KR102173212B1 - Apparatus for processing substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로, 기판처리장치는, 챔버의 내부에 승하강 가능하게 배치되며, 기판이 안착되는 서셉터와, 서셉터의 일측 변(side)에서 일측 변의 길이 방향을 따른 제1방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제1굽힘접지부와 일측 변에서 제1방향을 마주하는 제2방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제2굽힘접지부를 구비하며 서셉터와 챔버를 접지 연결하는 접지유닛을 포함하여 구성됨으로써, 장비를 변경 및 추가하지 않고 서셉터에 인접한 주변 부품과의 간섭없이 서셉터의 접지 균일성 및 안정성을 높일 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, wherein the substrate processing apparatus is disposed to be elevating and descending in a chamber, and a susceptor on which a substrate is seated, and a first side of the susceptor along a length direction of one side of the susceptor. A grounding unit that has a first bendable ground portion provided to be bent in one direction and a second bendable ground portion provided to be bent in a second direction facing the first direction from one side, and ground-connects the susceptor and the chamber. By including the configuration, it is possible to obtain the effect of increasing the grounding uniformity and stability of the susceptor without changing or adding equipment and without interference with surrounding components adjacent to the susceptor.

Description

기판처리장치{APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}Substrate processing equipment {APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}

본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 서셉터의 접지 균일성 및 안정성을 향상시킬 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing apparatus, and more particularly, to a substrate processing apparatus capable of improving grounding uniformity and stability of a susceptor.

일반적으로 플라즈마 화학 기상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; PECVD) 장비는, 디스플레이 제조 공정 또는 반도체 제조 공정 중에 진공 상태에서 가스의 화학적 반응을 이용하여 절연막, 보호막, 산화막, 금속막 등을 기판에 증착시키기 위해 사용된다.In general, plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) equipment deposits an insulating film, a protective film, an oxide film, a metal film, etc. on a substrate by using a chemical reaction of a gas in a vacuum state during a display manufacturing process or a semiconductor manufacturing process. Used for

도 1은 기존 기판처리장치를 도시한 도면이다.1 is a diagram showing an existing substrate processing apparatus.

도 1을 참조하면, 기존 기판처리장치는 진공챔버(10), 상기 진공챔버(10)의 내부에 승강 가능하게 제공되며 기판(2)이 로딩되는 서셉터(20)를 포함하며, 서셉터(20)의 상부에는 전극 및 공정가스가 분출되는 샤워헤드(30)가 구비된다.Referring to FIG. 1, an existing substrate processing apparatus includes a vacuum chamber 10, a susceptor 20 that is provided to be elevating and descending inside the vacuum chamber 10 and loaded with a substrate 2, and a susceptor ( A showerhead 30 through which electrodes and process gases are ejected is provided on the top of 20).

상기 샤워헤드(30)를 통해 진공챔버(10)의 내부에 공정가스가 공급됨과 동시에 전극에 RF 전원이 인가됨에 따라, 진공챔버(10)의 내부에 공급된 공정가스는 플라즈마화 되어 서셉터(20)의 상면에 안착된 기판(2) 상에 증착될 수 있다.As the process gas is supplied to the inside of the vacuum chamber 10 through the shower head 30 and RF power is applied to the electrode, the process gas supplied to the inside of the vacuum chamber 10 becomes plasma and becomes a susceptor ( It may be deposited on the substrate 2 seated on the upper surface of 20).

한편, 증착 공정 중에는 서셉터(20) 상에 전하가 축적될 수 있고, 서셉터(20)에 축적된 전하는 기생 방전을 발생시킬 수 있기 때문에, 보다 안정적이고 균일한 플라즈마를 발생시키기 위해서는 서셉터(20)의 전하를 외부로 배출할 수 있어야 한다.On the other hand, during the deposition process, charges may accumulate on the susceptor 20, and the charges accumulated in the susceptor 20 may generate parasitic discharge, so in order to generate a more stable and uniform plasma, the susceptor ( 20) must be able to discharge to the outside.

이를 위해, 기존에는 서셉터(20)와 진공챔버(10)를 접지스트랩(ground strap)(22)으로 연결하고, 서셉터(20)에 축적된 전하가 접지스트랩(22)을 통해 외부로 빠져나갈 수 있게 하였다.To this end, conventionally, the susceptor 20 and the vacuum chamber 10 are connected with a ground strap 22, and the electric charge accumulated in the susceptor 20 is discharged to the outside through the ground strap 22. I made it possible to go out.

아울러, 접지스트랩(22)의 일단은 서셉터(20)의 가장자리에 고정되고 타단이 진공챔버(10)에 고정되기 때문에, 서셉터(20)의 승강시에는 접지스트랩(22)이 서셉터(20)의 이동에 따라 접혀지거나 펴지게 유동될 수 있어야 한다.In addition, since one end of the ground strap 22 is fixed to the edge of the susceptor 20 and the other end is fixed to the vacuum chamber 10, when the susceptor 20 is raised or lowered, the ground strap 22 is It must be able to be folded or unfolded according to the movement of 20).

그런데, 접지스트랩이 서셉터의 안쪽 방향에서 바깥 방향으로 접혀지는 구조(접지스트랩의 휨 부위 또는 접힘 부위가 서셉터의 가장자리 바깥 영역으로 배치되는 구조)에서는, 서셉터와 진공챔버의 사이에 접지스트랩이 유동 가능하게 배치될 수 있는 공간이 필연적으로 확보되어야 하고, 접지스트랩이 접힘 부위가 진공챔버의 내벽에 비정상적으로 접촉되는 것을 방지하기 위해서는, 불가피하게 진공챔버의 크기가 커져야 하는 문제점이 있다.However, in a structure in which the ground strap is folded from the inside of the susceptor to the outside (a structure in which the bending portion of the ground strap or the folded portion is arranged outside the edge of the susceptor), the ground strap is between the susceptor and the vacuum chamber. A space that can be arranged to be flowable must inevitably be secured, and in order to prevent the folded portion of the ground strap from contacting the inner wall of the vacuum chamber abnormally, there is a problem that the size of the vacuum chamber must be increased.

이에, 기존에는 진공챔버(10)의 크기 증가없이 접지스트랩(22)이 유동 가능하게 장착될 수 있도록, 접지스트랩(22)이 서셉터(20)의 가장자리에서 서셉터의 안쪽 방향(서셉터에 중심을 향하는 방향)을 향해 접혀(절곡 또는 밴딩)질 수 있게 하였다.Thus, conventionally, the ground strap 22 is moved from the edge of the susceptor 20 to the inside of the susceptor (to the susceptor) so that the ground strap 22 can be mounted to be flexible without increasing the size of the vacuum chamber 10. It can be folded (bent or bent) toward the center).

그러나, 접지스트랩(22)이 서셉터(20)의 가장자리에서 서셉터(20)의 안쪽 방향으로 접혀지는 구조에서는, 서셉터(20)의 하강시 접지스트랩(200)의 접힘 부위가 서셉터(20)의 가장자리 안쪽 하부 영역을 침범하게 됨에 따라, 접지스트랩(200)이 서셉터(20)의 하부에 배치되는 주변 부품들과 간섭되는 문제점이 있다. 특히, 접지스트랩(200)의 접힘 부위가 얼라인 카메라(예를 들어, 비젼카메라)(40)의 광경로를 차단하는 위치에 배치되면, 기판에 대한 마스크부재의 얼라인 공정을 수행하지 못하는 문제점이 있다.However, in a structure in which the ground strap 22 is folded from the edge of the susceptor 20 toward the inside of the susceptor 20, the folded portion of the ground strap 200 when the susceptor 20 descends is the susceptor ( As it invades the lower area inside the edge of 20), there is a problem in that the ground strap 200 interferes with peripheral components disposed under the susceptor 20. In particular, when the folded portion of the ground strap 200 is disposed at a position that blocks the optical path of the alignment camera (eg, vision camera) 40, the alignment process of the mask member to the substrate cannot be performed. There is this.

또한, 서셉터(20)의 가장자리에서 서셉터(20)의 안쪽 방향으로 접혀지는 구조의 접지스트랩(22)을 사각형 형태로 형성된 서셉터(20)에 적용하면, 서셉터(20)의 모서리 영역에서 접지스트랩(22)들 간의 간섭이 발생하기 때문에, 불가피하게 서셉터(20)의 모서리 영역에는 접지스트랩(22)을 장착하지 못하는 문제점이 있다. 다시 말해서, 서셉터(20)의 모서리 영역에 인접하게 접지스트랩(22)을 직각 배열로 장착하면, 서셉터(20)의 모서리에 인접한 접지스트랩(22)들이 서셉터(20)의 안쪽 방향으로 접혀질 시 서로 접촉되며 간섭이 발생하기 때문에, 서셉터(20)의 모서리 영역에는 접지스트랩(22)이 장착될 수 없다. 이와 같이, 기존에는 서셉터(20)의 모서리 영역에서 접지의 부재(absence)가 발생함에 따라, 서셉터(20)의 모서리 영역에서 기생 방전이 발생되어 박막이 균일하게 형성되지 못하는 문제점이 있다.In addition, when the ground strap 22 of the structure folded from the edge of the susceptor 20 in the inward direction of the susceptor 20 is applied to the susceptor 20 formed in a square shape, the edge area of the susceptor 20 Since interference occurs between the ground straps 22 at, inevitably, there is a problem in that the ground straps 22 cannot be mounted in the edge region of the susceptor 20. In other words, when the ground straps 22 are mounted in a right-angled arrangement adjacent to the edge area of the susceptor 20, the ground straps 22 adjacent to the edge of the susceptor 20 are in the inward direction of the susceptor 20. When folded, the ground strap 22 cannot be mounted in the edge region of the susceptor 20 because they are in contact with each other and interference occurs. As described above, conventionally, as an absence of ground occurs in the edge region of the susceptor 20, parasitic discharge occurs in the edge region of the susceptor 20, so that a thin film cannot be uniformly formed.

이에 따라, 최근에는 기존 장비의 변경 및 추가 없이 서셉터의 접지 균일성 및 안정성을 향상시키기 위한 다양한 검토가 이루어지고 있으나, 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 요구되고 있다.Accordingly, in recent years, various reviews have been made to improve the grounding uniformity and stability of the susceptor without changing or adding existing equipment, but it is still insufficient and development thereof is required.

본 발명은 서셉터의 접지 균일성 및 안정성을 향상시킬 수 있는 기판처리장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of improving grounding uniformity and stability of a susceptor.

특히, 본 발명은 서셉터에 인접한 주변 부품과의 간섭없이 서셉터의 모서리 영역에서의 접지 균일성 및 안정성을 높일 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.In particular, an object of the present invention is to improve grounding uniformity and stability in a corner region of a susceptor without interference with peripheral components adjacent to the susceptor.

또한, 본 발명은 서셉터의 접지 불균일에 따른 박막의 두께 편차를 저감시킬 수 있으며, 박막 균일도를 보다 일정하게 개선할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.In addition, it is an object of the present invention to reduce variation in thickness of a thin film due to uneven grounding of a susceptor, and to improve uniformity of the thin film more uniformly.

상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 기판처리장치는, 챔버의 내부에 승하강 가능하게 배치되며, 기판이 안착되는 서셉터와, 서셉터의 일측 변(side)에서 일측 변의 길이 방향을 따른 제1방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제1굽힘접지부와 일측 변에서 제1방향을 마주하는 제2방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제2굽힘접지부를 구비하며 서셉터와 챔버를 접지 연결하는 접지유닛을 포함한다.According to a preferred embodiment of the present invention for achieving the above-described objects of the present invention, a substrate processing apparatus is disposed to be elevating and descending inside a chamber, a susceptor on which a substrate is seated, and one side of the susceptor. ), a first bending ground portion provided to be bent in a first direction along the length direction of one side and a second bending ground portion provided to be bent in a second direction facing the first direction from one side of the susceptor. And a grounding unit connecting the chamber to the ground.

이는, 서셉터와 챔버를 접지 연결함에 있어서, 서셉터에 인접한 주변 부품과의 간섭없이 서셉터의 접지 균일성 및 안정성을 높일 수 있도록 하기 위함이다.This is to increase the grounding uniformity and stability of the susceptor without interference with surrounding components adjacent to the susceptor in ground connection between the susceptor and the chamber.

즉, 본 발명은 접지유닛의 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서셉터의 일측 변을 따른 제1방향 및 제2방향을 따라 굽혀지도록 하는 것에 의하여, 접지유닛과 서셉터에 인접한 주변 부품과의 간섭을 방지하고, 간섭에 따른 서셉터의 접지 안정성 저하를 방지하는 효과를 얻을 수 있다.That is, in the present invention, the ground unit and the peripheral parts adjacent to the susceptor are made to be bent in the first direction and the second direction along one side of the susceptor. It is possible to obtain an effect of preventing interference with and preventing deterioration of the grounding stability of the susceptor due to interference.

무엇보다도, 본 발명은 서셉터의 일측 변에서 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서로 마주하는 반대 방향으로 굽혀지도록 하는 것에 의하여, 서셉터의 모서리 영역에 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부를 상호 간섭없이 장착하는 유리한 효과를 얻을 수 있고, 서셉터의 모서리 영역에서 접지의 부재(不在)에 의한 기생방전을 방지하고, 박막 균일도를 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.Above all, the present invention provides a first bending ground portion and a second bending ground portion in the edge region of the susceptor by bending the first bending ground portion and the second bending ground portion in opposite directions facing each other on one side of the susceptor. An advantageous effect of mounting the ground portion without mutual interference can be obtained, preventing parasitic discharge due to the absence of ground in the edge region of the susceptor, and improving the uniformity of the thin film.

구체적으로, 제1굽힘접지부는 서셉터의 일측 변을 따라 이격되게 배치되며 제1방향으로 접혀지는 복수개의 제1접지스트랩을 포함하고, 제2굽힘접지부는 서셉터의 일측 변을 따라 이격되게 배치되며 제2방향으로 접혀지는 복수개의 제2접지스트랩을 포함할 수 있다.Specifically, the first bending ground portion is arranged to be spaced along one side of the susceptor and includes a plurality of first ground straps folded in the first direction, and the second bending ground portion is arranged to be spaced apart along one side of the susceptor. And may include a plurality of second ground straps folded in the second direction.

바람직하게, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부는 서셉터의 일측 변에서 상호 대칭되게 배치될 수 있다. 여기서, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서셉터의 일측 변에서 상호 대칭되게 배치된다 함은, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서로 동일한 굽힘 구조(예를 들어, 동일한 높이의 밴팅포인트), 형태, 재질, 접지 성능을 갖는 것으로 이해될 수 있다. 이와 같이, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부를 상호 대칭되게 배치하는 것에 의하여, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부에 의한 접지 특성을 균일하게 유지하는 효과를 얻을 수 있다.Preferably, the first bending ground portion and the second bending ground portion may be disposed symmetrically to each other on one side of the susceptor. Herein, that the first bend ground portion and the second bend ground portion are arranged symmetrically on one side of the susceptor means that the first bend ground portion and the second bend ground portion have the same bending structure (for example, Banting point), shape, material, and grounding performance. As described above, by arranging the first bend ground portion and the second bend ground portion symmetrically to each other, the effect of uniformly maintaining the grounding characteristics of the first bend ground portion and the second bend ground portion can be obtained.

보다 구체적으로, 제1굽힘접지부가 굽혀지는 제1방향은 서셉터의 일측 변의 일단에서 서셉터의 일측 변의 중앙부를 향하는 방향이고, 제2굽힘접지부가 굽혀지는 제2방향은 서셉터의 일측 변의 타단에서 서셉터의 일측 변의 중앙부를 향하는 방향이다.More specifically, the first direction in which the first bending ground portion is bent is a direction from one end of one side of the susceptor toward the center of one side of the susceptor, and the second direction in which the second bending ground portion is bent is the other end of one side of the susceptor. It is the direction toward the center of one side of the susceptor.

경우에 따라서는 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서셉터의 일측 변에서 비대칭적으로 배치되는 것도 가능하다. 가령, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부는 서로 다른 형태 또는 다른 배치 구조를 이루도록 서셉터의 일측 변에서 비대칭적으로 배치될 수 있다.In some cases, the first bending ground portion and the second bending ground portion may be arranged asymmetrically on one side of the susceptor. For example, the first bending ground portion and the second bending ground portion may be asymmetrically disposed on one side of the susceptor to form different shapes or different arrangement structures.

바람직하게, 복수개의 제1접지스트랩 중 하나는 서셉터의 일측 변의 일단에 인접하게 배치하고, 복수개의 제2접지스트랩 중 하나는 서셉터의 일측 변의 타단에 인접하게 배치하는 것에 의하여, 서셉터의 모서리 영역에서의 접지 균일성을 높이는 효과를 얻을 수 있다.Preferably, one of the plurality of first ground straps is disposed adjacent to one end of one side of the susceptor, and one of the plurality of second ground straps is disposed adjacent to the other end of one side of the susceptor. The effect of increasing the grounding uniformity in the corner area can be obtained.

보다 구체적으로, 제1접지스트랩은, 서셉터에 고정되는 제1상부고정부와, 챔버에 고정되는 제1하부고정부와, 일단은 제1상부고정부로부터 연장되고 타단은 제1하부고정부로부터 연장되며, 제1상부고정부 또는 제1하부고정부를 기준으로 제1방향을 향해 굽어진 제1절곡부(first bending portion)가 형성된 제1굽힘연결부를 포함한다. 아울러, 제1굽힘연결부에는 단 하나의 제1절곡부가 형성되거나 복수개의 제1절곡부가 형성되는 것이 가능하다.More specifically, the first ground strap includes a first upper fixing portion fixed to the susceptor, a first lower fixing portion fixed to the chamber, and one end extending from the first upper fixing portion and the other end of the first lower fixing portion. It extends from and includes a first bending connection portion formed with a first bending portion bent toward a first direction with respect to the first upper fixing portion or the first lower fixing portion. In addition, it is possible to form only one first bent part or a plurality of first bent parts in the first bend connection part.

또한, 제2접지스트랩은, 서셉터에 고정되는 제2상부고정부와, 챔버에 고정되는 제2하부고정부와, 일단은 제2상부고정부로부터 연장되고 타단은 제2하부고정부로부터 연장되며, 제2상부고정부 또는 제2하부고정부를 기준으로 제2방향을 향해 굽어진 제2절곡부(second bending portion)가 형성된 제2굽힘연결부를 포함한다. 아울러, 제2굽힘연결부에는 단 하나의 제2절곡부가 형성되거나 복수개의 제2절곡부가 형성되는 것이 가능하다.In addition, the second ground strap has a second upper fixing part fixed to the susceptor, a second lower fixing part fixed to the chamber, one end extending from the second upper fixing part and the other end extending from the second lower fixing part. And, it includes a second bending connection portion formed with a second bending portion (second bending portion) bent toward the second direction based on the second upper fixing portion or the second lower fixing portion. In addition, it is possible to form only one second bent portion or a plurality of second bent portions in the second bend connection portion.

아울러, 제1굽힘접지부를 구성하는 제1접지스트립(또는 제2굽힘접지부를 구성하는 제2접지스트립)의 제1상부고정부는 제1수직선상에서 서셉터에 고정되고, 제1하부고정부는 제1상부고정부와 동일한 제1수직선상에서 챔버에 고정될 수 있다. 다르게는, 제1굽힘접지부를 구성하는 제1접지스트립(또는 제2굽힘접지부를 구성하는 제2접지스트립)의 제1상부고정부는 제1수직선상에서 서셉터에 고정되고, 제1하부고정부는 제1수직선상과 다른 제2수직선상에서 진공챔버에 고정될 수 있다. 이와 같이, 제1접지스트립의 제1상부고정부와 제1하부고정부가 서로 다른 수직선상에서 고정되도록 하는 것에 의하여, 서셉터의 주변에 배치되는 주변 부품에 의해 구애받지 않고 제1접지스트립을 보다 자유롭게 배치할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In addition, the first upper fixing portion of the first grounding strip (or the second grounding strip constituting the second bending grounding portion) constituting the first bending grounding portion is fixed to the susceptor on the first vertical line, and the first lower fixing portion is the first It can be fixed to the chamber on the same first vertical line as the upper fixing part. Alternatively, the first upper fixing portion of the first grounding strip constituting the first bending ground portion (or the second grounding strip constituting the second bending grounding portion) is fixed to the susceptor on the first vertical line, and the first lower fixing portion is fixed to the susceptor. It can be fixed to the vacuum chamber on a second vertical line different from the first vertical line. In this way, by fixing the first upper fixing part and the first lower fixing part of the first earthing strip on different vertical lines, the first earthing strip can be made more freely without being restricted by the peripheral parts arranged around the susceptor. Advantageous effects that can be placed can be obtained.

또한, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부는 서셉터의 일측 변에서 서로 동일한 행(row) 또는 열(column)을 이루도록 배치되거나, 서로 다른 행 또는 열을 이루도록 배치될 수 있다. 특히, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서로 다른 행 또는 열을 이루도록 하는 것에 의하여, 챔버 내부의 조건에 따라 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부에 의한 접지 성능을 조절하는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the first bending ground portion and the second bending ground portion may be disposed to form the same row or column on one side of the susceptor, or may be disposed to form different rows or columns. In particular, by making the first and second bend ground portions form different rows or columns, the effect of controlling the grounding performance of the first and second bend ground portions according to the conditions inside the chamber is achieved. Can be obtained.

또한, 접지유닛은 서셉터의 일측 변에서 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부의 사이에 배치되며, 서셉터의 일측 변에서 제1방향에 경사진 교차 방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 미들굽힘접지부를 포함할 수 있다.In addition, the grounding unit is disposed between the first bending ground and the second bending ground on one side of the susceptor, and is provided to be bent in a crossing direction inclined in the first direction on one side of the susceptor. May contain wealth.

즉, 제1굽힘접지부의 제1스트립부재와, 제2굽힘접지부의 제2스트립부재는 서로 마주하는 제1방향 및 제2방향으로 굽힘되기 때문에, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부의 사이 영역에서 제1스트립부재와 제2스트립부재가 일정 이상 근접하게 장착되면, 굽힘시 제1스트립부재와 제2스트립부재 간에 상호 간섭이 발생하기 때문에, 서셉터의 일측 변의 미들 영역(제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부의 사이 영역)에는 스트립부재가 배치되기 어렵다. 이에 본 발명은, 서셉터의 일측 변에서 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부의 사이에 미들굽힘접지부를 배치하는 것에 의하여, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부의 사이 영역에서 접지의 부재(不在)에 의한 기생방전을 방지하고, 그에 따른 박막 균일도 저하를 방지하는 효과를 얻을 수 있다.That is, since the first strip member of the first bending ground portion and the second strip member of the second bending ground portion are bent in a first direction and a second direction facing each other, between the first bending ground portion and the second bending ground portion When the first strip member and the second strip member are mounted in close proximity to each other for a certain amount or more in the area, since mutual interference occurs between the first strip member and the second strip member during bending, the middle area of one side of the susceptor (the first bending contact It is difficult to arrange the strip member in the region between the branch portion and the second bending ground portion). Accordingly, the present invention provides an absence of grounding in the region between the first bending ground and the second bending ground by arranging the middle bending grounding portion between the first bending grounding portion and the second bending grounding portion on one side of the susceptor. It is possible to obtain an effect of preventing parasitic discharge due to (non-existence) and thus preventing the decrease in the uniformity of the thin film.

바람직하게, 미들굽힘접지부는 서셉터의 일측 변에서 제1방향(또는 제2방향)에 경사진(예를 들어, 교차) 교차 방향(예를 들어, 서셉터에 중심을 향하는 내측 방향)으로 굽힘 가능하게 제공될 수 있으며, 서셉터의 하강시 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 미들굽힘접지부와 비접촉되며 미들굽힘접지부의 영역(미들상부고정부와 미들하부고정부의 사이 영역)으로 침범하도록 하는 것에 의하여, 미들굽힘접지부와 각 굽힘접지부(제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부) 간의 이격 간격을 최소화함으로써, 서셉터의 일측 변에서 접지를 보다 균일하게 하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.Preferably, the middle bending ground portion is bent in an inclined (eg, crossing) crossing direction (eg, inward toward the center of the susceptor) inclined in the first direction (or second direction) from one side of the susceptor. When the susceptor is lowered, the first bending contact and the second bending contact are not in contact with the middle bending contact, and the middle bend contact area (the area between the upper middle fixing part and the lower middle fixing part). By minimizing the spacing between the middle bending ground and each bending ground (the first bending ground and the second bending ground), the advantageous effect of making the ground more uniform on one side of the susceptor is achieved. Can be obtained.

보다 구체적으로, 미들접지스트랩은, 서셉터에 고정되는 미들상부고정부와, 챔버에 고정되는 미들하부고정부와, 일단은 미들상부고정부로부터 연장되고 타단은 미들하부고정부로부터 연장되며, 미들상부고정부 또는 미들하부고정부를 기준으로 서셉터의 중앙부를 향해 굽어진 미들절곡부(middle bending portion)가 형성된 미들굽힘연결부를 포함한다.More specifically, the middle ground strap includes an upper middle fixing part fixed to the susceptor, a lower middle fixing part fixed to the chamber, one end extending from the upper middle fixing part and the other end extending from the lower middle fixing part, and the middle It includes a middle bending connecting portion formed with a middle bending portion bent toward the central portion of the susceptor with respect to the upper fixing portion or the middle lower fixing portion.

또한, 본 발명은 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부의 각 일단을 서셉터에 고정하는 상부접지블록과, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부의 각 타단을 챔버에 고정하는 하부접지블록을 포함할 수 있다. 이를 통해, 접지유닛을 구성하는 각 접지부를 서셉터 및 챔버에 장착하는 공정을 간소화하고, 각 접지부의 보수 및 유지를 용이하게 수행하는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the present invention provides an upper ground block for fixing each end of the first and second bending ground portions to the susceptor, and a lower ground block fixing the other ends of the first and second bending ground portions to the chamber. It may include. Through this, it is possible to obtain an effect of simplifying the process of mounting each ground part constituting the ground unit to the susceptor and the chamber, and easily performing maintenance and maintenance of each ground part.

본 명세서 및 특허청구범위에 기재된 '서셉터의 일측 변' 또는 이와 유사한 용어는 서셉터의 평면 투영시 서셉터의 상변, 하변, 좌변, 우변 중 어느 하나를 정의한다.The term'one side of the susceptor' or a term similar thereto defined in the present specification and claims defines any one of the upper side, the lower side, the left side, and the right side of the susceptor when the susceptor is projected in a plane.

본 명세서 및 특허청구범위에 기재된 '제1굽힘접지부가 제1방향으로 굽힘'된다 함은, 제1굽힘접지부의 접힘(굽힘)시, 제1굽힘접지부의 접힘 부위 바깥면이 제1방향을 향하는 것으로 정의하며, '제2굽힘접지부가 제2방향으로 굽힘'된다 함은, 제2굽힘접지부의 접힘(굽힘)시, 제2굽힘접지부의 접힘 부위 바깥면이 제2방향을 향하는 것으로 정의한다.The term'the first bending ground portion is bent in the first direction' described in the present specification and claims means that when the first bending ground portion is folded (bent), the outer surface of the folded portion of the first bending ground portion faces the first direction. The term'the second bend ground portion is bent in the second direction' is defined as that when the second bend ground portion is folded (bent), the outer surface of the folded portion of the second bend ground portion faces the second direction.

본 명세서 및 특허청구범위에 기재된 '절곡부' 또는 이와 유사한 용어는 접지스트랩에 상하 방향으로 압축되는 가압력이 작용할 시 접지스트랩이 미리 설정된 방향으로 굽혀지도록 유도하기 위한 굽힘 시작지점으로 정의된다.The'bending part' or a term similar thereto described in the present specification and claims is defined as a bending start point for inducing the folding strap to bend in a preset direction when a pressing force compressed in the vertical direction acts on the ground strap.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 서셉터의 접지 균일성 및 안정성을 향상시키는 효과를 얻을 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to obtain an effect of improving the grounding uniformity and stability of the susceptor.

특히, 본 발명에 따르면, 접지유닛의 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서셉터의 일측 변을 따른 제1방향 및 제2방향을 따라 굽혀지도록 하는 것에 의하여, 접지유닛과 서셉터에 인접한 주변 부품과의 간섭을 방지하고, 간섭에 따른 서셉터의 접지 안정성 저하를 방지하는 효과를 얻을 수 있다.In particular, according to the present invention, by allowing the first and second bending ground portions of the grounding unit to be bent along one side of the susceptor in the first direction and the second direction, adjacent to the grounding unit and the susceptor. It is possible to obtain an effect of preventing interference with peripheral components and preventing a decrease in ground stability of the susceptor due to interference.

다시 말해서, 기존에는 서셉터의 모서리 영역에서는 접지스트랩들 간의 상호 간섭이 발생하기 때문에, 서셉터의 모서리 영역에 접지스트랩을 장착하지 못하는 문제점이 있고, 이에 따라 서셉터의 모서리 영역에서 접지의 부재(absence)가 발생함에 따라, 서셉터의 모서리 영역에서 기생 방전이 발생되어 박막이 균일하게 형성되지 못하는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 서셉터의 일측 변에서 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서로 마주하는 반대 방향으로 굽혀지도록 하는 것에 의하여, 서셉터의 모서리 영역에 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부를 상호 간섭없이 장착하는 유리한 효과를 얻을 수 있고, 서셉터의 모서리 영역에서 접지의 부재(不在)에 의한 기생방전을 방지하고, 박막 균일도를 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In other words, there is a problem in that the ground straps cannot be mounted in the edge area of the susceptor because mutual interference occurs between the ground straps in the edge area of the susceptor. absence) occurs, there is a problem in that the thin film is not uniformly formed due to the occurrence of parasitic discharge in the edge region of the susceptor. However, in the present invention, by bending the first bending ground portion and the second bending ground portion in opposite directions facing each other on one side of the susceptor, the first bending ground portion and the second bending ground portion in the edge region of the susceptor. It is possible to obtain an advantageous effect of mounting the parts without mutual interference, to prevent parasitic discharge due to the absence of ground in the edge region of the susceptor, and to obtain an advantageous effect of improving the uniformity of the thin film.

또한, 본 발명에 따르면 서셉터의 주변에 배치되는 주변 부품에 의해 구애받지 않고 접지유닛을 보다 자유롭게 장착할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to obtain an advantageous effect in that the grounding unit can be mounted more freely without being restricted by peripheral components disposed around the susceptor.

또한, 본 발명에 따르면 서셉터의 접지 불균일에 따른 박막의 두께 편차를 저감시킬 수 있으며, 박막 균일도를 보다 일정하게 개선하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to reduce the thickness variation of the thin film due to the non-uniform grounding of the susceptor, and it is possible to obtain an advantageous effect of improving the uniformity of the thin film more uniformly.

또한, 본 발명에 따르면 스트랩부재 간의 간섭에 의한 스트랩부재의 손상을 방지하고, 스트랩부재의 교체 주기를 보다 효율적으로 관리하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.In addition, according to the present invention, it is possible to obtain an advantageous effect of preventing damage to the strap member due to interference between the strap members and managing the replacement cycle of the strap member more efficiently.

도 1은 기존 기판처리장치를 도시한 도면,
도 2는 본 발명에 따른 기판처리장치를 도시한 도면,
도 3 및 도 4는 도 2의 기판처리장치의 접지유닛을 설명하기 위한 도면,
도 5는 도 4의 I-I선 단면도,
도 6은 도 2의 기판처리장치의 접지유닛을 설명하기 위한 평면도,
도 7 및 도 8은 도 2의 기판처리장치의 접지유닛의 작동구조를 설명하기 위한 도면,
도 9 내지 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리장치를 설명하기 위한 도면,
도 13은 미들굽힘접지부가 배제된 상태에서의 박막 균일도를 나타낸 그래프,
도 14는 미들굽힘접지부가 구비된 상태에서의 박막 균일도를 나타낸 그래프이다.1 is a view showing an existing substrate processing apparatus,
2 is a view showing a substrate processing apparatus according to the present invention,
3 and 4 are views for explaining a grounding unit of the substrate processing apparatus of FIG. 2;
5 is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 4;
6 is a plan view illustrating a grounding unit of the substrate processing apparatus of FIG. 2;
7 and 8 are views for explaining an operation structure of a grounding unit of the substrate processing apparatus of FIG. 2;
9 to 12 are views for explaining a substrate processing apparatus according to another embodiment of the present invention;
13 is a graph showing the uniformity of the thin film in a state in which the middle bending ground portion is excluded;
14 is a graph showing the uniformity of the thin film in a state where the middle bending ground portion is provided.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 이러한 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited or limited by the embodiments. For reference, in the present description, the same numbers refer to substantially the same elements, and under these rules, contents described in other drawings may be cited, and contents that are determined to be obvious to those skilled in the art or repeated may be omitted.

도 2는 본 발명에 따른 기판처리장치를 도시한 도면이고, 도 3 내지 도 6은 도 2의 기판처리장치의 접지유닛을 설명하기 위한 도면이며, 도 7 및 도 8은 도 2의 기판처리장치의 접지유닛의 작동구조를 설명하기 위한 도면이다.2 is a view showing a substrate processing apparatus according to the present invention, FIGS. 3 to 6 are views for explaining a grounding unit of the substrate processing apparatus of FIG. 2, and FIGS. 7 and 8 are the substrate processing apparatus of FIG. It is a view for explaining the operation structure of the ground unit of.

도 2 내지 도 8을 참조하면, 본 발명에 따른 기판처리장치(10)는, 챔버(110)와, 챔버(110)의 내부에 배치되며 기판이 안착되는 서셉터(120)와, 서셉터(120)의 일측 변(side)에서 서셉터(120)의 일측 변의 길이 방향을 따른 제1방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제1굽힘접지부(150)와 서셉터(120)의 일측 변에서 제1방향을 마주하는 제2방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제2굽힘접지부(160)를 구비하며, 서셉터(120)와 챔버(110)를 접지 연결하는 접지유닛(140)을 포함한다.2 to 8, the substrate processing apparatus 10 according to the present invention includes a chamber 110, a susceptor 120 disposed inside the chamber 110 and on which a substrate is seated, and a susceptor ( The first bending ground portion 150 provided to be bent in a first direction along the length direction of one side of the susceptor 120 at one side of 120) and a first bend at one side of the susceptor 120 It includes a second bending ground portion 160 provided to be bent in a second direction facing the direction, and includes a grounding unit 140 connecting the susceptor 120 and the chamber 110 to the ground.

챔버(110)는 내부에 진공 처리 공간을 갖도록 제공되며, 측벽 적어도 일측에는 기판(200) 및 마스크부재(310)가 출입하기 위한 출입부가 제공된다.The chamber 110 is provided so as to have a vacuum processing space therein, and at least one side of the sidewall is provided with an entrance portion for entering and exiting the substrate 200 and the mask member 310.

챔버(110)의 사이즈 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 적절히 변경될 수 있으며, 챔버(110)의 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.The size and structure of the chamber 110 may be appropriately changed according to required conditions and design specifications, and the present invention is not limited or limited by the characteristics of the chamber 110.

챔버(110)의 상부에는 챔버(110)의 내부에 공정가스 및 RF 에너지를 공급하기 위한 샤워헤드(130)가 제공된다.A showerhead 130 for supplying process gas and RF energy into the chamber 110 is provided above the chamber 110.

샤워헤드(130)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 구조로 제공될 수 있으며, 샤워헤드(130)의 구조 및 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 샤워헤드(130)는 상부에서 하부 방향으로 배치되는 탑 플레이트와, 미드 플레이트와, 엔드 플레이트를 포함하여 구성될 수 있으며, 탑 플레이트와 미드 플레이트의 사이 공간으로 공급된 공정가스는 미드 플레이트의 관통공을 거쳐 미드 플레이트와 엔드 플레이트의 사이 확산된 후, 엔드 플레이트의 배출공을 통해 챔버(110)의 내부 공간으로 분사될 수 있다.The showerhead 130 may be provided in various structures according to required conditions and design specifications, and the present invention is not limited or limited by the structure and characteristics of the showerhead 130. As an example, the shower head 130 may be configured to include a top plate, a mid plate, and an end plate disposed from the top to the bottom, and the process gas supplied to the space between the top plate and the mid plate is a mid plate. After spreading between the mid plate and the end plate through the through hole of, it may be sprayed into the inner space of the chamber 110 through the discharge hole of the end plate.

서셉터(120)는 사각형(예를 들어, 직사각형) 형태로 형성되어 챔버(110)의 내부에 상하 방향을 따라 승강 가능하게 제공되며, 서셉터(120)의 상면에는 기판(200)이 거치된다. 서셉터(120)의 샤프트는 모터와 같은 통상의 구동수단에 의해 상하 방향을 따라 이동될 수 있다.The susceptor 120 is formed in a quadrangular (eg, rectangular) shape and is provided so as to be elevated in an up-down direction inside the chamber 110, and a substrate 200 is mounted on the upper surface of the susceptor 120 . The shaft of the susceptor 120 may be moved along the vertical direction by a conventional driving means such as a motor.

도 3 내지 도 8을 참조하면, 접지유닛(140)은, 서셉터(120)의 일측 변(side)을 따른 제1방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제1굽힘접지부(150)와, 제1방향을 마주하는 제2방향으로 굽힘 가능하게 제공되는 제2굽힘접지부(160)를 포함하며, 서셉터(120)와 챔버(110)를 접지 연결하여 서셉터(120)에 축적된 전하가 외부로 빠져나갈 수 있게 한다.3 to 8, the grounding unit 140 includes a first bending ground portion 150 provided to be bent in a first direction along one side of the susceptor 120, and a first It includes a second bending ground portion 160 that is provided to be bent in a second direction facing the direction, and charges accumulated in the susceptor 120 by grounding the susceptor 120 and the chamber 110 To be able to escape.

제1굽힘접지부(150)는 서셉터(120)의 일측 변(side)을 따른 제1방향으로 굽힘 가능하게 제공된다.The first bending ground portion 150 is provided to be bent in a first direction along one side of the susceptor 120.

여기서, 서셉터(120)의 일측 변이라 함은, 서셉터(120)의 평면 투영시 서셉터(120)의 상변, 하변, 좌변, 우변 중 어느 하나일 수 있다. 아울러, 서셉터(120)의 일측 변을 따른 제1방향이라 함은, 서셉터(120)의 4개의 변 중 어느 하나의 변의 일단에서 타단을 향한 방향으로 정의된다. 바람직하게, 서셉터(120)의 일측 변을 따른 제1방향은, 서셉터(120)의 가장자리 일 지점에서 서셉터(120)의 안쪽을 향하는 방향(서셉터의 중심을 향하는 방향) 또는 서셉터(120)의 바깥쪽을 향하는 방향에 대해 대략 수직을 이루도록 정의될 수 있다.Here, the one side of the susceptor 120 may be any one of an upper side, a lower side, a left side, and a right side of the susceptor 120 when the susceptor 120 is projected in a plane. In addition, the first direction along one side of the susceptor 120 is defined as a direction from one end of one of the four sides of the susceptor 120 toward the other end. Preferably, the first direction along one side of the susceptor 120 is a direction from one edge of the susceptor 120 toward the inside of the susceptor 120 (direction toward the center of the susceptor) or the susceptor It may be defined to be approximately perpendicular to the outward direction of 120.

일 예로, 제1굽힘접지부(150)는 서셉터(120)의 일측 변의 좌측(정면 투영 기준) 영역에 마련될 수 있으며, 서셉터(120)의 일측 변의 좌측에서 우측(또는 일측 변의 중심)을 향하는 방향으로 굽힘하도록 구성될 수 있다. 경우에 따라서는 제1굽힘접지부가 서셉터의 우측 영역에 마련되어, 우측에서 좌측으로 향하는 방향으로 굽힘하도록 구성될 수 있다.As an example, the first bending ground unit 150 may be provided in a region on the left side (based on the front projection) of one side of the susceptor 120, and from left to right (or the center of one side) of one side of the susceptor 120 It can be configured to bend in a direction toward. In some cases, the first bending ground portion may be provided in the right area of the susceptor, and may be configured to bend in a direction from right to left.

또한, 본 발명에서 제1굽힘접지부(150)가 제1방향(예를 들어, 일측 변의 좌측에서 우측을 향하는 방향)으로 굽힘된다 함은, 제1굽힘접지부(150)의 접힘(굽힘)시, 제1굽힘접지부(150)의 접힘 부위 바깥면이 제1방향을 향하는 것으로 정의된다.In addition, in the present invention, that the first bending ground portion 150 is bent in a first direction (for example, a direction from left to right of one side), the first bending ground portion 150 is folded (bending) At the time, it is defined that the outer surface of the folded portion of the first bending ground portion 150 faces the first direction.

제1굽힘접지부(150)는 서셉터(120)의 일측 변을 따른 제1방향으로 굽힘 가능한 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 제1굽힘접지부(150)는 서셉터(120)의 일측 변을 따라 이격되게 배치되며 제1방향으로 접혀지는 복수개의 제1접지스트랩(151)을 포함하여 구성될 수 있다.The first bending ground part 150 may be provided in various structures capable of bending in a first direction along one side of the susceptor 120. As an example, the first bend ground portion 150 may be configured to include a plurality of first ground straps 151 that are disposed to be spaced along one side of the susceptor 120 and folded in a first direction.

제1접지스트랩(151)의 개수 및 이격 간격은 서셉터(120)의 크기 및 요구되는 조건에 따라 적절히 변경될 수 있다. 바람직하게 복수개의 제1접지스트랩(151)은 서로 동일한 사이즈 및 재질(접지 특성)로 형성된다. 경우에 따라서는 복수개의 제1접지스트랩을 서로 다른 사이즈, 재질, 형태로 형성하여, 서셉터의 영역 또는 부위별로 각 제1접지스트랩에 의한 접지 특성을 조절하는 것도 가능하다.The number and spacing of the first ground straps 151 may be appropriately changed according to the size of the susceptor 120 and required conditions. Preferably, the plurality of first ground straps 151 are formed of the same size and material (ground characteristics). In some cases, by forming a plurality of first ground straps in different sizes, materials, and shapes, it is also possible to adjust the grounding characteristics of each first ground strap for each region or part of the susceptor.

제1접지스트랩(151)으로서는 플렉시블한 통상의 알루미늄 스트랩이 사용될 수 있으며, 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 여타 다른 재질의 스트랩을 사용하는 것도 가능하다. 바람직하게 제1접지스트랩(151)은, 휨 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 비교적 얇은 판상 형태로 형성될 수 있다.As the first ground strap 151, a flexible general aluminum strap may be used, and other material straps may be used according to required conditions and design specifications. Preferably, the first ground strap 151 may be formed in a relatively thin plate shape to facilitate bending deformation.

보다 구체적으로, 제1접지스트랩(151)은, 서셉터(120)에 고정되는 제1상부고정부(152)와, 챔버(110)에 고정되는 제1하부고정부(154)와, 일단은 제1상부고정부(152)로부터 연장되고 타단은 제1하부고정부(154)로부터 연장되며, 제1상부고정부(152) 또는 제1하부고정부(154)를 기준으로 제1방향을 향해 굽어진 제1절곡부(first bending portion)(156a)가 형성된 제1굽힘연결부(156)를 포함한다.More specifically, the first ground strap 151 includes a first upper fixing portion 152 fixed to the susceptor 120, a first lower fixing portion 154 fixed to the chamber 110, and one end It extends from the first upper fixing part 152 and the other end extends from the first lower fixing part 154, and is directed toward the first direction based on the first upper fixing part 152 or the first lower fixing part 154. It includes a first bending connection portion 156 formed with a first bending portion 156a bent.

여기서, 제1절곡부(156a)라 함은, 제1굽힘연결부(156)에 상하 방향으로 압축되는 가압력이 작용할 시 제1굽힘연결부(156)가 미리 설정된 제1방향으로 굽혀지도록 유도하기 위한 굽힘 시작지점으로 이해될 수 있으며, 제1절곡부(156a)는 제1굽힘연결부(156)의 일 부위(예를 들어, 가운데 부위)를 제1방향을 향해 미리 절곡시켜 형성될 수 있다.Here, the first bent part (156a) is a bending for inducing the first bend connection part 156 to bend in a preset first direction when a pressing force compressed in the vertical direction acts on the first bend connection part 156 It may be understood as a starting point, and the first bent portion 156a may be formed by bending a portion (eg, a middle portion) of the first bent connection portion 156 in advance in the first direction.

아울러, 본 발명의 실시예에서는 제1굽힘연결부(156)에 단 하나의 제1절곡부(156a)가 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 제1굽힘연결부에 복수개의 제1절곡부를 형성하는 것도 가능하다. 보다 구체적으로, 본 발명의 실시예에서는 제1굽힘연결부(156)가 단 하나의 제1절곡부(156a)를 갖는 대략 "V" 형상으로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 제1굽힘연결부가 2개의 절곡부를 갖는 "W" 형상으로 형성되는 것도 가능하다.In addition, in the embodiment of the present invention, an example in which only one first bent portion 156a is formed in the first bent connection portion 156 is described, but in some cases, a plurality of first bent portions in the first bent connection portion It is also possible to form. More specifically, in the embodiment of the present invention, an example in which the first bent connection portion 156 is formed in an approximately “V” shape having only one first bent portion 156a is described. It is also possible that the bend connection portion is formed in a "W" shape having two bent portions.

제1상부고정부(152)는 볼트와 같은 통상의 체결부재 또는 전도성 접착제 등에 의해 서셉터(120)에 고정될 수 있다. 마찬가지로, 제1하부고정부(154)는 볼트와 같은 통상의 체결부재 또는 전도성 접착제 등에 의해 챔버(110)에 고정될 수 있다.The first upper fixing part 152 may be fixed to the susceptor 120 by a conventional fastening member such as a bolt or a conductive adhesive. Similarly, the first lower fixing portion 154 may be fixed to the chamber 110 by a conventional fastening member such as a bolt or a conductive adhesive.

바람직하게, 복수개의 제1접지스트랩(151) 중 하나는 서셉터(120)의 일측 모서리를 형성하는 서셉터(120)의 일측 변의 일단에 인접하게 배치되며, 나머지 제1접지스트랩(151)은 서셉터(120)의 일측 변의 일단에서 타단 방향으로 소정 간격을 두고 이격되게 배치된다.Preferably, one of the plurality of first ground straps 151 is disposed adjacent to one end of one side of the susceptor 120 forming one edge of the susceptor 120, and the remaining first ground straps 151 are It is arranged to be spaced apart from one end of the susceptor 120 at a predetermined interval in the direction of the other end.

이와 같이, 본 발명에서는 제1접지스트랩(151)이 서셉터(120)의 안쪽을 향하는 방향이 아닌, 서셉터(120)의 변을 향하는 방향(서셉터(120)의 안쪽으로 돌출되지 않는 방향)으로 굽혀지도록 하는 것에 의하여, 서셉터(120)의 하부에 배치되는 주변 부품들과 간섭없이 서셉터(120)의 모서리 영역에 제1접지스트랩(151)을 장착하는 유리한 효과를 얻을 수 있고, 서셉터(120)의 모서리 영역에서의 접지의 부재(absence)에 의한 박막 균일도 저하를 방지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.As described above, in the present invention, the first ground strap 151 is not directed toward the inside of the susceptor 120, but a direction toward the side of the susceptor 120 (a direction that does not protrude into the susceptor 120). ), it is possible to obtain an advantageous effect of attaching the first ground strap 151 to the edge region of the susceptor 120 without interference with surrounding parts disposed under the susceptor 120, It is possible to obtain an advantageous effect of preventing a decrease in the uniformity of the thin film due to the absence of ground in the edge region of the susceptor 120.

제2굽힘접지부(160)는 서셉터(120)의 일측 변(side)에서 제1방향을 마주하는 제2방향으로 굽힘 가능하게 제공된다.The second bending ground portion 160 is provided to be bent in a second direction facing the first direction at one side of the susceptor 120.

여기서, 서셉터(120)의 일측 변을 따른 제2방향이라 함은, 제1굽힘접지부(150)가 접혀지는 제1방향의 반대 방향으로서, 서셉터(120)의 4개의 변 중 어느 하나의 변의 타단에서 일단을 향한 방향으로 정의된다. 바람직하게, 서셉터(120)의 일측 변을 따른 제2방향은, 서셉터(120)의 가장자리 일 지점에서 서셉터(120)의 안쪽을 향하는 방향(서셉터(120)에 중심을 향하는 방향) 또는 서셉터(120)의 바깥쪽을 향하는 방향에 대해 대략 수직을 이루도록 정의될 수 있다.Here, the second direction along one side of the susceptor 120 is a direction opposite to the first direction in which the first bending ground portion 150 is folded, and is one of the four sides of the susceptor 120 It is defined as the direction from the other end of the side to one end. Preferably, the second direction along one side of the susceptor 120 is a direction from one edge of the susceptor 120 toward the inside of the susceptor 120 (direction toward the center of the susceptor 120) Alternatively, it may be defined to be approximately perpendicular to the direction toward the outside of the susceptor 120.

일 예로, 제2굽힘접지부(160)는 서셉터(120)의 일측 변의 우측(정면 투영 기준) 영역에 마련될 수 있으며, 서셉터(120)의 일측 변의 우측에서 좌측을 향하는 방향으로 굽힘하도록 구성될 수 있다. 경우에 따라서는 제2굽힘접지부가 서셉터의 좌측 영역에 마련되어, 좌측에서 추측으로 향하는 방향으로 굽힘하도록 구성될 수 있다.As an example, the second bending ground unit 160 may be provided in a right (based on front projection) area of one side of the susceptor 120, and bend in a direction from right to left of one side of the susceptor 120. Can be configured. In some cases, the second bending ground portion may be provided in the left region of the susceptor, and may be configured to bend in a direction from the left to the guesswork.

또한, 본 발명에서 제2굽힘접지부(160)가 제2방향(예를 들어, 일측 변의 우측에서 좌측을 향하는 방향)으로 굽힘된다 함은, 제2굽힘접지부(160)의 접힘(굽힘)시, 제2굽힘접지부(160)의 접힘 부위 바깥면이 제2방향을 향하는 것으로 정의된다.In addition, in the present invention, that the second bend ground portion 160 is bent in a second direction (eg, a direction from the right to the left of one side), the second bend ground portion 160 is folded (bending) At the time, it is defined that the outer surface of the folded portion of the second bending ground portion 160 faces the second direction.

바람직하게, 제2굽힘접지부(160)는 서셉터(120)의 일측 변에서 제1굽힘접지부(150)와 상호 대칭되게 배치될 수 있다. 여기서, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)가 서셉터(120)의 일측 변에서 상호 대칭되게 배치된다 함은, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)가 서로 동일한 굽힘 구조(예를 들어, 동일한 높이의 밴팅포인트), 형태, 재질, 접지 성능을 갖는 것으로 이해될 수 있다. 이와 같이, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)를 상호 대칭되게 배치하는 것에 의하여, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)에 의한 접지 특성을 균일하게 유지하는 효과를 얻을 수 있다.Preferably, the second bending ground portion 160 may be disposed symmetrically to the first bending ground portion 150 on one side of the susceptor 120. Here, the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 are arranged symmetrically on one side of the susceptor 120, meaning that the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion It may be understood that the branch portions 160 have the same bending structure (eg, a banting point having the same height), shape, material, and grounding performance. In this way, by arranging the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 to be symmetrical to each other, the grounding characteristics of the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 It is possible to obtain the effect of maintaining the uniformity.

경우에 따라서는 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부가 서셉터의 일측 변에서 비대칭적으로 배치되는 것도 가능하다. 가령, 제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부는 서로 다른 형태 또는 다른 배치 구조를 이루도록 서셉터의 일측 변에서 비대칭적으로 배치될 수 있다.In some cases, the first bending ground portion and the second bending ground portion may be arranged asymmetrically on one side of the susceptor. For example, the first bending ground portion and the second bending ground portion may be asymmetrically disposed on one side of the susceptor to form different shapes or different arrangement structures.

제2굽힘접지부(160)는 서셉터(120)의 일측 변을 따른 제2방향으로 굽힘 가능한 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 제2굽힘접지부(160)는 서셉터(120)의 일측 변을 따라 이격되게 배치되며 제2방향으로 접혀지는 복수개의 제2접지스트랩(161)을 포함하여 구성될 수 있다.The second bending ground unit 160 may be provided in various structures capable of bending in a second direction along one side of the susceptor 120. As an example, the second bend ground portion 160 may include a plurality of second ground straps 161 that are disposed to be spaced along one side of the susceptor 120 and folded in a second direction.

제2접지스트랩(161)의 개수 및 이격 간격은 서셉터(120)의 크기 및 요구되는 조건에 따라 적절히 변경될 수 있다. 바람직하게 복수개의 제2접지스트랩(161)은 서로 동일한 사이즈 및 재질(접지 특성)로 형성된다. 경우에 따라서는 복수개의 제2접지스트랩을 서로 다른 사이즈, 재질, 형태로 형성하여, 서셉터의 영역 또는 부위별로 각 제2접지스트랩에 의한 접지 특성을 조절하는 것도 가능하다.The number and spacing of the second ground straps 161 may be appropriately changed according to the size of the susceptor 120 and required conditions. Preferably, the plurality of second ground straps 161 are formed of the same size and material (ground characteristics). In some cases, it is also possible to form a plurality of second ground straps in different sizes, materials, and shapes to adjust the grounding characteristics of each second ground strap for each region or part of the susceptor.

제2접지스트랩(161)으로서는 플렉시블한 통상의 알루미늄 스트랩이 사용될 수 있으며, 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 여타 다른 재질의 스트랩을 사용하는 것도 가능하다. 바람직하게 제2접지스트랩(161)은, 휨 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 비교적 얇은 판상 형태로 형성될 수 있다.As the second ground strap 161, a flexible general aluminum strap may be used, and other material straps may be used according to required conditions and design specifications. Preferably, the second ground strap 161 may be formed in a relatively thin plate shape to facilitate bending deformation.

보다 구체적으로, 제2접지스트랩(161)은, 서셉터(120)에 고정되는 제2상부고정부(162)와, 챔버(110)에 고정되는 제2하부고정부(164)와, 일단은 제2상부고정부(162)로부터 연장되고 타단은 제2하부고정부(164)로부터 연장되며, 제2상부고정부(162) 또는 제2하부고정부(164)를 기준으로 제2방향을 향해 굽어진 제2절곡부(second bending portion)(166a)가 형성된 제2굽힘연결부(166)를 포함하며, 제2굽힘연결부(166)는 제2절곡부(166a)를 기준으로 굽힘된다.More specifically, the second ground strap 161 includes a second upper fixing portion 162 fixed to the susceptor 120, a second lower fixing portion 164 fixed to the chamber 110, and one end It extends from the second upper fixing part 162 and the other end extends from the second lower fixing part 164, and is directed toward the second direction based on the second upper fixing part 162 or the second lower fixing part 164. It includes a second bending connection portion 166 formed with a second bending portion 166a bent, and the second bending connection portion 166 is bent based on the second bending portion 166a.

여기서, 제2절곡부(166a)라 함은, 제2굽힘연결부(166)에 상하 방향으로 압축되는 가압력이 작용할 시 제2굽힘연결부(166)가 미리 설정된 제2방향으로 굽혀지도록 유도하기 위한 굽힘 시작지점으로 이해될 수 있으며, 제2절곡부(166a)는 제2굽힘연결부(166)의 일 부위(예를 들어, 가운데 부위)를 제2방향을 향해 미리 절곡시켜 형성될 수 있다.Here, the second bent part (166a) is a bending for inducing the second bend connection part 166 to bend in a preset second direction when a pressing force compressed in the vertical direction acts on the second bend connection part 166 It may be understood as a starting point, and the second bent portion 166a may be formed by bending a portion (eg, a center portion) of the second bent connection portion 166 in advance toward the second direction.

아울러, 본 발명의 실시예에서는 제2굽힘연결부(166)에 단 하나의 제2절곡부(166a)가 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 제2굽힘연결부에 복수개의 제2절곡부를 형성하는 것도 가능하다. 보다 구체적으로, 본 발명의 실시예에서는 제2굽힘연결부(166)가 단 하나의 제2절곡부(166a)를 갖는 대략 "V" 형상으로 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 제2굽힘연결부가 2개의 절곡부를 갖는 "W" 형상으로 형성되는 것도 가능하다.In addition, in the embodiment of the present invention, an example in which only one second bent portion 166a is formed in the second bent connection portion 166 is described, but in some cases, a plurality of second bent portions in the second bent connection portion It is also possible to form. More specifically, in the embodiment of the present invention, an example in which the second bent connection part 166 is formed in an approximately "V" shape having only one second bent part 166a is described, but in some cases, the second bend connection part 166 It is also possible that the bend connection portion is formed in a "W" shape having two bent portions.

제2상부고정부(162)는 볼트와 같은 통상의 체결부재 또는 전도성 접착제 등에 의해 서셉터(120)에 고정될 수 있다. 마찬가지로, 제2하부고정부(164)는 볼트와 같은 통상의 체결부재 또는 전도성 접착제 등에 의해 챔버(110)에 고정될 수 있다.The second upper fixing part 162 may be fixed to the susceptor 120 by a conventional fastening member such as a bolt or a conductive adhesive. Similarly, the second lower fixing portion 164 may be fixed to the chamber 110 by a conventional fastening member such as a bolt or a conductive adhesive.

바람직하게, 복수개의 제2접지스트랩(161) 중 하나는 서셉터(120)의 다른 일측 모서리를 형성하는 서셉터(120)의 일측 변의 타단에 인접하게 배치되며, 나머지 제2접지스트랩(161)은 서셉터(120)의 일측 변의 타단에서 일단 방향으로 소정 간격을 두고 이격되게 배치된다.Preferably, one of the plurality of second ground straps 161 is disposed adjacent to the other end of one side of the susceptor 120 forming the other edge of the susceptor 120, and the remaining second ground strap 161 Are arranged to be spaced apart from the other end of one side of the susceptor 120 at a predetermined interval in one direction.

이와 같이, 본 발명에서는 제2접지스트랩(161)이 서셉터(120)의 안쪽을 향하는 방향이 아닌, 서셉터(120)의 변을 향하는 방향(서셉터(120)의 안쪽으로 돌출되지 않는 방향)으로 굽혀지도록 하는 것에 의하여, 서셉터(120)의 하부에 배치되는 주변 부품들과 간섭없이 서셉터(120)의 모서리 영역에 제2접지스트랩(161)을 장착하는 유리한 효과를 얻을 수 있고, 서셉터(120)의 모서리 영역에서의 접지의 부재(absence)에 의한 박막 균일도 저하를 방지하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.As described above, in the present invention, the second ground strap 161 is not directed toward the inside of the susceptor 120, but a direction toward the side of the susceptor 120 (a direction that does not protrude into the susceptor 120). ), it is possible to obtain an advantageous effect of attaching the second ground strap 161 to the edge region of the susceptor 120 without interference with surrounding parts disposed under the susceptor 120, It is possible to obtain an advantageous effect of preventing a decrease in the uniformity of the thin film due to the absence of ground in the edge region of the susceptor 120.

무엇보다도, 본 발명에서는 서셉터(120)의 일측 변에서 제1접지스트랩(151)과 제2스트랩이 서로 반대 방향으로 굽혀지도록 하는 것에 의하여, 도 6과 같이, 서셉터(120)의 모든 모서리 영역에 접지스트립(제1접지스트랩과 제2접지스트랩)을 장착할 수 있기 때문에, 서셉터(120)의 모든 모서리 영역에서의 접지의 부재에 의한 기생방전을 방지하고, 박막 균일도를 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.Above all, in the present invention, by bending the first ground strap 151 and the second strap in opposite directions at one side of the susceptor 120, as shown in FIG. 6, all edges of the susceptor 120 Since the ground strip (first ground strap and second ground strap) can be attached to the area, it is advantageous to prevent parasitic discharge due to the absence of ground in all corner areas of the susceptor 120 and improve the uniformity of the thin film. You can get the effect.

한편, 접지유닛(140)은 서셉터(120)의 일측 변에서 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이에 배치되는 미들굽힘접지부(170)를 포함할 수 있다.On the other hand, the grounding unit 140 may include a middle bending grounding portion 170 disposed between the first bending grounding portion 150 and the second bending grounding portion 160 at one side of the susceptor 120. have.

즉, 제1굽힘접지부(150)의 제1스트립부재와, 제2굽힘접지부(160)의 제2스트립부재는 서로 마주하는 제1방향 및 제2방향으로 굽힘되기 때문에, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역에서 제1스트립부재와 제2스트립부재가 일정 이상 근접하게 장착되면, 굽힘시 제1스트립부재와 제2스트립부재 간에 상호 간섭이 발생하기 때문에, 서셉터(120)의 일측 변의 미들 영역(제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역)에는 스트립부재가 배치되기 어렵다.That is, since the first strip member of the first bend ground portion 150 and the second strip member of the second bend ground portion 160 are bent in the first direction and the second direction facing each other, the first bending contact When the first strip member and the second strip member are mounted in close proximity to each other by a certain amount or more in the region between the branch part 150 and the second bending ground part 160, mutual interference occurs between the first and second strip members during bending. Therefore, it is difficult to arrange the strip member in the middle region of one side of the susceptor 120 (a region between the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160).

이에 본 발명은, 서셉터(120)의 일측 변에서 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이에 미들굽힘접지부(170)를 배치하는 것에 의하여, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역에서 접지의 부재(不在)에 의한 기생방전을 방지하고, 그에 따른 박막 균일도 저하를 방지하는 효과를 얻을 수 있다.Accordingly, the present invention, by arranging the middle bending ground portion 170 between the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 at one side of the susceptor 120, the first bending It is possible to obtain an effect of preventing parasitic discharge due to the absence of ground in a region between the ground portion 150 and the second bent ground portion 160, and thereby preventing a decrease in thin film uniformity.

바람직하게, 미들굽힘접지부(170)는 서셉터(120)의 일측 변에서 제1방향(또는 제2방향)에 교차하는 교차 방향으로 굽힘 가능하게 제공될 수 있으며, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)가 미들굽힘접지부(170)와 비접촉되며 미들굽힘접지부(170)의 영역(미들상부고정부와 미들하부고정부의 사이 영역)으로 침범되도록 하는 것에 의하여, 미들굽힘접지부(170)와 각 굽힘접지부(제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부) 간의 이격 간격을 최소화함으로써, 서셉터(120)의 일측 변에서 접지를 보다 균일하게 하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.Preferably, the middle bend ground portion 170 may be provided to be bent in an intersecting direction crossing the first direction (or the second direction) from one side of the susceptor 120, and the first bend ground portion 150 ) And the second bending ground portion 160 are not in contact with the middle bending ground portion 170 and invade into the region of the middle bending ground portion 170 (the region between the middle upper fixing portion and the middle lower fixing portion). , By minimizing the spacing between the middle bend ground portion 170 and each bend ground portion (first bend ground portion and second bend ground portion), the advantageous effect of making the grounding more uniform on one side of the susceptor 120 Can be obtained.

일 예로, 미들굽힘접지부(170)는 서셉터(120)의 일측 변에서 서셉터(120)의 내측 방향(서셉터(120)에 중심을 향하는 방향)으로 굽힘 가능하게 제공되며, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 굽힘시, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 일부는 미들굽힘접지부(170)와 비접촉되며 미들굽힘접지부(170)의 영역(미들상부고정부와 미들하부고정부의 사이 영역)(도 8의 Z1)으로 침범된다. 이와 같이, 미들굽힘접지부(170)가 서셉터(120)의 일측 변에서 서셉터(120)의 내측 방향으로 굽힘됨과 동시에, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 일부가 미들굽힘접지부(170)와 비접촉되며 미들굽힘접지부(170)의 영역에 진입되게 하는 것에 의하여, 미들굽힘접지부(170)와 각 굽힘접지부(제1굽힘접지부와 제2굽힘접지부) 간의 이격 간격을 최소화함으로써, 서셉터(120)의 일측 변에서 접지를 보다 균일하게 하는 유리한 효과를 얻을 수 있다. 경우에 따라서는, 미들굽힘접지부가 서셉터의 일측 변에서 서셉터의 외측 방향으로 굽혀지도록 구성하는 것도 가능하다.As an example, the middle bending ground part 170 is provided to be bent from one side of the susceptor 120 to the inner direction of the susceptor 120 (direction toward the center of the susceptor 120), and the first bending When the ground portion 150 and the second bend ground portion 160 are bent, some of the first bend ground portion 150 and the second bend ground portion 160 are not in contact with the middle bend ground portion 170, and the middle bend It is invaded into the area of the ground part 170 (the area between the upper middle fixing part and the lower middle fixing part) (Z1 in FIG. 8). In this way, the middle bend ground portion 170 is bent in the inner direction of the susceptor 120 from one side of the susceptor 120, and at the same time, the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 A part of the middle bend contact part 170 is non-contact and enters the region of the middle bend contact part 170, so that the middle bend contact part 170 and each bend contact part (the first bend contact part and the second By minimizing the spacing between the bending ground portions), an advantageous effect of making the ground more uniform at one side of the susceptor 120 can be obtained. In some cases, it is also possible to configure the middle bending ground portion to be bent from one side of the susceptor toward the outside of the susceptor.

미들굽힘접지부(170)는 제1방향(또는 제2방향)에 교차하는 교차 방향으로 굽힘 가능한 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 미들굽힘접지부(170)는 서셉터(120)의 일측 변을 따라 배치되는 적어도 하나의 미들접지스트랩(171)을 포함하여 구성될 수 있다.The middle bend ground portion 170 may be provided in various structures capable of bending in an intersecting direction crossing the first direction (or the second direction). For example, the middle bending ground part 170 may be configured to include at least one middle ground strap 171 disposed along one side of the susceptor 120.

미들접지스트랩(171)의 개수 및 이격 간격은 서셉터(120)의 크기 및 요구되는 조건에 따라 적절히 변경될 수 있다. 바람직하게 복수개의 미들접지스트랩(171)은 서로 동일한 사이즈 및 재질(접지 특성)로 형성된다. 경우에 따라서는 복수개의 미들접지스트랩을 서로 다른 사이즈, 재질, 형태로 형성하여, 서셉터의 영역 또는 부위별로 각 미들접지스트랩에 의한 접지 특성을 조절하는 것도 가능하다.The number and spacing of the middle ground straps 171 may be appropriately changed according to the size of the susceptor 120 and required conditions. Preferably, the plurality of middle ground straps 171 are formed of the same size and material (ground characteristics). In some cases, by forming a plurality of middle ground straps in different sizes, materials, and shapes, it is possible to adjust the grounding characteristics of each middle ground strap for each region or part of the susceptor.

미들접지스트랩(171)으로서는 플렉시블한 통상의 알루미늄 스트랩이 사용될 수 있으며, 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 여타 다른 재질의 스트랩을 사용하는 것도 가능하다. 바람직하게 미들접지스트랩(171)은, 휨 변형이 용이하게 이루어질 수 있도록 비교적 얇은 판상 형태로 형성될 수 있다.As the middle ground strap 171, a flexible general aluminum strap may be used, and other material straps may be used according to required conditions and design specifications. Preferably, the middle ground strap 171 may be formed in a relatively thin plate shape to facilitate bending deformation.

보다 구체적으로, 미들접지스트랩(171)은, 서셉터(120)에 고정되는 미들상부고정부(172)와, 챔버(110)에 고정되는 미들하부고정부(174)와, 일단은 미들상부고정부(172)로부터 연장되고 타단은 미들하부고정부(174)로부터 연장되며, 미들상부고정부(172) 또는 미들하부고정부(174)를 기준으로 서셉터의 중앙부를 향해 굽어진 미들절곡부(middle bending portion)(176a)가 형성된 미들굽힘연결부(176)를 포함하며, 서셉터의 하강시, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 일부는 미들상부고정부(172)와 미들하부고정부(174)의 사이 영역으로 침범된다.More specifically, the middle ground strap 171 has a middle upper fixing part 172 fixed to the susceptor 120, a middle lower fixing part 174 fixed to the chamber 110, and one end of the middle upper fixing part 172 It extends from the government 172 and the other end extends from the middle lower fixing part 174, and the middle bent part bent toward the center of the susceptor based on the middle upper fixing part 172 or the middle lower fixing part 174 A middle bending portion) 176a includes a middle bending connection portion 176 formed, and when the susceptor descends, a portion of the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 is provided with a middle upper fixing portion ( 172) and the middle lower part fixing part 174.

여기서, 미들절곡부(176a)라 함은, 서셉터(120)의 하강시(미들굽힘연결부에 상하 방향으로 압축되는 가압력이 작용할 시) 미들굽힘연결부(176)가 미리 설정된 교차 방향으로 굽혀지도록 유도하기 위한 굽힘 시작지점으로 이해될 수 있으며, 미들절곡부(176a)는 미들굽힘연결부(176)의 일 부위(예를 들어, 가운데 부위)를 교차 방향을 향해 미리 절곡시켜 형성될 수 있다.Here, the middle bent part 176a means that when the susceptor 120 is lowered (when a pressing force compressed in the vertical direction is applied to the middle bent connection part), the middle bent connection part 176 is induced to bend in a preset cross direction. It may be understood as a bending start point for performing, and the middle bent portion 176a may be formed by bending a portion (eg, a middle portion) of the middle bent connection portion 176 in advance toward the cross direction.

아울러, 본 발명의 실시예에서는 미들굽힘연결부(176)에 단 하나의 미들절곡부(176a)가 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 미들굽힘연결부에 복수개의 미들절곡부를 형성하는 것도 가능하다.In addition, in the embodiment of the present invention, an example in which only one middle bent portion 176a is formed in the middle bent connection portion 176 is described, but in some cases, it is also possible to form a plurality of middle bent portions in the middle bent connection portion. Do.

미들상부고정부(172)는 볼트와 같은 통상의 체결부재 또는 전도성 접착제 등에 의해 서셉터(120)에 고정될 수 있다. 마찬가지로, 미들하부고정부(174)는 볼트와 같은 통상의 체결부재 또는 전도성 접착제 등에 의해 챔버(110)에 고정될 수 있다.The upper middle fixing part 172 may be fixed to the susceptor 120 by a conventional fastening member such as a bolt or a conductive adhesive. Similarly, the lower middle fixing part 174 may be fixed to the chamber 110 by a conventional fastening member such as a bolt or a conductive adhesive.

한편, 도 13을 참조하면, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역(도 9의 그래프에서 우측변 중앙부 영역)에서 접지의 부재(不在)가 발생하면, 다시 말해서 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역에 미들굽힘접지부(170)가 구비되지 않으면, 사이 영역에서 기생방전이 발생됨에 따라 박막 균일도가 현저하게 저하되는 것을 확인할 수 있다. 반면, 도 14와 같이, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역에 미들굽힘접지부(170)를 구비하면, 기생방전에 의한 박막 균일도 변화가 거의 발생하지 않는 것을 확인할 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 13, when an absence of ground occurs in a region between the first bend ground portion 150 and the second bend ground portion 160 (the right-side central region in the graph of FIG. 9 ), In other words, if the middle bend ground portion 170 is not provided in the region between the first bend ground portion 150 and the second bend ground portion 160, the uniformity of the thin film significantly decreases as parasitic discharge occurs in the inter-regional region. It can be confirmed. On the other hand, as shown in FIG. 14, if the middle bend ground portion 170 is provided in the region between the first bend ground portion 150 and the second bend ground portion 160, the thin film uniformity change hardly occurs due to parasitic discharge. You can see that it does not.

다시 말하면, 본 발명은, 제1스트립부재와 제2스트립부재 간에 상호 간섭이 발생하는 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역에 미들굽힘접지부(170)를 구비함으로써, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 사이 영역에서 접지의 부재(不在)에 의한 기생방전을 방지하고, 그에 따른 박막 균일도 저하를 방지하는 효과를 얻을 수 있다.In other words, in the present invention, the middle bend ground portion 170 in the region between the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 in which mutual interference occurs between the first strip member and the second strip member. By providing, it is possible to obtain an effect of preventing parasitic discharge due to the absence of ground in the region between the first bend ground portion 150 and the second bend ground portion 160, and thereby prevent the decrease in the uniformity of the thin film. I can.

한편, 도 9 내지 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판처리장치를 설명하기 위한 도면이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.Meanwhile, FIGS. 9 to 12 are views for explaining a substrate processing apparatus according to another embodiment of the present invention. In addition, the same or the same equivalent reference numerals are assigned to the same or the same equivalent parts as the above-described configuration, and detailed description thereof will be omitted.

도 9를 참조하면, 제1굽힘접지부(150)를 구성하는 제1접지스트립(또는 제2굽힘접지부(160)를 구성하는 제2접지스트립)의 제1상부고정부(152)는 제1수직선상(L1)에서 서셉터(120)에 고정되고, 제1하부고정부(154)는 제1상부고정부(152)와 동일한 제1수직선상(L1)에서 챔버(110)에 고정될 수 있다. 참고로, 도 9에서는 제1절곡부(156a)가 제1굽힘연결부(156)의 중앙부에 형성된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 제1절곡부가 제1굽힘연결부의 중앙부보다 높거나 낮은 위치에 형성되는 것도 가능하다.9, the first upper fixing portion 152 of the first ground strip (or the second ground strip constituting the second bending ground portion 160) constituting the first bending ground portion 150 1 It is fixed to the susceptor 120 on a vertical line (L1), and the first lower fixing part 154 is fixed to the chamber 110 on the same first vertical line L1 as the first upper fixing part 152. I can. For reference, in FIG. 9, the first bent portion 156a is formed in the central portion of the first bent connector 156, but in some cases, the first bent portion is higher or lower than the central portion of the first bent connector. It is also possible to be formed in position.

도 10을 참조하면, 제1굽힘접지부(150)를 구성하는 제1접지스트립(또는 제2굽힘접지부(160)를 구성하는 제2접지스트립)의 제1상부고정부(152)는 제1수직선상(L1)에서 서셉터(120)에 고정되고, 제1하부고정부(154)는 제1수직선상(L1)과 다른 제2수직선상(L2)에서 진공챔버(110)에 고정될 수 있다. 이와 같이, 제1접지스트립의 제1상부고정부(152)와 제1하부고정부(154)가 서로 다른 수직선상에서 고정되도록 하는 것에 의하여, 서셉터(120)의 주변에 배치되는 주변 부품에 의해 구애받지 않고 제1접지스트립을 보다 자유롭게 배치할 수 있는 유리한 효과를 얻을 수 있다.Referring to FIG. 10, the first upper fixing portion 152 of the first ground strip constituting the first bent ground portion 150 (or the second ground strip constituting the second bent ground portion 160) is 1 is fixed to the susceptor 120 on the vertical line (L1), the first lower fixing portion 154 is fixed to the vacuum chamber 110 on a second vertical line (L2) different from the first vertical line (L1). I can. In this way, by fixing the first upper fixing part 152 and the first lower fixing part 154 of the first ground strip on different vertical lines, the peripheral parts disposed around the susceptor 120 It is possible to obtain an advantageous effect in that the first ground strip can be more freely arranged without being restricted.

또한, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)는 서셉터(120)의 일측 변에서 서로 동일한 행(row) 또는 열(column)을 이루도록 배치(도 6 참조)되는 것도 가능하나, 다르게는, 도 11과 같이, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)를 서셉터(120)의 일측 변에서 서로 다른 행(row) 또는 열(column)을 이루도록 배치하는 것도 가능하다. 이와 같이, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)가 서로 다른 행 또는 열을 이루도록 하는 것에 의하여, 챔버(110) 내부의 영역별 플라즈마 특성에 따라 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)에 의한 접지 성능을 조절하는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 are arranged to form the same row or column on one side of the susceptor 120 (see Fig. 6). It is possible, but differently, as shown in FIG. 11, the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 are formed in different rows or columns at one side of the susceptor 120. It is also possible to arrange so as to achieve. In this way, by making the first bend ground portion 150 and the second bend ground portion 160 form different rows or columns, the first bend ground portion ( 150) and the effect of controlling the grounding performance by the second bending grounding portion 160 can be obtained.

또한, 도 12를 참조하면, 본 발명에 따른 기판처리장치는, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 각 일단을 서셉터(120)에 고정하는 상부접지블록(182)과, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 각 타단을 챔버(110)에 고정하는 하부접지블록(184)을 포함할 수 있다.In addition, referring to FIG. 12, the substrate processing apparatus according to the present invention includes an upper ground block fixing each end of the first bending ground portion 150 and the second bending ground portion 160 to the susceptor 120 ( 182 and a lower ground block 184 fixing the other ends of the first and second bending ground portions 150 and 160 to the chamber 110.

일 예로, 상부접지블록(182)과 하부접지블록(184)은 서셉터(120)의 일측 변에 대응하는 길이를 갖는 로드 형태로 형성될 수 있으며, 상부접지블록(182)과 하부접지블록(184)의 사이즈 및 구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.For example, the upper ground block 182 and the lower ground block 184 may be formed in a rod shape having a length corresponding to one side of the susceptor 120, and the upper ground block 182 and the lower ground block ( 184) is not limited or limited by the size and structure of the present invention.

이와 같이, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 각 일단은 상부접지블록에 고정되어 상부접지블록(182)과 함께 모듈화될 수 있고, 제1굽힘접지부(150)와 제2굽힘접지부(160)의 각 타단은 하부접지블록(184)에 고정되어 하부접지블록(184)과 함께 모듈화될 수 있다. 같은 방식으로, 미들굽힘접지부(170)의 일단은 상부접지블록(182)에 고정될 수 있고, 미들굽힘접지부(170)의 타단은 하부접지블록(184)에 고정될 수 있다. 이를 통해, 접지유닛(140)을 구성하는 각 접지부(150,160,170)를 서셉터(120) 및 챔버(110)에 장착하는 공정을 간소화하고, 각 접지부의 보수 및 유지를 용이하게 수행하는 효과를 얻을 수 있다.In this way, each end of the first bend ground portion 150 and the second bend ground portion 160 is fixed to the upper ground block and can be modularized together with the upper ground block 182, and the first bend ground portion 150 ) And each other end of the second bent ground unit 160 may be fixed to the lower ground block 184 to be modularized together with the lower ground block 184. In the same way, one end of the middle bend ground part 170 may be fixed to the upper ground block 182, and the other end of the middle bend ground part 170 may be fixed to the lower ground block 184. Through this, it is possible to simplify the process of mounting each grounding unit 150, 160, 170 constituting the grounding unit 140 to the susceptor 120 and the chamber 110, and to obtain the effect of easily performing maintenance and maintenance of each grounding unit. I can.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.As described above, although it has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and modify the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can change it.

110 : 챔버 120 : 서셉터
130 : 샤워헤드 140 : 접지유닛
150 : 제1굽힘접지부 151 : 제1접지스트랩
152 : 제1상부고정부 154 : 제1하부고정부
156 : 제1굽힘연결부 156a : 제1절곡부
160 : 제2굽힘접지부 161 : 제2접지스트랩
162 : 제2상부고정부 164 : 제2하부고정부
166 : 제2굽힘연결부 166a : 제2절곡부
170 : 미들굽힘접지부 171 : 미들접지스트랩
172 : 미들상부고정부 174 : 미들하부고정부
176 : 미들굽힘연결부 176a : 미들절곡부
182 : 상부접지블록 184 : 하부접지블록110: chamber 120: susceptor
130: shower head 140: ground unit
150: first bending ground portion 151: first ground strap
152: first upper fixed government 154: first lower fixed government
156: first bend connection part 156a: first bend part
160: second bend ground portion 161: second ground strap
162: second upper fixed government 164: second lower fixed government
166: second bend connection part 166a: second bend part
170: middle bending ground part 171: middle ground strap
172: upper middle fixed government 174: lower middle fixed government
176: middle bend connection part 176a: middle bend part
182: upper ground block 184: lower ground block

Claims (15)

기판처리장치에 있어서,
챔버와;
상기 챔버의 내부에 승하강 가능하게 배치되며, 기판이 안착되는 사각형 형태의 서셉터와;
상기 서셉터의 일측 변(side)의 길이 방향을 따라 제1방향으로 굽힘 가능하게 형성되어 상기 서셉터와 상기 챔버를 접지 연결하는 제1접지스트랩이 일단 모서리로부터 상기 일측 변을 따라 다수 이격 배치된 제1굽힘접지부와, 상기 제1방향을 마주하는 제2방향으로 굽힘 가능하게 형성되어 상기 서셉터와 상기 챔버를 접지 연결하는 제2접지스트랩이 타단 모서리로부터 상기 일측 변을 따라 다수 이격 배치된 제2굽힘접지부와, 상기 제1굽힘접지부와 상기 제2굽힘접지부의 사이의 상기 일측 변에서 상기 서셉터의 내측 방향으로 굽힘 가능하게 형성되어 상기 서셉터와 상기 챔버를 접지 연결하는 미들접지스트랩으로 이루어진 미들굽힘접지부를 구비한 접지유닛을;
포함하고, 상기 제1굽힘접지부가 굽혀지는 상기 제1방향은 상기 일측 변의 일단에서 상기 일측 변의 중앙부를 향하는 방향이고, 상기 제2굽힘접지부가 굽혀지는 상기 제2방향은 상기 일측 변의 타단에서 상기 일측 변의 중앙부를 향하는 방향이고;
상기 제1굽힘접지부와 상기 제2굽힘접지부의 굽힘시, 상기 제1굽힘접지부와 상기 제2굽힘접지부의 일부는 상기 미들굽힘접지부와 비접촉되며 상기 미들굽힘접지부의 영역으로 침범하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
In the substrate processing apparatus,
Chamber;
A quadrangular susceptor disposed to be elevating and descending in the chamber and on which a substrate is mounted;
The first ground strap is formed to be bent in a first direction along the length direction of one side of the susceptor to ground the susceptor and the chamber, and a plurality of first ground straps are spaced apart from one edge along the one side. A first bending ground portion and a second ground strap formed to be bent in a second direction facing the first direction to ground the susceptor and the chamber are disposed a plurality of spaced apart from the other end edge along the one side A middle ground connecting the susceptor and the chamber to the ground by being formed to be bent in the direction of the susceptor at the one side between the second bending grounding portion and the first bending grounding portion and the second bending grounding portion A grounding unit having a middle bending grounding portion made of a strap;
Including, the first direction in which the first bending ground portion is bent is a direction from one end of the one side toward the central portion of the one side, and the second direction in which the second bending ground portion is bent is from the other end of the one side It is a direction toward the center of the side;
When the first bend contact part and the second bend contact part are bent, a part of the first bend contact part and the second bend contact part do not contact the middle bend contact part and invade into the region of the middle bend contact part. Substrate processing apparatus.
 제1항에 있어서,
상기 제1굽힘접지부와 상기 제2굽힘접지부는 상기 서셉터의 일측 변에서 상호 대칭되게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
The substrate processing apparatus, wherein the first bending ground portion and the second bending ground portion are disposed symmetrically to each other on one side of the susceptor.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1접지스트랩은,
상기 서셉터에 고정되는 제1상부고정부와;
상기 챔버에 고정되는 제1하부고정부와;
일단은 상기 제1상부고정부로부터 연장되고, 타단은 상기 제1하부고정부로부터 연장되며, 상기 제1상부고정부 또는 상기 제1하부고정부를 기준으로 상기 제1방향을 향해 굽어진 제1절곡부가(first bending portion)가 형성된 제1굽힘연결부를;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
The first ground strap,
A first upper fixing part fixed to the susceptor;
A first lower fixing part fixed to the chamber;
One end extends from the first upper fixing portion, the other end extends from the first lower fixing portion, and is curved toward the first direction based on the first upper fixing portion or the first lower fixing portion. A first bending connection portion having a first bending portion formed thereon;
A substrate processing apparatus comprising: a.
 제1항에 있어서,
상기 제2접지스트랩은,
상기 서셉터에 고정되는 제2상부고정부와;
상기 챔버에 고정되는 제2하부고정부와;
일단은 상기 제2상부고정부로부터 연장되고, 타단은 상기 제2하부고정부로부터 연장되며, 상기 제2상부고정부 또는 상기 제2하부고정부를 기준으로 상기 제2방향을 향해 굽어진 제2절곡부(second bending portion)가 형성된 제2굽힘연결부를;
포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
The second ground strap,
A second upper fixing part fixed to the susceptor;
A second lower fixing part fixed to the chamber;
One end extends from the second upper fixing portion, the other end extends from the second lower fixing portion, and is curved toward the second direction based on the second upper fixing portion or the second lower fixing portion. A second bending connection portion having a second bending portion formed thereon;
A substrate processing apparatus comprising: a.
 제4항에 있어서,
상기 제1상부고정부와 상기 제1하부고정부는 서로 동일한 수직선상에서 상기 서셉터와 상기 챔버에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 4,
The first upper fixing part and the first lower fixing part are fixed to the susceptor and the chamber on the same vertical line.
 제4항에 있어서,
상기 제1상부고정부와 상기 제1하부고정부는 서로 다른 수직선상에서 상기 서셉터와 상기 챔버에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 4,
The first upper fixing part and the first lower fixing part are fixed to the susceptor and the chamber on different vertical lines.
 제1항에 있어서,
복수개의 상기 제1접지스트랩 중 하나는 상기 일측 변의 일단에 인접하게 배치되고,
복수개의 상기 제2접지스트랩 중 하나는 상기 일측 변의 타단에 인접하게 배치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
One of the plurality of first ground straps is disposed adjacent to one end of the one side,
One of the plurality of second ground straps is disposed adjacent to the other end of the one side.
 제1항에 있어서,
상기 제1굽힘접지부가 굽혀지는 상기 제1방향은 상기 일측 변의 일단에서 상기 일측 변의 중앙부를 향하는 방향이고,
상기 제2굽힘접지부가 굽혀지는 상기 제2방향은 상기 일측 변의 타단에서 상기 일측 변의 중앙부를 향하는 방향인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
The first direction in which the first bending ground portion is bent is a direction from one end of the one side toward the center of the one side,
The second direction in which the second bending ground portion is bent is a direction from the other end of the one side toward the central part of the one side.
 제1항에 있어서,
상기 제1굽힘접지부와 상기 제2굽힘접지부는 상기 일측 변에서 서로 동일한 행(row) 또는 열(column)을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the first bending ground portion and the second bending ground portion are arranged to form the same row or column on the one side.
 제1항에 있어서,
상기 제1굽힘접지부와 상기 제2굽힘접지부는 상기 일측 변에서 서로 다른 행(row) 또는 열(column)을 이루도록 배치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
The substrate processing apparatus, wherein the first bending ground portion and the second bending ground portion are arranged to form different rows or columns on the one side.
 제 1항 또는 제2항 또는 제4항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 서셉터와 상기 챔버의 간격 조절에 의해 상기 제1접지스트랩과 상기 제2접지스트랩이 굽힘 변형되면, 상기 제1접지스트랩과 상기 제2접지스트랩 중 어느 하나 이상은 상기 미들굽힘접지부와 비접촉되면서 상기 미들굽힘 접지부의 영역에 침범되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
The method according to any one of claims 1 or 2 or 4 to 11,
When the first ground strap and the second ground strap are bent and deformed by adjusting the distance between the susceptor and the chamber, at least one of the first ground strap and the second ground strap is non-contact with the middle bending contact portion. As the substrate processing apparatus, characterized in that the invasion into the region of the middle bending ground portion.
 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 미들접지스트랩은,
상기 서셉터에 고정되는 미들상부고정부와;
상기 챔버에 고정되는 미들하부고정부와;
일단은 상기 미들상부고정부로부터 연장되고, 타단은 상기 미들하부고정부로부터 연장되며, 상기 미들상부고정부 또는 상기 미들하부고정부를 기준으로 상기 서셉터의 중앙부를 향해 굽어진 미들절곡부(middle bending portion)가 형성된 미들굽힘연결부를; 포함하고,
상기 서셉터의 하강시, 상기 제1굽힘접지부와 상기 제2굽힘접지부의 일부는 상기 미들상부고정부와 상기 미들하부고정부의 사이 영역으로 침범되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
The method of claim 1,
The middle ground strap,
A middle upper fixing part fixed to the susceptor;
A middle lower fixing part fixed to the chamber;
One end extends from the middle upper fixing part, the other end extends from the middle lower fixing part, and a middle bent part bent toward the central part of the susceptor based on the middle upper part fixing part or the middle lower part fixing part. bending portion) formed middle bending connection; Including,
When the susceptor is lowered, a portion of the first bending ground portion and the second bending ground portion invade into a region between the upper middle fixing portion and the lower middle fixing portion.
 제1항에 있어서,
상기 제1접지스트랩과 상기 제2접지스트랩의 각 일단을 상기 서셉터에 고정하는 상부접지블록과;
상기 제1접지스트랩과 상기 제2접지스트랩의 각 타단을 상기 챔버에 고정하는 하부접지블록;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.

The method of claim 1,
An upper ground block fixing each end of the first ground strap and the second ground strap to the susceptor;
And a lower ground block fixing each other end of the first ground strap and the second ground strap to the chamber.
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