KR102172915B1 - Method for transporting a substrat, substrate transproting unit and end effector - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 이송하는 방법, 기판 이송 장치 및 엔드 이펙터를 제공한다. 기판의 일측에 작용점이 위치되는 제1 지렛대와 기판의 타측에 작용점이 위치되는 제2 지렛대를 제공하고, 기판을 그립한 엔드 이펙터의 변속으로부터 관성력에 의해 변위가 발생하는 가동 부재가 상기 제1 지렛대 또는 상기 제2 지렛대의 힘점에 힘을 제공하여 상기 기판의 일측 또는 타측에 대하여 상기 기판의 관성력 작용 방향과 반대 방향의 힘을 작용시킨다.The present invention provides a method for transferring a substrate, an apparatus for transferring a substrate, and an end effector. The first lever is provided with a first lever in which an action point is located on one side of the substrate and a second lever in which an action point is located on the other side of the substrate. Alternatively, by providing a force to a force point of the second lever, a force in a direction opposite to a direction in which the inertial force of the substrate is applied is applied to one side or the other side of the substrate.

Description

기판 이송 방법. 기판 이송 유닛 및 엔드 이펙터{METHOD FOR TRANSPORTING A SUBSTRAT, SUBSTRATE TRANSPROTING UNIT AND END EFFECTOR}Substrate transfer method. Substrate transfer unit and end effector {METHOD FOR TRANSPORTING A SUBSTRAT, SUBSTRATE TRANSPROTING UNIT AND END EFFECTOR}

기판 이송 방법, 기판 이송 유닛 및 엔드 이펙터에 관한 것이다.It relates to a substrate transfer method, a substrate transfer unit, and an end effector.

반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판 상으로 감광액을 공급하는 포토리소그라피, 식각, 이온주입, 증착 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이러한 공정이 수행되는 과정에서 기판은 하나의 장치에서 다른 장치로 이송된다. 이와 같은 이송 과정에서 기판의 핸들링은 이송 로봇 등의 기판 이송 유닛에 의해 수행될 수 있다.In order to manufacture a semiconductor device or a liquid crystal display, various processes such as photolithography, etching, ion implantation, deposition, and cleaning of supplying a photoresist onto a substrate are performed. In the course of this process, the substrate is transferred from one device to another. In the transfer process, the handling of the substrate may be performed by a substrate transfer unit such as a transfer robot.

기판 이송 유닛은 직선 운동 및 회전 운동을 할 수 있다. 기판 이송 유닛이 기판을 그립한 상태에서 운동하는 경우, 특히 운동속도가 가변될 때 관성에 의해 기판이 정위치에서 이탈될 수 있다. 기판의 엔드 이펙터로부터의 이탈은 기판의 손상 또는 공정 효율의 저하를 유발할 수 있다. 따라서 상술한 이탈을 막기 위해 기판 이송 유닛의 일 타입은 이탈 방지 수단을 제공한다.The substrate transfer unit may perform linear motion and rotational motion. When the substrate transfer unit moves while gripping the substrate, the substrate may be dislodged from the correct position due to inertia, especially when the motion speed is varied. The separation of the substrate from the end effector may cause damage to the substrate or decrease in process efficiency. Therefore, in order to prevent the above-described separation, one type of the substrate transfer unit provides a separation preventing means.

기판 이송 유닛은 적용 환경에 따라 대기형(ATM) 로봇과 진공형(Vacuum) 로봇으로 나눌 수 있다. 특히 진공형 로봇은 모터와 실린더 장치를 이용하여 기판 방향으로 압축하는 힘을 제공함으로써 기계적으로 기판을 잡아주어 이탈을 방지한다. 이러한 모터 장치 및 진공 장치들은 설계 관점에서 복잡하며, 설치하고 유지하는데 많은 비용이 든다. 나아가, 기판 이송 유닛의 일 타입으로 기판의 무게만으로 기판을 잡아주되 논슬립패드를 부착하는 장치가 제공되나, 이는 기판을 저속으로 이송한다.The substrate transfer unit can be divided into an atmospheric (ATM) robot and a vacuum robot according to the application environment. In particular, the vacuum robot uses a motor and a cylinder device to provide a compressive force in the direction of the substrate to mechanically hold the substrate to prevent separation. These motor devices and vacuum devices are complex from a design point of view and are expensive to install and maintain. Further, as a type of substrate transfer unit, a device that holds a substrate with only the weight of the substrate but attaches a non-slip pad is provided, which transfers the substrate at a low speed.

본 발명은 기판을 고속으로 이송하면서도 기판의 이탈을 막을 수 있는 기판 이송 유닛 및 엔드 이펙터를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a substrate transfer unit and an end effector capable of preventing separation of a substrate while transferring a substrate at high speed.

또한, 본 발명은 생산 단가, 설치 비용 및 유지 비용이 낮으면서도 기판의 이탈을 효율적으로 막을 수 있는 기판 이송 유닛 및 엔드 이펙터를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a substrate transfer unit and an end effector capable of efficiently preventing the separation of the substrate while the production cost, installation cost and maintenance cost are low.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problem to be solved by the present invention is not limited thereto, and other problems that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 기판을 이송하는 방법을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 기판을 이송하는 방법은, 기판의 일측에 작용점이 위치되는 제1 지렛대와 기판의 타측에 작용점이 위치되는 제2 지렛대를 제공하고, 기판을 그립한 엔드 이펙터의 변속으로부터 관성력에 의해 변위가 발생하는 가동 부재가 상기 제1 지렛대 또는 상기 제2 지렛대의 힘점에 힘을 제공하여 상기 기판의 일측 또는 타측에 대하여 상기 기판의 관성력 작용 방향과 반대 방향의 힘을 작용시킨다.The present invention provides a method of transferring a substrate. In one embodiment, the method of transferring a substrate provides a first lever in which an action point is located on one side of the substrate and a second lever in which an action point is located on the other side of the substrate, and inertial force from the shift of the end effector gripping the substrate. A movable member that is displaced thereby applies a force to a force point of the first lever or the second lever to exert a force on one side or the other side of the substrate in a direction opposite to the direction in which the inertial force of the substrate is applied.

또한, 본 발명은 기판을 그립하는 엔드 이펙터를 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 엔드 이펙터는, 기판이 안착되는 지지면을 제공하는 블레이드와; 제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 일측면에 인접하게 위치되는 제1 날개 부재와; 제2 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 타측면에 인접하게 위치되는 제2 날개 부재와; 상기 제1 날개 부재와 상기 제2 날개 부재의 사이에 위치되며, 상기 엔드 이펙터의 좌우 또는 회전 방향에 대한 변속으로부터 발생하는 관성력에 의해 상기 제1 날개 부재의 타측 또는 상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하는 가동 부재를 포함한다.In addition, the present invention provides an end effector for gripping a substrate. In an embodiment, the end effector includes: a blade providing a support surface on which a substrate is seated; A first wing member rotatably provided about a first rotation axis and one side is positioned adjacent to one side of the substrate; A second wing member rotatably provided about a second rotation axis and one side is positioned adjacent to the other side of the substrate; It is located between the first wing member and the second wing member, and the other side of the first wing member or the other side of the second wing member is moved by an inertial force generated from a shift in the left-right or rotational direction of the end effector. It includes a movable member to pressurize.

일 실시 예에 있어서, 상기 가동 부재는 중량체를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, the movable member may further include a weight body.

일 실시 예에 있어서, 상기 가동 부재는 상기 제1 날개 부재 또는 상기 제2 날개 부재 보다 고중량으로 제공될 수 있다.In one embodiment, the movable member may be provided with a higher weight than the first wing member or the second wing member.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 회전 축은 상기 제1 날개 부재의 타측 방향으로 편향되어 위치되고, 상기 제2 회전 축은 상기 제2 날개 부재의 타측 방향으로 편향되어 위치될 수 있다.In an embodiment, the first rotation axis may be positioned to be deflected in a direction to the other side of the first wing member, and the second rotation axis may be positioned to be deflected in a direction to the other side of the second wing member.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 날개 부재는 기판과 평행한 평면상에서 상기 제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하고, 상기 제 2 날개 부재는 기판과 평행한 평면상에서 상기 제2 회전 축을 중심으로 회전할 수 있다.In one embodiment, the first wing member is rotatable about the first rotation axis on a plane parallel to the substrate, and the second wing member rotates about the second rotation axis on a plane parallel to the substrate. I can.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 날개 부재 및 상기 제 2 날개 부재의 일측에 상기 기판과 직접 접촉하는 돌기가 제공될 수 있다.In an embodiment, a protrusion directly contacting the substrate may be provided on one side of the first wing member and the second wing member.

일 실시 예에 있어서, 상기 블레이드는 상기 기판의 후방 방향으로 연장되는 연장부를 포함하고, 상기 제1 날개 부재, 상기 제2 날개 부재 및 상기 가동 부재는 상기 연장부와 회전 가능하게 결합될 수 있다.In one embodiment, the blade includes an extension portion extending in a rear direction of the substrate, and the first wing member, the second wing member, and the movable member may be rotatably coupled to the extension portion.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 날개 부재의 타측과 상기 가동 부재를 연결하는 제1 링크 부재와; 상기 제2 날개 부재의 타측과 상기 가동 부재를 연결하는 제2 링크 부재를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, a first link member connecting the other side of the first wing member and the movable member; It may further include a second link member connecting the other side of the second wing member and the movable member.

일 실시 예에 있어서, 상기 가동 부재를 정위치로 회복시키는 탄성 부재를 더 포함할 수 있다.In one embodiment, it may further include an elastic member for restoring the movable member to the original position.

일 실시 예에 있어서, 상기 가동 부재는 상하방향으로 스토퍼홀이 형성되고, 상기 스토퍼홀에 대응하되 상기 홀의 너비보다 설정 너비 작게 제공되며, 상기 홀에 삽입되는 스토퍼를 포함할 수 있다.In one embodiment, the movable member may include a stopper hole formed in the vertical direction, corresponding to the stopper hole, but provided with a set width smaller than the width of the hole, and inserted into the hole.

일 실시 예에 있어서, 상기 스토퍼는, 상기 블레이드에 고정될 수 있다.In one embodiment, the stopper may be fixed to the blade.

일 실시 예에 있어서, 상기 가동 부재는, 상기 제1 날개 부재의 타측을 가압하도록 제공되는 제1 날개부와; 상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하도록 제공되는 제2 날개부와; 상기 가동 부재의 회전축이 제공되는 제3 날개부를 포함할 수 있다.In one embodiment, the movable member includes: a first wing portion provided to press the other side of the first wing member; A second wing portion provided to press the other side of the second wing member; It may include a third wing portion provided with a rotation shaft of the movable member.

일 실시 예에 있어서, 상기 제3 날개부의 일측면을 지지하는 제1 탄성 부재와; 상기 제3 날개부의 타측면을 지지하는 제2 탄성 부재를 포함할 수 있다.In one embodiment, a first elastic member for supporting one side of the third wing; It may include a second elastic member supporting the other side of the third wing.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 탄성 부재 및 상기 제2 탄성 부재는 코일 스프링으로 제공될 수 있다.In an embodiment, the first elastic member and the second elastic member may be provided as coil springs.

일 실시 예에 있어서, 상기 제1 날개 부재, 상기 제2 날개 부재 및 상기 가동 부재를 커버하는 커버 부재를 더 포함할 수 있다.In an embodiment, a cover member covering the first wing member, the second wing member, and the movable member may be further included.

일 실시 예에 있어서, 상기 블레이드는 상기 기판의 전방 방향에 제공되어 기판의 전방을 지지하는 돌기를 포함할 수 있다.In an embodiment, the blade may include a protrusion provided in a front direction of the substrate to support the front side of the substrate.

또한, 본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송 유닛을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 기판 이송 유닛은, 구동 부재와; 상기 구동 부재와 연결되어 직선 운동 또는 회전 운동을 제공하는 아암;In addition, the present invention provides a substrate transfer unit for transferring a substrate. In an embodiment, the substrate transfer unit includes: a driving member; An arm connected to the driving member to provide a linear motion or a rotational motion;

상기 아암의 단부에 결합되어 기판을 그립하는 엔드 이펙터를 포함하고, 상기 엔드 이펙터는, 기판이 안착되는 지지면을 제공하는 블레이드와; 제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 일측면에 인접하게 위치되는 제1 날개 부재와; 제2 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 타측면에 인접하게 위치되는 제2 날개 부재와; 상기 제1 날개 부재와 상기 제2 날개 부재의 사이에 위치되며, 상기 엔드 이펙터의 좌우 또는 회전 방향에 대한 변속으로부터 발생하는 관성력에 의해 상기 제1 날개 부재의 타측 또는 상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하는 가동 부재를 포함한다.An end effector coupled to an end of the arm to grip the substrate, the end effector comprising: a blade providing a support surface on which the substrate is seated; A first wing member rotatably provided about a first rotation axis and one side is positioned adjacent to one side of the substrate; A second wing member rotatably provided about a second rotation axis and one side is positioned adjacent to the other side of the substrate; It is located between the first wing member and the second wing member, and the other side of the first wing member or the other side of the second wing member is moved by an inertial force generated from a shift in the left-right or rotational direction of the end effector. It includes a movable member to pressurize.

본 발명의 일 실시 예에 의하면 기판을 고속으로 이송하면서도 기판의 이탈을 막을 수 있다.According to an embodiment of the present invention, it is possible to prevent separation of the substrate while transferring the substrate at high speed.

또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 기판의 이탈을 효율적으로 막을 수 있으면서도 생산 단가, 설치 비용 및 유지 비용이 낮다.In addition, according to an embodiment of the present invention, while the separation of the substrate can be effectively prevented, the production cost, installation cost, and maintenance cost are low.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-described effects, and effects that are not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art from the present specification and the accompanying drawings.

도 1은 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 구성을 도시한 평면도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 작동 개념에 따른 제1 작동 상태를 도시한 평면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 작동 개념에 따른 제2 작동 상태를 도시한 평면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 기판 이송 유닛을 도시한 사시도이다.
도 5는 도 4의 실시 예에 따른 기판 이송 유닛에 제공된 엔드 이펙터의 분해 사시도이다.
도 6은 도 5의 엔드 이펙터에서 커버 부재를 제거하고 도시한 평면도이다.
도 7은 도 6의 엔드 이펙터의 제1 작동 상태를 도시한 평면도이다.
도 8은 도 6의 엔드 이펙터의 제2 작동 상태를 도시한 평면도이다.
도 9는 다른 실시 예에 따른 엔드 이펙터를 도시한 평면도이다.
도 10은 도 9의 엔드 이펙터의 제1 작동 상태를 도시한 평면도이다.
도 11은 도 9의 엔드 이펙터의 제2 작동 상태를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing a configuration of an end effector according to an exemplary embodiment.
2 is a plan view illustrating a first operating state according to an operating concept of an end effector according to an exemplary embodiment.
3 is a plan view illustrating a second operating state according to an operating concept of an end effector according to an exemplary embodiment.
4 is a perspective view illustrating a substrate transfer unit according to an embodiment.
5 is an exploded perspective view of an end effector provided to the substrate transfer unit according to the embodiment of FIG. 4.
6 is a plan view illustrating a cover member removed from the end effector of FIG. 5.
7 is a plan view illustrating a first operating state of the end effector of FIG. 6.
8 is a plan view illustrating a second operating state of the end effector of FIG. 6.
9 is a plan view illustrating an end effector according to another embodiment.
10 is a plan view illustrating a first operating state of the end effector of FIG. 9.
11 is a plan view illustrating a second operating state of the end effector of FIG. 9.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 따라서 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. Therefore, it is to be understood as including all changes, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. This embodiment is provided to more completely describe the present invention to those with average knowledge in the art. Therefore, the shape of the element in the drawings has been exaggerated to emphasize a clearer description.

각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.In describing each drawing, similar reference numerals are used for similar components. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another component. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In the present specification, terms such as "comprise" or "consist of" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, elements, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the possibility of addition or presence of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof is not preliminarily excluded.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms, including technical and scientific terms, used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. Does not.

이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 이송 방법, 기판 이송 유닛 및 엔드 이펙터에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a substrate transfer method, a substrate transfer unit, and an end effector according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 작동 개념을 도시한 평면도이고, 도 2는 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 작동 개념에 따른 제1 작동 상태를 도시한 평면도이고, 도 3은 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 작동 개념에 따른 제2 작동 상태를 도시한 평면도이다.1 is a plan view illustrating an operation concept of an end effector according to an exemplary embodiment, FIG. 2 is a plan view illustrating a first operation state according to an operation concept of an end effector according to an exemplary embodiment, and FIG. 3 is an exemplary embodiment It is a plan view showing a second operating state according to the operating concept of the end effector according to.

도 1을 참조하여 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 구성을 설명한다. 일 실시 예에 의하면 기판은 웨이퍼(W)로 제공될 수 있다.A configuration of an end effector according to an embodiment will be described with reference to FIG. 1. According to an embodiment, the substrate may be provided as a wafer (W).

엔드 이펙터는 블레이드(미도시), 제1 날개 부재(110), 제2 날개 부재(120) 그리고 가동 부재(130)를 포함한다. The end effector includes a blade (not shown), a first wing member 110, a second wing member 120, and a movable member 130.

블레이드는 웨이퍼(W)가 안착되도록 웨이퍼(W)를 하면에서 지지한다. 도 1 내지 도 3에는 설명의 편의를 위해 블레이드 도시를 생략한다. 블레이드는 기판 이송 유닛의 아암과 연결되어 직선 이동 또는 회전 이동이 가능하다. 도 1 내지 도 3에 도시된 회전점(15)은 아암에 제공되는 회전축로서 회전점(15)을 중심으로 블레이드가 회전 이동될 수 있다. The blade supports the wafer W from the lower surface so that the wafer W is seated. In FIGS. 1 to 3, the illustration of blades is omitted for convenience of description. The blade is connected to the arm of the substrate transfer unit so that linear or rotational movement is possible. The rotation point 15 shown in FIGS. 1 to 3 is a rotation shaft provided on the arm, and the blade may be rotated around the rotation point 15.

제1 날개 부재(110)는 제1 회전축(115)과, 웨이퍼(W)의 좌측면에 인접하게 위치되는 일측(112)과, 제1 회전축(115)에 대하여 일측(112)의 반대편인 타측(117)으로 이루어진다. 제1 날개 부재(110)는 웨이퍼(W)와 평행한 평면상에서 제1 회전축(115)을 중심으로 회전 가능하다. 제1 날개 부재(110)는 지렛대 원리가 적용된다. 제1 회전축(115)은 받침점이고, 일측(112)의 일 지점에 작용점이 제공되고, 타측(117)의 일 지점에 힘점이 제공된다. 작용점은 웨이퍼(W)의 좌측 일 지점에 대하여 작용한다. 제1 회전축(115)은 제1 날개 부재(110)의 타측(117) 방향으로 편향되어 위치된다. 제1 회전축(115)의 편향된 위치는 타측(117) 방향의 짧은 변위를 일측(112) 방향의 긴 변위로 변환한다. 다만, 제1 회전축(115)의 위치는 설계에 따라 상이한 위치에 제공될 수 있다. The first wing member 110 includes a first rotation shaft 115, one side 112 positioned adjacent to the left side of the wafer W, and the other side opposite to one side 112 with respect to the first rotation shaft 115. It consists of (117). The first wing member 110 is rotatable about the first rotation axis 115 on a plane parallel to the wafer W. The first wing member 110 is applied to the lever principle. The first rotation shaft 115 is a support point, an action point is provided at one point of one side 112, and a force point is provided at one point of the other side 117. The working point acts on a point on the left side of the wafer W. The first rotation shaft 115 is positioned to be deflected in the direction of the other side 117 of the first wing member 110. The deflected position of the first rotation shaft 115 converts a short displacement in the direction of the other side 117 into a long displacement in the direction of one side 112. However, the position of the first rotation shaft 115 may be provided at different positions depending on the design.

제2 날개 부재(120)는 제2 회전축(125)과, 웨이퍼(W)의 우측면에 인접하게 위치되는 일측(122)과, 제2 회전축(125)에 대하여 일측(122)의 반대편인 타측(127)으로 이루어진다. 제2 날개 부재(120)는 웨이퍼(W)와 평행한 평면상에서 제2 회전축(125)을 중심으로 회전 가능하다. 제2 날개 부재(120)는 지렛대 원리가 적용된다. 제2 회전축(125)은 받침점이고, 일측(122)의 일 지점에 작용점이 제공되고, 타측(127)의 일 지점에 힘점이 제공된다. 작용점은 웨이퍼(W)의 우측 일 지점에 대하여 작용한다. 제2 회전축(125)은 제2 날개 부재(120)의 타측(127) 방향으로 편향되어 위치된다. 제2 회전축(125)의 편향된 위치는 타측(127) 방향의 짧은 변위를 일측(122) 방향의 긴 변위로 변환한다. 다만, 제2 회전축(125)의 위치는 설계에 따라 상이한 위치에 제공될 수 있다. The second wing member 120 has a second rotation shaft 125, one side 122 positioned adjacent to the right side of the wafer W, and the other side opposite to the one side 122 with respect to the second rotation shaft 125 ( 127). The second wing member 120 is rotatable about the second rotation axis 125 on a plane parallel to the wafer W. The second wing member 120 is applied with a lever principle. The second rotation shaft 125 is a support point, an action point is provided at one point of one side 122, and a force point is provided at one point of the other side 127. The working point acts on a point on the right side of the wafer W. The second rotation shaft 125 is positioned to be deflected in the direction of the other side 127 of the second wing member 120. The deflected position of the second rotation shaft 125 converts a short displacement in the direction of the other side 127 into a long displacement in the direction of one side 122. However, the position of the second rotation shaft 125 may be provided at different positions depending on the design.

가동 부재(130)는 제1 날개 부재(110)와 제2 날개 부재(120)의 사이에 위치된다. 가동 부재(130)는 웨이퍼(W)의 후방에 위치된다. 가동 부재(130)의 일단은 제1 날개 부재(110)의 타측(117)에 인접하게 위치된다. 가동 부재(130)의 타단은 제2 날개 부재(120)의 타측(127)에 인접하게 위치된다. 가동 부재(130)는 엔드 이펙터의 좌우 이동 또는 회전 이동이 시작되거나 정지하는 경우 등에서 발생하는 가속, 감속 등 변속이 발생하는 경우에 관성력에 의해 일단 또는 타단의 이동 변위가 발생한다. The movable member 130 is positioned between the first wing member 110 and the second wing member 120. The movable member 130 is located behind the wafer W. One end of the movable member 130 is positioned adjacent to the other side 117 of the first wing member 110. The other end of the movable member 130 is positioned adjacent to the other side 127 of the second wing member 120. The movable member 130 generates a moving displacement of one end or the other end due to an inertial force when a shift, such as acceleration or deceleration, occurs when the lateral movement or rotational movement of the end effector starts or stops.

가동 부재(130)는 제1 날개 부재(110) 또는 제2 날개 부재(120)보다 고중량으로 제공된다. 가동 부재(130)는 중량체(135)를 포함할 수 있다. 중량체(135)의 중량은 필요한 힘의 크기에 근거하여 설계될 수 있다. The movable member 130 is provided with a higher weight than the first wing member 110 or the second wing member 120. The movable member 130 may include a weight body 135. The weight of the weight body 135 may be designed based on the amount of force required.

이어서 도 2 및 도 3을 참조하여 일 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 작동 개념을 설명한다. Next, an operation concept of an end effector according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIGS. 2 and 3.

도 2로부터 참조되듯이, 웨이퍼(W)를 제1 방향(1)으로 회전시키는 경우, 이동이 시작될 때 가속에 의해 웨이퍼(W)는 엔드 이펙터의 이동 방향과 반대 방향인 제2 방향(2)으로 관성력이 발생한다. 이때 가동 부재(130)도 제2 방향(2)과 동일한 방향인 제3 방향(3)으로 관성력이 발생한다. 가동 부재(130)는 관성력에 의해 제3 방향(3)으로의 변위가 발생한다. 가동 부재(130)는 제1 날개 부재(110)의 타측(117)에 힘을 전달한다. 제1 날개 부재(110)는 제1 회전 축(115)을 중심으로 회전되며 제1 날개 부재(110)의 일측(112)에서 웨이퍼(W)의 관성력 작용 방향의 반대 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어준다. 이에 따라 관성에 의해 웨이퍼(W)가 슬립되는 현상을 방지할 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 제2 날개 부재(120)에도 관성력이 작용하여 제2 날개 부재(120)의 일측(122)이 제1 날개 부재(110)와 상호 작용하여 웨이퍼(W)를 정렬하는데 도움을 제공할 수 있다.2, when the wafer W is rotated in the first direction (1), when the movement starts, the wafer (W) is accelerated in the second direction (2) opposite to the moving direction of the end effector. As a result, inertial force occurs. At this time, the movable member 130 also generates an inertial force in the third direction 3 which is the same direction as the second direction 2. The movable member 130 is displaced in the third direction 3 by an inertial force. The movable member 130 transmits a force to the other side 117 of the first wing member 110. The first wing member 110 is rotated about the first rotation axis 115 and moves the wafer W in a direction opposite to the inertial force acting direction of the wafer W at one side 112 of the first wing member 110. Push. Accordingly, it is possible to prevent the wafer W from slipping due to inertia. In one embodiment, an inertial force acts on the second wing member 120 as well, so that one side 122 of the second wing member 120 interacts with the first wing member 110 to help align the wafer W Can provide.

도 3로부터 참조되듯이, 웨이퍼(W)를 제1 방향(1)의 반대 방향인 제6 방향(6)으로 회전시키는 경우, 이동이 시작될 때 가속에 의해 웨이퍼(W)는 엔드 이펙터의 이동 방향과 반대 방향인 제7 방향(7)으로 관성력이 발생한다. 이때 가동 부재(130)도 제7 방향(7)과 동일한 방향인 제8 방향(8)으로 관성력이 발생한다. 가동 부재(130)는 관성력에 의해 제8 방향(8)으로의 변위가 발생한다. 가동 부재(130)는 제2 날개 부재(120)의 타측(127)에 힘을 전달한다. 제2 날개 부재(120)는 제2 회전 축(125)을 중심으로 회전되며 제2 날개 부재(120)의 일측(122)에서 웨이퍼(W)의 관성력 작용 방향의 반대 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어준다. 이에 따라 관성에 의해 웨이퍼(W)가 슬립되는 현상을 방지할 수 있다. 일 실시 예에 있어서, 제1 날개 부재(110)에도 관성력이 작용하여 제1 날개 부재(110)의 일측(112)이 제2 날개 부재(120)와 상호 작용하여 웨이퍼(W)를 정렬하는데 도움을 제공할 수 있다.3, when the wafer W is rotated in the sixth direction 6 opposite to the first direction 1, the wafer W is moved in the direction of the end effector due to acceleration when the movement starts. Inertial force is generated in the seventh direction (7) opposite to that. At this time, the movable member 130 also generates an inertia force in the eighth direction 8 which is the same direction as the seventh direction 7. The movable member 130 is displaced in the eighth direction 8 by an inertial force. The movable member 130 transmits a force to the other side 127 of the second wing member 120. The second wing member 120 is rotated about the second rotation axis 125 and moves the wafer W in a direction opposite to the inertial force acting direction of the wafer W at one side 122 of the second wing member 120. Push. Accordingly, it is possible to prevent the wafer W from slipping due to inertia. In one embodiment, an inertial force acts on the first wing member 110 as well, so that one side 112 of the first wing member 110 interacts with the second wing member 120 to help align the wafer (W). Can provide.

도 2 및 도 3에서 설명한 작용은 엔드 이펙터가 정지하기 위해 감속되는 경우에도 유사하게 설명된다.The actions described in Figs. 2 and 3 are similarly explained even when the end effector is decelerated to stop.

도 4는 일 실시 예에 따른 기판 이송 유닛을 도시한 사시도이고, 도 5는 도 4의 실시 예에 따른 기판 이송 유닛에 제공된 엔드 이펙터의 분해 사시도이고, 도 6은 도 5의 엔드 이펙터에서 커버 부재를 제거하고 도시한 평면도이고, 도 7은 도 6의 엔드 이펙터의 제1 작동 상태를 도시한 평면도이고, 도 8은 도 6의 엔드 이펙터의 제2 작동 상태를 도시한 평면도이다.4 is a perspective view illustrating a substrate transfer unit according to an embodiment, FIG. 5 is an exploded perspective view of an end effector provided to the substrate transfer unit according to the embodiment of FIG. 4, and FIG. 6 is a cover member in the end effector of FIG. FIG. 7 is a plan view illustrating a first operation state of the end effector of FIG. 6, and FIG. 8 is a plan view illustrating a second operation state of the end effector of FIG. 6.

도 4를 참조하여 일 실시 예에 따른 기판 이송 유닛을 설명한다. 기판 이송 유닛은 구동 부재(210), 제1 아암(220), 제2 아암(230), 제3 아암(240), 제4 아암(250) 및 엔드 이펙터(1000)를 포함한다. A substrate transfer unit according to an embodiment will be described with reference to FIG. 4. The substrate transfer unit includes a driving member 210, a first arm 220, a second arm 230, a third arm 240, a fourth arm 250, and an end effector 1000.

구동 부재(210)는 제1 아암(220), 제2 아암(230), 제3 아암(240) 및 제4 아암(250)에 구동력을 제공한다. 구동 부재(210)는 전기력에 의해 작동하는 모터일 수 있다. 제1 아암(220)의 단부는 제2 아암(230)의 단부와 회전축에 대하여 회전 구동 가능하게 결합된다. 제2 아암(230)의 단부는 제3 아암(240)의 단부와 회전축에 대하여 회전 구동 가능하게 결합된다. 제3 아암(240)의 단부는 제4 아암(250)의 단부와 회전축에 대하여 회전 구동 가능하게 결합된다. 제4 아암(250)의 단부는 엔드 이펙터(1000)와 결합된다. 아암들(220, 230, 240, 250)은 엔드 이펙터(1000)가 설정된 경로로 직선 또는 회전 운동하도록 동작된다. The driving member 210 provides driving force to the first arm 220, the second arm 230, the third arm 240 and the fourth arm 250. The driving member 210 may be a motor operated by electric force. The end of the first arm 220 is coupled to the end of the second arm 230 so as to be rotatable with respect to the rotation axis. The end of the second arm 230 is coupled to the end of the third arm 240 so as to be rotatable with respect to the rotation axis. The end of the third arm 240 is rotatably coupled to the end of the fourth arm 250 with respect to the rotation axis. The end of the fourth arm 250 is coupled to the end effector 1000. The arms 220, 230, 240, 250 are operated so that the end effector 1000 moves linearly or rotates along a set path.

도 5를 참조하여 엔드 이펙터(1000)의 구성을 설명한다. 엔드 이펙터(1000)는 블레이드(1010)와 제1 날개 부재(1110)와 제2 날개 부재(1120)와 가동 부재(1130)와 제1 링크(1140)와 제2 링크(1150)와 제1 탄성 부재(1160)와 제2 탄성 부재(1170)와 하부 커버(1300)와 상부 커버(1400)를 포함한다.The configuration of the end effector 1000 will be described with reference to FIG. 5. The end effector 1000 includes a blade 1010, a first wing member 1110, a second wing member 1120, a movable member 1130, a first link 1140, a second link 1150, and a first elasticity. A member 1160, a second elastic member 1170, a lower cover 1300, and an upper cover 1400 are included.

일 실시 예에 의하면 블레이드(1010)는 포크 형으로 제공된다. 블레이드(1010)는 지지면(1011)이 형성된다. 지지면(1011)에는 웨이퍼(W)가 안착된다. 블레이드(1010)의 전방 단부에는 전방 돌기(1013)가 형성된다. 전방 돌기(1013)는 웨이퍼(W)가 전방으로 슬립되는 것을 방지하고 웨이퍼(W)가 정위치에 위치되도록 가이드한다. According to an embodiment, the blade 1010 is provided in a fork type. The blade 1010 has a support surface 1011. The wafer W is mounted on the support surface 1011. A front protrusion 1013 is formed at the front end of the blade 1010. The front protrusion 1013 prevents the wafer W from slipping forward and guides the wafer W to be positioned in a proper position.

블레이드(1010)는 후방 방향으로 연장부(1012)가 형성된다. 제1 날개 부재(1110)는 제1 회전축(1115)을 통해 블레이드의 연장부(1012)에 결합된다. 제1 날개 부재(1110)와 연장부(1012)는 도시하지 않은 힌지 부재에 의해 결합된다. The blade 1010 has an extension portion 1012 formed in the rear direction. The first wing member 1110 is coupled to the extension portion 1012 of the blade through the first rotation shaft 1115. The first wing member 1110 and the extension portion 1012 are coupled by a hinge member (not shown).

제1 날개 부재(1110)는 일단에 돌기(1111)가 제공되고, 돌기(1111)는 웨이퍼(W)의 측면과 직접 접촉한다. 제1 날개 부재(1110)의 타측(1117)에는 제1 링크 결합부(1116)가 형성된다. 제1 날개 부재(1110)의 타측(1117)은 후술하는 제1 링크 부재(1140)와 결합 축을 중심으로 대하여 회전 가능하게 결합된다.The first wing member 1110 is provided with a protrusion 1111 at one end, and the protrusion 1111 directly contacts the side surface of the wafer W. A first link coupling portion 1116 is formed on the other side 1117 of the first wing member 1110. The other side 1117 of the first wing member 1110 is rotatably coupled with a first link member 1140 to be described later about a coupling axis.

제2 날개 부재(1120)는 제2 회전축(1125)을 통해 블레이드(1010)의 연장부(1012)에 결합된다. 제2 날개 부재(1120)는 일단에 돌기(1121)가 제공되고, 돌기(1121)는 웨이퍼(W)의 측면과 직접 접촉한다. 제2 날개 부재(1120)의 타측(1127)에는 제2 링크 결합부(1126)가 형성된다. 제2 날개 부재(1120)의 타측(1127)은 후술하는 제2 링크 부재(1150)와 결합 축을 중심으로 대하여 회전 가능하게 결합된다.The second wing member 1120 is coupled to the extension portion 1012 of the blade 1010 through the second rotation shaft 1125. The second wing member 1120 is provided with a protrusion 1121 at one end, and the protrusion 1121 directly contacts the side surface of the wafer W. A second link coupling part 1126 is formed on the other side 1127 of the second wing member 1120. The other side 1127 of the second wing member 1120 is rotatably coupled with a second link member 1150 to be described later about a coupling axis.

가동 부재(1130)는 가동 부재(1130)는 제1 날개부(1131)와 제2 날개부(1132)와 제3 날개부(1133)가 결합되어 Y자 형상으로 제공된다. 제1 날개부(1131)와 제2 날개부(1132)와 제3 날개부(1133)가 서로 인접하는 날개부와 이루는 배치 각도는 120도를 이룰 수 있다.In the movable member 1130, the movable member 1130 is provided in a Y shape by combining a first wing portion 1131, a second wing portion 1132, and a third wing portion 1133. An arrangement angle between the first wing portion 1131, the second wing portion 1132, and the third wing portion 1133 and the wing portions adjacent to each other may be 120 degrees.

제1 날개부(1131)와 제2 날개부(1132)와 제3 날개부(1133)가 합쳐지는 가운데는 스토퍼홀(1135)이 형성된다. 스토퍼홀(1135)에는 블레이드(1010)에 고정되어 돌출 형성된 스토퍼(1018)가 삽입된다. 스토퍼(1018)는 스토퍼홀(1135)의 너비보다 작은 크기로 제공된다. 스토퍼홀(1135)의 내벽과 스토퍼(1018)의 외벽 사이에는 소정의 유격이 형성되며, 유격에 의해 가동 부재(1130)의 좌우 변위가 발생될 수 있으며, 스토퍼홀(1135)의 내벽과 스토퍼(1018)의 외벽이 접촉됨으로써 가동 부재(1130)의 변위를 제한할 수 있다.A stopper hole 1135 is formed in the center where the first wing portion 1131, the second wing portion 1132, and the third wing portion 1133 are combined. A stopper 1018 fixed to the blade 1010 and protruding is inserted into the stopper hole 1135. The stopper 1018 is provided with a size smaller than the width of the stopper hole 1135. A predetermined clearance is formed between the inner wall of the stopper hole 1135 and the outer wall of the stopper 1018, and the left and right displacement of the movable member 1130 may be caused by the clearance, and the inner wall of the stopper hole 1135 and the stopper ( When the outer wall of the 1018 comes into contact, the displacement of the movable member 1130 may be limited.

제1 날개부(1131)는 제1 날개 부재(1110)의 타측(1117)을 가압하도록 제공된다. 제1 날개부(1131)는 후술하는 제1 링크 부재(1140)와 결합 축을 중심으로 대하여 회전 가능하게 연결된다. The first wing portion 1131 is provided to press the other side 1117 of the first wing member 1110. The first wing portion 1131 is rotatably connected to a first link member 1140 to be described later with respect to a coupling axis.

제2 날개부(1132)는 제2 날개 부재(1120)의 타측(1127)을 가압하도록 제공된다. 제2 날개부(1132)는 후술하는 제2 링크 부재(1150)와 결합 축을 중심으로 대하여 회전 가능하게 연결된다. The second wing portion 1132 is provided to press the other side 1127 of the second wing member 1120. The second wing portion 1132 is rotatably connected to a second link member 1150 to be described later with respect to a coupling axis.

제3 날개부(1133)는 블레이드(1010)의 연장부(1012)에 결합 축을 중심으로 대하여 회전 가능하게 결합된다. 가동 부재(1130)는 제3 날개부(1133)가 블레이드(1010)와 결합된 결합 축을 중심으로 회전됨에 따라 엔드 이펙트가 좌우 이동 또는 회전 이동 하는 경우 가동 부재(1130)에 관성력이 발생하여 제1 날개부(1131) 및 제2 날개부(1132)에 변위가 변경될 수 있다.The third wing portion 1133 is rotatably coupled to the extension portion 1012 of the blade 1010 about the coupling axis. The movable member 1130 generates an inertia force in the movable member 1130 when the end effect moves horizontally or rotates as the third wing part 1133 is rotated about a coupling axis coupled with the blade 1010. The displacement of the wing portion 1131 and the second wing portion 1132 may be changed.

가동 부재(1130)의 중량은 제1 날개 부재(1110) 또는 제2 날개 부재(1120)보다 고중량으로 제공된다.The weight of the movable member 1130 is provided at a higher weight than that of the first wing member 1110 or the second wing member 1120.

제1 링크 부재(1140)는 제1 날개 부재(1110)의 타측(1117)과 가동 부재(1130)를 연결한다. 제2 링크 부재(1150)는 제2 날개 부재(1120)의 타측(1127)과 가동 부재(1130)를 연결한다. 제1 링크 부재(1140)와 제2 링크 부재(1150)는 제1 날개 부재(1110). 제2 날개 부재(1120) 및 가동 부재(1130)를 연결함으로써 제1 날개 부재(1110) 및 제2 날개 부재(1120)의 변위를 제어할 수 있다.The first link member 1140 connects the other side 1117 of the first wing member 1110 and the movable member 1130. The second link member 1150 connects the other side 1127 of the second wing member 1120 and the movable member 1130. The first link member 1140 and the second link member 1150 are a first wing member 1110. By connecting the second wing member 1120 and the movable member 1130, displacement of the first wing member 1110 and the second wing member 1120 may be controlled.

제1 탄성 부재(1160)는 제1 날개부(1131)와 제3 날개부(1133) 사이의 일측면을 지지한다. 제2 탄성 부재(1170)는 제2 날개부(1132)와 제3 날개부(1133)의 일측면을 지지한다. 제1 탄성 부재(1160) 및 제2 탄성 부재(1170)는 코일 스프링으로 제공될 수 있다. 제1 탄성 부재(1160)와 제2 탄성 부재(1170)는 가동 부재(1130)를 정위치로 회복시킨다. 제1 탄성 부재(1160) 및 제2 탄성 부재(1170)는 반드시 두 개가 제공되어야 하는 것이 아니며, 가동 부재(1130)를 정위치로 복원하는 복원력을 제공하는 것이면 모두 포함될 수 있다.The first elastic member 1160 supports one side surface between the first wing portion 1131 and the third wing portion 1133. The second elastic member 1170 supports one side surface of the second wing portion 1132 and the third wing portion 1133. The first elastic member 1160 and the second elastic member 1170 may be provided as coil springs. The first elastic member 1160 and the second elastic member 1170 restore the movable member 1130 to its original position. Two of the first elastic member 1160 and the second elastic member 1170 are not necessarily provided, and may be included as long as they provide a restoring force for restoring the movable member 1130 to its original position.

일 실시 예에 의하면, 제1 탄성 부재(1160)의 고정을 위한 제1 고정 부재(1165), 제2 탄성 부재(1170)의 고정을 위한 제2 고정 부재(1175)가 제공될 수 있다. According to an embodiment, a first fixing member 1165 for fixing the first elastic member 1160 and a second fixing member 1175 for fixing the second elastic member 1170 may be provided.

상부 커버(1300)와 하부 커버(1400)는 부품들이 결합되는 부분을 커버하여 보호한다.The upper cover 1300 and the lower cover 1400 cover and protect portions where components are coupled.

이어서 도 6 내지 도 8을 참조하여 엔드 이펙터(1000)의 작동 상태를 설명한다. Next, an operating state of the end effector 1000 will be described with reference to FIGS. 6 to 8.

도 6은 가속되지 않는 상태에서 정위치에 제공된 웨이퍼(W)와 제1 날개 부재(1110)와 제2 날개 부재(1120)를 도시한다.6 shows the wafer W, the first blade member 1110 and the second blade member 1120 provided in a fixed position in an unaccelerated state.

웨이퍼(W)를 우측 방향인 제1 방향(1)으로 회전시키는 경우, 도 7로부터 참조되듯이, 이동이 시작될 때 가속에 의해 웨이퍼(W)는 엔드 이펙터의 이동 방향과 반대 방향인 제2 방향(2)으로 관성력이 발생한다. 이때 가동 부재(1130)도 제2 방향(2)과 동일한 방향의 벡터 성분을 갖는 제3 방향(3)으로 발생되는 관성력에 의해 제3 방향(3)으로의 변위가 발생한다. 즉 제3 날개부(1133)의 회전 축을 중심으로 회전하여 제1 날개부(1131)가 제1 날개 부재(1110)의 타측(1117)에 힘을 전달한다. 제1 날개 부재(1110)는 제1 회전 축(1115)을 중심으로 회전되며 제1 날개 부재(1110)의 일측(1112)에서 웨이퍼(W)의 관성력 작용 방향의 반대 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어준다. 이때 스토퍼(1018)는 스토퍼홀(1135)의 내벽과 닿아 과도한 변위를 제한한다. 제1 링크 부재(1140) 및 제 2 링크 부재에 의해 제1 날개 부재(1110), 제2 날개 부재(1120) 및 가동 부재(1130)는 연동하게 되며, 가동 부재(1130)의 제1 방향(1)으로 변위에 의해 제2 링크 부재(1150)가 제2 날개 부재(1120)의 타단(1127)을 당기면 제2 날개 부재(1120)의 일단(1122)은 웨이퍼로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다.When the wafer (W) is rotated in the first direction (1), which is the right direction, as shown in Fig. 7, the wafer (W) is in a second direction opposite to the direction of movement of the end effector due to acceleration when the movement begins. Inertia force is generated by (2). At this time, the movable member 1130 is also displaced in the third direction 3 by an inertial force generated in the third direction 3 having a vector component in the same direction as the second direction 2. That is, the first wing portion 1131 transmits force to the other side 1117 of the first wing member 1110 by rotating around the axis of rotation of the third wing portion 1133. The first wing member 1110 is rotated about the first rotation axis 1115 and moves the wafer W in a direction opposite to the inertial force acting direction of the wafer W at one side 1112 of the first wing member 1110. Push. At this time, the stopper 1018 contacts the inner wall of the stopper hole 1135 to limit excessive displacement. The first wing member 1110, the second wing member 1120, and the movable member 1130 are interlocked by the first link member 1140 and the second link member, and the first direction of the movable member 1130 ( 1) When the second link member 1150 pulls the other end 1127 of the second wing member 1120 due to the displacement to 1), the one end 1122 of the second wing member 1120 may move in a direction away from the wafer.

도시된 실시 예에 의하면 제1 날개 부재(1110)는 우측 상부 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어내는데 이때, 블레이드(1010)의 전방에 제공되는 전방 돌기(1013, 1014)에 의해 전방으로 밀리는 것을 방지하고 기판을 정위치로 센터링하면서 관성에 의해 웨이퍼(W)가 슬립되는 현상을 방지할 수 있다. According to the illustrated embodiment, the first wing member 1110 pushes the wafer W in the upper right direction, and at this time, it is prevented from being pushed forward by the front protrusions 1013 and 1014 provided in front of the blade 1010 The wafer W can be prevented from slipping due to inertia while centering the substrate to the correct position.

웨이퍼(W)가 정렬되고 관성력이 제거되면 수축된 제1 탄성 부재(1160)의 복원력에 의해 가동 부재(1130)가 도 6에 도시된 정위치로 복원된다. When the wafer W is aligned and the inertial force is removed, the movable member 1130 is restored to the original position shown in FIG. 6 by the restoring force of the contracted first elastic member 1160.

웨이퍼(W)를 좌측 방향인 제6 방향(6)으로 회전시키는 경우, 도 8로부터 참조되듯이, 이동이 시작될 때 가속에 의해 웨이퍼(W)는 엔드 이펙터의 이동 방향과 반대 방향인 제7 방향(7)으로 관성력이 발생한다. 이때 가동 부재(1130)도 제7 방향(7)과 동일한 방향의 벡터 성분을 갖는 제8 방향(8)으로 발생되는 관성력에 의해 제8 방향(3)으로의 변위가 발생한다. 즉 제3 날개부(1133)의 회전 축을 중심으로 회전하여 제2 날개부(1132)가 제2 날개 부재(1120)의 타측(1127)에 힘을 전달한다. 제2 날개 부재(1120)는 제1 회전 축(1125)을 중심으로 회전되며 제2 날개 부재(1120)의 일측(1122)에서 웨이퍼(W)의 관성력 작용 방향의 반대 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어준다. 이때 스토퍼(1018)는 스토퍼홀(1135)의 내벽과 닿아 과도한 변위를 제한한다.When the wafer W is rotated in the sixth direction 6, which is the left direction, as shown in FIG. 8, when the movement starts, the wafer W is in the seventh direction opposite to the moving direction of the end effector due to acceleration. Inertia force is generated by (7). At this time, the movable member 1130 is also displaced in the eighth direction 3 by an inertial force generated in the eighth direction 8 having a vector component in the same direction as the seventh direction 7. That is, by rotating about the axis of rotation of the third wing portion 1133, the second wing portion 1132 transmits a force to the other side 1127 of the second wing member 1120. The second wing member 1120 is rotated about the first rotation axis 1125 and moves the wafer W in a direction opposite to the inertial force acting direction of the wafer W at one side 1122 of the second wing member 1120. Push. At this time, the stopper 1018 contacts the inner wall of the stopper hole 1135 to limit excessive displacement.

도시된 실시 예에 의하면 제1 날개 부재(1110)는 좌측 상부 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어내는데 이때, 블레이드(1010)의 전방에 제공되는 전방 돌기(1013, 1014)에 의해 전방으로 밀리는 것을 방지하고 기판을 정위치로 센터링하면서 관성에 의해 웨이퍼(W)가 슬립되는 현상을 방지할 수 있다. According to the illustrated embodiment, the first wing member 1110 pushes the wafer W in the upper left direction, and at this time, it is prevented from being pushed forward by the front protrusions 1013 and 1014 provided in front of the blade 1010 The wafer W can be prevented from slipping due to inertia while centering the substrate to the correct position.

웨이퍼(W)가 정렬되고 관성력이 제거되면 수축된 제2 탄성 부재(1170)의 복원력에 의해 가동 부재(1130)가 도 6에 도시된 정위치로 복원된다. When the wafers W are aligned and the inertial force is removed, the movable member 1130 is restored to the original position shown in FIG. 6 by the restoring force of the contracted second elastic member 1170.

도 7 및 도 8에서 설명한 작용은 엔드 이펙터가 정지하기 위해 감속되는 경우에도 유사하게 설명된다.The actions described in Figs. 7 and 8 are similarly described even when the end effector is decelerated to stop.

도 9는 다른 실시 예에 따른 엔드 이펙터를 도시한 평면도이고, 도 10은 도 9의 엔드 이펙터의 제1 작동 상태를 도시한 평면도이고, 도 11은 도 9의 엔드 이펙터의 제2 작동 상태를 도시한 평면도이다. 9 is a plan view showing an end effector according to another embodiment, FIG. 10 is a plan view showing a first operating state of the end effector of FIG. 9, and FIG. 11 is a second operating state of the end effector of FIG. 9 It is a floor plan.

도 9를 참조하여 다른 실시 예에 따른 엔드 이펙트의 구성을 설명한다. 엔드 이펙터는 블레이드(미도시), 제1 날개 부재(2110), 제2 날개 부재(2120) 그리고 가동 부재(2130)를 포함한다. A configuration of an end effect according to another embodiment will be described with reference to FIG. 9. The end effector includes a blade (not shown), a first wing member 2110, a second wing member 2120, and a movable member 2130.

블레이드(미도시)는 웨이퍼(W)가 안착되도록 웨이퍼(W)를 하면에서 지지한다. 도 9 내지 도 11에는 설명의 편의를 위해 블레이드 도시를 생략한다. A blade (not shown) supports the wafer W from its lower surface so that the wafer W is seated. 9 to 11, the illustration of the blade is omitted for convenience of description.

제1 날개 부재(2110)와 제2 날개 부재(2120)는 도 6의 실시 예와 비교하여 보다 전방으로 연장된다. 본 발명자들은 제1 날개 부재(2110)와 제2 날개 부재(2120)는 전방으로 연장되는 것이 웨이퍼(W)의 측면 지지에 보다 유리할 것으로 예상한다.The first wing member 2110 and the second wing member 2120 extend more forward compared to the embodiment of FIG. 6. The present inventors predict that the first wing member 2110 and the second wing member 2120 extending forward will be more advantageous for supporting the side of the wafer W.

가동 부재(2130)는 호형으로 제공된다. 가동 부재(2130)의 중심에는 스토퍼홀(2131)이 형성된다. 스토퍼홀(2131)에는 스토퍼(2015)가 관통되어 위치된다. 스토퍼홀(2131)은 스토퍼(2015)가 좌우 방향으로 소정거리 이동할 수 있도록 스토퍼홀(2131)의 내벽과 스토퍼(2015)의 외벽 사이에 유격이 제공되는 크기로 형성된다. 가동 부재(2130)는 스토퍼홀(2131)에 대하여 대칭으로 중량체(2135)를 포함한다.The movable member 2130 is provided in an arc shape. A stopper hole 2131 is formed in the center of the movable member 2130. The stopper 2015 is positioned through the stopper hole 2131. The stopper hole 2131 is formed in a size such that a gap is provided between the inner wall of the stopper hole 2131 and the outer wall of the stopper 2015 so that the stopper 2015 can move a predetermined distance in the left and right direction. The movable member 2130 includes a weight body 2135 symmetrically with respect to the stopper hole 2131.

이어서 도 10 및 도 11을 참조하여 다른 실시 예에 따른 엔드 이펙터의 작동 개념을 설명한다. Next, an operation concept of an end effector according to another embodiment will be described with reference to FIGS. 10 and 11.

도 10로부터 참조되듯이, 웨이퍼(W)를 제1 방향(1)으로 회전시키는 경우, 이동이 시작될 때 가속에 의해 웨이퍼(W)는 엔드 이펙터의 이동 방향과 반대 방향인 제2 방향(2)으로 관성력이 발생한다. 이때 가동 부재(2130)도 제2 방향(2)과 동일한 방향인 제3 방향(3)으로 관성력이 발생한다. 가동 부재(2130)는 관성력에 의해 제3 방향(3)으로의 변위가 발생한다. 스토퍼(2015)는 가동 부재(2130)의 변위를 제한한다. 가동 부재(2130)는 제1 날개 부재(110)의 타측(117)에 힘을 전달한다. 제1 날개 부재(2110)는 제1 회전 축(2115)을 중심으로 회전되며 제1 날개 부재(2110)의 일측(2112)에서 웨이퍼(W)의 관성력 작용 방향의 반대 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어준다.As referred to from FIG. 10, when the wafer W is rotated in the first direction (1), when the movement starts, the wafer (W) is accelerated in the second direction (2) opposite to the moving direction of the end effector. As a result, inertial force occurs. At this time, the movable member 2130 also generates an inertia force in the third direction 3 which is the same direction as the second direction 2. The movable member 2130 is displaced in the third direction 3 by an inertial force. The stopper 2015 limits the displacement of the movable member 2130. The movable member 2130 transmits a force to the other side 117 of the first wing member 110. The first wing member 2110 is rotated around the first rotation axis 2115 and moves the wafer W in a direction opposite to the inertial force acting direction of the wafer W at one side 2112 of the first wing member 2110. Push.

도 11로부터 참조되듯이, 웨이퍼(W)를 제1 방향(1)의 반대 방향인 제6 방향(6)으로 회전시키는 경우, 이동이 시작될 때 가속에 의해 웨이퍼(W)는 엔드 이펙터의 이동 방향과 반대 방향인 제7 방향(7)으로 관성력이 발생한다. 이때 가동 부재(2130)도 제7 방향(7)과 동일한 방향인 제8 방향(8)으로 관성력이 발생한다. 가동 부재(2130)는 관성력에 의해 제8 방향(8)으로의 변위가 발생한다. 스토퍼(2015)는 가동 부재(2130)의 변위를 제한한다. 가동 부재(2130)는 제2 날개 부재(2120)의 타측(2127)에 힘을 전달한다. 제2 날개 부재(2120)는 제2 회전 축(2125)을 중심으로 회전되며 제2 날개 부재(2120)의 일측(2122)에서 웨이퍼(W)의 관성력 작용 방향의 반대 방향으로 웨이퍼(W)를 밀어준다.11, when the wafer W is rotated in the sixth direction 6 opposite to the first direction 1, the wafer W is moved in the direction of the end effector due to acceleration when the movement starts. Inertial force is generated in the seventh direction (7) opposite to that. At this time, the movable member 2130 also generates inertial force in the eighth direction 8 which is the same direction as the seventh direction 7. The movable member 2130 is displaced in the eighth direction 8 by an inertial force. The stopper 2015 limits the displacement of the movable member 2130. The movable member 2130 transmits a force to the other side 2127 of the second wing member 2120. The second wing member 2120 is rotated around the second rotation axis 2125 and moves the wafer W in a direction opposite to the inertial force acting direction of the wafer W at one side 2122 of the second wing member 2120. Push.

도 9 내지 도 11에서 설명한 작용은 엔드 이펙터가 정지하기 위해 감속되는 경우에도 유사하게 설명된다.The actions described in Figs. 9 to 11 are similarly described even when the end effector is decelerated to stop.

기판은 글라스일 수 있다. 그 외에도 기판은 기술의 발전에 따라 다양하게 선택될 수 있다.The substrate may be glass. In addition, the substrate may be variously selected according to the development of technology.

1000: 엔드 이펙터
1010: 블레이드
110, 1110, 2110: 제1 날개 부재
120, 1120, 2120: 제2 날개 부재
130, 1130, 2130: 가동 부재
W: 웨이퍼 1000: end effector
1010: blade
110, 1110, 2110: first wing member
120, 1120, 2120: second wing member
130, 1130, 2130: movable member
W: wafer

Claims (18)

기판을 그립하는 엔드 이펙터에 있어서,
기판이 안착되는 지지면을 제공하는 블레이드와;
제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 일측면에 인접하게 위치되는 제1 날개 부재와;
제2 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 타측면에 인접하게 위치되는 제2 날개 부재와;
상기 제1 날개 부재와 상기 제2 날개 부재의 사이에 위치되고, 상기 엔드 이펙터의 좌우 또는 회전 방향에 대한 변속으로부터 발생하는 관성력에 의해 상기 제1 날개 부재의 타측 또는 상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하는 중량체로 제공되는 가동 부재를 포함하는 엔드 이펙터.In the end effector for gripping the substrate,
A blade providing a support surface on which the substrate is mounted;
A first wing member rotatably provided about a first rotation axis and one side is positioned adjacent to one side of the substrate;
A second wing member rotatably provided about a second rotation axis and one side is positioned adjacent to the other side of the substrate;
It is located between the first wing member and the second wing member, and the other side of the first wing member or the other side of the second wing member is moved by an inertial force generated from a shift in the left-right or rotational direction of the end effector. An end effector comprising a movable member provided as a pressing weight. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 가동 부재는 상기 제1 날개 부재 또는 상기 제2 날개 부재 보다 고중량으로 제공되는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
The movable member is an end effector provided with a higher weight than the first blade member or the second blade member. 제1 항에 있어서,
상기 제1 회전 축은 상기 제1 날개 부재의 타측 방향으로 편향되어 위치되고,
상기 제2 회전 축은 상기 제2 날개 부재의 타측 방향으로 편향되어 위치되는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
The first rotation axis is positioned to be deflected in the direction of the other side of the first wing member,
The second rotation axis is positioned to be deflected in the direction of the other side of the second wing member. 제1 항에 있어서,
상기 제1 날개 부재는 기판과 평행한 평면상에서 상기 제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하고,
상기 제 2 날개 부재는 기판과 평행한 평면상에서 상기 제2 회전 축을 중심으로 회전 가능한 엔드 이펙터.The method of claim 1,
The first wing member is rotatable about the first rotation axis on a plane parallel to the substrate,
The second wing member is an end effector capable of rotating about the second rotation axis on a plane parallel to the substrate. 제1 항에 있어서,
상기 제1 날개 부재 및 상기 제 2 날개 부재의 일측에 상기 기판과 직접 접촉하는 돌기가 제공되는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
End effector provided with a protrusion in direct contact with the substrate on one side of the first wing member and the second wing member. 제1 항에 있어서,
상기 블레이드는 상기 기판의 후방 방향으로 연장되는 연장부를 포함하고,
상기 제1 날개 부재, 상기 제2 날개 부재 및 상기 가동 부재는 상기 연장부와 회전 가능하게 결합되는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
The blade includes an extension portion extending in the rear direction of the substrate,
The first wing member, the second wing member, and the movable member are rotatably coupled to the extension part. 제1 항에 있어서,
상기 제1 날개 부재의 타측과 상기 가동 부재를 연결하는 제1 링크 부재와;
상기 제2 날개 부재의 타측과 상기 가동 부재를 연결하는 제2 링크 부재를 더 포함하는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
A first link member connecting the other side of the first wing member and the movable member;
An end effector further comprising a second link member connecting the other side of the second wing member and the movable member. 제1 항에 있어서,
상기 가동 부재를 정위치로 회복시키는 탄성 부재를 더 포함하는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
An end effector further comprising an elastic member for restoring the movable member to its original position. 기판을 그립하는 엔드 이펙터에 있어서,
기판이 안착되는 지지면을 제공하는 블레이드와;
제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 일측면에 인접하게 위치되는 제1 날개 부재와;
제2 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 타측면에 인접하게 위치되는 제2 날개 부재와;
상기 제1 날개 부재와 상기 제2 날개 부재의 사이에 위치되며, 상기 엔드 이펙터의 좌우 또는 회전 방향에 대한 변속으로부터 발생하는 관성력에 의해 상기 제1 날개 부재의 타측 또는 상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하는 가동 부재를 포함하고,
상기 가동 부재에는 스토퍼홀이 형성되고,
상기 스토퍼홀에 대응하되 상기 스토퍼홀의 너비보다 설정 너비 작게 제공되며, 상기 스토퍼홀에 삽입되는 스토퍼를 포함하는 엔드 이펙터.In the end effector for gripping the substrate,
A blade providing a support surface on which the substrate is mounted;
A first wing member rotatably provided about a first rotation axis and one side is positioned adjacent to one side of the substrate;
A second wing member rotatably provided about a second rotation axis and one side is positioned adjacent to the other side of the substrate;
It is located between the first wing member and the second wing member, and the other side of the first wing member or the other side of the second wing member is moved by an inertial force generated from a shift in the left-right or rotational direction of the end effector. It includes a movable member to pressurize,
A stopper hole is formed in the movable member,
An end effector corresponding to the stopper hole, provided with a set width smaller than the width of the stopper hole, and including a stopper inserted into the stopper hole. 제10 항에 있어서,
상기 스토퍼는,
상기 블레이드에 고정되는 엔드 이펙터.The method of claim 10,
The stopper,
End effector fixed to the blade. 기판을 그립하는 엔드 이펙터에 있어서,
기판이 안착되는 지지면을 제공하는 블레이드와;
제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 일측면에 인접하게 위치되는 제1 날개 부재와;
제2 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 타측면에 인접하게 위치되는 제2 날개 부재와;
상기 제1 날개 부재와 상기 제2 날개 부재의 사이에 위치되며, 상기 엔드 이펙터의 좌우 또는 회전 방향에 대한 변속으로부터 발생하는 관성력에 의해 상기 제1 날개 부재의 타측 또는 상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하는 가동 부재를 포함하고,
상기 가동 부재는,
상기 제1 날개 부재의 타측을 가압하도록 제공되는 제1 날개부와;
상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하도록 제공되는 제2 날개부와;
상기 가동 부재의 회전축이 제공되는 제3 날개부를 포함하는 엔드 이펙터.In the end effector for gripping the substrate,
A blade providing a support surface on which the substrate is mounted;
A first wing member rotatably provided about a first rotation axis and one side is positioned adjacent to one side of the substrate;
A second wing member rotatably provided about a second rotation axis and one side is positioned adjacent to the other side of the substrate;
It is located between the first wing member and the second wing member, and the other side of the first wing member or the other side of the second wing member is moved by an inertial force generated from a shift in the left-right or rotational direction of the end effector. It includes a movable member to pressurize,
The movable member,
A first wing portion provided to press the other side of the first wing member;
A second wing portion provided to press the other side of the second wing member;
End effector comprising a third wing portion provided with a rotation axis of the movable member. 제12 항에 있어서,
상기 제3 날개부의 일측면을 지지하는 제1 탄성 부재와;
상기 제3 날개부의 타측면을 지지하는 제2 탄성 부재를 포함하는 엔드 이펙터.The method of claim 12,
A first elastic member supporting one side of the third wing;
End effector comprising a second elastic member for supporting the other side of the third wing. 제13 항에 있어서,
상기 제1 탄성 부재 및 상기 제2 탄성 부재는 코일 스프링으로 제공되는 엔드 이펙터.The method of claim 13,
The first elastic member and the second elastic member is an end effector provided as a coil spring. 제1 항에 있어서,
상기 제1 날개 부재, 상기 제2 날개 부재 및 상기 가동 부재를 커버하는 커버 부재를 더 포함하는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
An end effector further comprising a cover member covering the first wing member, the second wing member, and the movable member. 제1 항에 있어서,
상기 블레이드는 상기 기판의 전방 방향에 제공되어 기판의 전방을 지지하는 돌기를 포함하는 엔드 이펙터.The method of claim 1,
The blade is provided in the front direction of the substrate, the end effector including a projection for supporting the front of the substrate. 기판을 이송하기 위한 기판 이송 유닛에 있어서,
구동 부재와;
상기 구동 부재와 연결되어 직선 운동 또는 회전 운동을 제공하는 아암;
상기 아암의 단부에 결합되어 기판을 그립하는 엔드 이펙터를 포함하고,
상기 엔드 이펙터는,
기판이 안착되는 지지면을 제공하는 블레이드와;
제1 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 일측면에 인접하게 위치되는 제1 날개 부재와;
제2 회전 축을 중심으로 회전 가능하게 제공되고 일측이 상기 기판의 타측면에 인접하게 위치되는 제2 날개 부재와;
상기 제1 날개 부재와 상기 제2 날개 부재의 사이에 위치되고, 상기 엔드 이펙터의 좌우 또는 회전 방향에 대한 변속으로부터 발생하는 관성력에 의해 상기 제1 날개 부재의 타측 또는 상기 제2 날개 부재의 타측을 가압하는 중량체로 제공되는 가동 부재를 포함하는 기판 이송 유닛. In the substrate transfer unit for transferring a substrate,
A driving member;
An arm connected to the driving member to provide a linear motion or a rotational motion;
And an end effector coupled to an end of the arm to grip the substrate,
The end effector,
A blade providing a support surface on which the substrate is mounted;
A first wing member rotatably provided about a first rotation axis and one side is positioned adjacent to one side of the substrate;
A second wing member rotatably provided about a second rotation axis and one side is positioned adjacent to the other side of the substrate;
It is located between the first wing member and the second wing member, and the other side of the first wing member or the other side of the second wing member is moved by an inertial force generated from a shift in the left-right or rotational direction of the end effector. A substrate transfer unit comprising a movable member provided as a pressurizing weight. 기판을 이송하는 방법에 있어서,
기판의 일측에 작용점이 위치되는 제1 지렛대와 상기 기판의 타측에 작용점이 위치되는 제2 지렛대를 제공하고,
기판을 그립한 엔드 이펙터의 좌우 또는 회전 방향에 대한 변속으로부터 관성력에 의해 좌우 또는 회전 방향에 대한 변위가 발생하는 가동 부재가 상기 제1 지렛대 또는 상기 제2 지렛대의 힘점에 힘을 제공하여 상기 기판의 일측 또는 타측에 대하여 상기 기판의 관성력 작용 방향과 반대 방향의 힘을 작용시키는 기판 이송 방법.In the method of transferring the substrate,
Providing a first lever in which the working point is located on one side of the substrate and a second lever in which the working point is located on the other side of the substrate,
A movable member that generates displacement in the left and right or in the rotational direction by inertial force from the shift in the left-right or rotational direction of the end effector gripping the substrate provides a force to the force point of the first lever or the second lever, A method of transferring a substrate in which a force in a direction opposite to an inertial force acting direction of the substrate is applied to one side or the other side.
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