KR102069132B1 - Apparatus for removing condensation from observation windows - Google Patents
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Abstract
관찰창의 결로 제거 장치가 개시된다. 저온 시료를 관찰하는 관찰창과, 관찰창에 습기가 없는 무수 가스를 공급하는 유로를 포함하는 지그; 무수 가스를 저장하는 탱크; 및 탱크의 밸브를 열어 탱크에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거하는 공급부를 포함한다. 따라서 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거할 수 있고, 지그는 바닥에 위치하는 저온 시료 위에 관찰창이 위치하고, 관찰창 내외 면 주위로 유로 공간을 형성하고, 유로 공간으로 무수 가스를 분사하고 배출하는 다수의 유로 통로를 가지는 장점이 있고, 관찰창 외부 가수분사유로가 관찰창 면에 무수가스가 접촉되도록 일정 각도를 가지고 수평으로 넓어지는 삼각유로 형상을 포함할 수 있고, 공급부는 저온 시료를 지그에 장착하는 시점부터 관찰을 끝낼 때까지 관찰창으로 무수 가스를 지속적으로 공급할 수 있고, 공급부는 저온 시료를 관찰하는 시점으로부터 일정 시간 전부터 무수 가스를 공급하고, 관찰을 끝낼 때까지 무수 가스를 공급할 수 있고, 관찰창에 맺히는 결로를 감지하면 탱크의 밸브를 열어 탱크에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거할 수 있다.An apparatus for removing condensation from an observation window is disclosed. A jig including an observation window for observing a low temperature sample and a flow path for supplying anhydrous gas free of moisture to the observation window; A tank for storing anhydrous gas; And a supply part which opens the valve of the tank and supplies anhydrous gas stored in the tank to the observation window flow path to remove condensation formed on the observation window. Therefore, by supplying anhydrous gas to the observation window flow path, condensation formed on the observation window can be removed, and the jig is located on the low temperature sample located at the bottom, forming a flow path space around the inside and outside of the observation window, It has the advantage of having a plurality of passage passages for injecting and discharging the gas, the hydrolysis injection path outside the observation window may include a triangular flow path shape that is horizontally widened at an angle so that the anhydrous gas is in contact with the observation window surface, supply The part can continuously supply the anhydrous gas to the observation window from the time of mounting the low temperature sample to the jig until the end of the observation, and the supply unit supplies the anhydrous gas from a time of observing the low temperature sample until the end of the observation. Anhydrous gas can be supplied and condensation formed on the observation window opens when the valve of the tank is opened. Supplying a gas to the observation window can flow path can be removed Rimed condensation on the observation window.
Description
본 발명은 관찰창의 결로 제거 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 무수 가스를 이용하여 관찰창의 결로를 제거하는 관찰창의 결로 제거 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for removing condensation from an observation window, and more particularly, to an apparatus for removing condensation from an observation window using anhydrous gas.
관찰창의 결로 제거 장치는 제습기를 이용하여 관찰창의 결로를 제거한다. 제습기는 관찰창 내외면에 형성된 유로를 통해 순환되는 공기에 포함된 습기를 제거한다. 관찰창은 저온 시료를 관찰하는데 저온 시료의 온도가 낮아 관찰창에 결로가 발생할 수 있다. 관찰창에 결로가 발생하면 저온 시료 관찰이 어려워지므로 관찰창 결로는 제거되어야 한다. 관찰창 온도가 낮아 제습기가 관찰창 결로를 제거하기 위해 낮은 온도의 습기가 없는 공기를 순환시키기 위해 사용되는 전기량이 과다한 문제점이 있다. 제습기를 사용하지 않고 저온 시료에 영향을 주지 않으면서 관찰창 결로를 제거하는 장치가 요구된다.The condensation removal device of the observation window removes the condensation of the observation window using a dehumidifier. The dehumidifier removes moisture contained in the air circulated through the flow path formed on the inner and outer surfaces of the observation window. The observation window observes a low temperature sample, and condensation may occur in the observation window due to the low temperature of the low temperature sample. Condensation on the observation window makes it difficult to observe cold samples, so observation window condensation should be removed. The observation window temperature is low, there is a problem that the dehumidifier is excessive amount of electricity used to circulate the moisture-free air of the low temperature to remove the observation window condensation. What is needed is a device that eliminates observation window condensation without the use of a dehumidifier and without affecting cold samples.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 저온 시료를 관찰하는 관찰창에 맺히는 결로를 제거하는 관찰창의 결로 제거 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a condensation removing device of the observation window to remove the condensation formed on the observation window for observing the low-temperature sample.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 저온 시료를 관찰하는 관찰창과, 관찰창에 습기가 없는 무수 가스를 공급하는 유로를 포함하는 지그; 무수 가스를 저장하는 탱크; 및 탱크의 밸브를 열어 탱크에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거하는 공급부를 포함한다.The present invention for achieving the above object is a jig including an observation window for observing a low-temperature sample, and a flow path for supplying anhydrous gas without moisture to the observation window; A tank for storing anhydrous gas; And a supply part which opens the valve of the tank and supplies anhydrous gas stored in the tank to the observation window flow path to remove condensation formed on the observation window.
또한, 지그는 저온 시료가 바닥에 위치하고 바닥에 위치하는 저온 시료 위에 관찰창이 위치하고, 관찰창 내외 면 주위로 유로 공간을 형성하고, 유로 공간으로 무수 가스를 분사하고 배출하는 다수의 유로 통로를 포함하고, 유로 개수는 관찰창 둘레에 3개 내지 12개까지 설치된다.In addition, the jig includes a plurality of flow passages for observing the observation window on the low temperature sample located on the floor and the low temperature sample, forming a flow path space around the inside and outside surfaces of the observation window, and injecting and discharging anhydrous gas into the flow path space. , The number of flow paths are installed up to 3 to 12 around the observation window.
또한, 관찰창 유로에서 관찰창 외부로 무수가스를 공급하는 관찰창 외부 가스공급 중간유로와 연결된 관찰창 외부 가스분사유로가 관찰창 면에 무수가스가 접촉되도록 15도에서 90도의 각도를 가지고 수평으로 넓어지는 삼각유로 형상을 포함한다.In addition, the observation window external gas injection passage, which is connected to the intermediate channel of the observation window external gas supply, which supplies anhydrous gas from the observation window flow path to the outside of the observation window, has an angle of 15 to 90 degrees so that the anhydrous gas contacts the observation window surface. It includes the shape of a triangular flow path widening.
또한, 관찰창 유로를 지나는 무수 가스의 유속은 관찰창 결로를 제거 가능한 0.01m/s 내지 5m/s이다.Further, the flow rate of the anhydrous gas passing through the observation window flow path is 0.01 m / s to 5 m / s to remove the observation window condensation.
또한, 공급부는 저온 시료를 지그에 장착하는 시점부터 관찰을 끝낼 때까지 관찰창으로 무수 가스를 지속적으로 공급한다.In addition, the supply unit continuously supplies anhydrous gas to the observation window from the time of mounting the low temperature sample to the jig until the end of the observation.
또한, 공급부는 저온 시료를 관찰하는 시점으로부터 15분 내지 1분의 일정 시간 전부터 무수 가스를 공급하고, 관찰을 끝낼 때까지 무수 가스를 공급한다.In addition, the supply unit supplies anhydrous gas from a time point at which the low temperature sample is observed from 15 minutes to 1 minute, and supplies anhydrous gas until the observation is completed.
또한, 저온 시료를 관찰하는 관찰창에 맺히는 결로를 감지하는 센서를 더 포함하고, 센서가 습도 센서이면 공급부는 습도 센서의 센서 값이 일정 수치를 초과하면 탱크의 밸브를 열어 탱크에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 무수 가스를 유동시켜 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 센서 값이 일정 수치 미만으로 낮아지면 탱크의 밸브를 닫는다.In addition, the sensor further comprises a sensor for detecting condensation formed on the observation window for observing a low temperature sample, and if the sensor is a humidity sensor, the supply unit opens the valve of the tank to remove the anhydrous gas stored in the tank when the sensor value of the humidity sensor exceeds a predetermined value. Supply an anhydrous gas to the channel space around the inside and outside of the observation window to remove condensation on the observation window. When the sensor value drops below a certain value, close the valve of the tank.
또한, 저온 시료를 관찰하는 관찰창에 맺히는 결로를 감지하는 센서를 더 포함하고, 센서가 광학 센서이면 공급부는 광학 센서로 관찰되는 광 굴절이 일정 범위를 벗어날 때 관찰창에 결로가 발생한 것으로 판단하고, 탱크의 밸브를 열어 탱크에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 무수 가스를 유동시켜 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 광 굴절이 일정 범위에 속하면 탱크의 밸브를 닫는다.In addition, the sensor further includes a sensor for detecting condensation formed on the observation window for observing a low temperature sample, and if the sensor is an optical sensor, the supply unit determines that condensation has occurred in the observation window when the optical refraction observed by the optical sensor is out of a certain range. Open the valve of the tank, supply the anhydrous gas stored in the tank to the observation window flow path, and flow the anhydrous gas into the flow path space around the inside and outside of the observation window to remove condensation formed on the observation window. To close the valve.
상기와 같은 본 발명에 따른 관찰창의 결로 제거 장치를 이용할 경우에는 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거할 수 있다.When using the condensation removing device of the observation window according to the present invention as described above can be removed by supplying anhydrous gas to the observation window flow path condensation formed on the observation window.
또한, 지그는 바닥에 위치하는 저온 시료 위에 관찰창이 위치하고, 관찰창 내외 면 주위로 유로 공간을 형성하고, 유로 공간으로 무수 가스를 분사하고 배출하는 다수의 유로 통로를 가지는 장점이 있다.In addition, the jig has an advantage that the observation window is located on the low temperature sample located at the bottom, to form a flow path space around the inner and outer surfaces of the observation window, and has a plurality of flow paths for injecting and discharging anhydrous gas into the flow path space.
또한, 관찰창 외부 가수분사유로가 관찰창 면에 무수가스가 접촉되도록 일정 각도를 가지고 수평으로 넓어지는 삼각유로 형상을 포함할 수 있다.In addition, the observation window external hydrolysis injection flow path may include a triangular flow path shape that extends horizontally at an angle so that the anhydrous gas is in contact with the observation window surface.
또한, 공급부는 저온 시료를 지그에 장착하는 시점부터 관찰을 끝낼 때까지 관찰창으로 무수 가스를 지속적으로 공급할 수 있다.In addition, the supply unit may continuously supply anhydrous gas to the observation window from the time of mounting the low temperature sample to the jig until the end of the observation.
또한, 공급부는 저온 시료를 관찰하는 시점으로부터 일정 시간 전부터 무수 가스를 공급하고, 관찰을 끝낼 때까지 무수 가스를 공급할 수 있다.In addition, the supply part may supply anhydrous gas from a time point when a low temperature sample is observed, and supply anhydrous gas until completion of observation.
또한, 관찰창에 맺히는 결로를 감지하면 탱크의 밸브를 열어 탱크에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거할 수 있다.In addition, when the condensation formed on the observation window is detected, the condensation on the observation window may be removed by opening the valve of the tank and supplying anhydrous gas stored in the tank to the observation window flow path.
도 1은 저온에서 부품 및 재료를 고정하여 시험하기 위한 지그 내외형 구조를 보인 예시도이다.
도 2는 지그 절단 단면 구조를 보인 예시도이다.
도 3은 지그 절단 단면 구조에서 결로 방지 및 제거를 위한 가스의 흐름을 보인 예시도이다.
도 4는 지그 관찰창 부위의 절단 단면 구조를 보인 예시도이다.
도 5는 지그 관찰창 부위의 절단 단면 구조에서 결로 방지 및 제거를 위한 가스의 흐름을 보인 예시도이다.
도 6은 관찰창의 결로 제거 장치의 구성을 보인 블록도이다.
도 7은 관찰창의 결로 제거 장치의 다른 실시예를 보인 블록도이다.1 is an exemplary view showing the internal and external jig structure for fixing and testing parts and materials at low temperatures.
Figure 2 is an exemplary view showing a jig cut cross-sectional structure.
Figure 3 is an exemplary view showing the flow of gas for preventing and removing condensation in the jig cut cross-sectional structure.
4 is an exemplary view showing a cut cross-sectional structure of the jig observation window.
Figure 5 is an exemplary view showing the flow of gas for preventing and removing condensation in the cross-sectional structure of the jig observation window portion.
6 is a block diagram showing the configuration of the condensation removing device of the observation window.
7 is a block diagram showing another embodiment of the condensation removing device of the observation window.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, it has the same meaning as commonly understood herein, including technical or scientific terms. Terms such as those defined in the commonly used dictionaries should be construed as having meanings consistent with the meanings in the context of the related art, and shall not be construed in ideal or excessively formal meanings unless expressly defined in this application. Do not.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
관찰창의 결로 제거 장치는 습기가 없는 질소 가스를 포함하는 무수 가스를 이용하여 저온 시료의 차가운 온도에 의해 관찰창에 맺힌 결로를 결로에 포함된 습기를 흡수해서 제거한다.The dew condensation removal device of the observation window absorbs moisture contained in the condensation by removing the condensation formed on the observation window by the cold temperature of the low temperature sample by using anhydrous gas containing nitrogen gas without moisture.
도 1은 저온에서 부품 및 재료를 고정하여 시험하기 위한 지그 내외형 구조를 보인 예시도이다.1 is an exemplary view showing an internal and external jig structure for fixing and testing a part and a material at a low temperature.
지그(10)는 지그상부 고정용 회전너트와 지그상부 고정용 볼트안착홈을 가진다. 지그(10)는 저온 시료를 고정한다. 지그(10)는 저온에서 부품 및 재료를 고정하여 시험하기 위한 지그 내외형 구조를 가진다. 지그상부에는 고정용 회전너트가 있고, 볼트안착홈이 있다. 볼트안착홈에 볼트가 끼워지고, 볼트는 고정용 회전너트에 결합된다. 지그 하부에 저온 시료가 놓이고, 상단에 관찰창이 위치한다. 관찰창은 관찰창 덮개로 고정된다. 지그 하부에 놓인 저온 시료는 관찰창 덮개로 고정된 관찰창을 통해 관찰된다. 지그 하부는 지그받침부에 고정되고, 가스 인입구를 통해 관찰창에 무수 가스가 공급된다. 가스 인입구를 통해 관찰창에 공급된 무수 가스는 관찰창에 맺힌 결로를 제거한다.The
도 2는 지그 절단 단면 구조를 보인 예시도이다.Figure 2 is an exemplary view showing a jig cut cross-sectional structure.
지그하부(12)는 저온 요소(14)를 지그받침부(16)에 고정시키고, 방열구(15)를 가진다. 저온 요소(14) 위에 저온 시료(17)가 위치한다. 저온 요소(14)는 저온 시료(17)의 온도를 일정하게 유지시켜 준다. 저온 시료(17)와 관찰창 사이에 온도차에 의해 관찰창에 결로가 맺히게 된다. 가스 인입구(18)로 무수 가스가 유입되고, 가스이송선두유로(19)를 통해 가스수평확산유로(13)를 지나 관찰창 내외부 가스이송유로(52)에 의해 가스유동공간(58)에 분사된다. 가스유동공간(58)에 관찰창(56)이 위치한다. 가스유동공간(58)은 관찰창 내부 가스분사유로(53)와 관찰창 외부 가스분사유로(54)에 의해 무수 가스가 분사된다. 관찰창(56) 외부로는 관찰창 외부 가스분사유로(55)가 무스 가스를 공급한다. 가스유동공간(58) 위에 관찰창(56)이 놓이고, 관찰창덮개(57)가 지그상부(51)에 관찰창(56)을 고정한다.The
도 3은 지그 절단 단면 구조에서 결로 방지 및 제거를 위한 가스의 흐름을 보인 예시도이다.Figure 3 is an exemplary view showing the flow of gas for preventing and removing condensation in the jig cut cross-sectional structure.
가스의 흐름은 무수 가스가 가스 인입구(18)로 유입되고, 가스이송선두유로(19)를 통해 가스수평확산유로(13)를 지나 관찰창 내외부 가스이송유로(52)에 의해 가스유동공간(58)에 분사된다. 가스 인입구(18)는 탱크로부터 무수 가스를 지그 내로 공급한다. 가스 인입구(18)로 유입된 무수 가스는 가스이송선두유로(19)를 지난다. 가스이송선두유로(19)를 지난 무수 가스는 가스수평확산유로(13)로 공급된다. 가스수평확산유로(13)를 지난 무수 가스는 관찰창 내외부 가스이송유로(52)로 공급되고 가스유동공간(58)에 분사된다. 가스유동공간(58)은 관찰창 내부 가스분사유로(53)와 관찰창 외부 가스분사유로(54)에 의해 무수 가스가 분사된다. 관찰창(56) 외부로는 관찰창 외부 가스분사유로(55)가 무스 가스를 공급한다. 관찰창 내부 가스분사유로(53)는 무수 가스를 관찰창 내부로 공급하고, 관찰창 외부 가스분사유로(54)는 무수 가스를 관찰창 외부로 공급한다.Gas flow is an anhydrous gas flows into the
도 4는 지그 관찰창 부위의 절단 단면 구조를 보인 예시도이다.4 is an exemplary view showing a cut cross-sectional structure of the jig observation window.
관찰창(56)은 관찰창 내부 가스분사유로(53), 관찰창 외부 가스공급 중간유로(59), 관찰창 외부 가스분사유로(55), 가스유동공간(58)을 지나는 무수 가스에 의해 결로가 제거된다. 무스 가스는 관찰창 내부 가스분사유로(53)를 통해 관찰창 내부로 공급되고, 관찰창 외부 가스공급중간유로를 지나 관찰창 외부 가스분사유로(55)를 통해 관찰창 외부로 공급된다. 가스유동공간(58)에 관찰창(56)이 위치한다. 무수 가스가 관찰창(56) 내외면에 공급되어 관찰창(56)에 ?힌 결로를 제거한다.The
도 5는 지그 관찰창 부위의 절단 단면 구조에서 결로 방지 및 제거를 위한 가스의 흐름을 보인 예시도이다.Figure 5 is an exemplary view showing the flow of gas for preventing and removing condensation in the cross-sectional structure of the jig observation window portion.
지그 관찰창 부위의 무수 가스 흐름이다.Anhydrous gas flow in the jig viewing area.
관찰창(56)은 관찰창 내부 가스분사유로(53), 관찰창 외부 가스공급 중간유로(59), 관찰창 외부 가스분사유로(55), 가스유동공간(58)을 지나는 무수 가스에 의해 결로가 제거된다.The
도 6은 관찰창의 결로 제거 장치의 구성을 보인 블록도이다.6 is a block diagram showing the configuration of the condensation removing device of the observation window.
관찰창의 결로 제거 장치는 저온 시료를 관찰하는 관찰창과, 관찰창에 습기가 없는 무수 가스를 공급하는 유로를 포함하는 지그(10); 무수 가스를 저장하는 탱크(20); 및 탱크(20)의 밸브를 열어 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거하는 공급부(30)를 포함한다.The condensation removing apparatus of the observation window includes: a
지그(10)는 저온 시료가 바닥에 위치하고 바닥에 위치하는 저온 시료 위에 관찰창이 위치하고, 관찰창 내외 면 주위로 유로 공간을 형성하고, 유로 공간으로 무수 가스를 분사하고 배출하는 다수의 유로 통로를 포함한다. 유로 개수는 관찰창 둘레에 3개 내지 12개까지 설치되며, 저온 시료와 관찰창 온도 차에 따라 관찰창에 맺히는 결로를 제거하기에 바람직하다. 실시예로, 유로 개수는 관찰창에 맺히는 결로를 단시간 내에 제거 가능하도록 정해진다. 지그(10)는 관찰자가 관찰창(56)을 통해 저온 시료를 관찰할 수 있도록 저온 시료를 고정한다. 저온 시료와 관찰창 사이의 온도차로 관찰창에 결로가 맺힐 수 있으므로 관찰창(56) 주위에는 무수 가스를 분사하는 다수의 유로 통로가 존재한다.The
관찰창 유로(11)에서 관찰창 외부로 무수가스를 공급하는 관찰창 외부 가스공급 중간유로와 연결된 관찰창 외부 가스분사유로가 관찰창 면에 무수가스가 접촉되도록 15도에서 90도의 각도를 가지고 수평으로 넓어지는 삼각유로 형상을 포함한다. 관찰창 외부 가스공급 중간유로는 관찰창 외부로 무수가스를 공급하며, 무수 가스는 관찰창 외부 가스공급 중간유로를 지나 관찰창 외부 가스분사유로로 공급된다. 관찰창 외부 가스분사유로는 무수 가스를 관찰창 외부로 공급하며 관찰창 면에 무수 가스가 접촉되도록 삼각유로 형상을 가진다. 삼각유로 형상은 일정 각도를 가지고 수평으로 넓어진다.Observation window external gas supply passage that supplies anhydrous gas to the outside of the observation window from the observation window flow path 11 The horizontal gas injection flow path connected to the intermediate channel has an angle of 15 to 90 degrees so that the anhydrous gas contacts the observation window surface. It includes a triangular flow path shape that widens. Gas supply outside the observation window The intermediate channel supplies anhydrous gas to the outside of the observation window, and the anhydrous gas is supplied to the external gas injection channel outside the observation window. The external gas injection path outside the observation window supplies anhydrous gas to the outside of the observation window and has a triangular flow path so that the anhydrous gas contacts the observation window surface. The triangular flow path is widened horizontally at an angle.
관찰창 유로(11)를 지나는 무수 가스의 유속은 관찰창 결로를 제거 가능한 0.01m/s 내지 5m/s이다. 무수 가스의 유속은 관찰창 결로를 적절히 제거할 수 있도록 실험적으로 얻어진다. 예를 들어, 0.01m/s 내지 5m/s의 무수 가스 유속은 관찰창 결로를 빠르게 제거 가능하게 실험적으로 얻어진 수치이다. 0.01m/s 보다 낮은 무수 가스 유속은 유속이 너무 느려 관찰창 결로 제거율이 낮고, 5m/s보다 높은 무수 가스 유속은 유속이 너무 빨라 관찰창 결로 제거율이 낮다.The flow rate of the anhydrous gas passing through the observation window flow path 11 is 0.01 m / s to 5 m / s to remove the observation window condensation. The flow rate of the anhydrous gas is obtained experimentally to properly remove observation window condensation. For example, the anhydrous gas flow rate of 0.01 m / s to 5 m / s is a numerical value obtained experimentally to enable rapid removal of observation window condensation. The anhydrous gas flow rate lower than 0.01 m / s has low observation window condensation removal rate, and the anhydrous gas flow rate higher than 5 m / s has low observation window condensation removal rate.
공급부(30)는 저온 시료를 지그(10)에 장착하는 시점부터 관찰을 끝낼 때까지 관찰창으로 무수 가스를 지속적으로 공급한다. 공급부(30)는 무수 가스를 관찰창으로 공급하며, 무수 가스를 어느 시점에 공급할지가 중요하다. 공급부(30)는 저온 시료가 지그(10)에 장착될 때 무수 가스를 공급하기 시작하고, 관찰이 끝날 때 무스 가스의 공급을 중단한다. 무수 가스의 공급 시간은 저온 시료가 지그(10)에 장착될 때부터 관찰을 끝날 때까지이다. 이 시간 동안 공급부(30)는 무수 가스를 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거하여 관찰자가 관찰창을 통해 저온 시료를 관찰할 수 있도록 한다.The
공급부(30)는 저온 시료를 관찰하는 시점으로부터 15분 내지 1분의 일정 시간 전부터 무수 가스를 공급하고, 관찰을 끝낼 때까지 무수 가스를 공급한다. 예를 들어, 일정 시간은 저온 시료를 관찰하기 전까지 관찰창에 맺힌 결로를 완전히 제거 가능한 시간으로 관찰자가 일정 시간 후 관찰창을 통해 저온 시료를 잘 볼 수 있다. 저온 시료가 지그(10)에 장착되는 시점부터 무수 가스가 공급되는 실시예와 다른 실시예로, 공급부(30)는 저온 시료를 관찰하기 전 일정 시간 전부터 무수 가스를 공급한다. 무수 가스가 일정 시간 전부터 공급되어 공급부(30)는 관찰 준비 작업을 개시한다. 무수 가스가 공급된 후부터 관찰이 끝날 때까지 공급부(30)는 무수 가스의 공급을 계속한다.The
도 7은 관찰창의 결로 제거 장치의 다른 실시예를 보인 블록도이다.7 is a block diagram showing another embodiment of the condensation removing device of the observation window.
센서(40)는 저온 시료를 관찰하는 관찰창에 맺히는 결로를 감지한다.The
센서(40)가 습도 센서이면 공급부(30)는 습도 센서의 센서 값이 일정 수치를 초과하면 탱크(20)의 밸브를 열어 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 무수 가스를 유동시켜 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 센서 값이 일정 수치 미만으로 낮아지면 탱크(20)의 밸브를 닫는다.If the
센서(40)가 광학 센서이면 공급부(30)는 광학 센서로 관찰되는 광 굴절이 일정 범위를 벗어날 때 관찰창에 결로가 발생한 것으로 판단하고, 탱크(20)의 밸브를 열어 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 무수 가스를 유동시켜 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 광 굴절이 일정 범위에 속하면 탱크(20)의 밸브를 닫는다.If the
공급부(30)가 센서 값과 무수 가스 제어 값을 서버로 전송할 수 있다. 서버는 다수의 결로 제거 장치로부터 수집되는 센서 값과 무수 가스 제어 값을 빅데이터 분석하여 활용할 수 있다. 서버는 센서 값과 무수 가스 제어 값 사이의 상관 관계를 분석하여 제어 로직을 결로 제거 장치의 공급부(30)에 제공할 수 있다. 공급부(30)는 서버로부터 제어 로직을 수신해서 제어 로직에 따라 센서 값에 대응한 무수 가스 제어 값을 제어할 수 있다. 서버는 결로 제거 장치로부터 수집되는 데이터에 기반하여 제어 로직을 업데이트하고, 결로 제거 장치로 제어 로직을 업로드할 수 있다.The
이상 정리하면, 관찰창의 결로 제거 장치는 탱크(20)의 밸브를 열어 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 저온 시료를 관찰하는 관찰창과, 관찰창에 습기가 없는 무수 가스를 공급하는 관찰창 유로(11)를 포함하는 지그(10)의 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거한다.In summary, the condensation removing device of the observation window opens the valve of the
지그(10)는 저온 시료가 바닥에 위치하고 바닥에 위치하는 저온 시료 위에 관찰창이 위치하고, 다수의 유로 통로가 관찰창 내외 면 주위로 유로 공간을 형성하고, 유로 공간으로 무수 가스를 분사하고 배출한다.The
관찰창 유로(11)에서 관찰창 외부로 무수가스를 공급하는 관찰창 외부 가스공급 중간유로와 연결된 관찰창 외부 가스분사유로가 관찰창 면에 무수가스가 접촉되도록 삼각유로 형상이 15도에서 90도의 각도를 가지고 수평으로 넓어진다.Observation window external gas supply flow path that supplies anhydrous gas to the outside of the observation window from the observation window flow path 11 The triangular flow path shape is 15 to 90 degrees so that the anhydrous gas is in contact with the observation window surface. It is widened horizontally with an angle.
관찰창 유로(11)를 지나는 무수 가스의 유속은 관찰창 결로를 제거 가능한 0.01m/s 내지 5m/s이다.The flow rate of the anhydrous gas passing through the observation window flow path 11 is 0.01 m / s to 5 m / s to remove the observation window condensation.
공급부(30)는 저온 시료를 지그(10)에 장착하는 시점부터 저온 시료에 대한 관찰을 끝낼 때까지 관찰창으로 무수 가스를 지속적으로 공급한다.The
공급부(30)는 저온 시료를 관찰하는 시점으로부터 일정 시간 전부터 무수 가스를 공급하고, 저온 시료에 대한 관찰을 끝낼 때까지 무수 가스를 공급한다.The
관찰창의 결로 제거 장치는 저온 시료를 관찰하는 관찰창에 맺히는 결로를 감지하는 센서(40)를 포함한다.The condensation removing apparatus of the observation window includes a
센서(40)가 습도 센서이면 공급부(30)는 습도 센서의 센서 값이 일정 수치를 초과하면 탱크(20)의 밸브를 열어 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 무수 가스를 유동시켜 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 센서 값이 일정 수치 미만으로 낮아지면 탱크(20)의 밸브를 닫는다. 공급부(30)는 습도 센서의 센서 값에 따라 관찰창에 맺힌 결로를 제거할지를 판단하고 무수 가스의 공급을 제어한다.If the
센서(40)가 광학 센서이면 공급부(30)는 광학 센서로 관찰되는 광 굴절이 일정 범위를 벗어날 때 관찰창에 결로가 발생한 것으로 판단하고, 탱크(20)의 밸브를 열어 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 무수 가스를 유동시켜 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 광 굴절이 일정 범위에 속하면 탱크(20)의 밸브를 닫는다. 공급부(30)는 광학 센서의 센서 값에 따라 관찰창에 맺힌 결로를 제거할지를 판단하고 무수 가스의 공급을 제어한다.If the
공급부(30)가 센서 값과 무수 가스 제어 값을 서버로 전송할 수 있다. 공급부(30)가 센서로부터 센서 값을 수집하고, 수집된 센서 값에 의해 무수 가스를 공급하는 탱크의 밸브를 제어한 무수 가스 제어 값을 서버로 전송한다. 서버는 다수의 결로 제거 장치로부터 수집되는 센서 값과 무수 가스 제어 값을 빅데이터 분석하여 활용할 수 있다. 서버는 분석 결과에 기반한 무수 가스 제어 값을 공급부(30)로 피드백할 수 있다. 공급부(30)는 서버로부터 수신된 무수 가스 제어 값에 따라 탱크(20)의 밸브를 제어할 수 있다.The
관찰창을 통과한 무수 가스는 수거 탱크에 수거되고 탈습되어 탱크(20)에 공급될 수 있다. 수거 탱크는 무수 가스의 습기를 탈습하는 탈습 장치를 포함한다. 탈습 장치는 제습기일 수 있다. 무수 가스가 수거 탱크에 수거될 때 무수 가스의 습기량을 측정하여 일정 레벨 이상의 습기량을 포함한 경우 수거 탱크로 수거되지 않고 대기로 배출될 수 있다. 관찰창을 통과한 무수 가스는 습기를 포함하게 된다. 무수 가스에 포함된 습기를 제거함으로써 무수 가스가 재활용될 수 있다. 무수 가스의 재활용을 위해 탈습 장치가 사용되며, 탈습 장치로는 제습기가 적용될 수 있다. 그리고 관찰창을 통과한 무수 가스는 온도가 낮아진다. 따라서 무수 가스가 가지는 원래의 온도로 되돌려야 한다. 히터는 무수 가스의 온도를 높여 원래의 온도로 되돌린다. 정상 온도에 도달한 무수 가스는 다시 탱크로 공급되거나 수거 탱크로 수거될 수 있다. 무수 가스가 수거 탱크에 수거될 때에는 무수 가스의 습기량이 일정 레벨 이하로 낮아져야 한다. 일정 레벨 이상의 습기량을 포함한 무수 가스는 관찰창 결로를 제거하는데 미흡할 수 있다. 따라서 습기량 제거가 원할치 않은 무수 가스에 대해서는 수거 탱크로 수거되지 않고, 대기로 배출될 수 있다.The anhydrous gas passing through the observation window may be collected in the collection tank, dehumidified and supplied to the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although described above with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art various modifications and variations of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below I can understand that you can.
10: 지그 11: 관찰창 유로
12: 지그하부 13: 가스수평확산유로
14: 저온 요소 15: 방열구
16: 지그받침부 17: 저온 시료
18: 가스 인입구 19: 가스이송선두유로
20: 탱크 30: 공급부
40: 센서 51: 지그상부
52: 관찰창 내외부 가스이송유로 53: 관찰창 내부 가스분사유로
54: 관찰창 외부 가스이송유로 55: 관찰창 외부 가스분사유로
56: 관찰창 57: 관찰창 덮개
58: 가스 유동공간10: jig 11: observation window euro
12: Lower part of jig 13: Gas horizontal diffusion euro
14: low temperature element 15: heat sink
16: jig bearing 17: low temperature sample
18: gas inlet 19: gas transfer line
20: tank 30: supply part
40: sensor 51: jig upper part
52: Gas transfer passage inside and outside the observation window 53: Gas injection passage inside the observation window
54: Gas flow path outside the observation window 55: Gas injection flow path outside the observation window
56: observation window 57: observation window cover
58: gas flow space
Claims (8)
상기 무수 가스를 저장하는 탱크(20);
상기 탱크(20)의 밸브를 열어 상기 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 상기 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창에 맺힌 결로를 제거하는 공급부(30); 및
상기 저온 시료를 관찰하는 관찰창에 맺히는 결로를 감지하는 센서(40)를 포함하되,
상기 센서(40)가 습도 센서이면 상기 공급부(30)는 상기 습도 센서의 센서 값이 일정 수치를 초과하면 상기 탱크(20)의 밸브를 열어 상기 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 상기 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 상기 무수 가스를 유동시켜 상기 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 센서 값이 일정 수치 미만으로 낮아지면 상기 탱크(20)의 밸브를 닫으며,
상기 센서(40)가 광학 센서이면 상기 공급부(30)는 상기 광학 센서로 관찰되는 광 굴절이 일정 범위를 벗어날 때 상기 관찰창에 결로가 발생한 것으로 판단하고, 상기 탱크(20)의 밸브를 열어 탱크(20)에 저장된 무수 가스를 관찰창 유로(11)로 공급하여 관찰창 내외면 주위의 유로 공간에 상기 무수 가스를 유동시켜 상기 관찰창에 맺힌 결로를 제거하고, 광 굴절이 일정 범위에 속하면 상기 탱크(20)의 밸브를 닫는 관찰창의 결로 제거 장치.A jig 10 including an observation window for observing a low temperature sample and an observation window flow passage 11 for supplying anhydrous gas free of moisture to the observation window;
A tank (20) for storing the anhydrous gas;
A supply unit 30 opening the valve of the tank 20 to supply anhydrous gas stored in the tank 20 to the observation window flow path 11 to remove condensation formed on the observation window; And
Including a sensor 40 for detecting condensation formed on the observation window for observing the low temperature sample,
If the sensor 40 is a humidity sensor, the supply unit 30 opens the valve of the tank 20 when the sensor value of the humidity sensor exceeds a predetermined value, and stores the anhydrous gas stored in the tank 20 in the observation window flow path. Supplying to the (11) to flow the anhydrous gas in the flow path space around the inside and outside of the observation window to remove condensation formed in the observation window, when the sensor value is lower than a certain value closes the valve of the tank 20 ,
If the sensor 40 is an optical sensor, the supply unit 30 determines that condensation has occurred in the observation window when the optical refraction observed by the optical sensor is out of a predetermined range, and opens the valve of the tank 20 to open the tank. Supplying anhydrous gas stored in the (20) to the observation window flow path 11 to flow the anhydrous gas in the flow path space around the inside and outside of the observation window to remove condensation formed on the observation window, if the optical refraction falls within a certain range Condensation removal device of the observation window for closing the valve of the tank (20).
상기 지그(10)는 상기 저온 시료가 바닥에 위치하고 바닥에 위치하는 상기 저온 시료 위에 상기 관찰창이 위치하고, 상기 관찰창 내외 면 주위로 유로 공간을 형성하고, 유로 공간으로 상기 무수 가스를 분사하고 배출하는 다수의 유로 통로를 포함하고, 유로 개수는 관찰창 둘레에 3개 내지 12개까지 설치되는 관찰창의 결로 제거 장치.The method of claim 1,
The jig 10 has the observation window positioned on the low temperature sample located at the bottom and the low temperature sample, and forming a flow path space around the inner and outer surfaces of the observation window, and injecting and discharging the anhydrous gas into the flow path space. Condensation removal apparatus of the observation window including a plurality of passage passages, the number of passages are installed from 3 to 12 around the observation window.
상기 관찰창 유로(11)에서 관찰창 외부로 상기 무수가스를 공급하는 관찰창 외부 가스공급 중간유로와 연결된 관찰창 외부 가스분사유로가 관찰창 면에 상기 무수가스가 접촉되도록 15도에서 90도의 각도를 가지고 수평으로 넓어지는 삼각유로 형상을 포함하는 관찰창의 결로 제거 장치.The method of claim 1,
An angle of 15 degrees to 90 degrees so that the anhydrous gas is in contact with the observation window external gas injection passage connected to the observation window external gas supply intermediate flow path for supplying the anhydrous gas to the outside of the observation window in the observation window flow path 11 Condensation removal device of the observation window comprising a triangular flow path widening horizontally.
상기 관찰창 유로(11)를 지나는 무수 가스의 유속은 관찰창 결로를 제거 가능한 0.01m/s 내지 5m/s인 관찰창의 결로 제거 장치.The method of claim 1,
The flow rate of the anhydrous gas passing through the observation window flow path 11 is 0.01m / s to 5m / s to remove the observation window condensation device of the observation window condensation.
상기 공급부(30)는 저온 시료를 지그(10)에 장착하는 시점부터 관찰을 끝낼 때까지 상기 관찰창으로 상기 무수 가스를 지속적으로 공급하는 관찰창의 결로 제거 장치.The method of claim 1,
The supply unit 30 is a condensation removing device of the observation window for continuously supplying the anhydrous gas to the observation window from the time of mounting the low temperature sample to the jig 10 until the end of the observation.
상기 공급부(30)는 상기 저온 시료를 관찰하는 시점으로부터 15분 내지 1분의 일정 시간 전부터 상기 무수 가스를 공급하고, 관찰을 끝낼 때까지 상기 무수 가스를 공급하는 관찰창의 결로 제거 장치.The method of claim 1,
The supply unit 30 supplies the anhydrous gas from a point in time 15 minutes to 1 minute before the observation of the low temperature sample, and supplies the anhydrous gas until the end of the observation dew condensation removal apparatus.
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