KR102067962B1 - 편광 렌즈를 구비한 검사 장비 - Google Patents

편광 렌즈를 구비한 검사 장비 Download PDF

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Abstract

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 제 1 편광 축에 대하여 반사 특성을 갖고, 제 2 편광 축에 대하여 투과 특성을 갖는 편광 빔 스플리터와; 상기 편광 빔 스플리터에 빛을 공급하는 광원이 연결되는 입광부와; 상기 광원에서 방출되는 빛의 경로 상에서 상기 빛이 선 편광 상태가 되도록 변환하는 선 편광 필터와; 상기 선 편광 필터의 측면을 감싸는 입광부 필터 링과; 선 편광 상태이고, 상기 편광 빔 스플리터에서 반사되어 상기 제 1 편광 축에서 선 편광 특성을 갖는 빛이 제 1 면으로 입사될 때, 원 편광 상태가 되도록 변환하여 낙사부로 방출하고, 상기 제 1 면을 통과한 원 편광 상태의 빛이 대상물에서 반사되어 상기 낙사부를 통해 제 2 면으로 입사될 때, 이를 상기 제 2 편광 축에 대하여 선 편광 상태를 나타내도록 변환하는 원 편광 필터와; 상기 원 편광 필터의 측면을 감싸는 낙사부 필터 링과; 상기 편광 빔 스플리터에서 투과된 빛을 관측할 수 있는 접안부를 포함하는 편광 렌즈를 제공한다.

Description

편광 렌즈를 구비한 검사 장비{Testing Equipments Using The A Polarizing Lens}
본 발명은 연성회로기판 및 표면 실장 등의 공정 처리 후 제조물 검사시 이를 확대하는 편광 렌즈를 구비한 검사 장비에 관한 것이다.
일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(유기발광다이오드) 및 PDP(플라즈마 디스플레이 패널) 등의 제품 제조시 유리기판과 드라이브 IC 또는 드라이브 IC와 인쇄회로기판(PCB) 등을 연결하도록 생산된 제조품은 사람의 육안으로 정상 및 불량 상태를 구분할 수 없거나 어렵다는 한계가 있다. 이러한 이유 때문에 제조품에 대한 검사를 진행하기 위하여 일반적으로 확대기능을 갖는 동축 조명 렌즈와 카메라를 구비한 검사 장비를 이용하여 제조품의 불량 상태를 확인하게 된다. 이 과정은 일반적으로 빛을 공급받는 동축 조명 렌즈와 카메라를 이용하는 것으로, 공급받은 빛을 반사시켜 제조 물품에 비추고, 이를 카메라로 촬영한 후, 촬영 데이터를 상기 검사 장비에 구비된 디스플레이 장치로 전송하여 육안으로 확인할 수 있도록 하는 것이다. 이와 같이 물체를 확대하는 기능을 구비한 동축 조명 렌즈를 도 1을 들어 상세히 설명한다.
도 1은 동축 조명 렌즈를 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 동축 조명 렌즈(1)는 빛을 받는 입광부(10)와, 입광부(10)에서 전달된 빛을 반사하는 빔 스플리터(14)와, 빔 스플리터(14)에서 반사된 빛이 비춰지는 낙사부(19)와, 낙사부(19)를 통과한 빛에 의해 비춰지는 대상물을 비율별로 확대하기 위한 대물 렌즈(12)와, 대물 렌즈(12)를 통과한 상을 세밀하게 확대할 수 있는 접안 렌즈(15)로 구성되며, 빛, 또는 상을 더욱 확대하기 위해 증폭 렌즈(18)가 구비된다. 이들은 이러한 구조로 형성된 동축 조명 렌즈(1)는 접안 렌즈(15)에 전달되는 조명이 처음 입광부(10)에 전달된 빛의 약 75%가 손실된 것이다. 이러한 손실은 대부분 동축 조명 렌즈(1)의 빔 스플리터(14)에 의해 발생하는 것으로, 이 구조를 도 2를 들어 상세히 설명한다.
도 2는 동축 조명 렌즈를 구비한 종래의 검사 장비를 간략화하여 나타낸 단면도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 종래의 검사 장비는 카메라(20)와 동축 조명 렌즈(1), 그리고 대상물(17)과 이를 운송할 수 있는 수단을 포함하여 구성되고 있다. 이러한 구성을 갖는 종래의 검사 장비는 동축 조명 렌즈(1)에 카메라를 연결하고, 입광부(10)에 광원(5)을 연결하여 빛을 공급한다. 이때, 빛의 강도는 100%로, 광원(5)에 사용되는 소자는 LED(Light Emitting Diode)뿐만 아니라 할로겐 등과 같은 조명도 사용될 수 있다. 상기 입광부(10)를 통과한 빛은 빔 스플리터(14)에 의해 대상물(17) 방향으로 반사가 되는데, 빔 스플리터(14)에서 반사되는 빛은 도 2에 도시된 화살표가 나타내는 바와 같이 반사에 의한 손실이 발생하면서 그 강도의 50%로 감소하게 된다. 여기서, 손실이 발생한 빛에 의해 비춰지는 대상물(17)의 상은 다시 빔 스플리터(14)를 통과하면서 카메라(20)로 향하게 되는데, 빔 스플리터(14)를 통과하는 과정에서 도 2에 도시된 화살표가 나타내는 바와 같이 다시금 빛의 손실이 발생하게 된다. 이때, 빔 스플리터(14)를 통과한 빛은 빔 스플리터(14)에서 반사되어 손실이 발생한 빛에 비해 약 50%의 손실이 발생한 것으로, 광원(5)에서 카메라(20)로 전송되는 동안 빛의 총 손실률이 약 75%가 된다. 이와 같이 손실이 발생한 빛은 카메라(20)로 촬영하여 디스플레이 장치에 전송할 시 화상 데이터에 저장된 조도가 낮기 때문에 이를 식별하기 어려운 문제가 있다. 또한, 이를 보상하기 위한 조도 설정시 광원(5)의 강도를 직접 변경해야 하는 문제가 있어 적합한 조도를 찾는데 어려움이 있다.
이와 같이 종래의 동축 조명 렌즈를 구비한 검사 장비는 입사된 빛의 효율이 매우 떨어져 광원의 조도 설정이 어려우며, 검사 장비에 연결된 디스플레이 장치를 통해 그 형태를 알아보기가 매우 어려운 문제가 있다.
본 발명은 전술한 문제인 빛의 손실이 발생하는 구조를 개선하여 광원에서 입사된 빛에 대해 손실률을 감소하는 구조의 편광 렌즈를 구비한 검사 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 제 1 편광 축에 대하여 반사 특성을 갖고, 제 2 편광 축에 대하여 투과 특성을 갖는 편광 빔 스플리터와; 상기 편광 빔 스플리터에 빛을 공급하는 광원이 연결되는 입광부와; 상기 광원에서 방출되는 빛의 경로 상에서 상기 빛이 선 편광 상태가 되도록 변환하는 선 편광 필터와; 상기 선 편광 필터의 측면을 감싸는 입광부 필터 링과; 선 편광 상태이고, 상기 편광 빔 스플리터에서 반사되어 상기 제 1 편광 축에서 선 편광 특성을 갖는 빛이 제 1 면으로 입사될 때, 원 편광 상태가 되도록 변환하여 낙사부로 방출하고, 상기 제 1 면을 통과한 원 편광 상태의 빛이 대상물에서 반사되어 상기 낙사부를 통해 제 2 면으로 입사될 때, 이를 상기 제 2 편광 축에 대하여 선 편광 상태를 나타내도록 변환하는 원 편광 필터와; 상기 원 편광 필터의 측면을 감싸는 낙사부 필터 링과; 상기 편광 빔 스플리터에서 투과된 빛을 관측할 수 있는 접안부를 포함하는 편광 렌즈를 제공한다.
그리고, 상기 편광 빔 스플리터는 판, 또는 육면체로 형성된 것이 특징이다.
그리고, 상기 접안부, 낙사부 및 입광부는 빛을 굴절, 또는 증폭시키기 위한 광학 렌즈를 더 포함한다.
그리고, 상기 제 1 및 제 2 편광축은 서로 수직하는 것이 특징이다.
한편, 본 발명은, 제 1 편광 축에 대하여 반사 특성을 갖고, 제 2 편광 축에 대하여 투과 특성을 갖는 편광 빔 스플리터와, 상기 편광 빔 스플리터에 빛을 공급하는 광원이 연결되는 입광부와, 상기 광원에서 방출되는 빛의 경로 상에서 상기 빛이 선 편광 상태가 되도록 변환하는 선 편광 필터와, 상기 선 편광 필터의 측면을 감싸는 입광부 필터 링과, 선 편광 상태이고, 상기 편광 빔 스플리터에서 반사되어 상기 제 1 편광 축에서 선 편광 특성을 갖는 빛이 제 1 면으로 입사될 때, 원 편광 상태가 되도록 변환하여 낙사부로 방출하고, 상기 제 1 면을 통과한 원 편광 상태의 빛이 대상물에서 반사되어 상기 낙사부를 통해 제 2 면으로 입사될 때, 이를 상기 제 2 편광 축에 대하여 선 편광 상태를 나타내도록 변환하는 원 편광 필터와, 상기 원 편광 필터의 측면을 감싸는 낙사부 필터 링과, 상기 편광 빔 스플리터에서 투과된 빛을 관측할 수 있는 접안부를 포함하는 편광 렌즈와; 상기 편광 렌즈와 연결되며 전하결합소자를 포함하는 카메라를 제공한다.
그리고, 상기 카메라에서 촬영한 화상을 구현하는 디스플레이 장치를 더 포함한다.
그리고, 상기 제 1 및 제 2 편광축은 서로 수직하는 것이 특징이다.
본 발명에 따른 편광 렌즈를 구비한 검사 장비는 빛의 효율성이 종래 대비 약 두 배가 높아지고, 이를 사용자에 맞게 조절할 수 있는 구조로 형성되는 것으로, 검사시에 보다 밝고 선명한 화면을 제공하는 효과를 갖는다.
도 1은 동축 조명 렌즈를 나타낸 사시도이다.
도 2는 동축 조명 렌즈를 구비한 종래의 검사 장비의 구조를 간략화하여 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 편광 렌즈를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 편광 렌즈를 구비한 검사 장비의 구조를 간략화하여 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 검사 장비의 낙사부 필터 링 회전에 따른 밝기 변화를 나타낸 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 검사 장비의 낙사부 필터 링 회전에 따른 촬영 이미지를 나타낸 사진이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 편광 렌즈를 구비한 검사 장비를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 편광 렌즈를 나타낸 사시도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 편광 렌즈는 광원으로부터 빛을 받는 입광부(110)와, 입사된 빛을 편광 축에 따라 반사시키거나 투과하는 편광 빔 스플리터(114)와, 낙사부(119)에 위치하며, 빛의 편광 특성을 변경하여 대비도를 조절하는 낙사부 필터 링(113)과, 빛에 의해 비춰진 대상물의 상을 비율별로 확대할 수 있는 대물 렌즈(112)와, 대물 렌즈(112)를 통과한 상을 세밀하게 확대할 수 있는 접안 렌즈(115)와, 접안 렌즈(115)가 장착되는 접안부(125)로 구성되며, 빛, 또는 상을 더욱 선명하게 받기 위해 접안부(125)에 증폭 렌즈(118)가 구비된다. 이와 같이 각 입광부(110), 낙사부(119), 및 접안부(125)에 빛을 굴절, 증폭시키는 광학 렌즈를 추가적으로 구비하는 편광 렌즈는 제조품을 검사하는 검사 장비에 적용되어 동축 조명 렌즈를 사용하는 종래의 검사 장치보다 카메라에 전달되는 빛의 강도보다 약 두 배까지 더 높게 나타나는데, 이러한 구조는 이하 도 4를 들어 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 편광 렌즈를 구비한 검사 장비를 간략화하여 나타낸 단면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 편광 렌즈(101)를 구비한 검사 장비는 전하결합소자를 구비한 카메라(120)와, 편광 렌즈(101)와, 검사 대상물을 안착시키는 검사대(미도시)를 포함하여 구성되고 있다. 이때, 상기 검사 장비는 상기 카메라에 촬영된 사진, 또는 영상을 표시할 수 있는 디스플레이 장치(미도시)를 더 포함할 수도 있다. 상기 검사 장비는 카메라(120)와 광원(105)을 편광 렌즈(101)의 입광부(110)에 연결하여 빛을 전달하고, 전달된 빛에 비춰지는 대상물(117)의 상을 받는다. 이때, 광원(105)에서 전달되는 빛의 강도는 100%로, LED(Light Emitting Diode), 또는 할로겐 등과 같은 것을 사용할 수 있으나 본 발명의 실시예에서는 LED를 광원(105)으로 사용한 것을 예로 한다. 상기 광원(105)에서 공급되어 입광부(110)를 통과한 빛은 선 편광 필터(121)에 의해 선 편광 특성이 나타나게 되는데, 이때 빛의 강도는 50% 감소하게 된다. 또한, 선 편광 필터(121)는 입광부 필터 링(111)에 연결된 것으로, 이를 회전할 경우 선 편광 필터(121)가 회전하면서 빛의 편광 방향을 변경하게 된다. 이때, 한쌍의 입광부 필터 링(111)이 선 편광 필터(121)의 양 측면을 감싸며, 한쌍의 입광부 필터 링(111) 중 입광부(110)에 근접한 하나가 입광부(110)에 결합됨으로써 선 편광 필터(121)는 입광부(110)에 체결되고 한쌍의 입광부 필터 링(111) 중 다른 하나는 편광 빔 스플리터(114)를 향하도록 배치되고 있다. 또한, 한쌍의 낙사부 필터 링(113)이 원 편광 필터(122)의 양 측면을 감싸며, 한쌍의 낙사부 필터 링(113) 중 낙사부(119)에 근접한 하나가 낙사부(119)에 결합됨으로써 원 편광 필터(122)는 낙사부(119)에 체결되고 한쌍의 낙사부 필터 링(113) 중 다른 하나는 편광 빔 스플리터(114)를 향하도록 배치되고 있다.
상기 선 편광 필터(121)를 통과한 빛은 편광 빔 스플리터(114)에 의해 대상물(117) 방향으로 반사가 되는데, 편광 빔 스플리터(114)는 선택적 편광 특성을 갖는 판 또는 육면체로써 일 방향의 편광 특성을 갖는 빛만을 반사시키는 것이다. 가령, 서로 수직하는 P 편광축과 S 편광축에 있어서, 편광 빔 스플리터(114)가 P 편광 특성을 갖는 경우, 선 편광 필터(121)에 의해 P 편광 상태의 빛은 반사하고, S 편광 상태의 빛을 투과시킨다. 이는 P 편광 특성만을 나타내는 빛뿐만 아니라 S 편광 특성이 혼합된 빛에 있어서도 동일하게 적용된다. 가령, P 편광 특성과 S 편광 특성이 1:1로 혼합된 빛의 경우, P 편광 특성을 갖는 편광 빔 스플리터(114)는 P 편광 특성을 갖는 빛은 반사하고, S 편광 특성을 갖는 빛은 투과하게 된다. 또한, 편광 빔 스플리터(114)가 S 편광 특성을 갖는 경우에는 각 편광 특성에 따른 반사, 투과가 상기 언급한 것과 반대로 적용된다.
이에 따라 편광 빔 스플리터(114)는 빛을 반사함에 있어서, 편광 빔 스플리터(114)의 편광 특성과 반대되는 편광 상태의 빛에 대하여 손실이 없거나 극히 경미한 손실을 나타내고, 동일한 편광 상태의 빛에 대하여 전반사가 가능하기 때문에 선 편광 필터(121)를 통과한 빛이 편광 빔 스플리터(114)와 동일한 경우, 편광 빔 스플리터(114)는 입사되는 빛을 전반사 시킬 수 있다.
상기한 바와 같이, 편광 빔 스플리터(114)에 의해 반사된 빛은 검사 장비에 적재된 대상물(117) 방향으로 향하게 되고, 이 빛은 원 편광 필터(122)를 통과한다. 여기서, 대상물(117)은 COG(Chip On Glass), COF(Chip On Film), COB(Chip On Board), BOC(Board On Chip) 및 SMT(Surface Mount Technology)와 같은 공정을 거친 것이 될 수 있다. 이에 따라 원 편광 상태가 된 빛은 대상물(117)을 비추게 되고, 이 빛은 다시 낙사부(119)로 이동하여 원 편광 필터(122)를 통과하면서 선 편광 상태가 된다. 이 선 편광 상태의 빛은 입광부(110)에 위치한 선 편광 필터(121)와 λ/2 차이가 나게 되는 것으로, 선 편광 필터(121)를 통과하여 편광 빔 스플리터(114)에서 반사되었을 때의 빛이 P 편광 상태일 경우, 대상물(117)에 반사되어 원 편광 필터(122)를 통과한 빛은 S 편광 상태가 되며, 선 편광 필터(121)를 통과하여 편광 빔 스플리터(114)에서 반사되었을 때의 빛이 S 편광 상태일 경우, 대상물(117)에 반사되어 원 편광 필터(122)를 통과한 빛은 P 편광 상태가 된다. 이러한 현상에 따라 원 편광 필터(122)는 낙사부 필터 링(113)과 연결되어 편광 각도가 달라질 때, 카메라(120)에 비치는 화상의 밝기를 조절할 수 있게 된다.
상기한 바와 같이 원 편광 필터(122)를 통과한 화상은 편광 렌즈의 구조상 편광 빔 스플리터(114)를 통과하게 된다. 이때, 편광 빔 스플리터(114)는 상기한 바와 같이 특정 편광 상태에 대해서만 전반사 특성이 있기 때문에, 선 편광 필터(121)를 통과한 빛과 λ/2 차이가 나는 대상물(117)의 상은 편광 빔 스플리터(114)를 통과하면서 반사 및 투과에 의한 손실 없이 접안부(125)와 연결된 카메라(120)의 전하결합소자(미도시)에 맺히게 된다. 여기서, 전하결합소자(미도시)는 화상을 전기적으로 저장하여 보관, 송출하는 것으로 디지털 카메라에 적용되는 소자이다.
이와 같은 과정을 거칠 경우, 본 발명의 실시예에 따른 편광 렌즈를 구비한 검사 장비에 디스플레이 장치를 구비하여 상기 편광 렌즈와 카메라로부터 화상 데이터를 받아 이를 표시할 때, 종래의 동축 조명 렌즈를 사용한 카메라(도 2의 20)가 전송하는 화상 데이터보다 최대 2배 향상된 조도를 가진 화상 데이터를 읽을 수 있으므로 더욱 선명하게 나타낼 수 있다.
또한, 사용자는 상기 원 편광 필터(122)와 이를 회전시키는 낙사부 필터 링(113)을 회전시켜 빛의 강도 및 화상의 대비율을 조절할 수 있다. 이는 도 5 및 도 6을 들어 상세히 설명한다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 검사 장비의 낙사부 필터 링 회전에 따른 밝기 변화에 대한 그래프이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 낙사부 필터 링의 회전에 따라 촬영 이미지의 밝기가 달라지는데, 각각 0(360)°, 90°, 180°, 270°를 기준으로 밝기 변화가 코사인 곡선과 같이 일정 밝기 범위 내에서 연속하여 반복적으로 나타난다. 이로 인하여 편광 렌즈를 사용하는 검사 장비는 카메라가 촬영한 화상의 조도가 떨어질 경우 낙사부 필터 링, 또는 입광부 필터 링을 회전시켜 빛을 세밀하게 조절할 수 있어 검사 장비에 적합한 조도 설정이 매우 간편하다. 이에 따른 촬영물의 사진 및 상세한 설명은 도 6을 들어 설명한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 검사 장비의 낙사부 필터 링 회전에 따른 촬영 이미지를 나타낸 사진이다.
도 6에 도시된 바와 같이 관측되는 이미지의 밝기가 가장 높게 나타나는 0°에서는 그 밝기가 매우 높아 정상적인 관측에 어려움이 있기 때문에 낙사부 필터 링을 돌려 빛의 강도를 감소시킬 수 있다. 낙사부 필터 링의 회전시, 도면에 도시된 바와 같이 각 각도별 카메라에 전달되는 빛의 강도가 감소하게 되는데, 촬영 영상 이미지의 대비도가 특히 높게 나타나는 37.5 ~ 52.5°, 127.5 ~ 142.5°, 217.5 ~ 232.5°, 307.5 ~ 322.5°의 범위 내에서 사용하는 것이 바람직하다.
따라서, 본 발명에서 제안하는 실시예에 따른 편광 렌즈를 구비한 검사 장비는 검사 도중에도 조도 및 대비도를 조절할 수 있으며, 특히 반사, 투과에 의한 광 손실이 종래에 비해 최대 2배가량 개선되어 더욱 밝고 선명한 영상을 취득할 수 있게 된다.
또한, 상기에는 본 발명의 바람직한 실시예를 상기하였으나, 이에 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 실시할 수 있다.
101 : 편광 렌즈 105 : 광원
110 : 입광부 111 : 입광부 필터 링
112 : 대물 렌즈 113 : 낙사부 필터 링
114 : 편광 빔 스플리터 115 : 접안 렌즈
117 : 대상물 118 : 증폭 렌즈
119 : 낙사부 120 : 카메라
121 : 선 편광 필터 122 : 원 편광 필터
125 : 접안부

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 편광 축에 대하여 반사 특성을 갖고, 제 2 편광 축에 대하여 투과 특성을 갖는 편광 빔 스플리터와, 상기 편광 빔 스플리터에 빛을 공급하는 광원이 연결되는 입광부와, 상기 광원에서 방출되는 빛의 경로 상에서 상기 빛이 선 편광 상태가 되도록 변환하는 선 편광 필터와, 상기 선 편광 필터의 양 측면을 감싸는 한쌍의 입광부 필터 링과, 선 편광 상태이고, 상기 편광 빔 스플리터에서 반사되어 상기 제 1 편광 축에서 선 편광 특성을 갖는 빛이 제 1 면으로 입사될 때, 원 편광 상태가 되도록 변환하여 낙사부로 방출하고, 상기 제 1 면을 통과한 원 편광 상태의 빛이 대상물에서 반사되어 상기 낙사부를 통해 제 2 면으로 입사될 때, 이를 상기 제 2 편광 축에 대하여 선 편광 상태를 나타내도록 변환하는 원 편광 필터와, 상기 원 편광 필터의 양 측면을 감싸는 한쌍의 낙사부 필터 링과, 상기 편광 빔 스플리터에서 투과된 빛을 관측할 수 있는 접안부를 포함하는 편광 렌즈와;
    상기 편광 렌즈와 연결되며 전하결합소자를 포함하는 카메라를 포함하고,
    상기 한쌍의 입광부 필터링 중 상기 입광부에 근접한 하나가 상기 입광부에 결합됨으로써 상기 선 편광 필터는 상기 입광부에 체결되고 상기 한쌍의 입광부 필터링 중 다른 하나는 상기 편광 빔 스플리터를 향하며,
    상기 한쌍의 낙사부 필터링 중 상기 낙사부에 근접한 하나가 상기 낙사부에 결함됨으로써 상기 원 편광 필터는 상기 낙사부에 체결되고 상기 한쌍의 낙사부 필터링 중 다른 하나는 상기 편광 빔 스플리터를 향하는 검사 장비.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 카메라에서 촬영한 화상을 구현하는 디스플레이 장치를 더 포함하는 검사 장비.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 편광축은 서로 수직하는 것이 특징인 검사 장비.
  8. 삭제
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 대상물은 COG(Chip On Glass), COF(Chip On Film), COB(Chip On Board), BOC(Board On Chip) 및 SMT(Surface Mount Technology) 중 하나의 공정이 진행된 것임을 특징으로 하는 검사 장비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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