KR102071353B1 - 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 그에 사용되는 스테이지장치 - Google Patents

유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 그에 사용되는 스테이지장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 그에 적용될 수 있는 스테이지장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면 디스플레이소자를 펴는 과정에서 디스플레이소자의 타 측을 파지하는 제2 파지기가 제1 파지력으로 디스플레이소자의 타 측을 파지한 상태로 제1 이동거리만큼 이동한 후 제1 파지력보다 강한 제2 파지력으로 디스플레이소자의 타 측을 파지한 상태로 제2 이동거리만큼 추가 이동하도록 한다. 이에 따라 디스플레이소자가 전면적에 걸쳐서 고르게 펴지기 때문에 검사의 신뢰성이 향상될 수 있는 효과가 있다.

Description

유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 그에 사용되는 스테이지장치{INSPECTION EQUIPMENT FOR INSPECTING FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND STAGE APPARATUS USED THEREIN}
본 발명은 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비에 적용되어서 검사되어야 할 디스플레이소자를 받치는 스테이지장치에 관한 것이다.
디스플레이어는 사용자에게 뉴스, 사진 또는 영상과 같은 각종의 시각적 컨텐츠를 제공하기 위해 활용되는 필수적인 도구이다.
전통적인 디스플레이어로는 텔레비전 수신기, 컴퓨터 모니터 또는 전광판 등이 고려될 수 있다. 그런데, 현대인들의 삶에 휴대전화가 필수화되면서 디스플레이어가 휴대전화에 장착되기 시작하였다. 그리고 휴대전화가 스마트폰으로 진화하면서 유저가 다양한 종류의 시각적 컨텐츠를 더욱 정교하고 편안하게 감상할 수 있도록, 더 선명하고 더 큰 광폭 화면으로 시각적 컨텐츠를 감상할 수 있는 방향으로 디스플레이어에 대한 다양한 기술이 지속적으로 발전하고 있는 중이다.
그러한 연구들 중 하나로 유연하게 휘어지거나 접힐 수 있는 디스플레이어에 대한 것이 있다. 휘어지거나 접힐 수 있는 디스플레이어는 더 큰 광폭 화면으로 시각적 컨텐츠를 감상할 수 있으면서도 휴대성이 좋기 때문에 이를 실현시키기 위해 수많은 개발자들이 노력하였으며, 그 노력의 결과로 근자에는 양산이 가능한 수준까지 올라왔다. 이렇게 디스플레이어가 휘어지거나 접힐 수 있으려면, 디스플레이어를 이루는 다양한 디스플레이소자들도 휘어지거나 접힐 수 있어야만 한다.
한편, 디스플레이소자들은 표면의 이물이나 스크래치 또는 찍힘 등을 검사하기 위한 표면 검사가 수행되어야만 이들로 구성되는 디스플레이어가 최종적으로 양호한 상태의 완제품으로 생산될 수 있다.
도 1은 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비(TE)에 대한 개략적인 개념도이다.
검사장비(TE)는 스테이지장치(100), 이동장치(MA), 로딩장치(LA), 언로딩장치(UA), 라인스캔카메라(LC) 및 판단장치(EA)를 포함한다.
스테이지장치(100)는 디스플레이소자(DD)를 적재할 수 있으며, 이동 가능하게 마련된다.
이동장치(MA)는 스테이지장치(100)를 로딩위치(LP)와 언로딩위치(UP) 간을 왕복 이동시킨다.
로딩장치(LA)는 로딩위치(LP)에 있는 스테이지장치(100)에 검사되어야 할 디스플레이소자(DD)를 적재한다.
언로딩장치(UA)는 언로딩위치(UP)에 있는 스테이지장치(100)로부터 검사가 완료된 디스플레이소자(DD)를 언로딩시킨다.
라인스캔카메라(LC)는 이동장치(MA)에 의해서 스테이지장치(100)와 함께 이동 중에 있는 디스플레이소자(DD)의 평면을 라인스캔한다. 물론, 스테이지장치(100)가 정지되어 있고 라이스캔카메라(LC)가 이동하도록 구성되는 것도 얼마든지 고려될 수 있다.
판단장치(EA)는 라인스캔카메라(LC)에 의해 촬영된 이미지를 통해 디스플레이소자(DD)의 불량 여부를 판단한다.
위와 같은 기본 구성을 가지는 검사장비(TE)에서 본 발명은 스테이지장치(100)와 관련된다.
일반적으로 스테이지장치(100)는 라인스캔카메라(LC)에 의해 디스플레이소자(DD)가 적절히 라인스캔될 수 있도록 적재된 디스플레이소자(DD)를 바르게 떠받칠 수 있는 구성을 가져야 한다.
그런데, 도 2의 (a) 및 (b)의 과장된 개략도에서 참조되는 바와 같이 유연성 재질의 디스플레이소자(DD)는 자체적인 유연성으로 인하여 스테이지장치(100)에 처지거나 휘어진 상태로 적재될 수도 있고, 이러한 경우 검사 불량이 발생할 수 있다. 그래서 유연성 재질의 디스플레이소자(DD)의 경우에는 라인스캔 도중에 평평한 상태로 유지되도록 해줄 필요가 있다. 따라서 스테이지장치(100)는 적재된 디스플레이소자(DD)를 평평한 상태로 교정하고 이러한 상태가 유지되도록 파지할 필요가 있다.
먼저 고려될 수 있는 것은 스테이지장치(100)가 디스플레이소자(DD)의 양단을 상하 양측에서 강하게 파지하고 일정 간격을 벌려서 디스플레이소자(DD)를 평평하게 펴는 구성이다. 그런데, 이러한 구성은 파지력이 약한 경우 미끄러짐에 의해 디스플레이소자(DD)가 적절히 펴지기가 곤란하고, 반대로 파지력이 강한 경우나 일정 간격 벌어지는 힘이 가해질 때 디스플레이소자(DD)에 손상이 초래될 수 있는 위험성이 있다.
특히, 도 3의 개략적인 과장도에서와 같이 스테이지장치(100)에 로딩된 디스플레이소자(DD)의 앞 측과 뒤 측의 처짐이 다른 경우에 더 문제가 될 수 있다. 즉, 디스플레이소자(DD)의 좌우 양단이 강하게 파지된 상태에서 좌우 양단간의 간격이 강제적으로 벌려지면, 도 4에서와 같이 디스플레이소자(DD)의 뒤 측이 팽팽해진 상태가 되어도 더 많이 처져 있던 앞 측은 여전히 처진 상태에 있게 된다. 이래서는 앞 측을 기준으로 디스플레이소자(DD)를 펴면 디스플레이소자(DD)에 손상이 발생할 수 있고, 뒤 측을 기준으로 디스플레이소자(DD)를 펴면 디스플레이소자(DD)에 대한 정확한 검사가 이루어질 수 없다.
따라서 적재된 디스플레이소자(DD)의 손상이 방지되면서도 안정적으로 디스플레이소자(DD)를 펼 수 있는 스테이지장치(100)에 대한 개발의 필요성이 있다. 이러한 필요성에 의해 본 발명의 출원인은 출원번호 10-2019-0012866호(이하 '선행기술'이라 함)에 따른 기술을 개발하게 되었다. 선행기술은 진공 흡착력에 의해 디스플레이소자(DD)의 양단을 파지하면서도 일 측 파지부재의 진공 흡착력보다 타 측 파지부재의 진공 흡착력을 작게 함으로써 타 측 파지부재와 디스플레이소자(DD) 간에 약간의 미끄럼이 발생될 수 있도록 하였다. 이러한 선행기술에 의하면 도 3과 같은 상태에서 양 파지부재의 간격을 벌리면, 디스플레이소자의 뒤 측이 먼저 팽팽해지더라도 뒤 측에서 타 측 파지부재와 디스플레이소자(DD) 간에 미끄러짐이 발생하기 때문에 궁극적으로 디스플레이소자(DD)의 앞 측과 뒤 측이 모두 팽팽해진 상태로 펴질 수 있게 된다. 이에 따라 양 파지부재의 간격을 벌릴 때 디스플레이소자(DD)의 손상이 최대한 방지되면서도, 디스플레이소자(DD)가 전면적에 걸쳐서 고른 팽팽함으로 펴질 수 있게 된다.
그런데, 선행기술에 따르더라도 작은 면적의 디스플레이소자(DD)의 경우에는 펼 수 있지만, 과장된 도 5에서와 같이 대면적의 디스플레이소자(DD)의 경우에는 디스플레이소자(DD)의 양단간의 간격이 넓어서 중간 지점(C)에서 중력과 장력에 의한 처짐 현상이 발생할 수 있다. 물론, 이러한 처짐 현상으로 디스플레이소자(DD)가 평평하게 유지되지 못하기 때문에 그 검사가 부정확해질 수 있음은 충분히 예측될 수 있다.
대한민국 공개특허공보 제10-2013-0060090호 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0077791호 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0078958호 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0010801호
본 발명의 목적은 스테이지장치에 로딩된 디스플레이소자가 전 면적에 걸쳐서 팽팽하고 평평한 상태에서 검사될 수 있도록 하기 위한 기술을 제공하는 것이다.
본 발명의 제1 형태에 따른 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지장치는 디스플레이소자의 일 측을 파지하는 제1 파지기; 상기 제1 파지기와 일정 간격 이격되어서 디스플레이소자의 타 측을 파지하며, 상기 제1 파지기와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제2 파지기; 및 상기 제2 파지기를 이동시키는 이동기; 를 포함하고, 상기 제2 파지기는 디스플레이소자를 진공압으로 파지하기 위한 진공구멍들이 형성되어 있으며, 디스플레이소자의 타 측을 받치는 받침부재; 상기 받침부재에 의해 받쳐진 디스플레이소자의 타 측을 압박하여 파지하는 파지부재; 및 상기 파지부재가 디스플레이소자의 타 측을 압박하거나 압박을 해제할 수 있도록 하는 압박원; 을 포함하며, 디스플레이소자를 펴는 과정에서, 상기 이동기 및 압박원은 상기 받침부재에 의해 디스플레이소자의 타 측이 진공 흡착된 상태에서 상기 제2 파지기를 제1 이동거리만큼 이동시킴으로써 디스플레이소자를 1차적으로 편 후 상기 파지부재에 의해 디스플레이소자의 타 측이 압박된 상태에서 상기 제2 파지기를 제2 이동거리만큼 이동시킴으로써 디스플레이소자를 2차적으로 펴도록 작동한다.
상기 제2 이동거리는 상기 제1 이동거리보다 짧은 것이 바람직하다.
상기 제2 파지기가 제1 이동거리만큼 이동할 시에 상기 받침부재의 진공력에 의한 파지력은 상기 제1 파지기에 의한 파지력보다 약한 것이 바람직하다.
상기 이동기는 상기 제2 파지기를 상기 제1 이동거리만큼 이동시키는 제1 이동원; 및 상기 제2 파지기를 상기 제2 이동거리만큼 이동시키는 제2 이동원; 을 포함한다.
본 발명의 제2 형태에 따른 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지장치는 디스플레이소자의 일 측을 파지하는 제1 파지기; 상기 제1 파지기와 일 정 간격 이격되어서 디스플레이소자의 타 측을 파지하며, 상기 제1 파지기와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제2 파지기; 및 상기 제2 파지기를 이동시키는 이동기; 를 포함하고, 상기 제2 파지기는 디스플레이소자의 타 측을 제1 파지력으로 파지하거나 또는 상기 제1 파지력보다 강한 제2 파지력으로 파지할 수 있으며, 상기 이동기는 디스플레이소자를 펴는 과정에서 상기 제2 파지기가 상기 제1 파지력으로 디스플레이소자를 파지한 상태에서 상기 제2 파지기를 제1 이동거리만큼 이동시킴으로써 디스플레이소자를 1차적으로 편 후 상기 제2 파지기가 상기 제2 파지력으로 디스플레이소자를 파지한 상태에서 상기 제2 파지기를 제2 이동거리만큼 이동시킴으로써 디스플레이소자를 2차적으로 펴도록 작동한다.
상기 제1 파지력은 상기 제1 파지기의 파지력보다 약해서 상기 이동기에 의해 상기 제2 파지기가 상기 제1 파지기로부터 멀어지는 방향으로 이동할 시에 디스플레이소자의 타 측과 상기 제2 파지기 간에 미끄러짐이 발생한다.
한편, 본 발명에 따른 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비는 상기한 스테이지장치를 적용함으로써 쉽게 구현될 수 있다.
본 발명에 따르면 1차적으로 디스플레이소자의 타 측을 약하게 파지한 후 디스플레이소자를 펴고, 2차적으로 디스플레이소자의 타 측을 강하게 파지한 후 디스플레이소자를 폄으로써 디스플레이소자가 전 면적에 걸쳐서 고르게 펴질 수 있게 되며, 이로 인해 디스플레이소자에 대한 검사가 적절히 이루어질 수 있어서 검사에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1은 종래의 디스플레이소자를 검사하기 위한 일반적인 검사장비에 대한 개략적인 개념도이다.
도 2는 일반적인 검사장비에서 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사할 때의 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명이 도출된 경위를 설명하기 위한 참조도들이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지장치에 대한 사시도이다.
도 7은 도 6의 스테이지장치에 대한 분해사시도이다.
도 8 내지 도 12는 도 6의 스테이지장치의 작동을 설명하기 위한 참조도들이다.
본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복 또는 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축하며, 동일 기능을 가지는 구성에 대해서는 동일 부호를 표기하여 설명한다.
<실시예에 대한 설명>
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지장치(600, 이하 '스테이지장치'라 약칭함)에 대한 사시도이다. 도 7은 도 6의 스테이지장치(600)에 대한 일부 분해 사시도이다.
도 6 및 도 7에서 참조되는 바와 같이 본 실시예에 따른 스테이지장치(600)는 제1 파지기(610), 제2 파지기(620), 이동기(630) 및 설치프레임(640)을 포함한다.
제1 파지기(610)는 디스플레이소자(DD)의 일 측(도면상에서 좌측)을 파지하며, 제1 받침부재(611), 제1 파지부재(612) 및 제1 압박원(613)을 포함한다.
제1 받침부재(611)는 설치프레임(640)의 일 측에 고정되어서 디스플레이소자(DD)의 일 측을 받치며, 디스플레이소자(DD)를 진공압으로 파지하기 위한 진공구멍(VH)들이 형성되어 있다.
제1 파지부재(611)는 설치프레임(640)에 회전 가능하게 힌지 결합되어서 그 회전 상태에 따라 디스플레이소자(DD)의 일 측을 압박하여 파지하거나 압박을 해제하여 파지를 해제한다.
제1 압박원(613)은 제1 파지부재(612)를 회전시킴으로써 제1 파지부재(612)가 디스플레이소자(DD)의 일 측을 압박하게 하거나 압박을 해제하게 한다. 본 실시예에서는 제1 압박원(613)이 실린더로 구비되었지만 제1 파지부재(612)의 기구적 형태나 작동 형태에 따라서 모터나 그 밖의 구동수단으로 구비되는 것도 충분히 가능하다.
제2 파지기(620)는 기본적으로 제1 파지기(610)와 구성이 동일하며, 제1 파지기(610)와 일정 간격 이격되어서 디스플레이소자(DD)의 타 측(도면상에서 우측)을 파지한다. 이러한 제2 파지기(620)는 스테이지장치(600)에 로딩된 디스플레이소자(DD)를 펴기 위해 제1 파지기(610)와 가까워지거나 멀어지는 방향(좌우 방향)으로 이동 가능하게 구비되며, 제2 받침부재(621), 제2 파지부재(622) 및 제2 압박원(623)을 포함한다.
제2 받침부재(621)는 설치프레임(640)의 타 측에 좌우 방향으로 이동 가능하게 결합되어서 디스플레이소자(DD)의 타 측을 받치며, 디스플레이소자(DD)를 진공압으로 파지하기 위한 진공구멍(VH)들이 형성되어 있다.
제2 파지부재(622)는 설치프레임(640)에 회전 가능하게 힌지 결합되어서 그 회전 상태에 따라 디스플레이소자(DD)의 타 측을 압박하여 파지하거나 압박을 해제하여 파지를 해제한다.
제2 압박원(623)은 제2 파지부재(622)를 회전시킴으로써 제2 파지부재(622)가 디스플레이소자(DD)의 타 측을 압박하게 하거나 압박을 해제하게 하며, 마찬가지로 본 실시예에서는 실린더로 구비되나 기타 다른 구동수단으로 구비될 수도 있다.
이동기(630)는 제2 파지기(620)를 좌우 방향으로 이동시키되, 특히 스테이지장치(600)에 로딩되어 있는 디스플레이소자(DD)를 펴기 위해 제2 파지기(620)를 제1 파지기(610)로부터 멀어지는 방향(우측 방향)으로 이동시킬 때에는 1차적으로 제2 파지기(620)를 제1 이동거리만큼 이동시킨 후 2차적으로 제2 파지기(620)를 제2 이동거리만큼 이동시킨다. 이를 위해 이동기는 제1 이동원(631)과 제2 이동원(632)으로 구성된다.
제1 이동원(631)은 제2 파지기(620)를 좌우 방향으로 제1 이동거리만큼 이동시키기 위해 마련되며, 본 실시예에서는 실린더로 구비되었다.
제2 이동원(632)은 제2 파지기(620)를 좌우 방향으로 제2 이동거리만큼 이동시키기 위해 마련되며, 본 실시예에서는 실린더로 구비되었다. 즉, 본 실시예에서의 이동기(630)는 제2 파지기(620)를 2단계에서 걸쳐 단계적으로 이동시키기 위해서 이중 실린더구조를 취하고 있다. 그런데, 실시하기에 따라서는 이동기(630)가 제2 파지기(620)를 제1 이동거리 및 제2 이동거리만큼 순차적으로 이동시킬 수 있는 모터로 구비되는 것도 충분히 고려될 수 있다.
설치프레임(640)은 전술한 각 구성들을 설치하기 위해 구비된다. 이러한 설치프레임(640)은 앞서 배경기술에서 설명한 바와 같이 이동장치에 의해 이동될 수 있도록 구비될 수 있다.
계속하여 위와 같은 실시예에 따른 스테이지장치(600)의 작동에 대해 과장된 도 8 내지 도 12를 참조하여 설명한다.
먼저 도 8에서와 같이 제2 파지기(620)가 제1 파지기(610) 측으로 이동되어진 상태에서 스테이지장치(600)에 디스플레이소자(DD)가 로딩되면, 별개로 구비된 진공장치(도시되지 않음)가 진공압을 발생시킴으로써 진공구멍(VH)들을 통해 디스플레이소자(DD)의 양 단이 제1 받침부재(611)와 제2 받침부재(621)에 의해 각각 흡착 파지되게 한다. 이 때, 제1 파지부재(612) 및 제2 파지부재(622)는 압박이 해제된 상태로 유지된다.
제1 받침부재(611)와 제2 받침부재(621)에 의한 디스플레이소자(DD)의 진공 흡착이 완료되면, 도 9에서와 같이 제1 압박원(613)이 작동하여 제1 파지부재(612)가 디스플레이소자(DD)의 일 측을 강하게 압박하여 파지할 수 있게 한다. 이 때에도 제2 파지부재(622)는 압박이 해제된 상태로 계속 유지된다.
도 9의 상태에서 이번에는 이동기(630)의 제1 이동원(631)이 작동하여 제2 파지기(620)를 우측 방향으로 설정된 제1 이동거리만큼 이동시킴으로써 디스플레이소자(DD)를 1차적으로 편다. 이 과정에서 대해서 도 10을 참조하여 더 상세히 설명한다.
도 10의 (a)는 현재 도 9의 상태와 동일하게 디스플레이소자(DD)가 그 앞 측이 뒤 측보다 더 쳐진 상태로 양 측 파지기(610, 620)에 의해 파지되어 있는 상태에 있다. 여기서 제2 파지기(620)가 제2 받침부재(621)에 의한 진공 흡착력만으로 디스플레이소자(DD)의 타 측을 파지한 상태에서 우측 방향으로 제1 이동거리만큼 이동하는 과정에서 도 10의 (b)에서와 같이 뒤 측이 먼저 팽팽해지는데 이 시점에서도 더 많이 처져 있던 앞 측은 어느 정도 처진 상태에 있다. 도 10의 (b)의 상태에서 제2 파지기(620)가 우측 방향으로 더 이동함으로써 설정된 제1 이동거리만큼의 이동이 완료되면 도 10의 (c)에서와 같이 앞 측까지 팽팽해진다. 이 때 도 10의 (b)에서 (c)로 가는 과정에서는 디스플레이소자(DD)의 뒤 측이 먼저 팽팽해진 상태에서 제2 파지기(620)가 우측 방향으로 더 이동하기 때문에 디스플레이소자(DD)의 앞 측이 팽팽해지는 만큼 뒤 측에서는 디스플레이소자(DD)와 제2 받침부재(621) 간에 미끄러짐이 발생하여 궁극적으로 도 10의 (c)와 같이 디스플레이소자(DD)가 고르게 펴질 수 있게 되는 것이다.
한편, 도 10의 (c) 상태에서와 같이 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 이동하더라도 배경기술에서 언급한 바와 같이 중력, 장력 및 제2 받침부재(621)와 디스플레이소자(DD) 간의 미끄러짐으로 인해 디스플레이소자(DD)가 완벽하게 평평하게 되지 못하고 그 중간 지점이 하방으로 처져 있게 된다. 따라서 도 11에서와 같이 제2 압박원(623)이 동작하여 제2 파지부재(622)가 디스플레이소자(DD)의 타 측을 강하게 압박하게 한다. 이렇게 도 11의 상태로 된 다음 이동기(630)의 제2 이동원(632)이 동작하여 제2 파지기(620)를 제2 이동거리만큼 우측으로 추가적으로 이동시킴으로써 도 12에서와 같이 디스플레이소자(DD)가 팽팽하고 평평하게 펴질 수 있게 한다. 그리고 도 12에서와 같이 디스플레이소자(DD)가 팽팽하고 평평하게 펴진 상태에서 디스플레이소자(DD)에 대한 카메라의 촬영 및 검사가 실시된다.
<기타 참고적인 사항>
1. 제1 파지부재의 압박 시점
위의 설명에서는 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 우측으로 이동하기 전에 제1 파지부재(612)가 디스플레이소자(DD)의 일 측을 압박하도록 제어되는 것으로 설명하였다. 그러나 실시하기에 따라서는 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 이동할 때에는 제2 파지기(620)에서와 같이 제1 파지부재(612)도 디스플레이소자(DD)의 압박을 해제한 상태로 유지되도록 제어되는 것도 충분히 고려될 수 있다.
물론, 디스플레이소자(DD)가 그 일 측을 정렬 기준으로 하여 펴지도록 하는 것이 바람직하다는 점에서 위의 실시예에서와 같이 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 이동할 시에 제1 파지부재(612)에 의해 디스플레이소자(DD)의 일 측을 강하게 압박하여 파지할 수 있도록 하는 것이 더 고려될 수는 있을 것이다.
2. 제2 받침부재의 파지력
디스플레이소자(DD)의 타 측이 제2 받침부재(621)에 의한 진공 흡착력으로 파지된 상태에서 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 우측으로 이동할 시에는 제2 받침부재(621)와 디스플레이소자(DD) 간에 적절한 미끄러짐이 발생할 필요가 있다. 따라서 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 우측으로 이동할 시에는 제1 파지기(610)에 의한 파지력보다 제2 파지기(620)에 의한 파지력이 약해야 한다. 본 실시예에서는 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 우측으로 이동할 시에는 제2 파지기(620)의 제2 받침부재(621)에 의한 진공 흡착력만이 제2 파지기(620)의 파지력이 되므로, 결국 해당 과정에서 제2 받침부재(621)의 진공력에 의한 파지력은 제1 파지기(610)에 의한 파지력보다 약한 것이 바람직하다.
3. 제1 이동거리와 제2 이동거리의 관계
제1 이동거리는 제2 받침부재(621)와 디스플레이소자(DD) 간의 미끄러짐이나 제2 받침부재(621)에 의한 파지 상태의 유지 등이 고려되어야만 하기 때문에 충분한 이동 간격이 확보되어야 한다.
이에 반해서 제2 이동거리가 길면 디스플레이소자(DD)에 대한 파지력이 강하기 때문에 과도한 이동에 의해 디스플레이소자(DD)에 손상이 가해질 수 있다. 따라서 제2 파지기(620)기가 제1 이동거리만큼의 이동에 의해 디스플레이소자(DD)가 거의 펴진 상태에서 조금 더 펴서 평평하게 하는 정도만 제2 이동거리가 확보되면 족하므로 이동 간격이 짧을 필요가 있다. 즉, 제2 이동거리는 제1 이동거리보다 짧은 것이 바람직하다.
4. 제1 파지기의 구성에 대한 변형
도 6에 따른 실시예에서는 제1 파지기(610)가 제1 받침부재(611)에 의한 진공 흡착과 제1 파지부재(612)에 의한 압박이 모두 가능하도록 한 구성을 취하고 있다.
그러나 실시하기에 따라서는 진공 흡착의 구성을 제거하고, 제1 파지부재(612)에 의한 압박만이 가능하게 하는 구성도 얼마든지 고려될 수 있을 것이다.
5. 제2 파지기의 파지력 전환 구성 및 변환
본 발명에 따르면, 디스플레이소자(DD)의 타 측을 파지하는 제2 파지기(620)의 파지력이 변한다. 즉, 제2 파지기(620)가 제1 이동거리만큼 이동할 때에는 제2 받침부재(621)의 진공 흡착력에만 의지한 제1 파지력으로 디스플레이소자(DD)를 파지하고, 제2 파지기(620)가 제2 이동거리만큼 이동할 때에는 제2 받침부재(621)의 진공 흡착력에 제2 파지부재(622)에 의한 강도 높은 압박력까지 더해진 제2 파지력으로 디스플레이소자(DD)를 파지한다.
이를 위해, 도 6의 실시예에서는 제2 파지기(620)가 1차적으로 제2 받침부재(621)의 진공 흡착력에만 의지한 디스플레이소자(DD)의 파지를 수행하고, 2차적으로 제2 파지부재(622)의 압박에 의한 디스플레이소자(DD)의 파지를 수행하도록 하고 있다.
이 또한, 실시하기에 따라서는 진공 흡착의 구성을 제거하고, 제2 파지부재(622)에 의한 디스플레이소자(DD)의 압박 강도를 조절하도록 구현되는 것도 고려될 수 있다. 예를 들면, 제2 파지기(620)가 1차적으로 제1 이동거리만큼 이동할 시에는 디스플레이소자(DD)와 제2 파지기(620) 간에 적절한 미끄러짐이 발생할 수 있는 정도의 제1 파지력으로 제2 파지부재(622)가 디스플레이소자(DD)의 타 측을 압박할 수 있게 하고, 제2 파지기(620)가 2차적으로 제2 이동거리만큼 이동할 시에는 디스플레이소자(DD)가 평평하게 펴질 수 있는 정도의 제2 파지력으로 제2 파지부재(622)가 디스플레이소자(DD)의 타 측을 압박할 수 있게 구현될 수도 있을 것이다. 물론, 제2 파지력은 제1 파지력보다 강한 것이 당연하다.
한편, 본 발명에 따른 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비는 앞서 배경기술에서 설명한 검사장비(TE)에서 스테이지장치(100)를 본 발명에 따른 스테이지장치(600)로 대체하여 적용함으로써 쉽게 구현될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예들은 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예들에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등범위로 이해되어져야 할 것이다.
600 : 스테이지장치
610 : 제1 파지기
620 : 제2 파지기
621 : 제2 받침부재
VH : 진공구멍
622 : 제2 파지부재
623 : 제2 압박원
630 : 이동기
631 : 제1 이동원
632 : 제2 이동원

Claims (7)

  1. 디스플레이소자의 일 측을 파지하는 제1 파지기;
    상기 제1 파지기와 일정 간격 이격되어서 디스플레이소자의 타 측을 파지하며, 상기 제1 파지기와 가까워지거나 멀어지는 방향으로 이동 가능한 제2 파지기; 및
    상기 제2 파지기를 이동시키는 이동기; 를 포함하고,
    제1 파지기는,
    이동 가능한 설치프레임의 일 측에 고정되어서 디스플레이소자의 일 측을 받치며, 디스플레이소자를 진공압으로 파지하기 위한 진공구멍들이 형성된 제1 받침부재;
    설치프레임에 회전 가능하게 힌지 결합되어서 그 회전 상태에 따라 디스플레이소자의 일 측을 압박하거나 압박을 해제할 수 있도록 하는 제1 파지부재; 및
    상기 제1 파지부재를 회전시킴으로써 상기 제1 파지부재가 디스플레이소자의 일 측을 압박하게 하거나 압박을 해제하게 하는 제1 압박원; 을 포함하고,
    상기 제2 파지기는,
    설치프레임의 타 측에 이동 가능하게 결합되어서 디스플레이소자의 타 측을 받치며, 디스플레이소자를 진공압으로 파지하기 위한 진공구멍들을 가지는 제2 받침부재;
    상기 제2 받침부재에 의해 받쳐진 디스플레이소자를 압박하여 펴면서 디스플레이소자를 파지하는 제2 파지부재; 및
    상기 제2 파지부재가 디스플레이소자를 압박하거나 압박을 해제할 수 있도록 하는 제2 압박원; 을 포함하며,
    디스플레이소자를 펴는 과정에서, 상기 이동기는 상기 제2 받침부재에 의해 디스플레이소자의 타 측이 진공 흡착된 상태에서 상기 제2 파지기를 제1 이동거리만큼 이동시킴으로써 디스플레이소자를 1차적으로 편 후, 상기 제2 압박원의 작동에 의해 상기 제2 파지부재에 의해 디스플레이소자의 타 측이 압박된 상태에서 상기 제2 파지기를 제2 이동거리만큼 이동시킴으로써 디스플레이소자를 2차적으로 펴고,
    상기 제2 이동거리는 상기 제1 이동거리보다 짧으며,
    상기 제2 파지기가 제1 이동거리만큼 이동할 시에 상기 제2 받침부재의 진공압에 의한 파지력은 상기 제1 파지기에 의한 파지력보다 약해서 상기 이동기에 의해 상기 제2 파지기가 상기 제1 파지기로부터 멀어지는 방향으로 이동할 시에 디스플레이소자의 타 측과 상기 제2 파지기 간에 미끄러짐이 발생하는
    유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 이동기는,
    상기 제2 파지기를 상기 제1 이동거리만큼 이동시키는 제1 이동원; 및
    상기 제2 파지기를 상기 제2 이동거리만큼 이동시키는 제2 이동원; 을 포함하는
    유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1 항 또는 제4 항에 따른 스테이지장치가 적용된
    유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비.
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