KR101945123B1 - 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법 - Google Patents

시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101945123B1
KR101945123B1 KR1020170137397A KR20170137397A KR101945123B1 KR 101945123 B1 KR101945123 B1 KR 101945123B1 KR 1020170137397 A KR1020170137397 A KR 1020170137397A KR 20170137397 A KR20170137397 A KR 20170137397A KR 101945123 B1 KR101945123 B1 KR 101945123B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sample holder
holder storage
high vacuum
low vacuum
vacuum chamber
Prior art date
Application number
KR1020170137397A
Other languages
English (en)
Inventor
정종만
김진규
Original Assignee
한국기초과학지원연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국기초과학지원연구원 filed Critical 한국기초과학지원연구원
Priority to KR1020170137397A priority Critical patent/KR101945123B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101945123B1 publication Critical patent/KR101945123B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/36—Embedding or analogous mounting of samples
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/42—Low-temperature sample treatment, e.g. cryofixation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

일 실시 예에 따르면 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 복수 개의 시료 홀더 보관부; 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간에 각각 연통되는 복수 개의 진공 라인; 상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 저진공(low vacuum) 챔버; 상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 고진공(high vacuum) 챔버; 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 저진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 저진공 밸브; 및 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 고진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 고진공 밸브를 포함할 수 있다.

Description

시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법{PUMPING STATION FOR SAMPLE HOLDER AND CONTROLLING METHOD THEREOF}
아래의 설명은 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
현미경은 광학 현미경 및 전자현미경으로 구별된다. 여러 가지 현미경 중 TEM(Transmission electron microscope: 투과 전자 현미경)은 전자현미경의 일종으로, 광원과 광원렌즈 대신 유사한 성질을 지닌 전자선과 전자 렌즈를 사용한 현미경이다. 전자선은 광선과 비교하면 물질과의 상호작용이 현저하게 크기 때문에 시료는 아주 얇아야 하며 진공 중에 놓여지게 된다. 전자선이 시료를 투과할 때에 생기는 산란흡수, 회절, 위상 3가지의 contrast(명암) 발생원리를 이용한 장비이다.
TEM은 해상력이 광학현미경에 비해 매우 뛰어나서 대상물의 미시적인 내부구조를 고배율로 확대하여 관찰할 수 있을 뿐 아니라, 국부적인 영역의 화학조성까지도 비교적 정확하게 분석할 수 있다. 이러한 특성에 따라, TEM은 반도체, 금속 등의 재료과학분야에서 재료의 입계(粒界), 계면, 격자 결함, 상전이 등의 연구에 응용되며, 의학, 생물분야에서는 미생물, 세포 등의 생체조직의 연구에 사용되며 특히 시료가 미량인 생체고분자의 연구에 효과적으로 사용되고 있는 등, 생명과학 분야 및 신소재, 신기능소자의 개발에 불가결한 장치이다.
TEM에서 생체 시료를 관찰하는 방법에는 화학고정법과 cryo법이 있다. 화학고정법은 고정액을 미세한 세포구조에 투입시켜 고정한 후 박막으로 절단하여 관찰하는 방법이다. 이 방법에 의하면, 고정액이 세포까지 투입되는 속도가 느리고, 화학적 고정액에 의해 세포가 변형되기 때문에 원형 그대로의 세포 구조를 관찰하기는 힘들다.
한편, 생체시료는 근본적으로 매우 가벼운 원소로 구성되어 있다. 따라서 염색되지 않은 상태라면 산란에 의한 명암효과가 매우 적게 나타난다. 그런데 얼음에서의 전자산란효과는 액체 상태에서의 전자산란효과보다 우수하기 때문에, 수분함유 생체의 동결시료에서의 수분은 명암효과를 증대시키는 효과를 나타낸다. 또한 수분함유 생체의 동결시료는, 화학적 고정이나 추가적인 염색과정에 의해 생체가 영향받지 않기 때문에 자연상태의 시료와 매우 유사하다. 따라서 cryo-TEM은 생명과학분야 연구에서 중요한 역할을 하고 있다.
cryo-TEM 방법으로 생체시료를 관찰하기 위하여 통상 다음과 같은 절차를 밟는다. 먼저, 시료를 액체(물, 버퍼 등)에 혼탁시킨 후 피펫으로 소정의 전처리된 지지막(그리드)에 얹고 여과지 등으로 물기를 제거한다. 액체질소온도 수준으로 냉각된 ethane 용액에 시료그리드를 담가 얼음결정이 생기지 않게 급속 냉각시킨다. 급속냉각된 시료그리드를 액체질소가 든 작업통(workstation insulated vessel)에서, cryo transfer holder(이하 '홀더'라 함) 말단의 시료대(specimen cradle)로 옮긴다(이때까지를 "시료준비단계"라 함). 홀더를 TEM에 장착하고 이미지를 얻는다.
이때 홀더(시료대)의 온도가 변화하거나, 홀더와 TEM 본체와의 온도 차이가 있는 경우 해상도에 큰 악영향이 있기 때문에, 시료지지봉 및 단열용기부(dewar)로 이루어진 구조의 홀더를 사용한다.
도 1a는 장착대에 장착된 홀더의 사진이고, 도 1b는 홀더의 단면구조를 개념적으로 표현한 도면이다. 시료를 일정한 저온에서 안정적으로 유지하기 위해서는 홀더 단열용기부는 외부에서 내부로의 열전도가 차단되도록 이중용기(보온병)구조로 되어 있고, 외부로는 배기포트 및 에어밸브가 설치되어 있다. 홀더를 이용하기 위해서는 먼저 단열용기부의 배기포트에 진공펌프를 연결하여 외부용기와 내부용기(액체질소용기) 사이를 고진공 상태로 유지되도록 한 다음 단열용기부의 내부용기에 액체질소를 담고(이때까지가 "홀더 전처리단계") 상기 "시료준비단계"를 진행하는 것이다.
이때 사용하는 건식 펌핑 시스템(DPS; Dry pumping system)은 도 2a 및 도 2b에 도시된 것과 같은 구조로 되어 있다. 도 2a 및 도 2b는 각각 홀더와 DPS가 연결튜브로 연결된 상태의 사진 및 개념도이다. 종래 DPS의 사용 순서는 통상 다음과 같다.
먼저, 시료 홀더를 삽입한다.
홀더의 배기포트와 DPS의 진공튜브를 연결튜브로 연결하고 DPS의 에어 밸브(52) 및 시료 홀더의 에어 밸브(8)를 개방한다.
진공 펌프(TMP 및 DP)를 온(ON) 시키고, 통상 48시간 유지함으로써, baking-out 절차를 밟는다.
DPS의 에어 밸브(52) 및 홀더의 에어 밸브(8)를 차단한다.
진공 펌프(TMP 및 DP)를 오프(OFF) 시킨다.
⑥ 시료 홀더를 분리한다.
그러나 종래 DPS는 장비를 가동할 때 pump 회전이 최고속도까지 도달하는 시간이 오래 걸리고 holder를 장착 및 탈착할 때도 pump가 정지하여야 하기 때문에 시간이 많이 소비되어 홀더 내부의 최적의 조건을 만드는데 시간이 상당히 오래 걸리는 단점이 있었다. 또한, 복수 개의 시료 홀더를 보관하기 위하여 복수 개의 건식 펌핑 시스템이 각각 요구되는 문제점이 있었다.
일 실시 예의 목적은, 동일한 진공 펌프를 이용하여 복수 개의 시료 홀더를 보관할 수 있는 시료 홀더용 펌핑 스테이션을 제공하는 것이다.
일 실시 예의 목적은, 진공을 형성하기 위한 펌프를 오프(OFF)시키지 않고도, 시료 홀더를 탈부착시킬 수 있는 시료 홀더용 펌핑 스테이션을 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따르면 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 복수 개의 시료 홀더 보관부; 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간에 각각 연통되는 복수 개의 진공 라인; 상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 저진공(low vacuum) 챔버; 상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 고진공(high vacuum) 챔버; 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 저진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 저진공 밸브; 및 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 고진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 고진공 밸브를 포함할 수 있다.
상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 외부와 연통시키기 위한 복수 개의 대기압 라인; 및 상기 복수 개의 대기압 라인을 각각 외부로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 대기압 밸브를 더 포함할 수 있다.
상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 사용자의 입력에 따라 상기 복수 개의 저진공 밸브, 복수 개의 고진공 밸브 및 복수 개의 대기압 밸브를 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부 중 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 시료 홀더가 삽입된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부의 내부를 진공 상태가 되게 하는 명령이 입력되면, 상기 제어부는, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 대응하는 대기압 밸브를 차단한 상태에서, 저진공 밸브를 개방 후 차단하고, 고진공 밸브를 개방할 수 있다.
상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 시료 홀더가 진공 상태로 보관된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부의 내부를 대기압 상태가 되게 하는 명령이 입력되면, 상기 제어부는, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 대응하는 대기압 밸브를 개방할 수 있다.
상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 상기 하나의 저진공 챔버에 연결되는 다이어프램 펌프; 및 상기 하나의 고진공 챔버에 연결되는 터보 분자 펌프를 더 포함하고, 상기 시료 홀더가 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 탈부착 되는 과정에서, 상기 제어부는, 상기 다이어프램 펌프 및 상기 터보 분자 펌프가 온(ON) 상태를 유지되게 할 수 있다.
상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 기둥형 케이스를 더 포함하고, 상기 복수 개의 시료 홀더 보관부는 상기 기둥형 케이스의 상하 방향으로 적층 배치되고, 상기 하나의 저진공 챔버 및 하나의 고진공 챔버는 상호 구획된 상태로 상기 기둥형 케이스의 내부에 상하 방향으로 형성될 수 있다.
상기 복수 개의 진공 라인 상에서, 상기 고진공 챔버는, 상기 시료 홀더 보관부를 기준으로 상기 저진공 챔버보다 하류 방향에 연결될 수 있다.
상기 복수 개의 시료 홀더 보관부 중 적어도 일부는 서로 다른 각도로 배치될 수 있다.
상기 진공 라인은, 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로 연통시키는 저진공 라인; 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로 연통시키는 고진공 라인; 및 상기 고진공 라인을 상기 시료 홀더의 단열 용기의 단열 공간으로 연통시킬 수 있는 용기 진공 라인을 포함할 수 있다.
상기 저진공 밸브는, 상기 저진공 라인에 설치되어, 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있고, 상기 고진공 밸브는, 상기 고진공 라인에 설치되어, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있고, 상기 고진공 밸브는, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 차단시킨 상태에서, 상기 저진공 라인이 상기 용기 진공 라인에 연통되게 하는 연통 수단을 포함할 수 있다.
상기 복수 개의 진공 라인 중 서로 다른 시료 홀더 보관부에 연통되는 진공 라인들은 서로 연통되지 않을 수 있다.
일 실시 예에 따르면 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 시료 홀더 보관부와, 상기 시료 홀더 보관부에 연통되고 상하로 개방된 형상의 저진공 챔버와, 상기 저진공 챔버에 연통되고 상하로 개방된 형상의 고진공 챔버를 각각 포함하는 복수 개의 홀더 보관 모듈; 및 상기 복수 개의 홀더 보관 모듈 중 최상단에 위치한 홀더 보관 모듈의 상면을 커버하기 위한 덮개부를 포함하고, 상기 복수 개의 홀더 보관 모듈의 저진공 챔버는 모두 서로 연통되고, 상기 복수 개의 홀더 보관 모듈의 고진공 챔버는 모두 서로 연통될 수 있다.
상기 복수 개의 홀더 보관 모듈은 서로 탈부착 가능할 수 있다.
일 실시 예에 따르면 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법은, 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 시료 홀더 보관부로 시료 홀더를 삽입하는 단계; 저진공 챔버로부터 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간으로 연통되는 저진공 라인에 설치되어, 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있는 저진공 밸브를 개방시키는 단계; 상기 저진공 밸브를 차단시키는 단계; 고진공 챔버로부터 상기 저진공 라인으로 연통되는 고진공 라인에 설치되어, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있는 고진공 밸브를 개방시키는 단계; 및 상기 고진공 밸브를 차단시키는 단계를 포함할 수 있다.
상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 상기 고진공 라인을 상기 시료 홀더의 단열 용기의 단열 공간으로 연통시킬 수 있는 용기 진공 라인을 포함하고, 상기 고진공 밸브는, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 차단시킨 상태에서, 상기 저진공 라인이 상기 용기 진공 라인에 연통되게 하는 연통 수단을 포함할 수 있다.
상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법은, 상기 시료 홀더를 삽입하는 단계와 동시에 또는 그 이후에 수행되고, 상기 저진공 밸브를 개방시키는 단계 이전에 수행되고, 상기 용기 진공라인을 상기 단열 용기에 결합시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 여러 개의 시료 홀더를 상하 방향으로 적층 배열하여 동일한 펌프를 이용하여 진공 상태에서 보관하는 것이 가능하므로, 적은 공간 내에서도 복수 개의 시료 홀더를 효율적으로 보관할 수 있고, 또한, 복수 개의 시료 홀더용 펌핑 스테이션을 각각 이용하는 경우보다, 구성을 보다 간단하게 제공함에 따라서, 공간 효율성을 향상시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 진공을 형성하기 위한 펌프를 오프(OFF)시키지 않고도, 시료 홀더를 각각 탈부착시킬 수 있으므로, 진공 펌프가 오프 상태에서 목표 상태까지 도달하는 데에 걸리는 시간을 줄여줄 수 있어, 결과적으로 시료 홀더의 보관 및 전처리 작업에 소요되는 시간을 월등히 감소시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 3개의 밸브의 조작만으로 진공상태를 형성 또는 해제할 수 있으므로, 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 사용 편의성을 향상시킬 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 진공 챔버 모듈을 추가 또는 제거함으로써, 보관하고자 하는 시료 홀더의 개수에 대응하여 기존의 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 구조를 변경시킬 수 있는 장점을 갖는다.
도 1a는 시료 홀더의 외관을 나타내는 도면이다.
도 1b는 시료 홀더의 종단면도이다.
도 2a는 시료 홀더가 일반적인 시료 홀더용 펌핑 스테이션에 설치된 모습을 나타내는 도면이다.
도 2b는 시료 홀더가 일반적인 시료 홀더용 펌핑 스테이션에 설치된 모습을 개념적으로 도식화한 도면이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 사시도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈의 상면도이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 시료 홀더용 펌핑 스테이션을 간략화한 도면이다.
도 6은 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈의 횡단면도이다.
도 7은 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈의 일부를 절개한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈이 동작하는 모습을 간략히 나타내는 도면이다.
도 9는 일 실시 예에 따른 고진공 밸브의 횡단면도이다.
도 10은 다른 실시 예에 따른 고진공 밸브의 횡단면도이다.
도 11은 일 실시 예에 따른 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법을 나타내는 도면이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1a는 시료 홀더의 외관을 나타내는 도면이고, 도 1b는 시료 홀더의 종단면도이고, 도 2a는 시료 홀더가 일반적인 시료 홀더용 펌핑 스테이션에 설치된 모습을 나타내는 도면이고, 도 2b는 시료 홀더가 일반적인 시료 홀더용 펌핑 스테이션에 설치된 모습을 개념적으로 도식화한 도면이다.
도 1a 내지 도 2b를 참조하면, 시료 홀더는, 시료대, 시료 지지봉 및 단열 용기(50, dewar)를 포함할 수 있고, 단열 용기(50)는, 액체 질소 등의 냉각 매체가 수용되는 내측 용기(53)와, 내측 용기(53)를 감싸는 외측 용기(54)를 포함할 수 있다. 냉각 매체는 내측 용기(53)에 연결된 시료대를 저온 상태로 만들어 줌으로써, 시료대에 거치된 시료를 냉각시킬 수 있다.
내측 용기(53) 및 외측 용기(54) 사이에는 단열 공간이 형성되고, 단열 공간으로는 단열 공간을 진공으로 만들어주기 위한 진공 라인(56)이 연결될 수 있다.
단열 공간에는 제올라이트(zeolite) 등의 다공성 물질이 배치될 수 있으며, 이와 같은 다공성 물질의 높은 흡착성을 이용하여 단열 공간 내부의 진공도를 상승시킬 수 있다. 또한, 단열 공간에는 다공성 물질에 흡착성을 복원시키기 위하여 다공성 물질에 열을 가할 수 있는 히터가 구비될 수 도 있다.
이와 같이 단열 공간을 진공 상태로 만들어줌으로써, 단열 성능을 향상시키고 결과적으로 내측 용기(53)의 내부에 수용된 냉각 매체가 버블링(bubbling)되는 문제 등을 방지할 수 있다. 따라서, 냉각 매체가 버블링됨에 따라 단열 용기(50) 및 그와 연결된 시료 홀더의 원치 않는 진동 현상을 방지할 수 있다.
도 3은 일 실시 예에 따른 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 사시도이고, 도 4는 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈의 상면도이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 시료 홀더 보관용 펌핑 스테이션을 간략화한 도면이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)은, 베이스(10), 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20') 및 덮개부(30)를 포함할 수 있다.
베이스(10)는, 홀더 보관 모듈(20, 20')의 저진공 챔버(C_L) 및 고진공 챔버(C_H)에 각각 연통되는 저진공 펌프(P_L) 및 고진공 펌프(P_H)를 포함할 수 있다.
복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20')은 후술하는 바와 같이 진공 펌프(P_L, P_H)의 동작을 온(ON) 시킨 상태에서, 각각 독립적으로 시료 홀더를 삽입 또는 분리시킬 수 있게 제공된다.
복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20')은, 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 시료 홀더 보관부(21)와, 시료 홀더 보관부(21)에 연통되고 상하로 개방된 형상의 저진공 챔버(C_L)와, 저진공 챔버(C_L)에 연통되고 상하로 개방된 형상의 고진공 챔버(C_H)를 각각 포함할 수 있다.
덮개부(30)는, 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20') 중 최상단에 위치한 홀더 보관 모듈(20)의 상면을 커버함으로써, 저진공 챔버(C_L) 및 고진공 챔버(C_H)가 외부와 연통되지 않도록 할 수 있다. 예를 들어, 덮개부(30)는 볼트 등의 고정 수단을 이용하여, 홀더 보관 모듈(20, 20')의 상면에 탈부착 가능하게 제공될 수 있다.
한편, 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20')의 저진공 챔버(C_L)는 모두 서로 연통되고, 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20') 중 최하단에 위치한 홀더 보관 모듈(20')의 저진공 챔버(C_L)는 저진공 펌프(P_L)에 연결되어, 각각의 홀더 보관 모듈(20, 20')의 저진공 챔버(C_L)가 저진공 상태가 되도록 할 수 있다.
여기서, 저진공 상태란, 대략 10^(-2) torr 정도의 진공도가 낮은 상태를 의미하는 것으로 이해할 수 있으며, 저진공 펌프(P_L)로는 예를 들어, 저진공 챔버(C_L)가 대기압 상태에서 저진공 상태까지 비교적 신속하게 도달하게 할 수 있는 다이어프램 펌프(Diaphragm Pump) 등을 사용할 수 있다. 다시 말하면, 저진공 챔버(C_L)에는 다이어프램 펌프가 연결될 수 있다. 한편, 저진공 펌프(P_L)는 오일-프리(oil-free) 방식의 펌프를 이용할 수 있으며, 이와 같은 오일-프리 방식의 펌프에 의하면, 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간으로 오일이 역류함에 따라, 시료 홀더가 오염되는 문제를 방지할 수 있다.
마찬가지로, 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20')의 고진공 챔버(C_H)는 모두 서로 연통되고, 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20') 중 최하단에 위치한 홀더 보관 모듈(20')의 고진공 챔버(C_H)는 고진공 펌프(P_H)에 연결되어, 각각의 홀더 보관 모듈(20, 20')의 고진공 챔버(C_H)가 고진공 상태가 되도록 할 수 있다.
여기서, 고진공 상태란, 대략 10^(-6) 내지 10^(-5) torr 정도의 진공도가 높은 상태를 의미하는 것으로 이해할 수 있으다. 고진공 펌프(P_H)로는, 저진공 펌프(P_L)에 비하여 비교적 속도가 느리더라도 보다 높은 진공도를 형성할 수 있는 펌프로써, 예를 들면, 터보 분자 펌프 (Turbo Molecular Pump) 등을 사용할 수 있다. 다시 말하면, 고진공 챔버(C_H)에는 터보 분자 펌프가 연결될 수 있다.
한편, 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20') 중 적어도 일부는 서로 다른 각도로 배치될 수 있다. 다시 말하면, 복수 개의 시료 홀더 보관부(21) 중 적어도 일부는 서로 다른 각도로 배치될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 단열 용기(50)의 상하 방향 높이가 길더라도, 서로 각도가 어긋나게 배치시킴으로써, 전체 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)의 높이를 불필요하게 증가시킬 필요가 없으므로, 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.
예를 들어, 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20')은 정팔각형 형상을 가지고, 상하로 적층된 인접한 2개의 홀더 보관 모듈(20, 20')은 45도만큼 회전된 형상으로 적층될 수 있다. 이와 같은 형상에 의하면, 각각의 홀더 보관 모듈(20, 20')의 3면에 각각 설치되는 3개의 밸브(V_A, V_L, V_C)와, 보관 모듈(20, 20')의 대향하는 한 쌍의 면을 관통하는 방식으로 설치되는 시료 홀더 보관부(21)와, 보관 모듈(20, 20')의 일면으로부터 돌출되는 용기 진공 라인(L4)을 7개의 면에 각각 안정적으로 배치시키면서도, 상하로 적층된 인접한 2개의 홀더 보관 모듈(20, 20')이 상호 간섭되는 문제를 방지할 수 있다.
복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20')은 서로 탈부착될 수 있다. 도 3에는 홀더 보관 모듈(20, 20')이 2개인 것으로 도시하였으나, 필요에 따라서, 덮개부(30)를 분리시킨 상태에서 다른 홀더 보관 모듈을 추가적으로 적층시키고, 추가적으로 적층된 홀더 보관 모듈에 덮개부(30)를 다시 체결시킴으로써, 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)을 이용하여 보관 및 전처리 작업을 수행할 수 있는 시료 홀더의 개수를 증가시킬 수 있다.
도 6은 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈의 횡단면도이고, 도 7은 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈의 일부를 절개한 상태를 나타내는 사시도이다.
도 8은 일 실시 예에 따른 홀더 보관 모듈이 동작하는 모습을 간략히 나타내는 도면이고, 도 9는 일 실시 예에 따른 고진공 밸브의 횡단면도이고, 도 10은 다른 실시 예에 따른 고진공 밸브의 횡단면도이다.
도 6 내지 도 10을 참조하면, 홀더 보관 모듈(20)은, 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 시료 홀더 보관부(21)와, 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간에 연통되는 진공 라인(L2, L3, L4)과, 진공 라인(L2, L3, L4)에 연통되는 저진공 챔버(C_L)와, 진공 라인(L2, L3, L4)에 연통되는 고진공 챔버(C_H)와, 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 저진공 챔버(C_L)로부터 차단시킬 수 있는 저진공 밸브(V_L)와, 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 고진공 챔버(C_H)로부터 차단시킬 수 있는 고진공 밸브(V_H)와, 단열 용기(50)의 단열 공간을 저진공 챔버(C_L) 및 고진공 챔버(C_H)로부터 차단시킬 수 있는 용기 밸브(V_C)와, 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 외부와 연통시키기 위한 대기압 라인(L1)과, 대기압 라인(L1)을 외부로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 대기압 밸브(V_A)를 포함할 수 있다.
여기서, 진공 라인(L2, L3, L4)은, 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 저진공 챔버(C_L)로 연통시키는 저진공 라인(L2)과, 저진공 라인(L2)을 고진공 챔버(C_H)로 연통시키는 고진공 라인(L3)과, 고진공 라인(L3)을 시료 홀더의 단열 용기(50)의 단열 공간으로 연통시킬 수 있는 용기 진공 라인(L4)을 포함할 수 있다. 용기 밸브(V_C)에 의하면, 저진공 밸브(V_L) 및/또는 고진공 밸브(V_H)가 개방된 상태에서도, 저진공 챔버(C_L) 또는 고진공 챔버(C_H)가 단열 용기(50)와 연통되는 문제를 방지할 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 단열 용기(50)를 구비하지 않는 시료 홀더를 보관하기 위하여 실시 예에 따른 시료 홀더 보관용 펌핑 스테이션(1)을 사용할 수도 있을 것이다.
도 8은 각각의 밸브(V_L, V_H, V_A)가 개방 상태일 때를 실선으로, 차단 상태일 때를 점선으로 도시한 것이다.
저진공 밸브(V_L)는, 저진공 라인(L2)에 설치되어, 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 저진공 챔버(C_L)로부터 개방(실선) 또는 차단(점선)시킬 수 있다.
고진공 밸브(V_H)는, 고진공 라인(L3)에 설치되어, 저진공 라인(L2)을 고진공 챔버(C_H)로부터 개방(실선) 또는 차단(점선)시킬 수 있다.
한편, 저진공 밸브(V_L)가 개방된 상태(실선)를 기준으로, 고진공 밸브(V_H)는, 저진공 라인(L2)을 고진공 챔버(C_H)로부터 차단시킨 상태(점선)에서, 저진공 라인(L2)이 용기 진공 라인(L4)에 연통되게 하는 연통 수단(V_Ha, V_Hb)을 포함할 수 있다.
여기서, 연통 수단(V_Ha, V_Hb)은, 예를 들어, 도 9와 같이 고진공 밸브(V_H)의 외주면으로부터 함몰된 형상의 홈(V_Ha)이거나, 도 10과 같이 고진공 밸브(V_H)를 가로지르는 홀(V_Hb)일 수 있다.
진공 라인(L2, L3, L4) 상에서, 고진공 챔버(C_H)는, 시료 홀더 보관부(21)를 기준으로 저진공 챔버(C_L)보다 하류 방향에 연결되지만, 이상의 연통 수단(V_Ha, V_Hb)에 의하면, 고진공 밸브(V_H)가 차단 상태(점선)에 있더라도, 저진공 챔버(C_H)와 용기 진공 라인(L4)을 연통되게 함으로써, 단열 용기(50)가 저진공 상태가 되도록 할 수 있다.
이상과 같은 구조에 의하면, 진공 펌프(P_L, P_H)를 오프(OFF) 시킬 필요 없이 온(ON) 시킨 상태에서, 3개의 밸브(V_L, V_H, V_A)를 조작하는 것 만으로 각각의 시료 홀더 보관부(21)에 시료 홀더를 삽입하여 보관시키거나, 시료 홀더 보관부(21)로부터 시료 홀더를 분리하여 사용하는 것이 가능하다.
예를 들어, 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)은, 사용자의 입력에 따라 복수 개의 저진공 밸브(V_L), 복수 개의 고진공 밸브(V_H) 및 복수 개의 대기압 밸브(V_A)를 제어하는 제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
첫째, 시료 홀더를 보관하는 과정을 설명하기로 한다. 복수 개의 시료 홀더 보관부(21) 중 어느 하나의 시료 홀더 보관부(21)에 시료 홀더가 삽입된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부(21)의 내부를 진공 상태가 되게 하는 명령이 입력될 수 있다. 이 경우, 제어부는, 먼저 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부(21)에 대응하는 대기압 밸브(V_A)를 차단한 상태에서, 저진공 밸브(V_L)를 개방하여 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간 및 단열 용기(50)의 단열 공간을 저진공 상태가 되게 할 수 있다. 다음으로, 저진공 밸브(V_L)를 차단하고, 고진공 밸브(V_H)를 개방함으로써 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간 및 단열 용기(50)의 단열 공간을 고진공 상태가 되게 할 수 있다. 이와 같은 상태에서 시료 홀더는 안전하게 진공 상태에서 보관될 수 있다.
둘째, 시료 홀더를 분리하는 과정을 설명하기로 한다. 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부(21)에 시료 홀더가 진공 상태로 보관된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부(21)의 내부를 대기압 상태가 되게 하는 명령이 입력될 수 있다. 이 경우, 제어부는, 저진공 밸브(V_L) 및 고진공 밸브(V_H)를 차단시켜, 진공 챔버(C_L, C_H)가 외부에 노출되는 것을 방지한 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부(21)에 대응하는 대기압 밸브(V_A)를 개방함으로써 시료 홀더 보관부(21)가 대기압 상태가 되게 할 수 있다. 이와 같은 상태에서 사용자는 시료 홀더를 안정적으로 인출할 수 있다.
한편, 이와 같이 시료 홀더가 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부(21)에 탈부착 되는 과정에서, 제어부는, 저진공 펌프(P_L) 및 고진공 펌프(P_H)가 온(ON) 상태를 유지되게 함으로써, 진공 펌프를 재가동시킴에 따라 소요되는 시간을 줄여줄 수 있다.
한편, 이상 제어부에 의해 3개의 밸브(V_L, V_H, V_A)가 제어부에 의해 자동적으로 동작하는 경우에 대하여 예시적으로 설명하였으나, 이상의 과정은 사용자에 의해 수동적으로 수행될 수도 있음을 밝혀둔다.
도 11은 일 실시 예에 따른 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법을 나타내는 도면이다.
도 11을 참조하면, 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)의 제어 방법은, 초기화 단계(S110), 시료 홀더 삽입 단계(S120), 용기 진공라인 결합 단계(S130), 저진공 밸브 개방 단계(S140), 저진공 밸브 차단 단계(S150), 고진공 밸브 개방 단계(S160) 및 고진공 밸브 차단 단계(S170)를 통하여 시료 홀더를 보관시킬 수 있다.
초기화 단계(S110)에서, 대기압 밸브(V_A)는 개방되고, 저진공 밸브(V_L) 및 고진공 밸브(V_H)는 차단될 수 있다.
시료 홀더 삽입 단계(S120)에서, 사용자는 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)의 시료 홀더 보관부(21)로 시료 홀더를 삽입할 수 있다.
용기 진공라인 결합 단계(S130)는, 용기 진공 라인(L4)을 단열 용기(50)의 단열 공간에 연결하는 단계로, 시료 홀더 삽입 단계(S120)와 동시에 또는 그 이후에 수행될 수 있고, 저진공 밸브 개방 단계(S140) 이전에 수행될 수 있다.
저진공 밸브 개방 단계(S140) 이후, 일정 시간이 경과되거나, 일정 진공도에 도달하면, 저진공 밸브 차단 단계(S150)가 수행될 수 있다.
마찬가지로, 저진공 밸브 차단 단계(S150) 이후에 고진공 밸브 개방 단계(S160)를 수행하고, 일정 시간이 경과되거나, 일정 진공도에 도달하면, 고진공 밸브 차단 단계(S170)가 수행됨으로써 시료 홀더를 안정적으로 보관 및/또는 전처리 할 수 있다.
한편, 이상 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)이 서로 분리 또는 체결 가능한 복수 개의 홀더 보관 모듈(20, 20')로 구성되는 경우를 예시적으로 설명하였으나, 이와 달리 홀더 보관 모듈(20, 20')이 일체형으로 제공되는 것도 가능할 것이다.
예를 들어, 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)은 기둥형 케이스를 포함하고, 복수 개의 시료 홀더 보관부(21)는 기둥형 케이스의 상하 방향으로 적층 배치되고, 하나의 저진공 챔버(C_L) 및 하나의 고진공 챔버(C_H)는 상호 구획된 상태로 기둥형 케이스의 내부에 상하 방향으로 형성되는 것으로 이해될 수도 있다.
다시 말하면, 시료 홀더용 펌핑 스테이션(1)은, 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 복수 개의 시료 홀더 보관부(21)와, 복수 개의 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간에 각각 연통되는 복수 개의 진공 라인(L2, L3, L4)과, 복수 개의 진공 라인(L2, L3, L4)에 연통되는 하나의 저진공 챔버(C_L)와, 복수 개의 진공 라인(L2, L3, L4)에 연통되는 하나의 고진공 챔버(C_H)와, 복수 개의 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 각각 하나의 저진공 챔버(C_L)로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 저진공 밸브(V_L)와, 복수 개의 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 각각 하나의 고진공 챔버(C_H)로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 고진공 밸브(V_H)와, 복수 개의 시료 홀더 보관부(21)의 내부 공간을 각각 외부와 연통시키기 위한 복수 개의 대기압 라인(L1)과, 복수 개의 대기압 라인(L1)의 각각을 외부로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 대기압 밸브(V_A)를 포함할 수 있다. 여기서, 복수 개의 진공 라인 중 서로 다른 시료 홀더 보관부(21)에 연통되는 진공 라인들은 서로 연통되지 않게 함으로써, 3개 밸브(V_L, V_H, V_A)의 조작만으로 개별 홀더 보관부의 진공상태를 형성하거나, 해제할 수 있으며, 이와 같은 진공상태 형성 및 해제 과정에서 진공펌프(P_L, P_H)는 온(ON)시킨 상태를 유지하도록 할 수 있다.
실시 예에 따른 방법은 다양한 컴퓨터 수단을 통하여 수행될 수 있는 프로그램 명령 형태로 구현되어 컴퓨터 판독 가능 매체에 기록될 수 있다. 상기 컴퓨터 판독 가능 매체는 프로그램 명령, 데이터 파일, 데이터 구조 등을 단독으로 또는 조합하여 포함할 수 있다. 상기 매체에 기록되는 프로그램 명령은 실시 예를 위하여 특별히 설계되고 구성된 것들이거나 컴퓨터 소프트웨어 통상의 기술자에게 공지되어 사용 가능한 것일 수도 있다. 컴퓨터 판독 가능 기록 매체의 예에는 하드 디스크, 플로피 디스크 및 자기 테이프와 같은 자기 매체(magnetic media), CD-ROM, DVD와 같은 광기록 매체(optical media), 플롭티컬 디스크(floptical disk)와 같은 자기-광 매체(magneto-optical media), 및 롬(ROM), 램(RAM), 플래시 메모리 등과 같은 프로그램 명령을 저장하고 수행하도록 특별히 구성된 하드웨어 장치가 포함된다. 프로그램 명령의 예에는 컴파일러에 의해 만들어지는 것과 같은 기계어 코드뿐만 아니라 인터프리터 등을 사용해서 컴퓨터에 의해서 실행될 수 있는 고급 언어 코드를 포함한다. 상기된 하드웨어 장치는 실시 예의 동작을 수행하기 위해 하나 이상의 소프트웨어 모듈로서 작동하도록 구성될 수 있으며, 그 역도 마찬가지이다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

Claims (16)

  1. 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 복수 개의 시료 홀더 보관부;
    상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간에 각각 연통되는 복수 개의 진공 라인;
    상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 저진공(low vacuum) 챔버;
    상기 복수 개의 진공 라인에 연통되는 하나의 고진공(high vacuum) 챔버;
    상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 저진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 저진공 밸브; 및
    상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 상기 하나의 고진공 챔버로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 고진공 밸브를 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 각각 외부와 연통시키기 위한 복수 개의 대기압 라인; 및
    상기 복수 개의 대기압 라인을 각각 외부로부터 차단시킬 수 있는 복수 개의 대기압 밸브를 더 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  3. 제 2 항에 있어서,
    사용자의 입력에 따라 상기 복수 개의 저진공 밸브, 복수 개의 고진공 밸브 및 복수 개의 대기압 밸브를 제어하는 제어부를 더 포함하고,
    상기 복수 개의 시료 홀더 보관부 중 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 시료 홀더가 삽입된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부의 내부를 진공 상태가 되게 하는 명령이 입력되면,
    상기 제어부는, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 대응하는 대기압 밸브를 차단한 상태에서, 저진공 밸브를 개방 후 차단하고, 고진공 밸브를 개방하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 시료 홀더가 진공 상태로 보관된 상태에서, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부의 내부를 대기압 상태가 되게 하는 명령이 입력되면,
    상기 제어부는, 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 대응하는 대기압 밸브를 개방하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 하나의 저진공 챔버에 연결되는 다이어프램 펌프; 및
    상기 하나의 고진공 챔버에 연결되는 터보 분자 펌프를 더 포함하고,
    상기 시료 홀더가 상기 어느 하나의 시료 홀더 보관부에 탈부착 되는 과정에서, 상기 제어부는, 상기 다이어프램 펌프 및 상기 터보 분자 펌프가 온(ON) 상태를 유지되게 하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  6. 제 1 항에 있어서,
    기둥형 케이스를 더 포함하고,
    상기 복수 개의 시료 홀더 보관부는 상기 기둥형 케이스의 상하 방향으로 적층 배치되고,
    상기 하나의 저진공 챔버 및 하나의 고진공 챔버는 상호 구획된 상태로 상기 기둥형 케이스의 내부에 상하 방향으로 형성되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 진공 라인 상에서, 상기 고진공 챔버는, 상기 시료 홀더 보관부를 기준으로 상기 저진공 챔버보다 하류 방향에 연결되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 시료 홀더 보관부 중 적어도 일부는 서로 다른 각도로 배치되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 진공 라인은,
    상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로 연통시키는 저진공 라인;
    상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로 연통시키는 고진공 라인; 및
    상기 고진공 라인을 상기 시료 홀더의 단열 용기의 단열 공간으로 연통시킬 수 있는 용기 진공 라인을 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 저진공 밸브는, 상기 저진공 라인에 설치되어, 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있고,
    상기 고진공 밸브는, 상기 고진공 라인에 설치되어, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있고,
    상기 고진공 밸브는, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 차단시킨 상태에서, 상기 저진공 라인이 상기 용기 진공 라인에 연통되게 하는 연통 수단을 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 진공 라인 중 서로 다른 시료 홀더 보관부에 연통되는 진공 라인들은 서로 연통되지 않는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  12. 시료 홀더의 시료 지지봉이 삽입되는 개구를 갖는 시료 홀더 보관부와, 상기 시료 홀더 보관부에 연통되고 상하로 개방된 형상의 저진공 챔버와, 상기 저진공 챔버에 연통되고 상하로 개방된 형상의 고진공 챔버를 각각 포함하는 복수 개의 홀더 보관 모듈; 및
    상기 복수 개의 홀더 보관 모듈 중 최상단에 위치한 홀더 보관 모듈의 상면을 커버하기 위한 덮개부를 포함하고,
    상기 복수 개의 홀더 보관 모듈의 저진공 챔버는 모두 서로 연통되고,
    상기 복수 개의 홀더 보관 모듈의 고진공 챔버는 모두 서로 연통되는 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 복수 개의 홀더 보관 모듈은 서로 탈부착 가능한 시료 홀더용 펌핑 스테이션.
  14. 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 시료 홀더 보관부로 시료 홀더를 삽입하는 단계;
    저진공 챔버로부터 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간으로 연통되는 저진공 라인에 설치되어, 상기 시료 홀더 보관부의 내부 공간을 상기 저진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있는 저진공 밸브를 개방시키는 단계;
    상기 저진공 밸브를 차단시키는 단계;
    고진공 챔버로부터 상기 저진공 라인으로 연통되는 고진공 라인에 설치되어, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 개방 또는 차단시킬 수 있는 고진공 밸브를 개방시키는 단계; 및
    상기 고진공 밸브를 차단시키는 단계를 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 시료 홀더용 펌핑 스테이션은, 상기 고진공 라인을 상기 시료 홀더의 단열 용기의 단열 공간으로 연통시킬 수 있는 용기 진공 라인을 포함하고,
    상기 고진공 밸브는, 상기 저진공 라인을 상기 고진공 챔버로부터 차단시킨 상태에서, 상기 저진공 라인이 상기 용기 진공 라인에 연통되게 하는 연통 수단을 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 시료 홀더를 삽입하는 단계와 동시에 또는 그 이후에 수행되고, 상기 저진공 밸브를 개방시키는 단계 이전에 수행되고, 상기 용기 진공라인을 상기 단열 용기에 결합시키는 단계를 더 포함하는 시료 홀더용 펌핑 스테이션의 제어 방법.
KR1020170137397A 2017-10-23 2017-10-23 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법 KR101945123B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170137397A KR101945123B1 (ko) 2017-10-23 2017-10-23 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170137397A KR101945123B1 (ko) 2017-10-23 2017-10-23 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101945123B1 true KR101945123B1 (ko) 2019-02-07

Family

ID=65366936

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170137397A KR101945123B1 (ko) 2017-10-23 2017-10-23 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101945123B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111232438A (zh) * 2020-03-26 2020-06-05 上海微纳国际贸易有限公司 一种高真空样品储存装置
CN114226360A (zh) * 2021-12-15 2022-03-25 中国科学院大连化学物理研究所 一种电镜样品和样品杆预处理装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003121322A (ja) 2001-10-18 2003-04-23 Jeol Ltd 乾燥装置
JP6009486B2 (ja) 2014-03-20 2016-10-19 ハスクバーナ・ゼノア株式会社 キャブレタ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003121322A (ja) 2001-10-18 2003-04-23 Jeol Ltd 乾燥装置
JP6009486B2 (ja) 2014-03-20 2016-10-19 ハスクバーナ・ゼノア株式会社 キャブレタ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111232438A (zh) * 2020-03-26 2020-06-05 上海微纳国际贸易有限公司 一种高真空样品储存装置
CN114226360A (zh) * 2021-12-15 2022-03-25 中国科学院大连化学物理研究所 一种电镜样品和样品杆预处理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2018274868B2 (en) Loading station for transferring frozen samples at low temperatures
KR101945123B1 (ko) 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법
US10598609B2 (en) Universal liquid sample device and process for high resolution transmission electron microscope imaging and multimodal analyses of liquid sample materials
JP6173879B2 (ja) 荷電粒子線装置、および試料容器
CN111684564B (zh) 真空转移组件
US9784962B2 (en) Cooling systems and methods for cryo super-resolution fluorescence light microscopy and other applications
JP6251708B2 (ja) クライオ顕微鏡法のための操作容器
US7723701B1 (en) Specimen preservation systems and methods
US20170227752A1 (en) Light microscope having a sample stage for cryomicroscopy
CA2518521C (en) Method of operating liquid in the vacuum or low-pressure environment and observing the operation and device for the operation and observation
US7425712B2 (en) Method of operating liquid in the vacuum or low-pressure environment and observing the operation and device for the operation and observation
CN106104250A (zh) 低温存储系统
KR100938241B1 (ko) 투과전자현미경 홀더 전처리를 위한 ｄｐｓ
US20060249688A1 (en) Method of operating high-pressure chamber in vacuum or low-pressure environment and observing the operation and device therefor
EP4130841A1 (en) System for loading and/or manipulating a sample in a sample transfer device
JP6764902B2 (ja) 試料ホルダー
EP1722394A2 (en) Method of operating liquid in the vacuum or low-pressure environment and observing the operation and device for the operation and observation
KR20100075013A (ko) Ｔｅｍ-광학현미경 연동용 어댑터
JP2009136233A (ja) 培養装置
JPS6086748A (ja) 電子顕微鏡用雰囲気試料室
US20220074833A1 (en) Preparation of a sample for high pressure freezing
US20190008142A1 (en) Automatic devices configured to perform a cryoprocedure on at least one biological sample carried by one or more carriers
JPH0621165Y2 (ja) 電子顕微鏡用試料凍結乾燥装置
JPS59191251A (ja) 雰囲気試料運搬室
EP4364180A1 (en) Device for interfacing a sample transfer device to an analytic or sample preparation device and a container for transporting a sample under environmentally controlled conditions

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant