KR101993862B1 - 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법과 이를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치 - Google Patents

맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법과 이를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치 Download PDF

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박태성
김형서
김희동
황광원
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한국전력공사
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    • G01R31/1209—Testing dielectric strength or breakdown voltage ; Testing or monitoring effectiveness or level of insulation, e.g. of a cable or of an apparatus, for example using partial discharge measurements; Electrostatic testing using acoustic measurements

Abstract

본 발명은 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법과 이를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법은, 전력설비에서 발생하는 제1 초음파, 상기 전력설비로 방사되는 제3 초음파, 상기 제1 초음파와 상기 제3 초음파의 중첩으로 생성되는 맥놀이 초음파인 제2 초음파를 이용한 광대역 초음파 검사 방법에 있어서, 상기 제3 초음파의 중심주파수를 스윕(sweep)하는 단계; 상기 제3 초음파의 중심주파수를 스윕함에 따라 상기 제2 초음파의 중심주파수를 검출하는 단계; 및 상기 제2 초음파의 중심주파수를 검출함에 따라 상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인하는 단계;를 포함한다.

Description

맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법과 이를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치{BROADBAND ULTRASONIC INSPETION METHOD USING BEAT PHENOMENON AND ELECTRIC FACILITIES ULTRASONIC INSPECTION DEVICE USING THE SAME}
본 발명은 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법과 이를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전력설비로 방사하는 초음파의 중심주파수를 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)함으로써 전력설비에 의해 발생된 초음파의 중심주파수 대역을 광대역에서 검출하기 위한, 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법과 이를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치에 관한 것이다.
전력설비는 전력공급에 고도의 신뢰성을 유지해야 하기 때문에 전력계통의 운전중 설비사고를 예방하기 위해 엄청난 비용을 투자하여 설비의 안정적인 운영을 위하여 부단히 노력하고 있다. 특히, 대전류/고전압 송배전 설비는 각종 감시장치를 이용하여 설비의 건전성이 항시 감시됨으로써 대규모 정전사고 방지를 위해 이상 기자재가 유지 보수되고 있다.
최근에는 초음파 검사 장치를 이용한 송배전 선로 검사로 전력설비의 건전성을 감시하고 있다.
이러한 송배전 선로 검사는 특정 주파수(약 40㎑)의 검출 신호만을 분석한다. 이러한 방식은 특정 주파수보다 높거나 낮은 주파수 성분이 나오는 이상 기자재의 초음파 신호를 검출하기 어렵기 때문에, 특정 주파수를 중심 주파수로 하는 근접 주파수 성분을 가진 이상 기자재의 초음파 신호만을 검출 신호로 이용하고 있는 실정이다.
그런데, 최근에 신규 선로 증설 또는 설비 교체를 위해 사용되고 있는 폴리머 재질의 기자재(예, 애자)는, 이상 발생시 초음파 신호의 주파수 성분이 현저히 낮은 영역에서 발생된다. 즉, 현재 송배전 선로 검사에 활용되고 있는 대부분의 초음파 검사 장치는, 폴리머 재질의 기자재에서 발생되는 초음파 신호를 애초부터 검출이 불가능하다.
더욱이, 여러 종류의 기자재는 크기와 모양 구조가 달라 고유의 진동수가 전부 다르기 때문에, 이상 발생에 의해 발생하는 초음파 신호도 특정 주파수의 주파수 성분을 동일하게 가질 수 없다.
그리고, 기존의 송배전 선로 검사는 초음파 신호의 검출 시간대를 다르게 할 필요가 있었다. 이는 기자재 자체의 온도 변화에 따라 기자재에서 발생하는 초음파의 주파수가 변하기 때문이다.
따라서, 기존의 송배전 선로 검사는 특정 주파수의 검출 신호만을 검출하는 방식이므로, 기자재의 이상 발생을 검출하기 위한 진단 영역이 한정되어 있기 때문에, 넓은 진단 영역을 제공할 수 있는 방안이 마련될 필요가 있다.
한국 등록특허공보 제10-1599285호 (2016.02.25 등록)
본 발명의 목적은 전력설비로 방사하는 초음파의 중심주파수를 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)함으로써 전력설비에 의해 발생된 초음파의 중심주파수 대역을 광대역에서 검출하기 위한, 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법과 이를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 실시예에 따른 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법은, 전력설비에서 발생하는 제1 초음파, 상기 전력설비로 방사되는 제3 초음파, 상기 제1 초음파와 상기 제3 초음파의 중첩으로 생성되는 맥놀이 초음파인 제2 초음파를 이용한 광대역 초음파 검사 방법에 있어서, 상기 제2 초음파의 중심주파수를 검출하도록, 상기 제3 초음파의 중심주파수를 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)하여 주파수를 조정하는 단계; 및 상기 제2 초음파의 중심주파수가 검출됨에 따라 상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인하는 단계;를 포함하되, 상기 제2 초음파의 중심주파수는, 피에조 마이크로폰에 의해 검출되는 주파수로서 미리 설정되어 있고, 상기 제1 초음파의 중심주파수는, 상기 제2 초음파의 중심주파수와 상기 제3 초음파의 중심주파수의 합 또는 차로 결정되는 것일 수 있다.
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실시예에 따르면, 상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인함에 따라 상기 전력설비의 이상을 진단하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 전력설비에서 발생하는 제1 초음파, 상기 전력설비로 방사되는 제3 초음파, 상기 제1 초음파와 상기 제3 초음파의 중첩으로 생성되는 맥놀이 초음파인 제2 초음파를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치로서, 적어도 하나 이상의 프로세서; 및 컴퓨터 판독 가능한 명령들을 저장하기 위한 메모리;를 포함하며, 상기 명령들은, 상기 적어도 하나의 프로세서에 의해 실행될 때, 상기 전력설비 초음파 검사 장치로 하여금, 상기 제2 초음파의 중심주파수를 검출하도록, 상기 제3 초음파의 중심주파수를 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)하여 주파수를 조정하게 하고, 상기 제2 초음파의 중심주파수가 검출됨에 따라 상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인하게 하며, 상기 제2 초음파의 중심주파수는, 피에조 마이크로폰에 의해 검출되는 주파수로서 미리 설정되어 있고, 상기 제1 초음파의 중심주파수는, 상기 제2 초음파의 중심주파수와 상기 제3 초음파의 중심주파수의 합 또는 차로 결정되는 것일 수 있다.
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본 발명은 전력설비로 방사하는 초음파의 중심주파수를 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)함으로써 전력설비에 의해 발생된 초음파의 중심주파수 대역을 광대역에서 검출할 수 있다.
또한, 본 발명은 전력설비에서 발생하는 초음파를 검출할 때, 40㎑ 부근에 국한된 초음파 진단 방식 보다 넓은 광대역에서 초음파를 검출할 수 있다.
도 1은 고전압 전력설비의 초음파 진단 원리를 설명하는 도면,
도 2는 상기 도 1의 초음파신호에 대한 맥놀이현상을 설명하는 도면,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법에 대한 도면이다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 다만, 하기의 설명 및 첨부된 도면에서 본 발명의 요지를 흐릴 수 있는 공지 기능 또는 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 또한, 도면 전체에 걸쳐 동일한 구성 요소들은 가능한 한 동일한 도면 부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다.
이하에서 설명되는 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위한 용어로 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 본 발명은 첨부한 도면에 그려진 상대적인 크기나 간격에 의해 제한되어지지 않는다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다. 또한, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서에서 사용되는 "부"라는 용어는 소프트웨어, FPGA 또는 ASIC과 같은 하드웨어 구성요소를 의미하며, "부"는 어떤 역할들을 수행한다. 그렇지만 "부"는 소프트웨어 또는 하드웨어에 한정되는 의미는 아니다. "부"는 어드레싱할 수 있는 저장 매체에 있도록 구성될 수도 있고 하나 또는 그 이상의 프로세서들을 재생시키도록 구성될 수도 있다. 따라서, 일 예로서 "부"는 소프트웨어 구성요소들, 객체지향 소프트웨어 구성요소들, 클래스 구성요소들 및 태스크 구성요소들과 같은 구성요소들과, 프로세스들, 함수들, 속성들, 프로시저들, 서브루틴들, 프로그램 코드의 세그먼트들, 드라이버들, 펌웨어, 마이크로 코드, 회로, 데이터, 데이터베이스, 데이터 구조들, 테이블들, 어레이들 및 변수들을 포함한다. 구성요소들과 "부"들 안에서 제공되는 기능은 더 작은 수의 구성요소들 및 "부"들로 결합되거나 추가적인 구성요소들과 "부"들로 더 분리될 수 있다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 고전압 전력설비의 초음파 진단 원리를 설명하는 도면이고, 도 2는 상기 도 1의 초음파신호에 대한 맥놀이현상을 설명하는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전력설비 초음파 검사 장치는 두 개의 초음파신호가 합쳐질 경우 발생되는 맥놀이현상을 이용하여 고전압 전력설비에 대한 광대역 초음파 진단 기능을 제공한다. 이때, 전력설비 초음파 검사 장치는 초음파신호를 검출하기 위해 피에조(Piezo) 마이크로폰을 이용한다.
또한, 전력설비 초음파 검사 장치는 본 발명의 실시예에 따른 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법을 수행하기 위해, 적어도 하나 이상의 프로세서와 컴퓨터 판독 가능한 명령들을 저장하기 위한 메모리를 포함한다. 즉, 전력설비 초음파 검사 장치는 적어도 하나의 프로세서에 의해 컴퓨터 판독 가능한 명령들이 실행될 때, 본 발명의 실시예에 따른 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법을 수행한다.
여기서는 설명의 편의상 '전력설비에서 발생하는 초음파'를 이하 '제1 초음파(S1)'라 하고, 검사대상인 전력설비로 방사되는 초음파'를 이하 '제3 초음파(S3)'라 하며, '서로 주파수가 다른 제1 초음파(S1)와 제2 초음파(S2)의 중첩으로 생성되는 맥놀이 초음파'를 이하 '제2 초음파(S2)'라 한다. 제2 초음파(S2)의 중심주파수는 피에조 마이크로폰에 의해 검출되는 주파수(즉, 10㎑)이다.
그리고, 제1 초음파(S1)가 sin(ω1t)이고, 제3 초음파(S3)가 sin(ω3t)일 때, 제2 초음파(S2)가 x(t)이면, 아래 수학식 1과 같이 나타낼 수 있다. 여기서, ω1＝2πf1이고, ω3＝2πf3이다. f1은 제1 초음파(S1)의 주파수이고, f3은 제3 초음파(S3)의 주파수이다.
Figure 112018110611553-pat00001
상기 수학식 1의 주기를 주파수로 환산하면, 맥놀이 초음파인 제2 초음파(S2)는 사인 및 코사인의 곱으로 되고, 제2 초음파(S2)의 음고(피치)는 (f1+f3)/2이다.
맥놀이는 코사인의 반파장마다 생기며(즉, 한 파장에 두번), 맥놀이 주파수는 코사인 주파수 (f1-f3)/2의 2배인 f1-f3가 된다.
이와 같이, 맥놀이 피치는 제1 초음파(S1)과 제3 주파수(S3)의 평균값이고, 강약을 반복하는 맥놀이 주파수는 제1 초음파(S1)과 제3 주파수(S3)의 차이가 된다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 예를 들어, 전력설비가 어떤 이상에 의해 제1 초음파(S1)의 중심주파수가 50㎑이고, 피에조 마이크로폰에 의해 검출되는 제2 초음파(S2)의 중심주파수가 10㎑라면, 제3 초음파(S3)의 중심주파수를 40㎑로 전력설비로 방사하는 경우에는, 전력설비에 의해 발생된 제1 초음파(S1)를 분석할 수 있게 된다.
이와 같이, 전력설비 초음파 검사 장치는 맥놀이현상을 이용하여 전력설비로 방사하는 제3 초음파(S3)의 주파수를 조정하여 전력설비에 의해 발생된 넓은 대역의 제1 초음파(S1)를 검사할 수 있게 된다.
즉, 전력설비 초음파 검사 장치는 피에조 마이크로폰에 의해 검출되는 제2 초음파(S2)의 중심주파수를 10㎑로 기 설정한 상태에서, 전력설비로 방사하는 제3 초음파(S3)의 중심주파수 대역을 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)하여 전력설비에 의해 발생된 제1 초음파(S1)의 중심주파수 대역을 광대역에서 검출할 수 있게 된다.
다시 말해, 제1 초음파(S1)의 중심주파수는 제2 초음파(S2)의 중심주파수와 제3 초음파(S3)의 중심주파수의 합(S2+S3) 또는 차(S2-S3)로 결정되게 된다.
한편, 전력설비 초음파 검사 장치는 제3 초음파(S3)의 중심주파수 대역을 업-스윕 또는 다운-스윕하기 위해, 낮은 주파수에서 높은 주파수 또는 그 반대로 변환하기 위해 D/A 컨버터(Digital/Analog Converter)를 구비한다. 이때, 전력설비 초음파 검사 장치는 D/A 컨버터를 통해 변환된 제3 초음파(S3)를 전력설비로 방사하기 앞서 증폭기를 통해 증폭시켜 출력한다.
그리고, 전력설비 초음파 검사 장치는 맥놀이 초음파인 제2 초음파(S2)의 파형과 세기를 변환하기 위해 A/D 컨버터(Analog/Digital Converter)를 구비한다. 이때, 전력설비 초음파 검사 장치는 맥놀이 초음파인 제2 초음파(S2)가 피에조 마이크로폰에 의해 검출되면, 저주파증폭기를 통해 저주파신호를 충분히 필터를 통해 S/N비를 향상시킨 후 A/D 컨버터에서 분석 가능한 레벨로 저주파증폭시킨다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법에 대한 도면이다.
먼저, 전력설비 초음파 검사 장치는 전력설비로 방사하는 제3 초음파(S3)의 중심주파수를 업-스윕 또는 다운-스윕을 수행한다(S101).
이때, 전력설비 초음파 검사 장치는 맥놀이 주파수인 제2 초음파(S2)가 검출되는지를 확인한다(S102). 여기서, 맥놀이 주파수인 제2 초음파(S2)의 중심주파수는 피에조 마이크로폰을 통해 검출되는 주파수이다.
그런 다음, 전력설비 초음파 검사 장치는 제2 초음파(S2)가 검출되면(S102), 제3 초음파(S3)와 제2 초음파(S2)를 이용하여 전력설비에 의해 발생되는 제1 초음파(S1)를 확인한다(S103). 이때, 제1 초음파(S1)의 중심주파수는 제2 초음파(S2)의 중심주파수와 제3 초음파(S3)의 중심주파수의 합(S2+S3) 또는 차(S2-S3)로 결정되게 된다.
이후, 전력설비 초음파 검사 장치는 제1 초음파(S1)를 이용하여 해당 전력설비의 이상을 진단하게 된다(S104).
예를 들어, 전력설비 초음파 검사 장치는 제1 초음파(S1)의 중심주파수가 40㎑를 중심으로 ±2㎑의 특정된 주파수의 유무와 세기를 확인하여 전력설비의 이상을 진단할 수 있다.
그런데, 전력설비 초음파 검사 장치는 전력설비에 의해 발생되는 특정주파수에 대해서만 검출이 가능한 것이 아니라, 광대역에서 초음파를 검출할 수 있다.
일부 실시 예에 의한 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 본 발명을 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 당업자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CDROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다.
비록 상기 설명이 다양한 실시예들에 적용되는 본 발명의 신규한 특징들에 초점을 맞추어 설명되었지만, 본 기술 분야에 숙달된 기술을 가진 사람은 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서도 상기 설명된 장치 및 방법의 형태 및 세부 사항에서 다양한 삭제, 대체, 및 변경이 가능함을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 범위는 상기 설명에서보다는 첨부된 특허청구범위에 의해 정의된다. 특허청구범위의 균등 범위 안의 모든 변형은 본 발명의 범위에 포섭된다.
S1 ; 제1 초음파
S2 ; 제2 초음파
S3 ; 제3 초음파

Claims (10)

  1. 전력설비에서 발생하는 제1 초음파, 상기 전력설비로 방사되는 제3 초음파, 상기 제1 초음파와 상기 제3 초음파의 중첩으로 생성되는 맥놀이 초음파인 제2 초음파를 이용한 광대역 초음파 검사 방법에 있어서,
    상기 제2 초음파의 중심주파수를 검출하도록, 상기 제3 초음파의 중심주파수를 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)하여 주파수를 조정하는 단계; 및
    상기 제2 초음파의 중심주파수가 검출됨에 따라 상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인하는 단계;를 포함하되,
    상기 제2 초음파의 중심주파수는, 피에조 마이크로폰에 의해 검출되는 주파수로서 미리 설정되어 있고,
    상기 제1 초음파의 중심주파수는, 상기 제2 초음파의 중심주파수와 상기 제3 초음파의 중심주파수의 합 또는 차로 결정되는 것인 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인함에 따라 상기 전력설비의 이상을 진단하는 단계;
    를 더 포함하는 맥놀이 현상을 이용한 광대역 초음파 검사 방법.
  6. 전력설비에서 발생하는 제1 초음파, 상기 전력설비로 방사되는 제3 초음파, 상기 제1 초음파와 상기 제3 초음파의 중첩으로 생성되는 맥놀이 초음파인 제2 초음파를 이용한 전력설비 초음파 검사 장치로서,
    적어도 하나 이상의 프로세서; 및
    컴퓨터 판독 가능한 명령들을 저장하기 위한 메모리;를 포함하며,
    상기 명령들은, 상기 적어도 하나의 프로세서에 의해 실행될 때, 상기 전력설비 초음파 검사 장치로 하여금,
    상기 제2 초음파의 중심주파수를 검출하도록, 상기 제3 초음파의 중심주파수를 업-스윕(up-sweep) 또는 다운-스윕(down-sweep)하여 주파수를 조정하게 하고,
    상기 제2 초음파의 중심주파수가 검출됨에 따라 상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인하게 하며,
    상기 제2 초음파의 중심주파수는, 피에조 마이크로폰에 의해 검출되는 주파수로서 미리 설정되어 있고,
    상기 제1 초음파의 중심주파수는, 상기 제2 초음파의 중심주파수와 상기 제3 초음파의 중심주파수의 합 또는 차로 결정되는 것인 전력설비 초음파 검사 장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 명령들은, 상기 적어도 하나의 프로세서에 의해 실행될 때, 상기 전력설비 초음파 검사 장치로 하여금,
    상기 제1 초음파의 중심주파수를 확인함에 따라 상기 전력설비의 이상을 진단하는 것인 전력설비 초음파 검사 장치.
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