KR102090712B1 - 박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법를 개시한다. 본 발명은 챔버 내에 설치된 기판이 장착되는 기판 홀더를 지지하며, 주 회전축 유니트와, 주 회전축 유니트에 결합되는 경사 회전축 유니트를 각각 독립적으로 회전시켜서 기판을 전체 및 경사지게 회전시키는 단계;와, 챔버 내에 설치된 타겟 유니트에 전압을 인가시켜서, 챔버 내에 플라즈마를 형성하는 단계;와, 기판 상에 증착막을 형성하는 단계;를 포함하므로, 기판 상에 균일한 두께의 박막층의 증착이 가능하다. 따라서, 커버리지 특성을 향상시킬 수 있다.

Description

박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법{Thin film deposition device, the deposition method using the same, and the fabrication method of organic light emitting display device using the same}
본 발명은 커버리지 특성을 향상시킨 박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 박막 트랜지스터(Thin film transistor, TFT)를 구비한 유기 발광 표시 장치(Organic light emitting display device, OLED)는 디지털 카메라, 비디오 카메라, 캠코더, 휴대 정보 단말기, 초슬림 노트북, 스마트 폰, 태블릿 퍼스널 컴퓨터, 및 플렉서블 표시 장치 등의 모바일 기기용 표시 장치나, 초박형 텔레비전 등의 전자 전기 제품에 적용할 수 있다.
유기 발광 표시 장치는 기판 상에 형성된 제 1 전극, 제 2 전극, 및 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 개재되는 유기 발광층을 포함한다. 유기 발광 표시 장치는 기판 상에 형성된 유기 발광층을 보호하기 위하여 봉지층을 이용한다.
봉지층을 포함한 박막층은 다양한 방법으로 형성가능하다. 이를테면, 스퍼터와 같은 박막 증착 장치를 이용한 증착법에 의하여 형성될 수 있다. 증착법에 의한 박막층을 형성하는 공정에서는 기판 상에 형성되는 박막층이 우수한 커버리지 특성을 가지는 것이 필요하다.
본 발명은 증착 공정 동안에 기판의 경사각을 변화시켜서 커버리지 특성을 향상시킨 박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 박막 증착 장치는,
챔버;
상기 챔버 내에 설치되며, 기판이 장착되는 기판 홀더와, 상기 기판 홀더의 회전 및 경사각을 변화시키는 복수의 회전축 유니트를 가지는 기판 스테이지; 및
상기 챔버 내에 설치되며, 상기 기판 상에 형성되는 박막층 원소재를 공급하는 타겟 유니트;를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 회전축 유니트는, 상기 기판을 일 방향으로 회전시키며, 주 회전축과, 상기 주 회전축에 결합되는 고정축과, 상기 고정축에 승강가능하게 결합되며, 상기 기판 홀더의 일면에 지지되는 복수의 가이드 축을 가지는 주 회전축 유니트; 및 상기 기판의 경사각을 변화시키며, 상기 주 회전축에 결합되는 경사 회전축과, 상기 경사 회전축에 결합되며, 상기 기판 홀더의 일면에 지지되는 복수의 회전 가이드 축을 가지는 경사 회전축 유니트;를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 주 회전축은 주회전 모터에 연결되어 회전가능하며, 상기 고정축은 상기 주 회전축의 단부에서 상기 챔버의 수평 방향으로 설치되는 제 1 연결축과, 상기 제 1 연결축으로부터 연장되며, 상기 복수의 가이드 축이 승강가능하게 결합되는 복수의 수직축을 가진다.
일 실시예에 있어서, 상기 수직축은 상기 제 1 연결축의 양 단부로부터 상기 챔버의 수직 방향으로 연장되는 제 1 수직축과, 제 2 수직축을 가지며, 상기 가이드 축은 제 1 가이드 축과, 제 2 가이드 축을 가지며, 상기 제 1 가이드 축과, 제 2 가이드 축은 상기 제 1 수직축 및 제 2 수직축의 내부에 형성된 가이드 홈을 따라서 각각 승강가능하게 결합된다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 1 가이드 축의 길이와, 상기 제 2 가이드 축의 길이는 서로 동일하다.
일 실시예에 있어서, 상기 가이드 축과 기판 홀더 사이에는 상기 가이드 축에 대하여 기판 홀더가 유동가능하도록 링 커넥터가 설치된다.
일 실시예에 있어서, 상기 기판 홀더에는 회전 부재가 설치되며, 상기 경사 회전축 유니트는 상기 회전 부재에 공회전 가능하게 결합되며, 상기 복수의 가이드 축과 연동하여 상기 기판의 경사각을 변화시킨다.
일 실시예에 있어서, 상기 경사 회전축은 상기 주 회전축 내부를 통하여 결합되며, 경사 회전 모터에 연결되어 회전가능하며, 상기 경사 회전축의 단부에는 상기 챔버의 수평 방향으로 제 2 연결축이 설치되며, 상기 회전 가이드 축은 상기 제 2 연결축으로부터 연장되며, 상기 회전 부재 상에 설치된다.
일 실시예에 있어서, 상기 회전 가이드 축은 상기 제 2 연결축의 양 단부로부터 상기 챔버의 수직 방향으로 연장되는 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전축을 가지며, 상기 제 1 회전 가이드축과, 제 2 회전 가이드축은 수직 방향으로의 길이가 서로 다르게 형성된다.
일 실시예에 있어서, 상기 회전 부재는 상기 기판 홀더 내에 환형으로 배열되고, 상기 제 1 회전 가이드축과, 제 2 회전 가이드축은 상기 회전 부재에 대하여 수직 방향으로 대응되게 형성된 기판 홀더의 결합공을 통하여 삽입되어서, 상기 회전 부재 상에 환형으로 공회전 가능하게 위치한다.
일 실시예에 있어서, 상기 회전 부재는 베어링 장치이다.
본 발명의 다른 측면에 따른 박막 증착 장치를 이용한 증착 방법은,
챔버 내에 설치된 기판이 장착되는 기판 홀더를 지지하며, 주 회전축 유니트와, 상기 주 회전축 유니트에 결합되는 경사 회전축 유니트를 각각 독립적으로 회전시켜서 상기 기판을 전체 및 경사지게 회전시키는 단계;
상기 챔버 내에 설치된 타겟 유니트에 전압을 인가시켜서, 상기 챔버 내에 플라즈마를 형성하는 단계; 및
상기 기판 상에 증착막을 형성하는 단계;를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 상기 주 회전축 유니트는 주 회전축과, 상기 주 회전축에 결합되는 고정축과, 상기 고정축에 승강가능하게 결합되며, 상기 기판 홀더의 일면에 지지되는 복수의 가이드 축을 가지며, 상기 주 회전축에 연결된 주회전 모터의 회전력에 의하여 상기 기판 홀더를 전체적으로 회전시킨다.
일 실시예에 있어서, 상기 회전축 유니트는 상기 주 회전축을 통하여 결합되는 경사 회전축과, 상기 경사 회전축에 결합되며, 서로 길이가 다른 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전 가이드 축을 가지고 상기 기판 홀더에 설치된 회전 부재에 공회전 가능하게 결합되며, 상기 경사 회전축에 연결된 경사 회전 모터의 회전력에 의하여 상기 기판 홀더를 경사지게 회전시킨다.
일 실시예에 있어서, 상기 회전 부재는 상기 기판 내에 개재된 베어링 장치를 포함하며, 상기 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전 가이드 축은 상기 회전 부재 상을 공회전하면서 상기 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전 가이드 축의 길이 차이에 의하여 상기 기판이 경사지게 변화한다.
일 실시예에 있어서, 상기 제 1 회전 가이드 축이나 제 2 회전 가이드 축의 승강 위치에 따라 상기 가이드 축은 연동하여 상기 고정축 내부를 승강한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따른 박막 증착 장치를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은,
기판 상에 형성되는 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되며, 제 1 전극, 유기 발광층, 및 제 2 전극을 포함하는 유기 발광 소자를 포함하되, 제 12 항 내지 제 16 항중 선택된 어느 하나의 방법에 의하여 기판상에 박막층이 증착된다.
이상과 같이, 본 발명의 박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판을 회전시킴과 동시에 기판의 각도를 변화시키면서 성막하므로, 기판 상에 균일한 두께의 박막층의 증착이 가능하다. 따라서, 커버리지 특성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치를 도시한 개략적인 구성도,
도 2a는 도 1의 경사 회전축 유니트가 일 방향으로 회전한 상태를 도시한 구성도,
도 2b는 도 2a의 경사 회전축 유니트가 180도 회전한 상태를 도시한 구성도,
도 3a는 도 2a의 기판 홀더에 경사 회전축의 가이드 축이 결합된 상태를 도시한 부분 단면도,
도 3b는 도 3a의 기판 홀더의 평면도,
도 4a는 도 2a의 회전 상태에서 기판 상에 증착되는 상태를 도시한 구성도,
도 4b는 도 2b의 회전 상태에서 기판 상에 증착되는 상태를 도시한 구성도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치를 이용하여 제조된 유기 발광 표시 장치의 일 서브 픽셀을 도시한 단면도.
도 6은 도 1의 수직축에 가이드 축이 결합된 상태를 확대 도시한 구성도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고, 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성 요소들은 용어들에 의하여 한정되어서는 안된다. 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, “포함한다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 따른 박막 증착 장치와, 이를 이용한 증착 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법의 일 실시예를 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착 장치(100)를 도시한 개략적인 구성도이고, 도 2a는 도 1의 경사 회전축 유니트(200)가 일 방향으로 회전한 상태를 도시한 구성도이고, 도 2b는 도 2a의 경사 회전축 유니트(200)가 180도 회전한 상태를 도시한 구성도이고, 도 3a는 도 1의 기판 홀더(130)에 회전 가이드 축(203)(204)이 결합된 상태를 도시한 단면도이고, 도 3b는 도 3a의 기판 홀더(130)의 평면도이다.
여기서, 상기 박막 증착 장치(100)는 스퍼터링 증착 장치를 일 예로 도시하지만, 이외에도, 열 증착 장치(themal evaporation device), 화학 기상 증착 장치(chemiacl vaporation deposition), 전자 빔 스퍼터(E-beam sputter) 등 기판 상에 박막층을 형성시키는 장치라면 어느 하나에 한정되는 것은 아니다.
도 1을 참조하면, 상기 박막 증착 장치(100)에는 증착 공간을 제공하는 챔버(110)가 마련되어 있다. 상기 챔버(110) 내부에는 기판(120)을 장착하는 기판 홀더(130)와, 증착용 타겟(140)이 설치되는 스퍼터 캐소우드(150)가 설치되어 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 기판 홀더(130)는 상기 챔버(110)의 상부 측에 설치되고, 상기 스퍼터 캐소우드(150)는 상기 챔버(110)의 하부 측에 설치되나, 이들의 위치는 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
상기 기판 홀더(130)는 상기 챔버(110) 내부로 공급되는 기판(120)을 지지한다. 상기 기판 홀더(130)는 상기 기판(120)의 증착되는 면과 반대되는 면을 진공 흡착하거나, 다른 클램프 부재에 의하여 지지가능하다.
상기 기판 홀더(130)에는 플라즈마 입자(160)에 의하여 증착용 타겟(140)으로부터 스퍼터링된 플라즈마 입자(160)가 상기 기판(120) 상에 용이하게 증착될 수 있도록 상기 기판(120)을 가열하는 히이터(미도시)가 더 설치될 수 있다.
한편, 상기 기판 홀더(130)는 애노우드로서 기능하며, 그라운드로 접지된다.
상기 증착용 타겟(140)은 상기 기판(120)과 대향되게 배치된다. 상기 증착용 타겟(140)은 스퍼터링에 의하여 상기 기판(120)의 일면에 증착되는 소재로 이루어진다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착용 타겟(140)은 복수의 전극과, 유기 발광층을 가지는 유기 발광 표시 소자(OLED elements)를 커버하기 위한 배리어층, 예컨대, 무기막을 형성하기 위한 소재로 이루어진다. 대안으로는, 상기 증착용 타겟(140)은 상기 기판(120) 상에 증착시키고자 하는 박막층에 따라서 금속 소재, 이를테면, 티타늄, 알루미늄 등을 포함할 수 있는 등 임의적으로 변경가능하다.
상기 증착용 타겟(140)은 스퍼터 캐소우드(150) 상에 장착되어 있다. 상기 스퍼터 캐소우드(150)는 지지축(151)에 결합되어 있다. 본 실시예에 있어서, 상기 스퍼터 캐소우드(150)는 상기 지지축(151)에 의하여 승강하거나, 회전가능하다.
상기 스퍼터 캐소우드(150)는 마그넷(152)을 포함한다. 상기 마그넷(152)은 중앙에 S극을 배치하고, S극을 둘러싸도록 N극이 배치되어 있으며, 챔버(110) 내에 자기장을 형성시킨다. 상기 마그넷(152)은 증착용 타겟(140)의 저면에 걸쳐 폐루프(closed loop) 자기장을 형성할 수 있으며, 플라즈마 입자(160) 내부의 전자들의 운동 경로를 조정하여, 상기 플라즈마 입자(160)를 증착용 타겟(150) 부근으로 강력하게 한정시키는 역할을 한다. 상기 스퍼터 캐소우드(150)는 캐소우드로서 기능한다.
대안으로는, 상기 증착용 타겟(140)은 열전도성을 가지는 백킹 플레이트 상에 부착되고, 백킹 플레이트의 후방에 마그넷이 설치될 수 있는등 어느 하나에 한정되는 것은 아니다.
한편, 상기 증착용 타켓(140) 주변에는 쉴드(153)가 설치되어 있다.
상기 챔버(110) 내에는 플라즈마 입자(160)가 형성되고, 형성된 플라즈마 입자(160)를 이용하여 상기 기판(120) 상에 스퍼터링 증착법에 의하여 증착막을 형성하게 된다. 이때, 플라즈마 입자(160)를 형성하기 위하여 제공되는 반응 가스는 활성 가스인 아르곤 가스를 들 수 있다. 따라서, 상기 플라즈마 입자(160)는 아르곤 가스를 포함한다.
상기 챔버(110) 에는 스퍼터링용 가스인 아르곤 가스를 공급하기 위한 가스 공급부(171)와, 챔버(110) 내부의 압력을 제어하기 위한 가스 배출부(172)가 형성되어 있다.
상기 가스 공급부(171)는 상기 증착용 타겟(140)의 종류에 따라서 스퍼터링 가스, 이를테면, 아르곤 등의 가스가 챔버(110)로 유입되는 통로를 제공한다. 스퍼터링 가스는 챔버(110) 내에서 글로우 방전(glow discharge)을 발생시켜 이온화되고, 고밀도의 플라즈마(160)로 형성된다.
상기 가스 배출부(172)는 진공 펌프(미도시)에 의하여 연결되어서, 상기 챔버(110)의 내부를 진공 상태로 형성시켜 준다.
여기서, 상기 플라즈마(160)가 증착용 타겟(140)과 충돌하여 형성된 증착용 입자가 상기 기판(120) 상에 증착시에 상기 기판(120) 상에 균일한 성막을 위하여, 상기 박막 증착 장치(100)는 상기 기판(120)의 전체적인 회전 및 상기 기판(120)의 경사각을 변화시키는 장치를 구비하고 있다.
보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1, 2a, 2b, 3a 및 3b를 참조하면, 상기 기판 홀더(130)는 주 회전축 유니트(180)에 결합되어 있다.
상기 주 회전축 유니트(180)에는 주 회전축(181)이 마련되어 있다. 상기 주 회전축(181)은 상기 챔버(110)의 수직 방향으로 설치되어 있다. 상기 주 회전축(181)은 주회전 모터(M1, 182)에 결합되어서, 일방향으로 회전가능하다.
상기 주 회전축(181)의 단부에는 고정축(183)이 결합되어 있다. 상기 고정축(183)은 상기 챔버(110)의 수평 방향으로 설치되어 있다. 상기 고정축(183)은 상기 주 회전축(181)과 일체형으로 형성되거나, 조립에 의하여 결합할 수 있다.
상기 고정축(183)의 양 단으로부터 복수의 수직축(184)(185)이 형성되어 있다. 상기 고정축(183)의 일단에는 제 1 수직축(184)이 형성되며, 상기 고정축(183)의 타단에는 제 2 수직축(185)이 형성되어 있다. 상기 제 1 수직축(184)과, 제 2 수직축(185)은 상기 고정축(183)의 양 단으로부터 상기 챔버(110)의 수직 방향으로 연장되어 있다.
상기 제 1 수직축(184)의 내부에는 제 1 가이드 홈(186)이 상기 제 1 수직축(184)의 길이 방향을 따라 형성되며, 상기 제 2 수직축(185)의 내부에는 제 2 가이드 홈(187)이 상기 제 2 수직축(185)의 길이 방향을 따라 형성되어 있다.
상기 제 1 가이드 홈(186)에는 제 1 가이드 축(188)이 삽입되어 있다. 상기 제 1 가이드 축(188)은 상기 제 1 가이드 홈(186)을 따라 승강가능하게 설치되어 있다. 상기 제 2 가이드 홈(187)에는 제 2 가이드 축(189)이 삽입되어 있다. 상기 제 2 가이드 축(188)은 상기 제 2 가이드 홈(187)을 따라 승강가능하게 설치되어 있다. 상기 제 2 가이드 축(189)의 길이(l2)는 상기 제 1 가이드 축(188)의 길이(l1)와 동일한 길이를 가지고 있다. 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)은 피스톤 결합 등에 의하여 승강 운동가능하다.
이때, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 수직축(184) 및 제 2 수직축(185)의 내부 하단부에는 내주벽으로부터 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)을 향하여 제 1 돌기부(191)가 각각 돌출되어 있다. 또한, 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)의 외주면에는 제 2 돌기부(192)가 각각 돌출되어 있다. 이에 따라, 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)이 하강 운동시, 상기 제 2 돌기부(192)의 아랫면이 상기 제 1 돌기부(191)의 윗면에 안착되므로, 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)은 상기 제 1 수직축(184) 및 제 2 수직축(185)의 바깥으로 이탈되지 않는다.
다시, 도 1, 2a, 2b, 3a 및 3b를 참조하면, 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)은 상기 주 회전축 유니트(180)가 회전시에 같이 회전할 수 있는 구조이다. 상기 주 회전축 유니트(180)에 대하여 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)의 결합 구조는 가이드 홈을 통하여 가이드 부재가 결합하여 회전가능하는등 다양한 실시예가 존재한다 할 것이다.
한편, 상기 제 1 가이드 축(188)의 단부 및 제 2 가이드 축(189)의 단부는 상기 기판 홀더(130)의 배면(131)에 결합되어 있다. 상기 기판 홀더(130)에 대하여 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)은 서로 고정되는 방식이 아니라, 링 부재와 같은 커넥터(190)에 의하여 연결되어 있다. 커넥터 결합 방식은 상기 기판 홀더(130)의 경사각이 변화시, 상기 기판 홀더(130)의 자유도를 유지할 수 있다.
상기 기판 홀더(130)의 배면(131)에는 경사 회전축 유니트(200)가 결합되어 있다.
상기 경사 회전축 유니트(200)에는 경사 회전축(201)이 마련되어 있다. 상기 경사 회전축(201)은 상기 주 회전축(181)의 주 가이드 홈(188)에 삽입되어 있다. 상기 경사 회전축(201)은 경사 회전 모터(M2, 202)에 결합되어서, 일 방향으로 회전 가능하다. 이처럼, 상기 주 회전축(181) 및 경사 회전축(201)은 상기 주회전 모터(M1, 182) 및 경사 회전 모터(M2, 202)로부터 각각 공급되는 회전력에 의하여 독립적으로 회전 가능하다.
이때, 상기 주 회전축(181)의 내부에는 내주벽으로부터 상기 경사 회전축(201)을 향하여 제 1 돌기부(189)가 돌출되며, 상기 경사 회전축(201)의 외주면에는 제 2 돌기부(205)가 돌출되어 있다. 이에 따라, 상기 2 돌기부(205)의 아랫면이 상기 제 1 돌기부(189)의 윗면에 안착가능함에 따라, 작동중, 상기 경사 회전축(201)은 상기 주 회전축(181)의 바깥으로 이탈되지 않는다.
상기 경사 회전축(201)의 단부에는 연결축(202)이 결합되어 있다. 상기 연결축(202)은 상기 챔버(110)의 수평 방향으로 설치되어 있다. 상기 연결축(202)은 상기 경사 회전축(201)과 일체형으로 형성되거나, 조립에 의하여 결합할 수 있다.
상기 연결축(202)의 양 단으로부터 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)이 형성되어 있다. 상기 연결축(202)의 일단에는 제 1 회전 가이드 축(203)이 형성되어 있으며, 상기 연결축(202)의 타단에는 제 2 회전 가이드 축(204)이 형성되어 있다. 상기 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)은 상기 연결축(202)의 양 단으로부터 상기 챔버(110)의 수직 방향으로 연장되어 있다. 상기 제 1 회전 가이드 축(203)의 단부와, 제 2 회전 가이드 축(204)의 단부는 상기 기판 홀더(130)의 배면(131)에 결합되어 있다.
이때, 상기 제 1 회전 가이드 축(203)과 제 2 회전 가이드 축(204)은 서로 다른 길이를 가지고 있다. 즉, 상기 제 1 회전 가이드 축(203)의 수직 방향으로의 길이(l3)는 상기 제 2 회전 가이드 축(204)의 수직 방향으로의 길이(l4)보다 더 길게 형성되어 있다.
이에 따라, 상기 제 1 회전 가이드 축(203) 및 제 2 회전 가이드 축(204)에 의하여 지지되는 기판 홀더(130)는 상기 제 1 회전 가이드 축(203) 및 제 2 회전 가이드 축(204)의 서로 다른 길이로 인하여 상기 챔버(110)의 수평 방향에 대하여 경사지게 배치된다.
상기 제 1 회전 가이드 축(203) 및 제 2 회전 가이드 축(204)은 상기 기판 홀더(130)에서 회전 부재(210) 상에서 공회전 가능하게 결합되어 있다. 즉, 상기 기판 홀더(103) 내에는 공간(132)이 형성되며, 상기 공간(132)에는 회전 부재(210)가 설치되어 있다. 본 실시예에 있어서, 상기 회전 부재(210)는 베어링 하우징부(211) 내에 환형으로 복수의 볼 베어링(212)이 설치된 베어링 장치이다.
상기 제 1 회전 가이드 축(203) 및 제 2 회전 가이드 축(204)은 상기 기판 홀더(130)의 배면(131)으로부터 형성된 환형의 결합공(133)을 통하여 상기 기판 홀더(130)에 결합되어 있다. 이때, 상기 제 1 회전 가이드 축(203)의 단부 및 제 2 회전 가이드 축(204)의 단부는 상기 볼 베어링(212) 상에 위치하고 있다. 상기 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)은 반경 방향으로 서로 마주보는 곳에 위치하고 있다. 상기 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)은 상기 볼 베어링(212) 상에서 공회전한다.
상기와 같은 구조를 가지는 상기 기판(120)이 전체 회전 및 경사각을 가지며 회전하면서, 증착되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 경사 회전 모터(M2, 202)가 회전하게 되면, 상기 주 회전축(181)의 내부 공간을 통하여 설치된 경사 회전축(201)이 회전하게 된다. 상기 경사 회전축(201)이 일 방향으로 회전하게 되면, 경사 회전축(201)의 단부에 연결된 연결축(202)과, 상기 연결축(202)의 수평 양 단에 결합된 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)이 회전하게 된다.
상기 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)은 상기 기판 홀더(130)의 배면(131)에 형성된 환형의 결합공(133)을 통하여 상기 기판 홀더(130)에 결합되며, 상기 제 1 회전 가이드 축(203)의 단부 및 제 2 회전 가이드 축(204)의 단부는 상기 볼 베어링(212) 상에 접촉하고 있다. 따라서, 상기 제 1 회전 가이드 축(203)과, 상기 제 2 회전 가이드 축(204)은 상기 볼 베어링(212) 상에서 공회전하게 된다.
상기 제 1 회전 가이드 축(203)의 길이(l3)와, 제 2 회전 가이드 축(204)의 길이(l4)는 서로 다르게 형성되어 있다. 상기 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)이 회전하게 되면, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 기판(120)이 장착된 기판 홀더(130)는 상기 제 1 회전 가이드 축(203) 및 제 2 회전 가이드 축(203)의 서로 다른 길이로 인하여 이들의 트레이스(trace)와 대응되게 경사각을 가지고 변화하게 된다.
이때, 상기 기판 홀더(130)가 경사각을 가지고 변화함에 따라서, 상기 기판 홀더(130)의 배면(131) 가장자리측에 결합된 제 1 가이드 축(188)과, 제 2 가이드 축(189)은 상기 주 회전축(181)에 연결된 제 1 수직축(184) 및 제 2 수직축(185) 내에 형성된 제 1 가이드 홈(186) 및 제 2 가이드 홈(187)을 따라서 선택적으로 승강 운동하게 된다.
또한, 상기 기판 홀더(130)는 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)에 링 커넥터(190)에 의하여 자유도를 가지고 결합되어 있으므로, 서로 길이가 다른 상기 제 1 회전 가이드 축(203)과, 제 2 회전 가이드 축(204)이 회전하는 방향에 따라서, 상기 기판 홀더(130)는 소망하는 각도로 경사지게 변화가능하다.
이처럼, 상기 제 1 회전 가이드 축(203) 및 제 2 회전 가이드 축(203)이 회전하면서, 상기 기판 홀더(130)의 각도는 양(+), 음(-)으로 계속하여 변화하게 되므로, 상기 기판(120)에 입사하는 원자의 각도가 변화하게 되면서 커버리지를 향상시킬 수 있다.
한편, 주회전 모터(M1, 182)가 회전하게 되면, 상기 주 회전축(181)은 회전하게 된다. 상기 주 회전축(181)이 일 방향으로 회전하게 되면, 상기 주 회전축(181)의 단부에 연결된 고정축(183)과, 상기 고정축(183)의 수평 양 단에 결합된 제 1 수직축(184) 및 제 2 수직축(185)이 회전하게 된다.
상기 제 1 수직축(184) 및 제 2 수직축(185)이 회전하게 되면, 이들의 내부에 형성된 제 1 가이드 홈(186) 및 제 2 가이드 홈(187)에 결합된 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)도 동시에 회전하게 되고, 상기 제 1 가이드 축(188) 및 제 2 가이드 축(189)과 커넥터(190)에 의하여 결합된 기판 홀더(130)는 회전가능하다.
이처럼, 상기 주 회전축 유니트(180)와, 경사 회전축 유니트(200)는 서로 독립적으로 회전하면서, 상기 주 회전축 유니트(180)에 의하여 기판 홀더(130)가 회전가능하고, 상기 경사 회전축 유니트(200)에 의하여 기판 홀더(130)가 경사각을 가지면서 변화하게 된다.
또한, 상기 주 회전축 유니트(180)와, 경사 회전축 유니트(200)가 각각 독립적으로 회전하므로, 상기 두 유니트(180)(200)의 rpm을 각각 조절하여 최적화된 커버리지를 얻을 수 있다.
또한, 상기 챔버(110) 내에는 수평 방향으로 별도의 보조 타겟 유니트를 설치하여, 수평 방향으로도 증착하는 것에 의하여 커버리지를 더욱 더 좋게 할 수 있다.
상기와 같은 박막 증착 장치(100)에 의하여 기판(120) 상에 증착되는 과정을 도 4a 및 도 4b를 참조하여 살펴보면 다음과 같다.
도 4a를 참조하면, 기판(120)이 일 각도로 경사지게 위치할 경우, 상기 기판(120)과 제 1 파티클(401)이 이루는 예각 부분(A)에서는 사각 지대가 되어서 결합이 되기 쉽다.
그러나, 본 실시예처럼, 상기 기판 홀더(도 2b의 130)의 각도가 180도 회전하게 되면, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 기판(120)의 각도가 변화하게 되어서 원자(atom)가 취약한 부분(A)까지 도달할 수 있으므로, 커버리지가 향상될 수 있다.
도 5는 상기와 같은 박막 증착 장치(100)를 이용하여 제조된 디스플레이 장치, 예컨대, 유기 발광 장치(500)의 일 서브 픽셀을 도시한 것이다.
여기서, 서브 픽셀들은 적어도 하나의 박막 트랜지스터(TFT)와, 유기 발광 소자(OLED)를 가진다. 상기 박막 트랜지스터는 반드시 도 5의 구조로만 가능한 것은 아니며, 그 수와 구조는 다양하게 변형가능하다.
도면을 참조하면, 상기 유기 발광 표시 장치(500)에는 기판(501)이 마련되어 있다. 상기 제 1 기판(501)은 글래스나, 플라스틱과 같은 절연 기판으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 제 1 기판(501) 상에는 버퍼층(502)이 형성되어 있다. 상기 버퍼층(502)은 유기막이나, 무기막이나, 유기막 및 무기막이 교대로 적층된 구조이다. 상기 버퍼층(502)은 산소나 수분이 유기 발광 소자(OLED)로 침투하는 것을 차단한다.
상기 버퍼층(502) 상에는 소정 패턴의 반도체 활성층(503)이 형성되어 있다. 상기 반도체 활성층(503)은 다결정 실리콘으로 형성될 수 있는데, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 산화물 반도체로 형성될 수 있다.
예컨대, 산화물 반도체는 아연(Zn), 인듐(In), 갈륨(Ga), 주석(Sn), 카드뮴(Cd), 게르마늄(Ge), 하프늄(Hf)과 같은 12, 13, 14족 금속 원소 및 이들의 조합에서 선택된 물질의 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 반도체 활성층(503)은 G-I-Z-O[In2O3)a(Ga2O3)b(ZnO)c](a, b, c는 각각 a≥0, b≥0, c≥0의 조건을 만족시키는 실수)을 포함할 수 있다.
상기 반도체 활성층(503)에는 N형이나, P형 불순물 이온을 도핑하여 소스 영역(504)과, 드레인 영역(505)이 형성되어 있다. 상기 소스 영역(504)과, 드레인 영역(505) 사이의 영역은 불순물이 도핑되지 않은 채널 영역(506)이다.
상기 반도체 활성층(503) 상에는 게이트 절연막(507)이 형성되어 있다. 상기 게이트 절연막(507)은 SiO2로 된 단일층이나, SiO2와 SiNx의 이중층 구조로 형성된다.
상기 게이트 절연막(507) 상의 소정 영역에는 게이트 전극(508)이 형성되어 있다. 상기 게이트 전극(508)은 박막 트랜지스터의 온/오프 신호를 인가하는 게이트 라인(미도시)과 연결되어 있다. 상기 게이트 전극(508)은 단일 금속이나, 다중 금속의 사용이 가능하다. 상기 게이트 전극(508)은 Mo, MoW, Cr, Al 합금, Mg, Ni, W, Au 등의 단층막이나, 이들의 혼합으로 이루어지는 다층막으로 형성될 수 있다.
상기 게이트 전극(507) 상에는 층간 절연막(509)이 형성되어 있다. 상기 층간 절연막(509)의 일부를 제거하여 형성된 콘택 홀을 통하여 상기 소스 영역(504)에 대하여 소스 전극(510)이 전기적으로 연결되고, 상기 드레인 영역(505)에 대하여 드레인 전극(511)이 전기적으로 연결되어 있다. 상기 층간 절연막(509)은 SiO2나, SiNx 등과 같은 절연성 소재로 형성될 수 있으며, 이외에도 절연성 유기물 등으로 형성될 수 있다.
상기 소스 전극(510) 및 드레인 전극(511) 상에는 SiO2나, SiNx 등으로 이루어진 패시베이션막(512)이 형성되어 있다. 상기 패시베이션막(512)은 유기 물질로만 형성시킬 수도 있다. 상기 패시베이션막(512) 상에는 아크릴(acryl), 폴리이미드(polyimide), BCB(Benzocyclobutene) 등의 유기 물질로 된 평탄화막(513)이 형성되어 있다.
상기 평탄화막(513) 상에는 상기 평탄화막(513)의 일부를 제거하여 형성된 콘택 홀을 통하여 상기 소스 전극(510)이나, 드레인 전극(511)중 어느 한 전극에 전기적으로 연결되는 유기 발광 소자(OLED)의 제 1 전극(515)이 형성되어 있다.
상기 제 1 전극(515)은 유기 발광 소자에 구비되는 전극들중 애노우드 역할을 하는 것으로서, 다양한 소재로 형성될 수 있다. 상기 제 1 전극(515)은 유기 발광 소자(OLED)의 특성에 따라 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성될 수 있다.
상기 제 1 전극(515)이 투명 전극으로 사용될 경우에는 ITO, IZO, ZnO, In2O3를 포함할 수 있으며, 상기 제 1 전극(515)이 반사형 전극으로 사용될 경우에는 Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 반사막을 형성한 후, 반사막 상에 ITO, IZO, ZnO, In2O3를 형성할 수 있다.
상기 평탄화막(513) 상에는 상기 제 1 전극(515)의 적어도 일부를 외부에 노출시킬 수 있도록 개구부(523)가 형성되며, 상기 개구부(523)의 둘레에는 상기 제 1 전극(515)의 가장자리를 커버하는 픽셀 정의막(Pixel define layer, PDL, 514)이 형성되어 있다. 상기 픽셀 정의막(514)은 절연층으로서, 상기 제 1 전극(515)의 가장자리를 둘러싸는 것에 의하여 각 서브 픽셀의 발광 영역을 정의한다.
상기 픽셀 정의막(514)은 유기물이나, 무기물로 형성하게 된다.
이를테면, 상기 픽셀 정의막(514)은 폴리이미드, 폴리아마이드, 벤조사이클로부텐, 아크릴 수지, 페놀 수지 등과 같은 유기물이나, SiNx와 같은 무기물로 형성가능하다. 상기 픽셀 정의막(514)은 단일막으로 형성되거나, 다중막으로 구성될 수 있는등 다양한 변형이 가능하다.
상기 개구부(523)에 의하여 외부로 노출된 제 1 전극(515) 상에는 유기막(516)이 형성되어 있다. 상기 유기막(516)은 증착 공정에 의하여 형성시키는 것이 바람직하다.
본 실시예에서는 상기 유기막(516)은 각 서브 픽셀, 즉, 패터닝된 제 1 전극(515)에만 대응되도록 패터닝된 것으로 도시되어 있으나, 이것은 서브 픽셀의 구성을 설명하기 위하여 편의상 이와 같이 도시한 것이며, 상기 유기막(516)은 인접한 다른 서브 픽셀과 일체로 형성될 수 있음은 물론이다. 또한, 상기 유기막(516)중 일부 층은 각 서브 픽셀별로 형성되고, 다른 층은 인접한 서브 픽셀의 유기막(516)과 일체로 형성될 수 있는등 다양한 변형이 가능하다.
상기 유기막(516)은 저분자 유기물이나, 고분자 유기물로 이루어질 수 있다.
예컨대, 상기 유기막(516)이 저분자 유기물을 사용할 경우, 상기 제 1 전극(515)의 표면으로부터 정공 주입층(Hole injection layer, HIL), 정공 수송층(Hole transport layer, HTL), 발광층(Emissive layer, EML), 전자 수송층(Electron transport layer, ETL), 전자 주입층(Electron injection layer, EIL) 등이 단일층이나, 복합층을 형성할 수 있다.
또한, 상기 유기막(516)에 이용 가능한 유기 재료도 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘(N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine: NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린 알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등을 비롯해 다양하게 적용 가능하다. 상기 저분자 유기막은 진공 증착의 방법으로 형성하는 것이 바람직하다.
상기 유기막(516)이 고분자 유기물을 사용할 경우, 정공 수송층(HTL) 및 발광층(EML)을 구비할 수 있다. 정공 수송층으로는 PEDOT를 사용하고, 발광층으로는 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 유기물질을 사용하며, 이를 스크린 인쇄나 잉크젯 인쇄방법 등으로 형성하는 것이 바람직하다.
상기 유기막(516) 상에는 제 2 전극(517)을 형성하게 된다. 상기 제 2 전극(517)은 제 1 전극(515)과 마찬가지로 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성할 수 있다.
상기 제 2 전극(517)이 투명 전극으로 사용될 경우, 일 함수가 작은 금속, 예컨대, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg 및 이들의 화합물이 유기막(516) 상에 증착된 후, 그 위에 ITO, IZO, ZnO, In2O3 등의 투명 전극 형성용 물질로 형성된 보조 전극을 형성할 수 있다.
상기 제 2 전극(517)이 반사형 전극으로 사용될 경우, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Mg 및 이들의 화합물을 전면 증착하여 형성하게 된다.
한편, 상기 제 1 전극(515)은 투명 전극이나, 반사형 전극으로 형성시 각 서브 픽셀의 개구부(523)에만 형성된다. 반면에, 상기 제 2 전극(517)은 투명 전극이나, 반사형 전극을 유기 발광 표시 장치(500)의 표시 영역 전체에 전면 증착하여 형성가능하다. 대안으로는 상기 제 2 전극(517)은 반드시 기판(501)에 전면 증착할 필요는 없으며, 다양한 특정 패턴으로 형성될 수 있음은 물론이다. 게다가, 상기 제 1 전극(515)과, 제 2 전극(517)은 위치가 서로 반대로 적층될 수 있음은 물론이다
이처럼, 유기 발광 소자(OLED)는 제 1 전극(515), 제 2 전극(517), 및 상기 제 1 전극(515)과 제 2 전극(517) 사이에 개재되는 유기 발광층을 구비한 유기막(516)을 포함한다. 상기 제 1 전극(515)과, 제 2 전극(517)은 유기막(516)에 의하여 서로 절연되어 있으며, 상기 유기막(516)에 서로 다른 극성의 전압을 가하여 유기막(516)에서 발광이 이루어지게 된다.
상기 제 2 전극(517) 상에는 봉지층(530)이 형성되어 있다. 상기 봉지층(530)은 유기막이나, 무기막이 각각 적어도 한 층 이상 적층된 구조이다. 예컨대, 상기 봉지층(530)은 에폭시, 폴리이미드, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리아크릴레이트 등과 같은 적어도 하나의 유기막(532)과, 실리콘 옥사이드(SiO2), 실리콘 나이트 라이드(SiNx), 알루미늄 옥사이드(Al2O3), 티타늄 옥사이드(TiO2), 지르코늄 옥사이드(ZrOx), 징크 옥사이드(ZnO) 등과 같은 적어도 하나의 무기막(531)(533)이 적층된 구조이다. 상기 봉지층(530)은 유기막(532)이 적어도 1층이고, 무기막(531)(533)이 적어도 2층의 구조를 가지는 것이 바람직하다.
100...박막 증착 장치 110...챔버
120...기판 130...기판 홀더
140...증착용 타겟 150...스퍼터 캐소우드
160...플라즈마 입자 180...주 회전축 유니트
181...주 회전축 183...고정축
184...제 1 수직축 185...제 2 수직축
188...제 1 가이드 축 189...제 2 가이드 축
190...커넥터 200...경사 회전축 유니트
201...경사 회전축 203...제 1 회전 가이드 축
204..제 2 회전 가이드 축 210...회전 부재

Claims (17)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내에 설치되며, 기판이 장착되는 기판 홀더;
    상기 기판 홀더 상부에 배치되고, 상기 기판 홀더의 회전 및 경사각을 변화시키는 복수의 회전축 유니트; 및
    상기 챔버 내의 상기 기판 홀더 하부에 설치되며, 상기 기판 상에 형성되는 박막층 원소재를 공급하는 타겟 유니트;를 포함하는 박막 증착 장치.
  2. 챔버;
    상기 챔버 내에 설치되며, 기판이 장착되는 기판 홀더;
    상기 기판 홀더 상부에 배치되고, 상기 기판 홀더의 회전 및 경사각을 변화시키는 복수의 회전축 유니트; 및
    상기 챔버 내의 상기 기판 홀더 하부에 설치되며, 상기 기판 상에 형성되는 박막층 원소재를 공급하는 타겟 유니트;를 포함하고,
    상기 회전축 유니트는,
    상기 기판을 일 방향으로 회전시키며, 주 회전축과, 상기 주 회전축에 결합되는 고정축과, 상기 고정축에 승강가능하게 결합되며, 상기 기판 홀더의 일면에 지지되는 복수의 가이드 축을 가지는 주 회전축 유니트; 및
    상기 기판의 경사각을 변화시키며, 상기 주 회전축에 결합되는 경사 회전축과, 상기 경사 회전축에 결합되며, 상기 기판 홀더의 일면에 지지되는 복수의 회전 가이드 축을 가지는 경사 회전축 유니트;를 포함하는 박막 증착 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 주 회전축은 주회전 모터에 연결되어 회전가능하며,
    상기 고정축은 상기 주 회전축의 단부에서 상기 챔버의 수평 방향으로 설치되는 제 1 연결축과, 상기 제 1 연결축으로부터 연장되며, 상기 복수의 가이드 축이 승강가능하게 결합되는 복수의 수직축을 가지는 박막 증착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 수직축은 상기 제 1 연결축의 양 단부로부터 상기 챔버의 수직 방향으로 연장되는 제 1 수직축과, 제 2 수직축을 가지며,
    상기 가이드 축은 제 1 가이드 축과, 제 2 가이드 축을 가지며,
    상기 제 1 가이드 축과, 제 2 가이드 축은 상기 제 1 수직축 및 제 2 수직축의 내부에 형성된 가이드 홈을 따라서 각각 승강가능하게 결합된 박막 증착 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 가이드 축의 길이와, 상기 제 2 가이드 축의 길이는 서로 동일한 박막 증착 장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 가이드 축과 기판 홀더 사이에는 상기 가이드 축에 대하여 기판 홀더가 유동가능하도록 링 커넥터가 설치된 박막 증착 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 홀더에는 회전 부재가 설치되며,
    상기 경사 회전축 유니트는 상기 회전 부재에 공회전 가능하게 결합되며, 상기 복수의 가이드 축과 연동하여 상기 기판의 경사각을 변화시키는 박막 증착 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 경사 회전축은 상기 주 회전축 내부를 통하여 결합되며, 경사 회전 모터에 연결되어 회전가능하며,
    상기 경사 회전축의 단부에는 상기 챔버의 수평 방향으로 제 2 연결축이 설치되며,
    상기 회전 가이드 축은 상기 제 2 연결축으로부터 연장되며, 상기 회전 부재 상에 설치된 박막 증착 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 회전 가이드 축은 상기 제 2 연결축의 양 단부로부터 상기 챔버의 수직 방향으로 연장되는 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전축을 가지며,
    상기 제 1 회전 가이드축과, 제 2 회전 가이드축은 수직 방향으로의 길이가 서로 다르게 형성된 박막 증착 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 회전 부재는 상기 기판 홀더 내에 환형으로 배열되고,
    상기 제 1 회전 가이드축과, 제 2 회전 가이드축은 상기 회전 부재에 대하여 수직 방향으로 대응되게 형성된 기판 홀더의 결합공을 통하여 삽입되어서, 상기 회전 부재 상에 환형으로 공회전 가능하게 위치하는 박막 증착 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 회전 부재는 베어링 장치인 박막 증착 장치.
  12. 챔버 내에 설치된 기판이 장착되는 기판 홀더를 지지하며, 주 회전축 유니트와, 상기 주 회전축 유니트에 결합되는 경사 회전축 유니트를 각각 독립적으로 회전시켜서 상기 기판을 전체 및 경사지게 회전시키는 단계;
    상기 챔버 내에 설치된 타겟 유니트에 전압을 인가시켜서, 상기 챔버 내에 플라즈마를 형성하는 단계; 및
    상기 기판 상에 증착막을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 주 회전축 유니트는 주 회전축과, 상기 주 회전축에 결합되는 고정축과, 상기 고정축에 승강가능하게 결합되며, 상기 기판 홀더의 일면에 지지되는 복수의 가이드 축을 가지며, 상기 주 회전축에 연결된 주회전 모터의 회전력에 의하여 상기 기판 홀더를 전체적으로 회전시키는, 박막 증착 장치의 증착 방법.
  13. 삭제
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 회전축 유니트는 상기 주 회전축을 통하여 결합되는 경사 회전축과, 상기 경사 회전축에 결합되며, 서로 길이가 다른 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전 가이드 축을 가지고 상기 기판 홀더에 설치된 회전 부재에 공회전 가능하게 결합되며, 상기 경사 회전축에 연결된 경사 회전 모터의 회전력에 의하여 상기 기판 홀더를 경사지게 회전시키는 박막 증착 장치의 증착 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 회전 부재는 상기 기판 내에 개재된 베어링 장치를 포함하며,
    상기 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전 가이드 축은 상기 회전 부재 상을 공회전하면서 상기 제 1 회전 가이드 축과, 제 2 회전 가이드 축의 길이 차이에 의하여 상기 기판이 경사지게 변화하는 박막 증착 장치의 증착 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 1 회전 가이드 축이나 제 2 회전 가이드 축의 승강 위치에 따라 상기 가이드 축은 연동하여 상기 고정축 내부를 승강하는 박막 증착 장치의 증착 방법.
  17. 기판 상에 형성되는 박막 트랜지스터와, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되며, 제 1 전극, 유기 발광층, 및 제 2 전극을 포함하는 유기 발광 소자를 포함하되, 제 12 항 및 제 14 항 내지 제 16 항 중 선택된 어느 하나의 방법에 의하여 기판상에 박막층이 증착되는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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