KR20200069634A - Washing apparatus of metal mask - Google Patents

Washing apparatus of metal mask Download PDF

Info

Publication number
KR20200069634A
KR20200069634A KR1020180156912A KR20180156912A KR20200069634A KR 20200069634 A KR20200069634 A KR 20200069634A KR 1020180156912 A KR1020180156912 A KR 1020180156912A KR 20180156912 A KR20180156912 A KR 20180156912A KR 20200069634 A KR20200069634 A KR 20200069634A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
washing
mask
tank
jig
cleaning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
KR1020180156912A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102181480B1 (en
Inventor
박일환
Original Assignee
박일환
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 박일환 filed Critical 박일환
Priority to KR1020180156912A priority Critical patent/KR102181480B1/en
Publication of KR20200069634A publication Critical patent/KR20200069634A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102181480B1 publication Critical patent/KR102181480B1/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H01L21/67057—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
    • H10P72/0406—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H10P72/0411—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H10P72/0416—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing with the semiconductor substrates being dipped in baths or vessels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
    • G03F7/70925—Cleaning, i.e. actively freeing apparatus from pollutants, e.g. using plasma cleaning
    • H01L21/67034—
    • H01L21/67051—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
    • H10P72/0406—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H10P72/0408—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
    • H10P72/0406—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H10P72/0411—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H10P72/0414—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Atmospheric Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)

Abstract

본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 세척 및 건조를 함께 할 수 있을 뿐만 아니라 스퀴지도 함께 세척할 수 있는 마스크 세척장치에 대한 것이다.
본 발명에 따른 마스크 세척장치는 세척조와, 세척지그와, 이동수단과, 초음파가진기와, 세정노즐부와, 에어노즐부 및 건조조를 포함한다. 상기 세척조는 세척액을 수용하며, 상기 세척액을 배출시킬 수 있는 배수구가 형성된다. 상기 세척지그는 마스크가 장착될 수 있다. 상기 이동수단은 상기 마스크를 세정하기 위하여 상기 세척지그를 상기 세척조로 삽입할 수 있도록 상기 세척지그를 상하로 이동시킨다. 상기 초음파가진기는 상기 이동수단으로 상기 세척조에 이동된 상기 세척지그에 장착된 마스크를 상기 세척액으로 세정할 수 있게 상기 세척조에 장착된다. 상기 세정노즐부는 상기 초음파가진기로 세척될 상기 마스크에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 상기 세척액을 상기 마스크에 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 에어노즐부는 상기 세정노즐부에 의하여 세정된 후 배출되는 상기 마스크를 건조시킬 수 있도록 상기 마스크에 공기를 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 건조조는 상기 세척지그가 관통하여 삽입될 수 있으며, 상기 에어노즐부로 상기 마스크에 상기 공기를 분사할 때 상기 세척조의 세척액이 상기 마스크로 튀는 것을 방지할 수 있도록 상기 에어노즐부를 감쌀 수 있게 상기 세척조에 장착된다.The present invention relates to a mask cleaning device, and more particularly, to a mask cleaning device capable of cleaning and drying together as well as a squeegee.
The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank, a cleaning jig, a moving means, an ultrasonic vibrator, a cleaning nozzle unit, an air nozzle unit and a drying tank. The washing tank accommodates the washing liquid, and a drain hole through which the washing liquid can be discharged is formed. The washing jig may be equipped with a mask. The moving means moves the washing jig up and down so that the washing jig can be inserted into the washing tank to clean the mask. The ultrasonic vibrator is mounted on the washing tank so that the mask mounted on the washing jig moved to the washing tank by the moving means can be cleaned with the washing solution. The cleaning nozzle unit is mounted to the washing tank so that the cleaning solution can be sprayed onto the mask to remove foreign substances attached to the mask to be cleaned with the ultrasonic vibrator. The air nozzle unit is mounted in the washing tank so as to spray air into the mask so as to dry the mask discharged after being cleaned by the cleaning nozzle unit. The washing tank may be inserted through the washing jig, and when the air is sprayed onto the mask through the air nozzle unit, the washing tank can be wrapped so that the washing liquid of the washing tank is prevented from splashing into the mask. It is mounted on.

Description

마스크 세척장치{Washing apparatus of metal mask}Mask washing apparatus {Washing apparatus of metal mask}

본 발명은 마스크 세척장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 세척 및 건조를 함께 할 수 있을 뿐만 아니라 스퀴지도 함께 세척할 수 있는 마스크 세척장치에 대한 것이다. The present invention relates to a mask cleaning device, and more particularly, to a mask cleaning device capable of cleaning and drying together as well as a squeegee.

마스크 세척장치는 SMD(Surface Mount Device)의 표면실장 공정에 사용되는 메탈마스크 또는 반도체 공정에 사용되는 메쉬마스크에 부착된 솔더페이스트(solder paster) 및 기타물질을 자동으로 제거하는 장치다. 종래의 마스크 세척장치는 마스크가 거치될 수 있는 마스크거치대와, 마스크를 세척할 수 있는 세척액을 수용하는 세척조와, 마스크거치대를 세척조로 슬라이딩시킬 수 있게 상하이동시키는 실린더와, 세척조에서 세척액으로 마스크를 세척시키기 위한 초음파진동부와, 마스크에서 이물질을 제거할 수 있도록 세척액을 마스크에 분사시키는 노즐수단을 구비한다. 그래서 세척조에서 초음파진동부를 사용하여 마스크를 세착하였다.The mask cleaning device is a device that automatically removes solder paste and other materials attached to a metal mask used in a surface mount process of a SMD (Surface Mount Device) or a mesh mask used in a semiconductor process. A conventional mask cleaning device includes a mask holder on which a mask can be mounted, a washing tank accommodating a cleaning solution capable of cleaning the mask, a cylinder for moving the mask holder to a sliding tank, and a mask with washing liquid in the cleaning tank. It is provided with an ultrasonic vibration unit for cleaning, and a nozzle means for spraying the cleaning liquid to the mask to remove foreign substances from the mask. So, in the washing tank, the mask was washed using an ultrasonic vibration unit.

공개특허 제10-2013-0034675호(공개일자 2013년 04월 08일)Patent Publication No. 10-2013-0034675 (published on April 08, 2013)

종래의 마스크 세척장치의 경우 마스크를 세척한 한 후 마스크를 건조시키기 위해서는 세척장치에서 마스크를 제거한 후 별도의 건조장치를 사용하여 마스크를 건조시켰다. 즉 세척조에서 마스크를 건조시킬 수 없으므로 마스크를 세척조에서 분리하여 마스크를 건조시켰다. 이 경우 마스크를 건조시키기 위하여 별도의 장치가 필요하다는 문제점이 있었다.In the case of a conventional mask cleaning device, in order to dry the mask after washing the mask, the mask is removed from the cleaning device and then the mask is dried using a separate drying device. That is, since the mask cannot be dried in the washing tank, the mask is separated from the washing tank to dry the mask. In this case, there is a problem that a separate device is required to dry the mask.

또한, 종래의 마스크 세척장치는 마스크만 세척할 수 있었고, 스퀴지를 세척할 수 없었다. 그래서 종래에는 마스크 세척장치와 스퀴지 세척장치를 별도로 구비해야 한다는 문제점이 있었다.In addition, the conventional mask cleaning apparatus was able to wash only the mask and not the squeegee. Therefore, there has been a problem in the related art that a mask cleaning device and a squeegee cleaning device must be provided separately.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것이다. 본 발명은 마스크를 세척조에서 세척할 수 있을 뿐만 아니라 건조시킬 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems. An object of the present invention is to provide a mask cleaning device capable of drying a mask as well as washing it in a washing tank.

또한, 본 발명은 마스크 뿐만 아니라 스퀴지도 세척할 수 있는 마스크 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a mask cleaning device capable of cleaning not only a mask but also a squeegee.

본 발명에 따른 마스크 세척장치는 세척조와, 세척지그와, 이동수단과, 초음파가진기와, 세정노즐부와, 에어노즐부 및 건조조를 포함한다. 상기 세척조는 세척액을 수용하며, 상기 세척액을 배출시킬 수 있는 배수구가 형성된다. 상기 세척지그는 마스크가 장착될 수 있다. 상기 이동수단은 상기 마스크를 세정하기 위하여 상기 세척지그를 상기 세척조로 삽입할 수 있도록 상기 세척지그를 상하로 이동시킨다. 상기 초음파가진기는 상기 이동수단으로 상기 세척조에 이동된 상기 세척지그에 장착된 마스크를 상기 세척액으로 세정할 수 있게 상기 세척조에 장착된다. 상기 세정노즐부는 상기 초음파가진기로 세척될 상기 마스크에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 상기 세척액을 상기 마스크에 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 에어노즐부는 상기 세정노즐부에 의하여 세정된 후 배출되는 상기 마스크를 건조시킬 수 있도록 상기 마스크에 공기를 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된다. 상기 건조조는 상기 세척지그가 관통하여 삽입될 수 있으며, 상기 에어노즐부로 상기 마스크에 상기 공기를 분사할 때 상기 세척조의 세척액이 상기 마스크로 튀는 것을 방지할 수 있도록 상기 에어노즐부를 감쌀 수 있게 상기 세척조에 장착된다.The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank, a cleaning jig, a moving means, an ultrasonic vibrator, a cleaning nozzle unit, an air nozzle unit and a drying tank. The washing tank accommodates the washing liquid, and a drain hole through which the washing liquid can be discharged is formed. The washing jig may be equipped with a mask. The moving means moves the washing jig up and down so that the washing jig can be inserted into the washing tank to clean the mask. The ultrasonic vibrator is mounted on the washing tank so that the mask mounted on the washing jig moved to the washing tank by the moving means can be cleaned with the washing liquid. The cleaning nozzle unit is mounted to the washing tank so that the cleaning solution can be sprayed onto the mask to remove foreign substances attached to the mask to be cleaned with the ultrasonic vibrator. The air nozzle unit is mounted in the washing tank so as to spray air into the mask so as to dry the mask discharged after being cleaned by the cleaning nozzle unit. The washing tank may be inserted through the washing jig, and when the air is sprayed onto the mask through the air nozzle unit, the washing tank can be wrapped so that the washing liquid of the washing tank is prevented from splashing into the mask. It is mounted on.

또한, 상기의 마스크 세척장치에 있어서, 상기 에어노즐부는 상기 분사노즐부로 나가는 상기 건조조 내부의 출구에 장착된 제1에어노즐과, 상기 제1에어노즐에서 일정간격 이격되어 상기 건조조에 장착된 제2에어노즐을 구비하는 것이 바람직합니다. 이 경우 상기 제1에어노즐은 상기 분사노즐부가 상기 세척액을 분사하면, 상기 분사노즐부에서 분사되는 세척액이 상기 건조조로 유입되지 않게 상기 건조조의 출구에 에어커튼이 형성될 수 있도록 상기 에어노즐부와 함께 상기 공기를 분사합니다.In addition, in the mask cleaning apparatus, the air nozzle unit is a first air nozzle mounted on the outlet inside the drying tank to go out to the injection nozzle unit, and the first air nozzle is spaced a predetermined distance from the first nozzle installed in the drying tank It is desirable to have 2 air nozzles. In this case, the first air nozzle and the air nozzle unit so that an air curtain is formed at the outlet of the drying tank so that the washing liquid sprayed from the spray nozzle unit does not flow into the drying tank when the spray nozzle unit sprays the washing liquid. The above air is blown together.

또한, 상기의 마스크 세척장치는 상기 세척지그에 탈부착될 수 있게 장착될 수 있으며, 복수의 스퀴지를 장착시킬 수 있는 스퀴지지그를 더 포함하는 것이 바람직합니다.In addition, the mask cleaning device may be mounted to be detachably attached to the washing jig, it is preferable to further include a squeegee jig capable of mounting a plurality of squeegees.

본 발명에 의하면, 세척조에 건조조를 구비함으로 인하여 마스크를 세척할 수 있을 뿐만 아니라 세척된 마스크를 건조시킬 수 있다. 따라서 본 발명의 마스크 세척장치에 의하면 별도의 건조장치가 요구되지 않는다.According to the present invention, it is possible to not only wash the mask but also dry the washed mask by providing a drying tank in the washing tank. Therefore, according to the mask cleaning device of the present invention, a separate drying device is not required.

또한, 본 발명에 의하면 마스크를 장착할 수 있는 세척지그에 스퀴지를 장착시킬 수 있는 스퀴지지그를 더 포함하는 마스크 세척장치를 제공함으로 인하여 마스크 및 스퀴지를 모두 세척할 수 있다.In addition, according to the present invention, both the mask and the squeegee can be cleaned by providing a mask cleaning device further comprising a squeegee that can be equipped with a squeegee on a wash jig capable of mounting a mask.

도 1은 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예의 사시도,
도 2는 도 1의 실시예의 후면도,
도 3은 도 1의 실시예의 좌측면도,
도 4는 도 1의 실시예의 단면도,
도 5는 도 1의 실시예의 건조조의 부분단면도,
도 6은 도 1의 실시예의 세척조의 부분단면도,
도 7은 도 1의 실시예의 세척지그의 확대도이다.1 is a perspective view of an embodiment of a mask cleaning apparatus according to the present invention,
Figure 2 is a rear view of the embodiment of Figure 1,
3 is a left side view of the embodiment of FIG. 1,
4 is a cross-sectional view of the embodiment of FIG. 1,
Figure 5 is a partial cross-sectional view of the drying tank of the embodiment of Figure 1,
Figure 6 is a partial cross-sectional view of the washing tank of the embodiment of Figure 1,
7 is an enlarged view of the washing jig of the embodiment of FIG. 1.

도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명에 따른 마스크 세척장치의 일 실시예를 설명한다.An embodiment of the mask cleaning apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7.

본 발명에 따른 마스크 세척장치는 세척조(10)와, 세척지그(12)와, 스퀴지지그(14)와, 이동수단(20)과, 초음파가진기(22)와, 세정노즐부(25)와, 에어노즐부(30) 및 건조조(35)를 포함한다.The mask cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank 10, a cleaning jig 12, a squeegee jig 14, a moving means 20, an ultrasonic vibrator 22, and a cleaning nozzle unit 25. , Air nozzle unit 30 and a drying tank (35).

세척조(10)는 메탈마스크를 세척할 세척액을 수용하며, 세척액을 배출시킬 수 있는 배구수(10a)가 형성된다.The washing tank 10 accommodates the washing liquid to wash the metal mask, and volleyball water 10a capable of discharging the washing liquid is formed.

세척지그(12)는 메탈마스크가 장착될 수 있으며, 또한 스퀴지지그(14)가 장착될 수 있다.The cleaning jig 12 may be equipped with a metal mask, and also a squeegee jig 14 may be mounted.

스퀴지지그(14)는 복수의 스퀴지(15)가 장착될 수 있으며, 세척지그(12)에 탈부착될 수 있게 장착될 수 있다.The squeegee jig 14 may be equipped with a plurality of squeegees 15 and may be detachably attached to the washing jig 12.

이동수단(20)은 메탈마스크를 세정하기 위하여 세척지그(12)를 세척조(10)로 삽입할 수 있도록 세척지그(12)를 상하로 이동시킨다.The moving means 20 moves the washing jig 12 up and down so that the washing jig 12 can be inserted into the washing tank 10 to clean the metal mask.

초음파가진기(22)는 이동수단(20)에 의해서 세척조(10)로 이동된 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크를 세척액으로 세정할 수 있게 세척조(10)에 장착된다. 이때 초음파가진기(22)는 세척지그(12)가 이동수단(20)에 의해 세척조(10)에 삽입되면 세척지그(12)의 양측에 위치할 수 있게 세척조(10)에서 한 쌍이 장착된다.The ultrasonic vibrator 22 is mounted on the washing tank 10 so that the metal mask mounted on the washing jig 12 moved to the washing tank 10 by the moving means 20 can be cleaned with the washing liquid. At this time, when the ultrasonic jig 22 is inserted into the washing tank 10 by the moving means 20, a pair of the washing jigs 12 is mounted in the washing tank 10 so as to be located on both sides of the washing jig 12.

세정노즐부(25)는 초음파가진기(22)로 세척되기 전 메탈마스크에 부착된 이물질을 제거하거나 세척 후 메탈마스크를 헹구기 위하여 세척액을 메탈마스크에 분사시킬 수 있도록 세척조(10)에 장착된다. 더욱 상세히 설명하면, 세정노즐부(25)는 복수의 세정노즐을 구비하여 초음파가진기(22) 사이로 삽입되는 메탈마스크에 세척액을 분사하도록 초음파가진기(22)의 상부에 위치한다. 본 실시예의 경우 세정노즐부(25)는 두 쌍의 세정노즐을 구비하며, 두 쌍의 세정노즐은 세척지그(12)가 초음파가진기(22) 사이로 삽입될 때 각 쌍의 세정노즐 사이를 통과하도록 세척조(10)의 내부에서 초음파가진가(22)의 상부에 2단으로 배치된다.The cleaning nozzle unit 25 is mounted on the cleaning tank 10 to spray the cleaning solution onto the metal mask to remove foreign substances attached to the metal mask before cleaning with the ultrasonic vibrator 22 or to rinse the metal mask after cleaning. In more detail, the cleaning nozzle unit 25 has a plurality of cleaning nozzles and is located on the upper portion of the ultrasonic vibrator 22 to spray the cleaning liquid into the metal mask inserted between the ultrasonic vibrators 22. In the case of this embodiment, the cleaning nozzle unit 25 includes two pairs of cleaning nozzles, and the two pairs of cleaning nozzles pass between each pair of cleaning nozzles when the cleaning jig 12 is inserted between the ultrasonic vibrators 22 In order to be arranged inside the washing tank 10, ultrasonic waves are arranged in two stages on the top of the 22.

에어노즐부(30)는 세정노즐부(25)에 의하여 세정된 후 배출되는 메탈마스크를 건조시키는 역할을 한다. 이를 위하여 에어노즐부(30)는 세정노즐부(25)의 상부에서 건조조(35)의 내부에 위치하며, 제1에어노즐(31)과 제2에어노즐(33)을 구비한다.The air nozzle unit 30 serves to dry the metal mask discharged after being cleaned by the cleaning nozzle unit 25. To this end, the air nozzle unit 30 is located inside the drying tank 35 at the top of the cleaning nozzle unit 25, and includes a first air nozzle 31 and a second air nozzle 33.

제1에어노즐(31)은 세척지그(12)가 통과할 때 세척지그(12)의 양 옆에 위치하도록 한 쌍이 구비되며, 세척지그(12)가 세정노즐부(25)에서 건조조(35)로 유입되는 입구에 위치한다. 제1에어노즐(31)은 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키는 역할 뿐만 아니라 건조조(35)로 세정노즐부(25)에서 분사되는 세척액이 유입되지 않도록 건조조(35)의 입구에서 에어커튼을 생성시키는 역할을 한다.The first air nozzle 31 is provided with a pair so as to be located on both sides of the washing jig 12 when the washing jig 12 passes, the washing jig 12 is a drying tank 35 in the washing nozzle unit 25 ). The first air nozzle 31 serves to dry the metal mask or squeegee 15 mounted on the washing jig 12 as well as drying so that the washing liquid sprayed from the washing nozzle unit 25 does not flow into the drying tank 35. At the entrance of the jaw 35 serves to create an air curtain.

제2에어노즐(31)은 전조조(35)의 내부에서 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키는 역할을 한다. 이를 위해서 제2에어노즐(31)은 세척지그(12)가 통과할 때 세척지그(12)의 양측에 위치할 수 있도록 쌍으로 구비된다. 본 실시예의 경우 제2에어노즐(31)은 2개의 쌍으로 구비되며, 제1에어노즐(31)의 상부에서 2단으로 배치된다.The second air nozzle 31 serves to dry the metal mask or squeegee 15 mounted on the washing jig 12 inside the rolling tank 35. To this end, the second air nozzles 31 are provided in pairs so that they can be located on both sides of the washing jig 12 when the washing jig 12 passes. In the case of this embodiment, the second air nozzle 31 is provided in two pairs, and is arranged in two stages from the top of the first air nozzle 31.

건조조(35)는 에어노즐부(30)로 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키기 위하여 공기를 분사할 때 세척조(10)의 벽면에 묻어있는 세척액이 메탈마스크나 스퀴지(15)로 튀는 것을 방지할 수 있도록 에어노즐부(25)를 감쌀 수 있게 세척조(10)에 장착된다. 세정노즐부(25)에서 세척액을 분사하면 분사된 세척액은 메탈마스크나 스퀴지(15)에 묻은 이물질을 제거하는 한편 세척조(10)의 벽면에 달라붙게 된다. 이때 세척조(10) 내부서 에어노즐부(30)가 공기를 분사하면 분사된 공기가 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시키는 한편, 분사된 공기가 세척조(10)의 내벽에 부딪히게 된다. 그러면 세척조(10)의 내벽에 붙어 있는 세척액이 메탈마스크나 스퀴지(15)로 달라붙게 되어 메탈마스크나 스퀴지(15)의 건조를 방해시킨다. 이를 방지하기 위하여 건조조(35)는 메탈마스크나 스퀴지(15)를 세척조(10)로부터 차단할 수 있게 에어노즐부(30)를 감싸서 에어노즐부(30) 사이에 세척지그(12)가 위치할 때 세척조(10)에 달라붙은 세척액이 세척지그(12)로 튀는 것을 방지한다.The drying tank 35 is a metal mask that is deposited on the wall surface of the washing tank 10 when spraying air to dry the metal mask or squeegee 15 mounted on the washing jig 12 with the air nozzle unit 30. B is mounted on the washing tank 10 so as to wrap the air nozzle unit 25 to prevent splashing with the squeegee 15. When the cleaning liquid is sprayed from the cleaning nozzle unit 25, the sprayed cleaning liquid is attached to the wall surface of the cleaning tank 10 while removing foreign substances on the metal mask or squeegee 15. At this time, when the air nozzle unit 30 injects air from inside the washing tank 10, the injected air dries the metal mask or the squeegee 15 while the injected air hits the inner wall of the washing tank 10. Then, the cleaning liquid adhered to the inner wall of the washing tank 10 sticks to the metal mask or squeegee 15, thereby preventing the drying of the metal mask or squeegee 15. To prevent this, the drying tank 35 wraps the air nozzle unit 30 so as to block the metal mask or squeegee 15 from the washing tank 10 so that the washing jig 12 is positioned between the air nozzle units 30. At this time, it prevents the washing liquid attached to the washing tank 10 from splashing into the washing jig 12.

본 실시예의 경우 먼저 세척지그(12)에 메탈마스크나 스퀴지지그(14)를 장착한다. 본 실시예에서는 스퀴지(15)를 스퀴지지그(14)에 장착한 후 스퀴지지그(14)를 세척지그(12)에 장착하였다.In this embodiment, first, a metal mask or a squeegee jig 14 is mounted on the washing jig 12. In this embodiment, after the squeegee 15 is mounted on the squeegee jig 14, the squeegee jig 14 is mounted on the washing jig 12.

세척지그(12)에 메탈마스크 또는 스퀴지가 장착되면 이동수단(20)이 세척지그(12)를 하강시킨다. 그러면 세척지그(12)는 건조조(35)를 통과한 후 세정노즐부(25)를 통과한다. 세척지그(12)가 세정노즐부(25)에 도달하면 메탈마스크나 스퀴지(15)의 표면에 묻어 있는 이물질을 1차적으로 제거하기 위하여 세정노즐부(25)에서 세척액을 분사한다. 이때 세정노즐부(25)에서 세척액이 분사되면 분사된 세척액이 건조조(35)의 내부로 유입되어 건조조(35)의 내벽에 붙을 수 있다. 그러면 건조조(35)에서 메탈마스크나 스퀴지를 건조시킬 때 건조조(35) 내벽에 붙은 세척액이 메탈마스크나 스퀴지로 튀어서 건조를 방해할 수 있으므로 건조조(35)의 내벽에 세척액이 붙는 것을 방지하기 위하여 에어커튼이 형성되도록 제1에어노즐(31)에 공기를 함께 분사시킨다. 즉 세정노즐부(25)가 동작하면 제1에어노즐(31)이 함께 동작하여 세정노즐부(25)에서 분사된 세척액이 건조조(35)의 내벽에 붙는 것을 방지한다.When a metal mask or squeegee is mounted on the washing jig 12, the moving means 20 lowers the washing jig 12. Then, the washing jig 12 passes through the drying tank 35 and then passes through the cleaning nozzle unit 25. When the washing jig 12 reaches the washing nozzle portion 25, the washing liquid is sprayed from the washing nozzle portion 25 to primarily remove foreign substances on the surface of the metal mask or squeegee 15. At this time, when the washing liquid is sprayed from the cleaning nozzle unit 25, the sprayed washing liquid may flow into the drying tank 35 and adhere to the inner wall of the drying tank 35. Then, when drying the metal mask or squeegee in the drying tank 35, the washing liquid adhered to the inner wall of the drying tank 35 may splash into the metal mask or squeegee to prevent drying, thereby preventing the washing liquid from adhering to the inner wall of the drying tank 35. In order to do so, air is injected to the first air nozzle 31 to form an air curtain. That is, when the cleaning nozzle unit 25 is operated, the first air nozzle 31 is operated together to prevent the washing liquid sprayed from the cleaning nozzle unit 25 from adhering to the inner wall of the drying tank 35.

세정노즐부(25)에서 1차 이물질이 제거되면 세척조(10)에 세척액을 보충하고, 세척지그(12)를 하강시켜 초음파가진기(22) 사이에 위치시킨다. 그리고 초음파가진기(22)를 동작시켜 세척지그(12)에 장착된 메탈마스크 또는 스퀴지(15)를 세척한다. 세척이 완료되면 초음파가진기(22)의 동작을 중지시키고, 세척조(10)의 세척액을 배수구(10a)로 배출시킨다. When the primary foreign matter is removed from the cleaning nozzle unit 25, the washing liquid is replenished to the washing tank 10, and the washing jig 12 is lowered to be positioned between the ultrasonic transducers 22. Then, the ultrasonic vibrator 22 is operated to clean the metal mask or squeegee 15 mounted on the washing jig 12. When the washing is completed, the operation of the ultrasonic vibrator 22 is stopped, and the washing liquid of the washing tank 10 is discharged to the drain 10a.

그리고 이동수단(20)을 동작시켜 세척지그(12)를 상승시킨 후 세정노즐부(25) 사이에 위치시킨다. 그러면 세정노즐부(25)를 동작시킴과 동시에 제1에어노즐(31)을 동작시킨다.Then, the moving means 20 is operated to raise the washing jig 12 and then positioned between the washing nozzle portions 25. Then, the cleaning nozzle unit 25 is operated and the first air nozzle 31 is operated.

세정노즐부(25)에서 메탈마스크 및 스퀴지(15)의 헹굼 작업이 완료되면 세정노즐부(25)의 동작을 중지시키고, 이동수단(20)이 세척지그(12)를 상승시켜 에어노즐부(30) 사이로 위치시킨다. 세척지그(12)가 에어노즐부(30)에 위치되면 제1에어노즐(31) 및 제2에어노즐(33)을 동작시켜 메탈마스크나 스퀴지(15)를 건조시킨다. 이때 에어노즐부(30)에서 공기가 메탈마스크나 스퀴지(15)에 골고루 분사되도록 이동수단(20)이 세척지그(12)를 건조조(35) 내에서 상하로 이동시킨다.When the rinsing operation of the metal mask and the squeegee 15 is completed in the cleaning nozzle unit 25, the operation of the cleaning nozzle unit 25 is stopped, and the moving means 20 raises the cleaning jig 12 to increase the air nozzle unit ( 30). When the washing jig 12 is located in the air nozzle unit 30, the first air nozzle 31 and the second air nozzle 33 are operated to dry the metal mask or squeegee 15. At this time, the moving means 20 moves the washing jig 12 up and down in the drying tank 35 so that air is evenly sprayed from the air nozzle unit 30 to the metal mask or the squeegee 15.

건조조(35)에서 메탈마스크나 스퀴지(15)의 건조가 완료되면 이동수단(20)에 세척지그(12)를 상승시켜 다른 메탈마스크나 스퀴지로 교체한다.When the drying of the metal mask or squeegee 15 in the drying tank 35 is completed, the washing jig 12 is raised on the moving means 20 to be replaced with another metal mask or squeegee.

본 실시예에 의하면 세척장치에서 메탈마스크를 세척 뿐만 아니라 건조까지 완료시킬 수 있으며, 스퀴지지그(14)를 세척지그(12)에 장착할 수 있어서 스퀴지(15)의 세척 및 건조까지 가능하다.According to this embodiment, the metal mask in the washing device can be completed as well as washed, and the squeegee jig 14 can be mounted on the washing jig 12 to allow washing and drying of the squeegee 15.

10 : 세척조 10a : 배수구
12 : 세척지그 14 : 스퀴지지그
15 : 스퀴지 20 : 이동수단
22 : 초음파가진기 25 : 세정노즐부
30 : 에어노즐부 31 : 제1에어노즐
33 : 제2에어노즐 35 : 건조조10: washing tank 10a: drain
12: washing jig 14: squeegee
15: squeegee 20: means of transportation
22: ultrasonic vibrator 25: cleaning nozzle unit
30: air nozzle unit 31: the first air nozzle
33: second air nozzle 35: drying tank

Claims (3)

세척액을 수용하며, 상기 세척액을 배출시킬 수 있는 배수구가 형성된 세척조와,
마스크가 장착될 수 있는 세척지그와,
상기 마스크를 세정하기 위하여 상기 세척지그를 상기 세척조로 삽입할 수 있도록 상기 세척지그를 상하로 이동시키는 이동수단과,
상기 이동수단으로 상기 세척조에 이동된 상기 세척지그에 장착된 마스크를 상기 세척액으로 세정할 수 있게 상기 세척조에 장착된 초음파가진기와,
상기 초음파가진기로 세척될 상기 마스크에 부착된 이물질을 제거하기 위하여 상기 세척액을 상기 마스크에 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된 세정노즐부와,
상기 세정노즐부에 의하여 세정된 후 배출되는 상기 마스크를 건조시킬 수 있도록 상기 마스크에 공기를 분사시킬 수 있도록 상기 세척조에 장착된 에어노즐부와,
상기 세척지그가 관통하여 삽입될 수 있으며, 상기 에어노즐부로 상기 마스크에 상기 공기를 분사할 때 상기 세척조의 세척액이 상기 마스크로 튀는 것을 방지할 수 있도록 상기 에어노즐부를 감쌀 수 있게 상기 세척조에 장착된 건조조를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.A washing tank which receives the washing liquid and is formed with a drain hole through which the washing liquid can be discharged;
Wash jig that can be equipped with a mask,
Moving means for moving the washing jig up and down so that the washing jig can be inserted into the washing tank to clean the mask,
An ultrasonic vibrator mounted on the washing tank so that the mask mounted on the washing jig moved on the washing tank by the moving means can be cleaned with the washing liquid,
A cleaning nozzle unit mounted on the washing tank to spray the cleaning liquid onto the mask to remove foreign substances attached to the mask to be cleaned with the ultrasonic vibrator;
An air nozzle unit mounted in the washing tank to spray air into the mask so as to dry the mask discharged after being cleaned by the cleaning nozzle unit;
The washing jig may be inserted through and mounted on the washing tank so as to wrap the air nozzle portion to prevent the washing liquid of the washing tank from splashing into the mask when spraying the air onto the mask with the air nozzle portion. Mask cleaning device comprising a drying tank. 제1항에 있어서,
상기 에어노즐부는 상기 분사노즐부로 나가는 상기 건조조 내부의 출구에 장착된 제1에어노즐과, 상기 제1에어노즐에서 일정간격 이격되어 상기 건조조에 장착된 제2에어노즐을 구비하며,
상기 제1에어노즐은 상기 분사노즐부가 상기 세척액을 분사하면, 상기 분사노즐부에서 분사되는 세척액이 상기 건조조로 유입되지 않게 상기 건조조의 출구에 에어커튼이 형성될 수 있도록 상기 에어노즐부와 함께 상기 공기를 분사하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.According to claim 1,
The air nozzle unit is provided with a first air nozzle mounted on the outlet inside the drying tank to the injection nozzle unit, and a second air nozzle mounted on the drying tank spaced a predetermined distance from the first air nozzle,
The first air nozzle, together with the air nozzle unit so that the air curtain is formed at the outlet of the drying tank so that when the injection nozzle unit sprays the washing liquid, the washing liquid sprayed from the injection nozzle unit does not flow into the drying tank. Mask cleaning device, characterized in that for spraying air. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 세척지그에 탈부착될 수 있게 장착될 수 있으며, 복수의 스퀴지를 장착시킬 수 있는 스퀴지지그를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 세척장치.
The method according to claim 1 or 2,
Mask cleaning device, characterized in that it can be mounted to be detachably attached to the washing jig, further comprising a squeegee jig for mounting a plurality of squeegees.
KR1020180156912A 2018-12-07 2018-12-07 Washing apparatus of metal mask Active KR102181480B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180156912A KR102181480B1 (en) 2018-12-07 2018-12-07 Washing apparatus of metal mask

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180156912A KR102181480B1 (en) 2018-12-07 2018-12-07 Washing apparatus of metal mask

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200069634A true KR20200069634A (en) 2020-06-17
KR102181480B1 KR102181480B1 (en) 2020-11-23

Family

ID=71405750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180156912A Active KR102181480B1 (en) 2018-12-07 2018-12-07 Washing apparatus of metal mask

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102181480B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230174946A (en) * 2022-06-22 2023-12-29 박일환 Automatic cleaning apparatus for component

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102918824B1 (en) 2024-11-15 2026-01-27 박일환 PCB Panel Cleaner

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980025068A (en) * 1996-09-27 1998-07-06 히가시 데츠로우 Cleaning device and cleaning method
JP2003170571A (en) * 2001-12-10 2003-06-17 Pioneer Electronic Corp Mask washing apparatus
KR100734698B1 (en) * 2005-12-28 2007-07-02 안용욱 Pneumatic vibration and spray automatic cleaning device
KR20090013468A (en) * 2007-08-02 2009-02-05 이병운 Industrial washer with ultrasonic cleaning and drying
KR20130034675A (en) 2011-09-29 2013-04-08 박일환 Automatic cleaning apparatus for mask
KR101457428B1 (en) * 2008-07-31 2014-11-06 주식회사 케이씨텍 Apparatus for cleaning substrate
JP2016131957A (en) * 2015-01-22 2016-07-25 オリンパス株式会社 Cleaning device and cleaning method

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980025068A (en) * 1996-09-27 1998-07-06 히가시 데츠로우 Cleaning device and cleaning method
JP2003170571A (en) * 2001-12-10 2003-06-17 Pioneer Electronic Corp Mask washing apparatus
KR100734698B1 (en) * 2005-12-28 2007-07-02 안용욱 Pneumatic vibration and spray automatic cleaning device
KR20090013468A (en) * 2007-08-02 2009-02-05 이병운 Industrial washer with ultrasonic cleaning and drying
KR101457428B1 (en) * 2008-07-31 2014-11-06 주식회사 케이씨텍 Apparatus for cleaning substrate
KR20130034675A (en) 2011-09-29 2013-04-08 박일환 Automatic cleaning apparatus for mask
JP2016131957A (en) * 2015-01-22 2016-07-25 オリンパス株式会社 Cleaning device and cleaning method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230174946A (en) * 2022-06-22 2023-12-29 박일환 Automatic cleaning apparatus for component

Also Published As

Publication number Publication date
KR102181480B1 (en) 2020-11-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100500303C (en) Prearranged discharger of narrow slit coating machine
CN105534451B (en) The washing methods of water tank cleaner
CN103989238A (en) Dried fruit cleaning and drying device and method thereof
CN100450643C (en) Adjusting device and adjusting method for front end of slit nozzle
CN104368552A (en) Strip steel cleaning machine
KR102181480B1 (en) Washing apparatus of metal mask
CN114226110A (en) Electronic component processing equipment with testing function and using method thereof
KR102864939B1 (en) Automatic cleaning apparatus for component
US6454867B1 (en) Method and machine for cleaning objects in plate form
KR101113272B1 (en) Filter cleaner
JPH0957223A (en) Parts washing device
CN209663806U (en) A cleaning device for rubber inserts
CN214544933U (en) Multistage belt cleaning device is used in HDI circuit board processing
JP2003209337A (en) Cleaning method for developing apparatus for printed wiring board
KR101326048B1 (en) Method and equipment for washing engine rocker cover
KR101909325B1 (en) Cleaning apparatus using ultrasonic waves for nozzle
KR20150002595U (en) Conveying mesh cleaning apparatus
CN208728166U (en) A kind of wiring board cleaning device
KR20130023551A (en) Automatic cleaning apparatus for mask
JP2005144430A (en) Washing apparatus
JP2005019272A (en) Cleaning method and cleaning device of safety valve chest of control valve type lead-acid battery
CN219939628U (en) Cleaning equipment is soaked in processing of little tomato candied fruit raw materials
CN216174636U (en) Cleaning equipment for semiconductor manufacturing
CN221951835U (en) A vibrating electric contact cleaning device
JP2007283166A (en) Washing apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109

PA0201 Request for examination

St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201

D13-X000 Search requested

St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000

D14-X000 Search report completed

St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000

PE0902 Notice of grounds for rejection

St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902

T11-X000 Administrative time limit extension requested

St.27 status event code: U-3-3-T10-T11-oth-X000

E13-X000 Pre-grant limitation requested

St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000

P11-X000 Amendment of application requested

St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000

P13-X000 Application amended

St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000

PG1501 Laying open of application

St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701

PR1002 Payment of registration fee

St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002

Fee payment year number: 1

PG1601 Publication of registration

St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 4

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 5

PR1001 Payment of annual fee

St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001

Fee payment year number: 6

U11 Full renewal or maintenance fee paid

Free format text: ST27 STATUS EVENT CODE: A-4-4-U10-U11-OTH-PR1001 (AS PROVIDED BY THE NATIONAL OFFICE)

Year of fee payment: 6

P22-X000 Classification modified

St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000