KR102153704B1 - Sublimation purifying apparatus and trap unit thereof - Google Patents
Sublimation purifying apparatus and trap unit thereof Download PDFInfo
- Publication number
- KR102153704B1 KR102153704B1 KR1020190031721A KR20190031721A KR102153704B1 KR 102153704 B1 KR102153704 B1 KR 102153704B1 KR 1020190031721 A KR1020190031721 A KR 1020190031721A KR 20190031721 A KR20190031721 A KR 20190031721A KR 102153704 B1 KR102153704 B1 KR 102153704B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- sublimation
- heating
- perforated plate
- vacuum pump
- internal space
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H01L51/56—
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D7/00—Sublimation
-
- H01L51/0025—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/311—Purifying organic semiconductor materials
Abstract
Description
본 발명은 승화 정제 장치 및 이에 구비되는 트랩유닛 에 관한 것으로서, 더 자세하게는 정제 대상물로부터 유기물과 불순물을 분리하는 승화 정제 장치 및 이에 구비되는 트랩유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a sublimation purification apparatus and a trap unit provided therein, and more particularly, to a sublimation purification apparatus for separating organic substances and impurities from an object to be purified, and a trap unit provided thereto.
유기전계 발광소자(OLED)에는 다양한 유기물이 사용된다. 이러한 유기물에 불순물이 혼입되는 경우, 불순물로 인해 발광 강도 및 발광 효율이 크게 저하될 수 있다. 즉, 유기물의 순도는 유기전계 발광소자의 발광 특성에 큰 영향을 미칠 수 있다.Various organic materials are used for organic light emitting devices (OLEDs). When impurities are mixed in such an organic material, luminous intensity and luminous efficiency may be greatly reduced due to the impurities. That is, the purity of the organic material can have a great influence on the light emitting characteristics of the organic light emitting device.
따라서 유기전계 발광소자 등의 제조에 있어서 유기물을 정제하는 공정이 필수적으로 요구된다. 유기물을 정제하는 방식으로 승화점 차이를 이용해 유기물과 불순물을 분리하는 진공 승화 정제 방식이 널리 이용되고 있다. 이러한 진공 승화 정제 방식에서는, 승화된 물질이 진공펌프 내로 침입하지 않도록 이들의 이동을 차단해야 할 필요가 있다. 이를 위해 종래에는 진공펌프 측으로 유입되는 물질을 냉매를 이용해 열교환시켜 응결시키는 콜드트랩(cold trap) 유닛이 사용되었다.Therefore, in the manufacture of an organic light emitting device, etc., a process of purifying an organic material is essentially required. As a method of purifying organic substances, a vacuum sublimation purification method in which organic substances and impurities are separated using a difference in sublimation point is widely used. In such a vacuum sublimation purification method, it is necessary to block the movement of the sublimated substances so that they do not enter the vacuum pump. To this end, a cold trap unit has been used for condensing a material flowing into a vacuum pump by heat exchange using a refrigerant.
그러나, 종래의 콜드트랩유닛은 주기적으로 냉매를 보충해줘야 하는 문제점이 있었다. 또한, 콜드트랩유닛의 열교환을 위해 구비된 냉매가 밀폐된 공간의 대기 중으로 노출되는 경우, 공기 중 산소의 농도를 급격히 떨어트려 작업자를 질식사시킬 수 있는 문제점이 있었다.However, the conventional cold trap unit has a problem that the refrigerant must be periodically replenished. In addition, when the refrigerant provided for heat exchange of the cold trap unit is exposed to the atmosphere in an enclosed space, there is a problem in that the concentration of oxygen in the air drops sharply and the worker may be suffocated.
따라서, 승화된 물질이 진공펌프로 유입되지 않도록 물질의 이동을 물리적으로 차단할 수 있는 보다 효율적이고 경제적인 승화 정제 장치에 대한 요구가 생기게 되었다.Accordingly, there is a need for a more efficient and economical sublimation purification apparatus capable of physically blocking the movement of the material so that the sublimated material does not flow into the vacuum pump.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 승화된 물질이 진공펌프로 유입되지 않도록 물질의 이동을 물리적으로 차단하는 승화 정제 장치 및 이에 구비되는 트랩유닛을 제공하는 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is to provide a sublimation purification apparatus and a trap unit provided thereto to physically block the movement of substances so that sublimated substances do not flow into a vacuum pump.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem to be achieved by the present invention is not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems that are not mentioned can be clearly understood by those of ordinary skill in the technical field to which the present invention belongs from the following description. There will be.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는 길이방향을 따라 제1내부공간이 형성되며, 제1내부공간에 정제 대상물이 수용되는 기화부재 및 기체 상태의 정제 대상물이 부착되는 승화부재가 배치되는 본체부와, 본체부의 외주면에 위치하며, 기화부재를 가열하는 제1가열부재 및 승화부재를 가열하는 제2가열부재를 포함하는 히터부와, 본체부와 연결되어, 제1내부공간의 진공 상태를 조절하는 진공펌프부와, 본체부와 진공펌프부 사이에 구비되며, 제1내부공간과 연통하는 제2내부공간이 형성되는 프레임부재 및 프레임부재의 내주면에 분리 가능하게 결합되는 복수의 타공판을 포함하는 트랩유닛부를 포함하고, 어느 하나의 타공판은, 인접한 타공판과 중공의 위치가 중첩되지 않는 승화 정제 장치를 제공한다.In order to achieve the above technical problem, an embodiment of the present invention is a first internal space is formed along the longitudinal direction, a vaporization member in which a purification object is accommodated in the first internal space, and a sublimation member to which a gaseous purification object is attached A heater unit including a main body on which is disposed, a first heating member for heating the vaporizing member and a second heating member for heating the sublimation member, and a first internal space located on the outer circumferential surface of the main body. A vacuum pump unit for controlling the vacuum state of the frame member and a frame member provided between the body unit and the vacuum pump unit and forming a second inner space communicating with the first inner space, and a plurality of detachably coupled to the inner peripheral surface of the frame member Including a trap unit including a perforated plate of, any one perforated plate provides a sublimation purification apparatus in which positions of adjacent perforated plates and hollows do not overlap.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 타공판은 프레임부재의 측면과 경사를 이루도록 결합될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the perforated plate may be coupled to form an inclined side surface of the frame member.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 프레임부재는 일면이 개폐도어로 형성되며, 일면과 수직하는 한 쌍의 측면의 내주면에 타공판이 끼움 결합되는 결합부재가 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the frame member may be formed with an opening and closing door on one side, and a coupling member to which a perforated plate is fitted and coupled to an inner peripheral surface of a pair of side surfaces perpendicular to the one surface.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예는 본체부와 결합되며, 본체부의 제1내부공간과 연통하는 제2내부공간이 형성되는 프레임부재와, 프레임부재의 내주면에 분리 가능하게 결합되는 복수의 타공판을 포함하고, 어느 하나의 타공판은 인접한 타공판과 중공의 위치가 중첩되지 않는 트랩유닛을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, an embodiment of the present invention is coupled to the main body, a frame member having a second inner space communicating with the first inner space of the main body, and detachably coupled to the inner peripheral surface of the frame member A plurality of perforated plates are provided, and any one perforated plate provides a trap unit in which positions of adjacent perforated plates and hollows do not overlap.
본 발명의 일 실시예는 별도의 냉매를 사용하지 않고, 타공판을 이용해 물리적으로 기체 상태의 유기물 또는 불순물이 진공펌프부에 유입되지 않도록 차단할 수 있다. 또한, 본 발명은 투시창을 통해 타공판에 부착된 유기물 또는 불순물의 양을 용이하게 확인 할 수 있으며, 개폐도어를 통해 용이하게 타공판을 교체할 수 있어, 사용자의 편의성이 향상될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a separate refrigerant is not used, and a perforated plate may be used to physically block gaseous organic substances or impurities from entering the vacuum pump unit. In addition, according to the present invention, the amount of organic matter or impurities attached to the perforated plate can be easily checked through the viewing window, and the perforated plate can be easily replaced through the opening and closing door, so that user convenience can be improved.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The effects of the present invention are not limited to the above effects, and should be understood to include all effects that can be inferred from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 승화 정제 장치를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 A-A' 단면을 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 승화 정제 장치의 일면이 개방된 트랩유닛부를 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 승화 정제 장치의 트랩유닛부의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 승화 정제 장치의 트랩유닛부의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 승화 정체 장치의 타공판을 도시하는 도면이다.1 is a diagram showing a sublimation purification apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a cross section AA′ of FIG. 1.
3 is a view showing a trap unit unit with an open surface of the sublimation purification apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of a trap unit of the sublimation purification apparatus according to the first embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view of a trap unit of a sublimation purification apparatus according to a second embodiment of the present invention.
6 is a view showing a perforated plate of the sublimation stagnation device according to an embodiment of the present invention.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention may be implemented in various different forms, and therefore is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and similar reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected (connected, contacted, bonded)" with another part, it is not only "directly connected", but also "indirectly connected" with another member in the middle. "Including the case. In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further provided, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present specification are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof described in the specification, but one or more other features. It is to be understood that the presence or addition of elements or numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, does not preclude in advance.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 승화 정제 장치를 도시하는 도면이며, 도 2는 도 1의 A-A' 단면을 도시는 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 승화 정제 장치의 일면이 개방된 트랩유닛부를 도시하는 도면이다.1 is a view showing a sublimation purification apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a view showing a cross-section AA′ of FIG. 1, and FIG. 3 is a view of a sublimation purification apparatus according to an embodiment of the present invention. It is a diagram showing the trap unit part with one side open.
승화 정제 장치(1)는 승화점(Sublimation point) 차를 이용해 정제 대상물로부터 유기물 및 불순물을 분리하고, 정제된 유기물을 수득하는 장치로서, 본체부(10), 히터부(20), 진공펌프부(30) 및 트랩유닛부(40)를 포함할 수 있으며, 지지부(50)를 더 포함할 수 있다.The sublimation purification apparatus 1 is an apparatus for separating organic substances and impurities from a purification object using a difference in sublimation point, and obtaining purified organic substances, and includes a
본체부(10)는 기화부재(120) 및 승화부재(130)를 수용하는 구성요소로서, 제1내부공간(110)이 형성될 수 있으며, 제1내부공간(110)에 가열될 정제 대상물(O)이 수용되는 기화부재(120) 및 가열에 의해 기화 또는 승화된 기체 상태의 정제 대상물(O')이 부착되는 승화부재(130)가 배치될 수 있다. 이때, 본체부(10)는 석영(Quartz) 재질로 형성될 수 있다.The
본체부(10)는 일단에 본체부(10)내로 정제 대상물을 연속적으로 유입시키는 유입 장치(미도시)와 결합되거나, 제1내부공간(110)을 폐쇄하는 개폐도어(140)가 힌지 결합될 수 있다. 즉, 개폐도어(140)가 형성되는 경우, 사용자는 개폐도어(140)를 회동하여 제1내부공간(110)을 개방한 후, 용이하게 정제 대상물을 안착시킬 수 있다.The
기화부재(120)는 고체 또는 액체 상태의 정제 대상물(O)을 수용하는 구성요소로서, 길이방향을 따라 일단 및 타단이 개방된 수용공간이 형성되며, 일단 및 타단의 내주면을 따라 내측으로 돌출된 테두리부(121)를 갖는 형태로 형성될 수 있다. The vaporizing
수용공간에 위치한 고체 또는 액체 상태의 정제 대상물(O)은 테두리부(121)에 의해 수용공간에서 이탈되지 않으며, 히터부(20)에 의해 기화 또는 승화되어 기체 상태로 변화될 수 있다. 이때, 정제 대상물을 기체 상태로 변화되며, 기체 상태의 유기물과 기체 상태의 불순물로 분리될 수 있다. The solid or liquid purification object O located in the receiving space is not separated from the receiving space by the
기체 상태의 유기물 및 불순물(O', 이하, 기체 상태의 물질)은 진공펌프부(30)에 의해 형성된 기류에 의해 진공펌프부(30)측으로의 이동이 유도될 수 있다.The gaseous organic substances and impurities (O', hereinafter, gaseous substances) may be induced to move toward the
승화부재(130)는 내주면에 기체 상태의 물질(O')이 승화되어 부착되는 구성요소로서, 본체부(10)의 내부에 분리 가능하게 배치될 수 있으며, 히터부(20)에 의해 정제 대상물(O)에 포함된 유기물 및 불순물의 승화점 이하로 가열될 수 있다. 이때, 승화부재(130)는 석영(Quartz) 재질로 이루어질 수 있으며, 히터부(20)에 의해 온도구배를 형성할 수 있도록 충분한 길이를 갖도록 형성될 수 있다.The sublimation member 130 is a component to which a gaseous substance (O') is sublimated and attached to the inner circumferential surface, and may be detachably disposed inside the
더욱 상세하게, 승화부재(130)는 기체 상태의 물질(O')의 이동경로를 제공하는 제3내부공간(134)이 길이방향을 따라 형성될 수 있으며, 내주면에는 기체상태의 유기물 및 불순물이 부착될 수 있다. 이때, 제1내부공간(110)에 삽입되는데 어려움이 없도록, 승화부재(130)는 외경이 제1내부공간(110)보다 작은 직경을 갖도록 형성될 수 있다.In more detail, the sublimation member 130 may have a third
한편, 승화부재(130)는 기체상태의 유기물과 불순물이 서로 다른 영역에 부착되도록, 영역에 따라 서로 다른 온도로 가열될 수 있다. 예를 들어, 승화부재(130)의 제1영역은 제1승화점으로 가열되어 불순물이 부착될 수 있으며, 승화부재(130)의 제2영역은 제2승화점으로 가열되어 유기물이 부착될 수 있다. 즉, 사용자는 제2영역에 부착된 물질만을 수집하여, 정제된 유기물을 얻을 수 있다.Meanwhile, the sublimation member 130 may be heated at different temperatures depending on the region so that the gaseous organic material and impurities adhere to different regions. For example, a first region of the sublimation member 130 may be heated to a first sublimation point to attach impurities, and a second region of the sublimation member 130 may be heated to a second sublimation point to attach an organic substance. have. That is, the user can collect only the material attached to the second area to obtain the purified organic material.
한편, 상술한 예시는 하나의 예일뿐이며, 승화부재(130)는 정제 대상물(O)에 포함된 기체 상태의 불순물의 개수 및 그의 승화점에 따라 두 개 이상의 영역으로 구분될 수 있음은 물론이다.On the other hand, the above-described example is only an example, and it goes without saying that the sublimation member 130 may be divided into two or more regions according to the number of gaseous impurities contained in the object O and the sublimation point thereof.
이때, 승화부재(130)는 내부를 따라 이동하는 기체 상태의 물질(O')이 이동 중에 본래의 부착영역 이외의 다른 영역에 부착되지 않도록, 트랩유닛부(40)측으로 가까워질수록 더 낮은 온도로 가열되는 영역이 위치될 수 있다. 즉, 이동 진행방향 쪽으로 갈수록 점차 온도가 낮아질 수 있다.At this time, the sublimation member 130 has a lower temperature as it approaches the
본 발명의 일 실시예에 따라, 승화부재(130)는 가열 온도가 다른 영역별로 분리 가능하게 형성될 수 있다. 예를 들어, 승화부재(130)는 서로 다른 세 개의 온도로 가열되는 경우, 승화부재(130)는 제1영역(131), 제2영역(132) 및 제3영역(133)으로 구분될 수 있으며, 각 영역은 분리 가능하다. According to an embodiment of the present invention, the sublimation member 130 may be formed to be separable according to regions having different heating temperatures. For example, when the sublimation member 130 is heated to three different temperatures, the sublimation member 130 may be divided into a
한편, 세 개의 영역으로 나눠지는 승화부재(130)를 예로 설명하였으나, 영역의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다.Meanwhile, although the sublimation member 130 divided into three regions has been described as an example, the number of regions is not limited thereto.
히터부(20)는 기화부재(120) 및 승화부재(130)를 가열하는 구성요소로서, 본체부(10)를 감싸도록 형성되며, 복수의 가열부재(210)를 갖는다. 가열부재(210)에 의해 기화부재(120) 및 승화부재(130)가 가열되어, 내부에 위치한 유기물이 기화되거나 승화될 수 있다. 이때, 기화부재(120)와 승화부재(130)를 서로 다른 온도로 가열될 수 있으며, 승화부재(130)는 영역별로 서로 다른 온도로 가열될 수 있다.The
이때, 가열부재(210)의 형태 및 배치는 다양하게 마련될 수 있다. 예를 들어 가열부재(210)는 상하로 분리된 구조로 형성되는 것도 가능하며, 이 경우 상하로 분리된 가열부재(210)는 각각 제어될 수 있다.At this time, the shape and arrangement of the
진공펌프부(30)는 본체부(10)의 제1내부공간(110) 및 후술하는 트랩유닛부(40)의 제2내부공간(412)을 진공 상태로 만드는 구성요소이다. 진공펌프부(30)에 의해 제1내부공간(110) 및 제2내부공간(412)에 위치한 기체 상태의 물질(O')은 자유운동할 수 있다.The
이때, 진공펌프부(30)는 드라이 펌프(Dry pump), 확산펌프(Diffusion pump), 터보 분자펌프(Turbo molecular pump), 이온펌프 (Ion pump), 크라이오펌프 (Cryo pump) 및 로터리펌프 (Rotary pump) 중 어느 하나 이상일 수 있다.At this time, the
트랩유닛부(40)는 진공펌프부(30) 내로 기체 상태의 물질(O')이 침입하지 못하도록 기체 상태의 물질(O')의 이동을 물리적으로 차단하는 구성요소로서, 진공펌프부(30)와 본체부(10) 사이에 형성될 수 있다(도 1 참조).The
도 3을 참조하면, 트랩유닛부(40)는 제1내부공간(110)과 연통하는 제2내부공간(412)이 형성되며, 진공펌프부(30)와 본체부(10)가 결합되는 프레임부재(410) 및 이 프레임부재(410)의 내부에 분리 가능하게 결합되는 복수의 타공판(420)을 포함할 수 있다. 3, the
프레임부재(410)는 타공판(420)의 결합과 분리의 용이성을 위해 일면이 개폐도어(411)로 형성될 수 있고, 개폐도어(411)는 투명재질의 투시창(4111)이 형성될 수 있다. (도 1 참조) 즉, 사용자는 개폐도어(411)를 개방하여 제2내부공간(412)에 위치한 타공판(420)을 용이하게 교체할 수 있으며, 투시창(4111)을 통해 타공판(420)에 부착된 불순물의 양을 육안으로 확인할 수 있다. 이때, 투시창(4111)은 타공판(420)과 대응되는 영역에 형성될 수 있다. 즉, 타공판(420)만을 관찰할 수 있도록 형성될 수 있다.The
또한, 프레임부재(410)의 한 쌍의 측면의 내주면에는 타공판(420)이 끼움 결합되는 홈이 형성된 결합부재(413)가 형성될 수 있다. 이로 인해, 사용자는 결합부재(413)의 홈에 타공판(420)은 끼워 넣음으로써, 용이하게 타공판(420)을 프레임부재(410)에 결합할 수 있다.In addition, a
타공판(420)에 대해 도 6을 참조하여 설명하면, 타공판(420)은 하나 이상의 중공(421)이 형성된 판으로, 중공(421)은 원형, 사각형, 다각형 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 타공판(420)은 인접한 다른 타공판(420)과 중공(421)의 위치가 중첩되지 않도록 프레임부재(410)에 결합될 수 있다. 한편, 도 6은 서로 동일한 형상의 중공(421)을 갖는 타공판(420)에 대해 도시하였지만, 이에 한정되는 것은 아니며 인접한 타공판(420)끼리 중공이 중첩되지 않는 다면 서로 상이한 형상으로 형성되어도 상관 없다.When the
여기서, 중공의 위치가 중첩되지 않게 결합되었다는 것은, 하나의 타공판에 마련된 중공이 인접한 타공판에 마련된 중공과 서로 겹쳐지지 않도록 함으로써, 기체상태의 물질이 타공판에 의한 저항을 받지 않고 직선 이동유로를 형성하는 일이 없다는 것을 의미한다.Here, the fact that the positions of the hollows are not overlapped means that the hollows provided in one perforated plate do not overlap each other with the hollows provided in the adjacent perforated plates, so that the gaseous material forms a straight flow path without being resisted by the perforated plate. It means no work.
다시 말해, 트랩유닛부(40)는 내부에 기체의 이동유로가 지그재그로 형성될 수 있다. 트랩유닛부(40) 내로 유입된 기체 상태의 물질(O')은 지그재그로 형성된 이동유로로 이동하다 타공판(420)과의 접촉에 의해 타공판(420)에 부착될 수 있다.In other words, the
이와 같이, 본 발명은 타공판(420)을 이용해 프레임부재(410) 내부에 지그재그 형태의 이동유로를 형성함으로써, 작은 부피로도 넓은 부착부위를 형성할 수 있으며, 본체부(10)에서 진공펌프부(30)까지 기체상태의 물질을 회수하기에 충분한 이동거리를 형성할 수 있다.As described above, the present invention forms a zigzag-shaped moving passage inside the
또한, 타공판(420)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 프레임부재(410)의 측면에 수직하게 결합되거나, 도 5에 도시된 바와 같이 프레임부재(410)의 측면과 경사를 이루도록 결합될 수 있다.In addition, the
더욱 상세하게, 어느 하나의 타공판(420)은 일면이 프레임부재(410)의 측면과 소정의 각도(A)로 경사를 이루도록 결합되고, 인접한 타공판은 타면이 프레임부재(410)의 측면과 소정의 각도(A')로 경사를 이루도록 결합될 수 있다. 이를 통해 도 5와 같이 측단면으로 보아 다수개의 타공판(420)들이 지그재그 형태로 배치될 수 있다. 도 5에서는 타공판(420)에 마련된 중공(421)이 인접한 타공판(420)과 근접한 위치에 배치되나, 이와 반대의 배치를 갖도록 중공(421)이 형성되는 것도 가능하다.In more detail, any one perforated
다시 도 1을 참조하면, 지지부(50)는 히터부(20) 및 트랩유닛부(40)를 지지하는 구성요소로서, 일면에 히터부(20) 및 트랩유닛부(40)가 결합될 수 있다. 또한, 지지부(50)의 일면에는 바퀴와 같은 이동부재가 결합될 수 있다. Referring back to FIG. 1, the
즉, 승화 정제 장치(1)를 옮기고자 하는 경우, 사용자는 승화 정제 장치(1)를 밀어 이동시킬 수 있다.That is, when the user wants to move the sublimation purification apparatus 1, the user can push and move the sublimation purification apparatus 1.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다.The above description of the present invention is for illustrative purposes only, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can understand that it is possible to easily transform it into other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. will be.
그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting. For example, each component described as a single type may be implemented in a distributed manner, and similarly, components described as being distributed may also be implemented in a combined form.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the claims to be described later, and all changes or modified forms derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
1 : 승화 정제 장치
10 : 본체부
20 : 히터부
30 : 진공펌프부
40 : 트랩유닛부1: sublimation purification device
10: main body
20: heater part
30: vacuum pump unit
40: trap unit part
Claims (4)
상기 본체부의 외주면에 위치하며, 상기 기화부재를 가열하는 제1가열부재 및 상기 승화부재를 가열하는 제2가열부재를 포함하고, 상기 제2가열부재는 상기 복수의 영역을 서로 다른 온도로 가열하도록 구성된 히터부와,
상기 본체부와 연결되어, 상기 제1내부공간의 진공 상태를 조절하는 진공펌프부와,
상기 본체부와 상기 진공펌프부 사이에 구비되며, 상기 제1내부공간과 연통하는 제2내부공간이 형성되는 프레임부재, 상기 프레임부재의 일면에 형성된 개폐도어, 상기 프레임부재의 한 쌍의 내측면에 형성된 결합부재, 상기 결합부재의 홈에 끼워져 분리 가능하게 결합되고, 상기 기체 상태의 물질이 부착되는 복수의 타공판, 상기 개폐도어에 형성되고, 상기 복수의 타공판에 대응되는 영역에 투명 재질로 형성된 투시창을 구비하는 트랩유닛부를 포함하고,
어느 하나의 타공판은 인접한 타공판과 중공의 위치가 중첩되지 않는 것을 특징으로 하는, 승화 정제 장치.
A first internal space is formed along the longitudinal direction, and a vaporizing member in which a purification object is accommodated in the first internal space, and a sublimation member to which a gaseous substance in which the purification object is vaporized or sublimated is attached is disposed therein, The sublimation member includes a body portion that is separably disposed into a plurality of regions along a length direction,
It is located on the outer circumferential surface of the main body and includes a first heating member for heating the vaporizing member and a second heating member for heating the sublimation member, wherein the second heating member heats the plurality of regions to different temperatures. The configured heater unit,
A vacuum pump part connected to the body part to control a vacuum state of the first inner space,
A frame member provided between the body portion and the vacuum pump portion and having a second inner space communicating with the first inner space, an opening and closing door formed on one surface of the frame member, and a pair of inner side surfaces of the frame member A plurality of perforated plates to which the gaseous material is attached, and formed of a transparent material in a region corresponding to the plurality of perforated plates. Including a trap unit having a viewing window,
Any one perforated plate is characterized in that the position of the adjacent perforated plate and the hollow do not overlap.
상기 타공판은 상기 프레임부재의 내측면과 경사를 이루도록 결합되는 것을 특징으로 하는, 승화 정제 장치.The method of claim 1,
The perforated plate is characterized in that coupled to form an inclined inner surface of the frame member, sublimation purification apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190031721A KR102153704B1 (en) | 2019-03-20 | 2019-03-20 | Sublimation purifying apparatus and trap unit thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190031721A KR102153704B1 (en) | 2019-03-20 | 2019-03-20 | Sublimation purifying apparatus and trap unit thereof |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR102153704B1 true KR102153704B1 (en) | 2020-09-08 |
Family
ID=72471780
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190031721A KR102153704B1 (en) | 2019-03-20 | 2019-03-20 | Sublimation purifying apparatus and trap unit thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102153704B1 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040124131A1 (en) * | 2002-09-11 | 2004-07-01 | Aitchison Bradley J. | Precursor material delivery system for atomic layer deposition |
KR101835418B1 (en) * | 2016-12-29 | 2018-04-19 | 주식회사 피브이디 | Sublimation Purifying Apparatus of Organic Matter Having Deposition Preventive Unit for cleaning |
-
2019
- 2019-03-20 KR KR1020190031721A patent/KR102153704B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040124131A1 (en) * | 2002-09-11 | 2004-07-01 | Aitchison Bradley J. | Precursor material delivery system for atomic layer deposition |
KR101835418B1 (en) * | 2016-12-29 | 2018-04-19 | 주식회사 피브이디 | Sublimation Purifying Apparatus of Organic Matter Having Deposition Preventive Unit for cleaning |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100959824B1 (en) | Apparatus and method for purifying and organic electroluminescent material | |
KR101710768B1 (en) | Organic-material refining device | |
CN105311848B (en) | Condensing unit | |
US20140109829A1 (en) | Linear evaporation source and vacuum deposition apparatus including the same | |
KR102153704B1 (en) | Sublimation purifying apparatus and trap unit thereof | |
KR101299112B1 (en) | Sublimation purifying apparatus of organic matter having physical trap unit | |
WO2015192810A1 (en) | Crystal structure cobalt phthalocyanine (j-copc) nanowire and method for preparation thereof | |
RU2006101147A (en) | DEVICE FOR GROWING SILICON CARBIDE CRYSTALS | |
ES2273825T3 (en) | SWITCH VALVE AND REGENERATIVE THERMAL OXIDIZER INCLUDING SUCH SWITCH VALVE. | |
ES2687998T3 (en) | Combustion deposition burner and / or related methods | |
JP6410821B2 (en) | Equipment for membrane distillation | |
JP5964293B2 (en) | Window assembly for use in a substrate processing system | |
KR101835418B1 (en) | Sublimation Purifying Apparatus of Organic Matter Having Deposition Preventive Unit for cleaning | |
ES2363994T3 (en) | APPARATUS FOR THE SEPARATION OF CALCOGENS. | |
KR20120061137A (en) | Sublimation purification apparatus and inner glass tube unit thereof | |
US11930691B2 (en) | Apparatus for manufacturing organic material and method of manufacturing organic material using the apparatus | |
KR101957055B1 (en) | Sublimation purifier | |
KR101343487B1 (en) | apparatus for sublimation refinement and method of using the same | |
KR20130104163A (en) | Sublimation purifying apparatus of organic matter with moving chamber | |
KR102161529B1 (en) | Trap module of sublimation purifying appartus | |
KR101943140B1 (en) | Apparatus for purifying organic material | |
KR20130104162A (en) | Sublimation purifying apparatus of organic matter having independently heating part | |
JP2012082578A (en) | Blind device | |
JP2009299958A (en) | Exhaust gas treatment device for heat treatment furnace | |
JP6512041B2 (en) | Light alignment device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GRNT | Written decision to grant |