JP4210678B2 - ディスペンサおよび樹脂モールド装置 - Google Patents

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本発明はディスペンサおよび樹脂モールド装置に関し、より詳細には液状樹脂等の液材をモールド用の樹脂として使用する樹脂モールド装置等に好適に用いられるディスペンサおよびこれを用いた樹脂モールド装置に関する。
樹脂モールド金型を用いて被成形品を樹脂モールドする方法として、被成形品に液状樹脂あるいはペースト状樹脂を供給し、樹脂モールド金型により被成形品とともに樹脂をクランプして樹脂モールドする方法がある(圧縮成形方法)。このように、液状樹脂あるいはペースト状樹脂を被成形品に所定量供給して樹脂モールドする際に、液状樹脂あるいはペースト状樹脂を供給するためのディスペンサが用いられる。
図7は、液状樹脂あるいはペースト状樹脂を供給するディスペンサの構成と、このディスペンサを用いて液状樹脂あるいはペースト状樹脂(液材)を所定量ずつ供給する作用を示す。
図7に示すディスペンサは、シリンダブロック10に、所定量の液材を収容するためのシリンダ部10aおよびシリンダ部10a内を摺動するプランジャ12と、液材の供給、吐出操作を制御するための供給バルブ14および吐出バルブ16を備える。シリンダブロック10には供給口19からシリンダ部10aを経由して吐出用のノズル18まで直線的に連通する流路20が設けられている。
図7(a)は、駆動部140を制御して、連通孔14aが流路20と重複する位置まで供給バルブ14を前進させ、次いで、駆動部120によりプランジャ12を後退させた状態を示す。プランジャ12を後退させることにより、液材が収納されている容器22から流路20を介してシリンダ部10aに液材Pが供給される。
シリンダ部10aに所要量の液材Pが吸引されたら、供給バルブ14を連通孔14aが流路20と重複しない退避位置まで後退させるとともに、駆動部160により、連通孔16aが流路20と重複する位置まで吐出バルブ16を前進させ、次いで、プランジャ12を前進させる。プランジャ12を前進させることによってシリンダ部10aに収容されていた液材Pがノズル18から吐出される。
特開平10−221151号公報
図7に示すディスペンサは、駆動部120によりプランジャ12を進退動させる操作と、駆動部140、160により供給バルブ14および吐出バルブ16を突出入させて流路20を遮断または開放する操作とを連動して制御することにより、ノズル18から所定量ずつ液材を吐出させることができる。ノズル18から吐出する液材の量は、シリンダ部10aにおけるプランジャ12の移動動作量を制御することによって調節される。
ところで、図7に示すディスペンサでは、シリンダブロック10に対してプランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16を摺動させて液材を供給するから、シリンダブロック10とこれらの部材との摺動性が悪くなると正確に液材を供給することができなくなる。このため、部材の摺動性が悪くなった場合には、構成部材を洗浄して、メンテナンスする必要がある。液材の粘性等の特性にもよるが、洗浄操作は、ふつう、数日に1回程度行っている。
この洗浄操作では、シリンダブロック10からプランジャ12や供給バルブ14、吐出バルブ16を抜き出し、シリンダブロック10の内部を洗浄し、プランジャ12や供給バルブ14および吐出バルブ16を洗浄する。したがって、洗浄時にはシリンダブロック10を装置から取り外し、装置側に固定されている駆動部120、140、160からプランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16を取り外す必要がある。しかしながら、従来のディスペンサは、プランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16をすべてねじ止めによって駆動部120、140、160に連結する構造となっているから、プランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16を取り外す作業が煩雑であり、また、洗浄後にプランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16を取り付ける操作もまた煩雑であるという問題があった。とくに、シリンダブロック10を用いるディスペンサでは、プランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16が近接して並列に配置されているから、さらに作業が厄介になっている。
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、シリンダブロックを備えたディスペンサにおいて、プランジャや供給バルブおよび吐出バルブの取り外し、取り付け操作を容易にして、シリンダブロック等の構成部材の洗浄操作等を容易にするディスペンサおよびこれを用いた樹脂モールド装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、液材を収容するシリンダ部、該シリンダ部と液材を供給する容器とを連絡する流路、およびシリンダ部と吐出用のノズルとを連絡する流路が設けられたシリンダブロックと、前記シリンダ部内で摺動するプランジャと、前記シリンダ部と前記容器との間と、前記シリンダ部と前記ノズルとの間に、前記流路を開通する位置と前記流路を遮断する位置との間で摺動可能に、各々前記シリンダブロックに設けられた供給バルブおよび吐出バルブと、前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブの各々に別個に連結され、前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブを進退駆動する駆動部とを備えたディスペンサにおいて、前記供給バルブおよび吐出バルブは、前記プランジャを鉛直上下方向に挟む配置に設けられ、前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブの前記駆動部に連結される側の連結基部と前記各々の駆動部の連結端とが、各々の連結位置において、前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブの進退動方向には抜け止めされ、進退動方向とは直交する方向には抜き差し可能に嵌合し、前記シリンダブロックに前記プランジャ、前記供給バルブおよび前記吐出バルブを装着した状態において、前記シリンダブロックを支持する枠体に対して該シリンダブロックを鉛直方向に抜き差しする操作により、前記連結基部と前記連結端とが脱着嵌合することを特徴とする。
また、前記供給バルブおよび吐出バルブは、前記シリンダ部と軸線方向を平行にして前記シリンダブロックに形成された貫通孔に挿通して設けられていることを特徴とし、また前記プランジャ、前記供給ルブおよび前記吐出バルブの連結基部と、該連結基部と各々連結する前記駆動部の連結端とが、鉛直方向の相互の高さ位置が一致して設けられているとともに、前記プランジャ、前記供給バルブおよび前記吐出バルブの連結基部と、該連結基部と各々連結する前記駆動部の連結端との平面配置が一致して設けられていることを特徴とする。
また、前記枠体と前記シリンダブロックとが、枠体の開放側へ抜き差し可能とし、枠体の開放側とは直交する方向への移動を規制するよう凹凸嵌合し、前記枠体に、前記シリンダブロックを前記シリンダブロックの移動を規制する側へ押圧して枠体にシリンダブロックを締め付け固定する固定手段が設けられていることを特徴とする。これによってシリンダブロックを枠体に簡単に装着することが可能となる。
また、ディスペンサにより液状樹脂等の液材を計量して被成形品に供給し、樹脂モールド金型により前記液材とともに前記被成形品をクランプして圧縮成形する樹脂モールド装置において、前記ディスペンサを装着して使用することにより、樹脂モールド装置の作業性を向上させ、的確な樹脂モールドを行うことができる。
本発明に係るディスペンサによれば、プランジャ、供給バルブおよび吐出バルブを駆動部に簡単に脱着することができ、樹脂モールド装置等にディスペンサを脱着する操作を容易に行うことができる。これによって、ディスペンサの構成部品を洗浄するといった作業を容易に行うことが可能となる。本発明に係るディスペンサを液状樹脂を使用して樹脂モールドする樹脂モールド装置に装着することにより、ディスペンサのメンテナンスを容易にして、的確で安定した樹脂モールドが行える樹脂モールド装置として提供することが可能になる。
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
(樹脂モールド装置の構成)
図1および図2は、本発明に係るディスペンサを取り付けた樹脂モールド装置の全体構成を示す平面図および正面図である。この樹脂モールド装置は、短冊状に形成された基板に複数個の半導体チップが搭載された製品を被成形品として、基板の半導体チップ搭載面(片面)を樹脂モールドする装置である。基板の半導体チップが搭載された面に、所定量の液状樹脂を供給し、樹脂モールド金型により液状樹脂とともに被成形品をクランプし、圧縮成形によって樹脂モールドする。
樹脂モールド装置は、図1に示すように、被成形品の供給部(A)と、被成形品に搭載された半導体チップの厚さを計測する被成形品の計測部(B)と、樹脂封止に用いる液状樹脂を被成形品に供給する樹脂供給部(C)と、液状樹脂が供給された被成形品を樹脂モールド金型を用いて樹脂モールドする樹脂モールド部(D)と、樹脂モールドされた成形品の樹脂封止部の厚さを計測する成形品の計測部(E)と、成形品をマガジンに収納する成形品の収納部(F)とを備える。
被成形品の供給部(A)は、被成形品30がマガジンに収納された状態でマガジンごとセットするセット部31と、セット部31にセットされたマガジンを昇降駆動するエレベータ32およびマガジンから被成形品を切り出しするプッシャ等を備えた取り出し機構と、取り出し機構によってマガジンから取り出された2枚の被成形品を、樹脂モールド部(D)における被成形品の配置に合わせて、向かい合わせに配置するターンテーブル33を備えた切り出し機構とを備える。
被成形品の計測部(B)は、被成形品30を2枚、並列に支持するX−Yテーブル35と、X−Yテーブル35に支持された被成形品30の厚さを計測するセンサ部36とを備える。センサ部36は正面形状がコの字形に形成された支持枠37と、支持枠37に備えられたセンサ38を備える。X−Yテーブル35の上方には画像処理用のカメラ39が配置される。
ターンテーブル33に供給された被成形品30はフィーダーレール34aおよびレール34bを介してインローダ40によりX−Yテーブル35に移載される。
センサ部36により被成形品30に搭載されている半導体チップの厚さを測定する方法は、被成形品にレーザ光を照射し、反射光から被成形品の厚さを測定する方法による。具体的には、被成形品30を厚さ方向に挟む配置に一対のセンサ38、38を上下に対向させて配置し、センサ38、38から被成形品30に向けて照射したレーザ光の反射光により、センサ38、38から被成形品30までの距離を各々計測し、その計測値をセンサ間の距離から減算することによって求める。
X−Yテーブル35により被成形品30を移動させながら計測することで、被成形品30に搭載されているすべての半導体チップの厚さを計測することができる。
樹脂供給部(C)は、基板に搭載されている半導体チップの各々の配置位置に合わせて液状樹脂を供給する一対のディスペンサ41a、41bと、被成形品30を支持するX−Yテーブル42とを備える。
ディスペンサ41a、41bは、X−Yテーブル42に支持される2枚の被成形品30の上方にノズルが位置するように配置されている。X−Yテーブル42は、X−Y方向(平面内)での移動位置が制御されるとともに、Z方向(高さ方向)への移動位置も制御可能に設けられている。
樹脂モールド部(D)は、被成形品30をクランプして樹脂モールドする上型43および下型44と、上型43および下型44を支持するプレス部45とを備える。プレス部45は、上型43を支持する固定プラテンと、下型44を支持する可動プラテンと、可動プラテンを押動して型締めする型締機構46とを備える。本樹脂モールド装置では、型締機構46の駆動源として電動モータを用い、トグル機構を利用して型締機構46を構成している。また、樹脂モールド部(D)にはリリースフィルムを介して被成形品30をクランプして樹脂モールドするためのリリースフィルム47の供給機構が設けられている。
成形品の計測部(E)は、樹脂モールド部(D)で成形された成形品50を支持するX−Yテーブル60と、成形品50の樹脂封止部を計測するセンサ部62とを備える。センサ部62は、前述した被成形品の計測部(B)に設けられているセンサ部36と同形態に形成され、X−Yテーブル60に支持された2枚の成形品50、50の配置位置に合わせて左右に離間する位置に、上下一対のセンサが配置されている。計測部(E)では、X−Yテーブル60により成形品を移動し、センサ部62により樹脂モールド部の厚さを計測する。X−Yテーブル60の上方には、画像処理用のカメラ63が配置されている。
樹脂モールド部(D)の後方には、プレス部45で樹脂モールドされた成形品50、50の平面配置を維持した状態で金型から成形品50、50をピックアップし、X−Yテーブル60に移載する操作を行うアンローダー64が配置されている。
成形品の収納部(F)は、基台の前面の右側位置に配置されている。X−Yテーブル60の前方にはX−Yテーブル60から成形品50をピックアップするピックアップ機構70が配置されている。このピックアップ機構70によりX−Yテーブル60からピックアップされた成形品50はマガジン(不図示)に挿入して収納される。74は成形品50を収納するマガジンをマガジンの収納部72に収納するためのエレベータである。
(ディスペンサの構成)
図3に、上述した樹脂モールド装置において使用されるディスペンサの構成を示す。図では一方のディスペンサ41aについて示すが、他方のディスペンサ41bについても構成はまったく同様である。
ディスペンサ41aは、図7に示す従来のディスペンサと同様に、シリンダブロック10と、シリンダブロック10に設けられたシリンダ部10a内を摺動するプランジャ12と、液状樹脂の供給、吐出操作を制御する供給バルブ14および吐出バルブ16とを備える。供給バルブ14および吐出バルブ16は、プランジャ12を鉛直上下方向で上下に挟む配置(供給バルブ14が上位置、吐出バルブ16が下位置)に設けられ、シリンダブロック10にはシリンダ部10aと軸線方向を平行にして供給バルブ14および吐出バルブ16を挿通する貫通孔10b、10cが設けられる。供給バルブ14および吐出バルブ16は貫通孔10b、10cに各々液密に摺入し、長手方向に可動となる。なお供給バルブ14と吐出バルブ16は断面形状が円形に限るものではなく、矩形等の適宜断面形状に形成される。
シリンダブロック10の上部には液状樹脂を供給する容器22が設けられ、容器22とシリンダ部10aとは流路20aによって連通する。シリンダブロック10の下部には下方に液状樹脂を吐出させるノズル18が設けられ、ノズル18とシリンダ部10aとは流路20bによって連通する。
供給バルブ14および吐出バルブ16は流路20a、20bと交差する配置に設けられ、供給バルブ14および吐出バルブ16には、流路20a、20bと略同径に形成された連通孔14a、16aがバルブ部材を貫通して設けられる。供給バルブ14および吐出バルブ16は、流路20a、20bと連通孔14a、16aとの位置が一致する位置に移動することにより、流路20a、20bとシリンダ部10aとが連通し(連通位置)、流路20a、20bと連通孔14a、16aとが重複しない位置に移動することにより流路20a、20bとシリンダ部10aとの間が遮断される(遮断位置)。
図3は、供給バルブ14の連通孔14aと吐出バルブ16の連通孔16aが、流路20a、20bと重複しない位置にある状態を示す。プランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16は、各々、基部位置で駆動部120、140、160に連結される。
本実施形態のディスペンサ41aにおいて特徴とする構成は、これらのプランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16の駆動部120、140、160に連結される側の端部である連結基部12b、14b、16bを平面形状でT形(嵌合突部)に形成し、駆動部120、140、160のプランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16との連結端に、これら連結基部12b、14b、16bと凹凸嵌合して長手方向(突出入方向)には抜け止めし、鉛直上下方向には抜き差し自在となるT形スロット(嵌合凹部)を形成したことにある。
図4は、図3におけるH−H線断面図を示す。
供給バルブ14の連結基部14bがT形に形成され、駆動部140の供給バルブ14との連結端がT形スロット140bに形成されている。供給バルブ14のT形に形成された連結基部14bをT形スロット140bに係合することにより、駆動部140の突出入方向には供給バルブ14が抜け止めされ、鉛直上下方向には抜き差し自在となっている。なお、駆動部120、140、160の連結端に形成される嵌合凹部は鉛直上下方向に貫通する。
なお、駆動部120、140、160とはプランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16に係合してプランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16を進退動させる部材の意味であり、サーボモータあるいはエアシリンダ等の駆動部自体に設けられている駆動ロッド等の部材の他に、これらにアタッチメントとして連結して用いる部材を含む。
図4において、シリンダブロック10は、樹脂モールド装置の基体に固定された枠体25に固定して用いられる。本実施形態のディスペンサ41aでは、枠体25を平面形状でコの字形に形成し、枠体25のシリンダブロック10の側面に対向する内側面に鉛直上下方向に延びる嵌合溝25aを設け、シリンダブロック10の両側面に、嵌合溝25aに嵌合する嵌合突起10dを形成している。嵌合突起10dは、嵌合溝25aの溝幅よりも幅狭で、鉛直上下方向に延びる形に形成される。なお、枠体25の強度を高めるために枠体25を平面形状でロ字形に形成すること、対向する側板間を支持部材により連結することもできる。
枠体25の前枠の部分にはシリンダブロック10の前側面に先端部が当接する固定ねじ26が装着される。この固定ねじ26は、先端がシリンダブロック10の前側面に当接し、シリンダブロック10の嵌合突起10dを枠体25の嵌合溝25aに係合させた状態で、シリンダブロック10を後方に押圧することにより、嵌合溝25aの内側面と嵌合突起10dの後側面が当接してシリンダブロック10を枠体25に締め付け固定する作用をなす。
(ディスペンサの着脱方法)
枠体25からシリンダブロック10を取り外す際には、まず、シリンダブロック10の前側面に当接する固定ねじ26を緩め、シリンダブロック10を鉛直上下方向に可動として、シリンダブロック10を枠体25から上方へ引き抜くようにすればよい。
このように、本実施形態のディスペンサは、シリンダブロック10にプランジャ12、供給バルブ14および供給バルブ16を装着したまま、単に引き抜く操作によって取り外すことができるから、きわめて操作が簡単に行える。
シリンダブロック10とともにプランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16を取り外した後は、シリンダブロック10からプランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16を引き抜いて、シリンダブロック10の内部やバルブ部材を洗浄することができる。
シリンダブロック10を枠体25に装着する場合は、シリンダブロック10にプランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16を装着し、プランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16の連結基部12b、14b、16bとT形スロット120b、140b、160bと、を位置合わせし、枠体25の上方から位置合わせして差し込むようにすればよい。この装着操作もきわめて容易である。
本実施形態では、シリンダブロック10の側面に設けた嵌合突起10dを枠体25の内側面に設けた嵌合溝25aに位置合わせし、嵌合溝25aによってガイドしながらシリンダブロック10を枠体25にセットする。シリンダブロック10の挿入位置はストッパ等により規制して位置決めすることができる。
シリンダブロック10が所定の高さに位置決めしたところで、枠体25の前部に取り付けた固定ねじ26により、シリンダブロック10を後方に押圧するように締め付けて固定する。こうして、枠体25にシリンダブロック10が位置決めされ、駆動部120、140、160にプランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16が連結される。
なお、上記実施形態では、プランジャ12と供給バルブ14と吐出バルブ16の連結基部12b、14b、16bと駆動部140、120、160との係合位置が鉛直方向で同一位置にある例を示したが、連結基部12b、14b、16bが前後方向に位置ずれしていてもよい。図5は、プランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16の連結基部12b、14b、16bが前後に位置ずれした例を示す。なお、図5は枠体25からシリンダブロック10を上方に抜いた状態を示す。
図6は、図5に示す例で連結基部12b、14b、16bと駆動部の連結端の平面配置を示している。駆動部120、140、160とプランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16とは、鉛直方向における相互の高さ位置と、連結端との平面配置が一致するように設けることによって、鉛直方向へ抜き差しする操作によってプランジャ12、供給バルブ14および吐出バルブ16の嵌合突部と、嵌合凹部であるT形スロット120b、140b、160bとを係合させることができる。
なお、プランジャ12、供給バルブ14、吐出バルブ16と駆動部120、140、160とは凹凸嵌合によって係合するから、嵌合突部と嵌合凹部をどちら側に設けてもよい。すなわち、供給バルブ14、プランジャ12および吐出バルブ16の連結基部14b、12b、16bと駆動部140、120、160の連結端とは、供給バルブ14、プランジャ12および吐出バルブ16の進退動方向には抜け止めされ、進退動方向とは直交する方向には抜き差し可能に凹凸嵌合していればよい。
また、上記実施形態ではプランジャ12と供給バルブ14と吐出バルブ16とは同一鉛直面内に位置するが、プランジャ12と供給バルブ14と吐出バルブ16とは同一鉛直面内に配置する場合に限らず、左右に位置ずれした状態でシリンダブロック10に配置することも可能である。
また、上記実施形態では、枠体25の内側面に嵌合溝25aを設け、シリンダブロック10の側面に嵌合突起10dを設けたが、枠体25の内側面に突起を設け、シリンダブロック10に凹部を設けることも可能である。また、図6に示すように、シリンダブロック10の側面を平坦状とし、枠体25の内側面にシリンダブロック10の後側面に当接する突起25bを設けることも可能である。すなわち、枠体25とシリンダブロック10とがシリンダブロック10を枠体25の上下の開放側である鉛直方向へ抜き差し可能とし、枠体25に対してシリンダブロック10の後方への移動を規制するよう凹凸嵌合させればよい。
上述した何れの実施形態においても、プランジャ12等と駆動部120等がねじ止め等によらずに簡単に連結できること、プランジャ12等をシリンダブロック10に装着したまま枠体25から引き抜くようにして取り外しできることから、プランジャ12等の摺動性が悪くなったような場合に、ディスペンサを樹脂モールド装置から取り外してメンテナンスする操作を容易に行うことができ、作業性を改善でき、より的確な樹脂モールドを行うことが可能になる。
なお、本発明に係るディスペンサは樹脂モールド装置に利用する他、液状樹脂あるいはペースト状樹脂、あるいは各種液材を供給する装置として利用することも可能である。
本発明に係るディスペンサを組み込んだ樹脂モールド装置の全体構成を示す平面図である。 樹脂モールド装置の正面図である。 本発明に係るディスペンサの構成を示す正面断面図である。 図3のH−H線断面図である。 シリンダブロックを枠体から上方へ引き抜いた状態を示す説明図である。 シリンダブロックと枠体との嵌合状態およびプランジャ等の平面配置を示す平面図である。 従来のディスペンサの構成と液材を供給する作用を示す説明図である。
符号の説明
10 シリンダブロック
10a シリンダ部
10b、10c 貫通孔
10d 嵌合突起
12 プランジャ
12b、14b、16b 連結基部
14 供給バルブ
16 吐出バルブ
14a、16a 連通孔
18 ノズル
20 流路
22 容器
25 枠体
25a 嵌合溝
26 固定ねじ
30 被成形品
35 X−Yテーブル
36 センサ部
41a、41b ディスペンサ
42 X−Yテーブル
45 プレス部
50 成形品
120、140、160 駆動部
120b、140b、160b T形スロット

Claims (5)

  1. 液材を収容するシリンダ部、該シリンダ部と液材を供給する容器とを連絡する流路、およびシリンダ部と吐出用のノズルとを連絡する流路が設けられたシリンダブロックと、
    前記シリンダ部内で摺動するプランジャと、
    前記シリンダ部と前記容器との間と、前記シリンダ部と前記ノズルとの間に、前記流路を開通する位置と前記流路を遮断する位置との間で摺動可能に、各々前記シリンダブロックに設けられた供給バルブおよび吐出バルブと、
    前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブの各々に別個に連結され、前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブを進退駆動する駆動部とを備えたディスペンサにおいて、
    前記供給バルブおよび吐出バルブは、前記プランジャを鉛直上下方向に挟む配置に設けられ、
    前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブの前記駆動部に連結される側の連結基部と前記各々の駆動部の連結端とが、各々の連結位置において、前記プランジャ、前記供給バルブ、および前記吐出バルブの進退動方向には抜け止めされ、進退動方向とは直交する方向には抜き差し可能に嵌合し、
    前記シリンダブロックに前記プランジャ、前記供給バルブおよび前記吐出バルブを装着した状態において、前記シリンダブロックを支持する枠体に対して該シリンダブロックを鉛直方向に抜き差しする操作により、前記連結基部と前記連結端とが脱着嵌合することを特徴とするディスペンサ。
  2. 前記供給バルブおよび吐出バルブは、前記シリンダ部と軸線方向を平行にして前記シリンダブロックに形成された貫通孔に挿通して設けられていることを特徴とする請求項1記載のディスペンサ。
  3. 前記プランジャ、前記供給ルブおよび前記吐出バルブの連結基部と、該連結基部と各々連結する前記駆動部の連結端とが、鉛直方向の相互の高さ位置が一致して設けられているとともに、前記プランジャ、前記供給バルブおよび前記吐出バルブの連結基部と、該連結基部と各々連結する前記駆動部の連結端との平面配置が一致して設けられていることを特徴とする請求項1または2記載のディスペンサ。
  4. 記枠体と前記シリンダブロックとが、枠体の開放側へ抜き差し可能とし、枠体の開放側とは直交する方向への移動を規制するよう凹凸嵌合し、
    前記枠体に、前記シリンダブロックを前記シリンダブロックの移動を規制する側へ押圧して枠体にシリンダブロックを締め付け固定する固定手段が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のディスペンサ。
  5. ディスペンサにより液状樹脂等の液材を計量して被成形品に供給し、樹脂モールド金型により前記液材とともに前記被成形品をクランプして圧縮成形する樹脂モールド装置において、
    前記ディスペンサが、請求項1〜4のいずれか一項記載のディスペンサであることを特徴とする樹脂モールド装置。
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