KR102121041B1 - 냉매 공급용 연결 장치 및 이를 구비하는 웨이퍼 검사 시스템 - Google Patents

냉매 공급용 연결 장치 및 이를 구비하는 웨이퍼 검사 시스템 Download PDF

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Abstract

유연 호스의 양단부에 커브드 캡과 힌지를 각각 적용하여 곡률 반경 변화에 따른 꺾임 현상을 방지하는 냉매 공급용 연결 장치 및 이를 구비하는 웨이퍼 검사 시스템이 제공된다. 냉매 공급용 연결 장치는, 프로브 스테이션에 구비되는 척 플레이트에 연결되는 제1 피팅 연결부; 냉매를 공급하는 냉매 공급 유닛에 연결되는 중간 블록에 연결되는 제2 피팅 연결부; 제1 피팅 연결부와 제2 피팅 연결부를 연결하는 연결 라인; 및 제1 피팅 연결부에 인접하는 연결 라인의 일부를 커버하며, 일단부가 타단부보다 폭이 넓은 커브드 캡을 포함한다.

Description

냉매 공급용 연결 장치 및 이를 구비하는 웨이퍼 검사 시스템 {Connecting device for supplying of refrigerant, and system for testing wafer with the device}
본 발명은 웨이퍼를 검사하는 시스템에서 냉매 공급 유닛과 척 플레이트를 연결하는 냉매 공급용 연결 장치 및 이를 구비하는 웨이퍼 검사 시스템에 관한 것이다.
사진 공정(lithography process), 식각 공정(etching process), 확산 공정(diffusion process), 박막 증착 공정(thin film deposition process), 패키징 공정(packaging process) 등을 거쳐 반도체 소자가 제조되면, 이 반도체 소자의 전기적 특성을 검사하기 위해 프로브 스테이션(probe station)에서 검사 공정이 수행될 수 있다.
한국공개특허 제10-2016-0015610호 (공개일: 2016.02.15.)
프로브 스테이션에서 냉매 시스템은 척(chuck)의 내부에 냉매를 공급하기 위해 유연 호스를 통해 척과 연결될 수 있다. 이때 유연 호스는 양단부에 형성된 피팅 연결부를 통해 냉매 시스템과 척에 각각 고정될 수 있다.
그런데 반도체 소자의 전기적 특성을 검사하기 위해 척이 상하 방향으로 이동하는 경우, 유연 호스에서는 곡률 반경 변화로 인한 꺾임 현상이 빈번히 발생하여, 유연 호스의 내구 수명을 단축시킬 수 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는, 유연 호스의 양단부에 커브드 캡(curved cap)과 힌지(hinge)를 각각 적용하여 곡률 반경 변화에 따른 꺾임 현상을 방지하는 냉매 공급용 연결 장치 및 이를 구비하는 웨이퍼 검사 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 냉매 공급용 연결 장치의 일 면(aspect)은, 프로브 스테이션(probe station)에 구비되는 척 플레이트(chuck plate)에 연결되는 제1 피팅 연결부; 냉매를 공급하는 냉매 공급 유닛에 연결되는 중간 블록(middle block)에 연결되는 제2 피팅 연결부; 상기 제1 피팅 연결부와 상기 제2 피팅 연결부를 연결하는 연결 라인; 및 상기 제1 피팅 연결부에 인접하는 상기 연결 라인의 일부를 커버하며, 일단부가 타단부보다 폭이 넓은 커브드 캡(curved cap)을 포함한다.
상기 커브드 캡의 일단부는 상기 커브드 캡의 타단부보다 상기 제1 피팅 연결부로부터 거리가 멀 수 있다.
상기 커브드 캡은 상기 일단부로부터 상기 타단부로 갈수록 폭이 좁아지거나, 또는 상기 일단부부터 상기 일단부와 상기 타단부 사이에 위치하는 제1 지점까지 폭이 좁아지고 상기 제1 지점부터 상기 타단부까지 폭이 일정할 수 있다.
상기 제2 피팅 연결부는 상기 중간 블록의 몸체부에 회전 가능하게 결합되는 제1 포트를 통해 상기 중간 블록에 연결되거나, 저면에 위치하는 평판과 탄력적으로 결합하는 상기 몸체부 상의 제2 포트를 통해 상기 중간 블록에 연결될 수 있다.
상기 커브드 캡은 강성을 가지는 소재로 형성될 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 웨이퍼 검사 시스템의 일 면은, 검사 챔버; 상기 검사 챔버의 상부에 배치되며, 일면에 복수개의 탐침(probe)을 구비하는 프로브 카드; 상기 검사 챔버의 내부에 배치되며, 웨이퍼(wafer)가 안착되는 척 플레이트를 통해 웨이퍼를 지지하는 기판 지지 부재; 상기 기판 지지 부재의 승강에 따라 상기 탐침이 상기 웨이퍼에 접촉될 때 상기 탐침을 통해 상기 웨이퍼에 검사 신호를 인가하며, 상기 검사 신호를 통해 획득되는 정보를 기초로 상기 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 테스터; 상기 검사 챔버의 내부에 배치되며, 중간 블록을 통해 상기 척 플레이트에 냉매를 공급하는 냉매 공급 유닛; 및 상기 척 플레이트에 연결되는 제1 피팅 연결부, 상기 중간 블록에 연결되는 제2 피팅 연결부, 상기 제1 피팅 연결부와 상기 제2 피팅 연결부를 연결하는 연결 라인, 및 상기 제1 피팅 연결부에 인접하는 상기 연결 라인의 일부를 커버하며, 일단부가 타단부보다 폭이 넓은 커브드 캡(curved cap)을 구비하는 냉매 공급용 연결 장치를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 프로브 스테이션의 구조를 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 2는 프로브 스테이션에 구비되는 척 플레이트와 냉매 공급 유닛에 연결되는 중간 블록 간 연결 구조를 보여주는 사시도이다.
도 3은 프로브 스테이션에 구비되는 척 플레이트와 냉매 공급 유닛에 연결되는 중간 블록 간 연결 구조를 보여주는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치에 구비되는 커브드 캡의 다양한 형상을 보여주는 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치와 연결되는 중간 블록의 제1 실시 형태를 도시한 측면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치의 곡률 반경이 가변하는 상황을 보여주는 제1 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치와 연결되는 중간 블록의 제2 실시 형태를 도시한 측면도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치의 곡률 반경이 가변하는 상황을 보여주는 제2 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명은 반도체 소자(예를 들어, 웨이퍼(wafer))의 전기적 특성을 검사하는 프로브 스테이션(probe station)에서 냉매를 척(chuck)에 공급하기 위해 냉매 공급 유닛과 척을 연결하는 냉매 공급용 연결 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 냉매 공급용 연결 장치는 양단부에 커브드 캡(curved cap)과 힌지(hinge)를 각각 적용하여, 척의 상하 방향 이동에 따라 발생되는 꺾임 현상을 방지하는 것을 특징으로 한다. 이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명을 자세하게 설명하기로 한다.
도 1은 프로브 스테이션의 구조를 개략적으로 도시한 개념도이다.
프로브 스테이션(100)은 프로브 카드(probe card; 120)와 테스터(tester; 130)를 이용하여 복수개의 반도체 소자가 형성된 웨이퍼(W)의 전기적 특성을 검사하는 것이다. 이러한 프로브 스테이션(100)은 도 1에 도시된 바와 같이 검사 챔버(110), 프로브 카드(120), 테스터(130), 기판 지지 부재(140) 및 상/하부 정렬 카메라(151, 152)를 포함하여 구성될 수 있다.
검사 챔버(110)는 웨이퍼(W)의 전기적 특성을 검사하는 검사 공정이 수행되는 공간을 제공한다.
프로브 카드(120)는 검사 챔버(110)의 상부에 배치된다. 이러한 프로브 카드(120)는 웨이퍼(W)의 전기적 특성을 검사하기 위해 테스터(130)와 연결될 수 있다.
프로브 카드(120)는 테스터(130)의 제어에 따라 웨이퍼(W) 상의 각각의 반도체 소자에 검사 신호를 인가하기 위해 저면에 복수개의 탐침(probe; 121)을 구비할 수 있다. 프로브 카드(120)는 상부 정렬 카메라(151)와 하부 정렬 카메라(152)에 의해 웨이퍼(W)와 프로브 카드(120)의 정렬이 완료되면, 탐침(121)을 웨이퍼(W) 상의 검사 패드들에 접촉시켜 검사 신호를 인가할 수 있다.
테스터(130)는 프로브 카드(120)를 이용하여 웨이퍼(W)의 전기적 특성을 검사하는 것이다. 이러한 테스터(130)는 프로브 카드(120)의 탐침(121)을 통해 웨이퍼(W)의 전기적 특성을 검사하기 위한 신호를 각각의 반도체 소자에 인가하며, 각각의 반도체 소자로부터 출력되는 신호를 토대로 웨이퍼(W)의 전기적 특성을 검사할 수 있다.
기판 지지 부재(140)는 웨이퍼(W)를 지지하는 것이다. 기판 지지 부재(140)는 이를 위해 검사 챔버(110)의 내부에 배치된다.
기판 지지 부재(140)는 웨이퍼(W)가 검사 챔버(110)의 내부에서 수평 방향으로 이동되거나 수직 방향으로 이동될 수 있도록 웨이퍼(W)의 위치를 조절할 수 있다.
기판 지지 부재(140)는 웨이퍼(W) 상의 검사 패드가 프로브 카드(120)의 탐침(121)에 대응하여 위치될 수 있도록, 웨이퍼(W)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다.
또한 기판 지지 부재(140)는 웨이퍼(W) 상의 검사 패드가 프로브 카드(120)의 탐침(121)에 접촉될 수 있도록, 웨이퍼(W)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 기판 지지 부재(140)는 상부 정렬 카메라(151)와 하부 정렬 카메라(152)에 의해 웨이퍼(W)와 프로브 카드(120)의 정렬이 완료되면, 웨이퍼(W)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
기판 지지 부재(140)는 척 모듈(141), 회전 구동부(142), 수직 구동부(143), 척 스테이지(144) 및 수평 구동부(145)를 포함할 수 있다.
척 모듈(141)은 웨이퍼(W)를 지지하는 것이다. 이러한 척 모듈(141)은 상면에 웨이퍼(W)가 안착될 수 있도록 제공되는 척 플레이트(chuck plate; 210)를 포함하며, 프로브 카드(120)와 마주하도록 검사 챔버(110)의 내부에 배치될 수 있다.
한편 척 모듈(141)은 척 플레이트(210) 상에 안착된 웨이퍼(W)를 고정시키기 위해 진공 흡착 기능이 있는 진공 형성 플레이트(미도시)를 더 포함할 수 있다. 척 모듈(141)이 진공 형성 플레이트를 더 포함하는 경우, 이 진공 형성 플레이트는 척 플레이트(210)의 아래에 배치될 수 있다.
회전 구동부(142)는 척 모듈(141)의 아래에 배치되어 척 모듈(141)을 회전시키는 것이다. 회전 구동부(142)는 웨이퍼(W) 상의 검사 패드와 프로브 카드(120)의 탐침(121)을 정렬시키기 위해 척 모듈(141)을 회전시킬 수 있다.
수직 구동부(143)는 회전 구동부(142)의 아래에 배치되어 척 모듈(141)의 수직 위치를 조절하는 것이다. 수직 구동부(143)는 웨이퍼(W) 상의 검사 패드를 프로브 카드(120)의 탐침(121)에 접촉시키기 위해 척 모듈(141)의 수직 위치를 조절할 수 있다.
척 스테이지(144)는 수직 구동부(143)의 아래에 배치되어 수직 구동부(143)를 지지하는 것이다.
수평 구동부(145)는 척 스테이지(144)의 아래에 배치되어 척 모듈(141)의 수평 위치를 조절하는 것이다. 수평 구동부(145)는 웨이퍼(W) 상의 검사 패드를 프로브 카드(120)의 탐침(121)에 대응하여 위치시키기 위해 척 모듈(141)의 수평 위치를 조절할 수 있다.
상부 정렬 카메라(151)와 하부 정렬 카메라(152)는 프로브 카드(120)와 웨이퍼(W)를 정렬시키기 위한 것이다.
상부 정렬 카메라(151)는 검사 챔버(110)의 내부 상측에 배치된다. 이러한 상부 정렬 카메라(151)는 검사 챔버(110)의 내부 상측에서 웨이퍼(W) 상의 패턴에 대한 이미지를 획득할 수 있다. 상부 정렬 카메라(151)는 브릿지 형태를 갖는 구동부(미도시)에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있다.
하부 정렬 카메라(152)는 검사 챔버(110)의 내부 하측에 배치된다. 이러한 하부 정렬 카메라(152)는 검사 챔버(110)의 내부 하측에서 프로브 카드(120)의 탐침(121)에 대한 이미지를 획득할 수 있다. 프로브 카드(120)와 웨이퍼(W)의 정렬은 상부 정렬 카메라(151)와 하부 정렬 카메라(152)에 의해 획득된 이미지를 기초로 수행될 수 있다.
한편 프로브 스테이션(100)은 웨이퍼(W)의 온도를 조절하기 위해 척 플레이트(210)를 가열시키는 가열 유닛, 척 플레이트(210)에 냉매를 공급하는 냉매 공급 유닛 등을 포함할 수 있다. 프로브 스테이션(100)은 가열 유닛, 냉매 공급 유닛 등을 이용하여 웨이퍼(W)의 온도가 검사 공정에 적합한 온도가 되도록 제어할 수 있다. 이하에서는 이에 대해 설명한다.
도 2는 프로브 스테이션에 구비되는 척 플레이트와 냉매 공급 유닛에 연결되는 중간 블록 간 연결 구조를 보여주는 사시도이다. 그리고 도 3은 프로브 스테이션에 구비되는 척 플레이트와 냉매 공급 유닛에 연결되는 중간 블록 간 연결 구조를 보여주는 측면도이다. 이하 설명은 도 2 및 도 3을 참조한다.
냉매 공급 유닛(미도시)은 척 플레이트(210)를 냉각시키기 위해 척 플레이트(210)의 내부에 냉매를 공급하는 것이다. 이러한 냉매 공급 유닛은 중간 블록(middle block; 220)과 연결되어, 중간 블록(220)을 통해 척 플레이트(210)에 냉매를 공급할 수 있다.
중간 블록(220)은 척 플레이트(210)와 냉매 공급 유닛에 각각 연결되어 냉매 공급 유닛으로부터 척 플레이트(210)로 냉매 공급을 중계하는 것이다. 이러한 중간 블록(220)은 정전기 제거를 위해 척 플레이트(210)와 냉매 공급 유닛 사이에 구비될 수 있다.
중간 블록(220)은 척 플레이트(210)의 옆에 구비되며, 수직 방향으로 휘어진 형태(ㄴ자 형태)의 몸체부(221)를 포함하여 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 중간 블록(220)의 몸체부(221)는 평판 형태로 형성되는 것도 가능하다.
중간 블록(220)은 척 플레이트(210)와의 연결을 위해 몸체부(221)의 일면에 한 쌍의 포트(222, 223)를 구비할 수 있다. 이 한 쌍의 포트(222, 223) 중 어느 하나인 입력 포트(222)는 냉매 공급용 연결 장치(230)를 통해 냉매가 냉매 공급 유닛으로부터 척 플레이트(210)의 내부로 유입되도록 중계하는 역할을 한다. 반면 한 쌍의 포트(222, 223) 중 다른 하나인 출력 포트(223)는 냉매 공급용 연결 장치(230)를 통해 척 플레이트(210)의 내부를 순환한 냉매가 외부로 유출되도록 중계하는 역할을 한다.
몸체부(221)의 일면에 구비되는 한 쌍의 포트(222, 223)와 마찬가지로, 척 플레이트(210)의 측면에는 한 쌍의 피팅부(211, 212)가 설치될 수 있다. 한 쌍의 피팅부(211, 212) 중 어느 하나인 제1 피팅부(211)는 냉매 공급용 연결 장치(230)를 통해 입력 포트(222)와 연결될 수 있다. 그리고 한 쌍의 피팅부(211, 212) 중 다른 하나인 제2 피팅부(212)는 냉매 공급용 연결 장치(230)를 통해 출력 포트(223)와 연결될 수 있다.
냉매 공급용 연결 장치(230)는 도 3에 도시된 바와 같이 중간 블록(220)의 입력 포트(222)와 척 플레이트(210)의 제1 피팅부(211)를 연결할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 냉매 공급용 연결 장치(230)는 중간 블록(220)의 출력 포트(223)와 척 플레이트(210)의 제2 피팅부(212)를 연결하는 것도 가능하다.
중간 블록(220)의 입력 포트(222)와 척 플레이트(210)의 제1 피팅부(211)를 연결하는 냉매 공급용 연결 장치(230)는 중간 블록(220)의 출력 포트(223)와 척 플레이트(210)의 제2 피팅부(212)를 연결하는 냉매 공급용 연결 장치(230)와 동일한 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 중간 블록(220)의 입력 포트(222)와 척 플레이트(210)의 제1 피팅부(211)를 연결하는 냉매 공급용 연결 장치(230)에 대하여 설명할 것이나, 이것이 중간 블록(220)의 출력 포트(223)와 척 플레이트(210)의 제2 피팅부(212)를 연결하는 냉매 공급용 연결 장치(230)에 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 4에 따르면, 냉매 공급용 연결 장치(230)는 제1 피팅 연결부(231), 제2 피팅 연결부(232), 연결 라인(233) 및 커브드 캡(curved cap; 234)을 포함하여 구성될 수 있다.
제1 피팅 연결부(231)는 연결 라인(233)의 일측에 장착되는 것이다. 제1 피팅 연결부(231)는 냉매 공급용 연결 장치(230)와 척 플레이트(210)가 연결될 때 척 플레이트(210)의 제1 피팅부(211)에 결합된다.
제2 피팅 연결부(232)는 연결 라인(233)의 타측에 장착되는 것이다. 제2 피팅 연결부(232)는 냉매 공급용 연결 장치(230)와 중간 블록(220)이 연결될 때 중간 블록(220)의 입력 포트(222)에 결합된다.
커브드 캡(234)은 연결 라인(233)의 일부를 커버하기 위해 내부가 비어 있는 소정 길이의 관으로 형성될 수 있다. 이러한 커브드 캡(234)은 제1 피팅 연결부(231)에 인접하는 부분을 커버하도록 형성될 수 있다.
커브드 캡(234)은 도 5의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이 일단부(311)의 폭이 타단부(312)의 폭보다 넓게 형성될 수 있다. 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치에 구비되는 커브드 캡의 다양한 형상을 보여주는 예시도이다.
커브드 캡(234)은 일례로 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 일단부(311)에서 타단부(312)로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 형성될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 커브드 캡(234)은 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 일단부(311)부터 제1 지점(313)까지 폭이 좁아지는 형태로 형성되고 제1 지점(313)부터 타단부(312)까지 폭이 일정한 형태로 형성되는 것도 가능하다. 상기에서 제1 지점(313)은 일단부(311)와 타단부(312) 사이에 위치하는 지점을 말한다.
한편 커브드 캡(234)은 일단부(311)의 폭과 타단부(312)의 폭이 동일하게 형성되는 것도 가능하다.
다시 도 4를 참조하여 설명한다.
커브드 캡(234)은 연결 라인(233) 상에 장착될 때 타단부(312)와 이 타단부(312)보다 폭이 상대적으로 더 넓은 일단부(311)가 각각 제1 피팅 연결부(231)로부터 가까운 쪽과 제1 피팅 연결부(231)로부터 먼 쪽에 위치하도록 형성될 수 있다.
커브드 캡(234)이 이와 같이 형성되면, 냉매 공급용 연결 장치(230)가 중간 블록(220)의 입력 포트(222)와 척 플레이트(210)의 제1 피팅부(211)에 연결된 상태에서 척 플레이트(210)가 상하 방향으로 이동할 때에 연결 라인(233)에서 제1 피팅 연결부(231)에 인접하는 부분에 집중되는 응력을 분산시킬 수 있으며, 이에 따라 냉매 공급용 연결 장치(230)의 내구 수명을 향상시킬 수가 있다.
커브드 캡(234)은 연결 라인(233) 상에 장착된 상태에서 쉽게 파손되지 않도록 소정의 강성(rigidity)을 가지는 소재로 형성될 수 있다. 일례로 커브드 캡(234)은 스테인레스 스틸(stainless steel)을 소재로 하여 형성될 수 있으나, 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.
한편 중간 블록(220)의 입력 포트(222)와 출력 포트(223)는 척 플레이트(210)가 상하 방향으로 이동할 때에 냉매 공급용 연결 장치(230)의 곡률이 가변될 수 있도록 몸체부(221)에 힌지(hinge) 결합될 수 있다. 이하에서는 이에 대해 설명한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치와 연결되는 중간 블록의 제1 실시 형태를 도시한 측면도이다.
도 6에 따르면, 중간 블록(220)은 몸체부(231), 포트(411) 및 힌지부(412)를 포함하여 구성될 수 있다.
포트(411)는 냉매 공급 유닛과 척 플레이트(210)의 연결을 위해 몸체부(231)의 일면에 형성되는 것으로서, 입력 포트(222) 또는 출력 포트(223)를 의미한다.
힌지부(412)는 포트(411)가 몸체부(231) 상에 회전 가능하게 결합하도록 제공되는 것이다.
중간 블록(220)이 이와 같이 몸체부(231), 포트(411) 및 힌지부(412)를 포함하여 구성되면, 척 플레이트(210)가 상하 방향으로 이동하더라도 도 7에 도시된 바와 같이 힌지부(412)에 의해 포트(411)가 회전하기 때문에, 냉매 공급용 연결 장치(230)의 곡률 반경이 급격하게 변화하는 것을 지연시킬 수 있으며, 이에 따라 연결 라인(233)에서 제1 피팅 연결부(231)(또는 제2 피팅 연결부(232))에 가해지는 스트레스(stress)를 감소시키는 효과를 얻을 수 있다. 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치의 곡률 반경이 가변하는 상황을 보여주는 제1 예시도이다.
한편 중간 블록(220)의 입력 포트(222)와 출력 포트(223)는 몸체부(221)에 플렉시블 힌지(flexible hinge) 결합될 수도 있다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치와 연결되는 중간 블록의 제2 실시 형태를 도시한 측면도이다.
도 8에 따르면, 중간 블록(220)은 몸체부(231), 포트(411), 평판(413) 및 탄성체(414)를 포함하여 구성될 수 있다.
평판(413)은 몸체부(231)의 아래에 위치하는 것이다. 평판(413)이 이와 같이 위치하는 경우, 탄성체(414)를 통해 몸체부(231)의 저면과 평판(413)의 상면이 상호 연결될 수 있다. 탄성체(414)는 일례로 스프링으로 구현될 수 있다.
중간 블록(220)이 이와 같이 몸체부(231), 포트(411), 평판(413) 및 스프링(414)을 포함하여 판 스프링 형태로 구성되면, 척 플레이트(210)가 상하 방향으로 이동하더라도 도 9에 도시된 바와 같이 스프링(414)에 의해 포트(411)가 상하 방향으로 이동하기 때문에, 냉매 공급용 연결 장치(230)의 곡률 반경이 급격하게 변화하는 것을 지연시킬 수 있으며, 이에 따라 연결 라인(233)에서 제1 피팅 연결부(231)(또는 제2 피팅 연결부(232))에 가해지는 스트레스(stress)를 감소시키는 효과를 얻을 수 있다. 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 냉매 공급용 연결 장치의 곡률 반경이 가변하는 상황을 보여주는 제2 예시도이다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 프로브 스테이션 110: 검사 챔버
120: 프로브 카드 121: 탐침
130: 테스터 140: 기판 지지 부재
141: 척 모듈 142: 회전 구동부
143: 수직 구동부 144: 척 스테이지
145: 수평 구동부 151: 상부 정렬 카메라
152: 하부 정렬 카메라 210: 척 플레이트
220: 중간 블록 221: 몸체부
222, 223, 411: 포트 230: 냉매 공급용 연결 장치
231: 제1 피팅 연결부 232: 제2 피팅 연결부
233: 연결 라인 234: 커브드 캡
412: 힌지부 413: 평판
414: 탄성체

Claims (9)

  1. 프로브 스테이션(probe station)에 구비되는 척 플레이트(chuck plate)에 연결되는 제1 피팅 연결부;
    냉매를 공급하는 냉매 공급 유닛에 연결되는 중간 블록(middle block)에 연결되는 제2 피팅 연결부;
    상기 제1 피팅 연결부와 상기 제2 피팅 연결부를 연결하는 연결 라인; 및
    상기 제1 피팅 연결부에 인접하는 상기 연결 라인의 일부를 커버하며, 일단부가 타단부보다 폭이 넓은 커브드 캡(curved cap)을 포함하며,
    상기 제2 피팅 연결부와 결합하는 상기 중간 블록의 포트는 상기 중간 블록의 몸체부에 회전 가능하게 설치되는 냉매 공급용 연결 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 커브드 캡의 일단부는 상기 커브드 캡의 타단부보다 상기 제1 피팅 연결부로부터 거리가 먼 냉매 공급용 연결 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 커브드 캡은 상기 일단부로부터 상기 타단부로 갈수록 폭이 좁아지거나, 또는 상기 일단부부터 상기 일단부와 상기 타단부 사이에 위치하는 제1 지점까지 폭이 좁아지고 상기 제1 지점부터 상기 타단부까지 폭이 일정한 냉매 공급용 연결 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 중간 블록의 몸체부는 탄성체를 이용하여 바닥면 상에 설치되는 냉매 공급용 연결 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 커브드 캡은 강성을 가지는 소재로 형성되는 냉매 공급용 연결 장치.
  6. 검사 챔버;
    상기 검사 챔버의 상부에 배치되며, 일면에 복수개의 탐침(probe)을 구비하는 프로브 카드;
    상기 검사 챔버의 내부에 배치되며, 웨이퍼(wafer)가 안착되는 척 플레이트를 통해 웨이퍼를 지지하는 기판 지지 부재;
    상기 기판 지지 부재의 승강에 따라 상기 탐침이 상기 웨이퍼에 접촉될 때 상기 탐침을 통해 상기 웨이퍼에 검사 신호를 인가하며, 상기 검사 신호를 통해 획득되는 정보를 기초로 상기 웨이퍼의 전기적 특성을 검사하는 테스터;
    상기 검사 챔버의 내부에 배치되며, 중간 블록을 통해 상기 척 플레이트에 냉매를 공급하는 냉매 공급 유닛; 및
    상기 척 플레이트에 연결되는 제1 피팅 연결부, 상기 중간 블록에 연결되는 제2 피팅 연결부, 상기 제1 피팅 연결부와 상기 제2 피팅 연결부를 연결하는 연결 라인, 및 상기 제1 피팅 연결부에 인접하는 상기 연결 라인의 일부를 커버하며, 일단부가 타단부보다 폭이 넓은 커브드 캡(curved cap)을 구비하는 냉매 공급용 연결 장치를 포함하며,
    상기 제2 피팅 연결부와 결합하는 상기 중간 블록의 포트는 상기 중간 블록의 몸체부에 회전 가능하게 설치되는 웨이퍼 검사 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 커브드 캡의 일단부는 상기 커브드 캡의 타단부보다 상기 제1 피팅 연결부로부터 거리가 먼 웨이퍼 검사 시스템.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 커브드 캡은 상기 일단부로부터 상기 타단부로 갈수록 폭이 좁아지거나, 또는 상기 일단부부터 상기 일단부와 상기 타단부 사이에 위치하는 제1 지점까지 폭이 좁아지고 상기 제1 지점부터 상기 타단부까지 폭이 일정한 웨이퍼 검사 시스템.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 중간 블록의 몸체부는 탄성체를 이용하여 바닥면 상에 설치되는 웨이퍼 검사 시스템.
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