KR102163080B1 - 배관 철거용 중성화 장치 - Google Patents

배관 철거용 중성화 장치 Download PDF

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KR102163080B1
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송종화
이종협
최완길
김건식
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(주)케이씨이앤씨
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르면, 내부가 중공으로 형성되는 본체부와, 철거 대상 배관과 연결가능하며, 본체부의 내부에 설치되고, 외부로부터 유체를 공급받아 배관으로의 유체의 유동 경로를 제공하는 유로부와, 본체부의 내부에 설치되며 본체부의 내부 공간을 복수 개의 영역으로 구획하고, 복수 개의 영역이 연통되도록 통과홀부가 형성되는 가이드부 및 본체부의 내부에 설치되며, 가이드부의 하측에 배치되고 가이드부를 통과하여 유입되는 유체가 저장되는 저장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치를 제공한다.

Description

배관 철거용 중성화 장치{Neutralization apparatus for tearing pipe off}
본 발명의 실시예들은 배관 철거용 중성화 장치에 관한 것이다.
일반적으로 각종 산업 현장에 사용 후 최종 폐기물 처리하여야 하는 산업 폐수와, 반도체 장비 및 제품의 청소와 부자재로 사용되는 염산, 질산, 불산 등의 각종 화학 물질은 매우 강한 독성을 지니고 있어 누출될 경우 인체는 물론, 식물과 토양 등의 자연 환경까지 오염을 시키기 때문에 수송이나 공정 간 이동 과정에서 특히 기밀성이 요구된다.
따라서 이와 같은 유독성 물질이 누출될 경우 인체는 물론, 동식물과 자연 환경을 오염시켜 막대한 손해가 발생되고 있음이 각종 매스컴을 통해 수시로 보고되고 있다.
그럼에도 불구하고 최근에는 불산, 염산, 질산 등 각종 유독성 화학 물질이 작업자의 실수와, 기밀성을 보장할 수 없는 배관 구조로 인해 누출되는 사고가 연이어 발생하고 있는 실정이다.
특히, 반도체 설비의 배관은 염산, 질산, 불산과 같은 유독성 물질이 공급 및 배출되는 라인으로서 배관 내부에 유독성 물질(예를 들어, 염산, 질산, 불산 등)이 잔존한 상태에서 배관의 철거작업을 하는 경우에는 작업 환경이 위험하고, 실제로 작업자가 불산 등에 노출되어 산업 재해로 이어지는 문제가 빈번하게 발생되는 문제점이 있었다.
본 발명의 배경기술은 대한민국 공개특허공보 제10-2000-0009262호(2000.02.15. 공개, 발명의 명칭: 반도체 제조라인에 구비되는 배관의 세정장치) 에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 개선하기 위해 안출된 것으로, 중성화 장치 내 잔존하는 유해 물질이 외부로 유출되는 것을 방지하고, 작업자에 접촉하는 것을 차단할 수 있는 배관 철거용 중성화 장치를 제공하고자 한다.
그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예는, 내부가 중공으로 형성되는 본체부; 철거 대상 배관과 연결가능하며, 상기 본체부의 내부에 설치되고, 외부로부터 유체를 공급받아 상기 배관으로의 유체의 유동 경로를 제공하는 유로부; 상기 본체부의 내부에 설치되며 상기 본체부의 내부 공간을 복수 개의 영역으로 구획하고, 복수 개의 상기 영역이 연통되도록 통과홀부가 형성되는 가이드부; 및 상기 본체부의 내부에 설치되며, 상기 가이드부의 하측에 배치되고 상기 가이드부를 통과하여 유입되는 유체가 저장되는 저장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치를 제공한다.
본 발명에 있어서, 상기 본체부는, 내부가 중공이고 일측에 개구부가 형성되는 하우징; 및 상기 하우징에 연결되며, 상기 개구부를 개폐하는 커버부;를 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 유로부와 마주보며 상기 하우징에 형성되는 상기 개구부를 커버가능한 비산방지부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 본체부에 설치되며 상기 유로부와 전기적으로 연결되며, 상기 유로부의 내부에서의 유체의 유동 경로를 제어하는 제어부;를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 유로부는 복수 개의 철거 대상 배관과 연결이 가능할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 본체부에 연결되며 지면과 구름 접촉가능한 이동롤러부;를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명에 따른 배관 철거용 중성화 장치는, 저장부에 유해 물질이 저장됨으로 인하여 중성화 작업이 완료된 후 안전하게 유해 물질을 처리할 수 있는 효과가 있다.
또한, 가이드부에 형성되는 통과홀부로 인하여 본체부의 내부에 존재하는 유해 물질이 저장부로 신속하게 유동되며, 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 비산방지부로 인하여 작업자가 본체부의 내부를 확인할 수 있고, 본체부의 내부에 잔존하는 유해 물질과의 접촉을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 제어부로 인하여 작업자가 본체부를 개방하지 않고도 밸브부의 구동을 제어할 수 있어, 본체부의 내부에 잔존하는 유해 물질과의 접촉을 최소화할 수 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 저장부를 도시한 부분사시도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 사시도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 분해사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 저장부를 도시한 부분사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(100)는 본체부(110), 유로부(120), 가이드부(130), 저장부(140), 비산방지부(150), 이동롤러부(160)를 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(110)는 배관 철거용 중성화 장치(100)의 외관을 형성하는 것으로, 내부가 중공으로 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(110)에는 뒤에 설명할 이동롤러부(160)가 결합될 수 있다.
이동롤러부(160)는 복수 개가 구비되며 본체부(110)에 결합되며, 이로 인하여 반도체 설비에 연결되며 철거 대상인 배관(P1, P2)이 위치한 곳으로 본체부(110)를 이동시킬 수 있다.
이동롤러부(160)는 롤러(roller)를 포함하며, 롤러가 지면에 구름 접촉됨으로 인하여 작업자가 본체부(110)를 밀어 철거용 배관(P1, P2)이 있는 곳에 본체부(110)를 위치시킬 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본체부(110)는 하우징(111), 커버부(115)를 포함할 수 있다. 하우징(111)은 본체부(110)의 외관을 형성하는 것으로, 일측(도 1 기준 전면)에 개구부(112)가 형성되며, 커버부(115)가 힌지가능하게 결합될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 하우징(111)은 뒤에 설명할 가이드부(130)에 의해 내부 공간이 상하(도 1 기준)로 2개의 영역을 가지도록 구획될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 하우징(111)의 내부에는 뒤에 설명할 유로부(120), 가이드부(130), 저장부(140)가 배치될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 하우징(111), 구체적으로 개구부(112)에는 뒤에 설명할 비산방지부(150)가 결합되며, 비산방지부(150)는 커버부(115)가 개구부(112)를 커버하며 본체부(110)에 결합되는 경우에 커버부(115)와 본체부(110) 사이에 배치될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(115)는 하우징(111)에 연결되는 것으로 개구부(112)를 개폐할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(115)는 복수 개가 구비되며, 하우징(111)에 형성되는 개구부(112)를 독립적으로 개폐할 수 있다.
도 1을 참조하면, 하우징(111)의 내부 공간은 가이드부(130)에 의해 2개의 영역으로 구획되며, 상측(도 1 기준)에 형성되는 하우징(111)의 내부 공간에는 유로부(120)가 배치될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 유로부(120)가 배치되는 하우징(111)의 상측 내부 공간에 대향되는 하측(도 1 기준) 내부 공간에는 뒤에 설명할 저장부(140)가 배치될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 커버부(115)는 복수 개가 구비되며, 유로부(120)가 배치되는 하우징(111)의 상측(도 1 기준) 영역과 저장부(140)가 삽입되는 하우징(111)의 하측(도 1 기준) 영역을 독립적으로 개폐할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 저장부(140)가 배치되는 하우징(111)의 내부 공간에는 하우징(111)의 내주면을 따라 길이 방향으로 가이드돌기(117)가 돌출 형성될 수 있다.
가이드돌기(117)는 저장부(140)의 외주면 둘레를 따라 홈부의 형성으로 형성되는 가이드홈(143)의 형상에 대응되는 형상으로 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내주면 둘레를 따라 형성되는 가이드돌기(117)로 인하여 가이드홈(143)이 형성되는 저장부(140)가 안정적으로 하우징(111)의 내부에 삽입될 수 있다.
이에 더하여 가이드홈(143)이 형성되는 저장부(140)가 하우징(111)의 내주면 둘레를 따라 형성되는 가이드돌기(117)에 걸쳐지며 미리 설정되는 경로를 따라 안정적으로 이동되면서 삽입될 수 있다.
이에 더하여 저장부(140)가 하우징(111)에 삽입 시 미리 설정된 경로를 따라 삽입됨에 따라 저장부(140), 구체적으로 저장본체(141)에 형성되는 유체투입구(142)와 가이드부(130)에 형성되는 통과홀부(131)의 중심이 일치될 수 있다.
이로 인하여 유로부(120)가 배치되는 하우징(111)의 내부 공간 중 상측 영역(도 1 기준)에서 중성화 작업 과정에서 발생되는 유해 물질이 가이드부(130)를 따라 흐르며 통과홀부(131)를 통과 후 저장본체(141)에 형성되는 유체투입구(142)로 안정적으로 유입, 저장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에는 잔압 측정부(도면 미도시)가 설치될 수 있으며, 하우징(111)의 내부 잔압을 측정하여 하우징(111)의 내부에 존재하는 유해 물질에 관한 정보를 파악할 수 있고, 작업자가 유해 물질과 접촉하는 것을 최소화할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유로부(120)는 철거 대상 배관(P1, P2)과 연결가능한 것으로, 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에 설치되고, 외부로부터 유체(F1, F2)를 공급받아 배관(P1, P2)으로의 유체(F1, F2)의 유동 경로를 제공할 수 있다.
이때 유체(F1, F2)는 반도체 설비에 연결되는 배관(P1, P2)의 중성화 작업 시 이용되는 중성화 매개체로서, 질소 가스나 탈이온수(deionized water, 이하, 'DI 액'이라 함)가 적용될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유로부(120)는 유입부(121), 토출부(123), 밸브부(125)를 포함할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유입부(121), 토출부(123)는 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)을 관통하며 하우징(111)의 내부에 위치 고정될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 유입부(121)는 외부로부터 질소 가스나 DI 액 등의 유체(F1, F2)가 유입되는 것으로, 복수 개가 구비될 수 있다.
유입부(121)는 별도의 파이프(pipe)와 연통되며 결합될 수 있으며, 철거용 배관(P1, P2)으로 유입되도록 외부로부터 유체(F1, F2)를 유입 받을 수 있다. 복수 개의 유입부(121)를 통해 서로 다른 종류의 유체(F1, F2)가 유입될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 토출부(123)는 유입부(121) 및 철거 대상 배관(P1, P2)과 각각 연결가능한 것으로, 복수 개가 구비될 수 있다.
토출부(123)에는 철거 대상인 배관(P1, P2)과 직간접적으로 연통될 수 있는 것으로, 유입부(121)를 통해 외부에서 유입되는 질소 가스, DI 액이 유입될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 토출부(123)가 복수 개 구비됨으로 인하여 복수 개의 철거 대상 배관(P1, P2)과 연결할 수 있고, 토출부(123)가 단일로 구비되는 것에 비하여 철거 대상 배관(P1, P2)의 중성화 작업량을 증가시킬 수 있고, 복수 개의 철거 대상 배관(P1, P2)의 중성화 작업의 효율성이 향상될 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 토출부(123)는 별도의 연결 배관을 통해 분배 장비(valve manifold box, VMB)와 연결될 수 있고, 분배 장비를 통해 반도체 설비에 연결되는 철거 대상용 배관(P1, P2)으로 유체(F1, F2)를 유입시킬 수 있다.
본 명세서에서 '분배 장비'는 가스 및 화학 물질을 분배하는 장비로서, 반도체 제조 공정에 필요한 특수 가스를 여러 반도체 생산 장비에 분배하여 공급하는 장비를 의미한다.
이러한 특수 가스(H2, CO2,)는 폭발성, 인화성, 질식성, 등의 특성으로 누출 시 심각한 위험에 노출될 수 있기 때문에 가스가 누출되어 검출되는 즉시 분배 장비가 각 장비로 분배 중인 가스를 차단할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 명세서에서 토출부(123)에 연결되는 배관(P1, P2)이라 함은, 철거 대상 배관(P1, P2) 또는 철거 대상 배관(P1, P2)이 연결되는 분배 장비와 연결되는 연결 배관을 의미한다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(125)는 유입부(121)와 토출부(123) 사이에 배치되는 것으로, 유입부(121)와 토출부(123)의 내부에서의 유동 경로를 개폐할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 유입부(121)와 토출부(123)는 내부가 중공으로 형성되며 유체(F1, F2)의 유동 경로를 제공하며, 서로 연통될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(125)는 유입부(121) 또는 토출부(123) 상에 배치되거나, 일측은 유입부(121)와 연결되고, 이에 대향하는 타측은 토출부(123)에 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(125)는 복수 개가 구비될 수 있고, 유로부(120), 구체적으로 유입부(121), 토출부(123)의 내부에서 유동되는 유체(F1, F2)의 유동 경로를 개폐할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 밸브부(125)는 볼 밸브, 다이어프램(diaphragm)이 설치되며 유로 넓이를 변화시켜 유량을 조절할 수 있는 다이어프램 밸브, 기체의 압력을 설정 및 조절할 수 있는 레귤레이터(regulator) 등을 포함할 수 있다.
그러나 이에 한정하는 것은 아니고, 하우징(111)의 내부에 설치되며, 유입부(121), 토출부(123)와 연결됨으로 인하여 유입부(121), 토출부(123)의 내부에서 유동되는 유체(F1, F2)의 유동 경로를 개폐할 수 있는 기술적 사상 안에서 다양한 변형 실시가 가능하다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드부(130)는 본체부(110)의 내부에 설치되는 것으로, 본체부(110)의 내부 공간을 복수 개의 영역으로 구획하며, 복수 개의 상기 영역이 연통되도록 통과홀부(131)가 형성될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드부(130)가 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에 설치되며, 하우징(111)의 내부 영역을 2개의 상측, 하측 영역(도 1 기준)으로 구획할 수 있다.
본 발명에서 가이드부(130)는 하우징(111)과 별물로 구성되며, 하우징(111)에 탈착가능하게 결합될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니고 하우징(111)과 일체로 형성되는 등 다양한 변형 실시가 가능하다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드부(130)에는 통과홀부(131)가 형성될 수 있다.
통과홀부(131)가 형성됨으로 인하여 가이드부(130)의 상측에 형성되는 하우징(111)의 내부에서 유입부(121), 토출부(123)를 통해 외부로 비산되는 유체(F1, F2)가 중력에 의해 하측(도 1 기준)으로 유동되고, 통과홀부(131)를 통과하여 가이드부(130)의 하측에 형성되는 하우징(111)의 내부로 유동될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 가이드부(130)의 하측에 형성되는 하우징(111)의 내부에는 저장부(140)가 배치되며, 저장부(140), 구체적으로 저장본체(141)에 형성되는 유체투입구(142)를 통해 저장본체(141)의 내부에 중성화 작업에서 발생되는 유해 물질이 저장될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드부(130)의 일면은 가이드부(130) 상에 형성되는 통과홀부(131)를 향해 하향 경사지게 형성될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명에서 통과홀부(131)는 가이드부(130)의 중앙에 형성되나, 이에 한정하는 것은 아니고 하향 경사지게 형성되는 가이드부(130)의 일면을 따라 유해 물질이 유동되며 통과홀부(131)를 통과할 수 있는 기술적 사상 안에서 다양한 변형 실시가 가능하다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 저장부(140)는 본체부(110)의 내부에 설치되는 것으로, 가이드부(130)의 하측에 배치되고, 가이드부(130)를 통과하여 유입되는 유해 물질이 저장될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 저장부(140)는 저장본체(141), 마개부(145), 저장손잡이부(147)를 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 저장본체(141)는 저장부(140)의 외관을 형성하는 것으로, 내부가 중공으로 형성될 수 있다. 저장본체(141)의 일측(도 1 기준 상측)에는 유체투입구(142)가 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 저장본체(141)에 유체투입구(142)가 형성됨으로 인하여 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 상측(도 1 기준) 영역에서 통과홀부(131)를 통해 하측(도 1 기준) 영역으로 유입되는 유해 물질이 저장본체(141)의 내부에 유입될 수 있다.
다시 말하여 배관(P1, P2)을 철거하는 과정에서, 배관(P1, P2) 중성화 작업에서 발생하는 유독한 기체 또는 액체가 본체부(110)의 내부에 잔존하게 되는데, 이러한 기체 또는 액체가 저장본체(141)로 유입됨으로 인하여 중성화 작업이 완료된 후 안전하게 유해 물질을 처리할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유체투입구(142)는 저장본체(141)가 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에 삽입 배치되는 경우, 가이드부(130)에 형성되는 통과홀부(131)의 위치에 대응되도록 저장본체(141) 상에 형성될 수 있다.
이로 인하여 유로부(120)가 배치되는 하우징(111)의 상측 영역(도 1 기준)에서 발생, 비산되는 기체 또는 액체 등의 유해 물질이 가이드부(130)에 형성되는 통과홀부(131)를 통과해 바로 유체투입구(142)를 통해 저장본체(141)에 유입될 수 있도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유체투입구(142)의 상단부는 가이드부(130)의 하면(도 1 기준)과 접촉될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유체투입구(142)의 상단부 둘레를 따라 탄성 변형이 가능한 접촉부재(도면 미도시)가 결합될 수 있다.
접촉부재가 탄성 변형 재질로 형성됨으로 인하여 유체투입구(142)와 가이드부(130)가 접촉 시 밀착될 수 있고, 가이드부(130)와 저장부(140) 사이에 형성되는 공간을 통해 가스 또는 액체 등의 유해 물질이 비산, 유출되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마개부(145)는 유체투입구(142)를 개폐하는 것으로, 저장본체(141)에 결합될 수 있다.
마개부(145)는 저장본체(141)에 나사 결합될 수 있으며, 구체적으로 저장본체(141)에 형성되는 유체투입구(142)의 외주면을 따라 나사산이 돌출 형성되고, 이와 마주보는 마개부(145)의 내주면 둘레를 따라 나사홈이 형성될 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 저장손잡이부(147)는 저장본체(141)에 파지가능하게 결합되는 것으로, 복수 개가 구비될 수 있다. 저장손잡이부(147)는 적어도 1회 이상 절곡되며 저장본체(141)에 결합될 수 있다.
이로 인하여 작업자는 저장손잡이부(147)를 파지하여 저장본체(141)를 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에 삽입 배치하거나, 하우징(111)으로부터 저장본체(141)를 용이하게 꺼낼 수 있는 효과가 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비산방지부(150)는 유로부(120)와 마주보며 하우징(111)에 형성되는 개구부(112)를 커버가능한 것으로, 본체부(110)에 결합될 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비산방지부(150)는 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부 공간 중에 유로부(120)가 배치되는 상측 영역에 형성되는 개구부(112)를 커버할 수 있다.
비산방지부(150)는 판 형상으로 형성되며, 투명한 재질로 형성될 수 있다. 이로 인하여 비산방지부(150)가 하우징(111)의 상측(도 1 기준) 영역에 형성되는 개구부(112)를 커버하여도 하우징(111)의 내부를 작업자가 볼 수 있으며, 작업자가 유로부(120)의 상태를 시각적으로 확인할 수 있는 효과가 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비산방지부(150)는 비산방지본체(151), 투입막(155)을 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비산방지본체(151)는 하우징(111)에 결합되는 것으로, 적어도 하나 이상의 홀(152)이 형성될 수 있다.
본 발명에서는 작업자가 두 팔을 하우징(111)으로 집어 넣을 수 있도록 홀(152)이 2개가 형성되나, 이에 한정하는 것은 아니고 1개가 형성되거나, 3개 이상이 형성되는 등 다양한 변형 실시가 가능하다.
도 1, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 투입막(155)은 비산방지본체(151)에 형성되는 홀(152)에 결합되는 것으로, 미리 설정되는 절개 영역(156)이 절개 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 투입막(155)은 고무 재질로 형성되며, 탄성 복원력을 가질 수 있다.
이로 인하여 절개 영역(156)이 형성되는 부분은 평상시에는 서로 밀착되며 하우징(111)의 내부에 존재하는 가스 또는 액체 등의 유해 물질이 외부로 유출되는 것을 방지하고, 작업자가 유로부(120)를 조작하기 위하여 투입막(155)에 형성되는 절개 영역(156)을 통해 하우징(111)의 내부로 손을 넣을 수 있는 효과가 있다.
작업자의 유로부(120) 조작이 완료된 후에는 투입막(155), 구체적으로 절개 영역(156)을 통해 외부로 손을 뺄 수 있으며, 투입막(155)을 통해 본체부(110)의 외부로 손을 뺀 경우에 탄성 복원력으로 인하여 절개 영역(156)이 다시 밀착되며 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에 있는 유해 물질이 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이동롤러부(160)는 본체부(110)에 연결되는 것으로, 지면과 구름 접촉이 가능하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 이동롤러부(160)는 복수 개가 구비될 수 있고, 이로 인하여 반도체 설비에 연결되며 철거 대상인 배관(P1, P2)이 위치한 곳으로 본체부(110)를 이동시킬 수 있다.
이동롤러부(160)는 롤러(roller)를 포함하며, 롤러가 지면에 구름 접촉됨으로 인하여 작업자가 본체부(110)를 밀어 철거용 배관(P1, P2)이 있는 곳에 본체부(110)를 위치시킬 수 있고, 철거 대상 배관(P1, P2)에 대한 중성화 작업 준비 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(100)의 작동원리 및 효과에 관하여 설명한다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(100)는 본체부(110), 유로부(120), 가이드부(130), 저장부(140), 비산방지부(150), 이동롤러부(160)를 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 이동롤러부(160)가 본체부(110)에 회전가능하게 결합됨으로 인하여 작업자는 본체부(110)를 밀어 철거 대상용 배관(P1, P2)이 있는 곳까지 신속하게 이동시킬 수 있어 중성화 작업 시간이 단축될 수 있는 효과가 있다.
도 1을 참조하면, 본체부(110)에 설치되는 유로부(120)는 유입부(121), 토출부(123), 밸브부(125)를 포함하며, 유입부(121)는 철거 대상인 반도체 설비의 배관(P1, P2) 내부에 잔존하는 화학 물질을 제거할 수 있도록 질소 가스, DI 액 등의 중성화 매개체인 유체(F1, F2)를 공급하는 중성화 용액 공급 장비(도면 미도시)와 연결될 수 있다.
구체적으로 본체부(110)에 설치되는 유로부(120), 구체적으로 유입부(121)로 질소 가스, DI 액이 유입되는데, 토출부(123)를 통하여 철거 대상인 배관(P1, P2)으로 질소 가스를 공급하여 외부로 이물질을 제거하고, 그 다음으로 DI 액을 토출부(123)를 통하여 배관(P1, P2)의 내부에 공급하여 중성화시키는 중성화 작업이 수행된다.
이와 같이 유입부(121)와 토출부(123)는 연통되며, 유입부(121)와 토출부(123)의 사이에 밸브부(125)가 배치될 수 있다. 밸브부(125)는 유입부(121)에서 토출부(123)를 통해 철거 대상용 배관(P1, P2)으로 공급되는 질소 가스나 DI 액 등의 유체(F1, F2)의 유동 경로를 개폐할 수 있다.
이에 더하여 유로부(120)에는 질소 가스의 유량을 계측할 수 있는 질소 유량 계측부(도면 미도시), DI 액의 유량을 측정하기 위한 DI 유량 계측부(도면 미도시)가 설치될 수 있고, 복수 개의 밸브부(125)가 배치될 수 있는 우회 라인(도면부호 미설정)이 형성될 수 있다. 이러한 우회 라인은 바이패스(bypass)관으로서 활용될 수 있다.
밸브부(125)는 레귤레이터를 포함할 수 있고, 공급되는 질소 가스의 압력을 조절할 수 있고, 작업자가 질소 가스의 압력을 확인할 수 있도록 하는 효과가 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 비산방지부(150)는 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)에 형성되는 개구부(112)를 커버하는 것으로, 투명한 재질로 형성될 수 있다.
이로 인하여 작업자는 하우징(111)의 내부를 볼 수 있으며, 유입부(121)를 통해 유입되는 고압의 질소 가스, DI 액 등의 유체(F1, F2)의 압력으로 인하여 토출부(123)와 직간접적으로 연결되는 철거 대상용 배관(P1, P2)의 중성화 작업 중 철거 대상인 배관(P1, P2)의 내부에 존재하는 유해 물질이 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에서 유출되는 경우가 있는데, 하우징(111)의 내부에 존재하는 유해 물질이 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있다.
도 1, 도 2를 참조하면, 비산방지부(150)는 비산방지본체(151), 투입막(155)을 포함하며, 투입막(155)이 고무 재질로 형성되고, 절개 영역(156)이 형성됨으로 인하여 평상 시에는 절개 영역(156)이 서로 밀착되며 유해 물질의 외부 유출을 차단하고, 작업자가 밸브부(125)를 조작하는 경우에는 투입막(155), 구체적으로 절개 영역(156)을 통해 손을 하우징(111)의 내부로 집어넣어 유해 물질과의 접촉을 최소화하며 밸브부(125)를 조작할 수 있는 효과가 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 가이드부(130)가 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에 설치되고, 하우징(111)을 상하(도 1 기준)영역으로 구획할 수 있다.
가이드부(130)에는 통과홀부(131)가 형성되며, 통과홀부(131)로 갈수록 하향 경사지게 경사면(132)이 형성됨으로 인하여 하우징(111)의 내부에 존재하는 유해 물질이 통과홀부(131)를 통해 저장부(140)로 유동될 수 있도록 한다.
가이드부(130)로 구획되는 하우징(111)의 내부 공간에서 가이드부(130)의 하측에 형성되는 영역에는 저장부(140)가 삽입될 수 있다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 저장부(140)는 저장본체(141), 마개부(145), 저장손잡이부(147)를 포함할 수 있다.
작업자는 저장손잡이부(147)를 파지하여 저장본체(141)를 하우징(111)의 내부에 삽입 배치할 수 있다. 저장본체(141)는 외주면 둘레를 따라 가이드홈(143)이 홈부의 형상으로 형성되고, 저장본체(141)의 외주면과 마주보는 하우징(111)의 내주면 둘레를 따라 가이드돌기(117)가 돌출 형성될 수 있다.
이로 인하여 저장본체(141)가 미리 설정되는 경로를 따라 하우징(111)의 내부에 삽입 배치될 수 있고, 저장본체(141)에 형성되는 유체투입구(142)가 가이드부(130)에 형성되는 통과홀부(131)와 중심을 공유하며 배치될 수 있는 효과가 있다.
이에 더하여 가이드부(130)에 형성되는 통과홀부(131)와 저장본체(141)에 형성되는 유체투입구(142)의 위치가 대응됨으로 인하여 가이드부(130)에 형성되는 경사면(132)을 따라 통과홀부(131)를 통과하는 유해 물질이 유체투입구(142)를 통해 저장본체(141)로 바로 유동될 수 있는 효과가 있다.
중성화 작업이 완료된 후 작업자는 하우징(111)에 힌지 결합되는 커버부(115)를 열고, 마개부(145)로 유체투입구(142)에 결합시켜 유해 물질의 외부 유출을 차단하고, 저장손잡이부(147)를 파지하여 저장본체(141)를 외부로 뺄 수 있다. 작업자는 저장본체(141)를 유해 물질 처리 장비까지 이동시킬 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(100)는 철거 대상용 배관(P1, P2)의 내부에 잔존하는 화학 용액 등의 유해 물질과 질소 가스, DI 액 등의 유체(F1, F2)의 혼합 용액이 공급되며 중성화 정도를 확인하고, 내부에 발생하는 각종 가스와 혼합 용액을 제거할 수 있는 효과가 있다.
또한, 저장부(140)가 하우징(111)에 설치됨으로 인하여 중성화 작업 중 본체부(110), 구체적으로 하우징(111)의 내부에서 유출되는 유해 물질을 안정적으로 저장할 수 있는 효과가 있다.
또한, 이동롤러부(160)로 인하여 본체부(110)를 신속하게 철거 대상인 배관(P1, P2)이 있는 곳까지 신속하게 이동시킬 수 있어 중성화 작업 시간이 단축되는 효과가 있다.
이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(200)의 구성, 작동원리 및 효과에 관하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 사시도이다. 도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치를 도시한 사시도이다.
도 4, 도 5를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(200)는 본체부(210), 유로부(220), 가이드부(230), 저장부(240), 제어부(250), 이동롤러부(260)를 포함할 수 있다.
도 4를 참조하면, 제어부(250)는 본체부(210)에 설치되는 것으로, 유로부(220)와 전기적으로 연결되며 유로부(220)의 내부에서의 유체(F1, F2)의 유동 경로를 제어할 수 있다.
도 4를 참조하면, 제어부(250)는 커버부(215)에 설치되나, 이에 한정하는 것은 아니고 유로부(220)와 전기적으로 연결될 수 있는 기술적 사상 안에서 하우징(211)에 설치되는 등 다양한 변형 실시가 가능하다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유로부(220)는 본 발명의 일 실시예에 따른 유로부(120)와 마찬가지로 유입부(221), 토출부(223), 밸브부(225)를 포함할 수 있고, 제어부(250)는 밸브부(225)와 전기적으로 연결되며 밸브부(225)의 구동을 제어할 수 있다.
작업자는 본체부(210)에 설치되는 제어부(250)를 조작하여 밸브부(225)로 전기적 신호를 전달하고, 제어부(250)로부터 전기적 신호를 전달받은 밸브부(225)가 개폐되며 유로부(220)의 내부에서 유동되는 질소 가스, DI 액 등의 유체(F1, F2)의 유동 경로가 개폐될 수 있다.
제어부(250)는 복수 개의 밸브부(225)와 독립적으로 연결될 수 있으며, 중성화 작업 공정에 따라 미리 설정되는 밸브부(225)를 개폐하여 질소 가스, DI 액 등의 유체(F1, F2)를 독립적으로 철거 대상 배관에 공급할 수 있는 효과가 있다.
도 4를 참조하면, 제어부(250)가 본체부(210)의 외주면에 설치됨으로 인하여 작업자가 제어부(250)를 조작, 유로부(220)의 내부에서의 유체(F1, F2)의 유동 경로를 제어할 수 있다.
제어부(250)는 표시부(도면부호 미설정)를 포함할 수 있으며, 유로부(220)로부터 정보를 전달받아, 질소 가스의 유량, DI 액의 유량, 잔압, 하우징(211)의 내부 압력 등에 관한 정보를 작업자에게 전달할 수 있다.
이로 인하여 작업자는 커버부(215)를 열지 않고도, 하우징(211)의 내부 상황을 인지할 수 있으며, 하우징(211)의 내부에 설치되는 유로부(220), 구체적으로 밸브부(225)를 전자식으로 구동시킴으로써 하우징(211)의 내부에 존재하는 유해 물질과의 접촉을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(200)는 하우징(211)에 형성되는 개구부(212)를 커버하는 비산방지부의 구성을 포함하지 않고, 유로부(220)와 전기적으로 연결되는 제어부(250)가 본체부(210)에 설치되는 것을 제외하고는, 본체부(210), 유로부(220), 가이드부(230), 저장부(240), 이동롤러부(260)의 구성, 작동원리 및 효과가 본 발명의 일 실시예에 따른 배관 철거용 중성화 장치(100)의 그것들과 동일하므로 이와 중복되는 범위에서 자세한 설명은 생략한다.
본 발명에서 설명하는 특정 실행들은 일 실시 예들로서, 어떠한 방법으로도 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다. 명세서의 간결함을 위하여, 종래 전자적인 구성들, 제어 시스템들, 소프트웨어, 상기 시스템들의 다른 기능적인 측면들의 기재는 생략될 수 있다. 또한, 도면에 도시된 구성 요소들 간의 선들의 연결 또는 연결 부재들은 기능적인 연결 및/또는 물리적 또는 회로적 연결들을 예시적으로 나타낸 것으로서, 실제 장치에서는 대체 가능하거나 추가의 다양한 기능적인 연결, 물리적인 연결, 또는 회로 연결들로서 나타내어질 수 있다. 또한, "필수적인", "중요하게" 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.
따라서, 본 발명의 사상은 상기 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 또는 이로부터 등가적으로 변경된 모든 범위는 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
100, 200: 배관 철거용 중성화 장치
P1, P2: 배관 F1, F2: 유체
110, 210: 본체부 111, 211: 하우징
112, 212: 개구부 115, 215: 커버부
117, 217: 가이드돌기 120, 220: 유로부
121, 221: 유입부 123, 223: 토출부
125, 225: 밸브부 130, 230: 가이드부
131, 231: 통과홀부 132, 232: 경사면
140, 240: 저장부 141, 241: 저장본체
142, 242: 유체투입구 143, 243: 가이드홈
145, 245: 마개부 147, 247: 저장손잡이부
150: 비산방지부 151: 비산방지본체
152: 홀 155: 투입막
156: 절개 영역 160, 260: 이동롤러부
250: 제어부

Claims (6)

  1. 내부가 중공으로 형성되는 본체부;
    철거 대상 배관과 연결되며, 상기 본체부의 내부에 설치되고, 외부로부터 유체를 공급받아 상기 배관으로의 유체의 유동 경로를 제공하는 유로부;
    상기 본체부의 내부에 설치되며 상기 본체부의 내부 공간을 복수 개의 영역으로 구획하고, 복수 개의 상기 영역이 연통되도록 통과홀부가 형성되는 가이드부; 및
    상기 본체부의 내부에 설치되며, 상기 가이드부의 하측에 배치되고 상기 가이드부를 통과하여 유입되는 유체가 저장되는 저장부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체부는,
    내부가 중공이고 일측에 개구부가 형성되는 하우징; 및
    상기 하우징에 연결되며, 상기 개구부를 개폐하는 커버부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 유로부와 마주보며 상기 하우징에 형성되는 상기 개구부를 커버가능한 비산방지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 본체부에 설치되며 상기 유로부와 전기적으로 연결되며, 상기 유로부의 내부에서의 유체의 유동 경로를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유로부는 복수 개의 철거 대상 배관과 연결이 가능한 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 본체부에 연결되며 지면과 구름 접촉가능한 이동롤러부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 철거용 중성화 장치.
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Citations (6)

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KR20010107246A (ko) * 2000-05-26 2001-12-07 황인길 화학용액 공급배관의 세정장치
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