KR101212021B1 - Cassette for loading substrate and substrate slimming apparatus having that - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글래스 기판 등을 수납하기 위한 기판 수납용 카세트 및 그러한 기판 수납용 카세트를 구비한 기판 슬리밍 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 수납용 카세트는 박스 형상의 골조를 형성하는 카세트 프레임; 상기 카세트 프레임의 측벽에 형성되어 기판의 측부 두께면을 수용하는 측벽 홀더; 및 상기 카세트 프레임의 하단부에서 상향 돌출된 호 형상을 가지며, 기단부와 선단부가 박스의 대각선 방향으로 비틀려 형성된 하측 홀더를 포함하며, 기판을 카세트 내에 수납할 경우 기판의 하단부가 하측 홀더의 곡면을 따라 미끄러지면서 두 하측 홀더 사이에 삽입 유도됨으로써, 기판을 수납하는 것이 용이하고 기판의 오삽입을 방지할 수 있으며, 카세트 내에서 기판의 유격이 작아 기판의 손상을 최소화할 수 있는 효과를 갖는 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate storage cassette for storing a glass substrate and the like, and a substrate slimming device having such a substrate storage cassette. The substrate storage cassette according to the present invention comprises: a cassette frame for forming a box-shaped frame; A sidewall holder formed on the sidewall of the cassette frame to receive a side thickness surface of the substrate; And a lower holder protruding upward from a lower end of the cassette frame, and having a proximal end and a distal end twisted in a diagonal direction of the box. By being guided between the two lower holders while sliding, it is easy to accommodate the substrate and prevent the misinsertion of the substrate, and the play of the substrate is small in the cassette, thereby minimizing damage to the substrate.

Description

기판 수납용 카세트 및 그러한 기판 수납용 카세트를 구비한 기판 슬리밍 장치{Cassette for loading substrate and substrate slimming apparatus having that}Cassette for loading substrate and substrate slimming apparatus having that

본 발명은 기판 수납용 카세트와 기판 슬리밍 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 오삽입을 방지하고, 기판의 유격을 최소화 할 수 있는 새로운 구조의 기판 수납용 카세트 및 그러한 기판 수납용 카세트를 구비한 기판 슬리밍 장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate storage cassette and a substrate slimming device, and more particularly, to a substrate storage cassette having a new structure capable of preventing the misinsertion of a substrate and minimizing the play of the substrate, and a substrate storage cassette. One substrate slimming apparatus is provided.

일반적으로, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diode) 등의 평판형 표시장치들은 대형의 글래스 모기판(Mother Glass) 위에 반도체 공정을 통해 구성품들이 올려진 후 모기판을 절개하여 생산되는 대량생산 시스템으로 제작된다. 이때 모기판을 적재하고 운반하기 위하여 기판 수납용 카세트가 사용된다.In general, flat panel displays such as liquid crystal displays (PDPs), plasma display panels (PDPs), and active matrix organic light emitting diodes (AMOLEDs) are mounted on a large glass mother substrate through a semiconductor process. It is manufactured in a mass production system that is produced by cutting the mother board after it is finished. At this time, a substrate receiving cassette is used to load and transport the mother substrate.

특히 최근에는 평판형 표시장치들이 점차 슬림화되고 있으며, 이에 따라 모기판을 슬림하게 성형하는 슬리밍 공정이 주요 공정이 되고 있다. 예컨대, LCD의 TFT기판은 글래스 기판 상에 반도체 공정을 거쳐 화소전극과 박막트랜지스터(TFT;Thin Film Transistor)가 올려진다. TFT기판의 모기판은 대개 0.5T의 두께를 가지며, 최근에는 TFT기판을 슬리밍 공정을 통해 0.2T 이하로 슬리밍하고 있다. 그밖에도 다양한 분야에서 기판 슬리밍 장치가 이용되고 있다.In particular, in recent years, flat panel display devices have become slimmer, and thus, a slimming process for slimming a mother substrate has become a main process. For example, a TFT substrate of an LCD is provided with a pixel electrode and a thin film transistor (TFT) on a glass substrate through a semiconductor process. The mother substrate of the TFT substrate is usually 0.5T thick, and recently, the TFT substrate has been slimmed to 0.2T or less through a slimming process. In addition, substrate slimming devices are used in various fields.

기판 슬리밍 장치는 카세트에 기판들을 수납한 상태에서 에칭액에 카세트를 함침하는 디핑(dipping) 방식과, 노즐을 통해 에칭액을 분사하는 노즐분사 방식이 있다. 두 방식 모두 기판들이 카세트에 수납된 상태에서 공정이 진행된다. 이와 같은 경우에도 장치를 구성하는 구성품 중 하나로서 기판 수납용 카세트가 사용된다.The substrate slimming apparatus includes a dipping method of impregnating a cassette in an etching solution in a state in which substrates are stored in a cassette, and a nozzle injection method of spraying an etching solution through a nozzle. In both methods, the process proceeds with the substrates stored in the cassette. Even in such a case, the substrate storage cassette is used as one of the components constituting the apparatus.

종래 기판 수납용 카세트는 박스의 골조를 형성하는 프레임의 측벽과 하단부에 슬롯이 형성되어 있고, 이 슬롯에 기판을 삽입하여 수납하도록 구성되었다. 그런데 기판을 수납하는 과정에서 하단부 슬롯에 기판이 오삽입되는 경우가 빈번하게 발생한다. 이는 기판의 사이즈가 커서 카세트 입구에서 하단부까지 높이가 상당함에도 기인하지만, 하단부 슬롯의 형태적인 문제점도 작용하고 있다. 기판의 오삽입에 따르는 문제점은, 글래스 등의 재질로 기판이 구성될 경우 기판이 깨지거나 크랙이 발생하여 불량률이 증가한다는 것이다.Conventional substrate storage cassettes have slots formed on sidewalls and lower ends of a frame forming a frame of a box, and are configured to receive and insert a substrate into the slots. However, in the process of accommodating the substrate, the substrate is frequently inserted into the lower slot. This is due to the fact that the size of the substrate is large and the height from the cassette inlet to the lower end is significant, but the shape problem of the lower end slot also works. The problem with the misinsertion of the substrate is that when the substrate is made of a material such as glass, the substrate is cracked or cracked, resulting in an increase in the defective rate.

또한, 통상적인 기판 수납용 카세트는 슬롯의 내폭을 기판의 두께보다 크게 제작하는데, 슬리밍 처리 후 기판의 두께가 크게 줄어들게 되면 슬롯 내에서 기판의 유격은 더욱 커지게 된다. 얇게 가공된 글래스는 찾은 충격에도 쉽게 깨지게 되므로 지나치게 큰 유격은 불량발생률을 높인다.
In addition, a conventional cassette for storing a substrate makes the inner width of the slot larger than the thickness of the substrate. When the thickness of the substrate is greatly reduced after the slimming process, the clearance of the substrate in the slot becomes larger. The thinly processed glass is easily broken by the impacts found, so excessive play increases the failure rate.

본 발명은 기판의 오삽입을 방지하고 기판의 유격을 최소화하여 공정 진행 속도를 향상시키고 기판의 깨짐 및 크랙 발생을 억제하여 불량 발생률을 크게 낮출 수 있는 기판 수납용 카세트 및 그러한 기판 수납용 카세트를 구비한 기판 슬리밍 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
The present invention provides a substrate storage cassette and a substrate storage cassette capable of preventing a misinsertion of a substrate and minimizing the play of the substrate to improve the process progress speed and suppress the occurrence of cracks and cracks of the substrate to greatly reduce the incidence of defects. It is an object to provide a substrate slimming device.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 수납용 카세트는, 기판을 수납하기 위한 기판 수납용 카세트에 있어서, 박스 형상의 골조를 형성하는 카세트 프레임; 상기 카세트 프레임의 측벽에 형성되어 기판의 측부 두께면을 수용하는 측벽 홀더; 및 상기 카세트 프레임의 하단부에서 상향 돌출된 호 형상을 가지며, 기단부와 선단부가 박스의 대각선 방향으로 비틀려 형성된 하측 홀더를 포함하며, 어느 하나의 하측 홀더 기단부와 길이방향으로 이웃하는 다른 하나의 하측 홀더 선단부 사이에 기판의 하부 두께면이 수용되는 것을 특징으로 한다.
According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate storage cassette, comprising: a cassette frame configured to form a box-shaped frame; A sidewall holder formed on the sidewall of the cassette frame to receive a side thickness surface of the substrate; And a lower holder having an arc shape projecting upward from a lower end of the cassette frame, and having a proximal end portion and a distal end portion twisted in a diagonal direction of the box, the lower holder proximate one of the lower holder proximal ends in the longitudinal direction. The lower thickness surface of the substrate is accommodated between the tip portions.

어느 하나의 하측 홀더와 길이방향으로 이웃하는 다른 하나의 하측 홀더간 길이방향 간격이 폭방향 간격보다 작다.
The longitudinal distance between one lower holder and the other lower holder neighboring in the longitudinal direction is smaller than the width interval.

상기 기판은 카세트 프레임 내에서 수직으로 입설된다.
The substrate is placed vertically within the cassette frame.

상기 카세트 프레임의 하단부에는 길이방향을 따라 나란하게 설치되는 한 쌍의 종단스트립이 설치되고, 상기 하측홀더의 기단부는 한 쌍의 종단스트립 중 어느 하나에 고정되며 하측홀더의 선단부는 대향하는 다른 하나의 종단스트립에 고정된다.
The lower end of the cassette frame is provided with a pair of end strips installed side by side in the longitudinal direction, the base end of the lower holder is fixed to any one of the pair of end strips and the other end of the lower holder is opposite Fixed to the end strip.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 슬리밍 장치는, 상기한 기판 수납용 카세트와, 상기 카세트 상부에 설치되며 기판측으로 에칭액을 분사하는 노즐 어레이를 포함하는 것을 특징으로 한다.
A substrate slimming apparatus according to the present invention for achieving the above object is characterized in that it comprises a cassette for storing the substrate, and a nozzle array which is provided on the cassette and sprays the etching solution toward the substrate.

본 발명의 기판 수납용 카세트 및 그러한 기판 수납용 카세트를 구비한 기판 슬리밍 장치에 따르면, 하측 홀더를 비틀린 호 형상으로 구성함으로써, 기판이 수납될 때 기판의 하단면이 하측 홀더의 곡면을 따라 미끄러지면서 삽입 유도되어 기판의 오삽입을 방지할 수 있고 기판의 수납작업이 보다 용이하고 신속하게 이루어지며, 기판의 유격을 최소화하여 기판을 슬리밍 처리하고 난 후 유격에 의해 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
According to the substrate storage cassette of the present invention and the substrate slimming device having such a substrate storage cassette, the lower holder is configured in a twisted arc shape so that the lower surface of the substrate slides along the curved surface of the lower holder when the substrate is stored. Insertion-induced can prevent misinsertion of the board, and it is easier and faster to store the board, and minimizes the play of the board to prevent the board from being damaged by the play after slimming the board. It works.

도 1은 본 발명에 따른 기판 수납용 카세트를 예시한 사시도,
도 2는 카세트에 기판이 수납된 상태를 예시한 사시도,
도 3은 하측 홀더를 확대 도시한 사시도,
도 4는 카세트 내에서 기판의 설치예를 개념적으로 보인 정면도,
도 5는 본 발명에 따른 기판 슬리밍 장치를 묘사한 사시도,
도 6는 슬리밍 공정을 개념적으로 보인 정면도이다.1 is a perspective view illustrating a substrate storage cassette according to the present invention;
2 is a perspective view illustrating a state in which a substrate is accommodated in a cassette;
3 is an enlarged perspective view of the lower holder;
4 is a front view conceptually showing an example of installation of a substrate in a cassette;
5 is a perspective view of a substrate slimming apparatus according to the present invention;
6 is a front view conceptually showing a slimming process.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and the same or corresponding components will be given the same reference numerals regardless of the reference numerals, and redundant description thereof will be omitted.

본 발명은 복수개의 기판을 수납하기 위한 카세트에 관한 것이다. 여기서 기판은 다양한 형태와 재질을 가질 수 있다. 예를 들어, 기판은 부품들이 실장된 상태의 에폭시 기판일 수 있다. 다른 예로서, 이하 실시예에서 언급되는 바와 같이 LCD의 양산에 사용되는 글래스 기판일 수 있다.The present invention relates to a cassette for accommodating a plurality of substrates. The substrate may have various shapes and materials. For example, the substrate may be an epoxy substrate with components mounted thereon. As another example, it may be a glass substrate used for mass production of an LCD as mentioned in the following embodiments.

또한, 본 발명의 카세트는 다양한 실시형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 부품들이 실장된 에폭시 기판을 적재하고 운반하는 용도로 사용될 수 있다. 다른 예로서, 이하에서 언급되는 바와 같이 LCD 제작에 사용되는 글래스 기판을 슬리밍 장치에 투입하기 위한 용도로 사용될 수 있다.In addition, the cassette of the present invention may have various embodiments. For example, parts can be used to load and transport mounted epoxy substrates. As another example, as mentioned below, the glass substrate used for manufacturing an LCD may be used for the purpose of feeding the slimming device.

도 1은 본 발명에 따른 기판 수납용 카세트의 일실시예를 보여주며, 도 2는 도 1의 카세트에 기판이 수납된 상태를 보여준다. 도 1을 참조하면, 카세트 프레임(10)이 박스 형상의 골조를 형성하여 카세트를 구성한다. 카세트 프레임(10)의 길이방향을 따라서는 상단 프레임(12), 중단 프레임(14), 하단 프레임(16)이 구비된다. 그리고 상단 프레임(12)과 중단 프레임(14)의 내측에는 도시한 바와 같이 측벽 홀더(22)가 설치된다.1 shows an embodiment of a cassette for receiving a substrate according to the present invention, Figure 2 shows a state in which the substrate is accommodated in the cassette of FIG. Referring to FIG. 1, the cassette frame 10 forms a box-shaped frame to constitute a cassette. The upper frame 12, the middle frame 14, and the lower frame 16 are provided along the longitudinal direction of the cassette frame 10. The side wall holder 22 is installed inside the upper frame 12 and the middle frame 14 as shown.

측벽 홀더(22)는 도 2에 도시된 바와 같이 기판(30)의 측부 두께면을 수용하는 것으로서, 상호 대향하는 측으로 돌출된 한 쌍의 돌부(22a, 22b)로 구성된다. 측벽 홀더(22)는 비단 도시된 형상에 국한되지 않으며, 슬롯 형태로 구성되는 등 다양한 형태로 변경될 수 있다.The side wall holder 22 accommodates the side thickness surface of the board | substrate 30, as shown in FIG. 2, and consists of a pair of protrusions 22a and 22b which protrude to mutually opposing sides. The side wall holder 22 is not limited to the illustrated shape, but may be changed in various forms such as configured in the form of a slot.

카세트 프레임(10)의 하단부에는 종방향을 가로질러 복수개의 종단스트립(18)이 설치된다. 각각의 종단스트립(18)은 소정 간격으로 나란하게 배치된 제1종단스트립(18a)과 제2종단스트립(18b)이 쌍을 이루도록 구성된다. 종단스트립 쌍(18a, 18b)은 둘 이상의 복수개 세트로 설치되며, 도시된 예에서는 이러한 종단스트립 쌍(18a, 18b)이 2세트 배치된 것을 예시하였다.The lower end of the cassette frame 10 is provided with a plurality of end strips 18 across the longitudinal direction. Each end strip 18 is configured such that the first end strips 18a and the second end strips 18b are arranged in pairs at predetermined intervals. The end strip pairs 18a and 18b are installed in a plurality of sets of two or more, and the illustrated example illustrates the arrangement of two end strip pairs 18a and 18b.

종단스트립(18) 상에는 호 형상의 하측 홀더(24)가 상부를 향해 돌출 형성된다. 도시한 바와 같이 하측 홀더(24)의 기단부(24a)는 제1종단스트립(18a) 상에 고정되며, 선단부(24b)는 제2종단스트립(18b) 상에 고정된다. 즉, 각각의 하측 홀더(24)는 기단부(24a)와 선단부(24b)가 카세트 프레임 바닥면의 대각선 방향으로 비틀린 형상을 갖는다.On the longitudinal strip 18, an arc-shaped lower holder 24 protrudes upward. As shown, the proximal end 24a of the lower holder 24 is fixed on the first longitudinal strip 18a, and the distal end 24b is fixed on the second longitudinal strip 18b. That is, each of the lower holders 24 has a shape where the proximal end 24a and the distal end 24b are twisted in the diagonal direction of the bottom of the cassette frame.

하측 홀더(24)가 위와 같은 형상을 가짐에 따라, 기판(30)이 수직 방향으로 삽입될 때 하측 홀더(24)의 정점에서 기단부(24a) 또는 선단부(24b)에 이르는 곡면을 따라 미끄러지면서 기판(30)의 삽입을 유도한다. 따라서, 기판(30)이 옆 칸으로 오삽입되는 것을 방지할 수 있다.As the lower holder 24 has the above shape, when the substrate 30 is inserted in the vertical direction, the substrate slides along the curved surface from the top of the lower holder 24 to the proximal end 24a or the distal end 24b. Induce the insertion of (30). Therefore, it is possible to prevent the substrate 30 from being misinserted into the side compartment.

도 3은 하측 홀더(24)를 확대 도시한 것으로서, 이를 참조하면 하측 홀더(24)들 사이의 간격은 다음과 같이 규정된다. 이웃하는 하측 홀더(24)간 길이방향 간격(하측 홀더가 설치된 열방향)을 'X'라 하고, 폭방향 간격을 'Y'라 한다면, X는 Y보다 작게 형성된다. 이는 기판(30)의 두께에 대응하는 간격인 X를 가능한 작게 하여 카세트 내에서 기판(30)의 유격을 최소화하고, Y를 크게 하여 기판(30)의 양면을 보다 안정적으로 고정시키기 위함이다.3 is an enlarged view of the lower holder 24, and referring to this, the spacing between the lower holders 24 is defined as follows. If the lengthwise interval (column direction in which the lower holder is installed) between the adjacent lower holders 24 is referred to as 'X', and the widthwise interval is referred to as 'Y', X is formed smaller than Y. This is to minimize the play of the substrate 30 in the cassette by making X as an interval corresponding to the thickness of the substrate 30 as small as possible, and to secure both sides of the substrate 30 more stably by increasing the Y.

도 4는 카세트 내에서 기판의 설치예를 개념적으로 보여준다. 도 4를 참조하면, 카세트 내에서 기판(30)은 수직방향으로 입설된다. 이를 위하여, 측부 홀더(22)와 하측 홀더(24)는 수직선상에서 적절한 위치에 설치된다.4 conceptually shows an example of installation of a substrate in a cassette. 4, the substrate 30 is placed in the vertical direction in the cassette. For this purpose, the side holder 22 and the lower holder 24 are installed at appropriate positions on the vertical line.

도 5 및 6은 본 발명의 기판 수납용 카세트가 기판 슬리밍 장치의 일구성품으로 사용되는 실시예를 보인 것으로서, 노즐 분사식 기판 슬리밍 장치를 예시한 것이다. 이를 참조하면, 기판 슬리밍 장치는 전술한 기판 수납용 카세트와, 에칭액을 분사하는 노즐 어레이(40)를 포함한다. 도시하지 않았지만, 기판 슬리밍 장치는 챔버, 컨베이어 밸트, 에칭액 저장탱크, 제어장치 등이 더 포함될 수 있다.5 and 6 show an embodiment in which the substrate storage cassette of the present invention is used as one component of the substrate slimming device, and illustrates a nozzle spray type substrate slimming device. Referring to this, the substrate slimming apparatus includes the above-described substrate storage cassette and a nozzle array 40 for spraying etching liquid. Although not shown, the substrate slimming device may further include a chamber, a conveyor belt, an etchant storage tank, a control device, and the like.

도 5 및 6의 예시에서 기판(30)은 글래스 기판이며, 규소(Si) 또는 산화규소(SiO2)를 포함한다. 따라서 불소산(HF) 등과 같은 에칭액에 의해 식각된다. 도 5를 참조하면, 카세트의 상부에는 노즐 어레이(40)가 설치된다. 노즐 어레이(40)는 복수개의 노즐(42)이 배치된 어레이이다.5 and 6, the substrate 30 is a glass substrate and includes silicon (Si) or silicon oxide (SiO 2 ). Therefore, it is etched by an etchant such as hydrofluoric acid (HF). Referring to FIG. 5, a nozzle array 40 is installed on the cassette. The nozzle array 40 is an array in which a plurality of nozzles 42 are arranged.

각각의 노즐(42)은 도시 안된 에칭액 저장탱크에 연결된다. 작업자가 수동으로 에칭액 분사를 조작하거나 자동으로 설정된 시간이 도래하면, 에칭액 저장탱크 내에 저장된 에칭액이 펌핑되어 도 6에서와 같이 노즐(42)을 통해 분사된다. 그러면, 기판(30)의 표면을 따라 에칭액이 흐르면서 기판(30)이 식각된다. 기판(30)의 타겟 두께는 에칭액의 농도, 분사 시간 등에 의해 결정된다.Each nozzle 42 is connected to an etchant storage tank, not shown. When the operator manually operates the etching liquid injection or the time automatically set, the etching liquid stored in the etching liquid storage tank is pumped and sprayed through the nozzle 42 as shown in FIG. Then, the etching solution flows along the surface of the substrate 30 to etch the substrate 30. The target thickness of the substrate 30 is determined by the concentration of the etching solution, the injection time, and the like.

이와 같은 기판 슬리밍 장치에 본 발명의 기판 수납용 카세트가 적용되는 경우, 기판(30)이 하측 홀더(24)에 의해 견고하게 위치 고정된 상태에서 에칭 공정이 진행될 수 있다.When the cassette for receiving a substrate of the present invention is applied to such a substrate slimming device, the etching process may be performed while the substrate 30 is firmly fixed by the lower holder 24.

또한, 기판(30)이 식각되어 슬리밍된 경우에도 카세트 내에서 기판(30)의 유격이 작아진다. 따라서 카세트의 이동 중 얇아진 기판(30)이 충격에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 불량률을 크게 낮출 수 있다.In addition, even when the substrate 30 is etched and slimmed, the play of the substrate 30 in the cassette is reduced. Therefore, the thinned substrate 30 during the movement of the cassette can be prevented from being damaged by the impact, and the defect rate can be greatly reduced.

본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and it is common knowledge in the technical field of the present invention that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those who have

10 : 카세트 프레임 12 : 상단 프레임
14 : 중단 프레임 16 : 하단 프레임
18 : 종단스트립 22 : 측벽 홀더
24 : 하측 홀더 30 : 기판
40 : 노즐 어레이 42 : 노즐10: cassette frame 12: top frame
14: interrupt frame 16: lower frame
18: end strip 22: side wall holder
24: lower holder 30: substrate
40 nozzle array 42 nozzle

Claims (5)

기판을 수납하기 위한 기판 수납용 카세트에 있어서,
박스 형상의 골조를 형성하는 카세트 프레임;
상기 카세트 프레임의 측벽에 형성되어 기판의 측부 두께면을 수용하는 측벽 홀더; 및
상기 카세트 프레임의 하단부에서 상향 돌출된 호 형상을 가지며, 기단부와 선단부가 상기 카세트 프레임 바닥면의 대각선 방향으로 비틀려 형성된 하측 홀더를 포함하며,
어느 하나의 하측 홀더 기단부와 길이방향으로 이웃하는 다른 하나의 하측 홀더 선단부 사이에 기판의 하부 두께면이 수용되고,
상기 카세트 프레임의 하단부에는 길이방향을 따라 나란하게 설치되는 한 쌍의 종단스트립이 설치되고, 상기 하측홀더의 기단부는 한 쌍의 종단스트립 중 어느 하나에 고정되며, 상기 하측홀더의 선단부는 대향하는 다른 하나의 종단스트립에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
In the substrate storage cassette for storing a substrate,
A cassette frame forming a frame in a box shape;
A sidewall holder formed on the sidewall of the cassette frame to receive a side thickness surface of the substrate; And
It has an arc shape projecting upward from the lower end of the cassette frame, the base end and the front end includes a lower holder formed by twisting in the diagonal direction of the bottom of the cassette frame,
A lower thickness surface of the substrate is received between one lower holder proximal end and the other lower holder proximal end in the longitudinal direction,
The lower end of the cassette frame is provided with a pair of end strips installed side by side in the longitudinal direction, the base end of the lower holder is fixed to any one of the pair of end strips, the other end of the lower holder is opposite A substrate storage cassette, characterized in that fixed to one end strip.
제1항에 있어서,
어느 하나의 하측 홀더와 길이방향으로 이웃하는 다른 하나의 하측 홀더간 길이방향 간격이 폭방향 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
The method of claim 1,
A cassette for substrate storage, characterized in that a longitudinal gap between one lower holder and another lower holder neighboring in the longitudinal direction is smaller than a widthwise gap.
제1항에 있어서,
상기 기판은 카세트 프레임 내에서 수직으로 입설되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
The method of claim 1,
And the substrate is vertically placed in the cassette frame.
삭제delete 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 기판 수납용 카세트와, 상기 카세트 상부에 설치되며 기판측으로 에칭액을 분사하는 노즐 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 슬리밍 장치.A substrate slimming apparatus, comprising: the substrate storage cassette according to any one of claims 1 to 3, and a nozzle array provided on the cassette and spraying etching liquid toward the substrate.
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