KR102133510B1 - 박막 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 진공챔버 내에서 피증착물과 증발원 간의 거리 차이에 따라 증착물질의 투과량을 조절하여 피증착물의 박막 두께가 동일하게 형성될 수 있도록 하기 위한 박막 증착장치에 관한 것이다.

Description

박막 증착장치{DEPOSITION APPARATUS OF THIN FILM}
본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 진공챔버 내에서 피증착물과 증발원 간의 거리 차이에 따라 증착물질의 투과량을 조절하여 피증착물의 박막 두께가 동일하게 형성될 수 있도록 하기 위한 박막 증착장치에 관한 것이다.
최근 휴대폰, MP3 플레이어, PMP(Portable Multimedia Player), 테블릿 PC, 갤럭시텝, 아이패드 및 전자책 단말기와 다양한 전자 장치가 사용자에게 제공되고 있으며, 사용자는 이러한 다양한 전자 장치를 휴대하면서 다양한 콘텐츠를 접할 수 있다.
이러한 전자 장치는 표시 장치의 화면을 보호하기 위한 윈도우를 설치하고, 전자 장치의 표면을 금속 느낌의 색상과 보석처럼 반짝이는 씨엠에프(Coler, Material, Finishing: CMF) 효과를 채용하고 있다.
이러한 씨엠에프(CMF)효과는 인쇄필름 공법으로 구현하는데 이는 PET 필름에 레진으로 광학 효과를 위한 패턴을 제조하고, 기 패터닝된 레진 위에 3~5층으로 구성된 다층 박막을 증착한 후 흑색잉크로 광차단층을 인쇄하는 과정을 거쳐 인쇄필름을 제조한다. 이러한 인쇄필름을 투명한 윈도우 내지 커버에 합지하여 제작되고 있다.
상기 반짝거리는 광학 효과(간섭, 모아레)는 레진패턴층에서 발산하고, 금속 느낌의 색상은 다층박막을 통해서 구현하는데 이 박막은 전자빔 증발법(E-beam evaporation)이라는 공정을 이용해 구현할 수 있다.
여기서, 상기 전자빔 증발법은 전자빔을 이용하여 증착물질을 가열하고 진공펌프로 진공챔버 내부 압력을 감압하여 증착물질을 기화시켜 피증착물에 코팅하는 방법이다.
즉, 상기 전자빔 증발법은 증착물질에 전자빔을 조사하여 가열하는 원리이다.
예를 들면, 진공챔버 내에 돔 지그를 설치하고, 돔 지그의 하부에 증발원을 배치하며, 이 상태에서 돔 지그의 내부에 피증착물을 배치하고, 증발원은 이렇게 배치된 피증착물에 전자빔을 조사하여 증발물질을 증착시킨다.
그러나, 진공챔버 내에 구비된 돔 지그상에 배치된 피증착물의 위치 별로 증착되는 박막의 두께 차이가 발생될 수 있는 문제점이 있다.
이러한 문제를 일부 개선한 종래기술로 대한민국 특허 공개번호 제10-2018-0032086호(2018.03.29.)에는 '박막증착장치'가 개시되어 있다.
그러나, 이와 같은 종래의 박막증착장치는 보정 마스크를 안정적으로 지지하기 어려운 것은 물론, 증착물질의 투과량에 따라 보정 마스크의 기울기 조절이 어렵다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2018-0032086호(2018.03.29.) '박막증착장치 및 방법'
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 본 발명의 목적은 진공챔버 내에서 피증착물과 증발원 간의 거리 차이에 따라 증착물질의 투과량을 조절하여 피증착물의 박막 두께가 동일하게 형성될 수 있도록 하기 위한 박막 증착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 진공챔버(20); 상기 진공챔버(20)의 내부에 구비되며, 피증착물(11)이 부착되는 돔 형태의 회전지그(30); 상기 회전지그(30)로 회전력을 전달하는 회전부(40); 상기 회전지그(30)의 중앙부를 중심으로 일측 하부에 배치되며, 증착물질(A)을 기화하는 증발원(50); 상기 증발원(50)의 상부에 배치되며, 기화된 증착물질(A)이 통과하는 다수의 투과홀(70)이 형성되면서 증착물질(A)의 투과량을 조절하는 보정 마스크(60); 및 상기 진공챔버(20)의 내측 바닥으로부터 상기 보정 마스크(60)를 지지하는 한편, 상기 보정 마스크(60)의 기울기를 조절하는 지지부(100)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치를 제공한다.
본 발명에 따른 상기 보정 마스크(60)는, 중앙부를 중심으로 일측의 제1영역(61)과 타측의 제2영역(62)으로 나뉘며, 상기 제2영역(62)은 상기 제1영역(61)에 비해 상기 회전지그(30)와의 이격거리가 길고, 상기 제2영역(62)에 형성되는 투과홀은 상기 제1영역(61)에 형성되는 투과홀보다 크게 형성되면서 상기 제2영역(62)으로의 증착물질(A)의 투과량이 상기 제1영역(61)에서의 투과량보다 많은 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 상기 지지부(100)는, 상기 진공챔버(20)의 내측 바닥으로부터 상방향으로 연장 형성되는 제1,2지지바(110,120); 상기 제1지지바(110)에 승,하강 가능하게 결합되는 한편, 상기 보정 마스크(60)의 일측이 회동 가능하게 연결되는 승강부재(130); 상기 제1지지바(110)로부터 상기 승강부재(130)를 지지하는 제1지지수단(140); 및 상기 제2지지바(120)로부터 상기 보정 마스크(60)의 타측을 승,하강 가능하게 지지하는 제2지지수단(150)을 포함하고, 상기 보정 마스크(60)는, 수평인 상태를 기준으로 상기 제2지지수단(150)의 조절에 따라 타측이 일측을 중심으로 상하 방향으로 회동되면서 기울기가 조절되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 상기 제1지지수단(140)은, 상기 승강부재(130)의 하부에 위치되도록 상기 제1지지바(110)에 나사결합되는 제1지지부재(141)를 포함하고, 상기 제2지지수단(150)은, 일단부가 상기 보정 마스크(60)의 타측에 연결되고 타단부가 외측으로 연장 형성되되, 상기 제2지지바(120)가 통과하는 통공(151a)이 타단부로부터 일단부 방향으로 연장 형성되는 고정판(151); 및 상기 고정판(151)의 하부에 위치되도록 상기 제2지지바(120)에 승,하강 가능하게 나사결합되는 제2지지부재(152)를 포함하며, 상기 제1,2지지부재(141,152)는 회전에 따라 승,하강되면서 상기 증발원(50)과 상기 보정 마스크(60) 간의 이격거리를 조절하고, 상기 제1지지부재(141)는, 상기 제2지지부재(152)가 정지된 상태에서 회전에 따라 승,하강되면서 상기 보정 마스크(60)의 기울기를 조절하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 상기 제1지지수단(140)은, 상기 제1지지부재(141)의 하부에 위치되도록 상기 제1지지바(110)에 나사결합되는 제1가압부재(142); 및 상기 제1가압부재(142)와 제1지지부재(141) 간에 배치되는 제1스프링(143)을 더 포함하고, 상기 제2지지수단(150)은, 상기 제2지지부재(152)의 하부에 위치되도록 상기 제2지지바(120)에 나사결합되는 제2가압부재(153); 및 상기 제2가압부재(153)와 제2지지부재(152) 간에 배치되는 제2스프링(154)을 더 포함하며, 상기 제1,2가압부재(142,153)는, 회전에 따라 승,하강되면서 상기 제1,2스프링(143,154)의 탄성력을 조절하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 진공챔버 내에서 피증착물과 증발원 간의 거리 차이에 따라 증착물질의 투과량을 조절할 수 있음으로써 피증착물의 박막 두께가 동일하게 형성될 수 있도록 할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 박막 증착장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 박막 증착장치에서 보정 마스크를 나타낸 평면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 박막 증착장치에서 지지부를 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 박막 증착장치에서 지지부를 나타낸 평면도이다.
도 5는 도 4에서 보정 마스크의 높이가 조절되는 상태를 나타낸 사용 상태도이다.
도 6은 도 4에서 보정 마스크의 기울기가 조절되는 상태를 나타낸 사용 상태도이다.
그리고
도 7은 본 발명에 따른 박막 증착장치에서 지지부의 다른 예를 나타낸 정면도이다.
이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 박막 증착장치(10)는 진공챔버(20), 회전지그(30), 회전부(40), 증발원(50), 가열장치(21) 및 보정 마스크(60)를 포함한다.
일반적으로 디스플레이부가 구비되는 전자장치는 액정 등을 보호하기 위해 윈도우나, 커버가 구비되며, 윈도우나 커버에는 금속 느낌의 색상이나 반짝이는 효과 등을 위해 인쇄필름이 부착된다.
본 발명에 따른 박막 증착장치(10)는 인쇄필름의 표면을 증착하여 금속 느낌의 색상이나 반짝이는 효과 등을 가질 수 있도록 한다.
이를 구체적으로 살펴 보면, 진공챔버(20)는 진공펌프를 이용하여 압력을 감압하며, 내부압력을 대기압의 천만분의 일 수준으로 진공을 형성할 수 있다.
진공챔버(20) 내에는 회전지그(30), 회전부(40), 증발원(50), 가열장치(21) 및 보정 마스크(60)가 구비된다. 도시되지는 않았으나 진공챔버(20)에는 진공펌프, 진공게이지, 가스투입장치, 가스분석장치, 이온발생장치 및 피증착물 가열장치 등이 구비될 수 있다.
회전지그(30)는 회전부(40)에 의해 회전하도록 진공챔버(20)의 내측 상부에 구비된다.
회전지그(30)는 상방향으로 돌출되는 돔 형상으로 이루어지면서 내부 즉, 하부면에 다수의 피증착물(11)이 장착된다. 피증착물(11)은 회전지그(30)의 중앙부로부터 가장자리에 이르기까지 장착될 수 있다. 여기서, 피증착물(11)은 인쇄필름으로 이해될 수 있다.
증발원(50)은 회전지그(30)의 하부에 위치되도록 진공챔버(20)의 내측 바닥에 구비되며, 가열장치(21)에 의해 가열되면서 증착물질(A)이 기화되도록 한다.
증착물질은 이리듐, 백금, 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈륨, 구리, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 탄화물, 지르코늄 산화물, 알루미늄 산화물 및 흑연 중 어느 하나를 포함하거나, 둘 이상을 포함할 수 있다.
가열장치(21)는 증발원(50)을 가열시킬 수 있도록 진공챔버(20) 내에 구비되며, 저항 가열, 유도 가열, 전자빔 가열 중 어느 하나로 이루어질 수 있다.
보정 마스크(60)는 증착물질(A)의 투과량을 조절하여 증착물질(A)이 피증착물(11)에 증착되도록 증발원(50)의 상부에 배치된다.
보정 마스크(60)는 도 2에 도시된 바와 같이 상하 방향으로 관통되는 다수의 투과홀(70)이 형성된다.
증발원(50)은 도 1에 도시된 바와 같이 회전지그(30)의 중앙부를 기준으로 일측에 편향되어 배치되며, 보정 마스크(60)는 도 2에 도시된 바와 같이 중앙부를 중심으로 일측에 위치되는 제1영역(61)과 타측에 위치되는 제2영역(62)으로 나뉠 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이 제1영역(61)은 보정 마스크(60)의 중앙부를 중심으로 일측 즉, 우측에 위치되고, 제2영역(62)은 보정 마스크(60)의 중앙부를 중심으로 타측 즉, 좌측에 위치되는 것으로 이해될 수 있다.
투과홀(70)은 피증착물(11)과 증발원(50) 간의 거리 차이에 따라 증착물질(A)의 투과량을 조절할 수 있도록 형성될 수 있다.
이에 따라, 보정 마스크(60)는 회전지그(30)에 부착되는 다수의 피증착물(11)의 박막 두께가 동일하게 증착될 수 있도록 하여 박막 두께의 불균일로 인해 발생되는 제품의 불량율을 저하시킬 수 있다.
예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이 제2영역(62)에 형성되는 투과홀은 제1영역(61)에 형성되는 투과홀보다 크기가 크게 형성된다. 즉, 투과부(70)는 회전지그(30)와 보정 마스크(60) 간의 이격거리에 대응하여 이격거리가 긴 영역 즉, 제2영역(62)에서 이격거리가 짧은 영역 즉, 제1영역(61)에 비해 투과홀이 크게 형성된다. 여기서, 이격거리는 제1영역(61)으로부터 회전지그(30)로의 수직거리와 제2영역(62)으로부터 회전지그(30)로의 수직거리를 비교하여 그 짧고 긴 것에 따른 차이를 말하는 것으로 이해될 수 있다.
이에 따라, 투과부(70)는 제2영역(62)에서 제1영역(61)에 비해 피증착물의 투과량이 많을 수 있다.
이는, 회전지그(30)가 돔 형태를 이루는 한편, 증발원(50)이 회전지그(30)의 중앙부를 중심으로 일측 즉, 우측으로 편향되어 배치되면서 보정 마스크(60)와 회전지그(30) 간의 이격거리가 좌측에서 우측 방향 즉, 회전지그(30)의 중앙부로부터 외측으로 갈수록 짧아지는 형태를 이루기 때문이다. 예를 들면, 제1,2영역(61,62)과 회전지그(30) 간의 이격거리가 다른 상태에서 투과되는 증착물질의 양이 동일한 경우, 제2영역(61)과 대략 동일 수직선상에 배치되는 피증착물은 제1영역(61)과 대략 동일 수직선상에 배치되는 피증착물에 비해 박막의 두께가 얇을 수 있다.
이와는 달리, 본발명에 따른 박막 증착장치(10)는 제1,2영역(61,62)과 회전지그(30) 간의 이격거리가 다른 상태에서 제2영역(62)에서의 증착물질의 투과량이 제1영역(61)에서의 투과량보다 많음으로써 회전지그(30)의 어느 위치에서도 피증착물(11)로 코팅되는 박막의 두께가 동일할 수 있다.
본 발명에 따른 박막 증착장치(10)는 도 3에 도시된 바와 같이 진공챔버(20)의 내측 바닥으로부터 보정 마스크(60)를 지지하는 한편, 보정 마스크(60)의 기울기를 조절하는 지지부(100)를 더 포함한다.
지지부(100)는 진공챔버(20)의 바닥으로부터 보정 마스크(60)를 안정적으로 지지하는 한편, 보정 마스크(60)가 수평을 이루는 상태를 기준으로 기울기가 조절될 수 있도록 하여 회전지그(30)의 일측 하부면과 이루는 각이 조절될 수 있도록 한다. 이때, 회전지그(30)는 일측 하부면이 경사면을 이루는 것으로 이해될 수 있다.
이에 따라, 지지부(100)는 제1,2영역(61,62)을 통해 투과되는 증착물질의 투과량에 따라 보정 마스크(60)의 기울기를 적절하게 조절할 수 있다.
또는, 지지부(100)는 회전지그(30)와 제1,2영역(61,62) 간의 이격거리에 따라 기울기를 조절할 수 있다. 예를 들면, 지지부(100)는 도 4에 도시된 바와 같이 제1,2영역(61,62)에 형성되는 투과홀(70)의 크기가 동일한 경우, 보정 마스크(60)가 회전지그(30)와 대략 평행을 이루도록 할 수 있다.
지지부(100)는 진공챔버(20)의 내측 바닥으로부터 상방향으로 연장 형성되는 제1,2지지바(110,120), 제1지지바(110)에 승,하강 가능하게 결합되는 한편, 보정 마스크(60)의 일측이 회동 가능하게 연결되는 승강부재(130), 제1지지바(110)로부터 승강부재(130)를 지지하는 제1지지수단(140) 및 제2지지바(120)로부터 보정 마스크(60)의 타측을 승,하강 가능하게 지지하는 제2지지수단(150)을 포함한다.
제1,2지지바(110,120)는 보정 마스크(60)의 양측에 배치되며, 외주면에 나사산이 형성된다.
승강부재(130)는 일단부에 상하 방향으로 관통되는 중공(131)이 형성되면서 제2지지바(120)의 외측으로 승,하강 가능하게 결합되며 타단부에 보정 마스크(60)의 일측이 회동 가능하게 연결된다.
보정 마스크(60)는 공지된 다양한 형태에 의해 승강부재(130)에 회동 가능하게 연결될 수 있다.
예를 들면, 보정 마스크(60)는 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이 일측에 한 쌍의 체결돌기(60a)가 형성되면서 승강부재(130)와 힌지축(131)에 의해 회동 가능하게 연결될 수 있다.
제1지지수단(140)는 승강부재(130)의 하부에 위치되도록 제1지지바(110)에 나사결합되면서 제1지지바(110)로부터 승강부재(130)를 지지하는 제1지지부재(141)를 포함한다.
제1지지부재(141)는 내주면에 나사산이 형성되며, 제1지지바(110)로 나사결합되면서 제1지지바(110)로부터 승강부재(130)를 안정적으로 지지한다.
제2지지수단(150)은 일단부가 보정 마스크(60)의 타측에 연결되며 제2지지바(120)가 통과하는 통공(151a)이 타단부로부터 일단부 방향으로 연장 형성되는 고정판(151) 및 고정판(151)의 하부에 위치되도록 제2지지바(120)에 승,하강 가능하게 나사결합되는 제2지지부재(152)를 포함한다.
제2지지부재(152)는 내주면에 나사산이 형성되며, 고정판(151)의 하부에 위치되도록 제2지지바(120)로 나사결합되면서 제2지지바(120)로부터 고정판(151)과 함께 보정 마스크(60)의 타측을 안정적으로 지지한다.
제1,2지지부재(141,152)는 도 5에 도시된 바와 같이 회전에 따라 승,하강되면서 진공챔버(20)의 내부 바닥으로부터 보정 마스크(60)의 높이를 조절할 수 있다. 다시 말하면, 제1,2지지부재(141,152)는 회전에 따라 승,하강되면서 증발원(50)과 보정 마스크(60) 간의 이격거리를 조절할 수 있다.
이에 따라, 제1,2지지부재(141,152)는 보정 마스크(60)의 높이 조절을 통해 증발원(50)과 보정 마스크(60) 간의 이격거리가 조절될 수 있도록 함으로써 증발원(50)에서 기화된 증착물질(A)이 보정 마스크(60)를 효과적으로 통과하면서 피증착물에 증착되는 위치를 용이하게 조절할 수 있다.
제1지지부재(141)는 도 6에 도시된 바와 같이 제2지지부재(152)가 정지된 상태에서 회전에 따라 승,하강되면서 보정 마스크(60)의 기울기를 조절한다.
제1지지수단(140)은 제1지지부재(141)의 하부에 위치되도록 제1지지바(110)에 나사결합되는 제1가압부재(142) 및 제1가압부재(142)와 제1지지부재(141) 간에 배치되는 제1스프링(143)을 더 포함할 수 있다.
제1스프링(143)은 제1가압부재(142)로부터 제1지지부재(141)를 지지하면서 제1지지부재(141)가 하강하는 것을 방지하는 한편, 제1지지부재(141)의 회전에 따른 승강시, 탄발력에 의해 제1지지부재(141)의 승강이 원활하게 이루어지도록 한다.
제1가압부재(142)는 내주면에 나사산이 형성되어 제1지지바(110)로 나사결합되면서 제1스프링(143)을 지지한다.
제1가압부재(142)는 회전에 따라 승,하강되면서 제1스프링(143)의 탄성력을 조절할 수 있다.
제2지지수단(150)은 제2지지부재(152)의 하부에 위치되도록 제2지지바(120)에 나사결합되는 제2가압부재(153) 및 제2가압부재(153)와 제2지지부재(152) 간에 배치되는 제2스프링(154)을 더 포함할 수 있다.
제2스프링(154)은 제2가압부재(153)로부터 제2지지부재(152)를 지지하면서 제2지지부재(152)가 하강하는 것을 방지하는 한편, 제2지지부재(152)의 회전에 따른 승강시, 탄발력에 의해 제2지지부재(152)의 승강이 원활하게 이루어지도록 한다.
제2가압부재(153)는 내주면에 나사산이 형성되어 제2지지바(120)로 나사결합되면서 제2스프링(154)을 지지한다.
제2가압부재(153)는 회전에 따라 승,하강되면서 제2스프링(154)의 탄성력을 조절할 수 있다.
이로 인해, 본 발명에 따른 박막 증착장치(10)는 회전지그(30)의 어느 위치에서도 피증착물(11)로 코팅되는 박막의 두께가 동일하도록 할 수 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 박막 증착장치를 실시하기 위한 실시 예에 불과한 것으로써, 본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
10 : 박막 증착장치 20 : 진공챔버
30 : 회전지그 40 : 회전부
50 : 증발원 60 : 보정 마스크
61 : 제1영역 62 : 제2영역
70 : 투과홀 100 : 지지부
110 : 제1지지바 120 : 제2지지바
130 : 승강부재 140 : 제1지지수단
141 : 제1지지부재 150 : 제2지지수단
151 : 고정판 151a : 통공
152 : 제2지지부재

Claims (5)

  1. 진공챔버(20);
    상기 진공챔버(20)의 내부에 구비되며, 피증착물(11)이 부착되는 돔 형태의 회전지그(30);
    상기 회전지그(30)로 회전력을 전달하는 회전부(40);
    상기 회전지그(30)의 중앙부를 중심으로 일측 하부에 배치되며, 증착물질(A)을 기화하는 증발원(50);
    상기 증발원(50)의 상부에 배치되며, 기화된 증착물질(A)이 통과하는 다수의 투과홀(70)이 형성되면서 증착물질(A)의 투과량을 조절하는 보정 마스크(60); 및
    상기 진공챔버(20)의 내측 바닥으로부터 상기 보정 마스크(60)를 지지하는 한편, 상기 보정 마스크(60)의 기울기를 조절하는 지지부(100)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 보정 마스크(60)는,
    중앙부를 중심으로 일측의 제1영역(61)과 타측의 제2영역(62)으로 나뉘며, 상기 제2영역(62)은 상기 제1영역(61)에 비해 상기 회전지그(30)와의 이격거리가 길고,
    상기 제2영역(62)에 형성되는 투과홀은 상기 제1영역(61)에 형성되는 투과홀보다 크게 형성되면서 상기 제2영역(62)으로의 증착물질(A)의 투과량이 상기 제1영역(61)에서의 투과량보다 많은 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 지지부(100)는,
    상기 진공챔버(20)의 내측 바닥으로부터 상방향으로 연장 형성되는 제1,2지지바(110,120);
    상기 제1지지바(110)에 승,하강 가능하게 결합되는 한편, 상기 보정 마스크(60)의 일측이 회동 가능하게 연결되는 승강부재(130);
    상기 제1지지바(110)로부터 상기 승강부재(130)를 지지하는 제1지지수단(140); 및
    상기 제2지지바(120)로부터 상기 보정 마스크(60)의 타측을 승,하강 가능하게 지지하는 제2지지수단(150)을 포함하고,
    상기 보정 마스크(60)는,
    수평인 상태를 기준으로 상기 제2지지수단(150)의 조절에 따라 타측이 일측을 중심으로 상하 방향으로 회동되면서 기울기가 조절되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1지지수단(140)은,
    상기 승강부재(130)의 하부에 위치되도록 상기 제1지지바(110)에 나사결합되는 제1지지부재(141)를 포함하고,
    상기 제2지지수단(150)은,
    일단부가 상기 보정 마스크(60)의 타측에 연결되고 타단부가 외측으로 연장 형성되되, 상기 제2지지바(120)가 통과하는 통공(151a)이 타단부로부터 일단부 방향으로 연장 형성되는 고정판(151); 및
    상기 고정판(151)의 하부에 위치되도록 상기 제2지지바(120)에 승,하강 가능하게 나사결합되는 제2지지부재(152)를 포함하며,
    상기 제1,2지지부재(141,152)는 회전에 따라 승,하강되면서 상기 증발원(50)과 상기 보정 마스크(60) 간의 이격거리를 조절하고,
    상기 제1지지부재(141)는,
    상기 제2지지부재(152)가 정지된 상태에서 회전에 따라 승,하강되면서 상기 보정 마스크(60)의 기울기를 조절하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제1지지수단(140)은,
    상기 제1지지부재(141)의 하부에 위치되도록 상기 제1지지바(110)에 나사결합되는 제1가압부재(142); 및
    상기 제1가압부재(142)와 제1지지부재(141) 간에 배치되는 제1스프링(143)을 더 포함하고,
    상기 제2지지수단(150)은,
    상기 제2지지부재(152)의 하부에 위치되도록 상기 제2지지바(120)에 나사결합되는 제2가압부재(153); 및
    상기 제2가압부재(153)와 제2지지부재(152) 간에 배치되는 제2스프링(154)을 더 포함하며,
    상기 제1,2가압부재(142,153)는,
    회전에 따라 승,하강되면서 상기 제1,2스프링(143,154)의 탄성력을 조절하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
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