KR102161529B1 - Trap module of sublimation purifying appartus - Google Patents

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KR102161529B1
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KR1020190031722A
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Inventor
이석운
이종헌
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시너스텍 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a trap module of a sublimation purification device. More specifically, the present invention relates to a trap module of a sublimation purification device having an interchangeable inner chamber. According to an embodiment of the present invention, the trap module of a sublimation purification device comprises: an outer chamber having a first inner space, formed with a first through hole, and formed with a door in which one side surface can be opened; and an inner chamber disposed in the first inner space, having a second inner space, and formed with a second through hole. The inner chamber is formed with a trap unit which blocks an object to be purified of a gas state located in the second inner space from being moved to a vacuum line. A pump module is coupled to the outer chamber to suck a fluid located in the first inner space and the second inner space. A main body module is inserted into the second inner space through the first through hole and the second through hole to move the object to be purified of the gas state to the second inner space.

Description

승화 정제 장치의 트랩모듈{TRAP MODULE OF SUBLIMATION PURIFYING APPARTUS}Trap module of sublimation purification device {TRAP MODULE OF SUBLIMATION PURIFYING APPARTUS}

본 발명은 승화 정제 장치 트랩모듈에 관한 것으로서, 더 자세하게는 교환 가능한 이너챔버를 갖는 승화 정체 장치의 트랩모듈에 관한 것이다. The present invention relates to a sublimation purification apparatus trap module, and more particularly, to a trap module of a sublimation stasis apparatus having an interchangeable inner chamber.

유기전계 발광소자에는 다양한 유기물이 사용된다. 이러한 유기물에 불순물이 혼입되는 경우, 불순물로 인해 발광 강도 및 발광 효율이 크게 저하될 수 있다. 즉, 유기물의 순도는 유기전계 발광소자의 발광 특성에 큰 영향을 미칠 수 있다.Various organic materials are used in the organic electroluminescent device. When impurities are mixed in such an organic material, luminous intensity and luminous efficiency may be greatly reduced due to the impurities. That is, the purity of the organic material can have a great influence on the light emitting characteristics of the organic light emitting device.

따라서, 유기전계 발광소자 등의 제조에 있어서 유기물을 정제하는 공정이 필수적으로 요구되며, 유기물을 정제하는 장치로서 승화점 차이를 이용해 유기물과 불순물을 분리하는 승화 정제 장치가 널리 이용되고 있다. 승화 정제 장치는 정제 대상물을 기화 및 승화시키는 본체모듈, 본체모듈을 진공상태로 만드는 펌프모듈 및 본체모듈과 펌프모듈 사이에 형성되며, 펌프모듈 내로 기체 상태의 정제대상물이 침입하지 않도록 이들의 이동을 차단하는 트랩부가 내부에 형성된 챔버 형태의 트랩모듈로 이루어진다. Accordingly, in manufacturing an organic light emitting device, a process of purifying an organic material is essentially required, and as an apparatus for purifying an organic material, a sublimation purification apparatus for separating an organic material from an impurity using a difference in sublimation point is widely used. The sublimation purification device is formed between the main body module that vaporizes and sublimates the object to be purified, the pump module that makes the main module into a vacuum state, and the main module and the pump module, and prevents the gaseous purification object from entering the pump module. It consists of a trap module in the form of a chamber formed in the trap part to block.

이때, 기체 상태의 정제 대상물은 트랩부에 도달하기 전, 트랩모듈의 내벽과 충돌하며 부착되기도 하는데, 이러한 부착이 반복되어 일정두께 이상이 되면, 부착된 물질의 박리현상이 발생하고, 박리된 물질은 오염원으로 작용할 수 있다. 즉, 사용자는 주기적으로 트랩모듈 전반에 부착된 물질을 제거하는 세정 작업을 진행해야 한다.At this time, the gaseous purification object may be attached by colliding with the inner wall of the trap module before reaching the trap part. If such attachment is repeated and exceeds a certain thickness, the attached substance is peeled off, and the peeled substance Can act as a source of pollution. In other words, the user must periodically perform a cleaning operation to remove substances attached to the entire trap module.

그런데, 세정 작업을 위해서는 승화 정제 장치를 다운시킨 후, 트랩모듈을 본체모듈 및 펌프모듈과 분리하여 세정을 진행하고 다시 결합하는 과정을 거쳐야 함으로, 세정 작업에 많은 시간이 요구될 수 밖에 없다.However, for the cleaning operation, after the sublimation purification device is turned down, the trap module is separated from the main module and the pump module, cleaned, and combined again, so that a lot of time is required for the cleaning operation.

따라서, 내벽에 승화된 물질이 부착되는 것을 방지하고, 교환이 용이한 이너챔버가 형성된 트랩모듈에 대한 요구가 생기게 되었다. Accordingly, there has been a demand for a trap module in which an inner chamber is formed that prevents the sublimated material from adhering to the inner wall and is easily replaced.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 내벽에 승화된 물질이 부착되는 것이 방지하고, 교환이 용이한 이너챔버가 형성된 트랩모듈을 제공하는 것이다. The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a trap module in which an inner chamber is formed that prevents the sublimated material from adhering to the inner wall and is easily replaced.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems that are not mentioned can be clearly understood by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs from the following description. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는 제1내측공간을 가지며, 제1내측공간과 연통되는 제1관통공이 형성되고, 일측면이 개폐 가능한 도어로 형성되는 아우터챔버와, 제1내측공간에 배치되며 제2내측공간을 가지고, 제1관통공과 대응되는 위치에 제2내측공간과 연통되는 제2관통공이 형성되는 이너챔버를 포함하고, 이너챔버는 제2내측공간에 위치한 기체 상태의 정제 대상물이 펌프모듈로 이동되는 것을 차단하는 트랩부가 형성되며, 펌프모듈은 아우터챔버에 결합되어 제1내측공간 및 제2내측공간에 위치한 유체를 흡입하고, 본체모듈은 제1관통공 및 제2관통공을 통해 제2내측공간으로 삽입되어 공간에 위치한 기체 상태의 정제 대상물이 제2내측공간으로 이동 가능한 승화 정제 장치의 트랩모듈을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, an embodiment of the present invention includes an outer chamber having a first inner space, a first through hole communicating with the first inner space, and one side of the outer chamber formed as an openable door, 1, an inner chamber disposed in the inner space, having a second inner space, and forming a second through hole communicating with the second inner space at a position corresponding to the first through hole, and the inner chamber is a gas located in the second inner space A trap part is formed to block the movement of the purified object in the state to the pump module, the pump module is coupled to the outer chamber to suck the fluid located in the first inner space and the second inner space, and the main body module has a first through hole and It provides a trap module of a sublimation purification apparatus that is inserted into a second inner space through a second through hole so that a gaseous purification object located in the space can be moved to the second inner space.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 이너챔버는 하면이 개구된 제1내부공간이 형성되며, 본체모듈의 일영역이 삽입되는 제2관통공이 형성되는 제1몸체부와, 상면 및 하면이 개구된 제2내부공간이 형성되며, 제2내부공간을 이동하는 기체 상태의 정제대상물의 이동을 차단하는 트랩부와, 상면이 개구된 제3내부공간이 형성되며, 펌프모듈이 연결되는 제3관통공이 형성되는 제2몸체부를 포함하고, 제1몸체부, 제2몸체부 및 트랩부는 외주면에 적어도 하나의 손잡이가 형성되고, 제1내부공간 내지 제3내부공간은 서로 연통될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the inner chamber has a first inner space having an open bottom surface, a first body portion having a second through hole into which a region of the main body module is inserted, and an upper surface and an open bottom surface. A second inner space is formed, a trap part blocking the movement of a gaseous purification object moving through the second inner space, a third inner space with an open top surface is formed, and a third through hole to which the pump module is connected. Including a second body portion to be formed, the first body portion, the second body portion, and the trap portion has at least one handle formed on the outer circumferential surface, and the first inner space to the third inner space may communicate with each other.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 제1몸체부, 제2몸체부 트랩부는 각 면이 분리 가능하게 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the first body portion and the second body portion trap portion may be formed to be detachable on each side.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 이너챔버는 계단 구조를 갖도록 다단으로 절곡된 링 형상의 연결부를 더 포함하며, 제1몸체부는 제2관통공의 테두리를 따라 수직방향으로 연장되는 연장부가 형성되고, 최소 직경을 갖는 연결부의 일영역은 본체모듈이 삽입되며, 최대 직경을 갖는 연결부의 타영역은 연장부가 삽입될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the inner chamber further includes a ring-shaped connection portion bent in multiple stages to have a stepped structure, and the first body portion is formed with an extension portion extending in a vertical direction along an edge of the second through hole. , In one region of the connection portion having the minimum diameter, the main body module is inserted, and the other region of the connection portion having the maximum diameter may be inserted into the extension portion.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 트랩부는 제1몸체부 및 제2몸체부와 결합되며, 상면 및 하면이 개구된 제2내부공간을 갖는 프레임부재와, 제2내부공간에 결합되는 복수의 타공판을 포함할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the trap portion is coupled to the first body portion and the second body portion, the frame member having a second inner space with open upper and lower surfaces, and a plurality of perforated plates coupled to the second inner space It may include.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 어느 하나의 타공판은 인접한 타공판과 중공의 위치가 중첩되지 않을 수 있다.In one embodiment of the present invention, the position of the adjacent perforated plate and the hollow may not overlap with any one perforated plate.

본 발명의 일 실시예는 아우터챔버 내에 별도의 이너챔버가 분리 가능하게 형성됨으로써, 기체 상태의 정제대상물이 이너챔버에만 부착되게 되며, 필요에 따라 이너챔버를 교체하여 사용할 수 있다. 즉, 내벽에 일정량 이상의 정제 대상물이 쌓인 경우, 트랩모듈에 결합된 본체모듈 및 펌프모듈을 분리한 후, 트랩모듈을 전반적으로 세정해야 하는 종래의 발명과 달리, 본 발명은 정제대상물이 부착되는 이너챔버만을 교체하면 됨으로, 세정에 따른 공정 지연이 발생하지 않는다.According to an exemplary embodiment of the present invention, since a separate inner chamber is detachably formed in the outer chamber, a gaseous purification object is attached only to the inner chamber, and the inner chamber can be replaced if necessary. That is, when a certain amount or more of an object to be purified is accumulated on the inner wall, the main body module and the pump module coupled to the trap module are separated, and then the trap module is generally cleaned, unlike the conventional invention, the present invention is an inner to which the object to be purified is attached. Since only the chamber needs to be replaced, there is no process delay due to cleaning.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The effects of the present invention are not limited to the above effects, and should be understood to include all effects that can be inferred from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랩모듈의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랩모듈의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 이너챔버의 분해도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랩모듈이 적용된 승화 정제 장치를 도시하는 도면이다. 1 is a perspective view of a trap module according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view of a trap module according to an embodiment of the present invention.
3 is an exploded view of an inner chamber according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram showing a sublimation purification apparatus to which a trap module is applied according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be implemented in various different forms, and therefore is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and similar reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected (connected, contacted, bonded)" with another part, it is not only "directly connected", but also "indirectly connected" with another member in the middle. "Including the case. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further provided, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or a combination thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance.

트랩모듈(10)에 대해 상세하게 설명하기 앞서 도 4를 참조하여 트랩모듈(10)이 적용되는 승화 정제 장치(1)에 대해 간략하게 설명한다.Before describing the trap module 10 in detail, the sublimation purification apparatus 1 to which the trap module 10 is applied will be briefly described with reference to FIG. 4.

승화 정제 장치(1)는 승화점 차를 이용해 정제대상물로부터 유기물과 불순물을 분리하는 장치로서, 본체모듈(20), 트랩모듈(10) 및 펌프모듈(30)를 포함한다.The sublimation purification apparatus 1 is an apparatus for separating organic substances and impurities from a purification object using a sublimation point difference, and includes a main body module 20, a trap module 10, and a pump module 30.

본체모듈(20)은 공간 내에서 정제대상물을 기화시켜 유기물과 불순물로 분리하고, 기체 상태의 유기물과 불순물을 승화시키는 구성요소이다. 이때, 본체모듈(20)은 온도구배를 형성하는 히터가 구비될 수 있으며, 히터에 의해 기체 상태의 유기물 및 불순물은 공간 내의 서로 위치에서 승화될 수 있다.The main body module 20 is a component that vaporizes an object to be purified in a space to separate it into organic matter and impurities, and sublimates the organic matter and impurities in a gaseous state. In this case, the main body module 20 may be provided with a heater for forming a temperature gradient, and by the heater, organic substances and impurities in a gaseous state may be sublimated at each other in the space.

펌프모듈(30)은 공간 내에 위치한 유체를 흡입하기 위한 구성요소이다. 펌프모듈(30)에 의해 공간이 진공 상태가 되는 경우, 기체 상태의 유기물과 불순물은 자유운동할 수 있다.The pump module 30 is a component for sucking a fluid located in the space. When the space is in a vacuum state by the pump module 30, organic substances and impurities in a gaseous state may freely move.

트랩모듈(10)은 펌프모듈(30)내로 기체 상태의 정제 대상물이 유입되지 않도록, 이들의 이동을 차단하는 구성요소이다. 이때, 트랩모듈(10)은 본체모듈(20)과 펌프모듈(30) 사이에 결합될 수 있으며, 본체모듈(20)의 공간과 연통할 수 있고, 내부에 위치한 유체가 펌프모듈(30)로 흡입될 수 있다.The trap module 10 is a component that blocks the movement of the gaseous purification targets so as not to flow into the pump module 30. At this time, the trap module 10 may be coupled between the body module 20 and the pump module 30, and communicate with the space of the body module 20, and the fluid located inside the pump module 30 May be inhaled.

본 발명은 상술한 구성을 포함하는 승화 정제 장치(1)의 트랩모듈(10)에 관한 발명으로 이하에서 자세히 설명하고자 한다.The present invention will be described in detail below as the invention related to the trap module 10 of the sublimation purification apparatus 1 including the above-described configuration.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트랩모듈(10)의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 트랩모듈(10)의 단면도이다.1 is a perspective view of a trap module 10 according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view of the trap module 10 according to an embodiment of the present invention.

트랩모듈(10)은 아우터챔버(11) 및 아우터챔버(11) 내에 수용되는 이너챔버(12)를 포함할 수 있다.The trap module 10 may include an outer chamber 11 and an inner chamber 12 accommodated in the outer chamber 11.

아우터챔버(11)는 일측면이 개구된 제1내측공간을 갖는 몸체(111) 및 몸체(111)의 일측면에 힌지 결합되어, 회동에 따라 제1내측공간을 개방 또는 폐쇄하는 도어(112)를 포함할 수 있다. 이때, 도어(112)는 관통공이 형성될 수 있으며, 관통공에는 투명 유리 또는 수지 재질로 제조된 투시창(1121)이 결합될 수 있다. The outer chamber 11 is hinged to a body 111 having a first inner space with one side open and one side of the body 111, and opens or closes the first inner space according to rotation. It may include. In this case, the door 112 may have a through hole, and a viewing window 1121 made of a transparent glass or resin material may be coupled to the through hole.

또한, 아우터챔버(11)는 제1내측공간과 연통되며 상술한 본체모듈(20)의 일영역이 삽입되는 제1관통공(1111) 및 제1내측공간과 연통되며 상술한 펌프모듈(30)이 결합되는 진공배관(1113)이 형성될 수 있다. 이때, 제1관통공(1111)은 본체모듈(20)의 일영역의 외경과 동일한 형태 및 크기로 형성되고, 제1관통공(1111)에 삽입된 본체모듈(20)이 견고하게 지지될 수 있도록, 둘레를 따라 수직방향으로 제1연장부(1112)가 형성될 수 있다.In addition, the outer chamber 11 communicates with the first inner space and communicates with the first through hole 1111 and the first inner space into which one region of the body module 20 is inserted, and the pump module 30 described above The vacuum pipe 1113 to which this is coupled may be formed. At this time, the first through hole 1111 is formed in the same shape and size as the outer diameter of one area of the main body module 20, and the main body module 20 inserted into the first through hole 1111 can be firmly supported. Thus, the first extension 1112 may be formed in a vertical direction along the periphery.

한편, 진공배관(1113)은 일단부가 제1내측공간으로 돌출되게 형성될 수 있으며, 타단부는 외측을 향하도록 절곡되고, 결합구가 삽입 가능한 복수의 결합공이 형성될 수 있다. 즉, 펌프모듈(30)은 진공배관(1113)의 타단부에 결합구에 의해 결합될 수 있다.Meanwhile, the vacuum pipe 1113 may have one end formed to protrude into the first inner space, the other end may be bent toward the outside, and a plurality of coupling holes into which a coupling hole can be inserted may be formed. That is, the pump module 30 may be coupled to the other end of the vacuum pipe 1113 by a coupling hole.

본 발명의 일 실시예에 따라, 펌프모듈이 복수개인 경우, 아우터챔버(11)는 펌프모듈의 개수와 동일하게 진공배관이 형성될 수 있다. 도 1및 도 2는 두 개의 진공배관(1113, 1113')이 형성된 모습을 도시하고 있다. 이때, 하나의 진공배관에는 저진공 펌프모듈이 결합될 수 있으며, 다른 하나의 진공배관에는 고진공 펌프모듈이 결합될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, when there are a plurality of pump modules, the outer chamber 11 may have a vacuum pipe equal to the number of pump modules. 1 and 2 show a state in which two vacuum pipes 1113 and 1113' are formed. At this time, a low vacuum pump module may be coupled to one vacuum pipe, and a high vacuum pump module may be coupled to the other vacuum pipe.

이너챔버(12)는 아우터챔버(11)의 제1내측공간에 수용되어, 아우터챔버(11)의 내벽에 기체 상태의 정제대상물이 부착되는 것을 방지하는 구성요소로서, 제2내측공간이 형성될 수 있다. 또한, 이너챔버(12)는 제2내측공간과 연통되며 본체모듈(20)이 삽입되는 제2관통공(1211) 및 제2내측공간과 연통되며 진공배관(1113)이 삽입되는 제3관통공(1233)이 형성될 수 있다. 이때, 제2관통공(1211)은 상술한 본체모듈(20)의 일영역의 외경과 동일한 형태 및 크기로 형성될 수 있으며, 제3관통공(1233)은 진공배관의 일단의 외경과 동일한 형태 및 크기로 형성될 수 있다. 또한, 펌프모듈이 복수개인 경우, 이너챔버(12)는 펌프모듈의 개수와 동일하게 제3관통공이 형성될 수 있다. The inner chamber 12 is a component that is accommodated in the first inner space of the outer chamber 11 and prevents the gaseous purification object from adhering to the inner wall of the outer chamber 11, and a second inner space is formed. I can. In addition, the inner chamber 12 communicates with the second inner space and communicates with the second through hole 1211 into which the main body module 20 is inserted and the third through hole into which the vacuum pipe 1113 is inserted. (1233) may be formed. At this time, the second through hole 1211 may be formed in the same shape and size as the outer diameter of one area of the body module 20 described above, and the third through hole 1233 has the same shape as the outer diameter of one end of the vacuum pipe. And can be formed in size. In addition, when there are a plurality of pump modules, the inner chamber 12 may have a third through hole equal to the number of pump modules.

이너챔버(12)는 제2내측공간에 위치한 기체 상태의 정제 대상물이 펌프모듈(30)로 흡입되는 것을 차단하기 위한 트랩부(122)가 형성될 수 있다. 즉, 본체모듈(20)의 공간에 위치한 기체 상태의 정제대상물은 제2내측공간으로 이동될 수 있으며, 트랩부(122)에 의해 펌프모듈(30)로의 이동이 차단될 수 있다.The inner chamber 12 may be provided with a trap unit 122 for blocking a gaseous purification object located in the second inner space from being sucked into the pump module 30. That is, the gaseous purification object located in the space of the main body module 20 may be moved to the second inner space, and the movement to the pump module 30 may be blocked by the trap unit 122.

한편, 제1내측공간과 제2내측공간이 동일한 내부 압력을 갖도록, 이너챔버(12)의 제2내측공간은 완전히 밀폐되지 않는다.Meanwhile, the second inner space of the inner chamber 12 is not completely sealed so that the first inner space and the second inner space have the same internal pressure.

이하에서는 도 3을 참조하여, 이너챔버(12)에 대해 더욱 상세하게 설명하도록 한다.Hereinafter, the inner chamber 12 will be described in more detail with reference to FIG. 3.

이너챔버(12)는 제1몸체부(121), 제1몸체부(121)와 분리 가능하게 결합되는 트랩부(122) 및 트랩부(122)와 분리 가능하게 결합되는 제2몸체부(123)를 포함할 수 있다. The inner chamber 12 includes a first body portion 121, a trap portion 122 detachably coupled to the first body portion 121, and a second body portion 123 detachably coupled to the trap portion 122. ) Can be included.

제1몸체부(121)는 하면이 개구된 제1내부공간이 형성되고, 아우터챔버(11)내로 삽입된 본체모듈(20)의 일영역이 삽입될 수 있도록 측면에 제2관통공(1211)이 형성될 수 있다. 또한, 제1몸체부(121)는 제2관통공(1211)의 둘레를 따라 수직방향으로 연장되며, 제1관통공(1111)으로 삽입 가능한 제2연장부(1212)가 형성될 수 있다. 제1몸체부(121)는 제2연장부(1212)로 인해 아우터챔버(11)에 견고하게 고정될 수 있다.The first body portion 121 has a first inner space with an open bottom surface, and a second through hole 1211 on the side so that a region of the body module 20 inserted into the outer chamber 11 can be inserted. Can be formed. In addition, the first body portion 121 extends in a vertical direction along the circumference of the second through hole 1211, and a second extension portion 1212 that can be inserted into the first through hole 1111 may be formed. The first body portion 121 may be rigidly fixed to the outer chamber 11 due to the second extension portion 1212.

트랩부(122)는 상면 및 하면이 개구된 제2내부공간이 형성되고, 제2내부공간을 이동하는 기체 상태의 정제대상물의 이동을 차단할 수 있다. 이때, 트랩부(122)는 상면이 제1몸체부(121)의 하단에 결합되어, 제1내부공간과 연통될 수 있다. 한편, 트랩부(122)는 제2내부공간을 냉각시키거나, 기체 상태의 정제대상물의 이동을 물리적으로 방해하여 기체 상태의 정제대상물의 이동을 차단할 수 있다.The trap unit 122 may have a second inner space with an upper surface and a lower surface open, and block movement of a gaseous purification object moving in the second inner space. In this case, the upper surface of the trap part 122 may be coupled to the lower end of the first body part 121 to communicate with the first internal space. Meanwhile, the trap unit 122 may block the movement of the gaseous purification object by cooling the second internal space or physically obstructing the movement of the gaseous purification object.

본 발명의 일 실시예에 따라, 트랩부(122)는 프레임부재(1221) 및 복수의 타공판(1222)을 포함할 수 있다. 프레임부재(1221)는 상면 및 하면이 개구된 제2내부공간을 갖고, 타공판(1222)는 중공(1223)이 형성된 판 형태로 형성되고, 프레임부재(1221)의 내부에 분리 가능하게 결합될 수 있다. 이때, 타공판(1222)은 인접한 다른 타공판(1222)과 중공(1223)의 위치가 서로 중첩되지 않도록 프레임부재(1221)에 결합될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the trap unit 122 may include a frame member 1221 and a plurality of perforated plates 1222. The frame member 1221 has a second inner space with open upper and lower surfaces, and the perforated plate 1222 is formed in a plate shape with a hollow 1223, and can be detachably coupled to the inside of the frame member 1221. have. At this time, the perforated plate 1222 may be coupled to the frame member 1221 so that positions of the adjacent perforated plate 1222 and the hollow 1223 do not overlap each other.

한편, 도 2 및 도 3은 사각형 형상의 중공을 갖는 타공판에 대해 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 원형 또는 다각형 형상으로 형성될 수 있음은 물론이다. 또한, 타공판(1222)의 중공(1223)은 서로 상이한 형상으로 형성될 수 있다.Meanwhile, FIGS. 2 and 3 illustrate a perforated plate having a rectangular hollow, but the present invention is not limited thereto, and may be formed in a circular or polygonal shape. In addition, the hollows 1223 of the perforated plate 1222 may be formed in different shapes from each other.

제2몸체부(123)는 상면이 개구된 제3내부공간이 형성되며, 아우터챔버(11)에 형성된 진공배관(1113, 1113')이 삽입될 수 있도록 상면과 수직한 두 측면에 제3관통공(1233, 1233')이 형성될 수 있다. 제3내부공간에 위치한 유체는 진공배관(1113, 1113')을 따라 각 진공배관(1113, 1113')에 결합된 펌프모듈로 흡입될 수 있다.The second body part 123 has a third inner space with an open upper surface, and a third penetration on two sides perpendicular to the upper surface so that the vacuum pipes 1113 and 1113 ′ formed in the outer chamber 11 can be inserted. Balls 1233 and 1233 ′ may be formed. The fluid located in the third inner space may be sucked along the vacuum pipes 1113 and 1113 ′ by a pump module coupled to each of the vacuum pipes 1113 and 1113 ′.

본 발명은 이너챔버(12)가 제1몸체부(121), 트랩부(122) 및 제2몸체부(123)로 이루어짐으로써, 아우터챔버(11)에 이너챔버(12)를 결합하고 분리하는 과정이 용이할 수 있을 뿐만 아니라, 정제대상물이 일정 두께 이상으로 부착된 특정 부분만 교체하면 됨으로, 교체에 소요되는 시간을 최소화할 수 있다.In the present invention, the inner chamber 12 is composed of a first body portion 121, a trap portion 122, and a second body portion 123, thereby coupling and separating the inner chamber 12 to the outer chamber 11 In addition to being able to facilitate the process, it is possible to minimize the time required for replacement by only replacing a specific part to which the purification object is attached to a certain thickness or more.

본 발명의 일 실시예에 따라, 제1몸체부(121), 트랩부(122)는 및 제2몸체부(123)는 각 면이 분리 가능하게 형성될 수 있다. 이때, 면은 다른 면과 접촉하여, 내측에 내부공간을 형성하는 것을 지칭할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first body portion 121, the trap portion 122, and the second body portion 123 may be formed to be detachable on each side. In this case, the surface may refer to forming an inner space inside by contacting the other surface.

본 발명의 일 실시예에 따라, 제1몸체부(121)가 본체모듈(20)의 외주면에 일정 간격 이격되어 결합될 수 있도록 하는 연결부(124)를 더 포함할 수 있다. 즉, 제1몸체부(121)는 연결부(124)를 통해 본체모듈(20)의 외주면에 결합될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first body portion 121 may further include a connection portion 124 to be coupled to the outer peripheral surface of the main body module 20 at a predetermined distance apart. That is, the first body portion 121 may be coupled to the outer circumferential surface of the main body module 20 through the connection portion 124.

연결부(124)는 계단구조를 갖도록 다단으로 절곡된 링 형상으로 형성될 수 있으며, 최소 직경을 갖는 제1영역(1241)과 최대 직경을 갖는 제2영역(1242)으로 구분될 수 있다. 이때, 연결부의 제1영역(1241)의 중공에는 본체모듈(20)이 삽입될 수 있으며, 연결부의 제2영역(1242)의 중공에는 제1몸체부의 제2연장부(1212)가 삽입될 수 있다.The connection part 124 may be formed in a ring shape bent in multiple stages to have a stepped structure, and may be divided into a first region 1241 having a minimum diameter and a second region 1242 having a maximum diameter. At this time, the body module 20 may be inserted into the hollow of the first region 1241 of the connection part, and the second extension part 1212 of the first body part may be inserted into the hollow of the second region 1242 of the connection part. have.

즉, 제2연장부(1212)가 형성되는 제2관통공(1211)은 연결부의 제2영역(1242)의 중공에 삽입되는 크기로 형성되면 되므로, 본체모듈(20)의 외주면의 직경보다 현저히 큰 크기로 형성될 수 있다. 다시 말해, 제1몸체부(121)의 제2관통공(1211)에 본체모듈(20)을 삽입하는 과정에서 발생되는 본체모듈(20)의 손상이 방지될 수 있다.That is, since the second through hole 1211 in which the second extension part 1212 is formed is formed to have a size that is inserted into the hollow of the second region 1242 of the connection part, it is significantly greater than the diameter of the outer circumferential surface of the main body module 20. It can be formed in a large size. In other words, damage to the main body module 20 that occurs in the process of inserting the main body module 20 into the second through hole 1211 of the first body part 121 can be prevented.

한편, 사용자는 먼저 본체모듈(20)의 위치를 육안으로 확인하며 연결부(124)를 본체모듈(20)의 외주면에 위치시킨 후, 본체모듈(20)의 외주면보다 큰 직경을 갖는 연결부(124)의 내주면에 제2연장부(1212)를 끼워 넣음으로써, 본체모듈(20)의 외주면에 제1몸체부(121)를 위치 시킬 수 있다.On the other hand, the user first visually checks the position of the main body module 20 and after placing the connection part 124 on the outer circumferential surface of the main body module 20, the connection part 124 having a larger diameter than the outer circumferential surface of the main body module 20 By inserting the second extension part 1212 on the inner circumferential surface of, the first body 121 may be positioned on the outer circumferential surface of the main body module 20.

본 발명의 일 실시예에 따라, 제1몸체부(121), 트랩부(122) 및 제2몸체부(123)는 외주면에 적어도 하나의 손잡이가 형성됨으로써, 사용자가 용이하게 이들의 결합을 분리 및 이동할 수 있도록 한다.According to an embodiment of the present invention, the first body portion 121, the trap portion 122, and the second body portion 123 have at least one handle formed on the outer circumferential surface, so that the user can easily separate the combination thereof. And make it moveable.

이와 같이, 본 발명은 아우터챔버(11) 내에 별도의 이너챔버(12)가 분리 가능하게 형성됨으로써, 기체 상태의 정제대상물이 이너챔버(12)에만 부착되게 되며, 필요에 따라 이너챔버(12)를 교체하여 사용할 수 있다. 즉, 내벽에 일정량 이상의 정제 대상물이 쌓인 경우, 트랩모듈을 분리한 후 전반적인 세정을 진행해야 하는 종래의 발명과 달리, 본 발명은 정제대상물이 부착되는 이너챔버(12)만을 교체하면 됨으로, 세정에 따른 공정 지연이 발생하지 않는다.As described above, according to the present invention, since the inner chamber 12 is detachably formed in the outer chamber 11, the gaseous purification object is attached only to the inner chamber 12, and if necessary, the inner chamber 12 Can be used by replacing. That is, when a certain amount or more of a purification object is accumulated on the inner wall, unlike the conventional invention in which general cleaning must be performed after separating the trap module, the present invention only needs to replace the inner chamber 12 to which the purification object is attached. The resulting process delay does not occur.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.The above description of the present invention is for illustrative purposes only, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to understand that it can be easily modified into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as being distributed may also be implemented in a combined form.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the claims to be described later, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

1 : 승화 정제 장치
10 : 트랩모듈
20 : 본체모듈
30 : 펌프모듈1: sublimation purification device
10: trap module
20: main body module
30: pump module

Claims (6)

정제 대상물의 기화 및 승화가 발생하는 공간을 갖는 본체모듈과 상기 본체모듈의 공간에 위치한 유체를 흡입하는 펌프모듈 사이에 결합되는 승화 정제 장치의 트랩모듈에 있어서,
제1내측공간을 가지며, 상기 제1내측공간과 연통되는 제1관통공이 형성되고, 상기 제1관통공의 둘레를 따라 수직방향으로 제1연장부가 형성되며, 일측면이 개폐 가능한 도어로 형성되는 아우터챔버; 및
상기 제1내측공간에 배치되며 제2내측공간을 가지고, 상기 제1관통공과 대응되는 위치에 상기 제2내측공간과 연통되는 제2관통공이 형성되는 이너챔버를 포함하며,
상기 펌프모듈은, 상기 아우터챔버에 결합되어, 상기 제1내측공간 및 상기 제2내측공간에 위치한 유체를 흡입하고,
상기 본체모듈은 상기 제1관통공 및 상기 제2관통공을 통해 상기 제2내측공간으로 삽입되어 상기 공간에 위치한 기체 상태의 정제 대상물이 상기 제2내측공간으로 이동 가능하며,
상기 이너챔버는,
하면이 개구된 제1내부공간이 형성되며, 상기 본체모듈의 일영역이 삽입되는 상기 제2관통공이 형성되고, 상기 제2관통공의 테두리를 따라 수직방향으로 연장 형성되어 상기 제1관통공으로 삽입 가능한 제2연장부를 포함하는 제1몸체부;
상기 제1 몸체부와 분리 가능하게 결합되며, 상면 및 하면이 개구된 제2내부공간을 갖는 프레임부재와, 상기 프레임부재의 내부에 분리 가능하게 결합된 복수의 타공판을 포함하고, 상기 복수의 타공판의 어느 하나의 타공판은 인접한 타공판과 중공의 위치가 중첩되지 않도록 구비되며, 상기 제2내부공간을 이동하는 기체 상태의 정제대상물이 상기 펌프모듈로 이동되는 것을 차단하는 트랩부;
상기 트랩부와 분리 가능하게 결합되며, 상면이 개구된 제3내부공간이 형성되고, 상기 펌프모듈이 연결되는 제3관통공이 형성되는 제2몸체부; 및
계단 구조를 갖도록 다단으로 절곡된 링 형상으로 구비되며, 최소 직경을 갖는 제1영역의 중공은 상기 본체모듈이 삽입되고, 최대 직경을 갖는 제2영역의 중공은 상기 제2연장부가 삽입되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 승화 정제 장치의 트랩모듈.
In the trap module of the sublimation purification apparatus coupled between a main body module having a space in which vaporization and sublimation of an object to be purified occurs and a pump module that sucks a fluid located in the space of the main body module,
It has a first inner space, a first through hole communicating with the first inner space is formed, a first extension part is formed in a vertical direction along the circumference of the first through hole, and one side is formed as a door that can be opened and closed. Outer chamber; And
An inner chamber disposed in the first inner space, having a second inner space, and having a second through hole communicating with the second inner space at a position corresponding to the first through hole,
The pump module is coupled to the outer chamber to suck the fluid located in the first inner space and the second inner space,
The main body module is inserted into the second inner space through the first through hole and the second through hole so that the gaseous purification object located in the space can be moved to the second inner space,
The inner chamber,
A first inner space with an open bottom surface is formed, the second through hole into which one region of the main body module is inserted is formed, and is formed extending in a vertical direction along the edge of the second through hole to be inserted into the first through hole A first body portion including a second possible extension portion;
A frame member detachably coupled to the first body portion and having a second inner space with open upper and lower surfaces, and a plurality of perforated plates detachably coupled to the inside of the frame member, and the plurality of perforated plates Any one of the perforated plates is provided so that the positions of the adjacent perforated plates and the hollows do not overlap, and a trap unit that blocks the gaseous purification object moving in the second inner space from being moved to the pump module;
A second body portion detachably coupled to the trap portion, forming a third inner space having an open top surface, and forming a third through hole to which the pump module is connected; And
It is provided in a ring shape bent in multiple stages to have a staircase structure, and the body module is inserted into the hollow of the first region having the minimum diameter, and the hollow of the second region having the largest diameter is A trap module of the sublimation purification apparatus comprising: a.
 제1항에 있어서,
상기 제1몸체부, 상기 트랩부 및 상기 제2몸체부는, 외주면에 적어도 하나의 손잡이가 형성되고,
상기 제1내부공간 내지 상기 제3내부공간은, 서로 연통되는 것을 특징으로 하는, 승화 정제 장치의 트랩모듈.
The method of claim 1,
The first body portion, the trap portion, and the second body portion, at least one handle is formed on the outer peripheral surface,
The trap module of the sublimation purification apparatus, characterized in that the first to the third inner space communicate with each other.
 제2항에 있어서,
상기 제1몸체부, 상기 제2몸체부 및 상기 트랩부는, 각 면이 분리 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는, 승화 정제 장치의 트랩모듈.The method of claim 2,
The first body portion, the second body portion and the trap portion, characterized in that each surface is formed to be detachable, the trap module of the sublimation purification apparatus. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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