KR101965238B1 - Movable crane for cleanroom of semiconductor and display manufacturing device - Google Patents

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KR101965238B1
KR101965238B1 KR1020170113729A KR20170113729A KR101965238B1 KR 101965238 B1 KR101965238 B1 KR 101965238B1 KR 1020170113729 A KR1020170113729 A KR 1020170113729A KR 20170113729 A KR20170113729 A KR 20170113729A KR 101965238 B1 KR101965238 B1 KR 101965238B1
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Abstract

개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인이 한 쌍의 세로대 유닛과 가로대 부재를 포함함에 따라, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면이 평평하지 못하는 등 여러 원인으로 인해 상기 세로대 유닛이 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도, 틸팅 회전 부재가 틸팅과 회전 중 적어도 하나의 동작을 통해, 상부 틸팅 플레이트가 중력 방향에 대해 수직이 되어 상기 가로대 부재가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 조정될 수 있게 되므로, 상기 세로대 유닛이 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인의 전복이 방지될 수 있게 되는 장점이 있다.Since the movable crane for a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility disclosed includes a pair of vertical bar units and a bar member, the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facilities is not flat, The tilting rotary member can be adjusted through at least one operation of tilting and rotating such that the upper tilting plate is perpendicular to the gravity direction so that the cross member is perpendicular to the gravity direction Therefore, even if the vertical unit can not be raised in the gravitational direction, it is possible to prevent the movable crane for the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility from overturning.

Description

반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인{Movable crane for cleanroom of semiconductor and display manufacturing device}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a movable crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility,

본 발명은 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에 관한 것이다.The present invention relates to a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility.

반도체 및 디스플레이 제조 설비는 반도체 및 디스플레이 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 것이고, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 설치되는 것으로 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나의 제조를 위하여 미세 먼지까지 제거된 공간을 말한다.The semiconductor and display manufacturing facility is capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display, and the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility is installed in the semiconductor and display manufacturing facility, and the fine dust Removed space.

이러한 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸에서도 하중체의 이동을 위한 크레인이 필요한데, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸에는 미세 먼지 등 오염체의 발생 위험으로 인해 호이스트(hoist) 등의 일반적인 크레인을 설치할 수가 없다. 따라서, 크린룸 전용의 별도 크레인이 설치되어야 하는데, 이러한 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 크레인의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 제시된 특허문헌의 그 것이다.In a clean room of such a semiconductor and display manufacturing facility, a crane for moving the load body is required. In a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, a general crane such as a hoist can not be installed due to the risk of generating contaminants such as fine dust . Therefore, a separate crane dedicated to a clean room must be installed. The following patent documents can be presented as an example of a crane for a clean room of such a semiconductor and display manufacturing facility.

상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 크레인은 해당 크린룸의 설치면에 대해 수직으로 세워지는 한 쌍의 세로대와, 상기 각 세로대의 상부를 연결하는 가로대로 구성되고, 상기 가로대에 하중체가 걸려서 들려질 수 있게 되는 구조이다.The clean room crane of the semiconductor and display manufacturing facility is composed of a pair of vertical bars vertically erected on the installation surface of the clean room and horizontal bars connecting the upper portions of the vertical bars, It is the structure to be.

그러나, 종래의 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 크레인에 의하면, 세로대의 상부와 가로대가 볼트에 의해 고정되는 방식으로 연결됨으로써, 크린룸의 설치면이 평평하지 못하는 등 여러 원인으로 인해 세로대가 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우, 그 세로대에 고정되는 가로대가 중력 방향에 대해 수직이 되지 못하게 되어, 이러한 상태에서 하중체가 걸리는 경우 크레인 자체가 전복될 수 있는 위험이 있었다.However, according to the conventional crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility, since the upper part of the vertical stand and the cross stand are connected by the bolts in a fixed manner, the vertical stand can not be moved in the gravity direction due to various reasons such as the installation surface of the clean room being not flat If it can not be erected, the cross bar fixed to the vertical bar is not perpendicular to the direction of gravity, and there is a risk that the crane itself may be overturned if the load bar is caught in this state.

등록특허 제 10-1642333호, 등록일자: 2016.07.19., 발명의 명칭: 클린룸용 픽업 크레인장치Registered Patent No. 10-1642333, Registered Date: July 19, 201. Title of invention: Pick-up crane device for clean room

본 발명은 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면이 평평하지 못하는 등 여러 원인으로 인해 세로대가 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인의 전복이 방지될 수 있도록, 상기 세로대에 고정되는 가로대가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.The present invention can be used to prevent the overturning of a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility even if the vertical base can not be raised in the direction of gravity due to various reasons such as the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facilities being not flat, And to provide a movable crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility that allows the cross bar fixed to the vertical bar to be perpendicular to the gravity direction.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인은 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸에 적용되는 것으로서,
상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 서로 이격되도록 세워지는 한 쌍의 세로대 유닛; 및 상기 각 세로대 유닛의 상부를 연결하고, 하중체가 매달릴 수 있는 가로대 부재;를 포함하고,
상기 각 세로대 유닛은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 놓이는 베이스와, 상기 베이스로부터 세워지는 세로 지지대와, 상기 세로 지지대에 대해 승강될 수 있는 세로 승강대와, 상기 세로 승강대의 상부에 틸팅(tilting) 및 회전 가능하게 연결되고, 그 상부에 상기 가로대 부재가 연결될 수 있는 틸팅 회전 부재를 포함하고,
상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 대해 상기 세로 지지대와 상기 세로 승강대가 수직으로 세워지지 못하는 경우에도, 상기 틸팅 회전 부재가 틸팅과 회전 중 적어도 하나의 동작을 통해 상기 가로대 부재가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 조정되고,
상기 틸팅 회전 부재는 상기 세로 승강대에 대해 회전될 수 있도록 연결되는 회전체와, 상기 회전체의 상부에 연결되는 하부 틸팅 부재와, 상기 하부 틸팅 부재의 상부에 틸팅축을 중심으로 틸팅될 수 있도록 배치되고 그 상단에 상기 가로대 부재가 연결되는 상부 틸팅 부재를 포함하고,
상기 하부 틸팅 부재는 상기 회전체의 상단에 연결되고 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 하부 틸팅 플레이트와, 상기 하부 틸팅 플레이트 상에 수직으로 세워지는 하부 틸팅 수직체를 포함하고,
상기 상부 틸팅 부재는 상기 하부 틸팅 수직체에 상기 틸팅축에 의해 틸팅 가능하게 연결되고 수직으로 세워지는 상부 틸팅 수직체와, 상기 상부 틸팅 수직체의 상단에 연결되고 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 상부 틸팅 플레이트를 포함하고,
상기 틸팅 회전 부재는 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트의 각 일 측부를 연결하는 제 1 틸팅 고정 수단과, 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트의 각 타 측부를 연결하는 제 2 틸팅 고정 수단을 포함하고,
상기 틸팅축에 의해 틸팅된 상태의 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트가 상기 제 1 틸팅 고정 수단과 상기 제 2 틸팅 고정 수단에 의해 연결 고정됨으로써, 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트의 틸팅 상태가 고정될 수 있는 것을 특징으로 한다.A movable crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an aspect of the present invention is applied to a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display,
A pair of vertical unit units spaced apart from each other on an installation surface of a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility; And a cross member connecting the upper portion of each of the vertical unit and the load body being suspended,
Wherein each vertical unit includes a base placed on an installation surface of a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, a vertical support stand erected from the base, a vertical platform capable of being raised and lowered with respect to the vertical support, and a tilting rotary member connected to the upper portion of the tilting rotary member so that the cross member can be connected thereto,
Even when the vertical support frame and the vertical platform are not vertically erected with respect to the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, the tilt rotary member is moved in the gravity direction Lt; RTI ID = 0.0 >
The tilting rotary member is rotatably connected to the vertical platform, a lower tilting member connected to an upper portion of the rotary body, and a lower tilting member arranged to be tilted about a tilting axis at an upper portion of the lower tilting member And an upper tilting member to which the cross member is connected,
The lower tilting member includes a lower tilting plate connected to an upper end of the rotating body and formed in a plate shape of a predetermined area and a lower tilting vertical body vertically installed on the lower tilting plate,
The upper tilting vertical body is connected to the lower tilting vertical body so as to be able to be tilted by the tilting axis and is vertically erected. An upper tilting vertical body is connected to the upper end of the upper tilting vertical body, Comprising a tilting plate,
The tilting and rotating member includes first tilting and fixing means for connecting the lower tilting plate and one side of the upper tilting plate, and second tilting and fixing means for connecting the lower tilting plate and the other side of the upper tilting plate Including,
The lower tilting plate and the upper tilting plate tilted by the tilting axis are connected and fixed by the first tilting and fixing means and the second tilting and fixing means to thereby tilt the lower tilting plate and the upper tilting plate Can be fixed.

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본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에 의하면, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인이 한 쌍의 세로대 유닛과 가로대 부재를 포함함에 따라, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면이 평평하지 못하는 등 여러 원인으로 인해 상기 세로대 유닛이 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도, 틸팅 회전 부재가 틸팅과 회전 중 적어도 하나의 동작을 통해, 상부 틸팅 플레이트가 중력 방향에 대해 수직이 되어 상기 가로대 부재가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 조정될 수 있게 되므로, 상기 세로대 유닛이 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인의 전복이 방지될 수 있게 되는 효과가 있다.According to one aspect of the present invention, a movable crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility includes a pair of vertical unit and a cross member for a clean room for semiconductor and display manufacturing facilities, Even when the vertical base unit can not be raised in the gravity direction due to various reasons such as the fact that the installation surface of the clean room is not flat or the like, the tilting rotary member is moved in at least one of tilting and rotating, So that the rolled-up crane for the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility can be prevented from being rolled up even when the vertical barrel unit can not be raised in the gravity direction .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인의 전체 모습을 보이는 정면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인을 구서아ㅎ는 세로대 유닛을 보이는 정면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로 승강대를 승강시키기 위한 구성을 보이는 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛이 일 측으로 틸팅된 모습을 보이는 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛이 타 측으로 틸팅된 모습을 보이는 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛이 회전된 모습을 보이는 도면.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛의 틸팅된 상태가 고정된 모습을 보이는 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛에 가로대 부재가 클램핑된 모습을 보이는 도면.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인을 구성하는 베이스에 확장 다리가 수축된 상태로 수용된 모습을 저면에서 바라본 도면.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인을 구성하는 베이스에서 확장 다리가 돌출 연장된 모습을 저면에서 바라본 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a front view of a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. FIG.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a movable type crane for a clean room of a semiconductor and a display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention.
3 is a sectional view showing a structure for lifting and lowering a vertical platform in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a vertical unit in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention, which is tilted to one side.
5 is a view showing a vertical unit in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention, which is tilted to the other side.
6 is a view illustrating a rotating unit of a vertical unit in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention;
7 is a view showing a state where a vertical unit is tilted in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention.
8 is a view showing a cross member clamped to a vertical unit in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a bottom view showing a state in which an expansion leg is accommodated in a base constituting a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention in a contracted state; FIG.
FIG. 10 is a bottom view of an extension leg protruding from a base constituting a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. FIG.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에 대하여 설명한다.Hereinafter, a movable crane for a clean room in a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인의 전체 모습을 보이는 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인을 구서아ㅎ는 세로대 유닛을 보이는 정면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로 승강대를 승강시키기 위한 구성을 보이는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛이 일 측으로 틸팅된 모습을 보이는 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛이 타 측으로 틸팅된 모습을 보이는 도면이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛이 회전된 모습을 보이는 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛의 틸팅된 상태가 고정된 모습을 보이는 도면이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에서 세로대 유닛에 가로대 부재가 클램핑된 모습을 보이는 도면이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인을 구성하는 베이스에 확장 다리가 수축된 상태로 수용된 모습을 저면에서 바라본 도면이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인을 구성하는 베이스에서 확장 다리가 돌출 연장된 모습을 저면에서 바라본 도면이다.FIG. 1 is a front view showing an entire structure of a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a front view of a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a structure for lifting and lowering a vertical platform in a mobile type crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross- FIG. 5 is a view illustrating a state where a vertical unit is tilted to one side in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a cross- In the mobile crane, the vertical unit is tilted to the other side And FIG. 6 is a view showing a rotated vertical unit in a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention. 8 is a perspective view of a movable type crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention in which a cross member is clamped to a vertical unit, 9 is a bottom view of a state in which an expansion leg is accommodated in a shrunk state on a base constituting a mobile crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an embodiment of the present invention, 10 is a schematic diagram of the movement of a semiconductor and display fabrication facility for a clean room according to an embodiment of the present invention. Fig. 6 is a view showing a state in which an extension leg protrudes from a base constituting a type crane; Fig.

도 1 내지 도 10을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인(100)은 반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸에 적용되는 것으로서, 한 쌍의 세로대 유닛(200)과, 가로대 부재(110)를 포함한다.1 to 10, a mobile crane 100 for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to the present embodiment is applied to a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display And includes a pair of vertical bar units 200 and a cross bar member 110.

상기 가로대 부재(110)는 상기 각 세로대 유닛(200)의 상부를 연결하고, 하중체가 매달릴 수 있는 것이다.The cross member 110 connects the upper parts of the vertical unit 200, and the load member can hang.

상세히, 상기 가로대 부재(110)는 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 가로대 하판(113)과, 상기 가로대 하판(113)의 중앙부에서 수직으로 세워지는 가로대 몸체(111)와, 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되고 상기 가로대 몸체(111)의 상부에 올려지는 가로대 상판(112)을 포함한다.In detail, the cross member 110 includes a cross bar lower plate 113 formed in the form of a plate having a predetermined area, a cross bar body 111 vertically installed at a central portion of the cross bar lower plate 113, And a cross bar top plate 112 formed on the upper portion of the cross bar body 111.

상기 가로대 하판(113), 상기 가로대 몸체(111) 및 상기 가로대 상판(112)은 전체적으로 옆으로 누운 H자 단면 형태로 형성되고, 일정 길이로 길게 형성된다.The crossbar lower plate 113, the crossbar body 111, and the crossbar top plate 112 are formed in a generally H-shaped cross-sectional shape lying side by side, and are formed to have a predetermined length.

상기 가로대 몸체(111)의 하부에는 상기 하중체가 체인 등에 의해 매달릴 수 있는 하중 연결부(114)가 형성된다.A load connection portion 114 is formed at a lower portion of the crossbar body 111 so that the load member can be suspended by a chain or the like.

상기 한 쌍의 세로대 유닛(200)은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 서로 이격되도록 세워지는 것이다.The pair of vertical unit units 200 are installed on the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility so as to be spaced apart from each other.

상세히, 상기 각 세로대 유닛(200)은 베이스(210)와, 세로 지지대(230)와, 세로 승강대(235)와, 틸팅 회전 부재(250)를 포함한다.In detail, each vertical unit 200 includes a base 210, a vertical support 230, a vertical platform 235, and a tilting rotary member 250.

상기 베이스(210)는 일정 면적의 직육면체 형태의 플레이트 형태로 형성되는 것으로, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면 상에 놓여, 상기 각 세로대 유닛(200)이 세워지도록 지지하는 것이다.The base 210 is formed in the form of a rectangular parallelepiped plate having a predetermined area and is placed on the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility to support the vertical unit 200 in a standing position.

상기 세로 지지대(230)는 상기 베이스(210)로부터 수직으로 세워지는 것으로, 그 내부가 비어 있는 일정 직경의 봉 형태로 형성된다.The vertical support 230 is vertically erected from the base 210 and is formed into a rod having a constant diameter with an empty interior.

상기 세로 승강대(235)는 상기 세로 지지대(230)의 상부에 삽입될 수 있는 봉 형태로 형성되어, 상기 세로 지지대(230)에 대해 승강될 수 있는 것이다.The vertical platform 235 is formed in a bar shape that can be inserted into the upper portion of the vertical support 230 and can be raised and lowered relative to the vertical support 230.

도면 번호 240은 상기 세로 지지대(230)에 대해 상기 세로 승강대(235)가 회전될 수 있도록 구동력을 제공하는 승강 동력 부재이고, 도면 번호 241은 상기 베이스(210) 상에 설치되는 승강 동력 케이스이고, 도면 번호 242는 상기 승강 동력 케이스(241)에 대해 회전 가능하게 설치되는 외력 인가부이고, 도면 번호 243은 상기 외력 인가부(242)의 회전축과 연결되는 원동 기어이고, 도면 번호 244는 상기 원동 기어(243)와 맞물린 종동 기어이고, 도면 번호 245는 상기 종동 기어(244)와 맞물리면서 상기 세로 지지대(230) 내에 이동 가능하게 설치되면서 상기 세로 승강대(235)의 하부와 연결된 랙 기어이다.Reference numeral 240 denotes a lifting power member for providing a driving force to rotate the vertical platform 235 with respect to the vertical support table 230. Reference numeral 241 denotes an elevation power case installed on the base 210, Reference numeral 242 denotes an external force application portion rotatably provided to the elevation power case 241. Reference numeral 243 denotes a driving gear connected to the rotation axis of the external force application portion 242. Reference numeral 244 denotes a driving gear 245 is a rack gear connected to the lower portion of the vertical platform 235 while being movably installed in the vertical support 230 while being engaged with the driven gear 244. [

상기 외력 인가부(242)는 작업자가 손으로 잡고 외력을 가할 수 있는 핸들로 제시될 수도 있고, 전기 모터 등의 파워 수단일 수도 있다.The external force applying unit 242 may be a handle capable of holding an external force by an operator, or a power means such as an electric motor.

상기 외력 인가부(242)가 회전되면, 상기 원동 기어(243) 및 상기 종동 기어(244)가 순차적으로 회전되고, 그에 따라 상기 랙 기어(245)가 승강되어, 상기 세로 승강대(235)가 승강될 수 있게 된다.When the external force application unit 242 is rotated, the driving gear 243 and the driven gear 244 are sequentially rotated so that the rack gear 245 is raised and lowered, .

상기 틸팅 회전 부재(250)는 상기 세로 승강대(235)의 상부에 틸팅(tilting) 및 회전 가능하게 연결되고, 그 상부에 상기 가로대 부재(110)가 연결될 수 있는 것이다.The tilting rotary member 250 is tilted and rotatably connected to the upper portion of the vertical platform 235 and the cross member 110 is connected to the tilting rotary member 250.

더욱 상세히, 상기 틸팅 회전 부재(250)는 회전체(251)와, 하부 틸팅 부재(255)와, 상부 틸팅 부재(260)를 포함한다.More specifically, the tilting rotary member 250 includes a rotating body 251, a lower tilting member 255, and an upper tilting member 260.

상기 회전체(251)는 상기 세로 승강대(235)의 상부에 대해 회전될 수 있도록 연결되는 것이다. 예를 들어, 그 내부가 빈 형태의 상기 세로 승강대(235)의 상부에 축 형태로 상기 회전체(251)가 삽입됨으로써, 상기 회전체(251)가 상기 세로 승강대(235)의 상부에 대해 회전될 수 있게 된다.The rotating body 251 is rotatably connected to the upper part of the vertical platform 235. The rotary body 251 may be rotated about the upper portion of the vertical platform 235 by inserting the rotary body 251 in the form of an axis on the upper part of the vertical platform 235, .

상기 하부 틸팅 부재(255)는 상기 회전체(251)의 상부에 연결되는 것으로, 상기 하부 틸팅 부재(255)는 상기 회전체(251)의 상단에 연결되고 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 하부 틸팅 플레이트(256)와, 상기 하부 틸팅 플레이트(256) 상에 수직으로 세워지는 하부 틸팅 수직체(257)를 포함한다.The lower tilting member 255 is connected to an upper portion of the rotating body 251. The lower tilting member 255 is connected to an upper end of the rotating body 251 and has a lower tilting A plate 256 and a lower tilting vertical body 257 vertically erected on the lower tilting plate 256.

상기 상부 틸팅 부재(260)는 상기 하부 틸팅 부재(255)의 상부에 틸팅축(252)을 중심으로 틸팅될 수 있도록 배치되고 그 상단에 상기 가로대 부재(110)가 연결되는 것으로, 상기 상부 틸팅 부재(260)는 상기 하부 틸팅 수직체(257)에 상기 틸팅축(252)에 의해 틸팅 가능하게 연결되고 수직으로 세워지는 상부 틸팅 수직체(262)와, 상기 상부 틸팅 수직체(262)의 상단에 연결되고 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 상부 틸팅 플레이트(261)를 포함한다.The upper tilting member 260 is disposed at an upper portion of the lower tilting member 255 so as to be tilted about a tilting axis 252 and is connected to the upper end of the upper tilting member 260, The upper tilting vertical body 262 includes an upper tilting vertical body 262 vertically connected to the lower tilting vertical body 257 so as to be tiltable by the tilting axis 252, And an upper tilting plate 261 connected and formed in a plate shape of a predetermined area.

상기 하부 틸팅 수직체(257)는 한 쌍으로 구성되어 상기 하부 틸팅 플레이트(256)로부터 서로 일정 간격 이격되도록 수직으로 각각 상방을 향해 세워지는 것이고, 상기 상부 틸팅 수직체(262)는 한 쌍으로 구성되어 상기 하부 틸팅 플레이트(256)로부터 서로 일정 간격 이격되도록 수직으로 각각 하방을 향해 세워지는 것이며, 상기 각 하부 틸팅 수직체(257)와 상기 각 상부 틸팅 수직체(262)는 서로 면접촉된다.The lower tilting vertical bodies 257 are formed as a pair and are vertically upwardly spaced apart from the lower tilting plate 256 by a predetermined distance. The upper tilting vertical bodies 262 are formed as a pair The lower tilting vertical body 257 and the upper tilting vertical body 262 are in surface contact with each other so as to be vertically spaced apart from each other by a predetermined distance from the lower tilting plate 256.

이러한 상기 각 하부 틸팅 수직체(257)와 상기 각 상부 틸팅 수직체(262)를 상기 틸팅축(252)이 관통함으로써, 상기 틸팅축(252)을 중심으로 상기 하부 틸팅 부재(255)에 대해 상기 상부 틸팅 부재(260)가 일정 각도 범위 내에서 틸팅될 수 있게 된다.The lower tilting vertical body 257 and the upper tilting vertical body 262 are pierced by the tilting shaft 252 so that the lower tilting vertical body 257 is rotated about the tilting axis 252 The upper tilting member 260 can be tilted within a certain angle range.

한편, 상기 틸팅 회전 부재(250)는 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)의 각 일 측부를 연결하는 제 1 틸팅 고정 수단(265)과, 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)의 각 타 측부를 연결하는 제 2 틸팅 고정 수단(266)을 포함한다.The tilting rotary member 250 includes a first tilting and fixing means 265 for connecting the lower tilting plate 256 and one side of the upper tilting plate 261, And a second tilting fixing means 266 for connecting the other side portions of the upper tilting plate 261.

예시적으로, 상기 제 1 틸팅 고정 수단(265)과 상기 제 2 틸팅 고정 수단(266)은 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)를 각각 관통할 수 있는 볼트와, 상기 볼트를 고정시킬 수 있는 너트로 구성될 수 있다.For example, the first tilting and fixing means 265 and the second tilting and fixing means 266 may include a bolt that can penetrate the lower tilting plate 256 and the upper tilting plate 261, And a nut that can fix the nut.

상기와 같이 구성되면, 상기 틸팅축(252)에 의해 틸팅된 상태의 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)가 상기 제 1 틸팅 고정 수단(265)과 상기 제 2 틸팅 고정 수단(266)에 의해 연결 고정됨으로써, 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)의 틸팅 상태가 고정될 수 있다.The lower tilting plate 256 and the upper tilting plate 261 in a state of being tilted by the tilting axis 252 are rotated by the first tilting and fixing means 265 and the second tilting and fixing means 265, The tilting state of the lower tilting plate 256 and the upper tilting plate 261 can be fixed.

예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 틸팅 고정 수단(265) 쪽에서 상기 상부 틸팅 플레이트(261)가 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상대적으로 더 근접되도록 틸팅된 상태 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 2 틸팅 고정 수단(266) 쪽에서 상기 상부 틸팅 플레이트(261)가 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상대적으로 더 근접되도록 틸팅된 상태 그대로, 상기 제 1 틸팅 고정 수단(265)과 상기 제 2 틸팅 고정 수단(266)에 의해 상기 하부 틸팅 플레이트(256)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)의 틸팅 상태가 고정될 수 있다.For example, as shown in FIG. 4, the upper tilting plate 261 is tilted so as to be relatively closer to the lower tilting plate 256 than the first tilting and fixing means 265, The first tilting and fixing means 265 is tilted so that the upper tilting plate 261 is relatively closer to the lower tilting plate 256 than the first tilting and fixing means 266, And the tilting state of the lower tilting plate 256 and the upper tilting plate 261 can be fixed by the second tilting and fixing means 266.

상기와 같이, 상기 틸팅 회전 부재(250)가 상기 세로 승강대(235)의 상부에 틸팅 및 회전 가능하게 연결되고, 상기 틸팅 회전 부재(250)의 상부에 상기 가로대 부재(110)가 연결됨으로써, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 대해 상기 세로 지지대(230)와 상기 세로 승강대(235)가 수직으로 세워지지 못하는 경우에도, 상기 틸팅 회전 부재(250)가 틸팅과 회전 중 적어도 하나의 동작을 통해, 상기 상부 틸팅 플레이트(261)가 중력 방향에 대해 수직이 되어 상기 가로대 부재(110)가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 조정될 수 있게 된다.As described above, the tilting rotary member 250 is tilted and rotatably connected to the upper portion of the vertical platform 235, and the cross member 110 is connected to the upper portion of the tilting rotary member 250, Even when the vertical support table 230 and the vertical platform 235 can not be vertically erected with respect to the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, the tilting and rotating member 250 may be rotated at least one of tilting and rotating The upper tilting plate 261 is perpendicular to the gravitational direction so that the cross member 110 can be adjusted to be perpendicular to the gravitational direction.

한편, 상기 상부 틸팅 부재(260)는 간격 형성체(263)와, 클램핑 덮개(264)와, 클램핑 고정체(265)를 포함한다.The upper tilting member 260 includes an interval forming body 263, a clamping lid 264, and a clamping fixture 265.

상기 간격 형성체(263)는 일정 두께의 플레이트 형태로 형성되어, 상기 상부 틸팅 플레이트(261) 상에 올려지고, 상기 상부 틸팅 플레이트(261) 상에 올려진 상기 가로대 하판(113)의 측면과 대면되는 것이다.The gap forming body 263 is formed in the shape of a plate having a predetermined thickness and is mounted on the upper tilting plate 261. The gap forming body 263 is formed on the side surface of the crossbar lower plate 113, .

상기 클램핑 덮개(264)는 일정 두께의 플레이트 형태로 형성되어, 상기 간격 형성체(263) 상에 올려지면서, 상기 상부 틸팅 플레이트(261) 상에 올려진 상기 가로대 하판(113)의 측부 상면 일부를 덮는 것이다.The clamping lid 264 is formed in the shape of a plate having a predetermined thickness and is mounted on the gap forming body 263 so that a part of the side upper surface of the crossbar lower plate 113 placed on the upper tilting plate 261 .

상기 클램핑 고정체(265)는 상기 가로대 하판(113)이 상기 클램핑 덮개(264)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)에 의해 클램핑될 수 있도록, 상기 클램핑 덮개(264), 상기 간격 형성체(263) 및 상기 상부 틸팅 플레이트(261)를 함께 고정시키는 것으로, 상기 클램핑 덮개(264), 상기 간격 형성체(263) 및 상기 상부 틸팅 플레이트(261)를 함께 관통하는 볼트 등으로 제시될 수 있다.The clamping fixture 265 is fixed to the clamping lid 264, the gap forming body 263, and the clamping lid 264 so that the crossbar lower plate 113 can be clamped by the clamping lid 264 and the upper tilting plate 261. [ And the upper tilting plate 261 may be fixed together by bolts passing through the clamping lid 264, the gap forming body 263 and the upper tilting plate 261 together.

상기 클램핑 고정체(265)의 의해 고정된 상기 클램핑 덮개(264), 상기 간격 형성체(263) 및 상기 상부 틸팅 플레이트(261)는 ㄷ자 형태로 이루어져서, 상기 가로대 하판(113)의 측부를 집을 수 있게 된다.The clamping lid 264, the gap forming body 263 and the upper tilting plate 261 fixed by the clamping fixture 265 are formed in a U shape to hold the side of the crossbar lower plate 113 .

상기 간격 형성체(263), 상기 클램핑 덮개(264) 및 상기 클램핑 고정체(265)는 한 쌍으로 구성되어, 상기 가로대 하판(113)의 각 측부를 각각 집을 수 있도록 형성될 수 있다.The gap forming body 263, the clamping lid 264 and the clamping fixture 265 may be formed as a pair so as to respectively hold respective sides of the crossbar lower plate 113.

상기와 같이, 상기 가로대 하판(113)이 상기 클램핑 덮개(264)와 상기 상부 틸팅 플레이트(261)에 의해 클램핑되는 구조로 고정됨으로써, 상기 가로대 하판(113)의 고정이 더욱 간편하게 이루어질 수 있다.As described above, the crossbar lower plate 113 is fixed by the clamping lid 264 and the upper tilting plate 261 so that the crossbar lower plate 113 can be more easily fixed.

한편, 상기 각 세로대 유닛(200)은 확장 다리(220)와, 확장 지지체(221)와, 하중 분산 구조체(211)와, 정렬 확인 부재(201)를 더 포함한다.Each of the vertical unit units 200 further includes an extension leg 220, an extended support 221, a load distribution structure 211, and an alignment confirmation member 201.

도면 번호 212는 상기 베이스(210) 저면에 설치되어 이동 시 이용되는 롤러이다.Reference numeral 212 denotes a roller provided on the bottom surface of the base 210 and used for movement.

상기 확장 다리(220)는 상기 베이스(210) 저면 상에 수축되거나 상기 베이스(210)에서 돌출 연장될 수 있는 것으로, 상기 베이스(210)의 각 모서리부로 각각 확장될 수 있도록 상기 베이스(210)의 저면에 4개가 각각 확장 회전축(214)에 의해 연결된다.The extension leg 220 may be contracted on the bottom surface of the base 210 or may be extended and protruded from the base 210. The extension leg 220 may extend from the base 210 to each corner of the base 210, Four on the underside are connected by an extension rotation shaft 214, respectively.

상기 각 확장 다리(220)에는 상기 각 확장 회전축(214)이 관통되고 일정 길이로 길게 형성된 장공이 형성되어, 상기 장공 내에서 상기 각 확장 회전축(214)이 이동 가능하게 되므로, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 각 확장 다리(220)가 상기 베이스(210)로부터 돌출 연장되어 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인(100)이 전복 방지되거나, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 베이스(210)의 저면과 포개어지도록 수축되는 형태가 되어 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인(100)의 이동 시 그 이동이 간편해질 수 있게 된다.Each of the extension legs 220 is formed with a long hole having a predetermined length passing through the respective extension rotation shafts 214 so that the respective extension rotation shafts 214 can move within the slots. As shown in FIG. 9, each of the extension legs 220 protrudes from the base 210 to prevent the movable crane 100 for the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility from falling over, 210 so that the movement of the movable crane 100 for the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility can be simplified.

상기 확장 지지체(221)는 상기 각 확장 다리(220)의 말단부에 형성되어 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면 쪽으로 일정 길이 돌출되어 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 접하여 상기 세로대 유닛(200)을 지지해주는 것이다.The extension support 221 is formed at a distal end of each extension leg 220 and protrudes by a predetermined length toward the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility and contacts the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, Thereby supporting the unit 200.

도면 번호 213은 상기 베이스(210)의 각 모서리부로 확장된 상기 각 확장 다리(220)와 상기 베이스(210)를 각각 관통하여 상기 각 확장 다리(220)의 확장된 상태를 유지해주는 볼트 등의 확장 고정 수단이 관통되도록 상기 베이스(210)의 각 모서리부에 형성된 확장 고정 홀이다.Reference numeral 213 denotes an extension of a bolt or the like which penetrates the extension legs 220 extending to the respective corners of the base 210 and the base 210 to maintain the expanded state of the extension legs 220, And is an enlarged fixing hole formed at each corner of the base 210 so that the fixing means is penetrated.

상기 하중 분산 구조체(211)는 상기 베이스(210) 저면에 돌출 형성되어, 상기 세로대 유닛(200)의 하중을 분산시켜주는 것이다. 본 실시예에서는, 상기 하중 분산 구조체(211)가 격자 형태로 상기 베이스(210) 저면에서 돌출된다.The load distribution structure 211 protrudes from the bottom surface of the base 210 to disperse the load of the vertical unit 200. In this embodiment, the load distribution structure 211 protrudes from the bottom of the base 210 in a lattice form.

상기 정렬 확인 부재(201)는 상기 각 세로대 유닛(200)이 중력 방향에 대해 수직으로 세워졌는지 여부를 감지하는 것이다.The alignment confirmation member 201 senses whether each vertical unit 200 is erected perpendicular to the gravitational direction.

본 실시예에서는, 상기 정렬 확인 부재(201)는 상기 세로 지지대(230)의 외표면에 고정 설치되되 상기 세로 지지대(230) 외표면의 수직선을 따라 형성된 고정 확인체(203)와, 상기 세로 지지대(230) 외표면의 수직선 상에 회동 가능하게 연결되는 이동 확인체(202)를 포함한다.In the present embodiment, the alignment confirmation member 201 is fixed to the outer surface of the vertical support 230 and includes a fixed check member 203 formed along a vertical line on the outer surface of the vertical support 230, And a movement confirming body 202 rotatably connected to a vertical line of the outer surface of the body 230.

상기 이동 확인체(202)는 항상 중력 방향으로 향하도록 연결되어 있어서, 상기 이동 확인체(202)와 상기 고정 확인체(203)가 서로 일치하면 상기 각 세로대 유닛(200)이 중력 방향에 대해 수직으로 세워진 것이고, 상기 이동 확인체(202)와 상기 고정 확인체(203)가 서로 불일치하면 상기 각 세로대 유닛(200)이 중력 방향에 대해 수직으로 세워지지 않은 것이므로, 외부에서 작업자가 육안으로 간편하게 상기 각 세로대 유닛(200)의 직립 여부를 확인할 수 있게 된다.The movement confirmation body 202 is always connected to the gravity direction so that when the movement confirmation body 202 and the fixed confirmation body 203 coincide with each other, When the movement confirming body 202 and the stationary confirming body 203 do not coincide with each other, each of the vertical unit 200 is not erected perpendicular to the gravitational direction. Therefore, It is possible to confirm whether each vertical unit 200 is upright or not.

이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인(100)의 설치 과정에 대하여 설명한다.Hereinafter, a process of installing the mobile crane 100 for a clean room in the semiconductor and display manufacturing facility according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.

먼저, 상기 확장 다리(220)가 수축되고, 상기 세로 승강대(235)가 상기 세로 지지대(230) 내부로 수축된 상태의 상기 각 세로대 유닛(200)과, 상기 가로대 부재(110)가 분리된 상태로 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸으로 이동된다.First, the vertical leg unit 220 is contracted and the vertical leg unit 235 is retracted into the vertical support unit 230. The vertical leg unit 230 is separated from the vertical leg unit 230, To the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility.

그런 다음, 서로 이격 배치된 상기 각 세로대 유닛(200)의 상기 베이스(210)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면 상에 놓이고, 상기 확장 다리(220)가 확장된 상태로 고정된다.Then, the base 210 of each vertical unit 200 spaced apart from each other is placed on the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, and the expansion leg 220 is fixed in an extended state .

이 때, 상기 제 1 틸팅 고정 수단(265)과 상기 제 2 틸팅 고정 수단(266)은 결합되지 않은 상태여서, 상기 각 틸팅 회전 부재(250)가 자유롭게 틸팅 및 회전될 수 있는 상태가 된다.At this time, the first tilting and fixing means 265 and the second tilting and fixing means 266 are not engaged, so that the respective tilting and rotating members 250 can freely be tilted and rotated.

이러한 상태에서, 상기 각 틸팅 회전 부재(250) 상에 상기 가로대 부재(110)의 각 측부가 클램핑되도록 연결되고, 그런 다음 상기 각 세로 승강대(235)가 요구되는 높이까지 상승된다.In this state, each side of the cross member 110 is connected to each of the tilting rotary members 250 so as to be clamped, and then the respective vertical frame 235 is raised to a required height.

이러한 상태에서, 상기 가로대 부재(110)가 중력 방향에 대해 수직이 되도록 정렬되도록, 작업자에 의해 상기 각 틸팅 회전 부재(250)가 틸팅 및 회전되고, 그런 다음 상기 제 1 틸팅 고정 수단(265)과 상기 제 2 틸팅 고정 수단(266)이 결합됨으로써, 상기 각 틸팅 회전 부재(250)의 틸팅된 상태가 고정될 수 있게 된다. 그러면, 상기 세로대 유닛(200)의 수직 여부와 무관하게, 상기 가로대 부재(110)가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있게 된다.In this state, each tilting rotary member 250 is tilted and rotated by an operator so that the cross member 110 is perpendicular to the gravity direction, and then the first tilting fixing means 265 The tilting state of each tilting rotary member 250 can be fixed by engaging the second tilting and fixing means 266. Thus, the cross member 110 can be perpendicular to the gravity direction regardless of whether the vertical unit 200 is vertical or not.

상기와 같이, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인(100)이 상기 한 쌍의 세로대 유닛(200)과 상기 가로대 부재(110)를 포함함에 따라, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면이 평평하지 못하는 등 여러 원인으로 인해 상기 세로대 유닛(200)이 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도, 상기 틸팅 회전 부재(250)가 틸팅과 회전 중 적어도 하나의 동작을 통해, 상기 상부 틸팅 플레이트(261)가 중력 방향에 대해 수직이 되어 상기 가로대 부재(110)가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 조정될 수 있게 되므로, 상기 세로대 유닛(200)이 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인(100)의 전복이 방지될 수 있게 된다.As described above, since the movable crane 100 for a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility includes the pair of vertical unit 200 and the cross member 110, the installation of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility The tilting and rotating member 250 may be rotated in at least one of the tilting and rotating directions of the vertical tilting plate 250. In this case, even when the vertical bar 200 is not raised in the gravity direction due to various reasons, 261 are perpendicular to the gravity direction so that the cross member 110 can be adjusted to be perpendicular to the gravity direction so that even when the vertical unit 200 can not stand up in the gravity direction, It is possible to prevent the movable crane 100 for the clean room of the manufacturing facility from being rolled over.

상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and detail may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims And can be changed. However, it is intended that the present invention covers the modifications and variations of this invention provided they come within the scope of the appended claims and their equivalents.

본 발명의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인에 의하면, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면이 평평하지 못하는 등 여러 원인으로 인해 세로대가 중력 방향으로 세워지지 못하는 경우에도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인의 전복이 방지될 수 있도록, 상기 세로대에 고정되는 가로대가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.The movable crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility according to an aspect of the present invention can prevent the vertical bar from being raised in the gravity direction due to various reasons such as the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility being not flat, The cross bar fixed to the vertical barrel can be perpendicular to the gravity direction so that the movable crane for the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility can be prevented from being rolled up.

100 : 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인
110 : 가로대 부재
200 : 세로대 유닛
210 : 베이스
230 : 세로 지지대
235 : 세로 승강대
250 : 틸팅 회전 부재100: Mobile crane for clean room of semiconductor and display manufacturing facilities
110:
200:
210: Base
230: vertical support
235: Vertical platform
250: tilting rotatable member

Claims (5)

반도체와 디스플레이 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸에 적용되는 것으로서,
상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 서로 이격되도록 세워지는 한 쌍의 세로대 유닛; 및
상기 각 세로대 유닛의 상부를 연결하고, 하중체가 매달릴 수 있는 가로대 부재;를 포함하고,
상기 각 세로대 유닛은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 놓이는 베이스와, 상기 베이스로부터 세워지는 세로 지지대와, 상기 세로 지지대에 대해 승강될 수 있는 세로 승강대와, 상기 세로 승강대의 상부에 틸팅(tilting) 및 회전 가능하게 연결되고, 그 상부에 상기 가로대 부재가 연결될 수 있는 틸팅 회전 부재를 포함하고,
상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 대해 상기 세로 지지대와 상기 세로 승강대가 수직으로 세워지지 못하는 경우에도, 상기 틸팅 회전 부재가 틸팅과 회전 중 적어도 하나의 동작을 통해 상기 가로대 부재가 중력 방향에 대해 수직이 될 수 있도록 조정되고,
상기 틸팅 회전 부재는 상기 세로 승강대에 대해 회전될 수 있도록 연결되는 회전체와, 상기 회전체의 상부에 연결되는 하부 틸팅 부재와, 상기 하부 틸팅 부재의 상부에 틸팅축을 중심으로 틸팅될 수 있도록 배치되고 그 상단에 상기 가로대 부재가 연결되는 상부 틸팅 부재를 포함하고,
상기 하부 틸팅 부재는 상기 회전체의 상단에 연결되고 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 하부 틸팅 플레이트와, 상기 하부 틸팅 플레이트 상에 수직으로 세워지는 하부 틸팅 수직체를 포함하고,
상기 상부 틸팅 부재는 상기 하부 틸팅 수직체에 상기 틸팅축에 의해 틸팅 가능하게 연결되고 수직으로 세워지는 상부 틸팅 수직체와, 상기 상부 틸팅 수직체의 상단에 연결되고 일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 상부 틸팅 플레이트를 포함하고,
상기 틸팅 회전 부재는 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트의 각 일 측부를 연결하는 제 1 틸팅 고정 수단과, 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트의 각 타 측부를 연결하는 제 2 틸팅 고정 수단을 포함하고,
상기 틸팅축에 의해 틸팅된 상태의 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트가 상기 제 1 틸팅 고정 수단과 상기 제 2 틸팅 고정 수단에 의해 연결 고정됨으로써, 상기 하부 틸팅 플레이트와 상기 상부 틸팅 플레이트의 틸팅 상태가 고정될 수 있는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인.The present invention is applied to a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility capable of manufacturing at least one of a semiconductor and a display,
A pair of vertical unit units spaced apart from each other on an installation surface of a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility; And
And a cross member connecting the upper portions of the respective vertical unit units and capable of hanging the load member,
Wherein each vertical unit includes a base placed on an installation surface of a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, a vertical support stand erected from the base, a vertical platform capable of being raised and lowered with respect to the vertical support, and a tilting rotary member connected to the upper portion of the tilting rotary member so that the cross member can be connected thereto,
Even when the vertical support frame and the vertical platform are not vertically erected with respect to the installation surface of the clean room of the semiconductor and display manufacturing facility, the tilt rotary member is moved in the gravity direction Lt; RTI ID = 0.0 >
The tilting rotary member is rotatably connected to the vertical platform, a lower tilting member connected to an upper portion of the rotary body, and a lower tilting member arranged to be tilted about a tilting axis at an upper portion of the lower tilting member And an upper tilting member to which the cross member is connected,
The lower tilting member includes a lower tilting plate connected to an upper end of the rotating body and formed in a plate shape of a predetermined area and a lower tilting vertical body vertically installed on the lower tilting plate,
The upper tilting vertical body is connected to the lower tilting vertical body so as to be able to be tilted by the tilting axis and is vertically erected. An upper tilting vertical body is connected to the upper end of the upper tilting vertical body, Comprising a tilting plate,
The tilting and rotating member includes first tilting and fixing means for connecting the lower tilting plate and one side of the upper tilting plate, and second tilting and fixing means for connecting the lower tilting plate and the other side of the upper tilting plate Including,
The lower tilting plate and the upper tilting plate tilted by the tilting axis are connected and fixed by the first tilting and fixing means and the second tilting and fixing means to thereby tilt the lower tilting plate and the upper tilting plate Characterized in that a movable crane for a clean room of a semiconductor and display manufacturing facility can be fixed. 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 가로대 부재는
일정 면적의 플레이트 형태로 형성되는 가로대 하판과,
상기 가로대 하판의 중앙부에서 수직으로 세워지는 가로대 몸체를 포함하고,
상기 상부 틸팅 부재는
상기 상부 틸팅 플레이트 상에 올려지고 상기 가로대 하판의 측면과 대면되는 간격 형성체와,
상기 간격 형성체 상에 올려지면서 상기 가로대 하판의 측부 상면을 덮는 클램핑 덮개와,
상기 가로대 하판이 상기 클램핑 덮개와 상기 상부 틸팅 플레이트에 의해 클램핑될 수 있도록, 상기 클램핑 덮개, 상기 간격 형성체 및 상기 상부 틸팅 플레이트를 함께 고정시키는 클램핑 고정체를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인.The method according to claim 1,
The cross member
A cross bar lower plate formed in the form of a plate having a predetermined area,
And a cross bar body vertically erected at a central portion of the cross bar lower plate,
The upper tilting member
An interval forming body which is placed on the upper tilting plate and faces the side surface of the lower transverse plate,
A clamping cover covering the side upper surface of the crossbar lower plate while being placed on the gap-forming body,
And a clamping fixture for fixing the clamping lid, the spacer and the upper tilting plate together so that the crossbar lower plate can be clamped by the clamping lid and the upper tilting plate. Removable crane for clean room of installation. 제 1 항에 있어서,
상기 각 세로대 유닛은
상기 베이스 저면 상에 수축되거나 상기 베이스에서 돌출 연장될 수 있는 확장 다리와,
상기 확장 다리의 말단부에 형성되어 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸의 설치면에 접하여 상기 세로대 유닛을 지지해주는 확장 지지체와,
상기 베이스 저면에 형성되어, 상기 세로대 유닛의 하중을 분산시켜주는 하중 분산 구조체와,
상기 각 세로대 유닛이 중력 방향에 대해 수직으로 세워졌는지 여부를 감지하는 정렬 확인 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 크린룸용 이동식 크레인.The method according to claim 1,
Each of the vertical unit
An extension leg that can be retracted on the base bottom surface or protruding from the base,
An extension support formed at a distal end of the extension leg to support the vertical unit in contact with an installation surface of a clean room of the semiconductor and display manufacturing facility,
A load distribution structure formed on the base bottom surface to distribute the load of the vertical unit,
And an alignment confirmation member for detecting whether each of the vertical bar units is erected perpendicular to the gravitational direction.
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