KR102071301B1 - Organic emitting display device - Google Patents
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Abstract
유기 전계 발광 표시 장치가 제공된다. 기판에는 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극 및 드레인 전극을 각각 갖는 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터가 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터는 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고, 구동 박막 트랜지스터는 LTPS 박막 트랜지스터이다. 제1 저장 커패시터의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이다. 제2 저장 커패시터의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나이다. 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 및 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극은 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층 또는 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이다. 유기 전계 발광 표시 장치를 구동하기 위해 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터의 복합 구조를 사용하여, 각각의 장점을 활용할 수 있다. 또한, 다중 커패시터를 구현함과 동시에 저장 커패시터가 차지하는 면적을 감소시킬 수 있다.An organic electroluminescent display is provided. A switching thin film transistor and a driving thin film transistor each having a gate electrode, an active layer, a source electrode, and a drain electrode are formed on the substrate. The switching thin film transistor is an oxide semiconductor thin film transistor, and the driving thin film transistor is an LTPS thin film transistor. One electrode of the first storage capacitor is the active layer of the driving thin film transistor. One electrode of the second storage capacitor is one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor. The other electrode of the first storage capacitor and the other electrode of the second storage capacitor are the active layer of the switching thin film transistor or the gate electrode of the driving thin film transistor. In order to drive the organic light emitting display device, a complex structure of a switching thin film transistor and a driving thin film transistor may be used, and respective advantages may be utilized. In addition, it is possible to reduce the area occupied by the storage capacitor while implementing multiple capacitors.
Description
본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액티브층이 산화물 반도체로 형성된 산화물 반도체 박막 트랜지스터와 액티브층이 저온 폴리 실리콘으로 형성된 LTPS(Low Temperature Poly Silicon) 박막 트랜지스터가 동일한 게이트 라인으로부터의 게이트 전압을 공유하여 효율적인 개구율 확보가 가능하고, 고해상도 제품 구현에 유리한 유기 전계 발광 표시 장치 및 산화물 반도체 박막 트랜지스터와 LTPS 박막 트랜지스터가 동일한 유기 발광 소자를 구동하기 위한 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터로 사용되는 유기 전계 발광 표시 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, an oxide semiconductor thin film transistor in which an active layer is formed of an oxide semiconductor, and a low temperature poly silicon (LTPS) thin film transistor in which an active layer is formed of low temperature polysilicon. The organic light emitting display device and the oxide semiconductor thin film transistor and the LTPS thin film transistor are used as the switching thin film transistor and the driving thin film transistor to drive the same organic light emitting device, which can secure the effective aperture ratio by sharing the gate voltage. An organic electroluminescent display device is provided.
최근, 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 전기적 정보 신호를 시각적으로 표현하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 박형화, 경량화, 저 소비전력화의 우수한 성능을 지닌 여러 가지 다양한 평판 표시 장치(Flat Display Device)가 개발되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube: CRT)을 빠르게 대체하고 있다.In recent years, as the information age has entered, the display field for visually expressing electrical information signals has been rapidly developed, and various flat panel display devices having excellent performance of thinning, light weight, and low power consumption have been developed. (Flat Display Device) has been developed to quickly replace the existing Cathode Ray Tube (CRT).
이와 같은 평판 표시 장치의 구체적인 예로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 유기 전계 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display: EPD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display device: FED) 및 전기 습윤 표시 장치(Electro-Wetting Display: EWD) 등을 들 수 있다. Specific examples of such a flat panel display include a liquid crystal display (LCD), an organic light emitting display (OLED), an electrophoretic display (EPD), and a plasma display ( Plasma display panel device (PDP), field emission display device (FED), and electro-wetting display (EWD).
특히, 유기 전계 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 갖는 차세대 표시 장치로서, 액정 표시 장치에 비해 시야각, 콘트라스트(contrast), 응답 속도, 소비 전력 등의 측면에서 우수한 특성을 갖는다. In particular, the organic light emitting display device is a next generation display device having a self-luminous property, and has excellent characteristics in terms of viewing angle, contrast, response speed, power consumption, and the like, compared to a liquid crystal display device.
평판 표시 장치들은 공통적으로 영상을 구현하는 평판 표시 패널을 필수적인 구성요소로 하는데, 평판 표시 패널은 고유의 발광 물질 또는 편광 물질층을 사이에 두고 대면 합착된 한 쌍의 기판을 포함하여 이루어진다. 이러한 평판 표시 패널에 포함된 기판은 복수의 화소(Pixel) 어레이(Array)가 발광하는 발광 영역과 복수의 화소를 구동하기 위한 회로 소자들이 위치하는 소자 영역으로 나누어진다. 특히 소자 영역에는 복수의 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT)가 위치하여 복수의 화소를 구동하고, 회로 소자를 동작시킨다.Flat panel display devices are commonly required components of a flat panel display that implements an image. A flat panel display panel includes a pair of substrates bonded to each other with a layer of a light emitting material or a polarizing material interposed therebetween. The substrate included in the flat panel display panel is divided into a light emitting region in which a plurality of pixel arrays emit light and a device region in which circuit elements for driving the plurality of pixels are located. In particular, a plurality of thin film transistors (TFTs) are positioned in the device region to drive the plurality of pixels to operate the circuit elements.
유기 전계 발광 표시 장치는 애노드 전극, 유기 발광층 및 캐소드 전극으로 구성되는 유기 전계 발광 다이오드(diode)를 포함하며, 게이트 라인(gate line)과 데이터 라인(data line) 사이에 유기 전계 발광 다이오드가 매트릭스 방식으로 연결되어 화소를 구성하는 패시브 매트릭스(passive matrix) 방식과, 각 화소의 동작이 스위치 역할을 하는 박막 트랜지스터에 의해 제어되는 액티브 매트릭스(active matrix) 방식으로 구성된다.The organic light emitting display device includes an organic light emitting diode including an anode, an organic light emitting layer, and a cathode, and the organic light emitting diode is formed in a matrix manner between the gate line and the data line. Passive matrix (passive matrix) method that is connected to form a pixel and the operation of each pixel is composed of an active matrix (active matrix) method controlled by a thin film transistor that serves as a switch.
액티브 매트릭스 방식의 유기 전계 발광 표시 장치에서 화소 구동부는, 회로 소자에서 출력된 전압이 게이트 라인을 경유하여 화소의 스위칭 박막 트랜지스터가 동작하고, 데이터 라인을 통해 화소 구동을 위한 데이터 값이 입력되어 저장 커패시터(storage capacitor)에 저장되면, 구동 박막 트랜지스터에서 데이터 값에 해당하는 픽셀 구동 전류가 유기 전계 발광 다이오드에 흘러 유기 전계 발광 표시 장치의 각 화소가 발광한다.In an active matrix type organic light emitting display device, a pixel driving unit includes a switching thin film transistor of a pixel operated by a voltage output from a circuit element through a gate line, and a data value for driving a pixel through a data line is input to a storage capacitor. When stored in a storage capacitor, a pixel driving current corresponding to a data value flows through the organic light emitting diode in the driving thin film transistor so that each pixel of the organic light emitting display emits light.
유기 전계 발광 표시 장치에 대한 고객의 눈높이가 올라감에 따라, 고개구율 및 고해상도의 유기 전계 발광 표시 장치에 대한 연구가 계속되고 있다. 그러나, 유기 전계 발광 다이오드를 구동시키기 위한 박막 트랜지스터, 커패시터 및 각종 전압 공급 라인 자체의 크기를 감소시키는데에는 한계가 있다. 따라서, 고개구율 및 고해상도의 유기 전계 발광 표시 장치를 구현하기 위한 다양한 노력이 계속되고 있다.As the customer's eye level rises with respect to the organic light emitting display device, research on the organic light emitting display device having a high opening ratio and high resolution continues. However, there are limitations in reducing the size of thin film transistors, capacitors and various voltage supply lines themselves for driving organic electroluminescent diodes. Accordingly, various efforts have been made to implement an organic light emitting display device having high opening ratio and high resolution.
또한, 종래의 유기 전계 발광 표시 장치에서는 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터로 LTPS 박막 트랜지스터만 사용하거나 산화물 반도체 박막 트랜지스터만을 사용하였다. 다만, 이와 같이 한 종류의 박막 트랜지스터만을 사용하는 경우, 충분한 크기의 저장 커패시터를 확보하기 위해 그만큼 넓은 면적이 요구되었다. 이에, 저장 커패시터의 면적을 충분히 크게 가져가는 경우, 화소자체의 크기가 증가하거나 화소 내에서 화소 구동부가 차지하는 면적이 증가하게 되므로, 고해상도 패널이나 고투과율 패널 제작에 어려움이 있다.In addition, in the related art organic light emitting display, only the LTPS thin film transistor or the oxide semiconductor thin film transistor is used as the switching thin film transistor and the driving thin film transistor. However, when only one type of thin film transistor is used as such, a large area is required to secure a storage capacitor having a sufficient size. Therefore, when the area of the storage capacitor is sufficiently large, the size of the pixel itself increases or the area occupied by the pixel driver in the pixel increases, which makes it difficult to manufacture a high resolution panel or a high transmittance panel.
이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 하나의 화소 및 그에 인접한 다른 하나의 화소가 게이트 라인을 공통으로 사용하는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an organic light emitting display device in which one pixel and another adjacent pixel share a gate line in common.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 게이트 라인을 서로 공유하고 서로 인접하는 화소의 구동 박막 트랜지스터가 각각 산화물 반도체 박막 트랜지스터와 LTPS 박막 트랜지스터로 형성되어 보다 용이한 구동이 가능한 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an organic light emitting display device which can be driven more easily because the driving thin film transistors of the pixels sharing the gate lines and adjacent pixels are formed of an oxide semiconductor thin film transistor and an LTPS thin film transistor, respectively. will be.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 중 하나는 LTPS 박막 트랜지스터로 형성되고, 다른 하나는 산화물 반도체 박막 트랜지스터로 형성되는 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an organic light emitting display device in which one of a switching thin film transistor and a driving thin film transistor is formed of an LTPS thin film transistor, and the other is formed of an oxide semiconductor thin film transistor.
본 발명이 해결하고자 하는 또 다른 과제는 저장 커패시터의 면적 증가 없이 저장 커패시터를 다중 커패시터로 형성하여, 고해상도 및 고투과율 확보가 가능한 유기 전계 발광 표시 장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide an organic light emitting display device capable of securing a high resolution and high transmittance by forming a storage capacitor as multiple capacitors without increasing the area of the storage capacitor.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치가 제공된다. 기판에는 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극 및 드레인 전극을 각각 갖는 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터가 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터는 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고, 구동 박막 트랜지스터는 LTPS 박막 트랜지스터이다. 제1 저장 커패시터의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이다. 제2 저장 커패시터의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나이다. 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 및 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극은 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층 또는 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이다. 유기 전계 발광 표시 장치를 구동하기 위해 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터의 복합 구조를 사용하여, 각각의 장점을 활용할 수 있다. 또한, 다중 커패시터를 구현함과 동시에 저장 커패시터가 차지하는 면적을 감소시킬 수 있다.An organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention is provided. A switching thin film transistor and a driving thin film transistor each having a gate electrode, an active layer, a source electrode, and a drain electrode are formed on the substrate. The switching thin film transistor is an oxide semiconductor thin film transistor, and the driving thin film transistor is an LTPS thin film transistor. One electrode of the first storage capacitor is the active layer of the driving thin film transistor. One electrode of the second storage capacitor is one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor. The other electrode of the first storage capacitor and the other electrode of the second storage capacitor are the active layer of the switching thin film transistor or the gate electrode of the driving thin film transistor. In order to drive the organic light emitting display device, a complex structure of a switching thin film transistor and a driving thin film transistor may be used, and respective advantages may be utilized. In addition, it is possible to reduce the area occupied by the storage capacitor while implementing multiple capacitors.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 및 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 모두는 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, both the other electrode of the first storage capacitor and the other electrode of the second storage capacitor are characterized in that the active layer of the switching thin film transistor.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 기판 상에 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고, 게이트 절연층 상에 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고, 층간 절연층 상에서 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 구동 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하도록 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나가 에치 스토퍼 상에서 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하도록 형성된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, an active layer of a driving thin film transistor is formed on a substrate, a gate insulating layer is formed to cover the active layer of the driving thin film transistor, a gate electrode of a switching thin film transistor on the gate insulating layer, and A gate electrode of the driving thin film transistor is formed, an interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor, and the active layer of the switching thin film transistor is an active layer of the driving thin film transistor on the interlayer insulating layer. And an etch stopper formed to overlap the active layer of the switching thin film transistor, and one of the source electrode and the drain electrode of the driving thin film transistor overlapping the active layer of the switching thin film transistor on the etch stopper. .
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 및 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 모두는 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, both the other electrode of the first storage capacitor and the other electrode of the second storage capacitor is characterized in that the gate electrode of the driving thin film transistor.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 기판 상에 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고, 게이트 절연층 상에 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 구동 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하고, 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고, 층간 절연층 상에 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나가 에치 스토퍼 상에서 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 중첩하도록 형성된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, an active layer of a driving thin film transistor is formed on a substrate, a gate insulating layer is formed to cover the active layer of the driving thin film transistor, a gate electrode of a switching thin film transistor on the gate insulating layer, and A gate electrode of the driving thin film transistor is formed, a gate electrode of the driving thin film transistor overlaps an active layer of the driving thin film transistor, an interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor, An active layer of the switching thin film transistor is formed on the interlayer insulating layer, an etch stopper is formed to cover the active layer of the switching thin film transistor, and one of the source electrode and the drain electrode of the driving thin film transistor is formed on the etch stopper. Overlap with electrode It is characterized in that the rock formed.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이고, 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극은 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the other electrode of the first storage capacitor is a gate electrode of the driving thin film transistor, the other electrode of the second storage capacitor is characterized in that the active layer of the switching thin film transistor.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 기판 상에 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고, 게이트 절연층 상에 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 구동 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하고, 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고, 층간 절연층 상에서 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나가 에치 스토퍼 상에서 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하도록 형성된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, an active layer of a driving thin film transistor is formed on a substrate, a gate insulating layer is formed to cover the active layer of the driving thin film transistor, a gate electrode of a switching thin film transistor on the gate insulating layer, and A gate electrode of the driving thin film transistor is formed, a gate electrode of the driving thin film transistor overlaps an active layer of the driving thin film transistor, an interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor, An active layer of the switching thin film transistor is formed on the interlayer insulating layer, an etch stopper is formed to cover the active layer of the switching thin film transistor, and one of the source electrode and the drain electrode of the driving thin film transistor is formed on the etch stopper. Overlap with And that the lock is formed, it characterized.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층과 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the active layer of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor is characterized in that it is electrically connected.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나를 하나의 전극으로 하고, 스위칭 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나와 전기적으로 연결된 금속층을 다른 하나의 전극으로 하는 제3 저장 커패시터를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to still another aspect of the present invention, one of the source electrode and the drain electrode of the driving thin film transistor is one electrode, and the metal layer electrically connected to one of the source electrode and the drain electrode of the switching thin film transistor is another electrode. It further comprises a third storage capacitor.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 유기 전계 발광 표시 장치는 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층 및 구동 박막 트랜지스터의 액티브층으로 향하는 광을 가려주는 광 차단층을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the organic light emitting display device further comprises a light blocking layer for shielding the light to the active layer of the switching thin film transistor and the active layer of the driving thin film transistor.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 유기 전계 발광 표시 장치는 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 하나의 전극으로 하고, 광 차단층을 다른 하나의 전극으로 하는 제4 저장 커패시터를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the organic light emitting display device further comprises a fourth storage capacitor having the active layer of the driving thin film transistor as one electrode and the light blocking layer as the other electrode. .
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 유기 전계 발광 표시 장치는 기판과 구동 박막 트랜지스터의 액티브층 사이에 형성된 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the organic light emitting display device further comprises a buffer layer formed between the substrate and the active layer of the driving thin film transistor.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 구동 박막 트랜지스터는 기판으로부터 액티브층, 게이트 전극, 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 코플래너(Coplanar) 구조인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the present invention, the driving thin film transistor has a coplanar structure stacked from an active layer, a gate electrode, and a source electrode and a drain electrode in order from a substrate.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 스위칭 박막 트랜지스터는 기판으로부터 게이트 전극, 액티브층, 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 바텀 게이트(Bottom Gate) 구조인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the switching thin film transistor is characterized in that the bottom gate (Bottom Gate) structure stacked in the order of the gate electrode, the active layer, the source electrode and the drain electrode from the substrate.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치가 제공된다. 기판에는 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극 및 드레인 전극을 각각 갖는 스위칭 박막 트랜지스터와 구동 박막 트랜지스터가 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터는 LTPS 박막 트랜지스터이고, 구동 박막 트랜지스터는 산화물 반도체 박막 트랜지스터이다. 금속층이 스위칭 박막 트랜지스터의 소스 전극 전극 및 드레인 전극 중 하나와 전기적으로 연결된다. 제1 저장 커패시터의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이다. 제2 저장 커패시터의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나이고, 다른 하나의 전극은 금속층이다. 유기 전계 발광 표시 장치를 구동하기 위해 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터의 복합 구조를 사용하여, 각각의 장점을 활용할 수 있다. 또한, 다중 커패시터를 구현함과 동시에 저장 커패시터가 차지하는 면적을 감소시킬 수 있다.An organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention is provided. A switching thin film transistor and a driving thin film transistor each having a gate electrode, an active layer, a source electrode, and a drain electrode are formed on the substrate. The switching thin film transistor is an LTPS thin film transistor, and the driving thin film transistor is an oxide semiconductor thin film transistor. The metal layer is electrically connected to one of the source electrode electrode and the drain electrode of the switching thin film transistor. One electrode of the first storage capacitor is a gate electrode of the driving thin film transistor, and the other electrode is an active layer of the driving thin film transistor. One electrode of the second storage capacitor is one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor, and the other electrode is a metal layer. In order to drive the organic light emitting display device, a complex structure of a switching thin film transistor and a driving thin film transistor may be used to take advantage of respective advantages. In addition, it is possible to reduce the area occupied by the storage capacitor while implementing multiple capacitors.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 기판 상에 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고, 게이트 절연층 상에 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고, 층간 절연층 상에서 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 중첩하도록 형성되고, 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고, 금속층은 에치 스토퍼 상에 형성된 스위칭 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나와 전기적으로 연결되고, 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나와 중첩하도록 형성된 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the active layer of the switching thin film transistor is formed on the substrate, the gate insulating layer is formed to cover the active layer of the switching thin film transistor, the gate electrode and driving of the switching thin film transistor on the gate insulating layer A gate electrode of the thin film transistor is formed, an interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor, and the active layer of the driving thin film transistor is formed on the interlayer insulating layer. An etch stopper is formed to overlap and covers an active layer of the driving thin film transistor, and the metal layer is electrically connected to one of a source electrode and a drain electrode of the switching thin film transistor formed on the etch stopper, and a source electrode of the driving thin film transistor. And drain And overlapping with one of the electrodes.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 스위칭 박막 트랜지스터는 기판으로부터 액티브층, 게이트 전극, 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 코플래너 구조인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the switching thin film transistor is characterized in that the coplanar structure stacked in the order of the active layer, the gate electrode, and the source electrode and the drain electrode from the substrate.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 구동 박막 트랜지스터는 기판으로부터 게이트 전극, 액티브층, 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 바텀 게이트 구조인 것을 특징으로 한다.According to another feature of the invention, the driving thin film transistor is characterized in that the bottom gate structure stacked in the order of the gate electrode, the active layer, and the source electrode and the drain electrode from the substrate.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
본 발명은 게이트 라인을 서로 공유하고 서로 인접하는 화소의 구동 박막 트랜지스터가 각각 산화물 반도체 박막 트랜지스터와 LTPS 박막 트랜지스터로 형성되는 것을 특징으로 하여 유기 전계 발광 표시 장치를 보다 용이하게 구동할 수 있다.The present invention is characterized in that the driving thin film transistors of the pixels sharing the gate lines and adjacent pixels are formed of an oxide semiconductor thin film transistor and an LTPS thin film transistor, respectively, so that the organic light emitting display device can be driven more easily.
본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치를 구동하기 위한 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터 각각을 서로 상이한 박막 트랜지스터 종류로 형성하여 저장 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있고, 보다 용이하게 고해상도 패널이나 고투과율 패널을 제조할 수 있다.The present invention can increase the capacitance of a storage capacitor by forming a switching thin film transistor and a driving thin film transistor for driving an organic light emitting display device with different thin film transistor types, and more easily produce a high resolution panel or a high transmittance panel. can do.
본 발명은 유기 전계 발광 표시 장치를 구동하기 위해 스위칭 박막 트랜지스터 및 구동 박막 트랜지스터의 복합 구조를 사용하여 산화물 박막 트랜지스터의 장점 및 LTPS 박막 트랜지스터의 장점 둘 모두를 활용할 수 있다.The present invention may utilize both the advantages of the oxide thin film transistor and the advantages of the LTPS thin film transistor by using a complex structure of the switching thin film transistor and the driving thin film transistor to drive the organic light emitting display device.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치의 제1 화소 및 제2 화소를 설명하기 위한 개략적인 회로도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치의 제1 화소 및 제2 화소가 공유하는 게이트 라인의 게이트 전압을 설명하기 위한 개략적인 타이밍 다이어그램이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 7 내지 도 11은 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.1 is a schematic plan view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
2 is a schematic circuit diagram illustrating a first pixel and a second pixel of an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
3 is a schematic timing diagram illustrating a gate voltage of a gate line shared by a first pixel and a second pixel of an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 is a schematic plan view illustrating an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention.
5 is a schematic plan view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic cross-sectional view for describing an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention.
7 through 11 are schematic cross-sectional views illustrating an organic light emitting display device according to various embodiments of the present disclosure.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Advantages and features of the present invention, and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the present embodiments make the disclosure of the present invention complete, and those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다. Shapes, sizes, ratios, angles, numbers, and the like disclosed in the drawings for describing the embodiments of the present invention are exemplary, and thus, the present invention is not limited thereto. Like reference numerals refer to like elements throughout. In addition, in describing the present invention, if it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. When 'comprises', 'haves', 'consists of' and the like mentioned in the present specification are used, other parts may be added unless 'only' is used. In the case where the component is expressed in the singular, the plural includes the plural unless specifically stated otherwise.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.In interpreting a component, it is interpreted to include an error range even if there is no separate description.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다. In the case of the description of the positional relationship, for example, if the positional relationship of the two parts is described as 'on', 'upper', 'lower', 'next to', etc. Alternatively, one or more other parts may be located between the two parts unless 'direct' is used.
소자 또는 층이 다른 소자 또는 층 "위 (on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다.When an element or layer is referred to as “on” another element or layer, it encompasses both the case where another layer or other element is interposed on or in the middle of another element.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.Although the first, second, etc. are used to describe various components, these components are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one component from another. Therefore, the first component mentioned below may be a second component within the technical spirit of the present invention.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Like reference numerals refer to like elements throughout.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.The size and thickness of each component shown in the drawings are shown for convenience of description, and the present invention is not necessarily limited to the size and thickness of the illustrated configuration.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.Each of the features of the various embodiments of the present invention may be combined or combined with each other, partly or wholly, and various technically interlocking and driving are possible as one skilled in the art can fully understand, and each of the embodiments may be independently implemented with respect to each other. It may be possible to carry out together in an association.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치의 제1 화소 및 제2 화소를 설명하기 위한 개략적인 회로도이다. 도 1을 참조하면, 유기 전계 발광 표시 장치(100)는 기판(110), 표시부(120), GIP(Gate In Panel) 회로부, COF(Chip On Film)(140) 및 인쇄 회로 기판(150)을 포함한다.1 is a schematic plan view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention. 2 is a schematic circuit diagram illustrating a first pixel and a second pixel of an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, the organic light emitting
기판(110)은 유기 전계 발광 표시 장치(100)의 여러 엘리먼트들을 지지하고 보호한다. 기판(110)은 절연 물질로 구성될 수 있고, 예를 들어, 유리 또는 플라스틱 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않고, 다양한 물질로 형성될 수 있다. The
영상을 표시하기 위한 표시부(120)가 기판(110) 상에 형성된다. 표시부(120)는 유기 발광 소자 및 유기 발광 소자를 구동하기 위한 다양한 박막 트랜지스터 및 커패시터를 포함한다. 또한, 표시부(120)에는 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), Vdd 전압 공급 라인(VDDL) 등과 같은 다양한 배선들이 형성될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 데이터 라인(DL)과 Vdd 전압 공급 라인(VDDL)은 서로 동일한 방향으로 연장하고, 게이트 라인(GL)은 데이터 라인(DL) 및 Vdd 전압 공급 라인(VDDL)과 상이한 방향, 예를 들어, 수직한 방향으로 연장한다. The
기판(110)은 특정 색의 광을 각각 발광하는 복수의 화소를 포함한다. 복수의 화소는 표시부(120)에 포함되는 것으로 정의될 수도 있다. 복수의 화소 각각은 적색광, 녹색광 및 청색광 중 하나를 발광할 수도 있고, 적색광, 녹색광, 청색광 및 백색광 중 하나를 발광할 수도 있다. 이하에서는, 복수의 화소 중 제1 화소(P1) 및 제2 화소(P2)를 예로 하여 설명한다.The
제1 화소(P1)는 홀수 화소 라인에 배치된 화소이고, 제2 화소(P2)는 짝수 화소 라인에 배치된 화소일 수 있다. 즉, 제1 화소(P1)와 제2 화소(P2)는 세로 방향으로 서로 인접하는 화소이고, 동일한 데이터 라인(DL)에 전기적으로 연결된 화소이다.The first pixel P1 may be a pixel disposed in an odd pixel line, and the second pixel P2 may be a pixel disposed in an even pixel line. That is, the first pixel P1 and the second pixel P2 are pixels adjacent to each other in the vertical direction, and are pixels electrically connected to the same data line DL.
제1 화소(P1) 및 제2 화소(P2) 각각은 발광 영역(EA1, EA2) 및 소자 영역(DA1, DA2)을 구비한다. 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)은 제1 유기 발광 소자(EL1)가 배치되어 발광하는 영역이고, 제1 화소(P1)의 소자 영역(DA1)은 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1), 제1 저장 커패시터(SC1), 제1 구동 박막 트랜지스터(DR1) 등과 같은 제1 유기 발광 소자(EL1)를 구동하기 위한 다양한 소자들이 형성된 영역이다. 유기 전계 발광 표시 장치(100)가 바텀 에미션(bottom emission) 방식의 유기 전계 발광 표시 장치인 경우, 도 1에 도시된 바와 같이 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)과 소자 영역(DA1)은 서로 중첩하지 않으나, 유기 전계 발광 표시 장치(100)가 탑 에미션(top emission) 방식의 유기 전계 발광 표시 장치인 경우, 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)과 소자 영역(DA1)은 중첩할 수도 있다. 제2 화소(P2)의 발광 영역(EA2)에는 제2 유기 발광 소자(EL2)가 배치되고, 제2 화소(P2)의 소자 영역(DA2)에는 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2), 제2 저장 커패시터(SC2), 제2 구동 박막 트랜지스터(DR2) 등과 같은 제2 유기 발광 소자(EL2)를 구동하기 위한 다양한 소자들이 형성된다.Each of the first pixel P1 and the second pixel P2 includes light emitting regions EA1 and EA2 and device regions DA1 and DA2. The emission area EA1 of the first pixel P1 is an area in which the first organic light emitting element EL1 is disposed and emits light, and the device area DA1 of the first pixel P1 is the first switching thin film transistor SW1. , A region in which various elements for driving the first organic light emitting element EL1, such as the first storage capacitor SC1 and the first driving thin film transistor DR1, are formed. When the organic light emitting
제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 산화물 반도체 박막 트랜지스터이다. 즉, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 기판(110)으로부터 게이트 전극, 산화물 반도체로 형성된 액티브층, 및 소스 전극 및 드레인 전극이 순차적으로 적층된 바텀 게이트(Bottom Gate) 구조이다. 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 n-타입 박막 트랜지스터일 수 있다. 제1 화소(P1)의 제1 구동 박막 트랜지스터(DR1)는 산화물 반도체 박막 트랜지스터일 수도 있고, LTPS 박막 트랜지스터일 수도 있다.The first switching thin film transistor SW1 of the first pixel P1 is an oxide semiconductor thin film transistor. That is, the first switching thin film transistor SW1 has a bottom gate structure in which a gate electrode, an active layer formed of an oxide semiconductor, and a source electrode and a drain electrode are sequentially stacked from the
제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 LTPS 박막 트랜지스터이다. 즉, 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 기판(110)으로부터 저온 폴리 실리콘으로 형성된 액티브층, 게이트 전극, 및 소스 전극 및 드레인 전극이 순차적으로 적층된 코플래너(Coplanar) 구조이다. 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 p-타입 박막 트랜지스터일 수 있다. 제2 화소(P2)의 제2 구동 박막 트랜지스터(DR2)는 n-타입 산화물 반도체 박막 트랜지스터일 수도 있고, p-타입 LTPS 박막 트랜지스터일 수도 있다.The second switching thin film transistor SW2 of the second pixel P2 is an LTPS thin film transistor. That is, the second switching thin film transistor SW2 has a coplanar structure in which an active layer, a gate electrode, and a source electrode and a drain electrode formed of low temperature polysilicon are sequentially stacked from the
제1 화소(P1)와 제2 화소(P2)는 서로 인접한다. 도 1을 참조하면, 제1 화소(P1)와 제2 화소(P2)는 데이터 라인(DL)이 연장하는 방향으로 서로 인접한다. 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)과 제2 화소(P2)의 발광 영역(EA2)은 서로 인접한다. 다시 말해서, 도 1에 도시된 바와 같이 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)과 제2 화소(P2)의 발광 영역(EA2)은 서로 마주본다.The first pixel P1 and the second pixel P2 are adjacent to each other. Referring to FIG. 1, the first pixel P1 and the second pixel P2 are adjacent to each other in a direction in which the data line DL extends. The light emitting area EA1 of the first pixel P1 and the light emitting area EA2 of the second pixel P2 are adjacent to each other. In other words, as illustrated in FIG. 1, the emission area EA1 of the first pixel P1 and the emission area EA2 of the second pixel P2 face each other.
상술한 바와 같이, 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 n-타입 박막 트랜지스터이고 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 p-타입 박막 트랜지스터이므로, 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)와 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 하나의 게이트 라인(GL)을 공유할 수 있다. 즉, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)와 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 동일한 게이트 라인(GL)으로부터의 게이트 전압을 공급받는다. 도 2를 참조하면, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)의 게이트 전극 및 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)의 게이트 전극은 동일한 게이트 라인(GL)으로부터 분지된다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(100)에서는 게이트 라인(GL)의 개수가 절반으로 감소될 수 있으므로, 게이트 라인(GL)이 차지하던 면적 또한 감소될 수 있다. 따라서, 유기 전계 발광 표시 장치(100)에 포함되는 화소의 수 또는 화소의 면적이 증가될 수 있고, 이에 따라 고개구율 및 고해상도 유기 전계 발광 표시 장치 구현이 가능하다. 제1 화소(P1) 및 제2 화소(P2)의 구동에 대한 보다 상세한 설명은 도 3을 참조하여 후술한다.As described above, since the first switching thin film transistor SW1 of the first pixel P1 is an n-type thin film transistor and the second switching thin film transistor SW2 of the second pixel P2 is a p-type thin film transistor, The first switching thin film transistor SW1 of the first pixel P1 and the second switching thin film transistor SW2 of the second pixel P2 may share one gate line GL. That is, the first switching thin film transistor SW1 and the second switching thin film transistor SW2 receive a gate voltage from the same gate line GL. Referring to FIG. 2, the gate electrode of the first switching thin film transistor SW1 and the gate electrode of the second switching thin film transistor SW2 are branched from the same gate line GL. Therefore, in the organic light emitting
다시 도 1을 참조하면, 기판(110) 상에서 표시부(120)의 일 측에는 GIP 회로부(130)가 형성된다. GIP 회로부(130)는 표시부(120)의 복수의 화소에 게이트 전압을 인가하기 위한 다양한 회로가 형성된 것으로서, 박막 트랜지스터, 커패시터 등을 포함한다. GIP 회로부(130)는 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)와 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)를 순차적으로 구동시키는 교류 게이트 전압을 생성한다. 게이트 라인(GL)은 GIP 회로부(130)로부터 연장한다. 데이터 드라이버 IC 등이 형성된 COF(140)가 배치되고, COF(140)는 별도의 인쇄 회로 기판(150)(110)과 연결된다. 데이터 라인(DL) 및 Vdd 전압 공급 라인(VDDL)은 COF(140)와 전기적으로 연결될 수 있다. 도 1에서는 GIP 회로부(130)가 표시부(120)의 일 측에 형성되는 것으로 도시되었으나, GIP 회로부(130)는 표시부(120)의 양 측에 형성될 수도 있다.Referring back to FIG. 1, the
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(100)에서 게이트 라인(GL)의 개수가 감소함에 따라, 게이트 라인(GL)과 관련된 라우팅 구성을 단순화할 수 있고, 이에 따라 GIP 회로부(130) 및 기타 배선들의 크기 및 개수가 감소될 수 있다. 따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(100)에서는 베젤의 크기가 보다 감소될 수 있다.As described above, as the number of gate lines GL decreases in the organic light emitting
몇몇 실시예에서, 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)와 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2) 각각의 액티브층으로 향하는 광을 가려주는 광 차단층이 형성될 수 있다. 광 차단층은 기판(110)과 스위칭 박막 트랜지스터(SW1, SW2) 사이에 형성될 수 있다.In some embodiments, a light blocking layer that shields light directed to an active layer of each of the first switching thin film transistor SW1 of the first pixel P1 and the second switching thin film transistor SW2 of the second pixel P2 is provided. Can be formed. The light blocking layer may be formed between the
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치의 제1 화소 및 제2 화소가 공유하는 게이트 라인의 게이트 전압을 설명하기 위한 개략적인 타이밍 다이어그램이다. 도 3은 제1 화소(P1) 및 제2 화소(P2)가 공유하는 게이트 라인(GL)을 통해 GIP 회로부(130)에 의해 인가되는 교류 게이트 전압의 시간에 따른 변화를 도시하였다.3 is a schematic timing diagram illustrating a gate voltage of a gate line shared by a first pixel and a second pixel of an organic light emitting display according to an exemplary embodiment of the present invention. 3 illustrates a change in time of an AC gate voltage applied by the
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(100)에서는 n-타입 박막 트랜지스터와 p-타입 박막 트랜지스터의 차이점을 이용하여, 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)와 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)를 하나의 게이트 라인(GL)을 이용하여 구동한다. 즉, 게이트 라인(GL)에 인가되는 게이트 전압이 높은 레벨의 전압 값인 경우, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)가 턴온되어 제1 화소(P1)의 제1 구동 박막 트랜지스터(DR1)를 구동시키고, 게이트 라인(GL)에 인가되는 게이트 전압이 낮은 레벨의 전압 값인 경우, 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)가 턴온되어 제2 화소(P2)의 제2 구동 박막 트랜지스터(DR2)를 구동시킨다. In the organic light emitting
구동 박막 트랜지스터를 턴온(turn on)시키고, 유기 발광 소자에 흐르는 전류를 조절하는 것은 데이터 전압이다. 또한, 데이터 전압을 타이밍에 맞게 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극으로 전달하는 역할은 스위칭 박막 트랜지스터에 의해 수행된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(100)에서는 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1) 및 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)에 인가되는 게이트 전압의 크기 및 인가 시간을 조절하여 제1 화소(P1) 및 제2 화소(P2)를 구동한다.It is the data voltage that turns on the driving thin film transistor and controls the current flowing in the organic light emitting diode. In addition, the role of transferring the data voltage to the gate electrode of the driving thin film transistor in time is performed by the switching thin film transistor. In the organic light emitting
도 3을 참조하면, Vg0 전압이 인가되는 시간(1h, 4h) 동안에는 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1) 및 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2) 모두 동작하지 않는다. Referring to FIG. 3, both of the first switching thin film transistor SW1 of the first pixel P1 and the second switching thin film transistor SW2 of the second pixel P2 during the
시간(2h) 동안에는 게이트 라인(GL)을 통해 높은 레벨의 전압 값인 Vgh가 인가된다. 이 때, Vgh 전압은 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)뿐만 아니라 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)에도 전달된다. 다만, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 n-타입 산화물 반도체 박막 트랜지스터인 반면, 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 p-타입 산화물 반도체 박막 트랜지스터이므로, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)만이 턴온되고, 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 동작하지 않는다.During the
시간(3h) 동안에는 게이트 라인(GL)을 통해 낮은 레벨의 전압 값인 Vgl이 인가된다. 이 때, Vgl 전압은 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)뿐만 아니라 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)에도 전달된다. 다만, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 n-타입 산화물 반도체 박막 트랜지스터인 반면, 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 p-타입 산화물 반도체 박막 트랜지스터이므로, 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)만이 턴온되고, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 동작하지 않는다.During the
적합한 구동을 위한 도 3에 도시된 게이트 전압 값 및 박막 트랜지스터들의 문턱 전압 값은 아래와 같다. 다만, 이는 설명의 편의를 위한 일 예시일 뿐, 아래의 전압 값에 제한되는 것은 아니다.The gate voltage values and threshold voltage values of the thin film transistors shown in FIG. 3 for proper driving are as follows. However, this is merely an example for convenience of description and is not limited to the following voltage values.
0V < 데이터 전압 < 5V0 V <data voltage <5 V
Vgl = -10V Vgl = -10V
Vg0 = 3VVg0 = 3V
Vgh = 15VVgh = 15 V
Vref = 1V (구동 박막 트랜지스터(DR1, DR2)의 게이트 전극에 걸리는 초기 전압)Vref = 1V (initial voltage across gate electrodes of driving thin film transistors DR1 and DR2)
Vth_n = 3V (제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)의 문턱 전압)Vth_n = 3V (threshold voltage of the first switching thin film transistor SW1)
Vth_p = -2.5V (제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)의 문턱 전압)Vth_p = -2.5V (threshold voltage of second switching thin film transistor SW2)
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 4에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(400)는 투명 유기 전계 발광 표시 장치이다. 도 4에서는 설명의 편의를 위해 유기 전계 발광 표시 장치(400)의 표시부(420)만을 도시하였다. 도 4의 유기 전계 발광 표시 장치(400)는 제1 화소(P1) 및 제2 화소(P2)가 투과 영역(TA1, TA2)을 더 구비한다는 것을 제외하면, 도 1 및 도 2의 유기 전계 발광 표시 장치(400)와 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.4 is a schematic plan view illustrating an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention. The organic light emitting
도 4를 참조하면, 제1 화소(P1) 및 제2 화소(P2) 각각은 발광 영역(EA1, EA2) 및 투과 영역(TA1, TA2)을 구비한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 유기 전계 발광 표시 장치(400)가 투명 유기 전계 발광 표시 장치인 경우, 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)과 제1 화소(P1)의 소자 영역(DA1)은 서로 중첩하고, 제2 화소(P2)의 발광 영역(EA2)과 제2 화소(P2)의 소자 영역(DA2)은 서로 중첩할 수도 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)과 제1 화소(P1)의 소자 영역(DA1)은 서로 중첩하지 않고, 제2 화소(P2)의 발광 영역(EA2)과 제2 화소(P2)의 소자 영역(DA2)은 서로 중첩하지 않을 수도 있다.Referring to FIG. 4, each of the first pixel P1 and the second pixel P2 includes emission regions EA1 and EA2 and transmission regions TA1 and TA2. As shown in FIG. 4, when the organic light emitting
제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1)과 제2 화소(P2)의 발광 영역(EA2)은 서로 인접한다. 즉, 제1 화소(P1)의 소자 영역(DA1)과 제2 화소(P2)의 소자 영역(DA1)은 서로 인접한다. 따라서, 제1 화소(P1)의 투과 영역(TA1)과 제2 화소(P2)의 투과 영역(TA2) 사이에 제1 화소(P1)의 발광 영역(EA1) 및 제2 화소(P2)의 발광 영역(EA2)이 배치된다. The light emitting area EA1 of the first pixel P1 and the light emitting area EA2 of the second pixel P2 are adjacent to each other. That is, the device region DA1 of the first pixel P1 and the device region DA1 of the second pixel P2 are adjacent to each other. Therefore, the light emission area EA1 and the second pixel P2 of the first pixel P1 are interposed between the transmission area TA1 of the first pixel P1 and the transmission area TA2 of the second pixel P2. The area EA2 is disposed.
투명 유기 전계 발광 표시 장치(400)를 구현하는데 있어서 투과 영역(TA1, TA2)의 면적 확보가 중요한 과제로 떠오르고 있다. 이에, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(400)에서, 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)는 n-타입 박막 트랜지스터이고 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 p-타입 박막 트랜지스터이므로, 제1 화소(P1)의 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)와 제2 화소(P2)의 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 하나의 게이트 라인(GL)을 공유할 수 있다. 즉, 제1 스위칭 박막 트랜지스터(SW1)와 제2 스위칭 박막 트랜지스터(SW2)는 동일한 게이트 라인(GL)으로부터의 게이트 전압을 공급받는다. 따라서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(400)에서는 게이트 라인(GL)의 개수가 절반으로 감소될 수 있으므로, 게이트 라인(GL)이 차지하던 면적 또한 감소될 수 있다. 따라서, 유기 전계 발광 표시 장치(400)에 포함되는 투과 영역(TA1, TA2)의 면적이 증가될 수 있고, 투명 유기 전계 발광 표시 장치(400)의 개구율이 향상될 수 있다.In implementing the transparent organic light emitting
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 6는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 유기 전계 발광 표시 장치(1100)는 기판(1110), 스위칭 박막 트랜지스터(1120), 구동 박막 트랜지스터(1130), 제1 저장 커패시터(SC1) 및 제2 저장 커패시터(SC2)를 포함한다.5 is a schematic plan view illustrating an organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention. 6 is a schematic cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention. 5 and 6, the organic light emitting
기판(1110)은 유기 전계 발광 표시 장치(1100)의 여러 엘리먼트들을 지지하고 보호한다. 기판(1110)은 절연 물질로 구성될 수 있고, 예를 들어, 유리 또는 플라스틱 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 제한되지 않고, 다양한 물질로 형성될 수 있다. The
기판(1110) 상에는 버퍼층(1111)이 형성된다. 버퍼층(1111)은 기판(1110)을 통한 수분 또는 산소의 침투를 최소화하며, 기판(1110) 상부를 평탄화한다. 버퍼층(1111)은 절연 물질로 형성될 수 있다. 버퍼층(1111)을 구성하는 절연 물질은 기판(1110)의 종류나 스위칭 박막 트랜지스터(1120) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 종류에 따라 선택될 수 있다. 다만, 버퍼층(1111)은 필수적으로 유기 전계 발광 표시 장치(1100)에서 사용되는 것은 아니며, 버퍼층(1111)은 생략될 수도 있다.The
버퍼층(1111) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1120) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)가 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)는 게이트 전극(1121), 액티브층(1122), 소스 전극 및 드레인 전극(1123)을 포함하고, 구동 박막 트랜지스터(1130) 또한 게이트 전극(1131), 액티브층(1132), 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133)을 포함한다. 다만, 도 5 및 도 6에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극에 대한 도시를 생략하고, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이 직접 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)과 접하도록 도시하였다. 만약, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극이 사용된다면, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)과 동일한 층 상에 동일한 물질로 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극이 임의의 위치에서 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)과 접하도록 구현될 수도 있다.The switching
도 6을 참조하면, 구동 박막 트랜지스터(1130)는 코플래너(Coplanar) 구조의 박막 트랜지스터이다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1130)는 기판(1110)으로부터 액티브층(1132), 게이트 전극(1131), 및 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133)이 적층된 구조로 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)는 바텀 게이트(Bottom Gate) 구조의 박막 트랜지스터이다. 즉, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)는 기판(1110)으로부터 게이트 전극(1121), 액티브층(1122), 및 소스 전극 및 드레인 전극(1123)이 적층된 구조로 형성된다.Referring to FIG. 6, the driving
도 5 및 도 6을 참조하면, 버퍼층(1111) 상에 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)이 형성된다. 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)은 저온 폴리 실리콘으로 형성된다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1130)는 LTPS 박막 트랜지스터이다.5 and 6, the
구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132) 상에 게이트 절연층(1112)이 형성된다. 게이트 절연층(1112)은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)을 덮도록 형성된다. 게이트 절연층(1112)은 절연 물질로 형성되어 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 게이트 전극(1131)을 절연시킨다. The
게이트 절연층(1112) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121)은 게이트 라인(1142)으로부터 분지되고, 게이트 라인(1142)으로부터 게이트 신호를 인가받는다. 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 중첩되도록 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121)과 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1121)은 동일한 물질로 형성될 수 있다.The
스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131) 상에 층간 절연층(1113)이 형성된다. 층간 절연층(1113)은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)을 덮도록 형성된다. 층간 절연층(1113)은 절연 물질로 형성되어 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)과 게이트 전극(1121)을 절연시킨다. An interlayer insulating
층간 절연층(1113) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)은 산화물 반도체로 형성된다. 즉, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)는 산화물 반도체 박막 트랜지스터이다. 액티브층(1122)으로 사용될 수 있는 산화물 반도체로서, 예를 들어, 4원계 금속 산화물인 인듐 주석 갈륨 아연 산화물(InSnGaZnO)계 재료, 3원계 금속 산화물인 인듐 갈륨 아연 산화물(InGaZnO)계 재료, 인듐 주석 아연 산화물(InSnZnO)계 재료, 인듐 알루미늄 아연 산화물(InAlZnO)계 재료, 인듐 하프늄 아연 산화물(InHfZnO), 주석 갈륨 아연 산화물(SnGaZnO)계 재료, 알루미늄 갈륨 아연 산화물(AlGaZnO)계 재료, 주석 알루미늄 아연 산화물(SnAlZnO)계 재료, 2원계 금속 산화물인 인듐 아연 산화물(InZnO)계 재료, 주석 아연 산화물(SnZnO)계 재료, 알루미늄 아연 산화물(AlZnO)계 재료, 아연 마그네슘 산화물(ZnMgO)계 재료, 주석 마그네슘 산화물(SnMgO)계 재료, 인듐 마그네슘 산화물(InMgO)계 재료, 인듐 갈륨 산화물(InGaO)계 재료나, 인듐 산화물(InO)계 재료, 주석 산화물(SnO)계 재료, 아연 산화물(ZnO)계 재료 등이 사용될 수 있다. 상술한 각각의 산화물 반도체 재료에서 포함되는 각각의 원소의 조성 비율은 특별히 한정되지 않고 다양하게 조정될 수 있다.The
스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121)과 중첩한다. 도 5 및 도 6에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극의 도시를 생략하였으므로, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이 층간 절연층(1113)에 형성된 컨택홀을 통해 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)과 접할 수 있다.The
스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122) 상에 에치 스토퍼(1114)가 형성된다. 에치 스토퍼(1114)는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)을 덮도록 형성된다. 에치 스토퍼(1114)는 절연 물질로 형성되어 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)과 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123), 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133)을 절연시킨다.An
에치 스토퍼(1114) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)은 데이터 라인(1141)으로부터 분지되고, 데이터 라인(1141)으로부터 데이터 신호를 인가받는다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)은 에치 스토퍼(1114)에 형성된 컨택홀을 통해 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)과 전기적으로 연결된다. 도 5 및 도 6에서 도시는 생략되었지만, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극이 사용되는 경우, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극과 동일한 층 상에 동일한 물질로 형성되고, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극이 임의의 위치에서 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131)과 접하도록 구현될 수도 있다.The
에치 스토퍼(1114) 상에 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133)이 형성된다. 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)은 게이트 절연층(1112), 층간 절연층(1113) 및 에치 스토퍼(1114)에 형성된 컨택홀을 통해 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 전기적으로 연결된다. 또한, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)과 중첩한다. 구동 박막 트랜지스터(1130)의 드레인 전극(1133)은 게이트 절연층(1112), 층간 절연층(1113) 및 에치 스토퍼(1114)에 형성된 컨택홀을 통해 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 전기적으로 연결된다. 구동 박막 트랜지스터(1130)의 드레인 전극(1133)은 Vdd 전압 공급 라인(1143)으로부터 분지되고, Vdd 전압 공급 라인(1143)으로부터 Vdd 전압을 공급받는다. 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134) 상에 평탄화층이 형성될 수 있고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)은 평탄화층에 형성된 컨택홀을 통해 애노드(1170)와 전기적으로 연결될 수 있다. 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133)은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.The
기판(1110) 상에 제1 저장 커패시터(SC1)와 제2 저장 커패시터(SC2)가 형성되고, 제1 저장 커패시터(SC1)와 제2 저장 커패시터(SC2)가 하나의 저장 커패시터로서 기능한다. 제1 저장 커패시터(SC1)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 중첩하는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이다. 제2 저장 커패시터(SC2)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)과 중첩하는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이다. The first storage capacitor SC1 and the second storage capacitor SC2 are formed on the
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1100)에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)가 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고 구동 박막 트랜지스터(1130)가 LTPS 박막 트랜지스터인 복합 구조 박막 트랜지스터를 사용하여, 이중 커패시터 구조를 갖는 저장 커패시터 구현이 가능하다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이 제1 저장 커패시터(SC1)를 구성하고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)과 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이 제2 저장 커패시터(SC2)를 구성하여, 제한된 면적 내에서 저장 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있다. 따라서, 이중 커패시터 구조에 따라 고해상도 및 고투과율의 유기 전계 발광 표시 장치(1100) 구현이 가능하다. In the organic light emitting
추가적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1100)에서는 오프-전류(Off-Current)가 낮은 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 스위칭 박막 트랜지스터(1120)로 사용함으로써 소비 전력을 낮출 수 있다. 또한, 이동도가 우수한 LTPS 박막 트랜지스터를 구동 박막 트랜지스터(1130)로 사용함으로써 구동 박막 트랜지스터(1130)의 크기를 감소시킬 수 있고, 이에 따라 고해상도 및 고투과율의 유기 전계 발광 표시 장치(1100) 구현에 유리하고, 장시간 구동에도 안정적인 구동 박막 트랜지스터(1130) 구현이 가능하고, 유기 전계 발광 표시 장치(1100)의 신뢰성이 향상된다.In addition, in the organic light emitting
도 5 및 도 6에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)이 데이터 라인(1141)으로부터 분지되는 것으로 도시하였으나, 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 소스 전극이 데이터 라인(1141)으로부터 분지되고 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)의 사용이 생략될 수도 있다. 또한, 도 5 및 도 6에서는 구동 박막 트랜지스터(1130)의 드레인 전극(1133)이 Vdd 전압 공급 라인(1143)으로부터 분지되고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)이 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)과 중첩하여 제2 저장 커패시터(SC2)의 하나의 전극으로 기능하는 것으로 도시하였으나, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)이 Vdd 전압 공급 라인(1143)으로부터 분지되고 구동 박막 트랜지스터(1130)의 드레인 전극(1133)이 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)과 중첩하여 제2 저장 커패시터(SC2)의 하나의 전극으로 기능할 수도 있다.5 and 6 illustrate that the
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 7에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1300)는 도 6에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1100)와 비교하여, 스위칭 박막 트랜지스터(1320)의 액티브층(1322), 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331), 제1 저장 커패시터(SC1) 및 제2 저장 커패시터(SC2)의 배치 관계만이 상이할 뿐 다른 구성요소들은 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.7 is a schematic cross-sectional view for describing an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention. The
도 7을 참조하면, 구동 박막 트랜지스터(1330)의 액티브층(1322)을 덮도록 게이트 절연층(1112)이 형성되고, 게이트 절연층(1112) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1320)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)이 형성된다. 여기서, 구동 박막 트랜지스터(1330)의 액티브층(1132)은 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)과 중첩하는데, 구동 박막 트랜지스터(1330)의 액티브층(1322)은 구동 박막 트랜지스터(1330)의 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133) 사이에 위치하여 구동 박막 트랜지스터(1330)가 온(on) 상태인 경우 채널이 형성되는 부분뿐만 아니라, 채널이 형성되지 않는 위치에서도 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)과 중첩한다. 스위칭 박막 트랜지스터(1320)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)을 덮도록 층간 절연층(1113)이 형성되고, 층간 절연층(1113) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1320)의 액티브층(1322)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1320)의 액티브층(1322)을 덮도록 에치 스토퍼(1114)가 형성되고, 구동 박막 트랜지스터(1330)의 소스 전극(1134)이 에치 스토퍼(1114) 상에서 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)과 중첩하도록 형성된다.Referring to FIG. 7, the
이에 따라, 제1 저장 커패시터(SC1)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1330)의 액티브층(1132)이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1330)의 액티브층(1132)과 중첩하는 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)이다. 또한, 제2 저장 커패시터(SC2)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1330)의 소스 전극(1134)이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1330)의 소스 전극(1134)과 중첩하는 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)이다. Accordingly, one electrode of the first storage capacitor SC1 is the
본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1300)에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1320)가 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고, 구동 박막 트랜지스터(1330)가 LTPS 박막 트랜지스터인 복합 구조 박막 트랜지스터를 사용하여, 이중 커패시터 구조를 갖는 저장 커패시터 구현이 가능하다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1330)의 액티브층(1132)과 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)이 제1 저장 커패시터(SC1)를 구성하고, 구동 박막 트랜지스터(1330)의 소스 전극(1134)과 구동 박막 트랜지스터(1330)의 게이트 전극(1331)이 제2 저장 커패시터(SC2)를 구성하여, 제한된 면적 내에서 저장 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있다. 따라서, 이중 커패시터 구조에 따라 고해상도 및 고투과율의 유기 전계 발광 표시 장치(1300) 구현이 가능하다. In the organic light emitting
도 7에 도시된 스위칭 박막 트랜지스터(1320)의 드레인 전극(1133)은 소스 전극으로 변경될 수 있고, 도 7에 도시된 구동 박막 트랜지스터(1330)의 소스 전극(1134)이 드레인 전극(1133)으로 변경되고 드레인 전극(1133)이 소스 전극(1134)으로 변경될 수도 있다.The
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 8에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1400)는 도 6에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1100)와 비교하여, 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 액티브층(1422), 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431), 제1 저장 커패시터(SC1) 및 제2 저장 커패시터(SC2)의 배치 관계만이 상이할 뿐 다른 구성요소들은 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.8 is a schematic cross-sectional view for describing an organic light emitting display device according to another embodiment of the present invention. The
도 8을 참조하면, 구동 박막 트랜지스터(1430)의 액티브층(1132)을 덮도록 게이트 절연층(1112)이 형성되고, 게이트 절연층(1112) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431)이 형성된다. 여기서, 구동 박막 트랜지스터(1430)의 액티브층(1422)은 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431)과 중첩하는데, 구동 박막 트랜지스터(1430)의 액티브층(1132)은 구동 박막 트랜지스터(1430)의 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133) 사이에 위치하여 구동 박막 트랜지스터(1430)가 온(on) 상태인 경우 채널이 형성되는 부분뿐만 아니라, 채널이 형성되지 않는 위치에서도 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431)과 중첩한다. 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431)을 덮도록 층간 절연층(1113)이 형성되고, 층간 절연층(1113) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 액티브층(1422)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 액티브층(1422)은 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431)과 전기적으로 연결된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 액티브층(1422)을 덮도록 에치 스토퍼(1114)가 형성되고, 구동 박막 트랜지스터(1430)의 소스 전극(1134)이 에치 스토퍼(1114) 상에서 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 액티브층(1422)과 중첩하도록 형성된다.Referring to FIG. 8, a
이에 따라, 제1 저장 커패시터(SC1)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1430)의 액티브층(1132)이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1430)의 액티브층(1132)과 중첩하는 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431)이다. 또한, 제2 저장 커패시터(SC2)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1430)의 소스 전극(1134)이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1430)의 소스 전극(1134)과 중첩하는 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 액티브층(1422)이다. Accordingly, one electrode of the first storage capacitor SC1 is the
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1400)에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1420)가 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고 구동 박막 트랜지스터(1430)가 LTPS 박막 트랜지스터인 복합 구조 박막 트랜지스터를 사용하여, 이중 커패시터 구조를 갖는 저장 커패시터 구현이 가능하다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1430)의 액티브층(1132)과 구동 박막 트랜지스터(1430)의 게이트 전극(1431)이 제1 저장 커패시터(SC1)를 구성하고, 구동 박막 트랜지스터(1430)의 소스 전극(1134)과 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 액티브층(1422)이 제2 저장 커패시터(SC2)를 구성하여, 제한된 면적 내에서 저장 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있다. 따라서, 이중 커패시터 구조에 따라 고해상도 및 고투과율의 유기 전계 발광 표시 장치(1400) 구현이 가능하다. In the organic light emitting
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1400)에서는, 제1 저장 커패시터(SC1)의 전극 사이의 간격 및 제2 저장 커패시터(SC2)의 전극 사이의 간격을 좁게하여, 저장 커패시터가 차지하는 면적이 더욱 감소될 수 있다.Further, in the organic light emitting
도 8에 도시된 스위칭 박막 트랜지스터(1420)의 드레인 전극(1123)은 소스 전극으로 변경될 수 있고, 도 8에 도시된 구동 박막 트랜지스터(1430)의 소스 전극(1134)이 드레인 전극(1133)으로 변경되고 드레인 전극(1133)이 소스 전극(1134)으로 변경될 수도 있다.The
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 9에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1500)는 도 6에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1100)와 비교하여, 스위칭 박막 트랜지스터(1520)의 소스 전극(1524), 패시베이션층(1515) 및 금속층(1550)이 추가되어, 제3 저장 커패시터(SC3)가 추가되었다는 것만이 상이할 뿐 다른 구성요소들은 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.9 is a schematic cross-sectional view for describing an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention. The
도 9를 참조하면, 스위칭 박막 트랜지스터(1520)의 소스 전극(1524) 및 드레인 전극(1123)과 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134) 및 드레인 전극(1133)을 덮도록 패시베이션층(1515)이 형성된다. 패시베이션층(1515)은 절연 물질로 형성되어, 구동 박막 트랜지스터(1130) 및 스위칭 박막 트랜지스터(1520)를 보호한다.9, the
패시베이션층(1515) 상에 금속층(1550)이 형성된다. 금속층(1550)은 스위칭 박막 트랜지스터(1520)의 소스 전극(1524)과 전기적으로 연결되고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1524)과 중첩할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1500)에서는 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)이 하나의 전극을 구성하고, 금속층(1550)이 다른 하나의 전극을 구성하는 제3 저장 커패시터(SC3)를 더 포함한다. The
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1500)에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1520)가 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고 구동 박막 트랜지스터(1130)가 LTPS 박막 트랜지스터인 복합 구조 박막 트랜지스터 및 금속층(1550)을 사용하여, 삼중 커패시터 구조를 갖는 저장 커패시터 구현이 가능하다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 스위칭 박막 트랜지스터(1520)의 액티브층(1122)이 제1 저장 커패시터(SC1)를 구성하고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)과 스위칭 박막 트랜지스터(1520)의 액티브층(1122)이 제2 저장 커패시터(SC2)를 구성하고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)과 금속층(1550)이 제3 저장 커패시터(SC3)를 구성하여, 제한된 면적 내에서 저장 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있다. 따라서, 삼중 커패시터 구조에 따라 저장 커패시터가 차지하는 면적을 보다 감소시킬 수 있으므로, 고해상도 및 고투과율의 유기 전계 발광 표시 장치(1500) 구현이 가능하다. In the organic light emitting
도 9에서는 도 6에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1100)에 금속층(1550)이 추가되는 것을 도시하였으나, 도 9에서 사용된 금속층(1550)은 도 7에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1300) 및 도 8에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1400)에도 적용될 수 있다.In FIG. 9, the
도 9에 도시된 스위칭 박막 트랜지스터(1520)의 소스 전극(1524)이 드레인 전극(1123)으로 변경되고 드레인 전극(1123)이 소스 전극(1524)으로 변경될 수 있고, 도 9에 도시된 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)이 드레인 전극(1133)으로 변경되고 드레인 전극(1133)이 소스 전극(1134)으로 변경될 수도 있다.The
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 10에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1600)는 도 6에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1100)와 비교하여, 광 차단층(1660)이 추가되어, 제4 저장 커패시터(SC4)가 추가되었다는 것만이 상이할 뿐 다른 구성요소들은 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.10 is a schematic cross-sectional view for describing an organic light emitting display device according to another exemplary embodiment of the present invention. In the organic light emitting
도 10을 참조하면, 기판(1110) 상에 광 차단층(1660)이 형성된다. 광 차단층(1660)은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)으로 향하는 광을 가려준다. 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)은 광에 상당히 민감하고, 특히, 산화물 반도체로 형성되는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)은 광에 보다 더 민감하다. 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 액티브층에 광이 입사하는 경우, 누설 전류가 증가하고 문턱 전압이 시프트되는 현상이 발생할 수 있고, 이는 패널 전체의 구동 불량, 소비 전력 증가, 패널 균일성과 같은 패널 신뢰성 문제로 이어진다. LTPS 박막 트랜지스터는 산화물 반도체 박막 트랜지스터에 비해 광에 덜 민감하지만, 상술한 문제점은 LTPS 박막 트랜지스터에도 동일하게 발생할 수 있다. 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1600)가 바텀 에미션(bottom emission) 방식의 유기 전계 발광 표시 장치라면 편광판을 사용하여 외광에 의한 신뢰성 문제 발생이 상대적으로 적다. 그러나, 유기 전계 발광 표시 장치(1600)가 탑 에미션(top emission) 방식의 유기 전계 발광 표시 장치인 경우, 유기 전계 발광 표시 장치(1600) 상부에만 편광판이 배치되므로, 유기 전계 발광 표시 장치(1600) 하부로 입사하는 외광에 매우 취약하다. 또한, 유기 전계 발광 표시 장치(1600)가 투명 유기 전계 발광 표시 장치인 경우 편광판이 제거되기 때문에, 투과부를 통해서도 광이 지속적으로 들어오게 되고, 이에 따라 박막 트랜지스터 특성 변화가 더욱 가속화된다.Referring to FIG. 10, a
이에, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1600)에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)으로 향하는 광을 가려주는 광 차단층(1660)이 사용되어, 상술한 바와 같은 문제점들을 해결할 수 있다.Accordingly, in the organic light emitting
도 10에 도시되지는 않았으나, 광 차단층(1660)은 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131) 중 하나와 전기적으로 연결될 수 있다. 광 차단층(1660)이 단순히 패터닝된 상태, 즉, 플로팅 상태로 유지되는 경우, 광 차단층(1660)은 임의의 전압을 갖게 되고, 이에 따라 구동 박막 트랜지스터(1130) 또는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)에 채널이 형성되고 전류가 흐르게 되어 박막 트랜지스터의 오작동이 발생할 수도 있다. 즉, 복합 형태 박막 트랜지스터 구조에서 광 차단층(1660)이 정확한 전압값으로 고정되지 않는다면 박막 트랜지스터의 온/오프 조절이 어렵게 된다. 이에, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1600)에서는 광 차단층(1660)을 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 게이트 전극(1121) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 게이트 전극(1131) 중 하나와 전기적으로 연결하여 구동 박막 트랜지스터(1130) 및 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 오작동의 위험을 제거한다.Although not shown in FIG. 10, the
또한, 광 차단층(1660)은 제4 저장 커패시터(SC4)의 하나의 전극으로 기능할 수도 있다. 즉, 도 10에 도시된 바와 같이 광 차단층(1660) 및 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)이 제4 저장 커패시터(SC4)의 전극으로 기능할 수 있다.In addition, the
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1600)에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1120)가 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고 구동 박막 트랜지스터(1130)가 LTPS 박막 트랜지스터인 복합 구조 박막 트랜지스터 및 광 차단층(1660)을 사용하여, 삼중 커패시터 구조를 갖는 저장 커패시터 구현이 가능하다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이 제1 저장 커패시터(SC1)를 구성하고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)과 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 액티브층(1122)이 제2 저장 커패시터(SC2)를 구성하고, 구동 박막 트랜지스터(1130)의 액티브층(1132)과 광 차단층(1660)이 제4 저장 커패시터(SC4)를 구성하여, 제한된 면적 내에서 저장 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있다. 따라서, 삼중 커패시터 구조에 따라 저장 커패시터가 차지하는 면적을 보다 감소시킬 수 있으므로, 고해상도 및 고투과율의 유기 전계 발광 표시 장치(1600) 구현이 가능하다. In the organic light emitting
도 10에서 설명된 광 차단층(1660)은 도 7 내지 도 9의 유기 전계 발광 표시 장치(1300, 400, 500)에도 적용될 수 있고, 광 차단층(1660)이 적용됨에 따라 제4 저장 커패시터(SC4) 또한 도 7 내지 도 9의 유기 전계 발광 표시 장치(1300, 400, 500)에 포함될 수 있다.The
도 10에 도시된 스위칭 박막 트랜지스터(1120)의 드레인 전극(1123)은 소스 전극으로 변경될 수 있고, 도 10에 도시된 구동 박막 트랜지스터(1130)의 소스 전극(1134)이 드레인 전극(1133)으로 변경되고 드레인 전극(1133)이 소스 전극(1134)으로 변경될 수도 있다.The
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 도 11을 참조하면, 유기 전계 발광 표시 장치(1700)는 기판(1110), 스위칭 박막 트랜지스터(1720), 구동 박막 트랜지스터(1730), 금속층(1750), 제1 저장 커패시터(SC1) 및 제2 저장 커패시터(SC2)를 포함한다. 도 11에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1700)는 도 9에 도시된 유기 전계 발광 표시 장치(1500)와 비교하여, 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 게이트 전극(1721), 액티브층(1722), 소스 전극(1724) 및 드레인 전극(1723), 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731), 액티브층(1732), 소스 전극(1734) 및 드레인 전극(1733)의 형성 위치 만이 상이할 뿐 다른 구성요소들은 실질적으로 동일하므로, 중복 설명을 생략한다.FIG. 11 is a schematic cross-sectional view for describing an organic light emitting display device according to yet another exemplary embodiment. FIG. Referring to FIG. 11, the organic light emitting
버퍼층(1111) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1720) 및 구동 박막 트랜지스터(1730)가 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1720)는 코플래너 구조의 박막 트랜지스터이다. 즉, 스위칭 박막 트랜지스터(1720)는 기판(1110)으로부터 액티브층(1722), 게이트 전극(1721), 및 소스 전극(1724) 및 드레인 전극(1723)이 적층된 구조로 형성된다. 구동 박막 트랜지스터(1730)는 바텀 게이트 구조의 박막 트랜지스터이다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1730)는 기판(1110)으로부터 게이트 전극(1731), 액티브층(1732), 및 소스 전극(1734) 및 드레인 전극(1733)이 적층된 구조로 형성된다.The switching
도 11을 참조하면, 버퍼층(1111) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 액티브층(1722)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 액티브층(1722)은 저온 폴리 실리콘으로 형성된다. 즉, 스위칭 박막 트랜지스터(1720)는 LTPS 박막 트랜지스터이다.Referring to FIG. 11, an active layer 1722 of the switching
스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 액티브층(1722) 상에 게이트 절연층(1712)이 형성된다. 게이트 절연층(1712)은 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 액티브층(1722)을 덮도록 형성된다. 게이트 절연층(1712)은 절연 물질로 형성되어 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 액티브층(1722)과 게이트 전극(1721)을 절연시킨다. The
게이트 절연층(1712) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 게이트 전극(1721) 및 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 게이트 전극(1721)과 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731)은 동일한 물질로 형성될 수 있다.The
스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 게이트 전극(1721) 및 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731) 상에 층간 절연층(1713)이 형성된다. 층간 절연층(1713)은 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 게이트 전극(1721) 및 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731)을 덮도록 형성된다. 층간 절연층(1713)은 절연 물질로 형성되어 구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)과 게이트 전극(1731)을 절연시킨다. An interlayer insulating
층간 절연층(1713) 상에 구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)이 형성된다. 구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)은 산화물 반도체로 형성된다. 즉, 구동 박막 트랜지스터(1730)는 산화물 반도체 박막 트랜지스터이다. The
구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)은 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731)과 중첩한다. 구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)은 구동 박막 트랜지스터(1730)의 소스 전극(1734) 및 드레인 전극(1733) 사이에 위치하여 구동 박막 트랜지스터(1730)가 온(on) 상태인 경우 채널이 형성되는 부분뿐만 아니라, 채널이 형성되지 않는 위치에서도 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731)과 중첩한다.The
구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732) 상에 에치 스토퍼(1714)가 형성된다. 에치 스토퍼(1714)는 구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)을 덮도록 형성된다. 에치 스토퍼(1714)는 절연 물질로 형성되어 구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)과 구동 박막 트랜지스터(1730)의 소스 전극(1734) 및 드레인 전극(1733), 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 소스 전극(1724) 및 드레인 전극(1723)을 절연시킨다.An
에치 스토퍼(1714) 상에 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 소스 전극(1724) 및 드레인 전극(1723)과 구동 박막 트랜지스터(1730)의 소스 전극(1734) 및 드레인 전극(1733)이 형성된다. 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 소스 전극(1724) 및 드레인 전극(1723)과 구동 박막 트랜지스터(1730)의 소스 전극(1734) 및 드레인 전극(1733) 상에 패시베이션층(1715)이 형성된다. 패시베이션층(1715) 상에 금속층(1750)이 형성되고, 금속층(1750)은 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 소스 전극(1724)과 전기적으로 연결된다. 또한, 금속층(1750)은 구동 박막 트랜지스터(1730)의 소스 전극(1734)과 중첩한다.The
기판(1110) 상에 제1 저장 커패시터(SC1)와 제2 저장 커패시터(SC2)가 형성되고, 제1 저장 커패시터(SC1)와 제2 저장 커패시터(SC2)가 하나의 저장 커패시터로서 기능한다. 제1 저장 커패시터(SC1)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731)이고, 다른 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1730)의 게이트 전극(1731)과 중첩하는 구동 박막 트랜지스터(1730)의 액티브층(1732)이다. 제2 저장 커패시터(SC2)의 하나의 전극은 구동 박막 트랜지스터(1730)의 소스 전극(1734)이고, 다른 하나의 전극은 금속층(1750)이다.The first storage capacitor SC1 and the second storage capacitor SC2 are formed on the
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1700)에서는 스위칭 박막 트랜지스터(1720)가 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고 구동 박막 트랜지스터(1730)가 LTPS 박막 트랜지스터인 복합 구조 박막 트랜지스터를 사용하여, 이중 커패시터 구조를 갖는 저장 커패시터 구현이 가능하다. 따라서, 제한된 면적 내에서 저장 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있고, 이중 커패시터 구조에 따라 고해상도 및 고투과율의 유기 전계 발광 표시 장치(1700) 구현이 가능하다. In the organic light emitting
추가적으로, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기 전계 발광 표시 장치(1700)에서는 포화(saturation) 특성이 우수한 산화물 반도체 박막 트랜지스터를 구동 박막 트랜지스터(1730)로 사용함으로써 유기 발광 소자의 안정적인 구동이 구현될 수 있고, 소비 전력이 감소될 수 있다.In addition, in the organic light emitting
도 11에 도시된 스위칭 박막 트랜지스터(1720)의 소스 전극(1724)이 드레인 전극(1723)으로 변경되고 드레인 전극(1723)이 소스 전극(1724)으로 변경될 수 있고, 도 11에 도시된 구동 박막 트랜지스터(1730)의 소스 전극(1734)이 드레인 전극(1733)으로 변경되고 드레인 전극(1733)이 소스 전극(1734)으로 변경될 수도 있다.The
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in more detail with reference to the accompanying drawings, the present invention is not necessarily limited to these embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. . Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.
110: 기판
120, 420: 표시부
130: GIP 회로부
140: COF
150: 인쇄 회로 기판
100, 400: 유기 발광 전계 표시 장치
P1: 제1 화소
EA1: 제1 화소의 발광 영역
DA1: 제1 화소의 소자 영역
TA1: 제1 화소의 투과 영역
P2: 제2 화소
EA2: 제2 화소의 발광 영역
DA2: 제2 화소의 소자 영역
TA2: 제2 화소의 투과 영역
GL: 게이트 라인
DL: 데이터 라인
VDDL: Vdd 전압 공급 라인
SW1: 제1 스위칭 박막 트랜지스터
SW2: 제2 스위칭 박막 트랜지스터
DR1: 제1 구동 박막 트랜지스터
DR2: 제2 구동 박막 트랜지스터
SC1: 제1 저장 커패시터
SC2: 제2 저장 커패시터
EL1: 제1 유기 발광 소자
EL2: 제2 유기 발광 소자
1110: 기판
1111: 버퍼층
1112, 1712: 게이트 절연층
1113, 1713: 층간 절연층
1114, 1714: 에치 스토퍼
1515, 1715: 패시베이션층
1120, 1320, 1420, 1520, 1720: 스위칭 박막 트랜지스터
1121, 1721: 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극
1122, 1322, 1422, 1722: 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층
1123, 1723: 스위칭 박막 트랜지스터의 드레인 전극
1524, 1724: 스위칭 박막 트랜지스터의 소스 전극
1130, 1330, 1430, 1730: 구동 박막 트랜지스터
1131, 1331, 1431, 1731: 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극
1132, 1732: 구동 박막 트랜지스터의 액티브층
1133, 1733: 구동 박막 트랜지스터의 드레인 전극
1134, 1734: 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극
1141: 데이터 라인
1142: 게이트 라인
1143: Vdd 전압 공급 라인
1550, 1750: 금속층
1660: 광 차단층
1170: 애노드
1100, 1300, 1400, 1500, 1600, 1700: 유기 전계 발광 표시 장치
SC1: 제1 저장 커패시터
SC2: 제2 저장 커패시터
SC3: 제3 저장 커패시터
SC4: 제4 저장 커패시터110: substrate
120, 420: display unit
130: GIP circuit section
140: COF
150: printed circuit board
100, 400: organic light emitting display device
P1: first pixel
EA1: emission region of the first pixel
DA1: element region of the first pixel
TA1: transmission region of the first pixel
P2: second pixel
EA2: emission region of the second pixel
DA2: element region of the second pixel
TA2: transmission region of the second pixel
GL: gate line
DL: data line
VDDL: Vdd Voltage Supply Line
SW1: first switching thin film transistor
SW2: second switching thin film transistor
DR1: first driving thin film transistor
DR2: second driving thin film transistor
SC1: first storage capacitor
SC2: second storage capacitor
EL1: first organic light emitting element
EL2: second organic light emitting element
1110: substrate
1111: buffer layer
1112, 1712: gate insulating layer
1113, 1713: interlayer insulation layer
1114, 1714: etch stopper
1515, 1715: passivation layer
1120, 1320, 1420, 1520, 1720: switching thin film transistor
1121, 1721: gate electrode of the switching thin film transistor
1122, 1322, 1422, and 1722: active layer of switching thin film transistors
1123 and 1723: drain electrodes of switching thin film transistors
1524, 1724: source electrode of the switching thin film transistor
1130, 1330, 1430, 1730: driving thin film transistors
1131, 1331, 1431, and 1731: gate electrodes of driving thin film transistors
1132, 1732: active layer of driving thin film transistor
1133 and 1733: drain electrodes of driving thin film transistors
1134 and 1734: source electrodes of driving thin film transistors
1141: data line
1142: gate line
1143: Vdd voltage supply line
1550, 1750: metal layer
1660: light blocking layer
1170: anode
1100, 1300, 1400, 1500, 1600, 1700: organic electroluminescent display
SC1: first storage capacitor
SC2: second storage capacitor
SC3: third storage capacitor
SC4: fourth storage capacitor
Claims (18)
상기 기판 상에 형성되고, 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극 및 드레인 전극을 갖는 스위칭 박막 트랜지스터;
상기 기판 상에 형성되고, 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극 및 드레인 전극을 갖는 구동 박막 트랜지스터;
상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 하나의 전극으로 하는 제1 저장 커패시터; 및
상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나를 하나의 전극으로 하는 제2 저장 커패시터를 포함하고,
상기 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 및 상기 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극은 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층 또는 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터는 산화물 반도체 박막 트랜지스터이고,
상기 구동 박막 트랜지스터는 LTPS 박막 트랜지스터인, 유기 전계 발광 표시 장치.Board;
A switching thin film transistor formed on the substrate and having a gate electrode, an active layer, a source electrode, and a drain electrode;
A driving thin film transistor formed on the substrate and having a gate electrode, an active layer, a source electrode, and a drain electrode;
A first storage capacitor having an active layer of the driving thin film transistor as one electrode; And
A second storage capacitor having one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor as one electrode;
The other electrode of the first storage capacitor and the other electrode of the second storage capacitor are an active layer of the switching thin film transistor or a gate electrode of the driving thin film transistor,
The switching thin film transistor is an oxide semiconductor thin film transistor,
And the driving thin film transistor is an LTPS thin film transistor.
상기 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 및 상기 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 모두는 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층인, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
And the other electrode of the first storage capacitor and the other electrode of the second storage capacitor are both active layers of the switching thin film transistor.
상기 기판 상에 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고,
상기 게이트 절연층 상에 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고,
상기 층간 절연층 상에 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하도록 형성되고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나가 상기 에치 스토퍼 상에서 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하도록 형성된, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 2,
An active layer of the driving thin film transistor is formed on the substrate,
A gate insulating layer is formed to cover the active layer of the driving thin film transistor,
A gate electrode of the switching thin film transistor and a gate electrode of the driving thin film transistor are formed on the gate insulating layer,
An interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor,
An active layer of the switching thin film transistor is formed on the interlayer insulating layer to overlap the active layer of the driving thin film transistor,
An etch stopper is formed to cover the active layer of the switching thin film transistor,
And one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor overlapping the active layer of the switching thin film transistor on the etch stopper.
상기 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 및 상기 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극 모두는 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극인, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
And the other electrode of the first storage capacitor and the other electrode of the second storage capacitor are gate electrodes of the driving thin film transistor.
상기 기판 상에 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고,
상기 게이트 절연층 상에 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고,
상기 층간 절연층 상에 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나가 상기 에치 스토퍼 상에서 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 중첩하도록 형성된, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 4, wherein
An active layer of the driving thin film transistor is formed on the substrate,
A gate insulating layer is formed to cover the active layer of the driving thin film transistor,
A gate electrode of the switching thin film transistor and a gate electrode of the driving thin film transistor are formed on the gate insulating layer,
A gate electrode of the driving thin film transistor overlaps an active layer of the driving thin film transistor,
An interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor,
An active layer of the switching thin film transistor is formed on the interlayer insulating layer,
An etch stopper is formed to cover the active layer of the switching thin film transistor,
And one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor overlapping the gate electrode of the driving thin film transistor on the etch stopper.
상기 제1 저장 커패시터의 다른 하나의 전극은 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이고,
상기 제2 저장 커패시터의 다른 하나의 전극은 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층인, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The other electrode of the first storage capacitor is a gate electrode of the driving thin film transistor,
And the other electrode of the second storage capacitor is an active layer of the switching thin film transistor.
상기 기판 상에 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고,
상기 게이트 절연층 상에 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고,
상기 층간 절연층 상에서 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나가 상기 에치 스토퍼 상에서 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층과 중첩하도록 형성된, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 6,
An active layer of the driving thin film transistor is formed on the substrate,
A gate insulating layer is formed to cover the active layer of the driving thin film transistor,
A gate electrode of the switching thin film transistor and a gate electrode of the driving thin film transistor are formed on the gate insulating layer,
A gate electrode of the driving thin film transistor overlaps an active layer of the driving thin film transistor,
An interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor,
An active layer of the switching thin film transistor is formed on the interlayer insulating layer,
An etch stopper is formed to cover the active layer of the switching thin film transistor,
And one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor overlapping the active layer of the switching thin film transistor on the etch stopper.
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층과 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극은 전기적으로 연결된, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 7, wherein
And an active layer of the switching thin film transistor and a gate electrode of the driving thin film transistor.
상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나를 하나의 전극으로 하고, 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나와 전기적으로 연결된 금속층을 다른 하나의 전극으로 하는 제3 저장 커패시터를 더 포함하는, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
And a third storage capacitor having one of a source electrode and a drain electrode of the driving thin film transistor as one electrode and a metal layer electrically connected to one of the source electrode and the drain electrode of the switching thin film transistor as another electrode. Organic electroluminescent display.
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층으로 향하는 광을 가려주는 광 차단층을 더 포함하는, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
And an optical blocking layer for shielding light directed to the active layer of the switching thin film transistor and the active layer of the driving thin film transistor.
상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 하나의 전극으로 하고, 상기 광 차단층을 다른 하나의 전극으로 하는 제4 저장 커패시터를 더 포함하는, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 10,
And a fourth storage capacitor having the active layer of the driving thin film transistor as one electrode and the light blocking layer as the other electrode.
상기 기판과 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층 사이에 형성된 버퍼층을 더 포함하는, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
And a buffer layer formed between the substrate and the active layer of the driving thin film transistor.
상기 구동 박막 트랜지스터는 상기 기판으로부터 액티브층, 게이트 전극, 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 코플래너(Coplanar) 구조인, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The driving thin film transistor has a coplanar structure stacked from the substrate in the order of an active layer, a gate electrode, and a source electrode and a drain electrode.
상기 스위칭 박막 트랜지스터는 상기 기판으로부터 게이트 전극, 액티브층, 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 바텀 게이트(Bottom Gate) 구조인, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 1,
The switching thin film transistor has a bottom gate structure in which a gate electrode, an active layer, and a source electrode and a drain electrode are stacked from the substrate in a bottom gate structure.
상기 기판 상에 형성되고, 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극 및 드레인 전극을 갖는 스위칭 박막 트랜지스터;
상기 기판 상에 형성되고, 게이트 전극, 액티브층, 소스 전극 및 드레인 전극을 갖는 구동 박막 트랜지스터;
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나와 전기적으로 연결된 금속층;
상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 하나의 전극으로 하고, 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 다른 하나의 전극으로 하는 제1 저장 커패시터; 및
상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나를 하나의 전극으로 하고, 상기 금속층을 다른 하나의 전극으로 하는 제2 저장 커패시터를 포함하고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터는 LTPS 반도체 박막 트랜지스터이고,
상기 구동 박막 트랜지스터는 산화물 반도체 박막 트랜지스터인, 유기 전계 발광 표시 장치.Board;
A switching thin film transistor formed on the substrate and having a gate electrode, an active layer, a source electrode, and a drain electrode;
A driving thin film transistor formed on the substrate and having a gate electrode, an active layer, a source electrode, and a drain electrode;
A metal layer electrically connected to one of a source electrode and a drain electrode of the switching thin film transistor;
A first storage capacitor having the gate electrode of the driving thin film transistor as one electrode and the active layer of the driving thin film transistor as the other electrode; And
A second storage capacitor having one of the source electrode and the drain electrode of the driving thin film transistor as one electrode, and the metal layer as the other electrode;
The switching thin film transistor is an LTPS semiconductor thin film transistor,
And the driving thin film transistor is an oxide semiconductor thin film transistor.
상기 기판 상에 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층이 형성되고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 게이트 절연층이 형성되고,
상기 게이트 절연층 상에 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극이 형성되고,
상기 스위칭 박막 트랜지스터의 게이트 전극 및 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극을 덮도록 층간 절연층이 형성되고,
상기 층간 절연층 상에서 상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층이 상기 구동 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 중첩하도록 형성되고,
상기 구동 박막 트랜지스터의 액티브층을 덮도록 에치 스토퍼가 형성되고,
상기 금속층은 상기 에치 스토퍼 상에 형성된 상기 스위칭 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나와 전기적으로 연결되고, 상기 구동 박막 트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 하나와 중첩하도록 형성된, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 15,
An active layer of the switching thin film transistor is formed on the substrate,
A gate insulating layer is formed to cover the active layer of the switching thin film transistor,
A gate electrode of the switching thin film transistor and a gate electrode of the driving thin film transistor are formed on the gate insulating layer,
An interlayer insulating layer is formed to cover the gate electrode of the switching thin film transistor and the gate electrode of the driving thin film transistor,
An active layer of the driving thin film transistor overlaps the gate electrode of the driving thin film transistor on the interlayer insulating layer,
An etch stopper is formed to cover the active layer of the driving thin film transistor,
And the metal layer is electrically connected to one of a source electrode and a drain electrode of the switching thin film transistor formed on the etch stopper and overlaps one of the source electrode and the drain electrode of the driving thin film transistor.
상기 스위칭 박막 트랜지스터는 상기 기판으로부터 액티브층, 게이트 전극 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 코플래너 구조인, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 15,
And the switching thin film transistor has a coplanar structure stacked in the order of an active layer, a gate electrode, a source electrode, and a drain electrode from the substrate.
상기 구동 박막 트랜지스터는 상기 기판으로부터 게이트 전극, 액티브층, 및 소스 전극 및 드레인 전극 순서로 적층된 바텀 게이트 구조인, 유기 전계 발광 표시 장치.The method of claim 15,
And the driving thin film transistor has a bottom gate structure stacked in order from the substrate to a gate electrode, an active layer, and a source electrode and a drain electrode.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |