KR102045644B1 - 고온 소재의 형상 측정 장치 - Google Patents

고온 소재의 형상 측정 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 열간 압연에서 형상 제어의 한계를 해결하기 위한 형상 측정 장치를 제공하기 위하여, 일실시예에서 상부 부재, 하부 부재 및 측면 부재를 포함하여 일 측면이 개방된 U 자형 형상을 가지는 프레임; 상기 프레임의 상부 부재 혹은 하부 부재의 단부에 설치되어 프레임의 개방부 거리를 측정하는 제1 센서부; 및 상기 프레임에 상부 부재 및 하부 부재를 따라서 이동 가능하게 설치되며, 소재로부터 각 부재 사이의 거리를 측정하는 제 2 센서부;를 포함하는 고온의 소재의 형상을 측정하는 형상 측정 장치를 제공한다.

Description

고온 소재의 형상 측정 장치{Geometry measuring device for hot material}
본 발명은 고온 소재의 형상 측정 장치에 대한 것이다.
열간 압연공정에서 마무리 압연은 최종적으로 열연제품의 두께 등의 형상을 결정하게 되며 보통 5~7개의 압연기에서 연속적으로 압연이 실시되어 소재의 두께가 마무리 압연 이전에 비해 1/10 정도로 줄어들게 된다. 압연 시 폭방향 불균일이 발생하면 소재의 형상이 뒤틀려 제품 불량이 발생하게 되고 심할 경우 설비사고가 발생하기 쉽기 때문에 일반적으로 마무리 압연 후단에 두께 프로파일을 측정하는 장치를 설치하여 피드백 제어 및 제품 품질관리를 수행한다.
마무리 압연 후단에서도 소재의 온도가 높기 때문에 두께 프로파일 측정에는 일반적으로 방사선 타입의 측정장치가 사용된다. 그러나 방사선 타입의 두께 프로파일 측정장치는 인체 위해성이 존재하고 소재의 재질에 따라 측정오차가 발생할 수 있으며 소재 두께가 두꺼워질수록 오차가 커지고 전체적인 설비의 가격이 비싼 단점이 있다. 마무리 압연 후단에만 두께 프로파일 측정장치를 운영할 경우 입측에서의 소재 형상이 불량할 경우에는 후단에서의 측정값을 이용한 피드백 제어만으로는 형상 제어에 한계가 존재한다.
한편, 레이저를 활용하여 대상을 파악 혹은 거리를 측정하는 센서가 여러 분야에 적용되고 있으며, 특허문헌 1과 같은 레이저를 활용하여 거리를 측정하는 기술이 알려져 있다.
(특허문헌 1) JP1995-280526 A
본 발명은 위와 같은 열간 압연에서 형상 제어의 한계를 해결하기 위한 형상 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 형상 측정 장치, 열간 압연 설비 및 형상 측정 방법을 제공한다.
본 발명은 일실시예에서 상부 부재, 하부 부재 및 측면 부재를 포함하여 일 측면이 개방된 U 자형 형상을 가지는 프레임; 상기 프레임의 상부 부재 혹은 하부 부재의 단부에 설치되어 프레임의 개방부 거리를 측정하는 제1 센서부; 및 상기 프레임에 상부 부재 및 하부 부재를 따라서 이동 가능하게 설치되며, 소재로부터 각 부재 사이의 거리를 측정하는 제 2 센서부;를 포함하는 고온의 소재의 형상을 측정하는 형상 측정 장치를 제공한다.
본 발명의 일실시예에에서 상기 프레임은 상기 소재에 대하여 진퇴 가능하도록 이동 수단에 연결될 수 있으며, 상기 제 1 센서부 및 제 2 센서부는 레이저 거리계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서 상기 제 1 센서부 및 제 2 센서부 중 적어도 제 2 센서부는 하우징; 상기 하우징에서 소재 측에 배치된 관측창; 및 상기 하우징 내부에서 상기 관측창을 향하여 배치된 레이저 거리계;를 포함하며, 상기 하우징은 냉각 수단에 연결될 수 있다.
본 발명의 일실시예에서 상기 제 1 센서부 및 제 2 센서부 중 적어도 제 2 센서부는 상기 하우징 외부에 상기 하우징을 적어도 일부 포위하는 방열판을 포함할 수 있으며, 상기 방열판은 상기 하우징의 상면을 커버하는 상부면을 포함하며, 상기 상부면은 경사면 혹은 곡면으로 형성될 수 있다.
본 발명의 일실시예서 상기 프레임 내부에는 냉각 유로가 형성될 수 있다.
본 발명은 상술한 고온 소재의 형상 측정 장치, 마무리 압연기, 런 아웃 테이블 및 권취기가 순차적으로 배치되며, 상기 마무리 압연기는 상기 형상 측정 장치의 측정값을 고려하여 제어되는 열간 압연 설비를 제공한다.
한편, 본 발명은 일실시예로 상부 부재, 하부 부재 및 측면 부재를 포함하여 일 측면이 개방된 U 자형 형상을 가지는 프레임; 및 상기 프레임에 설치된 센서를 통하여 고온 소재의 형상을 측정하는 방법으로, 상기 프레임의 형상을 측정하는 프레임 측정 단계; 상기 프레임에서 상기 고온 소재까지의 거리를 측정하는 소재 측정 단계; 및 상기 프레임의 형상 및 상기 프레임에서 고온 소재까지의 거리에 기초하여 상기 고온 소재의 형상 정보를 얻는 정보 획득 단계;를 포함하는 고온 소재의 형상 측정 방법을 제공한다.
일실시예에서 상기 프레임 측정 단계는 상기 프레임 내로 소재가 진입되기 전에 수행될 수 있으며, 상기 소재 측정 단계는 상기 센서가 소재의 폭 방향을 따라서 이동하면서 상기 프레임에서 고온 소재까지의 거리를 측정할 수 있다.
본 발명은 상술한 고온 소재의 형상 측정 방법으로 수행되는 고온 소재 형상 측정 단계; 및 상기 고온 소재의 형상 정보에 기초하여 소재를 압연하는 마무리 압연 단계를 포함할 수 있다.
본 발명은 위와 같은 구성을 통하여 정확한 고온 소재의 형상을 측정할 수 있으며, 이를 통하여 열간 압연에서 형상 제어의 한계를 해결할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 고온 소재의 형상 측정 장치가 적용된 열간 압연 설비의 개략도이다.
도 2 내지 4 는 형상 측정 장치의 일실시예의 개략도로 도 2 는 측정 전 모습이, 도 3 은 프레임 형상을 측정하는 모습이, 도 4 는 강판을 측정하는 모습이 도시된 개략도이다.
도 5 내지 7 은 프레임 형상 측정에 대하여 설명하는 개념도이다.
도 8 은 형상 측정 장치의 일실시예의 개략 단면도이다.
도 9 는 도 8 의 형상 측정 장치의 변형예의 단면도이다.
도 10 은 도 8 의 하우징의 사시도 및 단면도이다.
도 11 은 본 발명의 형상 측정 방법의 순서도이다.
종래 기술과 같이 마무리 압연을 통과한 강판의 정보를 활용한 피드백 제어는 한계가 있기 때문에 마무리 압연으로 진입되기 전의 소재, 강판의 정보가 필요하다. 하지만, 열간 압연 공정은 1000℃ 전후의 고온의 소재를 대상으로 하기 때문에 강판(S)로부터의 열에 의해 형상 측정 장치가 손상되기 쉬우며 소재 형상 불량 시 충돌에 의한 파손등이 발생할 가능성이 높다.
때문에 두께나 두께 프로파일을 측정할 경우에 보통 원거리에서 측정할 수 있는 방사선 타입의 측정장치가 제안된 바 있다. 이러한 방사선 타입의 측정장치는 소재에서 감쇄되는 방사선의 세기를 이용하여 소재의 두께를 측정하기 때문에 원거리에서 환경의 영향을 받지 않고 측정할 수 있는 장점이 있어 열간 압연 공정에서 많이 사용되고 있다. 그러나 방사선 타입의 측정 장치는 인체 유해성이 상존하며 관리가 까다로우며 장치이며 소재의 재질 변화에 따라 감쇄 계수가 달라져서 측정 오차를 발생시킬 뿐만 아니라 측정 대상체의 두께가 두꺼워질수록 측정오차가 커지는 한계가 있다.
본 발명에서는 레이저 거리계를 이용하여 유사한 성능의 두께 및 두께 프로파일 측정장치를 구성한다. 일반적으로 소재와 레이저 거리계 간의 간격이 짧을수록 거리 측정 정확도가 향상되지만 너무 근접하여 설치될 경우 고온 소재의 열로부터 측정장치가 손상되거나 형상불량의 소재와의 충돌에 의해 파손될 가능성이 증가하게 되므로, 본 발명에서는 냉각기능, 회피기능 등을 포함하여 측정장치의 손상을 방지하면서 높은 정확도로 두께 및 두께 프로파일의 측정이 가능하도록 하였다.
이하에서는 본 발명에 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 고온 소재의 형상 측정 장치, 압연 설비 및 형상 측정 방법을 설명하도록 한다.
도 1 에는 본 발명의 고온 소재의 형상 측정 장치가 적용된 열간 압연 설비가 도시되어 있다. 열간 압연공정에서는 온도가 1000℃ 전후의 고온의 강판(S)이 형상 측정 장치(100)를 거친 후 마무리 압연기(10), 런-아웃 테이블(20) 및 권취기(30)를 순차적으로 통과한다. 형상 측정 장치(100)에서 측정된 강판(S)의 형상 정보는 제어부(미도시)로 제공되어, 마무리 압연기(10)를 제어하는 정보로 활용된다.
도 2 내지 도 4 에는 형상 측정 장치(100)의 일실시예의 개략도가 도시되어 있다. 구체적으로, 도 2 에는 형상 측정 장치(100)가 측정 전에 대기하는 모습이, 도 3 에는 형상 측정 장치(100)가 프레임 형상을 측정하는 모습이, 도 4 에는 형상 측정 장치(100)가 강판(S)을 측정하는 모습이 도시되어 있다.
도 2 내지 도 4 에 도시된 본 발명의 일실시예에서 형상 측정 장치(100)는 측정 대상체의 폭방향 두께 프로파일을 구하기 위해서는 상하 배치된 센서부를 폭방향으로 이동시키면서 두께를 연속적으로 측정하도록 구성되어 있다.
구체적으로 형상 측정 장치(100)는 강판(S)이 마무리 압연(10)으로 공급되기 위하여 지지롤(40)에 의해서 이송되는 라인으로 진퇴 가능하도록 상부 부재(110), 하부 부재(130) 및 측면 부재(120)를 포함하여 일 측면이 개방된 U 자형 혹은 'ㄷ'자 형상을 가지는 프레임을 포함한다. 상부 부재(110) 및 하부 부재(130)에는 제 1 센서부(150), 제 2 센서부(160) 및 제 3 센서부(170)를 포함한다. 이 실시예에서 이송 중에도 상하배치된 센서부 사이의 간격이 유지되어야 하므로 제 1 내지 제 3센서부(150, 160, 170)는 일체화된 프레임에 부착된다.
또한, 이송되는 상하 거리계 간의 상대적 위치가 고정되려면 프레임은 최소한 상하가 연결되는 형태인 U 형 혹은 다른 표현으로 ㄷ형 프레임이어야 한다.
본 발명의 형상 측정 장치(100)의 경우에 원거리 측정이긴 하지만, 열간 압연 라인에서 들어가며, 정확한 거리의 측정을 위하여 소재인 강판(S)에 상당히 근접해야 하기 때문에, 프레임 및 제 1 내지 제 3 센서부(150, 160, 170)에 냉각 수단을 구비한다고 하더라도 프레임이 열간 압연 라인 밖에 있을 때와 들어왔을 고온 소재에 의해 지속적인 열을 받기 때문에 온도 상승이 발생하게 되고 이러한 온도상승은 열팽창에 의한 프레임 변형을 발생시켜 두께 측정값에 영향을 줄 수 있다. 따라서, 본 발명은 프레임 변형을 모니터링 할 수 있는 제 1 센서부(150)를 구비한다.
한편, 제 1 내지 제 3 센서부(150, 160, 170) 중 적어도 제 2 센서부(160)는 이동되면서 제 2 센서부로부터 강판(S) 사이의 거리를 측정하는데, 이때 폭방향 이송속도가 충분하지 않다면 폭 방향으로 추가의 센서부를 포함하여 이송범위를 줄이는 방식으로 전체적인 측정속도를 높일 수 있다. 또한, 제 2 센서부(160)가 이동되지 않고 프레임이 전체적으로 이동되는 것도 가능하며, 이 경우에는 제 1 센서부(150)나 제 3 센서부(170)도 함께 강판(S)까지의 거리를 측정하는 것이 가능하다. 즉, 하나의 센서부가 상/하부 부재(110, 130) 사이의 거리와 상부 부재(110) 또는 하부 부재(130)로부터 강판(S) 사이의 거리를 측정하는 것이다.
도 2 내지 4 에서 보이듯이, 형상 측정 장치(100)의 프레임은 하부의 이송축(미도시)과 연결부를 통하여 연결되며, 상부에도 이송축(103)에 연결된다. 형상 측정 장치(100)는 구동부(105)를 포함하여, 프레임이 고정부(101)로부터 강판(S)이 통과하는 위치로 이송축(103)을 따라서 이동될 수 있다. 하부에만 이송축이 설치될 경우에는 무게중심이 불안정하여 이송시 속도에 제한이 발생하며 이송속도가 빨라질 경우 진동이 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해서는 상부에도 이송축(103)을 설치하였다.
형상 측정 장치(100)의 센서부는 개방 단부에 설치된 제 1 센서부(150)와 가장 내측에 배치된 제 3 센서부(170) 및 상기 두 센서부 사이에 배치된 제 2 센서부(160)를 포함하나 필요에 따라서 수는 조정될 수 있다.
도 2 에서는 강판(S)을 측정하기 전에 모습으로 동작하기 전의 모습이 도시되어 있다. 이 상태에서 센서부는 거리를 측정하지 않는다.
도 3 에서는 강판(S)을 측정하기 위하여 프레임이 이동되는 모습이 도시되어 있다. 강판(S)을 측정하기 전에 적어도 제 1 센서부(150)는 프레임 단부의 간격을 측정한다. 이때, 제 1 센서부(150)는 상부/하부 센서(150a, 150b) 사이의 거리를 측정함으로써 단부의 간격을 측정한다. 제 2 센서부(160)나 제 3 센서부(170)도 상/하부 사이의 거리를 측정하는 것도 가능하다.
도 4 에서는 열간 압연 라인으로 들어와 통과하는 제 2 센서부(160)와 강판(S)의 거리를 측정하는 모습이 도시되어 있다. 도 4 에서는 제 2 센서부(160)가 이동하며 강판(S)의 거리를 측정하나, 프레임 전체가 움직이면서 혹은 제 1 내지 제 3 센서부가 동시에 이동하면서 강판(S)까지의 거리를 측정할 수 있다.
도 5 내지 7 에는 본 발명에서 프레임 형상의 측정을 통하여 강판(S)의 두께 측정의 정확도를 높이는 방식의 개념도가 도시되어 있다. 도 5 내지 7 은 도 2 의 형상 측정 장치(100)를 개념적으로 간략하게 도시한 것이다.
도 5 에서 보이는 바와 같이, 거리를 측정하는 제 1 내지 제 3 센서부(150, 160, 170)가 상부 부재(110), 하부 부재(130) 및 측면 부재(120)를 포함하는 U 형 프레임에 설치된다.
제 1 및 제 3 센서부(150, 170)에 의해서 상부 부재(110)와 하부 부재(130) 사이의 거리를 a 라 하고, 제 2 센서부(160)의 상부 센서(160a)에 의해서 측정된 강판(S)까지의 거리를 d1, 제 2 센서부(160)의 하부 센서(160b)에 의해서 측정된 강판(S)까지의 거리를 d2 라고 했을 때, 제 2 센서부(160)가 위치한 위치에서 강판(S)의 두께는 다음의 식 1 을 만족한다.
t = a - (d1+d2) .... 식 1
측정이 진행되면서 도 6 과 같이 고온 소재에 의해 프레임의 변형을 피할 수 없다. 도 6 에서 보이듯이, 개방 단부에 위치한 제 1 센서부(150) 사이의 거리 측정값이 b로 변화되고, 안쪽에 위치한 제 3 센서부(170) 사이의 거리 측정값이 c로 변화되었다고 하고, 중앙에 위치한 제 2 센서부(160)의 상부 센서(160a)에 의해서 측정된 강판(S)까지의 거리를 d3, 제 2 센서부(160)의 하부 센서(160b)에 의해서 측정된 강판(S)까지의 거리를 d4 라고 했을 때, 강판(S)의 두께는 다음의 식 2 를 만족한다.
t = (b+c)/2 - (d3+d4) ... 식 2
도 7 과 같이 제 2 센서부(160)가 강판(S)의 폭 방향으로 이동하여 임의의 위치에 있을 때에 강판(S)의 두께는 다음의 식 3 을 만족한다.
t = ((L2×b+L1×c)/(L1+L2))-(d5+d6) ... 식 3
여기서 L1은 제 1 센서부(150)와 제 2 센서부(160) 사이의 거리를 의미하며, L2는 제 2 센서부(160)와 제 3 센서부(170) 사이의 거리를 의미하고, d5는 임의 위치에서 제 2 센서부(160)의 상부 센서(160a)에 의해서 측정된 강판(S)까지의 거리를 의미하고, d4는 임의 위치에서 제 2 센서부(160)의 하부 센서(160b)에 의해서 측정된 강판(S)까지의 거리를 의미한다.
따라서, 본 발명은 프레임의 폭방향 끝지점에 보정용 거리 센서인 제 1 센서부(150)를 설치함으로써 열이나 진동 등에 의한 프레임 변형을 보정하는 것이 가능하다.
한편, 본 발명에서 위와 같이 프레임 단부의 거리 측정으로 두께의 보정이 가능하다고 하더라도, 레이저 센서를 포함하는 센서부의 냉각이 필요하다.
도 8 에는 프레임의 상부 부재(110)와 하부 부재(130)의 단면도가 도시되어 있다. 상부 부재(110)에는 상부 센서(160a)가 연결되어 있으며, 하부 부재(130)에는 하부 센서(160b)가 연결되어 있다. 이때 상부 부재(110)와 하부 부재(130)는 프레임 내부를 물이 순환하는 냉각 방식으로 냉각되나, 이에 제한되지 않고 다른 냉각 방식이 적용될 수도 있다.
도 8 에서 보이듯이, 제 2 센서부(160)와 상/하부 부재(110, 130)는 레이저가 통과하는 영역을 제외하고는 방열판(180)에 의해서 둘러싸인다. 특히, 방열판(180)의 상면(181)으로 강판(S)에서 조사되는 복사열을 차단하도록 구성된다.
도 9 에는 방열판(180)의 변형례가 도시되어 있다. 열연 소재는 하부로 스케일이 떨어질 수 있으므로, 방열판(180)의 상면(181)은 도 9(a)와 같이, 일 방향으로 경사지게 구성되거나, 도 9(b)와 같이 양측으로 각각 경사지게 구성될 수도 있으며, 도 9(c)와 같이 경사면이 아닌 곡면으로 구성될 수도 있다.
한편, 제 2 센서부(160) 역시 냉각이 필요하여, 제 2 센서부(160)의 하부 센서(160b)의 모습이 도 10 에 도시되어 있다. 도 10(a)에는 하부 센서(160b)의 사시도가 개략적으로 도시되어 있으며, 도 10(b)에는 하부 센서(160b)의 단면도가 도시되어 있다.
도 10 에서 보이듯이, 하부 센서(160b)는 레이저 측정계(165)와 상기 레이저 측정계(165)가 내부에 위치하는 하우징(161)을 포함하며, 하우징(161)은 냉각수 유입구(166) 및 유출구(167)를 포함하여, 하우징(161) 내부로 냉각수가 유동될 수 있도록 구성된다. 레이저 측정계(165)가 차지하는 공간 외에는 대부분을 냉각수가 유동될 수 있도록 구성된다. 한편, 레이저 측정계(165)의 상면에는 관측창(162)이 구비되어 레이져가 통과할 수 있도록 구성된다.
도 11 에는 본 발명의 형상 측정 방법의 일실시예가 도시되어 있다.
도 11 에서 보이듯이, 본 발명의 형상 측정 방법은 프레임 측정 단계(S110), 소재 측정 단계(S120), 두께 프로파일 산출 단계(S130), 보정 단계(S140)를 포함한다.
프레임 측정 단계(S110)는 기준값(도 5 의 a에 대응)에 현재의 프레임 형상이 일치하는 지를 측정하는 단계이며, 소재 측정 단계(S120)는 센서부를 통하여 소재와 센서부 사이의 거리를 측정하는 단계이다. 소재 측정 단계(S120)는 센서부가 강판(S)의 폭방향을 따라서 이동하면서 얻어질 수 있다. 이렇게 측정된 거리는 두께 프로파일 산출 단계(S130)에서 두께 정보로 변환된다.
한편, 보정 단계(S140)는 상기 프레임 측정 단계(S110)에서 얻어진 정보, 즉 프레임의 변형 여부에 따라서, 상기 두께 프로파일 산출 단계(S130)에서 얻어진 프로파일을 조절하는 단계이다.
본 발명의 형상 측정 방법은 단순히 열연 소재를 레이저 거리계를 통하여 두께 프로파일을 얻는데 그치지 않고, 열연 소재의 열로 인하여 거리값이 변화될 수 있는 부분을 보정할 수 있다. 따라서 열연 소재의 정확한 두께 프로파일을 제공할 수 있다. 한편, 보정 단계(S140)가 완료된 후 소재의 진출 여부(S150)에 따라서 위의 단계들이 반복되거나, 측정이 완료될 수 있다(S160).
이상에서는 본 발명의 일실시예를 중심으로 본 발명에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않고 변형되어 실시될 수 있다.
10: 마무리 압연기 20: 런 아웃 테이블
30: 권취기 100: 형상 측정 장치
110: 상부 부재 120; 측면 부재
130: 하부 부재 150: 제 1 센서부
160: 제 2 센서부 170: 제 3 센서부
180: 방열판

Claims (13)

  1. 상부 부재, 하부 부재 및 측면 부재를 포함하여 일 측면이 개방된 U 자형 형상을 가지는 프레임;
    상기 프레임의 상부 부재 혹은 하부 부재의 단부에 설치되어 프레임의 개방부 거리를 측정하는 제1 센서부; 및
    상기 프레임에 상부 부재 및 하부 부재를 따라서 이동 가능하게 설치되며, 소재로부터 각 부재 사이의 거리를 측정하는 제 2 센서부;를 포함하며,
    상기 제 1 센서부 및 제 2 센서부는 레이저 거리계를 포함하고,
    상기 제 1 센서부를 통하여 측정된 프레임의 개방부 거리와 상기 제 2 센서부를 통하여 얻어진 프레임과 소재 사이의 거리에 기초하여 소재의 두께를 획득하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 소재에 대하여 진퇴 가능하도록 상기 프레임은 이동 수단에 연결되는 것을 특징으로 하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부 및 제 2 센서부는 동일한 구성인 것을 특징으로 하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부 및 제 2 센서부 중 적어도 제 2 센서부는
    하우징; 상기 하우징에서 소재 측에 배치된 관측창; 및 상기 하우징 내부에서 상기 관측창을 향하여 배치된 레이저 거리계;를 포함하며, 상기 하우징은 냉각 수단에 연결되는 것을 특징으로 하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 센서부 및 제 2 센서부 중 적어도 제 2 센서부는
    상기 하우징 외부에 상기 하우징을 적어도 일부 포위하는 방열판을 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 방열판은 상기 하우징의 상면을 커버하는 상부면을 포함하며,
    상기 상부면은 경사면 혹은 곡면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임 내부에는 냉각 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 상부 부재는 이동 방향으로 연장된 이송축에 연결되는 것을 특징으로 하는 고온 소재의 형상 측정 장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
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