KR102157792B1 - System for monitoring a process environment - Google Patents

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Abstract

본 개시의 예시적 실시예에 따른 공정 환경 시스템은 공정 환경에 설치되어 서로 다른 화학 물질들의 탐지가 가능한 복수의 탐지 센서들을 포함하는 멀티 탐지 센서 모듈; 상기 탐지 센서 모듈로부터 전송된 데이터를 통해 탐지된 상기 화학 물질들의 발생원을 탐지하는 발생원 탐지 모듈; 상기 발생원 탐지 모듈로부터 전송된 데이터에 기초하여 상기 공정 환경을 분석하는 공정 환경 분석 모듈; 및 상기 멀티 탐지 센서 모듈과 상기 발생원 탐지 모듈 사이의 통신을 개시시키고, 상기 발생원 탐지 모듈의 작동을 개시시키는 웨이크 업 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.A process environment system according to an exemplary embodiment of the present disclosure includes a multi detection sensor module including a plurality of detection sensors installed in a process environment and capable of detecting different chemical substances; A source detection module configured to detect a source of the chemical substances detected through data transmitted from the detection sensor module; A process environment analysis module for analyzing the process environment based on data transmitted from the source detection module; And a wake-up module for initiating communication between the multi-detection sensor module and the source detection module and starting the operation of the source detection module.

Figure R1020180134441
Figure R1020180134441

Description

공정 환경 감시 시스템 {System for monitoring a process environment}Process environment monitoring system {System for monitoring a process environment}

본 개시의 기술적 사상은 공정 환경 감시 시스템에 관한 것으로, 보다 자세하게는 공정 환경의 정상 여부를 감시하는 멀티 탐지 모듈을 포함하는 공정 환경 감시 시스템에 관한 것이다.The technical idea of the present disclosure relates to a process environment monitoring system, and more particularly, to a process environment monitoring system including a multi-detection module that monitors whether the process environment is normal.

반도체 공정을 포함하는 다양한 공정 환경에서 다수의 화학 물질들이 사용되고 있다. 상기 공정 환경에서 상기 화학 물질들의 누설 수준은 미리 결정된 범위 이내여야 한다. 상기 화학 물질들의 누설 수준이 미리 결정된 범위의 값을 벗어나면, 상기 공정이 정상적으로 진행되지 않는 것으로 판단될 수 있다. 따라서, 상기 공정 환경에서 사용되는 다양한 화학 물질들은 실시간으로 감시될 필요가 있다.A number of chemicals are used in various process environments including semiconductor processes. The level of leakage of the chemical substances in the process environment should be within a predetermined range. When the leakage level of the chemical substances exceeds a value of a predetermined range, it may be determined that the process does not proceed normally. Therefore, various chemical substances used in the process environment need to be monitored in real time.

본 개시의 기술적 사상이 해결하고자 하는 첫번째 과제는 다양한 화학 물질을 포함하는 공정 환경의 실시간 감시가 가능한 공정 환경 감시 시스템을 제공하는 것이다.The first problem to be solved by the technical idea of the present disclosure is to provide a process environment monitoring system capable of real-time monitoring of a process environment including various chemical substances.

본 개시의 기술적 사상이 해결하고자 하는 두번째 과제는 공정 환경의 관리과정에서 공정 장치의 클리닝 작업의 부족 또는 체결 부위의 손상으로 인한 화학 물질을 탐지하여 공정 환경의 안정성을 제공할 수 있는 공정 환경 감시 시스템을 제공하는 것이다.The second problem to be solved by the technical idea of the present disclosure is a process environment monitoring system capable of providing stability of the process environment by detecting chemical substances due to lack of cleaning work or damage to the fastening part in the process environment management process. Is to provide.

본 개시의 기술적 사상이 해결하고자 하는 세번째 과제는 공정 환경에 적합한 탐지 센서를 활용하여 낮은 농도의 화학 물질들의 탐지가 가능하고, 상기 탐지된 결과에 따라 상기 공정 환경 내에 적절한 조치를 취할 수 있는 공정 환경 시스템을 제공하는 것이다.The third problem to be solved by the technical idea of the present disclosure is a process environment in which low concentration of chemical substances can be detected using a detection sensor suitable for the process environment, and appropriate measures can be taken in the process environment according to the detected result. To provide a system.

상기 목적을 달성하기 위해서, 본 개시의 일 실시예로 공정 환경에 설치되어 서로 다른 화학 물질들의 탐지가 가능한 복수의 탐지 센서들을 포함하는 멀티 탐지 센서 모듈; 상기 멀티 탐지 센서 모듈로부터 전송된 데이터를 통해 탐지된 상기 화학 물질들의 발생원을 탐지하는 발생원 탐지 모듈; 상기 발생원 탐지 모듈로부터 전송된 데이터에 기초하여 상기 공정 환경을 분석하는 공정 환경 분석 모듈; 및 상기 멀티 탐지 센서 모듈과 상기 발생원 탐지 모듈 사이의 통신을 개시시키고, 상기 발생원 탐지 모듈의 작동을 개시시키는 웨이크 업 모듈;을 포함하는 공정 환경 감시 시스템을 제공한다.In order to achieve the above object, as an embodiment of the present disclosure, a multi detection sensor module including a plurality of detection sensors installed in a process environment and capable of detecting different chemical substances; A source detection module for detecting the source of the chemical substances detected through data transmitted from the multi-detection sensor module; A process environment analysis module for analyzing the process environment based on data transmitted from the source detection module; And a wake-up module for initiating communication between the multi-detection sensor module and the source detection module and starting the operation of the source detection module.

본 개시의 일 실시예로 공정 챔버에 있어서, 상기 공정 챔버는 상기 공정 챔버의 공정 환경을 감시하는 공정 환경 감시 시스템을 이용하고, 상기 공정 환경 감시 시스템은 상기 공정 환경에 설치되어 서로 다른 화학 물질들의 탐지가 가능한 복수의 탐지 센서들을 포함하는 멀티 탐지 센서 모듈; 상기 멀티 탐지 센서 모듈로부터 전송된 데이터를 통해 탐지된 상기 화학 물질들의 발생원을 탐지하는 발생원 탐지 모듈; 상기 발생원 탐지 모듈로부터 전송된 데이터에 기초하여 상기 공정 환경을 분석하는 공정 환경 분석 모듈; 및 상기 멀티 탐지 센서 모듈과 상기 발생원 탐지 모듈 사이의 통신을 개시시키고, 상기 발생원 탐지 모듈의 작동을 개시시키는 웨이크 업 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In the process chamber according to an embodiment of the present disclosure, the process chamber uses a process environment monitoring system for monitoring the process environment of the process chamber, and the process environment monitoring system is installed in the process environment to prevent different chemical substances from being stored. A multi detection sensor module including a plurality of detection sensors capable of detection; A source detection module for detecting the source of the chemical substances detected through data transmitted from the multi-detection sensor module; A process environment analysis module for analyzing the process environment based on data transmitted from the source detection module; And a wake-up module for initiating communication between the multi-detection sensor module and the source detection module and starting the operation of the source detection module.

본 개시의 기술적 사상에 따른 공정 환경 감시 시스템은 멀티 탐지 센서 모듈을 포함하여, 공정 환경 내 다양한 화학 물질들을 실시간으로 탐지할 수 있다.The process environment monitoring system according to the technical idea of the present disclosure may include a multi-detection sensor module to detect various chemical substances in the process environment in real time.

본 개시의 기술적 사상에 따른 공정 환경 감시 시스템은 멀티 탐지 센서 모듈을 포함하여, 공정 환경 내 공정 장치의 클리닝 작업의 부족 또는 체결 부위의 손상으로 인한 화학 물질을 탐지하여 공정 환경의 안전성을 제공할 수 있다.The process environment monitoring system according to the technical idea of the present disclosure includes a multi-detection sensor module to detect chemical substances due to lack of cleaning work of process equipment in the process environment or damage to the fastening portion to provide safety of the process environment. have.

본 개시의 기술적 사상에 따른 공정 환경 감시 시스템은 멀티 탐지 센서 모듈, 공정 환경 분석 모듈 및 피드백 모듈 등을 포함하여, 낮은 농도의 화학 물질들을 탐지하고, 상기 탐지된 결과에 따라 상기 공정 환경에 적절한 조치를 취할 수 있다.The process environment monitoring system according to the technical idea of the present disclosure includes a multi-detection sensor module, a process environment analysis module, a feedback module, and the like, to detect low concentration of chemical substances, and take appropriate measures for the process environment according to the detected result. Can take.

도 1은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템의 작동 구조를 보여주는 도면이다.
도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템을 이용하는 공정 챔버들을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 멀티 탐지 센서 모듈을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 개시의 일 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템에 의해 공정 환경이 조절되는 과정을 보여주는 플로우 차트이다.1 is a diagram showing a process environment monitoring system according to an exemplary embodiment of the present disclosure.
2 is a diagram showing an operation structure of a process environment monitoring system according to an embodiment of the present disclosure.
3 is a diagram illustrating process chambers using a process environment monitoring system according to an embodiment of the present disclosure.
4 is a diagram illustrating a multi-detection sensor module according to an embodiment of the present disclosure.
5 is a flowchart illustrating a process of controlling a process environment by the process environment monitoring system according to an embodiment of the present disclosure.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 개시의 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템(100)을 보여주는 도면이다.1 is a diagram showing a process environment monitoring system 100 according to an exemplary embodiment of the present disclosure.

도 1을 참조할 때, 상기 공정 환경 감시 시스템(100)은 멀티 탐지 센서 모듈(11), 발생원 탐지 모듈(12), 공정 환경 분석 모듈(13), 작동 조절 모듈(14), 웨이크 업(wake up) 모듈(15), 피드백 모듈(16) 및 통신 모듈(17)을 포함할 수 있다.1, the process environment monitoring system 100 includes a multi-detection sensor module 11, a source detection module 12, a process environment analysis module 13, an operation control module 14, and wake-up. up) may include a module 15, a feedback module 16 and a communication module 17.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 공정 환경에 설치될 수 있고, 서로 다른 화학 물질들의 탐지가 가능한 복수의 탐지 센서들을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 복수의 탐지 센서들이 포함된 하나의 센서 칩, 또는 하나의 센서 태그일 수 있다. 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 포함하는 복수의 탐지 센서들은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 위치하는 공정 환경에 따라 적절하게 선택될 수 있다.The multi-detection sensor module 11 may be installed in a process environment, and may include a plurality of detection sensors capable of detecting different chemical substances. In one embodiment, the multi-detection sensor module 11 may be a single sensor chip including a plurality of detection sensors or a single sensor tag. The plurality of detection sensors included in the multi detection sensor module 11 may be appropriately selected according to a process environment in which the multi detection sensor module 11 is located.

상기 복수의 탐지 센서들은 공정 환경 내의 기체 상태의 화학 물질들을 탐지할 수 있고, 또한 상기 화학 물질들의 냄새 성분들을 탐지할 수도 있다. 일 실시예로, 상기 복수의 탐지 센서들은 SiH4, GeH4, PH3, DCS, B2H6, AsH3, 및 NH3 등의 화학 물질들을 탐지할 수 있다. 다만, 상기 복수의 탐지 센서들은 상기 열거한 화학 물질들에 한정되어 탐지하지 않고, 다양한 공정 환경에서 사용될 수 있는 다양한 화학 물질들을 탐지할 수 있다. The plurality of detection sensors may detect gaseous chemical substances in a process environment, and may also detect odor components of the chemical substances. In an embodiment, the plurality of detection sensors may detect chemical substances such as SiH 4 , GeH 4 , PH 3 , DCS, B 2 H 6 , AsH 3 , and NH 3 . However, the plurality of detection sensors are not limited to the chemical substances listed above and may not detect various chemical substances that can be used in various process environments.

상기 복수의 탐지 센서들 중 적어도 어느 하나는 분자 클러스터 또는 미세 입자의 단위로 공정 환경 내의 화학 물질들의 탐지가 가능할 수 있다. 일 실시예로, 상기 탐지 센서는 ppm(part per million), ppb(part per billion)의 단위로 공정 환경 내의 화학 물질들의 부피 비를 탐지할 수 있다. At least one of the plurality of detection sensors may detect chemical substances in a process environment in units of molecular clusters or fine particles. In an embodiment, the detection sensor may detect a volume ratio of chemical substances in a process environment in units of part per million (ppm) and part per billion (ppb).

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 다양한 개수로 다양한 공정 환경에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 공정 챔버 및 이송 경로 등에 위치할 수 있다.The multi-detection sensor module 11 may be located in various process environments in various numbers. For example, the multi-detection sensor module 11 may be located in a process chamber and a transport path.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 실시간으로 상기 공정 환경을 탐지할 수 있고, 다양한 탐지 회로들을 포함할 수 있다.The multi-detection sensor module 11 may detect the process environment in real time and may include various detection circuits.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 통신 수단을 포함하여 상기 발생원 탐지 모듈(12)과 데이터 통신을 할 수 있다. 또한, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 상기 공정 환경에 배치된 중계 모듈과 유선 또는 무선으로 연결되어, 상기 발생원 탐지 모듈(12)과 데이터 통신을 할 수 있다.The multi-detection sensor module 11 may include a communication means for data communication with the source detection module 12. In addition, the multi-detection sensor module 11 may be connected to a relay module disposed in the process environment by wire or wirelessly to perform data communication with the source detection module 12.

상기 발생원 탐지 모듈(12)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)에서부터 전송된 데이터를 통해 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)에 의해 탐지된 화학 물질들의 발생원을 탐지할 수 있다.The source detection module 12 may detect a source of chemical substances detected by the multi detection sensor module 11 through data transmitted from the multi detection sensor module 11.

상기 하나의 발생원 탐지 모듈(12)은 상기 복수의 멀티 탐지 센서 모듈(11)과 연결될 수 있다. 상기 다양한 공정 환경에 위치한 복수의 멀티 탐지 센서 모듈(11)들은 고유 코드를 포함할 수 있다. 상기 발생원 탐지 모듈(12)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)로부터 전송된 고유 코드로부터 화학 물질의 탐지 위치를 확인할 수 있다.The single source detection module 12 may be connected to the plurality of multi detection sensor modules 11. The plurality of multi-detection sensor modules 11 located in the various process environments may include unique codes. The source detection module 12 may check the detection position of the chemical substance from the unique code transmitted from the multi-detection sensor module 11.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 탐지 시각, 탐지 화학 물질, 탐지 위치 등의 데이터를 상기 발생원 탐지 모듈(12)에 전송할 수 있다. 상기 발생원 탐지 모듈(12)은 상기 탐지 시각, 탐지 화학 물질, 탐지 위치의 데이터를 분류할 수 있고, 상기 분류된 데이터들을 상기 공정 환경 분석 모듈(13)로 전송할 수 있다.The multi-detection sensor module 11 may transmit data such as a detection time, a detection chemical, and a detection location to the source detection module 12. The source detection module 12 may classify data of the detection time, detection chemical, and detection location, and transmit the classified data to the process environment analysis module 13.

상기 공정 환경 분석 모듈(13)은 상기 발생원 탐지 모듈(12)로부터 전송된 데이터를 기반으로 상기 공정 환경을 분석할 수 있다.The process environment analysis module 13 may analyze the process environment based on data transmitted from the source detection module 12.

보다 구체적으로, 상기 공정 환경 분석 모듈(13)은 상기 발생원 탐지 모듈(12)이 분류하여 전송한 탐지 시각, 탐지 화학 물질, 탐지 위치 등의 데이터를 기반으로 상기 공정 환경을 분석하여 상기 공정 환경에서 진행되는 공정의 정상 여부를 판단할 수 있다.More specifically, the process environment analysis module 13 analyzes the process environment based on data such as a detection time, a detection chemical, and a detection location classified and transmitted by the source detection module 12, and It is possible to determine whether the ongoing process is normal.

또한, 상기 공정 환경 분석 모듈(13)은 시간의 경과에 따른 공정 환경 내의 공정 분석 리포트를 생성할 수도 있다. 예를 들어, 상기 공정 환경 분석 모듈(13)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)에 의해 탐지된 화학 물질의 시간에 따른 농도 변화 추이 그래프를 생성할 수 있다.In addition, the process environment analysis module 13 may generate a process analysis report in the process environment over time. For example, the process environment analysis module 13 may generate a graph of a change in concentration over time of a chemical substance detected by the multi-detection sensor module 11.

상기 공정 환경 분석 모듈(13)에 의해 분석된 데이터는 상기 통신 모듈(17)을 통해 관리 권한을 가진 전자 기기로 전달될 수 있다. 또한, 상기 공정 환경 분석 모듈(13)에 의해 분석된 데이터는 상기 작동 조절 모듈(14)로 전달될 수도 있다.The data analyzed by the process environment analysis module 13 may be transmitted to an electronic device having management authority through the communication module 17. In addition, the data analyzed by the process environment analysis module 13 may be transmitted to the operation control module 14.

상기 작동 조절 모듈(14)은 상기 공정 환경 분석 모듈(13)이 분석한 데이터에 기초하여, 공정 환경을 조절할 수 있다.The operation control module 14 may adjust a process environment based on the data analyzed by the process environment analysis module 13.

상기 작동 조절 모듈(14)이 조절한 공정 환경의 결과는 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)로 전송될 수 있다. 예를 들어, 상기 작동 조절 모듈(14)이 상기 공정 환경에서 조절한 화학 물질에 대한 데이터는 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)로 전송될 수 있다.The result of the process environment controlled by the operation control module 14 may be transmitted to the multi-detection sensor module 11. For example, data on a chemical substance controlled by the operation control module 14 in the process environment may be transmitted to the multi-detection sensor module 11.

상기 작동 조절 모듈(14)로부터 상기 데이터를 전송 받은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 상기 데이터에 따라 보다 강화된 조건에서 화학 물질들을 탐지할 수 있다. 예를 들어, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 탐지된 화학 물질과 관련된 탐지 센서들의 능력을 향상시킬 수 있고, 동시에 탐지되지 않은 화학 물질과 관련된 탐지 센서들을 일시적으로 중단시킬 수도 있다.The multi-detection sensor module 11, which has received the data from the operation control module 14, may detect chemical substances under a more enhanced condition according to the data. For example, the multi-detection sensor module 11 may improve the capabilities of detection sensors related to the detected chemical substance, and at the same time temporarily stop detection sensors related to the undetected chemical substance.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 실시간으로 공정 환경을 탐지하는 과정에서 상기 특정 화학 물질이 탐지되면 상기 웨이크 업 모듈(15)이 작동할 수 있다.When the specific chemical substance is detected while the multi-detection sensor module 11 detects a process environment in real time, the wake-up module 15 may operate.

상기 웨이크 업 모듈(15)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 포함하는 상기 통신 수단의 작동을 개시시킬 수 있다. 또한, 상기 웨이크 업 모듈(15)은 상기 발생원 탐지 모듈(12)의 작동을 개시시킬 수 있다. The wake-up module 15 may start the operation of the communication means included in the multi-detection sensor module 11. In addition, the wake-up module 15 may start the operation of the source detection module 12.

보다 구체적으로, 상기 발생원 탐지 모듈(12)에는 피드백 모듈(16)이 설치될 수 있고, 상기 피드백 모듈(16)은 상기 웨이크 업 모듈(15)과 데이터 통신이 가능한 통신 수단을 포함할 수 있다. 상기 웨이크업 모듈(15)은 상기 피드백 모듈(16)과 데이터 통신하여, 상기 발생원 탐지 모듈(12)의 작동을 개시시킬 수 있다.More specifically, a feedback module 16 may be installed in the source detection module 12, and the feedback module 16 may include a communication means capable of data communication with the wake-up module 15. The wake-up module 15 may communicate data with the feedback module 16 to start the operation of the source detection module 12.

상기 피드백 모듈(16)은 상기 웨이크 업 모듈(15)을 통하여 공정 환경 내 허용 범위를 벗어난 화학 물질에 대한 데이터를 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)로 전송할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 발생원 탐지 모듈(12)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)에서 탐지된 화학 물질들에 대한 허용 범위 데이터를 가질 수 있고, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)에서 전송된 탐지된 화학 물질들이 허용된 범위에 있는지 탐지할 수 있다. 이 때, 상기 탐지된 화학 물질들이 허용 범위를 벗어 난다면 상기 피드백 모듈(16)은 상기 웨이크 업 모듈(15)을 통해 상기 허용 범위를 벗어난 화학 물질들에 대한 데이터를 상기 발생원 탐지 모듈(12)로 전송할 수 있다.The feedback module 16 may transmit data on a chemical substance out of the allowable range in the process environment to the multi-detection sensor module 11 through the wake-up module 15. More specifically, the source detection module 12 may have allowable range data on chemical substances detected by the multi-detection sensor module 11, and the detected chemistry transmitted by the multi-detection sensor module 11 It can detect if substances are within an acceptable range. At this time, if the detected chemical substances are out of the allowable range, the feedback module 16 transmits data on the chemical substances out of the allowable range through the wake-up module 15 to the source detection module 12 Can be transferred to.

상기 허용 범위를 벗어난 화학 물질들에 대한 데이터를 전송 받은 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 보다 강화된 조건으로 상기 화학 물질들을 탐지할 수 있고, 상기 강화된 조건으로 탐지된 화학 물질들의 데이터를 상기 발생원 탐지 모듈(12)로 전송할 수 있다.The multi-detection sensor module 11, which has received data on chemical substances out of the allowable range, can detect the chemical substances under a more strengthened condition, and transmit data of the chemical substances detected under the strengthened condition to the source. It can be transmitted to the detection module 12.

상기 피드백 모듈(16)은 상기 공정 환경 분석 모듈(13)과 유선 또는 무선으로 연결될 수 있고, 상기 탐지된 화학 물질들의 데이터를 상기 공정 환경 분석 모듈(13)로 전송할 수 있다. 예를 들어, 상기 피드백 모듈(16)은 상기 공정 환경 분석 모듈(13)이 포함하는 상기 통신 수단(17)과 유선 또는 무선의 다양한 통신 수단을 통해 연결될 수 있고, 상기 탐지된 화학 물질들의 데이터를 상기 공정 환경 분석 모듈(13)로 전송할 수 있다.The feedback module 16 may be connected to the process environment analysis module 13 by wire or wirelessly, and transmit data of the detected chemical substances to the process environment analysis module 13. For example, the feedback module 16 may be connected to the communication means 17 included in the process environment analysis module 13 through various wired or wireless communication means, and the detected chemical substance data It may be transmitted to the process environment analysis module 13.

본 개시의 상기 공정 환경 감시 시스템(100)은 전술한 구성들을 포함하여 다양한 화학 물질들을 포함하는 공정 환경을 실시간으로 감시할 수 있다. 또한, 상기 공정 환경 감시 시스템(100)은 상기 공정 환경의 관리 과정에서 공정 장치의 클리닝 작업의 부족 또는 체결 부위의 손상으로 인한 화학 물질을 탐지할 수 있어서 공정 환경의 안정성을 제공할 수 있다.The process environment monitoring system 100 of the present disclosure may monitor a process environment including various chemical substances including the above-described components in real time. In addition, the process environment monitoring system 100 may detect a chemical substance due to a lack of cleaning work of a process device or damage to a fastening part in the process environment management process, thereby providing stability of the process environment.

상기 공정 환경 감시 시스템(100)은 공정 환경에 적합한 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)을 포함하여 낮은 농도의 화학 물질들의 검출이 가능하고, 상기 탐지된 결과에 따라 신속하고 적절한 조치를 취할 수 있다.The process environment monitoring system 100 includes the multi-detection sensor module 11 suitable for the process environment to detect low concentration of chemical substances, and to take quick and appropriate measures according to the detected result.

도 2는 본 개시의 일 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템(100)의 작동 구조를 보여주는 도면이다.2 is a diagram showing an operating structure of the process environment monitoring system 100 according to an embodiment of the present disclosure.

도 2를 참조할 때, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 유기 기체 센서(211) 및 무기 기체 센서(212)를 포함할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 유기 기체 센서(211)는 금속 산화물의 반도체로 만들어진 센서에 화학 물질의 가스가 흡착될 때 상기 반도체의 전류의 차이를 검출하여 상기 화학 물질의 탐지가 가능한 열선형 반도체 방식의 센서를 포함할 수 있다. 상기 무기 기체 센서(212)는 화학 물질의 가스와 전기적 또는 화학적 반응을 하여 상기 화학 물질의 탐지가 가능한 전기 화학 반응 방식의 센서를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the multi detection sensor module 11 may include an organic gas sensor 211 and an inorganic gas sensor 212. More specifically, the organic gas sensor 211 is a thermal linear semiconductor type sensor capable of detecting the chemical substance by detecting a difference in current of the semiconductor when a gas of a chemical substance is adsorbed to a sensor made of a semiconductor of a metal oxide. It may include. The inorganic gas sensor 212 may include an electrochemical reaction type sensor capable of detecting the chemical substance by performing an electrical or chemical reaction with a gas of a chemical substance.

다만, 이에 한정되지 않고 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 백금 필라멘트의 촉매에서 발생하는 저항의 변화를 통해 화학 물질을 탐지하는 센서, 금속 산화물 반도체의 표면에 분자 접촉에 따른 전기 전도도의 변화를 통해 화학 물질을 탐지하는 센서, 필름 평상의 반도체 표면의 전기 저항의 변화를 통해 화학 물질을 탐지하는 센서, 고체 물질의 열전도 특성 변화를 통해 화학 물질을 탐지하는 센서, 이미터 전극의 온도 변화를 통해 화학 물질을 탐지하는 센서, 전해질의 확산에 따른 발생 전류를 통해 화학 물질을 탐지하는 센서 등을 포함할 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and the multi-detection sensor module 11 is a sensor that detects chemical substances through a change in resistance generated in the catalyst of a platinum filament, and through a change in electrical conductivity due to molecular contact with the surface of a metal oxide semiconductor. A sensor that detects chemical substances, a sensor that detects chemical substances through a change in the electrical resistance of a semiconductor surface on a film flat, a sensor that detects a chemical substance through a change in the thermal conductivity of a solid substance, and a chemistry through a change in the temperature of the emitter electrode. It may include a sensor for detecting a substance, a sensor for detecting a chemical substance through a current generated by diffusion of an electrolyte, and the like.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 포함하는 센서들은 공정 환경에 따라 탐지되어야 하는 화학 물질의 종류에 따라 적합한 구조를 가질 수 있다. 또한, 상기 센서들은 ppm 또는 ppb 단위로 화학 물질들의 부피 비를 탐지할 수 있고, 이에 따라 낮은 농도의 화학 물질들의 검출이 가능하여 상기 탐지된 결과에 따라 신속하고 적절한 조치를 취할 수 있다.The sensors included in the multi-detection sensor module 11 may have a suitable structure according to the type of chemical substance to be detected according to a process environment. In addition, the sensors can detect the volume ratio of chemical substances in ppm or ppb units, thereby enabling detection of low concentration chemical substances, thereby enabling rapid and appropriate action to be taken according to the detected result.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 실시간으로 작동될 수 있는 마이크로 프로세서를 포함할 수 있다. 상기 마이크로프로세서는 칩 구조일 수 있다. 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 실시간으로 작동되는 마이크로 프로세서를 포함함으로써, 상기 공정 환경의 안정성이 제공될 수 있다.The multi-detection sensor module 11 may include a microprocessor that can be operated in real time. The microprocessor may have a chip structure. Since the multi-detection sensor module 11 includes a microprocessor operated in real time, stability of the process environment may be provided.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 탐지될 화학 물질들의 허용 기준 데이터를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 상기 화학 물질들의 탐지에 따른 저항 값 및 전류 값의 변화에 대한 임계 값을 포함할 수 있다. 상기 공정 환경 내에서 상기 화학 물질들이 탐지되어 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)의 상기 임계 값을 초과할 경우, 상기 웨이크 업 모듈(15)이 작동되어 상기 탐지된 화학 물질들의 데이터가 탐지 분류 모듈(22)로 전송될 수 있다. 상기 탐지 분류 모듈(22)은 도 1의 상기 발생원 탐지 모듈(12)에 포함될 수 있다.The multi-detection sensor module 11 may include acceptance criteria data of chemical substances to be detected. For example, the multi-detection sensor module 11 may include a threshold value for a change in a resistance value and a current value according to the detection of the chemical substances. When the chemical substances are detected in the process environment and the threshold value of the multi-detection sensor module 11 is exceeded, the wake-up module 15 is operated and the data of the detected chemical substances are detected and classified module ( 22). The detection and classification module 22 may be included in the source detection module 12 of FIG. 1.

상기 탐지 분류 모듈(22)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 포함하는 센서의 고유 코드, 상기 센서가 탐지한 화학 물질의 위치, 및 상기 화학 물질의 탐지 시간 등의 데이터를 분류하여 분석기(23)로 전송할 수 있다.The detection and classification module 22 classifies data such as a unique code of a sensor included in the multi-detection sensor module 11, a location of a chemical substance detected by the sensor, and a detection time of the chemical substance, and the analyzer 23 ).

상기 분석기(23)는 도 1의 상기 공정 환경 분석 모듈(13)에 포함될 수 있다. 상기 분석기(23)는 상기 탐지 분류 모듈(22)로부터 전송된 고유 코드, 화학 물질의 위치, 및 화학 물질의 탐지 시간 등의 데이터들을 분석할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 분석기(23)는 기체 발생원 데이터 베이스(231)를 활용하여 상기 데이터들을 기존의 데이터들과 비교 분석하여 공정 환경의 이상 여부를 판단할 수 있다.The analyzer 23 may be included in the process environment analysis module 13 of FIG. 1. The analyzer 23 may analyze data such as a unique code transmitted from the detection and classification module 22, a location of a chemical substance, and a detection time of the chemical substance. More specifically, the analyzer 23 may determine whether the process environment is abnormal by comparing and analyzing the data with existing data using the gas generating source database 231.

상기 분석기(23)가 상기 데이터들을 분석하는 과정에서 이상이 있는 것으로 판단되면, 상기 분석기(23)는 센서 설정 모듈(24)에 신호를 전송할 수 있다. 상기 센서 설정 모듈(24)은 이상이 있는 것으로 분석된 화학 물질들에 대한 강화 탐지 조건을 설정하여 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)에 상기 조건을 전송할 수 있다. 예를 들어, 상기 센서 설정 모듈(24)은 탐지된 화학 물질과 관련된 탐지 센서들의 능력을 향상시킬 수 있고, 동시에 탐지되지 않은 화학 물질과 관련된 탐지 센서들을 일시적으로 중단시킬 수도 있다.When the analyzer 23 determines that there is an abnormality in the process of analyzing the data, the analyzer 23 may transmit a signal to the sensor setting module 24. The sensor setting module 24 may set an enhanced detection condition for chemical substances analyzed as having abnormalities and transmit the condition to the multi-detection sensor module 11. For example, the sensor setting module 24 may improve the capabilities of detection sensors related to the detected chemical substance, and at the same time may temporarily stop detection sensors related to the undetected chemical substance.

상기 센서 설정 모듈(24)은 클리닝 모듈(25)을 통해서 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)에 상기 강화 탐지 조건을 전할 수도 있다. 상기 클리닝 모듈(25)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(24)이 탐지한 화학 물질과 관련된 탐지 센서들의 능력을 향상시키고, 동시에 탐지되지 않은 화학 물질과 관련된 탐지 센서들의 작동을 일시적으로 중단시킬 수도 있다. 상기 클리닝 모듈(25)이 상기 탐지 센서에 강화 탐지 조건을 전하는 방법은 보다 다양할 수 있다. The sensor setting module 24 may transmit the enhanced detection condition to the multi-detection sensor module 11 through the cleaning module 25. The cleaning module 25 may improve the capabilities of detection sensors related to chemical substances detected by the multi-detection sensor module 24 and may temporarily stop the operation of detection sensors related to undetected chemical substances. A method of transmitting the enhanced detection condition to the detection sensor by the cleaning module 25 may be more diverse.

상기 클리닝 모듈(24)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)의 복수의 센서들을 클리닝할 수도 있다. 보다 구체적으로, 상기 클리닝 모듈(24)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)의 센서들을 클리닝 하기 위해 일시적으로 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)의 센서들의 작동을 중지시키고, 상기 센서의 클리닝을 위한 장치에 전원을 가할 수 있다. 상기 센서의 클리닝이 완료되면, 상기 클리닝 된 센서는 초기 상태로 돌아가 다시 화학 물질을 탐지할 수 있다.The cleaning module 24 may also clean a plurality of sensors of the multi-detection sensor module 11. More specifically, the cleaning module 24 temporarily stops the operation of the sensors of the multi-detection sensor module 11 in order to clean the sensors of the multi-detection sensor module 11, and a device for cleaning the sensor. Power can be applied. When the cleaning of the sensor is completed, the cleaned sensor may return to an initial state and detect chemical substances again.

클리닝 된 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)의 센서들은 다시 작동하여 탐지된 화학 물질들의 데이터를 상기 탐지 분류 모듈(22)로 전송할 수 있다. 상기 탐지 분류 모듈은 상기 데이터를 전술한 바와 같이 분류하여 상기 분석기(23)로 전송할 수 있고, 상기 분석기(23)는 상기 데이터들을 비교 분석하여 공정 환경에 적절한 조치를 취할 수 있다.The cleaned sensors of the multi-detection sensor module 11 may operate again to transmit data of the detected chemical substances to the detection and classification module 22. The detection and classification module may classify the data as described above and transmit it to the analyzer 23, and the analyzer 23 may compare and analyze the data to take appropriate measures for the process environment.

도 3은 본 개시의 일 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템(100)을 이용하는 공정 챔버들(P1 내지 PN)을 보여주는 도면이다.3 is a view showing process chambers P1 to PN using the process environment monitoring system 100 according to an embodiment of the present disclosure.

도 3을 참조할 때, 상기 복수의 공정 챔버들(P1 내지 PN)은 본 개시의 공정 환경 감지 시스템(100)을 이용할 수 있다. 상기 복수의 공정 챔버들(P1 내지 PN)은 일 실시예로 반도체 공정 챔버 또는 디스플레이 공정 챔버일 수 있다. 상기 공정 챔버들(P1 내지 PN)의 내부에 로딩될 소재들은 로드 록(load lock) 방식을 사용하는 이송 로봇에 의하여 상기 공정 챔버들(P1 내지 PN)의 내부에 로딩될 수 있다.Referring to FIG. 3, the plurality of process chambers P1 to PN may use the process environment detection system 100 of the present disclosure. The plurality of process chambers P1 to PN may be a semiconductor process chamber or a display process chamber as an example. Materials to be loaded into the process chambers P1 to PN may be loaded into the process chambers P1 to PN by a transfer robot using a load lock method.

멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)은 상기 공정 챔버들(P1 내지 PN)의 내부공간에 배치될 수 있고, 또한 상기 이송 로봇이 설치된 이송 경로에 설치될 수 있다.The multi-detection sensor modules S1 to SK may be disposed in the inner space of the process chambers P1 to PN, and may also be installed in the transport path where the transport robot is installed.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)은 도 1에서 설명한 바와 같이 복수의 탐지 센서들을 포함할 수 있고, 상기 복수의 탐지 센서들은 공정 환경 내의 다양한 화학 물질들을 탐지할 수 있다.The multi-detection sensor modules S1 to SK may include a plurality of detection sensors as described with reference to FIG. 1, and the plurality of detection sensors may detect various chemical substances in a process environment.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)은 안테나 모듈, 탐지회로, 마이크로 프로세서, 및 저장 수단 등을 포함할 수 있다.The multi detection sensor modules S1 to SK may include an antenna module, a detection circuit, a microprocessor, and a storage means.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)은 자체적으로 통신 수단(예를 들어, 상기 안테나 모듈)을 포함하여 상기 발생원 탐지 모듈(12)과 통신할 수 있고, 또한 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)은 상기 공정 환경에 배치된 중계 모듈(311)과 유선 또는 무선으로 연결되어 상기 발생원 탐지 모듈(12)과 통신할 수도 있다. 일 실시예로, 상기 중계 모듈(311)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)과 RF 통신에 의하여 데이터 통신을 할 수 있다. The multi-detection sensor module (S1 to SK) may itself include a communication means (for example, the antenna module) to communicate with the source detection module 12, and the multi-detection sensor module (S1 to SK) ) May be connected to the relay module 311 disposed in the process environment by wire or wirelessly to communicate with the source detection module 12. In one embodiment, the relay module 311 may perform data communication with the multi detection sensor modules S1 to SK through RF communication.

또한, 상기 중계 모듈(311)은 또한 상기 발생원 탐지 모듈(12)과 데이터 통신을 할 수 있다. 일 실시예로, 상기 중계 모듈(311)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)로부터 전송된 데이터들을 유선 또는 근거리 무선 통신을 통해 상기 발생원 탐지 모듈(12)로 전송할 수 있다.In addition, the relay module 311 may also perform data communication with the source detection module 12. In one embodiment, the relay module 311 may transmit data transmitted from the multi-detection sensor modules S1 to SK to the source detection module 12 through wired or short-range wireless communication.

또한, 상기 중계 모듈(311)은 RF 신호를 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)로 전송할 수도 있다. 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)의 센서들은 상기 통신 수단(예를 들어, 상기 안테나 모듈)을 통해 RF 신호를 수신할 수 있고, 상기 RF 신호에 의해 상기 센서들은 활성화될 수 있다. 상기 활성화된 센서들은 고유 코드, 탐지 화학 물질, 탐지 시각, 탐지 위치 등의 데이터를 상기 중계 모듈(311)로 전송할 수 있다. 상기 전송된 데이터들은 전술한 바와 같이 유선 또는 무선 통신을 통해 상기 발생원 탐지 모듈(12)로 전송될 수 있다.In addition, the relay module 311 may transmit an RF signal to the multi-detection sensor modules S1 to SK. The sensors of the multi-detection sensor modules S1 to SK may receive an RF signal through the communication means (eg, the antenna module), and the sensors may be activated by the RF signal. The activated sensors may transmit data such as a unique code, a detection chemical, a detection time, and a detection location to the relay module 311. The transmitted data may be transmitted to the source detection module 12 through wired or wireless communication as described above.

상기 발생원 탐지 모듈(12)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)이 포함하는 센서의 고유 코드, 상기 센서가 탐지한 화학 물질의 위치, 및 상기 화학 물질의 탐지 시간 등의 데이터를 분류할 수 있다. 상기 발생원 탐지 모듈(12)은 상기 데이터들을 상기 공정 환경 분석 모듈(13)로 전송할 수 있다.The source detection module 12 may classify data such as a unique code of a sensor included in the multi-detection sensor modules S1 to SK, a location of a chemical substance detected by the sensor, and a detection time of the chemical substance. have. The source detection module 12 may transmit the data to the process environment analysis module 13.

상기 공정 환경 분석 모듈(13)은 상기 발생원 탐지 모듈(12)이 분류하여 전송한 탐지 시각, 탐지 화학 물질, 탐지 위치 등의 데이터를 기반으로 상기 공정 환경을 분석하여 상기 공정 환경에서 진행되는 공정의 정상 여부를 판단할 수 있다.The process environment analysis module 13 analyzes the process environment based on data such as detection time, detection chemical substance, detection location, etc., classified and transmitted by the source detection module 12, and analyzes the process environment in the process environment. You can judge whether it is normal or not.

상기 공정 환경 분석 모듈(13)은 분석한 데이터들을 상기 작동 조절 모듈(14)로 전송할 수 있다.The process environment analysis module 13 may transmit the analyzed data to the operation control module 14.

상기 작동 조절 모듈(14)은 상기 공정 환경 분석 모듈(13)이 분석한 데이터에 기초하여, 공정 환경을 조절할 수 있다.The operation control module 14 may adjust a process environment based on the data analyzed by the process environment analysis module 13.

또한, 상기 작동 조절 모듈(14)은 도 2를 참조하여 설명한 상기 클리닝 모듈(25)을 작동시켜 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)에 화학 물질의 강화된 탐지 조건을 전할 수도 있다. 또한, 상기 작동 조절 모듈(14)은 상기 클리닝 모듈(24)을 작동시켜 상기 멀티 탐지 센서 모듈(S1 내지 SK)의 복수의 센서들을 클리닝할 수도 있다.In addition, the operation control module 14 may operate the cleaning module 25 described with reference to FIG. 2 to transmit the enhanced detection conditions of chemical substances to the multi-detection sensor modules S1 to SK. Further, the operation control module 14 may operate the cleaning module 24 to clean a plurality of sensors of the multi-detection sensor modules S1 to SK.

도 4는 본 개시의 일 실시예에 따른 멀티 탐지 센서 모듈(11)을 보여주는 도면이다.4 is a diagram illustrating a multi-detection sensor module 11 according to an embodiment of the present disclosure.

도 4를 참조할 때, 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 센서 그룹(41), 마이크로 프로세서(42), 및 통신 수단(43)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the multi-detection sensor module 11 may include a sensor group 41, a microprocessor 42, and a communication means 43.

상기 센서 그룹(41)은 복수 개의 센서들(SL1 내지 SLM)을 포함할 수 있다. 보다 구체적으로, 상기 센서 그룹(41)은 상호 다른 화학 물질들을 탐지할 수 있는 복수 개의 센서들(SL1 내지 SLM)을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 상기 복수 개의 센서들(SL1 내지 SLM)은 온도 또는 습도 등을 탐지하는 분위기 센서일 수 있다.The sensor group 41 may include a plurality of sensors SL1 to SLM. More specifically, the sensor group 41 may include a plurality of sensors SL1 to SLM capable of detecting different chemical substances. In an embodiment, the plurality of sensors SL1 to SLM may be an atmosphere sensor that detects temperature or humidity.

상기 마이크로 프로세서(42)는 상기 복수 개의 센서들(SL1 내지 SLM)의 작동을 제어할 수 있다. 상기 마이크로프로세서는 칩 구조일 수 있다. 또한, 상기 복수 개의 센서들(SL1 내지 SLM)은 상기 마이크로 프로세서(42)를 통해 실시간으로 작동될 수 있다.The microprocessor 42 may control the operation of the plurality of sensors SL1 to SLM. The microprocessor may have a chip structure. In addition, the plurality of sensors SL1 to SLM may be operated in real time through the microprocessor 42.

상기 통신 수단(43)은 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)과 상기 발생원 탐지 모듈(12) 사이의 데이터 통신을 지원할 수 있다. 상기 통신 수단(43)은 안테나 모듈을 포함할 수 있다.The communication means 43 may support data communication between the multi-detection sensor module 11 and the source detection module 12. The communication means 43 may include an antenna module.

도 5는 본 개시의 일 실시예에 따른 공정 환경 감시 시스템(100)에 의해 공정 환경이 조절되는 과정을 보여주는 플로우 차트이다.5 is a flowchart illustrating a process of controlling a process environment by the process environment monitoring system 100 according to an embodiment of the present disclosure.

도 5를 참조할 때, 공정 환경 감시 시스템(100)에 의한 공정 환경의 감시 과정은 상기 공정 환경에서 발생하는 화학 물질에 따른 탐지 유형을 분류하는 단계(P51), 분류된 탐지 유형에 따라 화학 물질의 탐지 방법이 선택되는 단계(P52), 멀티 탐지 센서 모듈(11)이 상기 공정 환경의 서로 다른 위치에 배치되는 단계(P53), 상기 탐지 센서 모듈(11)에 의해 상기 공정 환경의 화학 물질이 탐지되는 단계(P54), 상기 탐지된 화학 물질의 데이터가 분류되고 전송되는 단계(P55), 상기 전송된 데이터를 분석하고 공정 환경의 이상 여부를 판단하는 단계(P56), 상기 공정 환경의 이상이 판단되어 센서의 클리닝이 진행하는 단계(P57), 상기 강화된 탐지 조건이 탐지 센서 모듈(11)에 피드백 되는 단계(P58), 및 상기 피드백에 따라 공정 환경이 조절되는 단계(P59)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 5, the process of monitoring the process environment by the process environment monitoring system 100 is a step of classifying a detection type according to a chemical substance occurring in the process environment (P51), and a chemical substance according to the classified detection type. Selecting the detection method of (P52), the step of disposing the multi-detection sensor module 11 at different locations in the process environment (P53), and the chemical substance of the process environment by the detection sensor module 11 The step of being detected (P54), the step of classifying and transmitting the data of the detected chemical substance (P55), the step of analyzing the transmitted data and determining whether the process environment is abnormal (P56), the abnormality of the process environment It is determined that the cleaning of the sensor is performed (P57), the enhanced detection condition is fed back to the detection sensor module 11 (P58), and the process environment is adjusted according to the feedback (P59). I can.

상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)은 도 1에서 설명한 내용과 기술적 사상이 실질적으로 동일하므로 자세한 설명은 생략한다.Since the multi-detection sensor module 11 has substantially the same technical idea as the content described in FIG. 1, a detailed description will be omitted.

상기 화학 물질의 탐지(P54)는 실시간으로 진행될 수 있다.The detection of the chemical substance P54 may be performed in real time.

상기 화학 물질의 데이터의 분석 결과 공정 환경의 이상이 있다(YES)고 판단(P56)되면, 상기 센서의 클리닝이 진행(P57)될 수 있고 또한 강화된 탐지 조건이 상기 센서에 피드백(P58)될 수 있다. If it is determined (P56) that there is an abnormality in the process environment (YES) as a result of the analysis of the data of the chemical substance, the cleaning of the sensor may proceed (P57), and an enhanced detection condition may be fed back to the sensor (P58). I can.

상기 화학 물질의 데이터의 분석 결과 공정 환경의 이상이 없다(NO)고 판단(P56)되면, 상기 탐지 센서 모듈(11)은 계속하여 실시간으로 화학 물질들을 탐지할 수 있다.When it is determined (P56) that there is no abnormality in the process environment (NO) as a result of analyzing the data of the chemical substance, the detection sensor module 11 may continuously detect the chemical substances in real time.

본 개시의 상기 공정 환경 감시 시스템(100)을 이용한 공정 환경의 조절 과정은 다양한 화학 물질들을 포함하는 상기 공정 환경을 실시간으로 감시할 수 있다. 또한, 상기 공정 환경의 관리 과정에서 공정 장치의 클리닝 작업의 부족 또는 체결 부위의 손상으로 인한 화학 물질을 탐지할 수 있어서 공정 환경의 안정성을 제공할 수 있다.The process of controlling a process environment using the process environment monitoring system 100 of the present disclosure may monitor the process environment including various chemical substances in real time. In addition, in the process of managing the process environment, it is possible to detect a chemical substance due to a lack of cleaning work of the process device or damage to a fastening part, thereby providing stability of the process environment.

상기 공정 환경 감시 시스템(100)을 이용한 공정 환경의 조절 과정은 상기 공정 환경에 적합한 상기 멀티 탐지 센서 모듈(11)을 포함할 수 있어 낮은 농도의 화학 물질들의 검출이 가능하고, 상기 탐지된 결과에 따라 상기 공정 환경에 신속하고 적절한 조치를 취할 수 있다.The process of controlling the process environment using the process environment monitoring system 100 may include the multi-detection sensor module 11 suitable for the process environment, so that low concentration of chemical substances can be detected, and the detected result Accordingly, it is possible to take prompt and appropriate measures in the process environment.

이상에서 설명한 본 개시의 기술적 사상은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되지 않는다. 또한 본 개시의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 개시가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The technical idea of the present disclosure described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings. In addition, it will be apparent to those of ordinary skill in the art that various substitutions, modifications and changes are possible within the scope of the technical spirit of the present disclosure.

Claims (10)

공정 환경에 설치되어 서로 다른 화학 물질들의 탐지가 가능한 복수의 탐지 센서들을 포함하는 멀티 탐지 센서 모듈;
상기 멀티 탐지 센서 모듈로부터 전송된 데이터를 통해 탐지된 상기 화학 물질들의 발생원을 탐지하고, 상기 멀티 탐지 센서 모듈에서 탐지되는 상기 화학 물질들에 대한 허용 범위의 제1 데이터를 갖는 발생원 탐지 모듈;
상기 발생원 탐지 모듈로부터 전송된 데이터에 기초하여 상기 공정 환경을 분석하여 데이터를 생성하고, 상기 공정 환경에서 진행되는 공정의 정상 여부를 판단하는 공정 환경 분석 모듈;
상기 공정 환경 분석 모듈에서 생성된 데이터를 전달받고, 상기 공정 환경 분석 모듈에서 생성된 데이터에 기초하여, 강화된 조건으로 상기 멀티 탐지 센서 모듈을 제어하는 작동 조절 모듈; 및
상기 멀티 탐지 센서 모듈과 상기 발생원 탐지 모듈 사이의 통신을 개시시키고, 상기 발생원 탐지 모듈의 작동을 개시시키는 웨이크 업 모듈;
을 포함하고,
상기 발생원 탐지 모듈은,
상기 멀티 탐지 센서 모듈에서 탐지된 화학 물질들이 상기 제1 데이터에 포함된 허용 범위를 벗어난 경우, 강화된 조건으로 상기 멀티 탐지 센서 모듈이 작동하도록, 허용 범위를 벗어난 화학 물질에 대한 데이터를 상기 멀티 탐지 센서 모듈에 직접 전달하는 것을 특징으로 하는 공정 환경 감시 시스템.A multi-detection sensor module installed in a process environment and including a plurality of detection sensors capable of detecting different chemical substances;
A source detection module detecting a source of the chemical substances detected through data transmitted from the multi-detection sensor module, and having first data of an allowable range for the chemical substances detected by the multi-detection sensor module;
A process environment analysis module configured to generate data by analyzing the process environment based on the data transmitted from the source detection module, and to determine whether a process performed in the process environment is normal;
An operation control module configured to receive data generated by the process environment analysis module and control the multi-detection sensor module under an enhanced condition based on the data generated by the process environment analysis module; And
A wake-up module for initiating communication between the multi-detection sensor module and the source detection module and for starting an operation of the source detection module;
Including,
The source detection module,
When the chemical substances detected by the multi-detection sensor module are out of the allowable range included in the first data, the multi-detection of the data on the chemical substances out of the allowable range so that the multi-detection sensor module operates under an enhanced condition. Process environment monitoring system, characterized in that directly transmitted to the sensor module. 제1 항에 있어서,
상기 멀티 탐지 센서 모듈은
상기 복수의 탐지 센서들의 작동을 실시간으로 제어하는 마이크로 프로세서; 및
상기 멀티 탐지 센서 모듈과 상기 발생원 탐지 모듈 사이의 데이터 통신을 지원하는 통신 수단;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 환경 감시 시스템.The method of claim 1,
The multi detection sensor module
A microprocessor controlling operations of the plurality of detection sensors in real time; And
And communication means for supporting data communication between the multi-detection sensor module and the source detection module. 제2 항에 있어서,
상기 멀티 탐지 센서 모듈은
유기 기체 센서 및 무기 기체 센서를 포함하는 센서 칩인 것을 특징으로 하는 공정 환경 감시 시스템.The method of claim 2,
The multi detection sensor module
A process environment monitoring system, comprising a sensor chip including an organic gas sensor and an inorganic gas sensor. 제3 항에 있어서,
상기 유기 기체 센서 및 상기 무기 기체 센서는 ppm 또는 ppb 단위로 상기 화학 물질의 부피 비를 탐지할 수 있는 것을 특징으로 하는 공정 환경 감시 시스템.The method of claim 3,
The organic gas sensor and the inorganic gas sensor are capable of detecting a volume ratio of the chemical substance in ppm or ppb units. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 공정 환경 분석 모듈은 분석기를 포함하고,
상기 분석기는 기체 발생원 데이터 베이스를 활용하여 상기 공정 환경의 이상 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 공정 환경 감시 시스템.The method of claim 1,
The process environment analysis module includes an analyzer,
The analyzer is a process environment monitoring system, characterized in that to determine whether or not the process environment is abnormal by using a gas generating source database. 제6 항에 있어서,
클리닝 모듈;을 더 포함하고,
상기 클리닝 모듈은 상기 멀티 탐지 센서 모듈의 탐지 센서들 중 일부의 작동을 중지시키고, 중지된 탐지 센서들을 클리닝하는 것을 특징으로 하는 공정 환경 감시 시스템.The method of claim 6,
It further includes a cleaning module;
The cleaning module stops the operation of some of the detection sensors of the multi-detection sensor module, and cleans the stopped detection sensors. 공정 챔버에 있어서,
상기 공정 챔버는 상기 공정 챔버의 공정 환경을 감시하는 공정 환경 감시 시스템을 이용하고,
상기 공정 환경 감시 시스템은
상기 공정 환경에 설치되어 서로 다른 화학 물질들의 탐지가 가능한 복수의 탐지 센서들을 포함하는 멀티 탐지 센서 모듈;
상기 멀티 탐지 센서 모듈로부터 전송된 데이터를 통해 탐지된 상기 화학 물질들의 발생원을 탐지하고, 상기 멀티 탐지 센서 모듈에서 탐지되는 상기 화학 물질들에 대한 허용 범위의 제1 데이터를 갖는 발생원 탐지 모듈;
상기 발생원 탐지 모듈로부터 전송된 데이터에 기초하여 상기 공정 환경을 분석하여 데이터를 생성하고, 상기 공정 환경에서 진행되는 공정의 정상 여부를 판단하는 공정 환경 분석 모듈;
상기 공정 환경 분석 모듈에서 생성된 데이터를 전달받고, 상기 공정 환경 분석 모듈에서 생성된 데이터에 기초하여, 강화된 조건으로 상기 멀티 탐지 센서 모듈을 제어하는 작동 조절 모듈; 및
상기 멀티 탐지 센서 모듈과 상기 발생원 탐지 모듈 사이의 통신을 개시시키고, 상기 발생원 탐지 모듈의 작동을 개시시키는 웨이크 업 모듈;
을 포함하고,
상기 발생원 탐지 모듈은,
상기 멀티 탐지 센서 모듈에서 탐지된 화학 물질들이 상기 제1 데이터에 포함된 허용 범위를 벗어난 경우, 강화된 조건으로 상기 멀티 탐지 센서 모듈이 작동하도록, 허용 범위를 벗어난 화학 물질에 대한 데이터를 상기 멀티 탐지 센서 모듈에 직접 전달하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 공정 챔버.In the process chamber,
The process chamber uses a process environment monitoring system for monitoring the process environment of the process chamber,
The process environment monitoring system
A multi-detection sensor module installed in the process environment and including a plurality of detection sensors capable of detecting different chemical substances;
A source detection module detecting a source of the chemical substances detected through data transmitted from the multi-detection sensor module, and having first data of an allowable range for the chemical substances detected by the multi-detection sensor module;
A process environment analysis module configured to generate data by analyzing the process environment based on the data transmitted from the source detection module, and to determine whether a process performed in the process environment is normal;
An operation control module configured to receive data generated by the process environment analysis module and control the multi-detection sensor module under an enhanced condition based on the data generated by the process environment analysis module; And
A wake-up module for initiating communication between the multi-detection sensor module and the source detection module and for starting an operation of the source detection module;
Including,
The source detection module,
When the chemical substances detected by the multi-detection sensor module are out of the allowable range included in the first data, the multi-detection of the data on the chemical substances out of the allowable range so that the multi-detection sensor module operates under an enhanced condition. Process chamber, characterized in that the transmission directly to the sensor module. 제8 항에 있어서,
상기 공정 챔버는 이송 로봇에 의해 내부에 소재들이 로딩되는 공간을 포함하고,
상기 멀티 탐지 센서 모듈은 상기 공정 챔버의 내부 공간 및 상기 이송 로봇이 설치된 이송 경로에 설치되는 것을 특징으로 하는 공정 챔버.The method of claim 8,
The process chamber includes a space in which materials are loaded by a transfer robot,
The multi-detection sensor module is a process chamber, characterized in that installed in the inner space of the process chamber and a transfer path in which the transfer robot is installed. 제9 항에 있어서,
중계 모듈을 더 포함하고,
상기 중계 모듈은 상기 공정 환경에 배치되고, 상기 멀티 탐지 센서 모듈과 상기 발생원 탐지 모듈 사이의 데이터 통신을 지원하는 것을 특징으로 하는 공정 챔버.The method of claim 9,
Further comprising a relay module,
The relay module is disposed in the process environment, and supports data communication between the multi-detection sensor module and the source detection module.
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