KR102186268B1 - 기판 이송장치용 보수장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 승강부를 보수시 보수장치에 대한 안전성 확보와 함께 전도 및 작업자 추락으로 인한 사고 위험을 방지하고, 아울러 승강부의 높이 또는 보수 높이에 따라 높이를 맞추어 사용할 수 있도록 한 것으로, 본 발명은 기판을 지지하는 이송암, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부 및 상기 이송암을 회전시키기 위한 선회부를 구비한 기판 이송장치에 설치되는 보수 장치로서, 승강부의 보수 작업을 위해 선회부에 설치되는 지지고정수단과; 상기 지지고정수단의 양편에 구비되는 결속수단과; 상기 결속수단에 결속되는 상태로 길이 조정이 가능한 사다리;로 이루어지는 기판 이송장치용 보수장치가 제공된다.

Description

기판 이송장치용 보수장치{Maintenance unit of substrate transfer apparatus}

본 발명은 기판 이송장치용 보수장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 승강부를 보수시 보수장치에 대한 안전성 확보와 함께 전도 및 작업자 추락으로 인한 사고 위험을 방지하고, 아울러 승강부의 높이 또는 보수 높이에 사다리 높이를 맞추어 사용할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(substrate)을 이용하여 이루어진다.

예컨대, 상기 제조 공정은 기판상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어지며 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 상기 기판을 이송하는 기능을 담당하게 된다.

앞서 소개된 기판 이송장치의 구성을 간략히 살펴보면, 기판 이송장치는 기판을 지지하는 이송암과, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부 및 상기 이송암을 회전시키기 위한 선회부와, 바닥에 설치되고 상기 선회부가 슬라이드 이동 가능하게 결합 되는 레일부를 포함하여 구성된다.

또한, 위와 같이 구성되는 기판 이송장치에 있어, 승강부에 대한 유지 보수를 위하여 승강부의 커버 탈부착 및 승강 요소 부품에 대한 수리 작업을 할 경우, 일반적으로는 승강부에 사다리를 접근시키는 상태로 기판 이송장치에 단순히 올려놓은 후 작업자가 사다리를 타고 올라가서 승강부에 대한 작업을 하게 된다.

그런데, 위와 같이 승강부를 수리하기 위하여 사다리를 설치시, 앞서 설명된 바와 같이 사다리와 기판 이송장치 간에 견고한 결속 고정 없이 사다리를 단순히 올려놓는 거치 상태이므로 사다리의 설치 상태에 대한 안정성을 보장할 수 없는 문제가 있었다.

그에 따라, 고소작업 중 사다리가 전도되어 안전사고 발생은 물론, 작업자가 추락하는 사고가 발생하여 안전성을 보장할 수 없는 문제가 있었다. 또한 높이 조절이 이루어지지 않는 사다리의 사용으로 인해 승강부의 높이 또는 승강부의 보수 위치에 맞추지 못하여 작업상 불편함이 발생하는 문제도 있었다.

대한민국공개특허공보 공개번호 10-2018-0029535호

본 발명은 승강부를 보수시 보수장치에 대한 안전성 확보와 함께 전도 및 작업자 추락으로 인한 사고 위험을 방지하고, 아울러 승강부의 높이 또는 보수 높이에 따라 사다리 높이를 맞추어 사용할 수 있도록 한 기판 이송장치용 보수장치를 제공하는데 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 기판을 지지하는 이송암, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부 및 상기 이송암을 회전시키기 위한 선회부를 구비한 기판 이송장치에 설치되는 보수 장치로서, 승강부의 보수 작업을 위해 선회부에 설치되는 지지고정수단과; 상기 지지고정수단의 양편에 구비되는 결속수단과; 상기 결속수단에 결속되는 상태로 길이 조정이 가능한 사다리;로 이루어지는 기판 이송장치용 보수장치를 통해 목적을 달성할 수 있다.

또한, 본 발명의 지지고정수단은 선회부의 상면에 서로 거리를 두고 나란히 설치되는 제1 및 제2 언더바와, 상기 제2 언더바와 높이를 맞추고자 제1 언더바의 상면에 설치되는 제3 언더바로 이루어지는 기판 이송장치용 보수장치를 통해 목적을 달성할 수 있다.

또한, 본 발명의 결속수단은 제2 및 제3 언더바의 상면 양편에 개별적으로 설치되는 고정부재와, 상기 고정부재에 결속되는 결속부재로 이루어지며, 상기 고정부재는 면적을 가지고 제2 및 제3 언더바의 상면에 고정되는 바닥부와, 상기 바닥부의 양측에 벽 형태로 형성되는 측면부로 이루어지는 기판 이송장치용 보수장치를 통해 목적을 달성할 수 있다.

또한, 본 발명의 결속부재는 하부 양 측면에 형성되는 구조로 고정부재의 측면부 사이에 배치되어 측면부와 고정되는 하부 결속리브와, 상기 결속부재의 상부 양 측면에 형성되는 구조로 사다리와 결속되는 상부 결속리브를 포함하여 구성되는 기판 이송장치용 보수장치를 통해 목적을 달성할 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송장치용 보수장치를 사용하게 되면, 승강부를 보수시 보수장치에 대한 안전성 확보와 함께 전도 및 작업자 추락으로 인한 사고 위험을 방지할 수 있게 되고, 아울러 승강부의 높이 또는 보수 높이에 따라 사디리 높이를 맞추어 사용할 수 있는 작업상 편의를 제공받을 수 있다.

도 1a는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 보수장치를 보여주는 것으로, 도 1a는 전체 사시도이고, 도 1b 및 도 1c는 도 1a의 요부를 각각 확대하여 보여주는 도면이다.
도 2a는 도 1a를 나타낸 정면도이다.
도 2b는 도 2a의 A부를 확대한 도면이다.
도 3a는 도 2a의 상태에서 사다리의 높이를 높인 모습을 나타낸 정면도이다.
도 3b는 도 3a의 B부를 확대한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 보수장치를 보인 정면도이다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 기판 이송장치용 보수장치에 대한 바람직한 실시 예를 상세히 설명하다.

도 1a 내지 도 2a에 도시된 바와 같이 기판 이송장치(10)는 기판을 지지하는 이송암(12)과, 상기 이송암(12)을 승강시키기 위한 승강부(14) 및 상기 이송암(12)을 회전시키기 위한 선회부(16)와, 바닥에 설치되고 상기 선회부(16)가 슬라이드 이동 가능하게 결합 되는 레일부(18)를 포함하여 구성된다.

여기서 본 발명은, 상기 선회부(16)에 결속 가능하게 설치되는 보수장치(20)이며, 상기 보수장치(20)는 선회부(16)에 설치되는 지지고정수단(22)과, 상기 지지고정수단(22)에 고정되는 형태로 구비되는 결속수단(24)과, 상기 결속수단(24)에 결속되는 상태로 길이 조정이 가능한 사다리(26)로 구성된다.

구체적으로, 상기 지지고정수단(22)은 길이를 가지는 제1 ~제3 언더바(28, 30, 32)로 이루어진다. 그 설치 구조를 살펴보면, 먼저 선회부(16)의 상면에 서로 거리를 두고 나란히 고정 설치되는 제1 및 제2 언더바(28, 30)와, 상기 제1 언더바(28)가 제2 언더바(30)의 설치 높이 보다 낮게 설치될 경우, 제1 언더바(28)를 제2 언더바(30)의 높이에 맞추고자 제1 언더바(28)의 상면에 설치되는 제3 언더바(32)로 이루어진다.

상기 결속수단(24)은 상기 제2 및 제3 언더바(30, 32)의 상면 양편에 각각 고정되는 형태로 구비되는 고정부재(34, 36)와, 상기 고정부재(34, 36)에 결속되는 결속부재(38, 40)로 이루어진다. 우선 상기 고정부재(34, 36)는 면적을 가지고 제2 및 제3 언더바(30, 32)에 고정되는 바닥부(42, 44)와, 상기 바닥부(42, 44)의 양측에 배치되는 구조로 형성되는 측면부(46, 48)로 이루어진다.

상기 결속부재(38, 40)는 길이를 가지는 결속부(50)와, 상기 결속부(50)의 하부 양 측면에 날개 형태로 형성되어 고정부재(34, 36)의 측면부(46, 48) 사이에 배치되고 측면부(46, 48)와 결속부품을 통해 고정되는 하부 결속리브(52)와, 상기 결속부(50)의 상부 양 측면에 날개 형태로 형성되어 사다리(26)와 결속되는 상부 결속리브(54)를 포함하여 구성된다. 이러한 상기 상부 결속리브(54)에는 결속시 결속 위치를 조정할 수 있도록 장공(56)이 길이 방향으로 형성되어 있으며, 이러한 장공(56)과 결속부품을 통해 사다리(26)가 결속된다.

한편, 상기 사다리(26)는 양측을 지지하는 두 개의 버팀대와 상기 버팀대 사이를 횡 방향으로 연결하는 복수의 디딤대로 구성되며, 상기의 같은 구성의 사다리(100)는 ∧모양으로 설치된다. 참고로, 상기 ∧형상은 사다리(26)를 사용할 때의 형상이고 상기 사다리(26)를 탈거 시에는 서로 맞닿도록 일(一)자 형태로 접어서 보관하거나 이동할 수 있다.

구체적으로, 도 2a 내지 도 3b에 도시된 바와 같이 상기 사다리(26)는 외측버팀대(58)와, 상기 외측버팀대(58)의 내측에 슬라이드 결합하여 상기 내측버팀대(60)가 외측버팀대(58)의 길이방향을 따라 슬라이딩 이동할 수 있도록 구성된다. 그에 따라 내측버팀대(60)를 슬라이드 이동시켜 보수 위치에 맞게 사다리(26)의 높이 길이를 조절하여 사용하게 된다.

상기 사다리(26)의 구성을 간략히 설명하면, 사다리(26)의 외측버팀대(58)의 내면에는 내측버팀대(60)이 슬라이드 이동 가능하게 결합 되어 있다.

이와 같이 결합 되는 상기 내측버팀대(60)는 이와 평행이 되는 내측버팀대(60) 간에 중공 구조로 이루어진 디딤대(62)가 연결되어 있고, 평행하게 배치되는 외측버팀대(58) 간에도 디딤대(64)로 연결되어 있다.

특히, 상기 외측버팀대(58)의 상단 디딤대(64)에는 위치고정핀(66)이 인출 가능하게 결합 되어 있어 위치고정핀(66)을 인출시, 위치고정핀(66)의 고정부분(66a)이 슬라이드 이동되는 내측버팀대(60)의 디딤대(62)로부터 완전히 빠져나오게 되고, 이와 같은 상태에서 내측버팀대(60)를 슬라이드 이동시켜 높이 조절을 완료 후 내측버팀대(60)의 해당 디딤대(64)에 위치고정핀(66)의 고정부분(66a)을 재삽입시키는 것으로 내측버팀대(60)의 높낮이 조절에 대한 위치 고정이 이루어질 수 있게 된다.

따라서, 승강부를 보수시 사다리에 대한 안전성 확보와 함께 작업자의 안전고를 사다리에 걸어두어 추락 및 낙하 대한 안전사고를 방지할 수 있게 되고, 그와 더불어 승강부의 높이에 따라 길이를 맞추어서 사용할 수 있는 편의를 제공받을 수 있다.

다음으로, 도 4에는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 보수장치를 나타내는 정면도가 도시되어 있다.

도 4에 도시된 실시 예는, 사다리(26)의 양측 버팀대의 길이를 다르게 구성할 수도 있음을 말해준다.

도 4에 도시된 실시 예에 따르면, 양측 버팀대 중 승강부(14)와 같은 작업 대상물에 가까운 쪽의 버팀대는 길이를 짧게 하여 수직으로 세우고, 작업 대상물에서 먼 쪽의 버팀대는 길이를 길게 하여 경사지게 세우는 형태로 구성할 수 있다.

이러한 실시예에 의하면, 사다리(26)를 작업 대상물에 가깝게 설치할 수 있어 작업의 편의를 도모할 수 있다.

이렇듯, 작업 환경에 따라 사다리(26)의 양측 버팀대의 길이를 달리하여 적용할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.

10 : 기판 이송장치
12 : 이송암
14 : 승강부
16 : 선회부
18 : 레일부
20 : 보수장치
22 : 지지고정수단
24 : 결속수단
26 : 사다리
28 : 제1 언더바
30 : 제2 언더바
32 : 제3 언더바
34, 36 : 결속수단
38, 40 : 결속부재
42, 44 : 바닥부
46, 48 : 측면부
50 : 결속부
52 : 하부 결속리브
54 : 상부 결속리브
56 : 장공
58 : 외측버팀대
60 : 내측버팀대
62, 64 : 디딤대
66 : 위치고정핀
66a : 고정부분

Claims (4)

1. 기판을 지지하는 이송암, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부 및 상기 이송암을 회전시키기 위한 선회부를 구비한 기판 이송장치에 설치되는 보수 장치로서,
   승강부의 보수 작업을 위해 선회부에 설치되는 지지고정수단과;
   상기 지지고정수단의 양편에 구비되는 결속수단과;
   상기 결속수단에 결속되는 상태로 길이 조정이 가능한 사다리;를 포함하고,
   상기 결속수단은, 상기 선회부의 상면 양편에 개별적으로 설치되는 고정부재와, 상기 고정부재에 결속되는 결속부재로 이루어지며,
   상기 결속부재는 하부 양 측면에 형성되는 구조로 고정부재의 측면부 사이에 배치되어 측면부와 고정되는 하부 결속리브와, 상기 결속부재의 상부 양 측면에 형성되는 구조로 사다리와 결속되는 상부 결속리브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 보수장치.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 지지고정수단은 선회부의 상면에 서로 거리를 두고 나란히 설치되는 제1 및 제2 언더바와, 상기 제2 언더바와 높이를 맞추고자 제1 언더바의 상면에 설치되는 제3 언더바로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 보수장치.
   
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 고정부재는 면적을 가지고 제2 및 제3 언더바의 상면에 고정되는 바닥부와, 상기 바닥부의 양측에 벽 형태로 형성되는 측면부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 보수장치.
4. 삭제

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