KR102141855B1 - Mask align apparatus - Google Patents

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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

본 발명은 마스크 얼라인 장치에 관한 것이다. 본 발명은 로봇암의 동작에 의해 마스크가 내부로 인입되는 마스크 얼라인 장치에 있어서, 메인 플레이트; 상기 메인 플레이트의 하부에 설치되고, 기판을 지지하는 기판 플레이트; 상기 기판 플레이트의 하부에 설치되고, 마스크를 지지하는 마스크 플레이트; 상기 마스크 플레이트의 하부에 승강되게 설치되고, 상기 마스크 플레이트의 일부를 차폐하는 쉴드 플레이트; 및 상기 메인 플레이트에 설치되고, 상기 마스크가 인입될 때 상기 쉴드 플레이트를 하강시켜 상기 로봇암과의 간섭을 방지하는 쉴드 푸셔를 포함할 수 있다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 쉴드 플레이트에 절개부를 형성할 필요가 없어 증착공정 시 절개부를 통해 얼라인 장치 내부에 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The present invention relates to a mask alignment device. The present invention is a mask alignment device in which the mask is drawn into the interior by the operation of the robot arm, the main plate; A substrate plate installed under the main plate and supporting the substrate; A mask plate installed under the substrate plate and supporting a mask; A shield plate installed to be lifted under the mask plate and shielding a part of the mask plate; And a shield pusher that is installed on the main plate and prevents interference with the robot arm by lowering the shield plate when the mask is drawn in. According to the present invention, since it is not necessary to form an incision in the shield plate, contamination in the alignment device can be prevented through the incision during the deposition process.

Description

마스크 얼라인 장치{Mask align apparatus}Mask align apparatus

본 발명은 마스크 얼라인 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증착공정 시 얼라인 장치 내부에 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있는 마스크 얼라인 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mask alignment device, and more particularly, to a mask alignment device capable of preventing contamination from occurring inside the alignment device during a deposition process.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-emission devices that emit light using an electroluminescence phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound, and do not require a backlight for applying light to a non-light emitting device. Therefore, a lightweight and thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and has emerged as a next-generation display device. In particular, because the manufacturing process is simple, there is an advantage that can reduce the production cost more than the existing liquid crystal display device.

유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.In the organic electroluminescent device, a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer, which are other constituent layers except the anode and cathode electrodes, are made of organic thin films, and these organic thin films are deposited on a substrate by vacuum thermal evaporation. Is deposited on.

진공열 증착방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is placed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned to the substrate, and heat is applied to the evaporation source containing the evaporation material to sublimate the evaporation material sublimated from the evaporation source on the substrate It is made by vapor deposition.

도 1은 종래 기술에 의한 마스크 얼라인 장치의 저면도이다.1 is a bottom view of a mask alignment device according to the prior art.

이를 참조하면, 메인 플레이트(1)의 하부에는 기판 및 마스크가 차례로 설치되어 얼라인될 수 있다. 그리고, 마스크 등에 불필요한 증착이 발생하는 것을 방지하기 위해 마스크의 하부에 쉴드 플레이트(3)가 설치된다. Referring to this, a substrate and a mask may be sequentially installed under the main plate 1 to be aligned. In addition, a shield plate 3 is installed under the mask to prevent unnecessary deposition from occurring on the mask or the like.

이때, 마스크 얼라인 장치의 내부로 마스크를 인입하기 위해서는 로봇암이 얼라인 장치 내부로 들어오게 된다. 이 과정에서 로봇암은 쉴드 플레이트(3)와 간섭이 발생하는 문제가 있었다. 따라서, 종래에는 원판 형상의 쉴드 플레이트(3)의 입구 부분을 도 1과 같이 절개하여 절개부(5)를 형성함으로써, 로봇암과 간섭되는 것을 방지하도록 하였다. At this time, in order to introduce the mask into the interior of the mask alignment device, the robot arm enters the interior of the alignment device. In this process, the robot arm had a problem in that interference occurs with the shield plate 3. Therefore, in the related art, by cutting the inlet portion of the shield plate 3 in the shape of a disk as shown in FIG. 1 to form the incision 5, it was prevented from interfering with the robot arm.

하지만, 이와 같이 쉴드 플레이트(3)에 절개부(5)를 형성하게 되면, 절개부(5)를 통해 불필요하게 유기물질의 증착이 발생하여 얼라인 장치 내부가 오염되는 문제가 있었다. However, when the incision 5 is formed in the shield plate 3 as described above, there is a problem that the inside of the alignment device is contaminated due to unnecessary deposition of organic substances through the incision 5.

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 증착공정 시 얼라인 장치 내부에 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있는 마스크 얼라인 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the problems of the prior art as described above, to provide a mask alignment device that can prevent contamination within the alignment device during the deposition process.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은 로봇암의 동작에 의해 마스크가 내부로 인입되는 마스크 얼라인 장치에 있어서, 메인 플레이트; 상기 메인 플레이트의 하부에 설치되고, 기판을 지지하는 기판 플레이트; 상기 기판 플레이트의 하부에 설치되고, 마스크를 지지하는 마스크 플레이트; 상기 마스크 플레이트의 하부에 승강되게 설치되고, 상기 마스크 플레이트의 일부를 차폐하는 쉴드 플레이트; 및 상기 메인 플레이트에 설치되고, 상기 마스크가 인입될 때 상기 쉴드 플레이트를 하강시켜 상기 로봇암과의 간섭을 방지하는 쉴드 푸셔를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention for achieving the above object, the present invention is a mask alignment device in which the mask is drawn into the inside by the operation of the robot arm, the main plate; A substrate plate installed under the main plate and supporting the substrate; A mask plate installed under the substrate plate and supporting a mask; A shield plate installed to be lifted under the mask plate and shielding a part of the mask plate; And a shield pusher that is installed on the main plate and prevents interference with the robot arm by lowering the shield plate when the mask is drawn in.

상기 쉴드 푸셔는, 상기 메인 플레이트의 상부에 설치되는 푸셔 구동부; 상기 푸셔 구동부로부터 동력을 전달받아 승강되는 푸셔 바디; 및 상기 푸셔 바디의 하부에서 연장되고, 상기 쉴드 플레이트를 눌러 하강시키는 푸셔 로드를 포함할 수 있다. The shield pusher includes: a pusher driver installed on an upper portion of the main plate; A pusher body that is moved up and down by receiving power from the pusher driving unit; And a pusher rod extending from a lower portion of the pusher body and pushing down the shield plate.

상기 쉴드 플레이트의 양측에는 상기 푸셔 로드에 의해 눌러지는 푸싱 부재가 설치될 수 있다.Pushing members pressed by the pusher rod may be installed at both sides of the shield plate.

상기 푸싱부재는, 상기 쉴드 플레이트의 상면 양측에서 수직하게 연장되는 한 쌍의 수직부; 및 상기 수직부의 상단을 수평으로 연결하고, 상기 푸셔 로드가 눌러지는 푸싱부를 포함할 수 있다.The pushing member, a pair of vertical portions extending vertically from both sides of the upper surface of the shield plate; And a pushing part in which the upper end of the vertical part is horizontally connected and the pusher rod is pressed.

상기 쉴드 플레이트의 상면에는, 상기 마스크 플레이트와 쉴드 플레이트가 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재가 구비되는 스플라인 모듈이 설치될 수 있다.On the upper surface of the shield plate, a spline module provided with an elastic member that provides elastic force in a direction away from the mask plate and the shield plate may be installed.

상기 스플라인 모듈은, 상기 쉴드 플레이트의 상면에서 수직하게 연장되는 스플라인 바디; 및 상기 스플라인 바디의 상부에 삽입되고, 상기 스플라인 바디에 삽입되어 상하단이 지지되는 상기 탄성부재를 포함할 수 있다.The spline module includes: a spline body vertically extending from an upper surface of the shield plate; And an elastic member inserted above the spline body and inserted into the spline body to support the upper and lower ends.

본 발명에 의하면, 로봇암이 마스크를 인입할 때에는 쉴드 플레이트가 하강하도록 함으로써, 쉴드 플레이트에 절개부를 형성할 필요가 없어 증착공정 시 절개부를 통해 얼라인 장치 내부에 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, when the robot arm enters the mask, the shield plate is lowered, so that it is not necessary to form an incision in the shield plate, thereby preventing contamination in the alignment device through the incision during the deposition process. .

도 1은 종래 기술에 의한 마스크 얼라인 장치의 저면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 얼라인 장치에서 쉴드 플레이트가 상승된 것을 보인 측면도.
도 3은 쉴드 플레이트의 구체적인 구성을 보인 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 얼라인 장치에서 쉴드 플레이트가 하강된 것을 보인 측면도.1 is a bottom view of a mask alignment device according to the prior art.
Figure 2 is a side view showing that the shield plate is raised in the mask alignment device according to an embodiment of the present invention.
Figure 3 is a perspective view showing a specific configuration of the shield plate.
Figure 4 is a side view showing that the shield plate is lowered in the mask alignment device according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention can be applied to various changes and can have various embodiments, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, terms such as “comprises” or “have” are intended to indicate the presence of features, numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof described herein, one or more other features. It should be understood that the existence or addition possibilities of fields or numbers, steps, operations, components, parts or combinations thereof are not excluded in advance.

이하에서는 본 발명에 의한 마스크 얼라인 장치의 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, an embodiment of the mask alignment apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 얼라인 장치에서 쉴드 플레이트가 상승된 것을 보인 측면도이고, 도 3은 쉴드 플레이트의 구체적인 구성을 보인 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 얼라인 장치에서 쉴드 플레이트가 하강된 것을 보인 측면도이다.2 is a side view showing that the shield plate is raised in the mask alignment device according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a perspective view showing a specific configuration of the shield plate, and FIG. 4 is according to an embodiment of the present invention This is a side view showing that the shield plate is lowered in the mask alignment device.

이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 마스크 얼라인 장치는 로봇암의 동작에 의해 마스크가 내부로 인입되는 마스크 얼라인 장치에 있어서, 메인 플레이트(10); 상기 메인 플레이트(10)의 하부에 설치되고, 기판(20)을 지지하는 기판 플레이트(22); 상기 기판 플레이트(22)의 하부에 설치되고, 마스크(30)를 지지하는 마스크 플레이트(32); 상기 마스크 플레이트(32)의 하부에 승강되게 설치되고, 상기 마스크 플레이트(32)의 일부를 차폐하는 쉴드 플레이트(40); 및 상기 메인 플레이트(10)에 설치되고, 상기 마스크(30)가 인입될 때 상기 쉴드 플레이트(40)를 하강시켜 상기 로봇암과의 간섭을 방지하는 쉴드 푸셔(50)를 포함할 수 있다. According to this, the mask aligning device according to the present invention includes a mask aligning device in which a mask is drawn in by an operation of a robot arm, the main plate 10; A substrate plate 22 installed under the main plate 10 and supporting the substrate 20; A mask plate 32 installed under the substrate plate 22 and supporting the mask 30; A shield plate 40 which is installed to be lifted under the mask plate 32 and shields a part of the mask plate 32; And a shield pusher 50 installed on the main plate 10 and lowering the shield plate 40 to prevent interference with the robot arm when the mask 30 is drawn in.

메인 플레이트(10)의 상부에는 상기 쉴드 푸셔(50)를 비롯하여 기판(20) 및 마스크(30)의 얼라인을 위한 구동원 등이 설치될 수 있다. 그리고, 메인 플레이트(10)의 하부에는 상기 기판 플레이트(22), 마스크 플레이트(32) 등이 설치되어 기판(20), 마스크(30)를 지지하게 된다. A driving source for aligning the substrate 20 and the mask 30, as well as the shield pusher 50, may be installed on an upper portion of the main plate 10. In addition, the substrate plate 22 and the mask plate 32 are installed below the main plate 10 to support the substrate 20 and the mask 30.

기판 플레이트(22) 및 마스크 플레이트(32)는 대략 중앙이 개구된 프레임 형상으로 만들어져 기판(20) 및 마스크(30)의 가장자리를 지지하게 된다. 그리고, 마스크 플레이트(32)의 하부에서 승강되는 쉴드 플레이트(40)는 마스크 플레이트(32)의 일부, 즉 마스크 플레이트(32)의 가장자리를 차폐하도록 마스크 플레이트(32)에 밀착되어 불필요한 부분에 증착이 이루어져 얼라인 장치 내부가 오염되는 것을 방지하는 역할을 한다.The substrate plate 22 and the mask plate 32 are formed in a frame shape having an approximately center opening to support the edges of the substrate 20 and the mask 30. In addition, the shield plate 40 lifted from the lower portion of the mask plate 32 is adhered to the mask plate 32 so as to shield a part of the mask plate 32, that is, the edge of the mask plate 32, so that deposition is unnecessary. It is made to prevent contamination of the inside of the alignment device.

로봇암은 마스크(30)를 인입하는 과정에서 마스크 플레이트(32)에 밀착된 쉴드 플레이트(40)와 간섭이 발생하게 되고 종래에는 이를 해결하기 위해 쉴드 플레이트(40)의 입구를 절개하였으나, 본 실시예에서는 쉴드 플레이트(40)가 쉴드 푸셔(50)에 의해 선택적으로 승강되도록 제어함으로써 쉴드 플레이트(40)를 절개하지 않아 절개된 부분에 의해 증착물질의 오염이 발생하는 것을 방지할 수 있다. In the process of introducing the mask 30, the robot arm interferes with the shield plate 40 in close contact with the mask plate 32, and in the prior art, the inlet of the shield plate 40 has been cut to solve this problem. In the example, by controlling the shield plate 40 to be selectively lifted by the shield pusher 50, it is possible to prevent contamination of the deposition material due to the incision by not cutting the shield plate 40.

도 2를 참조하면, 쉴드 푸셔(50)는, 상기 메인 플레이트(10)의 상부에 설치되는 푸셔 구동부(52); 상기 푸셔 구동부(52)로부터 동력을 전달받아 승강되는 푸셔 바디(54); 상기 푸셔 바디(54)의 하부에서 연장되고, 상기 쉴드 플레이트(40)를 눌러 하강시키는 푸셔 로드(56)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 2, the shield pusher 50 includes: a pusher driving unit 52 installed on an upper portion of the main plate 10; A pusher body 54 that is moved up and down by receiving power from the pusher driving unit 52; It may include a pusher rod 56 extending from the lower portion of the pusher body 54 and pressing down the shield plate 40.

푸셔 구동부(52)는 푸셔 바디(54)의 승강을 위해 동력을 제공하는 실린더 등으로 구성될 수 있다. 푸셔 바디(54)는 푸셔 구동부(52)에 의해 승강이 되는데, 메인 플레이트(10)의 상면에 수직하게 설치된 가이드 로드(55)를 따라 승강될 수 있다. 가이드 로드(55)는 메인 플레이트(10)의 상면에 복수개가 설치될 수 있고, 푸셔 바디(54)의 가장자리를 관통하여 푸셔 바디(54)를 지지할 수 있다. The pusher driving unit 52 may be formed of a cylinder or the like that provides power for lifting of the pusher body 54. The pusher body 54 is moved up and down by the pusher driving unit 52, and may be moved up and down along the guide rod 55 installed perpendicular to the upper surface of the main plate 10. A plurality of guide rods 55 may be installed on the upper surface of the main plate 10 and may penetrate the edge of the pusher body 54 to support the pusher body 54.

푸셔 로드(56)는 푸셔 바디(54)의 하부에서 수직하게 연장되고, 메인 플레이트(10)를 관통하여 메인 플레이트(10)의 하부까지 연장된다. 이와 같이 연장된 푸셔 로드(56)는 쉴드 플레이트(40)를 직접 또는 간접적으로 눌러 하강시키는 역할을 한다. The pusher rod 56 extends vertically from the bottom of the pusher body 54 and penetrates through the main plate 10 to the bottom of the main plate 10. The extended pusher rod 56 serves to press the shield plate 40 directly or indirectly to descend.

다음으로, 도 3에는 쉴드 플레이트(40)의 구체적인 구성이 개시되어 있다. 쉴드 플레이트(40)의 양측에는 푸셔 로드(56)에 의해 눌러지는 푸싱 부재(42)가 설치된다. 본 도면에서는 푸셔 로드(56)가 쉴드 플레이트(40)의 양측에 설치되는 것으로 도시하였으나, 이에 반드시 제한되는 것은 아니고 쉴드 플레이트(40)의 가장자리에 복수개가 설치될 수도 있다.Next, FIG. 3 discloses a specific configuration of the shield plate 40. On both sides of the shield plate 40, pushing members 42, which are pressed by the pusher rods 56, are installed. In this figure, the pusher rod 56 is illustrated as being installed on both sides of the shield plate 40, but is not limited thereto, and a plurality of edges may be installed on the edge of the shield plate 40.

푸싱 부재(42)는 상기 쉴드 플레이트(40)의 상면 양측에서 수직하게 연장되는 한 쌍의 수직부(44); 및 상기 수직부(44)의 상단을 수평으로 연결하고, 상기 푸셔 로드(56)가 눌러지는 푸싱부(43)를 포함할 수 있다. 즉, 푸싱부(43)의 양단은 수직부(44)와 연결되고 푸싱부(43)는 긴 부재 형상으로 형성되어 푸셔 로드(56)에 의해 눌러진다. The pushing member 42 includes a pair of vertical portions 44 extending vertically from both sides of the upper surface of the shield plate 40; And it may include a pushing portion 43 that horizontally connects the upper end of the vertical portion 44, the pusher rod 56 is pressed. That is, both ends of the pushing portion 43 are connected to the vertical portion 44 and the pushing portion 43 is formed in a long member shape and is pressed by the pusher rod 56.

또한, 쉴드 플레이트(40)의 상면에는, 상기 마스크 플레이트(32)와 쉴드 플레이트(40)가 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재(48)가 구비되는 스플라인 모듈(46)이 설치될 수 있다. 상기 스플라인 모듈(46)은, 상기 쉴드 플레이트(40)의 상면에서 수직하게 연장되는 스플라인 바디(47); 및 상기 스플라인 바디(47)의 상부에 삽입되어 상하단이 지지되는 탄성부재(48)를 포함할 수 있다. In addition, a spline module 46 having an elastic member 48 that provides elastic force in a direction in which the mask plate 32 and the shield plate 40 are spaced apart from each other may be installed on the upper surface of the shield plate 40. The spline module 46 includes a spline body 47 extending vertically from the top surface of the shield plate 40; And an elastic member 48 which is inserted into the upper portion of the spline body 47 and supports the upper and lower ends.

탄성부재(48)는 압축하려는 힘에 저항하는 압축 스프링이 사용되는 것이 바람직하다. 즉, 탄성부재(48)는 쉴드 푸셔(50)가 쉴드 플레이트(40)를 누르도록 동작될 때, 이에 저항하여 탄성력을 제공하게 된다.The elastic member 48 is preferably a compression spring that resists the force to be compressed. That is, the elastic member 48 when the shield pusher 50 is operated to press the shield plate 40, resists it and provides elastic force.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 실시예에서는 마스크(30)가 인입될 때 쉴드 플레이트(40)가 하강됨으로써, 마스크 플레이트(32)와의 사이에 형성된 공간으로 로봇암이 마스크(30)를 인입할 수 있어 쉴드 플레이트(40)에 별도의 절개부를 형성할 필요가 없다. 따라서, 별도의 절개부를 통해 불필요하게 증착이 되는 것을 방지하여 얼라인 장치 내부의 오염을 방지할 수 있다.
As described above, in this embodiment, the shield plate 40 is lowered when the mask 30 is drawn, so that the robot arm can draw the mask 30 into the space formed between the mask plate 32. There is no need to form a separate incision in the shield plate 40. Therefore, it is possible to prevent unnecessary deposition through a separate incision, thereby preventing contamination within the alignment device.

이하에서는 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 마스크 얼라인 장치의 작동 과정을 상세하게 설명한다.Hereinafter, an operation process of the mask alignment apparatus according to the present invention having the above-described configuration will be described in detail.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 얼라인 장치에서 쉴드 플레이트가 상승된 것을 보인 측면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 얼라인 장치에서 쉴드 플레이트가 하강된 것을 보인 측면도이다.2 is a side view showing that the shield plate is raised in the mask alignment device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view showing that the shield plate is lowered in the mask alignment device according to an embodiment of the present invention to be.

이에 도시된 바에 따르면, 마스크(30)가 얼라인 장치의 내부로 인입되기 전에는 도 2에서와 같이 쉴드 플레이트(40)는 상승되어 마스크 플레이트(32)에 밀착된 상태이다. 이 상태에서 마스크(30)가 로봇암(미도시)에 의해 얼라인 장치의 내부로 인입되면 쉴드 플레이트(40)와 간섭이 발생하게 된다.According to this, before the mask 30 is introduced into the alignment device, the shield plate 40 is raised and in close contact with the mask plate 32 as shown in FIG. 2. In this state, when the mask 30 is introduced into the alignment device by a robot arm (not shown), interference with the shield plate 40 occurs.

따라서, 본 실시예에서는 쉴드 플레이트(40)의 하강을 위해 푸셔 구동부(52)가 구동된다. 푸셔 구동부(52)는 푸셔 바디(54)를 하강시키는 동력을 제공하며, 푸셔 바디(54)의 하면에 구비된 푸셔 로드(56)는 푸셔 바디(54)와 함께 하강하게 된다.Therefore, in this embodiment, the pusher driving unit 52 is driven to lower the shield plate 40. The pusher driving unit 52 provides power to lower the pusher body 54, and the pusher rod 56 provided on the lower surface of the pusher body 54 descends together with the pusher body 54.

푸셔 로드(56)는 하강 전에는 도 2에 도시된 바와 같이 푸싱 부재(42)의 푸싱부(43)와 이격된 상태이나, 상술한 바와 같이 하강을 하게 되면 도 4에서와 같이 푸싱부(43)의 상면을 누르게 된다. 그러면, 푸싱 부재(42)와 결합된 쉴드 플레이트(40)가 하강되면서 마스크 플레이트(32)와 멀어지게 된다. 이때, 탄성부재(48)는 압축이 되면서 마스크 플레이트(32)와 쉴드 플레이트(40)가 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하게 된다.The pusher rod 56 is spaced apart from the pushing portion 43 of the pushing member 42, as shown in FIG. 2, before being lowered, but when it descends as described above, the pushing portion 43 as shown in FIG. Will press on the top of the screen. Then, the shield plate 40 coupled with the pushing member 42 descends and moves away from the mask plate 32. At this time, the elastic member 48 is compressed while providing the elastic force in the direction away from the mask plate 32 and the shield plate 40.

이와 같이 쉴드 플레이트(40)가 하강되면 마스크 플레이트(32)와의 사이에 공간이 형성되므로, 이 공간을 통해 로봇암이 마스크(30)를 인입하게 된다. 인입된 마스크(30)는 마스크 플레이트(32)에 안착된 후 기판(20)과의 얼라인 공정이 수행된다.When the shield plate 40 is lowered as described above, a space is formed between the mask plate 32 and the robot arm enters the mask 30 through this space. After the inserted mask 30 is seated on the mask plate 32, an alignment process with the substrate 20 is performed.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 다양한 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concept of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

10 : 메인 플레이트 20 : 기판
22 : 기판 플레이트 30 : 마스크
32 : 마스크 플레이트 40 : 쉴드 플레이트
42 : 푸싱 부재 43 : 푸싱부
44 : 수직부 46 : 스플라인 모듈
47 : 스플라인 바디 48 : 탄성부재
50 : 쉴드 푸셔 52 : 푸셔 구동부
54 : 푸셔 바디 55 : 가이드 로드
56 : 푸셔 로드10: main plate 20: substrate
22: substrate plate 30: mask
32: mask plate 40: shield plate
42: pushing member 43: pushing unit
44: vertical part 46: spline module
47: spline body 48: elastic member
50: shield pusher 52: pusher drive
54: pusher body 55: guide rod
56: Pusher Road

Claims (6)

로봇암의 동작에 의해 마스크가 내부로 인입되는 마스크 얼라인 장치에 있어서,
메인 플레이트;
상기 메인 플레이트의 하부에 설치되고, 기판을 지지하는 기판 플레이트;
상기 기판 플레이트의 하부에 설치되고, 마스크를 지지하는 마스크 플레이트;
상기 마스크 플레이트의 하부에 승강되게 설치되고, 상기 마스크 플레이트의 가장자리를 차폐하는 쉴드 플레이트; 및
상기 메인 플레이트에 설치되고, 상기 마스크가 인입될 때 상기 쉴드 플레이트를 하강시켜 상기 로봇암과의 간섭을 방지하는 쉴드 푸셔를 포함하고,
상기 쉴드 푸셔는,
상기 메인 플레이트의 상부에 설치되는 푸셔 구동부;
상기 푸셔 구동부로부터 동력을 전달받아 승강되는 푸셔 바디; 및
상기 푸셔 바디의 하부에서 연장되고, 상기 쉴드 플레이트를 눌러 하강시키는 푸셔 로드를 포함하며,
상기 쉴드 플레이트의 양측에는 상기 푸셔 로드에 의해 눌러지는 푸싱 부재가 설치되고,
상기 푸싱부재는,
상기 쉴드 플레이트의 상면 양측에서 수직하게 연장되는 한 쌍의 수직부; 및
상기 수직부의 상단을 수평으로 연결하고, 상기 푸셔 로드가 눌러지는 푸싱부를 포함하는 마스크 얼라인 장치.In the mask alignment device in which the mask is introduced into the interior by the operation of the robot arm,
Main plate;
A substrate plate installed under the main plate and supporting the substrate;
A mask plate installed under the substrate plate and supporting a mask;
A shield plate installed on the lower portion of the mask plate and shielding an edge of the mask plate; And
It is installed on the main plate, and includes a shield pusher that lowers the shield plate when the mask is introduced to prevent interference with the robot arm,
The shield pusher,
A pusher driver installed on an upper portion of the main plate;
A pusher body that is moved up and down by receiving power from the pusher driving unit; And
It extends from the lower portion of the pusher body, and includes a pusher rod for pressing down the shield plate,
Pushing members pressed by the pusher rod are installed on both sides of the shield plate,
The pushing member,
A pair of vertical portions extending vertically from both sides of the upper surface of the shield plate; And
A mask aligning device including a pushing portion to which the upper end of the vertical portion is horizontally connected and the pusher rod is pressed. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 쉴드 플레이트의 상면에는, 상기 마스크 플레이트와 쉴드 플레이트가 멀어지는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성부재가 구비되는 스플라인 모듈이 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크 얼라인 장치.According to claim 1,
A mask alignment device characterized in that a spline module is provided on an upper surface of the shield plate and provided with an elastic member that provides elastic force in a direction away from the mask plate and the shield plate. 제 5 항에 있어서, 상기 스플라인 모듈은,
상기 쉴드 플레이트의 상면에서 수직하게 연장되는 스플라인 바디; 및
상기 스플라인 바디의 상부에 삽입되어 상하단이 지지되는 상기 탄성부재를 포함하는 마스크 얼라인 장치.The method of claim 5, wherein the spline module,
A spline body extending vertically from the top surface of the shield plate; And
Mask alignment device including the elastic member is inserted into the upper portion of the spline body, the upper and lower ends are supported.
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