KR102160945B1 - Pickup tool for flexible film and control method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 척 테이블에 위치한 플렉서블 필름의 상부에 위치하며, 상기 플렉서블 필름을 워크 스테이지로 이송시키기 위해 이동하는 픽업헤드 및 상기 픽업헤드의 하부에 결합되고, 미리 분할된 적어도 하나의 영역별로 내부 압력상태가 조절되어 상기 플렉서블 필름을 흡착한 후, 상기 워크 스테이지로 이동하여 상기 플렉서블 필름을 상기 워크 스테이지에 로딩하는 흡착판을 포함한다.
이와 같이, 본 발명에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법은 미리 설정된 위치가 아닌 지점에서 일단 플렉서블 필름을 픽업한 후 워크 스테이지로 이송하는 과정에서, 상기 플렉서블 필름에 대한 위치 보정을 함께 수행함에 따라 로딩 후에 이어지는 위치 보정 단계를 생략할 수 있어, 전체적인 공정 단계 및 시간을 현저히 줄일 수 있다.The present invention relates to a pick-up tool for a flexible film and a control method thereof, and more specifically, a pickup head positioned above a flexible film located on a chuck table and moving to transfer the flexible film to a work stage, and the pickup head And an adsorption plate for adsorbing the flexible film by adjusting an internal pressure state for each of at least one pre-divided area, and then moving to the work stage to load the flexible film onto the work stage.
As described above, the pick-up tool for a flexible film and a control method thereof according to the present invention perform position correction for the flexible film together in the process of picking up the flexible film at a point other than a preset position and then transferring it to the work stage. Accordingly, the position correction step following the loading can be omitted, and the overall process step and time can be significantly reduced.

Description

플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법{Pickup tool for flexible film and control method thereof}Pickup tool for flexible film and control method thereof {Pickup tool for flexible film and control method thereof}

본 발명은 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플렉서블 필름의 이송단계에서 필름의 위치 보정을 함께 수행하여 전체적인 공정 단계 및 시간을 신속하게 단축시킬 수 있는 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a pick-up tool for a flexible film and a control method thereof, and more particularly, a pick-up for a flexible film that can quickly shorten the overall process step and time by performing a position correction of the film in the transfer step of the flexible film together. It relates to a tool and a control method thereof.

반도체나 디스플레이 제조 공정에서 주로 사용되는 픽업툴(Pickup Tool)은 반도체 칩, 기판, 필름 등의 공정 대상이 되는 제품을 각 공정 단계에 따라 단계별 스테이지로 이송하는 장치를 말한다.A pickup tool, which is mainly used in semiconductor or display manufacturing processes, refers to a device that transfers products to be processed, such as semiconductor chips, substrates, and films, to stages in stages according to each process step.

이러한 픽업툴은 공정 대상 제품을 픽업한 후, 지정된 위치에 정확하고, 신속하게 로딩하는 것이 성능의 중요 지표가 된다.After picking up the product to be processed, such a pickup tool accurately and quickly loads the product to a designated location as an important indicator of performance.

일반적으로는 픽업툴이 이송하고자 하는 제품을 일단 픽업한 후, 지정된 위치로 이동한다. 이어서, 픽업툴은 미리 지정된 위치 즉, 이송하고자 하는 위치에 존재하는 워크 스테이지 상에 상기 제품을 로딩하기 전, 픽업한 상기 제품에 대한 현재 위치를 보정하고, 위치 보정을 완료한 후에 상기 워크 스테이지 상에 로딩한다. 그러므로, 공정 대상 제품을 이송하는 과정은 해당 제품의 픽업, 이동, 위치 보정, 로딩의 순서로 진행된다. In general, the pickup tool picks up the product to be transported once and then moves it to a designated position. Subsequently, the pickup tool corrects the current position of the picked up product before loading the product on the work stage existing at a predetermined position, that is, the position to be transferred, and after completing the position correction, To load. Therefore, the process of transferring the product to be processed proceeds in the order of pickup, movement, position correction, and loading of the product.

하지만 이와 같은 순서로 진행되는 제품의 이송과정은 해당 제품을 원하는 위치에 정확하게 로딩할 수 있다는 장점이 있는 반면에, 다른 한편으로는 제품의 위치 보정 단계가 추가되므로, 전체적인 공정 시간이 너무 오래 소요된다는 단점이 발생했다. However, the transfer process of products in this order has the advantage that the product can be accurately loaded at the desired location, whereas on the other hand, since the position correction step of the product is added, the overall process time is too long. Disadvantages occurred.

특히, 이송 대상 제품 중에서도 필름의 경우에는 최종 생산되는 제품의 경량화 추세로 인하여, 그 두께가 매우 얇아지고 있는 추세이다. 따라서, 이러한 필름을 대상으로 하는 픽업 단계에서는 기판과 같은 일반적인 제품과 달리, 흡착패드와 접촉하는 부분 또는 제품의 중앙부는 평탄한 상태를 유지하는 반면에, 흡착패드와 접촉하지 않은 부분 또는 제품의 모서리 부분은 필름의 매우 얇은 두께로 인하여 일부가 휘어져 굴곡이 발생한다. 따라서, 필름을 픽업할 당시의 위치와, 픽업한 이후의 필름 위치가 미세하게 달라질 수 있다. 그러므로, 필름 이송을 위한 최종 단계에서 워크 스테이지 상에 필름 로딩 시, 실제적인 로딩 위치가 원하는 위치와 미세하게 달라지고, 이로 인하여 상기 필름에 대한 후속 공정 진행 시, 불량이 발생하여, 결과적으로 상기 필름이 포함된 최종 제품에 대한 불량률이 높아지는 문제점이 발생했다. In particular, among the products to be transported, films are becoming very thin due to the trend of reducing the weight of the final product. Therefore, in the pickup step for such a film, unlike general products such as substrates, the portion in contact with the adsorption pad or the central part of the product remains flat, while the part that does not contact the adsorption pad or the edge of the product Due to the very thin thickness of the silver film, a part of the film is bent, resulting in bending. Accordingly, the position at the time of pickup of the film and the position of the film after pickup may be slightly different. Therefore, when the film is loaded on the work stage in the final step for film transfer, the actual loading position is slightly different from the desired position, and thus, defects occur during the subsequent process of the film, resulting in the film There was a problem that the defect rate for the final product containing this increased.

이러한 이유로 인하여, 공정 대상 제품 중 하나인 두께가 매우 얇은 필름에 대하여 원하는 위치에 정확하게 로딩시키면서도, 전체적인 이송시간을 크게 줄일 수 있는 기술 개발이 점차 요구되고 있다.For this reason, it is increasingly required to develop a technology capable of significantly reducing the overall transfer time while accurately loading a film having a very thin thickness, which is one of the products to be processed, at a desired location.

한국 공개특허공보 10-2019-0009342호(2019.01.28.)Korean Patent Application Publication No. 10-2019-0009342 (2019.01.28.) 한국 공개특허공보 10-2013-0121357호(2013.11.06.)Korean Patent Application Publication No. 10-2013-0121357 (2013.11.06.)

따라서, 본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 미리 설정된 위치에 정확하게 위치하지 않은 매우 얇은 두께의 플렉서블 필름을 픽업한 후 이송하는 단계에서 상기 플렉서블 필름에 대한 위치 보정을 함께 진행함으로써, 워크 스테이지로 이송완료 후 별도의 위치 보정 단계를 생략하여, 상기 플렉서블 필름을 원하는 위치에 정확하게 로딩하면서도 전체적인 공정 단계 및 시간을 현저히 줄일 수 있는 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법을 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention is to solve such a problem, and the object to be solved of the present invention is to correct the position of the flexible film in the step of picking up and transferring a very thin flexible film that is not accurately located at a preset position. By proceeding together, by omitting a separate position correction step after completion of transfer to the work stage, a pickup tool for a flexible film and a control method thereof that can significantly reduce the overall process step and time while accurately loading the flexible film at a desired position To provide.

본 발명의 일 실시 예에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴은 척 테이블에 위치한 플렉서블 필름의 상부에 위치하며, 상기 플렉서블 필름을 워크 스테이지로 이송시키기 위해 이동하는 픽업헤드 및 상기 픽업헤드의 하부에 결합되고, 미리 분할된 적어도 하나의 영역별로 내부 압력상태를 조절하여 상기 플렉서블 필름을 흡착한 후, 상기 워크 스테이지로 이동하여 상기 플렉서블 필름을 상기 워크 스테이지에 로딩하는 흡착판을 포함한다. The pickup tool for a flexible film according to an embodiment of the present invention is located above the flexible film located on a chuck table, and is coupled to a pickup head moving to transfer the flexible film to a work stage and a lower portion of the pickup head, And a suction plate for adsorbing the flexible film by adjusting an internal pressure state for each of at least one pre-divided area, and then moving to the work stage to load the flexible film onto the work stage.

상기 흡착판은 상기 픽업헤드의 하부에 결합되고, 상부 일측에 공기흡입구가 내부를 관통하도록 전면에 형성되어, 상기 공기흡입구를 통해 외부로부터 공기가 유입되거나 배출되는 지그 플레이트, 상기 지그 플레이트의 하부에 위치하고, 복수 개의 제1 홀이 상호간에 일정거리 이격되며 내부를 관통하도록 형성되어, 상기 지그 플레이트를 통해 유입되거나 배출되는 공기에 의해 상기 복수 개의 제1 홀의 내부 압력상태가 조절되는 챔버 플레이트 및 상기 챔버 플레이트의 하부에 위치하고, 내부를 관통하는 다수의 미세홀이 전면에 형성되며, 상기 미세홀을 통해 상기 챔버 플레이트의 내부 공기가 흡입 또는 배출되어, 상기 플렉서블 필름을 흡착 또는 탈착하는 다공 플레이트를 포함하고, 상기 지그 플레이트, 챔버 플레이트 및 다공 플레이트가 전도성 접착제를 통해 상호 결합될 수 있다. The suction plate is coupled to the lower portion of the pickup head, and is formed on the front side so that the air intake port penetrates the inside thereof, and the jig plate through which air is introduced or discharged from the outside through the air inlet, is located under the jig plate. , A chamber plate and the chamber plate in which a plurality of first holes are spaced apart from each other by a predetermined distance and formed to penetrate the inside, and the internal pressure state of the plurality of first holes is controlled by air introduced or discharged through the jig plate A plurality of micro-holes located at the bottom of and penetrating the inside are formed on the front side, and the internal air of the chamber plate is sucked or discharged through the micro-holes, and includes a porous plate for adsorbing or desorbing the flexible film, The jig plate, the chamber plate, and the porous plate may be coupled to each other through a conductive adhesive.

상기 챔버 플레이트는 상기 복수 개의 제1 홀이 적어도 하나의 영역으로 분할되고, 각 영역에 속한 상기 복수 개의 제1 홀이 상호 간에 동일한 내부 압력상태를 갖도록 공기 통로가 서로 연결될 수 있다. In the chamber plate, the plurality of first holes are divided into at least one region, and air passages may be connected to each other so that the plurality of first holes belonging to each region have the same internal pressure state.

본 발명의 다른 실시 예에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴은 척 테이블에 위치한 플렉서블 필름의 상부에 위치하며, 상기 플렉서블 필름을 워크 스테이지로 이송시키기 위해 이동하는 픽업헤드, 상기 픽업헤드의 하부에 결합되고, 미리 분할된 적어도 하나의 영역별로 내부 압력상태가 조절되는 흡착판, 상기 흡착판의 하부에 위치하고, 내부를 관통하도록 복수 개의 결합부재가 하부 방향으로 돌출 형성되는 연결 플레이트, 상기 연결 플레이트에 형성된 결합부재와 체결되는 필링부재, 일단에 상기 필링부재가 삽입되고, 타단에 흡착패드가 삽입되는 원통형의 흡착핀, 상기 흡착핀의 타단에 삽입되어, 상기 플렉서블 필름을 흡착한 후, 이송하고자 하는 워크 스테이지의 상부에 상기 플렉서블 필름을 로딩하는 흡착패드, 상기 흡착판으로부터 돌출 형성되고, 상기 복수 개의 흡착패드에 흡착된 상기 플렉서블 필름의 현재 위치를 센싱하는 복수 개의 위치감지센서 및 상기 복수 개의 위치감지센서로부터 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보를 각각 수신하고, 수신한 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보와, 미리 저장된 플렉서블 필름의 기준 위치정보를 비교하여 차이값을 생성한 후, 상기 플렉서블 필름을 상기 워크 스테이지로 이송하기 위한 상기 픽업헤드의 이동거리에 상기 차이값을 반영하여 상기 픽업헤드의 변위를 제어하는 제어부를 포함한다.A pickup tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention is a pickup head positioned above a flexible film located on a chuck table and moving to transfer the flexible film to a work stage, and coupled to a lower portion of the pickup head, An adsorption plate in which an internal pressure state is controlled for each of at least one pre-divided region, a connection plate located under the suction plate and having a plurality of coupling members protruding downward so as to penetrate the inside, and fastening with a coupling member formed on the connection plate The peeling member is inserted, the cylindrical suction pin into which the peeling member is inserted at one end and the suction pad is inserted at the other end, is inserted into the other end of the suction pin to adsorb the flexible film, and then on the upper part of the work stage to be transferred. An adsorption pad for loading the flexible film, a plurality of position sensors protruding from the adsorption plate and sensing a current position of the flexible film adsorbed on the plurality of adsorption pads, and the flexible film from the plurality of position sensors The pickup for transferring the flexible film to the work stage after generating a difference value by respectively receiving the current location information and comparing the received current location information of the flexible film with the reference location information of the previously stored flexible film And a control unit for controlling the displacement of the pickup head by reflecting the difference value to the moving distance of the head.

상기 흡착판은 상기 픽업헤드의 하부에 결합되고, 상부 일측에 공기흡입구가 내부를 관통하도록 전면에 형성되어, 상기 공기흡입구를 통해 외부로부터 공기가 유입되거나 배출되는 지그 플레이트 및 상기 지그 플레이트의 하부에 위치하고, 복수 개의 제1 홀이 상호간에 일정거리 이격되며 내부를 관통하도록 형성되어, 상기 지그 플레이트를 통해 유입되거나 배출되는 공기에 의해 상기 복수 개의 제1 홀의 내부 압력상태가 조절되는 챔버 플레이트를 포함하고, 상기 지그 플레이트 및 챔버 플레이트가 전도성 접착제를 통해 상호 결합될 수 있다.The adsorption plate is coupled to the lower portion of the pickup head and is formed on the front side so that the air intake port penetrates the inside thereof, and is located under the jig plate and the jig plate through which air is introduced or discharged from the outside through the air inlet. , A plurality of first holes are spaced apart from each other by a predetermined distance and formed to pass through the interior, including a chamber plate in which internal pressure states of the plurality of first holes are controlled by air introduced or discharged through the jig plate, The jig plate and the chamber plate may be coupled to each other through a conductive adhesive.

상기 챔버 플레이트는 상기 복수 개의 제1 홀이 적어도 하나의 영역으로 분할되고, 각 영역에 속한 상기 복수 개의 제1 홀이 상호 간에 동일한 내부 압력상태를 갖도록 공기 통로가 서로 연결될 수 있다.In the chamber plate, the plurality of first holes are divided into at least one region, and air passages may be connected to each other so that the plurality of first holes belonging to each region have the same internal pressure state.

상기 흡착핀은 일단과 타단이 개방되며, 내부가 중공상태이고, 상기 타단에 병목부가 형성되는 파이프, 상기 파이프의 일단 내부에 삽입되어, 상기 흡착판을 통한 내부공기의 흡입에 따라 직선 운동하는 제1 플런저, 일단이 상기 제1 플런저와 연결되어, 상기 제1 플런저의 직선 운동 시, 발생하는 탄성력을 조절하는 탄성부재, 일단이 상기 탄성부재의 타단과 연결되어, 상기 탄성부재의 탄성력에 따라 직선 운동하는 제2 플런저, 상기 파이프 내 병목부에 위치하고, 일측이 상기 제2 플런저와 연결되며, 타측이 바 형태의 상기 흡착패드와 연결되는 핀헤드 및 상기 파이프의 타단 외측을 덮도록 위치하고, 외부의 흡착패드용 솔레노이드와 연결되는 솔레노이드 연결부재를 포함한다.The suction pin is a pipe having one end and the other end open, the inside of which is hollow, and a bottle neck is formed at the other end, is inserted into one end of the pipe, and moves linearly according to the suction of internal air through the suction plate. Plunger, one end is connected to the first plunger, an elastic member that adjusts the elastic force generated during linear motion of the first plunger, one end is connected to the other end of the elastic member, linear motion according to the elastic force of the elastic member The second plunger is located at the bottleneck in the pipe, one side is connected to the second plunger, and the other side is located so as to cover the outside of the other end of the pipe and the pin head connected to the bar-shaped suction pad. It includes a solenoid connecting member connected to the pad solenoid.

상기 흡착패드는 상기 흡착패드용 솔레노이드에 의해, 사선 방향으로 이동하며 상기 플렉서블 필름을 흡착하는 위치를 변경할 수 있다. The adsorption pad may move in a diagonal direction by the solenoid for the adsorption pad and may change a position at which the flexible film is adsorbed.

상기 위치감지센서는 상기 흡착판의 서로 다른 면으로부터 각각 돌출 형성되는 복수 개의 섬유 카메라를 포함할 수 있다. The position sensor may include a plurality of fiber cameras each protruding from different surfaces of the suction plate.

본 발명의 또 다른 실시 예에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴의 제어방법은 척 테이블에 위치한 플렉서블 필름의 상부에 위치한 픽업툴의 픽업헤드가 이동하여, 상기 픽업헤드의 하부에 위치한 흡착판으로부터 돌출된 흡착패드가 상기 플렉서블 필름을 픽업하는 단계, 상기 흡착판으로부터 돌출 형성된 복수 개의 위치감지센서가 상기 플렉서블 필름의 현재 위치를 각각 센싱하는 단계, 제어부가 상기 복수 개의 위치감지센서로부터 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보를 수신하는 단계, 상기 제어부가 상기 복수 개의 위치감지센서로부터 수신한 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보와 미리 저장된 플렉서블 필름의 기준 위치정보를 비교하여 차이값을 연산하는 단계, 상기 제어부가 상기 플렉서블 필름을 워크 스테이지로 이송하기 위한 이동거리에 상기 차이값을 반영하여 상기 픽업헤드의 최종 변위정보를 생성하는 단계, 상기 제어부가 상기 픽업헤드를 상기 최종 변위정보로 이동시키기 위한 픽업헤드용 제어신호를 생성하고, 상기 픽업헤드용 제어신호를 상기 픽업헤드로 전송하는 단계 및 상기 픽업헤드가 상기 제어부로부터 수신한 상기 픽업헤드용 제어신호에 응답하여 상기 최종 변위정보로 이동한 후, 픽업한 상기 플렉서블 필름을 상기 워크 스테이지에 로딩하는 단계를 포함할 수 있다.A method of controlling a pickup tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention is a suction pad protruding from the suction plate located under the pickup head by moving the pickup head of the pickup tool located above the flexible film located on the chuck table. Picking up the flexible film, a plurality of position sensing sensors protruding from the suction plate respectively sensing the current position of the flexible film, and a control unit receiving current position information of the flexible film from the plurality of position sensing sensors Computing a difference value by comparing, by the control unit, current position information of the flexible film received from the plurality of position detection sensors with reference position information of the previously stored flexible film, and the control unit converts the flexible film to a work stage Generating final displacement information of the pickup head by reflecting the difference value to the moving distance for transport to the vehicle, the control unit generating a control signal for the pickup head for moving the pickup head to the final displacement information, and the Transmitting a control signal for a pickup head to the pickup head, and after the pickup head moves to the final displacement information in response to the pickup head control signal received from the control unit, the picked flexible film is transferred to the work stage. It may include loading into.

이와 같이, 본 발명에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법은 미리 설정된 위치가 아닌 지점에서 일단 플렉서블 필름을 픽업한 후 워크 스테이지로 이송하는 과정에서, 상기 플렉서블 필름에 대한 위치 보정을 함께 수행함에 따라 로딩 후에 이어지는 위치 보정 단계를 생략할 수 있어, 전체적인 공정 단계 및 시간을 현저히 줄일 수 있다. As described above, the pick-up tool for a flexible film and a control method thereof according to the present invention perform position correction for the flexible film together in the process of picking up the flexible film at a point other than a preset position and then transferring it to the work stage. Accordingly, the position correction step following the loading can be omitted, and the overall process step and time can be significantly reduced.

더불어, 본 발명에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법은 매우 얇은 두께의 플렉서블 필름을 픽업 시, 상기 플렉서블 필름의 단부 일부가 휘어지거나 굴곡이 발생한 경우에도 상기 플렉서블 필름의 각 영역별 픽업을 위한 흡입 강도를 개별적으로 조절함으로써, 픽업된 플렉서블 필름의 평탄도를 고르게 하여, 워크 스테이지상에 최종 로딩 시에 상기 플렉서블 필름의 로딩 위치가 미세하게 변경되는 것을 사전에 방지할 수 있다.In addition, the pick-up tool for a flexible film and its control method according to the present invention are for picking up each area of the flexible film even when a part of the end of the flexible film is bent or bent when picking up a very thin flexible film. By individually adjusting the suction strength, the flatness of the picked up flexible film can be evenly prevented in advance from changing the loading position of the flexible film minutely at the time of final loading on the work stage.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴을 이용한 플렉서블 필름의 이송과정을 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 흡착판의 분해 사시도이다.
도 3은 지그 플레이트에 결합되는 정렬용 핀의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 개략도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 흡착판의 분해 사시도이다.
도 6은 필링부재, 흡착핀, 흡착패드의 결합 구조를 나타낸 투시도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 제어방법의 순서도이다.1 is a schematic diagram showing a transfer process of a flexible film using a pick-up tool for a flexible film according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded perspective view of a suction plate of a pick-up tool for a flexible film according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic diagram of an alignment pin coupled to a jig plate.
4 is a schematic diagram of a pick-up tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view of a suction plate of a pick-up tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing a coupling structure of a filling member, an adsorption pin, and an adsorption pad.
7 is a flowchart of a method for controlling a pick-up tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 그러나 이들 실시 예는 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명의 범위가 이에 의하여 제한되지 않는다는 것은 당업계의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment in which a person of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement the present invention. However, these examples are for explaining the present invention in more detail, and it will be apparent to those of ordinary skill in the art that the scope of the present invention is not limited thereto.

본 발명이 해결하고자 하는 과제의 해결 방안을 명확하게 하기 위한 발명의 구성을 본 발명의 바람직한 실시 예에 근거하여 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하되, 도면의 구성요소들에 참조번호를 부여함에 있어서 동일 구성요소에 대해서는 비록 다른 도면상에 있더라도 동일 참조번호를 부여하였으며 당해 도면에 대한 설명 시 필요한 경우 다른 도면의 구성요소를 인용할 수 있음을 미리 밝혀둔다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The configuration of the invention for clarifying the solution to the problem to be solved by the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings based on a preferred embodiment of the present invention, but the same in assigning reference numerals to the components of the drawings For the components, even if they are on different drawings, the same reference numerals are given, and it should be noted in advance that components of other drawings may be referred to when necessary when describing the drawings. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form of disclosure, it is to be understood as including all changes, equivalents, or substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

아울러 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 동작 원리를 상세하게 설명함에 있어 본 발명과 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명 그리고 그 이외의 제반 사항이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 상세한 설명을 생략한다.In addition, when it is determined that a detailed description of a well-known function or configuration related to the present invention and other matters may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention in describing the operating principle of the preferred embodiment of the present invention in detail, Its detailed description is omitted.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.In addition, throughout the specification, when a part is said to be'connected' to another part, it is not only'directly connected', but also'indirectly connected' with another element in the middle. Include. In addition, "including" a certain component means that other components may be further included, rather than excluding other components unless specifically stated to the contrary.

또한, 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.In addition, terms such as first and second may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms may be used for the purpose of distinguishing one component from another component. For example, without departing from the scope of the present invention, a first element may be referred to as a second element, and similarly, a second element may be referred to as a first element.

본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate the presence of implemented features, numbers, steps, actions, components, parts, or combinations thereof, but one or more other features or numbers It is to be understood that the possibility of addition or presence of, steps, actions, components, parts, or combinations thereof is not preliminarily excluded.

특별히 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms, including technical and scientific terms, used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms as defined in a commonly used dictionary should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning of the context of the related technology, and should not be interpreted as an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in this application. .

본 발명은 척 테이블에 위치한 두께가 매우 얇은 플렉서블 필름을 다음 공정을 위해 워크 스테이지로 이송시키는 단계에서, 상기 플렉서블 필름을 픽업한 위치와 상관없이 이송 중에 위치 보정을 함께 수행함으로써, 워크 스테이지 내 미리 설정된 위치에 정확하게 로딩하면서도 별도의 위치 보정 단계를 생략하여 공정 단계 및 시간을 줄일 수 있는 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법에 관한 것이다. In the present invention, in the step of transferring a very thin flexible film located on the chuck table to the work stage for the next process, position correction is performed together during transfer regardless of the position where the flexible film is picked up, thereby pre-set in the work stage. The present invention relates to a pick-up tool for a flexible film and a method for controlling the same, which can reduce a process step and time by accurately loading a position and omitting a separate position correction step.

특히, 이하에서는 픽업툴의 흡착판에 플렉서블 필름이 직접 흡착 또는 탈착되는 실시 예와, 상기 흡착판으로부터 돌출 형성된 흡착패드에 플렉서블 필름이 흡착 또는 탈착되는 실시 예를 각각 나누어 살펴보도록 한다. In particular, an embodiment in which a flexible film is directly adsorbed or desorbed on an adsorption plate of a pick-up tool and an embodiment in which the flexible film is adsorbed or desorbed onto an adsorption pad protruding from the adsorption plate will be described separately.

먼저, 픽업툴의 흡착판에 플렉서블 필름이 직접 흡착 또는 탈착되는 실시 예에 대하여 도 1을 참조하여 자세히 살펴보도록 한다. First, an embodiment in which the flexible film is directly adsorbed or desorbed on the adsorption plate of the pickup tool will be described in detail with reference to FIG. 1.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴을 이용한 플렉서블 필름의 이송과정을 나타낸 개략도이다.1 is a schematic diagram showing a transfer process of a flexible film using a pick-up tool for a flexible film according to an embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴(100)은 픽업헤드(110) 및 흡착판(120)을 포함하여, 척 테이블(10)에 위치한 플렉서블 필름(20)을 픽업한 후, 소정 거리 이격된 곳에 위치한 워크 스테이지(30)로 이송시킨다. As shown in FIG. 1, the pickup tool 100 for a flexible film according to an embodiment of the present invention includes a pickup head 110 and a suction plate 120, and includes a flexible film 20 located on the chuck table 10. ) Is picked up and transferred to the work stage 30 located at a spaced apart a predetermined distance.

이때, 워크 스테이지(30)로 이송하고자 하는 플렉서블 필름(20)은 일반적인 필름의 두께보다 훨씬 얇은 두께를 갖는다. 따라서, 픽업툴(100)의 흡착판(120)에 플렉서블 필름(20)이 부착될 때, 일부(예를 들면, 중앙부분)는 평탄한 상태를 유지하지만, 다른 일부(예를 들면, 외곽부분)는 휘어질 수 있다. 따라서, 하나의 플렉서블 필름(20)이 픽업툴에 의해 픽업된다 할지라도 평탄도는 각 부분마다 달라질 수 있다. At this time, the flexible film 20 to be transferred to the work stage 30 has a thickness much thinner than that of a general film. Therefore, when the flexible film 20 is attached to the suction plate 120 of the pick-up tool 100, a part (for example, the center part) remains flat, but the other part (for example, the outer part) It can be bent. Accordingly, even if one flexible film 20 is picked up by the pick-up tool, the flatness may vary for each portion.

픽업헤드(110)는 척 테이블(10)에 위치한 플렉서블 필름(20)의 상부에 위치하며, 상기 플렉서블 필름(20)을 소정 거리 이격된 워크 스테이지(30)로 이송시키기 위해 수평 및 수직 방향으로 직선 및 회전 이동한다. The pickup head 110 is located above the flexible film 20 located on the chuck table 10, and is straight in horizontal and vertical directions in order to transfer the flexible film 20 to the work stage 30 spaced apart a predetermined distance. And rotate to move.

흡착판(120)은 상기 픽업헤드(110)의 하부에 결합되고, 미리 분할된 적어도 하나의 영역별로 내부 압력상태가 조절되어 상기 플렉서블 필름(20)을 흡착한 후, 상기 워크 스테이지(30)로 이동하여 상기 플렉서블 필름(20)을 상기 워크 스테이지(30) 상부에 로딩한다. The suction plate 120 is coupled to the lower portion of the pickup head 110 and the internal pressure state is adjusted for each of at least one pre-divided area to adsorb the flexible film 20 and then move to the work stage 30 Thus, the flexible film 20 is loaded onto the work stage 30.

이하에서는 도 2를 참조하여, 상기 흡착판(120)의 구성에 대하여 보다 자세히 살펴본다. Hereinafter, with reference to FIG. 2, the configuration of the suction plate 120 will be described in more detail.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 흡착판의 분해 사시도이다. 2 is an exploded perspective view of a suction plate of a pick-up tool for a flexible film according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴(100)의 흡착판(120)은 지그 플레이트(122), 챔버 플레이트(124) 및 다공 플레이트(126)를 포함한다. As shown in FIG. 2, the suction plate 120 of the pick-up tool 100 for a flexible film according to an embodiment of the present invention includes a jig plate 122, a chamber plate 124, and a porous plate 126. .

지그 플레이트(122)는 상기 픽업헤드(110)의 하부에 결합되고, 상부 일측에 공기흡입구(122a)가 내부를 관통하도록 형성되어, 상기 공기흡입구(122a)를 통해 외부로부터 공기가 유입되거나 배출된다. 이때, 상기 지그 플레이트(122)의 사면 단부에는 복수 개의 정렬용 핀 연결부재(122b)가 각각 돌출 형성된다. 따라서, 상기 정렬용 핀 연결부재(122b)에 정렬용 핀(122c)이 삽입되어, 상기 정렬용 핀(122c)이 상기 지그 플레이트(122)의 하부에 픽업되는 플렉서블 필름(20)의 위치를 정렬한다.The jig plate 122 is coupled to the lower portion of the pickup head 110, and an air intake port 122a on one side of the upper portion is formed to penetrate the inside, so that air is introduced or discharged from the outside through the air intake port 122a. . At this time, a plurality of alignment pin connection members 122b are formed to protrude from the end of the slope of the jig plate 122, respectively. Accordingly, the alignment pin 122c is inserted into the alignment pin connection member 122b, so that the alignment pin 122c aligns the position of the flexible film 20 picked up under the jig plate 122 do.

이때, 상기 정렬용 핀(122c)은 도 3에 도시된 바와 같이, 소정의 두께를 갖는 바 형태로 이루어지며, 상부에는 와이어(w)를 통해 정렬용 솔레노이드(s1)와 연결되는 와이어 연결구(122c-1)가 형성되고, 측면 일부에는 상기 지그 플레이트(122)에 돌출 형성된 정렬용 핀 연결부재(122b)와 결합되는 플레이트 연결구(122c-2)가 형성된다. 또한, 상기 정렬용 핀(122c)의 하부 일면에는 토시컬 코팅이 처리되어, 플렉서블 필름(20)의 정렬 과정에서 상기 플렉서블 필름(20)이 점착제나 표면장력에서 벗어나 쉽게 분리되도록 한다. 이러한 정렬용 핀(122c)은 상기 정렬용 솔레노이드(s1)에 감겨진 코일에 전류를 흘려, 상기 정렬용 솔레노이드(s1)가 A방향으로 이동하면, 상기 정렬용 솔레노이드(s1)에 연결된 와이어(w)를 통해 상기 정렬용 핀(122c) 또한 A 방향으로 이동하고, 이후 스프링(s)에 의해 다시 원래 위치로 이동한다. 즉, 상기 정렬용 핀(122c)은 정렬용 솔레노이드(s1)의 구동에 의해 전진 또는 후진하는 과정을 통해 하부에 흡착되는 플렉서블 필름(20)의 위치를 조정할 수 있다. At this time, the alignment pin (122c) is made of a bar shape having a predetermined thickness, as shown in Figure 3, a wire connector (122c) connected to the alignment solenoid (s1) through a wire (w) on the top -1) is formed, and a plate connector 122c-2 coupled to the alignment pin connection member 122b protruding from the jig plate 122 is formed on a part of the side surface. In addition, the lower one surface of the alignment pin 122c is treated with a toxic coating so that the flexible film 20 is easily separated from the adhesive or surface tension in the alignment process of the flexible film 20. This alignment pin (122c) flows a current to the coil wound around the alignment solenoid (s1), when the alignment solenoid (s1) moves in the direction A, the wire (w) connected to the alignment solenoid (s1) ) Through the alignment pin (122c) also moves in the A direction, and then moves back to the original position by the spring (s). That is, the alignment pin 122c may adjust the position of the flexible film 20 adsorbed to the lower portion through a process of moving forward or backward by driving the alignment solenoid s1.

다시 도 2로 돌아와서, 챔버 플레이트(124)는 상기 지그 플레이트(122)의 하부에 위치하고, 복수 개의 제1 홀(h1)이 상호간에 일정거리 이격되며 내부를 관통하도록 전면에 형성되어, 상기 지그 플레이트(122)를 통해 유입되거나 배출되는 공기에 의해 상기 복수 개의 제1 홀(h1)의 내부 압력상태가 조절된다. 이러한 챔버 플레이트(124)는 상기 복수 개의 제1 홀(h1)이 적어도 하나의 영역(A1, A2, A3)으로 분할되고, 동일한 영역에 속한 상기 복수 개의 제1 홀(h1)이 상호 간에 동일한 내부 압력상태를 갖도록 공기 통로(p)가 서로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 챔버 플레이트(124)의 제1 영역(A1)은 플렉서블 필름(20)의 모서리 부분과 대응하는 영역이다. 특히, 상기 플렉서블 필름(20)의 해당 모서리 부분에서 탈착이 발생하거나 또는 굴곡이 발생할 수 있어, 상기 챔버 플레이트(124)의 제1 영역(A1)은 상기 플렉서블 필름(20)의 중앙부와 대응하는 제2 영역(A2)과 비교하여 상대적으로 더 높은 내부 압력이 유지될 수 있다. 또한, 상기 챔버 플레이트(124)의 제2 영역(A2)을 사이에 두고 제1 영역(A1)과 대칭되는 영역인 제3 영역(A3)은 상기 제1 영역(A1)과 마찬가지로 상기 플렉서블 필름(20)의 모서리 부분에 대응하므로, 상기 제1 영역(A1)의 내부 압력상태와 동일한 압력상태를 가질 수 있으며, 또한 제2 영역(A2)의 내부 압력상태보다는 더 높은 압력상태를 가질 수 있다. Returning to FIG. 2 again, the chamber plate 124 is located under the jig plate 122, and a plurality of first holes h1 are spaced apart from each other by a predetermined distance and formed on the front surface to penetrate the inside of the jig plate. The internal pressure state of the plurality of first holes h1 is controlled by air introduced or discharged through 122. In this chamber plate 124, the plurality of first holes h1 are divided into at least one area A1, A2, A3, and the plurality of first holes h1 belonging to the same area are mutually identical. The air passages p may be connected to each other to have a pressure state. For example, the first area A1 of the chamber plate 124 is an area corresponding to a corner portion of the flexible film 20. In particular, since detachment or bending may occur at a corresponding corner portion of the flexible film 20, the first area A1 of the chamber plate 124 is a first area corresponding to the center of the flexible film 20. Compared to the two-region A2, a relatively higher internal pressure may be maintained. In addition, the third area A3, which is an area symmetrical to the first area A1 with the second area A2 of the chamber plate 124 interposed therebetween, is similar to the first area A1. Since it corresponds to the corner portion of 20), it may have the same pressure state as the internal pressure state of the first region A1, and may have a higher pressure state than the internal pressure state of the second region A2.

이때, 상기 챔버 플레이트(124)에 형성된 복수 개의 제1 홀(h1)이 분할되는 기준은 내부 압력을 조절하고자 하는 위치에 따라 분할될 수 있다. 예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이, 챔버 플레이트(124)의 한 쪽 모서리 부분이 기준 영역으로 설정된 경우에 중앙 영역 및 외곽 영역으로 각각 분할되거나, 또는 챔버 플레이트(124)의 사면의 각 모서리 부분이 일정한 영역으로 분할되거나, 또는 챔버 플레이트(124)의 중심 영역과, 외곽 영역으로 분할될 수 있다. In this case, a criterion for dividing the plurality of first holes h1 formed in the chamber plate 124 may be divided according to a position at which the internal pressure is to be adjusted. For example, as shown in FIG. 2, when one corner portion of the chamber plate 124 is set as a reference region, it is divided into a central region and an outer region, or each corner of the slope of the chamber plate 124 The portion may be divided into a certain area, or may be divided into a center area and an outer area of the chamber plate 124.

다공 플레이트(126)는 상기 챔버 플레이트(124)의 하부에 위치하고, 내부를 관통하는 다수의 미세홀(h2)이 전면에 형성되며, 상기 미세홀(h2)을 통해 내부 공기가 흡입 또는 배출되어, 상기 플렉서블 필름(20)을 흡착하거나 탈착한다. 이때, 상기 다공 플레이트(126)는 0.5 mm 이하의 두께를 가지며, 특히, 플렉서블 필름(20)이 흡착되는 면은 비점착 성질을 갖는 토시컬 코팅 처리될 수 있다. 이러한 토시컬 코팅은 금속 표면에 투명한 불소수지 피막을 형성함으로써, 이형성, 저마찰, 방오, 발수, 발유, 비점착, 지문저감 등의 효과를 내며, 특히 피막이 밀착력이 우수하고 내마모성이 있기 때문에 장시간 효과가 지속되는 특징을 가진다. The porous plate 126 is located under the chamber plate 124, and a plurality of fine holes h2 penetrating the inside thereof are formed on the front side, and internal air is sucked or discharged through the fine holes h2, The flexible film 20 is adsorbed or desorbed. In this case, the porous plate 126 has a thickness of 0.5 mm or less, and in particular, the surface on which the flexible film 20 is adsorbed may be treated with a toxic coating having a non-adhesive property. By forming a transparent fluororesin film on the metal surface, these toxic coatings produce effects such as releasability, low friction, antifouling, water repellency, oil repellency, non-adhesion, and fingerprint reduction. Has a lasting characteristic.

상술한 흡착판(120)은 상기 지그 플레이트(122), 챔버 플레이트(124) 및 다공 플레이트(126)가 하부 방향으로 순서대로 적층되며, 상기 지그 플레이트(122)와 챔버 플레이트(124) 사이, 상기 챔버 플레이트(124)와 다공 플레이트(126) 사이에 각각 전도성 접착제가 도포되어, 상기 지그 플레이트(122)와 챔버 플레이트(124) 및 다공 플레이트(126)가 상호간에 결합된다. 또한, 상기 전도성 접착제로 인하여 상기 지그 플레이트(122), 챔버 플레이트(124) 및 다공 플레이트(126)에서 발생하는 정전기가 제거되면서도, 상호간에 전기적으로 도통된다. In the above-described adsorption plate 120, the jig plate 122, the chamber plate 124, and the porous plate 126 are sequentially stacked in a downward direction, and between the jig plate 122 and the chamber plate 124, the chamber A conductive adhesive is applied between the plate 124 and the porous plate 126, respectively, so that the jig plate 122, the chamber plate 124, and the porous plate 126 are coupled to each other. In addition, while static electricity generated in the jig plate 122, the chamber plate 124, and the porous plate 126 is removed due to the conductive adhesive, they are electrically connected to each other.

이처럼, 매우 얇은 두께의 플렉서블 필름(20)이 픽업툴(100)을 구성하는 흡착판(120)의 다공 플레이트(126)에 직접 흡착되기 때문에, 흡착 단계에서 필요한 공간을 최소화할 수 있다. 또한, 상기 흡착판(120)에 상기 플렉서블 필름(20)의 일부만이 흡착되는 것이 아닌 전면이 흡착되고, 상기 흡착판(120) 내 챔버 플레이트(124)의 내부 압력이 상기 흡착판(120)의 내부로 유입되는 공기에 의해 조절됨으로써, 상기 플렉서블 필름(20)의 모서리 일부분에서 탈착되어 휘어지는 현상이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 플렉서블 필름(20)을 워크 스테이지(30)로 이송 시, 보다 정확한 위치에 로딩시킬 수 있다.As such, since the flexible film 20 having a very thin thickness is directly adsorbed to the porous plate 126 of the adsorption plate 120 constituting the pick-up tool 100, the space required in the adsorption step can be minimized. In addition, not only a part of the flexible film 20 is adsorbed to the adsorption plate 120, but the front surface is adsorbed, and the internal pressure of the chamber plate 124 in the adsorption plate 120 flows into the adsorption plate 120 By being controlled by the formed air, it is possible to prevent occurrence of a phenomenon of being desorbed and bending at a portion of the edge of the flexible film 20. Therefore, when the flexible film 20 is transferred to the work stage 30, it can be loaded at a more accurate position.

또한, 상술한 실시 예 외에도, 픽업툴의 흡착판에 플렉서블 필름이 흡착되는 것이 아닌 흡착판으로부터 돌출 형성된 흡착패드에 플렉서블 필름이 흡착되는 실시 예에 대해서도 도 4를 참조하여 자세히 살펴보도록 한다. In addition to the above-described embodiments, an embodiment in which the flexible film is adsorbed to the adsorption pad protruding from the adsorption plate rather than the flexible film is adsorbed to the adsorption plate of the pickup tool will be described in detail with reference to FIG. 4.

도 4는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 개략도이다.4 is a schematic diagram of a pick-up tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴(200)은 픽업헤드(210), 흡착판(220), 연결 플레이트(230), 필링부재(240), 흡착핀(250), 흡착패드(260), 위치감지센서(270) 및 제어부(미도시)를 포함한다. As shown in FIG. 4, the pickup tool 200 for a flexible film according to another embodiment of the present invention includes a pickup head 210, a suction plate 220, a connection plate 230, a peeling member 240, and a suction pin. 250, an adsorption pad 260, a position sensor 270, and a control unit (not shown).

픽업헤드(210)는 척 테이블(10)에 위치한 플렉서블 필름(20)의 상부에 위치하며, 상기 플렉서블 필름(20)을 워크 스테이지(30)로 이송시키기 위해 수평 및 수직 방향으로 직선 및 회전 이동한다.The pickup head 210 is located above the flexible film 20 located on the chuck table 10, and moves linearly and rotationally in horizontal and vertical directions to transfer the flexible film 20 to the work stage 30. .

흡착판(220)은 상기 픽업헤드(210)의 하부에 결합되고, 미리 분할된 적어도 하나의 영역별로 내부 압력상태가 조절된다. The adsorption plate 220 is coupled to the lower portion of the pickup head 210 and the internal pressure state is adjusted for each of at least one pre-divided region.

이하에서는 도 5를 참조하여 상기 흡착판(220)의 구성에 대하여 보다 자세히 살펴보도록 한다. Hereinafter, the configuration of the adsorption plate 220 will be described in more detail with reference to FIG. 5.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 흡착판의 분해 사시도이다.5 is an exploded perspective view of a suction plate of a pick-up tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴(200)의 흡착판(220)은 지그 플레이트(222) 및 챔버 플레이트(224)를 포함한다. As shown in FIG. 5, the suction plate 220 of the pick-up tool 200 for a flexible film according to another embodiment of the present invention includes a jig plate 222 and a chamber plate 224.

지그 플레이트(222)는 픽업헤드(210)의 하부에 결합되고, 상부 일측에 공기흡입구(122a)가 내부를 관통하도록 형성되어, 상기 공기흡입구(122a)를 통해 외부로부터 공기가 유입되거나 배출된다. 이때, 상기 지그 플레이트(222)의 사면 단부에는 복수 개의 정렬용 핀 연결부재(222b)가 각각 돌출 형성된다. 따라서, 상기 정렬용 핀 연결부재(222b)에 정렬용 핀이 삽입되어, 상기 정렬용 핀이 상기 지그 플레이트(222)의 하부에 픽업되는 플렉서블 필름(20)의 위치를 정렬한다.The jig plate 222 is coupled to the lower portion of the pickup head 210 and is formed so that an air intake port 122a penetrates the inside of the upper one side, and air is introduced or discharged from the outside through the air intake port 122a. At this time, a plurality of alignment pin connecting members 222b are formed respectively protruding from the slope end of the jig plate 222. Accordingly, the alignment pin is inserted into the alignment pin connecting member 222b to align the position of the flexible film 20 where the alignment pin is picked up under the jig plate 222.

챔버 플레이트(224)는 상기 지그 플레이트(222)의 하부에 위치하고, 복수 개의 제1 홀(h1)이 상호간에 일정거리 이격되며 내부를 관통하도록 전면에 형성되어, 상기 지그 플레이트(222)를 통해 유입되거나 배출되는 공기에 의해 상기 복수 개의 제1 홀(h1)의 내부 압력상태가 조절된다. The chamber plate 224 is located under the jig plate 222 and is formed on the front surface so that a plurality of first holes h1 are spaced apart from each other by a predetermined distance and penetrate the inside, and flows through the jig plate 222 The internal pressure state of the plurality of first holes h1 is controlled by the discharged or discharged air.

이러한 챔버 플레이트(224)는 상기 복수 개의 제1 홀(h1)이 적어도 하나의 영역으로 분할되고, 각 영역에 속한 상기 복수 개의 제1 홀(h1)이 상호 간에 동일한 내부 압력상태를 갖도록 공기 통로(p)가 서로 연결될 수 있다. 또한, 상기 챔버 플레이트(224)는 상기 복수 개의 제1 홀(h1)이 적어도 하나의 영역(A1, A2, A3)으로 분할되고, 동일한 영역에 속한 상기 복수 개의 제1 홀(h1)이 상호 간에 동일한 내부 압력상태를 갖도록 공기 통로(p)가 서로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 챔버 플레이트(224)의 제1 영역(A1)은 플렉서블 필름(20)의 모서리 부분과 대응하는 영역이다. 특히, 상기 플렉서블 필름(20)의 해당 모서리 부분에서 탈착이 발생하거나 또는 굴곡이 발생할 수 있어, 상기 챔버 플레이트(224)의 제1 영역(A1)은 상기 플렉서블 필름(20)의 중앙부와 대응하는 제2 영역(A2)과 비교하여 상대적으로 더 높은 내부 압력이 유지될 수 있다. 또한, 상기 챔버 플레이트(224)의 제2 영역(A2)을 사이에 두고 제1 영역(A1)과 대칭되는 영역인 제3 영역(A3)은 상기 제1 영역(A1)과 마찬가지로 상기 플렉서블 필름(20)의 모서리 부분에 대응하므로, 상기 제1 영역(A1)의 내부 압력상태와 동일한 압력상태를 가질 수 있으며, 또한 제2 영역(A2)의 내부 압력상태보다는 더 높은 압력상태를 가질 수 있다. In this chamber plate 224, the plurality of first holes h1 are divided into at least one region, and the plurality of first holes h1 belonging to each region have the same internal pressure state. p) can be connected to each other. In addition, in the chamber plate 224, the plurality of first holes h1 are divided into at least one area A1, A2, A3, and the plurality of first holes h1 belonging to the same area are The air passages p may be connected to each other to have the same internal pressure state. For example, the first area A1 of the chamber plate 224 is an area corresponding to a corner portion of the flexible film 20. Particularly, since detachment or bending may occur at a corresponding edge portion of the flexible film 20, the first area A1 of the chamber plate 224 is a first area corresponding to the central portion of the flexible film 20. Compared to the two-region A2, a relatively higher internal pressure may be maintained. In addition, the third area A3, which is an area symmetrical to the first area A1 with the second area A2 of the chamber plate 224 therebetween, is similar to the first area A1, the flexible film ( Since it corresponds to the corner portion of 20), it may have the same pressure state as the internal pressure state of the first region A1, and may have a higher pressure state than the internal pressure state of the second region A2.

이때, 상기 챔버 플레이트(224)에 형성된 복수 개의 제1 홀(h1)이 분할되는 기준은 내부 압력을 조절하고자 하는 위치에 따라 분할될 수 있다. 예를 들면, 챔버 플레이트(224)의 한 쪽 모서리 부분이 기준 영역으로 설정된 경우에 중앙 영역 및 외곽 영역으로 각각 분할되거나, 또는 챔버 플레이트(224)의 사면의 각 모서리 부분이 일정한 영역으로 분할되거나, 또는 챔버 플레이트(224)의 중심 영역과, 외곽 영역으로 분할될 수 있다. In this case, a criterion by which the plurality of first holes h1 formed in the chamber plate 224 are divided may be divided according to a position at which the internal pressure is to be adjusted. For example, when one corner portion of the chamber plate 224 is set as a reference region, it is divided into a central region and an outer region, or each corner portion of the slope of the chamber plate 224 is divided into a predetermined region, Alternatively, the chamber plate 224 may be divided into a central region and an outer region.

이러한 흡착판(220)은 지그 플레이트(222)의 하부에 챔버 플레이트(224)가 적층되고, 상기 지그 플레이트(222)와 챔버 플레이트(224) 사이에 전도성 접착제가 도포되어, 상호간에 결합된다. 또한, 상기 전도성 접착제로 인하여 상기 지그 플레이트(222)와 챔버 플레이트(224) 사이에서 발생하는 정전기가 제거되고, 상호간에 전기적으로 도통된다. In the adsorption plate 220, a chamber plate 224 is stacked on a lower portion of the jig plate 222, and a conductive adhesive is applied between the jig plate 222 and the chamber plate 224, thereby being bonded to each other. In addition, due to the conductive adhesive, static electricity generated between the jig plate 222 and the chamber plate 224 is removed, and electrically conductive with each other.

특히, 도 2를 통해 설명한 흡착판(120) 구성과는 다르게, 본 실시 예에서는 챔버 플레이트(224)의 하부에 미세홀이 형성된 다공 플레이트가 위치하지 않는다. 상기 다공 플레이트를 대신하여 상기 챔버 플레이트(224)의 하부에는 연결 플레이트(230)가 위치한다. In particular, unlike the configuration of the adsorption plate 120 described with reference to FIG. 2, in the present embodiment, a porous plate having a fine hole formed under the chamber plate 224 is not located. A connection plate 230 is positioned under the chamber plate 224 in place of the porous plate.

연결 플레이트(230)는 흡착판(220)의 하부 즉, 챔버 플레이트(224)의 하부에 위치하고, 내부를 관통하도록 복수 개의 결합부재(232)가 하부 방향으로 돌출 형성된다. 이때, 상기 결합부재(232)는 상기 챔버 플레이트(224)에 형성된 제1 홀(h1)의 위치와 서로 대응하는 위치에 각각 형성될 수 있다. The connection plate 230 is located under the adsorption plate 220, that is, under the chamber plate 224, and a plurality of coupling members 232 protrude downward so as to penetrate the inside. In this case, the coupling member 232 may be formed at a position corresponding to each other with a position of the first hole h1 formed in the chamber plate 224.

필링부재(240)는 상기 연결 플레이트(230)에 형성된 결합부재(232)와 체결된다. The filling member 240 is fastened to the coupling member 232 formed on the connection plate 230.

흡착핀(250)은 일단에 상기 필링부재(240)가 삽입되고, 타단에 흡착패드(260)가 삽입되는 원통형으로 이루어진다. 이러한 흡착핀(250)은 파이프(251), 제1 플런저(252), 탄성부재(253), 제2 플런저(254), 핀헤드(255) 및 솔레노이드(256)를 포함하며, 도 6을 참조하여 보다 자세히 살펴보도록 한다. The suction pin 250 has a cylindrical shape in which the filling member 240 is inserted at one end and the suction pad 260 is inserted at the other end. The suction pin 250 includes a pipe 251, a first plunger 252, an elastic member 253, a second plunger 254, a pin head 255, and a solenoid 256, see FIG. Let's take a closer look.

도 6에 도시된 바와 같이, 파이프(251)는 일단과 타단이 개방되며, 내부가 중공상태인 원통형으로 이루어지고, 상기 타단에 병목부(BN)가 형성된다. As shown in FIG. 6, the pipe 251 has one end and the other end open, has a cylindrical shape with a hollow inside, and a bottleneck BN is formed at the other end.

제1 플런저(252)는 상기 파이프(251)의 일단 내부에 삽입되어, 흡착판(220)을 통한 공기의 흡입 또는 배출에 따라 직선 운동을 한다. The first plunger 252 is inserted into one end of the pipe 251 and performs a linear motion according to the suction or discharge of air through the suction plate 220.

탄성부재(253)는 일단이 상기 제1 플런저(252)와 연결되어, 상기 제1 플런저(252)의 직선 운동 시 발생하는 탄성력을 조절한다. The elastic member 253 has one end connected to the first plunger 252 and adjusts the elastic force generated when the first plunger 252 moves linearly.

제2 플런저(254)는 일단이 상기 탄성부재(253)의 타단과 연결되어, 상기 탄성부재(253)의 탄성력에 따라 상기 제1 플런저(252)의 운동 방향과 동일한 방향으로 직선 운동을 한다.The second plunger 254 has one end connected to the other end of the elastic member 253 and performs linear motion in the same direction as the movement direction of the first plunger 252 according to the elastic force of the elastic member 253.

핀헤드(255)는 상기 파이프(251)의 타단 내 병목부(B)에 위치하고, 일측이 상기 제2 플런저(254)와 연결되며, 타측이 흡착패드(260)와 연결된다. The pin head 255 is located at the bottleneck B in the other end of the pipe 251, one side is connected to the second plunger 254, and the other side is connected to the adsorption pad 260.

솔레노이드 연결부재(256)는 상기 파이프(251)의 타단 외측을 덮도록 위치한다. 이때, 상기 솔레노이드 연결부재(256)는 내부에 캠(Cam)이 형성되고, 외측에는 랙 앤 피니언(Rack and Pinion, 256a, 256b) 또는 와이어가 형성되어, 상기 랙 앤 피니언(256a, 256b) 또는 와이어를 통해 외부에 위치한 흡착패드용 솔레노이드(s2)와 연결된다.The solenoid connecting member 256 is positioned to cover the outside of the other end of the pipe 251. At this time, the solenoid connecting member 256 has a cam formed therein, and a rack and pinion (256a, 256b) or a wire is formed outside the solenoid connection member 256, and the rack and pinion (256a, 256b) or It is connected to the solenoid (s2) for the suction pad located outside through a wire.

따라서, 상기 흡착패드용 솔레노이드(s2)에 감겨진 코일에 전류를 흘려 상기 흡착패드용 솔레노이드(s2)가 전진 구동하면, 상기 흡착패드용 솔레노이드(s2)에 연결된 피니언(256b)이 회전하며 랙(256a)과 결합된다. 이어서, 상기 랙(256a)과 연결된 캠의 회전에 따라 흡착패드(260)가 사선 방향으로 이동하며, 결과적으로 상기 흡착패드(260)가 플렉서블 필름(20)을 흡착하는 위치를 변경할 수 있다.Therefore, when the solenoid for the adsorption pad s2 is driven forward by passing a current through the coil wound around the solenoid for the adsorption pad s2, the pinion 256b connected to the solenoid for the adsorption pad s2 rotates and the rack ( 256a). Subsequently, according to the rotation of the cam connected to the rack 256a, the adsorption pad 260 moves in a diagonal direction, and as a result, the position at which the adsorption pad 260 adsorbs the flexible film 20 may be changed.

흡착패드(260)는 일단에 패드부가 형성된 바 형태로 이루어져, 상기 흡착핀(250)의 타단에 삽입되어, 상기 패드부를 통해 상기 플렉서블 필름(20)을 흡착한 후, 이송하고자 하는 워크 스테이지(30)의 상부에 상기 플렉서블 필름(20)을 로딩한다. 특히, 상기 흡착패드(260)는 패드부가 형성된 일단이 외부로 노출되고, 바 형태로 이루어진 타단은 상기 흡착핀(250)의 내부에 삽입되어, 상기 흡착핀(250)의 병목부(BN)에 위치한 핀헤드(255)와 결합되는 형태로 구성된다. The adsorption pad 260 has a bar shape with a pad part formed at one end, is inserted into the other end of the adsorption pin 250, and adsorbs the flexible film 20 through the pad part, and then the work stage 30 to be transferred. ) The flexible film 20 is loaded on the top. In particular, the adsorption pad 260 has one end on which the pad part is formed is exposed to the outside, and the other end in the form of a bar is inserted into the adsorption pin 250 to be inserted into the bottleneck BN of the adsorption pin 250. It is configured in a form that is coupled with the located pin head 255.

따라서, 흡착판(220) 내 챔버 플레이트(224)의 내부 압력으로 인해 흡착핀(250) 내 제1 플런저(252)가 상부로 이동하면, 상기 제1 플런저(252)와 연결된 탄성부재(253)가 인장되고, 상기 탄성부재(253)의 타단에 연결된 제2 플런저(254) 또한 상부로 이동하며, 상기 제2 플런저(254)와 연결된 흡착패드 역시 상부 이동한다. 그러므로, 상기 흡착패드(260)에 흡착된 플렉서블 필름(20)이 픽업된다.Therefore, when the first plunger 252 in the adsorption pin 250 moves upward due to the internal pressure of the chamber plate 224 in the adsorption plate 220, the elastic member 253 connected to the first plunger 252 is The second plunger 254 which is tensioned and connected to the other end of the elastic member 253 also moves upward, and the suction pad connected to the second plunger 254 also moves upward. Therefore, the flexible film 20 adsorbed on the adsorption pad 260 is picked up.

특히, 필링부재(240), 흡착핀(250) 및 흡착패드(260)간에 연결구조에 대하여 보다 자세히 살펴보면, 필링부재(240)의 상단에 형성된 끼움부재(242)가 연결 플레이트(230)의 하부에 형성된 결합부재(232)에 끼워져 체결된다. 이때, 상기 끼움부재(242)와 상기 결합부재(232)에 나사산이 형성되어 나선결합 될 수 있다. 또는 상기 결합부재(232)의 내측에 돌기가 돌출 형성되어, 상기 결합부재(232)의 내측에 상기 끼움부재(242)가 삽입되어 끼움결합 될 수 있다. In particular, looking at the connection structure between the filling member 240, the suction pin 250 and the suction pad 260 in more detail, the fitting member 242 formed on the upper end of the peeling member 240 is the lower portion of the connection plate 230 It is fitted and fastened to the coupling member 232 formed in. In this case, a screw thread is formed in the fitting member 242 and the coupling member 232 to be helically coupled. Alternatively, a protrusion is formed on the inside of the coupling member 232 so that the fitting member 242 is inserted into the coupling member 232 to be fitted.

또한, 상기 필링부재(240)의 하단에 형성된 삽입관(246)이 흡착핀(250)의 파이프(251) 내부로 삽입되어, 제1 플런저(252)와 맞닿도록 위치한다. 따라서, 챔버 플레이트(224)의 내부 압력에 의해 연결 플레이트(230)와 필링부재(240)를 통해 흡착핀(250)의 파이프(251) 상단에 위치한 제1 플런저(252)가 상부로 당겨지거나 밀려난다. In addition, the insertion tube 246 formed at the lower end of the filling member 240 is inserted into the pipe 251 of the suction pin 250 and is positioned so as to contact the first plunger 252. Therefore, the first plunger 252 located at the top of the pipe 251 of the suction pin 250 is pulled or pushed upward through the connection plate 230 and the filling member 240 by the internal pressure of the chamber plate 224 Fly.

따라서, 본 발명에 따른 픽업툴(200)이 플렉서블 필름(20)을 흡착한 후 픽업하는 경우에는 상기 챔버 플레이트(224)의 내부 압력을 통해 제1 플런저(252)가 위로 상승하고, 상기 제1 플런저(252)에 연결된 탄성부재(253)가 인장되어, 상기 탄성부재(253)의 타단에 연결된 제2 플런저(254) 또한 위로 상승한다. 이에 따라, 상기 제2 플런저(254)와 연결된 핀헤드(255)가 상승하고, 상기 핀헤드(255)에 연결된 흡착패드(260) 역시 상승하여 픽업한 플렉서블 필름(20)가 픽업될 수 있다. Therefore, when the pickup tool 200 according to the present invention picks up after adsorbing the flexible film 20, the first plunger 252 rises upward through the internal pressure of the chamber plate 224, and the first The elastic member 253 connected to the plunger 252 is tensioned, and the second plunger 254 connected to the other end of the elastic member 253 also rises upward. Accordingly, the pin head 255 connected to the second plunger 254 rises, and the suction pad 260 connected to the pin head 255 also rises, so that the picked flexible film 20 may be picked up.

뿐만 아니라, 외부의 흡착패드용 솔레노이드(s2)와 흡착핀(250)이 랙 앤 피니언(256a, 256b)을 통해 연결되어, 상기 흡착패드용 솔레노이드(s2)의 구동에 따라 상기 흡착핀(250) 내 구비되는 캠이 회전하여, 상기 흡착핀(250)의 타단에 위치한 흡착패드(260)가 좌우 사선 방향으로 이동하며 플렉서블 필름(20)에 대한 흡착 위치를 변경할 수 있다.In addition, the solenoid (s2) for the adsorption pad and the adsorption pin 250 are connected through rack and pinions (256a, 256b), so that the adsorption pin 250 is driven by the solenoid for the adsorption pad (s2). As the cam provided therein rotates, the adsorption pad 260 located at the other end of the adsorption pin 250 moves in the left and right diagonal direction, and the adsorption position for the flexible film 20 may be changed.

다시 도 5로 돌아가서, 위치감지센서(270)는 상기 흡착판(220)으로부터 돌출 형성되고, 상기 복수 개의 흡착패드(260)에 흡착된 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치를 센싱한다. 이러한 위치감지센서(270)는 상기 흡착판(220)의 서로 다른 면으로부터 각각 돌출 형성되는 복수 개의 섬유 카메라를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 흡착판(220)의 전면 중 일면에 2 개의 섬유 카메라가 위치하고, 상기 일면과 맞닿은 타면에 1개의 섬유 카메라가 위치할 수 있다. 이에 따라, 각각의 섬유 카메라가 센싱한 플렉서블 필름(20)의 위치를 이용하여 상기 플렉서블 필름(20)의 어느 한 모서리를 중심으로 평탄한지 또는 일부가 굴곡되어 있는지 여부를 판단할 수 있다. Returning to FIG. 5, the position sensor 270 protrudes from the adsorption plate 220 and senses the current position of the flexible film 20 adsorbed on the plurality of adsorption pads 260. The position sensor 270 may include a plurality of fiber cameras protruding from different surfaces of the suction plate 220, respectively. For example, two fiber cameras may be positioned on one of the front surfaces of the adsorption plate 220, and one fiber camera may be positioned on the other surface in contact with the one surface. Accordingly, by using the position of the flexible film 20 sensed by each of the fiber cameras, it may be determined whether the flexible film 20 is flat or partially curved around any one edge of the flexible film 20.

제어부(미도시)는 상기 복수 개의 위치감지센서(270)로부터 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치정보를 각각 수신하고, 수신한 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치정보와, 미리 저장된 플렉서블 필름의 기준 위치정보를 비교하여 차이값을 생성한 후, 상기 플렉서블 필름(20)을 상기 워크 스테이지(30)로 이송하기 위한 상기 픽업헤드(210)의 이동거리에 상기 차이값을 반영하여 상기 픽업헤드(210)의 변위를 제어한다. A control unit (not shown) receives the current location information of the flexible film 20 from the plurality of location sensors 270, respectively, the received current location information of the flexible film 20, and the previously stored flexible film. After generating a difference value by comparing the reference position information, the pickup head is reflected by reflecting the difference value to the moving distance of the pickup head 210 for transferring the flexible film 20 to the work stage 30. 210) to control the displacement.

이처럼, 흡착패드(260)를 이용해 플렉서블 필름(20)을 합착하고 이송함으로써, 흡착핀(250) 내 삽입된 흡착패드(260)의 위치 조절을 통해 플렉서블 필름의 흡착 위치를 변경할 수 있다. In this way, by attaching and transferring the flexible film 20 using the adsorption pad 260, the adsorption position of the flexible film can be changed by adjusting the position of the adsorption pad 260 inserted in the adsorption pin 250.

또한, 픽업한 상태의 플렉서블 필름(20)을 이송하는 과정에서 이동거리에 더하여 플렉서블 필름(20)의 위치 보정을 함께 반영함으로써, 필름 이송에 따른 공정 단계 및 시간을 현저히 줄일 수 있다. In addition, by reflecting the position correction of the flexible film 20 in addition to the moving distance in the process of transferring the flexible film 20 in the picked up state, the process step and time according to the film transfer can be significantly reduced.

또한, 이하에서는 도 7을 참조하여, 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 제어방법에 대하여 살펴보도록 한다. In addition, hereinafter, referring to FIG. 7, a method of controlling a pickup tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 플렉서블 필름용 픽업툴의 제어방법은 척 테이블(10)에 위치한 플렉서블 필름(20)의 상부에 위치한 픽업툴(200)의 픽업헤드(210)가 이동하여, 상기 픽업헤드(210)의 하부에 위치한 흡착판(220)으로부터 돌출된 흡착패드(260)를 통해 상기 플렉서블 필름(20)을 먼저 픽업한다(S310).In a method of controlling a pickup tool for a flexible film according to another embodiment of the present invention, the pickup head 210 of the pickup tool 200 located above the flexible film 20 located on the chuck table 10 moves, and the The flexible film 20 is first picked up through the adsorption pad 260 protruding from the adsorption plate 220 located under the pickup head 210 (S310).

이때, 상기 흡착판(220)으로부터 돌출 형성된 복수 개의 위치감지센서(270)가 픽업된 상태의 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치를 각각 센싱하고(S320), 센싱한 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치를 제어부로 전송한다. At this time, each of the current positions of the flexible film 20 in a state in which the plurality of position detection sensors 270 protruding from the suction plate 220 are picked up (S320), and the current of the sensed flexible film 20 Transmit the location to the control unit.

상기 제어부가 상기 복수 개의 위치감지센서(270)로부터 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치정보를 수신한다(S330). 이에 따라, 상기 제어부가 상기 복수 개의 위치감지센서(270)로부터 각각 측정한 복수 개의 위치정보를 이용해 상기 플렉서블 필름(20)가 현재 픽업된 위치정보를 파악할 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 복수 개의 위치감지센서(270)가 상기 흡착판(220)의 전면 중 일면과, 상기 일면과 맞닿는 타면에 각각 형성됨에 따라, 상기 복수 개의 위치감지센서(270)로부터 수신한 복수 개의 위치정보를 이용하여 상기 플렉서블 필름(20)의 어느 한 모서리를 중심으로 픽업된 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 상태가 평탄한지 또는 단부 일부가 굴곡되어 있는지 여부를 파악할 수 있다. The control unit receives current location information of the flexible film 20 from the plurality of location sensors 270 (S330). Accordingly, the controller may grasp the location information of the flexible film 20 currently picked up by using the plurality of location information measured from the plurality of location sensors 270 respectively. In addition, as the plurality of position sensors 270 are formed on one of the front surfaces of the suction plate 220 and the other surface in contact with the one surface, a plurality of positions received from the plurality of position sensors 270 Using the information, it is possible to determine whether the current state of the flexible film 20 picked up around any one edge of the flexible film 20 is flat or whether a part of the end is bent.

따라서, 상기 제어부가 상기 플렉서블 필름(20)의 단부 일부가 굴곡되었다고 판단한 경우에는 흡착판(220)의 지그 플레이트(222)에 형성된 공기흡입구(222a)로 유입되거나, 배출되는 공기의 양을 조절하는 제어신호를 생성하고, 생성한 제어신호를 공기 유입 또는 배출 제어 장치로 전송할 수 있다. Accordingly, when the control unit determines that a part of the end of the flexible film 20 is bent, a control for adjusting the amount of air introduced or discharged into the air intake port 222a formed in the jig plate 222 of the suction plate 220 A signal may be generated and the generated control signal may be transmitted to an air intake or discharge control device.

이후, 상기 제어부가 상기 복수 개의 위치감지센서(270)로부터 수신한 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치정보와, 미리 저장된 플렉서블 필름(20)의 기준 위치정보를 비교하여 차이값을 연산한다(S340). 이때, 상기 제어부는 픽업툴(200)이 미리 설정된 위치 즉, 정상 위치에서 플렉서블 필름(20)을 픽업할 경우에, 예상되는 플렉서블 필름(20)의 기준 위치정보를 미리 저장하고 있다. 따라서, 픽업툴(200)이 척 테이블(10) 상에 위치한 플렉서블 필름(20)을 정상 위치에서 픽업하지 않더라도 연산된 차이값만큼 향후에 위치를 보정한 후, 워크 스테이지(30)의 설정된 정확한 위치에 플렉서블 필름(20)을 로딩할 수 있다. Thereafter, the control unit calculates a difference value by comparing the current position information of the flexible film 20 received from the plurality of position sensors 270 with the reference position information of the flexible film 20 stored in advance (S340). ). In this case, when the pickup tool 200 picks up the flexible film 20 at a preset position, that is, a normal position, the predicted reference position information of the flexible film 20 is stored in advance. Therefore, even if the pickup tool 200 does not pick up the flexible film 20 located on the chuck table 10 at the normal position, after correcting the position by the calculated difference value, the set accurate position of the work stage 30 The flexible film 20 may be loaded on.

상기 제어부가 상기 플렉서블 필름(20)을 워크 스테이지(30)로 이송하기 위한 이동거리에 상기 차이값을 반영하여 상기 픽업헤드(210)의 최종 변위정보를 생성한다(S350). 즉, 상기 제어부는 복수 개의 위치감지센서(270)로부터 플렉서블 필름(20)의 현재 위치정보를 수신하고, 상기 플렉서블 필름(20)을 이송시키고자 하는 목적지인 워크 스테이지(30)의 위치정보 또한 미리 알고 있으므로, 상기 플렉서블 필름(20)을 상기 워크 스테이지(30)로 이송시키기 위한 이동거리를 연산할 수 있다. 하지만, 상기 플렉서블 필름(20)의 현재 위치정보에 상기 이동거리만을 반영하여 최종 변위정보를 생성하고, 이에 따라 상기 플렉서블 필름(20)을 로딩할 경우, 상기 플렉서블 필름(20)을 척 테이블(10) 상에서 픽업할 당시 기준 위치정보와의 오차범위만큼 벗어난 위치에 상기 플렉서블 필름(20)을 로딩할 수 있다. 이러한 경우, 상기 플렉서블 필름(20)을 워크 스테이지(30) 상에 일단 로딩한 후, 후속공정을 진행하기에 앞서 로딩된 위치를 미리 설정된 기준 위치로 이동시키는 보정과정을 추가로 수행해야 하고, 따라서, 전체적인 공정 시간과 단계가 늘어날 수 있다. The control unit generates final displacement information of the pickup head 210 by reflecting the difference value to a moving distance for transferring the flexible film 20 to the work stage 30 (S350). That is, the control unit receives the current position information of the flexible film 20 from the plurality of position detection sensors 270, and the position information of the work stage 30, which is the destination to which the flexible film 20 is to be transferred, is also in advance. As it is known, a moving distance for transferring the flexible film 20 to the work stage 30 can be calculated. However, when the final displacement information is generated by reflecting only the moving distance in the current position information of the flexible film 20, and accordingly, when the flexible film 20 is loaded, the flexible film 20 is placed on a chuck table 10 ) It is possible to load the flexible film 20 at a position that is out of the error range from the reference position information at the time of pickup. In this case, after loading the flexible film 20 on the work stage 30 once, a correction process of moving the loaded position to a preset reference position before proceeding with the subsequent process needs to be additionally performed. However, the overall process time and steps can be increased.

하지만, 제어부가 픽업툴(200)이 픽업한 플렉서블 필름(20)을 워크 스테이지(30)에 이송하는 단계에서 이동거리에 더하여, 상기 플렉서블 필름(20)의 위치에 따른 차이값을 반영한 최종 변위정보를 생성함으로써, 플렉서블 필름(20)의 이송과 위치 보정을 동시에 진행하여 전체적인 공정 단계 및 시간을 줄일 수 있다. However, in the step of transferring the flexible film 20 picked up by the pick-up tool 200 to the work stage 30 by the control unit, in addition to the moving distance, the final displacement information reflecting the difference value according to the position of the flexible film 20 By generating, it is possible to reduce the overall process step and time by simultaneously performing the transfer and position correction of the flexible film 20.

이에 따라, 상기 제어부가 상기 픽업헤드(210)를 상기 최종 변위정보로 이동시키기 위한 픽업헤드용 제어신호를 생성하고, 상기 픽업헤드용 제어신호를 상기 픽업헤드(210)로 전송한다(S360). Accordingly, the control unit generates a control signal for the pickup head for moving the pickup head 210 to the final displacement information, and transmits the control signal for the pickup head to the pickup head 210 (S360).

상기 픽업헤드(210)가 상기 제어부로부터 수신한 상기 픽업헤드용 제어신호에 응답하여 상기 최종 변위정보로 이동한 후, 픽업한 상기 플렉서블 필름(20)을 상기 워크 스테이지(30)에 로딩한다(S370). 그러므로, 상기 픽업헤드(200)는 픽업한 상태의 상기 플렉서블 필름(20)에 대하여 위치 보정과 함께 워크 스테이지(30)로의 이송 단계를 동시에 수행할 수 있어, 결과적으로 플렉서블 필름(20)의 이송에 따른 공정 단계 및 시간이 줄어드는 것은 물론이고, 위치 정확도 또한 향상시킬 수 있다. After the pickup head 210 moves to the final displacement information in response to the pickup head control signal received from the control unit, the picked up flexible film 20 is loaded onto the work stage 30 (S370). ). Therefore, the pickup head 200 can simultaneously perform a position correction and a transfer step to the work stage 30 with respect to the flexible film 20 in the picked up state, resulting in the transfer of the flexible film 20 As a result, process steps and time can be reduced, and positioning accuracy can be improved.

이와 같이, 본 발명에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법은 미리 설정된 위치가 아닌 지점에서 일단 플렉서블 필름을 픽업한 후 워크 스테이지로 이송하는 과정에서, 상기 플렉서블 필름에 대한 위치 보정을 함께 수행함에 따라 로딩 후에 이어지는 위치 보정 단계를 생략할 수 있어, 전체적인 공정 단계 및 시간을 현저히 줄일 수 있다. As described above, the pick-up tool for a flexible film and a control method thereof according to the present invention perform position correction for the flexible film together in the process of picking up the flexible film at a point other than a preset position and then transferring it to the work stage. Accordingly, the position correction step following the loading can be omitted, and the overall process step and time can be significantly reduced.

더불어, 본 발명에 의한 플렉서블 필름용 픽업툴 및 이의 제어방법은 매우 얇은 두께의 플렉서블 필름을 픽업 시, 상기 플렉서블 필름의 단부 일부가 휘어지거나 굴곡이 발생한 경우에도 상기 플렉서블 필름의 각 영역별 픽업을 위한 흡입 강도를 개별적으로 조절함으로써, 픽업된 플렉서블 필름의 평탄도를 고르게 하여, 워크 스테이지상에 최종 로딩 시에 상기 플렉서블 필름의 로딩 위치가 미세하게 변경되는 것을 사전에 방지할 수 있다.In addition, the pick-up tool for a flexible film and its control method according to the present invention are for picking up each area of the flexible film even when a part of the end of the flexible film is bent or bent when picking up a very thin flexible film. By individually adjusting the suction strength, the flatness of the picked up flexible film can be evenly prevented in advance from changing the loading position of the flexible film minutely at the time of final loading on the work stage.

상기한 본 발명의 바람직한 실시 예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.Preferred embodiments of the present invention described above are disclosed for the purpose of illustration, and those skilled in the art with ordinary knowledge of the present invention will be able to make various modifications, changes and additions within the spirit and scope of the present invention, The addition should be seen as falling within the scope of the following claims.

110, 210: 픽업헤드 120, 220: 흡착판
122, 222: 지그 플레이트 124, 224: 챔버 플레이트
126: 다공 플레이트 122a, 222a: 공기흡입구
122b, 222b: 정렬용 핀 연결부재 122c: 정렬용 핀
122c-1: 와이어 연결구 122c-2: 플레이트 연결구
h1: 제1 홀 p: 공기통로
A1: 제1 영역 A2: 제2 영역
A3: 제3 영역 h2: 미세홀
230: 연결 플레이트 232: 결합부재
240: 필링부재 242: 끼움부재
244: 연결단 246: 삽입관
250: 흡착핀 251: 파이프
252: 제1 플런저 253: 탄성부재
254: 제2 플런저 255: 핀헤드
256: 솔레노이드 연결부재 260: 흡착패드
270: 위치감지센서110, 210: pickup head 120, 220: suction plate
122, 222: jig plate 124, 224: chamber plate
126: porous plate 122a, 222a: air inlet
122b, 222b: alignment pin connection member 122c: alignment pin
122c-1: wire connector 122c-2: plate connector
h1: hole 1 p: air passage
A1: first area A2: second area
A3: third area h2: micro hole
230: connection plate 232: coupling member
240: peeling member 242: fitting member
244: connection end 246: insertion tube
250: suction pin 251: pipe
252: first plunger 253: elastic member
254: second plunger 255: pin head
256: solenoid connecting member 260: suction pad
270: position detection sensor

Claims (10)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 척 테이블에 위치한 플렉서블 필름의 상부에 위치하며, 상기 플렉서블 필름을 워크 스테이지로 이송시키기 위해 이동하는 픽업헤드;
상기 픽업헤드의 하부에 결합되고, 미리 분할된 적어도 하나의 영역별로 내부 압력상태가 조절되는 흡착판;
상기 흡착판의 하부에 위치하고, 내부를 관통하도록 복수 개의 결합부재가 하부 방향으로 돌출 형성되는 연결 플레이트;
상기 연결 플레이트에 형성된 결합부재와 체결되는 필링부재;
일단에 상기 필링부재가 삽입되고, 타단에 흡착패드가 삽입되는 원통형의 흡착핀;
상기 흡착핀의 타단에 삽입되어, 상기 플렉서블 필름을 흡착한 후, 이송하고자 하는 워크 스테이지의 상부에 상기 플렉서블 필름을 로딩하는 흡착패드;
상기 흡착판으로부터 돌출 형성되고, 상기 복수 개의 흡착패드에 흡착된 상기 플렉서블 필름의 현재 위치를 센싱하는 복수 개의 위치감지센서; 및
상기 복수 개의 위치감지센서로부터 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보를 각각 수신하고, 수신한 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보와, 미리 저장된 플렉서블 필름의 기준 위치정보를 비교하여 차이값을 생성한 후, 상기 플렉서블 필름을 상기 워크 스테이지로 이송하기 위한 상기 픽업헤드의 이동거리에 상기 차이값을 반영하여 상기 픽업헤드의 변위를 제어하는 제어부;
를 포함하는 플렉서블 필름용 픽업툴.
A pickup head positioned above the flexible film located on the chuck table and moving to transfer the flexible film to the work stage;
A suction plate coupled to a lower portion of the pickup head and controlling an internal pressure state for each of at least one pre-divided region;
A connection plate located under the suction plate and having a plurality of coupling members protruding downwardly to penetrate the inside;
A filling member fastened to a coupling member formed on the connection plate;
A cylindrical suction pin into which the filling member is inserted at one end and an adsorption pad is inserted at the other end;
An adsorption pad inserted into the other end of the adsorption pin to adsorb the flexible film and then load the flexible film onto an upper part of a work stage to be transferred;
A plurality of position sensing sensors protruding from the adsorption plate and sensing current positions of the flexible film adsorbed on the plurality of adsorption pads; And
After receiving the current position information of the flexible film from the plurality of position sensing sensors, respectively, comparing the received current position information of the flexible film with the reference position information of the previously stored flexible film to generate a difference value, and then the flexible A control unit for controlling displacement of the pickup head by reflecting the difference value to a moving distance of the pickup head for transferring the film to the work stage;
Pick-up tool for a flexible film comprising a.
 제4항에 있어서,
상기 흡착판은
상기 픽업헤드의 하부에 결합되고, 상부 일측에 공기흡입구가 내부를 관통하도록 형성되어, 상기 공기흡입구를 통해 외부로부터 공기가 유입되거나 외부로 공기가 배출되는 지그 플레이트; 및
상기 지그 플레이트의 하부에 위치하고, 복수 개의 제1 홀이 상호간에 일정거리 이격되며 내부를 관통하도록 전면에 형성되어, 상기 지그 플레이트를 통해 유입되거나 배출되는 공기에 의해 상기 복수 개의 제1 홀의 내부 압력상태가 조절되는 챔버 플레이트;
를 포함하고,
상기 지그 플레이트 및 챔버 플레이트가 전도성 접착제를 통해 상호 결합되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 필름용 픽업툴.
The method of claim 4,
The suction plate
A jig plate coupled to a lower portion of the pickup head and formed at one side of the upper portion so that an air intake port penetrates the inside thereof, and through which air is introduced from the outside or air is discharged to the outside through the air inlet; And
Located under the jig plate, a plurality of first holes are spaced apart from each other by a certain distance and formed on the front surface to penetrate the inside, and the internal pressure state of the plurality of first holes by air introduced or discharged through the jig plate Chamber plate is adjusted;
Including,
The pick-up tool for a flexible film, characterized in that the jig plate and the chamber plate are coupled to each other through a conductive adhesive.
 제5항에 있어서,
상기 챔버 플레이트는
상기 복수 개의 제1 홀이 적어도 하나의 영역으로 분할되고, 각 영역에 속한 상기 복수 개의 제1 홀이 상호 간에 동일한 내부 압력상태를 갖도록 공기 통로가 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 필름용 픽업툴.
The method of claim 5,
The chamber plate is
The plurality of first holes are divided into at least one region, and the air passages are connected to each other so that the plurality of first holes belonging to each region have the same internal pressure state.
 제4항에 있어서,
상기 흡착핀은
일단과 타단이 개방되며, 내부가 중공상태이고, 상기 타단에 병목부가 형성되는 파이프;
상기 파이프의 일단 내부에 삽입되어, 상기 흡착판을 통한 내부공기의 흡입에 따라 직선 운동하는 제1 플런저;
일단이 상기 제1 플런저와 연결되어, 상기 제1 플런저의 직선 운동 시, 발생하는 탄성력을 조절하는 탄성부재;
일단이 상기 탄성부재의 타단과 연결되어, 상기 탄성부재의 탄성력에 따라 직선 운동하는 제2 플런저;
상기 파이프 내 병목부에 위치하고, 일측이 상기 제2 플런저와 연결되며, 타측이 바 형태의 상기 흡착패드와 연결되는 핀헤드; 및
상기 파이프의 타단 외측을 덮도록 위치하고, 외부의 흡착패드용 솔레노이드와 연결되는 솔레노이드 연결부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 필름용 픽업툴.
The method of claim 4,
The adsorption pin is
A pipe having one end and the other end open, the interior of which is hollow, and having a bottleneck portion formed at the other end;
A first plunger inserted into one end of the pipe and linearly moving according to the suction of internal air through the suction plate;
An elastic member having one end connected to the first plunger to adjust an elastic force generated during linear motion of the first plunger;
A second plunger having one end connected to the other end of the elastic member and moving linearly according to the elastic force of the elastic member;
A pin head positioned at the bottleneck in the pipe, one side connected to the second plunger, and the other side connected to the bar-shaped suction pad; And
A solenoid connecting member positioned to cover the outside of the other end of the pipe and connected to the solenoid for an external suction pad;
Pick-up tool for a flexible film, characterized in that it comprises a.
 제7항에 있어서,
상기 흡착패드는
상기 흡착패드용 솔레노이드에 의해, 사선 방향으로 이동하며 상기 플렉서블 필름을 흡착하는 위치를 변경하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 필름용 픽업툴.
The method of claim 7,
The adsorption pad
A pick-up tool for a flexible film, characterized in that the solenoid for the suction pad moves in a diagonal direction and changes a position at which the flexible film is adsorbed.
 제4항에 있어서,
상기 위치감지센서는
상기 흡착판의 서로 다른 면으로부터 각각 돌출 형성되는 복수 개의 섬유 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 필름용 픽업툴.
The method of claim 4,
The location sensor is
A pick-up tool for a flexible film comprising a plurality of fiber cameras protruding from different surfaces of the suction plate, respectively.
 척 테이블에 위치한 플렉서블 필름의 상부에 위치한 픽업툴의 픽업헤드가 이동하여, 상기 픽업헤드의 하부에 위치한 흡착판으로부터 돌출된 흡착패드를 통해 상기 플렉서블 필름을 픽업하는 단계;
상기 흡착판으로부터 돌출 형성된 복수 개의 위치감지센서가 상기 플렉서블 필름의 현재 위치를 각각 센싱하는 단계;
제어부가 상기 복수 개의 위치감지센서로부터 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보를 수신하는 단계;
상기 제어부가 상기 복수 개의 위치감지센서로부터 수신한 상기 플렉서블 필름의 현재 위치정보와 미리 저장된 플렉서블 필름의 기준 위치정보를 비교하여 차이값을 연산하는 단계;
상기 제어부가 상기 플렉서블 필름을 워크 스테이지로 이송하기 위한 이동거리에 상기 차이값을 반영하여 상기 픽업헤드의 최종 변위정보를 생성하는 단계;
상기 제어부가 상기 픽업헤드를 상기 최종 변위정보로 이동시키기 위한 픽업헤드용 제어신호를 생성하고, 상기 픽업헤드용 제어신호를 상기 픽업헤드로 전송하는 단계; 및
상기 픽업헤드가 상기 제어부로부터 수신한 상기 픽업헤드용 제어신호에 응답하여 상기 최종 변위정보로 이동한 후, 픽업한 상기 플렉서블 필름을 상기 워크 스테이지에 로딩하는 단계;
를 포함하는 플렉서블 필름용 픽업툴의 제어방법. Picking up the flexible film through a suction pad protruding from a suction plate located under the pickup head by moving a pickup head of a pickup tool located above the flexible film located on a chuck table;
Sensing a current position of the flexible film by a plurality of position sensing sensors protruding from the suction plate;
Receiving, by a controller, current location information of the flexible film from the plurality of location sensors;
Calculating a difference value by comparing, by the control unit, current position information of the flexible film received from the plurality of position sensing sensors with reference position information of the flexible film previously stored;
Generating, by the control unit, the final displacement information of the pickup head by reflecting the difference value in a moving distance for transferring the flexible film to a work stage;
Generating, by the control unit, a control signal for a pickup head for moving the pickup head to the final displacement information, and transmitting the control signal for the pickup head to the pickup head; And
Loading the picked flexible film onto the work stage after the pickup head moves to the final displacement information in response to the pickup head control signal received from the control unit;
Control method of a pick-up tool for a flexible film comprising a.
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