KR102183888B1 - turning parts maintenance unit of substrate transfer apparatus - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a rotating unit repair apparatus for a substrate transport apparatus. An objective of the present invention to facilitate work access as well as replacement work for a bearing, a reducer, etc. provided on a rotating portion of a rotating unit by lifting at once without overall disassembly when performing replacement or maintenance and repair work for the bearing, the reducer, etc. provided on the rotating portion. According to the present invention, the rotating unit repair apparatus for a substrate transport apparatus lifts and repairs a transport arm (12), a lifting unit (14), and a rotating unit (16) of a substrate transport apparatus including the transport arm (12) to support a substrate, the lifting unit (14) on which the transport arm is installed to be lifted, and a rail unit (18) on which the rotating unit (16) for rotating the transport arm (12) is installed to be slid and moved. The rotating unit repair apparatus comprises: a support frame (20) installed across the upper surface of the rail unit (18), and installed to support the lifting unit (14) and rotating unit (16) from below; a lift apparatus (22) which is installed underneath both the left and right ends of the support frame (20), and supports and lifts the lower surfaces of both the left and right ends of the support frame (20); and a guide apparatus to support the lift apparatus (22) to be slid and moved in the longitudinal direction of the rail unit (18).

Description

기판 이송장치용 선회부 보수장치{turning parts maintenance unit of substrate transfer apparatus}Turning parts maintenance unit of substrate transfer apparatus TECHNICAL FIELD

본 발명은 기판 이송장치용 선회부 보수장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 선회부의 회전부분에 구비되는 베어링, 감속기 등에 대하여 교체 또는 유지 보수 작업시, 전체적인 분해 없이 한꺼번에 들어올리는 것으로 회전부분에 구비되어 있는 베어링, 감속기 등에 대한 교체작업은 물론, 작업 접근이 용이하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a slewing unit repair device for a substrate transfer device, and more particularly, in the case of replacement or maintenance work for bearings, reducers, etc. provided in the rotating part of the slewing unit, it is provided in the rotating part by lifting it at once without overall disassembly. It is designed to facilitate access to work as well as replacement work for existing bearings and reducers.

일반적으로 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(substrate)을 이용하여 이루어진다.In general, display devices, solar cells, semiconductor devices, etc. (hereinafter referred to as'electronic components') are manufactured through various processes. This manufacturing process is performed using a substrate for manufacturing the electronic component.

예컨대, 상기 제조 공정은 기판상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어지며 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 상기 기판을 이송하는 기능을 담당하게 된다.For example, the manufacturing process may include a deposition process for depositing a thin film such as a conductor, a semiconductor, or a dielectric on a substrate, and an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern. These manufacturing processes are performed in a process chamber performing a corresponding process, and a substrate transfer device is responsible for transferring the substrate between the process chambers.

도 1을 통해 앞서 소개된 기판 이송장치(10)의 구성을 간략히 살펴보면, 기판 이송장치(10)는 기판을 지지하는 이송암(12)과, 상기 이송암(12)을 승강시키기 위한 승강부(14) 및 상기 이송암(12)을 회전시키기 위한 선회부(16)와, 바닥에 설치되고 상기 선회부(16)가 슬라이드 이동 가능하게 결합 되는 레일부(18)를 포함하여 구성된다.Looking briefly at the configuration of the substrate transfer device 10 introduced above through FIG. 1, the substrate transfer device 10 includes a transfer arm 12 supporting a substrate, and an elevating part for lifting the transfer arm 12 ( 14) and a swing unit 16 for rotating the transfer arm 12, and a rail unit 18 installed on the floor and to which the swing unit 16 is slidably coupled.

그런데, 위와 같이 구성된 기판 이송장치(10)에서 선회부(16)의 회전부분에 구비되는 베어링, 감속기 등에 대한 교체 또는 유지 보수 작업시 이송암(12), 승강부(14), 선회부(16) 및 이와 관련된 부품을 모두 분해해야지만 작업접근은 물론, w정비 작업을 할 수 있다는 문제가 있다.By the way, in the substrate transfer device 10 configured as above, the transfer arm 12, the elevating part 14, and the slewing part 16 during replacement or maintenance work for bearings, reducers, etc. provided in the rotating part of the turning part 16 ) And all related parts must be disassembled, but there is a problem that it is possible to do maintenance work as well as work access.

또한, 기판 이송장치(10)의 전체적인 분해 및 재조립으로 인하여 많은 시간의 소요와 함께 번거로움이 발생하는 문제가 있었다. 특히, 이송암(12), 승강부(14), 선회부(16) 등이 고중량이어서 분해 및 재조립 과정에서 자칫 안전사고와 장치 파손이 발생하는 문제가 있었다.In addition, due to the overall disassembly and reassembly of the substrate transfer device 10, there is a problem that it takes a lot of time and causes trouble. In particular, the transfer arm 12, the elevating part 14, the turning part 16, etc. are heavy, so there is a problem that safety accidents and device damage occur during the disassembly and reassembly process.

대한민국공개특허공보 공개번호 10-2018-0029535호Korean Patent Application Publication No. 10-2018-0029535

본 발명은 선회부의 회전부분에 구비되는 베어링, 감속기 등에 대하여 교체 또는 유지 보수 작업시, 전체적인 분해 없이 한꺼번에 들어올려 회전부분에 구비되어 있는 베어링, 감속기 등에 대한 교체작업은 물론, 작업 접근이 용이하게 이루어질 수 있도록 한 기판 이송장치용 선회부 보수장치를 제공하는데 목적이 있다.In the present invention, during replacement or maintenance work on bearings, reducers, etc. provided in the rotating part of the revolving part, it is lifted at once without overall disassembly and replacement work for bearings, reducers, etc. provided in the rotating part, as well as work access is made easy. It is an object of the present invention to provide a rotating part repair device for a substrate transfer device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치는, 기판을 지지하는 이송암(12), 상기 이송암(12)이 승강 가능하게 설치된 승강부(14), 상기 이송암(12)이 회전하도록 하는 선회부(16)가 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 레일부(18)를 포함하는 기판 이송장치의 상기 이송암(12), 승강부(14) 및 선회부(16)를 들어올려 보수하기 위한 선회부 보수 장치로서, 상기 레일부(18)의 상면을 가로질러 설치되고, 상기 승강부(14) 및 상기 선회부(16)를 아래에서 받치도록 설치되는 서포트 프레임(20); 상기 서포트 프레임(20)의 좌우 양단 아래에 설치되고, 상기 서포트 프레임(20)의 좌우 양단 하면을 받쳐서 들어올리는 리프트 장치(22); 상기 리프트 장치(22)를 상기 레일부(18)의 길이방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 가이드 장치(24); 를 포함하여 이루어진다.In order to achieve the above object, the revolving part maintenance apparatus for a substrate transfer device according to the present invention includes a transfer arm 12 supporting a substrate, an elevating part 14 in which the transfer arm 12 is installed to be elevating, The transfer arm 12, the elevating part 14, and the turning part of the substrate transfer device including the rail part 18 on which the turning part 16 for rotating the transfer arm 12 is installed to be slidably moved ( 16) A support frame installed across the upper surface of the rail part 18 and installed to support the lifting part 14 and the turning part 16 from below. (20); A lift device (22) installed below the left and right ends of the support frame (20) and lifting by supporting the lower surfaces of the left and right ends of the support frame (20); A guide device (24) supporting the lift device (22) to be slidably moved along the longitudinal direction of the rail part (18); It is made including.

본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치에 있어서, 상기 서포트 프레임(20)은, 상기 승강부(14)를 아래에서 받치도록 설치되는 제1 서포트 바(20a)와; 일측 단부가 상기 제1 서포트 바(20a)의 길이방향 양단부에 고정됨과 함께, 타측 단부가 상기 레일부(18)를 가로지르는 방향으로 연장되어 나란히 배치되는 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)와; 상기 제1 서포트 바(20a)의 반대편에서 상기 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)의 타측 단부를 건너질러서 고정하는 제4 서포트 바(20d)와; 상기 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)의 중간 부분을 가로질러 배치되며, 상기 선회부(16)의 선회 하우징(16a)과 체결구(16b)에 의해 고정되는 제5 서포트 바(20e); 를 포함하며, 상기 리프트 장치(22)는, 상기 제1 및 제4 서포트 바(20a, 20d)의 하면을 받쳐 들어올리도록 설치하는 것이 바람직하다.In the revolving part maintenance apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the support frame 20 includes: a first support bar 20a installed to support the lifting part 14 from below; The second and third support bars 20b and 20c are arranged side by side with one end being fixed to both ends in the longitudinal direction of the first support bar 20a, and the other end extending in a direction transverse to the rail part 18 )Wow; A fourth support bar (20d) fixed by crossing the other end of the second and third support bars (20b, 20c) from the opposite side of the first support bar (20a); A fifth support bar (20e) disposed across the middle portion of the second and third support bars (20b, 20c) and fixed by the pivoting housing (16a) and the fastener (16b) of the pivoting portion (16). ); It includes, and it is preferable that the lift device 22 is installed to lift the lower surfaces of the first and fourth support bars 20a and 20d.

본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치에 있어서, 상기 리프트 장치(22)는, 유압 또는 공압에 의해 작동하는 유체 실린더(22a)와 피스톤(22b)으로 구성할 수 있다.In the swivel part maintenance apparatus for a substrate transfer device according to the present invention, the lift device 22 may be composed of a fluid cylinder 22a and a piston 22b operated by hydraulic or pneumatic pressure.

본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치에 있어서, 상기 가이드 장치(24)는, 상기 레일부(18) 옆에 레일부(18)의 길이방향을 따라 배치되는 가이드 레일(24a)과, 상기 가이드 레일(24a)의 상부에 슬라이드 이동 가능하게 결합 됨과 함께, 상면에는 상기 리프트 장치(22)의 하단이 고정되는 슬라이드 블록(24b)을 포함하여 구성할 수 있다.In the revolving part maintenance apparatus for a substrate transfer apparatus according to the present invention, the guide device 24 includes a guide rail 24a disposed next to the rail part 18 along a longitudinal direction of the rail part 18, It may be configured to include a slide block 24b to which a lower end of the lift device 22 is fixed on an upper surface while being slidably coupled to an upper portion of the guide rail 24a.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치를 사용하게 되면, 전체적인 분해 없이 이송암, 승강부 및 선회부를 한꺼번에 쉽게 들어올려 회전부분에 구비되어 있는 베어링, 감속기 등에 대한 교체작업은 물론, 작업 접근이 용이하게 이루어질 수 있는 효과가 있다.As described above, when using the turning part repair device for the substrate transfer device according to the present invention, the transfer arm, the lifting part, and the turning part are easily lifted at once without overall disassembly to replace bearings, reducers, etc. provided in the rotating part. Of course, there is an effect that access to work can be made easily.

또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치를 사용하게 되면, 기판 이송장치의 전체적인 분해 및 재조립으로 인해 많은 시간의 소요와 번거로움의 발생을 모두 해소할 수 있고, 아울러 이송암, 승강부, 선회부 등의 분해 및 재조립 과정에서 야기될 수 있는 안전사고와 장치 파손 발생문제를 해소할 수 있다.In addition, if the turning part maintenance device for a substrate transfer device according to the present invention is used, it is possible to eliminate all the time-consuming and troublesome occurrences due to the overall disassembly and reassembly of the substrate transfer device. It is possible to solve the problem of safety accidents and device damage that may occur during the disassembly and reassembly process of the lifting and turning parts.

도 1은 일반적인 기판 이송장치용 보수장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치의 설치 모습을 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 A를 확대한 도면이다.
도 4는 도 2의 상태에서 권상 이송된 모습을 보여주는 도면이다.1 is a view showing a general maintenance device for a substrate transfer device.
2 is a view showing an installation state of the turning part maintenance device for a substrate transfer device according to the present invention.
3 is an enlarged view of A of FIG. 2.
FIG. 4 is a view showing a state in which the hoist is transferred in the state of FIG. 2.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명에 따른 기판 이송장치용 선회부 보수장치에 대한 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the turning portion repair apparatus for a substrate transfer device according to the present invention.

도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 기판 이송장치(10)는 배경기술에서 설명한 바와 같이 기판을 지지하는 이송암(12)과, 상기 이송암(12)을 승강시키기 위한 승강부(14) 및 상기 이송암(12)을 회전시키기 위한 선회부(16)와, 바닥에 설치되고 상기 선회부(16)가 슬라이드 이동 가능하게 결합 되는 레일부(18)를 포함하여 구성된다.As shown in Figs. 2 to 4, the substrate transfer device 10 includes a transfer arm 12 supporting a substrate as described in the background art, an elevation part 14 for raising and lowering the transfer arm 12, and It is configured to include a pivoting part 16 for rotating the transfer arm 12, and a rail part 18 installed on the floor and slidably coupled to the pivoting part 16.

여기서 본 발명은, 기판 이송장치(10)를 구성하고 있는 이송암(12), 승강부(14), 선회부(16)를 동시에 들어올릴 수 있는 보수장치가 제공된다.Here, the present invention provides a maintenance device capable of simultaneously lifting the transfer arm 12, the lifting part 14, and the turning part 16 constituting the substrate transfer device 10.

보수장치는, 여러 개의 I-빔 형태의 구조물로 만들어지는 서포트 프레임(20)과, 리프트 장치(22)와, 그리고 가이드 장치(24)를 포함하여 구성된다.The maintenance device includes a support frame 20 made of several I-beam-shaped structures, a lift device 22, and a guide device 24.

서포트 프레임(20)은, 레일부(18)의 상면을 가로질러 설치되며, 승강부(14) 및 선회부(16)를 아래에서 받치도록 설치된다.The support frame 20 is installed across the upper surface of the rail portion 18 and is installed to support the lifting portion 14 and the turning portion 16 from below.

구체적인 일례로서, 서포트 프레임(20)은, 제1 ~ 제5 서포트 바(20a, 20b, 20c, 20d, 20e)를 포함한다.As a specific example, the support frame 20 includes first to fifth support bars 20a, 20b, 20c, 20d, and 20e.

제1 서포트 바(20a)는, 도면에서 보듯이, 승강부(14)가 위치하고 있는 이송암(12)의 저부에 배치된다. 즉, 제1 서포트 바(20a)는 승강부(14)를 아래에서 받치도록 설치된다.As shown in the drawing, the first support bar 20a is disposed at the bottom of the transfer arm 12 where the elevating portion 14 is located. That is, the first support bar 20a is installed to support the lifting part 14 from below.

제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)는, 제1 서포트 바(20a)의 양편 상면에 고정되는 형태로 설치되며 레일부(18)를 가로지르는 방향으로 나란히 배치된다. 즉, 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)는, 그것의 일측 단부가 제1 서포트 바(20a)의 길이방향 양단부에 고정됨과 함께, 타측 단부가 상기 레일부(18)를 가로지르는 방향으로 연장되어 나란히 배치된다.The second and third support bars 20b and 20c are installed in a form that is fixed to the upper surfaces of both sides of the first support bar 20a and are arranged side by side in a direction crossing the rail portion 18. That is, the second and third support bars 20b and 20c have one end thereof fixed to both ends of the first support bar 20a in the longitudinal direction and the other end crossing the rail part 18 And are placed side by side.

제4 서포트 바(20d)는, 제1 서포트 바(20a)의 반대편에서 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20d) 타특 단부를 건너질러 연결하는 형태로 고정된다.The fourth support bar 20d is fixed in a form that connects across the other end portions of the second and third support bars 20b and 20d on the opposite side of the first support bar 20a.

제5 서포트 바(20e)는, 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)의 중간 부분을 가로질러 배치된다. 이러한 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)는, 선회부(16)의 선회 하우징(16a)과 체결구(16b)에 의해 고정된다. 체결구(16b)는 볼트 등의 체결 수단을 사용할 수 있으며, 이를 위해 선회부(16)의 선회 하우징(16a)의 측면에는 체결구(16b)의 체결을 위한 체결 구멍을 미리 형성해 둔다.The 5th support bar 20e is arrange|positioned across the middle part of the 2nd and 3rd support bar 20b, 20c. These 2nd and 3rd support bars 20b, 20c are fixed by the revolving housing 16a and the fastener 16b of the revolving part 16. The fastener 16b may use a fastening means such as a bolt, and for this purpose, a fastening hole for fastening the fastener 16b is formed in advance on the side of the swing housing 16a of the swing portion 16.

다음으로, 리프트 장치(22)는, 제1 및 제4 서포트 바(20a, 20d)의 하면을 받쳐 들어올리도록 설치된다.Next, the lift device 22 is provided so as to support and lift the lower surfaces of the first and fourth support bars 20a and 20d.

도면에 도시된 실시 예에 따른 리프트 장치(22)는, 유압 또는 공압에 의해 작동하는 유체 실린더(22a)와 피스톤(22b)으로 이루어진다. 리프트 장치(22)는, 유체 실린더(22a)와 피스톤(22b) 이외의 다른 잭업 기구나 인상 기구를 사용하여도 좋다.The lift device 22 according to the embodiment shown in the drawings is composed of a fluid cylinder 22a and a piston 22b operated by hydraulic or pneumatic pressure. The lift device 22 may use a jack-up mechanism or a pulling mechanism other than the fluid cylinder 22a and the piston 22b.

도면에 도시된 실시 예에서는, 유체 실린더(22a)와 피스톤(22b)으로 이루어지는 리프트 장치(22)를 제1 및 제4 서포트 바(20a, 20d)에 각각 2개씩 설치하고 있으나, 그 개수에는 상관이 없다.In the embodiment shown in the drawing, two lift devices 22 consisting of a fluid cylinder 22a and a piston 22b are installed on the first and fourth support bars 20a and 20d, respectively, but the number does not matter. There is no.

따라서, 상기 선회부(16)의 회전중심부분(S)에 구비되어 있는 베어링, 감속기 등을 교체 또는 유지 보수 작업 시, 리프트 장치(22)를 통해 작동시켜 피스톤(22b)을 상승시키면, 피스톤(22b)에 의해 지지 되는 제1 및 제4 서포트 바(20a, 20d)가 들어 올려진다.Therefore, when replacing or maintaining a bearing, a speed reducer, etc. provided in the rotation center portion S of the revolving portion 16, when the piston 22b is raised by operating through the lift device 22, the piston ( The first and fourth support bars 20a and 20d supported by 22b) are lifted.

위와 같이 제1 및 제4 서포트 바(20a, 20d)가 들어 올려지게 되면, 그것과 연결되어 있는 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)에 의해 승강부(14)와 선회부(16)가 그대로 함께 들어 올려지게 된다. 당연히, 승강부(14)에 결합되어 있는 이송암(12)도 함께 들어 올려지게 된다.When the first and fourth support bars 20a and 20d are lifted as described above, the elevating portion 14 and the turning portion 16 by the second and third support bars 20b and 20c connected thereto Will be lifted together as it is. Naturally, the transfer arm 12 coupled to the elevating portion 14 is also lifted.

다음으로, 가이드 장치(24)는, 리프트 장치(22)를 레일부(18)의 길이방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 지지한다. 즉, 리프트 장치(22)는 가이드 장치(24)에 의해 레일부(18)의 길이방향을 따라 슬라이드 이동하여 그 위치를 변경할 수 있다. 리프트 장치(22)의 이동에 의해, 이것이 받치고 있는 서포트 프레임(20) 및 승강부(14), 선회부(16), 이송암(12)도 옮길 수 있다.Next, the guide device 24 supports the lift device 22 so as to be slidably movable along the longitudinal direction of the rail portion 18. That is, the lift device 22 slides along the lengthwise direction of the rail part 18 by the guide device 24 to change its position. By the movement of the lift device 22, the support frame 20, the elevating part 14, the pivoting part 16, and the transfer arm 12 on which it is supported can also be moved.

상기 가이드 장치(24)는, 레일부(18) 옆에, 레일부(18)의 길이방향을 따라 배치되는 가이드 레일(24a)을 포함한다.The guide device 24 includes a guide rail 24a disposed next to the rail part 18 along the longitudinal direction of the rail part 18.

그리고 가이드 레일(24a)의 상부에는, 슬라이드 블록(24b)이 슬라이드 이동 가능하게 설치된다. 슬라이드 블록(24b)의 상면에는 리프트 장치(22)의 하단이 고정된다. 가이드 레일(24a)과 슬라이드 블록(24b)은 이른바 'LM 가이드'와 같은 구성으로 이루어질 수 있다.Further, on the upper part of the guide rail 24a, a slide block 24b is provided so as to be slidable. The lower end of the lift device 22 is fixed to the upper surface of the slide block 24b. The guide rail 24a and the slide block 24b may have the same configuration as a so-called'LM guide'.

전술한 바와 같이, 승강부(14), 이송암(12), 선회부(16)가 들어 올려진 상태에서, 리프트 장치(22)가 지지 되어 있는 슬라이드 블록(24b)을 가이드 레일(24a)을 따라 이동(도면에서는 후방으로 이동)시키게 되면, 승강부(14), 이송암(12), 선회부(16)가 회전중심부분(S) 옆으로 위치 이동하게 됨으로써, 선회부(16)의 회전중심부분(S)에 구비되는 베어링, 감속기 등에 대한 교체 또는 유지 작업을 신속 용이하게 진행될 수 있게 된다.As described above, with the lifting unit 14, the transfer arm 12, and the turning unit 16 lifted, the slide block 24b on which the lift device 22 is supported is moved to the guide rail 24a. When moving accordingly (moved backward in the drawing), the lifting part 14, the transfer arm 12, and the turning part 16 are moved to the side of the rotation center part S, so that the turning part 16 rotates. It is possible to quickly and easily perform replacement or maintenance work for bearings, reducers, etc. provided in the central portion S.

다시 말해, 배경기술에서 제기된 문제와 같이 전체적인 분해 및 재조립 없이 한꺼번에 쉽게 들어올려 선회부의 회전중심부분에 대한 작업과 접근이 용이하게 이루어질 수 있게 된다. In other words, as with the problem raised in the background art, it can be easily lifted all at once without overall disassembly and reassembly, so that work and access to the center of rotation of the pivot can be made easily.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 아니하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재된 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 가능함은 물론이다.As described above, although the present invention has been described by limited embodiments and drawings, the present invention is not limited thereto, and the technical idea and the following by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains. It goes without saying that various modifications and variations are possible within the equivalent range of the claims described in.

10 : 기판이송장치
12 ; 이송암
14 : 승강부
18 : 레일부
20 : 서포트 프레임
20a : 제1 서포트바
20b : 제2 서포트바
20c : 제3 서포트바
20d : 제4 서포트바
22 : 리프트 장치
22a : 유체 실린더
22b : 피스톤
24 : 가이드 장치
24a : 가이드 레일
24b : 슬라이드 블록10: substrate transfer device
12; Transfer arm
14: elevator
18: rail part
20: support frame
20a: first support bar
20b: second support bar
20c: 3rd support bar
20d: 4th support bar
22: lift device
22a: fluid cylinder
22b: piston
24: guide device
24a: guide rail
24b: slide block

Claims (4)

기판을 지지하는 이송암(12), 상기 이송암(12)이 승강 가능하게 설치된 승강부(14), 상기 이송암(12)이 회전하도록 하는 선회부(16)가 슬라이드 이동 가능하게 설치되는 레일부(18)를 포함하는 기판 이송장치의 상기 이송암(12), 승강부(14) 및 선회부(16)를 들어올려 보수하기 위한 선회부 보수 장치로서,
상기 레일부(18)의 상면을 가로질러 설치되고, 상기 승강부(14) 및 상기 선회부(16)를 아래에서 받치도록 설치되는 서포트 프레임(20);
상기 서포트 프레임(20)의 좌우 양단 아래에 설치되고, 상기 서포트 프레임(20)의 좌우 양단 하면을 받쳐서 들어올리는 리프트 장치(22);
상기 리프트 장치(22)를 상기 레일부(18)의 길이방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 가이드 장치(24); 를 포함하고,
상기 서포트 프레임(20)은,
상기 승강부(14)를 아래에서 받치도록 설치되는 제1 서포트 바(20a)와,
일측 단부가 상기 제1 서포트 바(20a)의 길이방향 양단부에 고정됨과 함께, 타측 단부가 상기 레일부(18)를 가로지르는 방향으로 연장되어 나란히 배치되는 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)와,
상기 제1 서포트 바(20a)의 반대편에서 상기 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)의 타측 단부를 건너질러서 고정하는 제4 서포트 바(20d)와,
상기 제2 및 제3 서포트 바(20b, 20c)의 중간 부분을 가로질러 배치되며, 상기 선회부(16)의 선회 하우징(16a)과 체결구(16b)에 의해 고정되는 제5 서포트 바(20e)를 포함하며,
상기 리프트 장치(22)는, 상기 제1 및 제4 서포트 바(20a, 20d)의 하면을 받쳐 들어올리도록 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 선회부 보수장치.A transfer arm 12 supporting a substrate, an elevating part 14 in which the transfer arm 12 is installed so as to be elevated, and a turning part 16 for rotating the transfer arm 12 are installed to be slidably moved. As a turning part repair device for lifting and repairing the transfer arm 12, the lifting part 14, and the turning part 16 of the substrate transfer device including a part 18,
A support frame (20) installed across the upper surface of the rail part (18) and installed to support the lifting part (14) and the turning part (16) from below;
A lift device (22) installed below the left and right ends of the support frame (20) and lifting by supporting the lower surfaces of the left and right ends of the support frame (20);
A guide device (24) supporting the lift device (22) to be slidably moved along the longitudinal direction of the rail part (18); Including,
The support frame 20,
A first support bar (20a) installed to support the lifting part (14) from below,
The second and third support bars 20b and 20c are arranged side by side with one end being fixed to both ends in the longitudinal direction of the first support bar 20a, and the other end extending in a direction transverse to the rail part 18 )Wow,
A fourth support bar (20d) fixed by crossing the other end of the second and third support bars (20b, 20c) from the opposite side of the first support bar (20a),
A fifth support bar (20e) disposed across the middle portion of the second and third support bars (20b, 20c) and fixed by the pivoting housing (16a) and the fastener (16b) of the pivoting portion (16). ), and
The lift device (22) is provided to lift the lower surfaces of the first and fourth support bars (20a, 20d). 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 리프트 장치(22)는, 유압 또는 공압에 의해 작동하는 유체 실린더(22a)와 피스톤(22b)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 선회부 보수장치.The method of claim 1,
The lift device (22) comprises a fluid cylinder (22a) and a piston (22b) operated by hydraulic pressure or pneumatic pressure. 제1항에 있어서,
상기 가이드 장치(24)는,
상기 레일부(18) 옆에 레일부(18)의 길이방향을 따라 배치되는 가이드 레일(24a)과,
상기 가이드 레일(24a)의 상부에 슬라이드 이동 가능하게 결합 됨과 함께, 상면에는 상기 리프트 장치(22)의 하단이 고정되는 슬라이드 블록(24b)을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 선회부 보수장치.The method of claim 1,
The guide device 24,
A guide rail 24a disposed along the longitudinal direction of the rail part 18 next to the rail part 18,
A rotating part repair device for a substrate transfer device, characterized in that it includes a slide block (24b) to which a lower end of the lift device (22) is fixed on an upper surface while being slidably coupled to an upper portion of the guide rail (24a). .
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