KR102184646B1 - 제논 고순도화 장치 - Google Patents

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KR102184646B1
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Abstract

개시되는 제논 고순도화 장치가 공급 탱크와, 콜드 트랩 부재와, 제논 저장 탱크를 포함함에 따라, 열교환기, 제논 흡탈착기 등이 별도로 구비될 필요가 없고, 그에 따라 제논과 크립톤이 함유된 혼합 가스에서 제논을 분리하여 고순도화하기 위한 구성 요소들이 컴팩트해질 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

제논 고순도화 장치{Xenon high purification apparatus}
본 발명은 제논 고순도화 장치에 관한 것이다.
제논(xenon)은 원소주기율표 상에서 5주기 18족에 속하는 비활성 기체로, 원소 기호는 Xe, 녹는점은 -111.7℃, 끓는점은 -108.12℃, 밀도는 5.894g/L이고, 색깔과 냄새가 없는 단원자 분자로 공기 중에 극미량 함유되어 있다.
이러한 제논은 반도체 웨이퍼 등의 제조 공정에서 필수 요소로 사용되어져야 하는데, 공기 중에 극미량만 함유되어 있는 특성 때문에, 반도체 웨이퍼 등의 제조 공정에서 이미 사용된 제논의 회수가 요구되고 있다.
반도체 웨이퍼 등의 제조 공정에서 이미 사용된 제논은 산소 등의 이물질과 혼합된 상태의 혼합 가스 상태로 존재하는데, 이러한 혼합 가스 내에서 순수한 제논을 분리하기 위한 여러 기술이 개발되어 오고 있고, 그러한 분리 기술의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.
그러나, 위 특허문헌을 포함한 종래 기술에 의하면, 제논을 분리하기 위한 구성 요소들이 매우 큰 반응기 형태로 이루어져 있고, 그에 따라 제논 고순도화 장치가 설치된 공간의 공간 효율성이 떨어지는 문제가 있었다.
공개특허 제 10-2006-0018459호, 공개일자: 2006.03.02., 발명의 명칭: 크립톤가스와 제논가스 분리방법 및 그 장치
본 발명은 제논을 분리하여 고순도화하기 위한 구성 요소들이 컴팩트해질 수 있는 제논 고순도화 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 제논 고순도화 장치는 제논 및 크립톤을 함유한 혼합 가스가 수용된 공급 탱크; 상기 공급 탱크에서 공급되는 상기 혼합 가스로부터 상기 제논을 분리할 수 있는 콜드 트랩 부재; 상기 콜드 트랩 부재에서 분리된 상기 제논을 저장하는 제논 저장 탱크; 및 상기 콜드 트랩 부재 내부에 배치되어, 상기 콜드 트랩 부재의 수직도를 감지하는 균형 감지 부재;를 포함하고,
상기 균형 감지 부재는 상기 콜드 트랩 부재에 부착되고 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되는 균형 감지 부재 케이스와, 상기 균형 감지 부재 케이스 내부의 상단에서 그 하측으로 돌출되는 회동 연결부와, 상기 회동 연결부에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있는 회동체와, 상기 회동체의 말단부에 배치되는 영구 자석인 회동 마그넷과, 상기 균형 감지 부재 케이스의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서와, 상기 균형 감지 부재 케이스의 각 내측면의 각 하부에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 접촉을 감지할 수 있는 균형 감지 접촉 센서를 포함하고,
상기 회동체와 상기 회동 마그넷은 자중에 의해 상기 회동 연결부에 연결된 상태로 항상 중력 방향을 향하게 되고, 상기 균형 감지 홀 센서는 상기 균형 감지 부재 케이스의 내부의 저면 상의 중앙과 그 양 측으로 일정 간격 이격되도록 세 개 이상으로 설치되고,
상기 콜드 트랩 부재가 정상적인 자세를 유지하는 동안, 상기 회동 마그넷은 상기 균형 감지 홀 센서 중 중앙의 것에 의해 감지되는 상태를 유지하고,
상기 콜드 트랩 부재가 임의로 기울어지기 시작하면, 상기 콜드 트랩 부재의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체가 중력에 의해 회동되면서 상기 회동 마그넷의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재의 기울어지기 시작함이 감지되고,
상기 콜드 트랩 부재가 최대값으로 기울어지면, 상기 회동 마그넷의 위치 변동에 따른 자력 변화 최대값이 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷이 상기 균형 감지 접촉 센서와 접촉됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재의 최대 기울어짐이 감지될 수 있게 되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 제논 고순도화 장치에 의하면, 제논 고순도화 장치가 공급 탱크와, 콜드 트랩 부재와, 제논 저장 탱크를 포함함에 따라, 열교환기, 제논 흡탈착기 등이 별도로 구비될 필요가 없고, 그에 따라 제논과 크립톤이 함유된 혼합 가스에서 제논을 분리하여 고순도화하기 위한 구성 요소들이 컴팩트해질 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 고순도화 장치의 구성을 개략적으로 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 콜드 트랩 부재의 내부를 보이는 단면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 고순도화 장치를 구성하는 균형 감지 부재의 내부를 보이는 단면도.
도 4는 도 3에 도시된 A부분을 확대한 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 고순도화 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 고순도화 장치의 구성을 개략적으로 보이는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 콜드 트랩 부재의 내부를 보이는 단면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제논 고순도화 장치를 구성하는 균형 감지 부재의 내부를 보이는 단면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 A부분을 확대한 도면이다.
도 1 내지 도 4를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 제논 고순도화 장치(100)는 공급 탱크(180)와, 콜드 트랩 부재(130)와, 제논 저장 탱크(155)를 포함한다.
상기 공급 탱크(180)는 반도체 웨이퍼 등을 제조하는 공정에서 이미 사용된 제논 및 크립톤을 함유한 정제 대상인 혼합 가스를 저장하고, 상기 콜드 트랩 부재(130) 쪽으로 공급할 수 있는 것이다.
상기 콜드 트랩 부재(130)는 상기 공급 탱크(180)에서 공급되는 상기 혼합 가스로부터 상기 제논을 분리할 수 있는 것으로, 이에 대하여는 상세히 후술하기로 한다.
상기 제논 저장 탱크(155)는 상기 콜드 트랩 부재(130)에서 분리된 상기 제논을 저장하는 것이다.
도면 번호 101은 상기 공급 탱크(180)와 상기 콜드 트랩 부재(130)를 연결하여, 상기 공급 탱크(180)의 상기 혼합 가스가 상기 콜드 트랩 부재(130)로 유동되는 통로가 되는 공급 배관이다.
도면 번호 103은 상기 공급 배관(101)을 통해 공급된 상기 혼합 가스가 상기 콜드 트랩 부재(130)를 경유하는 과정에서 분리된 상기 제논이 상기 제논 저장 탱크(155)로 유동되는 통로가 되는 제논 유동 배관이다.
도면 번호 150은 상기 콜드 트랩 부재(130)를 상기 혼합 가스가 경유하면서 제논이 분리되는 과정에서 함께 분리되는 크립톤(Kr)이 저장되는 크립톤 저장 탱크(150)이고, 도면 번호 102는 상기 콜드 트랩 부재(130)를 상기 혼합 가스가 경유하면서 제논이 분리되는 과정에서 함께 분리되는 상기 크립톤이 상기 크립톤 저장 탱크(150)로 유동되는 통로가 되는 크립톤 유동 배관이다.
도면 번호 151 및 156은 각각 상기 크립톤 유동 배관(102)과 상기 제논 유동 배관(103)에 설치되어, 각각 상기 크립톤 저장 탱크(150)와 상기 제논 저장 탱크(155)로 유입되는 크립톤 및 제논을 압축할 수 있는 압축기들이다.
도면 번호 170은 상기 제논 고순도화 장치(100)의 각종 구성요소의 작동을 제어할 수 있는 제어 부재이다.
본 실시예에서는, 상기 콜드 트랩 부재(130)는 그 내부에 저온 냉매가 수용됨으로써, 상기 공급 배관(101)을 통해 공급된 상기 혼합 가스가 상기 콜드 트랩 부재(130)를 경유하는 과정에서 상기 혼합 가스로부터 상기 제논이 분리될 수 있다.
상세히, 상기 콜드 트랩 부재(130)는 이중 벽체 형태로 형성되고, 상기 이중 벽체 중 내측 벽체의 내부에는 상기 공급 배관(101)이 그 상단으로부터 그 내부의 하부까지 연장되어, 상기 공급 배관(101)을 통해 공급된 상기 혼합 가스가 상기 콜드 트랩 부재(130)의 상기 이중 벽체 중 내측 벽체의 내부의 하부로 공급되고, 상기 이중 벽체의 외측 벽체와 내측 벽체 사이의 공간에 상기 저온 냉매가 수용됨으로써, 상기 공급 배관(101)을 통해 공급된 상기 혼합 가스는 상기 저온 냉매의 냉기에 의해 간접적으로 냉각되고, 그에 따라 상기 혼합 가스 중의 제논은 동결되고 크립톤은 기체 상태를 유지한 상태가 되어, 동결된 상기 제논은 낙하되면서 상기 콜드 트랩 부재(130)의 하단에 연결된 상기 제논 유동 배관(103)을 통해 상기 제논 저장 탱크(155)에 저장되고, 기체 상태를 유지한 상기 크립톤은 상기 콜드 트랩 부재(130)의 상단에 연결된 상기 크립톤 유동 배관(102)을 통해 상기 크립톤 저장 탱크(150)에 저장된다.
상기 이중 벽체의 외측 벽체와 내측 벽체 사이의 공간에 수용되는 상기 저온 냉매는 외부의 순환 탱크(미도시)로부터 순환식으로 지속적으로 공급될 수 있고, 도면 번호 131은 상기 순환 탱크로부터 상기 이중 벽체의 외측 벽체와 내측 벽체 사이의 공간으로 상기 저온 냉매를 유입시키는 냉매 유입 배관이고, 도면 번호 132는 상기 이중 벽체의 외측 벽체와 내측 벽체 사이의 공간으로부터 상기 순환 탱크로 상기 저온 냉매를 유출시키는 냉매 유출 배관이다.
한편, 상기 제논 고순도화 장치(100)는 수분 여과 부재(110)와, 질소 및 산소 여과 부재(115)를 더 포함한다.
상기 수분 여과 부재(110)는 상기 공급 배관(101) 상에 배치되되 상기 콜드 트랩 부재(130)의 전단에 배치되어, 상기 공급 배관(101)을 통해 유동되는 상기 혼합 가스 중의 수분을 제거하는 것이다.
상기 질소 및 산소 여과 부재(115)는 상기 공급 배관(101) 상에 배치되되 상기 콜드 트랩 부재(130)의 전단에 배치되어, 상기 공급 배관(101)을 통해 유동되는 상기 혼합 가스 중의 질소 및 산소를 제거하는 것이다.
도면 번호 105는 상기 콜드 트랩 부재(130) 내부의 온도를 요구되는 온도로 유지하기 위하여 상기 콜드 트랩 부재(130) 내부의 온도를 감지하는 온도 감지 센서이다.
한편, 상기 제논 고순도화 장치(100)는 상기 콜드 트랩 부재(130) 내부에 배치되어, 상기 콜드 트랩 부재(130)의 수직도를 감지하는 균형 감지 부재(190)를 포함한다.
상세히, 상기 균형 감지 부재(190)는 상기 콜드 트랩 부재(130)에 부착되고 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되는 균형 감지 부재 케이스(191)와, 상기 균형 감지 부재 케이스(191) 내부의 상단에서 그 하측으로 돌출되는 회동 연결부(192)와, 상기 회동 연결부(192)에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있는 회동체(193)와, 상기 회동체(193)의 말단부에 배치되는 영구 자석인 회동 마그넷(194)과, 상기 균형 감지 부재 케이스(191)의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동체(193)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(194)의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서(196)와, 상기 균형 감지 부재 케이스(191)의 각 내측면의 각 하부에 배치되어 상기 회동체(193)에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷(194)의 접촉을 감지할 수 있는 압력 감지 센서 등의 균형 감지 접촉 센서(195)를 포함한다.
상기 회동체(193)와 상기 회동 마그넷(194)은 자중에 의해 상기 회동 연결부(192)에 연결된 상태로 항상 중력 방향을 향하게 된다.
감지 효과를 증진하기 위하여, 상기 균형 감지 홀 센서(196)는 상기 균형 감지 부재 케이스(191)의 내부의 저면 상의 중앙과 그 양 측으로 일정 간격 이격되도록 세 개 이상으로 설치된다.
상기 콜드 트랩 부재(130)가 정상적인 자세를 유지하는 동안, 상기 회동 마그넷(194)은 상기 균형 감지 홀 센서(196) 중 중앙의 것에 의해 감지되는 상태를 유지한다.
그러다가, 상기 콜드 트랩 부재(130)가 임의로 기울어지기 시작하면, 상기 콜드 트랩 부재(130)의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체(193)가 중력에 의해 회동되면서 상기 회동 마그넷(194)의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서(196)에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재(130)의 기울어지기 시작함이 감지될 수 있다.
상기 콜드 트랩 부재(130)가 최대값으로 기울어지면, 상기 회동 마그넷(194)의 위치 변동에 따른 자력 변화 최대값이 상기 균형 감지 홀 센서(196)에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷(194)이 상기 균형 감지 접촉 센서(195)와 접촉됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재(130)의 최대 기울어짐이 감지될 수 있게 된다.
상기와 같은 상기 콜드 트랩 부재(130)의 기울어짐과 그 기울어지는 정도에 대한 정보는 상기 제어 부재(170)로 전달된다.
상기와 같이 구성됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재(130)의 임의적인 기울어짐과 그 기울어지는 정도가 신속하게 감지될 수 있게 되고, 그러한 기울어짐 정보에 의해 상기 제어 부재(170)는 상기 콜드 트랩 부재(130)가 임의로 기울어졌음을 감지하고, 별도의 경고음 발생 스피커 등의 출력부(미도시)를 통해 그러한 기울어짐 정보를 외부로 표시할 수 있다.
본 실시예에서는, 상기 회동 연결부(192)는 상기 균형 감지 부재 케이스(191)의 상단면으로부터 그 하방으로 일정 길이 돌출되는 회동 연결 몸체(197)와, 상기 회동 연결 몸체(197)의 저면으로부터 그 상방으로 일정 깊이 함몰 형성되는 회동 연결 홈(198)과, 상기 회동체(193)의 상단에 연결되는 구 형태의 것으로 상기 회동 연결 홈(198) 내부에 회동 가능하게 삽입되는 회동구체(193a)와, 상기 회동 연결 몸체(197)의 각 내면에서 상기 회동 연결 홈(198) 내측으로 일정 길이 돌출되어 상기 회동 연결 홈(198)에 삽입된 상기 회동구체(193a)가 걸리도록 하는 구체 걸림 돌기(199)를 포함한다.
상기 구체 걸림 돌기(199)는 상기 회동 연결 몸체(197)의 서로 다른 높이 상에 복수 개 형성된다.
상기와 같이 형성되면, 복수 개의 상기 구체 걸림 돌기(199) 중 최상측의 것에 상기 회동구체(193a)가 걸린 상태로 상기 회동체(193)가 중력 방향을 향하게 회동되다가, 상기 콜드 트랩 부재(130)가 낙하되는 등 상기 콜드 트랩 부재(130)에 중력 방향으로 충격이 가해지는 경우, 그러한 충격에 의해 상기 회동구체(193a)가 복수 개의 상기 구체 걸림 돌기(199) 중 최상측의 것에서 이탈되어 복수 개의 상기 구체 걸림 돌기(199) 중 상기 최상측의 것 바로 아래의 것으로 하강되어 걸리게 되고, 이러한 상기 회동구체(193a)의 낙하로 인해 상기 회동체(193) 및 상기 회동 마그넷(194)도 함께 낙하되고, 그에 따라 상기 회동 마그넷(194)과 상기 균형 감지 홀 센서(196)가 상대적으로 더 근접되면서 상기와 같은 상기 콜드 트랩 부재(130)에 중력 방향으로 가해진 충격이 감지될 수 있게 된다.
상기와 같이 구성됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재(130)에 중력 방향으로 가해진 충격이 신속하게 감지될 수 있게 되고, 그러한 충격 정보에 의해 상기 제어 부재(170)는 상기 콜드 트랩 부재(130)가 임의로 충격받았음을 감지하고, 상기 출력부를 통해 그러한 충격 정보를 표시할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 제논 고순도화 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 공급 배관(101)을 따라 상기 공급 탱크(180) 내의 혼합 가스가 유동된다.
이러한 유동 중의 상기 혼합 가스가 상기 수분 여과 부재(110) 및 상기 질소 및 산소 여과 부재(115)를 순차적으로 경유하면서, 상기 혼합 가스 중의 수분, 질소 및 산소가 제거되고, 그러한 상태로 상기 콜드 트랩 부재(130)로 유입된다.
상기 콜드 트랩 부재(130)으로 유동된 혼합 가스는 상기 저온 냉매의 냉기에 의해 냉각되고, 그에 따라 상기 혼합 가스 중의 제논은 동결되고 크립톤은 기체 상태를 유지한 상태가 되면서 분리되고, 동결 상태인 제논은 상기 콜드 트랩 부재(130)의 하부로 낙하되고, 기체 상태의 크립톤은 상승된다.
상기 콜드 트랩 부재(130)의 하부로 낙하된 제논은 상기 제논 유동 배관(103)을 통해 상기 제논 저장 탱크(155)에 저장되고, 상기 콜드 트랩 부재(130)의 상부로 유동된 크립톤은 상기 크립톤 유동 배관(102)을 통해 상기 크립톤 저장 탱크(150)에 저장된다.
상기와 같이, 상기 제논 고순도화 장치(100)가 상기 공급 탱크(180)와, 상기 콜드 트랩 부재(130)와, 상기 제논 저장 탱크(155)를 포함함에 따라, 열교환기, 제논 흡탈착기 등이 별도로 구비될 필요가 없고, 그에 따라 제논과 크립톤이 함유된 혼합 가스에서 제논을 분리하여 고순도화하기 위한 구성 요소들이 컴팩트해질 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 제논 고순도화 장치에 의하면, 제논을 분리하여 고순도화하기 위한 구성 요소들이 컴팩트해질 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 제논 고순도화 장치
130 : 콜드 트랩 부재
155 : 제논 저장 탱크
180 : 공급 탱크

Claims (3)

  1. 제논 및 크립톤을 함유한 혼합 가스가 수용된 공급 탱크;
    상기 공급 탱크에서 공급되는 상기 혼합 가스로부터 상기 제논을 분리할 수 있는 콜드 트랩 부재;
    상기 콜드 트랩 부재에서 분리된 상기 제논을 저장하는 제논 저장 탱크; 및
    상기 콜드 트랩 부재 내부에 배치되어, 상기 콜드 트랩 부재의 수직도를 감지하는 균형 감지 부재;를 포함하고,
    상기 균형 감지 부재는
    상기 콜드 트랩 부재에 부착되고 내부가 빈 원형 실린더 형태로 형성되는 균형 감지 부재 케이스와,
    상기 균형 감지 부재 케이스 내부의 상단에서 그 하측으로 돌출되는 회동 연결부와,
    상기 회동 연결부에 회동 가능하게 걸려 중력 방향으로 향하도록 회동될 수 있는 회동체와,
    상기 회동체의 말단부에 배치되는 영구 자석인 회동 마그넷과,
    상기 균형 감지 부재 케이스의 내부의 저면에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 자력 변화를 감지하는 균형 감지 홀 센서와,
    상기 균형 감지 부재 케이스의 각 내측면의 각 하부에 배치되어 상기 회동체에 매달려 회동되는 상기 회동 마그넷의 접촉을 감지할 수 있는 균형 감지 접촉 센서를 포함하고,
    상기 회동체와 상기 회동 마그넷은 자중에 의해 상기 회동 연결부에 연결된 상태로 항상 중력 방향을 향하게 되고,
    상기 균형 감지 홀 센서는 상기 균형 감지 부재 케이스의 내부의 저면 상의 중앙과 그 양 측으로 일정 간격 이격되도록 세 개 이상으로 설치되고,
    상기 콜드 트랩 부재가 정상적인 자세를 유지하는 동안, 상기 회동 마그넷은 상기 균형 감지 홀 센서 중 중앙의 것에 의해 감지되는 상태를 유지하고,
    상기 콜드 트랩 부재가 임의로 기울어지기 시작하면, 상기 콜드 트랩 부재의 기울어지는 정도만큼 상기 회동체가 중력에 의해 회동되면서 상기 회동 마그넷의 위치가 변동됨에 따라 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지되는 자력이 변화됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재의 기울어지기 시작함이 감지되고,
    상기 콜드 트랩 부재가 최대값으로 기울어지면, 상기 회동 마그넷의 위치 변동에 따른 자력 변화 최대값이 상기 균형 감지 홀 센서에 의해 감지됨과 함께, 상기 회동 마그넷이 상기 균형 감지 접촉 센서와 접촉됨으로써, 상기 콜드 트랩 부재의 최대 기울어짐이 감지될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 제논 고순도화 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제논 고순도화 장치는
    상기 공급 탱크와 상기 콜드 트랩 부재를 연결하여, 상기 공급 탱크의 상기 혼합 가스가 상기 콜드 트랩 부재로 유동되는 통로가 되는 공급 배관;
    상기 공급 배관을 통해 공급된 상기 혼합 가스가 상기 콜드 트랩 부재를 경유하는 과정에서 분리된 상기 제논이 유동되는 통로가 되는 제논 유동 배관;
    상기 공급 배관 상에 배치되되 상기 콜드 트랩 부재의 전단에 배치되어, 상기 공급 배관을 통해 유동되는 상기 혼합 가스 중의 수분을 제거하는 수분 여과 부재; 및
    상기 공급 배관 상에 배치되되 상기 콜드 트랩 부재의 전단에 배치되어, 상기 공급 배관을 통해 유동되는 상기 혼합 가스 중의 질소 및 산소를 제거하는 질소 및 산소 여과 부재;를 포함하고,
    상기 콜드 트랩 부재는 그 내부에 저온 냉매가 수용됨으로써, 상기 공급 배관을 통해 공급된 상기 혼합 가스가 상기 콜드 트랩 부재를 경유하는 과정에서 상기 혼합 가스로부터 상기 제논이 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 제논 고순도화 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 회동 연결부는
    상기 균형 감지 부재 케이스의 상단면으로부터 그 하방으로 일정 길이 돌출되는 회동 연결 몸체와,
    상기 회동 연결 몸체의 저면으로부터 그 상방으로 일정 깊이 함몰 형성되는 회동 연결 홈과,
    상기 회동체의 상단에 연결되는 구 형태의 것으로 상기 회동 연결 홈 내부에 회동 가능하게 삽입되는 회동구체와,
    상기 회동 연결 몸체의 각 내면에서 상기 회동 연결 홈 내측으로 일정 길이 돌출되어 상기 회동 연결 홈에 삽입된 상기 회동구체가 걸리도록 하는 구체 걸림 돌기를 포함하고,
    상기 구체 걸림 돌기는 상기 회동 연결 몸체의 서로 다른 높이 상에 복수 개 형성되고,
    복수 개의 상기 구체 걸림 돌기 중 최상측의 것에 상기 회동구체가 걸린 상태로 상기 회동체가 중력 방향을 향하게 회동되다가, 상기 콜드 트랩 부재에 중력 방향으로 충격이 가해지는 경우, 상기 충격에 의해 상기 회동구체가 복수 개의 상기 구체 걸림 돌기 중 최상측의 것에서 이탈되어 복수 개의 상기 구체 걸림 돌기 중 상기 최상측의 것 바로 아래의 것으로 하강되어 걸리게 됨으로써, 상기 회동체 및 상기 회동 마그넷도 함께 낙하되고, 그에 따라 상기 회동 마그넷과 상기 균형 감지 홀 센서가 상대적으로 더 근접되면서 상기 콜드 트랩 부재(130)에 중력 방향으로 가해진 상기 충격이 감지될 수 있게 되는 것을 특징으로 하는 제논 고순도화 장치.
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