KR102068002B1 - 레이저 변위 센서를 갖는 실 디스펜서 및 그것의 동작 방법 - Google Patents

레이저 변위 센서를 갖는 실 디스펜서 및 그것의 동작 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 실 디스펜서의 동작 방법은, 변위 센서에서 사전에 결정된 실 라인의 방향에 대한 소정 길이를 갖는 라인 빔을 기판에 조사하는 단계, 상기 변위 센서에서 상기 라인 빔을 수신하는 단계, 및 갭 제어부에서 상기 수신된 라인 빔에 따른 기판과의 거리 정보에 따라 상기 기판과 디스펜싱 헤드유닛의 노즐 사이의 갭 제어를 수행하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

레이저 변위 센서를 갖는 실 디스펜서 및 그것의 동작 방법{SEAL DISPENSER HAVING LASER DISPLACEMENT SENSOR AND OPERATING METHOD THEREOF}
본 발명은 레이저 변위 센서를 갖는 실 디스펜서 및 그것의 동작 방법에 관한 것이다.
액정 표시장치는 컬러 필터층이 구비된 제1 기판과, 구동소자들이 배열된 제2 기판과, 제 1 기판과 제 2 기판을 부착시키는 실런트(일명, 페이스트라고도 함) 패턴(혹은 실 라인)과, 제 1, 2 기판들 사이에 위치하는 액정층을 포함한다. 액정 표시장치를 제작시 제 1 기판 혹은 제 2 기판에 실 라인이 형성된다. 이러한 실 라인이 형성되는 제 1 기판 혹은 제 2 기판을 통칭하여 기판이라 한다. 실 디스펜서(seal dispenser)는 이러한 기판에 실런트를 도포하여 실 라인을 형성하는 장치이다. 실 디스펜서는 정확한 실 라인을 형성하기 위하여 기판과의 거리를 측정하는 변위센서를 실런트를 도포하는 헤드유닛에 포함하고 있다. 일반적으로 변위센서는 광(light)을 출력하는 발광부와 거리를 측정하고자 하는 대상에 반사되는 광을 수광하는 수광부를 포함하여 대상과의 거리를 계측하도록 구성된다.
그런데 종래 실 디스펜서에 구비되는 변위센서에 있어서는 발광부에서 출력되는 광은 점 형태의 스팟(spot)으로 대상에 조사됨에 따라 기판과의 거리 측정에 오류가 발생하는 문제가 존재하였다.
등록특허: 10-0965903, 등록일: 2010년 06월 16일, 제목: 실 디스펜서 장치의 제어 방법.
본 발명의 목적은 변위센서를 이용하여 기판과의 거리를 측정하여 실런트를 도포하는 실 디스펜서에 있어서 거리 측정 오류를 방지하고 보다 정확한 거리 측정을 가능하게 하는 실 디스펜서 및 그것의 동작 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서의 동작 방법은: 변위 센서에서 사전에 결정된 실 라인의 방향에 대한 소정 길이를 갖는 라인 빔을 기판에 조사하는 단계; 상기 변위 센서에서 상기 라인 빔을 수신하는 단계; 및 갭 제어부에서 상기 수신된 라인 빔에 따른 기판과의 거리 정보에 따라 상기 기판과 디스펜싱 헤드유닛의 노즐 사이의 갭 제어를 수행하는 단계를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 평행하지 않은 방향으로 조사되는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 수직하지 않는 방향으로 조사되는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 사선 방향으로 조사되는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 변위 센서는 상기 라인 빔을 출력하는 발광부와 상기 기판에서 반사된 상기 라인 빔을 수신하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 변위 센서에서 라인 빔의 시간 정보를 이용하여 상기 기판과 상기 노즐 사이의 거리를 계산하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 계산된 데이터에서 유효 데이터를 획득하는 단계를 더 포함하고, 상기 갭 제어부는 상기 유효 데이터를 이용하여 상기 갭 제어를 수행하는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 라인 빔의 유효 데이터를 획득하는 단계는, 상기 라인 빔에 대응하는 거리 데이터를 수신하는 단계; 상기 거리 데이터에서 간섭 데이터를 제거하는 단계; 및 상기 간섭 데이터를 사전에 결정된 값으로 치환하는 단계를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 사전에 결정된 값은 상기 수신된 데이터에서 간섭 데이터를 뺀 데이터의 평균값인 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 거리를 계산하는 단계는, 레이저 간섭 발생시 필터링된 데이터를 이용하여 보정 동작을 수행하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 거리를 계산하는 단계는, 상기 실 라인을 지날 때, 라인 빔의 유효 데이터를 이용하여 상기 기판과 상기 노즐 사이의 거리를 계산하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서는, 프레임의 상부에 구비되고, 소정 액체가 디스펜싱되는 기판을 로딩하는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 구비되는 헤드 지지대; 및 헤드 지지대에 구비되고 소정 액체를 디스펜싱 하는 적어도 하나의 디스펜싱 헤드유닛을 포함하고, 상기 적어도 하나의 디스펜싱 헤드유닛은, 상기 기판과의 거리를 측정하는 변위 센서를 포함하고, 상기 변위 센서는, 사전에 결정된 실 라인의 방향에 대한 소정 길이를 갖는 라인 빔을 기판에 조사하는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 평행하지 않거나 수직하지 않은 방향으로 조사되는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 사선 방향으로 조사되는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 변위 센서는 수신된 라인 빔의 데이터에서 유효 데이터를 획득하는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 적어도 하나의 디스펜싱 헤드유닛은 상기 실 라인을 지날 때 유효 데이터를 이용하여 상기 기판과 노즐 사이의 간격을 측정하는 갭 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 변위 센서는 사전에 결정된 조건에 따라 측정된 데이터를 필터링 하는 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 변위 센서는, 제 1 방향의 라인 빔을 발생 및 수신하는 제 1 변위 센서; 및 상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향의 라인 빔을 발생 및 수신하는 제 2 변위 센서를 포함하고, 상기 제 1 및 제 2 방향 중에서 적어도 하나는 상기 실 라인에 대한 사선 방향인 것을 특징으로 한다.
실시 예에 있어서, 상기 변위 센서는, 상기 라인 빔을 발생하는 발광부; 및 상기 라인 빔을 수신하는 수광부를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 수광부는 하나의 열로 구성된 수광 소자 어레이를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서 및 그것의 동작 방법은 사선 라인 빔 변위센서를 구비함으로써, 도포된 실 라인을 타고 넘는 경우에도 거리 측정을 정확하게 할 수 있다.
도 1은 일반적인 실 디스펜서(1)를 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 디스펜싱 헤드유닛(100)을 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서의 도포 방식을 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 라인 빔의 유효 데이터를 통한 거리 측정 방법을 좀 더 자세하게 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 간섭에 따른 산란 요소를 제외시키고 유효 데이터를 획득하는 과정을 예시적으로 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서의 동작 방법을 예시적으로 보여주는 흐름도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 또한, 이하에서 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명할 것이나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정하거나 제한되지 않고 당업자에 의해 변형되어 다양하게 실시될 수 있음은 물론이다.
도 1은 일반적인 실 디스펜서(1)를 예시적으로 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 실 디스펜서(1)는, 프레임(3), 프레임(3)의 상부에 구비되며 소정 액체가 디스펜싱 되는 기판(S)을 로딩하는 스테이지(5), 스테이지(5)의 상부에 구비되는 헤드 지지대(7), 헤드 지지대(7)에 구비되며 소정 액체를 디스펜싱하는 디스펜싱 헤드유닛(9)을 포함할 수 있다. 실시 예에 있어서, 스테이지(5)는 X축 혹은 Y축 방향으로 구동되도록 구성될 수 있다. 실시 예에 있어서, 헤드 지지대(7)는 구동 모터(8)에 의해 프레임(3)의 상부에서 Y축 방향으로 직선 이동 가능하도록 설치될 수 있다. 실시 예에 있어서, 디스펜싱 헤드유닛(9)은 기판과의 상대적 위치를 조정하기 위하여 Z축 방향으로 위치 조정될 수 있으며, X축 혹은/및 Y축 방향으로도 구동될 수 있다.
실시 예에 있어서, 실 디스펜서(1)는 스테이지(5)를 X축 및 Y축 방향으로 이동시킴으로써 기판(S)의 상부에 소정 형상의 실 라인을 형성할 수 있다. 실시 예에 있어서, 실 디스펜서(1)는 디스펜싱 헤드유닛(9)을 X축 및 Y축 방향으로 이동시킴으로써 기판(S)에 실런트를 도포할 수도 있다. 실시 예에 있어서, 실 디스펜서(1)는 스테이지(5) 및 디스펜싱 헤드유닛(9) 모두를 X축 및 Y축 방향으로 이동시킴으로써 실런트를 도포할 수도 있다. 실시 예에 있어서, 실 디스펜서(1)는 스테이지(5)를 일축 방향으로 이동시키고, 디스펜싱 헤드유닛(9)를 타축 방향으로 이동시킴으로써 실런트를 도포할 수도 있다. 이때, 이송부는 모터와 레일 등을 이용하여 스테이지(5) 혹은 디스펜싱 헤드유닛(9)을 이동시킬 수 있다. 물론, 실 디스펜서(10)는 이외의 다양한 이동 수단을 이용할 수도 있다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 디스펜싱 헤드유닛(100)을 예시적으로 보여주는 도면이다.
디스펜싱 헤드유닛(100)은, 노즐(110)을 구비하여 기판(S, 도 1 참조)에 실런트를 제공하는 시린지(120), 시린지(120)를 장착(고정)시킨 몸체부(130), 노즐(110)과 기판(S) 사이의 거리를 검출하는 변위 센서(140), 몸체부(130)를 상하 방향으로 이동시키는 구동부(150), 및, 기판(S)과 노즐(110)간의 간격을 조절하는 갭 제어부(160)를 포함할 수 있다. 도 2에서 갭 제어부(160)는 몸체부(130)의 외부에 부착된 형태이지만, 본 발명의 갭 제어부(160)의 위치가 여기에 제한되지 않는다고 이해되어야 할 것이다.
디스펜싱 헤드유닛(100)은 기판(S)의 상부에서 X축 및/혹은 Y축 방향으로 이동하면서 시린지(120) 내의 실런트를 노즐(110)을 통해 기판(S)에 도포할 수 있다. 이때, 변위 센서(140)는 기판(S)과 노즐(110) 사이의 거리를 측정하고, 측정된 거리에 따라 구동부(150)를 통해 몸체부(320)를 상하로 이동시킴으로써, 기판(S)과 노즐(110) 사이의 거리를 최적으로 유지시킬 수 있다. 이를 통해 디스펜싱 헤드유닛(100)은 기판(S)의 소정 위치에 실 라인을 일정한 선 형태로 형성시킬 수 있다.
변위 센서(140)는 광을 이용한 거리 측정 센서(예를 들어, 레이저 변위 센서)를 사용할 수 있다. 특히, 변위 센서(140)는 소정 길이의 라인 빔(line beam)을 발생 및 수신하고, 이에 대응하는 시간에 따른 거리를 계산하도록 구현 될 수 있다. 즉, 변위 센서(140)는 TOF(time of flight) 센서일 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 변위 센서(140)는 발광부(142) 및 수광부(144)를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 변위 센서(140)는 소정 길이를 갖는 라인 빔을 이용하는 것을 특징으로 한다. 실시 예에 있어서 발광부(142)는 라인 빔을 출력하여 기판(S)에 조사하고, 수광부(144)는 라인 빔이 기판(S)에서 반사된 광을 수신할 수 있다. 수광부(144)는 복수의 수광 소자가 1열로 배치되어 형성된 것일 수 있다. 수광부(144)에 복수의 수광 소자가 구비되는 경우, 갭 제어부(160)는 복수의 수광 소자에서 감지된 신호에 기반하여 각 수광 소자별로 거리 정보를 산출하고, 각 수광 소자별로 산출된 거리 정보 중 유효한 값을 추출하여 기판과의 거리 정보를 결정할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 변위 센서(140)는 기판(S)에 도포 될 혹은 도포된 실 라인에 대해 평행하지 않은 방향으로 라인 빔을 기판(S)에 조사하는 것을 추가적인 특징으로 한다. 더 나아가, 라인 빔은 상기 실 라인에 수직하지 않은 사선 방향일 수 있다. 실 라인이 도 1에서의 X축 방향으로 형성되고 라인 빔도 X축 방향으로 조사되는 경우, 라인 빔이 도포된 실 라인의 바로 위에 조사된다면, 라인 빔이 실 라인에 조사된 것인지 여부를 확인할 수 없다. 또한, 실 라인이 도 1에서의 Y축 방향으로 형성되고 라인 빔도 Y축 방향으로 조사되는 경우, 라인 빔이 도포된 실 라인의 바로 위에 조사된다면 라인 빔이 실 라인에 조사된 것인지 여부를 확인할 수 없다. 그러나, 라인 빔을 사선 방향으로 조사하면, X축 방향 및 Y축 방향의 실 라인에 대해서도 모두 유효한 값을 얻을 수 있는 장점이 있다.
일반적인 실 디스펜서는 스팟 타입(spot type)의 레이저 변위센서를 이용하여 디스펜싱 헤드유닛과 기판 사이의 거리를 측정하고, 디스펜싱 헤드유닛을 Z축 방향으로 구동하여 노즐과 기판 사이의 거리를 조정하면서 실런트(페이스트)를 디스펜싱한다. 하지만, 디스펜싱 헤드유닛이 사전에 도포된 실 라인(seal line)을 타고 넘는 경우, 거리 측정에 문제가 발생될 수 있다. 반면에 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서는 라인 타입(line type)의 레이저(즉, 라인 빔)를 조사함으로써, 디스펜싱 헤드유닛이 사전에 도포된 실 라인을 타고 넘는 경우에도 유효한 데이터를 이용하여 기판(S)과 노즐(100) 사이의 갭 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
한편, 도 2에서는 변위 센서(140)가 하나의 라인 빔을 발생 및 수신하도록 구현되는 것을 예시하였다. 그러나, 본 발명의 실시에 있어서 변위 센서는 복수 개가 구비되는 것도 가능할 수 있다. 예를 들어, 변위 센서는 서로 이격되어 2개 구비될 수 있다. 예를 들어, 하나의 변위 센서는 제 1 방향의 라인 빔을 발생 및 수신하고, 다른 변위 센서는 제 1 방향과 다른 제 2 방향의 라인 빔을 발생 및 수신할 수 있다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서의 도포 방식을 예시적으로 보여주는 도면이다. 도 3을 참조하면, 실 디스펜서(100)는 기판(201)에 도포된 실 라인(202)에 인접하더라도 라인 빔(203)의 유효 데이터를 이용하여 도포할 수 있다.
일반적인 실 디스펜서는 단일 스팟 방식이기 때문에 글래스 엣지(glass edge) 위치, 실 라인(seal line) 인접 부분에 대하여 회피하며 도포할 수 없다. 즉, 스팟 형태의 빔을 이용하는 변위 센서의 경우에는 단일 정보만 취득하므로 측정된 거리가 기판에 대한 것인지, 아니면 실런트가 도포된 부분에 대한 것인지를 구분할 수 없다.
반면에, 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서는 라인 빔(203)의 유효 데이터를 이용함으로써, 글래스 엣지, 근접한 실 라인에 대하여 영향을 받지 않으면서 도포할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 라인 빔의 유효 데이터를 통한 거리 측정 방법을 좀 더 자세하게 설명하기 위한 도면이다. 도 4을 참조하면, 기판(201) 위에 도포된 실 라인(202)에 라인 빔(203)이 조사될 때, 제 1 영역(A)은 유효 데이터로 처리되고, 제 2 영역(B)은 유효하지 않은 데이터로 처리될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서는 레이저 위치 민감성을 최소화 시킬 수 있다. 일반적인 실 디스펜서는 스팟 타입으로 헤드별 스팟 위치 편차가 존재하고, 이에 따른 스팟 간섭을 일으킬 수 있다. 레이저 스팟 위치는 노즐로부터 일정 거리를 설정하여 초기 셋팅이 진행된다. 하지만 헤드 개수가 많을수록 셋팅 시간이 많이 소요되고, 헤드의 노즐 혹은 노즐 홀더 교체 시마다 노즐의 위치가 어느 정도 변화하므로, 스팟과 노즐의 거리를 항상 일정하게 유지될 수가 없다.
반면에 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서는, 라인 빔 타입으로 산란요소를 제외시키고, 유효한 데이터를 취합하여 레이저 위치에 따른 민감도를 최소화 시킬 수 있다. 라인 빔 타입으로 노즐(110, 도 2 참조)을 빔이 지나더라도 간섭 데이터를 제거 후에, 나머지 데이터를 활용하여 갭 정보가 얻어질 수 있다. 따라서, 본 발명의 실 디스펜서는 레이저 위치 편차에 민감하지 않다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서는 외부 간섭 회피에도 유리하다. 일반적인 실 디스펜서는 단일 스팟 방식이기 때문에 레이저 간섭 발생 시 보정 동작을 할 수 없다. 하지만, 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서는 라인 빔 타입으로 산란요소를 제외시키고 유효한 데이터를 취합하여 보정 동작을 유연하게 시킬 수 있다. 실시 예에 있어서, 레이저 평균값을 수신하고, 수신된 평균값이 이전 값과 비교함으로써 보정 유무가 결정될 수 있다. 실시 예에 있어서, 보정 동작은 필터링된 데이터를 활용하여 수행될 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 간섭에 따른 산란 요소를 제외시키고 유효 데이터를 획득하는 과정을 예시적으로 보여주는 도면이다. 도 5를 참조하면, 측정 데이터에서 간섭에 따른 간섭 데이터(C)를 제거하고, 제거된 데이터를 나머지 데이터의 평균으로 값으로 치환함으로써, 유효 데이터가 획득 될 수 있다. 주로 이러한 간섭 데이터는 라인 빔이 노즐(110, 도 2 참조)에 걸렸을 때 발생될 수 있다.
예를 들어, 변위센서(140, 도 2 참조)로부터 수신된 라인 빔 데이터가 1.1, 1.5, 0.6, 0.8, -0.2, 0.5, 8.8, 11.5, 34.9, 18.3, 0.8, 1.1, 0.4라고 가정 하겠다. 여기서 밑줄친 데이터는 간섭에 의해 사용 불가한 데이터로써 내부 필터링을 통해 유효 데이터로 이용되지 않는다.
한편, 내부 필터링은 사전에 결정된 조건에 따라 입력 데이터의 일부 혹은 전체를 제거하는 것이다. 예를 들어, 특정 값 이상 혹은 미만인 입력 데이터는 제거될 수 있다. 이전에 입력된 데이터와 비교함으로써, 입력 데이터가 유효한 지가 판별될 수 있다. 한편, 이러한 내부 필터링은 다양하게 구현가능하다고 이해되어야 할 것이다. 실시 예에 있어서, 변위 센서(140)의 자체에서 필터링 기능을 내재함으로써 출력값을 계산할 때, 자동적으로 평균값 산출에서 제외되고, 유효 데이터 평균값이 출력될 수 있다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 실 디스펜서의 동작 방법을 예시적으로 보여주는 흐름도이다. 도 1 내지 도 6를 참조하면, 본 발명의 실시 예 따른 실 디스펜서의 동작 방법은 다음과 같다.
변위 센서(140)에서 사전에 결정된 실 라인의 방향에 대한 사선 방향으로 라인 빔이 조사될 수 있다(S110). 여기서 사선 방향은 실 라인 방향의 평행하지 않거나, 실 라인 방향의 수직한 방향이 아닐 수 있다.
변위 센서(140)에서 조사된 라인 빔을 수신할 수 있다(S120). 변위 센서(140)는 라인 빔을 조사할 때부터 수신할 때까지의 시간 정보를 이용하여 노즐(110, 도 2 참조)와 기판(S) 사이의 거리를 계산하고, 이에 따른 거리 데이터를 출력할 수 있다. 또한, 변위 센서(140)는 계산된 거리 데이터로부터 내부 필터링을 통하여 유효 데이터를 판별하고, 판별된 유효 데이터를 출력할 수 있다. 또한, 변위 센서(140)는 레이저 간섭시 계산된 거리 데이터를 유효 데이터로 보정할 수 있다. 수신된 라임 빔에 따른 시간 정보를 이용하여 기판(S)과 디스펜싱 헤드유닛(100)의 노즐(110) 사이의 갭 제어가 수행될 수 있다(S130). 갭 제어부(160, 도 2참조)는 변위 센서(140)로부터 출력된 거리 데이터(유효 데이터)를 수신하고, 이에 따라 갭 제어를 수행할 수 있다. 예를 들어, 갭 제어부(160)는 유효 데이터에 근거로 하여 기판(S)과 노즐(110) 사이의 간격이 일정하도록 유지시킬 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정, 변경 및 치환이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예 및 첨부된 도면들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예 및 첨부된 도면에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 실 디스펜서
9, 100: 디스펜싱 헤드유닛
110: 노즐
120: 시린지
130: 몸체부
140: 변위 센서
142: 발광부
144: 수광부
150: 구동부
160: 갭 제어부

Claims (20)

  1. 실 디스펜서의 동작 방법에 있어서:
    변위 센서에서 사전에 결정된 실 라인의 방향에 대한 소정 길이를 갖는 라인 빔을 기판에 조사하는 단계;
    상기 변위 센서에서 상기 라인 빔을 수신하는 단계;
    상기 변위 센서에서 상기 라인 빔의 시간 정보를 이용하여 상기 기판과 상기 노즐 사이의 거리를 계산하는 단계; 및
    갭 제어부에서 상기 수신된 라인 빔에 따른 기판과의 거리 정보에 따라 상기 기판과 디스펜싱 헤드유닛의 노즐 사이의 갭 제어를 수행하는 단계를 포함하는 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 평행하지 않은 방향으로 조사되는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 수직하지 않는 방향으로 조사되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 사선 방향으로 조사되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 변위 센서는 상기 라인 빔을 출력하는 발광부와 상기 기판에서 반사된 상기 라인 빔을 수신하는 수광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 계산된 데이터에서 유효 데이터를 획득하는 단계를 더 포함하고,
    상기 갭 제어부는 상기 유효 데이터를 이용하여 상기 갭 제어를 수행하는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 라인 빔의 유효 데이터를 획득하는 단계는,
    상기 라인 빔에 대응하는 거리 데이터를 수신하는 단계;
    상기 거리 데이터에서 간섭 데이터를 제거하는 단계; 및
    상기 간섭 데이터를 사전에 결정된 값으로 치환하는 단계를 포함하는 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 사전에 결정된 값은 상기 수신된 데이터에서 간섭 데이터를 뺀 데이터의 평균값인 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 거리를 계산하는 단계는,
    레이저 간섭 발생시 필터링된 데이터를 이용하여 보정 동작을 수행하는 단계를 더 포함하는 방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 거리를 계산하는 단계는,
    상기 실 라인을 지날 때, 라인 빔의 유효 데이터를 이용하여 상기 기판과 상기 노즐 사이의 거리를 계산하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 프레임의 상부에 구비되고, 소정 액체가 디스펜싱되는 기판을 로딩하는 스테이지; 상기 스테이지의 상부에 구비되는 헤드 지지대; 및 헤드 지지대에 구비되고 소정 액체를 디스펜싱 하는 적어도 하나의 디스펜싱 헤드유닛을 포함하고,
    상기 적어도 하나의 디스펜싱 헤드유닛은, 상기 기판과의 거리를 측정하는 변위 센서를 포함하고,
    상기 변위 센서는, 사전에 결정된 실 라인의 방향에 대한 소정 길이를 갖는 라인 빔을 기판에 조사하고 상기 라인 빔의 시간 정보를 이용하여 상기 기판과 상기 노즐 사이의 거리를 계산하는 것을 특징으로 하는 실 디스펜서.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 평행하지 않거나 수직하지 않은 방향으로 조사되는 것을 특징으로 하는 실 디스펜서.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 라인 빔은 상기 기판에 형성될 실 라인에 사선 방향으로 조사되는 것을 특징으로 하는 실 디스펜서.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 센서는 수신된 라인 빔의 데이터에서 유효 데이터를 획득하는 것을 특징으로 하는 실 디스펜서.
  16. 제 12 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 디스펜싱 헤드유닛은 상기 실 라인을 지날 때 유효 데이터를 이용하여 상기 기판과 노즐 사이의 간격을 측정하는 갭 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 실 디스펜서.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 센서는 사전에 결정된 조건에 따라 측정된 데이터를 필터링 하는 것을 특징으로 하는 실 디스펜서.
  18. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 센서는,
    제 1 방향의 라인 빔을 발생 및 수신하는 제 1 변위 센서; 및
    상기 제 1 방향과 다른 제 2 방향의 라인 빔을 발생 및 수신하는 제 2 변위 센서를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 방향 중에서 적어도 하나는 상기 실 라인에 대한 사선 방향인 것을 특징으로 하는 실 디스펜서.
  19. 제 12 항에 있어서,
    상기 변위 센서는,
    상기 라인 빔을 발생하는 발광부; 및
    상기 라인 빔을 수신하는 수광부를 포함하는 실 디스펜서.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 수광부는 하나의 열로 구성된 수광 소자 어레이를 포함하는 실 디스펜서.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102635840B1 (ko) 2021-05-14 2024-02-13 에이피시스템 주식회사 디스펜싱 방법 및 디스펜서
CN114473606B (zh) * 2021-12-28 2023-06-27 安徽博美机床股份有限公司 一种机床自动化前送料一体式装置及控制方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008188530A (ja) * 2007-02-05 2008-08-21 Ulvac Japan Ltd 塗布装置
JP2014089086A (ja) 2012-10-30 2014-05-15 Anritsu Sanki System Co Ltd 変位測定装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100919622B1 (ko) * 2007-12-05 2009-09-30 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 디스펜서의 거리 센서
KR100965903B1 (ko) 2008-12-19 2010-06-24 에이피시스템 주식회사 실 디스펜서 장치의 제어 방법
JP2013002819A (ja) * 2011-06-10 2013-01-07 Horiba Ltd 平面度測定装置
KR20170115425A (ko) * 2016-04-07 2017-10-17 크루셜텍 (주) 거리 측정 센서 조립체 및 그를 갖는 전자기기

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008188530A (ja) * 2007-02-05 2008-08-21 Ulvac Japan Ltd 塗布装置
JP2014089086A (ja) 2012-10-30 2014-05-15 Anritsu Sanki System Co Ltd 変位測定装置

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