KR102109158B1 - Air filter for manufacturing device of semiconductor and display panel, and air filter manufacturing apparatus for manufacturing the air filter for manufacturing device of semiconductor and display panel - Google Patents

Air filter for manufacturing device of semiconductor and display panel, and air filter manufacturing apparatus for manufacturing the air filter for manufacturing device of semiconductor and display panel Download PDF

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KR102109158B1 KR1020200032434A KR20200032434A KR102109158B1 KR 102109158 B1 KR102109158 B1 KR 102109158B1 KR 1020200032434 A KR1020200032434 A KR 1020200032434A KR 20200032434 A KR20200032434 A KR 20200032434A KR 102109158 B1 KR102109158 B1 KR 102109158B1
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Abstract

A disclosed air filter for equipment for manufacturing a semiconductor and a display panel includes a filter frame member and a filter member, wherein the filter member is manufactured in a manner that a plurality of filter raw materials in a panel shape are stacked to be cut in a predetermined shape in a state of being compressed while being pressurized at predetermined pressure, thereby universally corresponding to various required shapes of filters. In addition, contamination such as arbitrary separation of particles can be prevented.

Description

반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터 및 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 제조를 위한 에어 필터 제조 장치{Air filter for manufacturing device of semiconductor and display panel, and air filter manufacturing apparatus for manufacturing the air filter for manufacturing device of semiconductor and display panel}Air filter for manufacturing device for semiconductor and display panel, and air filter manufacturing apparatus for manufacturing the air filter for manufacturing air filter for semiconductor and display panel manufacturing facilities for manufacturing device of semiconductor and display panel}

본 발명은 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터 및 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 제조를 위한 에어 필터 제조 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an air filter manufacturing apparatus for manufacturing air filters for semiconductor and display panel manufacturing facilities and air filters for semiconductor and display panel manufacturing facilities.

반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비는 LCD, OLED 등의 디스플레이 패널과 반도체 중 적어도 하나를 제조하기 위한 각종 장비들을 말한다.Semiconductor and display panel manufacturing equipment refers to various equipment for manufacturing at least one of display panels and semiconductors such as LCD and OLED.

이러한 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에는, 해당 설비로 유입되는 각종 기류 중의 이물질을 걸러내기 위한 필터가 적용되는데, 이러한 필터가 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터이다.In the semiconductor and display panel manufacturing facilities, filters for filtering foreign substances in various air streams flowing into the facility are applied, and these filters are air filters for semiconductor and display panel manufacturing facilities.

종래에는, 아래 제시된 특허문헌의 그 것처럼, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터에 적용되는 필터 부재를 소결(sintering)로 성형하였는데, 이러한 소결 성형 방식에 의하면, 그러한 소결 성형을 위한 틀을 각 필터 별로 각각 제작하여야 하므로, 범용적인 제작이 불가능한 문제가 있었다.Conventionally, as in the patent document set forth below, the filter member applied to the air filter for the semiconductor and display panel manufacturing equipment is molded by sintering, and according to this sintering molding method, each mold for such sintering molding is formed. Since each filter had to be manufactured, there was a problem that it was impossible to produce universally.

또한, 종래에, 필터 알갱이를 압축한 다음 레이저로 가공하기도 하였는데, 이 경우 알갱이가 임의로 이탈되면서, 해당 알갱이가 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 적용된 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 이물질로 작용하는 오염 문제가 있었다.In addition, conventionally, the filter grains were compressed and then processed with a laser. In this case, the grains were randomly removed, and the grains acted as foreign substances in the semiconductor and display panel manufacturing facilities to which the air filters for the semiconductor and display panel manufacturing facilities were applied. There was a pollution problem.

등록특허 제 10-1414218호, 등록일자: 2014.06.25., 발명의 명칭 반도체 라인용 금속소결필터Registered Patent No. 10-1414218, Date of registration: 2014.06.25., Name of the invention Metal sintering filter for semiconductor line

본 발명은 다양한 필터 요구 형태에 범용적으로 대응할 수 있으면서도, 알갱이의 임의 이탈 등의 오염이 방지될 수 있는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터 및 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 제조를 위한 에어 필터 제조 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.The present invention, while being capable of universally responding to various types of filter needs, manufactures air filters for semiconductor and display panel manufacturing facilities and air filters for semiconductor and display panel manufacturing facilities that can prevent contamination such as random departure of particles. It is an object to provide an air filter manufacturing apparatus for.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 결합되는 필터 프레임 부재; 및 상기 필터 프레임 부재에 결합되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어 중의 이물질을 제거하는 필터 부재;를 포함하고,
상기 필터 부재는 패널 형태의 필터 원재가 복수 장 적층되어, 미리 설정된 압력으로 가압되면서 압축된 상태로, 미리 설정된 형태로 절단됨으로써 제조되고,
상기 필터 프레임 부재는 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 결합되는 프레임 본체와, 상기 프레임 본체를 관통한 형태로 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어가 관통될 수 있는 에어 관통 중공과, 상기 프레임 본체 중 상기 에어 관통 중공의 주변 부분에 형성되되, 상기 프레임 본체의 다른 부분에 비해 상대적으로 낮게 단턱진 형태로 형성됨으로써, 상기 필터 부재의 외곽 부분이 걸리면서 상기 필터 부재가 상기 프레임 본체에 연결되도록 하는 필터 걸림단을 포함하고,
상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터는 상기 프레임 본체와 상기 필터 걸림단에 걸쳐 관통된 형태로 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어 중의 일부가 바이패스 유동된 다음 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이로 토출되도록 하는 에어 바이패스 토출 부재; 및 상기 필터 부재가 함몰된 형태로 형성되되, 상기 에어 바이패스 토출 부재의 말단과 연통되도록 형성되면서, 상기 프레임 본체를 향해 경사진 형태로 형성됨으로써, 상기 에어 바이패스 토출 부재에 의해 토출된 에어의 압력에 의해, 상기 필터 부재가 상기 프레임 본체 쪽으로 밀리면서 고정되도록 하는 에어 수용 고정 부재;를 포함하고,
상기 에어 바이패스 토출 부재는 상기 프레임 본체 중 상기 필터 부재가 결합된 면 중 상기 필터 부재와 일정 간격 이격된 지점에 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터로 향하는 에어 중의 일부가 인입되는 에어 바이패스 인입구와, 상기 에어 바이패스 인입구와 연결되면서 상기 프레임 본체와 상기 필터 걸림단을 순차적으로 관통하도록 형성되되, 상기 에어 바이패스 인입구를 통해 인입된 에어의 유동 방향이 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이를 향하도록 상기 에어 바이패스 인입구를 통해 인입된 에어의 유동 방향을 변경시키는 에어 유동 방향 변화홀과, 상기 에어 유동 방향 변화홀과 연결되면서 상기 필터 걸림단에 형성되어, 상기 에어 유동 방향 변화홀을 통해 유동된 에어가 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이로 토출되도록 하는 에어 토출구를 포함하고,
상기 에어 수용 고정 부재는 상기 필터 부재 중 상기 필터 걸림단과 대면되는 면에 형성되되, 상기 에어 토출구와 연통되도록 형성되고, 상기 에어 토출구에 비해 상대적으로 더 넓게 형성되어, 상기 에어 토출구를 통해 토출된 에어가 인입되는 에어 수용 인입구와, 상기 에어 수용 인입구와 연통되면서 상기 필터 부재의 내부 쪽으로 함몰된 형태로 이루어지되, 상기 필터 부재의 내부 쪽으로 갈수록 상기 프레임 본체를 향하도록 경사진 형태로 형성되는 경사 형태 고정홀을 포함하고,
상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터로 향하는 에어 중의 일부가 상기 에어 바이패스 인입구를 통해 인입된 다음, 상기 에어 유동 방향 변화홀을 통해 유동되면서 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이를 향하도록 유동 방향이 변화된 상태로, 상기 에어 토출구를 통해 토출되고,
상기 에어 토출구를 통해 토출된 에어가 상기 에어 수용 인입구를 통해 인입되어 상기 경사 형태 고정홀의 내부로 인입됨으로써, 상기 경사 형태 고정홀의 내부로 인입된 에어의 압력에 의해, 상기 필터 부재가 상기 프레임 본체 쪽으로 밀리면서 고정될 수 있는 것을 특징으로 한다.An air filter for a semiconductor and display panel manufacturing facility according to an aspect of the present invention includes a filter frame member coupled to a semiconductor and display panel manufacturing facility; And a filter member coupled to the filter frame member to remove foreign substances in the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing facilities.
The filter member is produced by stacking a plurality of filter raw materials in a panel form, and being cut in a compressed form while being compressed under a predetermined pressure,
The filter frame member is a frame body coupled to the semiconductor and display panel manufacturing facility, and is formed in a form penetrating the frame body, and an air through hollow through which air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing facility can pass through. , It is formed in the peripheral portion of the air through the hollow of the frame body, it is formed in a relatively low stepped form compared to other parts of the frame body, the filter member is caught in the frame body while the outer portion of the filter member is caught It includes a filter locking end to be connected,
The air filter for the semiconductor and display panel manufacturing facility is formed in a form penetrating through the frame body and the filter engaging end, and a part of the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing facility is bypassed and then the filter member And an air bypass discharge member to be discharged between the filter catching end; And the filter member is formed in a recessed form, while being formed to communicate with the end of the air bypass discharge member, and formed in an inclined shape toward the frame body, the air discharged by the air bypass discharge member Includes; by the pressure, the air receiving fixing member to be fixed while pushing the filter member toward the frame body,
The air bypass discharge member is formed at a point spaced apart from the filter member by a predetermined distance among the surface of the frame body where the filter member is coupled, and a part of air directed to the air filter for the semiconductor and display panel manufacturing equipment is drawn in. The air bypass inlet, and is connected to the air bypass inlet is formed to sequentially pass through the frame body and the filter engaging end, the flow direction of the air drawn through the air bypass inlet is the filter member and the filter The air flow direction changing hole for changing the flow direction of the air drawn through the air bypass inlet so as to face between the locking ends and the air flow direction changing hole and connected to the air flow direction change hole is formed in the filter engaging end, the air flow direction The air flowing through the change hole is the filter member and the filter girl An air discharge port to be ejected between the stage and,
The air receiving fixing member is formed on a surface of the filter member that faces the filter engaging end, and is formed to communicate with the air outlet, and is formed to be relatively wider than the air outlet, and the air discharged through the air outlet Fixing the inclined form formed in an inclined form so as to face the frame body as it goes toward the inside of the filter member while being in communication with the air receiving inlet and the air receiving inlet that is introduced into the inside of the filter member. Including the hall,
A portion of the air directed to the air filter for the semiconductor and display panel manufacturing facility is drawn through the air bypass inlet and then flows through the air flow direction changing hole to flow between the filter member and the filter engaging end. With the direction changed, it is discharged through the air outlet,
The air discharged through the air discharge port is drawn through the air receiving inlet and is introduced into the inclined type fixing hole, so that the filter member is directed toward the frame body by the pressure of air drawn into the inclined type fixing hole. It is characterized by being able to be fixed while being pushed.

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본 발명의 일 측면에 따른 에어 필터 제조 장치는 복수 장 적층된 필터 원재가 올려지는 지그 부재; 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 제조될 수 있도록, 상기 지그 부재에 올려진 복수 장 적층된 상기 필터 원재를 가압하여, 복수 장 적층된 상기 필터 원재를 압축시키는 가압 수단; 및 상기 지그 부재에 장착되고, 상기 지그 부재가 미리 설정된 정자세를 유지하는지 여부를 감지할 수 있는 정자세 감지 부재;를 포함하고,An air filter manufacturing apparatus according to an aspect of the present invention includes a jig member on which a plurality of filter raw materials are stacked; Pressurizing means for pressing the plurality of stacked filter raw materials placed on the jig member to compress the plurality of stacked filter raw materials so that air filters for semiconductor and display panel manufacturing facilities can be manufactured; It includes; and a jig member, a posture sensing member capable of detecting whether or not the jig member maintains a predetermined posture;

상기 정자세 감지 부재는 상기 정자세 감지 부재의 외곽을 형성하는 감지 본체부와, 상기 지그 부재의 정자세 여부를 감지할 수 있는 감지부와, 상기 감지 본체부의 내부에 배치되고, 상기 감지부와의 접촉을 감지하는 접촉 감지 센서부를 포함하고,The positive posture sensing member is a sensing body part forming an outer periphery of the positive posture sensing member, a sensing part capable of detecting whether the jig member is in a positive posture, is disposed inside the sensing body part, and is in contact with the sensing part. It includes a touch detection sensor unit for sensing,

상기 감지 본체부는 그 단면이 타원 형태로 형성되면서 그 내부에 일정 공간이 형성된 본체측 케이스와, 상기 본체측 케이스의 중앙부에서 일정 깊이 함몰된 함몰부와, 상기 본체측 케이스의 일측부 및 타측부에서 상기 함몰부 쪽으로 각각 일정 길이 연장된 한 쌍의 경사형 연장체를 포함하고,The sensing body portion is formed in an elliptical shape in its cross-section, a body-side case having a certain space therein, a depression recessed at a certain depth in the center of the body-side case, and at one side and the other side of the body-side case. It includes a pair of inclined extensions each extending a certain length toward the depression,

상기 함몰부는 상기 본체측 케이스의 전면 및 후면에서 한 쌍이 서로 대면되며 형성되고,The depression portion is formed by facing a pair of each other at the front and rear of the case on the main body side,

상기 감지부는 복수 개가 이격되면서 서로 다른 방향으로 돌출 형성된 감지 몸체와, 상기 감지 몸체의 중앙부에서 상기 함몰부 쪽으로 돌출되어 한 쌍의 상기 함몰부에 각각 삽입되는 감지부측 축과, 상기 감지 몸체가 중력 방향을 향하도록 상기 감지 몸체에 무게를 부여하는 것으로 상기 감지 몸체의 중심에서 중력 방향으로 일정 길이 돌출되는 무게추를 포함하고,The detection unit is a plurality of spaced apart detection body is formed to protrude in different directions, the detection unit side axis protruding toward the depression from the central portion of the detection body, and a pair of the detection unit side, respectively, the sensing body is in the direction of gravity Weighting the sensing body to face toward and includes a weight that protrudes a certain length in the direction of gravity from the center of the sensing body,

상기 감지 몸체는 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 일측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 1 날개와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 타측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 2 날개를 포함하고,The sensing body is a first wing formed at a position spaced apart a predetermined height from the one formed on one side of the pair of the inclined elongated body, and at a position spaced a certain height upward from the one formed on the other side of the pair of the inclined elongated body A second wing formed,

상기 접촉 감지 센서부는 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 접촉 센서와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 접촉 센서를 포함하고,The touch sensing sensor unit includes a first contact sensor installed to protrude from an upper inclined surface of the inclined extension of one of the pair of inclined extensions, and an upper side of the inclined extension of the other of the pair of inclined extensions. It includes a second contact sensor installed to protrude from the inclined surface,

상기 지그 부재가 정자세를 벗어나 기울어지게 되면, 상기 감지 몸체에 상기 제 1 접촉 센서 또는 상기 제 2 접촉 센서가 접촉됨으로써, 상기 지그 부재가 기울어진 것이 감지될 수 있게 되고, 상기 지그 부재가 일 방향으로 기울어지게 되면, 상기 감지 본체부도 일 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 1 날개와 상기 제 1 접촉 센서가 접촉되고, 상기 지그 부재가 타 방향으로 기울어지게 되면 상기 감지 본체부도 타 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 2 날개와 상기 제 2 접촉 센서가 접촉되는 것을 특징으로 한다.When the jig member is inclined outside the normal posture, the first contact sensor or the second contact sensor is brought into contact with the sensing body, whereby the inclination of the jig member can be detected, and the jig member is in one direction. When inclined, the sensing main body is also inclined in one direction while the first wing and the first contact sensor are in contact, and when the jig member is inclined in the other direction, the sensing main body is also inclined in the other direction. It characterized in that the two wings and the second contact sensor is in contact.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터 및 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 제조를 위한 에어 필터 제조 장치에 의하면, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 필터 프레임 부재와, 필터 부재를 포함하고, 상기 필터 부재가 패널 형태의 필터 원재가 복수 장 적층되어, 미리 설정된 압력으로 가압되면서 압축된 상태로, 미리 설정된 형태로 절단되는 방식으로 제조됨에 따라, 다양한 필터 요구 형태에 범용적으로 대응할 수 있으면서도, 알갱이의 임의 이탈 등의 오염이 방지될 수 있게 되는 효과가 있다.According to an aspect of the present invention, an air filter for manufacturing a semiconductor and display panel manufacturing facility and an air filter for manufacturing the air filter for the semiconductor and display panel manufacturing facility, the air filter for the semiconductor and display panel manufacturing facility filters A plurality of filters, including a frame member and a filter member, wherein the filter member is manufactured in a manner in which a plurality of panel-shaped filter raw materials are stacked and compressed in a compressed state while being pressed at a predetermined pressure, and cut in a predetermined shape. While being able to respond universally to the required form, there is an effect that contamination such as random departure of the particles can be prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 결합된 모습을 보이는 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터를 제조하기 위한 공정 중 적층 공정을 보이는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터를 제조하기 위한 공정 중 압축 공정을 보이는 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터를 제조하기 위한 공정 중 절단 공정을 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 필터 제조 장치를 구성하는 정자세 감지 부재를 정면에서 바라본 단면도.
도 7은 도 6의 정자세 감지 부재에 적용된 함몰부에서 감지부측 축이 하강된 모습을 보이는 단면도.
도 8은 도 7에 도시된 A부분에 대한 확대도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 일부를 확대한 단면도.1 is a perspective view showing an exploded state of an air filter for semiconductor and display panel manufacturing facilities according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view showing a state in which the air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention is combined.
3 is a view showing a lamination process in a process for manufacturing an air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a compression process in the process for manufacturing an air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a cutting process in the process for manufacturing an air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a cross-sectional view of the positive attitude sensing member constituting the air filter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention as viewed from the front.
7 is a cross-sectional view showing a state in which the axis of the sensing unit is lowered in the depression applied to the positive attitude sensing member of FIG.
8 is an enlarged view of part A shown in FIG. 7.
9 is an enlarged cross-sectional view of a portion of an air filter for a semiconductor and display panel manufacturing facility according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터 및 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 제조를 위한 에어 필터 제조 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, an air filter manufacturing apparatus for manufacturing an air filter for semiconductor and display panel manufacturing facilities and an air filter for manufacturing semiconductor and display panel manufacturing facilities according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 결합된 모습을 보이는 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터를 제조하기 위한 공정 중 적층 공정을 보이는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터를 제조하기 위한 공정 중 압축 공정을 보이는 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터를 제조하기 위한 공정 중 절단 공정을 보이는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 필터 제조 장치를 구성하는 정자세 감지 부재를 정면에서 바라본 단면도이고, 도 7은 도 6의 정자세 감지 부재에 적용된 함몰부에서 감지부측 축이 하강된 모습을 보이는 단면도이고, 도 8은 도 7에 도시된 A부분에 대한 확대도이다.1 is a perspective view showing an exploded state of an air filter for a semiconductor and display panel manufacturing facility according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an air filter for a semiconductor and display panel manufacturing facility according to an embodiment of the present invention It is a perspective view showing a combined state, Figure 3 is a view showing a lamination process in the process for manufacturing an air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is an embodiment of the present invention A view showing a compression process in the process for manufacturing an air filter for a semiconductor and display panel manufacturing facility according to FIG. 5 is in a process for manufacturing an air filter for a semiconductor and display panel manufacturing facility according to an embodiment of the present invention It is a view showing the cutting process, Figure 6 is a posture constituting the air filter manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention 7 is a cross-sectional view of the sensing member viewed from the front, and FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state in which the axis of the sensing unit is lowered in the depression applied to the positive attitude sensing member of FIG. 6, and FIG. 8 is an enlarged view of part A shown in FIG. 7 .

도 1 내지 도 8을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터(100)는 필터 프레임 부재(110)와, 필터 부재(120)를 포함한다.1 to 8 together, the air filter 100 for semiconductor and display panel manufacturing equipment according to the present embodiment includes a filter frame member 110 and a filter member 120.

상기 필터 프레임 부재(110)는 금속 재질로 이루어지고, 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 결합되는 것으로, 프레임 본체(111)와, 에어 관통 중공(113)과, 필터 걸림단(112)을 포함한다.The filter frame member 110 is made of a metal material, and is coupled to a semiconductor and display panel manufacturing facility, and includes a frame body 111, an air through hollow 113, and a filter engaging end 112.

상기 프레임 본체(111)는 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 결합되는 것으로, 예시적으로 직사각형 패널 형태로 형성된다.The frame body 111 is coupled to the semiconductor and display panel manufacturing facilities, and is illustratively formed in the form of a rectangular panel.

도면 번호 114는 상기 프레임 본체(111)에 서로 이격되도록 복수 개 형성되어, 볼트 등의 결합 수단이 관통되면서 상기 프레임 본체(111)를 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 결합되도록 하는 결합 홀이다.Reference numeral 114 is a plurality of coupling holes formed so as to be spaced apart from each other on the frame body 111, the coupling body, such as bolts, through which the frame body 111 is coupled to the semiconductor and display panel manufacturing facilities.

상기 에어 관통 중공(113)은 상기 프레임 본체(111)를 관통한 형태로 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어가 관통될 수 있는 것으로, 상기 프레임 본체(111)의 길이 방향으로 상기 프레임 본체(111)의 중앙부를 관통한 형태로 형성된 것이다.The air penetrating hollow 113 is formed in a form that penetrates the frame body 111 so that air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing facilities can be penetrated, in the longitudinal direction of the frame body 111. It is formed in a form passing through the central portion of the frame body 111.

상기 필터 걸림단(112)은 상기 프레임 본체(111) 중 상기 에어 관통 중공(113)의 주변 부분을 따라 형성되되, 상기 프레임 본체(111)의 다른 부분에 비해 상대적으로 낮게 단턱진 형태로 형성됨으로써, 상기 필터 부재(120)의 외곽 부분이 걸리면서 상기 필터 부재(120)가 상기 프레임 본체(111)에 연결되도록 하는 것이다.The filter engaging end 112 is formed along the periphery of the air penetrating hollow 113 of the frame body 111, but is formed in a stepped shape relatively low compared to other parts of the frame body 111. , The outer portion of the filter member 120 is caught while the filter member 120 is connected to the frame body 111.

상기 에어 관통 중공(113)은 상기 프레임 본체(111)의 길이 방향으로 상기 프레임 본체(111)의 중앙부를 관통한 형태로 형성되고, 상기 필터 걸림단(112)은 상기 에어 관통 중공(113)의 외곽 부분을 따라 형성되되 상기 프레임 본체(111)에 비해 상대적으로 낮게 형성되어, 상기 필터 걸림단(112)과 상기 프레임 본체(111)의 연결 부분은 전체적으로 단차(높이차)가 형성된 형태로 이루어진다.The air penetrating hollow 113 is formed in a form that penetrates the central portion of the frame body 111 in the longitudinal direction of the frame body 111, and the filter engaging end 112 of the air penetrating hollow 113 It is formed along the outer portion but is formed relatively lower than the frame body 111, the connecting portion of the filter engaging end 112 and the frame body 111 is made of a step (height difference) is formed as a whole.

상기 필터 부재(120)는 상기 필터 프레임 부재(110)에 결합되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어 중의 이물질을 제거하는 것이다.The filter member 120 is coupled to the filter frame member 110 to remove foreign substances in the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing facilities.

상세히는, 상기 필터 부재(120)는 상기 에어 관통 중공(113)을 덮도록 상기 필터 걸림단(112)에 걸리고 접착 등에 의해 결합되는 형태로 상기 프레임 본체(111)에 고정된다. 그러면, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 상기 필터 프레임 부재(110)가 고정된 상태에서, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어가 상기 필터 부재(120)를 관통하여 상기 에어 관통 중공(113)을 통해 통과됨으로써, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어 중의 이물질이 상기 필터 부재(120)에 의해 걸러지게 된다.In detail, the filter member 120 is fixed to the frame body 111 in a form that is caught by the filter engaging end 112 so as to cover the air penetrating hollow 113 and is joined by adhesion or the like. Then, while the filter frame member 110 is fixed to the semiconductor and display panel manufacturing facility, air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing facility penetrates the filter member 120 to penetrate the air through the air 113 ), The foreign matter in the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing facilities is filtered by the filter member 120.

본 실시예에서는, 상기 필터 부재(120)는 패널 형태의 필터 원재(121)가 복수 장 적층되어, 미리 설정된 압력으로 가압되면서 압축된 상태로, 미리 설정된 형태로 절단됨으로써 제조된다.In this embodiment, the filter member 120 is manufactured by cutting a plurality of panel-shaped filter raw materials 121 in a compressed state while being compressed while being pressed at a predetermined pressure.

상기 필터 원재(121)로는 순도 99.99%의 니켈 폼(Nickel foam)이 적용된다.Nickel foam having a purity of 99.99% is applied as the filter raw material 121.

본 실시예에 따른 에어 필터 제조 장치는 지그 부재(150)와, 가압 수단(160)과, 정자세 감지 부재(170)를 포함한다.The air filter manufacturing apparatus according to the present embodiment includes a jig member 150, a pressing means 160, and a posture sensing member 170.

상기 지그 부재(150)는 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)가 올려지는 것으로, 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)가 올려질 수 있도록 일정 면적으로 넓은 플레이트 형태로 형성된다.The jig member 150 is a plurality of stacked filter raw material 121 is raised, it is formed in a plate shape wide in a certain area so that the plurality of stacked filter raw material 121 can be raised.

상기 가압 수단(160)은 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터(100)가 제조될 수 있도록, 상기 지그 부재(150)에 올려진 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)를 가압하여, 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)를 압축시키는 것이다.The pressing means 160 presses the plurality of stacked filter raw materials 121 mounted on the jig member 150 so that the air filter 100 for the semiconductor and display panel manufacturing facilities can be manufactured, a plurality of The long stacked filter raw material 121 is compressed.

상기 가압 수단(160)에는 열선 등 발열체가 내삽되어, 미리 설정된 온도로 상기 가압 수단(160)이 가열된 상태로 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)를 가압할 수 있게 된다.A heating element such as a heating wire is interpolated to the pressing means 160 to press the filter raw material 121 stacked in a plurality of states while the pressing means 160 is heated to a predetermined temperature.

상기 가압 수단(160)으로는, 벤치 프레스(bench press) 뿐만 아니라, 롤 프레스(roll press) 등 다른 다양한 수단이 적용될 수도 있다.As the pressing means 160, not only a bench press, but also various other means such as a roll press may be applied.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 필터 원재(121)가 복수 장 적층된 상태에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)가 상기 지그 부재(150) 상에 올려진 상태로, 상기 미리 설정된 온도로 가열된 상기 가압 수단(160)에 의해 미리 설정된 압력으로 가압됨으로써, 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)가 압축된다.As shown in FIG. 3, in a state in which a plurality of filter raw materials 121 are stacked, as shown in FIG. 4, the filter raw materials 121 stacked in multiple sheets are placed on the jig member 150. In the dark state, by being pressurized at a preset pressure by the pressing means 160 heated to the preset temperature, the filter raw materials 121 stacked in multiple sheets are compressed.

여기서, 상기 필터 원재(121)의 적층 수나 상기 가압 수단(160)에 의해 가압되는 상기 미리 설정된 압력은 상기 필터 부재(120)에 형성이 요구되는 기공 사이즈에 따라 가변될 수 있다.Here, the number of layers of the filter raw material 121 or the preset pressure pressed by the pressing means 160 may be varied according to the pore size required to be formed in the filter member 120.

그런 다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기와 같이 압축이 이루어진 상태의 복수 장 적층된 상기 필터 원재(121)가 칼날 등의 절단 수단(미도시)에 의해 미리 설정된 형상대로 절단됨으로써, 상기 필터 부재(120)가 완성될 수 있게 된다.Then, as shown in FIG. 5, the filter raw material 121 stacked in the compressed state as described above is cut into a predetermined shape by a cutting means (not shown) such as a blade, so that the filter The member 120 can be completed.

상기 정자세 감지 부재(170)는 상기 지그 부재(150)에 장착되고, 상기 지그 부재(150)가 미리 설정된 정자세(상기 지그 부재(150)가 기울어지지 않은 상태의 자세)를 유지하는지 여부를 감지할 수 있는 것으로, 감지 본체부(180)와, 감지부(190)와, 접촉 감지 센서부(196)를 포함한다.The posture sensing member 170 is mounted on the jig member 150 and detects whether the jig member 150 maintains a predetermined posture (a posture in which the jig member 150 is not inclined). As possible, it includes a sensing body portion 180, a sensing unit 190, and a touch sensing sensor unit 196.

상기 감지 본체부(180)는 상기 정자세 감지 부재(170)의 외곽을 형성하는 것으로, 본체측 케이스(181)와, 함몰부(182)와, 경사형 연장체(185)를 포함한다.The sensing body portion 180 forms an outer periphery of the posture sensing member 170, and includes a body side case 181, a depression 182, and an inclined extension body 185.

상기 본체측 케이스(181)는 그 단면이 타원 형태로 형성되면서 그 내부에 일정 공간이 형성된 것이다.The body-side case 181 is formed in a certain space therein while its cross section is formed in an oval shape.

상기 함몰부(182)는 상기 본체측 케이스(181)의 중앙부에서 일정 깊이 함몰된 것으로, 후술되는 감지부측 축(194)의 일부가 삽입된다.The recessed portion 182 is recessed at a predetermined depth in the central portion of the body-side case 181, and a part of the shaft 194 on the sensing portion side, which will be described later, is inserted.

도 6 및 도 7에서 상기 함몰부(182)는 상기 본체측 케이스(181)의 후면, 즉 상기 감지부(190)에 의해 가려지는 부분에 형성됨으로 인해 점선으로 도시된다.6 and 7, the recessed portion 182 is illustrated by a dotted line due to being formed on the rear surface of the body-side case 181, that is, a portion covered by the sensing unit 190.

본 실시예에서 상기 함몰부(182)는 상기 본체측 케이스(181)의 전면 및 후면에서 한 쌍이 서로 대면되며 형성된다.In this embodiment, the recessed portion 182 is formed by a pair facing each other on the front and rear surfaces of the body-side case 181.

상기 경사형 연장체(185)는 상기 본체측 케이스(181)의 일측부 및 타측부에서 상기 함몰부(182) 쪽으로 각각 일정 길이 연장된 것이다.The inclined extension body 185 extends a predetermined length from the one side and the other side of the body-side case 181 toward the depression 182, respectively.

상기 경사형 연장체(185)는 그 상측 및 하측이 경사지게 형성됨으로써, 전체적으로는 그 단면이 삼각형 형태를 이루게 되고, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(185)는 상기 함몰부(182)의 중심을 지나는 가상의 수직 연장선을 기준으로 서로 대칭되도록 배치된다.The inclined extension body 185 is formed to be inclined at the upper and lower sides thereof, so that its cross section is formed in a triangular shape, and a pair of the inclined extension body 185 is virtually passing through the center of the depression 182 It is arranged to be symmetric to each other with respect to the vertical extension line of.

상기 감지부(190)는 상기 지그 부재(150)의 정자세 여부를 감지할 수 있는 것으로, 감지 몸체(191)와, 상기 감지부측 축(194)과, 무게추(195)를 포함한다.The sensing unit 190 is capable of detecting whether the jig member 150 is in an attitude, and includes a sensing body 191, the sensing unit side shaft 194, and a weight 195.

상기 감지 몸체(191)는 그 중심부에서 외측으로 일정 길이 돌출되되, 복수 개가 이격되면서 서로 다른 방향으로 돌출 형성된 것이다.The sensing body 191 protrudes a predetermined length from the center to the outside, and is formed to protrude in different directions as a plurality of pieces are spaced apart.

본 실시예서 상기 감지 몸체(191)는 두 개가 이격되어 이루어지고, 이격된 두 개의 상기 감지 몸체(191)는 상기 함몰부(182)의 중심을 지나는 가상의 수직 연장선을 기준으로 좌우측에서 서로 대칭되는 형태로 형성된다.In this embodiment, the sensing body 191 is made of two spaced apart, and the two spaced apart sensing bodies 191 are symmetrical to each other on the left and right sides based on an imaginary vertical extension line passing through the center of the depression 182. It is formed in the form.

상세히, 상기 감지 몸체(191)는 한 쌍의 상기 경사형 연장체(185) 중 일측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 1 날개(192)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(185) 중 타측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 2 날개(193)를 포함한다.In detail, the sensing body 191 is formed on one side of the pair of the inclined extension body 185, the first wing 192 formed at a position spaced apart from a predetermined height, and the pair of the inclined extension body 185 It includes a second wing (193) formed at a position spaced apart a predetermined height from the other formed on the other side.

상기 감지부측 축(194)은 상기 감지 몸체(191)의 중앙부에서 상기 함몰부(182) 쪽으로 돌출되어 한 쌍의 상기 함몰부(182)에 각각 삽입되는 것이다.The sensing unit side shaft 194 protrudes from the central portion of the sensing body 191 toward the recessed portion 182 and is respectively inserted into the pair of recessed portions 182.

한 쌍의 상기 함몰부(182)에 상기 감지부측 축(194)이 각각 삽입됨에 따라, 상기 감지 몸체(191)는 상기 감지부측 축(194)을 기준으로 일정 각도 회전 가능하게 된다.As the sensing unit side shafts 194 are respectively inserted into the pair of depressions 182, the sensing body 191 is rotatable at an angle based on the sensing unit side shaft 194.

상기 무게추(195)는 상기 감지 몸체(191)가 중력 방향을 향하도록 상기 감지 몸체(191)에 무게를 부여하는 것으로 상기 감지 몸체(191)의 중심에서 중력 방향으로 일정 길이 돌출된다.The weight 195 is to give weight to the sensing body 191 so that the sensing body 191 faces the direction of gravity, and protrudes a certain length from the center of the sensing body 191 in the direction of gravity.

상기 무게추(195)가 형성됨에 따라, 상기 감지 본체부(180)가 일정 각도 기울어지더라도 상기 감지 몸체(191)는 그 위치를 유지할 수 있게 된다.As the weight 195 is formed, the sensing body 191 can maintain its position even if the sensing body 180 is inclined at a certain angle.

상기 접촉 감지 센서부(196)는 상기 감지 본체부(180)의 내부에 배치되고, 상기 감지부(190)와의 접촉을 감지하는 것이다.The touch detection sensor unit 196 is disposed inside the detection body unit 180 and senses contact with the detection unit 190.

상세히, 상기 접촉 감지 센서부(196)는 한 쌍의 상기 경사형 연장체(185) 중 하나의 상기 경사형 연장체(185)의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 접촉 센서(197)와, 한 쌍의 상기 경사형 연장체(185) 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체(185)의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 접촉 센서(198)를 포함한다.In detail, the touch detection sensor unit 196 includes a pair of first contact sensors 197 installed to protrude from an upper inclined surface of the inclined extension body 185 of one of the pair of inclined extension bodies 185. And a second contact sensor 198 installed to protrude from an upper inclined surface of the inclined extension body 185 of the other of the inclined extension bodies 185.

상기와 같이 형성됨으로써, 상기 필터 부재(120)에 대한 압축 공정 수행 중에, 상기 지그 부재(150)가 정자세를 벗어나 기울어지게 되면, 상기 감지 몸체(191)에 상기 제 1 접촉 센서(197) 또는 상기 제 2 접촉 센서(198)가 접촉되고, 그에 따라 상기 지그 부재(150)가 기울어진 것이 감지될 수 있게 된다.By forming as described above, when the jig member 150 is tilted out of the normal position during the compression process for the filter member 120, the first contact sensor 197 or the sensor body 191 or the The second contact sensor 198 is contacted, and accordingly, the tilt of the jig member 150 can be detected.

본 실시예에서는 상기 지그 부재(150)가 일 방향으로 기울어지게 되면, 상기 감지 본체부(180)도 일 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 1 날개(192)와 상기 제 1 접촉 센서(197)가 접촉되고, 상기 지그 부재(150)가 타 방향으로 기울어지게 되면 상기 감지 본체부(180)도 타 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 2 날개(193)와 상기 제 2 접촉 센서(198)가 접촉됨으로써, 상기 지그 부재(150)의 작동 시 상기 지그 부재(150)의 기울어진 방향도 함께 알 수 있게 된다.In this embodiment, when the jig member 150 is inclined in one direction, the sensing body 180 is also inclined in one direction, so that the first wing 192 and the first contact sensor 197 are in contact. When the jig member 150 is inclined in the other direction, the sensing body 180 is also inclined in the other direction, so that the second wing 193 and the second contact sensor 198 are in contact, thereby When the jig member 150 is operated, the inclined direction of the jig member 150 is also known.

상기 정자세 감지 부재(170)에 의해 상기 지그 부재(150)가 정자세를 벗어난 것이 감지되면, 알람 등을 통해 작업자에게 직접 알려주거나, 디스플레이 패널(미도시)에 그 결과를 전송하여 상기 디스플레이 패널에서 상기 작업자에게 감지 결과를 알려 줄 수도 있다.When it is detected that the jig member 150 is out of the normal posture by the positive posture sensing member 170, the operator is directly notified to the operator through an alarm or the like, or the result is transmitted to a display panel (not shown) to display the It is also possible to inform the operator of the detection result.

한편, 상기 함몰부(182)는 상기 본체측 케이스(181)이 전면 및 후면에서 일정 깊이 함몰되면서 일정 길이 길게 형성된 장형 삽입홈(183)과, 상기 장형 삽입 홈(183)의 각 내면에서 상기 장형 삽입홈(183)의 내측으로 갈수록 뾰족해지는 형태로 일정 길이 돌출되어 상기 감지부측 축(194)의 일부가 걸리도록 하는 축 걸림 돌기(184)를 포함한다.On the other hand, the recessed portion 182 is the body-side case 181 is recessed at a predetermined depth from the front and rear of the elongated insertion groove 183 formed a long length, and each of the inner surface of the elongated insertion groove 183 It includes a shaft engaging projection (184) that protrudes a certain length in the form of pointed toward the inside of the insertion groove (183) so that a part of the shaft (194) on the sensor side is caught.

상기 축 걸림 돌기(184)는 상기 함몰부(182)에서 서로 다른 높이로 복수 개가 형성된다.A plurality of the shaft engaging projections 184 are formed at different heights in the depression 182.

상기와 같이 형성되면, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(184) 중 최상측의 것에 상기 감지부측 축(194)이 걸린 상태로 상기 감지부(190)가 중력 방향으로 향한 상태를 유지하다가, 상기 지그 부재(150)에 외부 충격이 발생될 경우, 상기 감지부측 축(194)이 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(184) 중 최상측의 것에서 이탈되어 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(184) 중 최상측의 것 바로 아래의 것으로 하강되어 걸리게 되고, 이러한 상기 감지부측 축(194)의 하강으로 인해 상기 감지 몸체(191) 역시 하강되어, 상기 제 1 날개(192) 및 상기 제 2 날개(193)가 상기 제 1 접촉 센서(197) 및 상기 제 2 접촉 센서(198)에 동시 접촉됨으로써, 상기 지그 부재(150)에 가해진 충격이 감지될 수 있게 된다.When formed as described above, as illustrated in FIG. 6, the sensing unit 190 faces in the direction of gravity while the sensing unit side shaft 194 is hung on the uppermost one of the plurality of shaft locking projections 184. While maintaining the state, when an external impact occurs on the jig member 150, the sensing unit side shaft 194 is deviated from the uppermost one of the plurality of shaft locking projections 184 and the plurality of shaft locking projections ( 184) of the uppermost one is lowered and caught, and the sensing body 191 is also lowered due to the lowering of the sensing unit side shaft 194, so that the first wing 192 and the second wing When the 193 is in contact with the first contact sensor 197 and the second contact sensor 198 simultaneously, an impact applied to the jig member 150 can be sensed.

상기 제 1 날개(192) 및 상기 제 2 날개(193)가 상기 제 1 접촉 센서(197) 및 상기 제 2 접촉 센서(198)에 동시에 접촉되어 감지된 충격 정보 역시 상기 디스플레이 패널을 통해 상기 작업자에게 전달 가능하다.The first wing 192 and the second wing 193 are in contact with the first contact sensor 197 and the second contact sensor 198 at the same time, the impact information is also detected through the display panel to the operator It is possible to deliver.

본 실시예에서는, 상기 각 경사형 연장체(185)에서는 각각 상방으로 돌출 곡면체(171)가 돌출되는데, 상기 각 돌출 곡면체(171)는 상기 제 1 날개(192) 및 상기 제 2 날개(193)의 각 말단부와 대면되도록 일정 곡률로 만곡된 형태로 이루어지고, 상기 각 돌출 곡면체(171)에서 상기 제 1 날개(192) 및 상기 제 2 날개(193)의 각 말단부와 대면되는 내면에는 서로 이격되도록 배치된 복수 개의 영구 자석(172)이 설치되고, 상기 제 1 날개(192) 및 상기 제 2 날개(193)의 각 말단부에는 각각 홀 센서(hall sensor)(173)가 설치된다.In this embodiment, the protruding curved body 171 protrudes upward from each of the inclined elongated bodies 185, wherein each protruding curved body 171 includes the first wing 192 and the second wing 193. It is formed in a curved shape with a certain curvature so as to face each end portion, and is disposed to be spaced apart from each other on the inner surfaces facing each end portion of the first wing 192 and the second wing 193 in each protruding curved body 171. A plurality of permanent magnets 172 are installed, and a hall sensor 173 is installed at each end of the first wing 192 and the second wing 193.

상기와 같이 구성되면, 상기 지그 부재(150)가 정자세를 유지하는 동안에는, 상기 각 홀 센서(173)는 복수 개의 상기 각 영구 자석(172) 중 각 중앙부의 것을 각각 감지하는 상태를 유지한다.When configured as described above, while the jig member 150 maintains the normal posture, each hall sensor 173 maintains a state in which each of the central parts of the plurality of permanent magnets 172 is sensed.

그러다가, 상기 지그 부재(150)가 정자세를 벗어나서 기울어지게 되면, 상기 각 홀 센서(173)는 복수 개의 상기 각 영구 자석(172) 중 각 중앙부의 것이 아닌 다른 것을 각각 감지하게 되고, 그에 따라 상기 접촉 감지 센서부(196)와 상기 감지 몸체(191)의 접촉 전의 미세한 기울어짐도 상기 각 홀 센서(173)에 의해 감지될 수 있게 된다.Then, when the jig member 150 is tilted out of the normal position, each hall sensor 173 senses something other than the central part of each of the plurality of permanent magnets 172, and accordingly the contact Even a slight inclination before the contact between the detection sensor unit 196 and the detection body 191 can be detected by the hall sensors 173.

상기 각 홀 센서(173)에 의해 감지된 정보는 상기 디스플레이 패널을 통해 상기 작업자에게 전달 가능하다.Information sensed by each hall sensor 173 can be transmitted to the operator through the display panel.

본 실시예에서는, 상기 제 1 날개(192) 및 상기 제 2 날개(193)의 각 말단부의 각 저면에서는, 누름 돌기(174)가 각각 돌출되고, 상기 각 누름 돌기(174) 중 하나가 상기 제 1 접촉 센서(197)와 상기 제 2 접촉 센서(198) 중 하나와 접촉되면서 상기 지그 부재(150)의 기울어짐이 감지될 수 있게 된다.In this embodiment, on each bottom surface of each distal end of the first wing 192 and the second wing 193, push protrusions 174 protrude respectively, and one of the push protrusions 174 is the first The inclination of the jig member 150 may be detected while being in contact with one of the first contact sensor 197 and the second contact sensor 198.

또한, 상기 각 경사형 연장체(185)에서 상기 제 1 접촉 센서(197) 및 상기 제 2 접촉 센서(198)의 각 하부 공간에 해당되는 부분에는, 일정 깊이로 함몰된 연장체 함몰 홀(175)이 각각 형성되고, 상기 각 연장체 함몰 홀(175)의 각 저면에는 저면 접촉 감지 센서(176)가 각각 설치된다. 그러면, 상기 지그 부재(150)에 외부 충격이 발생되어, 상기 감지부측 축(194)이 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(184) 중 최상측의 것에서 이탈되어 복수 개의 상기 축 걸림 돌기(184) 중 최상측의 것 바로 아래의 것으로 하강되어 걸리게 되는 경우, 상기 제 1 날개(192) 및 상기 제 2 날개(193)의 상기 각 누름 돌기(174)가 상기 제 1 접촉 센서(197) 및 상기 제 2 접촉 센서(198)를 누르게 되어, 상기 제 1 접촉 센서(197) 및 상기 제 2 접촉 센서(198)는 탄성 변형되면서 각각 상기 각 연장체 함몰 홀(175)의 각 저면을 향해 하강되고, 그에 따라 상기 제 1 접촉 센서(197) 및 상기 제 2 접촉 센서(198)가 상기 각 저면 접촉 감지 센서(176)에 접촉되어, 상기 지그 부재(150)에 충격이 가해졌음이 더욱 신뢰성있게 감지될 수 있게 된다.In addition, in each of the inclined extension bodies 185, portions corresponding to the respective lower spaces of the first contact sensor 197 and the second contact sensor 198 are provided with an extension depression hole 175 recessed at a predetermined depth. Each is formed, and the bottom contact detection sensor 176 is installed on each bottom surface of each of the extension recessed holes 175. Then, an external impact is generated on the jig member 150, and the sensing unit side shaft 194 is deviated from the uppermost one of the plurality of shaft locking projections 184, and thus the best of the plurality of shaft locking projections 184 When it is lowered and caught as the one directly below the side, the pressing protrusions 174 of the first wing 192 and the second wing 193 contact the first contact sensor 197 and the second contact As the sensor 198 is pressed, the first contact sensor 197 and the second contact sensor 198 are elastically deformed, and are respectively lowered toward each bottom surface of each of the extension recessed holes 175, and accordingly The first contact sensor 197 and the second contact sensor 198 contact each of the bottom contact detection sensors 176, so that it is possible to more reliably detect that an impact is applied to the jig member 150.

상기와 같이, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터(100)가 상기 필터 프레임 부재(110)와, 상기 필터 부재(120)를 포함하고, 상기 필터 부재(120)가 패널 형태의 상기 필터 원재(121)가 복수 장 적층되어, 상기 미리 설정된 압력으로 가압되면서 압축된 상태로, 상기 미리 설정된 형태로 절단되는 방식으로 제조됨에 따라, 다양한 필터 요구 형태에 범용적으로 대응할 수 있으면서도, 알갱이의 임의 이탈 등의 오염이 방지될 수 있게 된다.As described above, the air filter 100 for semiconductor and display panel manufacturing equipment includes the filter frame member 110 and the filter member 120, and the filter member 120 is the panel-type filter raw material. A plurality of 121 are stacked, and compressed in a compressed state while being pressurized at the preset pressure, and manufactured in a manner to be cut in the preset form, while being able to universally respond to various filter demand forms, randomly leaving the grains Pollution of the back can be prevented.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터 및 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 제조를 위한 에어 필터 제조 장치에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.Hereinafter, an air filter manufacturing apparatus for manufacturing an air filter for semiconductor and display panel manufacturing facilities and an air filter for manufacturing semiconductor and display panel manufacturing facilities according to another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In carrying out such a description, a description overlapping with the contents already described in one embodiment of the present invention will be replaced with it, and will be omitted here.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 일부를 확대한 단면도이다.9 is an enlarged cross-sectional view of a part of an air filter for semiconductor and display panel manufacturing facilities according to another embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터는 에어 바이패스 토출 부재(230)와, 에어 수용 고정 부재(240)를 더 포함한다.Referring to FIG. 9, the air filter for semiconductor and display panel manufacturing facilities according to the present embodiment further includes an air bypass discharge member 230 and an air receiving and fixing member 240.

상기 에어 바이패스 토출 부재(230)는 프레임 본체(211)와 필터 걸림단(212)에 걸쳐 관통된 형태로 형성되어, 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어 중의 일부가 바이패스 유동된 다음 필터 부재(220)와 상기 필터 걸림단(212) 사이로 토출되도록 하는 것으로, 에어 바이패스 인입구(231)와, 에어 유동 방향 변화홀(232)과, 에어 토출구(233)를 포함한다.The air bypass discharge member 230 is formed in a form penetrated across the frame body 211 and the filter engaging end 212, and then a part of the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing equipment is bypassed and then filtered It is to be discharged between the member 220 and the filter engaging end 212, and includes an air bypass inlet 231, an air flow direction changing hole 232, and an air outlet 233.

상기 에어 바이패스 인입구(231)는 상기 프레임 본체(211) 중 상기 필터 부재(220)가 결합된 면 중 상기 필터 부재(220)와 일정 간격 이격된 지점에 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터로 향하는 에어 중의 일부가 인입되는 것이다.The air bypass inlet 231 is formed at a point spaced apart from the filter member 220 among the surface of the frame body 211 to which the filter member 220 is coupled, the semiconductor and display panel manufacturing equipment Part of the air to the dragon air filter is drawn.

상기 에어 유동 방향 변화홀(232)은 상기 에어 바이패스 인입구(231)와 연결되면서 상기 프레임 본체(211)와 상기 필터 걸림단(212)을 순차적으로 관통하도록 형성되되, 상기 에어 바이패스 인입구(231)를 통해 인입된 에어의 유동 방향이 상기 필터 부재(220)와 상기 필터 걸림단(212) 사이를 향하도록 상기 에어 바이패스 인입구(231)를 통해 인입된 에어의 유동 방향을 변경시키는 것이다.The air flow direction change hole 232 is formed to sequentially pass through the frame body 211 and the filter engaging end 212 while being connected to the air bypass inlet 231, and the air bypass inlet 231 ) To change the flow direction of the air drawn through the air bypass inlet 231 so that the flow direction of the air drawn through) is directed between the filter member 220 and the filter engaging end 212.

상기 에어 유동 방향 변화홀(232)은 곡선 단면의 갈고리 형태로 형성될 수 있다.The air flow direction changing hole 232 may be formed in a hook shape of a curved cross section.

상기 에어 토출구(233)는 상기 에어 유동 방향 변화홀(232)의 말단과 연결되면서 상기 필터 걸림단(212)에 형성되어, 상기 에어 유동 방향 변화홀(232)을 통해 유동된 에어가 상기 필터 부재(220)와 상기 필터 걸림단(212) 사이로 토출되도록 하는 것이다.The air outlet 233 is formed at the filter engaging end 212 while being connected to the end of the air flow direction changing hole 232, so that the air flowing through the air flow direction changing hole 232 is the filter member It is to be discharged between the 220 and the filter engaging end 212.

상기 에어 수용 고정 부재(240)는 상기 필터 부재(220)가 함몰된 형태로 형성되되, 상기 에어 바이패스 토출 부재(230)의 말단과 연통되도록 형성되면서, 상기 프레임 본체(211)를 향해 경사진 형태로 형성됨으로써, 상기 에어 바이패스 토출 부재(230)에 의해 토출된 에어의 압력에 의해, 상기 필터 부재(220)가 상기 프레임 본체(211) 쪽으로 밀리면서 고정되도록 하는 것으로, 에어 수용 인입구(241)와, 경사 형태 고정홀(242)을 포함한다.The air receiving fixing member 240 is formed in a recessed form of the filter member 220, is formed to communicate with the end of the air bypass discharge member 230, inclined toward the frame body 211 By being formed in the form, by the pressure of the air discharged by the air bypass discharge member 230, the filter member 220 is pushed toward the frame body 211, so as to be fixed, the air receiving inlet 241 ) And an inclined shape fixing hole 242.

상기 에어 수용 인입구(241)는 상기 필터 부재(220) 중 상기 필터 걸림단(212)과 대면되는 면에 형성되되, 상기 에어 토출구(233)와 연통되도록 형성되고, 상기 에어 토출구(233)에 비해 상대적으로 더 넓게 형성되어, 상기 에어 토출구(233)를 통해 토출된 에어가 인입되는 것이다.The air receiving inlet 241 is formed on a surface of the filter member 220 that faces the filter engaging end 212, and is formed to communicate with the air outlet 233, compared to the air outlet 233 It is formed to be relatively wide, and the air discharged through the air discharge port 233 is drawn in.

상기 에어 수용 인입구(241)가 상기 에어 토출구(233)에 비해 상대적으로 더 넓게 형성됨에 따라, 상기 에어 토출구(233)를 통해 토출된 에어가 상기 에어 수용 인입구(241)로 원활하게 인입될 수 있게 된다.As the air receiving inlet 241 is formed to be relatively wider than the air outlet 233, air discharged through the air outlet 233 can be smoothly drawn into the air receiving inlet 241. do.

상기 경사 형태 고정홀(242)은 상기 에어 수용 인입구(241)와 연통되면서 상기 필터 부재(220)의 내부 쪽으로 함몰된 형태로 이루어지되, 상기 필터 부재(220)의 내부 쪽으로 갈수록 상기 프레임 본체(211)를 향하도록 경사진 형태로 형성되는 것이다.The inclined shape fixing hole 242 is formed in a shape recessed toward the inside of the filter member 220 while communicating with the air receiving inlet 241, but toward the inside of the filter member 220, the frame body 211 It is formed in an inclined shape to face).

상기 경사 형태 고정홀(242)은 상기 에어 수용 인입구(241)로부터 상기 프레임 본체(211)를 향해 경사진 선형 단면 형태의 일정 길이의 홀로 형성된다.The inclined fixing hole 242 is formed as a hole having a predetermined length in a linear cross-sectional shape inclined from the air receiving inlet 241 toward the frame body 211.

상기와 같이 구성되면, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터로 향하는 에어 중의 일부가 상기 에어 바이패스 인입구(231)를 통해 인입된 다음, 상기 에어 유동 방향 변화홀(232)을 통해 유동되면서 상기 필터 부재(220)와 상기 필터 걸림단(212) 사이를 향하도록 유동 방향이 변화된 상태로, 상기 에어 토출구(233)를 통해 토출되고, 상기 에어 토출구(233)를 통해 토출된 에어가 상기 에어 수용 인입구(241)를 통해 인입되어 상기 경사 형태 고정홀(242)의 내부로 인입됨으로써, 상기 경사 형태 고정홀(242)의 내부로 인입된 에어의 압력에 의해, 상기 필터 부재(220)가 상기 프레임 본체(211) 쪽으로 밀리면서 고정될 수 있게 된다. 따라서, 상기 필터 부재(220)와 상기 프레임 본체(211)의 결합력이 증대되어, 상기 필터 부재(220)의 임의적인 이탈이 방지될 수 있게 된다.When configured as described above, a portion of the air directed to the air filter for the semiconductor and display panel manufacturing facility is drawn through the air bypass inlet 231 and then flows through the air flow direction changing hole 232. The air discharged through the air outlet 233 and the air discharged through the air outlet 233 while the flow direction is changed so as to face between the filter member 220 and the filter engaging end 212, the air is accommodated The filter member 220 is inserted into the frame by the pressure of air introduced through the inlet 241 and introduced into the inside of the inclined shape fixing hole 242, thereby being introduced into the inside of the inclined shape fixing hole 242. It can be fixed while pushing toward the body 211. Accordingly, the coupling force between the filter member 220 and the frame body 211 is increased, so that arbitrary separation of the filter member 220 can be prevented.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.Although the present invention has been illustrated and described with respect to specific embodiments, those skilled in the art variously modify the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. And can be changed. However, it is intended to clarify that all such modifications and variations are included within the scope of the present invention.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터 및 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터의 제조를 위한 에어 필터 제조 장치에 의하면, 다양한 필터 요구 형태에 범용적으로 대응할 수 있으면서도, 알갱이의 임의 이탈 등의 오염이 방지될 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.According to the air filter for manufacturing semiconductor and display panel manufacturing facilities and the air filter manufacturing apparatus for manufacturing the air filter for semiconductor and display panel manufacturing facilities according to an aspect of the present invention, it is possible to universally respond to various filter demand forms, Since it is possible to prevent contamination such as random escape of the grain, it is said that the industrial availability is high.

100 : 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터
110 : 필터 프레임 부재
120 : 필터 부재
150 : 지그 부재
160 : 가압 수단
170 : 정자세 감지 부재100: air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment
110: filter frame member
120: filter member
150: jig member
160: pressing means
170: No posture detection

Claims (5)

반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터에 있어서,
반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 결합되는 필터 프레임 부재; 및
상기 필터 프레임 부재에 결합되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어 중의 이물질을 제거하는 필터 부재;를 포함하고,
상기 필터 부재는 패널 형태의 필터 원재가 복수 장 적층되어, 미리 설정된 압력으로 가압되면서 압축된 상태로, 미리 설정된 형태로 절단됨으로써 제조되고,
상기 필터 프레임 부재는
상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에 결합되는 프레임 본체와,
상기 프레임 본체를 관통한 형태로 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어가 관통될 수 있는 에어 관통 중공과,
상기 프레임 본체 중 상기 에어 관통 중공의 주변 부분에 형성되되, 상기 프레임 본체의 다른 부분에 비해 상대적으로 낮게 단턱진 형태로 형성됨으로써, 상기 필터 부재의 외곽 부분이 걸리면서 상기 필터 부재가 상기 프레임 본체에 연결되도록 하는 필터 걸림단을 포함하고,
상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터는
상기 프레임 본체와 상기 필터 걸림단에 걸쳐 관통된 형태로 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비에서 유동되는 에어 중의 일부가 바이패스 유동된 다음 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이로 토출되도록 하는 에어 바이패스 토출 부재; 및
상기 필터 부재가 함몰된 형태로 형성되되, 상기 에어 바이패스 토출 부재의 말단과 연통되도록 형성되면서, 상기 프레임 본체를 향해 경사진 형태로 형성됨으로써, 상기 에어 바이패스 토출 부재에 의해 토출된 에어의 압력에 의해, 상기 필터 부재가 상기 프레임 본체 쪽으로 밀리면서 고정되도록 하는 에어 수용 고정 부재;를 포함하고,
상기 에어 바이패스 토출 부재는
상기 프레임 본체 중 상기 필터 부재가 결합된 면 중 상기 필터 부재와 일정 간격 이격된 지점에 형성되어, 상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터로 향하는 에어 중의 일부가 인입되는 에어 바이패스 인입구와,
상기 에어 바이패스 인입구와 연결되면서 상기 프레임 본체와 상기 필터 걸림단을 순차적으로 관통하도록 형성되되, 상기 에어 바이패스 인입구를 통해 인입된 에어의 유동 방향이 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이를 향하도록 상기 에어 바이패스 인입구를 통해 인입된 에어의 유동 방향을 변경시키는 에어 유동 방향 변화홀과,
상기 에어 유동 방향 변화홀과 연결되면서 상기 필터 걸림단에 형성되어, 상기 에어 유동 방향 변화홀을 통해 유동된 에어가 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이로 토출되도록 하는 에어 토출구를 포함하고,
상기 에어 수용 고정 부재는
상기 필터 부재 중 상기 필터 걸림단과 대면되는 면에 형성되되, 상기 에어 토출구와 연통되도록 형성되고, 상기 에어 토출구에 비해 상대적으로 더 넓게 형성되어, 상기 에어 토출구를 통해 토출된 에어가 인입되는 에어 수용 인입구와,
상기 에어 수용 인입구와 연통되면서 상기 필터 부재의 내부 쪽으로 함몰된 형태로 이루어지되, 상기 필터 부재의 내부 쪽으로 갈수록 상기 프레임 본체를 향하도록 경사진 형태로 형성되는 경사 형태 고정홀을 포함하고,
상기 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터로 향하는 에어 중의 일부가 상기 에어 바이패스 인입구를 통해 인입된 다음, 상기 에어 유동 방향 변화홀을 통해 유동되면서 상기 필터 부재와 상기 필터 걸림단 사이를 향하도록 유동 방향이 변화된 상태로, 상기 에어 토출구를 통해 토출되고,
상기 에어 토출구를 통해 토출된 에어가 상기 에어 수용 인입구를 통해 인입되어 상기 경사 형태 고정홀의 내부로 인입됨으로써, 상기 경사 형태 고정홀의 내부로 인입된 에어의 압력에 의해, 상기 필터 부재가 상기 프레임 본체 쪽으로 밀리면서 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터.In the air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment,
A filter frame member coupled to the semiconductor and display panel manufacturing facilities; And
Includes a filter member coupled to the filter frame member to remove foreign matter in the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing equipment;
The filter member is produced by stacking a plurality of filter raw materials in a panel form, and being cut in a compressed form while being compressed under a predetermined pressure,
The filter frame member
A frame body coupled to the semiconductor and display panel manufacturing equipment,
It is formed in a form penetrating the frame body, the air through the hollow to flow through the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing equipment,
It is formed on the periphery of the air-permeable hollow among the frame bodies, and is formed in a stepped shape relatively low compared to other parts of the frame body, so that the outer portion of the filter member is caught while the filter member is connected to the frame body. It includes a filter locking end to ensure,
The air filter for the semiconductor and display panel manufacturing equipment is
It is formed in a form penetrating across the frame body and the filter engaging end, so that some of the air flowing in the semiconductor and display panel manufacturing equipment is bypassed and then discharged between the filter member and the filter engaging end. Pass discharge member; And
The filter member is formed in a recessed shape, and is formed to be in communication with the end of the air bypass discharge member, and is formed in an inclined shape toward the frame body, so that the pressure of the air discharged by the air bypass discharge member By, the air receiving fixing member to ensure that the filter member is fixed while pushing toward the frame body; includes,
The air bypass discharge member
An air bypass inlet formed at a point spaced apart from the filter member at a predetermined distance among the surfaces of the frame body where the filter member is coupled, and in which a part of the air directed to the air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment is introduced;
While being connected to the air bypass inlet, it is formed to sequentially pass through the frame body and the filter engaging end, so that the flow direction of air drawn through the air bypass inlet faces between the filter member and the filter engaging end. An air flow direction change hole for changing a flow direction of air introduced through the air bypass inlet,
It is connected to the air flow direction changing hole is formed in the filter engaging end, and includes an air outlet for allowing air flowing through the air flow direction changing hole to be discharged between the filter member and the filter engaging end,
The air receiving fixing member
It is formed on a surface facing the filter engaging end of the filter member, is formed to communicate with the air outlet, is formed relatively wider than the air outlet, the air receiving inlet through which the air discharged through the air outlet is drawn in Wow,
While being in communication with the air receiving inlet, it is formed in a recessed shape toward the inside of the filter member, and includes an inclined fixing hole formed in an inclined shape toward the frame body toward the inside of the filter member,
A portion of the air directed to the air filter for the semiconductor and display panel manufacturing facility is drawn through the air bypass inlet and then flows through the air flow direction changing hole to flow between the filter member and the filter engaging end. With the direction changed, it is discharged through the air outlet,
The air discharged through the air discharge port is drawn through the air receiving inlet and is introduced into the inclined type fixing hole, so that the filter member is directed toward the frame body by the pressure of air drawn into the inclined type fixing hole. Air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment, which can be fixed while being pushed. 제 1 항에 있어서,
상기 필터 원재는 니켈 폼(Nickel foam)인 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터.According to claim 1,
The filter material is an air filter for semiconductor and display panel manufacturing equipment, characterized in that the nickel foam (Nickel foam). 삭제delete 삭제delete 복수 장 적층된 필터 원재가 올려지는 지그 부재;
반도체 및 디스플레이 패널 제조 설비용 에어 필터가 제조될 수 있도록, 상기 지그 부재에 올려진 복수 장 적층된 상기 필터 원재를 가압하여, 복수 장 적층된 상기 필터 원재를 압축시키는 가압 수단; 및
상기 지그 부재에 장착되고, 상기 지그 부재가 미리 설정된 정자세를 유지하는지 여부를 감지할 수 있는 정자세 감지 부재;를 포함하고,
상기 정자세 감지 부재는
상기 정자세 감지 부재의 외곽을 형성하는 감지 본체부와,
상기 지그 부재의 정자세 여부를 감지할 수 있는 감지부와,
상기 감지 본체부의 내부에 배치되고, 상기 감지부와의 접촉을 감지하는 접촉 감지 센서부를 포함하고,
상기 감지 본체부는
그 단면이 타원 형태로 형성되면서 그 내부에 일정 공간이 형성된 본체측 케이스와,
상기 본체측 케이스의 중앙부에서 일정 깊이 함몰된 함몰부와,
상기 본체측 케이스의 일측부 및 타측부에서 상기 함몰부 쪽으로 각각 일정 길이 연장된 한 쌍의 경사형 연장체를 포함하고,
상기 함몰부는 상기 본체측 케이스의 전면 및 후면에서 한 쌍이 서로 대면되며 형성되고,
상기 감지부는
복수 개가 이격되면서 서로 다른 방향으로 돌출 형성된 감지 몸체와,
상기 감지 몸체의 중앙부에서 상기 함몰부 쪽으로 돌출되어 한 쌍의 상기 함몰부에 각각 삽입되는 감지부측 축과,
상기 감지 몸체가 중력 방향을 향하도록 상기 감지 몸체에 무게를 부여하는 것으로 상기 감지 몸체의 중심에서 중력 방향으로 일정 길이 돌출되는 무게추를 포함하고,
상기 감지 몸체는
한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 일측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 1 날개와,
한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 타측에 형성된 것에서 상공으로 일정 높이 이격된 위치에 형성된 제 2 날개를 포함하고,
상기 접촉 감지 센서부는
한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 1 접촉 센서와,
한 쌍의 상기 경사형 연장체 중 다른 하나의 상기 경사형 연장체의 상측 경사면에서 돌출되도록 설치되는 제 2 접촉 센서를 포함하고,
상기 지그 부재가 정자세를 벗어나 기울어지게 되면, 상기 감지 몸체에 상기 제 1 접촉 센서 또는 상기 제 2 접촉 센서가 접촉됨으로써, 상기 지그 부재가 기울어진 것이 감지될 수 있게 되고,
상기 지그 부재가 일 방향으로 기울어지게 되면, 상기 감지 본체부도 일 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 1 날개와 상기 제 1 접촉 센서가 접촉되고, 상기 지그 부재가 타 방향으로 기울어지게 되면 상기 감지 본체부도 타 방향으로 기울어지게 되면서 상기 제 2 날개와 상기 제 2 접촉 센서가 접촉되는 것을 특징으로 하는 에어 필터 제조 장치.A jig member on which a plurality of filter raw materials are stacked;
Pressurizing means for pressing the plurality of stacked filter raw materials placed on the jig member to compress the plurality of stacked filter raw materials so that air filters for semiconductor and display panel manufacturing facilities can be manufactured; And
Included in the jig member is mounted on the jig member, a posture sensing member that can detect whether or not to maintain a predetermined posture;
The posture sensing member is
A sensing body part forming an outer periphery of the positive attitude sensing member,
A sensing unit capable of detecting whether the jig member is in a standing position,
It is disposed inside the sensing body portion, and includes a touch sensing sensor unit that detects contact with the sensing unit,
The sensing body portion
When the cross-section is formed in the shape of an ellipse, a body-side case having a certain space therein,
A depression recessed at a predetermined depth in the center of the case on the main body side,
And a pair of inclined extensions each extending a predetermined length from one side and the other side of the main body side case toward the depression,
The depression portion is formed by facing a pair of each other at the front and rear of the case on the main body side,
The sensing unit
As the plurality of spaced apart detection bodies formed in different directions,
A shaft on the sensing unit side protruding from the central portion of the sensing body toward the recess, and inserted into the pair of recesses,
Weighting the sensing body so that the sensing body faces the direction of gravity includes a weight that protrudes a certain length from the center of the sensing body in the direction of gravity,
The sensing body
A first wing formed at a position spaced apart a predetermined height upward from one formed on one side of the pair of inclined extensions;
A pair of the inclined elongated body includes a second wing formed at a predetermined height spaced apart from the one formed on the other side,
The touch sensor unit
A first contact sensor installed to protrude from an upper inclined surface of the inclined extension of one of the pair of inclined extensions;
And a second contact sensor installed to protrude from an upper inclined surface of the other inclined extension of the pair of inclined extensions,
When the jig member is tilted out of the normal position, the first contact sensor or the second contact sensor is brought into contact with the sensing body, whereby the inclination of the jig member can be detected.
When the jig member is inclined in one direction, the sensing body part is also inclined in one direction, and the first wing and the first contact sensor are in contact, and when the jig member is inclined in the other direction, the sensing body part is also Air filter manufacturing apparatus, characterized in that the second blade and the second contact sensor is in contact while being inclined in the direction.
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