター４ａ、４ｂ、４ｃ、‥‥とモーター駆動手段５ａ、５ｂ、５ｃ、‥‥とで構成され、これら複数のブラシレスＤＣモーター４ａ、４ｂ、４ｃ、‥‥を個別に運転・停止および回転数可変をさせる制御手段６と故障信号出力手段７とを有した構成となっており、通常運転時は、一つのファンを停止させて運転している。図１ではファンが３台の場合を示しているが、たとえば、ファン１ａ、１ｂを運転させて、ファン１ｃを停止させるのが通常運転の状態である。 (Embodiment 1)
As shown in FIG. 1, the fan filter unit 8 has a plurality of fans 1a, 1b, 1c,..., And the plurality of fans 1a, 1b, 1c,. ,..., And rotor position detection means 3a, 3b, 3c,... And brushless DC motors 4a, 4b, 4c,... And motor drive means 5a, 5b, 5c,. The brushless DC motors 4a, 4b, 4c,... Have a control means 6 and a failure signal output means 7 for individually operating / stopping and varying the number of revolutions. Is stopped. Although FIG. 1 shows a case where there are three fans, for example, it is a normal operation state that the fans 1a and 1b are operated and the fan 1c is stopped.

上記構成において、例えば、ブラシレスＤＣモーター４ａが故障してファン１ａの回転が停止した場合、ローター位置検出手段３ａの信号が出力されなくなる。制御手段６は、これを検出してブラシレスＤＣモーター４ａの故障を認識する。この場合、制御手段６は、ブラシレスＤＣモーター４ｃを運転すると共に、故障信号出力手段７に故障信号を出力することで、ファンフィルタユニット８全体としては、通常の風量を維持して運転を継続することができる。また、外部に対しては、故障信号を出力してメンテナンスの必要性を警報することができる。   In the above configuration, for example, when the brushless DC motor 4a fails and the rotation of the fan 1a stops, the signal of the rotor position detecting means 3a is not output. The control means 6 detects this and recognizes the failure of the brushless DC motor 4a. In this case, the control means 6 operates the brushless DC motor 4c and outputs a failure signal to the failure signal output means 7, so that the fan filter unit 8 as a whole maintains the normal air volume and continues the operation. be able to. Further, a failure signal can be output to the outside to alert the need for maintenance.

（実施の形態２）
実施の形態１と同様の構成で、通常運転時に停止させるファンを、所定時間毎にローテーションする。例えば、上記の例では、ファン１ｃを停止させたが、例えば、１時間毎にローテーションする場合は、最初の１時間はファン１ａ、１ｂを運転し、ファン１ｃを停止させる。次の１時間はファン１ｂ、１ｃを運転し、ファン１ａを停止させる。さらに次の１時間はファン１ｃ、１ａを運転し、ファン１ｂを停止する。 (Embodiment 2)
With the same configuration as in the first embodiment, the fan that is stopped during normal operation is rotated every predetermined time. For example, in the above example, the fan 1c is stopped. However, for example, when rotating every hour, the fans 1a and 1b are operated for the first hour and the fan 1c is stopped. During the next hour, the fans 1b and 1c are operated and the fan 1a is stopped. Further, for the next hour, the fans 1c and 1a are operated and the fan 1b is stopped.

上記構成において、通常運転時に停止するファンをローテーションすることにより、ファンフィルタユニット８を１日２４時間運転した場合は、それぞれのファン１ａ、１ｂ、１ｃの運転時間は１６時間となる。即ちモーターの寿命を１．５倍に延ばしたことと同等になる。   In the above configuration, when the fan filter unit 8 is operated 24 hours a day by rotating the fans that are stopped during normal operation, the operation time of each of the fans 1a, 1b, and 1c is 16 hours. In other words, it is equivalent to extending the life of the motor by 1.5 times.

（実施の形態３）
図１に示すように、ファンフィルタユニット８は、複数のファン１ａ、１ｂ、１ｃ、‥‥を有し、これら複数のファン１ａ、１ｂ、１ｃ、‥‥は、それぞれ、羽根２ａ、２ｂ、２ｃ、‥‥とローター位置検出手段３ａ、３ｂ、３ｃ、‥‥を内蔵したブラシレスＤＣモーター４ａ、４ｂ、４ｃ、‥‥とモーター駆動手段５ａ、５ｂ、５ｃ、‥‥とで構成され、これら複数のブラシレスＤＣモーター４ａ、４ｂ、４ｃ、‥‥を個別に運転・停止および回転数可変をさせる制御手段６と故障信号出力手段７とを有した構成となっており、通常運転時は、ファン１ａ、１ｂ、１ｃ、‥‥の最大回転数に対して所定の回転数だけ低い回転数で運転する構成としている。 (Embodiment 3)
As shown in FIG. 1, the fan filter unit 8 has a plurality of fans 1a, 1b, 1c,..., And the plurality of fans 1a, 1b, 1c,. ,..., And rotor position detection means 3a, 3b, 3c,... And brushless DC motors 4a, 4b, 4c,... And motor drive means 5a, 5b, 5c,. The brushless DC motors 4a, 4b, 4c,... Have a control means 6 and a failure signal output means 7 for individually operating / stopping and varying the rotation speed. During normal operation, the fan 1a, It is set as the structure which drive | operates by the rotation speed lower by the predetermined rotation speed with respect to the maximum rotation speed of 1b, 1c,.

上記構成において、例えば、ブラシレスＤＣモーター４ａが故障してファン１ａの回転が停止した場合、ローター位置検出手段３ａの信号が出力されなくなる。制御手段６は、これを検出してブラシレスＤＣモーター４ａの故障を認識する。この場合、制御手段６は、ファン１ｂ、１ｃの回転数を上げてそれぞれの風量を増加させると共に、故障信号出力手段７に故障信号を出力することで、ファンフィルタユニット８全体としては、通常の風量を維持して運転を継続することができ、外部に対しては故障信号を出力してメンテナンスの必要性を警報することができる。   In the above configuration, for example, when the brushless DC motor 4a fails and the rotation of the fan 1a stops, the signal of the rotor position detecting means 3a is not output. The control means 6 detects this and recognizes the failure of the brushless DC motor 4a. In this case, the control means 6 increases the rotational speeds of the fans 1b and 1c to increase the respective air volumes, and outputs a failure signal to the failure signal output means 7, whereby the fan filter unit 8 as a whole is The operation can be continued while maintaining the air volume, and a failure signal can be output to the outside to alert the necessity of maintenance.

（実施の形態４）
図２に示すように、ファンフィルタユニット８は、羽根２とローター位置検出手段３を内蔵したブラシレスＤＣモーター４ａ、４ｂ、４ｃとモーター駆動手段５ａ、５ｂ、５ｃとで構成されたファン１と、他のファンフィルタユニット８からの故障信号入力手段１０と、モーターの運転・停止および回転数を可変する制御手段６と、故障信号出力手段７とで構成されている。 (Embodiment 4)
As shown in FIG. 2, the fan filter unit 8 includes a fan 1 composed of brushless DC motors 4a, 4b, 4c and motor drive means 5a, 5b, 5c, each having a blade 2 and a rotor position detecting means 3. It comprises a failure signal input means 10 from another fan filter unit 8, a control means 6 for changing the operation / stop of the motor and the number of revolutions, and a failure signal output means 7.

上記構成において、このようなファンフィルタユニット８が複数台で、一つのゾーンを清浄している場合で、一つのファンフィルタユニット８が故障しても、その故障信号を入力手段に入力することで、正常なファンフィルタユニット８のファンの回転数を上げて、風量を増加することができる。これにより、そのゾーン全体の風量を維持して運転を継続することができる。   In the above configuration, when there are a plurality of such fan filter units 8 and one zone is cleaned, even if one fan filter unit 8 fails, the failure signal can be input to the input means. The fan speed of the normal fan filter unit 8 can be increased to increase the air volume. Thereby, the operation can be continued while maintaining the air volume of the entire zone.

（実施の形態５）
図３に示すように、一つのブラシレスＤＣモーター４に対して、複数個のモーター駆動手段５−１、５−２を有し、切換手段１１で切換える構成としたものである。 (Embodiment 5)
As shown in FIG. 3, a single brushless DC motor 4 has a plurality of motor drive units 5-1 and 5-2 and is switched by a switching unit 11.

上記構成において、例えばモーター駆動手段５−１が故障してブラシレスＤＣモーター４の回転が停止した場合、ローター位置検出手段３の信号が出力されなくなる。制御手段６は、これを検出してモーター駆動手段５−１の故障を認識する。この場合、制御手段６は、モーター駆動手段５−２から切換手段１１を介してブラシレスＤＣモーター４を運転すると共に、故障信号出力手段７に故障信号を出力することで、ファンフィルタユニット８全体としては、通常の風量を維持して運転を継続することができ、外部に対しては故障信号を出力してメンテナンスの必要性を警報することができる。   In the above configuration, for example, when the motor driving unit 5-1 fails and the rotation of the brushless DC motor 4 is stopped, the signal of the rotor position detecting unit 3 is not output. The control means 6 detects this and recognizes the failure of the motor drive means 5-1. In this case, the control means 6 operates the brushless DC motor 4 from the motor drive means 5-2 via the switching means 11 and outputs a failure signal to the failure signal output means 7, thereby making the fan filter unit 8 as a whole. Can maintain the normal air volume and continue the operation, and can output a failure signal to the outside to warn of the necessity of maintenance.

ファンが故障した場合に、送風風量を維持して運転を継続させなければ、被害拡大に至るような装置の用途にも適用できる。   If the fan breaks down and the operation is not continued while maintaining the air flow rate, the present invention can be applied to the use of the device that causes damage expansion.

本発明の実施の形態１、２、３のブロック図Block diagrams of Embodiments 1, 2, and 3 of the present invention 本発明の実施の形態４のブロック図Block diagram of Embodiment 4 of the present invention 本発明の実施の形態５のブロック図Block diagram of Embodiment 5 of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

１ ファン
１ａ、１ｂ、１ｃ ファン
２ 羽根
２ａ、２ｂ、２ｃ 羽根
３ ローター位置検出手段
３ａ、３ｂ、３ｃ ローター位置検出手段
４ ブラシレスＤＣモーター
４ａ、４ｂ、４ｃ ブラシレスＤＣモーター
５−１ モーター駆動手段
５−２ モーター駆動手段
５ａ、５ｂ、５ｃ モーター駆動手段
６ 制御手段
７ 故障信号出力手段
８ ファンフィルタユニット
９ フィルタ
１０ 故障信号入力手段
１１ 切換手段 1 Fan 1a, 1b, 1c Fan 2 Blade 2a, 2b, 2c Blade 3 Rotor position detection means 3a, 3b, 3c Rotor position detection means 4 Brushless DC motor 4a, 4b, 4c Brushless DC motor 5-1 Motor drive means 5- 2 Motor drive means 5a, 5b, 5c Motor drive means 6 Control means 7 Fault signal output means 8 Fan filter unit 9 Filter 10 Fault signal input means 11 Switching means

Claims (5)

複数のファンを有するファンフィルタユニットで、これら複数のファンは、それぞれ、羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、これら複数のモーターを個別に運転・停止および回転数を可変させる制御手段と、故障信号出力手段とを有し、通常運転時は、一つのファンの回転を停止させるようにしたファンフィルタユニットの制御装置。 In the fan filter unit having a plurality of fans, each of the plurality of fans is composed of a brushless DC motor having blades and rotor position detecting means and motor driving means, and the plurality of motors are individually operated / stopped and A control device for a fan filter unit, which has a control means for varying the number of revolutions and a failure signal output means, and which stops the rotation of one fan during normal operation. 請求項１に記載のファンフィルタユニットで、通常運転時に停止させるファンをローテーションするようにしたファンフィルタユニットの制御装置。 The fan filter unit control device according to claim 1, wherein the fan that is stopped during normal operation is rotated. 複数のファンを有するファンフィルタユニットで、これら複数のファンは、それぞれ、羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、これら複数のモーターを個別に運転・停止および回転数を可変させる制御手段と、故障信号出力手段とを有し、通常運転時は、個々のファンの最大回転数に対して所定の回転数だけ低い回転数で運転するようにしたファンフィルタユニットの制御装置。 In the fan filter unit having a plurality of fans, each of the plurality of fans is composed of a brushless DC motor having blades and rotor position detecting means and motor driving means, and the plurality of motors are individually operated / stopped and A fan filter unit having a control means for varying the number of revolutions and a failure signal output means, and during normal operation, the fan filter unit is operated at a number of revolutions lower than the maximum number of revolutions of each individual fan Control device. ファンフィルタユニットで、ファンは羽根とローター位置検出手段を内蔵したブラシレスＤＣモーターとモーター駆動手段とで構成され、他のファンフィルタユニットからの故障信号の入力手段と、モーターの運転・停止および回転数を可変する制御手段と、故障信号出力手段とを有したファンフィルタユニットの制御装置。 In the fan filter unit, the fan is composed of a brushless DC motor incorporating blades and rotor position detection means, and motor drive means. The failure signal input means from other fan filter units, and the motor operation / stop and rotation speed A control device for a fan filter unit having control means for varying the output and a failure signal output means. 一つのブラシレスＤＣモーターに対して、そのモーター駆動手段を複数個有し、切換手段を介して切換えることができるようにした請求項１から４に記載のファンフィルタユニットの制御装置。 5. The fan filter unit control device according to claim 1, wherein a plurality of motor driving means are provided for one brushless DC motor and can be switched via the switching means.
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