KR102116716B1 - 시린지 유닛 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 내부에 점성 액체가 저장되는 시린지 및 상기 시린지가 장착되고 상기 시린지로부터 상기 점성 액체를 공급받아 토출하는 토출부를 포함하는 시린지 유닛; 및 상기 토출부가 고정되는 고정장치; 를 포함하고, 상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 일체로 장착 또는 탈착되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치를 제공한다.

Description

시린지 유닛 장치{SYRINGE UNIT DEVICE}
본 발명은 헤드유닛에 고정 상태에서 평판 디스플레이 등과 같은 토출대상물에 점성 액체를 토출하는 시린지 유닛 장치에 대한 것이다.
일반적으로 평판 디스플레이 또는 반도체 패키지 등과 같은 전자 기기의 제조공정에서는 부품의 상호 접착이나 유체 충진 등의 공정이 수행된다.
액정 디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD), 유기발광 다이오드(Organic Light Eimitting Diode : OLED) 디스플레이 등과 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD)는 두 개의 평판을 합착하여 제조한다. 두 개의 평판 합착을 위하여 페이스트(Paste) 또는 실런트(Sealant) 등과 같은 점성 액체를 디스펜서를 이용하여 어느 하나의 평판에 디스펜싱한다. 한편, 반도체 패키지 제조시 다이 본딩 공정에서 에폭시(Epoxy)를 디스펜서를 통해 디스펜싱한다. 디스펜서를 이용하여 점성 액체를 디스펜싱하는 경우, 점성 액체를 보관하는 시린지를 디스펜서에 장착하여 사용한다. 디스펜서에 충전된 점성 액체가 완전히 소모되거나 소모되기 전에 새로운 시린지로 교체하는 것이 요구된다.
점성 액체를 보관하는 시린지의 교체는 작업자에 의한 수동 작업으로 이루어지거나 일부 자동화된 시린지 교체 시스템을 통해 이루어질 수 있다. 일례로서, 본 출원인이 출원한 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0066713호(2011.06.17. 공개)는 시린지를 자동으로 교체하는 시린지 교체시스템 및 이를 구비하는 페이스트 디스펜서를 개시한다.
그러나 수동 작업을 통해 시린지를 교체하는 경우에는 작업자가 직접 관여하여야 하므로 불편하고 교체 시간이 많이 소요되는 문제가 있다. 또한, 시린지의 자동 교체의 경우에도 시린지를 인식하고 시린지를 디스펜서의 헤드 유닛으로부터 탈착하고 장착하는 과정이 정확하게 이루어지지 않는 문제점이 있을 수 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 본 출원인은 대한민국 공개특허공보 제10-2017-0134088호(2017.12.06. 공개) "시린지 유닛 교체 장치 및 방법과 이를 구비한 점성 액체 디스펜서"를 출원한 바 있다. 상기 공개특허공보에 따르면, 시린지 보관대에 보관된 시린지를 시린지 유닛 교체 장치를 이용하여 교체하는 구성을 개시한다.
이에 대하여 본 발명은 종래기술에 비해 개선된 점성 액체 토출을 가능하게 하고 보다 효과적으로 시린지 유닛을 헤드유닛에 결합할 수 있는 시린지 유닛 장치의 기술을 제시하고자 한다.
본 발명은 시린지의 점성 액체를 챔버로 덜어서 챔버에서 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 것이 가능하고, 시린지 유닛 교체 장치에 의해 시린지 유닛을 헤드유닛에 장착하기 위한 최적의 장착구조를 가지는 시린지 유닛 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 내부에 점성 액체가 저장되는 시린지 및 상기 시린지가 장착되고 상기 시린지로부터 상기 점성 액체를 공급받아 토출하는 토출부를 포함하는 시린지 유닛; 및 상기 토출부가 고정되는 고정장치; 를 포함하고, 상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 일체로 장착 또는 탈착되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치를 제공한다.
또한, 상기 토출부 내부에는 상기 시린지 내부의 점성 액체가 충진되는 챔버가 구비될 수 있다.
또한, 상기 토출부는 상기 시린지가 결합되는 삽입홀이 구비되는 제1 몸체 및 상기 제1 몸체의 하향으로 연장되는 것으로서 상기 제1 몸체보다 작은 면적으로 형성되고 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 노즐이 구비되는 제2 몸체로 이루어지는 노즐홀더; 를 포함하고, 상기 챔버는 상기 제1 몸체 내부에 구비될 수 있다.
또한, 상기 토출부는 수위감지 윈도우가 구비되는 캡을 더 포함하고, 상기 제1 몸체의 삽입홀 부근에 상기 캡이 안치되는 캡 안치부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 수위감지 윈도우의 상부에 챔버의 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 센서가 구비될 수 있다.
또한, 상기 캡의 일측 단부에는 상기 챔버와 연통되며 상기 챔버로 공압을 공급하는 제1 피팅부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1 몸체와 제2 몸체에는 상기 시린지와 연통되는 제2 피팅부와 상기 챔버와 연통되는 제3 피팅부가 구비되고 상기 제2 피팅부와 제3 피팅부는 피팅배관라인에 의해 연결될 수 있다.
또한, 상기 노즐홀더 내부에는 다이아프램 밸브가 구비되며 상기 다이아프램 밸브는 상기 챔버와 제3 피팅부를 연결하는 유로를 개폐할 수 있다.
또한, 상기 다이아프램 밸브는 핀 액추에이터의 신축 작동에 의해 개폐가 제어될 수 있다.
또한, 상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 고정되고, 상기 토출부에는 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부가 구비될 수 있다.
또한, 상기 시린지 유닛의 교체시 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 시린지 유닛 교체 장치의 제1, 2 그립퍼의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 제1 그립퍼와 제2 그립퍼에 파지될 수 있다.
또한, 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 상기 제2 몸체의 일측면에서 돌출되는 한 쌍의 봉 형태일 수 있다.
또한, 상기 제1 그립퍼 지지부의 반대편 상기 제1 몸체 부위에는, 상기 고정장치에 결합되는 돌출 봉 형태의 접속부가 구비되고 상기 접속부 위쪽에는 상기 고정장치의 위치고정핀이 삽입되는 고정홀이 구비되며, 상기 고정홀과 상기 접속부 사이에는 상기 고정장치에 구비되는 결합핀이 삽입되는 핀홀이 구비될 수 있다.
또한, 상기 고정장치는 상기 접속부에 구비되는 홈이 물리는 물림부가 구비되는 척; 및 상기 척에 연결되면서 위치고정핀 및 결합핀이 구비되고 상기 접속부가 통과하는 관통공이 구비되는 플레이트; 를 포함하며, 상기 위치고정핀 및 결합핀은 상기 플레이트에서 상기 노즐홀더를 향하여 돌출될 수 있다.
또한, 상기 플레이트에는 히터가 장착되고, 상기 플레이트는 상기 제1 몸체에 접하여 상기 플레이트의 열이 상기 챔버 내부의 점성 액체로 전달될 수 있다.
또한, 상기 플레이트에는, 상기 제2 몸체의 측면에 접하는 제1 가열플레이트와 제2 가열 플레이트를 포함하는 노즐 가열블록이 구비되고, 상기 노즐 가열블록을 통해 상기 플레이트의 열이 상기 제2 몸체로 전달될 수 있다.
또한, 상기 노즐 가열블록은, 상기 플레이트에 결합되는 헤드부를 포함하고, 상기 헤드부는 제1 탄성부재에 의해 탄성 지지 상태로 상기 플레이트에 장착될 수 있다.
또한, 상기 노즐 가열블록은 상기 제1 가열플레이트와 상기 제2 가열플레이트를 연결하는 제3 가열플레이트를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 가열플레이트는 제2 탄성부재에 의해 탄성 지지된 상태로 상기 플레이트에 결합될 수 있다.
본 발명은 사용이 완료된 시린지 유닛의 교체 작업이 자동으로 이루어질 수 있도록 시린지 유닛 교체 장치에 의해 시린지 유닛을 헤드유닛에 장착하기 위한 최적의 장착구조를 가지는 시린지 유닛 장치를 제공함으로써 점성 액체 디스펜싱 공정의 편리성이 증대되고 작업 시간을 단축할 수 있다.
결합에 최적화된 구조의 시린지 유닛 장치를 제공함으로써 점성 액체 디스펜싱 공정의 편리성이 증대되고 작업 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면 점성 액체를 공급하는 신규한 시린지 유닛을 제공하는 한편, 상기 시린지 유닛을 일체화하여 교체 가능하도록 하고, 교체시 시린지 유닛의 파지 및 헤드유닛의 장착을 정확하게 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시린지 유닛과 시린지 유닛 교체 장치를 포함하는 점성 액체 디스펜서를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 정면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 배면 사시도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 고정장치를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 정면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 배면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 측면도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 결합상태를 나타내는 사이도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 노즐 가열블록에 토출부가 밀착 결합된 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부에 시린지가 결합된 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부의 확대도이다.
도 12는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 개방 상태를 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 제1 피팅부에 공압 공급시 챔버의 점성 액체가 노즐을 통해 토출대상물에 토출되는 상태를 나타내는 도면이다.
도 14는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 닫힌 상태를 나타내는 도면이다.
도 15는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 시린지 유닛 교체 장치에 의한 시린지 유닛의 분리 과정을 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 시린지 유닛과 시린지 유닛 교체 장치를 포함하는 점성 액체 디스펜서를 나타내는 도면이다.
점성 액체 디스펜서(10)는, 프레임(20)과, 프레임(20) 상에 설치되고 점성 액체가 디스펜싱될 기판 등의 대상체가 탑재되는 스테이지(50)와, 스테이지(50)의 상부를 가로질러 설치되는 헤드 지지대(30)와, 상기 헤드 지지대(30)를 따라 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 헤드유닛(40)과, 상기 헤드유닛(40)에 장착되며 점성 액체를 보관하고 토출하는 시린지 유닛(300)과, 상기 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하는 시린지 유닛 교체 장치(100)를 포함한다. 일 실시예에 있어서 상기 헤드 지지대(30)는 Y축 방향으로 구동될 수 있다. 또한, 상기 프레임(20)의 일측에는 로봇 가이드 레일(60)이 구비되고, 상기 시린지 유닛 교체 장치(100)는 로봇 가이드 레일(60)을 따라 이동 가능하게 설치될 수 있다. 또한, 교체 전후의 시린지 유닛(300)을 보관하는 시린지 유닛 보관대(200)가 시린지 유닛 교체 장치(100)의 접근 가능한 위치에 구비될 수 있다.
본 발명에 있어서, 시린지 유닛(300)의 교체는 특정 헤드유닛(40)에 장착된 시린지 유닛(300)에 저장된 점성 액체의 양이 소정값 이하로 감소한 경우에 이루어질 수 있다. 또한, 상기 시린지 유닛(300)의 교체가 필요한 헤드유닛(40)은 헤드 지지대(30)의 일측으로 이동시켜 시린지 유닛 교체 장치(100)로 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하고, 다른 헤드유닛(40)은 계속하여 스테이지(50)에 로딩된 기판에 점성 액체를 토출하는 것도 가능할 수 있다. 도 1에서는 헤드 지지대(30)의 좌측에 위치한 2개의 헤드유닛(40)에 대하여 시린지 유닛(300)의 교체를 수행하고, 나머지 헤드유닛(40)을 이용하여 점성 액체를 토출하는 것을 예시적으로 나타내었다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 정면 사시도이고, 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부를 나타내는 배면 사시도이다.
본 발명의 시린지 유닛 장치는, 시린지(310)와 토출부(320)로 이루어지는 시린지 유닛(300) 및 헤드유닛(40)과 연결되며 토출부(320)가 고정되는 고정장치(500)를 포함한다.
토출부(320)에는 도 10의 시린지(310)가 장착된다. 토출부(320)는 시린지(310)에서 공급받은 점성 액체를 토출대상물(400)을 향하여 토출하는 장치이다. 토출부(320)는 노즐홀더(321) 및 캡(322)을 포함한다. 노즐홀더(321)는 제1 몸체(321a) 및 제2 몸체(321b)를 포함한다.
제1 몸체(321a)의 상부에는 시린지(310) 하부가 대응 결합되는 삽입홀(321c)과 캡(322)이 안치 결합되는 캡 안치부(321d)가 구비된다. 캡 안치부(321d)는 삽입홀(321c)에 근접 위치하며 평면으로 이루어질 수 있다. 제1 몸체(321a)의 내부에는 시린지(310)에서 공급되는 점성 액체가 저장되는 챔버(340)가 구비된다.
챔버(340)는 시린지(310)의 용적보다 작은 용적으로 형성되는 것이 바람직하다. 일 실시예에 있어서, 챔버(340)의 용적은 시린지(310) 용적의 1/5 ~ 1/20일 수 있다. 챔버(340) 내부의 점성 액체 충진량이 설정 수위보다 떨어지면 시린지(310)에 저장되어 있던 점성 액체가 챔버(340)로 공급된다.
챔버(340)는 시린지(310)보다 작은 용적을 갖기 때문에 점성 액체의 토출을 미세하고 정밀하게 제어할 수 있다. 즉, 후술하는 바와 같이 챔버(340)에 공압이 공급되어 챔버(340)로부터 노즐(344)로의 점성 액체 공급이 제어되는데, 챔버(340)의 용적이 작기 때문에 공압 제어를 보다 미세하게 할 수 있는 장점이 있다. 종래에는 시린지(310)에 공급되는 공압에 의존하여 토출량이 제어되었으나, 시린지(310)의 용적이 크기 때문에 정밀한 공압 제어가 어려웠다.
그러나 본 발명은 챔버(340)를 채용함에 따라 점성 액체의 정밀한 토출 제어가 가능하다. 좀 더 구체적으로 설명하면, 점성 액체의 토출을 위해 시린지 내에 공압이 가해지는데 시린지 용량을 크게 하면 점성 액체가 시린지로부터 토출됨에 따라 시린지의 공기가 존재하는 공간이 커지고, 공압을 변화시켜 시린지 내의 점성 액체에 가해지는 압량을 조정하고자 할 때 공간의 공기에 의해 압력이 점성 액체의 표면에 전달되게 되므로 점성 액체로 가압력의 조정에 시간적 지연이 발생할 수 있다. 이러한 이유로 미세한 점성 액체 패턴을 양호한 정밀도로 평판 디스플레이에 토출하기 위해서는 시린지 내의 점성 액체의 감압 조정을 빈번하게 시행해야 하는데 기존 시린지 구조로서는 제어가 어려웠다.
그러나 본 발명은 시린지(310)에 저장되어 있던 점성 액체를 시린지(310)의 용적보다 더 작은 챔버(340)로 덜어서 챔버(340)에서 점성 액체를 토출대상물(400)을 향하여 토출하고, 챔버(340)에 양압 또는 음압을 공급하는 메커니즘을 통해 기존 시린지 장치의 문제를 해결할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 제2 몸체(321b)는 제1 몸체(321a)의 하방으로 연장 형성될 수 있다. 제1 몸체(321a)는 제1 몸체(321a)의 단면적보다 작은 단면적을 갖도록 형성될 수 있다. 제2 몸체(321b)의 저면 단부에는 노즐(344)이 구비된다. 노즐(344)은 챔버(340) 하단에 위치하여 챔버(340)로부터 점성 액체를 전달받거나, 또는 별도 유로를 통해 챔버(340)로부터 점성 액체를 전달받을 수 있다.
제1 몸체(321a)의 정면에는 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)가 구비된다. 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 쌍을 이루며 배치될 수 있다. 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 제1 몸체(321a)의 일면에서 시린지 유닛 교체 장치(100)를 향하여 돌출되도록 형성될 수 있다. 도 2와 도 3에서는 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)가 상하로 배치되는 것으로 도시되었으나, 본 발명의 실시에 있어서 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)는 좌우로 배치될 수 있다. 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)가 좌우로 배치되는 경우, 제1 몸체(321a)의 좌우 폭은 도 2와 도 3에 도시된 것보다 더 크게 형성될 수 있다.
캡(322)에는 챔버(340)에 충진된 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 윈도우(342)가 구비될 수 있다. 수위감지 윈도우(342)는 투명한 창으로 구비되고, 수위감지 윈도우(342)의 상부에 광을 이용한 수위감지 센서(미도시)가 구비될 수 있다.
상기 수위감지 센서는 레이저 거리 센서일 수 있으며, 상기 수위감지 윈도우(342)를 통해 광을 조사하고 수신함으로써 챔버(340)의 점성 액체 수위를 센싱할 수 있다.
캡(322)의 일측 단부에는 챔버(340)와 연통되는 제1 피팅부(331)가 구비될 수 있다. 제1 피팅부(331)를 통해 챔버(340) 내부로 공압을 공급할 수 있다. 시린지(310)의 점성 액체는 챔버(340) 내부로 전달되는데, 제1 피팅부(331)를 통해 챔버 내부로 공압을 공급함으로써 챔버(340) 내부에 저장된 점성 액체를 노즐(344)로 토출하거나 토출을 중지할 수 있다. 즉, 챔버(340) 내부에 양압이 공급되면 챔버(340)의 점성 액체는 노즐(344)을 통해 토출되고, 챔버(340) 내부에 음압이 공급되면 노즐(344)로의 점성 액체 공급이 중단된다.
제1 몸체(321a)의 일면에는 제2 피팅부(332)가 구비될 수 있다. 제2 피팅부(332)는 제1 몸체(321a)의 삽입홀(321c)에 결합되는 시린지(310)와 연통된다.
제2 몸체(321b)의 일면에는 제3 피팅부(333)가 구비될 수 있다. 제2 피팅부(332)와 제3 피팅부(333)는 피팅배관라인(334)에 의해 연결된다. 피팅배관라인(334)은 점성 액체가 흐르는 유로를 제공한다. 제3 피팅부(333)는 제1 몸체(321a) 내부에 구비되는 챔버(340)와 연통된다. 제3 피팅부(333)는 제2 피팅부(332)와 제1 그립퍼 지지부(324) 사이에 위치할 수 있다.
시린지(310)의 내부의 점성 액체는 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334) 및 제3 피팅부(332)를 거쳐 챔버(340)로 이동한다.
제1 몸체(321a)의 배면에는 접속부(328)가 구비된다. 접속부(328)는 봉 형태로 구성될 수 있으며, 도 5에 도시된 고정장치(500)를 향하여 돌출형성될 수 있다.
접속부(328)의 외주면에는 홈(328a)이 형성될 수 있다. 접속부(328)는 고정장치(500)와 결합시 고정장치(500)의 척(510)에 구비되는 복수의 조오(jaw) 등과 같은 물림부(510a)가 홈(328a)에 삽입되어 견고한 결합상태를 이룰 수 있다. 홈(328a)에 대한 물림부(510a)의 물림작동은 척(chuck)과 같은 공지된 기술에 의해 이루어질 수 있다.
접속부(328)가 구비되는 제1 몸체(321a)의 배면에는 고정홀(321e)과 핀홀(321f)이 구비된다. 일 실시예에 있어서, 고정홀(321e)과 핀홀(321f)은 접속부(328) 위쪽에 위치하고, 핀홀(321f)은 고정홀(321e) 아래에 위치할 수 있다. 핀홀(321f)은 복수로 구성될 수 있다.
고정홀(321e)에 고정장치(500)의 위치고정핀(521)이 삽입되고, 핀홀(321f)에 고정장치(500)의 결합핀(522)이 삽입된다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 고정장치를 나타내는 도면이다.
고정장치(500)는 헤드유닛(40)과 연결된다. 시린지 유닛(300)은 시린지 유닛 교체 장치(100)에 의해 고정장치(500)에 장탈될 수 있다.
고정장치(500)는 척(510) 및 플레이트(520)를 포함한다. 척(510)은 헤드유닛(40) 쪽에 위치하며, 접속부(328)가 물리는 복수의 물림부(510a)가 구비될 수 있다. 플레이트(520)는 노즐홀더(321) 쪽에 위치하며 척(510)과 연결된다. 척(510)은 로터리 척(rotary chuck)일 수 있다.
플레이트(520)의 내부에는 열을 전달하는 히터(341)가 구비될 수 있다. 히터(341)의 열은 챔버(40) 내부의 점성 액체 및 챔버(40)와 노즐(344)을 연결하는 유로(357)를 통과하는 점성 액체에 전달된다. 히터(341)의 열이 가해진 점성 액체는 점성이 낮아져 토출이 원활히 이루어질 수 있다. 히터(314)의 열은 플레이트(520)를 거쳐 챔버(40) 내부의 점성 액체로 전달될 수 있다. 플레이트(520)의 하부에는 온도센서(345)가 구비될 수 있다.
플레이트(520)에는 위치고정핀(521) 및 결합핀(522)이 구비된다. 위치고정핀(521) 및 결합핀(522)은 플레이트(520)에서 노즐홀더(321)를 향하여 돌출될 수 있다. 결합핀(522)은 위치고정핀(521) 아래에 위치할 수 있다.
위치고정핀(521)은 토출부(320)를 고정장치(500)에 고정하는 경우 위치를 정렬하는 역할을 하며 결합핀(522)보다는 작은 길이로 형성될 수 있다. 고정홀(321e)에 대응 결합되는 위치고정핀(521)과 핀홀(321f)에 대응 결합되는 결합핀(522)의 수에는 제한이 없다. 일 실시예에 있어서, 위치고정핀(521)은 1개, 결합핀(522)은 2개로 형성될 수 있다.
플레이트(520)의 전면에는 노즐 가열블록(600)을 포함한다. 노즐 가열블록(600)은, 삽입공간(614)을 사이에 두고 이격된 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)를 포함할 수 있다. 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)는 제3 가열플레이트(617)에 의해 연결될 수 있다. 고정장치(500)에 토출부(320)가 고정되는 경우 상기 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)는 제2 몸체(321b)의 양측면에 접하고, 제3 가열플레이트(617)는 제2 몸체(321b)의 정면에 접한다.
플레이트(520)는 히터(341)에 의해 가열되는 한편, 플레이트(520)에 고정된 노즐 가열블록(600)으로 플레이트(520)의 열이 전달된다.
고정장치(500)에 토출부(320)가 고정되는 경우, 플레이트(520)는 노즐홀더(321)의 제1 몸체(321a)에 접하고 플레이트(520)의 열은 챔버(340) 내부에 저장된 점성 액체로 전달된다. 또한, 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)는 제2 몸체(321b)의 양측면에 접하여 제2 몸체(321b)에 열을 전달함으로써 챔버(340)로부터 노즐(344)로 공급되는 점성 액체를 가열한다. 이러한 구성에 의해 챔버(340)에 저장된 점성 액체와 노즐(344)로 공급되는 점성 액체를 지속적으로 가열함으로써 점성을 유지할 수 있도록 한다.
노즐 가열블록(600)의 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)와 제3 가열플레이트(617)는 고정장치(500)에 토출부(320)가 고정되는 경우 제2 몸체(321b)의 양측면, 배면 등 3면을 밀착하여 감싼다. 이러한 구성에 의해 히터(341)의 열이 제1, 2, 3 가열플레이트(612, 613, 617)를 거쳐 제2 몸체(321b)로 전달되고 챔버(340)와 노즐(344)을 연결하는 유로(357)를 통과하는 점성 액체를 지속적으로 가열한다.
고정장치(500)에 토출부(320)를 고정하는 경우, 노즐 가열블록(600)은 스프링 등과 같은 제1, 2 탄성부재(615, 616)에 의해 지지되면서 후퇴한다. 일 실시예에 있어서, 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)와 제3 가열플레이트(617) 자체가 탄성을 가질 수 있이며, 이 경우 제1 가열플레이트(612)와 제2 가열플레이트(613)와 제3 가열플레이트(617)가 제2 몸체(321b)에 밀착하면서 히터(341)의 열을 전달할 수 있다.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 정면 사시도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 배면 사시도이며, 도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 분리 상태를 나타내는 측면도이다.
플레이트(520)에는 관통공(524)이 구비된다. 관통공(524)은 결합핀(522)과 고정장치(500)의 헤드부(611) 사이에 위치한다. 관통공(524)을 통해 접속부(328)가 척(510)의 물림부(510a)에 결합될 수 있다.
플레이트(520) 하부에는 결합영역(523)이 구비되며 결합영역(523)에는 노즐 가열블록(600)이 구비된다. 결합영역(523)은 결합핀(522) 아래의 위치한다.
노즐 가열블록(600)은 헤드부(611) 및 헤드부(611)에서 하향으로 연장되는 제1, 2, 3 가열플레이트(612, 613, 617)를 포함한다.
헤드부(611)는 볼트 또는 축핀 등과 같은 결합부재에 의해 결합영역(523) 상부에 결합된다. 헤드부(611)는 제1 탄성부재(615)에 의해 탄성 지지된다. 제1 탄성부재(615)는 헤드부(611)와 결합영역(523) 사이에 위치한다.
제1, 2 가열플레이트(612, 613) 사이에는 삽입공간(614)이 구비된다. 제1, 2 가열플레이트(612, 613)는 제3 가열플레이트(617)에 의해 연결되며, 제2 탄성부재(616)에 의해 탄성 지지된다. 제2 탄성부재(616)는 제3 가열플레이트(617)와 결합영역(523) 사이에 위치한다.
도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부와 고정장치의 결합상태를 나타내는 사이도이고, 도 9는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 노즐 가열블록에 토출부가 밀착 결합된 상태를 나타내는 도면이다.
노즐홀더(321)와 고정장치(500)의 결합 시 삽입공간(614)에 제2 몸체(321b)가 대응 삽입된다. 이때, 제2 몸체(321b)는 제1, 2 탄성부재(615, 616)의 탄성 지지력에 의해 노즐 가열블록(600)에 밀착될 수 있다.
노즐홀더(321)와 고정장치(500)의 결합 시 제1 몸체(321a)는 헤드부(611) 위에 위치할 수 있다.
도 10은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부에 시린지가 결합된 상태를 나타내는 도면이고, 도 11은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 토출부의 확대도이며, 도 12는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 개방 상태를 나타내는 도면이다.
제1 몸체(321a)의 챔버(340)와 제3 피팅부(33)의 연결유로를 개폐하는 밸브(353)가 구비된다. 일 실시예에 있어서 상기 밸브(353)는 다이아프램 밸브(353)일 수 있다. 다이아프램 밸브(353)는 챔버(340)와 제3 피팅부(33)의 연결유로를 개폐한다. 다이아프램 밸브(353)는 핀 액추에이터(352)의 작동에 의해 개폐된다.
밸브 작동핀(351)은 핀 액추에이터(352)와 연동하여 작동된다. 다이아프램 밸브(353) 개방시 밸브 작동핀(351)을 누르던 핀 액추에이터(352)의 길이는 축소되고 이에 밸브 작동핀(351)의 다이아프램(354) 누름 상태 해제로 다이아프램(354)이 개방되면서 다이아프램 밸브(353)가 열리게 된다.
다이아프램 밸브(353) 폐쇄시 핀 액추에이터(352)의 길이가 신장되면서 밸브 작동핀(351)이 다이아프램(354)을 가압하여 다이아프램 밸브(353)가 닫히게 된다.
다이아프램 밸브(353)의 열림 상태에서 시린지(310)에 공압을 공급하면 공압에 의해 시린지(310) 내부의 점성 액체가 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333)를 거쳐 챔버(340)로 충진된다.
도 13은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 제1 피팅부에 공압 공급시 챔버의 점성 액체가 노즐을 통해 토출대상물에 토출되는 상태를 나타내는 도면이고, 도 14는 도 11의 A-A 선단면도로서, 다이아프램 밸브의 닫힌 상태를 나타내는 도면이다.
다이아프램 밸브(353)의 열림 상태에서는 챔버(340)와 제3 피팅부(333)가 차단되기 때문에 시린지(310)의 점성 액체가 챔버(340)로 이동할 수 없게 된다. 이 상태에서 제1 피팅부(331)에 공압을 가하면 제1 피팅부(331)와 챔버(340)가 연결되어 있어 챔버(340)에 충진된 점성 액체가 노즐(344)을 통해 노즐(344) 아래에 위치하는 토출대상물(400)을 향하여 토출된다.
일 실시예에 있어서, 다이아프램(354)은 EPDM(Ethylene Propylene Diene Monomer) 등과 같은 고무재질로 제작되는 시트(SHEET)일 수 있다. 다이아프램(354)는 다이아프램 밸브(353)에 부합하는 형태로 형성된다.
챔버(340)와 노즐(344)은 유로(357)에 의해 연결되어 있어 챔버(340)에 충진된 점성 액체는 챔버(340)와 유로(357)를 거쳐 노즐(344)을 통해 토출된다.
한편, 시린지 유닛(300)의 교체시 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)는 시린지 유닛 교체 장치(100)의 제1 그립퍼(101) 및 제2 그립퍼(102)의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈(103)에 삽입된 상태로 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)에 의해 파지 된다.
이 상태에서 시린지 유닛 교체 장치(100)가 제1 그립퍼 지지부(324) 및 제2 그립퍼 지지부(326)를 후방으로 당기면 시린지 유닛(300)이 척(510)에서 분리된다.
다음은 시린지 유닛을 고정장치에 결합하는 과정을 설명한다.
도 5 내지 8과 같이 시린지 유닛(300)을 고정장치(500) 쪽으로 이동하여 고정장치(500)에 결합한다. 시린지 유닛(300)을 고정장치(500)에 결합시 고정장치(500)의 위치고정핀(521)은 고정홀(321e)에 대응 결합되고, 결합핀(522)은 핀홀(321f)에 대응 결합되며, 접속부(328)는 플레이트(520)의 관통공(524)에 대응 결합된다. 동시에 제2 몸체부(321b)는 노즐 가열블록(600)의 제1, 2 가열플레이트(612, 613) 사이의 삽입공간(614)에 결합되면서 제1 몸체(321a)는 헤드부(611)에 위치한다.
제2 몸체부(321b)가 삽입공간(614)에 밀착 결합되는 과정에서 노즐 가열블록(600)의 헤드부(611)가 뒤로 밀리고, 노즐 가열블록(600)을 탄성 지지하던 제1, 2 탄성부재(615, 616)는 압축된다. 제1, 2 탄성부재(615, 616)의 탄성에 의해 제2 몸체부(321b)가 헤드부(611)에 긴밀히 밀착될 수 있다.
접속부(328)의 홈(328a)은 관통공(524)을 통과하여 척(510)의 물림부(510a)에 견고하게 물림된다.
다음은 점성 액체를 챔버에 충진하는 과정을 설명한다.
도 10 내지 12와 같이 대용량의 시린지(310) 내의 점성 유체를 챔버(340) 내부로 옮겨 소량 토출 제어가 가능하도록 한다. 시린지(310)에 저장되는 점성 액체는 두 장의 기판이 합착되어 형성된 평판 디스플레이 패널을 합착하기 위한 페이스트(실런트) 또는 다이본딩 공정을 위한 에폭시 등일 수 있다.
챔버(340)에 점성 액체를 충진하기 위해서 시린지(310) 내부로 공압을 공급한다. 시린지(310) 내부로 공압이 공급됨에 따라 시린지(310) 내부의 점성 액체는 시린지(310)와 챔버(340)를 연결하는 제2 피팅부(332), 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333) 등과 같은 유로를 거쳐 챔버(340)로 충진된다.
점성 액체를 챔버(340)에 충진하는 과정에서 다이아프램 밸브(353)는 개방된다. 다이아프램 밸브(353)는 개폐는 핀 액추에이터(352)의 신축 작동에 의해 이루어진다. 핀 액추에이터(352)의 축소시 다이아프램(354)의 가압 상태가 해제되면서 다이아프램 밸브(353)가 열린다. 이 상태에서 시린지(310)에 공압을 가하면 시린지(310) 내부의 점성 액체가 제2 피팅부(332)와 피팅배관라인(334), 제3 피팅부(333)를 통해 제3 피팅부(333)와 연결된 챔버(340)로 충진된다.
다음은 점성 액체 토출 과정을 설명한다.
챔버(340)에 점성 액체가 충진된 상태에서 제1 피팅부(331)에 공압을 공급한다. 챔버(340)와 연통하는 제1 피팅부(331) 내부로 공압이 공급됨에 따라 챔버(340)에 충진된 점성 액체는 챔버(340)에서 챔버(340)와 노즐(344)을 연결하는 유로(357)를 거쳐 노즐(344)을 통해 토출대상물(400)에 토출된다.
한편, 도시되지 않은 제어부는, 수위감지 윈도우(342) 상부에 구비되는 수위감지 센서의 센싱값에 따라 챔버(340) 내부의 수위가 소정의 설정값 이하로 떨어지면, 점성 액체의 토출을 중단하고, 핀 액추에이터(352)를 축소하여 다이아프램 밸브(353)를 개방하고, 시린지(310)에 양압을 공급하여 시린지(310)의 점성 액체가 챔버(340)로 충진되게 한다. 또한, 제어부는, 수위감지 윈도우(342) 상부에 구비되는 수위감지 센서의 센싱값에 따라 챔버(340) 내부의 수위가 소정의 설정값 이상이 되면 핀 액추에이터(352)를 신장하여 다이아프램 밸브(353)를 닫아 챔버(340)로의 점성 액체 충진이 중단되게 한다.
도 15와 같이 점성 액체 디스펜서(10)에 있어서 헤드유닛(40)에 결합되는 시린지 유닛(300)의 교체는 시린지 교체장치(100)에 의해 이루어질 수 있다.
도 15 (a)와 같이 시린지 유닛 교체 장치(100)의 제1, 2 그립퍼(101, 102)로 시린지 유닛(300)의 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)를 동시에 파지한다.
도 15 (b)와 같이 제1, 2 그립퍼(101, 102)를 당겨 헤드유닛(40)의 결합영역에서 시린지 유닛(300)을 분리한다. 척(510)의 물림부(510a)에 결합되어 있던 접속부(328)가 물림부(510a)에서 분리되면서 시린지 유닛(300)의 고정 상태가 해제된다.
시린지 유닛(300)은 분리 과정에서 다른 구조물에 부딪히지 않아야 한다. 제1, 2 그립퍼(101, 102)에 파지된 상태의 시린지 유닛(300)은 제1, 2 그립퍼(101, 102)의 후진 작동에 의해 수평으로 이동하면서 분리가 이루어진다.
제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)의 일단이 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)의 삽입홈(103)에 삽입되어 견고한 파지 상태가 이루어지기 때문에 시린지 유닛(300)을 안전하게 분리할 수 있다.
시린지 유닛 교체 장치(100)는 분리된 구 시린지 유닛(300)을 지정 장소에 놓고 로봇 가이드 레일(60)을 따라 시린지 유닛 보관대(200)로 이동한다. 경우에 따라서는, 시린지 유닛 보관대(200)에 분리된 구 시린지 유닛(300)을 보관하는 것도 가능할 수 있다. 시린지 유닛 보관대(200)로 이동한 시린지 유닛 교체 장치(100)는 시린지 유닛 보관대(200)에 구비되어 있는 새로운 시린지 유닛(300)을 파지한다.
구체적으로 시린지 유닛 교체 장치(100)는 새로운 시린지 유닛(300)의 제1 그립퍼 지지부(324)와 제2 그립퍼 지지부(326)를 제1 그립퍼(101)와 제2 그립퍼(102)로 파지한다.
시린지 유닛 교체 장치(100)는 로봇 가이드 레일(60)을 따라 헤드유닛(40)으로 이동한다. 시린지 유닛 교체 장치(100)는 구 시린지 유닛(300)의 제거로 비어 있는 헤드유닛(40)의 결합영역에 새로운 시린지 유닛(300)을 결합한다.
새로운 시린지 유닛(300)을 헤드유닛(40)의 결합영역에 결합시 새로운 시린지 유닛(300)의 접속부(328)가 헤드유닛(40)의 척(510)의 물림부(510a)에 대응 결합되면서 시린지 유닛(300)의 견고한 결합이 이루어진다.
본 발명에 따르면, 로봇 암과 등과 같은 시린지 유니 교체장치로 시린지 유닛을 교체할 경우 고정 또는 해제 작업이 신속 정확하게 이루어질 수 있다. 이로 인해 시린지 유닛의 교체에 소요되는 시간과 노력을 단축할 수 있도록 함과 아울러, 종래의 시린지 유닛의 결합을 위해 사용되었던 조임 볼트 등을 생략하여 분진 발생을 최소화하여 기판에 점성 액체를 토출하는 액정 도포 공정 중에 불순물의 유입을 최소화할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 점성 액체 디스펜서 20 : 프레임
30 : 헤드 지지대 40 : 헤드유닛
50 : 스테이지 60 : 로봇 가이드 레일
100 : 시린지 유닛 교체 장치 101 : 제1 그립퍼
102 : 제2 그립퍼 103 : 삽입홈
200 : 시린지 유닛 보관대 300 : 시린지 유닛
310 : 시린지 320 : 토출부
321 : 노즐홀더 321a : 제1 몸체
321b : 제2 몸체 321c : 삽입홀
321d : 캡 안치부 321e : 고정홀
321f : 핀홀 322 : 캡
324 : 제1 그립퍼 지지부 326 : 제2 그립퍼 지지부
328 : 접속부 328a : 홈
331 : 제1 피팅부 332 : 제2 피팅부
333 : 제3 피팅부 334 : 피팅배관라인
340 : 챔버 341 : 히터
342 : 수위감지 윈도우 344 : 노즐
345 : 온도센서 351 : 밸브 작동핀
352 : 핀 액추에이터 353 : 다이아프램 밸브
354 : 다이아프램 357 : 유로
400 : 토출대상물 500 : 고정장치
510 : 척 510a : 물림부
520 : 플레이트 521 : 위치고정핀
522 : 결합핀 523 : 결합영역
524 : 관통공 600 : 노즐 가열블록
611 : 헤드부 612 : 제1 가열플레이트
613 : 제2 가열플레이트 614 : 삽입공간
615 : 제1 탄성부재 616 : 제2 탄성부재
617 : 제3 가열플레이트

Claims (19)

  1. 내부에 점성 액체가 저장되는 시린지 및 상기 시린지가 장착되고 상기 시린지로부터 상기 점성 액체를 공급받아 토출하는 토출부를 포함하는 시린지 유닛; 및
    상기 토출부가 고정되는 고정장치;를 포함하고,
    상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 일체로 장착 또는 탈착되며,
    상기 토출부의 내부에는, 상기 시린지로부터의 상기 점성 액체가 충진되는 챔버가 구비되고,
    상기 토출부는, 상기 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 노즐이 구비되는 노즐홀더를 포함하고,
    상기 노즐홀더는, 상기 챔버와 연통되며 상기 챔버로 공압을 공급하는 제1 피팅부와, 상기 시린지와 연통되는 제2 피팅부와, 상기 챔버와 연통되는 제3 피팅부를 구비하고, 상기 제2 피팅부와 제3 피팅부는 피팅배관라인에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐홀더는, 상기 시린지가 결합되는 삽입홀이 구비되는 제1 몸체 및 상기 제1 몸체의 하향으로 연장되는 것으로서 상기 제1 몸체보다 작은 면적으로 형성되고 상기 노즐이 구비되는 제2 몸체를 포함하고,
    상기 챔버는 상기 제1 몸체 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 토출부는,
    수위감지 윈도우가 구비되는 캡을 더 포함하고,
    상기 제1 몸체의 삽입홀 부근에 상기 캡이 안치되는 캡 안치부가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 수위감지 윈도우의 상부에 챔버의 점성 액체 수위를 감지하는 수위감지 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제1 피팅부는, 상기 캡의 일측 단부에 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  7. 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 피팅부는 상기 제1 몸체에 구비되고, 상기 제3 피팅부는 상기 제2 몸체에 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐홀더 내부에는 다이아프램 밸브가 구비되며 상기 다이아프램 밸브는 상기 챔버와 제3 피팅부를 연결하는 유로를 개폐하는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 다이아프램 밸브는 핀 액추에이터의 신축 작동에 의해 개폐가 제어되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  10. 내부에 점성 액체가 저장되는 시린지 및 상기 시린지가 장착되고 상기 시린지로부터 상기 점성 액체를 공급받아 토출하는 토출부를 포함하는 시린지 유닛; 및
    상기 토출부가 고정되는 고정장치;를 포함하고,
    상기 토출부는, 상기 시린지로부터의 상기 점성 액체가 충진되는 챔버와, 상기 점성 액체를 토출대상물에 토출하는 노즐이 구비되는 노즐홀더를 포함하고,
    상기 시린지 유닛은 상기 고정장치에 일체로 장착 또는 탈착되며,
    상기 토출부에는 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부가 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 시린지 유닛의 교체시 상기 제1 그립퍼 지지부 및 제2 그립퍼 지지부는 시린지 유닛 교체 장치의 제1 그립퍼 및 제2 그립퍼의 서로 마주보는 면에 구비되는 삽입홈에 삽입된 상태로 상기 제1 그립퍼와 상기 제2 그립퍼에 파지되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 그립퍼 지지부 및 상기 제2 그립퍼 지지부는, 상기 노즐홀더의 일측면에서 돌출되는 한 쌍의 봉 형태인 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  13. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    상기 제1 그립퍼 지지부의 반대편의 상기 노즐홀더에는, 상기 고정장치에 결합되는 돌출 봉 형태의 접속부가 구비되고 상기 접속부 위쪽에는 상기 고정장치의 위치고정핀이 삽입되는 고정홀이 구비되며, 상기 고정홀과 상기 접속부 사이에는 상기 고정장치에 구비되는 결합핀이 삽입되는 핀홀이 구비되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 고정장치는,
    상기 접속부에 구비되는 홈이 물리는 물림부가 구비되는 척; 및
    상기 척에 연결되면서 위치고정핀 및 결합핀이 구비되고 상기 접속부가 통과하는 관통공이 구비되는 플레이트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 위치고정핀 및 결합핀은 상기 플레이트에서 상기 노즐홀더를 향하여 돌출되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 플레이트에는 히터가 장착되고, 상기 플레이트는 상기 노즐홀더의 제1 몸체에 접하여 상기 플레이트의 열이 상기 챔버 내부의 점성 액체로 전달되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 플레이트에는, 상기 노즐홀더의 상기 제1 몸체의 하향으로 연장되어 형성된 제2 몸체의 측면에 접하는 제1 가열플레이트와 제2 가열 플레이트를 포함하는 노즐 가열블록이 구비되고,
    상기 노즐 가열블록을 통해 상기 플레이트의 열이 상기 제2 몸체로 전달되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 노즐 가열블록은, 상기 플레이트에 결합되는 헤드부를 포함하고, 상기 헤드부는 제1 탄성부재에 의해 탄성 지지 상태로 상기 플레이트에 장착된 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 노즐 가열블록은 상기 제1 가열플레이트와 상기 제2 가열플레이트를 연결하는 제3 가열플레이트를 포함하고, 상기 제1 내지 제3 가열플레이트는 제2 탄성부재에 의해 탄성 지지된 상태로 상기 플레이트에 결합되는 것을 특징으로 하는 시린지 유닛 장치.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100521607B1 (ko) 2003-10-21 2005-10-12 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤 페이스트 도포장치
KR101395126B1 (ko) * 2006-12-04 2014-05-15 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액체 재료 토출 장치
JP2017080720A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 Ａｉメカテック株式会社 ノズル機構、当該ノズル機構を用いるペースト塗布装置、及び、ペースト塗布方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102621740B1 (ko) * 2016-12-20 2024-01-05 주식회사 탑 엔지니어링 잉크젯 방식 액체토출모듈 및 그 탈포 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100521607B1 (ko) 2003-10-21 2005-10-12 시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤 페이스트 도포장치
KR101395126B1 (ko) * 2006-12-04 2014-05-15 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 액체 재료 토출 장치
JP2017080720A (ja) * 2015-10-30 2017-05-18 Ａｉメカテック株式会社 ノズル機構、当該ノズル機構を用いるペースト塗布装置、及び、ペースト塗布方法

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