KR101245491B1 - Automatic cleaning apparatus for mask - Google Patents

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Abstract

본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 SMD(Surface Mount Device)의 표면실장 공정에 사용되는 메탈마스크 또는 반도체 공정에 사용되는 메쉬마스크에 부착된 솔더페이스트(solder paste) 및 기타물질을 자동으로 제거하는 마스크 자동 세척장치에 대한 것이다.
본 발명에 따른 마스크 세척장치는 마스크거치대와, 베어링부와, 회동신린더와, 초음파진동부와, 제1노즐수단과, 제2노즐수단을 포함한다. 상기 마스크거치대는 전면과 후면이 개방되고 메탈마스크나 메쉬마스크가 장착될 수 있다. 상기 베어링부는 상기 마스크거치대가 회동될 수 있게 베어링으로 상기 마스크거치대의 하단을 지지한다. 상기 회동실린더는 상기 마스크거치대가 상기 베어링부를 중심으로 회동할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상부를 전후로 이동시킨다. 상기 초음파진동부는 상기 마스크거치대의 전면에서 상기 마스크거치대에 거치된 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 접촉하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크를 진동시킨다. 상기 제1노즐수단은 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상단의 전후에 위치한다. 상기 제2노즐수단은 상기 마스크거치대의 후면에서 좌우로 이동하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사한다.
본 발명에 의하면, 밀착바와 지지바를 구비한 마스크 세척장치를 제공함으로 인하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 마스크거치대에 삽입시 메탈마스크나 메쉬마스크를 마스크거치대의 끝부분에 밀착시킬 수 있다. 이로 인하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 초음파 진동부와 정확한 간격을 유지시킬 수 있다.The present invention relates to a mask cleaning apparatus, and more particularly, to a solder paste and other materials attached to a metal mask used for a surface mount process of a surface mount device (SMD) or a mesh mask used for a semiconductor process. It is about the mask automatic cleaning device which removes automatically.
The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a mask holder, a bearing portion, a rotational cylinder, an ultrasonic vibration unit, a first nozzle means, and a second nozzle means. The mask holder may be opened at the front and rear and may be equipped with a metal mask or a mesh mask. The bearing part supports the lower end of the mask holder with a bearing so that the mask holder may be rotated. The rotation cylinder moves the upper portion of the mask holder back and forth so that the mask holder can rotate about the bearing part. The ultrasonic vibrator vibrates the metal mask or the mesh mask by contacting the metal mask or the mesh mask mounted on the mask holder on the front surface of the mask holder. The first nozzle means is located before and after the upper end of the mask holder so as to spray the cleaning liquid onto the metal mask or the mesh mask. The second nozzle means moves from the rear of the mask holder to the left and right to spray the cleaning liquid to the metal mask or the mesh mask.
According to the present invention, by providing a mask cleaning device having an adhesion bar and a support bar, when the metal mask or the mesh mask is inserted into the mask holder, the metal mask or mesh mask may be in close contact with the end of the mask holder. As a result, the metal mask or the mesh mask may be maintained at an accurate distance from the ultrasonic vibration unit.

Description

마스크 세척장치{Automatic cleaning apparatus for mask}Automatic cleaning apparatus for mask

본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 SMD(Surface Mount Device)의 표면실장 공정에 사용되는 메탈마스크 또는 반도체 공정에 사용되는 메쉬마스크에 부착된 솔더페이스트(solder paste) 및 기타물질을 자동으로 제거하는 마스크 자동 세척장치에 대한 것이다.The present invention relates to a mask cleaning apparatus, and more particularly, to a solder paste and other materials attached to a metal mask used for a surface mount process of a surface mount device (SMD) or a mesh mask used for a semiconductor process. It is about the mask automatic cleaning device which removes automatically.

도 3은 종래의 마스크 세척장치의 개념도이다. 종래에는 메탈마스크(1)의 상단에 전후로 두 개의 노즐(3)을 위치시키고, 모터캠(5)으로 메탈마스크(1)를 전후로 이동시켰다. 노즐(3)에서는 세척액이 메탈마스크(1)로 분사되며, 도 3의 (a)와 같이 모터캠(5)에 의하여 메탈마스크(1)가 초음파진동부(7)에 접촉하면 초음파진동부(7)가 가진하여 메탈마스크(1)에 부착된 솔더페이스트를 제거한다. 그리고 도 3의 (b)와 같이 모터캠(5)에 의하여 메탈마스크(1)가 초음파진동부(7)로부터 분리되면 세척액에 의하여 메탈마스크(1)가 행구어진다.3 is a conceptual diagram of a conventional mask cleaning apparatus. In the related art, two nozzles 3 are positioned at the upper end of the metal mask 1 back and forth, and the metal mask 1 is moved back and forth by the motor cam 5. In the nozzle 3, the cleaning liquid is injected into the metal mask 1, and when the metal mask 1 contacts the ultrasonic vibrator 7 by the motor cam 5 as shown in FIG. 3 (a), the ultrasonic vibrator ( 7) Remove the solder paste attached to the metal mask by excitation. When the metal mask 1 is separated from the ultrasonic vibrator 7 by the motor cam 5 as shown in (b) of FIG. 3, the metal mask 1 is rinsed by the cleaning liquid.

종래의 마스크 세척장치의 경우 노즐(3)이 메탈마스크(1)의 상부에 설치되어 메탈마스크(1)에 세척액을 분사시킨다. 이 경우 메탈마스크(1)에 분사되는 세척액의 세척압이 약하여 세척이 깨끗하게 되지 못한다는 문제점이 있다.In the conventional mask cleaning apparatus, the nozzle 3 is installed on the metal mask 1 to spray the cleaning liquid onto the metal mask 1. In this case, there is a problem in that the washing pressure of the washing liquid sprayed on the metal mask 1 is weak and the washing is not cleaned.

또한 종래의 마스크 세척장치의 경우 모터캠(5)을 회전시켜서 메탈마스크(1)를 초음파진동부(7)에 접촉시키거나 분리시킨다. 이 경우 모터캠(5)의 회전속도가 일정하여 메탈마스크(1)가 초음파진동부(7)에 접촉하는 시간을 조절할 수 없어서 세척시간이 증가된다는 문제점이 있다.In addition, in the conventional mask cleaning apparatus by rotating the motor cam 5 to contact or separate the metal mask 1 to the ultrasonic vibrator (7). In this case, since the rotational speed of the motor cam 5 is constant, the time for which the metal mask 1 is in contact with the ultrasonic vibrator 7 cannot be adjusted, thereby increasing the washing time.

또한 종래의 마스크 세척장치의 경우 메탈마스크(1)를 마스크거치대에 삽입시키면 그 위치가 정확하게 고정되지 아니하여 초음파진동부와 정확한 간격을 맞추기가 어렵다는 문제점이 있다.In addition, in the case of the conventional mask cleaning apparatus, when the metal mask 1 is inserted into the mask holder, the position thereof is not accurately fixed, so that it is difficult to precisely match the ultrasonic vibration unit.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 메탈마스크(1) 전체에 고압으로 세척액을 분사하여 세척력을 증가시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is intended to solve the above problems. An object of the present invention is to provide a mask cleaning apparatus that can increase the cleaning power by spraying the cleaning liquid at high pressure throughout the metal mask (1).

또한 본 발명은 메탈마스크(1)와 초음파진동부(7)가 접촉하는 시간을 조절할 수 있어서 초음파진동부(7)에 의하여 메탈마스크(1)가 가진되는 시간을 늘림으로써 세척시간을 단축시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, the present invention can control the contact time between the metal mask 1 and the ultrasonic vibrator 7 can shorten the cleaning time by increasing the time the metal mask 1 is excited by the ultrasonic vibrator (7). It is an object to provide a mask cleaning apparatus.

또한 본 발명은 메탈마스크를 마스크거치대에 삽입시 초음파 진동부와 정확한 간격을 유지시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a mask cleaning apparatus that can maintain a precise distance from the ultrasonic vibration unit when the metal mask is inserted into the mask holder.

본 발명에 따른 마스크 세척장치는 마스크거치대와, 베어링부와, 회동신린더와, 초음파진동부와, 제1노즐수단과, 제2노즐수단을 포함한다. 상기 마스크거치대는 전면과 후면이 개방되고 메탈마스크나 메쉬마스크가 장착될 수 있다. 상기 베어링부는 상기 마스크거치대가 회동될 수 있게 베어링으로 상기 마스크거치대의 하단을 지지한다. 상기 회동실린더는 상기 마스크거치대가 상기 베어링부를 중심으로 회동할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상부를 전후로 이동시킨다. 상기 초음파진동부는 상기 마스크거치대의 전면에서 상기 마스크거치대에 거치된 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 접촉하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크를 진동시킨다. 상기 제1노즐수단은 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상단의 전후에 위치한다. 상기 제2노즐수단은 상기 마스크거치대의 후면에서 좌우로 이동하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사한다.The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a mask holder, a bearing portion, a rotational cylinder, an ultrasonic vibration unit, a first nozzle means, and a second nozzle means. The mask holder may be opened at the front and rear and may be equipped with a metal mask or a mesh mask. The bearing part supports the lower end of the mask holder with a bearing so that the mask holder may be rotated. The rotation cylinder moves the upper portion of the mask holder back and forth so that the mask holder can rotate about the bearing part. The ultrasonic vibrator vibrates the metal mask or the mesh mask by contacting the metal mask or the mesh mask mounted on the mask holder on the front surface of the mask holder. The first nozzle means is located before and after the upper end of the mask holder so as to spray the cleaning liquid onto the metal mask or the mesh mask. The second nozzle means moves from the rear of the mask holder to the left and right to spray the cleaning liquid to the metal mask or the mesh mask.

또한, 상기의 마스크 세척장치는 밀착바와, 지지바를 더 포함하는 것이 바람직하다. 상기 밀착바는 쇄기 모양으로서 상기 마스크거치대에 거치된 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크가 상기 마스크거치대의 전면에 밀착될 수 있도록 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크의 하단을 안내할 수 있게 상기 마스크거치대에 삽입된다. 상기 지지바는 상기 마스크거치대에 삽입되어 상기 메탈마스크나 메쉬마스크의 하단을 지지한다.In addition, the mask cleaning device preferably further comprises an adhesion bar and a support bar. The close contact bar has a wedge shape and is inserted into the mask holder so that the metal mask or the mesh mask mounted on the mask holder can guide the lower end of the metal mask or the mesh mask to be in close contact with the front surface of the mask holder. do. The support bar is inserted into the mask holder to support the lower end of the metal mask or mesh mask.

또한, 상기의 마스크 세척장치에 있어서, 상기 회동실린더는 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크가 상기 초음파진동부에 접촉하는 시간을 제어할 수 있는 것이 바람직하다.In the mask cleaning apparatus, it is preferable that the rotation cylinder can control the time for which the metal mask or the mesh mask contacts the ultrasonic vibration unit.

또한, 상기의 마스크 세척장치는 공기압공급수단과, 세척액탱크와, 배수밸브와, 세척액펌프와, 제1솔레노이드밸브와, 제2솔레노이드밸브와, 제3솔레노이드밸브와, 3웨이밸브를 더 포함한다. 상기 세척액 탱크는 세척액을 저장한다. 상기 배수밸브는 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에서 분사된 세척액이 상기 세척액탱크로 배출되도록 한다. 상기 세척액펌프는 상기 세척액탱크에 저장된 세척액을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급한다. 상기 제1솔레노이드밸브는 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 회동실린더에 공급하는 것을 제어한다. 상기 제2솔레노이드밸브는 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압으로 상기 세척액펌프를 작동시키기 위하여 상기 세척액펌프로 공급하는 것을 제어한다. 상기 제3솔레노이드밸브는 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단이 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 공기를 분사하여 건조시킬 수 있도록 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급하는 것을 제어한다. 상기 3웨이밸브는 상기 제3솔레노이드밸브가 잠겨지면 상기 세척액펌프에서 공급되는 세척액을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급하고, 상기 제3솔레노이드밸브가 열려지면 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급한다.In addition, the mask cleaning apparatus further includes an air pressure supply means, a washing liquid tank, a drain valve, a washing liquid pump, a first solenoid valve, a second solenoid valve, a third solenoid valve, and a three-way valve. . The wash liquid tank stores the wash liquid. The drain valve allows the washing liquid injected from the first nozzle means and the second nozzle means to be discharged to the washing liquid tank. The washing liquid pump supplies washing liquid stored in the washing liquid tank to the first nozzle means and the second nozzle means. The first solenoid valve controls supplying the air pressure supplied from the air pressure supply means to the rotation cylinder. The second solenoid valve controls the supply of the washing liquid pump to operate the washing liquid pump at the air pressure supplied from the air pressure supply means. The third solenoid valve includes the first nozzle means and the air pressure supplied from the air pressure supply means so that the first nozzle means and the second nozzle means inject air into the metal mask or the mesh mask to dry the air. Supply to the second nozzle means is controlled. When the third solenoid valve is locked, the three-way valve supplies the washing liquid supplied from the washing liquid pump to the first nozzle means and the second nozzle means, and when the third solenoid valve is opened, the air pressure supply means. The supplied air pressure is supplied to the first nozzle means and the second nozzle means.

본 발명에 의하면, 밀착바와 지지바를 구비한 마스크 세척장치를 제공함으로 인하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 마스크거치대에 삽입시 메탈마스크나 메쉬마스크를 마스크거치대의 끝부분에 밀착시킬 수 있다. 이로 인하여 메탈마스크나 메쉬마스크를 초음파 진동부와 정확한 간격을 유지시킬 수 있다.According to the present invention, by providing a mask cleaning device having an adhesion bar and a support bar, when the metal mask or the mesh mask is inserted into the mask holder, the metal mask or mesh mask may be in close contact with the end of the mask holder. As a result, the metal mask or the mesh mask may be maintained at an accurate distance from the ultrasonic vibration unit.

또한, 본 발명에 의하면 회동실린더를 사용하여 마스크거치대를 회동시킬 수 있다. 이 경우 메탈마스크나 메쉬마스크가 초음파진동부에 접촉된 후 마스크거치대를 정지시키고, 정지된 시간을 제어할 수 있다. 그래서 세척력의 증가와 세척시간을 단축시킬 수 있다.Moreover, according to this invention, a mask holder can be rotated using a rotation cylinder. In this case, after the metal mask or the mesh mask is in contact with the ultrasonic vibration unit, the mask holder may be stopped and the stopped time may be controlled. Therefore, the washing power can be increased and the washing time can be shortened.

또한, 본 발명에 의하면 메탈마스크나 메쉬마스크의 상단의 전후에 위치한 제1노즐수단 뿐만 아니라, 메탈마스크나 메쉬마스크의 후면에서 좌우로 이동하여 세척액을 분사하는 제2노즐수단을 구비한 마스크 세척장치를 제공함으로 인하여 메탈마스크 전체에 세척액을 고압으로 분사할 수 있다. 따라서 세척 효과를 높일 뿐만 아니라 메탈마스크나 메쉬마스크의 표면 및 개구부를 함께 세척할 수 있다.In addition, according to the present invention, the mask cleaning apparatus having not only the first nozzle means positioned before and after the upper end of the metal mask or the mesh mask, but also the second nozzle means moving from the rear of the metal mask or the mesh mask to the left and right to spray the cleaning liquid. By providing the washing solution can be sprayed at high pressure throughout the metal mask. Therefore, it is possible to clean the surface and the opening of the metal mask or mesh mask as well as to enhance the cleaning effect.

도 1은 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예의 개념도,
도 2는 도 1에 도시된 실시예의 세척의 동작원리를 나타낸 개념도,
도 3은 종래의 마스크 세척장치의 개념도이다.1 is a conceptual diagram of one embodiment of a mask cleaning apparatus according to the present invention;
2 is a conceptual diagram showing the operating principle of the washing of the embodiment shown in FIG.
3 is a conceptual diagram of a conventional mask cleaning apparatus.

도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예를 설명한다.1 and 2 will be described an embodiment of a mask cleaning apparatus according to the present invention.

본 발명에 따른 마스크 세척장치는 마스크거치대(11)와, 베어링부(13)와, 회동실린더(15)와, 초음파진동부(17)와, 제1노즐수단(19)과, 제2노즐수단(21)과, 밀착바(23)와, 지지바(25)와, 공기압공급수단(27)과, 세척액탱크(29)와, 배수밸브(31)와, 세척액펌프(33)와, 제1솔레노이드밸브(35)와, 제2솔레노이드밸브(37)와, 제3솔레노이드밸브(39)와, 3웨이밸브(41)를 포함한다.The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a mask holder 11, a bearing part 13, a rotation cylinder 15, an ultrasonic vibration part 17, a first nozzle means 19, and a second nozzle means. 21, the close contact bar 23, the support bar 25, the air pressure supply means 27, the washing liquid tank 29, the drain valve 31, the washing liquid pump 33, the first A solenoid valve 35, a second solenoid valve 37, a third solenoid valve 39, and a three-way valve 41 are included.

마스크거치대(11)는 전면(11a)과 후면(11b)이 개방되고 메탈마스크(1)가 장착될 수 있다. 메탈마스크(1)는 마스크거치대(11)의 상면(11c)으로 삽입될 수 있다. 본 실시예에서는 마스크거치대(11)에 메탈마스크(1)를 장착하였지만, 메탈마스크(1)와 동일하게 메쉬마스크를 장착할 수 있다.The mask holder 11 may have a front face 11a and a rear face 11b open and a metal mask 1 mounted thereon. The metal mask 1 may be inserted into the top surface 11c of the mask holder 11. In the present embodiment, the metal mask 1 is mounted on the mask holder 11, but the mesh mask may be mounted in the same manner as the metal mask 1.

베어링부(13)는 마스크거치대(11)가 회동될 수 있도록 베어링(14)으로 마스크거치대(11)의 하단을 지지한다. 따라서 마스크거치대(11)는 베어링부(13)를 중심으로 전후로 회동될 수 있다.The bearing part 13 supports the lower end of the mask holder 11 with a bearing 14 so that the mask holder 11 can be rotated. Therefore, the mask holder 11 may be rotated back and forth around the bearing portion 13.

회동실린더(15)는 마스크거치대(11)가 베어링부(13)를 중심으로 회동할 수 있도록 마스크거치대(11)의 상부를 전후로 이동시키는 역할을 한다. 회동실린더(150)는 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압으로 피스톤이 슬라이딩을 하여 마스크거치대(11)를 전후로 이동시킨다. 즉 피스톤이 전진하면 마스크거치대(11)가 초음파진동부(17)로 회동하고, 피스톤이 후진하면 마스크거치대(11)는 초음파진동부(17)에서 멀어진다.The rotation cylinder 15 serves to move the upper portion of the mask holder 11 back and forth so that the mask holder 11 can rotate about the bearing unit 13. The rotation cylinder 150 moves the mask holder 11 back and forth by sliding the piston with the air pressure supplied from the air pressure supply means 27. That is, when the piston moves forward, the mask holder 11 rotates to the ultrasonic vibrator 17, and when the piston moves backward, the mask holder 11 moves away from the ultrasonic vibrator 17.

초음파진동부(17)는 마스크거치대(11)의 전면에 설치되어 마스크거치대(11)에 거치된 메탈마스크(1)가 접촉할 경우 메탈마스크(1)를 진동시킨다.The ultrasonic vibrator 17 is installed on the front surface of the mask holder 11 to vibrate the metal mask 1 when the metal mask 1 mounted on the mask holder 11 contacts.

제1노즐수단(19)은 마스크거치대(11)의 상단의 전후에 위치하여 메탈마스크(1)에 세척액을 분사한다.The first nozzle means 19 is located before and after the upper end of the mask holder 11 to spray the cleaning liquid to the metal mask (1).

제2노즐수단(21)은 마스크거치대(11)의 후면에 위치하여 메탈마스크(1)에 세척액을 분사한다. 이때 제2노즐수단(21)은 메탈마스크(1) 전체를 고압으로 세척할 수 있도록 좌우로 이동한다.The second nozzle means 21 is located at the rear of the mask holder 11 and sprays the cleaning liquid onto the metal mask 1. At this time, the second nozzle means 21 moves to the left and right to wash the entire metal mask 1 at high pressure.

밀착바(23)는 메탈마스크(1)의 하단을 안내하여 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)의 내부에서 마스크거치대(11)의 전면에 밀착될 수 있도록 한다. 이를 위하여 밀착바(23)는 쐐기 모양으로서 마스크거치대(11)에 삽입된다. 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)에 용이하게 삽입되고 꺼내어져야 하므로 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)에 삽입되더라도 빈 공간이 남는다. 이 경우 메탈마스크(1)는 마스크거치대(11) 내부에서 일정한 위치에 삽입되는 것이 아니라 삽입될 때마다 그 위치가 달라질 수 있다. 메탈마스크(1)는 마스크거치대(11)가 회전시 초음파진동부(17)에 접촉하여야 하므로 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11)에 삽입시 항상 일정한 위치에 장착되어야 한다. 밀착바(23)는 쐐기 모양으로 형성되므로 메탈마스크(1)가 삽입되면 하단이 밀착바(23)의 경사면에 접촉하여 마스크거치대(11)의 전면으로 안내된다. 즉 밀착바(23)는 메탈마스크(1)가 마스크거치대(11) 내부에서 일정한 위치로 삽입될 수 있도록 안내하는 역할을 한다.The adhesion bar 23 guides the lower end of the metal mask 1 so that the metal mask 1 may be in close contact with the front surface of the mask holder 11 in the mask holder 11. For this purpose, the contact bar 23 is inserted into the mask holder 11 as a wedge shape. Since the metal mask 1 should be easily inserted into and removed from the mask holder 11, an empty space remains even when the metal mask 1 is inserted into the mask holder 11. In this case, the metal mask 1 is not inserted into a predetermined position in the mask holder 11, but the position thereof may be changed each time. Since the metal mask 1 should contact the ultrasonic vibrator 17 when the mask holder 11 rotates, the metal mask 1 should always be mounted at a constant position when the mask mask 11 is inserted into the mask holder 11. Since the close contact bar 23 is formed in a wedge shape, when the metal mask 1 is inserted, the lower end contacts the inclined surface of the close contact bar 23 to guide the front surface of the mask holder 11. That is, the adhesion bar 23 serves to guide the metal mask 1 to be inserted into a predetermined position in the mask holder 11.

지지바(25)는 마스크거치대(11)에 삽입되어 메탈마스크(1)의 하단을 지지한다. 지지바(25)가 마스크거치대(11)의 내부에서 메탈마스크(1)의 하단을 지지하고 있으므로 메탈마스크(1)는 하단은 밀착바(23)에 의하여 고정되지만 상단은 전후로 이동할 수 있다. 이는 마스크거치대(11)가 회동실린더(15)에 의하여 초음파진동부(17) 방향으로 회동하면 메탈마스크(1)가 상단이 마스크거치대(11)의 후면에 접촉한 후 초음파진동부(17)에 접촉할 수 있도록 한다.The support bar 25 is inserted into the mask holder 11 to support the lower end of the metal mask 1. Since the support bar 25 supports the lower end of the metal mask 1 inside the mask holder 11, the lower end of the metal mask 1 is fixed by the contact bar 23, but the upper end may move back and forth. This is because when the mask holder 11 is rotated in the direction of the ultrasonic vibrator 17 by the rotation cylinder 15, the metal mask 1 contacts the rear surface of the mask holder 11 after the upper end thereof contacts the ultrasonic vibrator 17. Make contact.

공기압공급수단(27)은 압축공기를 공급한다.The air pressure supply means 27 supplies compressed air.

세척액탱크(29)는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에서 분사되는 세척액을 저장한다.The cleaning liquid tank 29 stores the cleaning liquid injected from the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21.

배수밸브(31)는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에서 분사된 세척액이 세척액탱크(29)로 배출되도록 한다. 즉 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에서 분사된 세척액은 메탈마스크(1)를 세척한 후 다시 세척액탱크(29)로 공급된다.The drain valve 31 allows the washing liquid sprayed from the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21 to be discharged to the washing liquid tank 29. That is, the washing liquid sprayed from the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21 is supplied to the washing liquid tank 29 after washing the metal mask 1.

세척액펌프(33)는 세척액탱크(29)에 저장된 세척액을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급한다.The washing liquid pump 33 supplies the washing liquid stored in the washing liquid tank 29 to the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21.

제1솔레노이드밸브(35)는 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압을 회동실린더(15)에 공급하는 것을 제어한다. 즉 제1솔레노이드밸브(35)가 온되면 공기압공급수단(27)의 공기압이 회동실린더(15)로 공급된다. 그러면 회동실린더(15)가 작동하여 마스크거치대(11)를 전후로 회동시킬 수 있다.The first solenoid valve 35 controls supply of the air pressure supplied from the air pressure supply means 27 to the rotation cylinder 15. That is, when the first solenoid valve 35 is turned on, the air pressure of the air pressure supply means 27 is supplied to the rotation cylinder 15. Then, the rotation cylinder 15 may be operated to rotate the mask holder 11 back and forth.

제2솔레노이드밸브(37)는 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압으로 세척액펌프(33)를 작동시키기 위하여 세척액펌프(33)로 공급하는 것을 제어한다. 즉 제2솔레노이드밸브(37)가 온되면 공기압공급수단(27)의 공기압이 세척액펌프(33)로 제공된다. 그러면 세척액펌프(33)가 작동하여 세척액탱크(29)의 세척액이 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 제공된다.The second solenoid valve 37 controls the supply to the washing liquid pump 33 to operate the washing liquid pump 33 with the air pressure supplied from the air pressure supply means 27. That is, when the second solenoid valve 37 is turned on, the air pressure of the air pressure supply means 27 is provided to the washing liquid pump 33. Then, the washing liquid pump 33 is operated to provide the washing liquid of the washing liquid tank 29 to the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21.

제3솔레노이드밸브(39)는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)이 메탈마스크(1)에 공기를 분사하여 건조시킬 수 있도록 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급하는 것을 제어한다. 즉 즉 제3솔레노이드밸브(39)가 온되면 공기공급수단(27)의 공기압이 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 제공된다. 그러면 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)은 고압의 공기를 메탈마스크(1)에 분사시켜 메탈마스크(1)를 건조시킨다. 따라서 제2솔레노이드밸브(27)가 온되면 제3솔레노이드밸브(39)가 오프되며, 제3솔레노이드밸브(39)가 온되면 제2솔레노이드밸브(37)가 오프된다.The third solenoid valve 39 is a first nozzle for supplying the air pressure supplied from the air pressure supply means so that the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21 inject air into the metal mask 1 and dry it. Supply to the means 19 and the second nozzle means 21 is controlled. That is, when the third solenoid valve 39 is turned on, the air pressure of the air supply means 27 is provided to the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21. Then, the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21 injects high pressure air to the metal mask 1 to dry the metal mask 1. Therefore, when the second solenoid valve 27 is turned on, the third solenoid valve 39 is turned off, and when the third solenoid valve 39 is turned on, the second solenoid valve 37 is turned off.

3웨이밸브(41)는 제3솔레노이드밸브(39)가 잠겨지면 세척액펌프(33)에서 공급되는 세척액을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급하고, 제3솔레노이브밸브(39)가 열려지면 공기압공급수단(27)에서 공급되는 공기압을 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급한다. When the third solenoid valve 39 is locked, the three-way valve 41 supplies the washing liquid supplied from the washing liquid pump 33 to the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21, and the third solenoid. When the eve valve 39 is opened, the air pressure supplied from the air pressure supply means 27 is supplied to the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21.

미설명부호인 34는 세척액 필터이다. 세척액펌프(33)에서 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)에 공급되는 세척액에서 불순물을 필터링한다.Reference numeral 34 is a washing liquid filter. The washing liquid pump 33 filters impurities in the washing liquid supplied to the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21.

이하에서는 본 실시예의 동작에 대하여 설명한다.The operation of this embodiment will be described below.

메탈마스크(1)를 세척하기 위하여 사용자가 마스크거치대(11)에 삽입하면 도 2의 (a)와 같이 메탈마스크(1)는 장착된다. 이때 메탈마스크(1)는 밀착바(23)에 의하여 마스크거치대(11)의 전면에 밀착된다. 그래서 메탈마스크(1)를 항상 일정한 위치로 삽입시킬 수 있다.When the user inserts the mask holder 11 to clean the metal mask 1, the metal mask 1 is mounted as shown in FIG. At this time, the metal mask 1 is in close contact with the front surface of the mask holder 11 by the close contact bar (23). Therefore, the metal mask 1 can always be inserted into a certain position.

메탈마스크 세착장치를 작동시키면 제1솔레노이드밸브(35)가 온되어 공기압이 회동실린더(15)에 공급되고, 동시에 제2솔레노이드밸브(37)가 온되어 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)으로 세척액이 제공된다. 공기압에 의하여 회동실린더(15)의 피스톤이 동작하여 마스크거치대(11)를 회동시킨다. 피스톤이 전진하면 마스크거치대(11)가 초음파진동부(17) 방향으로 베어링부(13)를 중심으로 회동한다. 그러면 도 2의 (b)와 같이 마스크거치대(11) 내부의 메탈마스크(1)가 초음파진동부(17)에 접촉된다. 이때 메탈마스크(1)의 상단은 마스크거치대(11)의 후면에 접촉하여 고정된다. 메탈마스크(1)의 하단이 지지바(25)에 의하여 지지되므로 메탈마스크(1)의 상단이 자유롭게 이동이 가능하여 초음파진동부(17)에 접촉하면서 마스크거치대(11)의 후면에 접촉한다. When the metal mask cleaning device is operated, the first solenoid valve 35 is turned on, and the air pressure is supplied to the rotation cylinder 15. At the same time, the second solenoid valve 37 is turned on, so that the first nozzle means 19 and the second nozzle are turned on. The washing liquid is provided to the means 21. The piston of the rotation cylinder 15 is operated by the air pressure to rotate the mask holder 11. When the piston moves forward, the mask holder 11 rotates about the bearing part 13 in the direction of the ultrasonic vibration part 17. Then, as shown in (b) of FIG. 2, the metal mask 1 inside the mask holder 11 contacts the ultrasonic vibrator 17. At this time, the upper end of the metal mask 1 is fixed in contact with the rear of the mask holder (11). Since the lower end of the metal mask 1 is supported by the support bar 25, the upper end of the metal mask 1 may be freely moved to contact the rear surface of the mask holder 11 while contacting the ultrasonic vibrator 17.

초음파진동부(17)가 가진하여 메탈마스크(1)를 진동시킨다. 이때 초음파진동부(17)가 가진함과 동시에 제2노즐수단(19)은 좌우로 이동하면서 메탈마스크(1)에 고압의 세척액을 분사시킨다. 이 경우에는 메탈마스크(1)의 세척 및 헹굼작용이 동시에 이루어진다.The ultrasonic vibrator 17 vibrates the metal mask 1. At this time, while the ultrasonic vibrator 17 is excited, the second nozzle means 19 moves to the left and right to inject a high pressure washing liquid into the metal mask 1. In this case, washing and rinsing of the metal mask 1 are performed at the same time.

그리고 일정한 시간이 지나면 회동실린더(15)가 작동하면 마스크거치대(11)는 도 2의 (a)와 같이 회동하여 초음파진동부(17)로부터 분리된다. 이때에는 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)으로부터 세척액이 제공되어 메탈마스크(1)의 행굼작용이 일어난다.When the rotation cylinder 15 operates after a predetermined time, the mask holder 11 is rotated as shown in FIG. 2A to be separated from the ultrasonic vibrator 17. At this time, the cleaning liquid is provided from the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21 to cause a rinsing action of the metal mask 1.

도 2의 (a) 및 (b)와 같은 동작이 반복적으로 수행되면 메탈마스크(1)에 부착된 솔더페이스트는 제거된다. 그러면 제2솔레노이드밸브(37)는 오프되고 제3솔레노이드밸브(39)가 온되어 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)으로 압축공기를 공급한다. 제1노즐수단(19) 및 제2노즐수단(21)은 메탈마스크(1)에 압축공기를 분사시켜 메탈마스크(1)를 건조시킨다. 상기의 과정을 통하며 메탈마스크(1)에 부착된 솔더페이스트를 제거할 수 있다.When the operations such as (a) and (b) of FIG. 2 are repeatedly performed, the solder paste attached to the metal mask 1 is removed. Then, the second solenoid valve 37 is turned off and the third solenoid valve 39 is turned on to supply compressed air to the first nozzle means 19 and the second nozzle means 21. The first nozzle means 19 and the second nozzle means 21 blow compressed air into the metal mask 1 to dry the metal mask 1. Through the above process, it is possible to remove the solder paste attached to the metal mask (1).

1 : 메탈마스크 11 : 마스크거치대
13 : 베어링부 14 : 베어링
15 : 회동실린더 17 : 초음파진동부
19 : 제1노즐수단 21 : 제2노즐수단
23 : 밀착바 25 : 지지바
27 : 공기압공급수단 29 : 세척액탱크
31 : 배수밸브 33 : 세척액펌프
34 : 세척액필터 35 : 제1솔레노이드밸브
37 : 제2솔레노이드밸브 39 : 제3솔레노이드밸브
41 : 3웨이밸브1: metal mask 11: mask holder
13: bearing 14: bearing
15: rotation cylinder 17: ultrasonic vibration unit
19: first nozzle means 21: second nozzle means
23: contact bar 25: support bar
27: air pressure supply means 29: washing liquid tank
31: drain valve 33: washing liquid pump
34: washing liquid filter 35: the first solenoid valve
37: second solenoid valve 39: third solenoid valve
41: 3-way valve

Claims (4)

전면과 후면이 개방되고 메탈마스크나 메쉬마스크가 장착될 수 있는 마스크거치대와,
상기 마스크거치대가 회동될 수 있게 베어링으로 상기 마스크거치대의 하단을 지지하는 베어링부와,
상기 마스크거치대가 상기 베어링부를 중심으로 회동할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상부를 전후로 이동시키는 회동실린더와,
상기 마스크거치대의 전면에서 상기 마스크거치대에 거치된 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 접촉하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크를 진동시키기 위한 초음파진동부와,
상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 상기 마스크거치대의 상단의 전후에 위치한 제1노즐수단과,
상기 마스크거치대의 후면에서 좌우로 이동하여 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 세척액을 분사할 수 있도록 제2노즐수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.Mask holders with open front and back sides and can be equipped with metal or mesh masks,
A bearing part for supporting a lower end of the mask holder with a bearing such that the mask holder may be rotated;
A rotation cylinder for moving the upper and lower portions of the mask holder back and forth so that the mask holder can rotate about the bearing part;
An ultrasonic vibrator for vibrating the metal mask or the mesh mask by contacting the metal mask or the mesh mask mounted on the mask holder from the front of the mask holder;
First nozzle means positioned before and after the upper end of the mask holder to spray the cleaning liquid onto the metal mask or the mesh mask;
And a second nozzle means to move from side to side in the rear of the mask holder to spray the cleaning liquid to the metal mask or the mesh mask. 제1항에 있어서,
상기 마스크거치대에 거치된 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크가 상기 마스크거치대의 전면에 밀착될 수 있도록 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크의 하단을 안내할 수 있게 상기 마스크거치대에 삽입된 쐐기 모양의 밀착바와,
상기 마스크거치대에 삽입되어 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크의 하단을 지지하는 지지바를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.The method of claim 1,
A wedge-shaped contact bar inserted into the mask holder so that the metal mask or the mesh mask mounted on the mask holder can guide the lower end of the metal mask or the mesh mask so as to be in close contact with the front surface of the mask holder;
And a support bar inserted into the mask holder to support a lower end of the metal mask or the mesh mask. 제2항에 있어서,
상기 회동실린더는 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크가 상기 초음파진동부에 접촉하는 시간을 제어할 수 있는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.The method of claim 2,
The rotating cylinder is a mask cleaning device, characterized in that for controlling the time that the metal mask or the mesh mask is in contact with the ultrasonic vibration unit. 제3항에 있어서,
공기압공급수단과,
세척액을 저장하는 세척액탱크와,
상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에서 분사된 세척액이 상기 세척액탱크로 배출되도록 하는 배수밸브와,
상기 세척액탱크에 저장된 세척액을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급하기 위한 세척액펌프와,
상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 회동실린더에 공급하는 것을 제어하는 제1솔레노이드밸브와,
상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압으로 상기 세척액펌프를 작동시키기 위하여 상기 세척액펌프로 공급하는 것을 제어하는 제2솔레노이드밸브와,
상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단이 상기 메탈마스크나 상기 메쉬마스크에 공기를 분사하여 건조시킬 수 있도록 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급하는 것을 제어하는 제3솔레노이드밸브와,
상기 제3솔레노이드밸브가 잠겨지면 상기 세척액펌프에서 공급되는 세척액을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급하고, 상기 제3솔레노이드밸브가 열려지면 상기 공기압공급수단에서 공급되는 공기압을 상기 제1노즐수단 및 상기 제2노즐수단에 공급하는 3웨이밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.The method of claim 3,
Air pressure supply means,
Washing liquid tank for storing the washing liquid,
A drain valve for discharging the washing liquid injected from the first nozzle means and the second nozzle means to the washing liquid tank;
A washing liquid pump for supplying the washing liquid stored in the washing liquid tank to the first nozzle means and the second nozzle means;
A first solenoid valve for controlling supply of the air pressure supplied from the air pressure supply means to the rotation cylinder;
A second solenoid valve controlling supplying to the washing liquid pump to operate the washing liquid pump at an air pressure supplied from the air pressure supply means;
Supplying the air pressure supplied from the air pressure supply means to the first nozzle means and the second nozzle means such that the first nozzle means and the second nozzle means inject air into the metal mask or the mesh mask to dry the air. A third solenoid valve for controlling
When the third solenoid valve is locked, the cleaning liquid supplied from the washing liquid pump is supplied to the first nozzle means and the second nozzle means, and when the third solenoid valve is opened, the air pressure supplied from the air pressure supply means is supplied. Mask cleaning apparatus further comprises a three-way valve for supplying the first nozzle means and the second nozzle means.
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