KR101958682B1 - A manufacturing appartus for a solar cell and a control method thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 태양전지의 제조장치에 관한 것으로서, 상세하게는 공정챔버 내에서 증착대상이 되는 가요성 기판과 가스공급부와의 거리 조절이 가능해질 수 있는 태양전지의 제조장치에 관한 것이다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 가가요성 기판에 대한 증착공정이 이루어지는 공정챔버와; 상기 공정챔버 내부로 유입된 가요성 기판을 지지하는 지지벨트부와; 상기 지지벨트부를 이동시키며, 그 외경이 조절가능하게 마련되는 지지롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조장치를 제공한다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for manufacturing a solar cell, and more particularly, to an apparatus for manufacturing a solar cell capable of adjusting a distance between a flexible substrate to be vapor-deposited and a gas supply unit in a process chamber.
To achieve these and other advantages and in accordance with the purpose of the present invention, as embodied and broadly described herein, A support belt portion for supporting a flexible substrate introduced into the process chamber; And a support roller for moving the support belt portion and having an outer diameter adjustable.

Figure R1020130012584
Figure R1020130012584

Description

태양전지의 제조장치 및 그 제어방법{ A manufacturing appartus for a solar cell and a control method thereof }TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a solar cell manufacturing apparatus and a control method thereof,

본 발명은 태양전지의 제조장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 상세하게는 공정챔버 내에서 증착대상이 되는 가요성 기판과 가스공급부와의 거리 조절이 가능해질 수 있는 태양전지의 제조장치 및 그 제어방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for manufacturing a solar cell and a control method thereof, and more particularly, to a manufacturing apparatus and a control method thereof for a solar cell capable of adjusting a distance between a flexible substrate to be vapor- ≪ / RTI >

일반적으로, 태양전지는 태양으로부터 지구에 전달되는 빛 에너지를 전기 에너지로 변환하여 에너지를 생산하는 청정 에너지원으로써 지구 온난화 방지를 위한 이산화탄소 발생량을 줄일 수 있다는 장점이 있다. Generally, a solar cell is a clean energy source that generates energy by converting light energy transferred from the sun to the earth into electric energy, thereby reducing the amount of carbon dioxide generated to prevent global warming.

이와 같은 태양전지는 기판형 태양전지와 박막형 태양전지로 구분할 수 있다.Such a solar cell can be classified into a substrate type solar cell and a thin film solar cell.

기판형 태양전지는 실리콘과 같은 반도체물질 자체를 기판으로 이용하여 태양전지를 제조한 것이고, 박막형 태양전지는 유리 등과 같은 기판 상에 박막의 형태로 반도체를 형성하여 태양전지를 제조한 것이다. A substrate-type solar cell is a solar cell manufactured using a semiconductor material itself such as silicon as a substrate, and a thin-film solar cell is formed by forming a semiconductor in the form of a thin film on a substrate such as glass.

기판형 태양전지는 상기 박막형 태양전지에 비하여 효율이 다소 우수하기는 하지만, 공정상 두께를 최소화하는데 한계가 있고 고가의 반도체 기판을 이용하기 때문에 제조비용이 상승되는 단점이 있다. Although the substrate type solar cell has a somewhat higher efficiency than the thin film type solar cell, there is a limitation in minimizing the thickness in the process and a manufacturing cost is increased because an expensive semiconductor substrate is used.

박막형 태양전지는 기판형 태양전지에 비하여 효율이 다소 떨어지기는 하지만, 얇은 두께로 제조가 가능하고 저가의 재료를 이용할 수 있어 제조비용이 감소되는 장점이 있어 대량생산에 적합하다는 장점이 있다. Thin-film solar cells have advantages in that they are suitable for mass production because they can be manufactured with a thin thickness and use low-cost materials, thereby reducing manufacturing costs, although the efficiency is somewhat lower than that of a substrate-type solar cell.

일반적으로 박막형 태양전지는 유리 기판을 사용하고 있지만, 경량화, 시공성, 및 양산성을 높일 수 있는 가요성 기판을 이용한 박막형 태양전지에 대한 연구 개발이 활발히 진행되고 있다.In general, a thin film solar cell uses a glass substrate, but research and development on a thin film solar cell using a flexible substrate capable of reducing weight, workability, and mass productivity have been actively conducted.

종래의 가요성 기판을 이용한 박막형 태양전지는 가요성 기판 상에 제1전극층, 반도체층, 및 제2전극층으로 이루어지는 복수의 태양전지 셀을 포함하며, 인접한 태양전지 셀은 서로 전기적으로 직렬 접속된다.A conventional thin-film solar cell using a flexible substrate includes a plurality of solar cells including a first electrode layer, a semiconductor layer, and a second electrode layer on a flexible substrate, and adjacent solar cells are electrically connected to each other in series.

도 8은 박막형 태양전지의 제조 장치를 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.8 is a schematic view for explaining an apparatus for manufacturing a thin film solar cell.

도 8에 도시된 바와 같이, 종래의 박막형 태양전지의 제조 장치(1)는 외곽 챔버(2), 기판 피딩 롤러(3), 제1 내지 제3공정 챔버(4~6), 기판 권취 롤러(7), 각 공정챔버(4~6) 내부에 마련되어 가요성 기판을 지지하는 지지대(4A~6A)를 포함하여 구성된다. 8, a conventional apparatus 1 for manufacturing a thin film solar cell includes an outer chamber 2, a substrate feeding roller 3, first to third process chambers 4 to 6, a substrate take-up roller 7), and support rods 4A to 6A provided inside the process chambers 4 to 6 for supporting the flexible substrates.

외곽 챔버(2)는 제1 내지 제3공정 챔버(4~6), 기판 피딩 롤러(3), 기판 권취 롤러(7)를 감싸도록 설치된다. 이러한, 외곽 챔버(2)의 내부는 복수의 제1진공펌프(8A)에 의해 진공 상태를 유지한다. The outer chamber 2 is installed to enclose the first to third process chambers 4 to 6, the substrate feeding roller 3, and the substrate take-up roller 7. The inside of the outer chamber 2 is maintained in a vacuum state by the plurality of first vacuum pumps 8A.

기판 피딩 롤러(3)는 외곽 챔버(2)의 일측에 설치된다. The substrate feeding roller 3 is installed on one side of the outer chamber 2. [

이때, 기판 피딩 롤러(3)에는 소정의 길이를 가지는 가요성 기판(1A)이 감겨져 있다. 여기서, 가요성 기판(1A) 상에는 박막형 태양전지의 전극층(미도시)이 소정 간격으로 형성되어 있다. At this time, a flexible substrate 1A having a predetermined length is wound around the substrate feeding roller 3. Here, on the flexible substrate 1A, electrode layers (not shown) of thin-film solar cells are formed at predetermined intervals.

이러한, 기판 피딩 롤러(3)는 스테핑 롤링 방식으로 회전하면서 가요성 기판(1A)을 제1 내지 제3공정 챔버(4~6)으로 공급한다. The substrate feeding roller 3 rotates in a stepping rolling manner, and supplies the flexible substrate 1A to the first to third process chambers 4 to 6.

제1 내지 제3공정 챔버(4~6) 각각은 기판 피딩 롤러(3)와 기판 권취 롤러(7) 사이에 배치되도록 외곽 챔버(2) 내부에 설치된다. Each of the first to third process chambers 4 to 6 is installed inside the outer chamber 2 so as to be disposed between the substrate feeding roller 3 and the substrate take-up roller 7.

이러한, 제1 내지 제3공정 챔버(4~6) 각각은 PECVD을 이용하여 스테핑 롤링 방식에 따라 기판 피딩 롤러(3)로부터 공급되는 가요성 기판(1A) 상에 반도체층을 형성한다. Each of the first to third process chambers 4 to 6 forms a semiconductor layer on the flexible substrate 1A supplied from the substrate feeding roller 3 according to the stepping rolling method using PECVD.

이를 위해, 제1 내지 제3공정 챔버(4~6) 각각은 하부 챔버(9A), 히터(9B), 상부 챔버(9C), 샤워 헤드(9D), 제2진공펌프(8B)를 구비한다. To this end, each of the first to third process chambers 4 to 6 includes a lower chamber 9A, a heater 9B, an upper chamber 9C, a showerhead 9D, and a second vacuum pump 8B .

하부 챔버(9A)는 외곽 챔버(2)의 바닥면에 설치된다. The lower chamber 9A is installed on the bottom surface of the outer chamber 2. [

히터(9B)는 하부 챔버(9A) 내부에 설치되어 스테핑 방식으로 반송되는 가요성 기판(1A)을 소정의 온도로 가열한다. The heater 9B is installed inside the lower chamber 9A and heats the flexible substrate 1A, which is conveyed in a stepping manner, to a predetermined temperature.

상부 챔버(9C)는 상부 챔버 승강부(미부호)에 의해 지지되도록 외곽 챔버(2)의 상부에 설치된다. The upper chamber 9C is installed at the upper part of the outer chamber 2 so as to be supported by the upper chamber elevator (not shown).

샤워 헤드(9D)는 상부 챔버(9C) 내부에 설치되어 외부로부터 공급되는 공정 가스를 반응 공간에 분사한다. The showerhead 9D is installed inside the upper chamber 9C and injects the process gas supplied from the outside into the reaction space.

제2진공펌프(8B)는 외곽 챔버(2)의 바닥면을 관통하여 하부 챔버(9A)에 연통되도록 설치되어 반응 공간에 진공 분위기를 형성한다. The second vacuum pump 8B is installed to communicate with the lower chamber 9A through the bottom surface of the outer chamber 2 to form a vacuum atmosphere in the reaction space.

기판 권취 롤러(7)는 외곽 챔버(2)의 타측에 설치된다. 이러한, 기판 권취 롤러(7)는 스테핑 롤링 방식으로 회전하는 기판 피딩 롤러(3)와 연동되어 제1 내지 제3공정 챔버(4~6)에 의해 공정이 완료된 가요성 기판(1A)을 회수한다. The substrate take-up roller 7 is provided on the other side of the outer chamber 2. The substrate winding roller 7 interlocks with the substrate feeding roller 3 rotating in a stepping rolling manner to recover the flexible substrate 1A that has been processed by the first to third process chambers 4 to 6 .

이와 같은 롤 투 롤(Roll to Roll) 방식으로 구성되는 태양전지 제조장치는 전극층 및 광 변환층을 연속으로 증착하는 방식으로서, 공정의 생산성 및 연속성이 우수하다.Such a solar cell manufacturing apparatus configured by the roll-to-roll method is a method of continuously depositing an electrode layer and a photo-conversion layer, and is excellent in process productivity and continuity.

그러나, 한번 세팅되면 가스 공급부가 되는 샤워 헤드(9D)와 상기 기판 지지대(4A~6A)에 의하여 지지되는 가요성 기판 사이의 이격 거리의 조절이 불가능하다.However, once set, it is impossible to adjust the distance between the showerhead 9D serving as a gas supply unit and the flexible substrate supported by the substrate supports 4A through 6A.

즉, 전극층의 두께나 광 변환층의 두께를 변화할 필요성이 있는 경우, 샤워 헤드(9D)와 상기 기판 지지대(4A~6A)에 의하여 지지되는 가요성 기판 사이의 이격 거리를 변화시켜야 되는데, 종래 기술에 의한 태양전지 제조장치는 그러한 변화가 쉽게 일어날 수 없는 구조를 갖고 있기 때문이다. That is, when it is necessary to change the thickness of the electrode layer or the thickness of the light conversion layer, the distance between the showerhead 9D and the flexible substrate supported by the substrate supports 4A to 6A must be changed. This is because the solar cell manufacturing apparatus by technology has such a structure that such a change can not easily occur.

이를 해결하기 위해서는 제조장치 자체를 분해하여, 샤워헤드(9D)의 높이를 수동으로 조절해야 하거나, 또는 기판지지대(4A~6A)의 위치를 변경해야 하는 불편함이 있었다. In order to solve this problem, there has been an inconvenience that the manufacturing apparatus itself must be disassembled, the height of the showerhead 9D must be manually adjusted, or the position of the substrate supports 4A to 6A must be changed.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 공정 챔버 내에서 가요성 기판과 가스공급부 간의 거리를 용이하게 조절할 수 있는 태양전지 제조장치 및 그 제어방법을 제공하는데 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a solar cell manufacturing apparatus and a control method thereof that can easily adjust a distance between a flexible substrate and a gas supply unit in a process chamber.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 가요성 기판에 대한 증착공정이 이루어지는 공정챔버와; 상기 공정챔버 내부로 유입된 가요성 기판을 지지하는 지지벨트부와; 상기 지지벨트부를 이동시키며, 그 외경이 조절가능하게 마련되는 지지롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조장치를 제공한다. To achieve these and other advantages and in accordance with the purpose of the present invention, as embodied and broadly described herein, A support belt portion for supporting a flexible substrate introduced into the process chamber; And a support roller for moving the support belt portion and having an outer diameter adjustable.

상기 공정챔버 내부에 마련되어 공정가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하되, And a gas supply unit provided inside the process chamber for supplying a process gas,

상기 지지롤러는 상기 지지벨트부를 회전가능하게 지지하며, 상기 지지벨트의 상면와 상기 가스공급부와의 이격거리가 조절될 수 있도록 그 외경이 조절가능하게 마련되는 지지롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다. The support roller includes a support roller rotatably supporting the support belt portion and having an outer diameter adjustable so that a distance between the upper surface of the support belt and the gas supply portion can be adjusted.

상기 지지롤러는 전방 지지롤러와 후방 지지롤러를 포함하되, 상기 전방 지지롤러는 상기 가스공급부의 전단부보다 앞에 위치하고, 상기 후방지지롤러는 상기 가스공급부의 후단부보다 뒤에 위치하도록 마련되는 것을 특징으로 한다. Wherein the support roller includes a front support roller and a rear support roller wherein the front support roller is positioned in front of the front end of the gas supply unit and the rear support roller is positioned behind the rear end of the gas supply unit. do.

상기 지지롤러는 그 회전의 중심이 되며 소정의 회전축이 삽입되는 중심부와; 상기 중심부와 이격되고 상호 분할되며 상기 중심부로부터 이격위치가 변화될 수있도록 마련되는 외주부와;The support roller has a center portion in which a rotation axis is inserted and a rotation axis is inserted; An outer circumferential portion spaced apart from the center portion and being divided from each other,

상기 외주부와 연결되어 상기 외주부를 상기 중심부로부터 상대운동시킬 수 있도록 마련되는 구동장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다. And a driving device connected to the outer circumferential portion to relatively move the outer circumferential portion from the center portion.

상기 구동장치는 외부의 전기 에너지 또는 유압 에너지 또는 공압 에너지를 받아 작동하는 액츄에이터로 구성되는 것을 특징으로 한다. The driving device may include an actuator that operates by receiving external electric energy, hydraulic energy, or pneumatic energy.

상기 지지롤러의 외경이 최소로 유지되는 경우,When the outer diameter of the support roller is maintained at a minimum,

상기 외주면의 일단부는 이웃한 외주면의 타단부와 접촉하거나 최근접거리를 유지하도록 마련되는 것을 특징으로 한다. And one end of the outer circumferential surface is provided so as to be in contact with the other end of the outer circumferential surface adjacent thereto or to maintain the closest distance.

상기 전방지지롤러와 상기 후방지지롤러의 사이에 마련되고,A rear support roller provided between the front support roller and the rear support roller,

상기 지지벨트의 하면을 지지하여 텐션을 제공하는 보조롤러를 더 포함하되,Further comprising an auxiliary roller for supporting the lower surface of the support belt to provide tension,

상기 보조롤러는, 상기 지지롤러의 외경 변화를 통하여 상기 지지벨트부와 상기 가스공급부 사이의 거리가 변화하는 경우에 맞추어 그 위치가 변화되는 것을 특징으로 한다. Wherein the position of the auxiliary roller is changed in accordance with a change in the distance between the support belt portion and the gas supply portion through a change in outer diameter of the support roller.

상기 지지롤러의 외경이 최소가 되어 상기 가스공급부와 상기 지지벨트부의 상면사이의 이격거리가 최대가 되는 경우, 상기 보조롤러의 높이는 최고 높이가 되도록 마련되는 것을 특징으로 한다. When the outer diameter of the support roller is minimized and the distance between the gas supply part and the upper surface of the support belt part becomes maximum, the height of the auxiliary roller is set to be the highest.

상기 지지롤러의 외경이 최대가 되어 상기 가스공급부와 상기 지지벨트부의 상면사이의 이격거리가 최소가 되는 경우, 상기 보조롤러의 높이는 최저 높이가 되도록 마련되는 것을 특징으로 한다. And the height of the auxiliary roller is set to a minimum height when the outer diameter of the support roller is maximized and the distance between the gas supply part and the upper surface of the support belt part is minimized.

상기 전방지지롤러의 외경과, 상기 후방지지롤러의 외경은 서로 다르게 변화될 수 있도록 마련되어, The outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller may be different from each other,

상기 가요성 기판의 전방과 상기 가스공급부 전방과의 간격과, 상기 가요성 기판의 후방과 상기 가스공급부 후방의 간격이 서로 달라지게 될 수 있는 것을 특징으로 한다. The distance between the front of the flexible substrate and the front of the gas supply unit and the distance between the rear of the flexible substrate and the rear of the gas supply unit may be different from each other.

본 발명의 다른 국면에 의하면, 본 발명은, 공정챔버로 가요성 기판이 진입하는 단계; 상기 가요성 기판이 지지벨트에 의하여 지지되어 이동하는 단계; 상기 가요성 기판의 배치높이의 조절이 필요하다고 판단된 경우, 상기 지지벨트를 이동가능하게 지지하는 지지롤러의 외경을 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 제조장치의 제어방법을 제공한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a flexible substrate, comprising: entering a flexible substrate into a process chamber; The flexible substrate being supported and moved by a support belt; And controlling the outer diameter of the support roller for supporting the support belt in a case where it is determined that adjustment of the arrangement height of the flexible substrate is necessary .

상기 가요성 기판이 상기 공정챔버 내의 가스공급부 하부로 이동하는 단계를 더 포함하며, 상기 가요성 기판과 상기 가스공급부 간의 이격 거리의 조절이 필요하다고 판단되는 경우에 상기 지지롤러의 외경이 조절되는 것을 특징으로 한다.Further comprising the step of moving the flexible substrate to a lower portion of the gas supply unit in the process chamber and adjusting the outer diameter of the support roller when it is determined that adjustment of the distance between the flexible substrate and the gas supply unit is necessary .

상기 지지롤러는 전방지지롤러와 후방지지롤러를 포함하되, 상기 지지롤러의 외경이 조절되는 단계는 상기 전방지지롤러의 외경과 상기 후방지지롤러의 외경의 크기가 동일하게 될 수 있도록 조절하여 상기 가스공급부와 상기 가요성 기판의 전방 및 후방의 간격이 동일하게 될 수 있도록 하는 단계인 것을 특징으로 한다.Wherein the support roller includes a front support roller and a rear support roller and the outer diameter of the support roller is adjusted by adjusting the outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller to be the same, So that the gap between the feeding part and the flexible board can be made equal to each other.

상기 지지롤러는 전방지지롤러와 후방지지롤러를 포함하되,Wherein the support roller includes a front support roller and a rear support roller,

상기 지지롤러의 외경이 조절되는 단계는 상기 전방지지롤러의 외경과 상기 후방지지롤러의 외경의 크기가 서로 다르게 될 수 있도록 조절하여, 상기 가스공급부와 상기 가요성 기판의 전방 및 후방의 간격이 서로 다르게 될 수 있도록 하는 단계인 것을 특징으로 한다.Wherein the adjustment of the outer diameter of the support roller is performed such that the outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller are different from each other such that the gap between the gas supply part and the flexible substrate To be different from each other.

상기 지지롤러는 그 회전의 중심이 되며 소정의 회전축이 삽입되는 중심부와; 상기 중심부와 이격되고 상호 분할되며 상기 중심부로부터 이격위치가 변화될 수있도록 마련되는 외주부와;The support roller has a center portion in which a rotation axis is inserted and a rotation axis is inserted; An outer circumferential portion spaced apart from the center portion and being divided from each other,

상기 외주부와 연결되어 상기 외주부를 상기 중심부로부터 상대운동시킬 수 있도록 마련되는 구동장치를 더 포함하되,And a driving device connected to the outer circumferential portion to relatively move the outer circumferential portion from the center portion,

상기 지지롤러의 외경을 조절하는 단계는 상기 구동장치에 에너지를 공급하여 상기 각각의 외주부가 반경방향으로 이동하고 서로 이격되어 전체 외경이 증가하거나, The step of adjusting the outer diameter of the support roller may include supplying energy to the drive unit such that the outer peripheries move radially and are spaced apart from each other,

상기 각각의 외주부가 중심부 방향으로 이동하여 서로 이웃하여 전체 외경이 축소되는 형태로 구현되는 것을 특징으로 한다.And each of the outer circumferential portions moves in the direction of the central portion so as to be adjacent to each other and to have a reduced overall outer diameter.

상기 지지벨트의 하면을 지지하여 텐션을 제공하는 보조롤러를 더 포함하되,Further comprising an auxiliary roller for supporting the lower surface of the support belt to provide tension,

상기 지지롤러의 외경이 조절되는 경우, 상기 지지벨트의 텐션을 조절할 수 있도록 상기 보조롤러의 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And adjusting the position of the auxiliary roller so as to adjust the tension of the support belt when the outer diameter of the support roller is adjusted.

이러한 본 발명에 의하여 롤투롤(Roll to Roll) 방식의 태양전지 제조장치에 있어서도 용이하게 샤워헤드와 기판간의 거리 조절이 가능하게 된다.According to the present invention, it is possible to easily adjust the distance between the showerhead and the substrate even in a roll-to-roll solar cell manufacturing apparatus.

따라서, 상황에 따라서 가요성 기판에 증착되어야 하는 전극층이나 광전변환층의 두께를 조절해야 하는 경우에 장치의 전반적인 분해없이도 지지롤러의 외경 변화만으로도 샤워헤드와 기판 간의 이격 거리 조절을 수행할 수 있다는 장점이 있다. Therefore, when adjusting the thickness of the electrode layer or the photoelectric conversion layer to be deposited on the flexible substrate according to the circumstances, it is possible to perform the adjustment of the separation distance between the showerhead and the substrate only by changing the outer diameter of the support roller without the overall decomposition of the apparatus .

또한, 샤워헤드와 기판 간의 이격 거리 조절이 되면서 보조롤러의 위치도 변화될 수 있어서, 지지벨트에 가해지는 텐션이 적절하게 유지될 수 있다는 장점도 있다. Further, the position of the auxiliary roller can be changed by adjusting the distance between the shower head and the substrate, so that the tension applied to the support belt can be appropriately maintained.

도1은 본 발명에 의한 태양전지 제조장치의 전체 개략도이다.
도2는 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지롤러의 직경이 최소화 된 지지유닛의 제1실시예를 도시한 측단면도이다.
도3은 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지롤러의 직경이 최대화 된 지지유닛의 제1실시예를 도시한 측단면도이다.
도4는 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지롤러의 직경이 최소화 된 지지유닛의 제2실시예를 도시한 측단면도이다.
도5은 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지롤러의 직경이 최대화 된 지지유닛의 제2실시예를 도시한 측단면도이다.
도6는 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지롤러의 직경이 최소화 된 지지유닛의 제3실시예를 도시한 측단면도이다.
도7은 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지롤러의 직경이 최대화 된 지지유닛의 제3실시예를 도시한 측단면도이다.
도8은 종래 기술에 의한 태양전지 제조장치의 개략도이다.1 is an overall schematic view of an apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.
2 is a side cross-sectional view showing a first embodiment of a support unit in which the diameter of a support roller is minimized in an apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.
3 is a side sectional view showing a first embodiment of a support unit in which the diameter of a support roller is maximized in an apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.
4 is a side sectional view showing a second embodiment of a support unit in which the diameter of the support roller is minimized in the apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.
5 is a side cross-sectional view showing a second embodiment of a support unit in which the diameter of a support roller is maximized in an apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.
6 is a side cross-sectional view showing a third embodiment of the support unit in which the diameter of the support roller is minimized in the apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.
7 is a side cross-sectional view showing a third embodiment of the support unit in which the diameter of the support roller is maximized in the apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.
8 is a schematic view of a conventional solar cell manufacturing apparatus.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 알아보도록 하겠다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도1에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 의한 태양전지 제조장치(100)는 외곽챔버(101)와, 상기 외곽챔버(101) 내부에 마련되는 피딩롤러(102), 공정챔버(110), 회수롤러(103) 등을 포함한다.1, a solar cell manufacturing apparatus 100 according to the present invention includes an outer chamber 101, a feeding roller 102 provided in the outer chamber 101, a process chamber 110, A roller 103 and the like.

상기 공정챔버(110)는 상기 피딩롤러(102)와 상기 회수롤러(103) 사이에 마련되며, 필요에 따라서 복수개가 상호 이격되어 배치되는 것이 바람직하다.The process chamber 110 is provided between the feeding roller 102 and the collecting roller 103, and preferably, a plurality of the process chambers 110 are disposed apart from each other.

상기 공정챔버(110) 가 상호 이격되어 복수 개로 마련되는 경우, 상기 공정챔버(110) 사이에는 버퍼챔버(115)가 마련되는 것이 바람직하다. When the process chambers 110 are spaced apart from each other, a buffer chamber 115 is preferably provided between the process chambers 110.

상기 피딩롤러(102)는 공정챔버(110)에 진입되어 증착공정을 거쳐야 할 가요성 기판(S)이 감겨져 있는 롤러이며, 상기 공정챔버(110)의 입구 측에 인접하게 배치된다.The feeding roller 102 is a roller on which a flexible substrate S to be subjected to a deposition process is wound and which is disposed adjacent to an inlet side of the process chamber 110.

상기 회수롤러(103)는 상기 공정챔버(110)에서 증착공정을 거친 가요성 기판을 회수하는 롤러이며, 상기 공정챔버(110)의 출구 측에 인접하게 배치된다.The recovery roller 103 is a roller for recovering a flexible substrate subjected to a deposition process in the process chamber 110 and disposed adjacent to an outlet side of the process chamber 110.

상기 외곽챔버(101)에는 상기 외곽챔버(101) 내부에 있는 불필요한 가스 등을 제거할 수 있는 펌핑장치(101a)가 마련된다.The outer chamber (101) is provided with a pumping device (101a) capable of removing unnecessary gas in the outer chamber (101).

상기 공정챔버(101) 내부에는 상기 가요성 기판을 지지하는 지지유닛(150)이 마련된다. Inside the process chamber 101, a support unit 150 for supporting the flexible substrate is provided.

상기 지지유닛(150)은 상기 공정챔버(101) 내부로 유입된 가요성 기판을 지지하는 지지벨트(151)와, 상기 지지벨트(151)가 지지되는 한 쌍의 지지롤러(152)와, 상기 지지롤러(152) 사이에 마련되어 상기 지지벨트(151)에 텐션을 가하는 보조롤러(153)을 포함한다. The support unit 150 includes a support belt 151 for supporting the flexible substrate introduced into the process chamber 101, a pair of support rollers 152 for supporting the support belt 151, And an auxiliary roller 153 provided between the support rollers 152 for applying tension to the support belt 151.

상기 지지벨트(151) 내부에는 히터(113)가 마련되는데, 상기 지지벨트(151)가 열전도성이 우수한 알루미늄이나 구리, 또는 스테인리스와 같은 금속으로 구성되기 때문에, 상기 히터(113)가 작동하면 상기 회전드럼(151)에 놓여져 있는 기판을 가열할 수 있다.A heater 113 is provided inside the support belt 151. Since the support belt 151 is made of metal such as aluminum, copper, or stainless steel excellent in thermal conductivity, when the heater 113 operates, The substrate placed on the rotary drum 151 can be heated.

상기 공정챔버(110)에는 상기 공정챔버(110) 내부에서 증착공정을 수행한 후 잔류하는 가스를 외부로 펌핑하기 위한 펌핑장치(110a)가 마련된다.The process chamber 110 is provided with a pumping device 110a for pumping the residual gas to the outside after performing the deposition process in the process chamber 110. [

상기 공정챔버(110)의 상부에는 가스공급부(120)가 마련되는데, 상기 가스 공급부(120)는 상기 공정챔버(110)에 가스를 분사하는 샤워헤드(121)와, 상기 샤워헤드(121)에 가스를 안내하는 안내관(122)을 포함한다. A gas supply unit 120 is provided at an upper portion of the process chamber 110. The gas supply unit 120 includes a shower head 121 for injecting gas into the process chamber 110, And a guide pipe 122 for guiding the gas.

이때, 상기 가스공급부(120)는 공정챔버(110)의 다른 부분과 절연상태가 유지되어야 하므로, 공정챔버(110)와 상기 가스 공급부(120) 사이에는 절연체가 삽입되면서 실링기능도 하는 것이 바람직하다.In this case, since the gas supply unit 120 is maintained in an insulated state from other parts of the process chamber 110, an insulator is inserted between the process chamber 110 and the gas supply unit 120, .

상기 가스공급부(120)는 상기 기판지지부(150)의 상부에 마련되고, 가스 배출을 위하여 소정 간격 이격되는 것이 바람직하다.The gas supply unit 120 may be provided on the upper surface of the substrate supporting unit 150 and may be spaced apart from the substrate supporting unit 150 for gas discharge.

상기 가스공급부(120)의 하부에는 플라즈마 전극(미도시)과 접지전극(미도시)이 복수개로 마련되어 배치되어 있다.A plurality of plasma electrodes (not shown) and ground electrodes (not shown) are disposed below the gas supply unit 120.

상기 플라즈마 전극은 RF전력을 공급하는 RF전원(141)과 연결되고, 상기 접지전극은 외부에 마련되는 접지부와 연결된다.The plasma electrode is connected to an RF power supply 141 for supplying RF power, and the ground electrode is connected to an external ground.

이때, 상기 플라즈마 전극과 상기 접지 전극은 절연상태로 유지되어야 한다.At this time, the plasma electrode and the ground electrode must be maintained in an insulated state.

도2는 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지유닛(150)의 제1실시예를 도시한 것이다.2 shows a first embodiment of a support unit 150 in a solar cell manufacturing apparatus according to the present invention.

여기서 상기 지지유닛(150)은 무한 궤도 형태의 금속재질의 지지벨트(151)와, 상기 지지벨트(151)의 전방과 후방이 거치되어 지지되는 지지롤러(152)와, 상기 전후방의 지지롤러(152) 사이에 마련되어 상기 지지벨트(151)의 하면을 위로 압박하여 텐션을 가하는 보조롤러(153)를 포함한다.The support unit 150 includes a support belt 151 made of a metallic material in the form of an endless track, a support roller 152 on which the front and rear of the support belt 151 are mounted and supported, 152 for pressing the lower surface of the support belt 151 upward to apply tension thereto.

그리고, 상기 지지벨트(151) 내부에는 상기 히터(113)가 배치된다.The heater 113 is disposed inside the support belt 151.

상기 히터(113)의 길이는 상기 샤워헤드(121)의 길이에 대응되는 것이 바람직하며, 상기 히터(113) 및 상기 샤워헤드(121)의 전방과 후방에 상기 지지롤러(152)가 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the length of the heater 113 corresponds to the length of the shower head 121 and the support roller 152 is disposed in front of and behind the heater 113 and the shower head 121 desirable.

상기 샤워헤드(121)에서 배출된 가스입자가 상기 기판(S)에 증착될 때 고온의 열이 필요하기 때문에, 샤워헤드(121)의 가스 분사가 직접적으로 이루어지는 그 하방영역에 걸쳐서 상기 히터(113)가 배치되는 것이 바람직하다.Since the gas particles discharged from the showerhead 121 are required to be heated at a high temperature when the substrate S is deposited on the substrate S, Is preferably disposed.

그리고, 상기 지지롤러(152)는 상기 샤워헤드(121) 및 상기 히터(113)의 전단부와 후단부로부터 소정 간격 이격되는 것이 바람직하다.The supporting roller 152 is spaced apart from the front end and the rear end of the shower head 121 and the heater 113 by a predetermined distance.

이는 상기 지지롤러(152)에 의하여 온도가 저하되는 것을 방지하여 증착층의 불균일화를 방지하기 위함이다. This is to prevent temperature from being lowered by the support roller 152 and to prevent non-uniformity of the deposition layer.

상기 지지롤러(150)의 제1실시예의 구체적인 구성은 아래와 같다.The specific configuration of the first embodiment of the support roller 150 is as follows.

상기 지지롤러(152)는 회전축을 구성하는 중심부(152a)와, 상기 중심부(152a)로부터 반경방향으로 이격되어 배치되는 외주부(152b)와, 상기 외주부(152b)와 연결되어 중심부 방향으로 연장되고, 상기 외주부(152b)를 작동시키는 작동축(152c)과, 상기 작동축(152c)에 마련되어 상기 작동축(152c)의 길이를 조절하거나 이를 이동시키는 액츄에이터(152e)를 포함한다.The supporting roller 152 includes a central portion 152a constituting a rotating shaft, an outer peripheral portion 152b disposed radially away from the central portion 152a, and an outer peripheral portion 152b connected to the outer peripheral portion 152b, An actuating shaft 152c for actuating the outer circumferential portion 152b and an actuator 152e provided on the actuating shaft 152c for adjusting or moving the length of the actuating shaft 152c.

상기 작동축(152c)은 상기 외주부(152c)와 상기 중심부(152a) 사이에 마련되어 이들을 지지해주는 고정부(152d)에 삽입되어 거치된다.The operation shaft 152c is provided between the outer circumferential portion 152c and the center portion 152a and inserted into the fixing portion 152d for supporting the operation shaft 152c.

상기 외주부(152b)는 복수로 분할되어 배치되는데, 이들이 가까이 붙어 있는 경우에는 원환 형태의 단면을 형성한다.The outer circumferential portion 152b is divided into a plurality of portions. When the outer circumferential portions 152b are closely attached to each other, a circular cross section is formed.

따라서, 상기 액츄에이터(152e) 초기상태에는 상기 지지롤러(152)의 외경이 최소를 이루고, 이에 따라서, 상기 외주부(152c)의 일단부와 이웃한 외주부(152c)의 타단부는 상호 접하거나 최소 거리를 유지한다. Therefore, in the initial state of the actuator 152e, the outer diameter of the support roller 152 is minimized, and the other end of the outer peripheral portion 152c adjacent to the one end of the outer peripheral portion 152c is in contact with each other, Lt; / RTI >

상기 작동축(152c)은 상기 외주부(152b)의 내측에 배치되어 상기 액츄에이터(152e)의 동작에 따라서 상기 외주부(152b)를 외부로 이동시키거나, 내측으로 이동시킬 수 있는 역할을 수행한다.The actuating shaft 152c is disposed inside the outer circumferential portion 152b so as to move the outer circumferential portion 152b to the outside or move inward according to the operation of the actuator 152e.

상기 작동축(152c)은 그 길이가 고정될 수도 있고, 다단관 형태로 마련되어 그 길이가 변화될 수 도 있다.The operation shaft 152c may have a fixed length or may have a multi-tube shape and its length may be changed.

상기 액츄에이터(152e)는 외부의 신호를 받아서 동작하는 것으로서, 전기 에너지 또는 유압에너지, 또는 공압 에너지를 받아서 상기 작동축(152c)을 작동시킬 수 있다.The actuator 152e operates by receiving an external signal, and can operate the actuating shaft 152c by receiving electric energy, hydraulic energy, or pneumatic energy.

상기 지지롤러(152)는 전방 지지롤러와 후방 지지롤러로 구성되는 것이 바람직하며, 상기 전방지지롤러는 상기 가스공급부(121)보다 전방에 설치되고, 상기 후방지지롤러는 상기 가스공급부(121)보다 후방에 설치되는 것이 바람직하다.Preferably, the support roller 152 is composed of a front support roller and a rear support roller, and the front support roller is disposed forward of the gas supply unit 121, and the rear support roller is disposed forward of the gas supply unit 121 It is preferable to be installed at the rear side.

본 발명에서는 상기 지지롤러(152)가 전 후방 한 쌍으로 되어 있는 것을 도시하였지만, 이 외에도 전방 위치에 상방과 하방 상호 이격되어 있는 한쌍의 전방지롤러와, 후방 위치에 상방과 하방 상호 이격되어 있는 한 쌍의 후방 지지롤러, 즉 4개의 지지롤러가 설치될 수 도 있다.In the present invention, the support rollers 152 are shown as a pair of front and rear sides. However, the present invention is also applicable to a pair of anti-rotation rollers spaced apart from each other in the forward and backward directions, A pair of rear support rollers, that is, four support rollers, may be provided.

이러한 지지롤러의 다양한 배치변화는 이하의 실시예에서 모두 적용되는 것이 바람직하다. It is preferable that various arrangement changes of the support rollers are applied to both of the following embodiments.

도3에서 도시한 바와 같이, 초기에 지지벨트(151)의 상면과 상기 샤워헤드(121) 사이의 이격거리를 △1 이라 한 경우, 이를 축소시켜, △2로 변화시키길 원하는 경우에는 이에 대한 명령을 입력한다.3, when the separation distance between the upper surface of the supporting belt 151 and the shower head 121 is initially? 1, it is reduced to? 2, .

이 경우, 상기 액츄에이터(152e)가 구동하여, 상기 각 작동축(152c)을 반경방향으로 이동시키면, 각 외주부(152b)도 반경방향으로 이동하고, 각 외주부(152b) 끼리로 이격된다.In this case, when the actuators 152e are driven to move the actuating shafts 152c in the radial direction, the outer peripheral portions 152b also move in the radial direction, and are spaced apart from each outer peripheral portion 152b.

이에 의하여 상기 지지롤러(152)외 최외곽 외경은 도2의 경우에 비하여 증가되며, 이에 의하여 상기 지지벨트(151)의 상면의 위치는 위로 올라가고, 하면의 위치는 아래로 내려간다.Accordingly, the outer diameter of the outermost outside of the support roller 152 is increased as compared with the case of FIG. 2, whereby the position of the upper surface of the support belt 151 is raised and the position of the lower surface is lowered.

상기 지지벨트(151)의 하면을 압박하여 텐션을 가하고 있는 보조롤러(153)은, 이를 지지하는 보조롤러 지지유닛(153a)과, 이를 구동시키는 보조롤러 액츄에이터(153b)를 구비한다.The auxiliary roller 153 which presses the lower surface of the support belt 151 and applies tension is provided with an auxiliary roller supporting unit 153a for supporting the auxiliary roller 153 and an auxiliary roller actuator 153b for driving the auxiliary roller supporting unit 153a.

도3과 같이, 상기 지지롤러(151)의 외경이 확대되어 상기 지지벨트(151)의 하면이 하방으로 이동하는 경우, 상기 지지벨트(151)에 대한 텐션이 지나치게 이루어지지 않도록 상기 보조롤러(153) 위치도 아래로 내려가는 것이 바람직하다.3, when the outer diameter of the support roller 151 is enlarged and the lower surface of the support belt 151 moves downward, the auxiliary roller 153 (not shown) ) Position downward.

이를 위해서, 상기 보조롤러 액츄에이터(153b)에 의하여 상기 보조롤러(153)도 아래로 내려간다.For this purpose, the auxiliary roller 153 is also lowered by the auxiliary roller actuator 153b.

따라서, 도2에서 상기 지지벨트(151)의 상면과 상기 샤워헤드(121) 사이의 거리는 △1에서 △2로 줄어들 수 있다. 2, the distance between the upper surface of the supporting belt 151 and the shower head 121 can be reduced from? 1 to? 2.

한편, 그 이격거리를 △2에서 △1으로 늘리기 위해서는 상기 액츄에이터(152d)의 구동으로 상기 작동축(152c)을 중심부 방향으로 이동시키면 되고, 이에 의하여 상기 외주부(152b)가 안쪽으로 이동하여 상기 지지롤러(152)의 외경이 줄어들게 된다.On the other hand, in order to increase the separation distance from? 2 to? 1, the actuating shaft 152c is moved in the center direction by driving the actuator 152d, whereby the outer peripheral part 152b moves inward, The outer diameter of the roller 152 is reduced.

도3에 의하여 나타난 제1실시예에서는 상기 외주부(152b)가 4등분 되어 반경방향으로 이동하여 그 전체적인 외경이 증가하거나, 중심방향으로 이동하여 그 외경이 축소되는 것을 도시하였다.In the first embodiment shown in FIG. 3, the outer circumferential portion 152b is divided into quadrants and moves in the radial direction to increase the overall outer diameter, or to move toward the center and reduce its outer diameter.

그러나, 상기 외주부(152b)의 분할되는 모습은 4등분에만 국한되는 것은 아니며, 상하 방향으로 2등분 될 수 있고, 120도 간격으로 3등분 될 수 도 있으며, 5등분 이상으로도 분할될 수 있다.However, the outer shape of the outer circumferential portion 152b is not limited to four, but may be divided into two vertically, vertically, horizontally, or vertically.

이와 같이 상기 외주부(152b)의 등분되는 국면은 설치 조건에 따라 다양화 될 수 있다. 이러한 상기 외주부(152b)의 등분의 자유도는 본 실시예만 적용되는 것이 아니라, 이후에서 설명될 다른 실시예에서도 동일하게 적용될 수 있다. As such, the circumferential surface of the outer circumferential portion 152b may be varied according to the installation conditions. The degree of freedom of the outer circumferential portion 152b is not limited to the present embodiment, but may be applied to other embodiments to be described later.

한편, 상기 지지롤러(152)를 구성하는 전방지지롤러와 후방지지롤러의 확장 또는 축소되는 정도가 동일한 정도로 이루어질 수 도 있고 각기 다르게 이루어질 수도 있다.On the other hand, the degree of expansion or reduction of the front support roller and the rear support roller constituting the support roller 152 may be the same or different.

즉, 상기 가스공급부(121)에서 나오는 가스가 단일의 가스가 아니라, 서로 다른 가스가 동시에 토출되어 제1가스는 상기 가스공급부(121)의 전방에서 토출되고, 제2가스가 상기 가스공급부(121)의 후방에서 토출될 수 있다.That is, the gas emitted from the gas supply unit 121 is not a single gas, but a different gas is simultaneously discharged so that the first gas is discharged from the front of the gas supply unit 121, and the second gas is supplied to the gas supply unit 121 As shown in Fig.

이 경우, 기판의 전방과 상기 가스공급부(121) 전방과의 간격과, 기판의 후방과 상기 가스공급부(121) 후방과의 간격이 달라져야 할 필요성이 생긴다. In this case, the gap between the front of the substrate and the front of the gas supply unit 121 and the gap between the rear of the substrate and the rear of the gas supply unit 121 need to be changed.

따라서, 상기 전방지지롤러의 외경과, 상기 후방지지롤러의 외경이 달라지게 함으로써, 위와 같은 필요성을 충족시킬 수 있다. Therefore, the outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller are made different from each other, so that the above-mentioned need can be satisfied.

이와 같이 상기 전방지지롤러의 외경과 상기 후방지지롤러의 외경이 필요에 따라서 달라질 수 있는 특징은 상황에 따라서, 다양화 될 수 있다. As described above, the outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller can be varied according to need, and can be varied according to the circumstances.

이러한 특징은 본 실시예만 적용되는 것이 아니라, 이후에서 설명될 다른 실시예에서도 동일하게 적용될 수 있다. This feature is not applied only to the present embodiment, but may be applied to other embodiments to be described later.

도4는 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지유닛(250)의 제2실시예를 도시한 것이다.4 shows a second embodiment of the support unit 250 in the apparatus for manufacturing a solar cell according to the present invention.

여기서 본 발명의 제2실시예에 의한 지지유닛(250)도 무한 궤도 형태의 금속재질의 지지벨트(251)와, 상기 지지벨트(251)의 전방과 후방이 거치되어 지지되는 지지롤러(252)와, 상기 전후방의 지지롤러(252) 사이에 마련되어 상기 지지벨트(251)의 하면을 위로 압박하여 텐션을 가하는 보조롤러(253)를 포함한다.The support unit 250 according to the second embodiment of the present invention also includes a metal support belt 251 in the form of an endless track and a support roller 252 supported by the front and rear of the support belt 251, And an auxiliary roller 253 provided between the front and rear support rollers 252 for pressing the lower surface of the support belt 251 upward to apply tension thereto.

그리고, 상기 지지벨트(251) 내부에는 상기 히터(113)가 배치된다.The heater 113 is disposed inside the support belt 251.

상기 히터(113)의 길이는 상기 샤워헤드(121)의 길이에 대응되는 것이 바람직하며, 상기 히터(113) 및 상기 샤워헤드(121)의 전방과 후방에 상기 지지롤러(252)가 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the length of the heater 113 corresponds to the length of the shower head 121 and that the support roller 252 is disposed in front of and behind the heater 113 and the shower head 121 desirable.

상기 샤워헤드(121)에서 배출된 가스입자가 상기 기판(S)에 증착될 때 고온의 열이 필요하기 때문에, 샤워헤드(121)의 가스 분사가 직접적으로 이루어지는 그 하방영역에 걸쳐서 상기 히터(113)가 배치되는 것이 바람직하다.Since the gas particles discharged from the showerhead 121 are required to be heated at a high temperature when the substrate S is deposited on the substrate S, Is preferably disposed.

그리고, 상기 지지롤러(252)는 상기 샤워헤드(121) 및 상기 히터(113)의 전단부와 후단부로부터 소정 간격 이격되는 것이 바람직하다.The support roller 252 is spaced apart from the front end and the rear end of the shower head 121 and the heater 113 by a predetermined distance.

이는 상기 지지롤러(252)에 의하여 온도가 저하되는 것을 방지하여 증착층의 불균일화를 방지하기 위함이다. This is to prevent temperature from being lowered by the support roller 252 to prevent non-uniformity of the deposition layer.

상기 지지롤러(250)의 제1실시예의 구체적인 구성은 아래와 같다.The specific configuration of the first embodiment of the support roller 250 is as follows.

상기 지지롤러(251)는 회전축을 구성하는 중심부(252a)와, 상기 중심부(252a)로부터 반경방향으로 이격되어 배치되는 외주부(252b)와, 상기 외주부(252b)와 연결되어 중심부 방향으로 연장되고, 상기 외주부(252b)를 작동시키는 작동축(252c)과, 상기 작동축(252c)에 마련되어 상기 작동축(252c)의 길이를 조절하거나 이를 이동시키는 스크류 장치(252e)를 포함한다.The support roller 251 includes a central portion 252a constituting a rotation axis, an outer peripheral portion 252b spaced from the central portion 252a in a radial direction, a connection portion 252b connected to the outer peripheral portion 252b, An operation shaft 252c for operating the outer peripheral portion 252b and a screw device 252e provided on the operation shaft 252c for adjusting or moving the length of the operation shaft 252c.

상기 스크류 장치(252e)는 나사머리부로 구성되는 손잡이 부와, 상기 손잡이부에 연결되고 상기 작동축(252c)에 삽입되며 그 외주면에 나사산이 형성되는 몸체부로 구성된다.The screw device 252e is composed of a handle portion formed of a screw head portion and a body portion connected to the handle portion and inserted into the operation shaft 252c and having a thread formed on the outer peripheral surface thereof.

도2와 도3에서 나타난 제1실시예는 액츄에이터(152e)에 의하여 상기 지지롤러(151)의 외경이 자동적으로 변화하는 반면에, 제2실시예에서는 상기 스크류(252e)를 수동으로 조절하는 것이라는 차이가 있다. In the first embodiment shown in Figs. 2 and 3, the outer diameter of the support roller 151 is automatically changed by the actuator 152e, whereas in the second embodiment, the screw 252e is manually adjusted There is a difference.

즉, 증착공정이 완료 된 이후에, 상기 지지벨트(251)와 상기 샤워헤드(121) 간의 이격거리 조절이 필요한 경우에, 작업자가 직접 상기 스크류장치(252e)를 조절하여 이격거리 조절을 할 수 있는 것이 특징이다. That is, when the separation distance between the support belt 251 and the shower head 121 needs to be adjusted after the deposition process is completed, the operator can directly adjust the separation distance by adjusting the screw apparatus 252e .

상기 작동축(252c)은 상기 외주부(252c)와 상기 중심부(252a) 사이에 마련되어 이들을 지지해주는 고정부(252d)에 삽입되어 거치된다.The operation shaft 252c is provided between the outer peripheral portion 252c and the central portion 252a and inserted into the fixing portion 252d for supporting the operation shaft 252c.

상기 외주부(252b)는 복수로 분할되어 배치되는데, 이들이 가까이 붙어 있는 경우에는 원환 형태의 단면을 형성한다.The outer circumferential portion 252b is divided into a plurality of portions, and when these are closely attached, a circular cross section is formed.

따라서, 상기 스크류 장치(252e)를 초기에 조작하지 않은 경우에는 상기 지지롤러(252)의 외경이 최소를 이루고, 이에 따라서, 상기 외주부(252c)의 일단부와 이웃한 외주부(252c)의 타단부는 상호 접하거나 최소 거리를 유지한다. Therefore, when the screw device 252e is not initially operated, the outer diameter of the support roller 252 is minimized, and accordingly, the outer peripheral portion 252c of the outer peripheral portion 252c, which is adjacent to the one end portion of the outer peripheral portion 252c, Are kept in contact with each other or at a minimum distance.

상기 작동축(252c)은 상기 외주부(252b)의 내측에 배치되어 상기 스크류 ㅈ장치(252e)의 동작에 따라서 상기 외주부(252b)를 외부로 이동시키거나, 내측으로 이동시킬 수 있는 역할을 수행한다.The operation shaft 252c is disposed inside the outer circumferential portion 252b and serves to move the outer circumferential portion 252b outward or inward according to the operation of the screw reenactment device 252e .

상기 작동축(252c)은 그 길이가 고정될 수도 있고, 다단관 형태로 마련되어 그 길이가 변화될 수 도 있다.The operation shaft 252c may have a fixed length or may be provided in a multi-tube shape and its length may be changed.

도5에서 도시한 바와 같이, 초기에 지지벨트(251)의 상면과 상기 샤워헤드(121) 사이의 이격거리를 △1 이라 한 경우, 이를 축소시켜, △2로 변화시키길 원하는 경우에는 이에 대한 명령을 입력한다.5, when the separation distance between the upper surface of the support belt 251 and the showerhead 121 is initially? 1, it is reduced to? 2, .

이 경우, 상기 스크류 장치(252e)가 구동하여, 상기 각 작동축(252c)을 반경방향으로 이동시키면, 각 외주부(252b)도 반경방향으로 이동하고, 각 외주부(252b) 끼리로 이격된다.In this case, when the screw device 252e is driven to move the respective actuating shafts 252c in the radial direction, the outer peripheral portions 252b also move in the radial direction, and are separated from each other by the outer peripheral portions 252b.

이에 의하여 상기 지지롤러(252)외 최외곽 외경은 도4의 경우에 비하여 증가되며, 이에 의하여 상기 지지벨트(251)의 상면의 위치는 위로 올라가고, 하면의 위치는 아래로 내려간다.4, the upper surface of the support belt 251 is moved upward and the lower surface of the support belt 251 is moved downward.

제 2실시예에서도 상기 지지벨트(251)의 하면을 압박하여 텐션을 가하고 있는 보조롤러(253)가 구비되며, 이를 지지하는 보조롤러 지지유닛(153a)과, 이를 구동시키는 보조롤러 액츄에이터(253b)가 구비된다.Also in the second embodiment, an auxiliary roller 253 for pressing and tensioning the lower surface of the support belt 251 is provided, and an auxiliary roller supporting unit 153a for supporting the auxiliary roller 253 and an auxiliary roller actuator 253b for driving the auxiliary roller 253b, .

다만, 상기 보조롤러 액츄에이터(253b) 대신, 수동조작을 할 수 있는 스크류 장치도 설치 가능하다. However, instead of the auxiliary roller actuator 253b, a screw device capable of manual operation can be provided.

도5과 같이, 상기 지지롤러(251)의 외경이 확대되어 상기 지지벨트(251)의 하면이 하방으로 이동하는 경우, 상기 지지벨트(251)에 대한 텐션이 지나치게 이루어지지 않도록 상기 보조롤러(253) 위치도 아래로 내려가는 것이 바람직하다.5, when the outer diameter of the support roller 251 is enlarged and the lower surface of the support belt 251 moves downward, the auxiliary roller 253 ) Position downward.

이를 위해서, 상기 보조롤러 액츄에이터(253b)에 의하여 상기 보조롤러(253)도 아래로 내려간다.To this end, the auxiliary roller 253 is also lowered by the auxiliary roller actuator 253b.

따라서, 도4에서 상기 지지벨트(251)의 상면과 상기 샤워헤드(121) 사이의 거리는 △1에서 △2로 줄어들 수 있다. 4, the distance between the upper surface of the supporting belt 251 and the shower head 121 can be reduced from? 1 to? 2.

한편, 그 이격거리를 △2에서 △1으로 늘리기 위해서는 상기 스크류 장치(252d)에 대한 조작으로 상기 작동축(252c)을 중심부 방향으로 이동시키면 되고, 이에 의하여 상기 외주부(252b)가 안쪽으로 이동하여 상기 지지롤러(252)의 외경이 줄어들게 된다.On the other hand, in order to increase the separation distance from? 2 to? 1, the operation shaft 252c is moved in the direction of the center by the operation of the screw device 252d, whereby the outer peripheral part 252b moves inward The outer diameter of the support roller 252 is reduced.

도6은 본 발명에 의한 태양전지 제조장치에서 지지유닛의 제3실시예를 도시한 것이다.6 shows a third embodiment of a support unit in a solar cell manufacturing apparatus according to the present invention.

여기서 제3실시예에 의한 지지유닛(350)은 무한 궤도 형태의 금속재질의 지지벨트(351)와, 상기 지지벨트(351)의 전방과 후방이 거치되어 지지되는 지지롤러(352)와, 상기 전후방의 지지롤러(352) 사이에 마련되어 상기 지지벨트(351)의 하면을 위로 압박하여 텐션을 가하는 보조롤러(353)를 포함한다.The support unit 350 according to the third embodiment includes a support belt 351 made of metal in the form of an endless track, a support roller 352 supported on the front and rear sides of the support belt 351, And an auxiliary roller 353 provided between the front and rear support rollers 352 for pressing the lower surface of the support belt 351 upward to apply tension.

그리고, 상기 지지벨트(351) 내부에는 상기 히터(113)가 배치된다.The heater 113 is disposed inside the support belt 351.

상기 히터(113)의 길이는 상기 샤워헤드(121)의 길이에 대응되는 것이 바람직하며, 상기 히터(113) 및 상기 샤워헤드(121)의 전방과 후방에 상기 지지롤러(352)가 배치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the length of the heater 113 corresponds to the length of the shower head 121 and that the support roller 352 is disposed in front of and behind the heater 113 and the shower head 121 desirable.

상기 샤워헤드(121)에서 배출된 가스입자가 상기 기판(S)에 증착될 때 고온의 열이 필요하기 때문에, 샤워헤드(121)의 가스 분사가 직접적으로 이루어지는 그 하방영역에 걸쳐서 상기 히터(113)가 배치되는 것이 바람직하다.Since the gas particles discharged from the showerhead 121 are required to be heated at a high temperature when the substrate S is deposited on the substrate S, Is preferably disposed.

그리고, 상기 지지롤러(352)는 상기 샤워헤드(121) 및 상기 히터(113)의 전단부와 후단부로부터 소정 간격 이격되는 것이 바람직하다.The supporting roller 352 is spaced apart from the front end and the rear end of the shower head 121 and the heater 113 by a predetermined distance.

이는 상기 지지롤러(352)에 의하여 온도가 저하되는 것을 방지하여 증착층의 불균일화를 방지하기 위함이다. This is to prevent temperature from being lowered by the support roller 352 and to prevent non-uniformity of the deposition layer.

상기 지지롤러(350)의 제3실시예의 구체적인 구성은 아래와 같다.The specific configuration of the third embodiment of the support roller 350 is as follows.

상기 지지롤러(351)는 회전축을 구성하는 중심부(352a)와, 상기 중심부(352a)로부터 반경방향으로 이격되어 배치되는 외주부(352b)와, 상기 외주부(352b)와 연결되어 중심부 방향으로 연장되고, 상기 외주부(352b)를 반경방향 또는 그 반대방향으로 이동시키는 연장부(352c)와, 각각의 연장부(352c)들을 연결하고 이들을 한번에 같은 방향으로 움직일 수 있도록 하는 링크부(353d)와, 상기 링크부(352d)를 시계방향 또는 반시계 방향으로 회전시키는 액츄에이터(352e)를 포함한다.The support roller 351 includes a central portion 352a constituting a rotation axis, an outer peripheral portion 352b disposed radially away from the central portion 352a, and an outer peripheral portion 352b connected to the outer peripheral portion 352b, An extending portion 352c for moving the outer peripheral portion 352b in the radial direction or the opposite direction, a link portion 353d for connecting the extending portions 352c and moving them in the same direction at the same time, And an actuator 352e that rotates the portion 352d clockwise or counterclockwise.

상기 외주부(352b)는 복수로 분할되어 배치되는데, 이들이 가까이 붙어 있는 경우에는 원환 형태의 단면을 형성한다.The outer peripheral portion 352b is divided into a plurality of portions, and when these portions are closely attached, a circular cross section is formed.

따라서, 상기 액츄에이터(352e) 초기상태에는 상기 지지롤러(352)의 외경이 최소를 이루고, 이에 따라서, 상기 외주부(352c)의 일단부와 이웃한 외주부(352c)의 타단부는 상호 접하거나 최소 거리를 유지한다. Accordingly, in the initial state of the actuator 352e, the outer diameter of the support roller 352 is minimized, so that the other end of the outer peripheral portion 352c adjacent to the one end of the outer peripheral portion 352c is in contact with each other, Lt; / RTI >

상기 연장부(352c)은 상기 외주부(352b)의 단부에 연결되게 배치되고, 그 연장방향이 상기 지지롤러(352)의 내측을 향하도록 마련된다. The extension 352c is connected to the end of the outer periphery 352b and extends in the direction of the inner side of the support roller 352. [

상기 외주부(352b)가 복수로 구성되기 때문에, 상기 연장부(352c)도 복수로 구성되며, 상호 이격되게 안쪽을 향하여 배치된다. Since a plurality of the outer peripheral portions 352b are formed, a plurality of the extending portions 352c are also disposed so as to be spaced apart from each other.

그리고, 상기 링크부(352d)는 각 연장부(352c)를 연결하는 역할을 하며, 폐곡선 모양의 체인이나 링으로 구성되는 것이 바람직하다. The link portion 352d serves to connect the respective extended portions 352c, and is preferably composed of a chain or a ring having a closed curve.

상기 연장부(352c)의 움직임에 따라 상기 외주부(352b)가 반경방향으로 이동하거나 그 반대방향으로 이동해야 하므로, 상기 연장부(352c)와 상기 외주부(352b)의 사이에는 이들을 회동가능하게 지지하는 회동부(미도시)가 마련되어 있어야 한다. The outer peripheral portion 352b must move in the radial direction or move in the opposite direction in accordance with the movement of the extended portion 352c so that they are rotatably supported between the extended portion 352c and the outer peripheral portion 352b A rotating part (not shown) must be provided.

상기 링크부(352d)는 상기 액츄에이터(352e) 동작에 따라서 시계방향으로 이동하거나 시계반대방향으로 이동할 수 있고, 이에 의하여 상기 외주부(352b)가 반경방향으로 이동하거나, 그 반대 방향으로 이동할 수 있다. The link portion 352d can move clockwise or counterclockwise according to the operation of the actuator 352e, whereby the outer peripheral portion 352b can move in the radial direction or in the opposite direction.

상기 액츄에이터(352e)는 외부의 신호를 받아서 동작하는 것으로서, 전기 에너지 또는 유압에너지, 또는 공압 에너지를 받아서 상기 링크부(352d)을 작동시킬 수 있다.The actuator 352e operates by receiving an external signal, and can operate the link unit 352d by receiving electric energy, hydraulic energy, or pneumatic energy.

도7에서 도시한 바와 같이, 초기에 지지벨트(351)의 상면과 상기 샤워헤드(121) 사이의 이격거리를 △1 이라 한 경우, 이를 축소시켜, △2로 변화시키길 원하는 경우에는 이에 대한 명령을 입력한다.7, when the separation distance between the upper surface of the support belt 351 and the shower head 121 is initially? 1, it is reduced to? 2, .

이 경우, 상기 액츄에이터(352e)가 구동하여, 상기 링크부(352d)을 본 도면에서 반시계방향으로 이동시키면, 각 연장부(352c)도 반시계 방향으로 이동하고, 각 외주부(352b)가 반경방향으로 이동한다. In this case, when the actuator 352e is driven and the link portion 352d is moved in the counterclockwise direction in the figure, each extending portion 352c also moves counterclockwise, and each outer portion 352b has a radius Direction.

이에 의하여 상기 지지롤러(352)외 최외곽 외경은 도2의 경우에 비하여 증가되며, 이에 의하여 상기 지지벨트(351)의 상면의 위치는 위로 올라가고, 하면의 위치는 아래로 내려간다.Accordingly, the outermost outer diameter of the support roller 352 is increased as compared with the case of FIG. 2, whereby the upper surface of the support belt 351 is moved upward and the lower surface of the support belt 351 is moved downward.

상기 지지벨트(351)의 하면을 압박하여 텐션을 가하고 있는 보조롤러(353)는, 이를 지지하는 보조롤러 지지유닛(353a)과, 이를 구동시키는 보조롤러 액츄에이터(353b)를 구비한다.The auxiliary roller 353 pressing the lower surface of the support belt 351 and applying tension thereto has an auxiliary roller support unit 353a for supporting the support belt 351 and an auxiliary roller actuator 353b for driving the auxiliary roller support unit 353a.

도7과 같이, 상기 지지롤러(352)의 외경이 확대되어 상기 지지벨트(351)의 하면이 하방으로 이동하는 경우, 상기 지지벨트(351)에 대한 텐션이 지나치게 이루어지지 않도록 상기 보조롤러(353) 위치도 아래로 내려가는 것이 바람직하다.7, when the outer diameter of the support roller 352 is enlarged and the lower surface of the support belt 351 moves downward, the auxiliary roller 353 ) Position downward.

이를 위해서, 상기 보조롤러 액츄에이터(353b)에 의하여 상기 보조롤러(353)도 아래로 내려간다.For this purpose, the auxiliary roller 353 is also lowered by the auxiliary roller actuator 353b.

따라서, 도6에서 상기 지지벨트(351)의 상면과 상기 샤워헤드(121) 사이의 거리는 △1에서 △2로 줄어들 수 있다. 6, the distance between the upper surface of the supporting belt 351 and the shower head 121 can be reduced from? 1 to? 2.

한편, 그 이격거리를 △2에서 △1으로 늘리기 위해서는 상기 액츄에이터(352e)의 구동으로 상기 링크부(352d)을 시계 방향으로 이동시키면 되고, 이에 의하여 상기 링크부(352d)와 연결된 연장부(352c)가 시계 방향으로 이동하며, 상기 외주부(352b)가 중심방향으로 이동하여, 상기 지지롤러(152)의 외경이 줄어들게 된다.In order to increase the separation distance from? 2 to? 1, the actuator 352e is driven to move the link portion 352d in the clockwise direction so that the extension portion 352c connected to the link portion 352d The outer peripheral portion 352b moves in the center direction and the outer diameter of the support roller 152 is reduced.

제1실시예 내지 제3실시예에서 상기 △1과 △2 간의 이격거리 차이가 4~20mm 정도라는 것을 감안하면, 상기 지지벨트(151)가 금속이라고 하여도, 그 길이가 위 거리차이에 비하여 현저히 길고, 상기 지지벨트(151) 자체에 있는 전연성 및 일정 한계치 내의 탄성복원력으로 인하여 위와 같은 이격거리의 조절이 가능하다. Considering that the difference in distance between? 1 and? 2 is about 4 to 20 mm in the first to third embodiments, even if the support belt 151 is made of metal, its length is smaller than the upper distance difference It is possible to adjust the separation distance as described above due to the elasticity of the support belt 151 itself and the elastic restoring force within a certain limit value.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 점을 이해할 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며, 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Therefore, it is to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

150, 250, 350: 지지유닛
151, 251, 351: 지지벨트
152, 252, 352: 지지롤러
153, 253, 353: 보조롤러150, 250, 350: support unit
151, 251, 351: Support belt
152, 252, 352: Support roller
153, 253, 353:

Claims (16)

가요성 기판에 대한 증착공정이 이루어지는 공정챔버와;
상기 공정챔버 내부로 유입된 가요성 기판을 지지하는 지지벨트부와;
상기 지지벨트부를 이동시키며, 외부로부터 상기 가요성 기판의 배치 높이를 변화시키기 위한 신호가 입력됨에 따라 그 외경이 조절가능하게 마련되는 지지롤러를 포함하고,
상기 지지롤러는, 외부의 전기 에너지 또는 유압 에너지 또는 공압 에너지를 받아 작동하는 액츄에이터로 구성되는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. A process chamber in which a deposition process is performed on the flexible substrate;
A support belt portion for supporting a flexible substrate introduced into the process chamber;
And a support roller for moving the support belt portion and having an outer diameter adjustable as a signal for changing an arrangement height of the flexible substrate from the outside is inputted,
Wherein the supporting roller includes a driving device composed of an actuator that operates by receiving external electric energy, hydraulic energy, or pneumatic energy. 제1항에 있어서,
상기 공정챔버 내부에 마련되어 공정가스를 공급하는 가스 공급부를 더 포함하되,
상기 지지롤러는 상기 지지벨트부를 회전가능하게 지지하며, 상기 지지벨트의 상면와 상기 가스공급부와의 이격거리가 조절될 수 있도록 그 외경이 조절가능하게 마련되는 지지롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. The method according to claim 1,
And a gas supply unit provided inside the process chamber for supplying a process gas,
Wherein the support roller includes a support roller rotatably supporting the support belt portion and having an outer diameter adjustable so that a distance between the upper surface of the support belt and the gas supply portion can be adjusted, / RTI > 제2항에 있어서,
상기 지지롤러는 전방 지지롤러와 후방 지지롤러를 포함하되, 상기 전방 지지롤러는 상기 가스공급부의 전단부보다 앞에 위치하고, 상기 후방지지롤러는 상기 가스공급부의 후단부보다 뒤에 위치하도록 마련되는 것을 특징으로하는 가요성 기판 처리장치.3. The method of claim 2,
Wherein the support roller includes a front support roller and a rear support roller wherein the front support roller is positioned in front of the front end of the gas supply unit and the rear support roller is positioned behind the rear end of the gas supply unit. The substrate processing apparatus comprising: 제1항에 있어서,
상기 지지롤러는 그 회전의 중심이 되며 소정의 회전축이 삽입되는 중심부와; 상기 중심부와 이격되고 상호 분할되며 상기 중심부로부터 이격위치가 변화될 수있도록 마련되는 외주부를 더 포함하고,
상기 구동장치는, 상기 외주부와 연결되어 상기 외주부를 상기 중심부로부터 상대운동시킬 수 있도록 마련되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. The method according to claim 1,
The support roller has a center portion in which a rotation axis is inserted and a rotation axis is inserted; Further comprising an outer circumferential portion spaced apart from the center portion and being mutually divided and provided so as to be able to be displaced from the center portion,
Wherein the driving device is connected to the outer peripheral portion to relatively move the outer peripheral portion from the central portion. 삭제delete 제4항에 있어서,
상기 지지롤러의 외경이 최소로 유지되는 경우,
상기 외주부의 일단부는 이웃한 외주부의 타단부와 접촉하거나 최근접거리를 유지하도록 마련되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. 5. The method of claim 4,
When the outer diameter of the support roller is maintained at a minimum,
Wherein one end of the outer circumferential portion is provided so as to come into contact with the other end of the adjacent outer circumferential portion or to maintain the closest distance. 제3항에 있어서,
상기 전방지지롤러와 상기 후방지지롤러의 사이에 마련되고,
상기 지지벨트부의 하면을 지지하여 텐션을 제공하는 보조롤러를 더 포함하되,
상기 보조롤러는, 상기 지지롤러의 외경 변화를 통하여 상기 지지벨트부와 상기 가스공급부 사이의 거리가 변화하는 경우에 맞추어 그 위치가 변화되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. The method of claim 3,
A rear support roller provided between the front support roller and the rear support roller,
And an auxiliary roller for supporting the lower surface of the support belt portion to provide tension,
Wherein the position of the auxiliary roller is changed in accordance with a change in the distance between the support belt portion and the gas supply portion through a change in the outer diameter of the support roller. 제7항에 있어서,
상기 지지롤러의 외경이 최소가 되어 상기 가스공급부와 상기 지지벨트부의 상면사이의 이격거리가 최대가 되는 경우, 상기 보조롤러의 높이는 최고 높이가 되도록 마련되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. 8. The method of claim 7,
Wherein a height of the auxiliary roller is set to a maximum height when the outer diameter of the support roller is minimized and a distance between the gas supply part and the upper surface of the support belt part is maximized. 제7항에 있어서,
상기 지지롤러의 외경이 최대가 되어 상기 가스공급부와 상기 지지벨트부의 상면사이의 이격거리가 최소가 되는 경우, 상기 보조롤러의 높이는 최저 높이가 되도록 마련되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. 8. The method of claim 7,
Wherein a height of the auxiliary roller is set to a minimum height when the outer diameter of the support roller becomes the maximum and the separation distance between the gas supply part and the upper surface of the support belt part is minimized. 제3항에 있어서,
상기 전방지지롤러의 외경과, 상기 후방지지롤러의 외경은 서로 다르게 변화될 수 있도록 마련되어,
상기 가요성 기판의 전방과 상기 가스공급부 전방과의 간격과, 상기 가요성 기판의 후방과 상기 가스공급부 후방의 간격이 서로 달라지게 될 수 있는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치. The method of claim 3,
The outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller may be different from each other,
Wherein a distance between a front side of the flexible substrate and a front side of the gas supply unit and a gap between a rear side of the flexible substrate and a rear side of the gas supply unit can be made different from each other. 공정챔버로 가요성 기판이 진입하는 단계;
상기 가요성 기판이 지지벨트에 의하여 지지되어 이동하는 단계;
외부로부터 상기 가요성 기판의 배치 높이를 변화시키기 위한 신호가 입력된 경우, 상기 지지벨트를 이동가능하게 지지하는 지지롤러의 외경을 조절하는 단계를 포함하고,
상기 지지롤러는, 외부의 전기 에너지 또는 유압 에너지 또는 공압 에너지를 받아 작동하는 액츄에이터로 구성되는 구동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치의 제어방법. Entering the flexible substrate into the process chamber;
The flexible substrate being supported and moved by a support belt;
Adjusting the outer diameter of a supporting roller for movably supporting the supporting belt when a signal for changing an arrangement height of the flexible substrate from outside is inputted,
Wherein the supporting roller includes a driving device composed of an actuator that operates by receiving external electric energy, hydraulic energy, or pneumatic energy. 제11항에 있어서,
상기 가요성 기판이 상기 공정챔버 내의 가스공급부 하부로 이동하는 단계를 더 포함하며,
상기 가요성 기판과 상기 가스공급부 간의 이격 거리의 조절이 필요하다고 판단되는 경우에 상기 지지롤러의 외경이 조절되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치의 제어방법. 12. The method of claim 11,
Further comprising moving the flexible substrate below the gas supply in the process chamber,
Wherein the outer diameter of the support roller is adjusted when it is determined that adjustment of a distance between the flexible substrate and the gas supply unit is necessary. 제12항에 있어서,
상기 지지롤러는 전방지지롤러와 후방지지롤러를 포함하되,
상기 지지롤러의 외경이 조절되는 단계는 상기 전방지지롤러의 외경과 상기 후방지지롤러의 외경의 크기가 동일하게 될 수 있도록 조절하여 상기 가스공급부와 상기 가요성 기판의 전방 및 후방의 간격이 동일하게 될 수 있도록 하는 단계인 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치의 제어방법. 13. The method of claim 12,
Wherein the support roller includes a front support roller and a rear support roller,
The outer diameter of the support roller is adjusted so that the outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller are equal to each other so that the distance between the gas supply part and the flexible substrate is the same Wherein the step of controlling the flexible substrate processing apparatus comprises the steps of: 제12항에 있어서,
상기 지지롤러는 전방지지롤러와 후방지지롤러를 포함하되,
상기 지지롤러의 외경이 조절되는 단계는 상기 전방지지롤러의 외경과 상기 후방지지롤러의 외경의 크기가 서로 다르게 될 수 있도록 조절하여, 상기 가스공급부와 상기 가요성 기판의 전방 및 후방의 간격이 서로 다르게 될 수 있도록 하는 단계인 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치의 제어방법. 13. The method of claim 12,
Wherein the support roller includes a front support roller and a rear support roller,
Wherein the adjustment of the outer diameter of the support roller is performed such that the outer diameter of the front support roller and the outer diameter of the rear support roller are different from each other such that the gap between the gas supply part and the flexible substrate Wherein the step of controlling the flexible substrate processing apparatus comprises the steps of: 제11항에 있어서,
상기 지지롤러는 그 회전의 중심이 되며 소정의 회전축이 삽입되는 중심부와; 상기 중심부와 이격되고 상호 분할되며 상기 중심부로부터 이격위치가 변화될 수있도록 마련되는 외주부를 더 포함하고,
상기 구동장치는, 상기 외주부와 연결되어 상기 외주부를 상기 중심부로부터 상대운동시킬 수 있도록 마련되고,
상기 지지롤러의 외경을 조절하는 단계는 상기 구동장치에 에너지를 공급하여 상기 각각의 외주부가 반경방향으로 이동하고 서로 이격되어 전체 외경이 증가하거나,
상기 각각의 외주부가 중심부 방향으로 이동하여 서로 이웃하여 전체 외경이 축소되는 형태로 구현되는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치의 제어방법. 12. The method of claim 11,
The support roller has a center portion in which a rotation axis is inserted and a rotation axis is inserted; Further comprising an outer circumferential portion spaced apart from the center portion and being mutually divided and provided so as to be able to be displaced from the center portion,
The driving device may be connected to the outer circumferential portion to relatively move the outer circumferential portion from the center portion,
The step of adjusting the outer diameter of the support roller may include supplying energy to the drive unit such that the outer peripheries move radially and are spaced apart from each other,
Wherein each of the outer circumferential portions moves in the direction of the center to be adjacent to each other and the overall outer diameter is reduced. 제12항에 있어서,
상기 지지벨트의 하면을 지지하여 텐션을 제공하는 보조롤러를 더 포함하되,
상기 지지롤러의 외경이 조절되는 경우, 상기 지지벨트의 텐션을 조절할 수 있도록 상기 보조롤러의 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가요성 기판 처리장치의 제어방법.
13. The method of claim 12,
Further comprising an auxiliary roller for supporting the lower surface of the support belt to provide tension,
Further comprising the step of adjusting a position of the auxiliary roller so as to adjust a tension of the support belt when the outer diameter of the support roller is adjusted.
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