KR101991405B1 - 빔 형상기, 이를 구비하는 레이저 어닐링 시스템 및 이 시스템을 이용하여 반사형 포토 마스크를 제작하는 방법 - Google Patents

빔 형상기, 이를 구비하는 레이저 어닐링 시스템 및 이 시스템을 이용하여 반사형 포토 마스크를 제작하는 방법 Download PDF

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Abstract

빔 형상기, 이를 구비하는 레이저 어닐링 시스템 및 이 시스템을 이용하여 반사형 포토 마스크를 제작하는 방법이 제공된다. 레이저 어닐링 시스템은 레이저 빔을 생성하는 광원, 목적물을 로딩할 수 있도록 구성된 스테이지, 및 스테이지로 향하는 레이저 빔의 진행 경로 상에 배치되는 빔 형상 장치를 포함할 수 있다. 빔 형상 장치는 그것으로 입사되는 입사 빔을, 실질적으로 오목한 세기 분포를 가지면서 그것으로부터 방출되는, 방출 빔으로 변환시키는 빔 세기 형상기를 포함할 수 있다.

Description

빔 형상기, 이를 구비하는 레이저 어닐링 시스템 및 이 시스템을 이용하여 반사형 포토 마스크를 제작하는 방법{Beam shaper, a laser annealing system with the same, and method of fabricating a reflective photomask using this system}
본 발명은 레이저 빔의 세기 분포를 조절하도록 구성된 광학 부품 및 그 응용에 관한 것이다.
소비자가 요구하는 우수한 성능 및 저렴한 가격을 충족시키기 위해, 반도체 기판 상에 형성되는 패턴들의 크기를 더욱 작게 형성하는 것이 요구되고 있다. 이러한 기술적 요구를 충족시키기 위해, 리소그래피 공정에서 사용되는 광원의 파장이 점점 더 짧아지고 있다. 예를 들면, 리소그래피 공정은 과거 g-line(436nm) 및 i-line(365nm)을 넘어 현재 ArF 레이저를 포함하는 심자외선(deep ultraviolet) 대역의 광을 이용하고 있으며, 향후에는, 극자외선(extreme ultraviolet; EUV) 대역의 빛이 차세대 리소그래피 공정에 이용될 것으로 기대되고 있다.
극자외선 대역의 빛은 대부분의 굴절 광학 매질들(refractive optical materials)에서 흡수되기 때문에, 극자외선 리소그래피는 일반적으로 굴절 광학계가 아니라 반사 광학계(reflective optical system)를 이용한다. 즉, 극자외선 리소그래피에서는, 웨이퍼로의 전사될 회로 패턴들이 반사면에 형성되는 반사형 포토마스크가 요구되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 일 기술적 과제는 열적 효과에서의 균일성을 향상시킬 수 있는 레이저 어닐링 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 열적 효과에서의 균일성을 향상시킬 수 있는 빔 세기 분포를 구현하는 빔 형상기를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 향상된 열적 균일성을 구현할 수 있는 레이저 어닐링 단계를 포함하는 반사형 포토마스크의 제작 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 레이저 어닐링 시스템은 레이저 빔을 생성하는 광원, 목적물을 로딩할 수 있도록 구성된 스테이지, 및 상기 스테이지로 향하는 상기 레이저 빔의 진행 경로 상에 배치되는 빔 형상 장치를 포함할 수 있다. 상기 빔 형상 장치는 그것으로 입사되는 입사 빔을, 실질적으로 오목한 세기 분포를 가지면서 그것으로부터 방출되는, 방출 빔으로 변환시키는 빔 세기 형상기를 포함할 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 빔 세기 형상기는 회절 광학 요소(diffractive optical element: DOE), 공간 광변조기 (Spatial Light Modulator: SLM), 디지털 반사 소자(digital mirror device), 또는 렌즈 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 방출 빔은 그것의 중심에서 제 1 세기를 갖고, 상기 광원 및 상기 빔 세기 형상기는 상기 방출 빔의 상기 제 1 세기가 적어도 0.5kW/cm2 내지 10kW/cm2의 파워 밀도를 구현하도록 구성될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 방출 빔은 그것의 가장자리에서 제 2 세기를 갖고, 상기 빔 세기 형상기는 상기 방출 빔의 상기 제 2 세기가 상기 방출 빔의 상기 제 1 세기의 대략 1.3배 내지 대략 15배를 갖도록 구성될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 목적물은 반사형 포토마스크일 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 방출 빔은 그것의 중심으로부터의 거리에 따라 진동하는 세기 프로파일(oscillating intensity profile)을 나타낼 수 있다. 이때, 상기 방출 빔의 단조적으로 보간된 세기 곡선(intensity curve interpolated with monotonicity)은 상기 방출 빔의 중심에서 최소값을 가질 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 빔 형상 장치는 그것으로 입사되는 상기 레이저 빔의 단면 모양을 바꾸는 빔 단면 형상기를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 빔 단면 형상기는 상기 광원과 상기 빔 세기 형상기 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따른 빔 형상 장치는, 그것으로 입사되는 입사 빔과 그것으로부터 방출되는 방출 빔 사이에 빔 세기의 공간적 분포에서의 변동을 구현하는, 광학 요소를 포함할 수 있다. 상기 광학 요소는 상기 방출 빔이 그것의 가장자리에서 보다 그것의 중앙에서 더 낮은 세기를 갖도록 구성될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 광학 요소는 회절 광학 요소(diffractive optical element: DOE), 공간 광변조기 (Spatial Light Modulator: SLM), 디지털 반사 소자(digital mirror device), 또는 렌즈 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 광학 요소는 상기 방출 빔의 단조적으로 보간된 세기 곡선(intensity curve interpolated with monotonicity)이 상기 방출 빔의 중심에서 최소값을 갖도록 구성될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 광학 요소는 상기 방출 빔이 그것의 중심으로부터의 거리에 따라 진동하는 세기 프로파일(oscillating intensity profile)을 만들도록 구성되되, 상기 방출 빔의 단조적으로 보간된 세기 곡선(intensity curve interpolated with monotonicity)은 상기 방출 빔의 중심에서 최소값을 가질 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 방출 빔은 그것의 중심에서 제 1 세기를 갖고 그것의 가장자리에서 제 2 세기를 갖되, 상기 광학 요소는 상기 제 2 세기가 상기 제 1 세기의 대략 1.3배 내지 대략 15배를 갖도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따른 반사형 포토마스크의 제조 방법은 교대로 적층된 제 1 및 제 2 막들을 포함하는 다층 반사 구조체가 제공된 기판을 준비하고, 상기 다층 반사 구조체 상에 흡수막을 형성하고, 상기 흡수막을 패터닝하여 흡수 패턴들을 형성한 후, 레이저 어닐링 공정을 실시하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 레이저 어닐링 공정은, 그것의 가장자리에서보다 그것의 중앙에서 더 낮은 세기를 갖는 레이저 빔을 상기 다층 반사 구조체가 제공된 상기 기판에 조사하는 단계를 포함할 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 레이저 빔은 단조적으로 보간된 그것의 세기 곡선이 그것의 중심에서 최소값을 가질 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 레이저 빔은 그것의 중심으로부터의 거리에 따라 진동하는 세기 프로파일(oscillating intensity profile)을 갖되, 상기 레이저 빔의 단조적으로 보간된 세기 곡선(intensity curve interpolated with monotonicity)은 상기 레이저 빔의 중심에서 최소값을 가질 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 레이저 빔은 그것의 중심에서 제 1 세기를 갖고 그것의 가장자리에서 제 2 세기를 갖되, 상기 제 2 세기는 상기 제 1 세기의 대략 1.3배 내지 대략 15배를 가질 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 레이저 어닐링 공정은 상기 흡수막을 패터닝하는 단계 이후에 실시될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 레이저 어닐링 공정은 상기 흡수막을 형성하는 단계와 상기 흡수막을 패터닝하는 단계 사이에 실시될 수 있다.
일부 실시예들에서, 상기 레이저 어닐링 공정은 상기 기판을 준비하는 단계와 상기 흡수막을 형성하는 단계 사이에 실시될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따른 반도체 장치의 제조 방법은 기판 상에 포토레지스트막을 형성하고, 그것의 가장자리에서보다 그것의 중앙에서 더 낮은 세기를 갖는 레이저 빔에 의해 조사된 부분을 포함하는 반사형 포토마스크를 사용하여 상기 포토레지스트막을 노광하고, 상기 포토레지스트막을 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 기판 또는 상기 기판 상에 제공되는 박막을 식각하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 빔 형상기는 그것의 가장자리에서보다 그것의 중앙에서 더 낮은 세기를 갖는 레이저 빔을 구현하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 레이저 빔은 냉각 속도에서의 차이를 보상할 수 있는 세기 프로파일을 가질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 레이저 어닐링 시스템은 그것에 의해 열처리되는 영역이 열적 효과에서의 균일성을 갖는 것을 가능하게 한다. 예를 들면, 반사형 포토마스크의 경우, 본 발명에 따른 레이저 어닐링 시스템을 사용함에 의해 향상된 두께 제어 및 이에 따른 정밀한 반사율 제어가 가능하다. 더 나아가, 이는 웨이퍼 상에 형성되는 패턴들의 선폭 균일성을 향상시키는 것을 가능하게 한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 레이저 어닐링 시스템을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 빔 단면 형상기를 개략적으로 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 빔 단면 형상기로부터 방출되는 빔의 단면 모양을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 빔 단면 형상기로부터 방출되는 빔의 단면 모양을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 빔 단면 형상기로부터 방출되는 빔의 단면 모양을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 빔 단면 형상기로부터 방출되는 빔의 단면 모양을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 빔 세기 형상기를 개략적으로 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 빔 세기 형상기로부터 방출되는 빔의 세기 분포를 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 빔 세기 형상기로부터 방출되는 빔의 세기 분포를 도시하는 도면이다.
도 10은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 빔 세기 형상기로부터 방출되는 빔의 이미지이다.
도 11은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 포토 마스크의 제조 방법을 예시적으로 도시하는 순서도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 포토 마스크의 제조 방법을 예시적으로 도시하는 순서도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 포토 마스크의 제조 방법을 예시적으로 도시하는 순서도이다.
도 14는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 제조 방법을 이용하여 제작된 포토 마스크의 깊이 프로파일 특성을 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 빔 세기 형상기로부터 방출되는 레이저 빔의 일 측면을 설명하기 위한 도면 및 표이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 포토 마스크의 일부분을 촬영한 이미지이다.
도 18은 비교예에 따른 포토 마스크의 일부분을 촬영한 이미지이다.
도 19는 본 발명의 일 실시예에 따른 포토 마스크로부터 측정된 깊이 프로파일을 도시하는 그래프이다.
도 20은 비교예에 따른 포토 마스크로부터 측정된 깊이 프로파일을 도시하는 그래프이다.
도 21은 본 발명의 일부 실시예에 따른 노광 시스템을 도시하는 개략도이다.
도 22는 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 장치의 패터닝 공정을 예시적으로 설명하는 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본 명세서에서 어떤 막(또는 층)이 다른 막(또는 층) 또는 기판상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 막(또는 층) 또는 기판상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 막(또는 층)이 개재될 수도 있다. 예를 들면, 소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함할 수 있다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 실시예들을 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 레이저 어닐링 시스템을 개략적으로 도시하는 도면이다.
도 1을 참조하면, 레이저 어닐링 시스템(1000)은 레이저 빔(LB)을 생성하는 광원(50), 목적물을 로딩할 수 있도록 구성되는 스테이지(10), 및 상기 광원(50)으로부터 상기 스테이지(10)로 향하는 상기 레이저 빔(LB)의 진행 경로 상에 위치하는 광학계(OS)를 포함할 수 있다.
상기 목적물은 포토리소그래피 공정에서 사용되는 포토 마스크(MSK)일 수 있다. 하지만, 상기 목적물이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 상기 목적물은 반도체 웨이퍼일 수도 있다. 일부 실시예들에 따르면, 상기 포토 마스크(MSK)는 극자외선 리소그래피 공정에서 사용될 수 있는 반사형 포토마스크일 수 있다. 예를 들면, 상기 포토 마스크(MSK)는 극자외선의 반사를 위한 다층막 구조(multilayer) 및 전사될 패턴들을 정의하는 흡수 패턴(absorber pattern)을 포함할 수 있으며, 상기 다층막 구조는, 예를 들면, 교대로 적층되는 실리콘막들 및 몰리브덴막들을 포함할 수 있다.
상기 레이저 빔(LB)은 상기 다층막 구조를 구성하는 막들 중의 적어도 하나(예를 들면, 실리콘막)을 선택적으로 용융시킬 수 있도록 생성될 수 있다. 예를 들면, 상기 레이저 어닐링 시스템(1000)이 대략 0.1ms의 시간 동안 상기 다층막 구조의 두께를 대략 1nm 감소시키는 목적을 위해 사용될 경우, 상기 광원(50)은 상기 포토 마스크(MSK)로 조사되는 상기 레이저 빔(LB)의 중심 영역이 대략 2.4kW/cm2의 파워 밀도를 구현하도록 구성될 수 있다. 하지만, 상기 레이저 빔(LB)의 중심 영역의 파워 밀도는 레이저 빔의 펄스 시간 및 다층막 구조의 목표한 리세스 깊이에 따라 달라질 수 있다. 예를 들면, 레이저 빔의 펄스 시간이 0.1ms 내지 100ms인 경우, 1nm의 두께 감소를 위해서는, 대략 0.5kW/cm2 내지 2.4kW/cm2의 파워 밀도가 요구될 수 있다. 이에 더하여, 상기 다층막 구조는 1nm이상의 깊이(예를 들면, 50nm)로 리세스될 수 있으며, 이 경우, 상기 레이저 빔(LB)의 중심 영역의 파워 밀도는 더욱 증가될 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 이러한 변화들을 고려하여, 상기 레이저 빔(LB)의 중심 영역이 대략 0.5kW/cm2 내지 10kW/cm2의 파워 밀도를 구현하도록 구성될 수 있다.
상기 광학계(OS)는 적어도 하나의 렌즈(30), 빔 형상기(BS), 및 가이드 구조체(40)를 포함할 수 있다. 상기 빔 형상기(BS)는 상기 레이저 빔(LB)의 단면 모양을 변화시키는 빔 단면 형상기(BSXY) 및 상기 레이저 빔(LB)의 공간적 세기를 변화시키는 빔 세기 형상기(BSZ) 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 도 2 내지 도 6을 참조하여 아래에서 보다 상세하게 설명될 것이고, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는 도 7 내지 도 9를 참조하여 아래에서 보다 상세하게 설명될 것이다.
상기 가이드 구조체(40)는 상기 레이저 빔(LB)을 상기 광원(50)으로부터 상기 스테이지(10)로 가이드하도록 구성되며, 렌즈, 거울, 프리즘, 편광 소자, 윈도우, 또는 회절 격자 등과 같은 광학 부품들 적어도 하나를 이용하여 구현될 수 있다.
도 2는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 빔 단면 형상기를 개략적으로 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
도 2를 참조하면, 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 그것으로 입사되는 상기 레이저 빔(LB)(이하, 입사 빔(IB1))이 그것으로부터 방출되는 상기 레이저 빔(LB)(이하, 방출 빔(EB1))과 다른 단면 모양을 갖도록 구성될 수 있다. (여기서, 상기 레이저 빔(LB)의 진행 방향이 z-방향이라고 하면, 상기 레이저 빔(LB)의 단면 모양은 xy 평면 상에 투영되는 상기 레이저 빔(LB)의 모양을 의미한다.)
예를 들면, 도 2의 표 내에 도시된 것처럼, 상기 입사 빔(IB1)이 원형의 단면 모양을 가질 경우, 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 상기 방출 빔(EB1)가 정사각형의 단면 모양을 갖도록 변화시킬 수 있다. 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는, 렌즈, 거울, 프리즘, 편광 소자, 윈도우, 또는 회절 격자 등과 같은 광학 부품들 적어도 하나를 이용하여, 상기 레이저 빔(LB)의 단면 모양에서의 상술한 변화를 구현할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예들이, 상기 방출 빔(EB1)가 정사각형의 단면 모양을 갖도록 변화되는, 도 2에 예시적으로 도시된 실시예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 일부 실시예들에서, 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 상기 방출 빔(EB1)이 단순화된 완전 채움 조건을 충족시킬 수 있는 모양을 갖도록 구성될 수 있다. 여기서, 상기 단순화된 완전 채움 조건은, 주어진 모양을 중복없이 반복적으로 배열함으로써, 소정의 유한한 면적을 완전히 채울 수 있는지를 의미한다.
예를 들면, 도 3에 도시된 것처럼, 동일한 모양 및 동일한 크기의 육각형들은, 그들 사이에 중첩 또는 빈틈없이, 소정의 면적을 완전히 채울 수 있다. 이런 점에서 육각형은 상술한 단순화된 완전 채움 조건을 충족시키는 모양의 한 예이며, 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 상기 방출 빔(EB1)이 육각형의 단면 모양을 갖도록 구성될 수 있다. 상기 단순화된 완전 채움 조건은 상기 방출 빔(EB1)의 단면 모양이 도 2의 정사각형 또는 도 5의 직사각형인 경우에도 충족될 수 있으며, 따라서, 이러한 경우들은 본 발명의 실시예들에 포함될 수 있다.
다른 실시예들에 따르면, 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 상기 방출 빔(EB1)이 완화된 완전 채움 조건을 충족시킬 수 있는 모양을 갖도록 구성될 수 있다. 여기서, 상기 완화된 완전 채움 조건은, 주어진 모양을 최소화된 반복적으로 배열하되, 최소화된 중첩을 통해 소정의 유한한 면적을 완전히 채울 수 있는지를 의미한다. 예를 들면, 도 6에 도시된 것처럼, 원들은, 그들 사이에 중첩 또는 빈틈없이, 소정의 면적을 완전히 채울 수는 없다. 하지만, 새로운 원을 추가적으로 사용하여, 상기 원들 사이의 빈틈을 채우는 것은 가능하다. 상기 완화된 완전 채움 조건은 이러한 특성을 의미하는 것으로 해석될 수 있다.
본 발명의 실시예들이 이에 한정되는 것은 아니지만, 일부 실시예들에 따르면, 도 2에 도시된 것처럼, 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 상기 입사 빔(IB1)과 상기 방출 빔(EB1)의 세기들 사이에서의 실질적인 변화를 가져오지 않을 수 있다. 예를 들면, 상술한 단면 모양의 변화를 위해 요구되는 광학 부품들에 의해 유발되는 빔 세기에서의 감소를 제외하면, 상기 빔 단면 형상기(BSXY)는 빔 세기의 감소를 의도적으로 유발하도록 구성되지는 않을 수 있다.
도 7은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 빔 세기 형상기를 개략적으로 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
도 7을 참조하면, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는 그것으로 입사되는 상기 레이저 빔(LB)(이하, 입사 빔(IB2))이 그것으로부터 방출되는 상기 레이저 빔(LB)(이하, 방출 빔(EB2))과 다른 세기 프로파일을 갖도록 구성될 수 있다.
여기서, 상기 레이저 빔(LB)의 진행 방향이 z-방향이라고 하면, 상기 레이저 빔(LB)의 세기 프로파일은 xy-좌표계를 통해 표현되는 상기 레이저 빔(LB)의 세기를 나타낸다. 하지만, 도면에서의 복잡성을 줄이고 본 발명의 기술적 사상에 대한 보다 나은 이해를 제공하기 위해, 이 명세서의 아래에서는, 상기 레이저 빔(LB)의 세기 프로파일은 도 2에 도시된 것처럼 x 좌표를 통한 1차원적 곡선을 통해 설명될 것이다. 이에 더하여, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는 투과형 또는 반사형일 수 있으며, 반사형일 경우, 상기 방출 빔(EB2)은 상기 빔 세기 형상기(BSZ)로부터 반사되는 상기 레이저 빔(LB)을 의미할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는 상기 방출 빔(EB2)의 오목한 또는 아래로 볼록한 세기 프로파일을 구현하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 도 7의 표 내에 도시된 것처럼, 상기 입사 빔(IB2)의 세기가 가우시안 분포를 가질 경우, 상기 방출 빔(EB2)은 오목한 세기 프로파일을 가질 수 있고, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는 상기 레이저 빔(LB)의 세기 프로파일에서의 이러한 변화를 유발하도록 구성될 수 있다. 상기 방출 빔(EB2)의 오목한 세기 프로파일에 대한 기술적 의미는 도 8을 참조하여 보다 상세하게 설명될 것이다.
한편, 상기 방출 빔(EB2)의 세기 프로파일은 상기 입사 빔(IB2)이 상기 빔 세기 형상기(BSZ)를 통과하는 동안 경험하는 전자기적 또는 광학적 상호작용의 결과이기 때문에, 상기 입사 빔(IB2)의 광학적 특성(예를 들면, 공간적 세기) 및 상기 빔 세기 형상기(BSZ)의 구조 모두에 의존적이다. 그럼에도 불구하고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는, 상기 입사 빔(IB2)의 주어진 세기 프로파일에 상응하여, 상기 방출 빔(EB2)의 세기 프로파일을 오목한 또는 아래로 볼록한 형태로 변화시키도록 구성될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 레이저 빔(LB)의 세기 프로파일에서의 상술한 변화는 회절 광학 요소(diffractive optical element: DOE), 공간 광변조기(Spatial Light Modulator: SLM), 디지털 반사 소자(digital mirror device), 또는 렌즈 중의 적어도 하나를 이용하여 구현될 수 있다. 다시 말해, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는 회절 광학 요소, 공간 광변조기, 디지털 반사 소자, 또는 렌즈 중의 적어도 하나를 포함할 수 있다. 하지만, 상기 방출 빔(EB2)의 오목한 세기 프로파일이 여기에 열거된 광학 부품을 사용하여 구현될 수 있는 것은 아님은 자명하다.
본 발명의 실시예들이 이에 한정되는 것은 아니지만, 일부 실시예들에 따르면, 도 7에 도시된 것처럼, 상기 빔 세기 형상기(BSZ)는 상기 입사 빔(IB2)과 상기 방출 빔(EB2)의 단면 모양들 사이에서의 실질적인 변화를 가져오지 않도록 구성될 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예들에 따른 빔 세기 형상기로부터 방출되는 빔의 세기 프로파일을 예시적으로 도시하는 도면이다.
도 8을 참조하면, 상기 방출 빔(EB2)는 그것의 가장자리(E)에서보다 그것의 중심(C)에서 더 낮은 세기를 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 방출 빔(EB2)은 그것의 가장자리(E)에서 제 1 세기(I1)를 갖고, 그것의 중심(C)에서 상기 제 1 세기(I1)보다 낮은 제 2 세기(I2)를 가질 수 있다. 일부 실시예들에 따르면, 상기 방출 빔(EB2)의 유효 단면 내에서, 상기 제 2 세기(I2)는 실질적으로 상기 방출 빔(EB2)의 최소 세기일 수 있다. 다시 말해, 도 8에 도시된 것처럼, 상기 방출 빔(EB2)의 세기를 나타내는 곡선(C1)은 상기 중심(C) 근처에서 최소값을 가질 수 있다. 상기 방출 빔(EB2)의 세기 프로파일은 상기 방출 빔(EB2)과 그것의 진행 방향에 수직한 평면의 교차 영역의 각 점들에서, 상기 방출 빔(EB2)의 세기를 (예를 들면, 이미지 센서를 이용하여) 측정함으로써 얻어질 수 있다(도 10의 이미지 참조).
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제 2 세기(I2)는 상기 다층막 구조를 구성하는 막들 중의 적어도 하나(예를 들면, 실리콘막)을 선택적으로 용융시키는 것을 가능하게 하는 범위 내에 있을 수 있다. 상기 제 1 세기(I1)는 아래에서 도 16을 참조하여 다시 설명될 것처럼 상기 제 2 세기(I2)의 대략 1.3배 내지 대략 15배일 수 있다. 하지만, 이러한 비율은 상기 레이저 빔(LB)의 단면 모양, 종횡비, 폭, 열처리 시간, 목적물의 구조 및 목적물에서의 열전도율 등을 고려하여 바뀔 수 있기 때문에, 본 발명의 기술적 사상이 이 범위에 한정되는 것은 아니다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예들에 따른 빔 세기 형상기로부터 방출되는 빔의 세기 분포의 일 측면을 도시하는 도면이다.
상기 방출 빔(EB2)은, 도 9에서 곡선 CO에 의해 표현되는 것처럼, 그것의 중심으로부터의 거리에 따라 진동하는 세기 프로파일을 나타낼 수 있다. 다시 말해, 상기 방출 빔(EB2)의 세기 곡선(CO)는 그것의 중심으로부터의 거리에 따라 교대로 나타나는 국소적 최대들(MX) 및 국소적 최소들(MN)을 가질 수 있다.
일부 실시예들에 따르면, 상기 국소적 최대들(MX) 중의 적어도 하나는 상기 제 1 세기(I1)보다 클 수 있고, 상기 국소적 최소들(MN) 중의 적어도 하나는 상기 제 2 세기(I2)보다 작을 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 상기 국소적 최대들(MX) 중의 하나가 상기 제 1 세기(I1)에 해당하고, 상기 국소적 최소들(MN) 중의 하나가 상기 제 2 세기(I2)에 해당할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 상술한 것처럼, 상기 방출 빔(EB2)의 세기는 그것의 가장자리(E)에서보다 그것의 중심(C)에서 더 낮을 수 있지만, 이러한 특성은 상기 방출 빔(EB2)의 세기에 대한 보간 곡선(interpolating curve)에서 나타나는 것일 수 있다. 예를 들면, 상기 방출 빔(EB2)가 도 9의 곡선 CO에 의해 표현되는 실제로 측정된 세기를 가질 경우, 상술한 것처럼, 상기 국소적 최소들(MN) 중의 적어도 하나는 상기 제 2 세기(I2)보다 작을 수 있다. 그럼에도, 도 9의 곡선 CI과 같이, 상기 방출 빔(EB2)의 실측 세기가 단조성을 유지하도록 보간될(interpolated to preserve monotonicity) 경우, 그 보간 곡선(CI)는 상기 방출 빔(EB2)의 상기 중심(C) 근처에서 최소값을 가질 수 있다.
도 11 내지 도 13은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 포토 마스크의 제조 방법을 예시적으로 도시하는 순서도들이다.
포토 마스크의 제조 공정은 기판 상에 반사 다층막을 형성하는 단계(S10), 상기 반사 다층막 상에 흡수막을 형성하는 단계(S20), 상기 흡수막을 패터닝하여 흡수막 패턴을 형성하는 단계(S30) 및 제작된 포토 마스크를 검사하는 단계(S40)를 포함할 수 있다. 본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 상기 포토 마스크의 제조 공정은 상기 반사 다층막, 상기 흡수막, 및/또는 상기 포토 마스크를 국소적으로 또는 전역적으로 열처리하는 레이저 어닐링 단계(S100)를 더 포함할 수 있다.
상기 레이저 어닐링 단계(S100)는 도 1 내지 도 9를 참조하여 설명된 레이저 어닐링 시스템(1000)을 이용하여 실시할 수 있다. 다시 말해, 상기 오목한 세기 프로파일을 갖는 레이저 빔이, 적어도 한번, 상기 반사 다층막, 상기 흡수막, 및/또는 상기 포토 마스크에 조사될 수 있다. 이 경우, 상기 반사 다층막은 상기 레이저 빔의 빛 에너지에 의해 가열되어 변화된 광학적 특성을 나타낼 수 있다.
예를 들면, 상기 레이저 어닐링 단계(S100)는 상기 반사 다층막을 구성하는 막들 중의 적어도 하나를 국소적으로 그리고 선택적으로 용융시키도록 실시될 수 있으며, 이러한 용융은 상기 포토 마스크의 반사율에 대한 국소적 또는 전역적 변화를 유발할 수 있다. 상기 포토 마스크의 반사율에서의 이러한 변화는 엔지니어의 필요에 의해 다양하게 응용될 수 있다. 예를 들면, 상기 포토 마스크의 반사율에서의 변화는 웨이퍼 상에 형성되는 패턴들의 선폭 균일성을 향상시키기 위해 의도된 것일 수 있다.
하지만, 본 발명의 실시예들은 상기 레이저 어닐링 단계(S100)의 이러한 제한된 응용에 한정되지는 않는다. 이에 따라, 상기 레이저 어닐링 단계(S100)의 실시 순서 역시, 상기 반사 다층막이 형성된 이후에 실시된다면, 특별히 한정될 필요는 없다. 예를 들면, 도 11에 도시된 것처럼, 상기 레이저 어닐링 단계(S100)는 상기 포토 마스크에 대한 검사 단계(S40) 이후에 실시될 수 있다. 이 경우, 상기 레이저 어닐링 단계(S100)에 상기 검사 단계(S40)에서 얻어진 검사 데이터 및 이에 대한 분석에 기초하여 실시될 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 도 12에 도시된 것처럼, 상기 레이저 어닐링 단계(S100)는 상기 반사 다층막을 형성하는 단계(S10)와 상기 흡수막을 형성하는 단계(S20) 사이에 실시되거나, 도 13에 도시된 것처럼, 상기 흡수막을 형성하는 단계(S20)와 상기 흡수막 패턴을 형성하는 단계(S30) 사이에 실시될 수 있다.
도 14는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 제조 방법을 이용하여 제작된 포토 마스크의 깊이 프로파일 특성을 설명하기 위해 제공되는 도면이다.
상기 레이저 어닐링 시스템(1000)는 도 11 내지 도 13를 참조하여 설명하였던 것처럼 상기 포토 마스크에 대한 레이저 어닐링 단계(S100)를 위해 사용될 수 있다. 이 경우, 상기 반사 다층막은 상기 레이저 어닐링 단계(S100)에서 국소적 용융되어 얇아진 두께를 가질 수 있다. 예를 들면, 도 14에 예시적으로 도시된 것처럼, 상기 반사 다층막의 상부면 일부(이하, 리세스 영역(RR))는 주변에 비해 리세스된 프로파일을 가질 수 있다.
도 14에 도시된 것처럼, 상기 리세스 영역(RR)은 실질적으로 직사각형에 가까운 모양을 갖도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 리세스 영역(RR)의 측벽 각도(A)은 대략 75 내지 대략 90도 (또는 대략 80도 내지 대략 90)의 범위에 있을 수 있다. 다른 측면에서, 상기 리세스 영역(RR)은 W2/W1가 대략 0.8 내지 1.0 (또는 0.9 내지 1.0)의 범위에 있도록 형성될 수 있다(여기서, W1은 상기 리세스 영역(RR)의 상부 입구의 폭이고, W2은 상기 리세스 영역(RR)의 최대 깊이의 0.8배인 위치에서 측정되는 상기 리세스 영역(RR)의 폭일 수 있다).
한편, 상기 포토 마스크가 상기 레이저 빔에 의해 국소적으로 가열될 경우, 냉각 속도 또는 열 방출 속도는 상기 가열된 영역 내에서의 위치에 따라 다를 수 있다. 예를 들면, 냉각 속도는 상기 가열된 영역의 가장자리에서 보다 그것의 중앙에서 더 느릴 수 있다. 이러한 냉각 속도에서의 차이는 상기 가열된 영역의 두께에서의 균일성을 감소시키는 결과를 가져올 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 포토 마스크로 입사되는 레이저 빔은 이러한 냉각 속도에서의 차이를 보상하는 세기 프로파일을 가질 수 있다. 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명된 상기 레이저 빔(LB)의 세기 프로파일은 이러한 요구를 충족시키도록 선택될 수 있다. 예를 들면, 도 8 및 도 9를 참조하여 설명된, 상기 방출 빔(EB2)의 세기를 나타내는 곡선(C1) 또는 보간 곡선(CI)은 상기 레이저 빔(LB)에 의해 가열된 영역의 위치에 따른 냉각 속도의 차이를 보상하는 기울기를 가질 수 있다.
하지만, 상기 냉각 속도는 여러 요인들(예를 들면, 가열되는 영역의 모양, 공급되는 에너지의 양 및 공급 시간, 및 목적물의 구조 및 열전도율 등)에 의존적이기 때문에, 상기 보상을 위한 세기 프로파일은 일의적으로(uniquely) 기술되기 어렵다. 따라서, 아래에서는 도 15를 참조하여, 상기 보상을 위한 세기 프로파일과 관련된 몇가지 기술적 특징들을 예시적으로 설명할 것이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 빔 세기 형상기로부터 방출되는 레이저 빔의 일 측면을 설명하기 위한 도면 및 표이다. 도 15 및 도 16에서, L 및 W는 레이저 빔의 길이 및 폭이고, o, x, y 및 c는 각각 레이저 빔의 중앙, y변의 중앙, x변의 중앙, 및 모서리의 위치를 나타내고, Io, Ix, Iy 및 Ic는 각각 레이저 빔의 중앙, y변의 중앙, x변의 중앙, 및 모서리에서의 세기를 나타낸다. 도 16은, 발명자들이 시뮬레이션을 통해 구한, 완전한 보상을 구현하기 위한 레이저 빔의 세기 프로파일의 결과이다. 시뮬레이션에서, 레이저 빔은 대략 2.4kW/cm2의 파워 밀도를 갖는 것으로 가정되었다. 또한, 레이저 빔이 (도 16에서 1:2 및 1:10의 종횡비(W:L)로 각각 표시된) 500umX250um와 500umX50um의 단면적들을 갖는 경우가 고려되었다.
도 15 및 도 16을 참조하면, 레이저 빔의 펄스 시간(pulse duration)이 0.1ms에서 100ms로 증가함에 따라, 중앙에 대한 가장자리의 세기 비율들(Ic/Io, Ix/Io 및 Iy/Io)는 증가하였다. 또한, 레이저 빔의 종횡비(W:L)가 증가함에 따라, 중앙에 대한 가장자리의 세기 비율들(Ic/Io, Ix/Io 및 Iy/Io)는 증가 또는 감소하였다. 상술한 것처럼, 보상을 위한 세기 프로파일은 일의적으로 기술하기는 어렵지만, 시뮬레이션된 상황의 경우, 레이저 빔이, 그것의 중앙에 대한 그것의 가장자리의 세기 비율들(Ic/Io, Ix/Io 및 Iy/Io)이 대략 1.3 내지 15의 범위에 있을 때, 상술한 냉각 속도의 차이에 따른 불균일함을 해소할 수 있음을 알 수 있다.
도 17 및 도 18은 본 발명의 일 실시예 및 비교예에 따른 제조 방법들을 이용하여 각각 제작된 포토 마스크들의 일부분들을 촬영한 이미지들이고, 도 19 및 도 20은 본 발명의 일 실시예 및 비교예에 따른 제조 방법들을 이용하여 각각 제작된 포토 마스크들로부터 각각 측정된 깊이 프로파일들을 도시하는 그래프들이다. 상기 비교예는, 도 8의 곡선 C1이 실질적으로 편평한 세기 프로파일을 갖는, 레이저 빔(예를 들면, TOPHAT 레이저 빔)을 사용하여 수행되었고, 이를 제외한 다른 모든 실험 조건들은 실질적으로 동일하였다.
도 17 및 도 18에 도시된 것처럼, 본 발명에 따른 포토 마스크의 리세스된 영역은 우수한 두께 균일성을 나타내었다. 두께 균일성을 (Dmax-Dmin)/(Dmax+Dmin)*100의 식을 통해 기술할 경우, 측정된 두께 균일성은 대략 11%였다(여기서, Dmax 및 Dmin은 리세스된 영역의 최대 깊이 및 최소 깊이를 나타낸다). 반편, 도 19 및 도 20에 도시된 것처럼, 비교예에 따른 포토 마스크의 리세스된 영역은 열화된 두께 균일성(예를 들면, 대략 52%)을 나타내었다. 즉, 본 발명의 실시예들에 레이저 어닐링 시스템을 사용함으로써, 상기 포토 마스크의 열처리된 영역의 두께 균일성을 적어도 5배 이상 향상시킬 수 있었다.
도 21은 본 발명의 일부 실시예에 따른 노광 시스템을 도시하는 개략도이다.
도 21을 참조하면, 노광 시스템(2000)은 광원(LS), 적어도 하나의 반사체(M1)를 포함하는 조명계(illumination system: IS), 반사형 포토마스크(MSK), 적어도 하나의 반사체(M2)를 포함하는 투사계(projection system: PS), 웨이퍼(WF)가 로딩되는 웨이퍼 스테이지(WS)를 포함할 수 있다. 상기 웨이퍼(WF)는, 반도체 장치들(예를 들면, 칩들)로 분리되어 판매될, 복수의 칩 영역들(CR)을 포함할 수 있다.
상기 광원(LS)은 극자외선 파장 대역의 전자기파를 생성하도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 광원(LS)은 고출력 레이저를 이용하여, 극자외선 파장 대역의 전자기파를 방출하는, 플라즈마를 생성하도록 구성될 수 있다.
상기 광원(LS)으로부터 생성된 전자기파가 극자외선 대역의 파장을 갖기 때문에, 상기 조명계(IS) 및 상기 투사계(PS) 각각은 적어도 하나의 반사체(예를 들면, M1 및 M2)를 포함하는 반사 광학계(reflecting optical system)의 형태로 제공될 수 있다.
상기 반사형 포토마스크(MSK)는 도 11 내지 도 13를 참조하여 설명된 제조 방법들 중의 하나를 이용하여 제작될 수 있다. 즉, 상기 반사형 포토마스크(MSK)는 도 1을 참조하여 설명된 레이저 어닐링 시스템(1000)을 이용하여 또는 도 7 내지 도 10을 참조하여 설명된 상기 빔 세기 형상기(BSZ)를 통과하는 레이저 빔을 이용하여 처리된 것일 수 있다.
도 22는 본 발명의 일부 실시예에 따른 반도체 장치의 패터닝 공정을 예시적으로 설명하는 순서도이다.
도 22를 참조하면, 기판 상에 포토레지스트막이 형성된다(S210). 상기 포토레지스터막은 극자외선 대역의 빛에 의해 그 화학적 구조가 변형될 수 있는 물질로 형성될 수 있다. 상기 포토레지스트막에 대한 노광 단계를 실시한 후(S220), 이를 현상하여 포토레지스트 패턴을 형성한다(S230). 이후, 상기 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 사용하여 상기 기판 또는 상기 기판 상에 형성된 박막을 식각한다(S240). 상기 식각 단계(S240)는 이방성 또는 등방성 식각 기술들 중의 적어도 하나를 이용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 노광 단계(S220)는 도 21을 참조하여 설명된 노광 시스템(2000)을 사용하여 실시될 수 있다. 다시 말해, 상기 노광 단계(S220)는 극자외선 대역의 빛을 사용하여 반사형 노광 시스템을 이용하여 수행될 수 있으며, 이때 사용되는 포토 마스크는 도 1을 참조하여 설명된 레이저 어닐링 시스템을 이용하여 처리된 것일 수 있다.
10: 스테이지 30: 렌즈
40: 가이드 구조체 50: 광원
LB: 레이저 빔 OS: 광학계
BS: 빔 형상기 BSXY: 빔 단면 형상기
BSZ: 빔 세기 형상기 IB1, IB2: 입사 빔
EB1, EB2: 방출 빔

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  14. 교대로 적층된 제 1 및 제 2 막들을 포함하는 다층 반사 구조체가 제공된 기판을 준비하는 단계;
    상기 다층 반사 구조체 상에 흡수막을 형성하는 단계;
    상기 흡수막을 패터닝하여 흡수 패턴들을 형성하는 단계; 및
    상기 다층 반사 구조체의 반사율을 제어하기 위한 레이저 어닐링 공정을 실시하는 단계를 포함하되,
    상기 레이저 어닐링 공정을 실시하는 단계는 가장자리에서보다 중앙에서 더 낮은 세기를 갖는 레이저 빔을 이용하여 상기 제 1 막을 상기 제 2 막 및 상기 흡수 패턴들에 대해 선택적으로 용융시켜 상기 다층 반사 구조체의 리세스 영역을 형성하는 단계를 포함하는 반사형 포토마스크의 제조 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 레이저 빔은 단조적으로 보간된 세기 곡선이 중심에서 최소값을 갖는 반사형 포토마스크의 제조 방법.
  16. 청구항 14에 있어서,
    상기 레이저 빔은 중심으로부터의 거리에 따라 진동하는 세기 프로파일(oscillating intensity profile)을 갖되,
    상기 레이저 빔의 단조적으로 보간된 세기 곡선(intensity curve interpolated with monotonicity)은 상기 레이저 빔의 중심에서 최소값을 갖는 반사형 포토마스크의 제조 방법.
  17. 청구항 14에 있어서,
    상기 레이저 빔은 중심에서 제 1 세기를 갖고 가장자리에서 제 2 세기를 갖되, 상기 제 2 세기는 상기 제 1 세기의 1.3배 내지 15배를 갖는 반사형 포토마스크의 제조 방법.
  18. 청구항 14에 있어서,
    상기 레이저 어닐링 공정은 상기 흡수막을 패터닝하는 단계 이후에 실시되는 반사형 포토마스크의 제조 방법.
  19. 청구항 14에 있어서,
    상기 레이저 어닐링 공정은 상기 흡수막을 형성하는 단계와 상기 흡수막을 패터닝하는 단계 사이에 실시되는 반사형 포토마스크의 제조 방법.
  20. 청구항 14에 있어서,
    상기 레이저 어닐링 공정은 상기 기판을 준비하는 단계와 상기 흡수막을 형성하는 단계 사이에 실시되는 반사형 포토마스크의 제조 방법.
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