KR102015357B1 - 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지 - Google Patents

평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지 Download PDF

Info

Publication number
KR102015357B1
KR102015357B1 KR1020180057214A KR20180057214A KR102015357B1 KR 102015357 B1 KR102015357 B1 KR 102015357B1 KR 1020180057214 A KR1020180057214 A KR 1020180057214A KR 20180057214 A KR20180057214 A KR 20180057214A KR 102015357 B1 KR102015357 B1 KR 102015357B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
friction
support
display device
display element
jig
Prior art date
Application number
KR1020180057214A
Other languages
English (en)
Inventor
이동구
박재균
김영섭
Original Assignee
주식회사 이엔씨 테크놀로지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 이엔씨 테크놀로지 filed Critical 주식회사 이엔씨 테크놀로지
Priority to KR1020180057214A priority Critical patent/KR102015357B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102015357B1 publication Critical patent/KR102015357B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • H01L51/56—
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/02—Mechanical

Abstract

본 발명은 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비에 사용되는 스테이지에 관한 것이다.
본 발명에 따른 스테이지는 평판형 디스플레이소자를 받치는 받침지그; 및 상기 받침지그에 설치되며, 상기 받침지그에 적재된 디스플레이소자를 탄성적으로 지지하면서 적재된 디스플레이스소자의 무게에 의해 압축됨으로써 디스플레이소자가 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하되, 상기 받침지그에 얹어진 디스플레이소자에 마찰력을 가하여 상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 적어도 하나의 마찰기; 를 포함한다.
본 발명에 따르면 디스플레이소자가 스테이지에 미끄러짐 없이 안정적으로 적재될 수 있으면서도 평탄도가 유지될 수 있기 때문에, 디스플레이소자의 평면 검사 및 검사장비에 대한 신뢰성이 향상된다.

Description

평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지{INSPECTION APPARATUS FOR INSPECTING FLAT PANEL DISPLAY DEVICE AND STAGE THEREFOR}
본 발명은 평판형 디스플레이소자의 평면 불량을 검사하기 위한 검사장비에 관한 것으로, 특히 검사장비에 사용되어서 디스플레이소자를 받치는 받침지그에 관한 것이다.
휴대전화용 평판형 디스플레이어로서 엘시디(LCD)가 사용되어 왔으며, 근자에는 소형 또는 대형 모두에 보다 경량화된 저전력으로 구현 가능한 오엘이디(OLED)로 교체되어 가고 있다.
엘시디나 오엘이디는 모두 평판형 디스플레이어로서 해상도가 높아 화질이 뛰어나기 때문에, 화면이 출력되는 표면의 품질은 매우 중요하다.
따라서 완제품 또는 중간제품 단계에 있는 디스플레이소자는 해당 생산 공정이 완료된 후 표면의 이물이나 스크래치 또는 찍힘 등을 검사하기 위한 표면 검사가 수행될 필요가 있다.
일반적으로 디스플레이소자의 표면 검사는 라인스캔카메라를 이용해 이루어진다. 그래서 검사장비에는 라인스캔카메라에 의한 디스플레이소자의 라인스캔이 가능하도록 디스플레이소자를 이동시킬 수 있는 구성을 가져야만 한다.
도 1은 그러한 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비(100)에 대한 개략적인 개념도이다.
검사장비(100)는 스테이지(110), 이동장치(120), 로딩장치(130), 언로딩장치(140), 라인스캔카메라(150) 및 판단장치(160)를 포함한다.
스테이지(110)는 디스플레이소자를 적재할 수 있으며, 이동 가능하게 마련된다.
이동장치(120)는 스테이지(110)를 로딩위치(LP)와 언로딩위치(UP) 간을 왕복 이동시킨다.
로딩장치(130)는 로딩위치(LP)에 있는 스테이지(110)에 검사되어야 할 디스플레이소자를 적재한다.
언로딩장치(140)는 언로딩위치(UP)에 있는 스테이지(110)로부터 검사가 완료된 디스플레이소자를 언로딩시킨다.
라인스캔카메라(150)는 이동장치(120)에 의해서 스테이지(110)와 함께 이동 중에 있는 디스플레이소자의 평면을 라인스캔한다. 당연히, 이동 중에 있는 스테이지(110)에는 검사가 요구되는 디스플레이소자가 적재되어 있다.
판단장치(160)는 라인스캔카메라(150)에 의해 촬영된 이미지를 통해 평판형 디스플레이소자의 불량 여부를 판단한다.
위와 같은 기본 구성을 가지는 검사장비(100)에서 본 발명은 스테이지(110)와 관련된다.
일반적으로 신뢰성 있는 라인스캔이 이루어지기 위해서는 라인스캔이 이루어지는 구간에서 디스플레이소자의 적절한 이동 속도와 그에 따른 스테이지(110)에 적재된 디스플레이소자의 안정적인 적재가 요구되며, 적재된 디스플레이소자의 정밀한 평탄도도 요구된다.
안정적인 적재는 디스플레이소자와 스테이지(110) 간의 마찰력과 관계한다. 즉, 이동 시작이나 종료, 이동 속도의 증감, 또는 작동 중의 미세한 충격 등에 의한 일시적 마찰력 감소 등으로 인한 디스플레이소자의 미끄러짐 이동이 마찰력에 의해 방지되어야만 한다.
마찰력은 디스플레이소자의 무게에 의존하는데, 스테이지(110)가 알루미늄과 같은 표면이 매끄러운 금속성 재질로 구비되기 때문에 디스플레이소자의 무게가 어느 정도 담보되어야만 한다. 그런데, 엘시디에 적용되는 시트나 글라스(glass) 등의 부품 상태나 중간제품 상태의 디스플레이소자 또는 오엘이디와 같은 경량형 디스플레이소자는 그 무게가 담보되기 곤란하다.
따라서 도 2와 같이 디스플레이소자와의 접촉면에 실리콘이나 고무소재의 마찰층(FL)을 가지는 스테이지(110)가 제안되었다.
도 2와 같이 디스플레이소자와의 접촉면에 마찰층(FL)을 가진 스테이지(110)는 경량형 디스플레이소자의 미끄러짐 이동을 방지할 수 있다는 점에서 뛰어난 이점이 있다. 그러나 도 2와 같은 구현은 표면을 정밀하게 깎아 뛰어난 평탄도를 가질 수 있는 금속소재와 달리, 적재된 디스플레이소자의 평탄도를 정밀하게 가져가기가 실질적으로 곤란하다. 이는 마찰층(FL)을 코팅 또는 접착하는 과정에서 그 평탄도가 흐트러지기 때문이다. 그리고 평탄도가 흐트러지면 당연히 라인스캔의 검사에 따른 데이터에 신뢰성이 담보되기 곤란하다.
대한민국 공개특허공보 제10-2013-0060090호 대한민국 공개특허공보 제10-2012-0077791호 대한민국 공개특허공보 제10-2011-0078958호
본 발명의 목적은 평판형 디스플레이소자의 검사장비용 스테이지에서 금속소재의 표면에 의해 정밀한 평탄도를 유지하면서도 마찰력이 부가될 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비는 평판형 디스플레이소자를 적재할 수 있는 스테이지; 상기 스테이지를 이동시키는 이동장치; 상기 이동장치에 의해 이동되는 상기 스테이지에 적재된 디스플레이소자의 평면을 라이스캔하는 라인스캔카메라; 및 상기 라인스캔카메라에 의해 촬영된 이미지를 통해 평판형 디스플레이소자의 불량 여부를 판단하는 판단장치; 를 포함하고, 상기 스테이지는, 디스플레이소자를 받치는 받침지그; 및 상기 받침지그에 설치되며, 상기 받침지그에 적재된 디스플레이소자를 탄성적으로 지지하면서 적재된 디스플레이스소자의 무게에 의해 압축됨으로써 디스플레이소자가 상기 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하되, 상기 받침지그에 얹어진 디스플레이소자에 마찰력을 가하여 상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 적어도 하나의 마찰기; 를 포함한다.
상기 마찰기는, 상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자에 접하여 마찰력을 발생시키는 마찰부재; 및 상기 받침지그에 설치되어 상기 마찰부재를 탄성적으로 지지하며, 적재된 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되어 디스플레이소자가 상기 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하면서 상기 마찰부재는 상기 디스플레이소자에 접함으로써 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 탄성부재; 를 포함하며, 상기 탄성부재가 압축되기 전에는 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단보다 높고, 상기 탄성부재는 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되면 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단과 동일한 높이가 될 수 있게 하는 탄성계수를 가진다.
상기 받침지그는, 디스플레이소자를 받치기 위해 상방향으로 돌출되게 구비된 적어도 하나의 받침부분; 및 상기 적어도 하나의 받침부분과 일체로 또는 별개로 제작되며, 상기 마찰기가 설치되는 설치부분; 을 포함하고, 상기 적어도 하나의 받침부분은 상기 마찰기가 설치될 수 있는 설치공간이 존재하도록 마련되며, 상기 마찰기는 상기 설치공간 상에 위치된다.
본 발명에 따른 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지는 평판형 디스플레이소자를 받치는 받침지그; 및 상기 받침지그에 설치되며, 상기 받침지그에 적재된 디스플레이소자를 탄성적으로 지지하면서 적재된 디스플레이스소자의 무게에 의해 압축됨으로써 디스플레이소자가 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하되, 상기 받침지그에 얹어진 디스플레이소자에 마찰력을 가하여 상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 적어도 하나의 마찰기; 를 포함한다.
상기 마찰기는, 상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자에 접하여 마찰력을 발생시키는 마찰부재; 및 상기 받침지그에 설치되어 상기 마찰부재를 탄성적으로 지지하며, 적재된 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되어 디스플레이소자가 상기 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하면서 상기 마찰부재는 디스플레이소자에 접함으로써 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 탄성부재; 를 포함하며, 상기 탄성부재가 압축되기 전에는 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단보다 높고, 상기 탄성부재는 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되면 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단과 동일한 높이가 될 수 있게 하는 탄성계수를 가진다.
상기 받침지그는, 디스플레이소자를 받치기 위해 상방향으로 돌출되게 구비된 적어도 하나의 받침부분; 및 상기 적어도 하나의 받침부분과 일체로 또는 별개로 제작되며, 상기 마찰기가 설치되는 설치부분; 을 포함하고, 상기 적어도 하나의 받침부분은 상기 마찰기가 설치될 수 있는 설치공간이 존재하도록 마련되며, 상기 마찰기는 상기 설치공간 상에 위치된다.
본 발명에 따르면 금속소재의 받침지그에 의해 적재된 디스플레이소자의 평탄도를 유지시키면서도 별도의 탄성 압축 가능한 마찰기에 의해 스테이지와 디스플레이소자 간의 마찰력을 부여하기 때문에 디스플레이소자의 안정적인 적재 및 정밀한 평탄도의 구현이 모두 가능하고, 이로 인해 검사 및 검사장비에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1은 일반적인 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비에 대한 개념도이다.
도 2는 도 1에 적용된 종래의 스테이지를 설명하기 위한 참조도이다.
도 3은 도 1의 검사장비에 적용될 수 있는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지에 대한 개략도이다.
도 4 내지 도 6은 도 3의 스테이지를 설명하기 위한 참조도이다.
도 7은 도 11은 도 1의 검사장비에 적용될 수 있는 본 발명의 다른 여러 실시예에 따른 스테이지에 대한 개략도이다.
본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복 또는 실질적으로 동일한 구성에 대한 설명은 가급적 생략하거나 압축하며, 동일 기능을 가지는 구성에 대해서는 동일 부호를 표기하여 설명한다.
본 발명에 따른 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비(100)도 도 1의 개념도에서와 같이 스테이지(110), 이동장치(120), 로딩장치(130), 언로딩장치(140), 라인스캔카메라(150) 및 판단장치(160)를 가지며, 스테이지(110)를 제외한 각 구성에 대해서는 앞서 설명한 바와 동일하므로 그 설명을 생략한다.
<스테이지에 대한 제1 실시예>
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스테이지(110)에 대한 분해 사시도이다.
본 실시예에 따른 스테이지(110)는 받침지그(111)와 마찰기(112)를 포함한다.
받침지그(111)는 적재된 디스플레이소자를 받치기 위해 구비되며, 받침부분(111a)과 설치부분(111b)을 포함한다.
받침부분(111a)은 디스플레이소자를 받치기 위해 상방향으로 돌출되게 구비된다. 본 실시예에서는 설치부분(111b)의 사각 귀퉁이에서 상방향으로 각각 돌출된 4개의 받침부분(111a)이 구비된다. 이러한 4개의 받침부분(111a)의 상단 표면은 정밀한 평탄도를 가지도록 절삭 가공되어 있다. 물론, 받침부분(111a)은 디스플레이소자를 안정적으로 받칠 수 있는 적절한 개수로 구비되면 족하다.
설치부분(111b)은 받침부분(111a)과 일체로 가공되며, 마찰기(112)가 설치된다. 이러한 설치부분(111b)은 실시하기에 따라서 도 4에서 참조되는 측면도에서와 같이 받침부분(111a)과 별개로 제작되어 결합되는 형태로 구비될 수도 있을 것이다.
한편, 받침부분(111a)은 설치부분(111b)의 모든 면적을 차지하도록 구비되지 않아야 하며, 마찰기(112)가 설치되어 위치될 수 있는 설치공간(IS)이 존재하도록 마련되어야 한다.
마찰기(112)는 받침지그(111)에 설치되며 설치공간(IS) 상에 위치되며, 본 실시예에서는 전후 방향으로 2개가 구비된다. 그러나 실시하기에 따라서는 마찰기(112)가 1개 또는 3개 이상 구비될 수 있을 것이다. 본 실시예에 따른 마찰기(112)는 받침지그(111)에 적재된 디스플레이소자를 탄성적으로 지지하면서 적재된 디스플레이스소자의 무게에 의해 압축됨으로써 디스플레이소자가 받침지그(111)에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하되, 받침지그(111)에 얹어진 디스플레이소자에 마찰력을 가하여 받침지그(111)가 이동할 시에 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 한다. 이를 위해 마찰기(112)는 마찰부재(112a)와 탄성부재(112b)를 포함한다.
마찰부재(112a)는 받침지그(111)가 이동할 시에 디스플레이소자에 접하여 마찰력을 발생시킨다. 이를 위해 마찰부재(112a)는 실리콘이나 러버와 같은 마찰이 뛰어난 소재로 구비된다.
탄성부재(112b)는 스프링으로 구비되며, 받침지그(111)에 설치되어서 마찰부재(112a)를 탄성적으로 지지한다. 이에 따라 적재된 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되어 디스플레이소자가 받침지그(111)에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하면서도, 마찰부재(112a)는 디스플레이소자에 접함으로써 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 한다.
위와 같은 탄성부재(112b)의 기능이 만족되도록, 도 5에서 참조되는 바와 같이 탄성부재(112b)가 압축되기 전에는 마찰부재(112a)의 상단이 받침지그(111, 더 구체적으로는 받침부분)의 상단보다 높아야 하며, 도 6에서 참조되는 바와 같이 디스플레이소자(DD)가 적재되면 디스플레이소자(DD)의 무게에 의해 탄성부재(112b)가 압축되면서 마찰부재(112a)의 상단이 받침지그(111, 더 구체적으로는 받침부분)의 상단과 동일한 높이가 될 수 있어야 한다. 따라서 탄성부재(112b)는 위의 조건을 만족하는 탄성계수를 가져야 한다.
위와 같은 스테이지(110)에 의하면, 도 5와 같은 상태에서 디스플레이소자(DD)가 적재되면 도 6과 같은 상태가 되면서 디스플레이소자(DD)가 받침지그(111)에 얹어지게 되고, 이에 따라 디스플레이소자(DD)의 평탄도가 유지된다. 한편, 마찰부재(112a)가 디스플레이소자(DD)의 저면에 접하고 있기 때문에 디스플레이소자(DD)와 스테이지(110) 간의 마찰력을 유지시킴으로써 스테이지(110)의 이동에 따른 디스플레이소자(DD)의 미끄러짐 이동이 방지될 수 있다.
<스테이지에 대한 제2 실시예>
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스테이지(110)에 대한 사시도이다.
도 7의 스테이지(110)는 전후 양단에 받침부분(111a)이 구비되고 그 사이에 형성된 설치공간(IS)에 마찰기(112)가 위치되는 구조를 가진다.
<스테이지에 대한 제3 실시예>
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 스테이지(110)에 대한 사시도이다.
도 8의 스테이지(110)는 받침부분(111a)의 중앙에 설치공간(IS)이 존재하고, 해당 설치공간(IS)에 마찰기(112)가 구비된다.
<스테이지에 대한 제4 실시예>
도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 스테이지(110)에 대한 사시도이다.
도 9의 스테이지(110)는 받침부분(111a)의 전후 양측에 설치공간(IS)이 존재하고, 해당 설치공간(IS)에 마찰기(112)들이 구비된다.
<스테이지에 대한 제5 실시예>
도 10은 본 발명의 제5 실시예에 따른 스테이지(110)에 대한 사시도이다.
도 10의 스테이지(110)는 좌우 양측의 받침부분(111a) 사이에 형성된 설치공간(IS)이 존재하고, 해당 설치공간(IS)에 마찰기(112)들이 구비된다.
<스테이지에 대한 제6 실시예>
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 스테이지(110)에 대한 사시도이다.
도 11은 스테이지(110)는 하나의 마찰부재(112a)에 2개의 탄성부재(112b)가 구비된다.
한편, 본 명세서 말하는 디스플레이소자(DD)는 오엘이디 패널과 같은 완성품 자체일 수도 있고, 엘시디의 구성부품인 평판형 글라스 등일 수 있다. 즉, 본 명세서에서 언급된 디스플레이소자는 오엘이디 패널과 같은 완성품 자체일 수도 있고, 디스플레이어를 구성하는 평판형 부품을 포괄하는 용어로 이해되어져야 한다.
위의 여러 실시예들에서 참조되는 바와 같이 본 발명에 따른 스테이지(110)는 본 발명의 기술적 사상을 만족하면서 여러 조건(검사될 디스플레이소자의 크기, 무게, 스테이지의 이동 속도 등)을 감안하여 다양한 형태로 구현될 수 있음을 알 수 있다.
따라서 상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예들은 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예들에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 균등범위로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비
110 : 스테이지
111 : 받침지그
111a : 받침부분 111b : 설치부분
112 : 마찰기
112a : 마찰부재 112b : 탄성부재
IS : 설치공간
120 : 이동장치
150 : 라인스캔카메라
160 : 판단장치

Claims (6)

  1. 평판형 디스플레이소자를 적재할 수 있는 스테이지;
    상기 스테이지를 이동시키는 이동장치;
    상기 이동장치에 의해 이동되는 상기 스테이지에 적재된 디스플레이소자의 평면을 라인스캔하는 라인스캔카메라; 및
    상기 라인스캔카메라에 의해 촬영된 이미지를 통해 평판형 디스플레이소자의 불량 여부를 판단하는 판단장치; 를 포함하고,
    상기 스테이지는,
    디스플레이소자를 받치는 받침지그; 및
    상기 받침지그에 설치되며, 상기 받침지그에 적재된 디스플레이소자를 탄성적으로 지지하면서 적재된 디스플레이스소자의 무게에 의해 압축됨으로써 디스플레이소자가 상기 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하되, 상기 받침지그에 얹어진 디스플레이소자에 마찰력을 가하여 상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 적어도 하나의 마찰기; 를 포함하고,
    상기 마찰기는,
    상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자에 접하여 마찰력을 발생시키는 마찰부재; 및
    상기 받침지그에 설치되어 상기 마찰부재를 탄성적으로 지지하며, 적재된 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되어 디스플레이소자가 상기 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하면서 상기 마찰부재는 상기 디스플레이소자에 접함으로써 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 탄성부재; 를 포함하며,
    상기 탄성부재가 압축되기 전에는 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단보다 높고,
    상기 탄성부재는 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되면 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단과 동일한 높이가 될 수 있게 하는 탄성계수를 가지며,
    상기 받침지그는,
    디스플레이소자를 받치기 위해 상방향으로 돌출되게 구비된 적어도 하나의 받침부분; 및
    상기 적어도 하나의 받침부분과 일체로 또는 별개로 제작되며, 상기 마찰기가 설치되는 설치부분; 을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 받침부분은 상기 마찰기가 설치될 수 있는 설치공간이 존재하도록 마련되며,
    상기 마찰기는 상기 설치공간 상에 위치되고,
    상기 받침부분은 4개의 받침부분이 상기 설치부분의 사각 귀퉁이에 각각 구비되고, 상기 설치공간은 전방과 후방에 위치하는 상기 받침부분 사이에 각각 구비되어 있으며, 전방에 구비되어 있는 마찰기는 상기 전방에 있는 양 받침부분 사이의 설치공간에 구비되어 있고, 후방에 구비되어 있는 마찰기는 상기 후방에 있는 양 받침부분 사이의 설치공간에 구비되어 있는
    평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 평판형 디스플레이소자를 받치는 받침지그; 및
    상기 받침지그에 설치되며, 상기 받침지그에 적재된 디스플레이소자를 탄성적으로 지지하면서 적재된 디스플레이스소자의 무게에 의해 압축됨으로써 디스플레이소자가 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하되, 상기 받침지그에 얹어진 디스플레이소자에 마찰력을 가하여 상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 적어도 하나의 마찰기; 를 포함하고,
    상기 마찰기는,
    상기 받침지그가 이동할 시에 디스플레이소자에 접하여 마찰력을 발생시키는 마찰부재; 및
    상기 받침지그에 설치되어 상기 마찰부재를 탄성적으로 지지하며, 적재된 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되어 디스플레이소자가 상기 받침지그에 얹어질 수 있는 상태가 되게 하면서 상기 마찰부재는 디스플레이소자에 접함으로써 디스플레이소자의 미끄러짐이 방지될 수 있게 하는 탄성부재; 를 포함하며,
    상기 탄성부재가 압축되기 전에는 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단보다 높고,
    상기 탄성부재는 디스플레이소자의 무게에 의해 압축되면 상기 마찰부재의 상단이 상기 받침지그의 상단과 동일한 높이가 될 수 있게 하는 탄성계수를 가지며,
    상기 받침지그는,
    디스플레이소자를 받치기 위해 상방향으로 돌출되게 구비된 적어도 하나의 받침부분; 및
    상기 적어도 하나의 받침부분과 일체로 또는 별개로 제작되며, 상기 마찰기가 설치되는 설치부분; 을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 받침부분은 상기 마찰기가 설치될 수 있는 설치공간이 존재하도록 마련되며,
    상기 마찰기는 상기 설치공간 상에 위치되고,
    상기 받침부분은 4개의 받침부분이 상기 설치부분의 사각 귀퉁이에 각각 구비되고, 상기 설치공간은 전방과 후방에 위치하는 상기 받침부분 사이에 각각 구비되어 있으며, 전방에 구비되어 있는 마찰기는 상기 전방에 있는 양 받침부분 사이의 설치공간에 구비되어 있고, 후방에 구비되어 있는 마찰기는 상기 후방에 있는 양 받침부분 사이의 설치공간에 구비되어 있는
    평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지.
  5. 삭제
  6. 삭제
KR1020180057214A 2018-05-18 2018-05-18 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지 KR102015357B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180057214A KR102015357B1 (ko) 2018-05-18 2018-05-18 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180057214A KR102015357B1 (ko) 2018-05-18 2018-05-18 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102015357B1 true KR102015357B1 (ko) 2019-09-03

Family

ID=67951725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180057214A KR102015357B1 (ko) 2018-05-18 2018-05-18 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102015357B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102138793B1 (ko) * 2020-06-05 2020-07-28 주식회사 와이즈테크 내부 후크를 구비한 디스플레이패널 검사 장치

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004153264A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 Samsung Electronics Co Ltd 基板検査装置
JP2005347153A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイパネルの点灯検査装置および点灯検査方法
JP2007166314A (ja) * 2005-12-14 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd マイクロホン装置、マイクロホン組立て用トレイ、反転用プレート、およびマイクロホン装置の製造方法
KR20090011292U (ko) * 2008-04-30 2009-11-04 이영직 테이블과 이를 위한 접촉형지지구 및 테이블 게임용 부품
KR100994305B1 (ko) * 2009-11-10 2010-11-12 엘지디스플레이 주식회사 표시장치용 검사장치 및 그의 검사방법
JP2011014241A (ja) * 2009-06-30 2011-01-20 Hitachi High-Technologies Corp 試料保持装置および荷電粒子線装置
KR20110078958A (ko) 2009-12-31 2011-07-07 (주)토탈솔루션 엘시디 패널 외관 검사장치
KR20120077791A (ko) 2010-12-31 2012-07-10 엘지디스플레이 주식회사 유기발광다이오드 패널 검사 방법
KR20130060090A (ko) 2011-11-29 2013-06-07 주식회사 힘스 유기발광다이오드 이물검사기
JP6300587B2 (ja) * 2014-03-17 2018-03-28 オリンパス株式会社 超音波ステージ

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004153264A (ja) * 2002-10-30 2004-05-27 Samsung Electronics Co Ltd 基板検査装置
JP2005347153A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマディスプレイパネルの点灯検査装置および点灯検査方法
JP2007166314A (ja) * 2005-12-14 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd マイクロホン装置、マイクロホン組立て用トレイ、反転用プレート、およびマイクロホン装置の製造方法
KR20090011292U (ko) * 2008-04-30 2009-11-04 이영직 테이블과 이를 위한 접촉형지지구 및 테이블 게임용 부품
JP2011014241A (ja) * 2009-06-30 2011-01-20 Hitachi High-Technologies Corp 試料保持装置および荷電粒子線装置
KR100994305B1 (ko) * 2009-11-10 2010-11-12 엘지디스플레이 주식회사 표시장치용 검사장치 및 그의 검사방법
KR20110078958A (ko) 2009-12-31 2011-07-07 (주)토탈솔루션 엘시디 패널 외관 검사장치
KR20120077791A (ko) 2010-12-31 2012-07-10 엘지디스플레이 주식회사 유기발광다이오드 패널 검사 방법
KR20130060090A (ko) 2011-11-29 2013-06-07 주식회사 힘스 유기발광다이오드 이물검사기
JP6300587B2 (ja) * 2014-03-17 2018-03-28 オリンパス株式会社 超音波ステージ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102138793B1 (ko) * 2020-06-05 2020-07-28 주식회사 와이즈테크 내부 후크를 구비한 디스플레이패널 검사 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102374995A (zh) 用于检查显示设备的装置和方法
KR101146722B1 (ko) 디스플레이용 패널의 검사장치
US7640960B2 (en) Apparatus for attaching substrates
KR102015357B1 (ko) 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 평판형 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비용 스테이지
JP4463797B2 (ja) 偏光フィルム検査装置及び方法
KR102015356B1 (ko) 유연성 재질의 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 그에 사용되는 스테이지장치
JP4554578B2 (ja) 基板搬送装置及びそれを備えた印刷はんだ検査装置
KR101544285B1 (ko) 기판 이송 장치 및 이를 포함하는 기판 검사 장치
KR20200068117A (ko) 검사 장치 및 이의 구동 방법
KR101901394B1 (ko) 오토 프로브 검사 장치 및 유기 전계 발광 표시 타입의 패널 검사 방법
KR20080055641A (ko) 도포 장치
US9557592B2 (en) Display device having a display panel
JP5221964B2 (ja) 印刷はんだ検査装置
KR100998206B1 (ko) 스토커 장치
KR102396316B1 (ko) 폴더블 디스플레이소자를 검사하기 위한 검사장비 및 그에 사용되는 스테이지장치
KR102329139B1 (ko) 폴더블 디스플레이소자를 지지하기 위한 스테이지장치 및 이를 적용한 검사장비
KR101338817B1 (ko) 글래스 감지 장치
KR20070118770A (ko) 복합 검사기
US20230042179A1 (en) System for inspecting thin glass
JP4188298B2 (ja) 印刷はんだ検査装置
KR101651545B1 (ko) 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20200080443A (ko) 상판 슬라이딩 가능한 웨이퍼 검사 장치
KR102025163B1 (ko) 표시소자 검사장치용 작업대
JP2006066747A (ja) 基板の位置決め装置及び位置決め方法
KR102529061B1 (ko) 디스플레이 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant