KR102098661B1

KR102098661B1 - Damping Device

Info

Publication number: KR102098661B1
Application number: KR1020170092019A
Authority: KR
Inventors: 최만식
Original assignee: 최만식
Priority date: 2017-07-20
Filing date: 2017-07-20
Publication date: 2020-04-08
Also published as: KR20190010765A

Abstract

본 발명은 제진장치에 관한 것으로, 본 발명의 일실시예에 따르면 제진대상물이 안착 되는 테이블을 지지하는 이동판이 공기의 압력으로 지지됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 하중 또는 변위 발생시 이동판에 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있을 뿐만 아니라, 고무와 철판이 반복적으로 교번되게 배치된 완충부재가 상부플레이트와 하부플레이트 사이에 구비됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 진동이나 충격을 감쇠하여 신속하게 안정시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention relates to a vibration damping device, and according to an embodiment of the present invention, a moving plate supporting a table on which a vibration damping object is seated is supported by air pressure, thereby preventing microscopic vibration and being transmitted to the moving plate when a load or displacement occurs. In addition to being able to block vibration or shock, a buffer member in which rubber and iron plates are alternately arranged is provided between the upper plate and the lower plate, thereby preventing micro-vibration and quickly stabilizing by damping vibration or shock. It has an effect.

Description

Damping Device

본 발명은 제진장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 현미경과 같은 정밀기기의 하중이 변화한다든지 설치위치가 이동됨에 따른 정밀기기의 편중하중이 작용한다 해도 자동적으로 작업테이블의 수평을 유지시켜 주며 진동을 흡수할 수 있는 제진(除振)장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vibration control device, and more specifically, even if the load of a precision device such as a microscope changes or the bias load of the precision device acts as the installation position is moved, the work table is automatically maintained horizontally. It relates to a vibration damping device capable of absorbing vibration.

최근 반도체 장비나 의료기기, 고밀도의 나노 광학 현미경, 주사 탐침 현미경, 원자 현미경 등의 첨단장비와 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 진동을 차단하는 제진 시스템(Vibration Isolation System)에 대한 연구가 활성화되고 있다.In recent years, semiconductor equipment, medical devices, high-density nano-optical microscopes, scanning probe microscopes, atomic microscopes, and cutting-edge equipment and display industries, etc., require ultra-precision processing and measurement. Research is being activated.

특히, 제진장치는 미세한 진동에도 오작동을 일으키는 초정밀장비에 설치되어 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 제거하게 된다.In particular, the vibration isolator is installed in ultra-precision equipment that causes malfunction even in minute vibrations to eliminate external vibration or self-vibration caused by the operation of the equipment.

즉, 제진장치는 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 제거하는 것으로, 초정밀장비가 정확한 측정을 할 수 있도록 초정밀장비가 놓이는 작업테이블의 수평을 유지시켜 주며 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 흡수하게 된다.In other words, the vibration control device removes external vibration or self-vibration caused by the operation of the equipment. It maintains the level of the work table placed by the high-precision equipment so that the high-precision equipment can accurately measure it. It absorbs its own vibration.

일 예로 대한민국 등록특허 제10-0930357호(2009.12.08. 공고)를 살펴보면, 외부의 진동을 제거하는 스프링 타입의 제진테이블이 개시되어 있다.As an example, looking at the Republic of Korea Patent Registration No. 10-0930357 (2009.12.08. Announcement), a spring type vibration damping table for removing external vibration is disclosed.

그러나, 종래의 제진테이블은 다양한 세기의 진동을 차단할 수 없으며, 진동 발생시 수평을 유지하는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.However, the conventional damping table cannot block vibrations of various strengths, and there is a problem that it takes a lot of time to maintain the level when vibration occurs.

대한민국 등록특허 제10-0930357호(2009.12.08. 공고)Republic of Korea Registered Patent No. 10-0930357 (2009.12.08. Announcement)

이에 본 발명은 전술한 배경에서 안출된 것으로, 제진대상물이 안착 되는 테이블을 지지하는 이동판이 공기의 압력으로 지지됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 하중 또는 변위 발생시 이동판에 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있는 제진장치을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention is devised in the above-described background, and the moving plate supporting the table on which the damping object is seated is supported by air pressure, thereby blocking micro-vibration and preventing vibration or shock transmitted to the moving plate when a load or displacement occurs. The purpose is to provide a vibration damping device.

또한, 고무와 철판이 반복적으로 교번되게 배치된 완충부재가 상부플레이트와 하부플레이트 사이에 구비됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 진동이나 충격을 감쇠하여 신속하게 안정시킬 수 있는 제진장치을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, by providing a buffer member in which rubber and iron plates are alternately arranged alternately between the upper plate and the lower plate, it is possible to block micro-vibration and to provide a vibration damping device capable of quickly stabilizing by dampening vibration or shock. have.

또한, 이동판의 흔들림방지부가 외부고정판의 지지돌기부에 구비된 탄성부재에 탄성 지지됨으로써, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있는 제진장치을 제공하는데 그 목적이 있다.In addition, it is an object of the present invention to provide a vibration damping device capable of dampening vibration or shock when displacement occurs in the horizontal direction by preventing the shaking by being elastically supported by an elastic member provided on the supporting projection of the external fixing plate.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일실시예는 하부플레이트와, 상하로 관통되는 관통공이 형성되어 상기 하부플레이트의 상부에 배치되는 상부플레이트와, 내부에 공간부가 형성되도록 다수 개의 고무와 철판이 반복적으로 적층되며, 상기 하부플레이트가 상기 공간부의 개구된 하측을 밀폐시키고 상기 상부플레이트의 관통공이 상기 공간부의 개구된 상측과 연통되도록 상기 하부플레이트와 상기 상부플레이트 사이에 설치되어 상기 상, 하부플레이트로 전해지는 진동을 완화시키는 완충부재를 포함하는 본체; 상기 상부플레이트의 수직 상부에서 상기 상부플레이트와 이격된 구조를 갖도록 배치되는 이동판을 포함하는 받침대; 상기 받침대가 상기 본체의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 상기 받침대에 결합되고, 상기 공간부를 밀폐시키도록 상기 상부플레이트에 결합되는 고무판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 제진장치를 제공한다.In order to achieve this object, one embodiment of the present invention is a lower plate, a through hole that penetrates up and down is formed, an upper plate disposed on the upper portion of the lower plate, and a plurality of rubber and iron plates are repeatedly formed to form a space therein. Stacked, and the lower plate is sealed between the lower plate and the upper plate so that the through hole of the upper plate communicates with the opened upper side of the space portion. The main body including a buffer member for damping vibration; A support including a moving plate disposed to have a structure spaced apart from the upper plate at a vertical upper portion of the upper plate; It provides a vibration damping device comprising: a rubber plate coupled to the pedestal so that the pedestal can move up and down in accordance with the internal pressure of the main body and coupled to the upper plate to seal the space.

또한, 본 발명에서 상기 완충부재는, 내부에 상하로 개구된 공간부가 형성되도록 링 형상으로 형성되는 다수 개의 고무와 링형상으로 형성되는 다수 개의 철판이 반복적으로 적층되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the buffer member is characterized in that a plurality of rubber plates formed in a ring shape and a plurality of iron plates formed in a ring shape are repeatedly stacked so that a space portion opened up and down is formed therein.

또한, 본 발명에서 상기 본체는, 상기 상부플레이트의 상측면에 결합되어 상기 고무판을 고정시키는 외부고정판;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the main body is coupled to the upper side of the upper plate, characterized in that it comprises; an external fixing plate for fixing the rubber plate.

또한, 본 발명에서 상기 외부고정판은, 상측면에 돌출 형성되며, 외측면에 탄성부재가 구비되는 지지돌기부;를 포함하며, 상기 이동판은, 상기 지지돌기부를 감싸도록 하측면에 돌출 형성되어 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있도록 상기 탄성부재에 탄성 지지되는 흔들림방지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the external fixing plate is formed to protrude on the upper side, and includes a supporting protrusion provided with an elastic member on the outer surface. The moving plate is formed to protrude on the lower side so as to surround the supporting protrusion. It characterized in that it comprises a; anti-shaking portion elastically supported on the elastic member so as to prevent vibration by damping vibration or shock when displacement occurs in the direction.

또한, 본 발명에서 상기 본체는, 상기 공간부를 상하로 구획하며, 내부 압력에 따라 공기가 상하 방향으로 이동할 수 있도록 공기이동통로가 형성되는 내부고정판;을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the main body is characterized in that it comprises; an inner fixing plate that divides the space portion up and down, and an air movement passage is formed to allow air to move in the up and down direction according to the internal pressure.

또한, 본 발명에서 상기 내부고정판은, 상하로 관통되는 가이드홀이 형성되고, 상기 받침대는, 상기 이동판의 하부에 결합되어 상기 가이드홀에 상하로 슬라이딩 가능하게 삽입되는 가이드부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the inner fixing plate, a guide hole is formed that penetrates up and down, the base is coupled to the lower portion of the moving plate, the guide member is slidably inserted into the guide hole vertically; It is characterized by.

본 발명의 일실시예에 의하면, 제진대상물이 안착 되는 테이블을 지지하는 이동판이 공기의 압력으로 지지됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 하중 또는 변위 발생시 이동판에 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있는 효과가 있다.According to an embodiment of the present invention, the moving plate supporting the table on which the damping object is seated is supported by air pressure, thereby blocking micro-vibration and preventing vibration or shock transmitted to the moving plate when a load or displacement occurs. There is.

또한, 고무와 철판이 반복적으로 교번되게 배치된 완충부재가 상부플레이트와 하부플레이트 사이에 구비됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 진동이나 충격을 감쇠하여 신속하게 안정시킬 수 있는 효과가 있다.In addition, a buffer member in which rubber and iron plates are alternately arranged alternately is provided between the upper plate and the lower plate, thereby blocking micro-vibration and attenuating vibration or shock, thereby stabilizing quickly.

또한, 이동판의 흔들림방지부가 외부고정판의 지지돌기부에 구비된 탄성부재에 탄성 지지됨으로써, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, the anti-shake portion of the moving plate is elastically supported by the elastic member provided in the support protrusion of the external fixing plate, thereby preventing vibration by damping vibration or shock when displacement occurs in the horizontal direction.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 사시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 분해 사시도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 정단면도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 평단면도 이다.1 is a perspective view of a vibration control device according to an embodiment of the present invention,
Figure 2 is an exploded perspective view of a vibration damping device according to an embodiment of the present invention,
Figure 3 is a front sectional view of a vibration damping device according to an embodiment of the present invention,
4 is a top cross-sectional view of a vibration damping device according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail through exemplary drawings. It should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing the present invention, when it is determined that detailed descriptions of related well-known configurations or functions may obscure the subject matter of the present invention, detailed descriptions thereof will be omitted.

또한, 본 발명의 구성요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, but another component between each component It should be understood that elements may be "connected", "coupled" or "connected".

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 사시도, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 분해 사시도, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 정단면도,도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 평단면도 이다.1 is a perspective view of an anti-vibration device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of an anti-vibration device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a front sectional view of the anti-vibration device according to an embodiment of the present invention. It is a top cross-sectional view of a vibration damping device according to an embodiment of the present invention.

이들 도면들에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치는, 하부플레이트(110)와, 상하로 관통되는 관통공(122)이 형성되어 하부플레이트(110)의 상부에 배치되는 상부플레이트(120)와, 내부에 공간부(136)가 형성되도록 다수 개의 고무(132)와 철판(134)이 반복적으로 적층되며, 하부플레이트(110)가 공간부(136)의 개구된 하측을 밀폐시키고 상부플레이트(120)의 관통공(122)이 공간부(136)의 개구된 상측과 연통되도록 하부플레이트(110)와 상부플레이트(120) 사이에 설치되어 상, 하부플레이트(120, 110)로 전해지는 진동을 완화시키는 완충부재(130)를 포함하는 본체(100); 상부플레이트(120)의 수직 상부에서 상부플레이트(120)와 이격된 구조를 갖도록 배치되는 이동판(210)을 포함하는 받침대(200); 받침대(200)가 본체(100)의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 받침대(200)에 결합되고, 공간부(136)를 밀폐시키도록 상부플레이트(120)에 결합되는 고무판(300);을 포함한다.As shown in these drawings, the vibration isolating device according to an embodiment of the present invention, the lower plate 110 and the through-hole 122 penetrating up and down is formed is disposed on the upper portion of the lower plate 110 The upper plate 120 and the plurality of rubbers 132 and the iron plate 134 are repeatedly stacked so that the space portion 136 is formed therein, and the lower plate 110 covers the opened lower side of the space portion 136. Sealed and installed between the lower plate 110 and the upper plate 120 so that the through hole 122 of the upper plate 120 communicates with the opened upper side of the space 136, the upper and lower plates 120, 110. Body 100 including a buffer member 130 to dampen the vibration transmitted to; A base 200 including a moving plate 210 disposed to have a structure spaced apart from the upper plate 120 in a vertical upper portion of the upper plate 120; A rubber plate 300 coupled to the pedestal 200 so that the pedestal 200 can move up and down according to the internal pressure of the main body 100, and coupled to the upper plate 120 to seal the space 136; It includes.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본체(100)는 하부플레이트(110), 상부플레이트(120), 완충부재(130), 내부고정판(140) 및 외부고정판(150)을 포함한다.1 to 4, the main body 100 includes a lower plate 110, an upper plate 120, a buffer member 130, an inner fixing plate 140 and an outer fixing plate 150.

하부플레이트(110)는 평판 형상으로 형성되며, 공간부(136)의 개구된 하측을 밀폐시키도록 완충부재(130)의 하측 단부에 결합된다. The lower plate 110 is formed in a flat shape, and is coupled to the lower end of the buffer member 130 to seal the opened lower side of the space portion 136.

이때, 하부플레이트(110)는 에어펌프와 연결되는 공기유입구(112)가 일측에 형성되고, 공기유입구(112)로 공급되는 공기가 공간부(136)로 공급되도록 공기유입구(112)와 연통되는 공기유출구(114)가 상측에 형성된다.At this time, the lower plate 110, the air inlet 112 is connected to the air pump is formed on one side, the air supplied to the air inlet 112 is communicated with the air inlet 112 so that the air is supplied to the space 136 The air outlet port 114 is formed on the upper side.

또한, 하부플레이트(110)는 볼트 등 체결부재를 통해 바닥 구조물에 고정될 수 있도록 상하로 관통되는 체결홀(116)이 하나 이상 형성된다.In addition, the lower plate 110 is formed with at least one fastening hole 116 that penetrates up and down to be fixed to the floor structure through a fastening member such as a bolt.

완충부재(130)는 내부에 상하로 개구된 공간부(136)가 형성되도록 다수 개의 고무(132)와 철판(134)이 반복적으로 교번되게 적층되며, 하부플레이트(110)가 공간부(136)의 개구된 하측을 밀폐시키고 상부플레이트(120)의 관통공(122)이 공간부(136)의 개구된 상측과 연통되도록 하부플레이트(110)와 상부플레이트(120) 사이에 설치되어 하부플레이트(110)와 상부플레이트(120)로 전해지는 진동을 완화시키게 된다.The buffer member 130 is a plurality of rubber 132 and the iron plate 134 are repeatedly stacked alternately so that the space portion 136 is opened up and down in the interior, the lower plate 110 is the space portion 136 It is installed between the lower plate 110 and the upper plate 120 so as to seal the opened lower side of the upper portion and allow the through hole 122 of the upper plate 120 to communicate with the opened upper side of the space 136. ) And the vibration transmitted to the upper plate 120 is alleviated.

이와 같은 완충부재(130)는 내부에 상하로 개구된 공간부(136)가 형성되도록 링 형상으로 형성되는 다수 개의 고무(132)와 링형상으로 형성되는 다수 개의 철판(134)이 반복적으로 적층되는 것으로, 전체적으로는 고무(132)에 의해 감싸진 구조로 이루어진다.The shock absorbing member 130 is repeatedly stacked with a plurality of rubbers 132 formed in a ring shape and a plurality of iron plates 134 formed in a ring shape so that a space portion 136 opened up and down is formed therein. As a whole, it is made of a structure wrapped by rubber 132 as a whole.

즉, 완충부재(130)는 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 수직방향 또는 수평방향으로 발생하는 자체진동을 감쇠시키게 된다.That is, the shock absorbing member 130 attenuates self-vibration generated in the vertical or horizontal direction depending on the external vibration or the operation of the equipment.

여기서, 완충부재(130)는 내부에 상하로 개구된 공간부(136)가 형성되도록 링 형상으로 형성되는 다수 개의 고무(132)와 다수 개의 철판(134)이 반복적으로 적층되되, 다수 개의 철판(134)은 원주방향을 따라 일정 간격을 두고 이격되게 배치되어 반복적으로 적층된 전체적으로는 고무(132)에 의해 감싸진 구조로 이루어질 수도 있다.Here, the cushioning member 130 is repeatedly stacked a plurality of rubber 132 and a plurality of iron plates 134 formed in a ring shape to form a space portion 136 that is opened up and down inside, a plurality of iron plates ( 134) may be arranged to be spaced apart at regular intervals along the circumferential direction, and may be formed of a structure wrapped by rubber 132 repeatedly stacked repeatedly.

상부플레이트(120)는 상하로 관통되는 관통공(122)이 형성되는 평판 형상으로 형성되며, 하부플레이트(110)의 상부에 배치되도록 완충부재(130)의 상측 단부에 결합된다.The upper plate 120 is formed in a flat plate shape through which the through hole 122 penetrates vertically, and is coupled to the upper end of the buffer member 130 to be disposed on the lower plate 110.

외부고정판(150)은 상부플레이트(120)의 상측면에 결합되어 고무판(300)을 고정시키는 것으로, 링 형상으로 형성되며, 상부플레이트(120)의 상부에 결합된 고무판(300)의 상부 외측면을 가압하여 공간부(136)가 밀폐되도록 고무판(300)을 고정 시키게 된다.The outer fixing plate 150 is coupled to the upper side of the upper plate 120 to fix the rubber plate 300, is formed in a ring shape, and the upper outer surface of the rubber plate 300 coupled to the upper portion of the upper plate 120 By pressing, the rubber plate 300 is fixed so that the space portion 136 is sealed.

이때, 외부고정판(150)은 상측면에 돌출 형성되며, 외측면에 탄성부재(160)가 구비되는 지지돌기부(152);를 포함한다.At this time, the external fixing plate 150 is formed to protrude on the upper side, the support projection 152 is provided with an elastic member 160 on the outer surface; includes.

지지돌기부(152)는 외부고정판(150)의 상측면에 상측으로 돌출 형성되며, 이동판(210)의 흔들림방지부(212)를 지지하게 된다.The support protrusion 152 is formed to protrude upward on the upper side of the external fixing plate 150, and supports the anti-shake portion 212 of the moving plate 210.

이때, 지지돌기부(152)는 외측면에 원주방향을 따라 연속되게 형성되는 안착홈;을 포함한다.At this time, the support protrusion 152 includes a seating groove continuously formed along the circumferential direction on the outer surface.

안착홈은 탄성부재(160)의 일부가 삽입될 수 있는 깊이로 형성되며, 탄성부재(160)가 지지돌기부(152)로부터 이탈되는 것을 방지하게 된다.The seating groove is formed to a depth where a portion of the elastic member 160 can be inserted, and prevents the elastic member 160 from being detached from the support protrusion 152.

탄성부재(160)는 안착홈에 일부가 삽입되며, 이동판(210)의 흔들림방지부(212)를 탄성 지지하게 된다.The elastic member 160 is partially inserted into the seating groove, and elastically supports the anti-shake portion 212 of the moving plate 210.

고무판(300)은 받침대(200)가 본체(100)의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 받침대(200)에 결합되고, 공간부(136)를 밀폐시키도록 상부플레이트(120)에 결합된다.The rubber plate 300 is coupled to the pedestal 200 so that the pedestal 200 can move up and down according to the internal pressure of the main body 100, and is coupled to the upper plate 120 to seal the space 136. .

보다 상세하게 고무판(300)은 받침대(200)가 본체(100)의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 누름판(220)의 하측면에 결합되고, 상부플레이트(120)의 상측면에 결합되어 공간부(136)를 밀폐시키게 된다.In more detail, the rubber plate 300 is coupled to the lower surface of the pressing plate 220 so that the pedestal 200 can move in the vertical direction according to the internal pressure of the main body 100, and is coupled to the upper surface of the upper plate 120. The space portion 136 is sealed.

이때, 외부고정판(150)이 상부플레이트(120)의 상부에 결합된 고무판(300)의 상부 외측면을 가압하여 더욱 견고하게 고무판(300)을 고정 시키게 된다.At this time, the outer fixing plate 150 presses the upper outer surface of the rubber plate 300 coupled to the upper portion of the upper plate 120 to fix the rubber plate 300 more firmly.

내부고정판(140)은 완충부재(130)의 공간부(136)를 상하로 구획하며, 내부 압력에 따라 공기가 상하 방향으로 이동할 수 있도록 공기이동통로(146)가 형성된다.The inner fixing plate 140 divides the space portion 136 of the shock absorbing member 130 up and down, and an air movement passage 146 is formed to allow air to move in the up and down direction according to the internal pressure.

또한, 내부고정판(140)은 상하로 관통되는 가이드홀(142)이 형성되고, 가이드홀(142)에 받침대(200)의 가이드부재(230)가 상하로 슬라이딩 가능하게 삽입된다.In addition, the inner fixing plate 140 is formed with a guide hole 142 penetrating up and down, and the guide member 230 of the pedestal 200 is slidably inserted in the guide hole 142.

이와 같은 내부고정판(140)은 받침대(200)가 수평방향으로 흔들리지 않고 상하 수직방향으로 이동 하도록 가이드부재(230)를 지지함과 동시에 공기이동통로(146)를 통해 내부 압력을 조절할 수 있게 된다.The internal fixing plate 140 supports the guide member 230 so that the pedestal 200 does not move in the horizontal direction but moves vertically and vertically, and at the same time, it is possible to adjust the internal pressure through the air movement passage 146.

즉, 받침대(200)에 상하 수직방향으로 진동이나 충격 발생시 구획된 상측 공간부의 압력이 증가함에 따라 내부 압력이 평형을 유지할 수 있도록 공기가 공기이동통로(146)를 통해 하측 공간부로 이동하며 이동판에 전달되는 진동이나 충격을 감쇠할 수 있게 된다.That is, the air moves to the lower space through the air movement passage 146 so that the internal pressure can maintain the equilibrium as the pressure in the upper space divided by the vibration or impact occurs vertically and vertically on the pedestal 200. It is possible to attenuate the vibration or shock transmitted to.

계속해서, 받침대(200)는 이동판(210), 누름판(220) 및 가이드부재(230)를 포함한다.Subsequently, the pedestal 200 includes a moving plate 210, a pressing plate 220, and a guide member 230.

받침대(200)는 상부플레이트(120)의 수직 상부에서 상부플레이트(120)와 이격된 구조를 갖도록 배치되는 이동판(210)과, 이동판(210)의 하측면에 결합되어 고무판(300)에 지지되는 누름판(220) 및 누름판(220)의 하측면에 결합되어 내부고정판(140)의 가이드홀(142)에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 가이드부재(230)를 포함한다.The pedestal 200 is coupled to the lower plate of the moving plate 210 and the moving plate 210 disposed to have a structure spaced apart from the upper plate 120 in the vertical upper portion of the upper plate 120 to the rubber plate 300 It includes a guide member 230 that is coupled to the lower side of the pressing plate 220 and the pressing plate 220 that is supported and slidably inserted into the guide hole 142 of the inner fixing plate 140.

이동판(210)은 평판 형성으로 형성되어 작업테이블을 지지하며, 상부플레이트(120)의 수직 상부에서 상부플레이트(120)와 이격된 구조를 갖도록 배치된다.The moving plate 210 is formed by forming a flat plate to support a work table, and is disposed to have a structure spaced apart from the upper plate 120 in a vertical upper portion of the upper plate 120.

즉, 이동판(210)은 본체(100)의 내부 압력이 증가함에 따라 고무판(300)에 의해 상부플레이트(120)와 이격되며, 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있게 된다.That is, the moving plate 210 is spaced apart from the upper plate 120 by the rubber plate 300 as the internal pressure of the main body 100 increases, it is possible to block the vibration or shock transmitted.

이때, 이동판(210)은 지지돌기부(152)를 감싸도록 하측면에 돌출 형성되어 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있도록 탄성부재(160)에 탄성 지지되는 흔들림방지부(212);를 포함한다.At this time, the moving plate 210 is formed to protrude on the lower side so as to surround the support protrusion 152, so as to attenuate vibration or shock when displacement occurs in the horizontal direction to prevent shaking by elastically supporting the elastic member 160. Part 212; includes.

흔들림방지부(212)는 지지돌기부(152)를 감싸도록 하측면에 링 형상으로 돌출 형성되며, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있도록 탄성부재(160)에 탄성 지지된다.The anti-shake portion 212 is formed to protrude in a ring shape on the lower side so as to surround the support protrusion 152, and elastically supports the elastic member 160 to prevent vibration by dampening vibration or shock when displacement occurs in the horizontal direction. do.

보다 상세하게, 이동판(210)은 흔들림방지부(212)가 탄성부재(160)에 탄성 지지되어 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있게 되는 것이다.In more detail, the movable plate 210 is provided with an anti-shake portion 212 elastically supported by the elastic member 160 to attenuate vibration or shock when displacement occurs in the horizontal direction to prevent shaking.

누름판(220)은 이동판(210)의 하부에 볼트 등의 체결부재에 의해 결합되며, 이동판(210)을 지지하게 된다.The pressing plate 220 is coupled to the lower portion of the moving plate 210 by a fastening member such as a bolt, and supports the moving plate 210.

즉, 누름판(220)은 이동판(210)의 하부에 결합되어 고무판(300)의 상부에 지지되는 것으로, 본체(100)의 내부 압력이 증가함에 따라 고무판(300)에 의해 이동판(210)을 상부플레이트(120)와 이격되도록 상승시키게 된다.That is, the pressing plate 220 is coupled to the lower portion of the moving plate 210 and is supported on the upper portion of the rubber plate 300. As the internal pressure of the main body 100 increases, the moving plate 210 is moved by the rubber plate 300. Is to be spaced apart from the upper plate 120.

계속해서, 가이드부재(230)는 누름판(220)의 하부에 결합되어 내부고정판(140)의 가이드홀(142)에 삽입되는 것으로, 받침대(200)가 수평방향으로 흔들리지 않고 상하 수직방향으로 이동 하도록 지지하게 된다.Subsequently, the guide member 230 is coupled to the lower portion of the pressing plate 220 and is inserted into the guide hole 142 of the inner fixing plate 140 so that the pedestal 200 does not move in the horizontal direction but moves vertically and vertically. Support.

이와 더불어, 본 발명의 내부고정판(140)은 가이드홀(142)에 측방향으로 끼움홈(144)이 하나 이상 형성되고, 가이드부재(230)는 끼움홈(144)과 대응되는 끼움돌기(234)가 측방향으로 하나 이상 돌출 형성되는 이탈방지판(232)이 결합된다.In addition, one or more fitting grooves 144 are formed laterally in the guide hole 142 of the inner fixing plate 140 of the present invention, and the guide member 230 has a fitting protrusion 234 corresponding to the fitting groove 144 ) Is coupled to the departure prevention plate 232 is formed to protrude one or more in the lateral direction.

이에 따라, 본체(100)와 받침대(200)를 결합시 끼움홈(144)에 끼움돌기(234)가 끼워지도록 가이드홀(142)에 가이드부재(230)를 삽입시킨 후 끼움돌기(234)가 내부고정판(140)에 걸림 고정되도록 받침대(200)를 일방향 또는 반대방향으로 회전시키게 된다.Accordingly, when the main body 100 and the base 200 are combined, the guide protrusion 230 is inserted into the guide hole 142 so that the fitting protrusion 234 fits into the fitting groove 144, and then the fitting protrusion 234 is inserted. The base 200 is rotated in one direction or the opposite direction so as to be fixed to the inner fixing plate 140.

이때, 내부고정판(140)은 받침대(200)의 하강되는 거리가 제한되도록 즉, 일정한 한도를 넘지 못하게 받침대(200)를 구속시키는 지지프레임(148)이 결합된다.At this time, the inner fixing plate 140 is coupled to the support frame 148 to constrain the pedestal 200 so as not to exceed a certain limit so that the distance of the pedestal 200 is lowered.

지지프레임(148)은 내부고정판(140)의 하측면에 결합되어 받침대(200)가 일정한 한도를 넘지 못하게 이탈방지판(232)의 이동을 구속시키게 된다.The support frame 148 is coupled to the lower surface of the inner fixing plate 140 to restrain the movement of the departure preventing plate 232 so that the pedestal 200 does not exceed a certain limit.

다시말해, 이탈방지판(232)이 내부고정판(140)과 지지프레임(148) 사이에서 상하 이동되도록 구속하여 받침대(200)의 상하 이동 거리를 제한하게 된다.In other words, the release preventing plate 232 is restrained to move up and down between the inner fixing plate 140 and the support frame 148 to limit the up and down movement distance of the pedestal 200.

이와 같이, 본 발명의 제진장치는 제진대상물이 안착 되는 테이블을 지지하는 이동판(210)이 공기의 압력으로 지지됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 하중 또는 변위 발생시 이동판(210)에 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있게 된다.As described above, in the vibration damping apparatus of the present invention, the moving plate 210 supporting the table on which the vibration-removing object is seated is supported by air pressure, thereby blocking micro-vibration and transmitting vibration to the moving plate 210 when a load or displacement occurs. Or shocks can be blocked.

또한, 본 발명의 제진장치는 고무(132)와 철판(134)이 반복적으로 교번되게 배치된 완충부재(130)가 상부플레이트(120)와 하부플레이트(11) 사이에 구비됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 진동이나 충격을 감쇠하여 신속하게 안정시킬 수 있게 된다.In addition, the vibration damping device of the present invention is provided with a buffer member 130 in which the rubber 132 and the iron plate 134 are alternately alternately arranged, provided between the upper plate 120 and the lower plate 11, thereby blocking micro-vibration. It can be stabilized quickly by damping vibrations or shocks.

또한, 본 발명의 제진장치는 이동판(210)의 흔들림방지부(212)가 외부고정판(150)의 지지돌기부(152)에 구비된 탄성부재(160)에 탄성 지지됨으로써, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있게 된다.In addition, in the vibration damping device of the present invention, the anti-shake portion 212 of the moving plate 210 is elastically supported by the elastic member 160 provided on the support protrusion 152 of the external fixing plate 150, thereby causing displacement in the horizontal direction. It is possible to prevent vibration by damping vibration or shock.

이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.In the above, even if all components constituting the embodiment of the present invention are described as being combined or operated as one, the present invention is not necessarily limited to these embodiments. That is, within the object scope of the present invention, all of the components may be selectively combined and operated.

또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.In addition, the terms "include", "consist" or "have" as described above mean that the corresponding component can be inherent, unless specifically stated otherwise, to exclude other components. It should not be interpreted as being able to further include other components. All terms, including technical or scientific terms, have the same meaning as generally understood by a person skilled in the art to which the present invention belongs, unless otherwise defined. Commonly used terms, such as predefined terms, should be interpreted as being consistent with the meaning in the context of the related art, and are not to be interpreted as ideal or excessively formal meanings unless explicitly defined in the present invention.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those skilled in the art to which the present invention pertains may make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the claims below, and all technical spirits within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100 : 본체 110 : 하부플레이트
112 : 공기유입구 114 : 공기유출구
116 : 체결홀 120 : 상부플레이트
122 : 관통공 130 : 완충부재
132 : 고무 134 : 철판
136 : 공간부 140 : 내부고정판
142 : 가이드홀 144 : 끼움홈
146 : 공기이동통로 148 : 지지프레임
150 : 외부고정판 152 : 지지돌기부
160 : 탄성부재 200 : 받침대
210 : 이동판 212 : 흔들림방지부
220 : 누름판 230 : 가이드부재
232 : 이탈방지판 234 : 끼움돌기
300 : 고무판100: main body 110: lower plate
112: air inlet 114: air outlet
116: fastening hole 120: upper plate
122: through hole 130: buffer member
132: rubber 134: iron plate
136: space 140: inner fixed plate
142: guide hole 144: fitting groove
146: Air movement passage 148: Support frame
150: external fixing plate 152: support projection
160: elastic member 200: support
210: moving plate 212: shake prevention unit
220: pressing plate 230: guide member
232: departure prevention plate 234: fitting projection
300: rubber plate

Claims

The lower plate, the upper plate disposed through the upper and lower penetrating holes are disposed on the upper portion of the lower plate, and a plurality of rubbers and iron plates are repeatedly stacked so that a space portion is formed therein. A body including a shock absorbing member that seals the lower side and is provided between the lower plate and the upper plate so as to allow the through hole of the upper plate to communicate with the opened upper side of the space portion, to damp vibration transmitted to the upper and lower plates;
A support including a moving plate disposed to have a structure spaced apart from the upper plate at a vertical upper portion of the upper plate;
A rubber plate coupled to the pedestal so that the pedestal can move up and down according to the internal pressure of the main body, and coupled to the upper plate to seal the space;
Including,
The main body,
An external fixing plate coupled to an upper side of the upper plate to fix the rubber plate;
Including,
The external fixing plate,
It is formed protruding on the upper side, the support projection is provided with an elastic member on the outer surface;
It includes,
The moving plate,
A shake prevention part elastically supported on the elastic member so as to protrude on the lower surface to surround the support protrusion and dampen vibration or shock when displacement occurs in the horizontal direction to prevent shaking;
Vibration damping device comprising a.

According to claim 1,
The buffer member,
A vibration damping device characterized in that a plurality of rubber plates formed in a ring shape and a plurality of iron plates formed in a ring shape are repeatedly stacked so that a space portion opened up and down inside is formed.

delete

According to claim 1,
The main body,
An inner fixing plate which divides the space portion up and down, and in which an air movement passage is formed to allow air to move in the up and down direction according to the internal pressure;
Vibration damping device comprising a.

The method of claim 5,
The inner fixing plate,
Guide holes penetrating up and down are formed,
The pedestal,
A guide member coupled to the lower portion of the moving plate and slidably inserted up and down in the guide hole;
Vibration damping device comprising a.