KR102181480B1 - Washing apparatus of metal mask - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 세척 및 건조를 함께 할 수 있을 뿐만 아니라 스퀴지도 함께 세척할 수 있는 마스크 세척장치에 대한 것이다.
본 발명에 따른 마스크 세척장치는 세척조와, 세척지그와, 이동수단과, 초음파가진기와, 세정노즐부와, 에어노즐부 및 건조조를 포함한다. 상기 세척조는 세척액을 수용하며, 상기 세척액을 배출시킬 수 있는 배수구가 형성된다. 상기 세척지그는 마스크가 장착될 수 있다. 상기 이동수단은 상기 마스크를 세정하기 위하여 상기 세척지그를 상기 세척조로 삽입할 수 있도록 상기 세척지그를 상하로 이동시킨다. 상기 초음파가진기는 상기 이동수단으로 상기 세척조에 이동된 상기 세척지그에 장착된 마스크를 상기 세척액으로 세정할 수 있게 상기 세척조에 장착된다. 상기 세정노즐부는 상기 초음파가진기로 세척될 상기 마스크에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 상기 세척액을 상기 마스크에 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 에어노즐부는 상기 세정노즐부에 의하여 세정된 후 배출되는 상기 마스크를 건조시킬 수 있도록 상기 마스크에 공기를 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 건조조는 상기 세척지그가 관통하여 삽입될 수 있으며, 상기 에어노즐부로 상기 마스크에 상기 공기를 분사할 때 상기 세척조의 세척액이 상기 마스크로 튀는 것을 방지할 수 있도록 상기 에어노즐부를 감쌀 수 있게 상기 세척조에 장착된다.The present invention relates to a mask cleaning device, and more particularly, to a mask cleaning device capable of washing and drying not only, but also a squeegee.
The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank, a cleaning jig, a moving means, an ultrasonic vibration device, a cleaning nozzle part, an air nozzle part, and a drying tank. The washing tank accommodates the washing liquid, and a drain hole through which the washing liquid can be discharged is formed. The cleaning jig may be equipped with a mask. The moving means moves the cleaning jig up and down so that the cleaning jig can be inserted into the cleaning tank to clean the mask. The ultrasonic vibrator is mounted in the cleaning tank so that the mask mounted on the cleaning jig moved to the cleaning tank by the moving means can be cleaned with the cleaning liquid. The cleaning nozzle unit is mounted in the cleaning tank to spray the cleaning liquid onto the mask to remove foreign substances attached to the mask to be cleaned by the ultrasonic vibrator. The air nozzle unit is mounted in the cleaning tank to inject air to the mask so as to dry the mask discharged after being cleaned by the cleaning nozzle unit. The drying tank may be inserted through the cleaning jig, and when the air is sprayed onto the mask through the air nozzle, the cleaning tank can be wrapped around the air nozzle to prevent splashing of the cleaning liquid of the cleaning tank onto the mask. Is mounted on.

Description

마스크 세척장치{Washing apparatus of metal mask}Washing apparatus of metal mask

본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 세척 및 건조를 함께 할 수 있을 뿐만 아니라 스퀴지도 함께 세척할 수 있는 마스크 세척장치에 대한 것이다. The present invention relates to a mask cleaning device, and more particularly, to a mask cleaning device capable of washing and drying not only, but also a squeegee.

마스크 세척장치는 SMD(Surface Mount Device)의 표면실장 공정에 사용되는 메탈마스크 또는 반도체 공정에 사용되는 메쉬마스크에 부착된 솔더페이스트(solder paster) 및 기타물질을 자동으로 제거하는 장치다. 종래의 마스크 세척장치는 마스크가 거치될 수 있는 마스크거치대와, 마스크를 세척할 수 있는 세척액을 수용하는 세척조와, 마스크거치대를 세척조로 슬라이딩시킬 수 있게 상하이동시키는 실린더와, 세척조에서 세척액으로 마스크를 세척시키기 위한 초음파진동부와, 마스크에서 이물질을 제거할 수 있도록 세척액을 마스크에 분사시키는 노즐수단을 구비한다. 그래서 세척조에서 초음파진동부를 사용하여 마스크를 세착하였다.The mask cleaning device is a device that automatically removes solder paste and other substances attached to the metal mask used in the surface mounting process of the SMD (Surface Mount Device) or the mesh mask used in the semiconductor process. A conventional mask cleaning apparatus includes a mask holder on which a mask can be mounted, a cleaning tank for accommodating a cleaning liquid for cleaning the mask, a cylinder that moves the mask holder up and down so that it can be slid into the cleaning tank, and a mask with a cleaning solution in the cleaning tank. It includes an ultrasonic vibration unit for cleaning, and a nozzle means for spraying a cleaning solution onto the mask so as to remove foreign substances from the mask. So, the mask was washed using the ultrasonic vibration unit in the cleaning tank.

공개특허 제10-2013-0034675호(공개일자 2013년 04월 08일)Publication Patent No. 10-2013-0034675 (published on April 08, 2013)

종래의 마스크 세척장치의 경우 마스크를 세척한 한 후 마스크를 건조시키기 위해서는 세척장치에서 마스크를 제거한 후 별도의 건조장치를 사용하여 마스크를 건조시켰다. 즉 세척조에서 마스크를 건조시킬 수 없으므로 마스크를 세척조에서 분리하여 마스크를 건조시켰다. 이 경우 마스크를 건조시키기 위하여 별도의 장치가 필요하다는 문제점이 있었다.In the case of a conventional mask washing apparatus, in order to dry the mask after washing the mask, the mask was removed from the washing apparatus and then dried using a separate drying apparatus. That is, since the mask could not be dried in the washing tank, the mask was separated from the washing tank to dry the mask. In this case, there is a problem that a separate device is required to dry the mask.

또한, 종래의 마스크 세척장치는 마스크만 세척할 수 있었고, 스퀴지를 세척할 수 없었다. 그래서 종래에는 마스크 세척장치와 스퀴지 세척장치를 별도로 구비해야 한다는 문제점이 있었다.In addition, the conventional mask cleaning apparatus could only clean the mask and could not clean the squeegee. Therefore, conventionally, there is a problem in that a mask cleaning device and a squeegee cleaning device must be separately provided.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 마스크를 세척조에서 세척할 수 있을 뿐만 아니라 건조시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems. An object of the present invention is to provide a mask cleaning apparatus capable of not only cleaning a mask in a cleaning tank, but also drying it.

또한, 본 발명은 마스크 뿐만 아니라 스퀴지도 세척할 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a mask cleaning apparatus capable of cleaning not only a mask but also a squeegee.

본 발명에 따른 마스크 세척장치는 세척조와, 세척지그와, 이동수단과, 초음파가진기와, 세정노즐부와, 에어노즐부 및 건조조를 포함한다. 상기 세척조는 세척액을 수용하며, 상기 세척액을 배출시킬 수 있는 배수구가 형성된다. 상기 세척지그는 마스크가 장착될 수 있다. 상기 이동수단은 상기 마스크를 세정하기 위하여 상기 세척지그를 상기 세척조로 삽입할 수 있도록 상기 세척지그를 상하로 이동시킨다. 상기 초음파가진기는 상기 이동수단으로 상기 세척조에 이동된 상기 세척지그에 장착된 마스크를 상기 세척액으로 세정할 수 있게 상기 세척조에 장착된다. 상기 세정노즐부는 상기 초음파가진기로 세척될 상기 마스크에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 상기 세척액을 상기 마스크에 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 에어노즐부는 상기 세정노즐부에 의하여 세정된 후 배출되는 상기 마스크를 건조시킬 수 있도록 상기 마스크에 공기를 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 건조조는 상기 세척지그가 관통하여 삽입될 수 있으며, 상기 에어노즐부로 상기 마스크에 상기 공기를 분사할 때 상기 세척조의 세척액이 상기 마스크로 튀는 것을 방지할 수 있도록 상기 에어노즐부를 감쌀 수 있게 상기 세척조에 장착된다.The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank, a cleaning jig, a moving means, an ultrasonic vibration device, a cleaning nozzle part, an air nozzle part, and a drying tank. The washing tank accommodates the washing liquid, and a drain hole through which the washing liquid can be discharged is formed. The cleaning jig may be equipped with a mask. The moving means moves the cleaning jig up and down so that the cleaning jig can be inserted into the cleaning tank to clean the mask. The ultrasonic vibrator is mounted in the cleaning tank so that the mask mounted on the cleaning jig moved to the cleaning tank by the moving means can be cleaned with the cleaning liquid. The cleaning nozzle unit is mounted in the cleaning tank to spray the cleaning liquid onto the mask to remove foreign substances attached to the mask to be cleaned by the ultrasonic vibrator. The air nozzle unit is mounted in the cleaning tank to inject air to the mask so as to dry the mask discharged after being cleaned by the cleaning nozzle unit. The drying tank may be inserted through the cleaning jig, and when the air is sprayed onto the mask through the air nozzle, the cleaning tank may wrap the air nozzle so as to prevent splashing of the cleaning liquid from the cleaning tank onto the mask. Is mounted on.

또한, 상기의 마스크 세척장치에 있어서, 상기 에어노즐부는 상기 분사노즐부로 나가는 상기 건조조 내부의 출구에 장착된 제1에어노즐과, 상기 제1에어노즐에서 일정간격 이격되어 상기 건조조에 장착된 제2에어노즐을 구비하는 것이 바람직합니다. 이 경우 상기 제1에어노즐은 상기 분사노즐부가 상기 세척액을 분사하면, 상기 분사노즐부에서 분사되는 세척액이 상기 건조조로 유입되지 않게 상기 건조조의 출구에 에어커튼이 형성될 수 있도록 상기 에어노즐부와 함께 상기 공기를 분사합니다.In addition, in the mask cleaning apparatus, the air nozzle unit includes a first air nozzle mounted at an outlet inside the drying tank that exits the spray nozzle unit, and a first air nozzle spaced apart from the first air nozzle and mounted in the drying tank. It is desirable to have 2 air nozzles. In this case, the first air nozzle includes the air nozzle part so that when the spray nozzle part sprays the cleaning liquid, an air curtain is formed at the outlet of the drying tank so that the cleaning liquid sprayed from the spray nozzle part does not flow into the drying tank. Inject the air together.

또한, 상기의 마스크 세척장치는 상기 세척지그에 탈부착될 수 있게 장착될 수 있으며, 복수의 스퀴지를 장착시킬 수 있는 스퀴지지그를 더 포함하는 것이 바람직합니다.In addition, the mask cleaning device may be detachably mounted to the cleaning jig, and it is preferable to further include a squeegee jig capable of mounting a plurality of squeegees.

본 발명에 의하면, 세척조에 건조조를 구비함으로 인하여 마스크를 세척할 수 있을 뿐만 아니라 세척된 마스크를 건조시킬 수 있다. 따라서 본 발명의 마스크 세척장치에 의하면 별도의 건조장치가 요구되지 않는다.According to the present invention, since the drying tank is provided in the cleaning tank, it is possible to not only clean the mask but also dry the washed mask. Therefore, according to the mask cleaning apparatus of the present invention, a separate drying apparatus is not required.

또한, 본 발명에 의하면 마스크를 장착할 수 있는 세척지그에 스퀴지를 장착시킬 수 있는 스퀴지지그를 더 포함하는 마스크 세척장치를 제공함으로 인하여 마스크 및 스퀴지를 모두 세척할 수 있다.In addition, according to the present invention, both the mask and the squeegee can be cleaned by providing a mask cleaning apparatus further including a squeegee capable of mounting the squeegee on the cleaning jig capable of mounting the mask.

도 1은 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예의 사시도,
도 2는 도 1의 실시예의 후면도,
도 3은 도 1의 실시예의 좌측면도,
도 4는 도 1의 실시예의 단면도,
도 5는 도 1의 실시예의 건조조의 부분단면도,
도 6은 도 1의 실시예의 세척조의 부분단면도,
도 7은 도 1의 실시예의 세척지그의 확대도이다.1 is a perspective view of an embodiment of a mask cleaning apparatus according to the present invention,
Figure 2 is a rear view of the embodiment of Figure 1,
Figure 3 is a left side view of the embodiment of Figure 1,
Figure 4 is a cross-sectional view of the embodiment of Figure 1,
5 is a partial cross-sectional view of the drying tank of the embodiment of FIG. 1;
6 is a partial cross-sectional view of the washing tank of the embodiment of FIG. 1;
7 is an enlarged view of the cleaning jig of the embodiment of FIG. 1.

도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예를 설명한다.An embodiment of a mask cleaning apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7.

본 발명에 따른 마스크 세척장치는 세척조(10)와, 세척지그(12)와, 스퀴지지그(14)와, 이동수단(20)과, 초음파가진기(22)와, 세정노즐부(25)와, 에어노즐부(30) 및 건조조(35)를 포함한다.The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank 10, a cleaning jig 12, a squeegee jig 14, a moving means 20, an ultrasonic vibration device 22, a cleaning nozzle part 25, and , And an air nozzle unit 30 and a drying tank 35.

세척조(10)는 메탈마스크를 세척할 세척액을 수용하며, 세척액을 배출시킬 수 있는 배구수(10a)가 형성된다.The washing tank 10 accommodates a washing liquid for washing the metal mask, and a volleyball water 10a capable of discharging the washing liquid is formed.

세척지그(12)는 메탈마스크가 장착될 수 있으며, 또한 스퀴지지그(14)가 장착될 수 있다.The cleaning jig 12 may be equipped with a metal mask, and also the squeegee 14 may be mounted.

스퀴지지그(14)는 복수의 스퀴지(15)가 장착될 수 있으며, 세척지그(12)에 탈부착될 수 있게 장착될 수 있다.The squeegee 14 may be equipped with a plurality of squeegees 15 and may be mounted to be detachably attached to the cleaning jig 12.

이동수단(20)은 메탈마스크를 세정하기 위하여 세척지그(12)를 세척조(10)로 삽입할 수 있도록 세척지그(12)를 상하로 이동시킨다.The moving means 20 moves the cleaning jig 12 up and down so that the cleaning jig 12 can be inserted into the cleaning tank 10 in order to clean the metal mask.

초음파가진기(22)는 이동수단(20)에 의해서 세척조(10)로 이동된 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크를 세척액으로 세정할 수 있게 세척조(10)에 장착된다. 이때 초음파가진기(22)는 세척지그(12)가 이동수단(20)에 의해 세척조(10)에 삽입되면 세척지그(12)의 양측에 위치할 수 있게 세척조(10)에서 한 쌍이 장착된다.The ultrasonic vibrator 22 is mounted in the cleaning tank 10 so that the metal mask mounted on the cleaning jig 12 moved to the cleaning tank 10 by the moving means 20 can be cleaned with a cleaning solution. At this time, when the cleaning jig 12 is inserted into the cleaning tank 10 by the moving means 20, a pair of the ultrasonic vibrator 22 is mounted in the cleaning tank 10 so that it can be located on both sides of the cleaning jig 12.

세정노즐부(25)는 초음파가진기(22)로 세척되기 전 메탈마스크에 부착된 이물질을 제거하거나 세척 후 메탈마스크를 헹구기 위하여 세척액을 메탈마스크에 분사시킬 수 있도록 세척조(10)에 장착된다. 더욱 상세히 설명하면, 세정노즐부(25)는 복수의 세정노즐을 구비하여 초음파가진기(22) 사이로 삽입되는 메탈마스크에 세척액을 분사하도록 초음파가진기(22)의 상부에 위치한다. 본 실시예의 경우 세정노즐부(25)는 두 쌍의 세정노즐을 구비하며, 두 쌍의 세정노즐은 세척지그(12)가 초음파가진기(22) 사이로 삽입될 때 각 쌍의 세정노즐 사이를 통과하도록 세척조(10)의 내부에서 초음파가진가(22)의 상부에 2단으로 배치된다.The cleaning nozzle unit 25 is mounted in the cleaning tank 10 to remove foreign substances attached to the metal mask before being cleaned with the ultrasonic vibrator 22 or spray a cleaning solution onto the metal mask to rinse the metal mask after cleaning. In more detail, the cleaning nozzle unit 25 is disposed above the ultrasonic vibrator 22 to spray a cleaning liquid onto the metal mask inserted between the ultrasonic vibrator 22 by having a plurality of cleaning nozzles. In this embodiment, the cleaning nozzle unit 25 includes two pairs of cleaning nozzles, and the two pairs of cleaning nozzles pass between each pair of cleaning nozzles when the cleaning jig 12 is inserted between the ultrasonic vibrator 22. It is arranged in two stages on the upper part of the ultrasonic vibration generator 22 in the cleaning tank 10 so as to be.

에어노즐부(30)는 세정노즐부(25)에 의하여 세정된 후 배출되는 메탈마스크를 건조시키는 역할을 한다. 이를 위하여 에어노즐부(30)는 세정노즐부(25)의 상부에서 건조조(35)의 내부에 위치하며, 제1에어노즐(31)과 제2에어노즐(33)을 구비한다.The air nozzle unit 30 serves to dry the metal mask that is discharged after being cleaned by the cleaning nozzle unit 25. To this end, the air nozzle unit 30 is located inside the drying tank 35 from the top of the cleaning nozzle unit 25, and includes a first air nozzle 31 and a second air nozzle 33.

제1에어노즐(31)은 세척지그(12)가 통과할 때 세척지그(12)의 양 옆에 위치하도록 한 쌍이 구비되며, 세척지그(12)가 세정노즐부(25)에서 건조조(35)로 유입되는 입구에 위치한다. 제1에어노즐(31)은 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키는 역할 뿐만 아니라 건조조(35)로 세정노즐부(25)에서 분사되는 세척액이 유입되지 않도록 건조조(35)의 입구에서 에어커튼을 생성시키는 역할을 한다.The first air nozzle 31 is provided with a pair to be positioned on both sides of the cleaning jig 12 when the cleaning jig 12 passes, and the cleaning jig 12 is disposed in the drying tank 35 in the cleaning nozzle unit 25 It is located at the entrance that flows into The first air nozzle 31 not only serves to dry the metal mask or squeegee 15 mounted on the cleaning jig 12, but also dries the cleaning liquid sprayed from the cleaning nozzle unit 25 into the drying tank 35 so that it does not flow in. It serves to generate an air curtain at the entrance of the jaw (35).

제2에어노즐(31)은 전조조(35)의 내부에서 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키는 역할을 한다. 이를 위해서 제2에어노즐(31)은 세척지그(12)가 통과할 때 세척지그(12)의 양측에 위치할 수 있도록 쌍으로 구비된다. 본 실시예의 경우 제2에어노즐(31)은 2개의 쌍으로 구비되며, 제1에어노즐(31)의 상부에서 2단으로 배치된다.The second air nozzle 31 serves to dry the metal mask or squeegee 15 mounted on the cleaning jig 12 inside the rolling tank 35. To this end, the second air nozzles 31 are provided in pairs so that they can be positioned on both sides of the cleaning jig 12 when the cleaning jig 12 passes. In the present embodiment, the second air nozzles 31 are provided in two pairs, and are arranged in two stages above the first air nozzles 31.

건조조(35)는 에어노즐부(30)로 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키기 위하여 공기를 분사할 때 세척조(10)의 벽면에 묻어있는 세척액이 메탈마스크나 스퀴지(15)로 튀는 것을 방지할 수 있도록 에어노즐부(25)를 감쌀 수 있게 세척조(10)에 장착된다. 세정노즐부(25)에서 세척액을 분사하면 분사된 세척액은 메탈마스크나 스퀴지(15)에 묻은 이물질을 제거하는 한편 세척조(10)의 벽면에 달라붙게 된다. 이때 세척조(10) 내부서 에어노즐부(30)가 공기를 분사하면 분사된 공기가 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키는 한편, 분사된 공기가 세척조(10)의 내벽에 부딪히게 된다. 그러면 세척조(10)의 내벽에 붙어 있는 세척액이 메탈마스크나 스퀴지(15)로 달라붙게 되어 메탈마스크나 스퀴지(15)의 건조를 방해시킨다. 이를 방지하기 위하여 건조조(35)는 메탈마스크나 스퀴지(15)를 세척조(10)로부터 차단할 수 있게 에어노즐부(30)를 감싸서 에어노즐부(30) 사이에 세척지그(12)가 위치할 때 세척조(10)에 달라붙은 세척액이 세척지그(12)로 튀는 것을 방지한다.When the drying tank 35 sprays air to dry the metal mask or squeegee 15 mounted on the cleaning jig 12 with the air nozzle unit 30, the cleaning liquid on the wall of the cleaning tank 10 is applied to the metal mask. It is mounted on the washing tank 10 to wrap the air nozzle unit 25 so as to prevent splashing with the squeegee 15. When the cleaning liquid is sprayed from the cleaning nozzle part 25, the sprayed cleaning liquid removes foreign substances from the metal mask or squeegee 15 and adheres to the wall of the cleaning tank 10. At this time, when the air nozzle unit 30 injects air inside the cleaning tank 10, the injected air dries the metal mask or squeegee 15, while the injected air hits the inner wall of the cleaning tank 10. Then, the cleaning liquid adhered to the inner wall of the cleaning tank 10 adheres to the metal mask or squeegee 15, thereby hindering the drying of the metal mask or squeegee 15. In order to prevent this, the drying tank 35 wraps the air nozzle part 30 to block the metal mask or squeegee 15 from the cleaning tank 10 so that the cleaning jig 12 is located between the air nozzle parts 30. When the washing liquid adhered to the washing tank 10 is prevented from splashing into the washing jig 12.

본 실시예의 경우 먼저 세척지그(12)에 메탈마스크나 스퀴지지그(14)를 장착한다. 본 실시예에서는 스퀴지(15)를 스퀴지지그(14)에 장착한 후 스퀴지지그(14)를 세척지그(12)에 장착하였다.In the case of this embodiment, first, a metal mask or squeegee jig 14 is mounted on the cleaning jig 12. In this embodiment, the squeegee 15 is mounted on the squeegee 14 and the squeegee 14 is mounted on the cleaning jig 12.

세척지그(12)에 메탈마스크 또는 스퀴지가 장착되면 이동수단(20)이 세척지그(12)를 하강시킨다. 그러면 세척지그(12)는 건조조(35)를 통과한 후 세정노즐부(25)를 통과한다. 세척지그(12)가 세정노즐부(25)에 도달하면 메탈마스크나 스퀴지(15)의 표면에 묻어 있는 이물질을 1차적으로 제거하기 위하여 세정노즐부(25)에서 세척액을 분사한다. 이때 세정노즐부(25)에서 세척액이 분사되면 분사된 세척액이 건조조(35)의 내부로 유입되어 건조조(35)의 내벽에 붙을 수 있다. 그러면 건조조(35)에서 메탈마스크나 스퀴지를 건조시킬 때 건조조(35) 내벽에 붙은 세척액이 메탈마스크나 스퀴지로 튀어서 건조를 방해할 수 있으므로 건조조(35)의 내벽에 세척액이 붙는 것을 방지하기 위하여 에어커튼이 형성되도록 제1에어노즐(31)에 공기를 함께 분사시킨다. 즉 세정노즐부(25)가 동작하면 제1에어노즐(31)이 함께 동작하여 세정노즐부(25)에서 분사된 세척액이 건조조(35)의 내벽에 붙는 것을 방지한다.When the metal mask or squeegee is mounted on the cleaning jig 12, the moving means 20 lowers the cleaning jig 12. Then, the cleaning jig 12 passes through the drying tank 35 and then passes through the cleaning nozzle unit 25. When the cleaning jig 12 reaches the cleaning nozzle part 25, the cleaning liquid is sprayed from the cleaning nozzle part 25 in order to primarily remove foreign substances on the surface of the metal mask or squeegee 15. At this time, when the cleaning liquid is sprayed from the cleaning nozzle unit 25, the sprayed cleaning liquid may flow into the drying tank 35 and adhere to the inner wall of the drying tank 35. Then, when drying the metal mask or squeegee in the drying tank 35, the cleaning liquid adhered to the inner wall of the drying tank 35 may splash into the metal mask or squeegee and interfere with drying. To do this, air is injected together with the first air nozzle 31 so that an air curtain is formed. That is, when the cleaning nozzle unit 25 operates, the first air nozzle 31 operates together to prevent the washing liquid sprayed from the cleaning nozzle unit 25 from adhering to the inner wall of the drying tank 35.

세정노즐부(25)에서 1차 이물질이 제거되면 세척조(10)에 세척액을 보충하고, 세척지그(12)를 하강시켜 초음파가진기(22) 사이에 위치시킨다. 그리고 초음파가진기(22)를 동작시켜 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크 또는 스퀴지(15)를 세척한다. 세척이 완료되면 초음파가진기(22)의 동작을 중지시키고, 세척조(10)의 세척액을 배수구(10a)로 배출시킨다. When the primary foreign matter is removed from the cleaning nozzle part 25, the cleaning liquid is replenished in the cleaning tank 10, and the cleaning jig 12 is lowered to be positioned between the ultrasonic vibration generators 22. Then, the ultrasonic vibrator 22 is operated to clean the metal mask or squeegee 15 mounted on the cleaning jig 12. When the cleaning is completed, the operation of the ultrasonic vibration generator 22 is stopped, and the cleaning liquid of the cleaning tank 10 is discharged to the drain port 10a.

그리고 이동수단(20)을 동작시켜 세척지그(12)를 상승시킨 후 세정노즐부(25) 사이에 위치시킨다. 그러면 세정노즐부(25)를 동작시킴과 동시에 제1에어노즐(31)을 동작시킨다.Then, the cleaning jig 12 is raised by operating the moving means 20 and then positioned between the cleaning nozzles 25. Then, the cleaning nozzle unit 25 is operated and the first air nozzle 31 is operated.

세정노즐부(25)에서 메탈마스크 및 스퀴지(15)의 헹굼 작업이 완료되면 세정노즐부(25)의 동작을 중지시키고, 이동수단(20)이 세척지그(12)를 상승시켜 에어노즐부(30) 사이로 위치시킨다. 세척지그(12)가 에어노즐부(30)에 위치되면 제1에어노즐(31) 및 제2에어노즐(33)을 동작시켜 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시킨다. 이때 에어노즐부(30)에서 공기가 메탈마스크나 스퀴지(15)에 골고루 분사되도록 이동수단(20)이 세척지그(12)를 건조조(35) 내에서 상하로 이동시킨다.When the cleaning operation of the metal mask and the squeegee 15 is completed in the cleaning nozzle part 25, the operation of the cleaning nozzle part 25 is stopped, and the moving means 20 raises the cleaning jig 12 to raise the air nozzle part ( 30) Place it between. When the cleaning jig 12 is positioned on the air nozzle unit 30, the first air nozzle 31 and the second air nozzle 33 are operated to dry the metal mask or squeegee 15. At this time, the moving means 20 moves the washing jig 12 up and down in the drying tank 35 so that air is evenly sprayed from the air nozzle unit 30 to the metal mask or squeegee 15.

건조조(35)에서 메탈마스크나 스퀴지(15)의 건조가 완료되면 이동수단(20)에 세척지그(12)를 상승시켜 다른 메탈마스크나 스퀴지로 교체한다.When the drying of the metal mask or squeegee 15 in the drying tank 35 is completed, the cleaning jig 12 is raised to the moving means 20 and replaced with another metal mask or squeegee.

본 실시예에 의하면 세척장치에서 메탈마스크를 세척 뿐만 아니라 건조까지 완료시킬 수 있으며, 스퀴지지그(14)를 세척지그(12)에 장착할 수 있어서 스퀴지(15)의 세척 및 건조까지 가능하다.According to the present embodiment, not only the metal mask can be washed but also dried in the cleaning device, and the squeegee 14 can be mounted on the cleaning jig 12, so that the squeegee 15 can be cleaned and dried.

10 : 세척조 10a : 배수구
12 : 세척지그 14 : 스퀴지지그
15 : 스퀴지 20 : 이동수단
22 : 초음파가진기 25 : 세정노즐부
30 : 에어노즐부 31 : 제1에어노즐
33 : 제2에어노즐 35 : 건조조10: washing tank 10a: drain
12: cleaning jig 14: squeegee jig
15: squeegee 20: transportation
22: ultrasonic vibration device 25: cleaning nozzle part
30: air nozzle part 31: first air nozzle
33: second air nozzle 35: drying tank

Claims (3)

세척액을 수용하며, 상기 세척액을 배출시킬 수 있는 배수구가 형성된 세척조와,
마스크가 장착될 수 있는 세척지그와,
상기 마스크를 세정하기 위하여 상기 세척지그를 상기 세척조로 삽입할 수 있도록 상기 세척지그를 상하로 이동시키는 이동수단과,
상기 이동수단으로 상기 세척조에 이동된 상기 세척지그에 장착된 마스크를 상기 세척액으로 세정할 수 있게 상기 세척조에 장착된 초음파가진기와,
상기 초음파가진기로 세척될 상기 마스크에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 상기 세척액을 상기 마스크에 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된 세정노즐부와,
상기 세정노즐부에 의하여 세정된 후 배출되는 상기 마스크를 건조시킬 수 있도록 상기 마스크에 공기를 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된 에어노즐부와,
상기 세척지그가 관통하여 삽입될 수 있으며, 상기 에어노즐부로 상기 마스크에 상기 공기를 분사할 때 상기 세척조의 세척액이 상기 마스크로 튀는 것을 방지할 수 있도록 상기 에어노즐부를 감쌀 수 있게 상기 세척조에 장착된 건조조를 포함하며,
상기 에어노즐부는 상기 세정노즐부로 나가는 상기 건조조 내부의 출구에 장착되며 상기 세정노즐부가 상기 세척액을 분사하면 상기 세정노즐부에서 분사되는 세척액이 상기 건조조로 유입되지 않게 상기 건조조의 출구에 에어커튼이 형성될 수 있도록 상기 세정노즐부와 함께 상기 공기를 분사하는 제1에어노즐과, 상기 제1에어노즐에서 상부로 일정간격 이격되어 상기 건조조에 장착된 제2에어노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.A washing tank containing a washing liquid and having a drain hole through which the washing liquid can be discharged,
A cleaning jig that can be equipped with a mask,
A moving means for moving the cleaning jig up and down so that the cleaning jig can be inserted into the cleaning tank to clean the mask,
An ultrasonic vibrator mounted in the cleaning tank so that the mask mounted on the cleaning jig moved to the cleaning tank by the moving means can be cleaned with the cleaning solution,
A cleaning nozzle unit mounted in the cleaning tank to spray the cleaning solution onto the mask to remove foreign substances attached to the mask to be cleaned with the ultrasonic vibration oscillator;
An air nozzle part mounted in the cleaning tank to inject air to the mask so as to dry the mask discharged after being cleaned by the cleaning nozzle part;
The cleaning jig may be inserted through and mounted in the cleaning tank to wrap the air nozzle part to prevent splashing of the cleaning liquid of the cleaning tank into the mask when the air is sprayed onto the mask through the air nozzle part. Includes a drying tank,
The air nozzle part is mounted at an outlet inside the drying tank that goes out to the cleaning nozzle part, and when the cleaning nozzle part sprays the cleaning liquid, an air curtain is placed at the outlet of the drying tank so that the cleaning liquid sprayed from the cleaning nozzle does not flow into the drying tank. A mask comprising: a first air nozzle for injecting the air together with the cleaning nozzle so as to be formed, and a second air nozzle mounted in the drying tank spaced apart from the first air nozzle at regular intervals upwards. Cleaning device. 제1항에 있어서,
상기 세척지그에 탈부착될 수 있게 장착될 수 있으며, 복수의 스퀴지를 장착시킬 수 있는 스퀴지지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.The method of claim 1,
The mask cleaning apparatus, further comprising a squeegee jig capable of being detachably mounted to the cleaning jig and capable of mounting a plurality of squeegees. 삭제delete
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