JP2003121322A - 乾燥装置 - Google Patents
乾燥装置Info
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- JP2003121322A JP2003121322A JP2001320930A JP2001320930A JP2003121322A JP 2003121322 A JP2003121322 A JP 2003121322A JP 2001320930 A JP2001320930 A JP 2001320930A JP 2001320930 A JP2001320930 A JP 2001320930A JP 2003121322 A JP2003121322 A JP 2003121322A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の試料カートリッジなどを真空乾燥する
乾燥装置を提供する。 【解決手段】 排気ポンプ１７が繋がれた第１真空容器
１１と第２真空容器１５とが接続管１６を介して繋がれ
ている。第２真空容器は、それぞれに試料がセットされ
た複数の試料カードリッジ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２
１Ｄ，２１Ｅが収納可能に成っている。第１真空容器１
１は、試料カートリッジが着脱可能な試料ホルダー２４
の少なくとも試料カートリッジ着脱部２５が収納可能に
成っている。
乾燥装置を提供する。 【解決手段】 排気ポンプ１７が繋がれた第１真空容器
１１と第２真空容器１５とが接続管１６を介して繋がれ
ている。第２真空容器は、それぞれに試料がセットされ
た複数の試料カードリッジ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２
１Ｄ，２１Ｅが収納可能に成っている。第１真空容器１
１は、試料カートリッジが着脱可能な試料ホルダー２４
の少なくとも試料カートリッジ着脱部２５が収納可能に
成っている。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、電子顕微鏡にセットさ
れる試料ホルダーの乾燥装置に関する。
れる試料ホルダーの乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】透過型電子顕微鏡は、試料の拡大観察や
試料の構造分析等を行うのに使用される。
試料の構造分析等を行うのに使用される。
【０００３】図１は透過型電子顕微鏡の一概略例を示し
たものである。
たものである。
【０００４】図中１は電子光学系鏡筒で、その中に、電
子銃２、集束レンズ３、対物レンズ４、中間レンズ５、
投影レンズ６等が設けられている。７は観察室で、蛍光
板８等が設けられている。
子銃２、集束レンズ３、対物レンズ４、中間レンズ５、
投影レンズ６等が設けられている。７は観察室で、蛍光
板８等が設けられている。
【０００５】９は先端部に試料を保持した試料ホルダー
で、試料ホルダー駆動機構１０によってＸ方向及びＹ方
向への移動や、試料ホルダーの中心軸に対する回転が出
来、又、試料ホルダー自体が鏡体１に取り付けたり、該
鏡体から外したり出来るように成っている。
で、試料ホルダー駆動機構１０によってＸ方向及びＹ方
向への移動や、試料ホルダーの中心軸に対する回転が出
来、又、試料ホルダー自体が鏡体１に取り付けたり、該
鏡体から外したり出来るように成っている。
【０００６】この様な透過型電子顕微鏡においては、電
子銃１からの電子ビームが集束レンズ３により集束され
て試料上に照射される。そして、該試料を透過した電子
ビームが対物レンズ４，中間レンズ５及び投影レンズ６
のレンズ作用を受けることにより、蛍光板８上に、イオ
ンビーム照射の影響を受けた試料の拡大像或いは回折像
が形成される。
子銃１からの電子ビームが集束レンズ３により集束され
て試料上に照射される。そして、該試料を透過した電子
ビームが対物レンズ４，中間レンズ５及び投影レンズ６
のレンズ作用を受けることにより、蛍光板８上に、イオ
ンビーム照射の影響を受けた試料の拡大像或いは回折像
が形成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】さて、透過型電子顕微
鏡で試料の観察や分析を行う場合、電子ビーム光学鏡筒
１内や観察室７を高真空若しくは超高真空の状態にしな
ければならない。
鏡で試料の観察や分析を行う場合、電子ビーム光学鏡筒
１内や観察室７を高真空若しくは超高真空の状態にしな
ければならない。
【０００８】しかし、試料若しくは試料ホルダーが充分
に脱ガスされていなければ、試料を含む試料ホルダーか
らの放出ガスが原因で試料ホルダー周囲（電子ビーム光
学鏡筒の試料室）が高真空若しくは超高真空の状態に達
するのに著しく長い時間を要し、試料の観察や分析が長
時間出来ないことになる。
に脱ガスされていなければ、試料を含む試料ホルダーか
らの放出ガスが原因で試料ホルダー周囲（電子ビーム光
学鏡筒の試料室）が高真空若しくは超高真空の状態に達
するのに著しく長い時間を要し、試料の観察や分析が長
時間出来ないことになる。
【０００９】そこで、試料がセットされている試料ホル
ダーを予め真空乾燥しておき、該試料ホルダーを電子ビ
ーム光学鏡筒に装着すれば、試料ホルダー周囲（電子ビ
ーム光学鏡筒の試料室）が短時間で高真空に達し、直ぐ
に試料観察が出来るが、別の試料を観察する場合、一旦
試料ホルダーを鏡体から取り外し、該試料ホルダーに別
の試料をセットし直し、この試料ホルダーを真空乾燥し
てから、電子ビーム光学鏡筒に装着しなければならな
い。
ダーを予め真空乾燥しておき、該試料ホルダーを電子ビ
ーム光学鏡筒に装着すれば、試料ホルダー周囲（電子ビ
ーム光学鏡筒の試料室）が短時間で高真空に達し、直ぐ
に試料観察が出来るが、別の試料を観察する場合、一旦
試料ホルダーを鏡体から取り外し、該試料ホルダーに別
の試料をセットし直し、この試料ホルダーを真空乾燥し
てから、電子ビーム光学鏡筒に装着しなければならな
い。
【００１０】しかし、別の試料をセットし直した試料ホ
ルダーの真空乾燥が充分行われる迄に極めて多くの時間
がかかり、２つ目以降の試料が観察出来るまでに極めて
多大な時間が浪費されてしまう。
ルダーの真空乾燥が充分行われる迄に極めて多くの時間
がかかり、２つ目以降の試料が観察出来るまでに極めて
多大な時間が浪費されてしまう。
【００１１】さりとて、それぞれ試料がセットされた多
数の試料ホルダーを用意し、これら多数の試料ホルダー
を予め真空乾燥しようとすると、各試料をそれぞれセッ
トするための多数の試料ホルダーと、これらの試料ホル
ダー収納するための大型の真空乾燥器が必要となり、経
費が莫大なものとなる。又、試料は極めて小さいが、試
料に対して試料ホルダーは極めて大きいので、多数の試
料ホルダーを収納する真空乾燥機は極めて大型となり、
場所を大きく取ってしまう。
数の試料ホルダーを用意し、これら多数の試料ホルダー
を予め真空乾燥しようとすると、各試料をそれぞれセッ
トするための多数の試料ホルダーと、これらの試料ホル
ダー収納するための大型の真空乾燥器が必要となり、経
費が莫大なものとなる。又、試料は極めて小さいが、試
料に対して試料ホルダーは極めて大きいので、多数の試
料ホルダーを収納する真空乾燥機は極めて大型となり、
場所を大きく取ってしまう。
【００１２】そこで、経費が多少掛かり、真空乾燥機も
多少大型になるが、２つの試料ホルダーのみ用意し、試
料をセットした２つの試料ホルダー予め真空乾燥してお
けば、２つの試料観察についてはスムーズに行く。そし
て、３つ目以降の試料観察においては、一方の試料ホル
ダーにセットされた試料の観察中に、他方の試料ホルダ
ーに新しい試料をセットしてそれを真空乾燥することが
考えられるが、試料観察はさほど長時間にならないの
で、この真空乾燥が全く不十分の間に、一方の試料ホル
ダーにセットされた試料の観察が終了してしまい、次の
試料観察までに極めて長い時間が浪費されてしまう。
多少大型になるが、２つの試料ホルダーのみ用意し、試
料をセットした２つの試料ホルダー予め真空乾燥してお
けば、２つの試料観察についてはスムーズに行く。そし
て、３つ目以降の試料観察においては、一方の試料ホル
ダーにセットされた試料の観察中に、他方の試料ホルダ
ーに新しい試料をセットしてそれを真空乾燥することが
考えられるが、試料観察はさほど長時間にならないの
で、この真空乾燥が全く不十分の間に、一方の試料ホル
ダーにセットされた試料の観察が終了してしまい、次の
試料観察までに極めて長い時間が浪費されてしまう。
【００１３】本発明はこの様な問題を解決することを目
的としたもので、新規な乾燥装置を提供するものであ
る。
的としたもので、新規な乾燥装置を提供するものであ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく乾燥装置
は、排気手段が接続されており、それぞれに試料がセッ
トされた複数の試料カートリッジと、試料カートリッジ
が着脱可能な試料ホルダーの少なくとも試料カートリッ
ジ着脱部とが収納可能な容器を備えたことを特徴とす
る。本発明に基づく乾燥装置は、前記容器は連通した二
つの収納器を有し、一方の収納器に複数の試料カートリ
ッジを収納し、他方の収納器に試料ホルダーの少なくと
も試料カートリッジ着脱部を収納する様に成したことを
特徴とする。
は、排気手段が接続されており、それぞれに試料がセッ
トされた複数の試料カートリッジと、試料カートリッジ
が着脱可能な試料ホルダーの少なくとも試料カートリッ
ジ着脱部とが収納可能な容器を備えたことを特徴とす
る。本発明に基づく乾燥装置は、前記容器は連通した二
つの収納器を有し、一方の収納器に複数の試料カートリ
ッジを収納し、他方の収納器に試料ホルダーの少なくと
も試料カートリッジ着脱部を収納する様に成したことを
特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００１６】図２及び図３（図２のＡ−Ａ断面図）は本
発明に基づく乾燥装置の１概略例を表したものである。
発明に基づく乾燥装置の１概略例を表したものである。
【００１７】図中１１は第１真空容器で、３つの孔１
２，１３，１４が開けられている。
２，１３，１４が開けられている。
【００１８】孔１２には、第２真空容器１５の一壁面か
ら突き出ている接続管１６が繋がっている。
ら突き出ている接続管１６が繋がっている。
【００１９】孔１３には、排気ポンプ１７の排気管１８
が繋がっている。１９は排気管１８の途中に入れられた
バルブである。
が繋がっている。１９は排気管１８の途中に入れられた
バルブである。
【００２０】孔１４の部分には、該孔１４と連通する試
料ホルダー挿入管２０が取り付けられている。
料ホルダー挿入管２０が取り付けられている。
【００２１】前記第２真空容器１５内には、各々に試料
がセットされた複数の試料カートリッジ２１Ａ，２１
Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅが置かれている。この第２
真空容器１５の上壁は、開閉可能な蓋２２になってお
り、オーリング２３によって内部の機密性が高く保たれ
ている。又、この蓋２２は、枠２２Ｗにシールを施して
透明ガラス板２２Ｇをはめ込んだ構造のものである。
がセットされた複数の試料カートリッジ２１Ａ，２１
Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅが置かれている。この第２
真空容器１５の上壁は、開閉可能な蓋２２になってお
り、オーリング２３によって内部の機密性が高く保たれ
ている。又、この蓋２２は、枠２２Ｗにシールを施して
透明ガラス板２２Ｇをはめ込んだ構造のものである。
【００２２】前記試料ホルダー挿入管２０は、試料ホル
ダー２４を第１真空容器１１内に挿入したり、抜き出し
たり、或いは、挿入した場合に試料ホルダー２４を支持
するためのものである。
ダー２４を第１真空容器１１内に挿入したり、抜き出し
たり、或いは、挿入した場合に試料ホルダー２４を支持
するためのものである。
【００２３】前記試料ホルダー２４は、大きく分けて、
試料カートリッジを把持するためのカートリッジ把持部
２５，試料ホルダーを移動させる時等にオペレーターに
より直接把持される摘み部２６及び把持部と摘み部の接
続部２７から成る。尚、２８はオーリングである。
試料カートリッジを把持するためのカートリッジ把持部
２５，試料ホルダーを移動させる時等にオペレーターに
より直接把持される摘み部２６及び把持部と摘み部の接
続部２７から成る。尚、２８はオーリングである。
【００２４】前記カートリッジ把持部２５は、図４の
（ａ），（ｂ）（図４の（ｂ）は図４の（ａ）のＢ−Ｂ
断面図である）に一例を示す様に、試料カートリッジ２
１が着脱出来るように構成されている。即ち、カートリ
ッジ把持部２５には試料カートリッジ２１を挿入するた
めの挿入穴２９が開けられており、該穴内には、挿入さ
れた試料カートリッジ２１をしっかりと保持するための
押さえバネ３０が備えられている。又、カートリッジ把
持部２５には孔３１が開けられており、該孔内にはボー
ル３２を押圧するバネ３３が取り付けられている。一
方、試料カートリッジ２１にはガイド穴３４が開けられ
ており、この試料カートリッジ２１が挿入穴２９の底部
まで挿入されると、前記ボール３２がガイド穴３４内に
入り、それにより、試料カートリッジ２１は試料ホルダ
ーのカートリッジ把持部２５にしっかりと把持される。
（ａ），（ｂ）（図４の（ｂ）は図４の（ａ）のＢ−Ｂ
断面図である）に一例を示す様に、試料カートリッジ２
１が着脱出来るように構成されている。即ち、カートリ
ッジ把持部２５には試料カートリッジ２１を挿入するた
めの挿入穴２９が開けられており、該穴内には、挿入さ
れた試料カートリッジ２１をしっかりと保持するための
押さえバネ３０が備えられている。又、カートリッジ把
持部２５には孔３１が開けられており、該孔内にはボー
ル３２を押圧するバネ３３が取り付けられている。一
方、試料カートリッジ２１にはガイド穴３４が開けられ
ており、この試料カートリッジ２１が挿入穴２９の底部
まで挿入されると、前記ボール３２がガイド穴３４内に
入り、それにより、試料カートリッジ２１は試料ホルダ
ーのカートリッジ把持部２５にしっかりと把持される。
【００２５】尚、試料カートリッジ２１の先端部分には
孔３５が開けられており、該孔内にメッシュ３６が張ら
れており、その上に試料３７が置かれ、その上からワッ
シャ（図示せず）を介して固定用ナット３８で試料３７
が固定されている。
孔３５が開けられており、該孔内にメッシュ３６が張ら
れており、その上に試料３７が置かれ、その上からワッ
シャ（図示せず）を介して固定用ナット３８で試料３７
が固定されている。
【００２６】この様な構成の装置において、第１真空容
器１１及び第２真空容器１５内をリークしておく。
器１１及び第２真空容器１５内をリークしておく。
【００２７】そして、第１真空容器１１の試料ホルダー
挿入管２０に試料ホルダー２４を挿入し、少なくともカ
ートリッジ把持部２５が容器中心部に位置するようにす
る。尚、この際、カートリッジ把持部２５には試料をセ
ットした試料カードリッジを把持させていてもさせてい
なくても良い。
挿入管２０に試料ホルダー２４を挿入し、少なくともカ
ートリッジ把持部２５が容器中心部に位置するようにす
る。尚、この際、カートリッジ把持部２５には試料をセ
ットした試料カードリッジを把持させていてもさせてい
なくても良い。
【００２８】又、第２真空容器１５の蓋２２を開け、予
め試料がセットされた複数の試料カートリッジ２１Ａ，
２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅをそれぞれ間隔を開け
て置く。そして、蓋２２を閉める。
め試料がセットされた複数の試料カートリッジ２１Ａ，
２１Ｂ，２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅをそれぞれ間隔を開け
て置く。そして、蓋２２を閉める。
【００２９】次に、バルブ１９を開け、排気ポンプ１７
を作動させ、第１真空容器１１内と第２真空容器内を排
気し、試料ホルダー２４の少なくともカートリッジ把持
部２５と試料カートリッジ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２
１Ｄ，２１Ｅを充分に真空乾燥する。
を作動させ、第１真空容器１１内と第２真空容器内を排
気し、試料ホルダー２４の少なくともカートリッジ把持
部２５と試料カートリッジ２１Ａ，２１Ｂ，２１Ｃ，２
１Ｄ，２１Ｅを充分に真空乾燥する。
【００３０】次に、試料ホルダー２４を図１に示す如き
透過型電子顕微鏡の試料ホルダーとして電子光学系鏡筒
１に装着する場合、その前に、バルブ１９を閉め、第１
真空容器１１と第２真空容器１５内をリーク手段（図示
せず）によりリークする。
透過型電子顕微鏡の試料ホルダーとして電子光学系鏡筒
１に装着する場合、その前に、バルブ１９を閉め、第１
真空容器１１と第２真空容器１５内をリーク手段（図示
せず）によりリークする。
【００３１】この際、第１真空容器１１で真空乾燥され
ている試料ホルダー２４のカートリッジ把持部２５に試
料カートリッジが取り付けられている場合には、第１真
空容器１１から試料ホルダー２４を抜き出し、そのまま
透過型電子顕微鏡の試料ホルダーとして電子光学系鏡筒
１に装着する。
ている試料ホルダー２４のカートリッジ把持部２５に試
料カートリッジが取り付けられている場合には、第１真
空容器１１から試料ホルダー２４を抜き出し、そのまま
透過型電子顕微鏡の試料ホルダーとして電子光学系鏡筒
１に装着する。
【００３２】一方、第１真空容器１１で真空乾燥されて
いる試料ホルダー２４のカートリッジ把持部２５に試料
カートリッジが取り付けられていない場合、第２真空容
器１５の蓋２２を開け、１つの試料カートリッジをピン
セット等で取り出し、第１真空容器１１から抜き出した
試料ホルダー２４のカートリッジ把持部２５に装着す
る。そして、該試料ホルダー２４を、透過型電子顕微鏡
の試料ホルダーとして電子光学系鏡筒１に装着する。
いる試料ホルダー２４のカートリッジ把持部２５に試料
カートリッジが取り付けられていない場合、第２真空容
器１５の蓋２２を開け、１つの試料カートリッジをピン
セット等で取り出し、第１真空容器１１から抜き出した
試料ホルダー２４のカートリッジ把持部２５に装着す
る。そして、該試料ホルダー２４を、透過型電子顕微鏡
の試料ホルダーとして電子光学系鏡筒１に装着する。
【００３３】この様に、充分に真空乾燥した試料カート
リッジ及び試料ホルダーを電子光学系鏡筒１に装着すれ
ば、該装着後、僅かな時間で試料ホルダー周り（試料
室）を、試料観察若しくは試料分析可能な真空度に達
し、極めて円滑な試料観察若しくは試料分析等の操作が
可能となる。
リッジ及び試料ホルダーを電子光学系鏡筒１に装着すれ
ば、該装着後、僅かな時間で試料ホルダー周り（試料
室）を、試料観察若しくは試料分析可能な真空度に達
し、極めて円滑な試料観察若しくは試料分析等の操作が
可能となる。
【００３４】次に別の試料を観察する場合には、電子光
学系鏡筒１から一旦試料ホルダーを外し、今観察若しく
は分析していた試料カートリッジを第２真空容器１５内
で充分真空乾燥された試料カートリッジに付け替える。
そして、この試料ホルダーを再び電子光学系鏡筒１に装
着する。
学系鏡筒１から一旦試料ホルダーを外し、今観察若しく
は分析していた試料カートリッジを第２真空容器１５内
で充分真空乾燥された試料カートリッジに付け替える。
そして、この試料ホルダーを再び電子光学系鏡筒１に装
着する。
【００３５】この様に、試料ホルダーを鏡筒１から取り
外して、予め充分に真空乾燥した新しい試料カートリッ
ジに付け替え、その試料ホルダーを電子光学系鏡筒１に
装着する一連の工程を繰り返すと、多数の試料の観察若
しくは分析操作が極めて効率的に行われる。
外して、予め充分に真空乾燥した新しい試料カートリッ
ジに付け替え、その試料ホルダーを電子光学系鏡筒１に
装着する一連の工程を繰り返すと、多数の試料の観察若
しくは分析操作が極めて効率的に行われる。
【００３６】又、複数の試料カートリッジを収納させた
第２真空容器１５の蓋２２は枠２２Ｗに透明ガラス板２
２Ｇをはめ込んだ構造なので、真空容器内をリークから
この蓋２２を開けなくとも、収納されている試料カート
リッジの様子（即ち、リアルタイムにおける収納試料カ
ートリッジの数、カートリッジにセットされている試料
の有無の等）が確認出来る。
第２真空容器１５の蓋２２は枠２２Ｗに透明ガラス板２
２Ｇをはめ込んだ構造なので、真空容器内をリークから
この蓋２２を開けなくとも、収納されている試料カート
リッジの様子（即ち、リアルタイムにおける収納試料カ
ートリッジの数、カートリッジにセットされている試料
の有無の等）が確認出来る。
【００３７】尚、前記試料観察若しくは分析を行ってい
る間に、別の試料ホルダーを第１真空容器１１にて真空
乾燥しておけば、この脱ガスされた試料ホルダーをそれ
まで使用していた試料ホルダーに代えて使用出来、更
に、効率的な観察等の操作が行える。
る間に、別の試料ホルダーを第１真空容器１１にて真空
乾燥しておけば、この脱ガスされた試料ホルダーをそれ
まで使用していた試料ホルダーに代えて使用出来、更
に、効率的な観察等の操作が行える。
【００３８】又、複数の試料カートリッジを収納するた
めの第２真空容器を第１真空容器１１に複数連通させて
設けるようにしても良い。。
めの第２真空容器を第１真空容器１１に複数連通させて
設けるようにしても良い。。
【００３９】又、複数の試料カートリッジを収納するす
るための第２真空容器内にヒータ等の加熱手段を配設
し、試料カートリッジをベイクアウトするようにしても
良い。
るための第２真空容器内にヒータ等の加熱手段を配設
し、試料カートリッジをベイクアウトするようにしても
良い。
【００４０】又、前記例では第１真空容器１１と第２真
空容器１５とは独立の部屋にし、これらを接続管１６で
繋いで連通するように成しているが、第１真空容器の容
積を少し拡大して、この中に複数の試料カートリッジも
一緒に収納させるようにしても良い。そうすれば、接続
管１６は不要となる。
空容器１５とは独立の部屋にし、これらを接続管１６で
繋いで連通するように成しているが、第１真空容器の容
積を少し拡大して、この中に複数の試料カートリッジも
一緒に収納させるようにしても良い。そうすれば、接続
管１６は不要となる。
【００４１】又、前記例では第１真空容器１１と第２真
空容器１５とは独立の部屋ではあるが、これらを接続管
１６で繋ぎ、共通の排気ポンプにより排気するようにし
ているが、前記接続管の中間部にバルブを設け、共通若
しくは別々の排気ポンプを第１真空容器１１と第２真空
容器１５に繋ぎ、第１真空容器１１と第２真空容器１５
の排気及びリークを別々に行うようにしても良い。
空容器１５とは独立の部屋ではあるが、これらを接続管
１６で繋ぎ、共通の排気ポンプにより排気するようにし
ているが、前記接続管の中間部にバルブを設け、共通若
しくは別々の排気ポンプを第１真空容器１１と第２真空
容器１５に繋ぎ、第１真空容器１１と第２真空容器１５
の排気及びリークを別々に行うようにしても良い。
【図１】 透過型電子顕微鏡の一概略例を示している。
【図２】 本発明の乾燥装置の一概略例を示している。
【図３】 図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】 試料カートリッジと試料ホルダーのカートリ
ッジ把持部の概略を示している。
ッジ把持部の概略を示している。
１…電子光学系鏡筒
２…電子銃
３…集束レンズ
４…対物レンズ
５…中間レンズ
６…投影レンズ
７…観察室
８…蛍光板
９…試料ホルダー
１０…試料ホルダー駆動機構
１１…第１真空容器
１２，１３，１４…孔
１５…第２真空容器
１６…接続管
１７…排気ポンプ
１８…排気管
１９…バルブ
２０…試料ホルダー挿入管
２１Ａ，２１Ｂ２１Ｃ，２１Ｄ，２１Ｅ…試料カートリ
ッジ ２２…蓋 ２２Ｗ…枠 ２２Ｇ…透明ガラス板 ２３…オーリング ２４…試料ホルダー ２５…カートリッジ把持部 ２６…摘み部 ２７…接続部 ２８…オーリング ２９…挿入穴 ３０…押さえバネ ３１…孔 ３２…ボール ３３…バネ ３４…ガイド穴 ３５…孔
ッジ ２２…蓋 ２２Ｗ…枠 ２２Ｇ…透明ガラス板 ２３…オーリング ２４…試料ホルダー ２５…カートリッジ把持部 ２６…摘み部 ２７…接続部 ２８…オーリング ２９…挿入穴 ３０…押さえバネ ３１…孔 ３２…ボール ３３…バネ ３４…ガイド穴 ３５…孔
Claims (5)
- 【請求項１】 排気手段が接続されており、それぞれに
試料がセットされた複数の試料カートリッジと、試料カ
ートリッジが着脱可能な試料ホルダーの少なくとも試料
カートリッジ着脱部とが収納可能な容器を備えた乾燥装
置。 - 【請求項２】 前記容器は連通した二つの収納器を有
し、一方の収納器に複数の試料カートリッジを収納し、
他方の収納器に試料ホルダーの少なくとも試料カートリ
ッジ着脱部を収納する様に成した請求項１記載の乾燥装
置。 - 【請求項３】 前記複数の試料カートリッジを収納する
収納器に観察窓が設けられている請求項２記載の乾燥装
置。 - 【請求項４】 前記複数の試料カートリッジを収納する
収納器に試料カードリッジを加熱するための加熱手段が
設けられている請求項２記載の乾燥装置。 - 【請求項５】 前記二つの収納器の間にバルブを設け、
同一若しくは異なった排気手段を各収容器に接続した請
求項２記載の乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001320930A JP2003121322A (ja) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | 乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001320930A JP2003121322A (ja) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | 乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003121322A true JP2003121322A (ja) | 2003-04-23 |
Family
ID=19138239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001320930A Withdrawn JP2003121322A (ja) | 2001-10-18 | 2001-10-18 | 乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003121322A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101945123B1 (ko) | 2017-10-23 | 2019-02-07 | 한국기초과학지원연구원 | 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법 |
-
2001
- 2001-10-18 JP JP2001320930A patent/JP2003121322A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101945123B1 (ko) | 2017-10-23 | 2019-02-07 | 한국기초과학지원연구원 | 시료 홀더용 펌핑 스테이션 및 그 제어 방법 |
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