KR102083381B1 - 취성 기판의 분단 방법 - Google Patents

Abstract

날끝을 취성 기판(11)의 제1 면(SF1) 상으로 밀어붙이면서 제1 면(SF1) 상에서 날끝을 이동시키는 것에 의해, 제1 부분(LR) 및 제2 부분(HR)을 갖는 트렌치 라인(TL)이, 크랙리스 상태가 얻어지도록 형성된다. 제2 부분(HR)을 형성하기 위해 날끝에 가해지는 하중은, 제1 부분(LR)을 형성하기 위해 날끝에 가해지는 하중보다도 높다. 제2 부분(HR)을 따라 크랙이 발생된다. 응력 인가 부재(85)가, 제2 면(SF2) 중 트렌치 라인(TL)의 제1 부분(LR)에 대향하는 제3 부분(SP3)에서는 멀어지면서, 제2 면(SF2) 중 트렌치 라인(TL)의 제2 부분(HR)에 대향하는 제4 부분(SP4)에 접촉된다. 그 후, 제3 부분(SP3)에 응력 인가 부재(85)가 접촉된다.

Description

취성 기판의 분단 방법{METHOD FOR CUTTING BRITTLE SUBSTRATE}

본 발명은 취성 기판의 분단 방법에 관한 것이다.

플랫 디스플레이 패널 또는 태양 전지 패널 등의 전기 기기의 제조에 있어서, 유리 기판 등의 취성 기판을 분단(cutting)하는 것이 자주 필요해진다. 우선 기판 상에 스크라이브 라인이 형성되고, 다음으로 이 스크라이브 라인을 따라 기판이 분단된다. 스크라이브 라인은, 날끝을 이용하여 기판을 기계적으로 가공함으로써 형성될 수 있다. 날끝이 기판 상을 슬라이딩 또는 전동(rolling)함으로써, 기판 상에 소성 변형에 의한 트렌치가 형성됨과 동시에, 이 트렌치의 바로 아래에는 수직 크랙이 형성된다. 그 후, 브레이크 공정이라고 칭해지는 응력 부여가 이루어진다. 이에 따라 상기 수직 크랙을 두께 방향으로 완전하게 진행시킴으로써, 기판이 분단된다.

기판이 분단되는 공정은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 공정의 직후에 행해지는 경우가 비교적 많다. 그러나, 스크라이브 라인을 형성하는 공정과 브레이크 공정의 사이에 있어서 기판을 가공하는 공정을 행하는 것도 제안되어 있다.

예를 들면 국제공개공보 제2002/104078호의 기술에 의하면, 유기 EL 디스플레이의 제조 방법에 있어서, 밀봉 캡을 장착하기 전에 각 유기 EL 디스플레이가 되는 영역마다 유리 기판 상에 스크라이브 라인이 형성된다. 이 때문에, 밀봉 캡을 형성한 후에 유리 기판 상에 스크라이브 라인을 형성했을 때에 문제가 되는 밀봉 캡과 유리 커터의 접촉을 회피시킬 수 있다.

또한, 예를 들면 국제공개공보 제2003/006391호의 기술에 의하면, 액정 표시 패널의 제조 방법에 있어서, 2개의 유리 기판이, 스크라이브 라인이 형성된 후에 접합된다. 이에 따라 한 번의 브레이크 공정으로 2매의 취성 기판을 동시에 브레이크할 수 있다.

국제공개공보 제2002/104078호 국제공개공보 제2003/006391호

상기 종래의 기술에 의하면, 취성 기판으로의 가공이 스크라이브 라인의 형성 후에 행해지고, 그 후의 응력 부여에 의해 브레이크 공정이 행해진다. 이것은, 취성 기판으로의 가공시에 스크라이브 라인 전체를 따라 수직 크랙이 이미 존재하고 있는 것을 의미한다. 따라서, 이 수직 크랙의 두께 방향에 있어서의 더 한층의 신전이 가공 중에 의도하지 않게 발생함으로써, 가공 중은 일체이어야 할 취성 기판이 분리되어 버리는 경우가 있을 수 있었다. 또한, 스크라이브 라인의 형성 공정과 기판의 브레이크 공정의 사이에 기판의 가공 공정이 행해지지 않는 경우에 있어서도, 통상, 스크라이브 라인의 형성 공정 후 또한 기판의 브레이크 공정 전에 기판의 반송 또는 보관이 필요하며, 그 때에 기판이 의도하지 않게 분단되어 버리는 일이 있을 수 있었다.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명자들은 독자적인 분단 기술을 개발해 왔다. 이 기술에 의하면, 취성 기판이 분단되는 위치를 규정하는 라인으로서, 우선, 그 바로 아래에 크랙을 갖지 않는 트렌치 라인이 형성된다. 트렌치 라인이 형성됨으로써, 취성 기판이 분단되게 되는 위치가 규정된다. 그 후, 트렌치 라인의 바로 아래에 크랙이 존재하고 있지 않는 상태가 유지되고 있으면, 트렌치 라인에 따른 분단이 용이하게는 생기기 어렵다. 이 상태를 이용함으로써, 취성 기판이 분단되게 되는 위치를 미리 규정하면서도, 분단되어야 할 시점보다 전에 취성 기판이 의도하지 않게 분단되는 것을 막을 수 있다.

전술한 바와 같이 트렌치 라인은, 통상의 스크라이브 라인에 비해, 그에 따른 분단이 발생하기 어렵다. 이에 따라 취성 기판의 의도하지 않은 분단이 막아지는 한편으로, 취성 기판의 분단을 트렌치 라인을 따라 정확하게 행하는 일의 난이도가 높아진다는 문제가 있었다.

본 발명은 이상과 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 그 바로 아래에 크랙을 갖지 않는 트렌치 라인을 따른 분단을 정확하게 행할 수 있는 취성 기판의 분단 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 취성 기판의 분단 방법은,

a) 제1 면과 제1 면과 반대의 제2 면을 갖고, 제1 면에 수직인 두께 방향을 갖는 취성 기판을 준비하는 공정과,

b) 날끝을 취성 기판의 제1 면 상으로 밀어붙이면서 제1 면 상에서 날끝을 이동시키는 것에 의해 취성 기판의 제1 면 상에 소성 변형을 발생시킴으로써, 제1 및 제2 부분을 갖는 트렌치 라인을 형성하는 공정을 구비하고, 트렌치 라인을 형성하는 공정에 있어서, 트렌치 라인의 제2 부분을 형성하기 위해 날끝에 가해지는 하중은, 트렌치 라인의 제1 부분을 형성하기 위해 날끝에 가해지는 하중보다도 높고, 트렌치 라인을 형성하는 공정은, 트렌치 라인의 바로 아래에 있어서 취성 기판이 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스 상태가 얻어지도록 행해지고, 또한

c) 트렌치 라인의 제1 및 제2 부분 중 제2 부분만을 따라 크랙을 발생시키는 공정과,

d) 공정 c) 후에, 취성 기판의 제1 면이 지지부에 대향하도록 취성 기판을 지지부 상에 두는 공정과,

e) 공정 d) 후에, 응력 인가 부재를, 취성 기판의 제2 면 중 트렌치 라인의 제1 부분에 대향하는 제3 부분으로부터는 멀어지게 하면서, 취성 기판의 제2 면 중 트렌치 라인의 제2 부분에 대향하는 제4 부분에 접촉시키는 공정과,

f) 공정 e) 후에, 취성 기판의 제2 면 중 제3 부분에 응력 인가 부재를 접촉시키는 공정을 갖는다.

본 발명에 의하면, 취성 기판의 제1 면에 형성된 트렌치 라인의 제2 부분에 대향하는 취성 기판의 제 2면의 제4 부분에 접촉하고 또한 취성 기판의 제 1면에 형성된 트렌치 라인의 제1 부분에 대향하는 취성 기판의 제 2면의 제3 부분으로부터 멀어지도록 취성 기판의 제2 면에 응력 인가 부재가 접촉된다. 즉, 제3 부분보다도 앞서, 이미 그것을 따라 크랙이 발생하고 있는 제2 부분에 대향하는 제4 부분에 응력 인가 부재가 접촉된다. 이에 따라 제2 부분을 따른 취성 기판의 분리가 안정적으로 생긴다. 이후에, 트렌치 라인의 제1 부분에 대향하는 제3 부분에 응력 인가 부재가 접촉된다. 이에 따라, 취성 기판의 더 한층의 분리가 제1 부분을 따라 안정적으로 생긴다. 따라서, 취성 기판을 트렌치 라인의 전체를 따라 안정적으로 분단할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법을 개략적으로 나타내는 플로우도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 3은 도 2의 선 Ⅲ-Ⅲ을 따르는 개략 단면도이다.
도 4는 도 2의 선 ⅣA-ⅣA를 따르는 개략 단면도 (A) 및, 도 2의 선 ⅣB-ⅣB를 따르는 개략 단면도 (B)이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 6은 도 5의 선 VI-VI을 따르는 개략 단면도이다.
도 7은 도 5의 선 Ⅶ-Ⅶ을 따르는 개략 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 9는 도 8의 선 Ⅸ-Ⅸ를 따르는 개략 단면도이다.
도 10은 도 8의 선 Ⅹ-Ⅹ을 따르는 개략 단면도이다.
도 11은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 13은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 14는 도 13의 선ⅩⅣ-ⅩⅣ를 따르는 개략적인 부분 단면도이다.
도 15는 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 16은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 17은 본 발명의 실시 형태 1에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 이용되는 스크라이빙 기구의 구성을 개략적으로 나타내는 측면도 (A) 및, 도 17(A)의 화살표 ⅩⅦ에 대응하는 시야에 의한 날끝의 저면도 (B)이다.
도 18은 본 발명의 실시 형태 1의 제1 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 19는 본 발명의 실시 형태 1의 제2 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 20은 본 발명의 실시 형태 1의 제3 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 21은 본 발명의 실시 형태 1의 제4 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 이용되는 스크라이빙 기구의 구성을 개략적으로 나타내는 측면도 (A) 및, 도 21(A)의 화살표 ⅩⅩI에 대응하는 시야에 의한 날끝의 저면도 (B)이다.
도 22는 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 23은 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 24는 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 25는 본 발명의 실시 형태 2의 제1 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 26은 본 발명의 실시 형태 2의 제1 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 27은 본 발명의 실시 형태 2의 제2 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 28은 본 발명의 실시 형태 2의 제3 변형예에 있어서의 취성 기판의 분단 방법의 일 공정을 개략적으로 나타내는 상면도이다.
도 29는 본 발명의 실시 형태 2에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 이용되는 스크라이빙 기구의 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 30은 도 29에 있어서의 스크라이빙 휠 및 핀의 구성을 개략적으로 나타내는 정면도 (A) 및, 도 30(A)의 부분 확대도 (B)이다.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 도면에 기초하여 본 발명의 각 실시 형태에 있어서의 취성 기판의 분단 방법에 대해서 설명한다. 또한, 이하의 도면에 있어서 동일 또는 상당하는 부분에는 동일한 참조 번호를 붙여 그 설명은 반복하지 않는다.

(실시 형태 1)

본 실시 형태의 유리 기판(11)(취성 기판)의 분단 방법에 대해서, 도 1의 플로우도를 참조하면서, 이하에 설명한다.

도 2∼도 4를 참조하여, 우선 유리 기판(11)이 준비된다(도 1: 스텝 S110). 유리 기판(11)은, 제1 면(SF1)과, 그와 반대의 제2 면(SF2)을 갖는다. 또한 유리 기판(11)은, 제1 면(SF1)에 수직인 두께 방향(DT)을 갖는다.

또한 날끝을 갖는 스크라이빙 기구가 준비된다. 스크라이빙 기구의 상세에 대해서는 후술한다.

다음으로, 날끝이 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상으로 밀어붙여지면서, 제1 면(SF1) 상에서 날끝(51)이 시점(N1)으로부터 도중점(N2)을 경유하여 종점(N3)으로 이동된다. 이에 따라 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상에 소성 변형이 발생된다. 이에 따라 제1 면(SF1) 상에, 시점(N1)으로부터 도중점(N2)을 경유하여 종점(N3)으로 연장되는 트렌치 라인(TL)이 형성된다(도 1: 스텝 S120). 도 2에 있어서는, 방향 DA로의 날끝의 이동에 의해, 3개의 TL이 형성된다.

트렌치 라인(TL)을 형성하는 공정은, 트렌치 라인(TL)의 일부로서 저(低)하중 구간(LR)(제1 부분)을 형성하는 공정(도 1: 스텝 S120L)과, 트렌치 라인(TL)의 일부로서 고(高)하중 구간(HR)(제2 부분)을 형성하는 공정(도 1: 스텝 S120H)을 포함한다. 도 2에 있어서는, 시점(N1)에서 도중점(N2)까지 저하중 구간이 형성되고, 도중점(N2)에서 종점(N3)까지 고하중 구간이 형성된다. 고하중 구간(HR)을 형성하는 공정에 있어서 날끝(51)에 가해지는 하중은, 저하중 구간(LR)을 형성하는 공정에서 이용되는 하중보다도 높다. 반대로 말하면, 저하중 구간(LR)을 형성하는 공정에 있어서 날끝(51)에 가해지는 하중은, 고하중 구간(HR)을 형성하는 공정에서 이용되는 하중보다도 낮고, 예를 들면, 고하중 구간(HR)의 하중의 30∼50％ 정도이다. 그 때문에, 고하중 구간(HR)의 폭은, 저하중 구간(LR)의 폭보다도 크다. 예를 들면, 고하중 구간(HR)이 폭 10㎛를 갖고, 저하중 구간(LR)이 폭 5㎛를 갖는다. 또한 고하중 구간(HR)의 깊이는, 저하중 구간(LR)의 깊이보다도 크다. 트렌치 라인(TL)의 단면은, 예를 들면, 각도 150° 정도의 V자 형상을 갖는다.

트렌치 라인(TL)을 형성하는 공정은, 트렌치 라인(TL)의 바로 아래에 있어서 유리 기판(11)이 트렌치 라인(TL)과 교차하는 방향 DC(도 4(A) 및 (B))에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스 상태가 얻어지도록 행해진다. 이를 위해서는, 날끝에 가해지는 하중이, 유리 기판(11)의 소성 변형을 발생시킬 정도로 크게, 또한, 이 소성 변형부를 기점으로 한 크랙을 발생시키지 않을 정도로 작게 된다.

다음으로, 크랙 라인(도 1: 스텝 S130)이, 이하와 같이 형성된다.

도 5∼도 7을 참조하여, 우선, 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상에 있어서 고하중 구간(HR)에 교차하는 어시스트 라인(AL)이 형성된다. 어시스트 라인(AL)은, 유리 기판(11)의 두께 방향으로 침투하는 크랙을 수반한다. 어시스트 라인(AL)은, 통상의 스크라이브 방법에 의해 형성할 수 있다.

다음으로, 어시스트 라인(AL)을 따라 유리 기판(11)이 분리된다. 이 분리는, 통상의 브레이크 공정에 의해 행할 수 있다. 이 분리를 계기로 하여, 두께 방향에 있어서의 유리 기판(11)의 크랙이, 트렌치 라인(TL)의 저하중 구간(LR) 및 고하중 구간(HR) 중 고하중 구간(HR)만을 따라 신전된다.

도 8 및 도 9를 참조하여, 이상에 의해, 트렌치 라인(TL)의 저하중 구간(LR) 및 고하중 구간(HR) 중 고하중 구간(HR)만을 따라 크랙이 발생된다. 구체적으로는, 고하중 구간(HR) 중, 분리에 의해 새롭게 생긴 변(邊)과, 도중점(N2)의 사이의 부분에, 크랙 라인(CL)이 형성된다. 크랙 라인(CL)이 형성되는 방향은, 트렌치 라인(TL)이 형성된 방향 DA(도 2)와 반대이다. 또한, 분리에 의해 새롭게 생긴 변과 종점(N3)의 사이의 부분에는 크랙 라인(CL)이 형성되기 어렵다. 이 방향 의존성은, 고하중 구간(HR)의 형성시에 있어서의 날끝 상태에 기인하는 것으로, 상세하게는 후술한다.

도 10을 참조하여, 크랙 라인(CL)에 의해 트렌치 라인(TL)의 고하중 구간(HR)의 바로 아래에 있어서, 유리 기판(11)은 트렌치 라인(TL)의 연재 방향과 교차하는 방향 DC에 있어서 연속적인 연결이 끊어져 있다. 여기에서 「연속적인 연결」이란, 환언하면, 크랙에 의해 차단되어 있지 않은 연결을 말하는 것이다. 또한, 전술한 바와 같이 연속적인 연결이 끊어져 있는 상태에 있어서, 크랙 라인(CL)의 크랙을 통하여 유리 기판(11)의 부분끼리가 접촉하고 있어도 좋다.

다음으로, 트렌치 라인(TL)을 따라 유리 기판(11)을 분단하는 브레이크 공정이 행해진다. 이때에, 유리 기판(11)에 응력을 가함으로써 크랙 라인(CL)을 기점으로 하여 저하중 구간(LR)을 따라 크랙이 신전된다. 크랙이 신전하는 방향(도 11에 있어서의 화살표(PR))은, 트렌치 라인(TL)이 형성된 방향 DA(도 2)와 반대이다.

다음으로 상기 브레이크 공정의 상세에 대해서, 이하에 설명한다.

도 12를 참조하여, 지지날(80)(지지부)이 준비된다. 지지날(80)은, 갭(GP)(도 14를 참조하여 후술)이 형성된 평탄한 표면을 갖고 있다. 그리고, 유리 기판(11)의 제1 면(SF1)이 지지날(80)에 대향하도록, 크랙 라인(CL)이 형성된 유리 기판(11)(도 9)이 지지날(80) 상에 놓여진다(도 1: 스텝 S140).

도 13 및 도 14를 참조하여, 브레이크 바(85)(응력 인가 부재)가 준비된다. 브레이크 바(85)는, 도 14에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(11)의 표면을 국소적으로 밀어붙여질 수 있도록 돌출된 형상을 갖는 것이 바람직하고, 도 14에 있어서는 대략 V자형의 형상을 갖는다. 도 13에 나타내는 바와 같이, 이 돌출 부분은 직선 형상으로 연재하고 있다. 또한 지지날(80)의 표면 중, 브레이크 바(85)의 상기 돌출 부분에 대향하게 되는 부분에는, 갭(GP)이 형성되어 있다.

그리고, 유리 기판(11)의 제2 면(SF2)으로부터 간격을 두고 제2 면(SF2)에 브레이크 바(85)가 대향된다. 여기에서, 제2 면(SF2)은, 트렌치 라인(TL)의 저하중 구간(LR)에 두께 방향(도 13에 있어서의 세로 방향)에 있어서 대향하는 부분SP3(제3 부분)과, 트렌치 라인(TL)의 고하중 구간(HR)에 두께 방향에 있어서 대향하는 부분 SP4(제4 부분)를 갖고 있다. 브레이크 바(85)는, 브레이크 바(85)와 부분 SP4의 사이의 거리가 브레이크 바(85)와 부분 SP3의 사이의 거리보다도 작아지도록, 제2 면(SF2)에 대향된다.

구체적으로는, 직선을 따라 연재하는 돌출 부분(도 13에 있어서의 하변)을 갖는 브레이크 바(85)가 준비되고, 상기 직선이 제2 면(SF2)으로부터 기울어지는 바와 같이 브레이크 바(85)가 배치된다. 예를 들면, 지지날(80)의 표면(도 13에 있어서의 상면)이 수평면인 경우, 상기 직선이 수평면으로부터 기울어지는 바와 같이 브레이크 바(85)가 배치된다. 반대로, 상기 직선이 수평면을 따르고 있는 경우, 지지날(80)의 표면이 수평면으로부터 기울어진다. 제2 면(SF2)을 포함하는 평면을 기준면으로 하고, 이 기준면에서 부분 SP3측의 브레이크 바(85)의 단(端)(도 13에 있어서의 좌단)까지의 거리를 거리 L3으로 하고, 이 기준면에서 부분 SP4측의 브레이크 바(85)의 단(도 13에 있어서의 우단)까지의 거리를 거리 L4로 하면, 전술한 기울기를 얻기 위해서는, 거리 L3>거리 L4가 되면 좋다. 거리 L3과 거리 L4의 차이는, 예를 들면 200㎛ 정도이며, 바람직하게는 300㎛ 이하이다. 거리의 차가 과도하게 크면, 브레이크 바(85)와 지지날(80)을 직선 이동에 의해 상대적으로 접근해 있을 때에, 브레이크 바(85) 중 부분 SP4측의 부분(도 13에 있어서의 좌 부분)이 유리 기판(11)에 접촉하기 전에, 부분 SP4측의 브레이크 바(85)의 단(도 13에 있어서의 우단)이 지지날(80)에 접촉해 버린다. 이 경우, 브레이크 바(85)의 좌 부분이 그의 기능을 다할 수 없게 된다.

도 15를 참조하여, 다음으로, 브레이크 바(85)가 지지날(80)에 대하여 방향 DR(하나의 방향)로 상대적으로 직선 이동된다. 이에 따라, 브레이크 바(85)가, 유리 기판(11)의 제2 면(SF2) 중 부분 SP3으로부터는 멀어지면서, 부분 SF4에 접촉된다(도 1: 스텝 S150). 방향 DR은, 브레이크 바(85)가 지지날(80)에 접근하도록 선택되면 좋고, 예를 들면, 지지날(80)의 표면(도면 중, 상면)에 수직인 방향이다.

브레이크 바(85)가 부분 SP4에 접촉하고, 그리고 방향 DR을 따라 부분 SP4 상에 밀어넣어짐으로써, 부분 SP4에 응력이 가해진다. 이에 따라, 부분 SP4에 대향하는 고하중 구간(HR)을 따라 형성되어 있던 크랙 라인(CL)(도 13)으로부터 크랙이 확장된다. 이 결과, 고하중 구간(HR)을 따라 유리 기판(11)이 분리된다.

도 16을 참조하여, 다음으로, 브레이크 바(85)가 지지날(80)에 대하여 방향 DR(하나의 방향)로 상대적으로 추가로 직선 이동된다. 이에 따라, 브레이크 바(85)가, 제2 면(SF2)의 부분 SP4 상으로부터 유리 기판(11) 중에 추가로 침입하면서, 부분 SP3에 접촉된다(도 1: 스텝 S160).

브레이크 바(85)가 부분 SP3에 접촉하고, 그리고 방향 DR을 따라 부분 SP3 상에 밀어넣어짐으로써, 부분 SP3에 응력이 가해진다. 이에 따라, 부분 SP3에 대향하는 저하중 구간(LR)을 따라 고하중 구간(HR)측(도면 중 우측)으로부터 화살표(PR)에 나타내는 바와 같이 크랙이 확장된다. 이 결과, 저하중 구간(LR)을 따라 유리 기판(11)이 분리된다.

이상에 의해, 고하중 구간(HR) 및 저하중 구간(LR)의 양쪽을 따라 유리 기판(11)이 분리된다. 이에 따라 유리 기판(11)을 도 11에 나타내는 바와 같이 분단하는 브레이크 공정이 행해진다.

또한 브레이크 바(85)(응력 인가 부재)를 이용한 브레이크 공정에 대해서 상기에 있어서 구체적으로 설명했지만, 브레이크 공정은 다른 방법에 의해서도 행할 수 있다. 브레이크 공정을 행하기 위해서는, 응력 인가 부재가, 우선 유리 기판(11)의 제2 면(SF2)의 부분 SP3으로부터는 멀어지면서 부분 SP4에 접촉되고, 다음으로 유리 기판(11)의 제2 면(SF2)의 부분 SP3에 접촉되면 좋다. 유리 기판(11)으로의 응력 인가를 위해, 브레이크 바 대신에, 제2 면(SF2) 상을 전동하는 롤러가 이용되어도 좋다. 이러한 경우, 응력 인가 부재는, 부분 SP4 상으로부터 부분 SP3 상으로 이동하는 점에서, 부분 SP3과 접촉하고 있을 때 부분 SP4와 반드시 접촉하고 있지는 않다. 또한 지지날(80)(보다 일반적으로 말하면 지지부)에 대한 응력 인가 부재의 상대적 이동은, 하나의 방향을 따른 직선 이동에만 한정되는 것은 아니고, 보다 복잡한 이동을 수반해도 좋다. 또한 응력 인가 부재가 복수의 부분을 갖고, 그들이 개별적으로 이동되어도 좋다.

도 17(A) 및 (B)를 참조하여, 전술한 트렌치 라인(TL)의 형성에 적합한 스크라이빙 기구(50)에 대해서 설명한다. 스크라이빙 기구(50)는, 스크라이브 헤드(도시하지 않음)에 부착되는 것에 의해 유리 기판(11)에 대하여 상대적으로 이동함으로써, 유리 기판(11)에 대한 스크라이브를 행하는 것이다. 스크라이빙 기구(50)는 날끝(51) 및 생크(52)를 갖는다. 날끝(51)은, 생크(52)에 지지되고 있다.

날끝(51)에는, 천면(天面)(SD1)(제1 면)과, 천면(SD1)을 둘러싸는 복수의 면이 형성되어 있다. 이들 복수의 면은 측면 SD2(제2 면) 및 측면 SD3(제3 면)을 포함한다. 천면(SD1), 측면(SD2 및 SD3)은, 서로 상이한 방향을 향하고 있고, 또한 서로 이웃하고 있다. 날끝(51)은, 천면(SD1), 측면(SD2 및 SD3)이 합류하는 정점을 갖고, 이 정점에 의해 날끝(51)의 돌기부(PP)가 구성되어 있다. 또한 측면(SD2 및 SD3)은, 날끝(51)의 측부(PS)를 구성하는 능선을 이루고 있다. 측부(PS)는 돌기부(PP)로부터 선 형상으로 연장되어 있다. 또한 측부(PS)는, 전술한 바와 같이 능선인 점에서, 선 형상으로 연장되는 볼록 형상을 갖는다.

날끝(51)은 다이아몬드 포인트인 것이 바람직하다. 즉 날끝(51)은 다이아몬드로 만들어져 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 용이하게, 경도를 높게, 표면 거칠기를 작게 할 수 있다. 보다 바람직하게는 날끝(51)은 단결정 다이아몬드로 만들어져 있다. 더욱 바람직하게는 결정학적으로 말하여, 천면(SD1)은 {001}면이고, 측면(SD2 및 SD3)의 각각은 {111}면이다. 이 경우, 측면(SD2 및 SD3)은, 상이한 방향을 갖기는 하지만, 결정학상, 서로 등가인 결정면이다.

또한 단결정이 아닌 다이아몬드가 이용되어도 좋고, 예를 들면, CVD(Chemical Vapor Deposition)법으로 합성된 다결정체 다이아몬드가 이용되어도 좋다. 혹은, 미립의 그래파이트나 비(非)그래파이트상 탄소로부터, 철족 원소 등의 결합재를 포함하지 않고 소결된 다결정체 다이아몬드, 또는 다이아몬드 입자를 철족 원소 등의 결합재에 의해 결합시킨 소결 다이아몬드가 이용되어도 좋다.

생크(52)는 축방향(AX)을 따라 연재하고 있다. 날끝(51)은, 천면(SD1)의 법선 방향이 축방향(AX)을 대체로 따르도록 생크(52)에 부착되는 것이 바람직하다.

스크라이빙 기구(50)를 이용한 트렌치 라인(TL)의 형성에 있어서는, 우선 유리 기판(11)의 제1 면(SF1)에 날끝(51)이 밀어붙여진다. 구체적으로는, 날끝(51)의 돌기부(PP) 및 측부(PS)가, 유리 기판(11)이 갖는 두께 방향(DT)으로 밀어붙여진다.

다음으로, 밀어붙여진 날끝(51)이 제1 면(SF1) 상에서 방향 DA로 슬라이딩된다. 방향 DA는, 돌기부(PP)로부터 측부(PS)를 따라 연장되는 방향을 제1 면(SF1) 상에 투영한 것으로, 축방향(AX)을 제1 면(SF1) 상에 투영한 방향에 대체로 대응하고 있다. 슬라이딩시, 날끝(51)은 생크(52)에 의해 제1 면(SF1) 상을 슬라이딩된다. 이 슬라이딩에 의해, 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상에 소성 변형이 발생된다. 이 소성 변형에 의해 트렌치 라인(TL)이 형성된다.

또한 본 실시 형태에 있어서의 시점(N1)으로부터 종점(N3)으로의 트렌치 라인(TL)의 형성에 있어서, 날끝(51)이 방향 DB로 이동된다고 하면, 환언하면, 날끝(51)의 이동 방향을 기준으로 하여 날끝(51)의 자세가 역방향으로 기울고 있다고 하면, 도 9에 나타내는 크랙 라인(CL)의 형성 및, 도 16에 나타내는 크랙의 진행이, 방향 DA를 이용한 경우에 비해 생기기 어려워진다. 보다 일반적으로 말하면, 방향 DA로의 날끝(51)의 이동에 의해 형성된 트렌치 라인(TL)에 대해서는, 방향 DA와는 역방향으로 크랙이 신전하기 쉽다. 한편으로, 방향 DB로의 날끝(51)의 이동에 의해 형성된 트렌치 라인(TL)에 대해서는, 방향 DB와 동(同)방향으로 크랙이 신전하기 쉽다. 이러한 방향 의존성은, 트렌치 라인(TL)의 형성시에 생기는 소성 변형에 기인하여 유리 기판(11) 내에 생기는 응력 분포와 관련되어 있는 것은 아닌지 추측된다.

본 실시 형태에 의하면, 도 15에 나타내는 바와 같이, 유리 기판(11)의 제2 면(SF2)의 부분 SP4에 접촉하고 또한 부분 SP3으로부터 멀어지는 바와 같이, 제2 면(SF2)에 브레이크 바(85)가 접촉된다. 즉, 부분 SP3보다도 앞서, 이미 그에 따라 크랙이 발생하고 있는 고하중 구간(HR)에 대향하는 부분 SP4에, 브레이크 바(85)가 접촉된다. 이에 따라, 부분 SP4에 대향하는 고하중 구간(HR)을 따른 유리 기판(11)의 분리가 안정적으로 생긴다. 이후에, 도 16에 나타내는 바와 같이, 부분 SP3에 브레이크 바(85)가 접촉된다. 이에 따라, 유리 기판(11)의 새로운 분리가 저하중 구간(LR)을 따라 안정적으로 생긴다. 따라서, 유리 기판(11)을 트렌치 라인(TL)의 전체를 따라 안정적으로 분단할 수 있다.

또한, 본 실시 형태와 상이하게, 가령 브레이크 바(85)가 부분 SP4보다도 앞서 부분 SP3에 접촉되는 경우, 부분 SP4에 대향하는 고하중 구간(HR)을 따른 분리가 생기기 전에, 부분 SP3에 대향하는 저하중 구간(LR)을 기점으로 하는 분리가 촉진된다. 그러나, 저하중 구간(LR)에는, 분리의 기점이 될 수 있는 크랙이 형성되어 있지 않기 때문에, 저하중 구간(LR)을 따른 분리는 안정적으로는 생기기 어렵다. 이 때문에, 저하중 구간(LR)으로부터 벗어난 개소에서 유리 기판(11)이 갈라져 버릴 가능성이 높아진다. 즉, 유리 기판(11)을 트렌치 라인(TL)을 따라 안정적으로 분단하는 것이 곤란하다.

바람직하게는, 유리 기판(11)의 제2 면(SF2)으로의 브레이크 바(85)의 접촉은, 지지날(80)에 대하여 브레이크 바(85)를 방향 DR을 따라 직선 이동시킴으로써 행해진다. 이에 따라, 브레이크 바(85) 또는 지지날(80)의 복잡한 동작을 필요로 하지 않고, 브레이크를 행할 수 있다.

또한, 유리 기판(11)이 분단되는 위치를 규정하기 위한 트렌치 라인(TL)(도 2 및 도 3)의 형성시에 있어서, 고하중 구간(HR)에 비해 저하중 구간(LR)에 있어서, 날끝(51)(도 17(A))에 가해지는 하중이 경감된다. 이에 따라 날끝(51)으로의 대미지를 작게 할 수 있다.

또한 저하중 구간(LR) 및 고하중 구간(HR) 중 저하중 구간(LR)이 크랙리스 상태인 경우(도 8 및 도 9), 유리 기판(11)이 분단되는 기점이 되는 크랙이 저하중 구간(LR)에는 없다. 따라서 이 상태에 있어서 유리 기판(11)에 대하여 임의의 처리를 행하는 경우, 저하중 구간(LR)에 뜻밖의 응력이 가해져도, 유리 기판(11)의 의도하지 않는 분단이 생기기 어렵다. 따라서 상기 처리를 안정적으로 행할 수 있다.

또한 저하중 구간(LR) 및 고하중 구간(HR)의 양쪽이 크랙리스 상태인 경우(도 2 및 도 3), 유리 기판(11)이 분단되는 기점이 되는 크랙이 트렌치 라인(TL)에 없다. 따라서 이 상태에 있어서 유리 기판(11)에 대하여 임의의 처리를 행하는 경우, 트렌치 라인(TL)에 뜻밖의 응력이 가해져도, 유리 기판(11)의 의도하지 않는 분단이 생기기 어렵다. 따라서 상기 처리를 보다 안정적으로 행할 수 있다.

또한 트렌치 라인(TL)은 어시스트 라인(AL)의 형성 전에 형성된다. 이에 따라, 트렌치 라인(TL)의 형성시에 어시스트 라인(AL)이 영향을 미치는 것을 피할 수 있다. 특히, 트렌치 라인(TL) 형성을 위해 날끝(51)이 어시스트 라인(AL) 상을 통과한 직후에 있어서의 형성 이상(異常)을 피할 수 있다.

다음으로 실시 형태 1의 변형예에 대해서, 이하에 설명한다.

도 18을 참조하여, 어시스트 라인(AL)이 트렌치 라인(TL)과 교차하는 것을 계기로 하여, 크랙 라인(CL)이 형성되어도 좋다. 어시스트 라인(AL)의 형성시에 유리 기판(11)에 가해지는 응력이 큰 경우, 이러한 사상(事象)이 생길 수 있다.

도 19를 참조하여, 유리 기판(11)의 제1 면(SF1)에, 우선 어시스트 라인(AL)이 형성되고, 그 후에 트렌치 라인(TL)(도 19에 있어서 도시하지 않음)이 형성되어도 좋다.

도 20을 참조하여, 어시스트 라인(AL)은, 평면 레이아웃에 있어서 고하중 구간(HR)과 교차하도록, 유리 기판(11)의 제2 면(SF2) 상에 형성되어도 좋다. 이에 따라, 어시스트 라인(AL) 및 트렌치 라인(TL)의 양쪽을, 서로 영향을 미치는 일 없이 형성할 수 있다.

도 21(A) 및 (B)를 참조하여, 스크라이빙 기구(50)(도 17(A) 및 (B)) 대신에 스크라이빙 기구(50v)가 이용되어도 좋다. 날끝(51v)은, 정점과, 원추면(SC)을 갖는 원추 형상을 갖는다. 날끝(51v)의 돌기부(PPv)는 정점으로 구성되어 있다. 날끝의 측부(PSv)는 정점으로부터 원추면(SC) 상으로 연장되는 가상선(도 21(B)에 있어서의 파선)을 따라 구성되어 있다. 이에 따라 측부(PSv)는, 선 형상으로 연장되는 볼록 형상을 갖는다.

(실시 형태 2)

도 22를 참조하여, 우선 유리 기판(11)이 준비된다. 또한 날끝을 갖는 스크라이빙 기구가 준비된다. 스크라이빙 기구의 상세에 대해서는 후술한다.

다음으로, 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상에 있어서의 방향 DB로의 날끝의 이동에 의해, 후술하는 고하중 구간(HR)(도 23)에 교차하게 되는 어시스트 라인(AL)이 제1 면(SF1) 상에 형성된다.

도 23을 참조하여, 방향 DB로의 날끝의 이동에 의해, 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상에 있어서 시점(Q1)에서 도중점(Q2 및 Q3)을 경유하여 종점(Q4)까지 트렌치 라인(TL)이 형성된다. 시점(Q1)에서 도중점(Q2)까지 및, 도중점(Q3)에서 종점(Q4)까지의 트렌치 라인(TL)은 저하중 구간(LR)으로서 형성된다. 도중점(Q2)에서 도중점(Q3)까지의 트렌치 라인(TL)은 고하중 구간(HR)으로서 형성된다.

다음으로, 어시스트 라인(AL)을 따라 유리 기판(11)이 분리된다. 이 분리는, 통상의 브레이크 공정에 의해 행할 수 있다. 이 분리를 계기로 하여, 두께 방향에 있어서의 유리 기판(11)의 크랙이 트렌치 라인(TL)을 따라, 트렌치 라인(TL) 중 고하중 구간(HR)으로만 신전된다.

도 24를 참조하여, 전술한 크랙의 신전에 의해, 트렌치 라인(TL)의 일부를 따라 크랙 라인(CL)이 형성된다. 구체적으로는, 고하중 구간(HR) 중, 분리에 의해 새롭게 생긴 변과, 도중점(Q3)의 사이의 부분에, 크랙 라인(CL)이 형성된다. 크랙 라인(CL)이 형성되는 방향은, 트렌치 라인(TL)이 형성된 방향 DB(도 23)와 동일하다. 또한, 분리에 의해 새롭게 생긴 변과 도중점(Q2)의 사이의 부분에는 크랙 라인(CL)이 형성되기 어렵다. 이 방향 의존성은, 고하중 구간(HR)의 형성시에 있어서의 날끝의 상태에 기인하는 것으로, 상세하게는 후술한다.

다음으로, 실시 형태 1과 동일한 브레이크 공정(도 12∼도 16)에 의해, 크랙 라인(CL)을 기점으로 하여 트렌치 라인(TL)을 따라 도중점(Q3)으로부터 종점(Q4)을 향하여 크랙을 신전시키는 브레이크 공정이 행해진다. 이에 따라 유리 기판(11)이 분단된다.

도 25 및 도 26을 참조하여, 제1 변형예로서, 우선 트렌치 라인(TL)이 형성되고, 그 후, 어시스트 라인(AL)이 형성되어도 좋다. 도 27을 참조하여, 제2 변형예로서, 어시스트 라인(AL)의 형성을 계기로 하여, 크랙 라인(CL)이 형성되어도 좋다. 도 28을 참조하여, 어시스트 라인(AL)은, 평면 레이아웃에 있어서 고하중 구간(HR)과 교차하도록, 유리 기판(11)의 제2 면(SF2) 상에 형성되어도 좋다. 또한 본 실시 형태에 있어서는 고하중 구간(HR)이 도중점(Q2)에서 도중점(Q3)까지 형성되지만, 고하중 구간(HR)은 어시스트 라인(AL)과 교차하는 부분에 형성되어 있으면 좋고, 예를 들면 시점(Q1)에서 도중점(Q3)까지 형성되어도 좋다.

도 29를 참조하여, 다음으로 본 실시 형태에 있어서의 트렌치 라인(TL)의 형성에 적합한 스크라이빙 기구(50R)에 대해서 설명한다. 스크라이빙 기구(50R)는, 스크라이빙 휠(51R)과, 홀더(52R)와, 핀(53)을 갖는다. 스크라이빙 휠(51R)은, 대체로 원반 형상의 형상을 갖고 있고, 그 직경은, 전형적으로는 수㎜ 정도이다. 스크라이빙 휠(51R)은, 홀더(52R)에 핀(53)을 통하여, 회전축(RX) 주위에 회전 가능하게 지지되어 있다.

스크라이빙 휠(51R)은, 날끝이 형성된 외주부(PF)를 갖는다. 외주부(PF)는, 회전축(RX) 주위에 원환상으로 연장되어 있다. 외주부(PF)는, 도 30(A)에 나타내는 바와 같이, 육안 레벨에서는 능선 형상으로 깎아지른 듯이 솟아 있고, 그에 따라, 능선과 경사면으로 이루어지는 날끝을 구성하고 있다. 한편, 현미경 레벨에서는, 도 30(B)에 나타내는 바와 같이, 스크라이빙 휠(51R)이 제1 면(SF1) 내로 침입함으로써 실제로 작용하는 부분(도 30(B)의 2점쇄선보다도 하방)에 있어서 외주부(PF)의 능선은 미세한 표면 형상(MS)을 갖는다. 표면 형상(MS)은, 정면으로부터 봄(도 30(B))에 있어서, 유한의 곡률 반경을 갖는 곡선 형상을 갖는 것이 바람직하다. 스크라이빙 휠(51R)은, 초경 합금, 소결 다이아몬드, 다결정 다이아몬드 또는 단결정 다이아몬드 등의 경질 재료를 이용하여 형성되어 있다. 전술한 능선 및 경사면의 표면 거칠기를 작게 하는 관점에서 스크라이빙 휠(51R) 전체가 단결정 다이아몬드로 만들어져도 좋다.

스크라이빙 기구(50R)를 이용한 트렌치 라인(TL)의 형성은, 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상에서 스크라이빙 휠(51R)을 전동시키는 것에 의해(도 29: 화살표(RT)), 스크라이빙 휠(51R)이 제1 면(SF1) 상을 방향 DB로 진행함으로써 행해진다. 이 전동에 의한 진행은, 스크라이빙 휠(51R)에 하중(F)을 가함으로써 스크라이빙 휠(51R)의 외주부(PF)를 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상으로 밀어붙이면서 행해진다. 이에 따라 유리 기판(11)의 제1 면(SF1) 상에 소성 변형을 발생시킴으로써, 홈 형상을 갖는 트렌치 라인(TL)이 형성된다. 하중(F)은, 유리 기판(11)의 두께 방향(DT)에 평행한 수직 성분(Fp)과, 제1 면(SF1)에 평행한 면내 성분(Fi)을 갖는다. 방향 DB는 면내 성분(Fi)의 방향과 동일하다.

또한, 트렌치 라인(TL)의 형성은, 방향 DB로 이동하는 스크라이빙 기구(50R)에 의하는 대신에, 방향 DB로 이동하는 스크라이빙 기구(50)(도 17(A) 및 (B)) 또는 스크라이빙 기구(50v)(도 21(A) 및 (B))가 이용되어도 좋다.

또한, 상기 이외의 구성에 대해서는, 전술한 실시 형태 1의 구성과 거의 동일하기 때문에, 동일 또는 대응하는 요소에 대해서 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 반복하지 않는다.

본 실시 형태에 의해서도, 실시 형태 1과 거의 동일한 효과가 얻어진다. 또한 본 실시 형태에 있어서는, 고정된 날끝이 아닌 회전하는 날끝을 이용하여 트렌치 라인(TL)을 형성할 수 있기 때문에, 날끝의 수명을 길게 할 수 있다.

상기 각 실시 형태에 의한 취성 기판의 분단 방법은 유리 기판에 대하여 특히 적합하게 적용되지만, 취성 기판은, 유리 이외의 재료로 만들어져 있어도 좋다. 예를 들면, 유리 이외의 재료로서, 세라믹, 실리콘, 화합물 반도체, 사파이어, 또는 석영이 이용되어도 좋다.

AL : 어시스트 라인
CL : 크랙 라인
HR : 고하중 구간(제2 부분)
LR : 저하중 구간(제1 부분)
SF1 : 제1 면
SF2 : 제2 면
SP3 : 부분(제3 부분)
SP4 : 부분(제4 부분)
TL : 트렌치 라인
11 : 유리 기판(취성 기판)
50, 50R, 50v : 스크라이빙 기구
51, 51v : 날끝
51R : 스크라이빙 휠
80 : 지지날(지지부)
85 : 브레이크 바(응력 인가 부재)

Claims (3)

1. a) 제1 면과 상기 제1 면과 반대의 제2 면을 갖고, 상기 제1 면에 수직인 두께 방향을 갖는 취성 기판(11)을 준비하는 공정과,
   b) 날끝을 상기 취성 기판의 제1 면 상으로 밀어붙이면서 상기 제1 면 상에서 상기 날끝을 이동시키는 것에 의해 상기 취성 기판의 상기 제1 면 상에 소성 변형을 발생시킴으로써, 제1 부분(LR) 및 제2 부분(HR)을 갖는 트렌치 라인(TL)을 형성하는 공정을 구비하고, 상기 트렌치 라인(TL)을 형성하는 공정에 있어서, 상기 트렌치 라인(TL)의 상기 제2 부분(HR)을 형성하기 위해 상기 날끝에 가해지는 하중은, 상기 트렌치 라인의 상기 제1 부분(LR)을 형성하기 위해 상기 날끝에 가해지는 하중보다도 높고, 상기 트렌치 라인을 형성하는 공정은, 상기 트렌치 라인의 바로 아래에 있어서 상기 취성 기판이 상기 트렌치 라인과 교차하는 방향에 있어서 연속적으로 연결되어 있는 상태인 크랙리스(crackless) 상태가 얻어지도록 행해지고, 추가로
   c) 상기 트렌치 라인(TL)의 상기 제1 부분(LR) 및 제2 부분(HR) 중 상기 제2 부분(HR)만을 따라 크랙을 발생시키는 공정과,
   d) 상기 공정 c) 후에, 상기 취성 기판의 상기 제1 면이 지지부(80)에 대향하도록 상기 취성 기판을 상기 지지부 상에 두는 공정과,
   e) 상기 공정 d) 후에, 응력 인가 부재(85)를, 상기 취성 기판의 상기 제2 면 중 상기 트렌치 라인의 상기 제1 부분(LR)에 대향하는 제3 부분(SP3)으로부터는 멀어지게 하면서, 상기 취성 기판의 상기 제2 면 중 상기 트렌치 라인의 상기 제2 부분(HR)에 대향하는 제4 부분(SP4)에 접촉시키는 공정과,
   f) 상기 공정 e) 후에, 상기 취성 기판의 상기 제2 면 중 상기 제3 부분(SP3)에 상기 응력 인가 부재를 접촉시키는 공정을 구비하는, 취성 기판의 분단 방법.
2. 제1항에 있어서,
   g) 상기 공정 e) 전에, 상기 취성 기판의 상기 제2 면으로부터 간격을 두고 상기 제2 면에 상기 응력 인가 부재(85)를 대향시키는 공정을 추가로 구비하고, 상기 응력 인가 부재를 대향시키는 공정은, 상기 응력 인가 부재와 상기 제4 부분의 사이의 거리(L4)가 상기 응력 인가 부재와 상기 제3 부분의 사이의 거리(L3)보다도 작아지도록 행해지고,
   상기 공정 e) 및 상기 공정 f)는, 상기 공정 g) 후에, 상기 응력 인가 부재(85)를 상기 지지부에 대하여 하나의 방향(DR)으로 상대적으로 직선 이동시킴으로써 행해지는, 취성 기판의 분단 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 공정 c)에 있어서의 크랙 발생은, 상기 제2 부분(HR)에 교차하는 어시스트 라인(AL)을 형성하여 행해지는, 취성 기판의 분단 방법.

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