KR102184159B1 - 칠러의 고장 예지 시스템 - Google Patents

칠러의 고장 예지 시스템 Download PDF

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Abstract

반도체나 디스플레이 패널 제조공정에서 사용되는 칠러의 구성부의 고장을 예지하여 제조공정의 손실을 최소화하는 칠러의 고장 시스템이 개시된다. 상기 시스템은, 구동유닛; 상기 구동유닛을 구동하는 구동 드라이브; 상기 구동유닛의 전원 공급라인에 설치되는 변류기; 상기 변류기에서 측정한 전류를 전달받는 전력계; 온도, 유량, 압력, 및 비저항을 측정하는 센싱부; 및 상기 센싱부로부터 수신한 측정값에 기초하여 상기 구동 드라이브를 제어하고, 상기 전력계를 통하여 상기 변류기에서 측정한 전류를 참조하여 상기 구동유닛의 가동 상태를 진단하는 제어부를 포함한다.

Description

칠러의 고장 예지 시스템{System for predicting chiller trouble}
본 발명은 칠러의 고장 예지 시스템에 관한 것으로, 특히 반도체나 디스플레이 패널 제조공정에서 사용되는 칠러의 구성부의 고장을 예지하여 제조공정의 손실을 최소화하는 기술에 관련한다.
반도체나 디스플레이 패널 제조공정에서 사용되는 칠러는 매우 중요하며 칠러의 고장은 제조공정을 중단시키므로 고장으로 인한 파급력은 매우 크기 때문에 칠러의 주요 구동부 상태를 측정하고 고장을 예측하는 기술을 통해 칠러의 예상치 못한 고장을 최소화하는 기술은 반도체 시장에 절대적으로 필요한 기술이다.
종전의 기술은 온도, 유량, 압력을 기반으로 상태를 분석한 고장 예지 기술로 이미 핵심 부품의 고장이 진행되어 악화되고 나서 심각한 고장 형태로 발견되기 때문에 부품의 고장이 진행되는 초기에 이를 감지해 시스템 전체가 정지되는 것을 막는 것이 필요하다.
예를 들어, 본 출원인에 의한 국내 공개특허 제2013-0033771호는 인가되는 부하 대비 냉각밸브의 개도량을 인식하여 현재의 칠러가 정상 상태인지 또는 비정상 상태인지를 간단하게 판단할 수 있는 방법을 개시하는데, 마찬가지로 이미 부품의 성능 악화 등의 변화가 발생할 경우에 판단하게 된다.
전술한 바와 같이, 칠러의 가동 상태를 토대로 고장 예지를 하기 때문에 주요 구동부, 가령 히터, 압축기, 펌프 등의 고장이 상당히 진행된 상태에서 칠러에 영향을 주기 시작하고 다양한 고장 형태로 나타나거나 아니면 성능 저하 없이 고장으로 발현되는 경우가 많기 때문에 고장 진단 정확도와 신뢰성이 떨어진다.
따라서, 본 발명의 목적은 칠러 구동부의 운전 전류를 분석해 고장 형태를 파악하여 칠러의 구동 정지를 최소화할 수 있는 고장 예지 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 칠러 구동부의 절연 상태를 측정해 구동부의 고장 추이를 알 수 있는 고장 예지 시스템을 제공하는 것이다.
상기의 목적은, 칠러의 구성 부품의 고장을 예지하는 시스템으로서, 구동유닛; 상기 구동유닛을 구동하는 구동 드라이브; 상기 구동유닛의 전원 공급라인에 설치되는 변류기; 상기 변류기에서 측정한 전류를 전달받는 전력계; 온도, 유량, 압력, 및 비저항을 측정하는 센싱부; 및 상기 센싱부로부터 수신한 측정값에 기초하여 상기 구동 드라이브를 제어하고, 상기 전력계를 통하여 상기 변류기에서 측정한 전류를 참조하여 상기 구동유닛의 가동 상태를 진단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 칠러의 고장 예지 시스템에 의해 달성된다.
바람직하게, 상기 구동유닛은 히터를 포함하고, 상기 제어부는 상기 변류기가 측정한 각 상의 전류값을 비교하여 2상 사이의 단선이나, 어느 1상의 전원 결상을 판정한다.
더욱 바람직하게, 상기 제어부는, a) 임의의 2상이 감소한 동일 전류 피크값이 측정되고, 나머지 1상이 정격 전류가 측정되면 해당 2상 사이에 단선이 발생한 것으로 판정하고, 나머지 1상이 0으로 측정되면 해당 1상이 전원 결상된 것으로 판정하는 피크값 검출법, b) 1상이 정격 전류의 100%가 측정되고 나머지 2상이 정격 전류의 일정 비율로 측정되는 경우 해당 2상 사이에서 단선이 발생한 것으로 판정하고, 1상의 전류값이 0으로 측정되고 나머지 2상이 일정 비율로 측정되는 경우 해당 1상이 전원 결상된 것으로 판정하는 전류비 검출법을 이용한다.
바람직하게, 상기 구동유닛은 모터를 구비한 순환 펌프와 압축기를 포함하며, 상기 제어부는, 각 상의 전류값의 배열 패턴으로부터 벗어나는 상 또는 각 상의 전류값 중 오차범위를 벗어나는 상에서 층간 단락이 발생한 것으로 판정한다.
바람직하게, 상기 구동유닛은 스텝 모터를 구비한 전자 밸브를 포함하며, 상기 스텝 모터에 인가되는 입력 펄스(step signal)의 개수를 상기 구동 드라이브가 확인하여 상기 제어부으로 전달하고, 상기 제어부는 이를 누적하여 상기 스텝 모터의 총 회전수를 판정한다.
바람직하게, 상기 구동유닛에서 발생한 누설 전류를 측정하여 상기 전력계에 전달하는 영상 변류기를 더 포함하며, 상기 제어부는, 상기 전력계로부터 수신한 누설 전류에 기초하여 누설 여부를 판정하여 상기 칠러가 구비한 누전차단기의 트립을 일정한 차단용량으로 관리한다.
본 발명에 의하면, 칠러의 주요 구성부인 히터의 단선이나 결상을 감지하고, 모터를 구비한 순환 펌프나 압축기의 층간 단락을 감지할 수 있어 예기치 못한 고장으로 발생하는 제조 손실을 최소화할 수 있고 신뢰성을 높일 수 있다.
또한, 칠러의 구동부의 누전 여부를 확인해 주요 구성부의 절연 파괴 진행 상태를 파악할 수 있다.
또한, 전자 밸브의 회전수를 파악할 수 있어 제조사에서 권장하는 사용 횟수에 근접하면 교체를 유도할 수 있어 고장관리가 가능하다.
도 1은 본 발명에 따른 고장 예지 시스템을 보여주는 블록도이다.
도 2는 히터의 고장 유형을 보여주는데, 2(a)는 정상 상태를 보여주고, 2(b)는 단선을 보여주며, 2(c)는 전원 결상을 보여준다.
도 3은 히터의 고장을 감지하는 방법을 보여주는데, 도 3(a)은 피크값 검출법에 의한 히터의 고장 진단을 보여주고, 도 3(b)은 전류비 검출법에 의한 히터의 고장 진단을 보여준다.
도 4는 전동 모터에서 발생하는 고장의 형태를 보여준다.
도 5는 층간 단락을 감지하는 방법을 보여준다.
도 6은 전자 밸브의 수명을 예지하는 과정을 보여준다.
본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 발명에서 사용되는 기술적 용어는 본 발명에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시 예를 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 고장 예지 시스템을 보여주는 블록도이다.
칠러는 반도체 및 디스플레이 패널 제조공정에 사용되는 온도조절장치로서, 본 발명은 칠러를 구성하는 각 구동유닛의 전류를 측정하여 구동부의 고장상태를 진단하고 예지하는 시스템이다.
도 1을 참조하면, 칠러(100)를 구성하는 구동유닛(120)은 히터(121), 압축기(122), 순환펌프(123) 및 전자 밸브(124)를 포함하는데, 히터(121), 압축기(122), 순환펌프(123)의 전원 공급라인에는 변류기(current transformer)(131, 132, 133)가 설치되고 구동 드라이브(141, 142, 143)에 연결되고, 전자 밸브(124)는 구동 드라이브(144)에 연결된다.
구동 드라이브(140)는 구동유닛(120)에 따라 다르며, 히터(121)는 무접점 릴레이(SSR)나 SCR(141)에 의해 구동되고, 압축기(122)와 순환펌프(123)는 인버터나 전자 접촉기(142, 143)에 의해 구동되며, 전자 밸브(124)는 인터페이스 보드(144)에 의해 구동된다.
각 구동 드라이브(141, 142, 143, 144)는 제어부(110)의 명령에 따라 각 구동유닛(121, 122, 123, 124)의 구동을 제어한다.
각 변류기(131, 132, 133)는 각 구동유닛, 즉 히터(121), 압축기(122), 및 순환펌프(123)의 운전 전류를 측정하여 전력계(150)에 전달한다.
또한, 고장 예지 시스템은 영상 변류기(zerocross current transformer) (170)를 구비하여 칠러(100)에서 발생한 누설전류를 측정하여 전력계(150)에 전달한다.
또한, 센싱부(160)는 온도, 유량, 압력, 비저항 등 데이터를 측정하여 이를 제어부(110)에 전달한다.
제어부(110)는, 가령 마이크로프로세서일 수 있으며, 상기한 것처럼, 센싱부(160)로부터 수신한 온도, 유량, 압력, 비저항 등의 측정값에 기초하여 각 구동 드라이브(141, 142, 143, 144)를 제어하고, 전력계(150)를 통하여 각 변류기(131, 132, 133)와 영상 변류기(170)에서 측정한 전류를 참조하여 히터(121), 압축기(122), 순환펌프(123)의 가동 상태를 진단하고, 전자 밸브(124)의 수명을 예측한다.
제어부(110)는 히터(121), 압축기(122), 순환펌프(123)의 가동 상태를 진단하면서, 히터(121)의 경우 결상, 히터 단선을 측정할 수 있고, 압축기(122)와 순환펌프(123)의 경우 코일의 층간 단락, 선간 단락 및 1선 지락을 측정할 수 있어 고장 예지가 가능하다.
또한, 제어부(110)는 전자 밸브(124)의 스텝모터에 입력되는 펄스 횟수를 기준으로 인터페이스 보드(144)로부터 수신한 스텝 신호로부터 스텝모터의 총 회전 수를 파악할 수 있다.
도 2는 히터의 고장 유형을 보여주는데, 2(a)는 정상 상태를 보여주고, 2(b)는 단선을 보여주며, 2(c)는 전원 결상을 보여준다.
이하에서는 히터(121)가 3상 220V에서 1kW 용량을 구비하는 것으로 가정하여 설명한다.
가열장치인 히터(121)는 단선이나 전원 결상이 발생하더라도 칠러에 눈으로 보이는 고장이 아닌 칠러의 가열 능력만 떨어트려 칠러의 성능저하로 나타나며 이는 칠러의 성능이 달라지므로 공정에 악영향을 미칠 수 있다.
도 2(a)는 히터가 정상 상태인 경우를 나타내어 R/S/T 모두 같은 전류값이 측정된다.
도 2(b)는 히터(121)가 일부가 끊어지는 단선을 나타내는데, 이 예에서 단선 부분 A는 R상과 S상 사이에서 발생하는데, 단선이 발생한 지점이 개재된 각 상, 여기서는 R상과 S상의 전류값 IR과 IS가 감소한다.
도 2(c)는 히터(121)로 전력이 공급되지 않는 전원 결상을 나타내며, 이 예에서 결상 부분 B가 T상에서 발생하여 T상의 전류값 IT는 0이 된다.
이외에 히터(121)의 절연이 파괴되어 외부로 전류가 새는 누전이 있을 수 있으며, 이는 영상 변류기(170)에서 누설 전류도 측정된다.
따라서, 도 1과 같이, 히터(121)에서 측정되는 전류를 변류기(131)가 측정하여 전력계(150)로 보내고 이를 제어부(110)에서 받아 히터(121)의 단선과 전원 결상을 파악할 수 있다.
도 3은 히터의 고장을 감지하는 방법을 보여주는데, 도 3(a)은 피크값 검출법에 의한 히터의 고장 진단을 보여주고, 도 3(b)은 전류비 검출법에 의한 히터의 고장 진단을 보여준다.
히터(121)가 단선, 전원 결상시 전류공급 상태가 다르지만 그 비율이 일정하기 때문에 이를 이용해 고장을 예지할 수 있다.
히터(121)의 제어는 제어부(110)에서 센싱부(160)가 감지한 온도를 기준으로 PID 제어를 통해 온/오프(On/Off) 신호를 구동 드라이브(141)로 보내 히터(121)에 전원을 온/오프 형태로 공급하여 이루어지는데, 출력량이 적으면 구동 드라이브(141)의 온/오프 제어 속도가 짧아 전력계(150)와 제어부(110)와의 통신 속도 등 제어 특성이 고려되어야 하기 때문에 본 발명은 히터 고장진단 방법을 두 가지 방법으로 고안하였다.
도 3(a)은 피크값 검출법에 의한 히터의 고장 진단을 보여준다.
예를 들어, 도 2(b)와 같이 R상과 S상 사이에서 단선이 발생한 경우, 도 3(a)의 그래프와 같이, T상은 정격 전류인 2.85A의 전류 피크값이 측정되고 R상과 S상은 동일한 1.64A의 전류 피크값이 측정된다. 그 결과, R상과 T상의 사이에서 히터(121)의 단선이 발생하였음을 알 수 있다.
다시 말해, 단순히 히터(121)의 정격 전류만으로는 고장 형태를 판단할 수 없기 때문에 히터(121)의 R상, S상, T상 중 어느 하나에서 정격 전류가 측정될 때마다 나머지 상을 측정하면 히터(121)의 고장을 판별할 수 있다.
또한, 도 2(c)와 같이 전원 결상이 발생한 경우, R상과 S상은 일정 비율로 감소한 2.47A의 전류 피크값이 측정되고 결상이 발생한 T상은 0A가 측정되어 전원 결상을 판별할 수 있다.
도 3(b)은 전류비 검출법에 의한 히터의 고장 진단을 보여준다.
전류비 검출법은 각 상의 전류를 측정했을 때 고장상황에 따라 전류비가 달라지며 이 비율이 어떠한 용량의 3상 히터에도 같다는 특징을 이용해 히터의 단선과 전원 결상을 찾아낼 수 있다.
도 3(b)의 표를 보면, 도 2(b)의 단선의 경우, T상은 정격 전류의 100%가 측정되고 R상과 S상은 정격 전류의 58.3%가 측정됨으로써, R상과 S상 사이에서 단선이 발생하였음을 알 수 있다.
또한, 도 2(c)의 전원 결상의 경우, 전원 결상이 발생한 T상의 전류값은 0%로 측정되며 나머지 두 상, 즉 R상과 S상은 86.7%가 측정되며 이 비율은 히터 용량과 상관없이 일정하다.
따라서, 피크값 검출법 또는 전류비 검출법을 통하여 히터 고장, 즉 단선이나 전원 결상을 찾아낼 수 있다.
도 4는 전동 모터에서 발생하는 고장의 형태를 보여준다.
냉각장치인 압축기(122)와 순환장치인 펌프(123)는 모터로 구성되기 때문에 모터의 고장은 모터 내부에 있는 고정자 혹은 회전자에 감겨있는 코일의 열화 및 손상에 기인한다.
도 4를 참조하면, 고장의 형태는 같은 상의 코일에서 발생하는 층간 단락(10), 다른 상의 코일끼리 영향을 줘 발생하는 선간 단락(20), 그리고 에나멜 코일 손상에 의해 전류가 외부로 새는 1선 지락(30)이 있다.
통상, 모터의 대부분의 고장은 에나멜 코일의 열화에 의한 것으로, 코일이 가지고 있는 절연등급과 관계가 있고, 코일 절연등급의 온도를 초과해 온도가 10℃씩 올라갈 때마다 수명은 1/2로 줄어드는 특성이 있기 때문에 모터의 수명은 절연물의 온도와 직접적인 연관이 있다.
모터에서 열이 가장 많이 나는 부분은 코일의 중심부이므로, 층간 단락의 고장 유형이 가장 많다고 할 수 있다.
또한, 층간 단락에 의해 코일의 권수비가 달라지므로 정상보다 전류가 높아 발열을 가속화시키고 종국엔 선간 단락과 1선 지락을 유발하게 된다. 따라서, 층간 단락은 모터 동작에는 영향을 주지 않지만 선간 단락과 1선 지락은 모터 구동이 즉시 정지되어 칠러 시스템을 중지시키는 심각한 고장이기 때문에 발생 빈도가 높은 층간 단락을 찾는 것이 중요하다.
도 1과 같이, 압축기(122)와 순환 펌프(123)의 제어는 제어부(110)에서 전자 접촉기를 조작해 전원을 투입함으로써 정속 운전을 하거나 인버터를 통한 주파수 조작으로 속도 제어가 가능하다. 압축기(122)와 순환 펌프(123)는 보통 칠러가 동작하면 정지되기 전까지 무조건 동작하는 구조이기 때문에 제어 특성은 크게 없으며 전류측정으로 고장 진단이 가능하다.
도 5는 층간 단락을 감지하는 방법을 보여준다.
이 실시 예에 의하면, ΔI 감지법과 I-패턴 감지법을 통하여 층간 단락을 알아낼 수 있다.
먼저, I-패턴 감지법을 설명하면, 모터는 초기 기동상태에 따라 전류의 패턴이 일정하다. 예를 들어, 도 5(a)의 그래프를 보면, 정상 시의 각 상의 전류 패턴은 대체로 S-R-T 순으로 정렬되는 것을 확인할 수 있다. 물론, 순간적으로 이 패턴이 바뀌지만 전체적인 패턴에서는 S-R-T의 순서를 유지하는 횟수가 많다.
반면, 도 5(b)의 그래프를 참조하면, 층간 단락이 발생한 경우, 전류 패턴은 R-T-S 순으로 바뀜으로써 층간 단락을 확인할 수 있다.
ΔI 감지법에 의하면, 정상적인 상태에서 R상, S상, T상의 전류값은, 도 4(a)와 같이 오차범위에서 서로 일정하게 측정되는 반면, 층간 단락이 발생하면 코일의 권선비가 바뀌므로, 도 5(b)와 같이, 층간 단락이 발생한 상, 이 예에서는 R상의 전류가 크게 측정되어 확인할 수 있다.
결론적으로, 본 발명에서는 ΔI 감지법과 I-패턴 감지법을 통하여 모터의 고장을 진단함으로써 궁극적으로 압축기(122)와 순환 펌프(123)의 고장을 예지할 수 있다.
도 1을 참조하면, 누설전류는 영상 변류기(170)를 통해 측정할 수 있다. 본 발명에서는 칠러 전체의 누설전류를 측정할 수 있도록 고안하였으며, 히터(121), 압축기(122), 순환 펌프(123) 및 기타 구동유닛에서 발생한 누전 상태를 집계하여 전력계(150)을 통해 제어부(110)에 전달함으로써, 제어부(110)가 누설 여부를 판단하여 칠러에서 사용하고 있는 누전차단기의 차단 누전 차단용량인 30mA 미만에서 관리되도록 한다.
즉, 누전을 감지해서 차단용량인 30mA를 초과하지 않도록 하여 예상치 못한 차단기 트립으로 발생하는 전원 오프를 막을 수 있도록 함으로써 칠러의 주요 구동부 고장 유형을 대부분 확인할 수 있도록 한다.
도 6은 전자 밸브의 권장 수명을 예지하는 방법을 보여준다.
전자 밸브(124)의 스텝 모터는 입력 펄스(step signal)에 의해 동작하므로 입력 펄스는 곧 동작 횟수를 의미한다.
따라서, 스텝 모터에 입력되는 펄스 개수를 인터페이스 보드(144)가 확인하여 이에 대응하는 신호로, 가령 1000펄스 당 하나의 신호를 제어부(110)로 보내면 제어부(110)는 이를 누적하여 스텝 모터의 총 회전수를 파악할 수 있다.
종래에는 대용량 밸브의 수명을 예지하는 방법으로, 인코더나 홀 센서를 장착하여 절대 위치를 기준으로 수명을 파악할 수 있는 기술이 있지만, 구조적으로 인코더나 홀 센서를 장착할 수 없는 작은 크기의 밸브에 적용하기 어려웠다.
그런데 스텝 모터에 의해 동작하는 밸브가 용량이 작고 제어하는 유체에 부하가 적어 스텝 모터로 가는 신호가 누적 오차 없이 정확히 동작한다면, 스텝 모터로 출력되는 신호를 기반으로 스텝 모터의 수명을 유추할 수 있다.
본 발명은 인코더나 홀 센서 장착이 불가능한 소형 전자 밸브에 스텝 모터에 인가되는 펄스 개수를 기반으로 스텝 모터의 회전수를 확인함으로써 전자 밸브(124)의 권장 수명을 예지할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시 예를 중심으로 설명하였지만, 당업자의 수준에서 다양한 변경을 가할 수 있음은 물론이다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 상기한 실시 예에 한정되어 해석될 수 없으며, 이하에 기재되는 청구범위에 의해 해석되어야 한다.
100: 칠러
110: 제어부
121: 히터
122: 압축기
123: 순환 펌프
124: 전자 밸브
131, 132, 133: 변류기
141, 142, 143, 144: 구동 드라이브
150: 전력계
160: 센싱부
170: 영상 변류기

Claims (7)

  1. 칠러가 구비한 다수의 구성유닛을 각각 구동하는 구동 드라이브, 상기 각 구동유닛의 전원 공급라인에 설치되는 변류기, 상기 각 변류기에서 측정한 전류를 전달받는 전력계, 및 상기 전력계를 통하여 상기 각 변류기에서 측정한 전류를 참조하여 상기 각 구동유닛의 가동 상태를 진단하는 제어부를 포함하며,
    상기 구동유닛은 히터를 포함하고,
    상기 제어부는,
    a) 임의의 2상이 감소한 동일 전류 피크값이 측정되고, 나머지 1상이 정격 전류가 측정되면 해당 2상 사이에 단선이 발생한 것으로 판정하고, 나머지 1상이 0으로 측정되면 해당 1상이 전원 결상된 것으로 판정하는 피크값 검출법,
    b) 1상이 정격 전류의 100%가 측정되고 나머지 2상이 정격 전류의 일정 비율로 측정되는 경우 해당 2상 사이에서 단선이 발생한 것으로 판정하고, 1상의 전류값이 0으로 측정되고 나머지 2상이 일정 비율로 측정되는 경우 해당 1상이 전원 결상된 것으로 판정하는 전류비 검출법을 이용하는 것을 특징으로 하는 칠러의 고장 예지 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에서,
    상기 구동유닛은 모터를 구비한 순환 펌프와 압축기를 더 포함하고,
    상기 제어부는, 상기 모터의 각 상의 전류값의 배열 패턴으로부터 벗어나는 상 또는 각 상의 전류값 중 오차범위를 벗어나는 상에서 층간 단락이 발생한 것으로 판정하는 것을 특징으로 하는 칠러의 고장 예지 시스템.
  5. 청구항 1에서,
    상기 구동유닛은 스텝 모터를 구비한 전자 밸브를 더 포함하며,
    상기 스텝 모터에 인가되는 입력 펄스(step signal)의 개수를 상기 구동 드라이브가 확인하여 상기 제어부로 전달하고, 상기 제어부는 이를 누적하여 상기 스텝 모터의 총 회전수를 판정하는 것을 특징으로 하는 칠러의 고장 예지 시스템.
  6. 청구항 1에서,
    상기 구동유닛에서 발생한 누설 전류를 측정하여 상기 전력계에 전달하는 영상 변류기를 더 포함하며,
    상기 제어부는, 상기 전력계로부터 수신한 누설 전류에 기초하여 누설 여부를 판정하여 상기 칠러가 구비한 누전차단기의 트립을 일정한 차단용량으로 관리하는 것을 특징으로 하는 칠러의 고장 예지 시스템.
  7. 청구항 1에서,
    온도, 유량, 압력, 및 비저항을 측정하는 센싱부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 센싱부로부터 수신한 측정값에 기초하여 상기 구동 드라이브를 제어하는 것을 특징으로 하는 칠러의 고장 예지 시스템.
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