KR20070082103A - Substrate transfer apparatus which aligns substrate for itself - Google Patents

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KR20070082103A
KR20070082103A KR20060014431A KR20060014431A KR20070082103A KR 20070082103 A KR20070082103 A KR 20070082103A KR 20060014431 A KR20060014431 A KR 20060014431A KR 20060014431 A KR20060014431 A KR 20060014431A KR 20070082103 A KR20070082103 A KR 20070082103A
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김선기
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Abstract

A substrate transfer apparatus is provided to improve the reliability of a substrate transfer process by minimizing the generation of sliding under the substrate transfer process by using a connection groove and an alignment member with a protruded end portion. A substrate transfer apparatus includes a cam shaft, a connection unit connected to cam shaft, arm wrist connected to an end portion of the connection unit, and substrate loading unit(100) with protrusions prolonged from a side portion of the arm wrist for loading stably a substrate. A connection groove(110) is formed through the substrate loading unit at an end portion. An alignment member(120) is formed in the connection groove. The alignment member has a protruded end portion.

Description

기판을 자체 정렬하는 기판이송장치{Substrate transfer apparatus which aligns substrate for itself} A substrate transfer apparatus for self-alignment of the substrate transfer apparatus which aligns {Substrate} substrate for itself

도 1은 기판처리장치의 일반적인 구성도 1 is a general configuration of a substrate processing apparatus in FIG.

도 2는 기판이송장치의 개략 구성도 Figure 2 is a schematic configuration of the substrate transfer device, Fig.

도 3은 기판이송장치의 기판안치부의 부분단면도 Figure 3 is a cross-sectional view of a portion of the substrate seating part substrate transfer device

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판안치부의 부분사시도 4 is a perspective view of the substrate seating part parts according to the first embodiment of the present invention

도 5a 및 도 5b는 기판이 안치되지 않은 경우와 기판이 안치된 경우를 나타낸 기판안치부의 부분단면도 Figures 5a and 5b are partial cross-sectional view showing a substrate seating part when the substrate if it is not placed and the board is placed

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판안치부에서 기판을 자체 정렬하는 모습을 순서대로 나타낸 도면 Figure 6a and Figure 6b is a diagram showing a state of self-alignment of the substrate in the substrate should teeth according to the first embodiment of the present invention in the order

도 7a 및 도 7b는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판안치부에서 기판을 자체 정렬하는 모습을 순서대로 나타낸 도면 Figures 7a and 7b is a view of a state in order to self-align the substrate in the substrate should tooth according to a second embodiment of the present invention

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* * Description of the Related Art *

100, 200 : 기판안치부 102 : 슬라이딩 방지턱 100, 200: substrate should tooth 102: sliding bumps

110 : 결합홈 112, 212 : 걸림턱 110: engaging groove 112, 212: locking step

120, 240 : 정렬부재 122 : 돌출단 120, 240: an alignment member 122: protruded end

130, 250 : 회동축 210 : 하부부재 130, 250: rotation shaft 210: lower member

220 : 상부부재 230 : 탄성부재 220: upper member 230: Elastic member

본 발명은 반도체 소자 또는 평면표시장치(Flat Panel Display)를 제조하기 위하여 웨이퍼 또는 글래스(이하 '기판'이라 함)을 처리하는 기판처리장치에서 사용하는 기판이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a substrate transfer apparatus for use in a substrate processing apparatus for processing (also referred to as "substrate") wafer or a glass for the production of semiconductor devices or flat panel display (Flat Panel Display).

일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 기판 표면에 소정의 회로패턴을 형성하여야 하며, 이를 위해서는 기판에 특정 물질의 박막을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각(etching)공정 등을 거쳐야 한다. In general, in order to manufacture a semiconductor device, which should form a predetermined circuit pattern on a substrate surface, in order to do this using a thin film deposition process, the photosensitive material to deposit a thin film of a particular material on the substrate to expose or cover the selected area of ​​these films by removing the thin film photolithographic process, selected areas to undergo the desired etching (etching) process such as patterning.

이러한 공정은 해당공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 공정챔버의 내부에서 진행되며, 특히 최근에는 기판처리능력을 높이기 위해 기판의 이송과 관련된 각종 챔버를 공정챔버와 일체로 연결한 클러스트형 기판처리장치가 많이 사용되고 있다. This process takes place in the interior of the process chamber is designed in an optimal environment for the process, in particular in recent years, a cluster-type substrate processing apparatus connected to the various chambers associated with the transfer of a substrate into the process chamber and integral to increase the substrate throughput much has been used.

도 1은 이러한 클러스트형 기판처리장치의 일반적인 구성을 예시한 것으로 서, 이송챔버(10), 상기 이송챔버(10)의 측부에 결합되는 다수의 공정챔버(20) 및 로드락챔버(loadlock chamber, 30), 상기 로드락챔버(30)의 측부에 결합하는 이송부(40), 이송부(40)의 일측에 결합하는 로드포트(load port, 50) 등을 포함한다. 1 is standing by illustrating a general configuration of the cluster-type substrate processing apparatus, a transfer chamber 10, a plurality of process chamber 20 and load lock chamber (loadlock chamber coupled to a side of the transfer chamber (10), 30), the transport unit 40, a load port (load port, 50) bonded to the side of the transport unit 40 for coupling to a side portion of the load lock chamber 30, and the like.

공정챔버(20)는 진공상태를 유지하면서 기판에 대한 박막증착, 식각 등의 공정을 수행하는 공간이고, 이송챔버(10)는 공정챔버(20)와 공정챔버(20) 사이 또는 공정챔버(20)와 로드락챔버(30) 사이에서 기판을 이송하는 공간으로서 역시 진공상태를 유지한다. Process chamber 20 is a space for maintaining the vacuum performs a process such as thin film deposition, etching of the substrate, the transfer chamber 10 includes a process chamber 20 and process chamber 20, or between the process chamber (20 ) and a space for transferring substrates between the load lock chamber 30 is also maintained the vacuum.

이송챔버(10)와 공정챔버(20)의 사이에는 기판출입과정에서 개폐되는 슬롯밸브(22)가 설치되며, 이송챔버(10)와 로드락챔버(30)의 사이에도 슬롯밸브(32)가 설치된다. The transport chamber 10 and between the process chamber 20 is provided with a slot valve 22 which is opened and closed in the substrate and out the process, in the slot valve (32) between the transfer chamber 10 and load lock chamber 30 is It is installed.

로드락챔버(30)는 기판이 안치되는 슬롯(미도시)을 구비하며 진공상태인 이송챔버(10)와 대기압 상태인 이송부(40)와의 사이에서 완충역할을 하므로 이송챔버와 연결될 때는 진공상태로 전환되고 이송부(40)와 연결될 때는 대기압상태로 전환된다. The load lock chamber 30 is evacuated when provided and connected with the transfer, so acts as a buffer and from the vacuum of the transfer chamber 10 and the atmospheric pressure of the transport unit 40 the chamber a slot (not shown) in which the substrate is placed when switch is coupled to the transport unit 40 is switched to the atmospheric pressure.

이송부(40)는 미처리 기판을 로드락챔버(30)로 반입하거나 공정을 끝낸 기판을 로드락챔버(30)에서 외부로 반출하는 공간으로서 대기압 상태를 유지한다. The transport unit 40 is maintained at atmospheric pressure as the space to bring an unprocessed substrate into the load lock chamber 30 or out of the substrate board which had undergone the process to the outside from the load-lock chamber 30. 이송부(10)의 측부에는 기판적재용 카세트가 놓여지는 로드포트(50)가 설치된다. Side of the transport unit 10 is provided with a load port 50, which cassette is placed for substrate mounting.

기판처리장치의 내부에는 자동화된 시퀀스에 따라 기판을 이송하는 기판이송장치가 설치되는데, 예를 들어 이송챔버(10) 및 이송부(40)의 내부에 각각 설치되 는 이송로봇(60) 및 ATM로봇(70)이 그것이다. Within the substrate processing apparatus there is a substrate transfer apparatus for transferring substrates according to an automated sequence of installation, e.g., the transfer chamber 10 and are each provided inside the transport unit 40 the transfer robot 60 and the ATM robot 70 is it is.

이송로봇(60)의 예를 들어 기판이송장치의 구성을 살펴보면, 도 2에 도시된 바와 같이, 회전운동을 하는 구동축(61), 상기 구동축(61)에 연결되며 관절을 이용하여 신축운동을 하는 연결부(62), 연결부(62)의 단부에 결합하는 암리스트(arm wrist, 63), 기판(s)을 안치하는 막대형상의 판상부재로서 암리스트(63)의 측부에서 서로 같은 방향으로 다수 개가 돌출되며 암리스트(63)와 함께 포크형상을 이루는 기판안치부(64)를 포함한다. Looking at the configuration of the example, the substrate transfer device an example of the transfer robot 60, as shown in Figure 2, connecting a rotary motion to the drive shaft 61, the drive shaft 61 that is using the joint of the new movement cancer list (arm wrist, 63), a plate-like member of a bar shape to settle the substrate (s) dog number the same with each other in the lateral direction of the arm list (63) for coupling to an end of the connecting portion 62, the connecting portion 62 extrusion and comprises a substrate should teeth 64 forming a fork shape with a list of cancer (63).

그런데 기판이송과정에서 갑자기 연결부(62)가 신축운동을 하거나 구동축(61)이 회전운동을 하게 되면 관성 때문에 기판안치부(64)의 상면에서 기판(s)이 미끄러져 정위치에서 벗어나는 슬라이딩 현상이 종종 발생한다. However, the sliding phenomenon in a substrate transfer process abruptly connecting portion 62 becomes the new movement or the drive shaft 61 has slid a When the rotating substrate (s) on the top surface of the substrate should teeth 64 because of inertia out of place are often it occurs. 기판이 정위치를 벗어나 운송되면 운송과정에서 파손될 수도 있고 공정챔버 등의 정위치에 안착되지 못하여 공정불량을 초래하기도 한다. When the substrate is out of the transport position may be damaged in transit, and sometimes results in poor process it mothayeo be secured in place such as a processing chamber.

종래에는 이러한 현상을 방지하기 위하여 도 3의 단면도에 도시된 바와 같이 기판안치부(64)의 상면에 슬라이딩 방지턱(65)을 형성하기도 하고 마찰력을 높이는 패드(미도시)를 부착하기도 하였다. Conventionally, it was also attached to the sliding bump (not shown) and also to increase the friction pad to form a 65 on the upper surface of the substrate not tooth 64, as shown in the sectional view of Figure 3 to avoid this.

그러나 이러한 수단은 기판(s)의 미끄러짐을 어느 정도 막아주는 효과가 있으나, 기판(s)을 안치하는 과정에서 정렬이 잘못되어 기판(s)의 에지가 슬라이딩 방지턱(65)의 상부에 걸치게 되면 이송과정에서 슬라이딩 현상을 막기 어렵다는 문제점이 있다. However, the transfer when these means, but the effect for preventing to some extent the slippage of the substrate (s), the edge of the substrate (s) is incorrectly aligned in the process placed the substrate (s) hit something at the top of the sliding bump 65 it is difficult to prevent the sliding phenomenon in the process.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 운송과정에서 기판의 슬라이딩을 막을 수 있을 뿐만 아니라 기판의 정렬이 잘못된 경우에도 이를 자체적으로 정렬시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 목적이 있다. The present invention, there is a purpose to provide a substrate transfer apparatus which can be self-aligned with it, even if misalignment of the substrate as well as to prevent sliding of the substrates in the transport process to solve this problem.

본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 회전운동을 하는 구동축; The present invention is a drive shaft for a, rotary motion in order to achieve the above object; 상기 구동축에 연결되며 관절을 이용하여 신축운동을 하는 연결부; Connection to the expansion and contraction motion and coupled to the drive shaft using the joint; 상기 연결부의 단부에 결합하는 암리스트; Cancer list coupled to an end of the link portion; 상기 암리스트의 측부에서 서로 같은 방향으로 다수 개가 돌출되어 기판을 안치하는 기판안치부를 포함하는 기판이송장치에 있어서, In the substrate transfer apparatus of the plurality dog ​​protruding from the side of the arm list in the same direction each other, comprising: a substrate seating which placed the substrate,

상기 기판안치부의 단부에는 상기 기판안치부를 관통하는 결합홈이 형성되고, 상기 결합홈의 내부에는 상기 기판안치부의 외곽방향의 일 단부에 돌출단이 형성되어 ㄴ형상을 가지는 정렬부재가 회전가능하게 결합하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치를 제공한다. It said end portion substrate seating, the connecting grooves extending through portions placed above the substrate is formed, and the bonding inside the groove, the protruding end is formed at one end portion of the substrate seating part outside direction coupled to the aligning member having a b-shaped rotatable provides a substrate transfer apparatus is characterized in that.

이때 상기 결합홈의 내부에는 상기 정렬부재의 상기 돌출단이 수평면에 대하여 소정 각도 이상으로 처지는 것을 막아주는 걸림턱이 형성된다. At this time, the inside of the engaging groove, the engaging shoulder that prevents the horizontal plane with respect to said projecting end of said alignment member sagging over a predetermined angle is formed.

상기 정렬부재는 상기 돌출단이 형성되는 단부의 반대쪽 단부와 상기 정렬부재의 무게중심과의 사이를 관통하는 회동축에 의해 상기 결합홈의 내부에 결합되며, 기판이 안치되지 않았을 때에는 상기 돌출단이 상기 걸림턱에 걸리는 것을 특징으로 한다. The alignment member has said protruding end, when coupled to the inside of the engagement groove by a rotation shaft penetrating through a between the center of gravity of the alignment member and the opposite end of the end portion to which the projecting end formation, is not a substrate is placed It characterized in that applied to the locking step.

상기 기판안치부의 단부에는 상부로 돌출된 슬라이딩 방지턱이 형성된다. End of the substrate seating part is formed with a slide preventing fence projecting upward.

상기 정렬부재의 상기돌출단은 상기 슬라이딩 방지턱의 경사면과 같은 각도의 경사면을 가진다. The projecting end of said alignment member has an angle of slope as the slope of the sliding bump.

또한 본 발명은, 회전운동을 하는 구동축; In addition, the drive shaft to the present invention, rotational motion; 상기 구동축에 연결되며 관절을 이용하여 신축운동을 하는 연결부; Connection to the expansion and contraction motion and coupled to the drive shaft using the joint; 상기 연결부의 단부에 결합하는 암리스트; Cancer list coupled to an end of the link portion; 상기 암리스트의 측부에서 서로 같은 방향으로 다수 개가 돌출되어 기판을 안치하는 기판안치부를 포함하는 기판이송장치에 있어서, In the substrate transfer apparatus of the plurality dog ​​protruding from the side of the arm list in the same direction each other, comprising: a substrate seating which placed the substrate,

상기 기판안치부는, 기판이 안치되는 상부부재; The substrate seating part, the upper member in which the substrate is placed; 상기 상부부재의 하부에 위치하며 상기 상부부재와 탄성부재로 연결되는 하부부재; A lower member positioned below the upper member and coupled to the upper member and the elastic member; 상기 상부부재의 단부에 회전가능하게 결합되며 상기 상부부재에 안치되는 기판을 정위치로 정렬시키는 정렬부재; It is rotatably coupled to the end portion of the upper member aligning member for aligning a substrate to be placed on the upper member to the normal position; 상기 하부부재에 형성되며, 상기 정렬부재가 결합된 상부부재가 하강할 때 상기 정렬부재를 수직으로 세워주는 걸림턱을 포함하는 기판이송장치를 제공한다. The bottom is formed in the member, there is provided a substrate transfer device including a locking step is to raise up the alignment member in the vertical when the upper member to which the alignment member coupled lowered.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. Hereinafter will be described with reference to the drawings the preferred embodiment of the present invention.

제1 실시예 First Embodiment

도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판이송장치에서 기판안치부(100)의 일부만을 도시한 사시도이고, 도 5a 및 도 5b는 도 4의 II선에 따른 단면도로서 전자는 기판이 안치되지 않은 경우를 나타낸 것이고, 후자는 기판이 안치된 경우를 나타낸 것이다. 4 is a former board is placed as a cross-sectional view taken along II line of a perspective view showing only a portion of the substrate not tooth 100 at the substrate transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention, it Figures 5a and 5b 4 will showing a case is not, the latter shows a case in which the substrate is placed.

상기 기판안치부(100)는 단부에 슬라이딩 방지턱(102)이 형성되어 있는 점에 서는 종래와 공통되지만 단부 부근에 기판정렬을 위해 정렬부재(120)를 설치한 점에 특징이 있다. The substrate should teeth 100 is characterized in that the sliding bump 102 to install the alignment member 120 to the stand common in the prior art, but the substrate arranged in the vicinity of the end point which is formed at an end.

즉, 기판안치부(100)의 단부 부근에 길이방향으로 결합홈(110)을 형성하고, 상기 결합홈(110)의 내부에 회동축(130)을 이용하여 정렬부재(120)를 설치한다. That is, forming the coupling groove 110 in a longitudinal direction at the end of the substrate not tooth 100, and using the shaft 130, once inside the coupling groove 110 to install the alignment member 120.

정렬부재(120)의 일 단부에는 상부로 돌출된 돌출단(122)이 형성되며, 상기 돌출단(122)은 상기 기판안치부(100)의 단부쪽에 위치하여 기판안치부(100)의 슬라이딩 방지턱(102)과 함께 기판(s)을 지지하는 역할을 하므로 상기 슬라이딩 방지턱(102)과 비슷한 각도의 경사면을 가지는 것이 바람직하다. One end of the alignment member 120 has a projecting end 122 projecting to the upper part is formed, and the protruding end 122 is the sliding of the substrate should teeth 100 to position the end on the side of the substrate not tooth 100 bumps it serves to support the substrate (s) with (102) preferably has a slope angle similar to the sliding bump 102.

회동축(130)은 정렬부재(120)의 무게중심에 설치하는 것이 아니라 무게중심에서 도면상 왼쪽으로 치우치도록, 즉 돌출단(122)이 형성된 일 단부의 반대쪽 단부와 무게중심 사이에 설치한다. Rotation shaft 130 provided between the alignment member 120 to hit, rather than installed in the center of gravity shift to the drawings the left from the center of gravity, that is, the projecting end center of the opposite end to the weight of the one end 122 is formed of . 따라서 기판(s)이 안치되지 않은 평상시에는 도 5a에 도시된 바와 같이 돌출단(122)쪽 단부가 아래로 처져있고 반대쪽 단부는 기판안치부(100)의 상부로 돌출된 상태가 된다. Therefore, the substrate (s) the normal times and that the projecting end 122 end down in the dumps down as the opposite end as shown in Figure 5a is not placed is a state protruding to the upper part of the substrate not teeth 100. The

이때 정렬부재(120)가 수직상태가 되면 기판(s)을 제대로 안치하는 것이 불가능해지므로 정렬부재(120)의 돌출단(122)쪽 단부가 기판안치면으로부터 소정 각도 이상 내려가지 않도록 결함홈(110)의 내측벽에 걸림턱(112)을 형성하는 것이 바람직하다. The alignment member 120 so that the projecting end (122) end of it is not possible by so arranging member 120 is properly placed the substrate (s) when the vertical state to go down to or greater than a predetermined angle from not hit substrate defects groove ( 110) it is desirable to form the engaging shoulder 112 on the inner wall.

이러한 상태에서 기판(s)이 안치되면 도 5b에 도시된 바와 같이 상부로 돌출된 정렬부재(120)의 단부가 기판(s)에 의해 눌려지므로 회동축(130)을 중심으로 정렬부재(120)가 회전하면서 반대측의 돌출단(122)이 상승하여 슬라이딩 방지턱(102) 과 함께 기판(s)의 에지를 감싸게 된다. When the substrate (s) in this state is placed a so that the ends of the alignment member 120 is protruded to the upper portion is pressed by the substrate (s) times the center line-up member 120 with the shaft 130 as shown in Figure 5b It is rotated while projecting the other side end 122 is wrapped is raised the edge of the substrate (s) with the sliding bump 102.

기판(s)이 기판안치부(100)의 정위치에 안치되는 경우에는 돌출단(122)이 별다른 역할을 하지 않지만, 만일 도 6a에 도시된 바와 같이 기판(s)의 에지가 슬라이딩 방지턱(102)에 걸치도록 잘못 놓여지는 경우에는 도 6b와 같이 정렬부재(120)의 돌출단(122)이 상승하면서 기판(s)을 도면상 좌측의 정위치로 밀어주게 된다. Substrate (s) in this case should not be placed in place of a tooth (100) substrate, the projecting end 122, but not a little role, if also the edge of the substrate (s) sliding bump (102, as shown in 6a ) protruding end (122 of the alignment member 120, as shown in Figure 6b, the case that span incorrectly placed to) is dropped to push the substrate (s) and rising to the position of the figure on the left.

따라서 기판(s)이 기판안치부(100)에 잘못 놓여지더라도 상기 정렬부재(120)가 이를 자체적으로 정위치로 정렬시키기 때문에 기판운송과정에서 발생하는 슬라이딩 현상을 크게 줄일 수 있다. Thus greatly reducing the sliding phenomenon that occurs in the substrate transport process because even if the substrate (s) is not placed in the wrong tooth (100) substrate has the alignment member 120 to self-align to the position it.

상기 정렬부재(220)는 기판안치부(100)의 단부쪽에만 설치되어야 하는 것은 아니므로 기판안치부(100)가 고정되는 암 리스트쪽에도 설치될 수 있으며, 이때는 각 정렬부재(120)를 반대방향으로 설치하여 각 돌출단(122)이 서로 마주보도록 해야 한다. The alignment member 220 may be installed on either side arm list of the fixed end is a substrate not tooth 100 to not to be installed only on the side of the substrate not tooth 100, At this time, the direction opposite the respective alignment member (120) install shall see each protruding end 122 is facing each other.

제2 실시예 Second Embodiment

도 7a 는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판이송장치의 기판안치부(200)를 나타낸 도면으로서 기판(s)이 안치되지 않은 경우를 도시한 것이다. Figure 7a shows a case where the substrate (s) are not placed as a view of the substrate should teeth 200 of the substrate transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.

상기 기판안치부(200)는 암 리스트에 고정되는 하부부재(210), 하부부재(210)의 상부에 위치하는 상부부재(220), 하부부재(210)와 상부부재(220)의 사이에 설치되어 양자를 연결하는 탄성부재(230)를 포함하며, 상부부재(220)에 기판(s)이 안치되면 하중에 의해 탄성부재(230)가 압축되면서 상부부재(220)가 하부부재(210) 쪽으로 하강하게 된다. The substrate should teeth 200 is provided between the upper member 220 and lower member 210 and upper member 220 is positioned on top of the lower member 210, a lower member 210 fixed to the arm list It is to connect the both and includes an elastic member 230, when the substrate (s) to the upper member 220 is placed as the elastic member 230 is compressed by the force toward the upper member 220, lower member 210 It is lowered.

상부부재(220)의 일 단부 또는 양 단부에 회동축(250)을 중심으로 회전하는 정렬부재(240)를 설치하고, 상기 하부부재(210)에서 상기 회동축(250)의 바깥쪽에 해당하는 부분에는 걸림턱(212)을 형성한다. Parts to install the alignment member 240 to rotate in one end portion or both end portions of the upper member 220 about the pivot axis 250, and that in the lower member 210 on the outside of the rotating shaft 250 There forms a locking step (212).

또한 도 7a에 도시된 바와 같이 기판이 안치되기 전까지는 상기 정렬부재(240)의 상면이 상부부재(220)의 상면과 평탄한 것이 바람직하므로, 상기 회동축(250)에는 정렬부재(240)가 하부로 처지지 않고 수평을 유지할 수 있도록 지지하는 지지수단(미도시)이 형성되는 것이 바람직하다. In addition, before the substrate is placed as shown in Figure 7a is a top plan view and so even preferably, the time, the alignment member 240, coaxial 250 of the upper member 220, an upper surface of the alignment member 240, a lower a support means (not shown) to the support to maintain the horizontal does not sag into preferably formed.

이러한 기판안치부(200)의 상부부재(220)에 기판(s)이 안치되면 도 7b에 도시된 바와 같이 상부부재(220)가 하강하는 과정에서 단부에 설치된 정렬부재(240)는 하부부재(210)의 걸림턱(212)에 의해 더 이상 하강하지 못하고 회동축(250)을 중심으로 회전하면서 세워지게 된다. When the substrate (s) to the upper member 220 is of such a substrate should tooth 200 is placed with the upper member aligning member 240 is installed at an end portion in the process of 220 is lowered as shown in Figure 7b is a lower member ( 210) it does not further lowered by the engaging shoulder 212 of is erected and rotated about the pivot axis 250. the

기판(s)이 상부부재(220)의 정위치에 안치된 경우에는 상기 정렬부재(240)가 별다른 역할을 하지 않지만, 기판(s)의 에지가 정렬부재(240)에 걸칠 정도로 잘못 안치된 경우에는 기판(s)의 하중에 의해 상부부재(220)가 하강하는 과정에서 정렬부재(240)가 세워지면서 기판(s)을 안쪽의 정위치로 밀어넣게 된다. If the substrate (s) is incorrectly placed, so if placed in position on the upper member 220, span the alignment member 240, an edge of the alignment member 240 is, but not a little role, the substrate (s) as there is an alignment member 240 is built in the course of the upper member 220 is lowered by the weight of the substrate (s) are pushed to the substrate (s) into place on the inside.

한편, 상기 탄성부재(230)는 하부부재(210)와 상부부재(220)에 모두 연결되는 코일 스프링인 것이 바람직하다. On the other hand, the elastic member 230 is preferably a coil spring that is attached to both the lower member 210 and upper member 220. 또한 상기 정렬부재(240)는 기판안치부(220)의 단부쪽에만 설치될 수도 있으나 암 리스트쪽에도 설치될 수 있으며, 이 경우 기판(s)은 수직으로 세워진 2개의 정렬부재(240)의 사이에 놓이게 된다. In addition, between the alignment member 240 is a substrate not tooth 220 end only may be installed on either side may be provided, but cancer list, on this side, if the two line-up member 240, the substrate (s) are erected vertically on It is placed.

이상에서 설명한 기판이송장치는 진공상태에서 동작하는 이송로봇뿐만 아니라 대기압상태에서 동작하는 ATM로봇에도 적용될 수 있고, 원형의 웨이퍼를 운송하는 장치뿐만 아니라 사각형의 글래스를 운반하는 장치에도 적용될 수 있다. A substrate transfer apparatus described above may be applied as well as a transfer robot which operates in a vacuum to ATM robot operating in atmospheric pressure, as well as a device for transporting the wafers in the circular may be applied to a device for transporting the glass of the rectangle.

본 발명에 따르면, 기판이송장치에 기판이 잘못 안치되는 경우에도 자체적으로 기판을 정렬하므로 기판이송과정에서 발생하는 슬라이딩 현상을 최소화하여 기판이송의 신뢰성을 높일 수 있다. According to the invention, the alignment of the substrate itself even if the substrate is placed incorrectly on the substrate transfer device, as it is possible to increase the reliability of the substrate transfer by minimizing a sliding phenomenon that occurs in a substrate transfer process.

Claims (6)

  1. 회전운동을 하는 구동축; A drive shaft for rotational motion; 상기 구동축에 연결되며 관절을 이용하여 신축운동을 하는 연결부; Connection to the expansion and contraction motion and coupled to the drive shaft using the joint; 상기 연결부의 단부에 결합하는 암리스트; Cancer list coupled to an end of the link portion; 상기 암리스트의 측부에서 서로 같은 방향으로 다수 개가 돌출되어 기판을 안치하는 기판안치부를 포함하는 기판이송장치에 있어서, In the substrate transfer apparatus of the plurality dog ​​protruding from the side of the arm list in the same direction each other, comprising: a substrate seating which placed the substrate,
    상기 기판안치부의 단부에는 상기 기판안치부를 관통하는 결합홈이 형성되고, End of the substrate seating part, the engaging groove is formed to penetrate part placed the substrate,
    상기 결합홈의 내부에는 상기 기판안치부의 외곽방향의 일 단부에 돌출단이 형성되어 ㄴ형상을 가지는 정렬부재가 회전가능하게 결합하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 The interior of the coupling groove, the substrate transfer device, characterized in that the projecting end is formed with an end portion of the substrate seating part outside direction of the alignment member having a b-shaped rotatably
  2. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 결합홈의 내부에는 상기 정렬부재의 상기 돌출단이 수평면에 대하여 소정 각도 이상으로 처지는 것을 막아주는 걸림턱이 형성되는 기판이송장치 The engaging grooves of the interior of the substrate transfer apparatus in which the protruding end a catching projection that is formed with respect to the horizontal plane prevents sagging over a predetermined angle of the alignment member
  3. 제2항에 있어서, 3. The method of claim 2,
    상기 정렬부재는 상기 돌출단이 형성되는 단부의 반대쪽 단부와 상기 정렬부 재의 무게중심과의 사이를 관통하는 회동축에 의해 상기 결합홈의 내부에 결합되며, 기판이 안치되지 않았을 때에는 상기 돌출단이 상기 걸림턱에 걸리는 것을 특징으로 하는 기판이송장치 The alignment member has said protruding end, when coupled to the inside of the engagement groove by a rotation shaft penetrating through the gap between the projecting end is the opposite end with the weight material wherein the alignment portion of the end portion which is formed the center, the substrate may not have been placed a substrate transfer device, characterized in that applied to the engaging shoulder
  4. 제1항에 있어서, According to claim 1,
    상기 기판안치부의 단부에는 상부로 돌출된 슬라이딩 방지턱이 형성되는 기판이송장치 The substrate seating portion end has a substrate transfer device on which the sliding bump protruding to the upper part forming
  5. 제4항에 있어서, 5. The method of claim 4,
    상기 정렬부재의 상기 돌출단은 상기 슬라이딩 방지턱의 경사면과 같은 각도의 경사면을 가지는 기판이송장치 The projecting end of said alignment member is a substrate transfer apparatus having the inclined angle of the inclined surface, such as bumps of the sliding
  6. 회전운동을 하는 구동축; A drive shaft for rotational motion; 상기 구동축에 연결되며 관절을 이용하여 신축운동을 하는 연결부; Connection to the expansion and contraction motion and coupled to the drive shaft using the joint; 상기 연결부의 단부에 결합하는 암리스트; Cancer list coupled to an end of the link portion; 상기 암리스트의 측부에서 서로 같은 방향으로 다수 개가 돌출되어 기판을 안치하는 기판안치부를 포함하는 기판이송장치에 있어서, In the substrate transfer apparatus of the plurality dog ​​protruding from the side of the arm list in the same direction each other, comprising: a substrate seating which placed the substrate,
    상기 기판안치부는, The substrate seating part,
    기판이 안치되는 상부부재; The upper member in which the substrate is placed;
    상기 상부부재의 하부에 위치하며 상기 상부부재와 탄성부재로 연결되는 하부부재; A lower member positioned below the upper member and coupled to the upper member and the elastic member;
    상기 상부부재의 단부에 회전가능하게 결합되며 상기 상부부재에 안치되는 기판을 정위치로 정렬시키는 정렬부재; It is rotatably coupled to the end portion of the upper member aligning member for aligning a substrate to be placed on the upper member to the normal position;
    상기 하부부재에 형성되며, 상기 정렬부재가 결합된 상부부재가 하강할 때 상기 정렬부재를 수직으로 세워주는 걸림턱; The bottom is formed in the member, as the upper member to which the alignment member coupled falling raise the alignment member has a vertical locking step;
    을 포함하는 기판이송장치 A substrate transfer apparatus comprising
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101341445B1 (en) * 2011-03-16 2013-12-13 주식회사 로보스타 Edge grip type pre-aligner having buffer stage
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