KR20190010765A

KR20190010765A - Damping Device

Info

Publication number: KR20190010765A
Application number: KR1020170092019A
Authority: KR
Inventors: 최만식
Original assignee: 최만식
Priority date: 2017-07-20
Filing date: 2017-07-20
Publication date: 2019-01-31
Also published as: KR102098661B1

Abstract

The present invention relates to a damping device. According to an embodiment of the present invention, a moving plate supporting a table on which an object to be dampened is mounted is supported by pressure of air to prevent fine vibration and prevent vibration or a shock transmitted to the moving plate when a load or displacement occurs. Moreover, a buffer member in which rubber and an iron plate are repeatedly and alternately arranged is provided between an upper plate and a lower plate to prevent fine vibration and dampen vibration or a shock to be quickly stabilized.

Description

Damping Device

본 발명은 제진장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 현미경과 같은 정밀기기의 하중이 변화한다든지 설치위치가 이동됨에 따른 정밀기기의 편중하중이 작용한다 해도 자동적으로 작업테이블의 수평을 유지시켜 주며 진동을 흡수할 수 있는 제진(除振)장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vibration damping device, and more particularly, to a vibration damping device that automatically maintains the level of a work table even when a load of a precision instrument such as a microscope is changed or a mounting load is shifted, To a vibration damping device capable of absorbing vibrations.

최근 반도체 장비나 의료기기, 고밀도의 나노 광학 현미경, 주사 탐침 현미경, 원자 현미경 등의 첨단장비와 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 진동을 차단하는 제진 시스템(Vibration Isolation System)에 대한 연구가 활성화되고 있다.Recently, it is necessary to perform ultra-precise processing and measurement in high-tech equipments such as semiconductor equipment, medical instrument, high-density nano optical microscope, scanning probe microscope, and atomic microscope, and display industry. Therefore, the vibration isolation system Research is being activated.

특히, 제진장치는 미세한 진동에도 오작동을 일으키는 초정밀장비에 설치되어 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 제거하게 된다.In particular, the vibration suppression device is installed in a highly precise device that causes a malfunction even in a minute vibration, thereby eliminating the external vibration or the self vibration caused by the operation of the equipment.

즉, 제진장치는 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 제거하는 것으로, 초정밀장비가 정확한 측정을 할 수 있도록 초정밀장비가 놓이는 작업테이블의 수평을 유지시켜 주며 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 발생하는 자체진동을 흡수하게 된다.In other words, the vibration suppression device removes the self vibration caused by the external vibration or the operation of the equipment. It keeps the horizontal position of the work table on which the ultra precise equipment is placed so that the precision measurement can be performed accurately. Thereby absorbing the self-generated vibration.

일 예로 대한민국 등록특허 제10-0930357호(2009.12.08. 공고)를 살펴보면, 외부의 진동을 제거하는 스프링 타입의 제진테이블이 개시되어 있다.As an example, Korean Patent No. 10-0930357 (published on Dec. 10, 2009) discloses a spring type vibration damping table for removing external vibration.

그러나, 종래의 제진테이블은 다양한 세기의 진동을 차단할 수 없으며, 진동 발생시 수평을 유지하는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.However, the conventional vibration damping table can not block vibrations of various strengths, and there is a problem that it takes much time to maintain the horizontal vibration level.

대한민국 등록특허 제10-0930357호(2009.12.08. 공고)Korean Patent No. 10-0930357 (Announcement of Dec. 2009)

이에 본 발명은 전술한 배경에서 안출된 것으로, 제진대상물이 안착 되는 테이블을 지지하는 이동판이 공기의 압력으로 지지됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 하중 또는 변위 발생시 이동판에 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있는 제진장치을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned background, and it is an object of the present invention to provide a vibration damping device for a vibration damping apparatus, which is capable of blocking a minute vibration by supporting a moving plate supporting a table on which a vibration- The present invention has been made to solve the above problems.

또한, 고무와 철판이 반복적으로 교번되게 배치된 완충부재가 상부플레이트와 하부플레이트 사이에 구비됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 진동이나 충격을 감쇠하여 신속하게 안정시킬 수 있는 제진장치을 제공하는데 그 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a vibration damping device capable of blocking minute vibration and damping vibrations and impacts and quickly stabilizing the vibration damping device by providing a buffer member between the upper plate and the lower plate in which rubber and steel plates are repeatedly arranged alternately. have.

또한, 이동판의 흔들림방지부가 외부고정판의 지지돌기부에 구비된 탄성부재에 탄성 지지됨으로써, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있는 제진장치을 제공하는데 그 목적이 있다.It is another object of the present invention to provide a vibration damping device capable of preventing vibrations and shocks when a displacement is generated in a horizontal direction by vibration-resisting elastic members provided on support protrusions of an external fixed plate.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일실시예는 하부플레이트와, 상하로 관통되는 관통공이 형성되어 상기 하부플레이트의 상부에 배치되는 상부플레이트와, 내부에 공간부가 형성되도록 다수 개의 고무와 철판이 반복적으로 적층되며, 상기 하부플레이트가 상기 공간부의 개구된 하측을 밀폐시키고 상기 상부플레이트의 관통공이 상기 공간부의 개구된 상측과 연통되도록 상기 하부플레이트와 상기 상부플레이트 사이에 설치되어 상기 상, 하부플레이트로 전해지는 진동을 완화시키는 완충부재를 포함하는 본체; 상기 상부플레이트의 수직 상부에서 상기 상부플레이트와 이격된 구조를 갖도록 배치되는 이동판을 포함하는 받침대; 상기 받침대가 상기 본체의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 상기 받침대에 결합되고, 상기 공간부를 밀폐시키도록 상기 상부플레이트에 결합되는 고무판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 제진장치를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device including a lower plate, an upper plate having a through hole penetrating the upper plate and the lower plate, And the lower plate is disposed between the lower plate and the upper plate so as to seal the opened lower side of the space and the through hole of the upper plate communicates with the opened upper side of the space, A body including a cushioning member for relieving vibration; A pedestal including a moving plate disposed at a vertical upper portion of the upper plate so as to have a structure spaced apart from the upper plate; And a rubber plate coupled to the pedestal so that the pedestal can move up and down according to the internal pressure of the main body, and coupled to the top plate to close the space.

또한, 본 발명에서 상기 완충부재는, 내부에 상하로 개구된 공간부가 형성되도록 링 형상으로 형성되는 다수 개의 고무와 링형상으로 형성되는 다수 개의 철판이 반복적으로 적층되는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the cushioning member is characterized in that a plurality of rubber formed in a ring shape and a plurality of iron plates formed in a ring shape are repeatedly stacked so as to form a space portion vertically opened inside thereof.

또한, 본 발명에서 상기 본체는, 상기 상부플레이트의 상측면에 결합되어 상기 고무판을 고정시키는 외부고정판;을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the main body includes an external fixing plate coupled to an upper surface of the upper plate to fix the rubber plate.

또한, 본 발명에서 상기 외부고정판은, 상측면에 돌출 형성되며, 외측면에 탄성부재가 구비되는 지지돌기부;를 포함하며, 상기 이동판은, 상기 지지돌기부를 감싸도록 하측면에 돌출 형성되어 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있도록 상기 탄성부재에 탄성 지지되는 흔들림방지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the external fixing plate includes a supporting protrusion protruding from the upper surface and having an elastic member on an outer surface thereof. The moving plate is protruded from the lower surface to surround the supporting protrusion, And an anti-shake portion elastically supported on the elastic member so as to prevent shaking by damping vibration or impact when a displacement occurs in the direction of the elastic member.

또한, 본 발명에서 상기 본체는, 상기 공간부를 상하로 구획하며, 내부 압력에 따라 공기가 상하 방향으로 이동할 수 있도록 공기이동통로가 형성되는 내부고정판;을 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the main body includes an inner fixing plate defining upper and lower portions of the space portion, and an air moving passage is formed so that the air moves in the vertical direction according to internal pressure.

또한, 본 발명에서 상기 내부고정판은, 상하로 관통되는 가이드홀이 형성되고, 상기 받침대는, 상기 이동판의 하부에 결합되어 상기 가이드홀에 상하로 슬라이딩 가능하게 삽입되는 가이드부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the present invention, the inner fixing plate has a guide hole penetrating the upper and lower portions, and the pedestal includes a guide member coupled to a lower portion of the moving plate and slidably inserted into the guide hole upward and downward .

본 발명의 일실시예에 의하면, 제진대상물이 안착 되는 테이블을 지지하는 이동판이 공기의 압력으로 지지됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 하중 또는 변위 발생시 이동판에 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있는 효과가 있다.According to an embodiment of the present invention, since the moving plate supporting the table on which the vibration deadening object is mounted is supported by the pressure of the air, it is possible to block the fine vibration and to prevent vibration or shock transmitted to the moving plate when a load or displacement occurs. .

또한, 고무와 철판이 반복적으로 교번되게 배치된 완충부재가 상부플레이트와 하부플레이트 사이에 구비됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 진동이나 충격을 감쇠하여 신속하게 안정시킬 수 있는 효과가 있다.Further, since the buffer member, in which the rubber and the iron plate are repeatedly arranged alternately, is provided between the upper plate and the lower plate, microvibration can be blocked, and vibration and impact can be damped and quickly stabilized.

또한, 이동판의 흔들림방지부가 외부고정판의 지지돌기부에 구비된 탄성부재에 탄성 지지됨으로써, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있는 효과가 있다.In addition, since the anti-shake portion of the moving plate is elastically supported by the elastic member provided on the supporting projection portion of the external fixed plate, vibration and shock are damped when the displacement is generated in the horizontal direction, thereby preventing shaking.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 사시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 분해 사시도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 정단면도,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 평단면도 이다.1 is a perspective view of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention,
2 is an exploded perspective view of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention,
3 is a front sectional view of a vibration damping device according to an embodiment of the present invention,
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a vibration damper according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, some embodiments of the present invention will be described in detail with reference to exemplary drawings. It should be noted that, in adding reference numerals to the constituent elements of the drawings, the same constituent elements are denoted by the same reference symbols as possible even if they are shown in different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

또한, 본 발명의 구성요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In describing the components of the present invention, terms such as first, second, A, B, (a), and (b) may be used. These terms are intended to distinguish the constituent elements from other constituent elements, and the terms do not limit the nature, order or order of the constituent elements. When a component is described as being "connected", "coupled", or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, It should be understood that an element may be "connected," "coupled," or "connected."

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 사시도, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 분해 사시도, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 정단면도,도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치 평단면도 이다.FIG. 1 is a perspective view of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a front sectional view of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention, Sectional view of a vibration isolation device according to an embodiment of the present invention.

이들 도면들에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 제진장치는, 하부플레이트(110)와, 상하로 관통되는 관통공(122)이 형성되어 하부플레이트(110)의 상부에 배치되는 상부플레이트(120)와, 내부에 공간부(136)가 형성되도록 다수 개의 고무(132)와 철판(134)이 반복적으로 적층되며, 하부플레이트(110)가 공간부(136)의 개구된 하측을 밀폐시키고 상부플레이트(120)의 관통공(122)이 공간부(136)의 개구된 상측과 연통되도록 하부플레이트(110)와 상부플레이트(120) 사이에 설치되어 상, 하부플레이트(120, 110)로 전해지는 진동을 완화시키는 완충부재(130)를 포함하는 본체(100); 상부플레이트(120)의 수직 상부에서 상부플레이트(120)와 이격된 구조를 갖도록 배치되는 이동판(210)을 포함하는 받침대(200); 받침대(200)가 본체(100)의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 받침대(200)에 결합되고, 공간부(136)를 밀폐시키도록 상부플레이트(120)에 결합되는 고무판(300);을 포함한다.As shown in these drawings, the vibration suppression apparatus according to one embodiment of the present invention includes a lower plate 110 and a through hole 122 penetrating through the upper plate 110 and the lower plate 110, A plurality of rubber pieces 132 and an iron plate 134 are repeatedly stacked so that the space portion 136 is formed in the upper plate 120 and the lower plate 110 is fixed to the lower side of the open portion of the space portion 136 The upper plate 120 and the lower plate 120 are installed between the lower plate 110 and the upper plate 120 so that the through holes 122 of the upper plate 120 are communicated with the open upper side of the space portion 136, (100) comprising a cushioning member (130) for relieving vibration transmitted to the body (100); A pedestal 200 including a moving plate 210 arranged to be spaced apart from the upper plate 120 in a vertical upper portion of the upper plate 120; A rubber plate 300 coupled to the pedestal 200 so that the pedestal 200 can move up and down according to the internal pressure of the main body 100 and coupled to the top plate 120 to close the space 136; .

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본체(100)는 하부플레이트(110), 상부플레이트(120), 완충부재(130), 내부고정판(140) 및 외부고정판(150)을 포함한다.1 to 4, the main body 100 includes a lower plate 110, an upper plate 120, a buffer member 130, an inner fixing plate 140, and an outer fixing plate 150.

하부플레이트(110)는 평판 형상으로 형성되며, 공간부(136)의 개구된 하측을 밀폐시키도록 완충부재(130)의 하측 단부에 결합된다. The lower plate 110 is formed in a flat plate shape and is coupled to the lower end of the buffer member 130 to seal the opened lower side of the space portion 136. [

이때, 하부플레이트(110)는 에어펌프와 연결되는 공기유입구(112)가 일측에 형성되고, 공기유입구(112)로 공급되는 공기가 공간부(136)로 공급되도록 공기유입구(112)와 연통되는 공기유출구(114)가 상측에 형성된다.At this time, the lower plate 110 has an air inlet 112 connected to the air pump and communicated with the air inlet 112 so that the air supplied to the air inlet 112 is supplied to the space 136 And an air outlet 114 is formed on the upper side.

또한, 하부플레이트(110)는 볼트 등 체결부재를 통해 바닥 구조물에 고정될 수 있도록 상하로 관통되는 체결홀(116)이 하나 이상 형성된다.The lower plate 110 is formed with at least one fastening hole 116 which is vertically penetrated to be fixed to the floor structure through a fastening member such as a bolt.

완충부재(130)는 내부에 상하로 개구된 공간부(136)가 형성되도록 다수 개의 고무(132)와 철판(134)이 반복적으로 교번되게 적층되며, 하부플레이트(110)가 공간부(136)의 개구된 하측을 밀폐시키고 상부플레이트(120)의 관통공(122)이 공간부(136)의 개구된 상측과 연통되도록 하부플레이트(110)와 상부플레이트(120) 사이에 설치되어 하부플레이트(110)와 상부플레이트(120)로 전해지는 진동을 완화시키게 된다.A plurality of rubbers 132 and steel plates 134 are repeatedly stacked alternately so that a space 136 opened upward and downward is formed inside the buffer member 130. The lower plate 110 is inserted into the space portion 136, And the lower plate 110 is installed between the lower plate 110 and the upper plate 120 so that the through hole 122 of the upper plate 120 is in communication with the opened upper side of the space portion 136, And the vibration transmitted to the upper plate 120 are mitigated.

이와 같은 완충부재(130)는 내부에 상하로 개구된 공간부(136)가 형성되도록 링 형상으로 형성되는 다수 개의 고무(132)와 링형상으로 형성되는 다수 개의 철판(134)이 반복적으로 적층되는 것으로, 전체적으로는 고무(132)에 의해 감싸진 구조로 이루어진다.The cushioning member 130 may include a plurality of rings 132 formed in a ring shape and a plurality of iron plates 134 formed in a ring shape so as to form a space 136 opened upward and downward, And is entirely enclosed by rubber 132. As shown in FIG.

즉, 완충부재(130)는 외부진동 또는 장비의 작동에 따라 수직방향 또는 수평방향으로 발생하는 자체진동을 감쇠시키게 된다.That is, the buffer member 130 attenuates self vibration generated in the vertical direction or the horizontal direction according to the external vibration or the operation of the equipment.

여기서, 완충부재(130)는 내부에 상하로 개구된 공간부(136)가 형성되도록 링 형상으로 형성되는 다수 개의 고무(132)와 다수 개의 철판(134)이 반복적으로 적층되되, 다수 개의 철판(134)은 원주방향을 따라 일정 간격을 두고 이격되게 배치되어 반복적으로 적층된 전체적으로는 고무(132)에 의해 감싸진 구조로 이루어질 수도 있다.The buffer member 130 includes a plurality of rubber 132 and a plurality of steel plates 134 repeatedly stacked in a ring shape so that a space 136 opened upward and downward is formed in the buffer member 130, 134 may be spaced apart from each other at regular intervals along the circumferential direction and may be repeatedly stacked and the entire structure may be surrounded by the rubber 132.

상부플레이트(120)는 상하로 관통되는 관통공(122)이 형성되는 평판 형상으로 형성되며, 하부플레이트(110)의 상부에 배치되도록 완충부재(130)의 상측 단부에 결합된다.The upper plate 120 is formed in a flat plate shape having a through hole 122 passing through the upper and lower portions and is coupled to the upper end of the buffer member 130 so as to be disposed on the lower plate 110.

외부고정판(150)은 상부플레이트(120)의 상측면에 결합되어 고무판(300)을 고정시키는 것으로, 링 형상으로 형성되며, 상부플레이트(120)의 상부에 결합된 고무판(300)의 상부 외측면을 가압하여 공간부(136)가 밀폐되도록 고무판(300)을 고정 시키게 된다.The outer fixing plate 150 is coupled to an upper surface of the upper plate 120 to fix the rubber plate 300 and is formed in a ring shape. So that the rubber plate 300 is fixed so that the space portion 136 is closed.

이때, 외부고정판(150)은 상측면에 돌출 형성되며, 외측면에 탄성부재(160)가 구비되는 지지돌기부(152);를 포함한다.At this time, the external fixing plate 150 is protruded from the upper side and includes a supporting protrusion 152 having an elastic member 160 on its outer side.

지지돌기부(152)는 외부고정판(150)의 상측면에 상측으로 돌출 형성되며, 이동판(210)의 흔들림방지부(212)를 지지하게 된다.The supporting protrusion 152 protrudes upward on the upper surface of the external fixing plate 150 and supports the anti-shake portion 212 of the moving plate 210.

이때, 지지돌기부(152)는 외측면에 원주방향을 따라 연속되게 형성되는 안착홈;을 포함한다.At this time, the support protrusions 152 include a seating groove formed continuously on the outer surface along the circumferential direction.

안착홈은 탄성부재(160)의 일부가 삽입될 수 있는 깊이로 형성되며, 탄성부재(160)가 지지돌기부(152)로부터 이탈되는 것을 방지하게 된다.The seating groove is formed at a depth where a part of the elastic member 160 can be inserted, thereby preventing the elastic member 160 from being detached from the support projection 152.

탄성부재(160)는 안착홈에 일부가 삽입되며, 이동판(210)의 흔들림방지부(212)를 탄성 지지하게 된다.The elastic member 160 is partially inserted into the seating groove and elastically supports the anti-shake portion 212 of the moving plate 210.

고무판(300)은 받침대(200)가 본체(100)의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 받침대(200)에 결합되고, 공간부(136)를 밀폐시키도록 상부플레이트(120)에 결합된다.The rubber plate 300 is coupled to the pedestal 200 so that the pedestal 200 can move up and down according to the internal pressure of the main body 100 and is coupled to the top plate 120 to seal the space 136 .

보다 상세하게 고무판(300)은 받침대(200)가 본체(100)의 내부 압력에 따라 상하방향으로 이동할 수 있도록 누름판(220)의 하측면에 결합되고, 상부플레이트(120)의 상측면에 결합되어 공간부(136)를 밀폐시키게 된다.The rubber plate 300 is coupled to the lower surface of the press plate 220 and is coupled to the upper surface of the upper plate 120 so that the pedestal 200 can move in the vertical direction according to the internal pressure of the body 100 Thereby sealing the space portion 136.

이때, 외부고정판(150)이 상부플레이트(120)의 상부에 결합된 고무판(300)의 상부 외측면을 가압하여 더욱 견고하게 고무판(300)을 고정 시키게 된다.At this time, the outer fixing plate 150 presses the upper outer surface of the rubber plate 300 coupled to the upper portion of the upper plate 120, thereby fixing the rubber plate 300 more firmly.

내부고정판(140)은 완충부재(130)의 공간부(136)를 상하로 구획하며, 내부 압력에 따라 공기가 상하 방향으로 이동할 수 있도록 공기이동통로(146)가 형성된다.The inner fixing plate 140 divides the space portion 136 of the buffer member 130 into upper and lower portions and an air movement path 146 is formed so that the air moves in the vertical direction according to the internal pressure.

또한, 내부고정판(140)은 상하로 관통되는 가이드홀(142)이 형성되고, 가이드홀(142)에 받침대(200)의 가이드부재(230)가 상하로 슬라이딩 가능하게 삽입된다.The inner fixing plate 140 is formed with a guide hole 142 which penetrates vertically and the guide member 230 of the pedestal 200 is inserted into the guide hole 142 so as to be slidable up and down.

이와 같은 내부고정판(140)은 받침대(200)가 수평방향으로 흔들리지 않고 상하 수직방향으로 이동 하도록 가이드부재(230)를 지지함과 동시에 공기이동통로(146)를 통해 내부 압력을 조절할 수 있게 된다.The inner fixing plate 140 supports the guide member 230 so that the pedestal 200 does not shake in the horizontal direction but moves vertically and vertically while adjusting the inner pressure through the air movement path 146.

즉, 받침대(200)에 상하 수직방향으로 진동이나 충격 발생시 구획된 상측 공간부의 압력이 증가함에 따라 내부 압력이 평형을 유지할 수 있도록 공기가 공기이동통로(146)를 통해 하측 공간부로 이동하며 이동판에 전달되는 진동이나 충격을 감쇠할 수 있게 된다.That is, as the pressure of the upper space portion partitioned when the vibration or impact is generated in the up-and-down vertical direction is increased in the upright 80, the air moves to the lower space portion through the air movement passage 146 so that the inner pressure can maintain the equilibrium, It is possible to attenuate vibrations or shocks transmitted to the vehicle.

계속해서, 받침대(200)는 이동판(210), 누름판(220) 및 가이드부재(230)를 포함한다.Subsequently, the pedestal 200 includes the moving plate 210, the press plate 220, and the guide member 230. [

받침대(200)는 상부플레이트(120)의 수직 상부에서 상부플레이트(120)와 이격된 구조를 갖도록 배치되는 이동판(210)과, 이동판(210)의 하측면에 결합되어 고무판(300)에 지지되는 누름판(220) 및 누름판(220)의 하측면에 결합되어 내부고정판(140)의 가이드홀(142)에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 가이드부재(230)를 포함한다.The pedestal 200 includes a moving plate 210 disposed at a vertically upper portion of the upper plate 120 so as to be spaced apart from the upper plate 120 and a moving plate 210 coupled to a lower surface of the moving plate 210, And a guide member 230 coupled to a lower surface of the press plate 220 and slidably inserted into the guide hole 142 of the inner fixing plate 140.

이동판(210)은 평판 형성으로 형성되어 작업테이블을 지지하며, 상부플레이트(120)의 수직 상부에서 상부플레이트(120)와 이격된 구조를 갖도록 배치된다.The moving plate 210 is formed of a flat plate and supports the work table and is arranged to have a structure spaced apart from the upper plate 120 at a vertical upper portion of the upper plate 120.

즉, 이동판(210)은 본체(100)의 내부 압력이 증가함에 따라 고무판(300)에 의해 상부플레이트(120)와 이격되며, 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있게 된다.That is, the moving plate 210 is spaced apart from the upper plate 120 by the rubber plate 300 as the internal pressure of the main body 100 increases, and the transmitted vibration or shock can be blocked.

이때, 이동판(210)은 지지돌기부(152)를 감싸도록 하측면에 돌출 형성되어 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있도록 탄성부재(160)에 탄성 지지되는 흔들림방지부(212);를 포함한다.At this time, the moving plate 210 is formed to protrude from the lower side so as to surround the supporting protrusion 152, so that vibration or impact is damped when the displacement is generated in the horizontal direction, (212).

흔들림방지부(212)는 지지돌기부(152)를 감싸도록 하측면에 링 형상으로 돌출 형성되며, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있도록 탄성부재(160)에 탄성 지지된다.The anti-shake portion 212 is formed in a ring shape on the lower side so as to surround the support protrusion 152. The anti-shake portion 212 is elastically supported on the elastic member 160 so as to prevent vibration or shock when the displacement is generated, do.

보다 상세하게, 이동판(210)은 흔들림방지부(212)가 탄성부재(160)에 탄성 지지되어 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있게 되는 것이다.More specifically, the moving plate 210 is capable of preventing the vibration preventing portion 212 from being shaken by damping vibration or impact when the displacement is generated in the horizontal direction by being elastically supported by the elastic member 160.

누름판(220)은 이동판(210)의 하부에 볼트 등의 체결부재에 의해 결합되며, 이동판(210)을 지지하게 된다.The pressure plate 220 is coupled to the lower portion of the moving plate 210 by a fastening member such as a bolt, and supports the moving plate 210.

즉, 누름판(220)은 이동판(210)의 하부에 결합되어 고무판(300)의 상부에 지지되는 것으로, 본체(100)의 내부 압력이 증가함에 따라 고무판(300)에 의해 이동판(210)을 상부플레이트(120)와 이격되도록 상승시키게 된다.That is, the pressure plate 220 is coupled to the lower portion of the moving plate 210 and is supported on the upper portion of the rubber plate 300. As the inner pressure of the body 100 increases, the moving plate 210 is moved by the rubber plate 300, So as to be spaced apart from the upper plate 120.

계속해서, 가이드부재(230)는 누름판(220)의 하부에 결합되어 내부고정판(140)의 가이드홀(142)에 삽입되는 것으로, 받침대(200)가 수평방향으로 흔들리지 않고 상하 수직방향으로 이동 하도록 지지하게 된다.The guide member 230 is coupled to the lower portion of the presser plate 220 and inserted into the guide hole 142 of the inner plate 140 so that the pedestal 200 is moved in the vertical direction .

이와 더불어, 본 발명의 내부고정판(140)은 가이드홀(142)에 측방향으로 끼움홈(144)이 하나 이상 형성되고, 가이드부재(230)는 끼움홈(144)과 대응되는 끼움돌기(234)가 측방향으로 하나 이상 돌출 형성되는 이탈방지판(232)이 결합된다.In addition, at least one fitting groove 144 is formed laterally in the guide hole 142 of the inner fixing plate 140 of the present invention, and the guide member 230 has a fitting protrusion 234 corresponding to the fitting groove 144 (Not shown) are coupled to one another.

이에 따라, 본체(100)와 받침대(200)를 결합시 끼움홈(144)에 끼움돌기(234)가 끼워지도록 가이드홀(142)에 가이드부재(230)를 삽입시킨 후 끼움돌기(234)가 내부고정판(140)에 걸림 고정되도록 받침대(200)를 일방향 또는 반대방향으로 회전시키게 된다.The guide member 230 is inserted into the guide hole 142 so that the fitting protrusion 234 is inserted into the fitting groove 144 when the main body 100 is coupled with the base 200. The fitting protrusion 234 And the pedestal 200 is rotated in one direction or the opposite direction so as to be engaged with the inner fixing plate 140.

이때, 내부고정판(140)은 받침대(200)의 하강되는 거리가 제한되도록 즉, 일정한 한도를 넘지 못하게 받침대(200)를 구속시키는 지지프레임(148)이 결합된다.At this time, the inner fixing plate 140 is coupled with the support frame 148 that limits the distance of the lowering of the pedestal 200, that is, the pedestal 200 is restricted so that the distance therebetween does not exceed a certain limit.

지지프레임(148)은 내부고정판(140)의 하측면에 결합되어 받침대(200)가 일정한 한도를 넘지 못하게 이탈방지판(232)의 이동을 구속시키게 된다.The support frame 148 is coupled to the lower side of the inner fixing plate 140 to restrict the movement of the separation preventing plate 232 so that the pedestal 200 does not exceed a predetermined limit.

다시말해, 이탈방지판(232)이 내부고정판(140)과 지지프레임(148) 사이에서 상하 이동되도록 구속하여 받침대(200)의 상하 이동 거리를 제한하게 된다.In other words, the release restraint plate 232 is restrained to move up and down between the inner fixed plate 140 and the support frame 148 to limit the vertical movement distance of the pedestal 200.

이와 같이, 본 발명의 제진장치는 제진대상물이 안착 되는 테이블을 지지하는 이동판(210)이 공기의 압력으로 지지됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 하중 또는 변위 발생시 이동판(210)에 전달되는 진동이나 충격을 차단할 수 있게 된다.As described above, according to the vibration damping device of the present invention, the moving plate 210 supporting the table on which the vibration damping object is placed is supported by the pressure of the air, so that the vibration can be blocked, Or the impact can be blocked.

또한, 본 발명의 제진장치는 고무(132)와 철판(134)이 반복적으로 교번되게 배치된 완충부재(130)가 상부플레이트(120)와 하부플레이트(11) 사이에 구비됨으로써, 미세진동을 차단할 수 있고 진동이나 충격을 감쇠하여 신속하게 안정시킬 수 있게 된다.In the vibration damping device of the present invention, the cushioning member 130 in which the rubber 132 and the iron plate 134 are repeatedly arranged alternately is provided between the upper plate 120 and the lower plate 11, And can be stabilized quickly by attenuating vibrations or shocks.

또한, 본 발명의 제진장치는 이동판(210)의 흔들림방지부(212)가 외부고정판(150)의 지지돌기부(152)에 구비된 탄성부재(160)에 탄성 지지됨으로써, 수평방향으로 변위 발생시 진동이나 충격을 감쇠하여 흔들림을 방지할 수 있게 된다.In the vibration damping device of the present invention, the vibration preventing portion 212 of the moving plate 210 is elastically supported by the elastic member 160 provided on the supporting protrusion 152 of the external fixing plate 150, It is possible to prevent shaking by damping vibration or impact.

이상에서, 본 발명의 실시예를 구성하는 모든 구성요소들이 하나로 결합되거나 결합되어 동작하는 것으로 설명되었다고 해서, 본 발명이 반드시 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 목적 범위 안에서라면, 그 모든 구성요소들이 하나 이상으로 선택적으로 결합하여 동작할 수도 있다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. That is, within the scope of the present invention, all of the components may be selectively coupled to one or more of them.

또한, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥 상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.It is also to be understood that the terms such as " comprises, "" comprising," or "having ", as used herein, mean that a component can be implanted unless specifically stated to the contrary. But should be construed as including other elements. All terms, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs, unless otherwise defined. Commonly used terms, such as predefined terms, should be interpreted to be consistent with the contextual meanings of the related art, and are not to be construed as ideal or overly formal, unless expressly defined to the contrary.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are intended to illustrate rather than limit the scope of the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be construed according to the following claims, and all technical ideas within the scope of equivalents should be construed as falling within the scope of the present invention.

100 : 본체 110 : 하부플레이트
112 : 공기유입구 114 : 공기유출구
116 : 체결홀 120 : 상부플레이트
122 : 관통공 130 : 완충부재
132 : 고무 134 : 철판
136 : 공간부 140 : 내부고정판
142 : 가이드홀 144 : 끼움홈
146 : 공기이동통로 148 : 지지프레임
150 : 외부고정판 152 : 지지돌기부
160 : 탄성부재 200 : 받침대
210 : 이동판 212 : 흔들림방지부
220 : 누름판 230 : 가이드부재
232 : 이탈방지판 234 : 끼움돌기
300 : 고무판100: main body 110: bottom plate
112: air inlet 114: air outlet
116: fastening hole 120: upper plate
122: through hole 130: buffer member
132: rubber 134: steel plate
136: space part 140: internal fixing plate
142: Guide hole 144: Fitting groove
146: air passage 148: support frame
150: External fixing plate 152: Support protrusion
160: elastic member 200: pedestal
210: moving plate 212: anti-
220: presser plate 230: guide member
232: release preventing plate 234:
300: Rubber plate

Claims

A lower plate, a top plate formed with through holes penetrating vertically and disposed on the upper plate, a plurality of rubber and steel plates repeatedly stacked to form a space therein, And a buffer member installed between the lower plate and the upper plate so as to seal the lower side and communicate with the upper side of the through hole of the upper plate and to mitigate vibration transmitted to the upper plate and the lower plate.
A pedestal including a moving plate disposed at a vertical upper portion of the upper plate so as to have a structure spaced apart from the upper plate;
A rubber plate coupled to the pedestal so that the pedestal can move up and down according to an internal pressure of the main body, the rubber plate being coupled to the top plate to close the space;
And a vibration damping device for vibrating the vibration damping device.

The method according to claim 1,
The cushioning member,
Wherein a plurality of rubber plates formed in a ring shape and a plurality of steel plates formed in a ring shape are repeatedly laminated so as to form a space portion vertically opened inside thereof.

The method according to claim 1,
The main body includes:
An external fixing plate coupled to an upper surface of the upper plate to fix the rubber plate;
And a vibration damping device for vibrating the vibration damping device.

The method of claim 3,
The external fixing plate includes:
A supporting protrusion protruding from the upper surface and having an elastic member on an outer surface thereof;
/ RTI >
The moving plate
An anti-shake portion formed on the lower surface so as to surround the support protrusion, the anti-shake portion being elastically supported on the elastic member so as to prevent shaking due to vibration or shock when the displacement occurs in a horizontal direction;
And a vibration damper.

The method according to claim 1,
The main body includes:
An inner fixed plate which divides the space part vertically and in which an air movement path is formed so that air can move in the vertical direction according to the internal pressure;
And a vibration damping device for vibrating the vibration damping device.

6. The method of claim 5,
The inner fixing plate,
A guide hole penetrating upward and downward is formed,
The pedestal,
A guide member coupled to a lower portion of the moving plate and slidably inserted into the guide hole up and down;
And a vibration damper.