KR101963247B1

KR101963247B1 - 진공 밀봉 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈의 제조 설비

Info

Publication number: KR101963247B1
Application number: KR1020160080397A
Authority: KR
Inventors: 박재홍; 홍영기; 최인수
Original assignee: 주식회사 에피온
Priority date: 2016-06-27
Filing date: 2016-06-27
Publication date: 2019-03-29
Also published as: KR20180001362A

Abstract

본 발명은 진공 밀봉 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈의 제조 설비에 관한 것이다. 본 발명의 진공 유리 모듈의 제조 설비는 진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치; 상기 진공 밀봉 장치와 인접하게 배치되고, 상기 진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사하는 제1 광원 유닛; 상기 제1 광원 유닛과 이격되는 제2 광원 유닛; 및 상기 제1 광원 유닛으로부터 레이저 광을 조사받은 진공 유리 모듈을 상기 제2 광원 유닛으로 이송시키는 이송 장치를 포함하되, 상기 제2 광원 유닛은 상기 이송 장치에 의해 이송된 진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사한다.

Description

진공 밀봉 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈의 제조 설비{Vacuum sealing device apparatus of fabricating vacuum glass module using the same}

본 발명은 진공 밀봉 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈의 제조 설비에 에 관한 것이다.

진공 유리 모듈(vacuum glass module)은 판 유리인 두 개의 유리 패널을 부착한 후 유리 패널 사이를 진공 상태로 만들어 형성된다. 이러한 진공 유리 모듈은 약 20년 내지 30년 동안 진공 상태를 유지하여야 한다. 이러한 진공 유리 모듈을 건물에 사용할 경우, 두 개의 유리 패널 사이에 형성된 공기 층에 의해 하나의 유리 패널로 이루어진 복층 유리 패널 모듈에 비해, 단열 성능과 방음 효과가 향상되고 열전도성이 낮아져 에너지 소비율이 크게 향상된다.

진공 유리 모듈의 진공 상태는 진공 유리 모듈의 내부 기체를 제거하여 형성할 수 있다. 하지만, 진공 유리 모듈의 진공 상태를 형성하는 데 많은 시간이 소요될 수 있다. 이에 따라, 진공 유리 모듈의 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 진공 유리 모듈을 밀봉하는 진공 밀봉 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈의 제조 설비를 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 과제는 진공 유리 모듈의 생산성을 향상시키기 위한 진공밀봉 장치 및 이를 이용한 진공 유리 모듈의 제조 설비를 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비는, 진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치; 상기 진공 밀봉 장치와 인접하게 배치되고, 밀봉된 진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사하는 제1 광원 유닛; 상기 제1 광원 유닛과 이격되는 제2 광원 유닛; 및 상기 제1 광원 유닛으로부터 레이저 광을 조사받은 진공 유리 모듈을 상기 제2 광원 유닛으로 이송시키는 이송 장치를 포함하되, 상기 제2 광원 유닛은 상기 이송 장치에 의해 이송된 진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사한다.

일 실시예에서, 상부에 제1 개구부를 갖는 케이스; 상기 케이스 내에 배치되고, 진공 유리 모듈의 배기구를 밀봉하는 배기구 마개를 지지하기 위한 지지 부재; 상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 가열하기 위한 가열 유닛; 상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이동시키기 위한 이동 유닛; 및 상기 케이스와 연결되고, 상기 케이스 내로 진공압을 제공하기 위한 진공압 공급 유닛을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 가열 유닛은: 상기 지지 부재의 하부와 접촉하는 박판형의 발열 부재; 및 상기 발열 부재와 전기적으로 연결되어, 상기 발열 부재에 외부에서 인가된전압을 공급하는 전극부를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 이동 유닛은: 구동력을 생성하는 구동부; 및 상기 구동부와 상기 지지 부재를 연결하고, 상기 지지 부재에 상기 구동부에서 생성된 구동력을 전달하는 구동 샤프트부를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 케이스 내에 고정되고, 상기 지지 부재에 지지되는 배기구 마개의 위치를 가이드하는 가이드 유닛을 더 포함하고, 상기 가이드 유닛은: 상기 지지 부재에 제공된 가이드 홀들에 각각 삽입되어, 상기 지지 부재에 안착된 배기구 마개의 외곽을 따라 배치되는 복수의 가이드 핀들; 및 상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 구동 샤프트부가 관통하는 제1 사프트 홀, 및 상기 가이드 핀들의 일단들이 각각 삽입되는 삽입 홈들을 갖는 제1 상부 플레이트를 포함하고, 상기 삽입 홈들은 상기 제1 샤프트 홀의 경계를 따라 배치되고, 상기 가이드 홀과 상하방향으로 중첩될 수 있다.

일 실시예에서, 상기 케이스는: 상기 제1 개구부의 외곽으로부터 외측으로 연장되는 플랜지부와, 상기 플랜지부의 외곽으로부터 하측으로 연장되는 제1 측벽부와, 상기 제1 측벽부의 하부와 연결되며 상하 방향으로 길이가 가변되는 탄성 변형부와, 상기 탄성 변형부의 하부와 연결되는 제2 측벽부를 포함하는 상부 케이스부; 상기 상부 케이스부의 하측에 배치되고, 상기 진공압 공급 유닛과 연결되는 연결 케이스부; 및 상기 연결 케이스부의 하측에 배치되는 바닥 케이스부를 포함하고, 상기 가이드 유닛은: 상기 제1 상부 플레이트의 하측에 이격되고, 상기 구동 샤프트부가 관통하는 제2 샤프트 홀을 갖는 제1 하부 플레이트; 상기 제1 상부 플레이트와 상기 제1 하부 플레이트를 연결하는 상부 연결 부재들; 및 상기 제1 하부 플레이트와 상기 바닥 케이스부를 연결하는 하부 연결 부재들을 더 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 탄성 변형부는 주름 관 형태로 제공될 수 있다.

일 실시예에서, 상기 이동 유닛은; 상기 지지 부재를 통해 상기 구동 샤트프부에 전달되는 충격을 흡수하는 충격 흡수부; 및 상기 지지 부재와 상기 충격 흡수부 사이에 배치되고, 상기 가열 유닛과 연결되는 가열 유닛 연결부를 더 포함하고, 상기 구동 샤프트부는: 상기 제1 샤프트 홀을 관통하여, 상기 가열 유닛과 상기 가열 유닛 연결부의 상부를 연결하는 제1 샤프트; 상기 제2 샤프트 홀을 관통하여, 상기 가열 유닛 연결부의 하부와 상기 충격 흡수부의 상부를 연결하는 제2 샤프트; 및 상기 충격 흡수부의 하부와 상기 구동부를 연결하는 제3 샤프트를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 가열 유닛 연결부는: 상기 가열 유닛의 상기 전극부가 설치되고, 상기 상부 연결 부재들이 관통하는 복수의 제1 관통 홀들을 갖는 제2 상부 플레이트; 상기 제2 상부 플레이트의 하측에 이격되고, 상기 상부 연결 부재들이 관통하는 복수의 제2 관통 홀들을 갖는 제2 하부 플레이트; 및 상기 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들을 연결하는 연결 부재들을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 충격 흡수부는: 상기 제2 샤프트와 연결되는 제3 상부 플레이트; 상기 제3 상부 플레이트의 하측에 이격되고, 상기 제3 샤프트와 연결되는 제3 하부 플레이트; 및 상기 제3 상부 및 제3 하부 플레이트들을 연결하는 탄성 부재를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 가열 유닛은 상기 제1 샤프트의 일단과 연결되고, 상기 복수의 가이드 핀들이 관통하는 복수의 핀 홀들을 갖는 제1 플레이트를 포함하고, 상기 발열 부재는: 상기 제1 플레이트 상에 배치되고, 상기 지지 부재의 하부와 접촉하는 접촉부; 상기 접촉부의 일단으로부터 하측을 향해 연장되는 제1 전극 연결부; 및 상기 접촉부의 타단으로부터 하측을 향해 연장되는 제2 전극 연결부를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 전극부는: 상기 가열 유닛 연결부에 설치되고, 상기 제1 전극 연결부와 전기적으로 연결되는 제1 전극 부재; 및 상기 가열 유닛 연결부에 설치되고, 상기 제2 전극 연결부와 전기적으로 연결되는 제2 전극 부재를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 지지 부재는 상기 접촉부가 삽입되는 안착 홈을 가질 수 있다.

일 실시예에서, 상기 케이스 상에 배치되어, 상기 제1 개구부를 둘러싸는 링 형상의 실링 부재를 더 포함할 수 있다

일 실시예에서, 상기 케이스는 상기 제1 개구부의 외곽으로부터 상측을 향해 연장되는 단턱부를 더 포함하고, 상기 단턱부의 높이는 상기 실링 부재의 높이보다 작을 수 있다.

본 발명에 따른 진공 밀봉 장치는 진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치에 있어서, 상부에 제1 개구부를 갖는 케이스; 상기 케이스 내에 배치되고, 진공 유리 모듈의 배기구를 밀봉하는 배기구 마개를 지지하기 위한 지지 부재; 상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 가열하기 위한 가열 유닛; 상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이동시키기 위한 이동 유닛; 및 상기 케이스와 연결되고, 상기 케이스 내로 진공압을 제공하기 위한 진공압 공급 유닛을 포함하고, 상기 가열 유닛은: 상기 지지 부재의 하부와 접촉하는 박판형의 발열 부재; 및 상기 발열 부재와 전기적으로 연결되어, 상기 발열 부재에 외부에서 인가된전압을 공급하는 전극부를 포함한다.

본 발명에 따른 진공 밀봉 장치는 진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치에 있어서, 상부에 제1 개구부를 갖는 케이스; 상기 케이스 내에 배치되고, 진공 유리 모듈의 배기구를 밀봉하는 배기구 마개를 지지하기 위한 지지 부재; 상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 가열하기 위한 가열 유닛; 상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이동시키기 위한 이동 유닛; 및 상기 케이스와 연결되고, 상기 케이스 내로 진공압을 제공하기 위한 진공압 공급 유닛을 포함하고, 상기 가열 유닛은: 상기 지지 부재의 하부에 이격 배치되는 램프형 히터; 및 상기 램프형 히터와 전기적으로 연결되어, 상기 램프형 히터에 외부에서 인가된 전압을 공급하는 전극부를 포함한다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 진공 밀봉 장치를 이용하여 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 진공 유리 모듈을 밀봉할 수 있다.

또한, 진공 유리 모듈의 밀봉과 게터의 활성화 공정, 및 게터의 재활성화 공정을 서로 다른 공간에서 수행하여, 진공 유리 모듈의 생산성이 향상될 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비에서 제조된 진공 유리 모듈을 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도이다.
도 3a은 본 발명의 실시예들에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비를 나타낸 개략도이다.
도 3b는 도 3a의 A부분을 확대한 확대도이다.
도 4는 도 3a의 진공 밀봉 장치의 일부를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 4의 진공 밀봉 장치를 나타낸 분해 사시도이다.
도 6은 도 4의 II-II' 선에 따른 단면도이다.
도 7은 도 6의 B부분을 확대한 확대도이다.
도 8은 도 4의 케이스를 나타낸 사시도이다.
도 9은 도 8의 III-III' 선에 따른 단면도이다.
도 10은 도 4의 진공 밀봉 장치의 일부 구성들에 대한 분해 사시도이다.
도 11는 도 10의 지지 부재의 배면도이다.
도 12는 도 4의 진공 밀봉 장치의 일부 구성들에 대한 분해 사시도이다.
도 13a 및 도 13b는 도 4의 진공 밀봉 장치가 배기구 마개를 이용하여 배기구를 밀봉시키는 모습을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 14는 도 4의 진공 밀봉 장치의 변형 예를 설명하기 위한 사시도이다.
도 15 및 도 16은 도 14의 진공 밀봉 장치의 일부 구성들에 대한 분해 사시도들이다.
도 17a 내지 도 17d는 도 3a의 진공 유리 모듈의 제조 설비를 이용한 제조 공정들을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 18은 도 17a 내지 도 17d의 제조 공정들에 따른 제1 진공 유리 모듈 내의 압력 변화를 나타낸 그래프이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2, 제3 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자에 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 개념 및 이에 따른 실시예들에 대해 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비에서 제조된 진공 유리 모듈을 나타낸 사시도이다. 도 2는 도 1의 I-I' 선에 따른 단면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 진공 유리 모듈(1)은 제1 유리 패널(10)과, 제2 유리 패널(20)와, 복수의 간격재들(40), 밀봉 부재(30), 및 게터(50)를 포함할 수 있다. 또한, 실시예들에 따르면, 진공 유리 모듈(1)은 게터 홀더(55)와 배기구 마개(60)를 더 포함할 수 있다.

제1 유리 패널(10)은 제2 유리 패널(20)의 상측에 배치될 수 있다. 또한, 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20)은 서로 마주보도록 이격 배치될 수 있다. 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20)은 사각 형상으로 제공되나, 이에 한정되지 않는다. 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20) 중 어느 하나에 그를 관통하는 적어도 하나의 배기구(21)를 가질 수 있다. 실시예들에 따르면, 진공 유리 모듈(1)은 제2 유리 패널(20)에 하나의 배기구(21)를 가질 수 있다. 또한, 배기구(21)은 제2 유리 패널(20)의 가장자리와 인접하게 위치될 수 있다.

제1 및 제2 유리 패널들(10, 20)의 두께는 각각 동일하나 이에 한정되지 않고, 각각의 두께는 상이할 수 있다. 예를 들면, 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20)의 두께는 약 2.5mm 내지 약 10mm일 수 있다. 여기서, 두께는 상하 방향(D1)의 길이를 의미할 수 있다. 또한, 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20)은 강화 처리된 강화 유리 패널, 저방사 유리 패널 등일 수 있다.

복수의 간격재들(40)은 제2 유리 패널(20) 상에 배치될 수 있다. 또한, 복수의 간격재들(40)은 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20) 사이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 복수의 간격재들(40)은 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20)이 서로 이격 배치된 상태를 유지하도록 할 수 있다. 또한, 복수의 간격재들(40)은 제2 및 제3 방향들(D2, D3)을 따라 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20) 사이에서 서로 일정 간격으로 이격 배치될 수 있다 예를 들면, 복수의 간격재들(40)은 매트릭스 구조로 배치될 수 있다. 여기서, 제2 방향(D2)는 상하 방향(D1)과 수직한 방향을 의미할 수 있다. 실시예에서, 제2 방향(D2)는 좌우 방향일 수 있다. 또한, 제3 방향(D3)은 상하 방향(D1)과 제2 방향(D2)에 수직한 방향을 의미할 수 있다. 실시예에서, 제3 방향(D3)는 전후 방향일 수 있다.

밀봉 부재(30)는 제1 유리 패널(10)의 가장자리와 제2 유리 패널(20)의 가장 자리 사이에 배치될 수 있다. 이에 따라, 밀봉 부재(30)는 사각 링 형상으로 제공될 수 있다. 밀봉 부재(30)는 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20) 사이에 형성된 공간(S)을 밀봉할 수 있다. 밀봉 부재(30)는 글래스 프릿(glass frit) 등을 포함할 수 있다. 밀봉 부재(30)의 두께는 약 0.1mm 내지 0.3mm일 수 있다.

게터(getter, 50)는 기체를 흡착하는 기능을 수행할 수 있다. 상세하게, 게터(50)는 외부로부터 제공받은 열에 의해 활성화되어, 기체를 흡착하는 금속 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 게터(50)는 철(Fe)/바나듐(V)/티타늄(Ti) 합금, 마그네슘(Mg), 바륨(Ba), 또는 바륨 합금 등으로 이루어질 수 있다.

전술한 바와 같이, 활성화된 게터(50)는 주변의 기체를 흡수할 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20) 사이에 형성된 공간은 진공도가 증가할 수 있다. 여기서, 진공이란 대기압 이하의 압력을 의미하고, 진공도는 대기압과의 차이 값을 의미할 수 있다. 일반적으로 진공도의 단위는 mmHg　또는　torr이다. 또한, 게터(50)는 복수 개 제공될 수 있다. 게터(50)는 배기구(21)의 형상에 대응되게 제공될 수 있다. 예를 들면, 게터(50)는 원기둥 형상으로 제공될 수 있다. 또한, 게터(50)는 여러 번 활성화시킬 수 있다. 이에 대한 자세한 사항은 후술한다.

게터 홀더(55)는 배기구(21) 상에 배치될 수 있다. 게터 홀더(55)는 게터(50)를 지지하는 기능을 할 수 있다. 게터 홀더(55)는 지지판(미부호)과, 지지부로부터 방사상으로 연장되는 복수의 지지대들(미부호)와, 지지대들과 연결되는 걸림턱들(미부호)을 포함할 수 있다.

지지판는 배기구(21) 상에 위치될 수 있다. 지지판은 원형으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 게터(50)는 지지판 상에 안착될 수 있다. 이에 따라, 게터(50)의 일부가 배기구(21) 내에 배치될 수 있다. 복수의 지지대들은 일단은 지지판과 연결되고, 타단은 걸림 턱들과 연결될 수 있다. 걸림 턱들은 제2 유리 패널(20)과 평행하게 제공될 수 있다. 또한, 걸림 턱들은 제2 유리 패널(20) 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 게터 홀더(55)는 배기구(21) 상에 고정될 수 있다.

배기구 마개(60)는 배기구(21)를 덮을 수 있다. 이에 따라, 진공 유리 모듈(1)은 밀봉 부재(30)와 배기구 마개(60)에 의해 밀폐된 공간(S)을 가질 수 있다. 배기구 마개(60)는 마개부(61)와 접착제(62)를 포함할 수 있다.

마개부(61)는 제1 및 제2 유리 패널들(10, 20)과 동일한 재질일 수 있다. 즉, 마개부(61)는 유리 재질일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 마개부(61)는 배기구(21)보다 크게 제공될 수 있다. 이에 따라, 마개부(61)는 배기구(21)를 완전히 덮을 수 있다.

접착제(62)는 마개부(61) 상에 배치될 수 있다. 접착제(62)는 마개부(61)를 배기구(21)에 인접한 유리 패널에 접착시킬 수 있다. 접착제(62)는 상온(room temperature)에서 고체 상태로 있다. 접착제(62)는 가열 유닛(1300)으로부터 열을 제공받을 때, 용융될 수 있다. 예를 들면, 접착제(62)는 대략 400℃에서 용융될 수 있다. 용융된 접착제(62)가 응고될 때, 마개부(61)는 배기구(21)를 밀봉할 수 있다. 실시예들에 따르면, 접착제(62)는 밀봉 부재(30)와 동일한 재질일 수 있다.

도 3a은 본 발명의 실시예들에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비를 나타낸 개략도이다. 도 3b는 도 3a의 A부분을 확대한 확대도이다.

도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비는 진공 밀봉 장치(100), 광 조사 장치(200), 및 이송 장치(300)를 포함할 수 있다. 또한, 진공 유리 모듈의 제조 설비는 작업 스테이지(400)를 더 포함할 수 있다.

진공 밀봉 장치(100)는 진공 유리 모듈(1) 내의 기체를 배기구(21)를 통해 배기할 수 있다. 예를 들면, 진공 밀봉 장치(100)는 내부에 형성된 진공압을 이용하여, 배기구(21)를 통해 진공 유리 모듈(1) 내의 기체를 배기할 수 있다. 이에 따라, 진공 유리 모듈(1) 내의 압력은 낮아질 수 있다.

또한, 진공 밀봉 장치(100)는 배기구(21)를 배기구 마개(60)로 밀봉할 수 있다. 진공 밀봉 장치(100)는 배기구(21)의 아래에 배치될 수 있다. 진공 밀봉 장치(100)는 케이스(1100), 지지 부재(1200), 이동 유닛(1400), 가열 유닛(1300), 가이드 유닛(1500) 및 진공압 공급 유닛(1800)을 포함할 수 있다. 또한, 진공 밀봉 장치(100)는 실링 부재(1600), 커버 부재(미도시) 및 압력 센서(1850)를 더 포함할 수 있다.

케이스(1100)는 상부에 제1 개구부(1100a)를 가질 수 있다. 또한, 케이스(1100) 내에 지지 부재(1200)와 가열 유닛(1300), 이동 유닛(1400), 및 가이드 유닛(1500)이 배치될 수 있다. 이에 대한 자세한 사항은 후술한다.

실링 부재(1600)는 케이스(1100)의 상부에 배치될 수 있다. 실링 부재(1600)는 케이스(1100)와 제2 유리 패널(20) 사이의 공간을 기밀(leak tight)할 수 있다. 실링 부재(1600)에 대한 자세한 사항은 후술한다.

지지 부재(1200)는 케이스(1100) 내에 배치될 수 있다. 지지 부재(1200)는 상측에 배기구 마개(60)가 안착될 수 있다. 지지 부재(1200)에 대한 자세한 사항은 후술한다.

가열 유닛(1300)은 케이스(1100) 내에 배치될 수 있다. 가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)의 하측에 배치될 수 있다. 가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)를 가열 할 수 있다. 이에 따라, 지지 부재(1200) 상에 안착된 마개 부재(60)는 가열될 수 있다. 가열 유닛(1300)에 대한 자세한 사항은 후술한다.

이동 유닛(1400)은 지지 부재(1200)를 상하 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 또한, 이동 유닛(1400)은 지지 부재(1200)와 함께 가열 유닛(1300)을 상하 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 이동 유닛(1400)의 일부는 케이스(1100)의 하측에 배치될 수 있다. 이동 유닛(1400)에 자세한 사항은 후술한다.

진공압 공급 유닛(1800)은 진공압을 생성할 수 있다. 진공압 공급 유닛(1800)은 케이스(1100)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 진공압 공급 유닛(1800)은 케이스(1100) 내로 진공압을 제공할 수 있다. 이에 따라, 케이스(1100)의 제1 개구부(1100a)가 배기구(21)와 상하 방향(D1)으로 중첩되게 배치되고, 내부에 진공압이 형성된 케이스(1100)와 제2 유리 패널(20) 사이의 공간이 기밀될 때, 진공 유리 모듈(1) 내의 기체는 제1 개구부(1100a)와 배기구(21)를 통해 배기될 수 있다. 또한, 진공압 공급 유닛(1800)은 진공 펌프일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.

압력 센서(1850)는 케이스(1100)와 연결될 수 있다. 압력 센서(1850)는 케이스(1100) 내의 압력을 감지할 수 있다. 감지된 압력 정보는 제어부(미도시)로 전송될 수 있다.

제어부(미도시)는 압력 센서(1850)로부터 수신한 압력 정보를 이용하여, 진공압 공급 유닛(1800)을 제어할 수 있다. 예를 들면, 케이스(1100) 내의 압력이 한계 압력보다 작아질 때, 제어부는 진공압 공급 유닛(1800)의 구동을 정지할 수 있다.

광 조사 장치(200)는 진공 유리 모듈(1)의 게터(50)를 향해 광을 조사할 수 있다. 광 조사 장치(200)는 광을 조사하는 적어도 하나의 광원 유닛을 포함할 수 있다. 광 조사 장치(200)는 복수의 광원 유닛들(210~230)을 포함할 수 있다. 실시예에 따르면, 광 조사 장치(200)는 제1 내지 제3 광원 유닛들(210~230)을 포함할 수 있으나, 광원 유닛의 개수는 이에 한정되지 않는다. 제1 내지 제3 광원 유닛들(210~230)은 제2 방향(D2)을 따라 서로 이격 배치될 수 있다. 제1 내지 제3 광원 유닛들(210~230)은 레이저 광을 조사할 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제1 내지 제3 광원 유닛들(210~230)은 레이저 광을 게터(50)를 향해 경사지게 조사할 수 있다. 예를 들면, 제1 내지 제3 광원 유닛들(210~230)은 레이저 광을 하향 경사지게 조사할 수 있다.

이송 유닛(300)은 진공 유리 모듈(1)을 이송시킬 수 있다. 제1 광원 유닛(210)에서 레이저 광을 조사받은 진공 유리 모듈(1)을 제2 내지 제 3 광원 유닛들(220, 230)으로 순차적으로 이송시킬 수 있다. 실시예들에 따르면, 이송 유닛(300)은 진공 유리 모듈(1)을 운반하는 캐리어(310)와, 캐리어(310)를 제2 방향(D2)으로 이송시키는 이송 롤러들(320)을 포함할 수 있다.

캐리어(310)는 이송 롤러들(320) 상에 배치될 수 있다. 캐리어(310)는 진공 유리 모듈(1)의 둘레의 일부를 감싸는 단턱부(312)를 포함할 수 있다. 단턱부(312)는 캐리어(310)에 배치된 진공 유리 모듈(1)이 움직이는 것을 방지할 수 있다. 캐리어(310)는 진공 유리 모듈(1)의 배기구(21)와 대응된 위치에 캐리어 개구부(311)를 가질 수 있다. 캐리어 개구부(311)는 배기구(21)와 제1 방향(D1)으로 중첩될 수 있다. 캐리어 개구부(311)의 크기는 배기부(21)의 크기보다 클 수 있다. 예를 들면, 캐리어 개구부(311)의 직경은 배기구(21)의 직경보다 클 수 있다. 진공 밀봉 장치(100)의 상부는 캐리어 개구부(311)를 통과할 수 있다. 이에 따라, 진공 밀봉 장치(100)는 캐리어 개구부(311)를 통해 진공 유리 모듈(1)과 접촉할 수 있다.

이송 롤러들(320)은 제2 방향(D2)을 따라 배열될 수 있다. 이송 롤러들(320)은 캐리어(310)의 아래에 배치될 수 있다. 이송 롤러들(320)은 제1 방향(D1)으로 캐리어 개구부(311)와 중첩되지 않도록 배치될 수 있다. 실시예에 따르면, 이송 롤러들(320)은 캐리어(310)의 양측 아래에 각각 배치될 수 있다. 이송 롤러들(320)은 회전 모터(미도시)에 의해 회전될 수 있다. 이에 따라, 이송 롤러들(320)은 캐리어(310)를 제2 방향(D2)으로 이송할 수 있다. 이송 롤러들(320)은 제1 및 제2 방향들(D1, D2)과 수직한 방향으로 길쭉한 원통으로 제공될 수 있다.

이와 달리, 다른 실시예들에 따르면, 이송 유닛(300)은 진공 유리 모듈(1)을 제2 방향(D2)으로 이송시키는 제1 이동부와, 진공 유리 모듈(1)을 상하 방향(D1)으로 이송시키는 제2 이동부와, 진공 유리 모듈(1)을 그립(grip)할 수 있는 그립부를 포함할 수 있다. 제1 이송부는 이송 레일을 따라 이동할 수 있다. 여기서, 이송 레일은 제2 방향(D2)을 따라 배치될 수 있다. 제1 이송부는 리니어 모터일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제2 이송부는 제1 이송부와 그립부를 연결할 수 있다. 제2 이송부는 그립부을 상하 방향(D1)으로 이송시킬 수 있다. 제2 이송부는 유압 실린더, 공압 실린더 등일 수 있다. 이송 유닛(300)은 제1 광원 유닛(210)에서 레이저 광을 조사받은 진공 유리 모듈(1)을 제2 내지 제 3 광원 유닛들(220, 230)으로 순차적으로 이송시킬 수 있다.

제1 광원 유닛(210)은 진공 밀봉 장치(100)와 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 광원 유닛(210)은 진공 밀봉 장치(100)의 상측에 이격될 수 있다. 제1 광원 유닛(210)은 진공 유리 모듈(1) 내에 배치된 게터(50)를 향해 레이저 광을 조사할 수 있다. 이에 따라, 게터(50)는 1차적으로 활성화되어, 진공 유리 모듈(1) 내의 기체의 일부를 제거할 수 있다. 진공 유리 모듈(1) 내의 기체가 제거됨으로써, 진공 유리 모듈(1) 내의 압력은 낮아질 수 있다.

제2 광원 유닛(220)은 제1 광원 유닛(210)으로부터 제2 방향(D2)으로 이격 배치될 수 있다. 제2 광원 유닛(220)은 이송 장치(300)에 의해 이송된 진공 유리 모듈(1) 내의 게터(50)를 향해 레이저 광을 조사할 수 있다. 예를 들면, 제2 광원 유닛(220)으로 이송된 진공 유리 모듈(1)은 제1 광원 유닛(210)에 의해 게터(50)가 1차적으로 활성화된 것일 수 있다. 이에 따라, 게터(50)는 제2 광원 유닛(220)에 의해 2차적으로 재활성화되어, 진공 유리 모듈(1) 내의 잔존 기체를 제거할 수 있다. 진공 유리 모듈(1) 내의 잔존 기체가 제거됨으로써, 진공 유리 모듈(1) 내의 압력은 더 낮아질 수 있다.

제3 광원 유닛(230)은 제2 광원 유닛(220)으로부터 제2 방향(D2)으로 이격 배치될 수 있다. 제3 광원 유닛(230)은 이송 장치(300)에 의해 이송된 진공 유리 모듈(1) 내의 게터(50)를 향해 레이저 광을 조사할 수 있다. 예를 들면, 제3 광원 유닛(230)으로 이송된 진공 유리 모듈(1)은 제2 광원 유닛(220)에 의해 게터(50)가 2차적으로 재활성화된 것일 수 있다. 이에 따라, 게터(50)는 제3 광원 유닛(230)에 의해 3차적으로 재활성화되어, 진공 유리 모듈(1) 내의 잔존 기체를 제거할 수 있다. 진공 유리 모듈(1) 내의 잔존 기체가 제거됨으로써, 진공 유리 모듈(1) 내의 압력은 더 낮아질 수 있다. 이에 대한 자세한 사항은 후술한다.

작업 스테이지(400)는 진공 밀봉 장치(100)에서 밀봉된 진공 유리 모듈(10)을 지지할 수 있다. 다시 말하면, 밀봉된 진공 유리 모듈(10)은 이송 유닛(300)에 의해 작업 스테이지(400) 상에 배치될 수 있다. 작업 스테이지(400)의 상측에 제2 및 제3 광원 유닛들(220, 230)이 배치될 수 있다. 이에 따라, 제2 및 제3 광원 유닛들(220, 230)은 작업 스테이지(400) 상에 배치된 진공 유리 모듈(1)로 광을 하향 경사지게 조사할 수 있다.

도 4는 도 3a의 진공 밀봉 장치의 일부를 나타낸 사시도이다. 도 5는 도 4의 진공 밀봉 장치를 나타낸 분해 사시도이다. 도 6은 도 4의 II-II' 선에 따른 단면도이다. 도 7은 도 6의 B부분을 확대한 확대도이다. 도 8은 도 4의 케이스를 나타낸 사시도이다. 도 9은 도 8의 III-III' 선에 따른 단면도이다. 도 10은 도 4의 진공 밀봉 장치의 일부 구성들에 대한 분해 사시도이다. 도 11는 도 10의 지지 부재의 배면도이다. 도 12는 도 10은 도 4의 진공 밀봉 장치의 일부 구성들에 대한 분해 사시도이다.

도 4 내지 도 12를 참조하면, 본 발명의 실시예들에 따른 진공 밀봉 장치(100)는 케이스(1100), 지지 부재(1200), 이동 유닛(1400), 가열 유닛(1300), 및 진공압 공급 유닛(1800, 도 3a 참조)을 포함할 수 있다. 또한, 진공 밀봉 장치(100)는 가이드 유닛(1500), 실링 부재(1600), 커버 부재(1700) 및 압력 센서(1850, 도 3a 참조)을 더 포함할 수 있다.

케이스(1100)는 진공 밀봉 장치(100)의 외형을 제공할 수 있다. 전술한 바와 같이, 케이스(1100)는 상부에 제1 개구부(1100a)를 가질 수 있다. 케이스(1100)는 상부 케이스부(1110), 연결 케이스부(1130), 및 바닥 케이스부(1160)를 포함할 수 있다. 또한, 케이스(1100)는 제1 결합 플랜지부(1120), 제2 결합 플랜지부(1140), 및 제3 결합 플랜지부(1150)를 더 포함할 수 있다.

상부 케이스부(1110)는 내부에 제1 개구부(1100a)와 연결된 공간을 가질 수 있다. 상부 케이스부(1110)는 플랜지부(1112)와, 제1 측벽부(1113)와, 탄성 변형부(1114)와, 제2 측벽부(1115)를 포함할 수 있다. 또한, 상부 케이스부(1110)는 단턱부(1111)를 더 포함할 수 있다.

제1 개구부(1100a)는 원형으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 사각형, 삼각형, 다각형 등으로 제공될 수 있다. 제1 개구부(1100a)는 배기구(21)과 연결될 수 있다. 이에 따라, 진공 유리 모듈(1) 내의 기체는 제1 개구부(1100a)과 배기구(21)를 통해 외부로 배기될 수 있다. 또한, 제1 개구부(1100a)의 크기는 배기구(21)의 크기보다 클 수 있다. 예를 들면, 제1 개구부(1100a)의 직경은 배기구(21)의 직경보다 클 수 있다.

플랜지부(1112)는 제1 개구부(1100a)의 외곽으로부터 외측을 향해 연장될 수 있다. 플랜지부(1112)는 원형의 링 형상으로 제공되나, 이에 한정되지 않는다. 플랜지부(1112)는 상면에 실링 부재(1600)가 배치될 수 있다. 이에 따라, 플랜지부(1112)는 실링 부재(1600)를 지지할 수 있다.

단턱부(1111)는 제1 개구부(1100a)의 외곽으로부터 상측을 향해 연장될 수 있다. 이에 따라, 단턱부(1111)는 제1 개구부(1100a)에 대응되는 형상으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 단턱부(1111)는 원통 형상으로 제공될 수 있다. 단턱부(1111)의 높이(H1)는 실링 부재(1600)의 높이(H2)이보다 낮을 수 있다. 이에 따라, 단턱부(1111)의 상단과 실링 부재(1600)의 상면 간에 단차가 형성될 수 있다. 여기서, 높이란 상하 방향(D1)으로의 길이를 의미할 수 있다.

제1 측벽부(1113)는 플랜지부(1112)의 외곽으로부터 하측을 향해 연장될 수 있다. 제1 측벽부(1113)는 원통형으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제1 측벽부(1113)는 제1 측벽부(1113)는 상부 케이스부(1110)의 둘레 일부를 형성할 수 있다. 제1 측벽부(1113)는 외측면에 나선형의 제1 나사산(1113a)을 가질 수 있다.

탄성 변형부(1114)는 제1 측벽부(1113)의 하부와 연결될 수 있다. 탄성 변형부(1114)는 상하 방향(D1)의 길이가 가변될 수 있다. 예를 들면, 탄성 변형부(1114)는 케이스(1100)가 가압될 때, 상하 방향(D1)의 길이가 줄어들 수 있다. 탄성 변형부(1114)는 케이스(1100)에 제공된 가압이 중단될 때, 탄성력에 의해 줄어든 상하 방향(D1)의 길이가 다시 늘어날 수 있다. 실시예들에 따르면 탄성 변형부(1114)는 복수의 골들과 산들을 갖는 주름관 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 이에 따라, 탄성 변형부(1114)는 케이스(1100)가 가압될 때 골과 산 사이의 피치가 짧아지고, 케이스(1100)에 제공된 가입이 중단될 때, 탄성력에 의해 짧아진 상기 피치가 원상태로 회복될 수 있다. 또한, 탄성 변형부(1114)는 상부 케이스부(1110)의 둘레의 일부를 형성할 수 있다.

제2 측벽부(1115)는 탄성 변형부(1114)의 하부와 연결될 수 있다. 제2 측벽부(1115)는 원통형으로 제공되나, 이에 한정되지 않는다. 제2 측벽부(1115)는 상부 케이스부(1110)의 둘레의 일부를 형성할 수 있다. 제2 측벽부(1115)는 제1 측벽부(1113) 및 탄성 변형부(1114)와 함께 상부 케이스부(1110)의 둘레를 형성할 수 있다.

제1 결합 플랜지부(1120)는 제2 측벽부(1115)의 하단으로 외측을 향해 연장될 수 있다. 제1 결합 플랜지부(1120)는 원형의 링 형상으로 제공되나, 이에 한정되지 않는다. 제1 결합 플랜지부(1120)는 제1 체결 부재(미도시)가 관통하는 복수의 제1 체결 홀들(1121)을 가질 수 있다. 제1 체결 홀들(1121)은 상부 케이스부(1110)의 둘레를 따라 이격 배치될 수 있다.

연결 케이스부(1130)는 상부 케이스부(1110)와 바닥 케이스부(1160) 사이에 배치되어, 상부 케이스부(1110)와 바닥 케이스부(1160)를 연결시킬 수 있다. 연결 케이스부(1130)는 내부에 공간을 가질 수 있다. 연결 케이스부(1130) 내의 공간은 상부 케이스부(1110) 내의 공간과 연결될 수 있다. 연결 케이스부(1130)는 상부에 제공된 상부 개구(1130a)와 하부에 제공된 하부 개구(1130b)를 가질 수 있다. 또한, 연결 케이스부(1130)는 제3 측벽부(1131)와, 연결 관들(1135)과, 제3 결합 플랜지부(1150)를 포함할 수 있다.

제3 측벽부(1131)는 상하부가 개구된 통형상으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 제3 측벽부(1131)는 상하부가 개구된 원통형상으로 제공될 수 있다. 또한, 제3 측벽부(1131)는 제2 측벽부(1115)와 연결될 수 있다.

연결 관(1135)은 제3 측벽부(1131)와 연결될 수 있다. 즉, 연결 관(1135)은 케이스(1100)의 내부 공간과 연결될 수 있다. 연결 관(1135)은 복수개 제공될 수 있다. 복수의 연결 관들(1135)은 제3 측벽부(1131)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. 또한, 연결 관들(1135)은 서로 이격 배치될 수 있다. 예를 들면, 4개의 연결 관들(1135)은 후술할 구동 샤프트부(1420)를 기준으로 하여 대략 90도 간격으로 배치될 수 있다. 복수의 연결 관들(1135) 중 어느 하나는 진공압 공급 유닛(1800, 도 3a 참조)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 연결 관(1135)을 통해 케이스(1100)의 내부에 진공압이 제공될 수 있다. 또한, 연결 관들(1135) 중 나머지 하나는 압력 센서(1850, 도 3a 참조)와 연결될 수 있다.

제2 결합 플랜지부(1140)는 제3 측벽부(1131)의 상단으로부터 외측을 향해 연장될 수 있다. 제2 결합 플랜지부(1140)는 제1 결합 플랜지부(1120)와 결합될 수 있다. 제2 결합 플랜지부(1140)는 원형의 링 형상으로 제공되나, 이에 한정되지 않는다. 제2 결합 플랜지부(1140)는 복수의 제2 체결 홀들(1141)을 가질 수 있다. 복수의 제2 체결 홀들(1141)은 제3 측벽부(1131)의 둘레를 따라 이격 배치될 수 있다. 또한, 제2 체결 홀들(1141)은 제1 체결 홀들(1121)과 상하 방향(D1)으로 중첩될 수 있다. 이에 따라, 제1 체결 부재(미도시)가 제1 및 제2 체결 홀들(1121, 1141)을 관통함으로써, 상부 케이스부(1110)와 연결 케이스부(1130)는 결합될 수 있다.

제3 결합 플랜지부(1150)는 제3 측벽부(1131)의 하단으로부터 외측을 향해 연장될 수 있다. 제3 결합 플랜지부(1150)는 원형의 링 형상으로 제공될 수 있다. 제3 결합 플랜지부(1150)는 복수의 제3 체결 홀들(1151)을 가질 수 있다. 복수의 제3 체결 홀들(1151)은 제3 측벽부(1131)의 둘레를 따라 이격 배치될 수 있다.

바닥 케이스부(1160)는 연결 케이스부(1130)의 하부 개구(1130b)를 덮을 수 있다. 바닥 케이스부(1160)는 원형 플레이트로 제공될 수 있다. 바닥 케이스부(1160)는 중심에 제3 샤프트 홀(1161)이 제공될 수 있다. 또한, 바닥 케이스부(1160)의 크기는 연결 케이스부(1130)의 하부 개구(1130b)보다 클 수 있다. 예를 들면, 바닥 케이스부(1160)의 직경은 상기 하부 개구(1130b)의 직경보다 클 수 있다.

바닥 케이스부(1160)는 복수의 제4 체결 홀들(1161)을 가질 수 있다. 복수의 제4 체결 홀들(1161)은 바닥 케이스부(1160)의 가장자리와 인접하게 배치될 수 있다. 또한, 제4 체결 홀들(1161)은 제3 측벽부(1131)의 둘레를 따라 이격 배치될 수 있다. 제4 체결 홀들(1161)은 제3 체결 홀들(1151)과 상하 방향(D1)으로 중첩될 수 있다. 제2 체결 부재(미도시)가 제3 및 제4 체결 홀들(1151, 1161)을 관통함으로써, 바닥 케이스부(1160)와 연결 케이스부(1130)는 결합될 수 있다.

지지 부재(1200)는 케이스(1100) 내에 배치될 수 있다. 상세하게, 지지 부재(1200)는 상부 케이스부(1110) 내에 배치될 수 있다. 그러나, 지지 부재(1200)는 이동 유닛(1400)에 의해 케이스(1100)의 내부에서 케이스(1100)의 외부로 이동할 수 있다. 지지 부재(1200) 상에 배기구 마개(60)가 안착될 수 있다. 이에 따라, 지지 부재(1200)는 배기구 마개(60)를 지지할 수 있다. 또한, 지지 부재(1200)는 가열 유닛(1300) 상에 배치될 수 있다.

지지 부재(1200)는 열전도율이 좋은 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 지지 부재(1200)는 투명한 석영 재질로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 스테인레스 강 등의 금속 재질 등으로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 지지 부재(1200)는 가열 유닛(1300)에서 제공된 열을 배기구 마개(60)로 전달할 수 있다. 지지 부재(1200)는 몸체부(1210) 및 안착부(1220)를 포함할 수 있다.

몸체부(1210)는 소정의 높이를 갖는 플레이트로 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 몸체부(1210)는 원형 플레이트로 제공될 수 있다. 몸체부(1210)는 하면에 상측으로 함몰된 안착 홈(1212)이 제공될 수 있다. 안착 홈(1212)은 제3 방향(D3)을 따라 길게 형성될 수 있다. 안착 홈(1212)에 가열 유닛(1300)의 일부가 삽입될 수 있다. 안착 홈(1212)은 상하 방향(D1)의 단면이 대락 "ㄷ"자형으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.

안착부(1220)는 몸체부(1210)의 상면에 배치될 수 있다. 상세하게, 안착부(1220)는 몸체부(1210)의 상면의 중심 영역에 배치될 수 있다. 안착부(1220)는 상면에 배기구 마개(60)가 안착될 수 있다. 안착부(1220)는 배기구 마개(60)의 형상에 대응되게 제공될 수 있다. 예를 들면, 안착부(1220)는 배기구 마개(60)가 원형 플레이트 형상일 때, 원형 플레이트로 제공될 수 있다. 몸체부(1210)는 안착부(1220)의 외곽을 따라 그를 관통하는 복수의 가이드 홀들(1211)을 가질 수 있다. 실시예에 따르면, 몸체부(1210)는 4개의 가이드 홀들(1211)을 가질 수 있다.

이동 유닛(1400)은 지지 부재(1200)의 하측에 배치될 수 있다. 전술한 바와 같이, 이동 유닛(1400)은 지지 부재(1200)를 상하 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 실시예들에 따르면, 이동 유닛(1400)은 가열 유닛(1300)과 연결될 수 있다. 이에 따라, 이동 유닛(1400)은 가열 유닛(1300)을 상하 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 가열 유닛(1300)이 상하 방향(D1)으로 이동함으로써, 가열 유닛(1300) 상에 배치된 지지 부재(1200)도 함께 상하 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예에서, 이동 유닛(1400)은 지지 부재(1200)와 직접 연결되어, 지지 부재(1200)만 상하 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 이동 유닛(1400)은 구동부(1410) 및 구동 샤프트부(1420)를 포함할 수 있다. 또한, 이동 유닛(1400)은 충격 흡수부(1430)와, 가열 유닛 연결부(1440)를 더 포함할 수 있다.

구동부(1410)는 구동력을 생성할 수 있다. 실시예에 따르면, 구동부(1410)는 공압 실린더일 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 유압 실린더, 리니어 모터 등일 수 있다.

구동부(1410)는 케이스(1100)의 하측에 배치될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 케이스(1100) 내에 배치될 수 있다. 구동부(1410)는 구동 샤프트부(1420)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 구동부(1410)는 생성된 구동력에 의해 구동 샤프트부(1420)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.

구동 샤프트부(1420)는 구동부(1410)와 연결될 수 있다. 구동 샤프트부(1420)는 적어도 하나의 샤프트를 포함할 수 있다. 실시예들에 따르면, 구동 샤프트부(1420)는 제1 샤프트(1421), 제2 샤프트(1422) 및 제3 샤프트(1423)를 포함할 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예들에서, 구동 샤프트부(1420)는 하나의 샤프트, 두 개 또는 4개 이상의 샤프트들을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 샤프트들(1421~1423)은 원기둥 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않고, 사각 기둥 형상 등으로 제공될 수 있다. 또한, 제1 내지 제3 샤프트들(1421~1423)은 서로 이격 배치될 수 있다.

제3 샤프트(1423)는 일단이 구동부(1410)와 연결될 수 있다. 제3 샤프트(1423)는 케이스 바닥부(1160)의 제3 샤프트 홀(1161)을 관통할 수 있다. 또한, 구동 샤프트부(1420)는 제3 샤프트(1423)의 둘레를 감싸는 샤프트 실링 부재(미부호)를 포함할 수 있다. 샤프트 실링 부재는 링 형상의 오링(O-ring)일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 샤프트 실링 부재는 제3 샤프트 홀(1161)과 제3 샤프트(1423) 사이에 배치되어, 제3 샤프트 홀(1161)을 실링할 수 있다. 또한, 제3 샤프트(1423)는 타단이 충격 흡수부(1430)의 하부와 연결될 수 있다.

제2 샤프트(1422)는 충격 흡수부(1430)와 가열 유닛 연결부(1440) 사이에 배치되어, 충격 흡수부(1430)와 가열 유닛 연결부(1440)를 연결할 수 있다. 상세하게, 제2 샤프트(1422)는 일단이 충격 흡수부(1430)의 상부와 연결되고, 타단이 가열 유닛 연결부(1440)에 연결될 수 있다.

제1 샤프트(1421)는 가열 유닛 연결부(1440)와 가열 유닛(1300)을 연결할 수 있다. 제1 샤프트(1421)는 상단으로부터 상측으로 돌출되는 삽입 돌기(1421a)를 가질 수 있다.

충격 흡수부(1430)는 구동 샤프트부(1420)를 통해 구동부(1410)에 전달되는 충격을 흡수할 수 있다. 충격 흡수부(1430)는 제3 샤프트(1423)와 제2 샤프트(1422) 사이에 배치될 수 있다. 또한, 충격 흡수부(1430)는 케이스(1100) 내에 배치될 수 있다. 충격 흡수부(1430)는 제3 상부 플레이트(1431), 제3 하부 플레이트(1432) 및 탄성 부재(1443)를 포함할 수 있다.

제3 상부 및 제3 하부 플레이트들(1431, 1432)은 상하 방향(D1)으로 이격 배치될 수 있다. 이에 따라, 제3 상부 및 제3 하부 플레이트들(1431, 1432) 사이에 공간이 형성될 수 있다. 제3 상부 및 제3 하부 플레이트들(1431, 1432)의 상하면들은 평탄면으로 제공될 수 있다. 제3 상부 플레이트(1431)의 상면 중심에 제2 샤프트(1422)의 일단이 연결될 수 있다. 또한, 제3 하부 플레이트(1432)의 하면 중심에 제3 샤프트(1423)의 타단이 연결될 수 있다.

탄성 부재(1443)는 제3 상부 및 제3 하부 플레이트들(1431, 1432) 사이에 배치될 수 있다. 탄성 부재(1443)는 스프링 또는 고무 등일 수 있다. 이에 따라, 탄성 부재(1443)는 지지 부재(1200)를 통해 구동 샤프트부(1420)에 전달되는 충격을 흡수하여, 구동부(1410)의 파손을 방지할 수 있다. 본 발명의 실시예에서, 탄성 부재(1443)는 복수개 제공될 수 있다. 예를 들면, 탄성 부재들은 4개의 스프링들로 이루어질 수 있다. 복수의 스프링들은 제3 상부 및 제3 하부 플레이트들(1431, 1432)의 가장자리를 각각 연결할 수 있다.

가열 유닛 연결부(1440)는 케이스(1100) 내에 배치될 수 있다. 또한, 가열 유닛 연결부(1440)는 제2 샤프트(1422)와 제1 샤프트(1421) 사이에 배치될 수 있다. 가열 유닛 연결부(1440)는 제2 상부 플레이트(1441), 제2 하부 플레이트(1442) 및 연결 부재들(1443)을 포함할 수 있다.

제2 상부 및 제2 하부 플레이트들(1441, 1442)은 상하 방향(D1)으로 이격 배치될 수 있다. 이에 따라, 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들(1441, 1442) 사이에 공간이 형성될 수 있다. 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들(1441, 1442)의 상하면들은 평탄면으로 제공될 수 있다. 제2 상부 플레이트(1441)의 상면 중심에 제1 샤프트(1421)의 일단이 연결될 수 있다. 또한, 제2 하부 플레이트(1442)의 하면 중심에 제2 샤프트(1422)의 타단이 연결될 수 있다.

제2 상부 플레이트(1441)는 그를 관통하는 복수의 제1 관통 홀들(1441a)을 가질 수 있다. 또한, 제2 하부 플레이트(1442)는 그를 관통하는 복수의 제2 관통 홀들(1442a)을 가질 수 있다. 실시예들에 따르면, 제1 및 제2 관통 홀들(1441a, 1442a)은 2개가 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제2 관통 홀들(1442a)은 제1 관통 홀들(1441a)과 상하 방향(D1)으로 중첩될 수 있다. 또한, 제2 상부 플레이트(1441)는 제1 및 제2 전극 부재들(1321, 1322)이 삽입되는 복수의 삽입 홀들(1441b)을 가질 수 있다.

연결 부재들(1443)은 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들(1441, 1442) 사이에 배치되어, 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들(1441, 1442)을 연결할 수 있다. 연결 부재들(1443)은 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들(1441, 1442)의 간격을 유지할 수 있다. 연결 부재들(1443)의 각각은 원기둥 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 실시예들에 따르면, 연결 부재는 4개가 제공될 수 있다. 또한, 연결 부재들(1443)은 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들(1441, 1442)의 가장자리에 각각 배치될 수 있다.

가이드 유닛(1500)은 지지 부재(1200)에 안착되는 배기구 마개(60)의 안착 위치를 가이드할 수 있다. 상세하게, 배기구 마개(60)는 지지 부재(1200)의 안착부(1220) 상에 안착될 수 있다. 가이드 유닛(1500)은 배기구 마개(60)가 안착부(1220) 상에 정확하게 안착되도록 가이드할 수 있다. 가이드 유닛(1500)은 배기구 마개(60)가 안착부(1220)를 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 가이드 유닛(1500)은 케이스(1100) 내에 고정될 수 있다. 예를 들면, 가이드 유닛(1500)은 바닥 케이스부(1160) 상에 고정될 수 있다.

가이드 유닛(1500)은 제1 상부 플레이트(1520), 제1 하부 플레이트(1530), 복수의 가이드 핀들(1510), 상부 연결 부재들(1540), 하부 연결 부재들(1550)을 포함할 수 있다.

제1 상부 및 제1 하부 플레이트들(1520, 1530)은 상하 방향(D1)으로 서로 이격 배치될 수 있다. 이에 따라, 제1 상부 및 제1 하부 플레이트들(1520, 1530) 사이에 공간이 형성될 수 있다. 또한, 제1 상부 및 제1 하부 플레이트들(1520, 1530)의 상하면들은 평탄면으로 제공될 수 있다.

제1 하부 플레이트(1530)의 크기는 제1 상부 플레이트(1520)의 크기보다 크게 제공될 수 있다. 상세하게, 제1 하부 플레이트(1530)의 폭은 제1 상부 플레이트(1520)의 폭보다 크게 제공될 수 있다. 제1 하부 플레이트(1530)는 제2 샤프트(1422)가 관통하는 제2 샤프트 홀(1531)을 가질 수 있다. 제2 샤프트 홀(1531)은 제1 하부 플레이트(1530)의 중심에 배치될 수 있다.

제1 상부 플레이트(1520)는 제1 샤프트(1421)가 관통하는 제1 샤프트 홀(1522)을 가질 수 있다. 실시예들에 따르면, 제1 샤프트 홀(1522)은 제1 상부 플레이트(1520)의 일측에 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 샤프트 홀(1522)은 제1 상부 플레이트(1520)의 중심에서 제2 방향(D2)에 위치될 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예들에서 제1 샤프트 홀(1522)은 제1 상부 플레이트(1520)의 중심에 배치될 수 있다.

제1 상부 플레이트(1520)는 복수의 가이드 핀들(1510)의 일단이 각각 삽입되는 삽입 홈들(1521)을 가질 수 있다. 삽입 홈들(1521)은 제1 상부 플레이트(1520)의 상면에 하측으로 함몰되게 제공될 수 있다. 삽입 홈들(1521)은 제1 샤프트 홀(1522)의 경계를 따라 배치될 수 있다. 또한, 삽입 홈들(1521)은 서로 이격 배치될 수 있다.

제1 상부 플레이트(1520)는 양측에 가이드 홈들(1523, 1524)을 가질 수 있다. 상세하게, 제1 상부 플레이트(1520)는 전방에 제공된 제1 가이드 홈(1523)과, 후방에 제공된 제2 가이드 홈(1524)을 가질 수 있다. 방열 부재(1310)의 제1 전극 연결부(1312)가 제1 가이드 홈(1523)에 삽입될 수 있다. 또한, 방열 부재(1310)의 제2 전극 연결부(1313)가 제2 가이드 홈(1524)에 삽입될 수 있다. 또한, 제1 상부 플레이트(1520)은 제2 방향으로 길쭉하게 형성될 수 있다.

복수의 가이드 핀들(1510)은 전술한 삽입 홈들(1521)에 각각 삽입될 수 있다. 또한, 복수의 가이드 핀들(1510)은 상하 방향(D1)으로 길쭉한 원기둥 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 가이드 핀들(1510)은 지지 부재(1200)가 이동 유닛(1400)에 의해 하측으로 이동할 때, 지지 부재(1200)의 가이드 홀들(1211)에 각각 삽입될 수 있다. 이때, 복수의 가이드 핀들(1510)은 안착부(1220)의 외곽과 인접하게 배치될 수 있다. 그러므로, 복수의 가이드 핀들(1510)은 배기구 마개(60)의 안착 위치를 가이드할 수 있다. 또한, 가이드 핀들(1510)은 안착부(1220)에 안착된 배기구 마개(60)가 안착부(1220)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다.

상부 연결 부재들(1540)은 제1 상부 및 제1 하부 플레이트들(1520, 1530) 사이에 배치되어, 제1 상부 및 제1 하부 플레이트들(1520, 1530)을 연결할 수 있다. 실시예들에 따르면, 상부 연결 부재들(1540)은 가열 유닛 연결부(1440)의 제1 및 제2 관통 홀들(1441a, 1442a)을 각각 관통하면서 제1 상부 및 제1 하부 플레이트들(1520, 1530)을 연결할 수 있다. 상부 연결 부재들(1540)은 상하 방향(D1)으로 길쭉한 원기둥 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 실시예들에 따르면, 상부 연결 부재들(1540)은 2개가 제공될 수 있다. 상부 연결 부재들(1540)은 제1 상부 및 제1 하부 플레이트들(1520, 1530)의 양측에 연결될 수 있다.

하부 연결 부재들(1550)은 제1 하부 플레이트(1530)와 바닥 케이스부(1160) 사이에 배치되어, 제1 하부 플레이트(1530)와 바닥 케이스부(1160)를 연결할 수 있다. 상세하게, 하부 연결 부재들(1550)은 일단이 바닥 케이스부(1160)의 상면과 연결되고, 타단이 제1 하부 플레이트(1530)의 하면과 연결될 수 있다. 실시예들에 따르면, 하부 연결 부재들(1550)은 4개가 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 하부 연결 부재들(1550)은 제1 하부 플레이트(1530)의 가장자리에 각각 배치될 수 있다. 하부 연결 부재들(1550)은 충격 흡수부(1430)와 제2 샤프트(1422)를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 하부 연결 부재들(1550)은 상하 방향(D1)으로 길쭉한 원기둥 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 하부 연결 부재들(1550)은 하단에 돌기들(1551)을 포함할 수 있다. 돌기들(1551)은 바닥 케이스부(1160)에 형성된 고정 홈들(미도시)에 각각 삽입될 수 있다. 이에 따라, 가이드 유닛(1500)은 바닥 케이스부(1160)에 고정될 수 있다.

가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)의 하측에 배치될 수 있다. 가열 유닛(1300)을 지지 부재(1200)를 가열할 수 있다. 가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)를 가열함으로써, 지지 부재(1200) 상에 안착된 배기구 마개(60)에 열을 전달할 수 있다. 이에 따라, 배기구 마개(60)의 접착체(62)는 용융될 수 있다. 가열 유닛(1300)은 발열 부재(1310), 제1 플레이트(1340), 제2 플레이트(1330), 및 전극부(1320)를 포함할 수 있다.

전극부(1320)는 이동 유닛(1400)의 제2 상부 플레이트(1441)에 결합될 수 있다. 전극부(1320)는 외부 전원(미도시)과 연결될 수 있다. 또한, 외부 전원과 전극부(1320) 사이에 더미 램프가 연결될 수 있다. 이에 따라, 전극부(1320)에서 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 전극부(1320)는 발열 부재(1310)의 일단과 연결되는 제1 전극 부재(1321)와, 발열 부재(1310)의 타단과 연결되는 제2 전극 부재(1322)를 포함할 수 있다.

제1 전극 부재(1321)는 상부에 제1 접촉 홈(미부호)을 가질 수 있다. 제1 접촉 홈은 제1 전극 부재(1321)의 상단으로부터 하측으로 함몰 형성될 수 있다. 제1 접촉 홈에 발열 부재(1310)의 일단이 삽입될 수 있다. 이에 따라, 발열 부재(1310)는 제1 전극 부재(1321)와 전기적으로 연결될 수 있다.

제2 전극 부재(1322)는 상부에 제2 접촉 홈(미도시)을 가질 수 있다. 제2 접촉 홈은 제2 전극 부재(1322)의 상단으로부터 하측으로 함몰 형성될 수 있다. 제2 접촉 홈은 발열 부재(1310)의 타단이 삽입될 수 있다. 이에 따라, 발열 부재(1310)는 제2 전극 부재(1322)와 전기적으로 연결될 수 있다.

발열 부재(1310)는 두께가 얇은 박판형으로 제공될 수 있다. 실시예들에 따르면, 발열 부재(1310)는 직사각형이 대략 "ㄷ"자 형으로 구부러진 형상으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 발열 부재(1310)는 금속, 세라믹 재질 등으로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 발열 부재(1310)는 니켈-크롬 재질, 구리, 알루미늄 재질 등으로 이루어질 수 있다. 발열 부재(1310)는 접촉부(1311), 제1 전극 연결부(1312), 및 제2 전극 연결부(1313)를 포함할 수 있다.

접촉부(1311)는 제1 플레이트(1340) 상에 배치될 수 있다. 또한, 접촉부(1311)는 지지 부재(1200)의 안착 홈(1212)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 접촉부(1311)는 지지 부재(1200)와 접촉할 수 있어, 지지 부재(1200)에 열을 전도할 수 있다. 접촉부(1311)는 제3 방향(D3)으로 길쭉한 직사각형으로 제공될 수 있다.

제1 전극 연결부(1312)는 접촉부(1311)의 일단으로부터 하측으로 연장될 수 있다. 실시예들에 따르면, 제1 전극 연결부(1312)는 접촉부(1311)와 수직하게 배치될 수 있다. 제1 전극 연결부(1312)는 제1 전극 부재(1321)의 제1 접촉 홈에 삽입되어, 제1 전극 부재(1321)와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제1 전극 연결부(1312)는 제1 상부 플레이트(1520)에 결합될 수 있다. 또한, 제1 전극 연결부(1321)는 외부 전원(미도시)과 전기적으로 연결될 수 있다.

제2 전극 연결부(1313)는 접촉부(1311)의 타단으로부터 하측으로 연장될 수 있다. 실시예들에 따르면, 제1 전극 연결부(1312)는 접촉부(1311)와 수직하게 배치될 수 있다. 제2 전극 연결부(1313)는 제2 전극 부재(1322)의 제2 접촉 홈에 삽입되어, 제2 전극 부재(1322)와 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 제2 전극 연결부(1313)는 제1 상부 플레이트(1520)에 결합될 수 있다. 제2 전극 연결부(1313)은 외부 전원(미도시)와 전기적으로 연결될 수 있다.

제1 플레이트(1340)는 접촉부(1311)의 하측에 배치되어, 접촉부(1311)를 지지할 수 있다. 제1 플레이트(1340)의 일부는 접촉부(1311)와 함께 안착 홈(1212)에 삽입될 수 있다. 제1 플레이트(1340)는 접촉부(1311)와 대응되게 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 플레이트(1340)는 제3 방향(D3)으로 길쭉한 직사각형으로 제공될 수 있다. 제1 플레이트(1340)는 그를 관통하는 제1 결합 홀(1341)을 가질 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 결합 홀(1341)은 제1 플레이트(1340)의 중심에 배치될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 또한, 제1 플레이트(1340)는 제2 플레이트(1330) 상에 배치될 수 있다.

제2 플레이트(1330)는 제1 플레이트(1340)의 하측에 배치되어, 제1 플레이트(1340)를 지지할 수 있다. 제2 플레이트(1330)는 제2 방향(D2)으로 길쭉한 대략 직사각형으로 제공될 수 있다. 제1 및 제2 플레이트들(1330, 1340)은 서로 교차되게 배치될 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 및 제2 플레이트들(1330, 1340)은 대략 십자가 형상으로 교차되도록 배치될 수 있다. 제2 플레이트(1330)는 그를 관통하는 제2 결합 홀(1332)을 가질 수 있다. 실시예에 따르면, 제2 결합 홀(1332)은 제2 플레이트(1330)의 중심에 배치될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제2 결합 홀(1332)은 제1 결합 홀(1341)과 상하 방향(D1)으로 중첩될 수 있다. 이에 따라, 제1 샤프트(1421)의 삽입 돌기(1421a)는 제1 및 제2 결합 홀들(1341, 1332)에 삽입될 수 있다.

또한, 제2 플레이트(1330)은 복수의 가이드 핀들(1510)이 관통하는 복수의 핀 홀들(1331)을 가질 수 있다. 핀 홀들(1331)은 지지 부재(1200)의 가이드 홀들(1211)과 상하 방향(D1)으로 중첩될 수 있다. 또한, 핀 홀들(1331)은 제2 결합 홀(1332)의 외곽을 따라 배치될 수 있다. 핀 홀들(1331)은 서로 이격 배치될 수 있다.

전술한 진공압 공급 유닛(1800, 도 3a 참조)은 진공압을 생성할 수 있다. 진공압 공급 유닛(1800)은 케이스의 연결 관들(1135) 중 어느 하나와 연결될 수 있다. 이에 따라, 진공압 공급 유닛(1800)은 케이스 내로 진공압을 제공할 수 있다.

실링 부재(1600)는 진공 유리 모듈(1, 도 3a 참조)과 진공 밀봉 장치(100) 사이의 탄성 압착을 제공할 수 있다. 또한. 실링 부재(1600)는 진공 유리 모듈(1)과 진공 밀봉 장치(100) 사이의 기밀 접촉을 제공할 수 있다. 실링 부재(1600)는 케이스(1100)의 상부에 배치될 수 있다. 전술한 바와 같이, 실링 부재(1600)는 플랜지부(1112)의 상면에 배치될 수 있다. 실링 부재(1600)는 제1 개구부(1100a)의 외곽을 둘러싸는 링 형상으로 제공될 수 있다. 이에 따라, 실링 부재(1600)은 내측에 개구(1600a)가 형성될 수 있다. 실링 부재(1600)는 탄성 재질로 이루어질 수 있다. 실링 부재(1600)는 가열 유닛(1300)에서 생성된 열을 간접적으로 전달받을 수 있다. 이에 따라, 실링 부재(1600)는 대략 450℃까지 온도가 올라갈 수 있다. 그러므로 실링 부재(1600_는 가열 유닛(1300)의 열에 의해 변형이 발생하지 않도록 내열성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 실링 부재(1600)는 내열성이 우수한 고무 재질로 이루어질 수 있다.

커버 부재(1700)는 케이스(1100)의 상부에 착탈 가능하게 결합될 수 있다. 커버 부재(1700)는 개구(1700a)를 가질 수 있다. 커버 부재(1700)는 개구(1700a)의 외곽으로부터 외측을 향해 연장되는 연장 플랜지부(1710)와, 연장 플랜지부(1710)의 외곽으로부터 하측을 향해 연장되는 결합부(1720)를 포함할 수 있다. 개구(1700a)는 제1 개구부(1100a)와 케이스(1100)에 배치된 실링 부재(1600)를 외부로 노출시킬 수 있다. 결합부(1720)는 내측면에 나선형의 제2 나사산(1720a)을 가질 수 있다. 제2 나사산(1720a)은 제1 측벽부(1113)의 제1 나사산(1113a)과 맞물릴 수 있다. 이에 따라, 커버 부재(1700)는 케이스(1100)의 상부에 나사 결합될 수 있다.

도 13a 및 도 13b는 도 4의 진공 밀봉 장치가 배기구 마개를 이용하여 배기구를 밀봉시키는 모습을 설명하기 위한 단면도들이다.

도 13a를 참조하면, 지지 부재(1200)의 안착부(1220)에 배기구 마개(60)가 배치될 수 있다. 이때, 가이드 유닛(1500)의 가이드 핀들(1510)은 배기구 마개(60)의 위치를 가이드할 수 있다. 즉, 가이드 핀들(1510)이 배기구 마개(60)의 외곽을 따라 배치됨으로써, 안착부(1220) 상에 배치된 배기구 마개(60)가 진동 등에 의해 안착부(1220)를 이탈하는 것을 방지할 수 있다.

가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)의 하부와 접촉된 방열 부재(1310)를 통해 지지 부재(1200)를 가열할 수 있다. 지지 부재(1200)가 가열됨으로써, 지지 부재(1200)의 온도는 대략 450℃까지 올라갈 수 있다. 이에 따라, 배기구 마개(60)의 접착제(62)는 용융될 수 있다. 또한, 가열 유닛(1300)은 배기구 마개(60)를 대략 300℃까지 예열을 한 후, 대략 450℃까지 가열할 수 있다. 예열 과정은 외부 전원(미도시)의 전압을 조절하여 실현할 수 있다.

도 13b를 참조하면, 가열 유닛(1300)이 지지 부재(1200)를 가열한 후, 이동 유닛(1400)은 가열 유닛(1300)과 함께 지지 부재(1200)를 상측으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 접착제(62)가 액체 상태로 용융된 배기구 마개(60)는 제2 유리 패널(20)의 하면에 접착될 수 있다. 배기구 마개(60)가 제2 유리 패널(20)의 하면에 접착됨으로써, 배기구(21)은 밀봉될 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예에서, 이동 유닛(1400)은 가열 유닛(1300)이 지지 부재(1200)를 가열함과 동시에, 가열 유닛(1300)과 함께 지지 부재(1200)를 상측으로 이동시킬 수 있다.

가이드 유닛(1500)이 케이스(1100) 내에 고정되어 있기 때문에, 가이드 핀들(1510)은 지지 부재(1200)와 함께 상측으로 이동하지 않을 수 있다. 가이드 핀들(1510)은 지지 부재(1200)가 상측으로 이동할 경우, 몸체부(1210)의 상면 아래에 배치될 수 있다. 이에 따라, 배기구 마개(60)가 제2 유리 패널(20)에 접착될 때, 가이드 핀들(1510)은 배기구 마개(60)와 제2 유리 패널(20)의 접촉을 방해하지 않을 수 있다.

도 14는 도 4의 진공 밀봉 장치의 변형 예를 설명하기 위한 사시도이다. 도 15 및 도 16은 도 14의 진공 밀봉 장치의 일부 구성들에 대한 분해 사시도들이다. 도 14 내지 도 16에 도시된 진공 밀봉 장치(101)는 도 4 내지 도 12를 참조하여 설명한 진공 밀봉 장치(100)와 유사하다. 그러므로, 실질적으로 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략하거나 간략히 설명하고, 상이한 구성인 가열 유닛(1301), 가이드 유닛(1501), 및 지지 부재(1201)를 중심으로 설명한다.

도 14 및 도 15를 참조하면, 도 14의 진공 밀봉 장치의 가열 유닛(1301)은 램프 형이나, 도 4의 진공 밀봉 장치의 가열 유닛(1300)은 박막 형일 수 있다. 실시예에 따른 가열 유닛(1301)은 지지 부재(1201)의 하측에 배치될 수 있다. 가열 유닛(1301)은 지지 부재(1201)를 간접적으로 가열할 수 있다. 가열 유닛(1301)은 발열 부재(1340), 전극부(1320), 제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333), 상부 결합 플레이트(1331) 및 열 확산 방지부(1350)를 포함할 수 있다.

발열 부재(1340)는 램프형 히터(1341), 제1 전극(1343), 제2 전극(1344), 및 전극 연결부(1342)를 포함할 수 있다. 램프형 히터(1341)는 사방으로 열을 발산할 수 있다. 램프형 히터(1341)는 지지 부재(1201)와 직접적으로 접촉하지 않으면서, 지지 부재(1201)를 가열할 수 있다.

실시예에 따르면, 램프형 히터(1341)는 대개 글래스 또는 수정 튜브 속에 저압의 불활성 가스나 할로겐 가스를 넣을 수 있다. 또한, 램프형 히터(1341)는 튜브 내에 필라멘트가 배치될 수 있다. 필라멘트에 전류가 흐를 때, 필라멘트는 그의 저항에 의해 열과 빛을 발생시킬 수 있다. 램프형 히터(1341)는 필라멘트에서 발생하는 열과 빛을 이용하여, 지지 부재(1201)를 가열할 수 있다. 램프형 히터(1341)는 복사 방식으로 열을 전달할 수 있다. 이에 따라, 램프형 히터(1341)는 비교적 좁은 공간에서 집중적으로 열을 전달할 수 있다. 또한, 램프형 히터(1341)는 열 공급의 조절을 자유롭게 할 수 있다.

제1 및 제2 전극들(1343, 1344)은 전극부(1320)와 전기적으로 연결될 수 있다. 즉, 제1 및 제2 전극들(1343, 1344)은 전극부(1320)로부터 전원을 공급받을 수 있다. 제1 및 제2 전극들(1343, 1344)은 핀 형태로 제공될 수 있다.

전극 연결부(1342)는 제1 및 제2 전극들(1343, 1344)과 램프형 히터(1341)를 연결할 수 있다. 전극 연결부(1342)는 제1 방향(D1)으로 자른 단면이 대략 직사각형으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.

전극부(1320)는 이동 유닛(1400)의 제2 상부 플레이트(1441)에 결합될 수 있다. 전극부(1320)는 외부 전원(미도시)과 연결될 수 있다. 전극부(1320)는 발열 부재(1340)와 전기적으로 연결될 수 있다.

전극부(1320)는 제1 전극(1343)과 연결되는 제1 전극 부재(1321)와 제2 전극(1344)과 연결되는 제2 전극 부재(1322)를 포함할 수 있다. 제1 전극 부재(1321)는 제1 전극(1343)이 삽입되는 제1 연결 홈(미부호)를 가질 수 있다. 제2 전극 부재(1322)는 제2 전극(1344)이 삽입되는 제2 연결 홈(미부호)를 가질 수 있다. 또한, 제1 및 제2 전극 부재들(1321, 1322)은 제2 방향(D2)으로 돌출된 제1 돌출부들(미부호)과, 제2 방향(D2)과 반대 방향으로 돌출된 제2 돌출부들(미부호)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 전극 부재들(1321, 1322)은 제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333) 사이에 배치될 수 있다.

제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333)은 제2 상부 플레이트(1441) 상에 배치될 수 있다. 제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333)은 서로 이격 배치될 수 있다. 제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333)은 제1 돌출부들이 삽입되는 제1 결합 홈들(미부호)과, 제2 돌출부들이 삽입되는 제2 결합 홈들(미부호)을 가질 수 있다. 제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333)은 상단에 복수의 체결 홈들(미부호)을 가질 수 있다.

상부 결합 플레이트(1331)는 제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333) 상에 배치될 수 있다. 또한, 상부 결합 플레이트(1331)는 제1 및 제2 전극 부재들(1321,1322) 상에 배치될 수 있다. 또한, 램프형 히터(1341)는 상부 결합 플레이트(1331) 상에 배치될 수 있다.

상부 결합 플레이트(1331)는 제1 및 제2 측면 플레이트들(1332, 1333)의 체결 홈들과 대응된 체결 홀들을 가질 수 있다. 체결 홀들은 체결 홈들과 제1 방향(D1)으로 중첩될 수 있다. 상부 결합 플레이트(1331)는 전극 연결부(1342)가 관통하는 중앙 홀(1331a)을 가질 수 있다. 그러나, 램프형 히터(1341)는 중앙 홀(1331a)을 관통할 수 없다. 이에 따라, 램프형 히터(1341)은 상부 결합 플레이트(1331) 상에 배치될 수 있다. 실시예에 따르면, 중앙 홀(1331a)는 대략 직사각형으로 제공되나, 이에 한정되지 않는다. 상부 결합 플레이트는 대략 사각형상으로 제공되나, 이에 한정되지 않는다.

열 확산 방지부(1350)는 램프형 히터(1341)의 둘레를 감쌀 수 있다. 즉, 램프형 히터(1341)는 열 확산 방지부(1350) 내에 배치될 수 있다. 전술한 바와 같이, 램프형 히터(1341)는 사방으로 열을 발산할 수 있다. 이에 따라, 램프형 히터(1341)는 지지 부재(1201)뿐만 아니라 케이스(1100) 내의 다른 구성들을 가열할 수 있다. 다른 구성들은 램프형 히터(1341)의 열에 의해 파손될 수 있다. 열 확산 방지부(1350)는 램프형 히터(1341)의 열이 사방으로 확산되는 것을 방지할 수 있다.

열 확산 방지부(1350)는 통형으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 열 확산 방지부(1350)는 원통형으로 제공될 수 있다. 열 확산 방지부(1350)는 상부에 개구(1351)를 가질 수 있다. 지지 부재(1201)는 열 확산 방지부(1350) 상에 배치될 수 있다. 램프형 히터(1341)의 열은 열 확산 방지부(1350)의 개구(1351)를 통해 지지 부재(1201)로 전달될 수 있다. 열 확산 방지부(1350는) 상부 결합 플레이트(1331) 상에 배치될 수 있다.

도 14 및 도 16을 참조하면, 도 14의 진공 밀봉 장치(101)의 가이드 유닛(1501)은 도 4의 진공 밀봉 장치(100)의 가이드 유닛(1500)과 상이할 수 있다. 실시예에 따르면, 가이드 유닛(1501)은 지지 부재(1201)에 안착되는 배기구 마개의 안착 위치를 가이드할 수 있다. 가이드 유닛(1501)은 케이스(1100) 내에 고정될 수 있다. 예를 들면, 가이드 유닛(1501)은 바닥 케이스부(1160) 상에 고정될 수 있다.

가이드 유닛(1501)은 가이드 핀들(1510), 가이드 핀 지지부(1560), 제1 하부 플레이트(1530), 상부 연결 부재들(1540), 하부 연결 부재들(1550), 및 승강부(1570)를 포함할 수 있다.

가이드 핀 지지부(1560)는 가이드 핀(1510)을 지지할 수 있다. 가이드 핀 지지부(1560)는 제1 하부 플레이트(1530) 상에 이격 배치될 수 있다. 가이드 핀 지지부(1560)는 상부 연결 부재(1540)에 의해 제1 하부 플레이트(1530)와 연결될 수 있다. 가이드 핀 지지부(1560)는 가이드 플레이트(1563), 가이드 측벽부(1562) 및 가이드 플랜지부(1561)를 포함할 수 있다.

가이드 플레이트(1563)는 가이드 핀들(1510)을 지지할 수 있다. 가이드 핀들(1510)은 가이드 플레이트(1563)로부터 제1 방향(D1)을 향해 연장될 수 있다. 가이드 플레이트(1563)는 램프형 히터(1341)의 열이 유동하는 적어도 하나의 유동 홀(1563a)이 형성될 수 있다. 유동 홀(1563a)은 복수개 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 유동 홀(1563)은 4개가 제공될 수 있다. 가이드 플레이트(1563)는 연결 부재들()이 관통하는 복수의 연결 홀들(1563b)을 가질 수 있다. 연결 부재들()은 연결 홀들(1563b)을 통해 상하 방향으로 이동할 수 있다. 가이드 플레이트(1563)는 원형으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.

가이드 측벽부(1562)는 가이드 플레이트(1563)의 아래에 배치될 수 있다. 가이드 측벽부(1562)는 상하가 개구된 통형으로 제공될 수 있다. 실시예에 따르면, 가이드 측벽부(1562)는 원통형으로 제공될 수 있다.

가이드 플랜지부(1561)는 가이드 측벽부(1562)의 하부로부터 외측을 향해 연장될 수 있다. 가이드 플랜지부(1561)는 링 형상으로 제공될 수 있다. 실시예들에 따르면, 가이드 플랜지부(1561)는 원형의 링 형으로 제공될 수 있다. 가이드 플랜지부(1561)는 상부 연결 부재들(1540)의 상단이 삽입되는 제3 결합 홀들(1561a)을 가질 수 있다. 제3 결합 홀들(1561a)은 가이드 플랜지부(1561)를 관통할 수 있다. 제3 결합 홀들(1561a)은 가이드 측벽부(1562)의 둘레를 따라 배치될 수 있다.

승강부(1570)는 지지 부재(1201)를 상하 방향으로 이동할 수 있다. 승강부(1570)는 램프형 히터(1341)와 연결될 수 있다. 램프형 히터(1341)는 상하 방향으로 이동할 수 있다. 승강부(1570)는 램프형 히터(1341)에 의해 상하 방향으로 이동할 수 있다. 여기서, 상하 방향은 제1 방향(D1) 및 제1 방향(D1)의 반대 방향을 의미할 수 있다. 승강부(1570)는 램프형 히터(1341)와 연결되는 히터 연결 부재(1572), 지지 부재(1201)와 연결되는 지지 플레이트(1571), 및 연결 부재들(1573)을 포함할 수 있다.

히터 연결 부재(1572)는 램프형 히터(1341)의 상부가 삽입되는 삽입 개구(1572a)를 가질 수 있다. 히터 연결 부재(1572)는 링 형상으로 제공될 수 있다. 예를 들면, 히터 연결 부재(1572)는 원형의 링 형상으로 제공될 수 있다. 히터 연결 부재(1572)는 연결 부재들(1573)의 하단과 연결될 수 있다.

지지 플레이트(1571)는 히터 연결 부재(1572) 상에 이격 배치될 수 있다. 지지 부재(1201)는 지지 플레이트(1571) 상에 배치될 수 있다. 이에 따라, 지지 플레이트(1571)는 지지 부재(1201)를 지지할 수 있다. 지지 플레이트(1571)는 가이드 핀들(1510)이 관통하는 제1 홀(1571a)을 가질 수 있다. 제1 홀(1571a)은 상기 유동 홀들(1563a)과 상하 방향으로 중첩될 수 있다. 지지 플레이트(1571)는 제2 홀들(1571b)을 가질 수 있다. 제2 홀들(1571b)에 대한 자세한 사항은 후술한다. 지지 플레이트(1571)는 원형으로 제공될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.

연결 부재들(1573)은 지지 플레이트(1571)와 히터 연결 부재(1572) 사이에 배치될 수 있다. 연결 부재들(1573)은 히터 연결 부재(1572) 상에 배치될 수 있다. 연결 부재들(1573)의 각각은 상단에 체결 돌기(1573a)를 포함할 수 있다. 연결 부재들(1573)은 제1 방향(D1)으로 길쭉한 기둥 형상일 수 있다. 연결 부재들(1573)의 높이는 가이드 측벽부(1562)의 높이보다 클 수 있다. 연결 부재들과 가이드 측벽부(1562)의 높이는 제1 방향(D1)의 길이를 의미할 수 있다. 체결 돌기들(1573a)은 제2 홀들(1571b)을 관통할 수 있다.

연결 부재들(1573)은 히터 연결 부재(1572)가 램프형 히터(1341)에 의해 상측으로 이동할 때, 연결 홀(1563b)을 관통하여 상측으로 이동할 수 있다. 이때, 지지 플레이트(1571)와 지지 부재(1201)도 함께 상측으로 이동할 수 있다. 하지만, 가이드 핀들(1510)은 상측으로 이동하지 않는다.

지지 부재(1201)는 도 4의 지지 부재(1200)와 달리 가열 유닛(1300)과 직접적으로 접촉하지 않을 수 있다. 예를 들면, 지지 부재(1201)는 도 4의 지지 부재(1200)와 달리 안착 홈(1212)이 없을 수 있다.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비의 작용을 설명하면 다음과 같다.

도 17a 내지 도 17d는 도 3a의 진공 유리 모듈의 제조 설비를 이용한 제조 공정들을 설명하기 위한 개략도들이다. 도 18은 도 17a 내지 도 17d의 제조 공정들에 따른 진공 유리 모듈 내의 압력을 나타낸 그래프이다.

도 17a를 참조하면, 배기구(21, 도 2 참조)가 개방된 제1 진공 유리 모듈(1a)이 캐리어(310) 상에 배치될 수 있다. 캐리어(310)는 이송 롤러들(320)에 의해 진공 밀봉 장치를 향해 이동할 수 있다. 이에 따라, 캐리어(310) 상에 배치된 제1 진공 유리 모듈(1a)는 진공 밀봉 장치 상에 배치될 수 있다.

도 17b를 참조하면, 진공 밀봉 장치(100)는 제1 방향(D1)으로 이동할 수 있다. 이에 따라, 진공 밀봉 장치는 캐리어 개구부(311)를 통해 제1 진공 유리 모듈(1a)과 접촉할 수 있다. 진공 밀봉 장치(100)의 진공압 공급 유닛(1800)은 진공압을 생성할 수 있다. 이에 따라, 케이스(1100) 내에 진공압이 형성될 수 있다. 케이스(1100) 내에 진공압이 형성됨으로써, 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 기체는 배기구(21)와 제1 개구부(1100a, 도 9 참조)를 통해 배기될 수 있다.

실시예들에 따르면, 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 기체가 배기될 때, 제1 광원 유닛(210)은 게터(50)를 향해 레이저 광(L1, 이하, 제1 레이저 광)을 조사할 수 있다. 제1 레이저 광(L1)의 파장은 대략 800nm 내지 대략 1100nm일 수 있다. 게터(50)는 제1 레이저 광(L1)에 의해 탈가스를 발생시킬 수 있다. 탈가스는 배기구를 통해 배기될 수 있다. 실시예에 따르면, 제1 광원 유닛(210)은 진공 밀봉 장치(100)를 통해 배기가 시작된 후부터 배기구(21)가 밀봉된 후, 일정 시간 동안 게터(50)를 향해 레이저 광(L1)을 조사할 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예에서, 제1 광원 유닛(210)은 배기구(21)가 밀봉된 후, 일정 시간 동안 게터(50)를 향해 레이저 광(L1)을 조사할 수 있다.

이동 유닛(1400)은 지지 부재(1200)를 제1 방향(D1)으로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 지지 부재(1200) 상의 배기구 마개(60)는 배기구(21)를 덮으면서 제1 진공 유리 모듈(1a)과 접촉할 수 있다.

가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)를 가열할 수 있다. 이에 따라, 배기구 마개(60, 도 17A 참조)는 지지 부재(1200)를 통해 열이 공급될 수 있다. 배기구 마개(60)에 열이 공급됨으로써, 배기구 마개(60)의 접착제(62)는 용융될 수 있다. 실시예들에 따르면, 가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)가 제1 방향(D1)을 향해 이동할 때, 배기구 마개(60)에 열을 공급할 수 있다. 이와 달리, 다른 실시예에서, 가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200) 상의 배기구 마개(60)가 배기구(21)를 덮을 때, 배기구 마개(60)에 열을 공급할 수 있다.

가열 유닛(1300)은 지지 부재(1200)의 가열을 중단할 수 있다. 이에 따라, 용융된 접착제(62)는 다시 응고될 수 있다. 접착제(62)가 응고됨으로써, 배기구 마개(60)는 배기구(21)를 덮은 상태에서 제1 진공 유리 모듈(1a)에 부착될 수 있다. 즉, 배기구(21)은 밀봉될 수 있다.

배기구(21)가 밀봉된 후에도, 제1 광원 유닛(210)은 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 게터(50)를 향해 레이저 광(L1)을 조사할 수 있다. 이때, 게터(50)는 밀봉된 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 기체 일부를 1차적으로 제거할 수 있다.

도 17c를 참조하면, 이송 유닛(300)은 제1 광원 유닛(210)에서 레이저 광(L1)을 조사받은 제1 진공 유리 모듈(1a)을 제2 광원 유닛(220)으로 이송시킬 수 있다. 예를 들면, 이송 롤러들(320)은 제1 진공 유리 모듈(1a)이 배치된 캐리어(310)를 제2 방향(D1)을 향해 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 제1 레이저 광(L1, 도 17b 참조) 조사받은 제1 진공 유리 패널(1a)은 제2 광원 유닛(220)과 인접하게 배치될 수 있다.

또한, 이송 유닛(300)은 배기구(21)가 개방된 제2 진공 유리 모듈(1b)을 제2 방향(D2)을 향해 이송시킬 수 있다. 이에 따라, 제2 진공 유리 모듈(1b)은 진공 밀봉 장치(100) 상에 배치될 수 있다.

도 17d를 참조하면, 진공 밀봉 장치(100)는 제2 진공 유리 모듈(1b) 내의 기체의 일부를 제거하고, 제2 진공 유리 모듈(1b)의 배기구(21)를 밀봉할 수 있다. 또한, 제1 광원 유닛(210)은 제2 진공 유리 모듈(1b) 내의 게터(50)를 향해 제1 레이저 광(L1)을 조사할 수 있다.

또한, 제2 광원 유닛(220)은 이송 유닛(300)에 의해 이송된 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 게터(50)를 향해 레이저 광(L2, 이하, 제2 레이저 광)을 조사할 수 있다. 제2 광원 유닛(220)은 게터(50)를 향해 일정 시간 동안 제2 레이저 광(L2)을 조사할 수 있다. 게터(50)는 제2 레이저 광(L2)에 의해 재 활성화될 수 있다. 이에 따라, 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 잔존 기체 일부는 재 활성화된 게터(50)와 반응하여 2차적으로 제거될 수 있다.

이송 유닛(300)은 제2 레이저 광(L2)을 조사받은 제1 진공 유리 모듈(1a)을 제3 광원 유닛(230)으로 이송시킬 수 있다. 또한, 이송 유닛(300)은 제1 레이저 광(L1)을 조사받은 제2 진공 유리 모듈(1b)을 제2 광원 유닛(220)으로 이송시킬 수 있다. 또한, 이송 유닛(300)은 진공 밀봉 장치(100) 상에 배기구가 개방된 제3 진공 유리 모듈(미도시)을 배치할 수 있다.

진공 밀봉 장치(100)는 제3 진공 유리 모듈 내의 기체를 제거하고, 제3 진공 유리 모듈(1c)의 배기구(21)를 밀봉할 수 있다. 또한, 제1 광원 유닛(210)은 제3 진공 유리 모듈 내의 게터(50)를 향해 일정 시간 동안 제1 레이저 광(L1)을 조사할 수 있다.

또한, 제2 광원 유닛(220)은 제2 진공 유리 모듈(1b) 내의 게터(50)를 향해 제2 레이저 광(L2)을 조사할 수 있다. 이에 따라, 제2 진공 유리 모듈(1b) 내의 잔존 기체의 일부는 재 활성화된 게터(50)와 반응하여 2차적으로 제거될 수 있다.

또한, 제3 광원 유닛(230)은 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 게터(50)를 향해 레이저 광(L3)을 조사할 수 있다. 이에 따라, 제1 진공 유리 모듈(1a) 내의 잔존 기체의 일부는 재 활성화된 게터(50)와 반응하여 3차적으로 제거될 수 있다.

이송 유닛(300)은 제3 광원 유닛(230)에서 레이저 광을 조사받은 제1 진공 유리 모듈(1a)을 수납 공간으로 이송시킬 수 있다. 이송 유닛(300)은 제2 레이저 광을 조사받은 제2 진공 유리 모듈(1b)을 제3 광원 유닛(230)을 향해 이송시킬 수 있다. 이송 유닛(300)은 제1 레이저 광을 조사받은 제3 진공 유리 모듈(미도시)을 제2 광원 유닛(220)을 향해 이송시킬 수 있다. 또한, 이송 유닛(300)은 진공 밀봉 장치(100) 상에 배기구(21)이 개방된 제4 진공 유리 모듈(미도시)을 배치할 수 있다.

도 18을 참조하면, 제1 진공 유리 모듈(1a, 도 17a 참조) 내의 압력은 게터의 활성화 횟수가 증가할수록 감소한다. 활성화된 게터가 비활성화되기까지 소정의 시간이 필요할 수 있다. 이에 따라, 하나의 광원 유닛을 이용하여 게터를 여러 번 활성화시키는 경우, 진공 유리 모듈(1)의 생산성이 저하될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에 따른 진공 유리 모듈의 제조 설비는 서로 다른 공간에서 진공 유리 모듈의 밀봉 및 게터 활성화 공정과, 게터 재활성화 공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 진공 유리 모듈(1)의 생산성이 향상될 수 있다.

또한, 도 17a 내지 도 17d의 진공 유리 모듈의 제조 설비는 도 4의 진공 밀봉 장치(100)를 예를 들어 설명하였으나, 도 14의 진공 밀봉 장치(101)를 이용할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안될 것이다.

1: 진공 유리 모듈 10: 제1 유리 패널
20: 제2 유리 패널 21: 배기구
50: 게터 55: 게터 홀더
60: 배기구 마개 61: 마개부
62: 접착제 100: 진공 밀봉 장치
1100: 케이스 1100a: 제1 개구부
1110: 상부 케이스부 1111: 단턱부
1112: 플랜지부 1113: 제1 측벽부
1113a: 제1 나사산 1114: 탄성 변형부
1115: 제2 측벽부 1120: 제1 결합 플랜지부
1130: 연결 케이스부 1131: 제3 측벽부
1132: 연결 관 1140: 제2 결합 플랜지부
1150: 제3 결합 플랜지부 1160: 바닥 케이스부
1200: 지지 부재 1210: 몸체부
1220: 안착부 1211: 가이드 홀들
1212: 안착 홈 1300: 가열 유닛
1310: 발열 부재 1311: 접촉부
1312: 제1 전극 연결부 1313: 제2 전극 연결부
1320: 전극부 1321: 제1 전극 부재
1322: 제2 전극 부재 1400: 이동 유닛
1410: 구동부 1420: 구동 샤프트부
1421: 제1 샤프트 1422: 제2 샤프트
1423: 제3 샤프트 1430: 충격 흡수부
1431: 제3 상부 플레이트 1432: 제3 하부 플레이트
1433: 탄성 부재 1440: 가열 유닛 연결부
1441: 제2 상부 플레이트 1442: 제2 하부 플레이트
1443: 연결 부재들 1500: 가이드 유닛
1510: 가이드 핀들 1520: 제1 상부 플레이트
1521: 삽입 홈들 1522: 제1 샤프트 홀
1530: 제2 상부 플레이트 1531: 제2 샤프트 홀
1540: 상부 연결 부재들 1550: 하부 연결 부재들
1600: 실링 부재 1700: 커버 부재
200: 광 조사 장치 210~230: 광원 유닛들
300: 이송 유닛

Claims

진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치;
진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사하는 제1 광원 유닛;
상기 제1 광원 유닛과 이격되는 제2 광원 유닛; 및
상기 제1 광원 유닛으로부터 레이저 광을 조사받은 진공 유리 모듈을 상기 제2 광원 유닛으로 이송시키는 이송 장치를 포함하되,
상기 제2 광원 유닛은 상기 이송 장치에 의해 이송된 진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제1항에 있어서,
상부에 제1 개구부를 갖는 케이스;
상기 케이스 내에 배치되고, 진공 유리 모듈의 배기구를 밀봉하는 배기구 마개를 지지하기 위한 지지 부재;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 가열하기 위한 가열 유닛;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이동시키기 위한 이동 유닛; 및
상기 케이스와 연결되고, 상기 케이스 내로 진공압을 제공하기 위한 진공압 공급 유닛을 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제2항에 있어서,
상기 가열 유닛은:
상기 지지 부재의 하부와 접촉하는 박판형의 발열 부재; 및
상기 발열 부재와 전기적으로 연결되어, 상기 발열 부재에 외부에서 인가된전압을 공급하는 전극부를 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제3항에 있어서,
상기 이동 유닛은:
구동력을 생성하는 구동부; 및
상기 구동부와 상기 지지 부재를 연결하고, 상기 지지 부재에 상기 구동부에서 생성된 구동력을 전달하는 구동 샤프트부를 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치;
진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사하는 제1 광원 유닛;
상기 제1 광원 유닛과 이격되는 제2 광원 유닛; 및
상기 제1 광원 유닛으로부터 레이저 광을 조사받은 진공 유리 모듈을 상기 제2 광원 유닛으로 이송시키는 이송 장치를 포함하되,
상기 제2 광원 유닛은 상기 이송 장치에 의해 이송된 진공 유리 모듈 내의 게터를 향해 레이저 광을 조사하며,
상기 진공 밀봉 장치는:
상부에 제1 개구부를 갖는 케이스;
상기 케이스 내에 배치되고, 진공 유리 모듈의 배기구를 밀봉하는 배기구 마개를 지지하기 위한 지지 부재;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 가열하기 위한 가열 유닛;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이동시키기 위한 이동 유닛;
상기 케이스와 연결되고, 상기 케이스 내로 진공압을 제공하기 위한 진공압 공급 유닛; 및
상기 케이스 내에 고정되고, 상기 지지 부재에 지지되는 배기구 마개의 위치를 가이드하는 가이드 유닛; 을 더 포함하고,
상기 가이드 유닛은:
상기 지지 부재에 제공된 가이드 홀들에 각각 삽입되어, 상기 지지 부재에 안착된 배기구 마개의 외곽을 따라 배치되는 복수의 가이드 핀들을 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제5항에 있어서,
상기 가이드 유닛은:
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 구동 샤프트부가 관통하는 제1 샤프트 홀, 및 상기 가이드 핀들의 일단들이 각각 삽입되는 삽입 홈들을 갖는 제1 상부 플레이트를 포함하고,
상기 삽입 홈들은 상기 제1 샤프트 홀의 경계를 따라 배치되고, 상기 가이드 홀과 상하방향으로 중첩되며,
상기 케이스는:
상기 제1 개구부의 외곽으로부터 외측으로 연장되는 플랜지부와, 상기 플랜지부의 외곽으로부터 하측으로 연장되는 제1 측벽부와, 상기 제1 측벽부의 하부와 연결되며 상하 방향으로 길이가 가변되는 탄성 변형부와, 상기 탄성 변형부의 하부와 연결되는 제2 측벽부를 포함하는 상부 케이스부;
상기 상부 케이스부의 하측에 배치되고, 상기 진공압 공급 유닛과 연결되는 연결 케이스부; 및
상기 연결 케이스부의 하측에 배치되는 바닥 케이스부를 포함하고,
상기 가이드 유닛은:
상기 제1 상부 플레이트의 하측에 이격되고, 상기 구동 샤프트부가 관통하는 제2 샤프트 홀을 갖는 제1 하부 플레이트;
상기 제1 상부 플레이트와 상기 제1 하부 플레이트를 연결하는 상부 연결 부재들; 및
상기 제1 하부 플레이트와 상기 바닥 케이스부를 연결하는 하부 연결 부재들을 더 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제6항에 있어서,
상기 탄성 변형부는 주름 관 형태로 제공되는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제6항에 있어서,
상기 이동 유닛은;
상기 지지 부재를 통해 상기 구동 샤프트부에 전달되는 충격을 흡수하는 충격 흡수부; 및
상기 지지 부재와 상기 충격 흡수부 사이에 배치되고, 상기 가열 유닛과 연결되는 가열 유닛 연결부를 더 포함하고,
상기 구동 샤프트부는:
상기 제1 샤프트 홀을 관통하여, 상기 가열 유닛과 상기 가열 유닛 연결부의 상부를 연결하는 제1 샤프트;
상기 제2 샤프트 홀을 관통하여, 상기 가열 유닛 연결부의 하부와 상기 충격 흡수부의 상부를 연결하는 제2 샤프트; 및
상기 충격 흡수부의 하부와 구동부를 연결하는 제3 샤프트를 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제8항에 있어서,
상기 가열 유닛 연결부는:
상기 가열 유닛의 전극부가 설치되고, 상기 상부 연결 부재들이 관통하는 복수의 제1 관통 홀들을 갖는 제2 상부 플레이트;
상기 제2 상부 플레이트의 하측에 이격되고, 상기 상부 연결 부재들이 관통하는 복수의 제2 관통 홀들을 갖는 제2 하부 플레이트; 및
상기 제2 상부 및 제2 하부 플레이트들을 연결하는 연결 부재들을 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제8항에 있어서,
상기 충격 흡수부는:
상기 제2 샤프트와 연결되는 제3 상부 플레이트;
상기 제3 상부 플레이트의 하측에 이격되고, 상기 제3 샤프트와 연결되는 제3 하부 플레이트; 및
상기 제3 상부 및 제3 하부 플레이트들을 연결하는 탄성 부재를 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제8항에 있어서,
상기 가열 유닛은 상기 제1 샤프트의 일단과 연결되고, 상기 복수의 가이드 핀들이 관통하는 복수의 핀 홀들을 갖는 제1 플레이트; 및 상기 지지 부재의 하부와 접촉하는 박판형의 발열 부재; 를 포함하되,
상기 발열 부재는:
상기 제1 플레이트 상에 배치되고, 상기 지지 부재의 하부와 접촉하는 접촉부;
상기 접촉부의 일단으로부터 하측을 향해 연장되는 제1 전극 연결부; 및
상기 접촉부의 타단으로부터 하측을 향해 연장되는 제2 전극 연결부를 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제11항에 있어서,
상기 전극부는:
상기 가열 유닛 연결부에 설치되고, 상기 제1 전극 연결부와 전기적으로 연결되는 제1 전극 부재; 및
상기 가열 유닛 연결부에 설치되고, 상기 제2 전극 연결부와 전기적으로 연결되는 제2 전극 부재를 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제11항에 있어서,
상기 지지 부재는 상기 접촉부가 삽입되는 안착 홈을 갖는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
제3항에 있어서,
상기 케이스 상에 배치되어, 상기 제1 개구부를 둘러싸는 링 형상의 실링 부재를 더 포함하는 진공 유리 모듈의 제조 설비.
진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치에 있어서,
상부에 제1 개구부를 갖는 케이스;
상기 케이스 내에 배치되고, 진공 유리 모듈의 배기구를 밀봉하는 배기구 마개를 지지하기 위한 지지 부재;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 가열하기 위한 가열 유닛;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이동시키기 위한 이동 유닛;
상기 케이스와 연결되고, 상기 케이스 내로 진공압을 제공하기 위한 진공압 공급 유닛; 및
상기 케이스 상에 배치되어, 상기 제1 개구부를 둘러싸는 링 형상의 실링 부재; 를 포함하며,
상기 케이스는 상기 제1 개구부의 외곽으로부터 상측을 향해 연장되는 단턱부를 더 포함하고,
상기 단턱부의 높이는 상기 실링 부재의 높이보다 작은 진공 밀봉 장치.
진공 유리 모듈의 배기구를 통해 진공 유리 모듈 내의 기체를 배기하고, 상기 배기구를 배기구 마개로 밀봉하는 진공 밀봉 장치에 있어서,
상부에 제1 개구부를 갖는 케이스;
상기 케이스 내에 배치되고, 진공 유리 모듈의 배기구를 밀봉하는 배기구 마개를 지지하기 위한 지지 부재;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 가열하기 위한 가열 유닛;
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 지지 부재를 상하 방향으로 이동시키기 위한 이동 유닛;
상기 케이스와 연결되고, 상기 케이스 내로 진공압을 제공하기 위한 진공압 공급 유닛; 및
상기 케이스 내에 고정되고, 상기 지지 부재에 지지되는 배기구 마개의 위치를 가이드하는 가이드 유닛; 을 더 포함하고,
상기 가이드 유닛은:
상기 지지 부재에 제공된 가이드 홀들에 각각 삽입되어, 상기 지지 부재에 안착된 배기구 마개의 외곽을 따라 배치되는 복수의 가이드 핀들을 포함하는 진공 밀봉 장치.
제16항에 있어서,
상기 이동 유닛은:
구동력을 생성하는 구동부; 및
상기 구동부와 상기 지지 부재를 연결하고, 상기 지지 부재에 상기 구동부에서 생성된 구동력을 전달하는 구동 샤프트부를 포함하며,
상기 가열 유닛은:
상기 지지 부재의 하부와 접촉하는 박판형의 발열 부재; 및
상기 발열 부재와 전기적으로 연결되어, 상기 발열 부재에 외부에서 인가된 전압을 공급하는 전극부를 포함하는 진공 밀봉 장치.
제17항에 있어서,
상기 가이드 유닛은:
상기 지지 부재의 하측에 배치되고, 상기 구동 샤프트부가 관통하는 제1 샤프트 홀, 및 상기 가이드 핀들의 일단들이 각각 삽입되는 삽입 홈들을 갖는 제1 상부 플레이트를 포함하고,
상기 삽입 홈들은 상기 제1 샤프트 홀의 경계를 따라 배치되고, 상기 가이드 홀과 상하방향으로 중첩되는 진공 밀봉 장치.
제18항에 있어서,
상기 케이스는:
상기 제1 개구부의 외곽으로부터 외측으로 연장되는 플랜지부와, 상기 플랜지부의 외곽으로부터 하측으로 연장되는 제1 측벽부와, 상기 제1 측벽부의 하부와 연결되며 상하 방향으로 길이가 가변되는 탄성 변형부와, 상기 탄성 변형부의 하부와 연결되는 제2 측벽부를 포함하는 상부 케이스부;
상기 상부 케이스부의 하측에 배치되고, 상기 진공압 공급 유닛과 연결되는 연결 케이스부; 및
상기 연결 케이스부의 하측에 배치되는 바닥 케이스부를 포함하고,
상기 가이드 유닛은:
상기 제1 상부 플레이트의 하측에 이격되고, 상기 구동 샤프트부가 관통하는 제2 샤프트 홀을 갖는 제1 하부 플레이트;
상기 제1 상부 플레이트와 상기 제1 하부 플레이트를 연결하는 상부 연결 부재들; 및
상기 제1 하부 플레이트와 상기 바닥 케이스부를 연결하는 하부 연결 부재들을 더 포함하는 진공 밀봉 장치.
제19항에 있어서,
상기 탄성 변형부는 주름 관 형태로 제공되는 진공 밀봉 장치.
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